JP7783253B2 - 機械学習技法を使用して光キャビティを調整するためのシステムおよび方法 - Google Patents
機械学習技法を使用して光キャビティを調整するためのシステムおよび方法Info
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Description
いくつかの実施形態では、測定信号と標準動作信号との間の差を決定することは、測定信号とガウス0次モードを含む空間プロファイル画像との間の差を決定することを含む。
いくつかの実施形態では、光キャビティのキャビティ壁間の間隔を変更することは、圧電アクチュエータを使用することを含む。
いくつかの実施形態では、方法は、光キャビティから出射する光の方向に垂直な平面内に配置された2次元検出器アレイを使用して、光の測定値を捕捉するステップを含む。いくつかの実施形態では、光の測定値を捕捉するステップは、光キャビティから出射する光の空間プロファイルを捕捉することを含む。いくつかの実施形態では、光キャビティから出射する光の空間プロファイルを捕捉することは、光キャビティの横空間モードを特徴付ける情報を捕捉することを含む。
いくつかの実施形態では、測定信号と標準動作信号との間の差を決定することは、測定信号とガウス0次モードを含む空間プロファイル画像との間の差を決定することを含む。
1. 2個の畳み込み層、結合型、カーネルサイズ:3×3、ストライド=1、16個の特徴
2. 最大プール層
3. 深さ方向分離可能畳み込み層、カーネルサイズ:3×3、ストライド=2、32個の特徴
4. 深さ方向分離可能畳み込み層、カーネルサイズ:3×3、ストライド=2、32個の特徴
5. 最大プール層
6. 深さ方向分離可能畳み込み層、カーネルサイズ:3×3、ストライド=2、64個の特徴
7. 深さ方向分離可能畳み込み層、カーネルサイズ:3×3、ストライド=2、64個の特徴
8. 最大プール
9. 深さ方向分離可能畳み込み層、カーネルサイズ:3×3、ストライド=2、64個の特徴
10. 深さ方向分離可能畳み込み層、カーネルサイズ:3×3、ストライド=2、64個の特徴
11. 1次元ベクトルへの平坦化
12. 64個の特徴に対する全結合層
13. 9個の特徴に対する全結合層
14. ソフトマックス層、を有する2次元CNNとして実施され得る。
本明細書で説明される原理に従って動作する技法は、任意の適切な方法で実施され得る。上記の説明には、光キャビティを調整するための様々なプロセスのステップおよび動作を示す一連のフローチャートが含まれている。上記のフローチャートの処理および決定ブロックは、これらの様々なプロセスを実行するアルゴリズムに含まれ得るステップおよび動作を表す。これらのプロセスから導出されるアルゴリズムは、1つまたは複数の単一目的または多目的プロセッサと統合され、その動作を指示するソフトウェアとして実施されてもよく、デジタル信号処理(DSP)回路または特定用途向け集積回路(ASIC)等の機能的に等価な回路として実施され得るか、または任意の他の好適な方法で実施され得る。本明細書に含まれるフローチャートは、任意の特定の回路の、または任意の特定のプログラミング言語もしくはプログラミング言語のタイプのシンタックスまたは動作を描写したものではないことを理解されたい。むしろ、フローチャートは、当業者が回路を製造するために、またはコンピュータソフトウェアアルゴリズムを実施して、本明細書で説明するタイプの技法を実行する特定の装置の処理を実行するために使用することができる機能的情報を示す。また、本明細書において別段の指示がない限り、各フローチャートにおいて説明されるステップおよび/または動作の特定のシーケンスは、実施され得るアルゴリズムの単なる例示であり、本明細書において説明される原理の実施および実施形態において変更され得ることを理解されたい。
以下に、上記実施形態から把握できる技術思想を付記として記載する。
[付記1]
光キャビティを調整する方法であって、
前記光キャビティの調整パラメータを決定するステップであって、
畳み込みニューラルネットワーク(以下、CNNとする)モデルを使用して、前記光キャビティから取得された測定信号を分析して、ミスアライメントの程度を決定すること、
強化学習(以下、RLとする)モデルを使用して、前記ミスアライメントの程度に基づいて前記調整パラメータを決定すること、を含む前記調整パラメータを決定するステップと、
前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップと、を含む、方法。
[付記2]
