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JP7774698B2 - Silver alloy bonding wire, its preparation method and use - Google Patents
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JP7774698B2 - Silver alloy bonding wire, its preparation method and use - Google Patents

Silver alloy bonding wire, its preparation method and use

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Description

本発明は、パッケージング用材料の技術分野に属し、特に銀合金ボンディングワイヤー、その調製方法および使用に関する。 The present invention belongs to the technical field of packaging materials, and in particular relates to silver alloy bonding wire, its preparation method and use.

ワイヤーボンディングは、マイクロエレクトロニックパッケージの最も一般的で最も重要な相互接続の方法である。ボンディングワイヤーは、パッケージング用インナリードであり、チップとフレームとの間の溶接リードとして、ピンおよびシリコンウエーハとの接続および電気信号の伝達に使用され、チップと外部回路との電気的接続の役割を果たしており、集積回路、半導体ディスクリートデバイスおよびLED光源デバイスの再パッケージング製造プロセスに不可欠な基礎原材料の1つである。ボンディングワイヤーは、主に金ワイヤー、銀ワイヤー、アルミニウムワイヤー、銅ワイヤーなどを含む。銀ワイヤーは、良好な力学的性質を有し、デバイスの高周波ノイズおよび発熱量を低減でき、金ワイヤーよりも価格優位性が著しい。 Wire bonding is the most common and most important interconnection method for microelectronic packages. Bonding wire is the inner lead for packaging, and is used as a welding lead between the chip and the frame to connect with pins and silicon wafers and transmit electrical signals, serving as an electrical connection between the chip and external circuits. It is one of the basic raw materials essential for the repackaging manufacturing process of integrated circuits, semiconductor discrete devices, and LED light source devices. Bonding wire mainly includes gold wire, silver wire, aluminum wire, copper wire, etc. Silver wire has good mechanical properties, can reduce high-frequency noise and heat generation in devices, and has a significant price advantage over gold wire.

半導体パッケージングの高密度化、集積化への発展に伴い、ボンディングの信頼性がより重要になっている。しかしながら、銀ワイヤーには、接続強度が低く、エレクトロマイグレーションが発生しやすく、金属が腐食されて硫化してしまうなどの問題があり、信頼性が低下し、応用が大きく制限されている。
これに鑑みて、本発明を考案した。
As semiconductor packaging becomes increasingly dense and integrated, bonding reliability is becoming more important. However, silver wires have problems such as low bond strength, electromigration, and metal corrosion and sulfidation, which reduce reliability and significantly limit their applications.
In view of this, the present invention has been devised.

本発明は、優れた力学的性質および耐食性を有する銀合金ボンディングワイヤーを提供することを第1目的とする。 The primary objective of the present invention is to provide a silver alloy bonding wire with excellent mechanical properties and corrosion resistance.

本発明は、ボンディングワイヤーの力学的性質および耐食性を向上させることができる、銀合金ボンディングワイヤーの調製方法を提供することを第2目的とする。 A second object of the present invention is to provide a method for preparing silver alloy bonding wire that can improve the mechanical properties and corrosion resistance of the bonding wire.

本発明は、ボンディングの信頼性を向上させることができる、銀合金ボンディングワイヤーの電子パッケージングにおける使用を提供することを第3目的とする。 A third object of the present invention is to provide a silver alloy bonding wire for use in electronic packaging, which can improve bonding reliability.

本発明の上記の目的を実現するため、特に、下記の技術案を採用する。 To achieve the above objectives of the present invention, the following technical solutions are particularly adopted.

本発明は、銀合金ボンディングワイヤーを提供する。前記銀合金ボンディングワイヤーは、芯材を含み、前記芯材は、質量分率で、Al:0.5wt%~0.7wt%、Ce:0.6wt%~1wt%、カーボンナノチューブ:1wt%~3wt%、Sb:0.3wt%~0.5wt%を含み、残部がAgである。 The present invention provides a silver alloy bonding wire. The silver alloy bonding wire includes a core material containing, by mass fraction, 0.5 wt% to 0.7 wt% Al, 0.6 wt% to 1 wt% Ce, 1 wt% to 3 wt% carbon nanotubes, 0.3 wt% to 0.5 wt% Sb, and the remainder being Ag.

さらに、前記芯材において、前記Alと前記Sbとの質量分率の合計は、1%であり、および/または、前記芯材において、前記Alと、前記Ceと、前記カーボンナノチューブと、前記Sbとの質量分率の合計は、3.5%以下である。 Furthermore, in the core material, the total mass fraction of the Al and the Sb is 1%, and/or the total mass fraction of the Al, the Ce, the carbon nanotubes, and the Sb in the core material is 3.5% or less.

さらに、前記カーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブを含む、および/または、前記カーボンナノチューブは、直径が2nm以下であり、長さが50nm以下である。 Furthermore, the carbon nanotubes include single-walled carbon nanotubes, and/or the carbon nanotubes have a diameter of 2 nm or less and a length of 50 nm or less.

さらに、前記芯材の表面に設けられた保護層をさらに含む、および/または、前記芯材の表面に設けられた保護層は、重量部で、成膜剤:3~5部、界面活性剤:1~3部、溶解補助剤:1~3部を含む。 Furthermore, the core material further includes a protective layer formed on the surface thereof, and/or the protective layer formed on the surface of the core material includes, by weight, 3 to 5 parts of a film-forming agent, 1 to 3 parts of a surfactant, and 1 to 3 parts of a solubilizing agent.

さらに、前記成膜剤は、エチレングリコールモノビニルエーテル、ポリアクリレートおよびポリ酢酸ビニルのうちの少なくとも1種を含み、前記界面活性剤は、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ドデシル硫酸ナトリウムおよびドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムのうちの少なくとも1種を含み、前記溶解補助剤は、パラアミノ安息香酸、アセトンおよびメタノールのうちの少なくとも1種を含む。 Furthermore, the film-forming agent includes at least one of ethylene glycol monovinyl ether, polyacrylate, and polyvinyl acetate, the surfactant includes at least one of polyethylene glycol fatty acid ester, sodium dodecyl sulfate, and sodium dodecylbenzenesulfonate, and the solubilizing agent includes at least one of para-aminobenzoic acid, acetone, and methanol.

さらに、前記芯材の直径は、15~40μmである、および/または、前記保護層の厚さは、1.5~4μmである。 Furthermore, the diameter of the core material is 15 to 40 μm, and/or the thickness of the protective layer is 1.5 to 4 μm.

