JP7780276B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、アクチュエータに関する。

下記特許文献１には、コイルを備えた取付部材と、弾性支持体を介して取付部材に支持されていると共にコイルに通電がなされることにより変位する可動子と、を備えたアクチュエータが開示されている。この文献に記載された弾性支持体は、金属板によって形成された一対のバネ材と、一対のバネ材の間に配置された緩衝材と、を含んで構成されている。そして、この弾性支持体が撓むことで、可動子の変位が許容される。また、弾性支持体が緩衝材を備えていることにより、弾性支持体の振動を速やかに減衰させることが可能となっている。

国際公開第２０２０／１８４４３９号

ところで、上記特許文献１に記載された弾性支持体は、一対のバネ材と対応する形状に形成された緩衝材を一方のバネ材及び他方のバネ材に接着する必要がある。そのため、緩衝材の使用量を削減することが難しい。

本発明は上記事実を考慮し、緩衝材の使用量を削減することができるアクチュエータを得ることが目的である。

第１の態様のアクチュエータは、コイルを含んで構成された取付部材と、前記コイルと対向して配置されるマグネットを有し、前記コイルへ通電されることで前記取付部材に対して変位する可動子と、前記取付部材に固定される取付部材側被固定部と、前記可動子に固定される可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部と前記可動子側被固定部とをつなぐ変形部と、を有する弾性支持体と、前記取付部材と前記変形部との間に設けられ、前記変形部の撓み変形に伴い変形する緩衝材と、を備えている。

第１の態様のアクチュエータでは、コイルへ通電されると、マグネットを有する可動子が取付部材に対して変位する。また、可動子が取付部材に対して変位する際に、弾性支持体の変形部が撓み変形する。弾性支持体の変形部が撓み変形すると、取付部材と弾性支持体の変形部との間に設けられた緩衝材が変形する。これにより、弾性支持体の振動を減衰させることができる。ここで、本態様では、緩衝材が取付部材と弾性支持体の変形部との間に設けられた構成となっている。これにより、本態様では、例えば、弾性支持体が一対のバネ材を含んで構成され、当該一対のバネ材に対応する形状に形成された緩衝材が一方のバネ材及び他方のバネ材に接着している構成と比べて、緩衝材の使用量を削減することができる。

第２の態様のアクチュエータは、第１の態様のアクチュエータにおいて、前記弾性支持体及び前記緩衝材は、互いの厚み方向に重ねられて配置され、前記緩衝材の前記変形部側は該変形部と接着される接着面を有している。

第２の態様のアクチュエータでは、緩衝材の接着面が弾性支持体の変形部に接着される。これにより、厚み方向から見た面積を小さくしたとしても、緩衝材の減衰効果を高めることができる。

第３の態様のアクチュエータは、第２の態様のアクチュエータにおいて、前記緩衝材の前記取付部材側は該取付部材と接着される接着面を有している。

第３の態様のアクチュエータでは、緩衝材の接着面が取付部材に接着される。これにより、厚み方向から見た面積を小さくしたとしても、緩衝材の減衰効果をより一層高めることができる。

第４の態様のアクチュエータは、第２の態様又は第３の態様のアクチュエータにおいて、前記緩衝材は、その厚み方向から見て前記変形部と重ならない余剰部分を有しており、さらにカバー部材を備え、前記カバー部材と前記緩衝材との間に前記変形部が配置され、前記カバー部材が前記余剰部材に貼り付けられている。

第４の態様のアクチュエータでは、カバー部材と緩衝材との間に変形部が配置され、カバー部材が余剰部分に貼り付けられている。これにより、緩衝材の余剰部分をカバー部材によって覆うことができる。また、変形部が緩衝材とカバー部材との間に配置されることにより、減衰効果を高めることができる。

第５の態様のアクチュエータは、第４の態様のアクチュエータにおいて、前記カバー部材は接着面を有しており、該接着面が前記変形部及び前記緩衝材に接着されている。

第５の態様のアクチュエータでは、カバー部材の接着面を変形部及び緩衝材に接着することができる。

第６の態様のアクチュエータは、第１の態様～第５の態様のいずれか１つの態様のアクチュエータにおいて、前記緩衝材は、前記取付部材と前記変形部との間において圧縮された状態で設けられている。

第６の態様のアクチュエータでは、緩衝材が取付部材と弾性支持体の変形部との間において圧縮された状態で設けられている。これにより、弾性支持体の変形部が取付部材とは反対側へ向けて変形する際においても、緩衝材と弾性支持体の変形部との接触状態及び緩衝材と取付部材との接触状態を保つことができる。

第７の態様のアクチュエータは、第１の態様～第６の態様のいずれか１つの態様のアクチュエータにおいて、前記緩衝材は、前記変形部における前記取付部材側被固定部側に設けられている。

第７の態様のアクチュエータでは、緩衝材が、弾性支持体の変形部における取付部材側被固定部側に設けられている。これにより、緩衝材を当該部分よりも可動子側被固定部側に設けた構成と比べて変形部の変形量が小さいため、緩衝材の変形量を抑えることができる。これにより、緩衝材の繰り返し変形に伴う劣化を抑えることができる。

第８の態様のアクチュエータは、第７の態様のアクチュエータにおいて、前記可動子が変位する変位方向を±Ｚ方向とし、±Ｚ方向に直交する平面内の方向のうち互いに垂直な方向をＸ方向及びＹ方向としたとき、前記変形部は、前記可動子側被固定部から前記取付部材側被固定部までの間で伸びるアームを備え、前記アームは、前記可動子側被固定部側からＸ方向外側へ伸びる第一Ｘ方向外側伸長部と、前記第一Ｘ方向外側伸長部よりも前記取付部材側被固定部側に形成され、伸長方向がＸ方向外側からＸ方向内側へ折り返される第一折返部と、前記第一折返部からＸ方向内側へ伸びるＸ方向内側伸長部と、前記Ｘ方向内側伸長部よりも前記可動子側被固定部側に形成され、伸長方向がＸ方向内側からＸ方向外側へ折り返される第二折返部と、前記第二折返部からＸ方向外側へ伸びる第二Ｘ方向外側伸長部と、前記第二Ｘ方向外側伸長部よりも前記取付部材側被固定部側に形成され、伸長方向がＸ方向外側からＹ方向外側へ折り返される第三折返部と、前記第三折返部からＹ方向外側へ伸びると共に前記取付部材側被固定部に接続されたＹ方向外側伸長部と、を備え、前記緩衝材は、前記第二Ｘ方向外側伸長部、前記第三折返部及び前記Ｙ方向外側伸長部に沿って設けられている。

