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JP7773620B2 - Plasma irradiation device and method for producing plasma-treated liquid - Google Patents
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JP7773620B2 - Plasma irradiation device and method for producing plasma-treated liquid - Google Patents

Plasma irradiation device and method for producing plasma-treated liquid

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JP7773620B2 JP2024505754A JP2024505754A JP7773620B2 JP 7773620 B2 JP7773620 B2 JP 7773620B2 JP 2024505754 A JP2024505754 A JP 2024505754A JP 2024505754 A JP2024505754 A JP 2024505754A JP 7773620 B2 JP7773620 B2 JP 7773620B2
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Description

本開示は、被処理体にプラズマを照射する技術に関するものである。 This disclosure relates to technology for irradiating a workpiece with plasma.

特許文献1には、カバーハウジングの内部に向かってプラズマを噴出するプラズマ発生装置と、カバーハウジングの内部にガスを供給するガス供給装置と、カバーハウジングの内部に配設され、被処理体を載置するためのステージと、ステージを移動させ、ステージと、プラズマ発生装置のカバーハウジングの内部へのプラズマの噴出口との間の距離を任意に変更するための移動装置と、を備えるプラズマ照射装置が記載されている。 Patent Document 1 describes a plasma irradiation device that includes a plasma generator that ejects plasma toward the inside of a cover housing, a gas supply device that supplies gas to the inside of the cover housing, a stage that is disposed inside the cover housing and on which an object to be treated is placed, and a movement device that moves the stage and arbitrarily changes the distance between the stage and the plasma ejection port of the plasma generator that ejects plasma into the inside of the cover housing.

そして、このプラズマ照射装置では、ステージとプラズマの噴出口との間の距離の調節は、ステージの隣に立設された、目盛り付きの計測ロッドの目盛りを目視することにより行うようにしている。 In this plasma irradiation device, the distance between the stage and the plasma nozzle is adjusted by visually checking the scale on a graduated measuring rod installed next to the stage.

特許第6697470号公報Patent No. 6697470

しかし、特許文献1に記載のプラズマ照射装置では、ステージとプラズマの噴出口との間の距離の調節を、計測ロッドの目盛りを目視することにより行うようにしているので、例えばメンテナンスなどで部品を着脱した場合、ステージとプラズマの噴出口との間の距離が部品を着脱する前と後で変わり、プラズマ照射された被処理液体の品質が低下してしまうことがある。この主要因は、距離調整時のずれや目盛り読取り時の視差による誤差が必然的に生じることである。したがって、特許文献1に記載のプラズマ照射装置では、部品を着脱した後に、着脱前に適正に調整した距離に戻すことは非常に困難である。 However, in the plasma irradiation device described in Patent Document 1, the distance between the stage and the plasma nozzle is adjusted by visually checking the scale on the measuring rod. Therefore, if a part is attached or detached, for example, for maintenance, the distance between the stage and the plasma nozzle changes before and after the part is attached or detached, which can result in a decrease in the quality of the plasma-irradiated treated liquid. The main cause of this is the inevitable occurrence of errors due to misalignment when adjusting the distance and parallax when reading the scale. Therefore, in the plasma irradiation device described in Patent Document 1, it is extremely difficult to return the distance to the properly adjusted distance after attaching or detaching a part.

本開示は、被処理液体とプラズマ発生装置との距離を適正に調整した後に再度、その適正距離に戻すことが可能となる技術を提供することを目的とする。 The purpose of this disclosure is to provide technology that makes it possible to properly adjust the distance between the liquid to be treated and the plasma generator, and then return it to that proper distance.

上記目的を達成するため、本開示のプラズマ照射装置は、被処理液体を貯留する貯留容器と、貯留容器内に貯留された被処理液体に照射するプラズマを発生するプラズマ発生装置と、貯留容器内に貯留された被処理液体とプラズマ発生装置との距離を調節するために、貯留容器をプラズマ発生装置に近づく方向及びプラズマ発生装置から離れる方向のいずれの方向にも移動させることができる移動機構と、移動機構により移動された貯留容器の移動量を示す位置情報を出力するエンコーダと、貯留容器を載置するためのステージと、ステージの裏面に連結されたシャフトと、を備えたプラズマ照射装置であって、移動機構は、シャフトを上下方向に移動させることにより、貯留容器内に貯留された被処理液体とプラズマ発生装置との距離を調節し、エンコーダは、シャフトに連結され、移動機構により移動されたシャフトの移動量を示す位置情報を出力し、貯留容器は、被処理液体を貯留する貯留部と、プラズマ照射装置の外部から貯留部に被処理液体を送液する送液管を取り付ける送液管取付部と、貯留部に貯留された被処理液体を排液するために貯留部の底面に設けられた排液穴と、排液穴を含む位置から貯留容器の下方に突出して形成された排出部と、を有し、排出部には、排液穴と連通した貫通孔と、貫通孔を通る排液を、プラズマ照射装置の外部に排出するための排液管を取り付ける排液管取付部と、が形成され、ステージには、排出部を嵌め合わせるための切欠きが形成され、貯留容器を前記ステージに載置するときには、貯留容器の排出部をステージの前記切欠きに嵌め合わせることにより載置する In order to achieve the above object, the plasma irradiation device of the present disclosure includes a storage container for storing a liquid to be treated, a plasma generation device for generating plasma to be irradiated onto the liquid to be treated stored in the storage container, a movement mechanism capable of moving the storage container in either a direction toward or away from the plasma generation device in order to adjust the distance between the liquid to be treated stored in the storage container and the plasma generation device, an encoder that outputs position information indicating the amount of movement of the storage container moved by the movement mechanism, a stage for placing the storage container, and a shaft connected to the back surface of the stage , wherein the movement mechanism adjusts the distance between the liquid to be treated stored in the storage container and the plasma generation device by moving the shaft in the vertical direction, and the encoder is connected to the shaft and outputs position information indicating the amount of movement of the shaft moved by the moving mechanism, and the storage container has a storage section for storing the liquid to be treated, a liquid delivery pipe attachment section for attaching a liquid delivery pipe for delivering the liquid to be treated from outside the plasma irradiation device to the storage section, a drain hole provided on the bottom surface of the storage section for draining the liquid to be treated stored in the storage section, and a discharge section formed protruding downward from the storage container from a position including the drain hole, and the discharge section has a through hole communicating with the drain hole and a drain pipe attachment section for attaching a drain pipe for discharging the waste liquid passing through the through hole to the outside of the plasma irradiation device, and the stage has a notch for fitting the discharge section, and when the storage container is placed on the stage, it is placed by fitting the discharge section of the storage container into the notch of the stage .

本開示によれば、被処理液体とプラズマ発生装置との距離を適正に調整することが可能となる。 This disclosure makes it possible to appropriately adjust the distance between the liquid to be treated and the plasma generator.

本開示の第1実施形態に係る大気圧プラズマ照射装置の斜視図である。1 is a perspective view of an atmospheric pressure plasma irradiation device according to a first embodiment of the present disclosure. FIG. 図1中のプラズマ発生装置の分解図である。FIG. 2 is an exploded view of the plasma generating device in FIG. 1. 図1中のプラズマ発生装置の分解図である。FIG. 2 is an exploded view of the plasma generating device in FIG. 1. 図1中のプラズマ発生装置の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the plasma generating device in FIG. 1. 照射ブロックの斜視図((a))及びそのBB線における断面斜視図((b))である。1A is a perspective view of an irradiation block, and FIG. 1B is a cross-sectional perspective view taken along line BB of the irradiation block. 図1中の制御装置のブロック図である。FIG. 2 is a block diagram of a control device in FIG. 1 . 本開示の第2実施形態に係る大気圧プラズマ照射装置の斜視図である。FIG. 10 is a perspective view of an atmospheric plasma irradiation device according to a second embodiment of the present disclosure. 図7中の制御装置のブロック図である。FIG. 8 is a block diagram of the control device in FIG. 7 . 図8の制御装置に含まれるコントローラが実行する適正距離の再設定処理の手順を示すフローチャートである。10 is a flowchart showing the procedure of a process for resetting an appropriate distance executed by a controller included in the control device of FIG. 8 .

以下、本開示の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Embodiments of the present disclosure are described in detail below with reference to the drawings.

(第1実施形態)
図1は、本開示の第1実施形態に係る大気圧プラズマ照射装置10を示している。大気圧プラズマ照射装置10は、大気圧下でプラズマを培養液(「被処理液体」の一例)に照射するための装置であり、プラズマ発生装置20と、カバーハウジング22と、開閉機構24と、ステージ26と、昇降装置100と、パージガス供給機構32(図6参照)と、濃度検出機構34(図6参照)と、制御装置38とを備えている。なお、大気圧プラズマ照射装置10の幅方向をX方向と、大気圧プラズマ照射装置10の奥行方向をY方向と、X方向とY方向とに直行する方向、つまり、上下方向をZ方向と称する。
(First embodiment)
1 shows an atmospheric plasma irradiation device 10 according to a first embodiment of the present disclosure. The atmospheric plasma irradiation device 10 is an apparatus for irradiating a culture solution (an example of a "liquid to be treated") with plasma under atmospheric pressure, and includes a plasma generator 20, a cover housing 22, an opening/closing mechanism 24, a stage 26, an elevating device 100, a purge gas supply mechanism 32 (see FIG. 6), a concentration detection mechanism 34 (see FIG. 6), and a control device 38. The width direction of the atmospheric plasma irradiation device 10 is referred to as the X direction, the depth direction of the atmospheric plasma irradiation device 10 as the Y direction, and the direction perpendicular to the X direction and the Y direction, i.e., the up-down direction, as the Z direction.

