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JP7780988B2 - 表示装置 - Google Patents
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JP7780988B2 - 表示装置 - Google Patents

表示装置

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Description

本発明の一実施形態は、表示装置に関する。特に、表示装置の画素の構成に関する。
有機エレクトロルミネッセンス(以下、有機ELと呼ぶ。)表示装置は、高視野角、高速応答、シートディスプレイとして使用可能などの利点から研究が盛んに行われている。有機EL表示装置は、各画素に発光素子が設けられ、個別に発光を制御することで画像を表示する。発光素子は、一方をアノード、他方をカソードとして区別される一対の電極間に有機EL材料を含む層(以下、「発光層」ともいう)を挟んだ構造を有している。発光層に、カソードから電子が注入され、アノードから正孔が注入されると、電子と正孔が再結合する。これにより放出される余剰なエネルギーによって発光層中の発光分子が励起し、その後脱励起することによって発光する。
近年、有機EL表示装置を構成する半導体層として、酸化物半導体(Oxide Semiconductor;OS)が注目されている。酸化物半導体層を用いたトランジスタは、オフリーク電流が低く、低周波数駆動が可能であるため低消費電力の表示装置への応用が期待されている。特に、自発光型である有機EL表示装置に、酸化物半導体層を用いたトランジスタを適用することで消費電力の削減効果が大きい。
特開2013-254950号公報
酸化物半導体層を用いたトランジスタは、経時的に閾値電圧が変化してしまうなどの信頼性が低い点が課題である。例えば、酸化物半導体層を用いたトランジスタは、電圧ストレスによる特性変動が低温ポリシリコンを用いたトランジスタと比較して大きい傾向がある。そのため、一つの画素に一つのトランジスタを用いる液晶表示装置と比較して、一つの画素に複数のトランジスタを用いる有機EL表示装置では、個々のトランジスタの特性が変動することで、表示ムラが発生しやすいという問題がある。
上記問題に鑑み、本発明の一実施形態では、表示装置の信頼性を向上させることを目的の一つとする。
本発明の一実施形態に係る表示装置は、発光素子と駆動電源線との間で直列に接続される第1トランジスタ及び第2トランジスタと、第1トランジスタのゲート電極と電気的に接続される第3トランジスタと、第1トランジスタのドレインと発光素子との間に並列に接続される第4トランジスタと、を含み、第1トランジスタのチャネル幅W1とチャネル長L1との比(W1/L1比)及び第2トランジスタのチャネル幅W2とチャネル長L2との比(W2/L2比)は、第3トランジスタのチャネル幅W3とチャネル長L3との比(W3/L3比)及び第4トランジスタのチャネル幅W4とチャネル長L4との比(W4/L4比)よりも大きい。
本発明の一実施形態に係る表示装置の構成を説明する平面図である。 本発明の一実施形態に係る表示装置が有する画素の等価回路図である。 本発明の一実施形態に係る表示装置が有する画素の平面レイアウト図である。 本発明の一実施形態に係る表示装置の画素の断面構造を説明する図である。 本発明の一実施形態に係る表示装置が有する画素の等価回路図である。 本発明の一実施形態に係る表示装置が有する画素の平面レイアウト図である。 トランジスタISTのId-Vg特性のグラフである。 トランジスタBCTのId-Vg特性のグラフである。 PBTS試験の結果を示すグラフである。 PBTS試験の結果を示すグラフである。 PBTS試験の結果を示すグラフである。 PBTS試験の結果を示すグラフである。 PBTS試験の結果を示すグラフである。 PBTS試験の結果を示すグラフである。 PBTS試験の結果を示すグラフである。 PBTS試験の結果を示すグラフである。 PBTS試験の結果を示すグラフである。 PBTS試験の結果を示すグラフである。 PBTS試験の結果を示すグラフである。 PBTS試験の結果を示すグラフである。 表示装置A~C、表示装置INIのそれぞれが有する駆動トランジスタDRT、書込トランジスタSST、出力トランジスタBCTと、閾値電圧Vth[V]との関係である。 表示装置A~Cの駆動後における電流低下量をまとめたグラフである。
以下、本発明の各実施形態について、図面等を参照しつつ説明する。但し、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲において様々な態様で実施することができ、以下に例示する実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、図面に関して、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて各部の幅、厚さ、形状等を模式的に表す場合があるが、それら模式的な図は一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。さらに、本明細書と各図において、既出の図に関して説明したものと同一又は類似の要素には、同一の符号を付して、重複する説明を省略することがある。
本発明において、ある一つの膜を加工して複数の膜を形成した場合、これら複数の膜は異なる機能、役割を有することがある。しかしながら、これら複数の膜は同一の工程で同一層として形成された膜に由来し、同一の層構造、同一の材料を有する。したがって、これら複数の膜は同一層に存在しているものと定義する。
なお、本明細書中において、図面を説明する際の「上」、「下」などの表現は、着目する構造体と他の構造体との相対的な位置関係を表現している。本明細書中では、側面視において、後述する第1基板から画素電極に向かう方向を「上」と定義し、その逆の方向を「下」と定義する。本明細書および特許請求の範囲において、ある構造体の上に他の構造体を配置する態様を表現するにあたり、単に「上に」と表記する場合、特に断りの無い限りは、ある構造体に接するように、直上に他の構造体を配置する場合と、ある構造体の上方に、さらに別の構造体を介して他の構造体を配置する場合との両方を含むものとする。
また、本明細書等において、ボトムゲート駆動とは、半導体層の下方に配置されたゲート電極によって、オンオフが制御されるものである。また、本明細書等において、トップゲート駆動とは、半導体層の上方に配置されたゲート電極によって、オンオフが制御されるものである。また、本明細書において、デュアルゲート駆動とは、半導体層の上下に配置されたゲート電極に、同じ制御信号を入力することによって、オンオフが制御されるものである。