本発明は、上記の銀合金ボンディングワイヤーの調製方法をさらに提供する。前記調製方法は、Ag/Ce中間合金と、Sb原料と、Al箔と、前記カーボンナノチューブとに対して順に溶製、注湯を行って、棒材を得るステップS1と、前記棒材に対して順に押出および引抜を行って、前記芯材を得るステップS2と、を含む。 The present invention further provides a method for preparing the above-mentioned silver alloy bonding wire. The preparation method includes step S1 of melting and pouring the Ag/Ce intermediate alloy, the Sb raw material, the Al foil, and the carbon nanotubes in that order to obtain a rod, and step S2 of extruding and drawing the rod in that order to obtain the core material.

さらに、ステップS2において、前記押出の温度が700~750℃である、および/または、前記押出の押出比が3~4.5である。 Furthermore, in step S2, the extrusion temperature is 700 to 750°C, and/or the extrusion ratio is 3 to 4.5.

さらに、前記銀合金ボンディングワイヤーの調製方法は、(1)前記芯材に対して洗浄、アニール処理および浸漬処理を順に行って、前記銀合金ボンディングワイヤーを得るステップをさらに含むこと、(2)前記アニール処理の温度が450~500℃であること、および(3)前記浸漬処理は、前記アニール処理後の前記芯材を保護剤に浸漬して、保護層を得ることを含み、前記保護剤は、重量部で、成膜剤:3~5部、界面活性剤:1~3部、溶解補助剤:1~3部、溶媒:70~80部を含むこと、のうちの少なくとも1つを含む。 Furthermore, the method for preparing the silver alloy bonding wire includes at least one of the following: (1) the core material is subjected to cleaning, annealing, and immersion treatments in order to obtain the silver alloy bonding wire; (2) the annealing temperature is 450 to 500°C; and (3) the immersion treatment includes immersing the annealed core material in a protective agent to obtain a protective layer, the protective agent containing, by weight, 3 to 5 parts of film-forming agent, 1 to 3 parts of surfactant, 1 to 3 parts of dissolution aid, and 70 to 80 parts of solvent.

本発明は、上記の銀合金ボンディングワイヤーまたは上記の銀合金ボンディングワイヤーの調製方法により調製された銀合金ボンディングワイヤーの、電子パッケージングにおける使用をさらに提供する。 The present invention further provides the use of the above-described silver alloy bonding wire or a silver alloy bonding wire prepared by the above-described method for preparing a silver alloy bonding wire in electronic packaging.

従来技術に比べて、本発明は、下記の有益な効果を有する。
1.本発明による銀合金ボンディングワイヤーは、銀合金にSb元素およびカーボンナノチューブを添加し、Ce元素およびAl元素との協働により、銀合金ボンディングワイヤーの力学的性質、加工性能、エレクトロマイグレーション耐性および耐食性を向上させ、微線径加工および高密度リードのLEDデバイスのパッケージング要求を満たすことができる。
2.本発明による銀合金ボンディングワイヤーは、芯材の表面において保護層を設けることにより、銀合金ボンディングワイヤーの防食性能をさらに向上させ、芯材の硫化、腐食を防止することができる。
3.本発明による銀合金ボンディングワイヤーの調製方法は、溶製、注湯および押出などの工程により、銀合金ボンディングワイヤーの緻密度および強度を上げることができる。
Compared with the prior art, the present invention has the following beneficial effects:
1. The silver alloy bonding wire of the present invention is obtained by adding Sb and carbon nanotubes to the silver alloy, and by cooperating with Ce and Al, the mechanical properties, processing performance, electromigration resistance, and corrosion resistance of the silver alloy bonding wire are improved, and the requirements for fine wire diameter processing and high-density lead packaging for LED devices can be met.
2. The silver alloy bonding wire according to the present invention has a protective layer on the surface of the core material, which further improves the corrosion resistance of the silver alloy bonding wire and prevents sulfurization and corrosion of the core material.
3. The method for preparing the silver alloy bonding wire according to the present invention can increase the density and strength of the silver alloy bonding wire through processes such as melting, pouring, and extrusion.

本発明の具体的な実施形態または従来技術における技術案をより明瞭に説明するため、以下、具体的な実施形態または従来技術に用いられる図面を簡単に説明する。説明する図面は、本発明のいくつかの実施形態を示すものにすぎない。当業者は、発明能力を用いなくても、これらの図面に基づいて他の図面を得ることが可能である。
本発明の実施例1および比較例1による銀合金ボンディングワイヤー1#~11#の耐食性を示すグラフである。
In order to more clearly describe the specific embodiments of the present invention or the technical solutions in the prior art, the drawings used in the specific embodiments or the prior art will be briefly described below. The drawings described only show some embodiments of the present invention. Those skilled in the art can obtain other drawings based on these drawings without using inventive ability.
1 is a graph showing the corrosion resistance of silver alloy bonding wires 1# to 11# according to Example 1 of the present invention and Comparative Example 1.

以下、図面および具体的な実施形態を用いて本発明の技術案を明瞭かつ完全に説明する。当業者であれば分かるように、説明する実施例は、本発明の一部の実施例にすぎず、すべての実施例ではなく、本発明を説明するものにすぎなく、本発明の範囲を限定するものではない。本発明における実施例に基づいて、当業者が発明能力を用いることなく得たすべての他の実施例も、本発明の保護範囲に属する。実施例において、具体的な条件を明記しないことについて、従来の条件またはメーカーの推奨する条件下で行うことが可能である。製造メーカーが明記されていない試剤または器械について、市販の従来品を使用することが可能である。 The following provides a clear and complete explanation of the technical solutions of the present invention with the aid of drawings and specific embodiments. Those skilled in the art will understand that the described examples are only some of the examples of the present invention, not all of the examples, and are intended to illustrate the present invention and not to limit the scope of the present invention. All other examples that are obtained by those skilled in the art based on the examples of the present invention without using their inventive abilities also fall within the scope of protection of the present invention. In the examples, where specific conditions are not specified, they can be carried out under conventional conditions or conditions recommended by the manufacturer. For reagents or equipment whose manufacturers are not specified, conventional commercially available products can be used.

なお、本明細書に使用される「および/または」という用語は、関連対象の関係を表すものであり、3種の関係が存在することを表している。例えば、Aおよび/またはBは、Aだけが存在し、AおよびBの両方が存在し、Bだけが存在するという3種の関係を表す。 Note that the term "and/or" used in this specification represents a relationship between related objects, and indicates that a three-way relationship exists. For example, A and/or B represents a three-way relationship in which only A exists, both A and B exist, and only B exists.

本発明のいくつかの実施形態は、銀合金ボンディングワイヤーを提供する。該銀合金ボンディングワイヤーは、芯材を含み、芯材は、質量分率で、Al:0.5wt%~0.7wt%、Ce:0.6wt%~1wt%、カーボンナノチューブ:1wt%~3wt%、Sb:0.3wt%~0.5wt%を含み、残部がAgである。 Some embodiments of the present invention provide a silver alloy bonding wire. The silver alloy bonding wire includes a core material containing, by mass fraction, 0.5 wt% to 0.7 wt% Al, 0.6 wt% to 1 wt% Ce, 1 wt% to 3 wt% carbon nanotubes, 0.3 wt% to 0.5 wt% Sb, and the remainder being Ag.