プラズマ発生装置20は、図2~図4に示すように、カバー50と、上部ブロック52と、下部ブロック54と、1対の電極56と、ノズルブロック58とを含む。カバー50は、概して、有蓋四角筒形状をなし、カバー50の内部に、上部ブロック52が配設されている。上部ブロック52は、概して直方体形状をなし、セラミックにより成形されている。上部ブロック52の下面には、1対の円柱状の円柱凹部60が形成されている。 As shown in Figures 2 to 4, the plasma generator 20 includes a cover 50, an upper block 52, a lower block 54, a pair of electrodes 56, and a nozzle block 58. The cover 50 is generally shaped like a covered rectangular cylinder, with the upper block 52 disposed inside the cover 50. The upper block 52 is generally shaped like a rectangular parallelepiped and is made of ceramic. A pair of cylindrical recesses 60 are formed on the underside of the upper block 52.

また、下部ブロック54も、概して直方体形状をなし、セラミックにより成形されている。下部ブロック54の上面には、凹部62が形成されており、凹部62は、1対の円柱状の円柱凹部66と、それら1対の円柱凹部66を連結する連結凹部68とによって構成されている。そして、下部ブロック54が、カバー50の下端から突出した状態で、上部ブロック52の下面に固定されており、上部ブロック52の円柱凹部60と、下部ブロック54の円柱凹部66とが連通している。なお、円柱凹部60と円柱凹部66とは、略同径とされている。また、凹部62の底面には、下部ブロック54の下面に貫通するスリット70が形成されている。 The lower block 54 also has a generally rectangular parallelepiped shape and is molded from ceramic. A recess 62 is formed in the upper surface of the lower block 54, and the recess 62 is composed of a pair of cylindrical recesses 66 and a connecting recess 68 that connects the pair of cylindrical recesses 66. The lower block 54 is fixed to the underside of the upper block 52 while protruding from the lower end of the cover 50, and the cylindrical recess 60 of the upper block 52 and the cylindrical recess 66 of the lower block 54 are connected. The cylindrical recesses 60 and 66 have approximately the same diameter. A slit 70 is formed in the bottom surface of the recess 62, penetrating through to the underside of the lower block 54.

1対の電極56の各々は、上部ブロック52の円柱凹部60と、下部ブロック54の円柱凹部66とによって区画される円柱状の空間に配設されている。なお、電極56の外径は、円柱凹部60,66の内径より小さい。また、ノズルブロック58は、概して平板状をなし、下部ブロック54の下面に固定されている。ノズルブロック58には、下部ブロック54のスリット70と連通する噴出口72が形成されており、その噴出口72は、ノズルブロック58を上下方向に貫通している。 Each of the pair of electrodes 56 is disposed in a cylindrical space defined by a cylindrical recess 60 in the upper block 52 and a cylindrical recess 66 in the lower block 54. The outer diameter of the electrode 56 is smaller than the inner diameter of the cylindrical recesses 60, 66. The nozzle block 58 is generally flat and is fixed to the underside of the lower block 54. The nozzle block 58 has an ejection port 72 formed therein that communicates with the slit 70 in the lower block 54, and the ejection port 72 passes through the nozzle block 58 in the vertical direction.

プラズマ発生装置20は、さらに、処理ガス供給装置74(図6参照)を有している。処理ガス供給装置74は、酸素等の活性ガスと窒素等の不活性ガスとを任意の割合で混合させた処理ガスを供給する装置であり、円柱凹部60,66によって区画される円柱状の空間及び、連結凹部68の上部に、配管(図示せず)を介して、連結されている。これにより、電極56と円柱凹部66との隙間、及び、連結凹部68の上部から、処理ガスが、凹部62の内部に供給される。 The plasma generator 20 further includes a process gas supply device 74 (see Figure 6). The process gas supply device 74 supplies a process gas that is a mixture of an active gas such as oxygen and an inert gas such as nitrogen in any ratio, and is connected via piping (not shown) to the cylindrical space defined by the cylindrical recesses 60, 66 and to the top of the connecting recess 68. This allows the process gas to be supplied into the recess 62 from the gap between the electrode 56 and the cylindrical recess 66 and the top of the connecting recess 68.

このような構造により、プラズマ発生装置20は、ノズルブロック58の噴出口72からプラズマを噴出する。詳しくは、凹部62の内部に、処理ガス供給装置74によって処理ガスが供給される。この際、凹部62では、1対の電極56に電圧が印加されており、1対の電極56間に電流が流れる。これにより、1対の電極56間に放電が生じ、その放電により、処理ガスがプラズマ化される。そして、プラズマが、スリット70を介して、噴出口72から噴出される。 With this structure, the plasma generator 20 ejects plasma from the nozzle 72 of the nozzle block 58. More specifically, a processing gas is supplied to the interior of the recess 62 by the processing gas supply device 74. At this time, a voltage is applied to the pair of electrodes 56 in the recess 62, and a current flows between the pair of electrodes 56. This causes a discharge between the pair of electrodes 56, which converts the processing gas into plasma. The plasma is then ejected from the nozzle 72 through the slit 70.

また、カバーハウジング22は、図1に示すように、上部カバー76と、下部カバー78とを含む。上部カバー76は、概して有蓋円筒状をなし、上部カバー76の蓋部には、プラズマ発生装置20の下部ブロック54に応じた形状の貫通穴(図示せず)が形成されている。そして、その貫通穴を覆うように、プラズマ発生装置20のカバー50が、上部カバー76の蓋部に立設された状態で固定されている。このため、プラズマ発生装置20の下部ブロック54及びノズルブロック58が、上部カバー76の内部に向かって、Z方向に延びるように、突出している。これにより、プラズマ発生装置20によって発生されたプラズマが、ノズルブロック58の噴出口72から、上部カバー76の内部に向かって、Z方向に噴出される。 As shown in FIG. 1, the cover housing 22 also includes an upper cover 76 and a lower cover 78. The upper cover 76 is generally cylindrical with a lid, and a through-hole (not shown) shaped to fit the lower block 54 of the plasma generator 20 is formed in the lid of the upper cover 76. The cover 50 of the plasma generator 20 is fixed in an upright position to the lid of the upper cover 76 so as to cover the through-hole. As a result, the lower block 54 and nozzle block 58 of the plasma generator 20 protrude in the Z direction toward the interior of the upper cover 76. As a result, plasma generated by the plasma generator 20 is ejected in the Z direction from the ejection port 72 of the nozzle block 58 toward the interior of the upper cover 76.

また、上部カバー76の側面には、3等配の位置に、概して矩形の貫通穴(図示せず)が形成されており、その貫通穴を塞ぐように、透明なガラス板80が配設されている。これにより、ガラス板80を介して、上部カバー76の内部を視認することが可能とされている。 In addition, three roughly rectangular through-holes (not shown) are formed at equally spaced positions on the side of the upper cover 76, and transparent glass plates 80 are arranged to cover the through-holes. This makes it possible to view the inside of the upper cover 76 through the glass plates 80.

カバーハウジング22の下部カバー78は、概して、円板形状とされており、大気圧プラズマ照射装置10が載置される載置部の筐体79に固定されている。下部カバー78の外径は、上部カバー76の外径より大きくされており、下部カバー78の上面には、上部カバー76と同径の円環状のパッキン(図示せず)が配設されている。そして、上部カバー76が、開閉機構24によって下方にスライドされることで、上部カバー76がパッキンに密着し、カバーハウジング22の内部が密閉された状態となる。 The lower cover 78 of the cover housing 22 is generally disk-shaped and is fixed to the housing 79 of the mounting portion on which the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 is placed. The outer diameter of the lower cover 78 is larger than the outer diameter of the upper cover 76, and a circular gasket (not shown) of the same diameter as the upper cover 76 is disposed on the upper surface of the lower cover 78. When the upper cover 76 is slid downward by the opening/closing mechanism 24, the upper cover 76 comes into close contact with the gasket, sealing the interior of the cover housing 22.

開閉機構24は、1対のスライド機構86とエアシリンダ(図示せず)とを含む。各スライド機構86は、支持軸90とスライダ92とを含む。支持軸90は、載置部の筐体79に、Z方向に延びるように立設されている。また、スライダ92は、概して円筒形状をなし、支持軸90の軸方向にスライド可能に、支持軸90に外嵌されている。そして、上部カバー76が、上部ブラケット96と下部ブラケット98とによって、スライダ92に保持されている。これにより、上部カバー76は、Z方向、つまり、上下方向にスライド可能とされている。 The opening/closing mechanism 24 includes a pair of slide mechanisms 86 and an air cylinder (not shown). Each slide mechanism 86 includes a support shaft 90 and a slider 92. The support shaft 90 is erected on the mounting unit housing 79 so as to extend in the Z direction. The slider 92 is generally cylindrical and is fitted onto the support shaft 90 so as to be slidable in the axial direction of the support shaft 90. The upper cover 76 is held to the slider 92 by an upper bracket 96 and a lower bracket 98. This allows the upper cover 76 to slide in the Z direction, i.e., up and down.