(第1実施形態)
本発明の一実施形態に係る表示装置100について、図1~図4を参照して説明する。
本発明の一実施形態に係る表示装置100の構成を説明する平面図である。図1に示すように、表示装置100は、基板101上に設けられた表示領域102及び周辺領域109を含む。
表示領域102は、マトリクス状に配列された複数の画素103を有する。複数の画素103の各々は、複数のトランジスタ及び発光素子を有する。
周辺領域109は、表示領域102を囲むように設けられる。なお、周辺領域109とは、基板101において、表示領域102から基板101の端部までの領域をいう。別言すれば、周辺領域109は、基板101上で表示領域102が設けられる以外の領域(すなわち、表示領域102の外側の領域)をいうものとする。周辺領域109は、ゲート駆動回路104_1、104_2と、複数の端子106を含む端子部107と、を有する。ゲート駆動回路104_1、104_2は、表示領域102を挟むように設けられている。ドライバIC105は、ICチップのような形態で、フレキシブルプリント回路108の上に設けられている。フレキシブルプリント回路108は、複数の端子106と接続されている。図1においては、ドライバIC105にソース駆動回路が組み込まれている例を示すが、この形態に限定されず、基板101上にドライバIC105とは別に、ソース駆動回路が設けられていてもよい。また、ドライバIC105は、フレキシブルプリント回路108に配置されている例を示すが、この形態に限定されず、基板101に配置されていてもよい。
ドライバIC105は、ゲート駆動回路104_1、104_2と、複数の映像信号線VLと接続される。ゲート駆動回路104_1又はゲート駆動回路104_2は、書込制御走査線Sgbを介して画素103と接続される。複数の書込制御走査線Sgbのうち、例えば、奇数行の書込制御走査線Sgbは、ゲート駆動回路104_1と接続され、偶数行の書込制御走査線Sgbは、ゲート駆動回路104_2と接続される。映像信号線VLは、画素103と接続される。表示領域102には、ドライバIC105からゲート駆動回路104_1、104_2と、書込制御走査線Sgbとを介して、各画素103を選択する制御信号SGが与えられる。また、表示領域102には、ドライバIC105から映像信号線VLを介して、映像信号Vsigが与えられる。これらの信号により、画素103が有するトランジスタを駆動させて、表示領域102に映像信号Vsigに応じた画像表示を行うことができる。なお、画素103に接続された高電位電源SLa及び低電位電源電極SLbはそれぞれ、異なる端子106に接続される。
基板101として、ガラス基板又は可撓性を有するプラスチック基板を用いる。基板101として、可撓性を有するプラスチック基板を用いる場合には、表示領域102と端子部107との間の領域を折り曲げることができる。これにより、表示装置100の狭額縁化を図ることができる。
<等価回路図>
図2は、本発明の一実施形態に係る表示装置100が有する画素103の等価回路図である。表示装置100の画素103は、高電位電源SLa、低電位電源電極SLb、発光制御走査線Sga、書込制御走査線Sgb、映像信号線VL、及びリセット電源線SLcを有している。高電位電源SLaは、高電位電源Pvddが与えられ、低電位電源電極SLbは、低電位電源Pvssが与えられる。書込制御走査線Sgbは、ゲート駆動回路104_1、104_2に接続され、映像信号線VL及びリセット電源線SLcは、ドライバIC105に接続される。
画素103は、駆動トランジスタDRT(第1トランジスタともいう)、出力トランジスタBCT(第2トランジスタともいう)、書込トランジスタSST(第3トランジスタともいう)、リセットトランジスタRST(第4トランジスタともいう)、保持容量Cs、及び発光素子OLEDを少なくとも有する。書込トランジスタSST、駆動トランジスタDRT、出力トランジスタBCT、及びリセットトランジスタRSTの各々は、第1端子、第2端子、及び制御端子を有している。本明細書等において、第1端子をソース電極、第2端子をドレイン電極、制御端子をゲート電極という。
発光素子OLEDのアノード(画素電極ともいう)には、出力トランジスタBCT及び駆動トランジスタDRTを介して高電位電源Pvddが与えられ、カソード(共通電極ともいう)には、低電位電源Pvssが与えられる。
出力トランジスタBCTにおいて、ソース電極は高電位電源SLaに接続され、ドレイン電極は駆動トランジスタDRTのソース電極に接続され、ゲート電極は発光制御走査線Sgaに接続されている。出力トランジスタBCTでは、発光制御走査線Sgaからの制御信号BGによりオン状態(導通状態)又はオフ状態(非導通状態)が制御される。出力トランジスタBCTは、制御信号BGに応答して発光素子OLEDの発光時間を制御する。
書込トランジスタSSTにおいて、ゲート電極は書込制御走査線Sgbに接続され、ソース電極が映像信号線VLに接続され、ドレイン電極が駆動トランジスタDRTのゲート電極に接続される。書込トランジスタSSTは、2ノード間の導通又は非導通を選択するスイッチング素子として機能し、発光素子OLEDの発光輝度に対応する電圧を書き込む。
駆動トランジスタDRTにおいて、ドレイン電極は発光素子OLEDのアノードと接続され、ソース電極は、出力トランジスタBCTのドレイン電極と接続され、ゲート電極は書込トランジスタSSTのドレイン電極及び保持容量Csの一方の電極と接続されている。つまり、駆動トランジスタDRTは、高電位電源SLaと低電位電源電極SLbとの間で、発光素子OLEDと出力トランジスタBCTと直列に接続されている。駆動トランジスタDRTは、ゲート-ソース間電圧に応じて発光素子OLEDに流れる電流値を制御する電流制御素子として機能する。これにより、駆動トランジスタDRTは、映像信号Vsigに応じた電流量の駆動電流を発光素子OLEDに出力する。
リセットトランジスタRSTにおいて、ソース電極はリセット電源に接続されたリセット電源線SLcに接続され、ドレイン電極は保持容量Csの他方の電極及び発光素子OLEDに接続され、ゲート電極はリセット制御用ゲート配線として機能するリセット制御走査線Sgcに接続されている。換言すると、リセットトランジスタRSTのドレイン電極は、保持容量Csを介して駆動トランジスタDRTのゲート電極と接続されている。リセット電源線SLcは、リセット電源に接続され、定電位であるリセット電位Vrstに固定されている。
リセットトランジスタRSTは、リセット制御走査線Sgcを通して与えられる制御信号RGに応じて、リセット電源線SLc及びリセット制御走査線Sgr間をオン状態又はオフ状態に切替える。リセットトランジスタRSTがオン状態に切替えられることにより、駆動トランジスタDRTのドレイン電極の電位が初期化される。