第８の態様のアクチュエータでは、弾性支持体の変形部のアームが、第一Ｘ方向外側伸長部、第一折返部、Ｘ方向内側伸長部、第二折返部、第二Ｘ方向外側伸長部、第三折返部及びＹ方向外側伸長部を備えている。これにより、第三折返部及びＹ方向外側伸長部が無い構成と比べて、変形部のアームの長さを長くすることができる。アームの長さを長くすることで、当該共振周波数を低くできる。また、弾性支持体の負荷を小さくでき、可動子側被固定部及び取付部材側被固定部に加わる負荷も小さくすることができ、金属疲労を起こし難くすることができる。また、緩衝材が、第二Ｘ方向外側伸長部、第三折返部及びＹ方向外側伸長部に沿って設けられている。このように、第三折返部とＹ方向外側伸長部を設けることで、アームの変形量の小さい位置で取付部材との間に緩衝材を容易に配置できる。緩衝材を第一Ｘ方向外側伸長部、第一折返部、Ｘ方向内側伸長部及び第二折返部に沿って設けた場合と比べて、緩衝材の変形量を抑えることができる。これにより、緩衝材の繰り返し変形に伴う劣化を抑えることができる。

第９の態様のアクチュエータは、第８の態様のアクチュエータにおいて、２つの前記緩衝材を備え、前記弾性支持体は、４つの前記取付部材側被固定部と、４つの前記アームと、を備え、４つの前記アームのうちの２つの前記アームは、前記可動子側被固定部に対してＸ方向一方側に配置されていると共にＹ方向に対称に形成され、４つの前記アームのうちの他の２つの前記アームは、前記可動子側被固定部に対してＸ方向他方側に配置されていると共にＹ方向に対称に形成され、一方の前記緩衝材が、前記可動子側被固定部に対してＸ方向一方側に配置された２つの前記アームの前記第二Ｘ方向外側伸長部、前記第三折返部及び前記Ｙ方向外側伸長部に沿って設けられ、他方の前記緩衝材が、前記可動子側被固定部に対してＸ方向他方側に配置された２つの前記アームの前記第二Ｘ方向外側伸長部、前記第三折返部及び前記Ｙ方向外側伸長部に沿って設けられている。

第９の態様のアクチュエータでは、４つのアームに対して２つの緩衝材が設けられた構成となっている。これにより、４つのアームに対してそれぞれ４つの緩衝材を設けた構成と比べて、緩衝材の点数を削減することができる。

第１０の態様のアクチュエータは、第９の態様のアクチュエータにおいて、前記変形部は板状に形成され、前記可動子側被固定部に対してＸ方向一方側に配置された２つの前記アームの前記第三折返部をＹ方向に接続するＹ方向接続部を備えていると共に、前記可動子側被固定部に対してＸ方向他方側に配置された２つの前記アームの前記第三折返部をＹ方向に接続するＹ方向接続部を備えており、一方の前記緩衝材が、一方の前記Ｙ方向接続部に沿って設けられ、他方の前記緩衝材が、他方の前記Ｙ方向接続部に沿って設けられている。

第１０の態様のアクチュエータでは、アームの第三折返部をＹ方向に接続するＹ方向接続部を備えていることにより、Ｙ方向接続部が無い構成と比べて、板状に形成された変形部の平面度を高めることができる。また、変形部の平面度が部品単体及び組立プロセス上でも保たれるので、部品個体差がでにくく、バネ係数のばらつき（硬さ、スティフネスのばらつき）を抑えることができる。

本発明に係るアクチュエータは、緩衝材の使用量を削減することができる、という優れた効果を有する。

アクチュエータを示す斜視図である。 アクチュエータを分解して示す分解斜視図である。 アクチュエータを示す平面図である。 図３Ａに対応する平面図であり、カバー部材の図示を省略している。 図３Ａに示された４－４線に沿って切断したアクチュエータの断面を示す断面図である。 弾性支持体の平面図である。 他の形態の弾性支持体を示す斜視図である。 他の形態の弾性支持体を示す平面図である。 他の形態の弾性支持体を示す平面図である。

図１～図５を用いて、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１０について説明する。なお、図中に示す矢印Ｘ方向、矢印Ｙ方向及び矢印Ｚ方向は、アクチュエータ１０の各方向を示している。以下の説明では、各図に示す＋Ｚ方向を上方向といい、－Ｚ方向を下方向という。但し、これはアクチュエータを基準にした方向概念であり、アクチュエータの取付姿勢を限定するものではない。また、Ｚ方向に平行な軸であって、後述する可動子１４の重心を通る軸を可動子１４の重心軸ＡＸという。そして、Ｘ方向において可動子１４の重心軸ＡＸに近づく方向をＸ方向内側、離れる方向をＸ方向外側といい、Ｙ方向において可動子１４の重心軸ＡＸに近づく方向をＹ方向内側、離れる方向をＹ方向外側という。また、＋Ｘ方向をＸ方向一方側、－Ｘ方向をＸ方向他方側、＋Ｙ方向をＹ方向一方側、－Ｙ方向をＹ方向他方側、＋Ｚ方向をＺ方向一方側、－Ｚ方向をＺ方向他方側という。

図１～図４に示されるように、本実施形態のアクチュエータ１０は、一例としてタッチパネルとして構成された液晶パネル等の表示部や各種のコントローラ等に取り付けられることにより、当該表示部やコントローラを振動させるアクチュエータである。このアクチュエータ１０への通電を制御することにより、タッチパネルやコントローラ等に触れる使用者の指に対して様々な触感を与えることが可能となっている。

図１及び図２に示されるように、アクチュエータ１０は、タブレット端末の表示部等の取付対象物に取り付けられる取付部材１２と、取付部材１２に対して変位する可動子１４と、取付部材１２に対して可動子１４を弾性的に支持する弾性支持体１６と、を備えている。また、アクチュエータ１０は、弾性支持体１６の振動を減衰する２つの緩衝材１８と、弾性支持体１６に取り付けられると共に緩衝材１８における一方側の面を覆う２つのカバー部材２０と、を備えている。