前記ミスアライメントの程度を決定することは、前記CNNモデルを使用して、前記測定信号と標準動作信号との間の差を決定することを含む、付記1に記載の方法。
[付記3]
前記測定信号と前記標準動作信号との間の差を決定することは、前記測定信号とガウス0次モードを含む空間プロファイル画像との間の差を決定することを含む、付記2に記載の方法。
[付記4]
前記調整パラメータを決定するステップは、前記RLモデルを使用して前記調整パラメータを生成することを含み、前記調整パラメータは、前記測定信号と前記標準動作信号との間の決定された差に基づく、付記3に記載の方法。
[付記5]
機械学習モデルを使用して、閾値透過率値に基づいて前記光キャビティの前記調整パラメータを決定する時期を決定するステップをさらに含む、付記4に記載の方法。
[付記6]
前記閾値透過率値が90%の透過率である、付記5に記載の方法。
[付記7]
前記光キャビティの温度測定値および/または前記光キャビティの環境の温度測定値に基づいて、前記光キャビティの前記調整パラメータを決定する時期を決定するステップをさらに含み、前記温度測定値は温度センサから取得される、付記4に記載の方法。[付記8]
前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップは、前記調整パラメータに基づいて前記光キャビティのキャビティ壁間の間隔を変更することを含む、付記4に記載の方法。
[付記9]
前記光キャビティの前記キャビティ壁間の間隔を変更することは、前記光キャビティの温度を変更することを含む、付記8に記載の方法。
[付記10]
前記光キャビティの前記キャビティ壁間の間隔を変更することは、圧電アクチュエータを使用することを含む、付記8に記載の方法。
[付記11]
前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップは、前記調整パラメータに基づいて前記光キャビティの1つまたは複数のミラーの反射率を変更することを含む、付記4に記載の方法。
[付記12]
前記1つまたは複数のミラーの反射率を変更することは、前記光キャビティの温度を変更することを含む、付記11に記載の方法。
[付記13]
前記測定信号を分析することは、前記光キャビティから出射する光の測定値を分析することを含む、付記3に記載の方法。
[付記14]
前記光キャビティから出射する光の方向に垂直な平面内に配置された2次元検出器アレイを使用して、光の測定値を捕捉するステップをさらに含む、付記13に記載の方法。
[付記15]
前記光の測定値を捕捉するステップは、前記光キャビティから出射する光の空間プロファイルを捕捉することを含む、付記14に記載の方法。
[付記16]
前記光キャビティから出射する光の空間プロファイルを捕捉することは、前記光キャビティの横空間モードを特徴付ける情報を捕捉することを含む、付記15に記載の方法。
[付記17]
光検出器を使用して光の測定値を捕捉するステップをさらに含む、付記14に記載の方法。
[付記18]
前記光の測定値を捕捉するステップは、前記光検出器を使用して光の強度および/またはパワースペクトルを捕捉することを含む、付記17に記載の方法。
[付記19]
物理モデルに基づいて生成された1組の画像および/または前記光キャビティの制御されたパラメータ探索によって生成された1組の画像を使用して前記CNNモデルを訓練するステップをさらに含む、付記8に記載の方法。
[付記20]
前記光キャビティから測定信号を周期的に取得するステップと、前記CNNモデルを使用して前記測定信号を分類するステップと、前記RLモデルを使用して前記光キャビティの調整パラメータを決定するステップと、前記光キャビティを調整するステップとをさらに含む、付記8に記載の方法。
[付記21]
前記CNNモデルを使用して、確率的最適化アルゴリズムを使用して前記測定信号をソーティングするステップをさらに含む、付記1に記載の方法。
[付記22]
確率的最適化アルゴリズムを使用して前記測定信号をソーティングする前記ステップは、アダムアルゴリズムを使用することを含む、付記21に記載の方法。
[付記23]
前記RLモデルを使用して、前記測定信号をソーティングするステップをさらに含む、付記1に記載の方法。
[付記24]
前記RLモデルを使用してソーティングするステップは、現在の位置とTEM 00 光学モードを生成する位置との間で前記光キャビティのミラーマウントを駆動する圧電アクチュエータによって取られるステップの数を使用して前記測定信号をソーティングすることを含む、付記23に記載の方法。
[付記25]