本発明による銀合金ボンディングワイヤーは、接続強度が低く、エレクトロマイグレーションが発生しやすく、金属が腐食されて硫化してしまうなどの銀ワイヤーの問題を解決できる。本発明による銀合金ボンディングワイヤーは、優れた力学的性質、加工性能、エレクトロマイグレーション耐性および耐硫化、耐食性を有し、微線径加工および高密度リードのLEDデバイスのパッケージング要求を満たすことができる。 The silver alloy bonding wire of the present invention solves the problems associated with silver wire, such as low connection strength, susceptibility to electromigration, and metal corrosion and sulfurization. The silver alloy bonding wire of the present invention has excellent mechanical properties, processability, electromigration resistance, sulfurization resistance, and corrosion resistance, and can meet the packaging requirements of LED devices with fine wire diameter processing and high-density leads.

本発明による銀合金ボンディングワイヤーにおいて、Al元素を加えることにより、銀の表面に緻密な保護層を形成し、表面をパッシベーション化し、銀合金ワイヤーの耐食性を向上させることができ、Ce元素を加えることにより、耐食性を向上させることができ、Ag/Al界面のIMCの成長速度および拡散速度を上げ、ボンディングの信頼性を向上させ、カーボンナノチューブを向上させることにより、熱伝導率を上げ、電子移動度を下げることができ、そして、カーボンナノチューブがナノ強化相として、銀金属液の非自発的核生成方式で核生成サイトを増加させることを促進し、これによって、結晶粒を微細化させ、ボンディングワイヤーの強度を上げることができ、Sb元素を加えることにより、Sb元素が結晶粒界で堆積し、これによって、結晶粒界に沿う拡散作用を低減し、強度およびエレクトロマイグレーション耐性を向上させることができる。 In the silver alloy bonding wire of the present invention, the addition of Al element forms a dense protective layer on the silver surface, passivating the surface and improving the corrosion resistance of the silver alloy wire. The addition of Ce element improves corrosion resistance and increases the growth and diffusion rate of IMC at the Ag/Al interface, improving bonding reliability. The addition of carbon nanotubes increases thermal conductivity and reduces electron mobility. Carbon nanotubes, as a nano-reinforcement phase, promote the non-spontaneous nucleation of silver metal liquid by increasing the number of nucleation sites, thereby refining the crystal grains and increasing the strength of the bonding wire. The addition of Sb element causes the Sb element to accumulate at the crystal grain boundaries, thereby reducing diffusion along the crystal grain boundaries and improving strength and electromigration resistance.

本発明のいくつかの実施形態において、代表的かつ非限定的なこととして、例えば、芯材において、Alの質量分率は、0.5wt%、0.55wt%、0.6wt%、0.65wt%、0.7wt%、またはそのうちの任意の2つの値からなる範囲内の値であり、Ceの質量分率は、0.6wt%、0.65wt%、0.7wt%、0.75wt%、0.8wt%、0.85wt%、0.9wt%、0.95wt%、1wt%、またはそのうちの任意の2つの値からなる範囲内の値であり、カーボンナノチューブの質量分率は、1wt%、1.2wt%、1.4wt%、1.6wt%、1.8wt%、2wt%、2.2wt%、2.4wt%、2.6wt%、2.8wt%、3wt%、またはそのうちの任意の2つの値からなる範囲内の値であり、Sbの質量分率は、0.3wt%、0.35wt%、0.4wt%、0.45wt%、0.5wt%、またはそのうちの任意の2つの値からなる範囲内の値である。 In some embodiments of the present invention, as a representative and non-limiting example, in the core material, the mass fraction of Al is 0.5 wt%, 0.55 wt%, 0.6 wt%, 0.65 wt%, 0.7 wt%, or a value within a range consisting of any two values therein, and the mass fraction of Ce is 0.6 wt%, 0.65 wt%, 0.7 wt%, 0.75 wt%, 0.8 wt%, 0.85 wt%, 0.9 wt%, 0.95 wt%, 1 wt%, or any two values therein. The mass fraction of carbon nanotubes is 1 wt%, 1.2 wt%, 1.4 wt%, 1.6 wt%, 1.8 wt%, 2 wt%, 2.2 wt%, 2.4 wt%, 2.6 wt%, 2.8 wt%, 3 wt%, or a value within a range consisting of any two values thereof, and the mass fraction of Sb is 0.3 wt%, 0.35 wt%, 0.4 wt%, 0.45 wt%, 0.5 wt%, or a value within a range consisting of any two values thereof.

本発明は、銀合金ボンディングワイヤーの力学的性質および耐食性を向上させるために、銀合金ボンディングワイヤーにおける芯材の成分をさらに最適化する。 The present invention further optimizes the composition of the core material in silver alloy bonding wire to improve the mechanical properties and corrosion resistance of the silver alloy bonding wire.

本発明のいくつかの実施形態において、芯材は、質量分率で、Al:0.55wt%~0.65wt%、Ce:0.75wt%~0.85wt%、カーボンナノチューブ:1.1wt%~1.3wt%、Sb:0.3wt%~0.5wt%を含み、残部がAgである。 In some embodiments of the present invention, the core material contains, by mass fraction, 0.55 wt% to 0.65 wt% Al, 0.75 wt% to 0.85 wt% Ce, 1.1 wt% to 1.3 wt% carbon nanotubes, 0.3 wt% to 0.5 wt% Sb, and the remainder Ag.

本発明のいくつかの実施形態において、芯材における、AlとSbとの質量分率の合計は、1%である。 In some embodiments of the present invention, the total mass fraction of Al and Sb in the core material is 1%.

本発明のいくつかの実施形態において、芯材における、Alと、Ceと、カーボンナノチューブと、Sbとの質量分率の合計は、3.5%以下である。 In some embodiments of the present invention, the total mass fraction of Al, Ce, carbon nanotubes, and Sb in the core material is 3.5% or less.

本発明のいくつかの実施形態において、カーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブを含む。 In some embodiments of the present invention, the carbon nanotubes include single-walled carbon nanotubes.

本発明のいくつかの実施形態において、カーボンナノチューブは、直径が2nm以下であり、長さが50nm以下である。 In some embodiments of the present invention, the carbon nanotubes have a diameter of 2 nm or less and a length of 50 nm or less.