駆動トランジスタDRTのゲート-ドレイン間には保持容量Csが設けられていてもよい。保持容量Csは、駆動トランジスタDRTのゲート-ドレイン間電圧を一定期間保持する。
表示装置100を構成するトランジスタの半導体層として、例えば、アモルファスシリコン、低温ポリシリコン、又は酸化物半導体を用いる。ここで、酸化物半導体層を用いたトランジスタは、オフリーク電流が低く、低周波駆動が可能であるため、低消費電力の表示装置100を実現できる。また、酸化物半導体層を用いたトランジスタは、低温ポリシリコン層を有するトランジスタと比較して、キンク効果が観測されないため飽和特性が良好である。本実施形態では、表示装置100を構成するトランジスタの半導体層として、酸化物半導体層を用いる場合について説明する。
酸化物半導体層を用いたトランジスタは、経時的に閾値電圧が変化するなどの信頼性が低い点が課題である。例えば、酸化物半導体を用いたトランジスタは、電圧ストレスによる特性変動が低温ポリシリコンを用いたトランジスタと比較して大きい傾向がある。そのため、一つの画素に一つのトランジスタを用いる液晶表示装置と比較して、一つの画素に複数のトランジスタを用いる有機EL表示装置では、個々のトランジスタの特性が変動することで、表示ムラが発生しやすいという問題がある。
例えば、図2に示すような4つのトランジスタを用いた画素では、低周波数駆動をするために、信号電位の保持やリセットに用いる書込トランジスタSST及びリセットトランジスタRSTには、マイナスバイアスが印加される時間が長い。一方、発光素子OLEDに流れる電流を制御する出力トランジスタBCT及び駆動トランジスタDRTには、プラスバイアスが印加される時間が長い。このような画素を用いて、表示装置として長時間駆動させた場合、同一画素内における書込トランジスタSST及びリセットトランジスタRSTと比べて、出力トランジスタBCT及び駆動トランジスタDRTの劣化量が大きく異なることがわかった。特に、出力トランジスタBCT及び駆動トランジスタDRTのような発光素子OLEDに流れる電流を制御するトランジスタは、閾値電圧がプラスにドリフトする量が多いことがわかった。しかしながら、このようなトランジスタの特性の変動は、半導体製造装置のプロセスの調整(いわゆるプロセスチューニング)によって改善することが困難である。
酸化物半導体層を用いたトランジスタは、同一プロセス及び同一基板内においても、チャネル幅Wとチャネル長Lとの比(W/L比ともいう)が異なることで、トランジスタの特性が異なる。トランジスタのチャネル幅Wが大きく、チャネル長Lが短くなるほど、酸化物半導体中の酸素欠損が生成しやすくなることで、活性層のフェルミレベルが変化するからである。基本的に、フェルミレベルが伝導体に近いほど、ゲート絶縁膜中へのキャリアトラップが発生しにくくなるため、ゲートに加わるプラスバイアスによるストレスに起因する閾値電圧のプラスにドリフトする量は小さくなる。一方で、チャネル長Lが短くなるほど、光劣化と呼ばれる閾値電圧のマイナスドリフトが発生する。そのため、単にトランジスタのW/L比を大きくするだけでは、閾値電圧が徐々にマイナスドリフトしてしまう。なお、本明細書等において、チャネル領域とは、酸化物半導体層がゲート電極と重畳する領域をいう。また、チャネル長Lとは、酸化物半導体層がゲート電極と重畳する領域において、ソース電極とドレイン電極とを結ぶ方向の長さをいう。また、チャネル幅Wとは、酸化物半導体層がゲート電極と重畳する領域において、チャネル長Lと直交する方向の長さをいう。
したがって、本発明の一実施形態に係る表示装置100では、発光素子OELDの発光に用いるトランジスタのW/L比を、マイナスバイアスが支配的となる容量の電荷の保持やリセットに用いるトランジスタのW/L比よりも大きくする。つまり、図2に示す画素103において、書込トランジスタSST及びリセットトランジスタRSTのW/L比を小さくし、出力トランジスタBCT及び駆動トランジスタDRTのW/L比を大きくする。具体的には、書込トランジスタSST及びリセットトランジスタRSTのW/L比を1.5未満とし、出力トランジスタBCT及び駆動トランジスタDRTのW/L比を1.5以上とする。好ましくは、書込トランジスタSST及びリセットトランジスタRSTのW/L比を1.0以下とし、出力トランジスタBCT及び駆動トランジスタDRTのW/L比を2.0以上とする。
このような構成とすることにより、容量の電荷の保持やリセットに用いるトランジスタSST及びトランジスタRSTの閾値電圧がマイナスにドリフトすることを抑制するとともに、発光素子OLEDの発光に用いるトランジスタは、ゲートに加わるプラスバイアスによるストレスに起因する閾値電圧がプラスにドリフトする量を小さくすることができる。したがって、表示装置100の画素103において、トランジスタの劣化を抑制することができる。よって、表示装置100の信頼性を向上させることができる。
<画素の平面レイアウト及び断面>
次に、本発明の一実施形態に係る表示装置100の画素103の平面レイアウト及び画素103の断面について、図3及び図4を参照して説明する。図3は、本発明の一実施形態に係る表示装置100の画素103の平面レイアウト図である。図4は、図3に示す画素103を、A1-A2線に沿って切断したときの断面図である。
図3に示すように、画素103は、トランジスタ310、320、330、340、及び保持容量360を有する。トランジスタ310は、駆動トランジスタDRTに対応する。トランジスタ320は、出力トランジスタBCTに対応する。トランジスタ330は、書込トランジスタSSTに対応する。トランジスタ340は、リセットトランジスタRSTに対応する。保持容量360は、保持容量Csに対応する。トランジスタ310~340は、いずれもトップゲート駆動のトランジスタとして説明するが、ボトムゲート駆動のトランジスタであってもよいし、デュアルゲート駆動のトランジスタであってもよい。
図3においては、酸化物半導体層208-1~208-4、導電層214-1~214-4、導電層218-1~218-6、導電層219-1、及びコンタクトホール211-1~211-8、217-1、221-1を図示している。図3において、下地膜、ゲート絶縁膜、層間絶縁膜、及び平坦化膜などの絶縁膜については、図示を省略している。また、図3において、導電層219-1よりも上の層についても、図示を省略している。
トランジスタ310は、酸化物半導体層208-1、導電層214-1、及び導電層218-2、導電層218-3、及びゲート絶縁膜を有する。導電層214-1は、酸化物半導体層208-1と重畳する領域においてゲート電極として機能する。酸化物半導体層208-1は、ゲート絶縁膜及び層間絶縁膜に設けられたコンタクトホール211-1、211-2を介して導電層218-2、218-3と接続される。図3では図示しないが、酸化物半導体層208-1は、導電層218-3及び導電層219-1を介して、発光素子OLEDの画素電極と電気的に接続されている。