ステージ26は、概して、円板形状とされており、ステージ26の上面に、照射ブロック180が載置される。また、ステージ26の外径は、下部カバー78の外径より小さくされている。 The stage 26 is generally disk-shaped, and the irradiation block 180 is placed on the upper surface of the stage 26. The outer diameter of the stage 26 is smaller than the outer diameter of the lower cover 78.

照射ブロック180は、送液チューブ122により送液された培養液を貯留し、貯留した培養液にプラズマ発生装置20から噴出したプラズマを照射することによりプラズマ処理培養液を生成するために用いられる。生成されたプラズマ処理培養液は、排液チューブ124により照射ブロック180から排出される。 The irradiation block 180 stores the culture medium delivered via the delivery tube 122 and is used to generate a plasma-treated culture medium by irradiating the stored culture medium with plasma emitted from the plasma generator 20. The generated plasma-treated culture medium is discharged from the irradiation block 180 via the drainage tube 124.

培養液は、カバーハウジング22の外に設けられた培養液供給部(図示せず)からポンプ(図示せず)を用いて送液チューブ122により、カバーハウジング22内の照射ブロック180に供給される。また、照射ブロック180で生成されたプラズマ処理培養液は、ポンプ(図示せず)を用いて照射ブロック180から排液チューブ124により排液され、カバーハウジング22の外に設けられた一時保管ビン(図示せず)に保管される。したがって、下部カバー78の側面には、送液チューブ122及び排液チューブ124をそれぞれ通す貫通孔123,125が形成されている。 The culture medium is supplied to the irradiation block 180 inside the cover housing 22 via a liquid supply tube 122 using a pump (not shown) from a culture medium supply unit (not shown) located outside the cover housing 22. The plasma-treated culture medium produced in the irradiation block 180 is drained from the irradiation block 180 via a drain tube 124 using a pump (not shown) and stored in a temporary storage bottle (not shown) located outside the cover housing 22. Therefore, through-holes 123 and 125 are formed in the side of the lower cover 78, through which the liquid supply tube 122 and the drain tube 124 pass, respectively.

図5は、照射ブロック180の概略構成を示している。そして、図5(a)は、照射ブロック180全体の外観を示す斜視図であり、図5(b)は、図5(a)のBB線における断面斜視図である。なお、左から右へ向かう方向が、培養液が流れる方向である。 Figure 5 shows the schematic configuration of the irradiation block 180. Figure 5(a) is a perspective view showing the overall appearance of the irradiation block 180, and Figure 5(b) is a cross-sectional perspective view taken along line BB in Figure 5(a). The direction from left to right is the direction in which the culture medium flows.

照射ブロック180は、セラミックにより成形され、概して直方体形状をなす照射ブロック本体部181からなる。なお、照射ブロック180の長辺方向がX方向であり、短辺方向がY方向である。照射ブロック本体部181には、カバーハウジング22に設置された場合に、プラズマ発生装置20と対向する面が開放された溝部183及び貯留部184が形成されている。 The irradiation block 180 is made of ceramic and consists of an irradiation block main body 181 that is generally rectangular. The long side of the irradiation block 180 is the X direction, and the short side is the Y direction. The irradiation block main body 181 is formed with a groove 183 and a reservoir 184, the surfaces of which are open on the side facing the plasma generator 20 when the irradiation block 180 is installed in the cover housing 22.

溝部183は、YZ断面が上方に向かって開口するU字状である。溝部183を構成する底面183aは湾曲している。この溝部183のYZ断面は、送液チューブ122(図1参照)の断面形状よりも若干狭くされており、可撓性を有する送液チューブ122が溝部183に嵌め込まれることで、送液チューブ122が固定される。 The groove 183 has a U-shape in the YZ cross section that opens upward. The bottom surface 183a that forms the groove 183 is curved. The YZ cross section of this groove 183 is slightly narrower than the cross-sectional shape of the liquid supply tube 122 (see Figure 1), and the flexible liquid supply tube 122 is fixed in place by fitting it into the groove 183.

貯留部184は、プラズマ照射するために培養液を貯留する。貯留部184は、側面184aと底面184bとからなる円筒状の凹部により構成される。また、貯留部184を構成する底面184bは、溝部183を構成する底面183aよりも下方に位置するように形成されている。さらに、貯留部184を構成する底面184bには、培養液がプラズマ照射されて生成されたプラズマ処理培養液を貯留部184から外に排出するための排液穴184cが形成されている。なお、底面184bは、側面184aから排液穴184cに向かって下方に傾斜する傾斜面となっている。これは、プラズマ処理培養液を排出する際に、貯留部184から迅速に排出させる機能と、貯留部184にプラズマ処理培養液の一部が排出されないで残留する状態を可及的に防止する機能とを実現させるためである。 Reservoir 184 stores the culture solution for plasma irradiation. Reservoir 184 is configured as a cylindrical recess consisting of side surfaces 184a and a bottom surface 184b. Bottom surface 184b of reservoir 184 is positioned lower than bottom surface 183a of groove 183. Bottom surface 184b of reservoir 184 is also formed with drainage holes 184c for discharging the plasma-treated culture solution produced by plasma irradiation of the culture solution from reservoir 184. Bottom surface 184b is inclined downward from side surface 184a toward drainage hole 184c. This is intended to quickly discharge the plasma-treated culture solution from reservoir 184 and to prevent, as much as possible, a state in which part of the plasma-treated culture solution remains in reservoir 184 without being discharged.

照射ブロック本体部181は、上記構成の他に、排出部186を有する。排出部186は、照射ブロック本体部181の下面181aであって、貯留部184の排液穴184cを含む位置から下方に突出して形成されている。排出部186は、基部186a、フランジ部186b及び排出係止部186cを有し、各構成要素186a~186cが下方に連結した状態で一体的に形成されている。また、排出部186の中心部には、貫通孔186dがZ方向に形成され、貯留部184の排液穴184cと連通している。 In addition to the above configuration, the irradiation block main body 181 also has a discharge section 186. The discharge section 186 is formed on the underside 181a of the irradiation block main body 181, protruding downward from a position that includes the drainage hole 184c of the storage section 184. The discharge section 186 has a base 186a, a flange 186b, and a discharge locking section 186c, and each of the components 186a to 186c is integrally formed and connected downward. Furthermore, a through-hole 186d is formed in the center of the discharge section 186 in the Z direction, and communicates with the drainage hole 184c of the storage section 184.

排出部186の外周面において、照射ブロック本体部181の下面181aと連続する部分が基部186aである。基部186aの下方に、フランジ部186bを挟んで形成された排出係止部186cの外周の径は、排液チューブ124(図1参照)の径よりも大きくされている。また、排出係止部186cの上部186c1の外径は、排出係止部186cの外径よりも小さくされている。これにより、可撓性を有する排液チューブ124が上部186c1まで嵌め込まれると、排出係止部186cの外周に沿って排液チューブ124が変形し、排液チューブ124が固定される。また、基部186aとステージ26の切欠き部26a(図1参照)とが嵌め合されることにより、ステージ26に照射ブロック180が固定される。このように、固定具を用いる固定ではないため、照射ブロック180はステージ26に対して容易に着脱することができる。 The base 186a is the portion of the outer peripheral surface of the discharge section 186 that is continuous with the underside 181a of the irradiation block main body 181. The diameter of the outer periphery of the discharge locking section 186c, which is formed below the base 186a and sandwiches the flange section 186b, is larger than the diameter of the drainage tube 124 (see FIG. 1). The outer diameter of the upper section 186c1 of the discharge locking section 186c is smaller than the outer diameter of the discharge locking section 186c. As a result, when the flexible drainage tube 124 is inserted up to the upper section 186c1, the drainage tube 124 deforms along the outer periphery of the discharge locking section 186c, thereby securing the drainage tube 124. The base 186a is fitted into the notch 26a of the stage 26 (see FIG. 1), securing the irradiation block 180 to the stage 26. In this way, since the irradiation block 180 is not fixed using a fixture, it can be easily attached and detached from the stage 26.

昇降装置100は、図1に示すように、回転式操作子101、歯車102、回転軸103、ピニオン保持部105、支持ロッド106、ラック107及びピニオン(図示せず)を含んでいる。回転式操作子101は、Y方向を回転軸として、時計回り及び反時計回りのいずれにも回転可能な操作子である。回転式操作子101の回転軸の歯車102方向の端部には、かさ歯車(図示せず)が設けられている。歯車102も、かさ歯車として構成され、両歯車は噛合されている。これにより、回転式操作子101のY方向を回転軸とした回転軸周りの回転が、歯車102を介してX方向を回転軸とする回転軸周りの回転に変換される。 As shown in FIG. 1, the lifting device 100 includes a rotary operator 101, gear 102, rotation shaft 103, pinion holder 105, support rod 106, rack 107, and pinion (not shown). The rotary operator 101 is an operator that can rotate both clockwise and counterclockwise around the Y direction as its rotation axis. A bevel gear (not shown) is provided on the end of the rotation shaft of the rotary operator 101 that faces the gear 102. Gear 102 is also configured as a bevel gear, and the two gears are meshed. As a result, rotation of the rotary operator 101 around its rotation axis in the Y direction is converted, via gear 102, into rotation around its rotation axis in the X direction.

