JP7794561B2 - 位置調整システム、位置調整システムを用いた対象物の位置調整方法 - Google Patents

Description

本発明は、位置調整システム、位置調整システムを用いた対象物の位置調整方法に関する。

各種の装置や設備には、その重量が数百ｋｇから数ｔにも及ぶものがある。このような重量物を所定の設置位置に設置する際に、位置調整を行おうとすると、重量物であるが故に、手間が掛かる。
このような重量物の位置調整を容易に行うため、例えば、特許文献１には、摺動装置上に搭載された移動板と、移動板上に設けられたジャッキ装置と、ジャッキ装置上に設けられた球面軸受とを、２組備えた構成が開示されている。このような構成によれば、２つの移動板の位置をそれぞれ独立して調整することにより、搭載物の平行移動および回転が可能となり、位置調整が容易となる。

しかしながら、特許文献１に開示されたような構成を用いて実際に重量物の位置調整を行う場合、位置調整を一度で行えるわけではない。例えば、特許文献１に記載されているように、複数のハンドル等を作業員が回すことで移動板を移動させる場合には、各移動板を、水平方向及び垂直方向のそれぞれに対して、順次移動させなければならない。すなわち、例えば作業員は搭載物を、まず水平面内の一方向に移動させ、次に当該一方向に水平面内で直交する方向に移動させ、最後に垂直方向に移動させるという手順を踏む必要がある。
対象物の位置調整を、より効率よく、行うことが望まれている。

特開２００８－５６４１４号公報

本発明の目的は、対象物の位置調整を効率良く行うことが可能な、位置調整システム、位置調整システムを用いた対象物の位置調整方法を提供することである。

本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
すなわち、本発明の位置調整システムは、設置面上における対象物の設置位置を調整するための位置調整システムであって、前記対象物を下方から支持する複数の位置調整装置と、前記位置調整装置の動作を制御する制御装置と、を備え、前記位置調整装置のそれぞれは、前記設置面上に設置されるベースフレームと、前記ベースフレーム上で、水平面に沿った第一作動軸方向に移動自在に設けられた第一テーブルを備えた第一水平移動部と、前記ベースフレーム上で、水平面に沿って前記第一作動軸方向に直交する第二作動軸方向に移動自在に設けられた第二テーブルを備えた第二水平移動部と、前記ベースフレーム上で、垂直方向に沿った第三作動軸方向に移動自在に設けられた第三テーブルを備えた垂直移動部と、前記第一水平移動部、及び前記第二水平移動部の少なくとも一方を駆動する水平駆動機構と、前記垂直移動部を駆動する垂直駆動機構と、前記第一水平移動部の前記第一テーブル、前記第二水平移動部の前記第二テーブル、及び前記垂直移動部の前記第三テーブルを介して支持されることで、前記第一作動軸方向、前記第二作動軸方向、及び前記第三作動軸方向に沿って移動可能に設けられ、前記対象物を下方から支持する対象物支持部と、を備え、前記制御装置は、複数の前記位置調整装置を、これらが互いに連動して駆動されるように制御し、かつ、複数の前記位置調整装置のそれぞれの、前記水平駆動機構と、前記垂直駆動機構とを、これらが互いに連動して駆動されるように制御する。

また、本発明の位置調整システムを用いた対象物の位置調整方法は、上記したような位置調整システムを用いた対象物の位置調整方法であって、複数の前記位置調整装置を、前記対象物、又は前記対象物に取り付けられた被支持部材の下方に配置する工程と、前記制御装置が、複数の前記位置調整装置を、これらが互いに連動して駆動されるように制御し、かつ、複数の前記位置調整装置のそれぞれの、前記水平駆動機構と、前記垂直駆動機構とを、これらが互いに連動して駆動されるように制御して、対象物を移動させる工程と、を含む。

本発明によれば、対象物の位置調整を効率良く行うことが可能となる。

本発明の第１の実施形態に係る位置調整システムの概略構成を示す平面図である。 図１に示した位置調整システムで構造物の位置調整を行うため、複数の位置調整装置で構造物を支持した状態を示す側面図である。 図２に示した位置調整システムを構成する位置調整装置のうち、第一の位置調整装置の構成を示す平面図である。 図３に示した第一の位置調整装置を第二作動軸方向から見た側面図である。 図２に示した位置調整システムを構成する位置調整装置のうち、第二の位置調整装置の構成を示す平面図である。 図５に示した第二の位置調整装置を第一作動軸方向から見た正面図である。 本実施形態に係る位置調整システムの制御装置の機能構成を示すブロック図である。 本実施形態に係る位置調整システムを用いた対象物の位置調整方法の流れを示すフローチャートである。 本実施形態の第２の実施形態に係る位置調整システムの概略構成を示す平面図である。 本実施形態の第３の実施形態に係る位置調整システムの概略構成を示す平面図である。 本実施形態の第３の実施形態における位置調整装置の構成を示す平面図である。

以下、添付図面を参照して、本発明による位置調整システム、位置調整システムを用いた対象物の位置調整方法を実施するための形態について、図面に基づいて説明する。

（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態における位置調整システムの概略構成を図１に示す。図２は、図１に示した位置調整システムで構造物の位置調整を行うため、複数の位置調整装置で構造物を支持した状態を示す側面図である。
図１、図２に示すように、位置調整システム１は、複数の位置調整装置２と、制御装置９（図１参照）と、を備えている。対象物１００は、工場や各種の施設に設置される装置、設備等の重量物である。対象物１００は、工場や施設の床等、所定の設置面Ｆ上に設置される。位置調整システム１は、複数の位置調整装置２を用いることで、設置面Ｆ上における対象物１００の設置位置を調整する。

図３は、図２に示した位置調整システムを構成する位置調整装置のうち、第一の位置調整装置の構成を示す平面図である。図４は、図３に示した第一の位置調整装置を第二作動軸方向から見た側面図である。図５は、図２に示した位置調整システムを構成する位置調整装置のうち、第二の位置調整装置の構成を示す平面図である。図６は、図５に示した第二の位置調整装置を第一作動軸方向から見た正面図である。