上記のサイズのカーボンナノチューブを採用すれば、カーボンナノチューブが合金に均一に分布することができる。ボンディングワイヤーが極めて細い状態まで引かれると、カーボンナノチューブのサイズが比較的大きく、合金の変形および引抜に不利であり、力学的性質が劣る。 By using carbon nanotubes of the above sizes, the carbon nanotubes can be distributed uniformly throughout the alloy. When the bonding wire is drawn to an extremely thin state, the carbon nanotubes are relatively large, which is unfavorable for deformation and drawing of the alloy and results in poor mechanical properties.

本発明のいくつかの実施形態において、ボンディングワイヤーは、芯材の表面に設けられた保護層をさらに含む。 In some embodiments of the present invention, the bonding wire further includes a protective layer provided on the surface of the core material.

本発明のいくつかの実施形態において、保護層は、重量部で、成膜剤:3~5部、界面活性剤:1~3部、溶解補助剤:1~3部を含む。 In some embodiments of the present invention, the protective layer comprises, by weight, 3 to 5 parts of a film-forming agent, 1 to 3 parts of a surfactant, and 1 to 3 parts of a solubilizing agent.

本発明のいくつかの実施形態において、成膜剤は、エチレングリコールモノビニルエーテル、ポリアクリレートおよびポリ酢酸ビニルのうちの少なくとも1種を含むが、これらに限定されない。 In some embodiments of the present invention, the film-forming agent includes, but is not limited to, at least one of ethylene glycol monovinyl ether, polyacrylate, and polyvinyl acetate.

本発明のいくつかの実施形態において、界面活性剤は、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ドデシル硫酸ナトリウムおよびドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムのうちの少なくとも1種を含むが、これらに限定されない。 In some embodiments of the present invention, the surfactant includes, but is not limited to, at least one of polyethylene glycol fatty acid esters, sodium dodecyl sulfate, and sodium dodecylbenzenesulfonate.

本発明のいくつかの実施形態において、溶解補助剤は、パラアミノ安息香酸、アセトンおよびメタノールのうちの少なくとも1種を含むが、これらに限定されない。パラアミノ安息香酸は、汚れ、油などの除去、防食の役割を果たすことができる。 In some embodiments of the present invention, the solubilizing agent includes, but is not limited to, at least one of para-aminobenzoic acid, acetone, and methanol. Para-aminobenzoic acid can remove dirt, oil, etc., and can also act as an anti-corrosion agent.

本発明による保護層は、銀合金ボンディングワイヤーの芯材の硫化、腐食を防止することができ、そして銀合金ボンディングワイヤーのボンディングプロセスに影響を与えることがない。 The protective layer of the present invention can prevent sulfidation and corrosion of the core material of the silver alloy bonding wire and does not affect the bonding process of the silver alloy bonding wire.

本発明のいくつかの実施形態において、保護層は、重量部で、エチレングリコールモノビニルエーテル:3~5部、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル:1~3部、パラアミノ安息香酸:1~3部を含む。 In some embodiments of the present invention, the protective layer comprises, by weight, 3 to 5 parts ethylene glycol monovinyl ether, 1 to 3 parts polyethylene glycol fatty acid ester, and 1 to 3 parts para-aminobenzoic acid.

本発明のいくつかの実施形態において、芯材の直径は、15~40μmであり、代表的かつ非限定的なこととして、例えば、15μm、20μm、25μm、30μm、35μm、40μm、またはそのうちの任意の2つの値からなる範囲内の値であり、保護層の厚さは、1.5~4μmであり、代表的かつ非限定的なこととして、例えば、1.5μm、2μm、2.5μm、3μm、3.5μm、4μm、またはそのうちの任意の2つの値からなる範囲内の値である。 In some embodiments of the present invention, the diameter of the core material is 15 to 40 μm, typically and non-limitingly, for example, 15 μm, 20 μm, 25 μm, 30 μm, 35 μm, 40 μm, or a value within a range consisting of any two values therein, and the thickness of the protective layer is 1.5 to 4 μm, typically and non-limitingly, for example, 1.5 μm, 2 μm, 2.5 μm, 3 μm, 3.5 μm, 4 μm, or a value within a range consisting of any two values therein.

本発明のいくつかの実施形態において、銀合金ボンディングワイヤーの引張破断力は、9~10gである。 In some embodiments of the present invention, the tensile break strength of the silver alloy bonding wire is 9 to 10 g.

本発明のいくつかの実施形態は、銀合金ボンディングワイヤーの伸び率は、9%~12%であり、好ましくは、10.5%~12%である。 In some embodiments of the present invention, the elongation of the silver alloy bonding wire is between 9% and 12%, preferably between 10.5% and 12%.

本発明のいくつかの実施形態は、上記の銀合金ボンディングワイヤーの調製方法をさらに提供する。該調製方法は、下記のステップを含む。 Some embodiments of the present invention further provide a method for preparing the above-mentioned silver alloy bonding wire. The preparation method includes the following steps:

ステップS1:Ag/Ce中間合金と、Sb原料と、Al箔と、カーボンナノチューブとに対して順に溶製、注湯を行って、棒材を得る。 Step S1: The Ag/Ce intermediate alloy, Sb raw material, Al foil, and carbon nanotubes are melted and poured in order to obtain a rod.

ステップS2:上記の棒材に対して順に押出および引抜を行って、芯材を得る。 Step S2: The rod material is extruded and drawn in sequence to obtain the core material.

本発明による銀合金ボンディングワイヤーの調製方法は、溶製、注湯および押出などの工程により、銀合金ボンディングワイヤーの緻密度および強度を上げることができる。 The method for preparing silver alloy bonding wire according to the present invention can increase the density and strength of the silver alloy bonding wire through processes such as melting, pouring, and extrusion.

本発明のいくつかの実施形態において、ステップS1における、Ag/Ce中間合金の調製方法は、下記のことを含む。 In some embodiments of the present invention, the method for preparing an Ag/Ce intermediate alloy in step S1 includes the following:

Ag原料と、Ce原料とを配合比に従って秤量して真空炉内の坩堝に入れ、炉ドアを閉じて3×10-2Paまで真空引きし、アルゴンガスを0.1~0.3Paまで導入し、600~800℃まで昇温するとき、真空引き操作およびアルゴンガス導入操作を3回繰り返し、そして、1200~1250℃まで昇温し、3~5min撹拌し、10~15min精錬し、脱ガス操作、炉冷を経て、Ag/Ce中間合金を得る。好ましくは、Ag原料およびCe原料のそれぞれの純度は、99.99%超である。 The Ag raw material and the Ce raw material are weighed according to the blending ratio and placed in a crucible in a vacuum furnace. The furnace door is closed, the furnace is evacuated to 3×10 −2 Pa, argon gas is introduced until the pressure reaches 0.1 to 0.3 Pa, and the temperature is raised to 600 to 800°C. The evacuation and argon gas introduction operations are repeated three times, and the temperature is raised to 1200 to 1250°C. The mixture is stirred for 3 to 5 minutes, refined for 10 to 15 minutes, degassed, and cooled in the furnace to obtain an Ag/Ce intermediate alloy. Preferably, the purity of each of the Ag raw material and the Ce raw material is greater than 99.99%.