（取付部材１２の構成）
図２に示されるように、取付部材１２は、箱状に形成されたフレーム２２と、導電性の電線が環状に巻き回されることで形成されたコイル２４と、取付用接着シート２６と、一対のターミナル２８と、を備えている。

フレーム２２は、一例として樹脂材料を用いて形成され、Ｚ方向一方側が開放された箱状に形成されている。このフレーム２２は、Ｚ方向を厚み方向とすると共にＺ方向から見てＸ方向を長手方向とし、かつＹ方向を短手方向とする長方形状に形成された底壁部３０を備えている。図２及び図４に示されるように、底壁部３０におけるＸ方向及びＹ方向の中心部には、Ｚ方向に貫通する円形の開口３２が形成されている。また、フレーム２２は、底壁部３０の開口３２の縁からＺ方向に向けて突出する環状のリブ３４を備えている。

また、フレーム２２は、底壁部３０におけるＸ方向一方側及び他方側の端部からＺ方向一方側へ向けてそれぞれ立ち上がる一対の第１側壁部３６と、底壁部３０におけるＹ方向一方側及び他方側の端部からＺ方向一方側へ向けてそれぞれ立ち上がる一対の第２側壁部３８と、を備えている。

図２に示されるように、一対の第１側壁部３６のＺ方向一方側の端面におけるＹ方向一方側及び他方側の端部からは、矩形ブロック状に形成された２つの台座部４０がそれぞれＺ方向一方側へ向けて突出している。また、２つの台座部４０からは、後述する溶着がなされる前の状態において円柱状に形成された溶着ボス部４２（溶着部分）がＺ方向一方側へ向けて突出している。

また、フレーム２２は、一方の第１側壁部３６におけるＹ方向の中央部から他方の第１側壁部３６側へ向けて突出する中央突出部４４を備えている。さらに、フレーム２２は、他方の第１側壁部３６におけるＹ方向の中央部から一方の第１側壁部３６側へ向けて突出する中央突出部４４を備えている。本実施形態では、これらの中央突出部４４には、Ｚ方向一方側が開放された複数の窪み４４Ａが形成されている。ここで、一方の中央突出部４４におけるＺ方向一方側の端面及び一方の第１側壁部３６のＺ方向一方側の端面におけるＹ方向中央部分は、後述する一方の緩衝材１８が貼り付けられる緩衝材貼付面４６となっている。また、他方の中央突出部４４におけるＺ方向一方側の端面及び他方の第１側壁部３６のＺ方向一方側の端面におけるＹ方向中央部分は、後述する他方の緩衝材１８が貼り付けられる緩衝材貼付面４６となっている。

（コイル２４の構成）
図２及び図４に示されるように、コイル２４は、Ｚ方向を軸方向とする環状に形成されたコイルベース４８のまわりに導電性の電線が環状に巻回されることによって形成されている。このコイル２４は、コイルベース４８と共にフレーム２２に支持されている。また、コイル２４がコイルベース４８と共にフレーム２２に支持された状態では、コイル２４がフレーム２２のリブ３４に当接している。なお、コイル２４の一対の端末部２４Ａは、フレーム２２に支持される一対のターミナル２８にそれぞれ接続されている。

（取付用接着シート２６の構成）
取付用接着シート２６は、アクチュエータ１０を取付対象物に取り付けるための部材である。取付用接着シート２６は、両面が接着面とされた接着シートである。取付用接着シート２６は、フレーム２２の底壁部３０の下面側に接着される。なお、取付用接着シート２６には、フレーム２２の底壁部３０に形成された開口３２に対応する円形の開口２６Ａが形成されている。

（可動子１４の構成）
可動子１４は、ヨーク５０と、マグネット５２と、ポールピース５４と、を含んで構成されている。

ヨーク５０は、軟磁性体の材料を用いて形成されている。このヨーク５０は、Ｚ方向を厚み方向とする円板状に形成された天壁部５０Ａと、天壁部５０Ａの外側周縁から下方向に延びる周壁部５０Ｂと、を備えている。また、ヨーク５０は、天壁部５０ＡのＺ方向一方側の面の中心部からＺ方向一方側へ向けて突出する固定凸部５０Ｃを備えている。

マグネット５２は、Ｚ方向を軸方向とする円板状に形成されている。このマグネット５２は、ヨーク５０の周壁部５０Ｂの内側に配置された状態で当該ヨーク５０の天壁部５０Ａの下面側に固定される。

ポールピース５４は、軟磁性体の材料を用いて形成されている。このポールピース５４は、Ｚ方向を軸方向とする円板状に形成されており、マグネット５２の下面側に固定される。

以上説明した可動子１４には、ヨーク５０、マグネット５２及びポールピース５４によって磁気回路が形成されている。マグネット５２及びポールピース５４と、ヨーク５０の周壁部５０Ｂとの間には、空間が形成され、この空間にコイル２４が配置される。ヨーク５０の周壁部５０Ｂの下端は、ポールピース５４の下端と高さが一致している。なお、ポールピース５４は、周壁部５０Ｂの下端よりも、下方に突出した高さを有してもよい。

（弾性支持体１６の構成）
図３及び図５に示されるように、弾性支持体１６は、一例として板状（平面状）に形成された金属板を用いて形成されている。この弾性支持体１６の自由状態(外力が作用していない状態)での形状は、当該弾性支持体１６の全体がＺ方向と直交する方向に沿う板状に形成されている。

弾性支持体１６は、一部において取付部材１２に固定され、他の一部において可動子１４に固定される。弾性支持体１６において取付部材１２に固定される部分と可動子１４に固定される部分との間の部分は変形部６０となっており、この変形部６０は可動子１４が変位（振動）する際に変形する部分となっている。すなわち、弾性支持体１６は、取付部材１２に固定される４つの取付部材側被固定部５６と、可動子１４に固定される可動子側被固定部５８と、取付部材側被固定部５６と可動子側被固定部５８との間を繋ぐ変形部６０と、から構成される。