図３～図６に示すように、複数の位置調整装置２のそれぞれは、ベースフレーム２１と、第一水平移動部３と、第二水平移動部４と、垂直移動部５と、水平駆動機構７と、垂直駆動機構８と、対象物支持部２２と、を備えている。
ベースフレーム２１は、平板状で、設置面Ｆ上に設置される。

第一水平移動部３は、ベースフレーム２１上に配置されている。第一水平移動部３は、ガイドレール３１と、第一テーブル３２と、を備えている。ガイドレール３１は、ベースフレーム２１上に、二本一対で設けられている。各ガイドレール３１は、水平面に沿った第一作動軸方向Ｄｍ１に延びている。二本一対のガイドレール３１は、水平面に沿って第一作動軸方向Ｄｍ１に直交する第二作動軸方向Ｄｍ２に間隔をあけて互いに平行に配置されている。各ガイドレール３１は、例えばリニアガイドである。第一テーブル３２は、平面視矩形の平板状で、その下面に、各ガイドレール３１に沿ってスライド自在なスライダー３３を備えている。第一テーブル３２は、一対のガイドレール３１に沿って第一作動軸方向Ｄｍ１に移動自在に支持されている。

第二水平移動部４は、ベースフレーム２１上において、第一水平移動部３の第一テーブル３２上に積層されて配置されている。第二水平移動部４は、ガイドレール４１と、第二テーブル４２と、を備えている。ガイドレール４１は、第一テーブル３２上に、二本一対で設けられている。各ガイドレール４１は、水平面に沿った第二作動軸方向Ｄｍ２に延びている。二本一対のガイドレール４１は、第一作動軸方向Ｄｍ１に間隔をあけて互いに平行に配置されている。各ガイドレール４１は、例えばリニアガイドである。第二テーブル４２は、平面視矩形の平板状で、その下面に、各ガイドレール４１に沿ってスライド自在なスライダー４３を備えている。第二テーブル４２は、一対のガイドレール４１に沿って第二作動軸方向Ｄｍ２に移動自在に支持されている。

垂直移動部５は、ベースフレーム２１上において、第二水平移動部４の第二テーブル４２上に積層されて配置されている。垂直移動部５は、支柱５１と、上部テーブル５２と、ガイドスリーブ５３と、ロッド５４と、第三テーブル５５と、を備えている。
支柱５１は、上方から見ると、第二テーブル４２の四隅に配置されている。各支柱５１は、第二テーブル４２から垂直方向Ｄｖに沿って上方に延びている。上部テーブル５２は、これらの支柱５１上に支持されている。ガイドスリーブ５３は、上部テーブル５２の下面に固定されている。ガイドスリーブ５３は、垂直方向Ｄｖに延びる筒状をなしている。ガイドスリーブ５３は、水平方向に間隔をあけて複数本、例えば４本が配置されている。各ロッド５４は、垂直方向Ｄｖに延び、上端が第三テーブル５５の下面に固定されている。ロッド５４は、ガイドスリーブ５３と同数が配置されている。ロッド５４は、上部テーブル５２に形成された貫通孔（図示無し）を通してガイドスリーブ５３内に挿通されている。ロッド５４は、ガイドスリーブ５３内で垂直方向Ｄｖに沿った第三作動軸方向Ｄｍ３に移動自在に設けられている。第三テーブル５５は、複数本のロッド５４上に設けられている。第三テーブル５５は、ロッド５４とともに、第三作動軸方向Ｄｍ３に移動自在とされている。

対象物支持部２２は、対象物１００を支持する。対象物支持部２２は、位置調整装置２の最上部に配置されている。本実施形態において、対象物支持部２２は、第三テーブル５５によって構成されている。対象物支持部２２（第三テーブル５５）は、平面視矩形の板状で、その上面に、対象物１００を支持する支持面２２ｆを有している。対象物支持部２２は、第一水平移動部３、第二水平移動部４、垂直移動部５を介して支持されることで、ベースフレーム２１上で、第一作動軸方向Ｄｍ１、第二作動軸方向Ｄｍ２、及び第三作動軸方向Ｄｍ３に移動自在に設けられている。

水平駆動機構７は、位置調整装置２の第一水平移動部３、又は第二水平移動部４を駆動する。図１に示すように、本実施形態において、複数（図１の例では４台）の位置調整装置２は、第一の水平駆動機構７Ａを備えた第一の位置調整装置２Ａと、第二の水平駆動機構７Ｂを備えた第二の位置調整装置２Ｂとを、２台ずつ備えている。

図３、図４に示すように、第一の位置調整装置２Ａは、第一作動軸方向Ｄｍ１を、水平面に沿った水平第一方向Ｄｈ１に沿わせ、第二作動軸方向Ｄｍ２を、水平面に沿った水平第二方向Ｄｈ２に沿わせて配置されている。第一の位置調整装置２Ａに設けられた第一の水平駆動機構７Ａは、第一水平移動部３、及び第二水平移動部４のうち、第一水平移動部３のみを駆動することで、後述する対象物支持部２２を水平面内では第一作動軸方向Ｄｍ１（水平第一方向Ｄｈ１）のみに移動させる。第一の水平駆動機構７Ａは、駆動シリンダ７１を備えている。駆動シリンダ７１は、ベースフレーム２１に固定されたブラケット７２により支持されている。駆動シリンダ７１は、第一作動軸方向Ｄｍ１に進退するシリンダロッド７１ａと、シリンダロッド７１ａを第一作動軸方向Ｄｍ１に進退駆動させるためのサーボモータ７１ｍと、を備えている、電動シリンダである。駆動シリンダ７１は、サーボモータ７１ｍでシリンダロッド７１ａを進退駆動させることで、第一テーブル３２を第一作動軸方向Ｄｍ１に沿って進退させる。