歯車102には、X方向の回転軸103が設けられ、歯車102の回転がそのまま、回転軸103の回転となる。回転軸103の歯車102と反対側の端部には、上記ピニオンの回転軸が連結されている。 The gear 102 is provided with a rotation axis 103 in the X direction, and the rotation of the gear 102 directly results in the rotation of the rotation axis 103. The end of the rotation axis 103 opposite the gear 102 is connected to the rotation axis of the pinion.

下部カバー78には、上下方向に貫通する貫通穴(図示せず)が形成されており、その貫通穴に、支持ロッド106が挿通されている。支持ロッド106の外径は、貫通穴の内径より小さくされており、支持ロッド106は、上下方向、つまり、Z方向に移動可能とされている。その支持ロッド106の上端に、ステージ26の下面が固定されている。 A through-hole (not shown) that penetrates the lower cover 78 in the vertical direction is formed, and a support rod 106 is inserted into this through-hole. The outer diameter of the support rod 106 is smaller than the inner diameter of the through-hole, and the support rod 106 is movable in the vertical direction, i.e., the Z direction. The lower surface of the stage 26 is fixed to the upper end of the support rod 106.

また、ラック107は、支持ロッド106の軸方向に延びるように、支持ロッド106の下部カバー78から下方に延び出す部分の外周面に固定されている。上記ピニオンは、ラック107に噛合されており、回転軸103の回転により回転する。ピニオン保持部105は、ピニオンを載置部の筐体79に回転可能に保持する。 The rack 107 is fixed to the outer peripheral surface of the portion of the support rod 106 that extends downward from the lower cover 78, so as to extend in the axial direction of the support rod 106. The pinion is meshed with the rack 107 and rotates with the rotation of the rotary shaft 103. The pinion holder 105 rotatably holds the pinion in the housing 79 of the mounting unit.

このような構造によって、操作者が回転式操作子101を回転させると、回転式操作子101のY方向を回転軸とする回転が、歯車102を介してX方向を回転軸とする回転に変換される。そして、歯車102の回転が回転軸103を回転させ、これに応じてピニオンが回転することで、支持ロッド106がZ方向に移動し、ステージ26が昇降する。なお、本実施形態では、回転式操作子101を時計回りに回転させたときには、支持ロッド106が上方向に移動して、ステージ26の上面が噴出口72に近づき、回転式操作子101を反時計回りに回転させたときには、支持ロッド106が下方向に移動して、ステージ26の上面が噴出口72から離れるとするが、回転式操作子101の回転方向と、ステージ26と噴出口72とが近接・離隔する方向との関係は、逆であってもよい。 With this structure, when the operator rotates the rotary controller 101, the rotation of the rotary controller 101 around its axis of rotation in the Y direction is converted via the gear 102 into rotation around its axis of rotation in the X direction. The rotation of the gear 102 then rotates the rotation axis 103, which in turn rotates the pinion, causing the support rod 106 to move in the Z direction and the stage 26 to rise and fall. In this embodiment, when the rotary controller 101 is rotated clockwise, the support rod 106 moves upward, bringing the top surface of the stage 26 closer to the nozzle 72, and when the rotary controller 101 is rotated counterclockwise, the support rod 106 moves downward, bringing the top surface of the stage 26 away from the nozzle 72. However, the relationship between the rotation direction of the rotary controller 101 and the direction in which the stage 26 and the nozzle 72 approach and move away from each other may be reversed.

支持ロッド106の下端部は、連結部材108を介してスケールユニット110のエンコーダ部112と連結されている。スケールユニット110は、本実施形態では、いわゆるリニアエンコーダによって構成され、エンコーダ部112と、スケール部114とから主として構成されている。エンコーダ部112は、スケール部114上をZ方向に移動し、その移動の過程で移動量に応じたパルス信号を出力する。本実施形態では、スケールユニット110として、エンコーダ部112が、例えば1/100mm移動する毎に1パルス出力するものを採用しているが、検出精度はこれに限られず、これより多少精度が悪くてもよいし、これより精度が良くてもよい。 The lower end of the support rod 106 is connected to the encoder section 112 of the scale unit 110 via a connecting member 108. In this embodiment, the scale unit 110 is configured as a so-called linear encoder, and is primarily composed of the encoder section 112 and the scale section 114. The encoder section 112 moves in the Z direction on the scale section 114, and outputs a pulse signal corresponding to the amount of movement during this movement. In this embodiment, the scale unit 110 uses an encoder section 112 that outputs one pulse for every 1/100 mm of movement, for example, but the detection accuracy is not limited to this and may be slightly less accurate or more accurate.

エンコーダ部112は、上述のように支持ロッド106と連結されているので、支持ロッド106がZ方向に移動すると、その移動量だけ、エンコーダ部112もZ方向に移動する。したがって、エンコーダ部112は、支持ロッド106の移動量、つまりステージ26の昇降量を検出して出力している。 As described above, the encoder unit 112 is connected to the support rod 106, so when the support rod 106 moves in the Z direction, the encoder unit 112 also moves in the Z direction by the same amount. Therefore, the encoder unit 112 detects and outputs the amount of movement of the support rod 106, i.e., the amount of elevation of the stage 26.

リニアエンコーダ(ロータリーエンコーダも同様)には、インクリメンタル型とアブソリュート型の2種類がある。インクリメンタル型は、エンコーダ部112がスケール部114を移動した移動量に応じた数のパルス信号を出力するものであり、アブソリュート型は、検出個所の絶対位置を出力するものである。本実施形態では、スケールユニット110として、インクリメンタル型を採用する。 There are two types of linear encoders (as well as rotary encoders): incremental and absolute. Incremental types output a number of pulse signals corresponding to the amount of movement of the scale section 114 by the encoder section 112, while absolute types output the absolute position of the detection point. In this embodiment, an incremental type is used as the scale unit 110.

パージガス供給機構32は、図1に示すように、エアジョイント130と、パージガス供給装置132(図6参照)とを含む。エアジョイント130は、上部カバー76の蓋部に設けられている。パージガス供給装置132は、窒素等の不活性ガスを供給する装置であり、配管(図示せず)を介して、エアジョイント130に接続されている。このような構造により、パージガス供給機構32は、上部カバー76の内部に、不活性ガスを供給する。 As shown in FIG. 1, the purge gas supply mechanism 32 includes an air joint 130 and a purge gas supply device 132 (see FIG. 6). The air joint 130 is provided on the lid portion of the upper cover 76. The purge gas supply device 132 is a device that supplies an inert gas such as nitrogen, and is connected to the air joint 130 via piping (not shown). With this structure, the purge gas supply mechanism 32 supplies an inert gas to the interior of the upper cover 76.

制御装置38は、図6に示すように、コントローラ170と、複数の駆動回路172とを備えている。複数の駆動回路172は、電極56、処理ガス供給装置74、パージガス供給装置132及びディスプレイ120に接続されている。コントローラ170は、CPU,ROM,RAM等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路172に接続されている。これにより、プラズマ発生装置20、パージガス供給機構32の作動が、コントローラ170によって制御される。また、コントローラ170は、検出センサ144及びエンコーダ部112に接続されている。これにより、コントローラ170は、検出センサ144の検出結果、つまり、カバーハウジング22の内部の酸素濃度を取得するとともに、エンコーダ部112が出力したパルス信号を取得する。 As shown in FIG. 6, the control device 38 includes a controller 170 and multiple drive circuits 172. The multiple drive circuits 172 are connected to the electrode 56, process gas supply device 74, purge gas supply device 132, and display 120. The controller 170 is primarily a computer, including a CPU, ROM, RAM, etc., and is connected to the multiple drive circuits 172. This allows the controller 170 to control the operation of the plasma generator 20 and purge gas supply mechanism 32. The controller 170 is also connected to the detection sensor 144 and the encoder unit 112. This allows the controller 170 to obtain the detection result of the detection sensor 144, i.e., the oxygen concentration inside the cover housing 22, and to obtain the pulse signal output by the encoder unit 112.

コントローラ170は、エンコーダ部112からパルス信号を取得すると、例えば、上記RAMに確保したカウント領域(図示せず)に記憶されているカウント値を1ずつカウントアップあるいはカウントダウンする。つまり、コントローラ170は、エンコーダ部112が上方に移動しているときには、カウントアップし、エンコーダ部112が下方に移動しているときには、カウントダウンする。そして、コントローラ170は、カウントアップ/ダウンを実行したタイミングで、新たなカウント値に対応するエンコーダ部112の移動量を算出し、その移動量でディスプレイ120が表示するときに参照する表示領域(図示せず)を書き換える。これにより、ディスプレイ120には、更新された移動量が表示される。 When the controller 170 receives a pulse signal from the encoder unit 112, it counts up or down by one the count value stored in a count area (not shown) secured in the RAM. That is, the controller 170 counts up when the encoder unit 112 is moving upward, and counts down when the encoder unit 112 is moving downward. Then, upon counting up/down, the controller 170 calculates the amount of movement of the encoder unit 112 corresponding to the new count value, and rewrites the display area (not shown) that the display 120 refers to when displaying with that amount of movement. As a result, the updated amount of movement is displayed on the display 120.