４つの取付部材側被固定部５６は、Ｚ方向から見てフレーム２２の４つの台座部４０と対応する矩形状に形成されている。この４つの取付部材側被固定部５６には、Ｚ方向に貫通する円形の固定孔５６Ａがそれぞれ形成されている。そして、４つの取付部材側被固定部５６の固定孔５６Ａには、フレーム２２の４つの溶着ボス部４２がそれぞれ挿通される。そしてさらに、フレーム２２の溶着ボス部４２におけるＺ方向一方側の端部が溶着される（熱カシメされる）ことで、４つの取付部材側被固定部５６が、フレーム２２の４つの台座部４０にそれぞれ固定される。また、４つの取付部材側被固定部５６がフレーム２２の４つの台座部４０にそれぞれ固定された状態では、４つの取付部材側被固定部５６はフレーム２２の４つの台座部４０からそれぞれ分離不能となっている。なお、各図においては、溶着ボス部４２に熱カシメがなされた後の状態を表現している。

可動子側被固定部５８は、Ｚ方向から見て可動子１４の一部を構成するヨーク５０の天壁部５０Ａよりも小径とされた円形状に形成されている。この可動子側被固定部５８の中心部には、円形の固定孔５８Ａが形成されている。そして、可動子側被固定部５８の固定孔５８Ａには、ヨーク５０の固定凸部５０Ｃが挿入される。そしてさらに、ヨーク５０の固定凸部５０ＣにおけるＺ方向一方側の端部がパンチ等で変形される（カシメられる）ことで、可動子側被固定部５８がヨーク５０に固定される。なお、各図においては、固定凸部５０Ｃが変形された状態は表現していない。

変形部６０は、始端６２から終端６４に向けて、一方側始点部６６Ａ及び他方側始点部６６Ｂと、４つのアーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄと、を備えている。なお、後の説明においては、４つのアーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄをそれぞれ第一アーム６８Ａ、第二アーム６８Ｂ、第三アーム６８Ｃ及び第四アーム６８Ｄと呼ぶ場合がある。

ここで、始端６２とは、変形部６０を可動子側被固定部５８側から取付部材側被固定部５６側に向けて伸長する部分と定義したときに、変形部６０の始まりの部分をいう。具体的には、始端６２は、可動子側被固定部５８と変形部６０との境界部と一致する。また、本実施形態では、Ｙ方向一方側の始端６２とＹ方向他方側の始端６２の２つの始端６２が存在する。

また、終端６４とは、変形部６０を可動子側被固定部５８側から取付部材側被固定部５６側に向けて伸長する部分と定義したときに、変形部６０の終わりの部分をいう。具体的には、変形部６０と取付部材側被固定部５６との境界部と一致する。本実施形態では、４つの取付部材側被固定部５６及び４つのアーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄがあることに対応して４つの終端６４が存在する。

一方側始点部６６Ａ及び他方側始点部６６Ｂは、共に、可動子側被固定部５８とＹ方向で隣接した部分である。一方側始点部６６Ａは、可動子側被固定部５８のＹ方向一方側に位置し、他方側始点部６６Ｂは、可動子側被固定部５８のＹ方向他方側に位置する。

変形部６０は、一方側始点部６６Ａから、Ｘ方向の一方側と他方側へ向けて分枝しており、それぞれ第一アーム６８Ａと第二アーム６８Ｂとに繋がっている。変形部６０は、他方側始点部６６ＢからもＸ方向の一方側と他方側に向けて分枝しており、それぞれ第三アーム６８Ｃと第四アーム６８Ｄとに繋がっている。なお、一方側始点部６６Ａと他方側始点部６６Ｂとを特に区別しないときは、単に始点部６６という。

ここで、本実施形態の変形部６０は、Ｘ方向とＹ方向の両方について対称の形状とされており、４つのアーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄは、互いに同様の形状となっている。詳述すると、第一アーム６８Ａ及び第三アーム６８Ｃは、可動子側被固定部５８に対してＸ方向一方側に配置されていると共にＹ方向に対称に形成されている。また、第二アーム６８Ｂ及び第四アーム６８Ｄは、可動子側被固定部５８に対してＸ方向他方側に配置されていると共にＹ方向に対称に形成されている。さらに、第一アーム６８Ａと第二アーム６８Ｂとは、Ｘ方向に対称に形成されている。また、第三アーム６８Ｃと第四アーム６８Ｄとは、Ｘ方向に対称に形成されている。

各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄは、始点部６６からそれぞれの取付部材側被固定部５６に向かって、第一Ｘ方向外側伸長部７０ａと、第一折返部７０ｂと、Ｘ方向内側伸長部７０ｃと、第二折返部７０ｄと、第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅと、第三折返部７０ｆと、Ｙ方向外側伸長部７０ｇと、をこの順に有する。

第一Ｘ方向外側伸長部７０ａは、可動子側被固定部５８側からＸ方向外側に向けて伸びる部分である。第一Ｘ方向外側伸長部７０ａの伸長方向は、Ｘ方向に平行である。

第一折返部７０ｂは、第一Ｘ方向外側伸長部７０ａよりも取付部材側被固定部５６側に形成され、この第一折返部７０ｂは、アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄの伸長方向がＹ方向内側へ向けて折り返される。

Ｘ方向内側伸長部７０ｃは、第一折返部７０ｂからＸ方向内側に向けて伸びる部分である。Ｘ方向内側伸長部７０ｃの伸長方向は、Ｘ方向に平行である。

第二折返部７０ｄは、Ｘ方向内側伸長部７０ｃよりも可動子側被固定部５８側に形成され、この第二折返部７０ｄでは、アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄの伸長方向がＹ方向内側へ向けて折り返される。

第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅは、第二折返部７０ｄからＸ方向外側に向けて伸びる部分である。第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅは、その伸長方向のＸ方向に対する傾斜角がＸ方向外側に向かうにつれて次第に小さくなるように、湾曲した形状となっている。

第三折返部７０ｆは、第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅよりも取付部材側被固定部５６側に形成され、この第三折返部７０ｆでは、アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄの伸長方向がＸ方向外側からＹ方向外側へ折り返される。

Ｙ方向外側伸長部７０ｇは、第三折返部７０ｆからＹ方向外側へ伸びると共に第三折返部７０ｆとは反対側が取付部材側被固定部５６に接続されている。Ｙ方向外側伸長部７０ｇの伸長方向は、Ｙ方向に平行である。

