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JP7767006B2 - Composite particles, conductive paste and electronic components - Google Patents
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JP7767006B2 - Composite particles, conductive paste and electronic components - Google Patents

Composite particles, conductive paste and electronic components

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JP7767006B2 JP2020175959A JP2020175959A JP7767006B2 JP 7767006 B2 JP7767006 B2 JP 7767006B2 JP 2020175959 A JP2020175959 A JP 2020175959A JP 2020175959 A JP2020175959 A JP 2020175959A JP 7767006 B2 JP7767006 B2 JP 7767006B2
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Description

本発明は、内部電極層を有する電子部品に係り、電子部品に用いる複合粒子に関する。 The present invention relates to electronic components having internal electrode layers and to composite particles used in electronic components.

積層セラミックコンデンサの薄層化に伴い、内部電極層に用いられるニッケル粒子等も小径化が進んでいる。しかし、ニッケル粒子等は小型化が進むにつれて焼結開始温度が低くなる。このようなニッケル粒子等を内部電極層として用いると、クラックや電極途切れの原因となる可能性がある。 As multilayer ceramic capacitors become thinner, the nickel particles used in the internal electrode layers are also becoming smaller in diameter. However, as nickel particles become smaller, the sintering start temperature decreases. Using such nickel particles in the internal electrode layers may cause cracks or electrode breaks.

たとえば、特許文献1では、ペースト用のニッケル微粉末について急激な熱収縮開始温度をより高温側へシフトさせるために湿式担持法、乾式担持法または半乾式担持法によって複合ニッケル微粉末を形成している。 For example, in Patent Document 1, composite nickel fine powder is formed using a wet, dry, or semi-dry loading method in order to shift the temperature at which rapid thermal shrinkage of nickel fine powder for paste begins to increase.

具体的には、特許文献1の湿式担持法では金属ニッケル微粒子等が液中に分散しているスラリーに金属元素等の水溶性塩を含む水溶液を添加し、次いで酸もしくはアルカリでpHを調整して、該水溶性塩から誘導される金属酸化物等を該ニッケル微粒子表面に固着させている。しかし、この方法では、ニッケル微粒子表面に固着された金属酸化物等は、金属酸化物等の成分が誘電体層に拡散してしまうことがあり、誘電体層の組成に影響を及ぼす可能性がある。また、この方法では、ニッケル微粒子表面に対する金属酸化物等の固着量や固着層厚みの制御が困難である。さらに、この方法では、金属酸化物等の凝集が発生する可能性がある。 Specifically, in the wet support method described in Patent Document 1, an aqueous solution containing a water-soluble salt of a metal element or the like is added to a slurry in which metallic nickel particles or the like are dispersed, and the pH is then adjusted with an acid or alkali to cause a metal oxide or the like derived from the water-soluble salt to adhere to the surface of the nickel particles. However, with this method, the metal oxide or the like adhered to the surface of the nickel particles may diffuse into the dielectric layer, potentially affecting the composition of the dielectric layer. Furthermore, with this method, it is difficult to control the amount of metal oxide or the like adhered to the surface of the nickel particles and the thickness of the adhered layer. Furthermore, with this method, there is a risk of the metal oxide or the like agglomerating.

また、特許文献1の乾式担持法および半乾式担持法では超微粒子が付着している金属ニッケル微粒子等を相互に又は他物体と衝突させて該ニッケル微粒子の表面に該超微粒子を固着させている。しかし、特許文献1の乾式担持法および半乾式担持法はドライプロセスであるためニッケル微粒子の凝集および超微粒子の凝集が発生するという問題がある。ニッケル微粒子の凝集が発生するとニッケル微粒子間には超微粒子が存在せずその部分がピンポイントで焼結が促進されてしまう。また、ニッケル微粒子の凝集が内部電極層に存在すると、内部電極層の薄層化の妨げとなる。さらに、ニッケル微粒子の凝集によりニッケルが球状に異常成長しショートの原因となる。さらに、超微粒子の凝集が発生すると有効に共材として働く超微粒子数が減るという問題がある。さらに、超微粒子の凝集が発生すると、超微粒子の凝集自体が内部電極途切れの起点となる。さらに、一度超微粒子の凝集が発生すると再分離することは困難であるという問題もある。 Furthermore, in the dry and semi-dry deposition methods of Patent Document 1, metallic nickel particles with attached ultrafine particles are collided with each other or with other objects, thereby adhering the ultrafine particles to the surface of the nickel particles. However, because the dry and semi-dry deposition methods of Patent Document 1 are dry processes, there is a problem with the aggregation of nickel particles and ultrafine particles. When nickel particles aggregate, there are no ultrafine particles between the nickel particles, and sintering is promoted at that point. Furthermore, the presence of nickel particle aggregation in the internal electrode layer hinders the thinning of the internal electrode layer. Furthermore, the aggregation of nickel particles causes the nickel to grow abnormally into a spherical shape, which can cause short circuits. Furthermore, the aggregation of ultrafine particles reduces the number of ultrafine particles that effectively function as co-materials. Furthermore, when ultrafine particle aggregation occurs, the aggregation of ultrafine particles itself can become the starting point for internal electrode discontinuities. Another problem is that once ultrafine particles aggregate, they are difficult to re-separate.

特開2000-282102号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-282102

本発明は、上記実情に鑑みてなされ、たとえば電極を形成するための粒子として用いて好適であり、微細であり、なおかつ、焼結開始温度が高い複合粒子、を提供することである。 The present invention was made in consideration of the above-mentioned circumstances, and aims to provide composite particles that are fine and have a high sintering initiation temperature, and are suitable for use, for example, as particles for forming electrodes.

上記目的を達成するため、本発明に係る複合粒子は、大粒子と、前記大粒子の表面に付着してあり前記大粒子よりも平均粒径が小さい小粒子と、を有し、
前記大粒子の平均粒径をRと表し、前記小粒子の平均粒径をrと表し、
前記Rが30nm以上300nm以下であり、
前記rが3nm以上30nm以下である。
In order to achieve the above object, the composite particle according to the present invention comprises a large particle and a small particle attached to the surface of the large particle and having an average particle size smaller than that of the large particle,
The average particle size of the large particles is represented by R, and the average particle size of the small particles is represented by r;
The R is 30 nm or more and 300 nm or less,
The r is 3 nm or more and 30 nm or less.

本発明者は、複合粒子が上記の構成であることにより、該複合粒子が微細でありながら、焼結開始温度が高くなることを見出した。また、該複合粒子を含む導電性ペーストにより形成された内部電極層の焼結開始温度は高くなることから、内部電極層の焼結開始温度をセラミック層の焼結開始温度に近づけることができる。その結果、内部電極層とセラミック層との熱収縮挙動の相違に起因するセラミック層のクラックを防ぐと共に、内部電極層の電極途切れを防ぐことができ、内部電極層とセラミック層との薄層化を容易に実現することができる。 The inventors have discovered that by using composite particles with the above configuration, the composite particles are fine yet have a high sintering start temperature. Furthermore, because the sintering start temperature of the internal electrode layer formed from the conductive paste containing the composite particles is high, the sintering start temperature of the internal electrode layer can be brought closer to the sintering start temperature of the ceramic layer. As a result, cracks in the ceramic layer caused by differences in thermal shrinkage behavior between the internal electrode layer and the ceramic layer can be prevented, and electrode discontinuities in the internal electrode layer can be prevented, making it easy to achieve thin layers of the internal electrode layer and the ceramic layer.

また、Rが上記の範囲に含まれることにより、内部電極層の薄層化を達成し易くなる。上記の観点からRは内部電極層の厚みの少なくとも1/5より小さいことが好ましい。 Furthermore, by having R fall within the above range, it becomes easier to achieve thin internal electrode layers. From the above perspective, it is preferable that R be at least 1/5 of the thickness of the internal electrode layers.

rが上記の範囲に含まれることにより、小粒子の分散が容易になる。 When r falls within the above range, it becomes easier to disperse small particles.

前記大粒子と、前記小粒子との粒径比(r/R)は、0.01以上0.17以下であることが好ましい。 The particle size ratio (r/R) of the large particles to the small particles is preferably 0.01 or more and 0.17 or less.

r/Rが上記の範囲内であることにより、大粒子から小粒子が脱落しにくい。 By keeping r/R within the above range, small particles are less likely to fall off from large particles.

前記大粒子の材質は導電性であることが好ましい。 It is preferable that the material of the large particles is conductive.

前記大粒子の材質はニッケル、ニッケル合金、銅、銅合金、銀および銀合金から選ばれる少なくとも1つであってもよい。 The material of the large particles may be at least one selected from nickel, nickel alloy, copper, copper alloy, silver, and silver alloy.

前記小粒子の材質は酸化物であることが好ましい。 The material of the small particles is preferably an oxide.

前記小粒子の材質はチタン酸バリウム、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウムおよび酸化ジルコニウムから選ばれる少なくとも1つであってもよく、チタン酸バリウムまたは酸化ケイ素であることが好ましく、チタン酸バリウムであることがより好ましい。 The material of the small particles may be at least one selected from barium titanate, silicon oxide, titanium oxide, aluminum oxide, and zirconium oxide, preferably barium titanate or silicon oxide, and more preferably barium titanate.

小粒子の材質がチタン酸バリウムであることにより積層体におけるセラミック層の組成への影響を抑えることができる。 By using barium titanate as the material for the small particles, the impact on the composition of the ceramic layers in the laminate can be minimized.