トランジスタ320は、酸化物半導体層208-2、導電層214-2、及び導電層218-2、218-4、及びゲート絶縁膜を有する。導電層214-2は、酸化物半導体層208-2と重畳する領域においてゲート電極として機能する。酸化物半導体層208-2は、ゲート絶縁膜及び層間絶縁膜に設けられたコンタクトホール211-3、211-4を介して導電層218-2、218-4と接続される。トランジスタ320は、導電層218-2によって、トランジスタ310と接続されている。
トランジスタ330は、酸化物半導体層208-3、導電層214-3、及び導電層218-1、218-5、及びゲート絶縁膜を有する。導電層214-3は、酸化物半導体層208-3と重畳する領域においてゲート電極として機能する。酸化物半導体層208-3は、ゲート絶縁膜及び層間絶縁膜に設けられたコンタクトホール211-5、211-6を介して導電層218-1、218-5と接続される。
トランジスタ340は、酸化物半導体層208-4、導電層214-4、導電層218-1、218-6、及びゲート絶縁膜を有する。導電層214-4は、酸化物半導体層208-4と重畳する領域においてゲート電極として機能する。酸化物半導体層208-4は、ゲート絶縁膜及び層間絶縁膜に設けられたコンタクトホール211-7、211-8を介して導電層218-1、218-6と接続される。トランジスタ340は、導電層218-1を介して、トランジスタ330と接続されている。
保持容量360は、導電層218-1、導電層219-1、及び層間絶縁膜によって構成される。
トランジスタ310は、チャネル幅W1とチャネル長L1を有している。トランジスタ320についても、図3では図示しないが、チャネル幅W2とチャネル長L2を有している。また、トランジスタ330は、チャネル幅W3とチャネル長L3を有している。トランジスタ340についても、図3では図示しないが、チャネル幅W4とチャネル長L4を有している。また、本明細書等において、トランジスタのチャネル幅Wとチャネル長Lとの比を、W/L比と記載する。例えば、トランジスタ310のチャネル幅W1とチャネル長L1との比は、W1/L1比と記載する。トランジスタ320~340のW/L比についても、トランジスタ310と同様に記載する。
トランジスタ310とトランジスタ330とを比較すると、トランジスタ310のW1/L1比は、トランジスタ330のW3/L3比よりも大きい。例えば、トランジスタ310のW1/L1比は1.5以上であるのに対して、トランジスタ330のW3/L3比は、1.5未満である。また、トランジスタ320とトランジスタ330とを比較すると、トランジスタ320のW2/L2比は、トランジスタ330のW3/L3比よりも大きい。例えば、トランジスタ320のW2/L2比は1.5以上であるのに対して、トランジスタ330のW3/L3比は、1.5未満である。トランジスタ310のW1/L1比とトランジスタ320のW2/L2比は同じであってもよいし、異なっていてもよい。
このように、トランジスタ310のW1/L1比及びトランジスタ320のW2/L2比を、トランジスタ330のW3/L3比及びトランジスタ340のW4/L4比よりも大きくする。これにより、容量の電荷の保持やリセットに用いるトランジスタSST及びトランジスタRSTの閾値電圧がマイナスドリフトすることを抑制するとともに、発光素子OLEDの発光に用いるトランジスタは、ゲートプラスバイアスストレスによって閾値電圧がプラスドリフトする量を小さくすることができる。したがって、表示装置の画素において、トランジスタの劣化を抑制することができる。よって、表示装置の信頼性を向上させることができる。
上述したように、トランジスタ310のW1/L1比及びトランジスタ320のW2/L2比は、1.5以上であればよい。そのため、トランジスタ310のW1/L1比とトランジスタ320のW2/L2比は同じであってもよいし、異なっていてもよい。
また、トランジスタ330のW3/L3比及びトランジスタ340のW4/L4比は1.5未満であればよい。そのため、トランジスタ330のW3/L3比とトランジスタ340のW4/L4比は同じであってもよいし、異なっていてもよい。ただし、トランジスタ330及びトランジスタ340に加わるストレスがほとんど変わらないため、トランジスタ330のW3/L3比とトランジスタ340のW4/L4比は同じであることが好ましい。
また、本実施形態において、トランジスタ310のチャネル長L1及びトランジスタ320のチャネル長L2と、トランジスタ330のチャネル長L3及びトランジスタ340のチャネル長L4とは、同じ長さである場合について図示するが、本発明の一実施形態はこれに限定されない。例えば、トランジスタ310のチャネル長L1は、トランジスタ330のチャネル長L3及びトランジスタ340のチャネル長L4と異なる長さであってもよい。具体的には、トランジスタ310のチャネル長L1は、トランジスタ330のチャネル長L3及びトランジスタ340のチャネル長L4よりも長くてもよい。トランジスタ310のチャネル長L1を長くすることにより、S値を大きくすることができる。
<画素の断面構造>
図4は、本発明の一実施形態に係る表示装置100の画素103の断面構造を説明する図である。図4に示すように、基板101上に絶縁膜202を介してトランジスタ310及びトランジスタ330が設けられている。トランジスタ310は、発光素子230と接続されている。ここで、トランジスタ310は、駆動トランジスタDRTに対応し、トランジスタ330は、書込トランジスタSSTに対応し、発光素子230は、発光素子OLEDに対応する。
トランジスタ310は、絶縁膜202上に設けられた酸化物半導体層208-1と、酸化物半導体層208-1上に設けられた絶縁膜212と、絶縁膜212上に設けられた導電層214-1と、絶縁膜216上に設けられた導電層218-2、218-3と、を少なくとも有する。ここで、酸化物半導体層208-1は、チャネル領域208aと、不純物領域208b、208cと、を有する。不純物領域208b、208cは、チャネル領域208aを間に挟んで設けられる。酸化物半導体層208-1において、チャネル領域208aは、導電層214-1と重畳する領域である。絶縁膜212は、トランジスタ310のゲート絶縁膜として機能する。導電層214-1上には、絶縁膜216が設けられる。絶縁膜216は、層間絶縁膜として機能する。導電層218-2、218-3は、ソース電極又はドレイン電極として機能する。導電層218-2は、絶縁膜212、216に設けられたコンタクトホール211-2を介して、不純物領域208cと接続されている。導電層218-3は、絶縁膜212、216に設けられたコンタクトホール211-1を介して、不純物領域208bに接続されている。導電層218-3は、絶縁膜223に設けられたコンタクトホール217-1を介して、導電層219-1と接続される。