図５、図６に示すように、第二の位置調整装置２Ｂは、第二作動軸方向Ｄｍ２を、水平面に沿った水平第二方向Ｄｈ２に沿わせ、第一作動軸方向Ｄｍ１を、水平面に沿った水平第一方向Ｄｈ１に沿わせて配置されている。第二の位置調整装置２Ｂに設けられた第二の水平駆動機構７Ｂは、第一水平移動部３、及び第二水平移動部４のうち、第二水平移動部４のみを駆動することで、後述する対象物支持部２２を水平面内では第二作動軸方向Ｄｍ２（水平第二方向Ｄｈ２）のみに移動させる。第二の水平駆動機構７Ｂは、駆動シリンダ７３を備えている。駆動シリンダ７３は、第一テーブル３２に固定されたブラケット７４により支持されている。駆動シリンダ７３は、第二作動軸方向Ｄｍ２に進退するシリンダロッド７３ａと、シリンダロッド７３ａを第二作動軸方向Ｄｍ２に進退駆動させるためのサーボモータ７３ｍと、を備えている、電動シリンダである。駆動シリンダ７３は、サーボモータ７３ｍでシリンダロッド７３ａを進退駆動させることで、第二テーブル４２を第二作動軸方向Ｄｍ２に沿って進退させる。

図４、図６に示すように、第一の位置調整装置２Ａと第二の位置調整装置２Ｂは、第三作動軸方向Ｄｍ３を垂直方向Ｄｖに沿わせて配置されている。垂直駆動機構８は、垂直移動部５を駆動し、第三テーブル５５を第三作動軸方向Ｄｍ３に沿って移動させる。垂直駆動機構８は、駆動シリンダ８１を備えている。駆動シリンダ８１は、上部テーブル５２に固定されている。駆動シリンダ８１は、第三作動軸方向Ｄｍ３に進退するシリンダロッド８１ａと、シリンダロッド８１ａを第三作動軸方向Ｄｍ３に進退駆動させるためのサーボモータ８１ｍ（図６参照）と、を備えている、電動シリンダである。駆動シリンダ８１は、サーボモータ８１ｍでシリンダロッド８１ａを進退駆動させることで、第三テーブル５５、すなわち対象物支持部２２を第三作動軸方向Ｄｍ３に沿って上下動させる。

図１、図２に示すように、このような複数の位置調整装置２は、対象物１００、又は対象物１００に取り付けられた被支持部材１０１の下方に配置する。本実施形態では、各位置調整装置２は、被支持部材１０１の下方に配置する。各被支持部材１０１は、対象物１００の外側面から側方に突出するように設けられている。各被支持部材１０１は、対象物１００の位置調整時に、ボルト（図示無し）等によって対象物１００に装着し、対象物１００の位置調整完了後に対象物１００から取り外すようにしてもよい。また、対象物１００自体に、各位置調整装置２を配置できるような部位があれば、被支持部材１０１を備える必要は無い。
各位置調整装置２は、対象物支持部２２の支持面２２ｆで、被支持部材１０１を下方から支持し、対象物１００を設置面Ｆから僅かに上方に持ち上げた状態で、対象物１００の位置調整を行う。

複数の位置調整装置２で対象物１００の位置調整を行うには、各位置調整装置２のそれぞれにおいて、水平駆動機構７で対象物支持部２２を、第一作動軸方向Ｄｍ１、第二作動軸方向Ｄｍ２に移動させることによって、対象物１００を水平方向に移動させる。
このとき、複数の位置調整装置２のうち、例えば、第一の位置調整装置２Ａの第一の水平駆動機構７Ａで第一テーブル３２を第一作動軸方向Ｄｍ１に移動させると、対象物支持部２２上で支持された対象物１００が、水平第一方向Ｄｈ１に移動する。このとき、第二の位置調整装置２Ｂにおいては、第一テーブル３２がガイドレール３１に沿って第一作動軸方向Ｄｍ１に自動自在であるので、水平第一方向Ｄｈ１に移動する対象物１００とともに、第一テーブル３２が第一作動軸方向Ｄｍ１に移動（従動）する。
また、複数の位置調整装置２のうち、例えば、第二の位置調整装置２Ｂの第二の水平駆動機構７Ｂで第二テーブル４２を第二作動軸方向Ｄｍ２に移動させると、対象物支持部２２上で支持された対象物１００が、水平第二方向Ｄｈ２に移動する。このとき、第一の位置調整装置２Ａにおいては、第二テーブル４２がガイドレール４１に沿って第二作動軸方向Ｄｍ２に自動自在であるので、水平第二方向Ｄｈ２に移動する対象物１００とともに、第二テーブル４２が第二作動軸方向Ｄｍ２に移動（従動）する。

また、複数の位置調整装置２では、対象物１００の高さ調整、水平レベル調整を行うこともできる。この場合、各位置調整装置２のそれぞれにおいて、対象物支持部２２を、垂直駆動機構８で第三作動軸方向Ｄｍ３に移動させることによって、対象物１００を垂直方向Ｄｖに移動させる。

上記のようにして複数の位置調整装置２を用いて対象物１００の水平方向、垂直方向Ｄｖにおける位置調整やレベル調整を行った後、対象物１００の下面に設けられたアジャスタパッド１０３を設置面Ｆに設置させることで、対象物１００を、位置調整後の位置に設置することができる。

図７は、本実施形態に係る位置調整システムの制御装置の機能構成を示すブロック図である。
制御装置９は、例えば制御盤などのコンピュータ装置からなるもので、予め設定されたコンピュータプログラムに基づいた処理を実行することで、上記したような複数の位置調整装置２の水平駆動機構７、垂直駆動機構８の動作を制御し、対象物１００の位置調整を自動的に行う。図７に示すように、制御装置９は、入力受付部９１と、移動指令出力部９２と、移動検出部９３と、停止指令出力部９４と、を備えている。