前記大粒子に対する前記小粒子の平均被覆率が3%以上50%以下であることが好ましい。 It is preferable that the average coverage ratio of the small particles to the large particles is 3% or more and 50% or less.

前記大粒子および前記小粒子の合計体積を100vol%としたとき、前記小粒子の体積が1vol%以上23vol%以下であることが好ましい。 When the total volume of the large particles and the small particles is 100 vol%, it is preferable that the volume of the small particles is 1 vol% or more and 23 vol% or less.

上記の複合粒子を含む導電性ペーストにより形成された内部電極層では、小粒子が共材となることがある。上記のように本発明では、共材となる小粒子の含有量を少なくし、また、従来では必要とされていた複合化された小粒子に由来しない共材を含まない、もしくは少しだけ含むとしても、十分に内部電極層の焼結開始温度を高温側にシフトさせることができるため、共材がセラミック層の組成へ与える影響を低減できる。なお、共材とは焼結しやすい粉体に対して、焼結を遅延させるために添加される材料である。 In internal electrode layers formed from conductive pastes containing the above-mentioned composite particles, small particles may serve as co-materials. As described above, the present invention reduces the content of small particles that serve as co-materials, and even if it does not contain or contains only small amounts of co-materials that are not derived from the composite small particles that were previously required, it is possible to sufficiently shift the sintering start temperature of the internal electrode layer to the higher temperature side, thereby reducing the effect of co-materials on the composition of the ceramic layer. Note that a co-material is a material added to easily sintered powders to delay sintering.

本発明に係る導電性ペーストでは、上記の複合粒子と、バインダと、溶剤と、を有する。 The conductive paste according to the present invention contains the above-mentioned composite particles, a binder, and a solvent.

本発明に係る電子部品は、セラミック層と、内部電極層とを有する電子部品であって、
前記内部電極層が上記の導電性ペーストから形成されている。
The electronic component according to the present invention is an electronic component having a ceramic layer and an internal electrode layer,
The internal electrode layers are formed from the conductive paste.

本発明に係る電子部品は、電極層を有する電子部品であって、
前記電極層が上記の導電性ペーストから形成されている。
The electronic component according to the present invention is an electronic component having an electrode layer,
The electrode layer is formed from the conductive paste.

図1は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to one embodiment of the present invention. 図2は、本発明の一実施形態に係る複合粒子の模式断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a composite particle according to one embodiment of the present invention. 図3は、本発明における平均被覆率の測定方法の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a method for measuring the average coverage in the present invention. 図4は、本発明における平均被覆率の測定方法の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a method for measuring the average coverage in the present invention. 図5は、本発明における平均被覆率の測定方法の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a method for measuring the average coverage in the present invention.

第1実施形態 複合粒子
本実施形態に係る複合粒子12は、図2に示すように大粒子14と、大粒子14の表面に付着してあり大粒子14よりも平均粒径が小さい小粒子16と、を有する。
[ First embodiment: composite particles ]
As shown in FIG. 2, the composite particle 12 according to this embodiment has a large particle 14 and small particles 16 that are attached to the surface of the large particle 14 and have an average particle size smaller than that of the large particle 14 .

<大粒子>
大粒子14としては特に限定されないが、導電性を有することが好ましく、Ni、Ni系合金、Cu、Cu系合金、AgおよびAg系合金から選ばれる少なくとも1であることがより好ましく、NiまたはNi系合金であることがさらに好ましい。なお、大粒子14には、C、S、NおよびO等の各種微量成分が1質量%程度以下含まれていてもよい。
<Large particles>
Although there are no particular limitations on the large particles 14, they are preferably conductive, more preferably at least one selected from Ni, Ni-based alloys, Cu, Cu-based alloys, Ag, and Ag-based alloys, and even more preferably Ni or Ni-based alloys. The large particles 14 may also contain trace elements such as C, S, N, and O in amounts of about 1% by mass or less.

また、本実施形態では、大粒子14として、材質が同じ複数の大粒子14を用いてもよいし、材質が異なる複数の大粒子14が混在して構成されていてもよい。 Furthermore, in this embodiment, multiple large particles 14 made of the same material may be used as the large particles 14, or multiple large particles 14 made of different materials may be mixed together.

本実施形態の大粒子14の平均粒径(R)は、30nm以上300nm以下であり、30nm以上100nm以下であることが好ましい。本実施形態では、このように大粒子14を比較的微細にしても大粒子14の表面に小粒子16が付着していることから、焼結開始温度を高温側にシフトさせることができる。 The average particle size (R) of the large particles 14 in this embodiment is 30 nm or more and 300 nm or less, and preferably 30 nm or more and 100 nm or less. In this embodiment, even if the large particles 14 are made relatively fine, the small particles 16 adhere to the surfaces of the large particles 14, so the sintering start temperature can be shifted to a higher temperature.

また、Rが上記の範囲に含まれることにより、内部電極層3の薄層化を達成し易くなる。上記の観点からRは内部電極層3の厚みの少なくとも1/5より小さいことが好ましい。 Furthermore, by having R fall within the above range, it becomes easier to achieve a thinner internal electrode layer 3. From the above perspective, it is preferable that R be at least 1/5 of the thickness of the internal electrode layer 3.

大粒子14が、2種類以上の異なる材質の大粒子14で構成されている場合、ある材質で構成されている大粒子14の平均粒径と、別の材質で構成されている大粒子14との各平均粒径が上記範囲内となればよいが、それらは異なっていてもよい。 When the large particles 14 are composed of large particles 14 made of two or more different materials, the average particle size of the large particles 14 made of one material and the average particle size of the large particles 14 made of another material need only be within the above range, but they may also be different.

なお、異なる材質とは、金属または合金を構成する元素が異なる場合または構成する元素が同じであってもその組成が異なる場合などが例示される。 Examples of different materials include metals or alloys made up of different elements, or metals or alloys made up of the same elements but with different compositions.

<小粒子>
小粒子16の材質は特に限定されないが、内部電極層3の焼結開始温度を高温側にシフトさせる効果を有する材質であることが好ましく、酸化物であることがより好ましく、絶縁性であることがさらに好ましい。内部電極層3の焼結開始温度を高温側にシフトさせる効果を有し、酸化物であり、絶縁性である材質の具体例としては、チタン酸バリウム、チタン酸カルシウムバリウム、チタン酸ストロンチウムバリウム、(Ba1-xCa)(Ti1-yZr)O、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化ジルコニウムおよび酸化アルミニウムから選ばれる少なくとも1つが挙げられ、チタン酸バリウムまたは酸化ケイ素であることが好ましくチタン酸バリウムであることが好ましい。
<Small particles>
The material of the small particles 16 is not particularly limited, but is preferably a material having the effect of shifting the sintering start temperature of the internal electrode layers 3 to a higher temperature, more preferably an oxide, and even more preferably insulating. Specific examples of the oxide and insulating material having the effect of shifting the sintering start temperature of the internal electrode layers 3 to a higher temperature include at least one selected from barium titanate, calcium barium titanate, strontium barium titanate, (Ba 1-x Ca x )(Ti 1-y Zr y )O 3 , silicon oxide, titanium oxide, zirconium oxide, and aluminum oxide, and barium titanate or silicon oxide is preferred, and barium titanate is more preferred.

小粒子の材質がチタン酸バリウムであることにより積層体におけるセラミック層2の組成への影響を抑えることができる。 By using barium titanate as the material for the small particles, the impact on the composition of ceramic layer 2 in the laminate can be minimized.

本実施形態における小粒子16は結晶性を有することが好ましい。これにより、内部電極層3の焼結開始温度をより高温側にシフトさせることができる。結晶性を有することは、たとえば走査型透過電子顕微鏡(STEM)やX線回折法(XRD)により確認することができる。 In this embodiment, the small particles 16 preferably have crystallinity. This allows the sintering start temperature of the internal electrode layer 3 to be shifted to a higher temperature. The presence of crystallinity can be confirmed, for example, by scanning transmission electron microscopy (STEM) or X-ray diffraction (XRD).

また、本実施形態における小粒子16は大粒子14に比べて小さい。また、小粒子16の平均粒径(r)は、3nm~30nmであり、好ましくは6nm~20nmである。rが上記の範囲に含まれることにより、小粒子の分散が容易になる。 Furthermore, the small particles 16 in this embodiment are smaller than the large particles 14. Furthermore, the average particle size (r) of the small particles 16 is 3 nm to 30 nm, and preferably 6 nm to 20 nm. By having r within the above range, the small particles are easily dispersed.

本実施形態では、大粒子14の平均粒径をRと表し、該大粒子14に付着している小粒子16の平均粒径をrと表したとき、(r/R)は0.01以上0.17以下であることが好ましく、0.03以上0.15以下であることがより好ましい。r/Rが上記の範囲内であることにより、大粒子14から小粒子16が脱落しにくい。 In this embodiment, when the average particle size of the large particles 14 is represented by R and the average particle size of the small particles 16 attached to the large particles 14 is represented by r, (r/R) is preferably 0.01 or more and 0.17 or less, and more preferably 0.03 or more and 0.15 or less. When r/R is within the above range, the small particles 16 are less likely to fall off the large particles 14.

また、本実施形態では、小粒子16として、材質が同じ複数の小粒子16を用いてもよいし、材質が異なる複数の小粒子16が混在しているものを用いてもよい。 Furthermore, in this embodiment, the small particles 16 may be a mixture of multiple small particles 16 made of the same material, or a mixture of multiple small particles 16 made of different materials.