トランジスタ330は、絶縁膜202上に設けられた酸化物半導体層208-3と、酸化物半導体層208-3上に設けられた絶縁膜212と、絶縁膜212上に設けられた導電層214-3と、絶縁膜216上に設けられた導電層218-1、218-5と、を少なくとも有する。絶縁膜212は、ゲート絶縁膜として機能する。酸化物半導体層208-3は、チャネル領域208dと、不純物領域208e、208fとを有する。不純物領域208e、208fは、チャネル領域208dを間に挟んで設けられる。ここで、チャネル領域208dは、酸化物半導体層208-3において、導電層214-3と重畳する領域である。導電層214-3上には、絶縁膜216が設けられている。絶縁膜216は、層間絶縁膜として機能する。導電層218-1、218-5は、ソース電極又はドレイン電極として機能する。導電層218-1は、絶縁膜212、216に設けられたコンタクトホール211-5を介して、不純物領域208fと接続されている。導電層218-5は、絶縁膜212、216に設けられたコンタクトホール211-6を介して、不純物領域208eに接続されている。
なお、図4では図示しないが、本実施形態において、トランジスタ320、340は、トランジスタ310と同様のトップゲート構造である。本発明の一実施形態では、これに限定されず、トランジスタ310と異なる構造であってもよい。
絶縁膜212上に設けられた導電層218-1、絶縁膜223、及び導電層219-1により、保持容量360が構成される。
導電層219-1上には、平坦化膜222が設けられる。平坦化膜222は、トランジスタ310、320及び保持容量360に起因する凹凸を緩和するために設けられる。平坦化膜222上には、画素電極226が設けられている。画素電極226は、画素103毎に設けられる。画素電極226は、平坦化膜222に設けられたコンタクトホール221-1を介して導電層219-1と接続される。つまり、トランジスタ310は、導電層218-3、219-1を介して、画素電極226と接続される。
発光素子230は、画素電極226、有機層232、及び共通電極234を有する。本発明の一実施形態において、表示装置100は、トップエミッション型であってもよいし、ボトムエミッション型であってもよい。本実施形態では、表示装置100は、トップエミッション構造の場合について説明する。トップエミッション構造の場合、画素電極226がアノードとなり、共通電極234がカソードとなる。
画素電極226の端部を覆うように、絶縁層228が設けられている。絶縁層228は、隔壁又はバンクとも呼ばれる。絶縁層228は、画素電極226が露出するように開口され、その開口の端部はなだらかなテーパー形状となることが好ましい。開口の端部が急峻な形状であると、後に形成される有機層232のカバレッジ不良が生じる。
画素電極226及び絶縁層228上に、有機層232を構成する有機材料が複数積層されている。有機層232は、画素電極226側から順に、正孔輸送層、発光層、及び電子輸送層等を積層して設けられる。これらの層は、蒸着による形成であってもよいし、溶媒分散の上での塗布形成であってもよい。また、正孔輸送層及び電子輸送層等は、各サブ画素に対して、選択的に形成されてもよいし、表示領域102の全面に形成されてもよい。
有機層232上に、共通電極234が設けられる。本実施形態では、トップエミッション構造であるため、共通電極234は透光性を有することが必要である。共通電極234として、MgAgを用いる場合は、有機層232からの出射光が透過する程度の薄膜で形成する。共通電極234は、周辺領域109に設けられたカソードコンタクト部において配線層と接続されて、端子106と電気的に接続される。
共通電極234上には、封止膜240が設けられる。封止膜240は、外部から侵入した水分が有機層232に侵入することを抑制するために設けられる。本実施形態では、封止膜240として、無機絶縁層236、有機絶縁層238、および無機絶縁層242の三層構造で形成する例を示す。無機絶縁層236、233として、ガスバリア性が高い窒化シリコンを用い、有機絶縁層238として、柔軟性が高い有機樹脂材料を用いることが好ましい。なお、窒化シリコンと有機樹脂材料との間に、酸化シリコン膜やアモルファスシリコン膜を設けてもよい。これにより、窒化シリコンと有機樹脂材料との密着性を向上させることができる。無機絶縁層242上には、例えば、平坦化を兼ねてオーバーコート層が設けられてもよい。
封止膜240上には、タッチセンサ110が設けられる。タッチセンサ110は、封止膜240上に直接形成されてもよい。または、封止膜240上に、タッチセンサ110が形成されたカバーガラスが設けられてもよい。
<表示装置100の各部材の材質>
基板101として、ガラス基板、石英基板、およびサファイア基板など、透光性を有し、可撓性を有しない剛性基板を用いることができる。一方、基板101が可撓性を有する必要がある場合は、基板101としてポリイミド基板、アクリル基板、シロキサン基板、またはフッ素樹脂基板など、樹脂を含み、可撓性を有するフレキシブル基板を用いることができる。基板101の耐熱性を向上させるために、上記の樹脂に不純物を導入してもよい。
導電層214-1~214-4、導電層218-1~218-6として、一般的な金属材料を用いることができる。例えば、これらの部材として、例えば、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、クロム(Cr)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、モリブデン(Mo)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、ビスマス(Bi)、銀(Ag)、銅(Cu)及びこれらの合金又は化合物が用いられる。上記の部材として、上記の材料が単層で用いられてもよく、積層で用いられてもよい。
絶縁膜202、212、216、223として、一般的な絶縁層性材料を用いることができる。例えば、絶縁膜202、212、216、223として、酸化シリコン(SiOx)、酸化窒化シリコン(SiOxy)、窒化シリコン(SiNx)、窒化酸化シリコン(SiNxy)、酸化アルミニウム(AlOx)、酸化窒化アルミニウム(AlOxy)、窒化酸化アルミニウム(AlNxy)、窒化アルミニウム(AlNx)などの無機絶縁層を用いることができる。これらの絶縁層として、欠陥が少ない絶縁層を用いることができる。平坦化膜222、及び絶縁層228として、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、又はシロキサン樹脂などの有機絶縁材料を用いる。なお、絶縁膜202、212、216、223として、上記の有機絶縁材料が用いられてもよい。上記の部材として、上記の材料が単層で用いられてもよく、積層で用いられてもよい。