培養液にプラズマを照射することで、培養液が活性化するため、プラズマ照射された培養液を用いた癌の治療等、医療の分野でのプラズマの活用が期待されている。このため、プラズマ照射された培養液の生成等が行われるが、培養液は、プラズマ照射される際の条件が管理された状態でプラズマ照射されることが好ましい。大気圧プラズマ照射装置10では、上述した構成により、照射ブロック180をステージ26の上に載置し、カバーハウジング22を密閉することで、所定の条件下で培養液にプラズマを照射することが可能である。以下に、所定の条件下で、培養液にプラズマを照射する手法について、詳しく説明する。 Irradiating a culture medium with plasma activates the culture medium, and plasma is expected to be utilized in the medical field, such as in cancer treatment using plasma-irradiated culture medium. For this reason, plasma-irradiated culture medium is produced, and it is preferable that the culture medium be irradiated with plasma under controlled conditions. With the above-described configuration, the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 places the irradiation block 180 on the stage 26 and seals the cover housing 22, making it possible to irradiate the culture medium with plasma under specified conditions. Below, a detailed description is given of the method for irradiating the culture medium with plasma under specified conditions.

具体的には、まず、照射ブロック180をステージ26の上に載置する。次に、昇降装置100によってステージ26を任意の高さに昇降させる。これにより、プラズマの噴出口72と、プラズマの被照射体としての培養液との間の距離を任意に設定することが可能となる。なお、ステージ26の昇降高さは、上述のようにディスプレイ120上に、1/100mm単位で表示されるので、上述した特許文献1に記載のプラズマ照射装置のように、目視による誤差は生じない。 Specifically, first, the irradiation block 180 is placed on the stage 26. Next, the lifting device 100 raises and lowers the stage 26 to the desired height. This makes it possible to arbitrarily set the distance between the plasma nozzle 72 and the culture solution, which serves as the object to be irradiated by the plasma. As described above, the height at which the stage 26 is raised and lowered is displayed on the display 120 in 1/100 mm increments, eliminating the possibility of visual error, as occurs with the plasma irradiation device described in Patent Document 1 above.

次に、上部カバー76を下降させ、カバーハウジング22を密閉させる。そして、パージガス供給機構32によって、カバーハウジング22の内部に不活性ガスが供給される。この際、濃度検出機構34によって、カバーハウジング22内の酸素濃度が検出される。そして、検出された酸素濃度が予め設定された閾値以下となった後に、プラズマ発生装置20によってプラズマが、カバーハウジング22の内部に噴出される。なお、プラズマが照射されている際も、カバーハウジング22の内部への不活性ガスの供給は、継続して行われる。また、一定の流量に調整された培養液が、送液チューブ122を介して照射ブロック180の貯留部184へ流される。貯留部184に貯留された培養液は、プラズマ発生装置20からプラズマガスが照射されて活性化される。なお、培養液に所定時間、プラズマガスが照射されることで、プラズマ照射された培養液による治療効果は発揮されることがわかっている。培養液が貯留部184に貯留されることにより、所定時間プラズマガスが照射される。また、培養液は、プラズマガスが照射されることにより、貯留部184内で自然対流する。これにより、治療効果が発揮される均質な活性化された培養液とすることができる。 Next, the upper cover 76 is lowered to seal the cover housing 22. The purge gas supply mechanism 32 then supplies inert gas into the cover housing 22. At this time, the concentration detection mechanism 34 detects the oxygen concentration inside the cover housing 22. After the detected oxygen concentration falls below a preset threshold, the plasma generator 20 sprays plasma into the cover housing 22. Note that the supply of inert gas into the cover housing 22 continues even while plasma is being emitted. Furthermore, culture fluid adjusted to a constant flow rate is flowed via the fluid delivery tube 122 into the reservoir 184 of the irradiation block 180. The culture fluid stored in the reservoir 184 is activated by irradiating it with plasma gas from the plasma generator 20. It has been shown that irradiating the culture fluid with plasma gas for a predetermined period of time can exert a therapeutic effect through the plasma-irradiated culture fluid. The culture fluid is stored in the reservoir 184, where it is irradiated with plasma gas for a predetermined period of time. Furthermore, when the culture medium is irradiated with plasma gas, natural convection occurs within the reservoir 184. This allows for the creation of a homogeneous, activated culture medium that exerts therapeutic effects.

このように、カバーハウジング22の内部に不活性ガスが供給されることで、カバーハウジング22内の空気は、カバーハウジング22の外部に排気される。この際、カバーハウジング22内の酸素濃度が調整されることで、プラズマ照射に影響を及ぼす条件が管理される。詳しくは、プラズマは、活性ラジカルを含んでいるため、酸素と反応すると、オゾンとなり、プラズマ照射の効果が低下する。このため、カバーハウジング22内の酸素濃度を調整することで、プラズマ照射された培養液の効果に対する酸素濃度の影響を調べることが可能となる。また、同一条件下で培養液にプラズマを照射することが可能となる。これにより、効率的にプラズマ処理培養液を生成することが可能となる。 In this way, by supplying inert gas to the interior of the cover housing 22, the air inside the cover housing 22 is exhausted to the outside of the cover housing 22. At this time, the oxygen concentration inside the cover housing 22 is adjusted to control the conditions that affect plasma irradiation. Specifically, because plasma contains active radicals, when it reacts with oxygen it becomes ozone, reducing the effectiveness of plasma irradiation. Therefore, by adjusting the oxygen concentration inside the cover housing 22, it is possible to examine the effect of oxygen concentration on the effectiveness of plasma-irradiated culture solution. It also becomes possible to irradiate plasma to culture solution under the same conditions. This makes it possible to efficiently produce plasma-treated culture solution.

また、大気圧プラズマ照射装置10では、上述したように、プラズマの噴出口72と培養液との間の距離が任意に設定される。これにより、プラズマ照射された培養液の効果に対する照射距離の影響を調べることが可能となり、効率的にプラズマ処理培養液を生成することが可能となる。 Furthermore, as described above, the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 allows the distance between the plasma nozzle 72 and the culture solution to be set arbitrarily. This makes it possible to investigate the influence of irradiation distance on the effects of plasma-irradiated culture solution, enabling efficient production of plasma-treated culture solution.

プラズマ照射が開始された後、所定時間が経過すると、貯留部184に貯留されたプラズマ処理培養液は、排液チューブ124を介して排出される。貯留部184からのプラズマ処理培養液の排出が開始された後、所定時間が経過すると、貯留部184にプラズマ処理培養液が残留していないとみなして、貯留部184からのプラズマ処理培養液の排出を完了する。そして、次にプラズマ処理する培養液が、送液チューブ122を介して照射ブロック180の貯留部184へ流される。以下、貯留部184に貯留された培養液への所定時間のプラズマ照射、プラズマ処理培養液の排液、新たな培養液の照射ブロック180への供給、培養液へのプラズマ照射、…というプラズマ処理工程が、所定量のプラズマ処理培養液が生成されるまで繰り返し実行される。 When a predetermined time has elapsed since plasma irradiation began, the plasma-treated culture solution stored in storage section 184 is discharged via drainage tube 124. When a predetermined time has elapsed since discharge of the plasma-treated culture solution from storage section 184 began, it is assumed that no plasma-treated culture solution remains in storage section 184, and discharge of the plasma-treated culture solution from storage section 184 is completed. The next culture solution to be plasma-treated is then flowed via drainage tube 122 into storage section 184 of irradiation block 180. This plasma treatment process, which involves irradiating the culture solution stored in storage section 184 with plasma for a predetermined time, draining the plasma-treated culture solution, supplying new culture solution to irradiation block 180, and irradiating the culture solution with plasma, is then repeated until a predetermined amount of plasma-treated culture solution is produced.

今、プラズマの噴出口72と培養液との間の距離が適正な距離に設定されている状態で、メンテナンスのために、例えば、送液チューブ122あるいは排液チューブ124を交換しなければならないとする。この交換作業により、プラズマの噴出口72と培養液との間の距離は、必然的に適正な距離からずれることになる。しかし、操作者は、作業前にディスプレイ120に表示されていた移動量をメモしておけば、作業後に、その移動量に一致する移動量がディスプレイ120に表示されるように回転式操作子101を操作するだけで簡単かつ迅速に、作業前の適正な距離に戻すことができる。 Now, suppose that the distance between the plasma nozzle 72 and the culture solution is set to the appropriate distance, and then, for maintenance, the supply tube 122 or the drainage tube 124, for example, needs to be replaced. This replacement operation will inevitably cause the distance between the plasma nozzle 72 and the culture solution to deviate from the appropriate distance. However, if the operator makes a note of the amount of movement displayed on the display 120 before the operation, after the operation, the operator can simply operate the rotary control 101 so that the amount of movement that matches that amount is displayed on the display 120, easily and quickly restoring the distance to the appropriate distance before the operation.