小粒子16が、2種類以上の異なる材質の小粒子16で構成されている場合、ある材質で構成されている小粒子16の平均粒径と、別の材質で構成されている小粒子16の平均粒径とが異なっていてもよい。 When the small particles 16 are composed of small particles 16 made of two or more different materials, the average particle size of the small particles 16 made of one material may be different from the average particle size of the small particles 16 made of another material.

なお、本実施形態に係る大粒子14および小粒子16の平均粒径ならびに大粒子14に対する小粒子16の被覆率の測定方法は下記の通りである。 The average particle size of the large particles 14 and small particles 16 and the coverage ratio of the small particles 16 to the large particles 14 in this embodiment are measured as follows:

複合粒子12を含む液体を走査電子顕微鏡(SEM)またはSTEMのステージに滴下し、風乾する。次に、SEM画像等を撮影する。図3にSEM画像の模式図を示す。SEM画像等の視野は特に限定されないが、大粒子14の平均粒径をRと表したとき、(R×8)×(R×6)程度であればよい。 A liquid containing composite particles 12 is dropped onto the stage of a scanning electron microscope (SEM) or STEM and air-dried. Next, an SEM image or the like is taken. Figure 3 shows a schematic diagram of an SEM image. The field of view of an SEM image or the like is not particularly limited, but when the average particle size of the large particles 14 is represented as R, it should be approximately (R x 8) x (R x 6).

次に、SEM画像等から「輪郭が確認できる大粒子14」を選別する。図4は図3において「輪郭が確認できる大粒子14」の輪郭を太線で示し、さらに「輪郭が確認できる大粒子14」に付着している「輪郭が確認できる小粒子16」の輪郭も太線で示している。なお、「輪郭が確認できる大粒子14」とは、SEM画像等に全輪郭が含まれており、なおかつSEM画像等において最前面に存在する大粒子14を意味する。したがって、一部でも欠けている場合は、その大粒子14は「輪郭が確認できる大粒子14」とはならない。また、一部でも他の大粒子14の後ろ(背面)に存在する場合も、その大粒子14は「輪郭が確認できる大粒子14」とはならない。 Next, "large particles 14 with a visible outline" are selected from the SEM image, etc. Figure 4 shows the outlines of the "large particles 14 with a visible outline" in Figure 3 with a thick line, and also shows the outlines of the "small particles 16 with a visible outline" attached to the "large particles 14 with a visible outline" with a thick line. Note that a "large particle 14 with a visible outline" refers to a large particle 14 whose entire outline is included in the SEM image, etc., and which is present in the foreground in the SEM image, etc. Therefore, if even a portion of a large particle 14 is missing, that large particle 14 does not qualify as a "large particle 14 with a visible outline." Furthermore, if even a portion of that large particle 14 is present behind (behind) other large particles 14, that large particle 14 does not qualify as a "large particle 14 with a visible outline."

上記の方法により確認された「輪郭が確認できる大粒子14」および「輪郭が確認できる大粒子14」に付着している「輪郭が確認できる小粒子16」についてそれぞれ円相当径を求めて、円相当径を粒径とし、大粒子14の平均粒径(R)および小粒子16の平均粒径(r)をそれぞれ求める。 The circle-equivalent diameters of the "large particles 14 with visible outlines" confirmed by the above method and the "small particles 16 with visible outlines" attached to the "large particles 14 with visible outlines" are calculated, and the circle-equivalent diameters are used as particle diameters to calculate the average particle diameter (R) of the large particles 14 and the average particle diameter (r) of the small particles 16.

さらに、図5に示すように「輪郭が確認できる大粒子14」に対して、それぞれ重心Gを求め、重心Gから、「0.25×該大粒子の粒径(Ra)」となる半径の円を描き、その円を仮想円18とする。なお、「粒径Ra」とは、それぞれの大粒子14の粒径であり、平均粒径Rではない。仮想円18の面積に対する仮想円18に含まれる小粒子16の面積の合計を被覆率とする。図3および図4に示す「輪郭が確認できる大粒子14」の全てに対して被覆率を求め、その平均値を平均被覆率とする。 Furthermore, as shown in Figure 5, the center of gravity G is determined for each "large particle 14 with a visible outline," and a circle with a radius equal to "0.25 x the particle diameter (Ra) of the large particle" is drawn from the center of gravity G, and this circle is designated as the imaginary circle 18. Note that the "particle diameter Ra" refers to the particle diameter of each large particle 14, not the average particle diameter R. The coverage rate is the sum of the area of the small particles 16 contained in the imaginary circle 18 relative to the area of the imaginary circle 18. The coverage rates are determined for all of the "large particles 14 with a visible outline" shown in Figures 3 and 4, and the average value is designated as the average coverage rate.

本実施形態では、大粒子14に対する小粒子16の平均被覆率は3%以上50%以下であることが好ましく、5%以上30%以下であることがより好ましい。 In this embodiment, the average coverage ratio of small particles 16 to large particles 14 is preferably 3% or more and 50% or less, and more preferably 5% or more and 30% or less.

また、被覆率の標準偏差で示される被覆率ばらつきは、0%以上20%以下であることが好ましく、0%以上5%以下であることがより好ましい。本実施形態では、後述する静電吸着により大粒子14に小粒子16を付着させることにより、小粒子16の凝集を抑えることができるため、被覆率ばらつきを低く抑えることができる。なお、被覆率ばらつき(標準偏差)の式は下記の通りである。 Furthermore, the coverage variation, which is indicated by the standard deviation of the coverage, is preferably 0% or more and 20% or less, and more preferably 0% or more and 5% or less. In this embodiment, by attaching the small particles 16 to the large particles 14 by electrostatic adsorption, which will be described later, it is possible to suppress aggregation of the small particles 16, thereby keeping the coverage variation low. The formula for coverage variation (standard deviation) is as follows:

なお、上記式中でnとして表される「観察した複合粒子の数」とは観察した視野における「輪郭が確認できる大粒子14」を有する複合粒子12の数である。 Note that the "number of observed composite particles" represented as n in the above formula is the number of composite particles 12 that have "large particles 14 with visible outlines" in the observed field of view.

本実施形態では、観察した複合粒子12の数に対する被覆率0%の複合粒子12の数の割合、すなわち被覆率0%の複合粒子12の割合が60%以下であることが好ましく、10%以下であることがより好ましい。 In this embodiment, the ratio of the number of composite particles 12 with a coverage rate of 0% to the number of composite particles 12 observed, i.e., the ratio of composite particles 12 with a coverage rate of 0%, is preferably 60% or less, and more preferably 10% or less.

また、本実施形態では、たとえばr/R=0.07~0.09程度の場合、仮想円18に含まれる小粒子16の数が0個以上20個以下であることが好ましく、1個以上15個以下であることがより好ましい。なお、「仮想円18に含まれる小粒子16」には一部が欠けている小粒子16は含まれない。 Furthermore, in this embodiment, when r/R is, for example, approximately 0.07 to 0.09, the number of small particles 16 contained in the imaginary circle 18 is preferably 0 to 20, and more preferably 1 to 15. Note that "small particles 16 contained in the imaginary circle 18" does not include small particles 16 that are partially missing.

本実施形態では、(R×80)×(R×60)の視野における小粒子16の凝集の数が3個以下であることが好ましく、1個以下であることがより好ましく、0個であることがさらに好ましい。 In this embodiment, the number of agglomerations of small particles 16 in a field of view of (R x 80) x (R x 60) is preferably 3 or less, more preferably 1 or less, and even more preferably 0.

本実施形態では、大粒子14に対する小粒子16の含有率が1vol%以上23vol%以下であることが好ましく、2vol%以上11vol%以下であることがより好ましい。 In this embodiment, the content of small particles 16 relative to large particles 14 is preferably 1 vol% or more and 23 vol% or less, and more preferably 2 vol% or more and 11 vol% or less.

第2実施形態 導電性ペースト
本実施形態では、導電性ペーストは、複合粒子12と、バインダと、溶剤と、を含む。バインダおよび溶剤は公知のものを用いることができる。
[ Second embodiment: conductive paste ]
In this embodiment, the conductive paste contains composite particles 12, a binder, and a solvent. Known binders and solvents can be used.

本実施形態では、小粒子16が複合粒子12の焼結開始温度を高温側にシフトさせる役割を果たし、該小粒子16は大粒子14に付着しているため、複合化されていない小粒子を共材として用いる従来の導電性ペーストに比べて効率よく共材としての効果を果たすことができる。したがって、大粒子14に複合化している小粒子16の含有量を比較的少なくしたり、従来の導電性ペーストに含有されていた複合化されていない共材を含まない、または含有量を少なくしても、共材としての効果を十分に果たすことができる。これにより、共材を構成する成分がセラミック層2の組成へ与える影響を低減できる。また、共材のコストを抑えることができるというメリットもある。 In this embodiment, the small particles 16 serve to shift the sintering start temperature of the composite particles 12 to a higher temperature. Because the small particles 16 are attached to the large particles 14, they can function as a co-material more efficiently than conventional conductive pastes that use uncomposite small particles as a co-material. Therefore, even if the content of small particles 16 combined with the large particles 14 is relatively low, or even if the uncomposite co-material contained in conventional conductive pastes is not included or its content is reduced, the co-material effect can be fully achieved. This reduces the impact of the components that make up the co-material on the composition of the ceramic layer 2. Another advantage is that the cost of the co-material can be reduced.

第3実施形態 積層セラミックコンデンサ
本発明の一実施形態として、積層セラミックコンデンサ1について説明する。図1に、一般的な積層セラミックコンデンサ1の断面図を示す。
[ Third Embodiment: Multilayer Ceramic Capacitor ]
As one embodiment of the present invention, a multilayer ceramic capacitor 1 will be described. FIG.