上記のSiOxy及びAlOxyは、酸素(O)よりも少ない比率(x>y)の窒素(N)を含有するシリコン化合物及びアルミニウム化合物である。また、SiNxy及びAlNxyは、窒素よりも少ない比率(x>y)の酸素を含有するシリコン化合物及びアルミニウム化合物である。
酸化物半導体層208-1~208-4として、半導体の特性を有する酸化金属を用いることができる。酸化物半導体層208-1~208-4は透光性を有する。例えば、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、亜鉛(Zn)、及び酸素(O)を含む酸化物半導体を用いることができる。特に、In:Ga:Zn:O=1:1:1:4の組成比を有する酸化物半導体を用いることができる。ただし、本実施形態で使用されるIn、Ga、Zn、及びOを含む酸化物半導体は上記の組成に限定されるものではなく、上記とは異なる組成の酸化物半導体を用いることもできる。例えば、移動度を向上させるためにInの比率を上記より大きくしてもよい。また、バンドギャップを大きくし、光照射による影響を小さくするためにGaの比率を上記より大きくしてもよい。
In、Ga、Zn、及びOを含む酸化物半導体に他の元素が添加されていてもよい。例えば、当該酸化物半導体にAl、Snなどの金属元素が添加されていてもよい。上記の酸化物半導体以外にもIn及びGaを含む酸化物半導体(IGO)、In及びZnを含む酸化物半導体(IZO)、In、Sn及びZnを含む酸化物半導体(ITZO)、並びにIn及びWを含む酸化物半導体などが酸化物半導体層208-1~208-4として用いられてもよい。また、酸化物半導体として、IGO又はIZOを用いる場合にも、Al又はAnなどの金属元素が添加されていてもよい。酸化物半導体層208-1~208-4はアモルファスであってもよく、結晶性であってもよい。酸化物半導体層208-1~208-4はアモルファスと結晶の混相であってもよい。
画素電極226及び共通電極234として、透明導電層が用いられる。当該透明導電層として、酸化インジウム及び酸化スズの混合物(ITO)及び酸化インジウム及び酸化亜鉛の混合物(IZO)を用いることができる。当該透明導電層として、上記以外の材料が用いられてもよい。
(第2実施形態)
本実施形態では、表示装置100が有する画素103の他の一例について、図5及び図6を参照して説明する。なお、本実施形態では、第1実施形態と異なる部分を説明し、その他の部分については、詳細な説明を省略する。
<等価回路図>
図5は、画素103Aの画素回路の等価回路図である。本実施形態では、図2に示す画素回路に対して、トランジスタIST(第5トランジスタともいう)が追加されている例について説明する。書込トランジスタSST、駆動トランジスタDRT、出力トランジスタBCT、リセットトランジスタRSTの構成等については、第1実施形態の記載を参酌すればよい。
画素103Aは、書込トランジスタSST、駆動トランジスタDRT、出力トランジスタBCT、リセットトランジスタRST、初期化トランジスタIST、保持容量Cs、及び発光素子OLEDを少なくとも有する。初期化トランジスタISTは、第1端子、第2端子、及び制御端子を有している。
初期化トランジスタISTにおいて、ソース電極は、初期化信号線SLdに接続され、ドレイン電極は、駆動トランジスタDRTのゲート電極、書込トランジスタSSTのドレイン電極、及び保持容量Csの一方の電極と接続され、ゲート電極は、初期化走査線Sgdと接続されている。初期化トランジスタISTでは、初期化走査線Sgdからの制御信号IGによりオン状態又はオフ状態が制御される。初期化トランジスタISTがオン状態となると、初期化トランジスタISTを介して、駆動トランジスタDRTのゲート電極が、初期化電位Viniに固定される。
図6は、本発明の一実施形態に係る表示装置100の画素103Aの平面レイアウト図である。
図6に示すように、画素103Aは、トランジスタ310、320、330、340、350、及び保持容量360を有する。図3に示すレイアウト図と比較すると、図5に示すレイアウト図では、トランジスタ350がさらに設けられている。トランジスタ350は、初期化トランジスタISTに対応する。トランジスタ350は、トップゲート駆動のトランジスタとして説明するが、ボトムゲート駆動のトランジスタであってもよいし、デュアルゲート駆動のトランジスタであってもよい。本実施形態では、トランジスタ310、320、330、340、350は、トップゲート駆動のトランジスタである場合について説明する。
図6において、酸化物半導体層208-1~208-5、導電層214-1~214-5、導電層218-1~218-7、及びコンタクトホール211-1~211-10、217-1、221-1を図示している。図3に示すレイアウト図と比較すると、酸化物半導体層208-5、導電層214-5、及び導電層218-7がさらに設けられている。
トランジスタ350は、酸化物半導体層208-5、導電層214-5、及び導電層218-1、218-7、及びゲート絶縁膜を有する。導電層214-5は、酸化物半導体層208-5と重畳する領域においてゲート電極として機能する。酸化物半導体層208-5は、ゲート絶縁膜及び層間絶縁膜に設けられたコンタクトホール211-9、211-10を介して導電層218-1、218-7と接続される。
トランジスタ350は、チャネル幅W5とチャネル長L5を有している。トランジスタ310とトランジスタ350とを比較すると、トランジスタ310のW1/L1比は、トランジスタ350のW5/L5比よりも大きい。例えば、トランジスタ310のW1/L1比は1.5以上であるのに対して、トランジスタ350のW5/L5比は、1.5未満である。
トランジスタ350は、初期化トランジスタISTであるため、マイナスバイアスが支配的となる。また、トランジスタ350は、発光素子OLEDと直接接続されるトランジスタではない。そのため、トランジスタ350のW5/L5比は、1.5未満であればよい。
トランジスタ350のW5/L5比は、トランジスタ330のW3/L3比、及びトランジスタ340のW4/L4比と、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