以上説明したように、本実施形態の大気圧プラズマ照射装置10は、培養液を貯留する照射ブロック180と、照射ブロック180内に貯留された培養液に照射するプラズマを発生するプラズマ発生装置20と、照射ブロック180内に貯留された培養液とプラズマ発生装置20との距離を調節するために、照射ブロック180をプラズマ発生装置20に近づく方向及びプラズマ発生装置20から離れる方向のいずれの方向にも移動させることができる昇降装置100と、昇降装置100により移動された照射ブロック180の移動量を示す位置情報を出力するスケールユニット110と、を備えている。 As described above, the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 of this embodiment comprises an irradiation block 180 that stores culture solution, a plasma generator 20 that generates plasma to irradiate the culture solution stored in the irradiation block 180, an elevator device 100 that can move the irradiation block 180 in either a direction toward or away from the plasma generator 20 in order to adjust the distance between the culture solution stored in the irradiation block 180 and the plasma generator 20, and a scale unit 110 that outputs position information indicating the amount of movement of the irradiation block 180 moved by the elevator device 100.

このように、本実施形態の大気圧プラズマ照射装置10では、スケールユニット110から出力された位置情報に基づいて、培養液とプラズマ発生装置20との距離を適正に調整した後に再度、その適正距離に戻すことが可能となる。 In this way, the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 of this embodiment can appropriately adjust the distance between the culture solution and the plasma generator 20 based on the position information output from the scale unit 110, and then return it to that appropriate distance.

ちなみに、本実施形態において、大気圧プラズマ照射装置10は、「プラズマ照射装置」の一例である。培養液は、「被処理液体」の一例である。照射ブロック180は、「貯留容器」の一例である。昇降装置100は、「移動機構」の一例である。スケールユニット110は、「エンコーダ」の一例である。 Incidentally, in this embodiment, the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 is an example of a "plasma irradiation device." The culture fluid is an example of a "liquid to be treated." The irradiation block 180 is an example of a "storage container." The lifting device 100 is an example of a "moving mechanism." The scale unit 110 is an example of an "encoder."

また、本実施形態の大気圧プラズマ照射装置10は、スケールユニット110が出力した位置情報を表示するディスプレイ120をさらに備えている。ちなみに、ディスプレイ120は、「表示器」の一例である。これにより、操作者は、培養液とプラズマ発生装置20との距離を再度、適正距離に戻すときの操作を、ディスプレイ120に表示された位置情報を見ながら行うことができるので、その操作を簡単かつ迅速に行うことが可能となる。 The atmospheric pressure plasma irradiation device 10 of this embodiment also includes a display 120 that displays the position information output by the scale unit 110. The display 120 is an example of an "indicator." This allows the operator to return the distance between the culture medium and the plasma generator 20 to the appropriate distance while looking at the position information displayed on the display 120, making it possible to perform this operation easily and quickly.

また、昇降装置100は、時計回り及び反時計回りに回転可能な回転式操作子101と、回転式操作子101により回転された回転量を照射ブロック180の移動量に変換するラック107及びピニオンと、を有する。ちなみに、ラック107及びピニオンは、「変換機構」の一例である。 The lifting device 100 also has a rotary operator 101 that can rotate clockwise and counterclockwise, and a rack 107 and pinion that convert the amount of rotation by the rotary operator 101 into the amount of movement of the irradiation block 180. Incidentally, the rack 107 and pinion are an example of a "conversion mechanism."

また、本実施形態の大気圧プラズマ照射装置10は、照射ブロック180を載置するためのステージ26と、ステージ26の裏面に連結された支持ロッド106と、をさらに備えている。そして、昇降装置100は、支持ロッド106を上下方向に移動させることにより、照射ブロック180内に貯留された培養液とプラズマ発生装置20との距離を調節し、スケールユニット110は、支持ロッド106に連結され、昇降装置100により移動された支持ロッド106の移動量を示す位置情報を出力する。ちなみに、支持ロッド106は、「シャフト」の一例である。 The atmospheric plasma irradiation device 10 of this embodiment also includes a stage 26 for placing the irradiation block 180, and a support rod 106 connected to the back surface of the stage 26. The lifting device 100 adjusts the distance between the culture solution stored in the irradiation block 180 and the plasma generator 20 by moving the support rod 106 up and down, and the scale unit 110 is connected to the support rod 106 and outputs position information indicating the amount of movement of the support rod 106 moved by the lifting device 100. Incidentally, the support rod 106 is an example of a "shaft."

また、照射ブロック180は、培養液を貯留する貯留部184と、プラズマ照射装置10の外部から貯留部184に培養液を送液する送液チューブ122を取り付ける溝部183と、貯留部184に貯留された培養液を排液するために貯留部184の底面184bに設けられた排液穴184cと、排液穴184cを含む位置から照射ブロック180の下方に突出して形成された排出部186と、を有し、排出部186には、排液穴184cと連通した貫通孔186dと、貫通孔186dを通る排液を、プラズマ照射装置10の外部に排出するための排液チューブ124を取り付ける排出係止部186cと、が形成され、ステージ26には、排出部186を嵌め合わせるための切欠き26aが形成され、照射ブロック180をステージ26に載置するときには、照射ブロック180の排出部186をステージ26の切欠き26aに嵌め合わせることにより載置する。ちなみに、送液チューブ122は、「送液管」の一例である。溝部183は、「送液管取付部」の一例である。排液チューブ124は、「排液管」の一例である。排出係止部186cは、「排液管取付部」の一例である。 The irradiation block 180 also has a storage section 184 for storing the culture solution, a groove section 183 for attaching a liquid supply tube 122 for supplying the culture solution from the outside of the plasma irradiation device 10 to the storage section 184, a drainage hole 184c provided on the bottom surface 184b of the storage section 184 for draining the culture solution stored in the storage section 184, and a discharge section 186 formed by protruding downward from a position including the drainage hole 184c to the irradiation block 180. The discharge section 186 has a drainage hole 184c. 84c, and a discharge locking portion 186c for attaching a discharge tube 124 for discharging the discharged liquid passing through the through hole 186d to the outside of the plasma irradiation device 10. The stage 26 has a notch 26a for fitting the discharge portion 186. When placing the irradiation block 180 on the stage 26, the discharge portion 186 of the irradiation block 180 is fitted into the notch 26a of the stage 26. Incidentally, the liquid supply tube 122 is an example of a "liquid supply tube." The groove portion 183 is an example of a "liquid supply tube mounting portion." The drain tube 124 is an example of a "liquid drain tube." The discharge locking portion 186c is an example of a "liquid drain tube mounting portion."

(第2実施形態)
図7は、本開示の第2実施形態に係る大気圧プラズマ照射装置10Aを示している。大気圧プラズマ照射装置10Aは、上記第1実施形態の大気圧プラズマ照射装置10に対して、昇降装置200の一部構成と制御装置38の一部構成が異なるのみであるため、図7及び図8中、図1及び図6と同様の構成には同一符号を付して、その説明は適宜省略する。
Second Embodiment
7 shows an atmospheric plasma irradiation apparatus 10A according to a second embodiment of the present disclosure. The atmospheric plasma irradiation apparatus 10A differs from the atmospheric plasma irradiation apparatus 10 of the first embodiment only in a partial configuration of the lifting device 200 and a partial configuration of the control device 38. Therefore, in FIGS. 7 and 8, the same components as those in FIGS. 1 and 6 are denoted by the same reference numerals, and their description will be omitted as appropriate.

昇降装置200は、図7に示すように、昇降装置100に含まれる回転式操作子101及び歯車102を電磁モータ210で置き換えたものである。このため、制御装置38Aには、図8に示すように、電磁モータ210を駆動するための駆動回路172が追加されている。また、ステージ26を上方向に所定距離移動させるためのUPキー150と、ステージ26を下方向に所定距離移動させるためのDOWNキー152も追加されている。 As shown in Figure 7, the lifting device 200 replaces the rotary operator 101 and gear 102 included in the lifting device 100 with an electromagnetic motor 210. For this reason, as shown in Figure 8, a drive circuit 172 for driving the electromagnetic motor 210 has been added to the control device 38A. An UP key 150 for moving the stage 26 upward by a predetermined distance and a DOWN key 152 for moving the stage 26 downward by a predetermined distance have also been added.

図9は、コントローラ170が実行する適正距離の再設定処理の手順をしている。以降、各処理の手順の説明において、ステップを「S」と表記する。この適正距離の再設定処理には、適正距離を自動的に再設定するS24~S36の処理に加え、その前に行うべき適正距離を設定するS10~S20の処理も含まれている。ただし、適正距離が事前に設定されている場合には、S10~S20の処理は省略してもよい。 Figure 9 shows the steps in the process of resetting the appropriate distance executed by the controller 170. Hereafter, in the explanation of each process step, steps will be abbreviated as "S." This process of resetting the appropriate distance includes not only steps S24 to S36 that automatically reset the appropriate distance, but also steps S10 to S20 that set the appropriate distance before that. However, if the appropriate distance has been set in advance, steps S10 to S20 may be omitted.

図9において、まずコントローラ170は、適正距離が設定されたか否かを判断する(S10)。適正距離であるか否かの判断は、例えば、プラズマの噴出口72と培養液との間の距離を変更しながら実際に培養液にプラズマを照射し、その都度プラズマ処理培養液の品質を調べ、その中で最適な品質が得られた距離を最適距離と判断することにより行う。 In Figure 9, the controller 170 first determines whether an appropriate distance has been set (S10). The determination of whether the distance is appropriate is made, for example, by actually irradiating plasma onto the culture solution while changing the distance between the plasma nozzle 72 and the culture solution, checking the quality of the plasma-treated culture solution each time, and determining the distance at which the best quality is obtained as the optimal distance.