積層セラミックコンデンサ1は、X軸およびY軸を含む平面に実質的に平行なセラミック層2と内部電極層3とを有し、セラミック層2と内部電極層3がZ軸の方向に沿って交互に積層されたセラミック素体10を有する。 The multilayer ceramic capacitor 1 has ceramic layers 2 and internal electrode layers 3 that are substantially parallel to a plane including the X-axis and Y-axis, and a ceramic body 10 in which the ceramic layers 2 and internal electrode layers 3 are alternately stacked along the Z-axis.

ここで、「実質的に平行」とは、ほとんどの部分が平行であるが、多少平行でない部分を有していてもよいことを意味し、セラミック層2と内部電極層3は、多少、凹凸があったり傾いていたりしてもよいという趣旨である。 Here, "substantially parallel" means that most of the parts are parallel, but there may be some parts that are not parallel, and the ceramic layers 2 and internal electrode layers 3 may be slightly uneven or tilted.

内部電極層3は、各端部がセラミック素体10の対向する2端面の表面に交互に露出するように積層してある。一対の外部電極4は、セラミック素体10の両端面に形成され、交互に配置された内部電極層3の露出端に接続されて、コンデンサ回路を構成する。 The internal electrode layers 3 are stacked so that their ends are alternately exposed on the surfaces of two opposing end faces of the ceramic body 10. A pair of external electrodes 4 are formed on both end faces of the ceramic body 10 and are connected to the exposed ends of the alternately arranged internal electrode layers 3 to form a capacitor circuit.

セラミック層2の厚みは、特に限定されないが、一層あたり2μm以下であることが好ましく、より好ましくは1.5μm以下、さらに好ましくは0.8μm以下である。厚みの下限は、特に限定されないが、たとえば0.3μm程度である。 The thickness of the ceramic layer 2 is not particularly limited, but is preferably 2 μm or less per layer, more preferably 1.5 μm or less, and even more preferably 0.8 μm or less. The lower limit of the thickness is not particularly limited, but is, for example, approximately 0.3 μm.

セラミック層2の積層数は、特に限定されないが、好ましくは20以上であり、より好ましくは50以上である。 The number of layers of ceramic layers 2 is not particularly limited, but is preferably 20 or more, and more preferably 50 or more.

セラミック層2の材料としては、たとえば、BaTiO、CaTiO、SrTiO、CaZrO、(K1-xNa)SrNb15、BaTiNb15、(Ba1-xCa)(Ti1-yZr)Oなどの主成分からなる誘電体セラミックを用いることができる。また、これらの主成分にMn化合物、Mg化合物、Cr化合物、Co化合物、Ni化合物、希土類元素、Si化合物、Li化合物などの副成分を添加したものを用いてもよい。 The ceramic layer 2 may be made of a dielectric ceramic whose main component is, for example, BaTiO 3 , CaTiO 3 , SrTiO 3 , CaZrO 3 , (K 1-x Na x )Sr 2 Nb 5 O 15 , Ba 3 TiNb 4 O 15 , (Ba 1-x Ca x )(Ti 1-y Zry ) O 3. Alternatively, a material obtained by adding a subcomponent such as a Mn compound, a Mg compound, a Cr compound, a Co compound, a Ni compound, a rare earth element, a Si compound, or a Li compound to these main components may be used.

本実施形態に係る内部電極層3は少なくとも図2に示す複合粒子12を焼成することにより得られる。 The internal electrode layer 3 according to this embodiment is obtained by firing at least the composite particles 12 shown in Figure 2.

内部電極層3において、「複合粒子12の大粒子14」は焼成後に導電材として確認できる。また、「複合粒子12の小粒子16」は共材であり、焼成後に絶縁材として確認できる。 In the internal electrode layer 3, the "large particles 14 of the composite particles 12" can be confirmed as conductive material after firing. Furthermore, the "small particles 16 of the composite particles 12" are co-materials and can be confirmed as insulating material after firing.

本実施形態では、内部電極層3における導電材および絶縁材の合計質量を100質量%としたときに、絶縁材の含有量が0.4質量%以上20質量%以下であり、3質量%以上15質量%以下であることが好ましい。 In this embodiment, when the total mass of the conductive material and insulating material in the internal electrode layer 3 is taken as 100 mass%, the content of the insulating material is 0.4 mass% or more and 20 mass% or less, and preferably 3 mass% or more and 15 mass% or less.

本実施形態に係る内部電極層3の厚みの上限は特に限定されないが、好ましくは2μm以下であり、より好ましくは1.5μm以下であり、さらに好ましくは0.8μm以下である。本実施形態に係る内部電極層3は電極途切れを抑制することができることから、比較的薄くすることができる。内部電極層3の厚みの下限も特に限定されないが、0.3μmである。 The upper limit of the thickness of the internal electrode layer 3 according to this embodiment is not particularly limited, but is preferably 2 μm or less, more preferably 1.5 μm or less, and even more preferably 0.8 μm or less. The internal electrode layer 3 according to this embodiment can be made relatively thin because it can suppress electrode discontinuity. The lower limit of the thickness of the internal electrode layer 3 is also not particularly limited, but is 0.3 μm.

<外部電極>
外部電極4に含有される外部電極用導電材は特に限定されないが、本実施形態では安価なNiおよびCuならびにこれらの合金を用いることができる。外部電極4の厚さは用途等に応じて適宜決定すればよいが、通常10~50μmである。
<External electrode>
There are no particular limitations on the external electrode conductive material contained in the external electrodes 4, but in this embodiment, inexpensive Ni, Cu, and alloys thereof can be used. The thickness of the external electrodes 4 may be determined appropriately depending on the application, etc., but is usually 10 to 50 μm.

<積層セラミックコンデンサの製造方法>
次に、図1示す積層セラミックコンデンサ1の製造方法の一例を説明する。
<Manufacturing method of multilayer ceramic capacitors>
Next, an example of a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 1 shown in FIG. 1 will be described.

まず、本実施形態では、大粒子14および小粒子16を準備し、大粒子14の表面に小粒子16を付着させることにより、図2に示す複合粒子12を作製する。大粒子14の表面に小粒子16を付着させる方法は特に限定されず、たとえば静電吸着により大粒子14の表面に小粒子16を付着させてもよいし、メカノケミカル法により大粒子14の表面に小粒子16を付着させてもよいし、大粒子14の表面に小粒子16を合成により析出させる方法により大粒子14の表面に小粒子16を付着させてもよいし、樹脂などの有機材料を介して大粒子14の表面に小粒子16を付着させてもよい。 In this embodiment, large particles 14 and small particles 16 are first prepared, and the small particles 16 are attached to the surfaces of the large particles 14 to produce the composite particles 12 shown in FIG. 2. The method for attaching the small particles 16 to the surfaces of the large particles 14 is not particularly limited. For example, the small particles 16 may be attached to the surfaces of the large particles 14 by electrostatic adsorption, by a mechanochemical method, by a method of synthesizing and precipitating the small particles 16 on the surfaces of the large particles 14, or by using an organic material such as a resin to attach the small particles 16 to the surfaces of the large particles 14.

本実施形態では、静電吸着により大粒子14の表面に小粒子16を付着させることが好ましい。なぜなら、静電吸着の場合は、低エネルギーで大粒子14の表面に小粒子16を付着させることが可能だからである。 In this embodiment, it is preferable to attach the small particles 16 to the surfaces of the large particles 14 by electrostatic adsorption. This is because electrostatic adsorption makes it possible to attach the small particles 16 to the surfaces of the large particles 14 with low energy.

また、静電吸着の場合は、大粒子14に小粒子16を単分散に近い状態で吸着させることができる。 In addition, in the case of electrostatic adsorption, the small particles 16 can be adsorbed to the large particles 14 in a state close to monodispersion.

さらに、静電吸着の場合は、別途合成した「結晶性の高い材料」、「耐熱性の高い材料」および/または「球形に近い材料」を小粒子16として用いることができ、それにより小粒子16の共材としての効果を最大化させることができる。なお、小粒子16が球形に近いほど比表面積が減少し(真球が最小)、表面自由エネルギーが小さくなることで焼結開始温度が高くなる傾向となる。 Furthermore, in the case of electrostatic adsorption, separately synthesized "highly crystalline materials," "highly heat-resistant materials," and/or "nearly spherical materials" can be used as the small particles 16, thereby maximizing the effect of the small particles 16 as a co-material. Furthermore, the closer the small particles 16 are to being spherical, the smaller their specific surface area (a perfect sphere is the smallest), and the smaller the surface free energy, the higher the sintering initiation temperature tends to be.

さらに、静電吸着の場合は、小粒子16の凝集を少なくすることができる。小粒子16の凝集は共材として有効に機能する小粒子16の数の減少を引き起こし、電極途切れの起点の原因となる可能性がある。 Furthermore, electrostatic adsorption can reduce the aggregation of small particles 16. Aggregation of small particles 16 reduces the number of small particles 16 that function effectively as co-materials, which may cause electrode discontinuities.

さらに、小粒子16の粒径を変えることにより、静電吸着の厚みを変えることができることから、大粒子14の表面の共材(小粒子16)の吸着厚みの制御が容易である。 Furthermore, since the electrostatic adsorption thickness can be changed by changing the particle size of the small particles 16, it is easy to control the adsorption thickness of the co-material (small particles 16) on the surface of the large particles 14.