本発明のいくつかの実施形態における、ステップS1において、Ag/Ce中間合金と、Sb原料と、Al箔と、カーボンナノチューブとを真空溶製炉に入れ、2×10-2Paまで真空引きしてから、アルゴンガスを0.1~0.3Paまで導入し、真空引き操作およびアルゴンガス導入操作を3回繰り返し、そして、1250~1300℃まで昇温し、マグネチックスターラーを利用して15~20min撹拌し、1150~1200℃まで降温するとき、注湯により直径30~50mmの棒材を形成する。 In some embodiments of the present invention, in step S1, an Ag/Ce intermediate alloy, an Sb raw material, an Al foil, and carbon nanotubes are placed in a vacuum furnace, which is then evacuated to 2×10 −2 Pa, and argon gas is introduced to 0.1 to 0.3 Pa. The evacuation and argon gas introduction operations are repeated three times, and the temperature is increased to 1250 to 1300°C, and the mixture is stirred using a magnetic stirrer for 15 to 20 minutes. When the temperature is reduced to 1150 to 1200°C, a rod having a diameter of 30 to 50 mm is formed by pouring the molten metal.

本発明のいくつかの実施形態において、ステップS1における、Al箔およびカーボンナノチューブの添加方式として、カーボンナノチューブ粉をAl箔に敷設し、そして2枚のAl箔により挟持して折り畳んで添加を行う。 In some embodiments of the present invention, the method for adding the Al foil and carbon nanotubes in step S1 involves laying the carbon nanotube powder on the Al foil, sandwiching it between two sheets of Al foil, and folding it over to add it.

本発明のいくつかの実施形態において、ステップS2における、押出の温度が700~750℃であり、押出の押出比が3~4.5である。好ましくは、押出は、下記のことを含む。棒材を押出機のコンテナに置き、700~750℃まで加熱して2hの保温処理を行い、棒材の押出速度が3~4mm/sであり、押出比が3~4.5であり、押出ホイールの回転速度が5~7r/minであり、押出により直径5~10mmの棒材を得る。 In some embodiments of the present invention, the extrusion temperature in step S2 is 700-750°C, and the extrusion ratio is 3-4.5. Preferably, the extrusion includes the following: placing the rod in an extruder container, heating it to 700-750°C, and holding it at that temperature for 2 hours; extruding the rod at a speed of 3-4 mm/s, an extrusion ratio of 3-4.5, and a rotation speed of the extrusion wheel of 5-7 r/min; and extruding a rod having a diameter of 5-10 mm.

本発明は、脱ガス、精錬、棒材注湯を利用し、棒材について連続鋳造ではなくピーリング押出を利用し、緻密度をさらに上げ、強度を上げた。 This invention utilizes degassing, refining, and rod pouring, and uses peeling extrusion for the rods instead of continuous casting, further increasing density and strength.

本発明のいくつかの実施形態において、引抜が少なくとも2回の伸線処理を含み、伸線処理するたびに熱処理を行って次の伸線処理を行う。好ましくは、引抜は、第1伸線処理、熱処理および第2伸線処理を順に行うことを含む。 In some embodiments of the present invention, the drawing includes at least two drawing processes, with a heat treatment being performed after each drawing process before the next drawing process. Preferably, the drawing includes a first drawing process, a heat treatment, and a second drawing process, in sequence.

本発明のいくつかの実施形態において、ステップS2における、第1伸線処理は、押出後の棒材を伸線機により直径0.8~1.1mmの線材にすることを含み、押出は、1パス当たりの減少率が15%~18%であり、伸線速度が1.2~1.8m/sである。 In some embodiments of the present invention, the first wire drawing process in step S2 involves drawing the extruded rod into a wire having a diameter of 0.8 to 1.1 mm using a wire drawing machine, with a reduction rate per extrusion pass of 15% to 18% and a wire drawing speed of 1.2 to 1.8 m/s.

本発明のいくつかの実施形態において、ステップS2における、熱処理は、下記のことを含む。直径0.8~1.1mmの線材を真空焼鈍炉に入れ、3×10-2~5×10-2Paの真空度で、2~3.5℃/sの速度で350~400℃まで昇温して3~5h熱処理したあと、80℃以下まで炉冷する。 In some embodiments of the present invention, the heat treatment in step S2 includes the following: placing a wire rod having a diameter of 0.8 to 1.1 mm in a vacuum annealing furnace, heating it to 350 to 400°C at a rate of 2 to 3.5°C/s under a vacuum of 3 x 10-2 to 5 x 10-2 Pa, and heat-treating it for 3 to 5 hours, followed by furnace cooling to 80°C or less.

本発明のいくつかの実施形態において、ステップS2における、第2伸線処理は、下記のことを含む。熱処理後の線材に対してマルチ伸線機を利用して絞り引抜を行い、そして細線の絞り引抜により、線径15~40μmの芯材を得る。好ましくは、マルチ伸線機による絞り引抜の過程において、1パス当たりの減少率が10%~13%であり、伸線速度が2~2.5m/sである。細線の絞り引抜の過程において、縮径率が15%~18%であり、伸線速度が3~5m/sである。 In some embodiments of the present invention, the second wiredrawing process in step S2 includes the following: The heat-treated wire is subjected to drawing using a multi-wiredrawing machine, and a core material with a wire diameter of 15 to 40 μm is obtained by drawing a thin wire. Preferably, during the drawing process using the multi-wiredrawing machine, the reduction rate per pass is 10% to 13%, and the drawing speed is 2 to 2.5 m/s. During the drawing process of the thin wire, the diameter reduction rate is 15% to 18%, and the drawing speed is 3 to 5 m/s.

本発明のいくつかの実施形態において、銀合金ボンディングワイヤーの調製方法は、芯材に対して洗浄、アニール処理および浸漬処理を順に行って、銀合金ボンディングワイヤーを得るステップをさらに含む。 In some embodiments of the present invention, the method for preparing a silver alloy bonding wire further includes the steps of sequentially cleaning, annealing, and immersing the core material to obtain a silver alloy bonding wire.

本発明のいくつかの実施形態において、アニールは、下記のことを含む。洗浄後の芯材をインラインアニーリング機器に通し、酸化防止液滴下装置を配備し、通す速度が2.5~3m/sであり、アニールの温度が450~500℃である。 In some embodiments of the present invention, annealing includes passing the cleaned core material through an in-line annealing device equipped with an antioxidant liquid dripping device, at a passing speed of 2.5 to 3 m/s, and at an annealing temperature of 450 to 500°C.