また、本実施形態の弾性支持体１６は、第一アーム６８Ａの第三折返部７０ｆと第三アーム６８Ｃの第三折返部７０ｆとをＹ方向に接続するＹ方向接続部７２を備えていると共に、第二アーム６８Ｂの第三折返部７０ｆと第四アーム６８Ｄの第三折返部７０ｆとをＹ方向に接続するＹ方向接続部７２を備えている。各Ｙ方向接続部７２は、各Ｙ方向外側伸長部７０ｇとそれぞれＸ方向の同じ位置においてＹ方向に伸びている。

（緩衝材１８の構成）
図２、図３Ｂ及び図４に示されるように、緩衝材１８は、粘弾性を有する素材を用いて板状に形成されており、Ｚ方向を厚み方向とすると共にＺ方向から見て矩形状に形成されている。具体的には、緩衝材１８は、Ｚ方向から見てＹ方向を長手方向とすると共にＸ方向を短手方向とする長方形状に形成されている。緩衝材１８のＹ方向及びＸ方向への寸法は、フレーム２２の緩衝材貼付面４６のＹ方向及びＸ方向への寸法と対応する寸法に設定されている。

緩衝材１８におけるＺ方向他方側の面（下面）は、他の部材と接着可能な接着面としての第１接着面１８Ａとなっている。また、緩衝材１８におけるＺ方向一方側の面（上面）は、他の部材と接着可能な接着面としての第２接着面１８Ｂとなっている。なお、緩衝材１８の上面及び下面のどちらか一方のみが接着面となっていてもよいし、緩衝材１８の上面及び下面の両方が接着面となっていなくてもよい。さらに、緩衝材１８の部品単体の状態（フレーム２２の緩衝材貼付面４６と弾性支持体１６との間で挟まれて変形する前の状態）における厚み寸法Ｔは、フレーム２２の緩衝材貼付面４６と弾性支持体１６との間のクリアランスよりも大きな寸法に設定されている。

そして、一方の緩衝材１８の第１接着面１８Ａは、フレーム２２の一方の緩衝材貼付面４６に貼り付けられる。これにより、一方の緩衝材１８が、フレーム２２の一方の緩衝材貼付面４６に取り付けられる。これと同様に、他方の緩衝材１８の第１接着面１８Ａは、フレーム２２の他方の緩衝材貼付面４６に貼り付けられる。これにより、他方の緩衝材１８が、フレーム２２の他方の緩衝材貼付面４６に取り付けられる。なお、緩衝材１８に第１接着面１８Ａが設けられていない構成では、フレーム２２の緩衝材貼付面４６と対応する部分において緩衝材１８の位置を保持する凹部等の保持部を設けると良い。

次に、フレーム２２の４つの溶着ボス部４２を弾性支持体１６の４つの取付部材側被固定部５６の固定孔５６Ａにそれぞれ挿通させて、溶着ボス部４２におけるＺ方向一方側の端部を溶着する。これにより、弾性支持体１６がフレーム２２に取り付けられる。

ここで、弾性支持体１６がフレーム２２に取り付けられた状態では、一方の緩衝材１８が、第一アーム６８Ａ及び第三アーム６８Ｃのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びに一方のＹ方向接続部７２に沿って配置される。また、弾性支持体１６がフレーム２２に取り付けられた状態では、一方の緩衝材１８の第２接着面１８Ｂが、第一アーム６８Ａ及び第三アーム６８Ｃのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びに一方のＹ方向接続部７２におけるＺ方向他方側の面（下面）に貼り付けられる。さらに、弾性支持体１６がフレーム２２に取り付けられた状態では、一方の緩衝材１８が、第一アーム６８Ａ及び第三アーム６８Ｃのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びに一方のＹ方向接続部７２とフレーム２２の一方の緩衝材貼付面４６との間で押し潰された状態（圧縮された状態）となる。

これと同様に、弾性支持体１６がフレーム２２に取り付けられた状態では、他方の緩衝材１８が、第二アーム６８Ｂ及び第四アーム６８Ｄのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びに他方のＹ方向接続部７２に沿って配置される。また、弾性支持体１６がフレーム２２に取り付けられた状態では、他方の緩衝材１８の第２接着面１８Ｂが、第二アーム６８Ｂ及び第四アーム６８Ｄのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びに他方のＹ方向接続部７２におけるＺ方向他方側の面（下面）に貼り付けられる。さらに、弾性支持体１６がフレーム２２に取り付けられた状態では、他方の緩衝材１８が、第二アーム６８Ｂ及び第四アーム６８Ｄのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びに他方のＹ方向接続部７２とフレーム２２の他方の緩衝材貼付面４６との間で押し潰された状態（圧縮された状態）となる。

なお、各図においては、緩衝材１８が、各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇとフレーム２２の他方の緩衝材貼付面４６との間で押し潰された状態を反映していない。

図３Ｂには、後述する２つのカバー部材２０が取り付けられる前の状態におけるアクチュエータ１０の平面図が示されている。この図に示された緩衝材１８において第２接着面１８Ｂが視認できる部分を当該緩衝材１８の余剰部分１８Ｃと呼ぶことにする。すなわち、この図に示された緩衝材１８において各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びにＹ方向接続部７２とＺ方向に重ならない部分を当該緩衝材１８の余剰部分１８Ｃと呼ぶことにする。

（カバー部材２０の構成）
カバー部材２０は、粘弾性を有する素材を用いて板状に形成されており、Ｚ方向を厚み方向とすると共にＺ方向から見て矩形状に形成されている。具体的には、カバー部材２０は、Ｚ方向から見てＹ方向を長手方向とすると共にＸ方向を短手方向とする長方形状に形成されている。カバー部材２０のＹ方向及びＸ方向への寸法は、緩衝材１８のＹ方向及びＸ方向への寸法と対応する寸法に設定されている。