さらに、静電吸着の場合は、大粒子14と小粒子16にそれぞれ反対の電荷を帯びさせた後、吸着させるため、大粒子14に付着する小粒子16の量を制御することが容易であるというメリットもある。 Furthermore, in the case of electrostatic adsorption, the large particles 14 and small particles 16 are charged with opposite charges before being adsorbed, which has the advantage of making it easy to control the amount of small particles 16 that adhere to the large particles 14.

上記の理由から、静電吸着により大粒子14の表面に小粒子16を付着させることで、複合粒子12の焼結開始温度を高温側にシフトさせる効果をより高めることができる。 For the reasons stated above, attaching small particles 16 to the surfaces of large particles 14 by electrostatic adsorption can further enhance the effect of shifting the sintering start temperature of composite particles 12 to a higher temperature.

小粒子16として用いる酸化物ナノ粒子は最表面に水酸基を持つため、基本的に親水性が高く水や極性の高い溶剤類、たとえばアルコール類やグリコール類に良く分散する。製法や分散方法にもよるが、酸化物ナノ粒子は多くの場合はマイナスの表面電荷を持っており、複合化に用いることができる。分散を安定化させるための微量の添加材があってもよい。 The oxide nanoparticles used as small particles 16 have hydroxyl groups on their outermost surface, making them generally highly hydrophilic and dispersible in water and highly polar solvents, such as alcohols and glycols. While this depends on the manufacturing method and dispersion method, oxide nanoparticles often have a negative surface charge, making them suitable for use in composites. A small amount of additive may be added to stabilize the dispersion.

大粒子14として用いるニッケル粉は、製法にもよるがプラスもしくはマイナスの非常に弱い電荷を持っている。ポリジアリルジメチルアンモニウムクロリド(PDDA)、ポリエチレンイミン(PEI)等の高分子電解質を用いてそれを強いプラスに変えることで、マイナスの酸化物ナノ粒子(小粒子16)と複合化が出来る。 The nickel powder used as the large particles 14 has a very weak positive or negative charge, depending on the manufacturing method. By using a polymer electrolyte such as polydiallyldimethylammonium chloride (PDDA) or polyethyleneimine (PEI) to change this to a strong positive charge, it can be composited with negative oxide nanoparticles (small particles 16).

また、小粒子16としてBaTiOを用いる場合は、たとえば、下記の方法で複合化する。まず、有機溶剤に、表面がプラスに帯電しているNi粒子(大粒子14)を投入し、「表面がプラスに帯電しているNi粒子を含む分散液」を準備する。 When BaTiO3 is used as the small particles 16, they are compounded, for example, by the following method: First, Ni particles (large particles 14) whose surfaces are positively charged are added to an organic solvent to prepare a "dispersion liquid containing Ni particles whose surfaces are positively charged."

さらに、「表面がマイナスに帯電しているBaTiOを含む分散液」も準備する。このように、有機溶剤を用いるのは、溶媒が水だとBaTiOの表面イオンが水に溶出してしまうからである。なお、BaTiO溶液の溶媒としては、アルコール類、グリコール類、ケトン類などを用いることができる。 Furthermore, a "dispersion liquid containing BaTiO3 with a negatively charged surface" is also prepared. The reason for using an organic solvent is that if the solvent is water, the surface ions of BaTiO3 will dissolve in the water. Note that alcohols, glycols, ketones, etc. can be used as the solvent for the BaTiO3 solution.

「表面がプラスに帯電しているNi粒子を含む分散液」と、「表面がマイナスに帯電しているBaTiO粒子を含む分散液」とを混合し、静電吸着によりNi粒子にBaTiO粒子を吸着させて複合粒子12が得られる。 A "dispersion liquid containing Ni particles whose surfaces are positively charged" and a "dispersion liquid containing BaTiO3 particles whose surfaces are negatively charged" are mixed, and the BaTiO3 particles are electrostatically adsorbed onto the Ni particles to obtain composite particles 12.

次にセラミック素体10を構成するためのセラミック材料を含むセラミックグリーンシートが準備される。 Next, ceramic green sheets containing the ceramic material for forming the ceramic body 10 are prepared.

セラミック材料としては、BaTiO、CaTiO、SrTiO、CaZrO、(K1-xNa)SrNb15、BaTiNb15、(Ba1-xCa)(Ti1-yZr)Oなどの主成分からなるセラミック材料を用いることができる。 As the ceramic material, ceramic materials consisting mainly of BaTiO 3 , CaTiO 3 , SrTiO 3 , CaZrO 3 , (K 1-x Na x )Sr 2 Nb 5 O 15 , Ba 3 TiNb 4 O 15 , (Ba 1-x Ca x )(Ti 1-y Zry )O 3 or the like can be used.

次に、セラミックグリーンシート上に、導電性ペーストを塗布して、内部電極層3に対応する導電パターンが形成される。 Next, a conductive paste is applied to the ceramic green sheet to form a conductive pattern corresponding to the internal electrode layer 3.

なお、本実施形態に係る導電性ペーストは複合粒子12を含むことから、複合粒子12の構造を保持するために、比較的穏やかに混錬することが好ましく、自転公転撹拌機により混錬することが好ましい。 In addition, since the conductive paste according to this embodiment contains composite particles 12, it is preferable to knead it relatively gently in order to maintain the structure of the composite particles 12, and it is preferable to knead it using a planetary centrifugal mixer.

導電性ペーストの塗布は、たとえば、スクリーン印刷法などの各種印刷法により行うことができるが、本実施形態に係る導電性ペーストは複合粒子12を含むことから、複合粒子12の構造を保持するために、スクリーン印刷もしくはグラビア印刷により塗布することが好ましい。 The conductive paste can be applied by various printing methods, such as screen printing. However, since the conductive paste according to this embodiment contains composite particles 12, it is preferable to apply it by screen printing or gravure printing in order to maintain the structure of the composite particles 12.

導電パターンが形成されていない複数のセラミックグリーシート、導電パターンが形成されたセラミックグリーンシート、および導電パターンが形成されていない複数のセラミックグリーンシートがこの順で積層され、積層方向にプレスすることにより、マザー積層体が作製される。 A mother laminate is produced by stacking multiple ceramic green sheets without conductive patterns, a ceramic green sheet with conductive patterns, and multiple ceramic green sheets without conductive patterns in this order, and pressing them in the stacking direction.

マザー積層体をカットすることにより、複数のグリーンのセラミック素体が作製される。なお、マザー積層体のカッティングは、ダイシングや押切りにより行うことができる。さらに、グリーンのセラミック素体に対してバレル研磨などを施し、稜線部や角部を丸めてもよい。 By cutting the mother laminate, multiple green ceramic bodies are produced. The mother laminate can be cut by dicing or cutting. Furthermore, the green ceramic bodies may be subjected to barrel polishing or other methods to round the edges and corners.

焼成前に、グリーンチップに脱バインダ処理を施す。脱バインダ条件としては、昇温速度を好ましくは5~300℃/時間、保持温度を好ましくは180~800℃、温度保持時間を好ましくは0.5~24時間とする。また、脱バインダ雰囲気は、空気もしくは還元性雰囲気とする。 Before firing, the green chip is subjected to a binder removal process. The binder removal conditions are a temperature rise rate of preferably 5 to 300°C/hour, a holding temperature of preferably 180 to 800°C, and a temperature holding time of preferably 0.5 to 24 hours. The binder removal atmosphere is air or a reducing atmosphere.

焼成時の昇温速度は好ましくは50~500℃/時間、より好ましくは200~300℃/時間である。 The heating rate during firing is preferably 50 to 500°C/hour, more preferably 200 to 300°C/hour.

焼成時の保持温度は、好ましくは1200~1350℃、より好ましくは1220~1300℃であり、その保持時間は、好ましくは0.5~8時間、より好ましくは2~3時間である。 The firing temperature is preferably 1200 to 1350°C, more preferably 1220 to 1300°C, and the firing time is preferably 0.5 to 8 hours, more preferably 2 to 3 hours.

焼成雰囲気は、還元性雰囲気とすることが好ましく、雰囲気ガスとしてはたとえば、NとHとの混合ガスを加湿して用いることができる。 The firing atmosphere is preferably a reducing atmosphere, and the atmospheric gas may be, for example, a humidified mixed gas of N 2 and H 2 .

また、焼成時の酸素分圧は、導電性ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定されればよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、焼成雰囲気中の酸素分圧は、10-14~10-10MPaとすることが好ましい。酸素分圧を10-14MPa以上とすることで、内部電極層3の導電材が異常焼結を起こすことを防止しやすくなり、内部電極層3が途切れてしまうことを防止しやすくなる。また、酸素分圧を10-10MPa以下とすることで、内部電極層3の酸化を防止しやすくなる。降温速度は、好ましくは50~500℃/時間である。 In addition, the oxygen partial pressure during firing may be appropriately determined depending on the type of conductive material in the conductive paste, but when a base metal such as Ni or a Ni alloy is used as the conductive material, the oxygen partial pressure in the firing atmosphere is preferably 10 -14 to 10 -10 MPa. By setting the oxygen partial pressure to 10 -14 MPa or more, it becomes easier to prevent abnormal sintering of the conductive material of the internal electrode layers 3, and it becomes easier to prevent the internal electrode layers 3 from being broken. In addition, by setting the oxygen partial pressure to 10 -10 MPa or less, it becomes easier to prevent oxidation of the internal electrode layers 3. The temperature decreasing rate is preferably 50 to 500°C/hour.