入力受付部９１は、キーボードやマウス、その他の各種入力デバイスによって、外部から入力される、対象物１００を移動すべき移動量の設定値を受け付ける。
移動指令出力部９２は、入力受付部９１に入力された設定値に基づいて、複数の位置調整装置２のそれぞれに対し、水平駆動機構７のサーボモータ７１ｍ、７３ｍ、及び垂直駆動機構８のサーボモータ８１ｍを動作させるための移動指令を、例えば同時に出力する。
これにより、制御装置９は、複数の位置調整装置２を、これらが互いに連動して駆動されるように制御し、かつ、複数の位置調整装置２のそれぞれの、水平駆動機構７と、垂直駆動機構８とを、これらが互いに連動して駆動されるように制御する。より詳細には、制御装置９は、複数の位置調整装置２のそれぞれの、第一の水平駆動機構７Ａと、第二の水平駆動機構７Ｂと、垂直駆動機構８とを、これらが互いに連動して駆動されるように制御する。

特に本実施形態においては、第一の位置調整装置２Ａの第一の水平駆動機構７Ａが、対象物支持部２２を第一作動軸方向Ｄｍ１に移動させることで、対象物１００を水平第一方向Ｄｈ１に移動させるように、第一の位置調整装置２Ａが配置されている。また、第二の位置調整装置２Ｂの第二の水平駆動機構７Ｂが、対象物支持部２２を第二作動軸方向Ｄｍ２に移動させることで、対象物１００を水平第二方向Ｄｈ２に移動させるように、第二の位置調整装置２Ｂが配置されている。更に、第一の位置調整装置２Ａと第二の位置調整装置２Ｂの垂直駆動機構８が、対象物支持部２２を第三作動軸方向Ｄｍ３に移動させることで、対象物１００を垂直方向Ｄｖに移動させるように、第一の位置調整装置２Ａと第二の位置調整装置２Ｂが配置されている。
このため、例えば制御装置９が、第一の位置調整装置２Ａの第一の水平駆動機構７Ａと、第二の位置調整装置２Ｂの第二の水平駆動機構７Ｂに対して、これらが互いに連動して駆動されるように制御した場合には、対象物１００は、水平第一方向Ｄｈ１と水平第二方向Ｄｈ２の間の、水平第一方向Ｄｈ１と水平第二方向Ｄｈ２の各々に対して傾斜した、斜め方向に向けて移動される。
また、例えば制御装置９が、第一の位置調整装置２Ａの第一の水平駆動機構７Ａと、第一の位置調整装置２Ａと第二の位置調整装置２Ｂの垂直駆動機構８に対して、これらが互いに連動して駆動されるように制御した場合には、対象物１００は、水平第一方向Ｄｈ１と垂直方向Ｄｖの間の、水平第一方向Ｄｈ１と垂直方向Ｄｖの各々に対して傾斜した、斜め方向に向けて移動される。
また、例えば制御装置９が、第二の位置調整装置２Ｂの第二の水平駆動機構７Ｂと、第一の位置調整装置２Ａと第二の位置調整装置２Ｂの垂直駆動機構８に対して、これらが互いに連動して駆動されるように制御した場合には、対象物１００は、水平第二方向Ｄｈ２と垂直方向Ｄｖの間の、水平第二方向Ｄｈ２と垂直方向Ｄｖの各々に対して傾斜した、斜め方向に向けて移動される。
更に、例えば制御装置９が、第一の位置調整装置２Ａの第一の水平駆動機構７Ａと、第二の位置調整装置２Ｂの第二の水平駆動機構７Ｂ、及び第一の位置調整装置２Ａと第二の位置調整装置２Ｂの垂直駆動機構８に対して、これらが互いに連動して駆動されるように制御した場合には、対象物１００は、水平第一方向Ｄｈ１、水平第二方向Ｄｈ２と垂直方向Ｄｖの間の、水平第一方向Ｄｈ１、水平第二方向Ｄｈ２と垂直方向Ｄｖの各々に対して傾斜した、斜め方向に向けて移動される。

移動検出部９３は、複数の位置調整装置２のそれぞれにおいて、水平駆動機構７、及び垂直駆動機構８を動作させたときの対象物１００の移動量を検出する。このため、サーボモータ７１ｍ、７３ｍ、８１ｍは、それぞれ、モータ回転量を検出するエンコーダ（図示無し）を備えている。移動検出部９３は、サーボモータ７１ｍ、７３ｍ、８１ｍのそれぞれから出力されるモータ回転量の検知信号に基づき、それぞれの位置調整装置２における、水平駆動機構７による第一作動軸方向Ｄｍ１又は第二作動軸方向Ｄｍ２の移動量、及び第三作動軸方向Ｄｍ３による垂直方向Ｄｖへの対象物１００の移動量を検出する。

停止指令出力部９４は、複数の位置調整装置２の全てにおいて、移動検出部９３で検出した対象物１００の移動量が設定値に到達した場合に、複数の位置調整装置２のそれぞれに対し、水平駆動機構７、及び垂直駆動機構８の動作を停止させる停止指令を出力する。

次に、上記したような位置調整システム１を用いた対象物１００の位置調整方法について説明する。本実施形態における、位置調整システム１を用いた対象物１００の位置調整方法は、複数の位置調整装置２を対象物１００の下方に配置する工程と、制御装置９が、複数の位置調整装置２を、これらが互いに連動して駆動されるように制御し、かつ、複数の位置調整装置２のそれぞれの、水平駆動機構７と、垂直駆動機構８とを、これらが互いに連動して駆動されるように制御して、対象物１００を移動させる工程と、を含む。
図８は、本実施形態に係る位置調整システムを用いた対象物の位置調整方法の流れを示すフローチャートである。
図８に示すように、位置調整システム１を用いた対象物１００の位置調整方法は、より詳細には、複数の位置調整装置２を対象物１００の下方に配置する工程Ｓ１と、対象物１００の移動量の設定値を入力する工程Ｓ２と、対象物１００を移動させる工程Ｓ３と、対象物１００の移動量を検出する工程Ｓ４と、対象物１００の移動を停止させる工程Ｓ５と、対象物１００を設置面Ｆに据え付ける工程Ｓ６と、複数の位置調整装置２を対象物１００の下方から取り外す工程Ｓ７と、を主に備えている。