カバー部材２０におけるＺ方向他方側の面（下面）は、他の部材と接着可能な接着面２０Ａとなっている。なお、カバー部材２０におけるＺ方向一方側の面（上面）は接着面とはなっていない。図３Ａ及び図３Ｂに示されるように、一方のカバー部材２０の接着面２０Ａは、一方の緩衝材１８の余剰部分１８Ｃにおける第２接着面１８Ｂに貼り付けられると共に、第一アーム６８Ａ及び第三アーム６８Ｃのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びに一方のＹ方向接続部７２におけるＺ方向一方側の面（上面）に貼り付けられる。そして、一方の緩衝材１８と一方のカバー部材２０との間に、第一アーム６８Ａ及び第三アーム６８Ｃのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ並びに一方のＹ方向接続部７２が配置される。これと同様に、他方のカバー部材２０の接着面２０Ａは、他方の緩衝材１８の余剰部分１８Ｃにおける第２接着面１８Ｂに貼り付けられると共に、第二アーム６８Ｂ及び第四アーム６８Ｄのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びに他方のＹ方向接続部７２におけるＺ方向一方側の面（上面）に貼り付けられる。そして、他方の緩衝材１８と他方のカバー部材２０との間に、第二アーム６８Ｂ及び第四アーム６８Ｄのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びに他方のＹ方向接続部７２が配置される。なお、各図においては、カバー部材２０の接着面２０Ａが緩衝材１８の余剰部分１８Ｃにおける第２接着面１８Ｂに接着された状態を表現していない。

（本実施形態の作用並びに効果）
次に、本実施形態の作用並びに効果について説明する。

図１、図２及び図４に示されるように、以上説明したアクチュエータ１０では、可動子１４が弾性支持体１６に支持されており、コイル２４に通電していない状態では、可動子１４が図４に示す原点位置にある。本実施形態のアクチュエータ１０では、コイル２４がフレーム２２に固定され、マグネット５２等が可動子１４に設けられた構成となっている。そのため、コイル２４に通電することにより、可動子１４には、コイル２４から発生する力の反力としての推力が発生する。そして、コイル２４に交流を通電させることにより、可動子１４が重心軸ＡＸに沿って上下方向に振動する。

ここで、可動子１４が取付部材１２に対して変位する際に、弾性支持体１６の変形部６０が撓み変形する。弾性支持体１６の変形部６０が撓み変形すると、取付部材１２と弾性支持体１６の変形部６０との間に設けられた２つの緩衝材１８が変形する。これにより、弾性支持体１６の振動を減衰させることができる。ここで、本実施形態では、緩衝材１８が取付部材１２と弾性支持体１６の変形部６０との間に設けられた構成となっている。これにより、本実施形態では、例えば、弾性支持体１６が一対のバネ材を含んで構成され、当該一対のバネ材に対応する形状に形成された緩衝材が一方のバネ材及び他方のバネ材に接着している構成と比べて、緩衝材１８の使用量を削減することができる。

また、本実施形態では、緩衝材１８の第１接着面１８Ａ及び第２接着面１８Ｂが、フレーム２２の緩衝材貼付面４６及び弾性支持体１６にそれぞれ接着される構成となっている。これにより、緩衝材１８を厚み方向から見た面積を小さくしたとしても、緩衝材１８の減衰効果を高めることができる。

これに加えて、本実施形態では、緩衝材１８が、弾性支持体１６の変形部６０における取付部材側被固定部５６側に設けられている。すなわち、緩衝材１８が、弾性支持体１６の変形部６０における振幅の小さい側に設けられている。詳述すると、図３Ｂ及び図５に示されるように、緩衝材１８が、各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びにＹ方向接続部７２と対応する部分にのみ設けられている。これにより、緩衝材１８を当該部分よりも可動子側被固定部５８側に設けた構成と比べて、緩衝材１８の変形量を抑えることができる。これにより、緩衝材１８の繰り返し変形に伴う劣化を抑えることができる。また、緩衝材１８の繰り返し変形に伴う劣化を抑えることができることにより、弾性支持体１６を含む振動系の共振周波数の変化を抑えることができる。

また、本実施形態では、図３Ａ及び図３Ｂに示されるように、カバー部材２０が、緩衝材１８の余剰部分１８Ｃにおける第２接着面１８Ｂ及び各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びにＹ方向接続部７２におけるＺ方向一方側の面（上面）に貼り付けられる。この構成では、緩衝材１８の余剰部分１８Ｃをカバー部材２０によって覆うことができる。その結果、埃などの異物が緩衝材１８の余剰部分１８Ｃの第２接着面１８Ｂに付着することを抑制することができる。また、カバー部材２０による減衰効果も得ることができる。これにより、緩衝材１８のみを設けた構成と比べて、減衰効果を高めることができる。

また、本実施形態では、各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びにＹ方向接続部７２が、緩衝材１８とカバー部材２０によって挟まれた構成となっている。これにより、緩衝材１８による弾性支持体１６の振動の減衰効果に加えて、カバー部材２０による弾性支持体１６の振動の減衰効果を得ることができる。また、緩衝材１８及びカバー部材２０の両方によって振動を減衰できるため、緩衝材１８のみを設けた場合と比べて、緩衝材１８の耐久性を向上させることができる。

さらに、本実施形態では、緩衝材１８が、各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びにＹ方向接続部７２とフレーム２２の緩衝材貼付面４６との間で押し潰された状態（圧縮された状態）となっている。これにより、各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びにＹ方向接続部７２が取付部材１２とは反対側（Ｚ方向一方側）へ向けて変形する際においても、緩衝材１８と弾性支持体１６との接触状態及び緩衝材１８と取付部材１２との接触状態を保つことができる。

また、本実施形態では、弾性支持体１６の変形部６０の各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄが、第一Ｘ方向外側伸長部７０ａ、第一折返部７０ｂ、Ｘ方向内側伸長部７０ｃ、第二折返部７０ｄ、第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇを備えている。これにより、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇが無い構成と比べて、変形部６０の各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄの長さを長くすることができる。これにより、各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄの負荷を低減できると共に、可動子側被固定部５８及び取付部材側被固定部５６に加わる負荷も小さくでき、金属疲労を起こし難くすることができる。したがって、各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄの耐久性を向上させることができる。また、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇが無い構成と比べて、弾性支持体１６を含む振動系の共振周波数を低くすることができる。

また、緩衝材が、第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇに沿って設けられている。このように、第三折返部７０ｆとＹ方向外側伸長部７０ｇを設けることで、各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄの変形量の小さい位置において取付部材１２との間に緩衝材１８を容易に配置できる。