還元性雰囲気中で焼成した後、セラミック素体10にはアニールを施してもよい。アニール雰囲気中の酸素分圧は10-9~10-5MPa、アニールの際の保持温度は950~1150℃、保持時間は0~20時間とすればよい。また、アニールの雰囲気ガスとしては、たとえば、加湿したNガス等を用いることができる。 After firing in a reducing atmosphere, the ceramic body 10 may be annealed. The oxygen partial pressure in the annealing atmosphere may be 10-9 to 10-5 MPa, the annealing temperature may be 950 to 1150°C, and the annealing time may be 0 to 20 hours. The annealing atmosphere gas may be, for example, humidified N2 gas.

上記した脱バインダ処理、焼成およびアニールにおいて、Nガスや混合ガス等を加湿するには、たとえばウェッター等を使用すればよい。この場合、水温は5~75℃程度が好ましい。 In the above-mentioned binder removal treatment, firing and annealing, N2 gas or mixed gas can be humidified using a wetter, etc. In this case, the water temperature is preferably about 5 to 75°C.

脱バインダ処理、焼成およびアニールは、連続して行なっても、独立に行なってもよい。 Binder removal, firing, and annealing may be performed consecutively or independently.

上記のようにして得られたセラミック素体10に、たとえばバレル研磨やサンドブラストなどにより端面研磨を施し、外部電極用ペーストを塗布し、焼成し、外部電極4を形成する。そして、必要に応じて、外部電極4の表面に、めっき等により被覆層を形成する。なお、外部電極用ペーストは、焼成後に外部電極用導電材を構成する外部電極用導電性粒子の他に、公知のバインダや溶剤を含む。 The ceramic body 10 obtained as described above has its end surfaces polished, for example by barrel polishing or sandblasting, and is then coated with external electrode paste and fired to form the external electrodes 4. If necessary, a coating layer is then formed on the surface of the external electrodes 4 by plating or other methods. The external electrode paste contains known binders and solvents in addition to external electrode conductive particles that constitute the external electrode conductive material after firing.

このようにして製造された本実施形態の積層セラミックコンデンサ1はハンダ付け等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。 The multilayer ceramic capacitor 1 of this embodiment manufactured in this manner is mounted on a printed circuit board by soldering or other means and used in various electronic devices, etc.

本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1の内部電極層3は、本実施形態に係る複合粒子12を含む導電性ペーストにより形成される。本実施形態に係る複合粒子12は微細であることから、積層セラミックコンデンサ1の薄層化の要求を満たすことができる。 The internal electrode layers 3 of the multilayer ceramic capacitor 1 according to this embodiment are formed from a conductive paste containing the composite particles 12 according to this embodiment. Because the composite particles 12 according to this embodiment are fine, they can meet the demand for thinner layers in the multilayer ceramic capacitor 1.

また、小粒子16は複合粒子12の焼結開始温度を高温側にシフトさせる効果を有し、本実施形態に係る複合粒子12は大粒子14の表面に小粒子16が付着した構成である。本実施形態に係る複合粒子12を有する導電性ペーストによれば、複合粒子12の焼結開始温度を効率よく高温側にシフトさせることができ、セラミック層2の焼結開始温度に近づけることができる。その結果、内部電極層3とセラミック層2との熱収縮挙動の相違に起因するセラミック層2のクラックを防ぐと共に、内部電極層3の電極途切れを防ぐことができる。 The small particles 16 also have the effect of shifting the sintering start temperature of the composite particles 12 to a higher temperature, and the composite particles 12 of this embodiment are configured such that the small particles 16 are attached to the surfaces of the large particles 14. The conductive paste containing the composite particles 12 of this embodiment can efficiently shift the sintering start temperature of the composite particles 12 to a higher temperature, bringing it closer to the sintering start temperature of the ceramic layer 2. As a result, cracks in the ceramic layer 2 due to differences in thermal contraction behavior between the internal electrode layer 3 and the ceramic layer 2 can be prevented, and electrode discontinuities in the internal electrode layer 3 can also be prevented.

さらに、上記の通り、本実施形態に係る複合粒子12によれば、内部電極層3の焼結開始温度を効率よく高温側にシフトさせることができるため、従来の導電性ペーストに比べて共材の含有量を少なくすることができる。これにより、共材がセラミック層2に及ぼす影響を低減することができる。 Furthermore, as described above, the composite particles 12 according to this embodiment can efficiently shift the sintering start temperature of the internal electrode layer 3 to a higher temperature, thereby reducing the content of the co-material compared to conventional conductive pastes. This reduces the effect of the co-material on the ceramic layer 2.

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。 The above describes an embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to the above-described embodiment and can be modified in various ways without departing from the spirit of the present invention.

本発明の電子部品は、積層セラミックコンデンサに限らず、その他の電子部品に適用することが可能である。その他の電子部品としては、セラミック層が内部電極層を介して積層される全ての電子部品であり、たとえば、バンドパスフィルタ、インダクタ、積層三端子フィルタ、圧電素子、PTCサーミスタ、NTCサーミスタ、バリスタなどである。 The electronic component of the present invention is not limited to multilayer ceramic capacitors and can be applied to other electronic components. Examples of other electronic components include all electronic components in which ceramic layers are stacked via internal electrode layers, such as bandpass filters, inductors, multilayer three-terminal filters, piezoelectric elements, PTC thermistors, NTC thermistors, and varistors.

たとえば、内部電極層3は複合粒子12と共に複合粒子12以外の導電性粒子を焼成することにより得られてもよい。導電性粒子の材質は特に限定されないが、Ni、Ni系合金、CuまたはCu系合金等を使用できる。 For example, the internal electrode layer 3 may be obtained by firing conductive particles other than the composite particles 12 together with the composite particles 12. The material of the conductive particles is not particularly limited, but Ni, Ni-based alloys, Cu, or Cu-based alloys, etc., can be used.

この場合に用いられる導電性ペーストでは、複合粒子12および導電性粒子の合計含有量を100質量%としたときに、複合粒子12が20質量%以上60質量%以下含まれることが好ましく、25質量%以上45質量%以下含まれることがより好ましい。 In this case, the conductive paste used preferably contains 20% by mass or more and 60% by mass or less of composite particles 12, and more preferably 25% by mass or more and 45% by mass or less, when the total content of composite particles 12 and conductive particles is 100% by mass.

また、内部電極層3は、小粒子16に由来しない共材を含んでいてもよい。小粒子16に由来しない共材は、導電性ペーストに複合粒子12の一部としてではなく、単独で共材として添加される。小粒子16に由来しない共材の平均粒径は特に限定されず、小粒子16の平均粒径より大きくてもよく、好ましくは0.003μm以上0.100μm以下である。小粒子16に由来しない共材の材質は特に限定されないが、セラミック層2の組成へ与える影響を低減するために、セラミック層2を構成する材質を用いることが好ましい。 The internal electrode layer 3 may also contain a co-material that is not derived from the small particles 16. The co-material that is not derived from the small particles 16 is added to the conductive paste as a co-material alone, rather than as part of the composite particles 12. The average particle size of the co-material that is not derived from the small particles 16 is not particularly limited and may be larger than the average particle size of the small particles 16, preferably 0.003 μm or more and 0.100 μm or less. The material of the co-material that is not derived from the small particles 16 is not particularly limited, but it is preferable to use the material that constitutes the ceramic layer 2 in order to reduce the effect on the composition of the ceramic layer 2.

さらに、外部電極4の形成に際して、ペーストを焼成することにより形成するのではなく、複合粒子12を含む樹脂により外部電極4を形成してもよい。すなわち、外部電極4を複合粒子12を含む樹脂電極としてもよい。 Furthermore, when forming the external electrode 4, instead of forming it by firing a paste, the external electrode 4 may be formed from a resin containing composite particles 12. In other words, the external electrode 4 may be a resin electrode containing composite particles 12.

以下、本発明の実施例を挙げ、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。 The present invention will be explained in more detail below using examples, but the present invention is not limited to these examples.

<試料番号2~5、11、12>
複合粒子12を構成する大粒子14としてNi粒子を準備し、小粒子16としてSiO粒子を準備し、静電吸着によりNi粒子にSiO粒子を付着させた。
<Sample Nos. 2 to 5, 11, and 12>
Ni particles were prepared as the large particles 14 constituting the composite particles 12, and SiO 2 particles were prepared as the small particles 16, and the SiO 2 particles were attached to the Ni particles by electrostatic adsorption.

具体的には、下記の通りとした。まず、Ni粒子をPDDAの水溶液と混合し、Ni粒子をプラスに帯電させた。プラスに帯電しているNi粒子を含む水溶液中に元々マイナスに帯電しているSiO粒子を投入し、Ni粒子とSiO粒子とを静電吸着により複合化させた。乾燥して、複合粒子を得た。複合粒子における大粒子と小粒子の合計体積に対する小粒子の体積は表1に記載の通りであった。 Specifically, the procedure was as follows. First, Ni particles were mixed with an aqueous solution of PDDA to positively charge the Ni particles. Originally negatively charged SiO2 particles were added to the aqueous solution containing the positively charged Ni particles, and the Ni particles and SiO2 particles were composited by electrostatic adsorption. The composite particles were then dried to obtain composite particles. The volume of the small particles relative to the total volume of the large and small particles in the composite particles was as shown in Table 1.

得られた複合粒子の乾燥膜をフラットミリングで削って断面をSEM観察し、(R×80)×(R×60)となる視野における小粒子の凝集の数を数えた。試料番号2~5、11および12では小粒子の凝集の数が0個であった。 The resulting dried film of composite particles was scraped off using flat milling, and the cross section was observed using an SEM. The number of small particle agglomerates was counted within a field of view of (R x 80) x (R x 60). Samples 2 to 5, 11, and 12 showed zero small particle agglomerates.