S10の判断において、適正距離が設定されていない場合(S10:NO)、コントローラ170は、UPキー150が押されたか否かを判断し(S12)、UPキー150が押された場合(S12:YES)、コントローラ170は、電磁モータ210を所定回転数だけ正回転させる指示を駆動回路172に出力する(S14)。これにより、支持ロッド106は上方向に所定の移動量だけ移動するので、プラズマの噴出口72と培養液との間の距離が所定の移動量だけ縮まる。そして、コントローラ170は、上記第1実施の形態で上述したカウント領域に記憶されているカウント値を読み出し、読み出したカウント値に基づいて現在距離を取得した(S20)後、処理を上記S10に戻す。 If the determination in S10 indicates that an appropriate distance has not been set (S10: NO), the controller 170 determines whether the UP key 150 has been pressed (S12). If the UP key 150 has been pressed (S12: YES), the controller 170 outputs a command to the drive circuit 172 to rotate the electromagnetic motor 210 forward a predetermined number of revolutions (S14). This causes the support rod 106 to move upward a predetermined distance, thereby reducing the distance between the plasma nozzle 72 and the culture solution by the predetermined distance. The controller 170 then reads the count value stored in the count area described above in the first embodiment, obtains the current distance based on the read count value (S20), and returns the process to S10.

一方、上記S12の判断において、UPキー150が押されなかった場合(S12:NO)、コントローラ170は、DOWNキー152が押されたか否かを判断し(S16)、DOWNキー152が押された場合(S16:YES)、コントローラ170は、電磁モータ210を所定回転数だけ逆回転させる指示を駆動回路172に出力する(S18)。これにより、支持ロッド106は下方向に所定の移動量だけ移動するので、プラズマの噴出口72と培養液との間の距離が所定の移動量だけ広がる。そして、コントローラ170は、処理を上記S20に進め、カウント領域に記憶されているカウント値を読み出し、読み出したカウント値に基づいて現在距離を取得した後、処理を上記S10に戻す。 On the other hand, if the UP key 150 has not been pressed in the determination at S12 (S12: NO), the controller 170 determines whether the DOWN key 152 has been pressed (S16). If the DOWN key 152 has been pressed (S16: YES), the controller 170 outputs a command to the drive circuit 172 to rotate the electromagnetic motor 210 in the reverse direction a predetermined number of revolutions (S18). This causes the support rod 106 to move downward a predetermined distance, thereby increasing the distance between the plasma nozzle 72 and the culture solution by the predetermined distance. The controller 170 then proceeds to S20, reads the count value stored in the count area, obtains the current distance based on the read count value, and returns to S10.

一方、上記S10の判断において、適正距離が設定された場合(S10:YES)、コントローラ170は、上記S20で取得した現在距離を適正距離として、例えば、RAMに確保した適正距離記憶領域(図示せず)に記憶する(S22)。 On the other hand, if the appropriate distance is set in the determination of S10 above (S10: YES), the controller 170 stores the current distance obtained in S20 above as the appropriate distance, for example, in an appropriate distance storage area (not shown) secured in RAM (S22).

次にコントローラ170は、適正距離の自動再設定が指示されたか否かを判断する(S24)。適正距離の自動再設定の指示は、例えば、その指示ボタン(図示せず)が設けられており、操作者がその指示ボタンを押すことにより行うようにすればよい。S24の判断において、適正距離の自動再設定が指示されなかった場合(S24:NO)、コントローラ170は、その指示があるまで待機し、その指示がなされると(S24:YES)、コントローラ170は、上記S20と同様にして、現在距離を取得する(S26)。 The controller 170 then determines whether an instruction to automatically reset the appropriate distance has been issued (S24). An instruction to automatically reset the appropriate distance may be issued, for example, by an instruction button (not shown) provided and the operator pressing the instruction button. If the determination in S24 indicates that an instruction to automatically reset the appropriate distance has not been issued (S24: NO), the controller 170 waits until such an instruction is issued, and when such an instruction is issued (S24: YES), the controller 170 obtains the current distance in the same manner as in S20 above (S26).

そして、コントローラ170は、現在距離が上記S22で記憶した適正距離に一致するまで(S36:YES)、現在距離>適正距離の場合には(S28:YES)、コントローラ170は、上記S18と同様にして、電磁モータ210を所定回転数だけ逆回転させる指示を駆動回路172に出力し(S30)、現在距離<適正距離の場合には(S32:YES)、コントローラ170は、上記S14と同様にして、電磁モータ210を所定回転数だけ正回転させる指示を駆動回路172に出力する(S34)。このようにして、現在距離と適正距離との間にずれがある間は、そのずれが小さくなる方向に支持ロッド106を移動させるので、プラズマの噴出口72と培養液との間の距離は適正距離に収束して行き、現在距離と適正距離とが一致すると(S36:YES)、コントローラ170は、適正距離の自動再設定処理を終了する。 The controller 170 then continues to monitor the current distance until it matches the appropriate distance stored in S22 (S36: YES). If the current distance is greater than the appropriate distance (S28: YES), the controller 170 outputs a command to the drive circuit 172 to rotate the electromagnetic motor 210 in the reverse direction by a predetermined number of rotations (S30), as in S18 above. If the current distance is less than the appropriate distance (S32: YES), the controller 170 outputs a command to the drive circuit 172 to rotate the electromagnetic motor 210 in the forward direction by a predetermined number of rotations (S34), as in S14 above. In this way, while there is a discrepancy between the current distance and the appropriate distance, the support rod 106 is moved in a direction that reduces the discrepancy. As a result, the distance between the plasma nozzle 72 and the culture solution converges to the appropriate distance. When the current distance matches the appropriate distance (S36: YES), the controller 170 terminates the automatic resetting of the appropriate distance.

なお、S14,S18,S30及びS34の処理では、電磁モータ210に対して所定回転数だけ回転を指示しているが、所定回転数は、各処理で同じ回転数でもよいし、各処理で異なった回転数であってもよい。あるいは、S14とS18では同じ回転数であり、かつS30とS34では同じ回転数であるが、S14とS30では異なった回転数であってもよい。 Note that in the processes of S14, S18, S30, and S34, the electromagnetic motor 210 is instructed to rotate a predetermined number of revolutions, but the predetermined number of revolutions may be the same for each process, or may be different for each process. Alternatively, the number of revolutions may be the same for S14 and S18, and the same for S30 and S34, but different for S14 and S30.

このように、本実施形態の大気圧プラズマ照射装置10Aでは、昇降装置200は、電磁モータ210と、電磁モータ210の回転軸の回転量を貯留部184の移動量に変換するラック107及びピニオンと、を有している。ちなみに、電磁モータ210は、「モータ」の一例である。 As such, in the atmospheric pressure plasma irradiation device 10A of this embodiment, the lifting device 200 has an electromagnetic motor 210, and a rack 107 and pinion that convert the amount of rotation of the rotation shaft of the electromagnetic motor 210 into the amount of movement of the storage section 184. Incidentally, the electromagnetic motor 210 is an example of a "motor."

また、本実施形態の大気圧プラズマ照射装置10Aは、照射ブロック180内に貯留された培養液とプラズマ発生装置20との距離が指定距離になるように電磁モータ210を制御するコントローラ170をさらに備えている。ちなみに、コントローラ170は、「制御部」の一例である。これにより、培養液とプラズマ発生装置20との距離を再度、適正距離に戻すときの操作を、電磁モータ210により自動的に行うことが可能となる。 The atmospheric pressure plasma irradiation device 10A of this embodiment also includes a controller 170 that controls the electromagnetic motor 210 so that the distance between the culture solution stored in the irradiation block 180 and the plasma generator 20 is a specified distance. Incidentally, the controller 170 is an example of a "control unit." This allows the electromagnetic motor 210 to automatically return the distance between the culture solution and the plasma generator 20 to the appropriate distance.

また、本実施形態の大気圧プラズマ照射装置10Aは、照射ブロック180を載置するためのステージ26と、ステージ26の裏面に連結された支持ロッド106と、をさらに備えている。そして、昇降装置200は、支持ロッド106を上下方向に移動させることにより、照射ブロック180内に貯留された培養液とプラズマ発生装置20との距離を調節し、スケールユニット110は、支持ロッド106に連結され、昇降装置200により移動された支持ロッド106の移動量を示す位置情報を出力する。 The atmospheric pressure plasma irradiation device 10A of this embodiment also includes a stage 26 for placing the irradiation block 180, and a support rod 106 connected to the back surface of the stage 26. The lifting device 200 adjusts the distance between the culture solution stored in the irradiation block 180 and the plasma generator 20 by moving the support rod 106 up and down, and the scale unit 110 is connected to the support rod 106 and outputs position information indicating the amount of movement of the support rod 106 moved by the lifting device 200.

なお、本開示は上記各実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。 Note that this disclosure is not limited to the above embodiments, and various modifications are possible without departing from the spirit of the disclosure.

上記各実施形態では、被処理体として、培養液が採用されているが、培養液以外の液体を、被処理体として採用することが可能である。また、医療の分野に限られず、工業分野等の種々の分野に、本開示を適用することが可能である。 In each of the above embodiments, a culture medium is used as the object to be treated, but it is possible to use liquids other than a culture medium as the object to be treated. Furthermore, the present disclosure is not limited to the medical field, and can be applied to various fields, such as the industrial field.