また、本実施形態において、トランジスタ310のチャネル長L1及びトランジスタ320のチャネル長L2と、トランジスタ330のチャネル長L3、トランジスタ340のチャネル長L4、及びトランジスタ350のチャネル長L5とは、同じ長さである場合について図示するが、本発明の一実施形態はこれに限定されない。トランジスタ310のチャネル長L1は、トランジスタ330のチャネル長L3、トランジスタ340のチャネル長L4、及びトランジスタ350のチャネル長L5と異なる長さであってもよい。具体的には、トランジスタ310のチャネル長L1は、トランジスタ330のチャネル長L3及びトランジスタ340のチャネル長L4、及びトランジスタ350のチャネル長L5よりも長くてもよい。トランジスタ310のチャネル長L1を長くすることにより、S値を大きくすることができる。
本実施例では、図5に示す画素で構成された表示領域を有する表示装置を、70℃で500時間、駆動させた後のId-Vg特性について説明する。
本実施例では、図5に示す画素で構成された表示領域を有する表示装置を作製した。その後、表示装置を70℃で500時間、駆動させた。なお、駆動トランジスタDRT、出力トランジスタBCT、書込トランジスタSST、リセットトランジスタRST、及び初期化トランジスタISTは、いずれもトップゲート型トランジスタである。ここで、駆動トランジスタDRT、出力トランジスタBCT、書込トランジスタSST、リセットトランジスタRST、及び初期化トランジスタISTのトランジスタのサイズは、チャネル長L=3μmであり、チャネル幅W=3μmである。各トランジスタのW/L比を、駆動トランジスタDRTのW1/L1比、出力トランジスタBCTのW2/L2比、書込トランジスタSSTのW3/L3比、リセットトランジスタRSTのW4/L4比、及び初期化トランジスタISTのW5/L5比と記載する。
図5に示す画素103のうち、トランジスタIST及びトランジスタBCTについて、駆動前後のId-Vg特性を測定した。Id-Vg特性の測定は、それぞれのトランジスタのゲート電極に印加するゲート電圧(Vg)として、-5Vから+10Vまで、0.1Vステップで印加した。また、ソース電極に印加するソース電圧(Vs)を0Vとして、ドレイン電極に印加するドレイン電圧(Vd)を0.1V及び10Vとした。
図7は、トランジスタISTのId-Vg特性のグラフである。図8は、トランジスタBCTのId-Vg特性のグラフである。なお、図7及び図8において、縦軸がドレイン電流Id[A]であり、横軸がゲート電圧Vg[V]である。また、図7及び図8において、点線は、初期状態のId-Vg特性のグラフであり、実線は、駆動後のId-Vg特性のグラフである。
図7に示すように、トランジスタISTは、表示装置の初期状態と駆動後とで、Id-Vg特性の変動は観察されなかった。一方で、図8に示すように、トランジスタBCTは、表示装置の初期状態と駆動後とで、Id-Vg特性がプラスにドリフトすることが確認された。
図7及び図8に示す結果より、発光素子OLEDと直列に接続されたトランジスタBCTには、プラスのバイアスが印加されることで、Id-Vg特性がプラスにドリフトすることが示された。つまり、発光素子OLEDと直列に接続されたトランジスタBCTのW1/L1比が、1.5未満である場合、劣化量が増加することが示された。
次に、PBTSストレスに対する閾値電圧Vth変動のW/L依存性について調査した結果について説明する。
まず、チャネル長Lとチャネル幅WとのW/L比がそれぞれ異なるトランジスタを作製した。チャネル長Lが2μm、3μm、4μmのそれぞれに対して、チャネル幅Wが3μm、4.5μm、6μm、7.5μmのトランジスタTrA~TrLを作製した。作製したトランジスタTrA~TrLについて、表1に示す。
閾値電圧Vth変動のW/L依存性については、PBTS試験(Positive Bias Temperature Stress)を用いて行った。なお、PBTS試験条件としては、ゲート電圧(Vg)を+30Vとし、ドレイン電圧(Vd)とソース電圧(Vs)を0V(COMMON)とし、ストレス温度を60℃とし、ストレス印加時間を0sec、3600secとし、測定環境をダーク環境で行った。すなわち、トランジスタのソース電極とドレイン電極を同電位とし、ゲート電極にはソース電極及びドレイン電極とは異なる電位を一定時間印加した。また、ゲート電極に与える電位は、ソース電極及びドレイン電極の電位よりも高い。
PBTS試験の結果について、図9A~図9Lに示す。図9A~図9Lのそれぞれの結果は、トランジスタTrA~TrLに対応する。図9A~図9Lにおいて、縦軸がドレイン電流Id[A]であり、横軸がゲート電圧Vg[V]である。表2に、トランジスタTrA~TrLに対する、W/L比、閾値電圧Vth[V]、及び閾値電圧の変動量ΔVth[V]を示す。また、図9A~図9Lにおいて、ストレス印加時間が0secの場合のドレイン電圧(Vd)を0.1V及び10VにおけるId-Vg特性を破線で示し、ストレス印加時間が3600secの場合のドレイン電圧(Vd)を0.1V及び10VにおけるId-Vg特性を破線で示す。
表2、図9E、図9I、図9Jに示すように、トランジスタのサイズについてW/L比が1.5未満である場合、トランジスタの閾値電圧Vthが2.0V以上プラスにシフトすることが確認された。一方で、表2、図9A~図9D、図9F~図9H、図9K、図9Lに示すように、トランジスタのサイズについてW/L比が1.5以上の場合は、トランジスタの閾値電圧Vthがプラスにシフトしても、2.0V未満であることが示された。
以上説明した通り、トランジスタのサイズについてW/L比を1.5以上とすることで、閾値電圧がプラスにシフトすることを抑制できることが示された。したがって、表示装置において、プラスのバイアスが印加され続けるトランジスタDRT及びトランジスタBCTとして、W/L比が1.5以上のトランジスタを用いることで、表示装置の信頼性が向上することが示唆された。
次に、本発明の一実施形態に係る表示装置を4個作製し、70℃、500時間駆動させた後、トランジスタの閾値電圧の変化量を調査した結果について説明する。
作製した表示装置は、表示領域に図3に有する画素回路を有する。表示装置Aが有する駆動トランジスタDRT及び出力トランジスタBCTのチャネル幅Wは3μmであり、チャネル長Lは3μmである。書込トランジスタSST及びリセットトランジスタRSTのチャネル幅Wは3μmであり、チャネル長Lは、3μmである。
表示装置Bが有する駆動トランジスタDRT及び出力トランジスタBCTのチャネル幅Wは4.5μmであり、チャネル長Lは3μmである。書込トランジスタSST及びリセットトランジスタRSTのチャネル幅Wは3μmであり、チャネル長Lは、3μmである。