凝集の数を数えるために準備した乾燥膜となった複合粒子とは別の複合粒子をエタノール中に0.5質量%の割合で投入し、1分間ボルテックスミキサーにより混合した。1~2時間静置し、複合粒子を沈降させた。上澄みをデカンテーションで除き、もう一度エタノールを加えて混合した。得られた複合粒子含有液をSEMステージ上に滴下して風乾させてSEM観察した。大粒子の平均粒径R、小粒子16の平均粒径rおよび大粒子に対する小粒子の平均被覆率を測定した。平均粒径Rおよび平均粒径rは表1に示す通りであった。試料番号2~5、11および12では平均被覆率が3%以上50%以下であった。 Composite particles other than those that formed into a dried film and were prepared for counting the number of agglomerates were added to ethanol at a ratio of 0.5% by mass and mixed with a vortex mixer for 1 minute. The mixture was left to stand for 1-2 hours to allow the composite particles to settle. The supernatant was removed by decantation, and ethanol was added again and mixed. The resulting composite particle-containing liquid was dropped onto an SEM stage, air-dried, and observed with an SEM. The average particle size R of the large particles, the average particle size r of the small particles 16, and the average coverage ratio of the small particles to the large particles were measured. The average particle size R and average particle size r were as shown in Table 1. For sample numbers 2-5, 11, and 12, the average coverage ratio was 3% or more and 50% or less.

次に導電性ペーストを準備した。導電性ペーストのバインダとしては、エチルセルロースを用い、溶剤としてはテルピネオールを用いた。得られた複合粒子45質量部、バインダ45質量部および溶剤52質量部を混合して導電性ペーストを得た。 Next, a conductive paste was prepared. Ethyl cellulose was used as the binder for the conductive paste, and terpineol was used as the solvent. 45 parts by weight of the resulting composite particles, 45 parts by weight of the binder, and 52 parts by weight of the solvent were mixed to obtain a conductive paste.

誘電体シート上に、導電性ペーストを塗布し、サンプルチップを得た。 Conductive paste was applied to the dielectric sheet to obtain a sample chip.

次いで、得られたサンプルチップについて、脱バインダ処理および焼成を下記条件にて行い電極層を得た。 The resulting sample chip was then subjected to binder removal and firing under the following conditions to obtain an electrode layer.

脱バインダ処理条件は、昇温速度:25℃/時間、保持温度:260℃、温度保持時間:8時間、雰囲気:空気中とした。 The binder removal treatment conditions were: temperature rise rate: 25°C/hour, holding temperature: 260°C, temperature holding time: 8 hours, atmosphere: air.

焼成条件は、昇温速度:200℃/時間、保持温度:1200~1350℃とし、保持時間を1時間とした。降温速度は200℃/時間とした。なお、雰囲気ガスは、加湿したN+H混合ガスとし、酸素分圧が10-12MPaとなるようにした。 The firing conditions were a temperature increase rate of 200°C/hour, a holding temperature of 1200 to 1350°C, and a holding time of 1 hour. The temperature decrease rate was 200°C/hour. The atmospheric gas was a humidified N2 + H2 mixed gas, and the oxygen partial pressure was set to 10-12 MPa.

なお、焼成工程については、熱機械分析(TMA)により、電極層の焼結開始温度および熱収縮進行度を測定した。TMAの測定機器はRigaku社製、品名Thermo plus EVO2を用いた。結果を表1に示す。熱収縮進行度は、表1および後述する表2~表4に示すように、大粒子がNiの場合は1300℃における内部電極層の厚みを100%とし、後述する表5に示すように大粒子がAgの場合は700℃における内部電極層の厚みを100%とした場合の数値である。焼結開始温度は、熱収縮進行度が10%となったときの温度である。 The sintering start temperature and degree of thermal shrinkage of the electrode layer during the firing process were measured using thermomechanical analysis (TMA). The TMA measuring device used was a Thermo Plus EVO2 manufactured by Rigaku Corporation. The results are shown in Table 1. The degree of thermal shrinkage is calculated based on the thickness of the internal electrode layer at 1300°C being 100% when the large particles are Ni, as shown in Table 1 and Tables 2 to 4 described below, and the thickness of the internal electrode layer at 700°C being 100% when the large particles are Ag, as shown in Table 5 described below. The sintering start temperature is the temperature at which the degree of thermal shrinkage reaches 10%.

<試料番号21、22>
焼成後に導電性ペーストに複合粒子ではなく表1に記載の平均粒径Rを有するNi粒子を用いた以外は表1の各試料と同様にしてTMAにより測定した。結果を表2に示す。
<Sample Nos. 21 and 22>
After firing, the conductive paste was subjected to TMA measurement in the same manner as for each sample in Table 1, except that Ni particles having the average particle size R shown in Table 1 were used in place of composite particles. The results are shown in Table 2.

<試料番号31~33>
小粒子16として、SiO粒子に替えて、BaTiO粒子を用い、下記の方法により複合粒子を作製した以外は、表1の各試料と同様にしてTMAにより測定した。結果を表3に示す。
<Sample Nos. 31 to 33>
The small particles 16 were measured by TMA in the same manner as the samples in Table 1, except that BaTiO3 particles were used instead of SiO2 particles and composite particles were prepared by the following method. The results are shown in Table 3.

まず、Ni粒子(大粒子14)をPDDAの水溶液と混合し、Ni粒子の表面をプラスに帯電させた。表面がプラスに帯電しているNi粒子を含む水溶液の溶剤を水から有機溶剤に置換し、「表面がプラスに帯電しているNi粒子を含む分散液」を準備した。また、「表面がマイナスに帯電しているBaTiOを含む分散液」も準備した。 First, Ni particles (large particles 14) were mixed with an aqueous solution of PDDA to positively charge the surfaces of the Ni particles. The solvent of the aqueous solution containing the Ni particles with positively charged surfaces was replaced with an organic solvent to prepare a "dispersion containing Ni particles with positively charged surfaces." A "dispersion containing BaTiO3 with negatively charged surfaces" was also prepared.

「表面がプラスに帯電しているNi粒子を含む分散液」と、「表面がマイナスに帯電しているBaTiO粒子を含む分散液」とを混合し、静電吸着によりNi粒子にBaTiO粒子を吸着させて複合粒子を得た。複合粒子を含む有機溶媒をSEMステージ上に滴下して風乾させてSEM観察した。結果を表3に示す。試料番号31~33では平均被覆率が3%以上50%以下であり、小粒子の凝集の数が0個であった。 A "dispersion containing Ni particles with positively charged surfaces" and a "dispersion containing BaTiO3 particles with negatively charged surfaces" were mixed, and the BaTiO3 particles were electrostatically adsorbed onto the Ni particles to obtain composite particles. The organic solvent containing the composite particles was dropped onto an SEM stage, air-dried, and observed with an SEM. The results are shown in Table 3. For sample numbers 31 to 33, the average coverage was 3% or more and 50% or less, and the number of small particle agglomerates was zero.

<試料番号41~43>
小粒子の材質をSiO粒子に替えて、表4に記載の材質の粒子とした以外は、表1の各試料と同様にしてTMAにより測定した。結果を表1に示す。なお、試料番号41~43では平均被覆率が3%以上50%以下であり、小粒子の凝集の数が0個であった。
<Sample Nos. 41 to 43>
The TMA measurements were performed in the same manner as for each sample in Table 1, except that the material of the small particles was changed to SiO2 particles and particles of the material shown in Table 4 were used. The results are shown in Table 1. In addition, for sample numbers 41 to 43, the average coverage was 3% or more and 50% or less, and the number of small particle agglomerations was 0.

<試料番号52>
大粒子の材質をNi粒子に替えて、表5に記載の材質の粒子とした以外は、表1の各試料と同様にしてTMAにより測定した。結果を表5に示す。なお、試料番号52では平均被覆率が3%以上50%以下であり、小粒子の凝集の数が0個であった。
<Sample No. 52>
The TMA measurements were performed in the same manner as for each sample in Table 1, except that the material of the large particles was changed to Ni particles and particles of the material shown in Table 5 were used. The results are shown in Table 5. Note that for sample number 52, the average coverage was 3% or more and 50% or less, and the number of agglomerations of small particles was zero.

<試料番号71~78>
さらに被覆率ばらつき、被覆率0%の複合粒子の数、被覆率0%の複合粒子の割合、仮想円に含まれる小粒子の数および小粒子の凝集の有無を測定した以外は、表1の各試料と同様にして、TMAにより焼結開始温度を測定した。結果を表6および7に示す。
<Sample Nos. 71 to 78>
Furthermore, the sintering initiation temperature was measured by TMA in the same manner as for each sample in Table 1, except that the variation in coverage, the number of composite particles with a coverage of 0%, the proportion of composite particles with a coverage of 0%, the number of small particles contained in the imaginary circle, and the presence or absence of aggregation of small particles were measured. The results are shown in Tables 6 and 7.

<積層セラミックコンデンサ>
試料番号5における複合粒子を用いて下記の通り、積層セラミックコンデンサを製造した。
<Multilayer ceramic capacitors>
Using the composite particles of Sample No. 5, a multilayer ceramic capacitor was produced as follows.