前記CNNモデルを使用することは、7個の畳み込み層、2個の全結合層、3個の最大プーリング層、1個または複数個のReLU活性化層、および1個のソフトマックス活性化層を含むアーキテクチャを有するCNNモデルを使用することを含む、付記1に記載の方法。
[付記26]
2つ以上の光キャビティを調整する方法であって、
第1の光キャビティに関連付けられた第1の調整パラメータおよび第2の光キャビティに関連付けられた第2の調整パラメータを決定するステップであって、畳み込みニューラルネットワーク(CNN)モデルおよび強化学習(RL)モデルを使用して、前記第2の光キャビティから取得された測定信号を分析することを含む、前記第1および第2の調整パラメータを決定するステップと、
前記第1および第2の調整パラメータを使用して前記第1および第2の光キャビティを調整するステップと、を含む方法。
[付記27]
光学システムであって、
光キャビティと、
前記光キャビティに結合された少なくとも1つのプロセッサと、
コンピュータ実行可能命令を保存する少なくとも1つのコンピュータ可読記憶媒体と、を備え、前記コンピュータ実行可能命令は、前記少なくとも1つのプロセッサによる実行時に、前記少なくとも1つのプロセッサに、
畳み込みニューラルネットワーク(以下、CNNとする)モデルを使用して、前記光キャビティから取得された測定信号を分析して、ミスアライメントの程度を決定するステップと、
強化学習(以下、RLとする)モデルを使用して、前記ミスアライメントの程度に基づいて調整パラメータを決定するステップと、
前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップと、を含む方法を実行させる、光学システム。
[付記28]
前記測定信号を分析することは、前記CNNモデルを使用して、前記測定信号と標準動作信号との間の差を決定することを含む、付記27に記載の光学システム。
[付記29]
前記測定信号と前記標準動作信号との間の差を決定することは、前記測定信号とガウス0次モードを含む空間プロファイル画像との間の差を決定することを含む、付記28に記載の光学システム。
[付記30]
前記調整パラメータを決定するステップは、前記RLモデルを使用して前記調整パラメータを生成することを含み、前記調整パラメータは、前記測定信号と前記CNNモデルによって決定された前記標準動作信号との間の差に基づく、付記29に記載の光学システム。
[付記31]
前記光キャビティは、高フィネス光キャビティを含む、付記27に記載の光学システム。
[付記32]
前記高フィネス光キャビティは、100以上20,000以下のフィネス値を有する光キャビティを含む、付記31に記載の光学システム。
[付記33]
前記高フィネス光キャビティは、ファブリーペローエタロンを含む、付記32に記載の光学システム。
[付記34]
前記光キャビティは、平坦、凹状、凸状、又はこれらの組み合わせである表面を含むキャビティ壁を含む、付記32に記載の光学システム。
[付記35]
前記表面が反射コーティングを含む、付記34に記載の光学システム。
[付記36]
前記光キャビティから出射する光の方向に垂直な平面に配置された検出器をさらに備える、付記27に記載の光学システム。
[付記37]
前記検出器が、256×256ピクセルより大きい解像度を有する検出器アレイを含む、付記36に記載の光学システム。
[付記38]
前記測定信号は、前記検出器による、前記光キャビティから出射する光の測定から取得される、付記36に記載の光学システム。
[付記39]
前記測定信号は、前記光キャビティから出射する前記光の空間プロファイルの画像であり、前記画像は、前記光キャビティの横空間モードを特徴付けるものである、付記38に記載の光学システム。
[付記40]
コンピュータ実行可能命令がコード化された少なくとも1つのコンピュータ可読記憶媒体であって、前記コンピュータ実行可能命令は、コンピュータによる実行時に、前記コンピュータに、
畳み込みニューラルネットワーク(CNN)モデルを使用して、光キャビティから取得された測定信号を分析して、ミスアライメントの程度を決定するステップと、
強化学習(RL)モデルを使用して、前記ミスアライメントの程度に基づいて調整パラメータを決定するステップと、
前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップと、を含む方法を実行させる、少なくとも1つのコンピュータ可読記憶媒体。
Claims (22)
- 光キャビティを調整する方法であって、
前記光キャビティの調整パラメータを決定するステップであって、