アニールは、この前の工程の加工硬化を消耗し、ボンディングワイヤーの安定性および信頼性を向上させ、ボンディングワイヤーの機械的強度を改善することができ、これによって、ボンディングワイヤーが、より大きな引張破断力に耐えることができる。ボンディングワイヤーの抵抗率および導電率がその結晶構造および格子欠陥に深く依存し、アニールにより、結晶粒の成長および格子欠陥の修復を促進することができ、これによって、ボンディングワイヤーの電気性能および導電性を向上させることができる。 Annealing can remove the work hardening from the previous process, improve the stability and reliability of the bonding wire, and improve the mechanical strength of the bonding wire, allowing it to withstand greater tensile breaking force. The resistivity and conductivity of the bonding wire are deeply dependent on its crystal structure and lattice defects, and annealing can promote grain growth and the repair of lattice defects, thereby improving the electrical performance and conductivity of the bonding wire.

本発明のいくつかの実施形態において、浸漬処理は、アニール処理後の芯材を保護剤に浸漬して、保護層を得ることを含む。 In some embodiments of the present invention, the immersion treatment includes immersing the annealed core material in a protective agent to obtain a protective layer.

保護剤は、重量部で、成膜剤:3~5部、界面活性剤:1~3部、溶解補助剤:1~3部、溶媒:70~80部を含む。 The protective agent contains, by weight, 3-5 parts of film-forming agent, 1-3 parts of surfactant, 1-3 parts of solubilizing agent, and 70-80 parts of solvent.

本発明のいくつかの実施形態において、溶媒は、エタノールを含むが、これに限定されない。 In some embodiments of the present invention, the solvent includes, but is not limited to, ethanol.

本発明のいくつかの実施形態において、浸漬処理は、時間が20~25minであり、温度が40~50℃である。 In some embodiments of the present invention, the immersion treatment is performed for a period of 20 to 25 minutes at a temperature of 40 to 50°C.

本発明のいくつかの実施形態において、洗浄は、芯材を脱イオン水に浸し、5~10minの超音波振動を行って、表面の汚れを除去する。 In some embodiments of the present invention, cleaning involves immersing the core material in deionized water and applying ultrasonic vibrations for 5 to 10 minutes to remove surface dirt.

本発明のいくつかの実施形態において、浸漬処理後、脱イオン水で洗浄し、15~20minの超音波振動を行い、窒素ガスで乾燥し、リールに巻くステップをさらに含む。 In some embodiments of the present invention, the immersion process further includes the steps of rinsing with deionized water, subjecting the substrate to ultrasonic vibration for 15 to 20 minutes, drying with nitrogen gas, and winding the substrate onto a reel.

本発明のいくつかの実施形態は、上記の銀合金ボンディングワイヤーまたは上記の銀合金ボンディングワイヤーの調製方法により調製された銀合金ボンディングワイヤーの、電子パッケージングにおける使用をさらに提供する。 Some embodiments of the present invention further provide for the use of the above-described silver alloy bonding wire or a silver alloy bonding wire prepared by the above-described method for preparing a silver alloy bonding wire in electronic packaging.

<実施例1>
本実施例は、銀合金ボンディングワイヤーの調製方法を提供した。調製できた銀合金ボンディングワイヤーの芯材成分および含有量(質量分率)は、表1に示されている。
Example 1
This example provides a method for preparing a silver alloy bonding wire. The core material components and contents (mass fractions) of the prepared silver alloy bonding wire are shown in Table 1.

具体的には、上記の銀合金ボンディングワイヤーの調製方法は、下記のステップを含む。 Specifically, the method for preparing the above-mentioned silver alloy bonding wire includes the following steps:

ステップS1:純度が99.99%超であるAg原料および純度が99.9%超であるCe原料を真空溶製炉の坩堝に入れ、炉ドアを閉じて2×10-2Paまで真空引きし、アルゴンガスを0.1~0.3Paまで導入し、真空引き操作およびアルゴンガス導入操作を3回繰り返してから、炉体を1200~1250℃まで昇温し、3~5min撹拌し、保温して10~15min精錬し、脱ガス操作を行い、そして室温まで炉冷して、Ag/Ce中間合金を得た。 Step S1: An Ag raw material having a purity of more than 99.99% and a Ce raw material having a purity of more than 99.9% are placed in the crucible of a vacuum melting furnace, the furnace door is closed, the furnace is evacuated to 2×10 −2 Pa, argon gas is introduced to 0.1 to 0.3 Pa, the evacuation operation and argon gas introduction operation are repeated three times, the furnace body is heated to 1200 to 1250°C, stirred for 3 to 5 minutes, kept at that temperature and refined for 10 to 15 minutes, degassed, and the furnace is cooled to room temperature to obtain an Ag/Ce intermediate alloy.

ステップS2:Ag/Ce中間合金と、純度99.99%のSb原料と、Al箔(Al箔の純度が99.99%であり、カーボンナノチューブ粉をAl箔に敷設し、2枚のAl箔により挟持して折り畳んで添加を行った)で被覆したカーボンナノチューブ(単層カーボンナノチューブ、直径≦2nm、長さ≦50nm)とを配合比に従って調合し、真空溶製炉に入れ、2×10-2Paまで真空引きしてから、アルゴンガスを0.1~0.3Paまで導入し、真空引き操作およびアルゴンガス導入操作を3回繰り返し、そして、1250~1300℃まで昇温し、マグネチックスターラーを利用して15~20min撹拌し、1150℃~1200℃まで降温するとき、注湯により直径30~50mmの棒材を形成した。 Step S2: An Ag/Ce intermediate alloy, an Sb raw material with a purity of 99.99%, and carbon nanotubes (single-walled carbon nanotubes, diameter ≦2 nm, length ≦50 nm) coated with Al foil (the purity of the Al foil was 99.99%, and the carbon nanotube powder was laid on the Al foil, sandwiched between two sheets of Al foil, and folded for addition) were mixed according to the compounding ratio, placed in a vacuum melting furnace, evacuated to 2×10 −2 Pa, and then argon gas was introduced to 0.1 to 0.3 Pa. The evacuation operation and argon gas introduction operation were repeated three times, and the temperature was raised to 1250 to 1300°C and stirred using a magnetic stirrer for 15 to 20 minutes. When the temperature was lowered to 1150 to 1200°C, a rod with a diameter of 30 to 50 mm was formed by pouring the molten metal.