表示装置Cが有する駆動トランジスタDRT及び出力トランジスタBCTのチャネル幅Wは6μmであり、チャネル長Lは3μmである。書込トランジスタSST及びリセットトランジスタRSTのチャネル幅Wは3μmであり、チャネル長Lは、3μmである。
作製された表示装置A~Cに対して、駆動電圧を印加し、グレイのテスト信号を入力させ、70℃の環境にて、パネルを500時間連続点灯させた。次に、表示装置A~Cのそれぞれが有する駆動トランジスタDRT、書込トランジスタSST、出力トランジスタBCTについて、駆動後のId-Vg特性を測定した。図10は、表示装置A~C、表示装置INIのそれぞれが有する駆動トランジスタDRT、書込トランジスタSST、出力トランジスタBCTと、閾値電圧Vth[V]との関係である。横軸は、表示装置A~C、表示装置INIのそれぞれが有する駆動トランジスタDRT、書込トランジスタSST、出力トランジスタBCTであり、縦軸は、閾値電圧Vth[V]である。表示装置INIは、表示装置Aと同じ条件で形成された表示装置であり、表示装置Aの500時間連続点灯前の状態と同等である。
次に、表示装置A~Cを分解し、トランジスタのId-Vd特性を測定し、閾値電圧を求めた。
トランジスタのW/L比がいずれも1である表示装置Aにおいて、駆動トランジスタDRT及び出力トランジスタBCTの閾値電圧がプラスにドリフトする傾向が観察された。また、駆動トランジスタDRT及び出力トランジスタBCTのW/L比が1.5以上である表示装置B、Cにおいて、駆動トランジスタDRT及び出力トランジスタBCTの閾値電圧は、表示装置Aの駆動トランジスタDRT及び出力トランジスタBCTの閾値電圧よりもプラスにドリフトすることが抑制されることが示唆された。
図11は、表示装置A~Cの駆動後における電流低下量をまとめたグラフである。横軸は、表示装置A~Cであり、縦軸は、電流低下量[%]である。図11に示すように、発光素子OLEDと駆動電源線との間に直列に接続される出力トランジスタBCT及び駆動トランジスタDRTのW/L比が1である表示装置Aの場合、電流の低下量が46%であることがわかった。これに対し、出力トランジスタBCT及び駆動トランジスタDRTのW/L比が1.5以上である表示装置Bの場合、電流の低下量が15.7%であることがわかった。また、出力トランジスタBCT及び駆動トランジスタDRTのW/L比が2.0以上である表示装置Cの場合、電流の低下量が8.5%であることがわかった。図11に示すように、表示装置B、Cは、表示装置Aと比較して、電流の低下量を大幅に削減できることが示された。
したがって、発光素子OLEDと駆動電源線との間に直列に接続される出力トランジスタBCT及び駆動トランジスタDRTのW/L比が1.5以上である場合、長期間駆動させても劣化が発生しにくい表示装置を提供できることが示された。
本発明の実施形態及び実施例として説明した表示装置を基にして、当業者が適宜構成要素の追加、削除もしくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略もしくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。また、上述した各実施形態は、技術的矛盾の生じない範囲において、相互に組み合わせることが可能である。
また、上述した実施形態の態様によりもたらされる作用効果とは異なる他の作用効果であっても、本明細書の記載から明らかなもの、又は、当業者において容易に予測し得るものについては、当然に本発明によりもたらされるものと解される。
本発明の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に相当し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
100:表示装置、101:基板、102:表示領域、103:画素、103A:画素、104:ゲート駆動回路、105:ドライバIC、106:端子、107:端子部、108:フレキシブルプリント回路、109:周辺領域、110:タッチセンサ、202:絶縁膜、206:絶縁膜、208-1~208-5:酸化物半導体層、208a:チャネル領域、208b、208c:不純物領域、208d:チャネル領域、208e、208f:不純物領域、211-1~211-10:コンタクトホール、212:絶縁膜、214-1~214-5:導電層、216:絶縁膜、218:導電層、218-1~218-6:導電層、222:平坦化膜、226:画素電極、228:絶縁層、230:発光素子、232:有機層、233:無機絶縁層、234:共通電極、236:無機絶縁層、238:有機絶縁層、240:封止膜、242:無機絶縁層、310~350:トランジスタ、360:保持容量

Claims (7)

  1. 発光素子と、
    前記発光素子と駆動電源線との間で直列に接続される第1トランジスタ及び第2トランジスタと、
    前記第1トランジスタのゲート電極と電気的に接続される第3トランジスタと、
    前記第1トランジスタのドレインと前記発光素子との間に並列に接続される第4トランジスタと、を含み、
    前記第1トランジスタのチャネル幅W1とチャネル長L1との比(W1/L1比)及び前記第2トランジスタのチャネル幅W2とチャネル長L2との比(W2/L2比)は、前記第3トランジスタのチャネル幅W3とチャネル長L3との比(W3/L3比)及び前記第4トランジスタのチャネル幅W4とチャネル長L4との比(W4/L4比)よりも大きい、表示装置。
  2. 前記第1トランジスタのW1/L1比及び前記第2トランジスタのW2/L2比は、1.5以上であり、
    前記第3トランジスタのW3/L3比及び前記第4トランジスタのW4/L4比は、1.5未満である、請求項1に記載の表示装置。
  3. 前記第1トランジスタの前記ゲート電極と前記ドレインとの間に接続される保持容量を含む、請求項1に記載の表示装置。
  4. 前記第1トランジスタの前記ゲート電極と電気的に接続される第5トランジスタをさらに有し、
    前記第1トランジスタのW1/L1比は、前記第5トランジスタのチャネル幅W5とチャネル長L5との比(W5/L5比)よりも大きい、請求項1に記載の表示装置。
  5. 前記第1トランジスタのW1/L1比及び前記第2トランジスタのW2/L2比は、1.5以上であり、
    前記第5トランジスタのW5/L5比は、1.5未満である、請求項4に記載の表示装置。
  6. 前記第3トランジスタのW3/L3比は、前記第4トランジスタのW4/L4比と同じである、請求項2に記載の表示装置。
  7. 前記第1トランジスタのチャネル長L1は、前記第3トランジスタのチャネル長L3及び前記第4トランジスタのチャネル長L4と異なる長さである、請求項1に記載の表示装置。
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