内部電極層を形成する導電性ペーストを準備した。導電性ペーストのバインダとしては、エチルセルロースを用い、溶剤としてはテルピネオールを用いた。得られた複合粒子45質量%、バインダ3質量%および溶剤52質量%を混合して導電性ペーストを得た。 A conductive paste for forming the internal electrode layers was prepared. Ethyl cellulose was used as the binder for the conductive paste, and terpineol was used as the solvent. 45% by weight of the resulting composite particles, 3% by weight of binder, and 52% by weight of solvent were mixed to obtain a conductive paste.

積層セラミックコンデンサ用のセラミック素体10として、BaTiOを主成分とするセラミックグリーンシート上に、導電性ペーストを塗布して、内部電極層3に対応する導電パターンを形成した。 To prepare the ceramic element 10 for the multilayer ceramic capacitor, a conductive paste was applied to a ceramic green sheet containing BaTiO 3 as the main component, and a conductive pattern corresponding to the internal electrode layer 3 was formed.

導電パターンが形成されていない複数のセラミックグリーシート、導電パターンが形成されたセラミックグリーンシート、および導電パターンが形成されていない複数のセラミックグリーンシートをこの順で積層し、積層方向にプレスすることにより、マザー積層体を作製した。 A mother laminate was produced by stacking multiple ceramic green sheets without conductive patterns, a ceramic green sheet with a conductive pattern, and multiple ceramic green sheets without conductive patterns in this order and pressing them in the stacking direction.

マザー積層体をカットすることにより、複数のグリーンのセラミック素体を作製した。 Multiple green ceramic bodies were produced by cutting the mother laminate.

次いで、得られたグリーンチップについて、脱バインダ処理、焼成およびアニールを下記条件にて行って、積層セラミック焼成体(セラミック素体)を得た。 The resulting green chip was then subjected to binder removal, firing, and annealing under the following conditions to obtain a laminated ceramic fired body (ceramic element).

脱バインダ処理条件は、昇温速度:25℃/時間、保持温度:500℃、温度保持時間:8時間、雰囲気:加湿したN+H混合ガスとした。 The binder removal treatment conditions were as follows: temperature rise rate: 25° C./hour, holding temperature: 500° C., temperature holding time: 8 hours, atmosphere: humidified N 2 +H 2 mixed gas.

焼成条件は、昇温速度:200℃/時間、保持温度:1200~1350℃とし、保持時間を1時間とした。降温速度は200℃/時間とした。なお、雰囲気ガスは、加湿したN+H混合ガスとし、酸素分圧が10-12MPaとなるようにした。 The firing conditions were a temperature increase rate of 200°C/hour, a holding temperature of 1200 to 1350°C, and a holding time of 1 hour. The temperature decrease rate was 200°C/hour. The atmospheric gas was a humidified N2 + H2 mixed gas, and the oxygen partial pressure was set to 10-12 MPa.

アニール条件は、昇温速度:200℃/時間、保持温度:1000℃、温度保持時間:2時間、降温速度:200℃/時間、雰囲気ガス:加湿したNガス(酸素分圧:10-7MPa)とした。 The annealing conditions were as follows: temperature rise rate: 200° C./hour, holding temperature: 1000° C., temperature holding time: 2 hours, temperature drop rate: 200° C./hour, atmospheric gas: humidified N 2 gas (oxygen partial pressure: 10 −7 MPa).

なお、焼成およびアニールの際の雰囲気ガスの加湿には、ウェッターを用いた。 A wetter was used to humidify the atmospheric gas during firing and annealing.

次いで、得られたセラミック素体の端面をサンドブラストにて研磨した後、外部電極としてCuを塗布し、図1に示す積層セラミックコンデンサの試料を得た。得られたコンデンサ試料のサイズは、1.0mm×0.5mm×0.5mmであり、誘電体層の厚み3.0μm、内部電極層の厚み1.5μm、内部電極層に挟まれた誘電体層の数は4とした。 Next, the end faces of the obtained ceramic body were polished by sandblasting, and Cu was applied as external electrodes to obtain the multilayer ceramic capacitor sample shown in Figure 1. The size of the obtained capacitor sample was 1.0 mm x 0.5 mm x 0.5 mm, with a dielectric layer thickness of 3.0 μm, an internal electrode layer thickness of 1.5 μm, and four dielectric layers sandwiched between the internal electrode layers.

表1~5より小粒子を含む場合(試料番号2~5、11、12、31~33、41~43、52)は小粒子を含まない場合(試料番号21、22)に比べて焼結開始温度が高く熱収縮が緩やかに進行することが確認できた。 Tables 1 to 5 confirm that samples containing small particles (sample numbers 2 to 5, 11, 12, 31 to 33, 41 to 43, and 52) have a higher sintering start temperature and thermal shrinkage progresses more slowly than samples not containing small particles (sample numbers 21 and 22).

1… 積層セラミックコンデンサ
2… セラミック層(誘電体層)
3… 内部電極層
4… 外部電極
10… セラミック素体
12… 複合粒子
14… 大粒子
16… 小粒子
18… 仮想円
1... Multilayer ceramic capacitor 2... Ceramic layer (dielectric layer)
3... Internal electrode layer 4... External electrode 10... Ceramic body 12... Composite particle 14... Large particle 16... Small particle 18... Imaginary circle

Claims (9)

大粒子と、前記大粒子の表面に付着してあり前記大粒子よりも平均粒径が小さい小粒子と、を有し、
前記大粒子の平均粒径をRと表し、前記小粒子の平均粒径をrと表し、
前記Rが30nm以上300nm以下であり、
前記rが3nm以上30nm以下であり、
前記大粒子の材質はニッケル、ニッケル合金、銀および銀合金から選ばれる少なくとも1つであり、
前記小粒子の材質はチタン酸バリウム、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウムおよび酸化ジルコニウムから選ばれる少なくとも1つであり、
前記大粒子に対する前記小粒子の平均被覆率が3.0%以上47.5%以下であり、
前記大粒子に対する前記小粒子の被覆率の標準偏差で示される被覆率ばらつきは、0%以上20%以下である複合粒子。
The method comprises: a large particle; and a small particle attached to the surface of the large particle and having an average particle size smaller than that of the large particle,
The average particle size of the large particles is represented by R, and the average particle size of the small particles is represented by r;
The R is 30 nm or more and 300 nm or less,
The r is 3 nm or more and 30 nm or less,
the large particles are made of at least one material selected from nickel, nickel alloys , silver, and silver alloys;
the small particles are made of at least one material selected from barium titanate, silicon oxide, titanium oxide, aluminum oxide, and zirconium oxide;
an average coverage ratio of the small particles to the large particles is 3.0% or more and 47.5% or less;
Composite particles , wherein the variation in coverage, represented by the standard deviation of the coverage of the small particles relative to the large particles, is 0% or more and 20% or less .
前記大粒子と、前記小粒子との粒径比(r/R)は、0.01以上0.17以下である請求項1に記載の複合粒子。 The composite particles described in claim 1, wherein the particle size ratio (r/R) between the large particles and the small particles is 0.01 or more and 0.17 or less. 前記大粒子および前記小粒子の合計体積を100vol%としたとき、
前記小粒子の体積が1vol%以上23vol%以下である請求項1または2に記載の複合粒子。
When the total volume of the large particles and the small particles is 100 vol%,
3. The composite particle according to claim 1, wherein the volume of the small particles is 1 vol % or more and 23 vol % or less.
前記大粒子に対する前記小粒子の被覆率が0%である前記複合粒子の割合が60%以下である請求項1~のいずれかに記載の複合粒子。 4. The composite particles according to claim 1, wherein the proportion of the composite particles in which the coverage of the small particles with respect to the large particles is 0% is 60% or less. 前記大粒子と、前記小粒子との粒径比(r/R)が0.07~0.09であり、
仮想円18に含まれる小粒子16の数が0個以上20個以下であり、
前記仮想円は、輪郭が確認できる前記大粒子の重心を重心とし、前記大粒子の粒径に0.25を乗じた長さの半径となる円である請求項1~のいずれかに記載の複合粒子。
the particle size ratio (r/R) of the large particles to the small particles is 0.07 to 0.09;
The number of small particles 16 included in the imaginary circle 18 is 0 to 20,
The composite particle according to any one of claims 1 to 4 , wherein the imaginary circle has a center of gravity of the large particle whose outline can be confirmed, and a radius of the circle whose length is 0.25 multiplied by the particle diameter of the large particle.
請求項1~のいずれかに記載の複合粒子と、バインダと、溶剤と、を有する導電性ペースト。 A conductive paste comprising the composite particles according to any one of claims 1 to 5 , a binder, and a solvent. 所定視野における前記小粒子の凝集の数が0個であり、
前記所定視野は、一辺が前記大粒子の粒径に80を乗じた長さであり、隣り合う他の一辺が前記大粒子の粒径に60を乗じた長さである長方形である請求項に記載の導電性ペースト。
the number of agglomerations of the small particles in a predetermined field of view is 0;
7. The conductive paste according to claim 6 , wherein the predetermined field of view is a rectangle having one side whose length is 80 times the particle diameter of the large particle and another adjacent side whose length is 60 times the particle diameter of the large particle.
セラミック層と、内部電極層とを有する電子部品であって、
前記内部電極層が請求項またはに記載の導電性ペーストから形成されている電子部品。
An electronic component having a ceramic layer and an internal electrode layer,
An electronic component, wherein the internal electrode layers are formed from the conductive paste according to claim 6 or 7 .
電極層を有する電子部品であって、
前記電極層が請求項またはに記載の導電性ペーストから形成されている電子部品。
An electronic component having an electrode layer,
An electronic component, wherein the electrode layer is formed from the conductive paste according to claim 6 or 7 .
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