ステップS3:直径30~50mmの棒材を押出機のコンテナに置き、700~750℃まで加熱して2h保温し、押出後、ヘッド部と尾部を切り離して、直径5~10mmの棒材を得、棒材の押出速度が3~4mm/sであり、押出比が3~4.5であり、押出ホイールの回転速度が5~7r/minであった。 Step S3: A rod with a diameter of 30-50 mm was placed in the extruder container, heated to 700-750°C, and kept at that temperature for 2 hours. After extrusion, the head and tail were separated to obtain a rod with a diameter of 5-10 mm. The extrusion speed of the rod was 3-4 mm/s, the extrusion ratio was 3-4.5, and the rotation speed of the extrusion wheel was 5-7 r/min.

ステップS4:直径5~10mmの棒材を伸線機により直径0.8~1.1mmの線材にし、1パス当たりの減少率が15%~18%であり、伸線速度が1.2~1.8m/sであった。 Step S4: The rod material with a diameter of 5 to 10 mm was drawn into wire material with a diameter of 0.8 to 1.1 mm using a wire drawing machine, with a reduction rate per pass of 15% to 18% and a wire drawing speed of 1.2 to 1.8 m/s.

ステップS5:直径0.8~1.1mmの線材を真空焼鈍炉に入れ、3×10-2~5×10-2Paの真空度で、2~3.5℃/sの速度で350~400℃まで昇温して3~5h熱処理し、80℃以下まで炉冷して炉から出した。 Step S5: A wire having a diameter of 0.8 to 1.1 mm was placed in a vacuum annealing furnace, heated to 350 to 400°C at a rate of 2 to 3.5°C/s under a vacuum of 3 x 10-2 to 5 x 10-2 Pa, and heat-treated for 3 to 5 hours. Then, the wire was cooled to 80°C or below and removed from the furnace.

ステップS6:熱処理後の線材に対してマルチ伸線機を利用して絞り引抜により線径0.1mm以下の線材にし、1パス当たりの減少率が10%~13%であり、伸線速度が2~2.5m/sであった。 Step S6: The heat-treated wire was drawn using a multi-wire drawing machine to produce a wire with a diameter of 0.1 mm or less. The reduction rate per pass was 10% to 13%, and the drawing speed was 2 to 2.5 m/s.

ステップS7:線径0.1mm以下の線材に対して細線の絞り引抜を行って、線径15μmの芯材を得、縮径率が15%~18%であり、伸線速度が3~5m/sであった。 Step S7: A wire with a diameter of 0.1 mm or less was subjected to fine wire drawing to obtain a core material with a diameter of 15 μm. The diameter reduction rate was 15% to 18%, and the wire drawing speed was 3 to 5 m/s.

ステップS8:芯材を脱イオン水に浸し、5~10minの超音波振動を行って、表面の汚れを除去した。 Step S8: The core material was immersed in deionized water and subjected to ultrasonic vibrations for 5 to 10 minutes to remove surface dirt.

ステップS9:洗浄後の芯材をインラインアニーリング機器に通し、酸化防止液滴下装置を配備し、線速度が2.5~3m/sであり、アニールの温度が450~500℃であった。 Step S9: The cleaned core material was passed through an in-line annealing device equipped with an antioxidant liquid dripping device, with a linear velocity of 2.5-3 m/s and an annealing temperature of 450-500°C.

ステップS10:アニール後の芯材を保護剤に浸し、40~50℃で20~25min浸漬してから、脱イオン水で洗浄し、15~20minの超音波振動を行い、窒素ガスで乾燥し、リールに巻いて、銀合金ボンディングワイヤーを得た。保護剤は、重量部で、4部のエチレングリコールモノビニルエーテル、2部のポリエチレングリコール脂肪酸エステル、2部のパラアミノ安息香酸、および75部のエタノールを含む。 Step S10: The annealed core material is immersed in a protective agent at 40-50°C for 20-25 minutes, then rinsed with deionized water, subjected to ultrasonic vibration for 15-20 minutes, dried with nitrogen gas, and wound onto a reel to obtain a silver alloy bonding wire. The protective agent contains, by weight, 4 parts ethylene glycol monovinyl ether, 2 parts polyethylene glycol fatty acid ester, 2 parts para-aminobenzoic acid, and 75 parts ethanol.

<比較例1>
本比較例は、銀合金ボンディングワイヤーの調製方法を提供した。調製できた銀合金ボンディングワイヤーの芯材成分および含有量(質量分率)は、表2に示されている。
<Comparative Example 1>
This comparative example provides a method for preparing a silver alloy bonding wire. The core material components and contents (mass fractions) of the prepared silver alloy bonding wire are shown in Table 2.

上記の銀合金ボンディングワイヤーの調製方法は、実施例1を参照した。 The method for preparing the above silver alloy bonding wire was as described in Example 1.

<試験例1>
実施例1および比較例1のそれぞれによる、直径20μmの銀合金ボンディングワイヤーに対して力学的性質試験を行い、その結果が表3に示されている。
引張破断力および伸び率の試験は、IPC-9702標準を参照した。
<Test Example 1>
The silver alloy bonding wires having a diameter of 20 μm according to Example 1 and Comparative Example 1 were subjected to mechanical property tests, and the results are shown in Table 3.
The tensile breaking strength and elongation tests were based on the IPC-9702 standard.

表3から分かるように、比較例1に対して、本発明による銀合金ボンディングワイヤーは、引張破断力および伸び率がより優れた。 As can be seen from Table 3, the silver alloy bonding wire of the present invention had superior tensile breaking strength and elongation compared to Comparative Example 1.

実施例1および比較例1のそれぞれによる銀合金ボンディングワイヤー1#~11#に対して耐食性の試験を行い、その結果が図1に示されている。 Corrosion resistance tests were conducted on silver alloy bonding wires 1# to 11# from Example 1 and Comparative Example 1, and the results are shown in Figure 1.

耐食性の試験方法として、室温で銀合金ボンディングワイヤーを0.1mol/Lの硫化ナトリウム水溶液に浸漬し、200hの耐食性データを記録して、耐食性グラフを得た。 To test corrosion resistance, the silver alloy bonding wire was immersed in a 0.1 mol/L aqueous solution of sodium sulfide at room temperature, and corrosion resistance data was recorded for 200 hours to obtain a corrosion resistance graph.

図1から分かるように、実施例1による銀合金ボンディングワイヤーの200hの腐食速度が常に比較的低いレベルに維持されて比較例1よりもはるかに小さく、かつ銀合金ボンディングワイヤー3#の耐食性が良好であった。 As can be seen from Figure 1, the corrosion rate of the silver alloy bonding wire in Example 1 over 200 hours was always maintained at a relatively low level, much lower than that of Comparative Example 1, and the corrosion resistance of silver alloy bonding wire 3# was good.