複数の位置調整装置２を対象物１００の下方に配置する工程Ｓ１では、設置面Ｆ上で所定の設置位置付近に仮置きした対象物１００を、図示しない油圧ジャッキ等で持ち上げる。次いで、複数の位置調整装置２を、持ち上げた対象物１００に取り付けられた被支持部材１０１の下方に挿入して配置する。その後、油圧ジャッキ等を縮め、対象物１００を、複数の位置調整装置２の対象物支持部２２上で支持させる。

対象物１００の移動量の設定値を入力する工程Ｓ２では、まず、仮置きした対象物１００の、所定の設置位置に対する位置ずれ量を計測する。計測した位置ずれ量に基づいて、複数の位置調整装置２のそれぞれにおける、対象物１００の移動量の設定値を算出する。算出された対象物１００の移動量の設定値を、作業者が、制御装置９に入力する。制御装置９の入力受付部９１は、外部から入力された対象物１００の移動量の設定値を受け付ける。

対象物１００を移動させる工程Ｓ３では、制御装置９の移動指令出力部９２が、入力受付部９１に入力された設定値に基づいて、複数の位置調整装置２のそれぞれに対し、水平駆動機構７のサーボモータ７１ｍ、７３ｍ、及び垂直駆動機構８のサーボモータ８１ｍを動作させるための移動指令を、例えば同時に出力する。これにより、対象物１００を移動させる工程Ｓ３においては、制御装置９は、複数の位置調整装置２を、これらが互いに連動して駆動されるように制御し、かつ、複数の位置調整装置２のそれぞれの、水平駆動機構７と、垂直駆動機構８とを、これらが互いに連動して駆動されるように制御する。
本実施形態においては、複数の位置調整装置２のそれぞれに出力する移動指令、すなわち、各位置調整装置２における対象物支持部２２の移動量は、同一である。すなわち、本実施形態においては、対象物１００は、移動前の姿勢を保ったまま、平行移動される。
複数の位置調整装置２は、移動指令出力部９２から出力された移動指令に基づいて、水平駆動機構７、及び垂直駆動機構８を動作させ、対象物１００を移動させる。

対象物１００の移動量を検出する工程Ｓ４では、複数の位置調整装置２のそれぞれにおいて、移動指令に基づいて動作したサーボモータ７１ｍ、７３ｍ、８１ｍのエンコーダ（図示無し）から出力される検知信号を、移動検出部９３で受信する。移動検出部９３は、受信した検知信号に基づき、それぞれの位置調整装置２における、水平駆動機構７（第一の水平駆動機構７Ａ、第二の水平駆動機構７Ｂ）による第一作動軸方向Ｄｍ１、第二作動軸方向Ｄｍ２、及び垂直駆動機構８による第三作動軸方向Ｄｍ３への対象物１００（対象物支持部２２）の移動量を検出する。移動検出部９３は、複数の位置調整装置２のそれぞれにおいて、対象物１００の移動量が、設定値に到達したか否かを監視している。

対象物１００の移動を停止させる工程Ｓ５では、複数の位置調整装置２の全てにおいて、移動検出部９３で監視している対象物１００の移動量が設定値に到達した場合、停止指令出力部９４が、複数の位置調整装置２のそれぞれに対し、水平駆動機構７、及び垂直駆動機構８の動作を停止させる停止指令を出力する。すると、対象物１００の移動が停止される。この状態で、対象物１００は、工程Ｓ２で計測した位置ずれ量に応じて移動され、所定の設置位置に配置されている。

対象物１００を設置面Ｆに据え付ける工程Ｓ６では、対象物１００の下側で、アジャスタパッド１０３の高さ調整や、その他のスペーサの挿入等を行い、対象物１００を、設置面Ｆに据え付ける。

複数の位置調整装置２を対象物１００の下方から取り外す工程Ｓ７では、複数の位置調整装置２のそれぞれにおいて、垂直駆動機構８の駆動シリンダ８３で対象物支持部２２を下降させ、対象物１００から離す。その後、各位置調整装置２を、側方に引き出すことで、対象物１００の下方から取り外す。このようにして、対象物１００の位置調整を行うことができる。

上述したような位置調整システム１は、設置面Ｆ上における対象物１００の設置位置を調整するための位置調整システム１であって、対象物１００を下方から支持する複数の位置調整装置２と、位置調整装置２の動作を制御する制御装置９と、を備える。位置調整装置２のそれぞれは、設置面Ｆ上に設置されるベースフレーム２１と、ベースフレーム２１上で、水平面に沿った第一作動軸方向Ｄｍ１に移動自在に設けられた第一テーブル３２を備えた第一水平移動部３と、ベースフレーム２１上で、水平面に沿って第一作動軸方向Ｄｍ１に直交する第二作動軸方向Ｄｍ２に移動自在に設けられた第二テーブル４２を備えた第二水平移動部４と、ベースフレーム２１上で、垂直方向Ｄｖに沿った第三作動軸方向Ｄｍ３に移動自在に設けられた第三テーブル５５を備えた垂直移動部５と、第一水平移動部３、及び第二水平移動部４の少なくとも一方を駆動する水平駆動機構７と、垂直移動部５を駆動する垂直駆動機構８と、第一水平移動部３、第二水平移動部４、及び垂直移動部５を介して、第一作動軸方向Ｄｍ１、第二作動軸方向Ｄｍ２、第三作動軸方向Ｄｍ３に移動可能に構成され、対象物１００を下方から支持する対象物支持部２２と、を備える。制御装置９は、複数の位置調整装置２を、これらが互いに連動して駆動されるように制御し、かつ、複数の位置調整装置２のそれぞれの、水平駆動機構７と、垂直駆動機構８とを、これらが互いに連動して駆動されるように制御する。
このような構成によれば、複数の位置調整装置２において、移動すべき対象物１００を下方から支持する対象物支持部２２を、第一水平移動部３、第二水平移動部４、及び垂直移動部５で第一作動軸方向Ｄｍ１、第二作動軸方向Ｄｍ２、第三作動軸方向Ｄｍ３の三方向に移動させることで、対象物１００の位置を調整することができる。ここで、制御装置９は、複数の位置調整装置２を、これらが互いに連動して駆動されるように制御し、かつ、複数の位置調整装置２のそれぞれの、水平駆動機構７と、垂直駆動機構８とを、これらが互いに連動して駆動されるように制御する。これにより、対象物支持部２２は、第一作動軸方向Ｄｍ１、第二作動軸方向Ｄｍ２、第三作動軸方向Ｄｍ３の各々の間の斜め方向に移動される。このため、例えば対象物支持部２２を、第一作動軸方向Ｄｍ１、第二作動軸方向Ｄｍ２、第三作動軸方向Ｄｍ３の各々の方向に対して、個別に順次移動させて、対象物１００の設置位置を調整する場合に比べると、より効率よく、対象物１００を移動させることができる。