畳み込みニューラルネットワーク(以下、CNNとする)モデルを使用して、前記光キャビティから取得された測定信号を分析して、ミスアライメントの程度を決定すること、
強化学習(以下、RLとする)モデルを使用して、前記ミスアライメントの程度に基づいて前記調整パラメータを決定すること、を含む前記調整パラメータを決定するステップと、
前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップと、を含み、前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップは、前記調整パラメータに基づいて前記光キャビティの1つまたは複数のミラーの反射率を変更することを含む、方法。 - 前記ミスアライメントの程度を決定することは、前記CNNモデルを使用して、前記測定信号と、ガウス0次モードを含む空間プロファイル画像を含む標準動作信号との間の差を決定することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記調整パラメータを決定するステップは、前記RLモデルを使用して前記調整パラメータを生成することを含み、前記調整パラメータは、前記測定信号と前記標準動作信号との間の決定された差に基づく、請求項2に記載の方法。
- 光キャビティを調整する方法であって、
前記光キャビティの調整パラメータを決定するステップであって、
畳み込みニューラルネットワーク(以下、CNNとする)モデルを使用して、前記光キャビティから取得された測定信号を分析して、ミスアライメントの程度を決定すること、
強化学習(以下、RLとする)モデルを使用して、前記ミスアライメントの程度に基づいて前記調整パラメータを決定すること、を含む前記調整パラメータを決定するステップと、
前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップと、
機械学習モデルを使用して、閾値透過率値に基づいて、および/または前記光キャビティの温度測定値および/または前記光キャビティの環境の温度測定値に基づいて、前記光キャビティの前記調整パラメータを決定する時期を決定するステップと、を含む、方法。 - 前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップは、前記光キャビティの温度を変更することによって、および/または圧電アクチュエータを使用して前記光キャビティのキャビティ壁間の間隔を変更することによって、前記調整パラメータに基づいて前記キャビティ壁間の間隔を変更することを含む、請求項3に記載の方法。
- 光キャビティを調整する方法であって、
前記光キャビティの調整パラメータを決定するステップであって、
畳み込みニューラルネットワーク(以下、CNNとする)モデルを使用して、前記光キャビティから取得された測定信号を分析して、ミスアライメントの程度を決定すること、
強化学習(以下、RLとする)モデルを使用して、前記ミスアライメントの程度に基づいて前記調整パラメータを決定すること、を含む前記調整パラメータを決定するステップと、
前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップと、を含み、前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップは、前記調整パラメータに基づいて前記光キャビティの温度を変更することによって前記光キャビティの1つまたは複数のミラーの反射率を変更することを含む、方法。 - 前記測定信号を分析することは、前記光キャビティから出射する光の測定値を分析することを含み、前記光の測定値は、前記光キャビティから出射する光の空間プロファイルを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記光キャビティから出射する前記光の空間プロファイルは、前記光キャビティの横空間モードを特徴付ける情報を含む、請求項7に記載の方法。
- 光検出器を使用して光の測定値を捕捉するステップをさらに含み、前記光の測定値を捕捉するステップは、前記光検出器を使用して光の強度および/またはパワースペクトルを捕捉することを含む、請求項7に記載の方法。
- 物理モデルに基づいて生成された1組の画像および/または前記光キャビティの制御されたパラメータ探索によって生成された1組の画像を使用して前記CNNモデルを訓練するステップをさらに含む、請求項5に記載の方法。