さらに、本実施形態では、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇを有する第一アーム６８Ａ及び第三アーム６８Ｃは、可動子側被固定部５８に対してＸ方向一方側に配置されていると共にＹ方向に対称に形成されている。また、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇを有する第二アーム６８Ｂ及び第四アーム６８Ｄは、可動子側被固定部５８に対してＸ方向他方側に配置されていると共にＹ方向に対称に形成されている。さらに、第一アーム６８Ａと第二アーム６８Ｂとは、Ｘ方向に対称に形成されている。また、第三アーム６８Ｃと第四アーム６８Ｄとは、Ｘ方向に対称に形成されている。これにより、Ｚ方向から見た際の弾性支持体１６の専有面積に対する４つのアーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄの長さの比を大きくすることができる。

さらに、本実施形態では、４つのアーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄに対して２つの緩衝材１８が設けられた構成となっている。これにより、４つのアーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄに対してそれぞれ４つの緩衝材１８を設けた構成と比べて、緩衝材１８の点数を削減することができる。

また、本実施形態では、弾性支持体１６が、第一アーム６８Ａの第三折返部７０ｆと第三アーム６８Ｃの第三折返部７０ｆとをＹ方向に接続するＹ方向接続部７２を備えていると共に、第二アーム６８Ｂの第三折返部７０ｆと第四アーム６８Ｄの第三折返部７０ｆとをＹ方向に接続するＹ方向接続部７２を備えている。これにより、Ｙ方向接続部７２が無い構成と比べて、板状に形成された弾性支持体１６の変形部６０の自由状態での平面度を高めることができる。特に、弾性支持体１６をプレス成型した際の変形部６０の平面度を高めることができる。また、変形部６０の平面度が保たれるので、部品個体差がでにくく、バネ係数のばらつき（硬さ、スティフネスのばらつき）を抑えることができる。

さらに、本実施形態では、弾性支持体１６の４つの取付部材側被固定部５６がフレーム２２の４つの台座部４０にそれぞれ固定された状態では、４つの取付部材側被固定部５６はフレーム２２の４つの台座部４０からそれぞれ分離不能となっている。これにより、取付部材側被固定部５６と台座部４０との固定部分において、両者の接触状態が変化することを抑制することができる。これにより、両者の接触状態が変化することに伴う弾性支持体１６の共振点のずれを抑制することができる。

なお、以上説明した例では、弾性支持体１６が、第一アーム６８Ａの第三折返部７０ｆと第三アーム６８Ｃの第三折返部７０ｆとをＹ方向に接続するＹ方向接続部７２を備えていると共に、第二アーム６８Ｂの第三折返部７０ｆと第四アーム６８Ｄの第三折返部７０ｆとをＹ方向に接続するＹ方向接続部７２を備えている例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図６及び図７に示された弾性支持体８０のように、Ｙ方向接続部７２を備えていない構成としてもよい。なお、図６及び図７に示された弾性支持体８０において前述の弾性支持体１６と対応する部分には、前述の弾性支持体１６と対応する部分と同じ符号を付している。

また、以上説明した例では、弾性支持体１６の両面の全体が平面状になっている例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図８に示された弾性支持体８２のように、変形部６０の終端６４と対応する４箇所に段差部８４を形成した構成としてもよい。また、図示は省略するが、弾性支持体の変形部の始端に対応する２箇所に段差部を形成した構成としてもよい。図８に示される構成では、可動子側被固定部５８及び変形部６０が、４つの取付部材側被固定部５６に対してＺ方向一方側にオフセットしている。このように図８では、段差部８４を形成し、可動子側被固定部５８及び変形部６０を取付部材側被固定部５６に対してＺ方向一方側にオフセットした形状としたが、Ｚ方向他方側にオフセットした形状としてもよい。段差部８４を設けることで、段差部を変形部６０の基点にでき、取付部材側被固定部５６に加わる応力を低減できる。また、図８に示すように、可動子側被固定部５８及び変形部６０を取付部材側被固定部５６に対してＺ方向一方側にオフセットした形状とすることで、アクチュエータ全体の高さ増加を抑制しながら、緩衝材の厚み寸法の自由度を広げ、緩衝材による減衰効果の調整幅を広げることができる。なお、図８に示された弾性支持体８２において前述の弾性支持体１６と対応する部分には、前述の弾性支持体１６と対応する部分と同じ符号を付している。

また、以上説明した例では、４つの取付部材側被固定部５６をフレーム２２の４つの台座部４０にそれぞれ溶着で固定した例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、４つの取付部材側被固定部５６をフレーム２２の４つの台座部４０にそれぞれスクリュ等を用いて着脱可能に固定してもよい。

さらに、以上説明した例では、４つのアーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄに対して２つの緩衝材１８を設けた構成について説明したが、本発明はこれに限定されない。アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄの数や緩衝材１８の数は、アクチュエータ１０に要求される振動特性等を考慮して適宜設定すればよい。

また、以上説明した例では、緩衝材１８を各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄのそれぞれの第二Ｘ方向外側伸長部７０ｅ、第三折返部７０ｆ及びＹ方向外側伸長部７０ｇ並びにＹ方向接続部７２と対応する部分にのみ設けた例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、当該位置よりも可動子側被固定部５８側に緩衝材１８を設けた構成としてもよい。このように、緩衝材１８を設ける位置は、当該緩衝材１８に要求される耐久性等を考慮して適宜設定すればよい。また、例えば、緩衝材１８のＸ方向等への寸法を調節することにより、弾性支持体１６を含む振動系の共振周波数を調節してもよい。例えば、図３Ｂにおいて二点鎖線で示されるように、緩衝材１８の可動子側被固定部５８とは反対側の端からＹ方向への寸法を以上説明した例の半分の寸法１／２Ｗにしてもよいし、以上説明した例の２／３の寸法２／３Ｗにしてもよい。この場合、緩衝材１８の可動子側被固定部５８とは反対側の端からＹ方向への寸法を短くするにつれて、弾性支持体１６を含む振動系の共振周波数を低くすることができる。

さらに、以上説明した例では、カバー部材２０を設けた例について説明したが、本発明はこれに限定されない。カバー部材２０を設けるか否かについては、緩衝材１８の第２接着面１８Ｂに付着することが想定される異物の種類や大きさや、カバー部材２０に要求される弾性支持体１６の振動の減衰効果等を考慮して適宜設定すればよい。