また、制御装置９は、外部から対象物１００を移動すべき移動量の設定値が入力される入力受付部９１と、入力受付部９１に入力された設定値に基づいて、複数の位置調整装置２のそれぞれに対し、水平駆動機構７、及び垂直駆動機構８を動作させるための移動指令を出力する移動指令出力部９２と、複数の位置調整装置２のそれぞれにおいて、水平駆動機構７、及び垂直駆動機構８を動作させたときの対象物１００の移動量を検出する移動検出部９３と、複数の位置調整装置２の全てにおいて、移動検出部９３で検出した対象物１００の移動量が設定値に到達した場合、複数の位置調整装置２のそれぞれに対し、水平駆動機構７、及び垂直駆動機構８の動作を停止させる停止指令を出力する停止指令出力部９４と、を備える。
このような構成によれば、水平駆動機構７、及び垂直駆動機構８を、外部から入力された設定値に応じて動作させたときの対象物１００の移動量を検出し、全ての移動調整装置において、検出された対象物１００の移動量が設定値に到達した場合に、水平駆動機構７、垂直移動部５の動作を停止させることで、対象物１００を、設定値に合わせて正確に移動させることができる。したがって、対象物１００の位置調整を効率良く、かつ高精度に行うことが可能となる。

また、複数の位置調整装置２は、対象物支持部２２を第一作動軸方向Ｄｍ１のみに移動させる第一の水平駆動機構７Ａを備えた第一の位置調整装置２Ａと、対象物支持部２２を第二作動軸方向Ｄｍ２のみに移動させる第二の水平駆動機構７Ｂを備えた第二の位置調整装置２Ｂと、を備え、第一の位置調整装置２Ａは、水平面に沿った水平第一方向Ｄｈ１に第一作動軸方向Ｄｍ１を沿わせて配置され、第二の位置調整装置２Ｂは、水平面に沿って水平第一方向Ｄｈ１に直交する水平第二方向Ｄｈ２に第二作動軸方向Ｄｍ２を沿わせて配置されている。
このような構成によれば、第一の位置調整装置２Ａと、第二の位置調整装置２Ｂとを組み合わせて用いることで、複数の位置調整装置２によって、対象物１００を水平第一方向Ｄｈ１、及び水平第二方向Ｄｈ２に移動させて位置調整を行うことができる。第一の水平駆動機構７Ａは、第一作動軸方向Ｄｍ１のみ、第二の水平駆動機構７Ｂは、第二作動軸方向Ｄｍ２にのみ、対象物支持部２２を移動させるので、全ての位置調整装置２の水平駆動機構７が、第一作動軸方向Ｄｍ１と第二作動軸方向Ｄｍ２との双方に対象物支持部２２を移動させる構成に比較し、低コスト化を図ることができる。

また、水平駆動機構７と垂直駆動機構８のそれぞれは、サーボモータ７１ｍ、７３ｍ、８１ｍにより駆動される電動シリンダを備えている。
このような構成によれば、上述したような位置調整システム１を、適切に実現することができる。

また、上述したような位置調整システム１を用いた対象物１００の位置調整方法は、複数の位置調整装置２を、対象物１００、又は対象物１００に取り付けられた被支持部材１０１の下方に配置する工程Ｓ１と、制御装置９が、複数の位置調整装置２を、これらが互いに連動して駆動されるように制御し、かつ、複数の位置調整装置２のそれぞれの、水平駆動機構７と、垂直駆動機構８とを、これらが互いに連動して駆動されるように制御して、対象物１００を移動させる工程Ｓ３と、を含む。
このような構成によれば、対象物１００の位置調整を効率良く、かつ高精度に行うことが可能となる。

（第２の実施形態）
次に、本発明にかかる位置調整システム、位置調整システムを用いた対象物の位置調整方法の第２の実施形態について説明する。なお、以下に説明する第２の実施形態においては、上記第１の実施形態と共通する構成については図中に同符号を付してその説明を省略する。
図９は、本発明の第２の実施形態に係る位置調整システムの概略構成を示す平面図である。
図９に示すように、位置調整システム１Ｂは、複数の位置調整装置２と、制御装置９と、を備えている。本実施形態において、複数の位置調整装置２は、全て、水平駆動機構７として、対象物支持部２２を第一作動軸方向Ｄｍ１のみに移動させるように構成された第一の水平駆動機構７Ａ（図３、図４参照）を備えている。
本実施形態において、複数の位置調整装置２は、第三の位置調整装置２Ｃと、第四の位置調整装置２Ｄと、２台ずつ備えている。第三の位置調整装置２Ｃは、水平第一方向Ｄｈ１に第一作動軸方向Ｄｍ１を沿わせ、水平第二方向Ｄｈ２に第二作動軸方向Ｄｍ２を沿わせて配置されている。第四の位置調整装置２Ｄは、水平第二方向Ｄｈ２に第一作動軸方向Ｄｍ１を沿わせ、水平第一方向Ｄｈ１に第二作動軸方向Ｄｍ２を沿わせて配置されている。
第四の位置調整装置２Ｄは、第三の位置調整装置２Ｃと同じ構成の装置を、第三の位置調整装置２Ｃとは、鉛直軸周りに９０°回転させるように、向きを変えて配置したものである。
このような位置調整システム１Ｂにおいては、第三の位置調整装置２Ｃの第一の水平駆動機構７Ａで対象物支持部２２を第一作動軸方向Ｄｍ１に移動させると、対象物１００が水平第一方向Ｄｈ１に移動される。第四の位置調整装置２Ｄの第一の水平駆動機構７Ａで対象物支持部２２を第一作動軸方向Ｄｍ１に移動させると、対象物１００が水平第二方向Ｄｈ２に移動される。