- 前記光キャビティから測定信号を周期的に取得するステップと、前記CNNモデルを使用して前記測定信号を分類するステップと、前記RLモデルを使用して前記光キャビティの調整パラメータを決定するステップと、前記光キャビティを調整するステップとをさらに含む、請求項5に記載の方法。
- 前記CNNモデルを使用して、アダムアルゴリズムを含む確率的最適化アルゴリズムを使用して前記測定信号をソーティングするステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記RLモデルと、現在の位置とTEM00光学モードを生成する位置との間で前記光キャビティのミラーマウントを駆動する圧電アクチュエータによって取られるステップの数とを使用して、前記測定信号をソーティングするステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記CNNモデルを使用することは、7個の畳み込み層、2個の全結合層、3個の最大プーリング層、1個または複数個のReLU活性化層、および1個のソフトマックス活性化層を含むアーキテクチャを有するCNNモデルを使用することを含む、請求項1に記載の方法。
- 光学システムであって、
光キャビティと、
前記光キャビティに結合された少なくとも1つのプロセッサと、
コンピュータ実行可能命令を保存する少なくとも1つのコンピュータ可読記憶媒体と、を備え、前記コンピュータ実行可能命令は、前記少なくとも1つのプロセッサによる実行時に、前記少なくとも1つのプロセッサに、
畳み込みニューラルネットワーク(以下、CNNとする)モデルを使用して、前記光キャビティから取得された測定信号を分析して、ミスアライメントの程度を決定するステップと、
強化学習(以下、RLとする)モデルを使用して、前記ミスアライメントの程度に基づいて調整パラメータを決定するステップと、
前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップと、を含む方法を実行させ、前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップは、前記調整パラメータに基づいて前記光キャビティの1つまたは複数のミラーの反射率を変更することを含む、光学システム。 - 前記測定信号を分析することは、前記CNNモデルを使用して、前記測定信号と、前記測定信号とガウス0次モードを含む空間プロファイル画像を含む標準動作信号との間の差を決定することを含む、請求項15に記載の光学システム。
- 前記調整パラメータを決定するステップは、前記RLモデルを使用して前記調整パラメータを生成することを含み、前記調整パラメータは、前記測定信号と前記CNNモデルによって決定された前記標準動作信号との間の差に基づく、請求項16に記載の光学システム。
- 前記光キャビティは、高フィネス光キャビティを含み、前記高フィネス光キャビティは、100以上20,000以下のフィネス値を有する光キャビティを含む、請求項15に記載の光学システム。
- 前記高フィネス光キャビティは、ファブリーペローエタロンを含む、請求項18に記載の光学システム。
- 前記光キャビティは、平坦、凹状、凸状、又はこれらの組み合わせである表面を含むキャビティ壁を含み、前記表面が反射コーティングを含む、請求項18に記載の光学システム。
- 前記光キャビティから出射する光の方向に垂直な平面に配置された検出器をさらに備え、前記測定信号は、前記検出器による、前記光キャビティから出射する光の測定から取得され、前記測定信号は、前記光キャビティから出射する前記光の空間プロファイルの画像であり、前記画像は、前記光キャビティの横空間モードを特徴付けるものである、請求項15に記載の光学システム。
- コンピュータ実行可能命令がコード化された少なくとも1つのコンピュータ可読記憶媒体であって、前記コンピュータ実行可能命令は、コンピュータによる実行時に、前記コンピュータに、
畳み込みニューラルネットワーク(CNN)モデルを使用して、光キャビティから取得された測定信号を分析して、ミスアライメントの程度を決定するステップと、
強化学習(RL)モデルを使用して、前記ミスアライメントの程度に基づいて調整パラメータを決定するステップと、
前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップと、を含む方法を実行させ、前記調整パラメータを使用して前記光キャビティを調整するステップは、前記調整パラメータに基づいて前記光キャビティの1つまたは複数のミラーの反射率を変更することを含む、少なくとも1つのコンピュータ可読記憶媒体。
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