また、以上説明した例では、カバー部材２０の片面の全面が接着面を有する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、カバー部材が接着面を有していない場合でも、緩衝材の接着面に貼り付けることが可能である。この場合、緩衝材とカバー部材との間に変形部が配置されることにより、減衰効果を高めることができる。また、カバー部材の片面において、部分的に接着面を設けることが可能である。例えば、変形部との接触部のみに接着面を設ける等、弾性支持体の振動の減衰効果等を考慮して適宜設定すればよい。

また、以上説明した構成は、各アーム６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄの構成が異なる弾性支持体を含んで構成されたアクチュエータにも適用することができる。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記に限定されるものでなく、その主旨を逸脱しない範囲内において上記以外にも種々変形して実施することが可能であることは勿論である。

１０ アクチュエータ
１２ 取付部材
１４ 可動子
１６ 弾性支持体
１８ 緩衝材
１８Ｂ 第２接着面（接着面）
１８Ｃ 余剰部分
２０ カバー部材
２４ コイル
５２ マグネット
５６ 取付部材側被固定部
５８ 可動子側被固定部
６０ 変形部
６８Ａ アーム
６８Ｂ アーム
６８Ｃ アーム
６８Ｄ アーム
７０ａ 第一Ｘ方向外側伸長部
７０ｂ 第一折返部
７０ｃ Ｘ方向内側伸長部
７０ｄ 第二折返部
７０ｅ 第二Ｘ方向外側伸長部
７０ｆ 第三折返部
７０ｇ Ｙ方向外側伸長部
７２ Ｙ方向接続部
８０ 弾性支持体

Claims (8)

1. コイルを含んで構成された取付部材と、
   前記コイルと対向して配置されるマグネットを有し、前記コイルへ通電されることで前記取付部材に対して変位する可動子と、
   前記取付部材に固定される取付部材側被固定部と、前記可動子に固定される可動子側被固定部と、前記取付部材側被固定部と前記可動子側被固定部とをつなぐ変形部と、を有する弾性支持体と、
   前記取付部材と前記変形部との間に設けられ、前記変形部の撓み変形に伴い変形する緩衝材と、
   を備え、
   前記弾性支持体及び前記緩衝材は、互いの厚み方向に重ねられて配置され、
   前記緩衝材の前記変形部側は該変形部と接着される接着面を有しており、
   前記緩衝材は、その厚み方向から見て前記変形部と重ならない余剰部分を有しており、
   さらにカバー部材を備え、
   前記カバー部材と前記緩衝材との間に前記変形部が配置され、
   前記カバー部材が前記余剰部分に貼り付けられているアクチュエータ。
2. 前記緩衝材の前記取付部材側は該取付部材と接着される接着面を有している請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記カバー部材は接着面を有しており、該接着面が前記変形部及び前記緩衝材に接着されている請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記緩衝材は、前記取付部材と前記変形部との間において圧縮された状態で設けられている請求項１～請求項３のいずれか１項に記載のアクチュエータ。
5. 前記緩衝材は、前記変形部における前記取付部材側被固定部側に設けられている請求項１～請求項４のいずれか１項に記載のアクチュエータ。
6. 前記可動子が変位する変位方向を±Ｚ方向とし、±Ｚ方向に直交する平面内の方向のうち互いに垂直な方向をＸ方向及びＹ方向としたとき、
   前記変形部は、前記可動子側被固定部から前記取付部材側被固定部までの間で伸びるアームを備え、
   前記アームは、
   前記可動子側被固定部側からＸ方向外側へ伸びる第一Ｘ方向外側伸長部と、
   前記第一Ｘ方向外側伸長部よりも前記取付部材側被固定部側に形成され、伸長方向がＸ方向外側からＸ方向内側へ折り返される第一折返部と、
   前記第一折返部からＸ方向内側へ伸びるＸ方向内側伸長部と、
   前記Ｘ方向内側伸長部よりも前記可動子側被固定部側に形成され、伸長方向がＸ方向内側からＸ方向外側へ折り返される第二折返部と、
   前記第二折返部からＸ方向外側へ伸びる第二Ｘ方向外側伸長部と、
   前記第二Ｘ方向外側伸長部よりも前記取付部材側被固定部側に形成され、伸長方向がＸ方向外側からＹ方向外側へ折り返される第三折返部と、
   前記第三折返部からＹ方向外側へ伸びると共に前記取付部材側被固定部に接続されたＹ方向外側伸長部と、
   を備え、
   前記緩衝材は、前記第二Ｘ方向外側伸長部、前記第三折返部及び前記Ｙ方向外側伸長部に沿って設けられている請求項５に記載のアクチュエータ。
7. ２つの前記緩衝材を備え、
   前記弾性支持体は、４つの前記取付部材側被固定部と、４つの前記アームと、を備え、
   ４つの前記アームのうちの２つの前記アームは、前記可動子側被固定部に対してＸ方向一方側に配置されていると共にＹ方向に対称に形成され、
   ４つの前記アームのうちの他の２つの前記アームは、前記可動子側被固定部に対してＸ方向他方側に配置されていると共にＹ方向に対称に形成され、
   一方の前記緩衝材が、前記可動子側被固定部に対してＸ方向一方側に配置された２つの前記アームの前記第二Ｘ方向外側伸長部、前記第三折返部及び前記Ｙ方向外側伸長部に沿って設けられ、
   他方の前記緩衝材が、前記可動子側被固定部に対してＸ方向他方側に配置された２つの前記アームの前記第二Ｘ方向外側伸長部、前記第三折返部及び前記Ｙ方向外側伸長部に沿って設けられている請求項６に記載のアクチュエータ。
8. 前記変形部は板状に形成され、
   前記可動子側被固定部に対してＸ方向一方側に配置された２つの前記アームの前記第三折返部をＹ方向に接続するＹ方向接続部を備えていると共に、前記可動子側被固定部に対してＸ方向他方側に配置された２つの前記アームの前記第三折返部をＹ方向に接続するＹ方向接続部を備えており、
   一方の前記緩衝材が、一方の前記Ｙ方向接続部に沿って設けられ、
   他方の前記緩衝材が、他方の前記Ｙ方向接続部に沿って設けられている請求項７に記載のアクチュエータ。