例えば制御装置９が、第三の位置調整装置２Ｃの第一の水平駆動機構７Ａと、第四の位置調整装置２Ｄの第一の水平駆動機構７Ａに対して、これらが互いに連動して駆動されるように制御した場合には、対象物１００は、水平第一方向Ｄｈ１と水平第二方向Ｄｈ２の間の、水平第一方向Ｄｈ１と水平第二方向Ｄｈ２の各々に対して傾斜した、斜め方向に向けて移動される。
また、例えば制御装置９が、第三の位置調整装置２Ｃの第一の水平駆動機構７Ａと、第三の位置調整装置２Ｃと第四の位置調整装置２Ｄの垂直駆動機構８に対して、これらが互いに連動して駆動されるように制御した場合には、対象物１００は、水平第一方向Ｄｈ１と垂直方向Ｄｖの間の、水平第一方向Ｄｈ１と垂直方向Ｄｖの各々に対して傾斜した、斜め方向に向けて移動される。
また、例えば制御装置９が、第四の位置調整装置２Ｄの第一の水平駆動機構７Ａと、第三の位置調整装置２Ｃと第四の位置調整装置２Ｄの垂直駆動機構８に対して、これらが互いに連動して駆動されるように制御した場合には、対象物１００は、水平第二方向Ｄｈ２と垂直方向Ｄｖの間の、水平第二方向Ｄｈ２と垂直方向Ｄｖの各々に対して傾斜した、斜め方向に向けて移動される。
更に、例えば制御装置９が、第三の位置調整装置２Ｃと第四の位置調整装置２Ｄの第一の水平駆動機構７Ａ、及び第三の位置調整装置２Ｃと第四の位置調整装置２Ｄの垂直駆動機構８に対して、これらが互いに連動して駆動されるように制御した場合には、対象物１００は、水平第一方向Ｄｈ１、水平第二方向Ｄｈ２と垂直方向Ｄｖの間の、水平第一方向Ｄｈ１、水平第二方向Ｄｈ２と垂直方向Ｄｖの各々に対して傾斜した、斜め方向に向けて移動される。

このような位置調整システム１Ｂによれば、複数の位置調整装置２の水平駆動機構７（第一の水平駆動機構７Ａ）は、対象物支持部２２を第一作動軸方向Ｄｍ１のみに移動させるように構成され、複数の位置調整装置２は、水平面に沿った水平第一方向Ｄｈ１に第一作動軸方向Ｄｍ１を沿わせて配置された第三の位置調整装置２Ｃと、水平面に沿って水平第一方向Ｄｈ１に直交する水平第二方向Ｄｈ２に第一作動軸方向Ｄｍ１を沿わせて配置された第四の位置調整装置２Ｄと、を備える。
このような構成とすれば、複数の位置調整装置２の全ては、第一の水平駆動機構７Ａを備えた、共通（同一）のものが用いられ得る。すなわち、第三の位置調整装置２Ｃと、第四の位置調整装置２Ｄとは、同一の位置調整装置２の水平面内での向きを９０°変えて床面Ｆ上に設置することで構成され得る。したがって、低コスト化を図ることができる。

（第３の実施形態）
次に、本発明にかかる位置調整システム、位置調整システムを用いた対象物の位置調整方法の第３の実施形態について説明する。なお、以下に説明する第３の実施形態においては、上記第１の実施形態と共通する構成については図中に同符号を付してその説明を省略する。
図１０は、本発明の第３の実施形態に係る位置調整システムの概略構成を示す平面図である。図１１は、第３の実施形態における位置調整装置の構成を示す平面図である。
図１０、図１１に示すように、位置調整システム１Ｃは、複数の位置調整装置２と、制御装置９（図１参照）と、を備えている。本実施形態において、複数の位置調整装置２は、全て、水平駆動機構７として、第一水平移動部３を駆動し、対象物支持部２２を第一作動軸方向Ｄｍ１に移動させる第一の水平駆動機構７Ａと、第二水平移動部４を駆動し、対象物支持部２２を第二作動軸方向Ｄｍ２に移動させる第二の水平駆動機構７Ｂと、の双方を備えている。
各位置調整装置２は、第一作動軸方向Ｄｍ１を水平第一方向Ｄｈ１に沿わせ、第二作動軸方向Ｄｍ２を水平第二方向Ｄｈ２に沿わせて配置されている。

このような位置調整システム１Ｃによれば、複数の位置調整装置２のそれぞれは、水平駆動機構７によって、第一水平移動部３と第二水平移動部４との双方が駆動され、水平面に沿った水平第一方向Ｄｈ１に第一作動軸方向Ｄｍ１を、及び、水平面に沿って水平第一方向Ｄｈ１に直交する水平第二方向Ｄｈ２に第二作動軸方向Ｄｍ２を、それぞれ沿わせて配置される。
このような構成によれば、複数の位置調整装置２の全てが、それぞれ、第一水平移動部３と第二水平移動部４とが駆動される構成とすることで、複数の位置調整装置２において、第一水平移動部３を駆動させる駆動シリンダ７１や、第二水平移動部４を駆動させる駆動シリンダ７３の数が増える。このため、駆動シリンダ７１、７３の一台当たりの負荷が減るので、駆動シリンダ７１、７３の小容量化、小型化を図ることができる。