10,10A…大気圧プラズマ照射装置、20…プラズマ発生装置、26…ステージ、38,38A…制御装置、72…噴出口、100,200…昇降装置、101…回転式操作子、102…歯車、103…回転軸、105…ピニオン保持部、106…支持ロッド、107…ラック、110…スケールユニット、112…エンコーダ部、114…スケール部、120…ディスプレイ、132…パージガス供給装置、150…UPキー、152…DOWNキー、170…コントローラ、180…照射ブロック、184…貯留部、210…電磁モータ。 10, 10A...atmospheric pressure plasma irradiation device, 20...plasma generator, 26...stage, 38, 38A...controller, 72...nozzle, 100, 200...elevating device, 101...rotary operator, 102...gear, 103...rotating shaft, 105...pinion holder, 106...support rod, 107...rack, 110...scale unit, 112...encoder, 114...scale, 120...display, 132...purge gas supply device, 150...UP key, 152...DOWN key, 170...controller, 180...irradiation block, 184...storage section, 210...electromagnetic motor.

Claims (6)

被処理液体を貯留する貯留容器と、
前記貯留容器内に貯留された前記被処理液体に照射するプラズマを発生するプラズマ発生装置と、
前記貯留容器内に貯留された前記被処理液体と前記プラズマ発生装置との距離を調節するために、前記貯留容器を前記プラズマ発生装置に近づく方向及び前記プラズマ発生装置から離れる方向のいずれの方向にも移動させることができる移動機構と、
前記移動機構により移動された前記貯留容器の移動量を示す位置情報を出力するエンコーダと、
前記貯留容器を載置するためのステージと、
前記ステージの裏面に連結されたシャフトと、
を備えたプラズマ照射装置であって、
前記移動機構は、前記シャフトを上下方向に移動させることにより、前記貯留容器内に貯留された前記被処理液体と前記プラズマ発生装置との距離を調節し、
前記エンコーダは、前記シャフトに連結され、前記移動機構により移動された前記シャフトの移動量を示す位置情報を出力し、
前記貯留容器は、前記被処理液体を貯留する貯留部と、前記プラズマ照射装置の外部から前記貯留部に前記被処理液体を送液する送液管を取り付ける送液管取付部と、前記貯留部に貯留された前記被処理液体を排液するために前記貯留部の底面に設けられた排液穴と、前記排液穴を含む位置から前記貯留容器の下方に突出して形成された排出部と、を有し、
前記排出部には、前記排液穴と連通した貫通孔と、前記貫通孔を通る排液を、前記プラズマ照射装置の外部に排出するための排液管を取り付ける排液管取付部と、が形成され、
前記ステージには、前記排出部を嵌め合わせるための切欠きが形成され、
前記貯留容器を前記ステージに載置するときには、前記貯留容器の前記排出部を前記ステージの前記切欠きに嵌め合わせることにより載置する、
プラズマ照射装置。
a storage container for storing the liquid to be treated;
a plasma generating device that generates plasma to be irradiated onto the liquid to be treated stored in the storage container;
a movement mechanism that can move the storage container in either a direction toward the plasma generator or a direction away from the plasma generator in order to adjust the distance between the liquid to be treated stored in the storage container and the plasma generator;
an encoder that outputs position information indicating the amount of movement of the storage container moved by the movement mechanism;
a stage for placing the storage container;
a shaft connected to the rear surface of the stage;
A plasma irradiation device comprising:
the moving mechanism adjusts the distance between the liquid to be treated stored in the storage container and the plasma generator by moving the shaft up and down;
the encoder is coupled to the shaft and outputs position information indicating a movement amount of the shaft moved by the movement mechanism;
The storage container has a storage section for storing the liquid to be treated, a liquid feed tube attachment section for attaching a liquid feed tube for feeding the liquid to be treated from the outside of the plasma irradiation device to the storage section, a drain hole provided in the bottom surface of the storage section for draining the liquid to be treated stored in the storage section, and a discharge section formed to protrude downward from a position including the drain hole of the storage container,
The discharge portion is formed with a through hole communicating with the drain hole, and a drain pipe attachment portion for attaching a drain pipe for discharging the drained liquid passing through the through hole to the outside of the plasma irradiation device,
The stage is formed with a notch into which the discharge portion is fitted,
When the storage container is placed on the stage, the storage container is placed by fitting the discharge portion of the storage container into the notch of the stage.
Plasma irradiation device.
前記エンコーダが出力した前記位置情報を表示する表示器
をさらに備えた請求項1に記載のプラズマ照射装置。
The plasma irradiation device according to claim 1 , further comprising a display that displays the position information output by the encoder.
前記移動機構は、
時計回り及び反時計回りに回転可能な回転式操作子と、
前記回転式操作子により回転された回転量を前記貯留容器の移動量に変換する変換機構と、
を有する
請求項1又は2に記載のプラズマ照射装置。
The moving mechanism includes:
A rotary operator that can rotate clockwise and counterclockwise;
a conversion mechanism that converts a rotation amount rotated by the rotary operator into a movement amount of the storage container;
The plasma irradiation device according to claim 1 or 2, comprising:
前記移動機構は、
モータと、
前記モータの回転軸の回転量を前記貯留容器の移動量に変換する変換機構と、
を有する
請求項1又は2に記載のプラズマ照射装置。
The moving mechanism includes:
A motor;
a conversion mechanism that converts the rotation amount of the rotation shaft of the motor into the movement amount of the storage container;
The plasma irradiation device according to claim 1 or 2, comprising:
前記貯留容器内に貯留された前記被処理液体と前記プラズマ発生装置との距離が指定距離になるように前記モータを制御する制御部
をさらに備えた請求項4に記載のプラズマ照射装置。
5. The plasma irradiation device according to claim 4, further comprising a control unit that controls the motor so that the distance between the liquid to be treated stored in the storage container and the plasma generator is a designated distance.
被処理液体を貯留する貯留容器と、前記貯留容器内に貯留された前記被処理液体に照射するプラズマを発生するプラズマ発生装置と、前記貯留容器内に貯留された前記被処理液体と前記プラズマ発生装置との距離を調節するために、前記貯留容器を前記プラズマ発生装置に近づく方向及び前記プラズマ発生装置から離れる方向のいずれの方向にも移動させることができる移動機構と、前記移動機構により移動された前記貯留容器の移動量を示す位置情報を出力するエンコーダと、前記貯留容器を載置するためのステージと、前記ステージの裏面に連結されたシャフトと、を備えたプラズマ照射装置であって、前記移動機構は、前記シャフトを上下方向に移動させることにより、前記貯留容器内に貯留された前記被処理液体と前記プラズマ発生装置との距離を調節し、前記エンコーダは、前記シャフトに連結され、前記移動機構により移動された前記シャフトの移動量を示す位置情報を出力し、前記貯留容器は、前記被処理液体を貯留する貯留部と、前記プラズマ照射装置の外部から前記貯留部に前記被処理液体を送液する送液管を取り付ける送液管取付部と、前記貯留部に貯留された前記被処理液体を排液するために前記貯留部の底面に設けられた排液穴と、前記排液穴を含む位置から前記貯留容器の下方に突出して形成された排出部と、を有し、前記排出部には、前記排液穴と連通した貫通孔と、前記貫通孔を通る排液を、前記プラズマ照射装置の外部に排出するための排液管を取り付ける排液管取付部と、が形成され、前記ステージには、前記排出部を嵌め合わせるための切欠きが形成され、前記貯留容器を前記ステージに載置するときには、前記貯留容器の前記排出部を前記ステージの前記切欠きに嵌め合わせることにより載置する、プラズマ照射装置を用いて、前記貯留容器内に貯留された前記被処理液体にプラズマを照射することによりプラズマ処理液体を製造するプラズマ処理液体製造方法。 a moving mechanism that can move the storage container in either a direction toward or away from the plasma generator in order to adjust the distance between the liquid to be processed stored in the storage container and the plasma generator; an encoder that outputs position information that indicates the amount of movement of the storage container moved by the movement mechanism; a stage for placing the storage container; and a shaft connected to the back surface of the stage, wherein the movement mechanism moves the shaft in a vertical direction to adjust the distance between the liquid to be processed stored in the storage container and the plasma generator; the encoder that is connected to the shaft and outputs position information that indicates the amount of movement of the shaft moved by the movement mechanism; a storage container having a storage section for storing the liquid to be treated, a liquid delivery pipe attachment section for attaching a liquid delivery pipe for delivering the liquid to be treated from outside the plasma irradiation device to the storage section, a drain hole provided on the bottom surface of the storage section for draining the liquid to be treated stored in the storage section, and a discharge section formed protruding downward from a position including the drain hole, the discharge section having a through hole communicating with the drain hole and a drain pipe attachment section for attaching a drain pipe for discharging the drained liquid passing through the through hole to the outside of the plasma irradiation device, the stage having a notch for fitting into the discharge section, and when the storage container is placed on the stage, the discharge section of the storage container is placed by fitting the discharge section of the storage container into the notch of the stage, a plasma treatment liquid production method for producing a plasma treatment liquid by irradiating plasma to the liquid to be treated stored in the storage container using a plasma irradiation device .
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