上記の各実施例は、本発明の技術案を説明するためのものにすぎず、それを限定するものではない。上記の各実施例を参照しながら本発明を詳細に説明したが、当業者は、上記の各実施例に記載された技術案を変更してもよく、その中の一部またはすべての技術的特徴に対して均等置換を行ってもよい。これらの変更または置換は、該当する技術案の本質を本発明の各実施例の技術案の範囲から逸脱させていない。 The above embodiments are merely intended to illustrate the technical solutions of the present invention and are not intended to limit the same. Although the present invention has been described in detail with reference to the above embodiments, those skilled in the art may modify the technical solutions described in the above embodiments and make equivalent substitutions for some or all of the technical features therein. These modifications or substitutions do not deviate from the essence of the relevant technical solutions and the scope of the technical solutions of the embodiments of the present invention.

Claims (10)

芯材を含み、
前記芯材は、質量分率で、Al:0.5wt%~0.7wt%、Ce:0.6wt%~1wt%、カーボンナノチューブ:1wt%~3wt%、Sb:0.3wt%~0.5wt%を含み、残部がAgであることを特徴とする銀合金ボンディングワイヤー。
Including core material,
The core material contains, by mass fraction, Al: 0.5 wt% to 0.7 wt%, Ce: 0.6 wt% to 1 wt%, carbon nanotubes: 1 wt% to 3 wt%, Sb: 0.3 wt% to 0.5 wt%, and the remainder is Ag. Silver alloy bonding wire.
前記芯材において、前記Alと前記Sbとの質量分率の合計は、1%であり、
および/または、前記芯材において、前記Alと、前記Ceと、前記カーボンナノチューブと、前記Sbとの質量分率の合計は、3.5%以下であることを特徴とする請求項1に記載の銀合金ボンディングワイヤー。
In the core material, the total mass fraction of the Al and the Sb is 1%;
And/or, in the core material, the total mass fraction of the Al, the Ce, the carbon nanotubes, and the Sb is 3.5% or less. The silver alloy bonding wire according to claim 1.
前記カーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブを含む、
および/または、前記カーボンナノチューブは、直径が2nm以下であり、長さが50nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の銀合金ボンディングワイヤー。
The carbon nanotubes include single-walled carbon nanotubes.
And/or, the carbon nanotube has a diameter of 2 nm or less and a length of 50 nm or less, characterized in that the silver alloy bonding wire according to claim 1.
前記芯材の表面に設けられた保護層をさらに含む、
または、前記芯材の表面に設けられた保護層をさらに含み、前記保護層は、重量部で、成膜剤:3~5部、界面活性剤:1~3部、溶解補助剤:1~3部を含むことを特徴とする請求項1に記載の銀合金ボンディングワイヤー。
Further comprising a protective layer provided on the surface of the core material,
Alternatively, the silver alloy bonding wire according to claim 1 further comprises a protective layer provided on the surface of the core material, wherein the protective layer comprises, by weight, 3 to 5 parts of a film-forming agent, 1 to 3 parts of a surfactant, and 1 to 3 parts of a dissolution aid.
前記成膜剤は、エチレングリコールモノビニルエーテル、ポリアクリレートおよびポリ酢酸ビニルのうちの少なくとも1種を含み、
前記界面活性剤は、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ドデシル硫酸ナトリウムおよびドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムのうちの少なくとも1種を含み、
前記溶解補助剤は、パラアミノ安息香酸、アセトンおよびメタノールのうちの少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項4に記載の銀合金ボンディングワイヤー。
the film-forming agent includes at least one of ethylene glycol monovinyl ether, polyacrylate, and polyvinyl acetate;
the surfactant includes at least one of polyethylene glycol fatty acid ester, sodium dodecyl sulfate, and sodium dodecylbenzenesulfonate;
The silver alloy bonding wire according to claim 4, characterized in that the dissolution aid contains at least one of para-aminobenzoic acid, acetone, and methanol.
前記芯材の直径は、15~40μmである、
および/または、前記保護層の厚さは、1.5~4μmであることを特徴とする請求項4に記載の銀合金ボンディングワイヤー。
The diameter of the core material is 15 to 40 μm.
And/or, the thickness of the protective layer is 1.5 to 4 μm, characterized in that the silver alloy bonding wire according to claim 4.
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の銀合金ボンディングワイヤーの調製方法であって、
Ag/Ce中間合金と、Sb原料と、Al箔と、前記カーボンナノチューブとに対して順に溶製、注湯を行って、棒材を得るステップS1と、
前記棒材に対して順に押出および引抜を行って、前記芯材を得るステップS2と、を含むことを特徴とする銀合金ボンディングワイヤーの調製方法。
A method for preparing the silver alloy bonding wire according to any one of claims 1 to 6, comprising:
Step S1: melting and pouring the Ag/Ce intermediate alloy, the Sb raw material, the Al foil, and the carbon nanotubes in this order to obtain a rod;
A method for preparing a silver alloy bonding wire, comprising: a step S2 of extruding and drawing the rod material in sequence to obtain the core material.
前記ステップS2において、前記押出の温度が700~750℃である、
および/または、前記押出の押出比が3~4.5であることを特徴とする請求項7に記載の銀合金ボンディングワイヤーの調製方法。
In step S2, the extrusion temperature is 700 to 750 ° C.
And/or, the method for preparing a silver alloy bonding wire as claimed in claim 7, characterized in that the extrusion ratio of the extrusion is 3 to 4.5.
(1)前記芯材に対して洗浄、アニール処理および浸漬処理を順に行って、前記銀合金ボンディングワイヤーを得るステップをさらに含むこと、
(2)前記アニール処理の温度が450~500℃であること、
および(3)前記浸漬処理は、前記アニール処理後の前記芯材を保護剤に浸漬して、保護層を得ることを含み、前記保護剤は、重量部で、成膜剤:3~5部、界面活性剤:1~3部、溶解補助剤:1~3部、溶媒:70~80部を含むこと、
のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項7に記載の銀合金ボンディングワイヤーの調製方法。
(1) further comprising the step of sequentially performing cleaning, annealing, and immersion treatment on the core material to obtain the silver alloy bonding wire;
(2) The annealing temperature is 450 to 500°C;
and (3) the immersion treatment includes immersing the core material after the annealing treatment in a protective agent to obtain a protective layer, and the protective agent includes, by weight, 3 to 5 parts of a film-forming agent, 1 to 3 parts of a surfactant, 1 to 3 parts of a solubilizing agent, and 70 to 80 parts of a solvent;
8. The method for preparing a silver alloy bonding wire according to claim 7, characterized in that it comprises at least one of the following:
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の銀合金ボンディングワイヤーの、電子パッケージングにおける使用。 Use of the silver alloy bonding wire according to any one of claims 1 to 6 in electronic packaging.
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