（その他の変形例）
また、上記実施形態では、ベースフレーム２１上に、第一水平移動部３、第二水平移動部４、及び垂直移動部５が下方から上方に向かって順次積層されている構成としたが、第一水平移動部３、第二水平移動部４、及び垂直移動部５の積層順序は、適宜変更可能である。この場合、対象物支持部２２は、第一テーブル３２、第二テーブル４２、第三テーブル５５のうち、最上部に位置するものによって構成される。さらに、対象物支持部２２は、第一テーブル３２、第二テーブル４２、第三テーブル５５のうち、最上部に位置するものの上方に、別部品として備えるようにしてもよい。

また、上記実施形態では、複数の位置調整装置２のそれぞれに出力する移動指令、すなわち、各位置調整装置２における対象物支持部２２の移動量は、同一であり、対象物１００は、移動前の姿勢を保ったまま、平行移動されていたが、これに限られない。
例えば、各位置調整装置２を、図１０を用いて示したような、第一の水平駆動機構７Ａと第二の水平駆動機構７Ｂをともに備える構成としたうえで、各位置調整装置２の第一の水平駆動機構７Ａと第二の水平駆動機構７Ｂに対し、平面視したときに対象物１００の中心に対して周方向に同一の方向へと移動するように制御することで、対象物１００を回転させることができる。
あるいは、各位置調整装置２を、上記実施形態または各変形例のいずれかの構成としたうえで、位置調整装置２ごとに垂直方向Ｄｖの移動量を異ならせることで、対象物１００を傾斜させることもできる。

また、上記実施形態では、対象物１００の移動量を、サーボモータ７１ｍ、７３ｍ、８１ｍに備えたエンコーダによって検出するようにしたが、これに限らない。例えば、対象物１００自体の移動量を、例えばレーザー距離計等、適宜の計測機器を用いて検出し、その検出結果を制御装置９に転送するようにしてもよい。

また、対象物１００の位置調整の為に用いる位置調整装置２の数は、対象物１００の形状、重量、大きさ等に応じて適宜変更可能である。
また、位置調整システム１で位置調整を行う対象物１００は、その具体的な構成や用途をなんら問うものではない。
これ以外にも、本発明の主旨を逸脱しない限り、上記実施の形態で挙げた構成を取捨選択したり、他の構成に適宜変更したりすることが可能である。

１、１Ｂ、１Ｃ 位置調整システム
２ 位置調整装置
２Ａ 第一の位置調整装置
２Ｂ 第二の位置調整装置
２Ｃ 第三の位置調整装置
２Ｄ 第四の位置調整装置
３ 第一水平移動部
４ 第二水平移動部
５ 垂直移動部
７ 水平駆動機構
７Ａ 第一の水平駆動機構
７Ｂ 第二の水平駆動機構
７１ｍ、７３ｍ、８１ｍ サーボモータ
８ 垂直駆動機構
９ 制御装置
２１ ベースフレーム
２２ 対象物支持部
３２ 第一テーブル
４２ 第二テーブル
５５ 第三テーブル
９１ 入力受付部
９２ 移動指令出力部
９３ 移動検出部
９４ 停止指令出力部
１００ 対象物
１０１ 被支持部材
Ｄｈ１ 水平第一方向
Ｄｈ２ 水平第二方向
Ｄｍ１ 第一作動軸方向
Ｄｍ２ 第二作動軸方向
Ｄｍ３ 第三作動軸方向
Ｄｖ 垂直方向
Ｆ 設置面

Claims (7)

1. 設置面上における対象物の設置位置を調整するための位置調整システムであって、
   前記設置面上に設置され、前記対象物を下方から支持する複数の位置調整装置と、
   前記位置調整装置の動作を制御する制御装置と、を備え、
   前記位置調整装置のそれぞれは、
   前記設置面上の定位置に設置されるベースフレームと、
   前記設置面上の定位置に設置された前記ベースフレーム上で、水平面に沿った第一作動軸方向に移動自在に設けられた第一テーブルを備えた第一水平移動部と、
   前記設置面上の定位置に設置された前記ベースフレーム上で、水平面に沿って前記第一作動軸方向に直交する第二作動軸方向に移動自在に設けられた第二テーブルを備えた第二水平移動部と、
   前記設置面上の定位置に設置された前記ベースフレーム上で、垂直方向に沿った第三作動軸方向に移動自在に設けられた第三テーブルを備えた垂直移動部と、
   前記第一水平移動部、及び前記第二水平移動部の少なくとも一方を駆動する水平駆動機構と、
   前記垂直移動部を駆動する垂直駆動機構と、
   前記第一水平移動部の前記第一テーブル、前記第二水平移動部の前記第二テーブル、及び前記垂直移動部の前記第三テーブルを介して支持されることで、前記第一作動軸方向、前記第二作動軸方向、及び前記第三作動軸方向に沿って移動可能に設けられ、前記対象物を下方から支持する対象物支持部と、を備え、
   前記制御装置は、複数の前記位置調整装置のそれぞれに対して同一の移動指令を出力し、前記移動指令に基づき、複数の前記位置調整装置のそれぞれが互いに連動して同一の移動量で駆動されるように制御し、かつ、複数の前記位置調整装置のそれぞれの、前記水平駆動機構と、前記垂直駆動機構とを、これらが互いに連動して駆動されるように制御する、位置調整システム。
2. 前記制御装置は、
   外部から前記対象物を移動すべき前記移動量の設定値が入力される入力受付部と、
   前記入力受付部に入力された前記設定値に基づいて、複数の前記位置調整装置のそれぞれに対し、前記水平駆動機構、及び前記垂直駆動機構を動作させるための前記移動指令を出力する移動指令出力部と、
   前記複数の位置調整装置のそれぞれにおいて、前記水平駆動機構、及び前記垂直駆動機構を動作させたときの前記対象物の移動量を検出する移動検出部と、
   前記複数の位置調整装置の全てにおいて、前記移動検出部で検出した前記対象物の移動量が前記設定値に到達した場合、複数の前記位置調整装置のそれぞれに対し、前記水平駆動機構、及び前記垂直駆動機構の動作を停止させる停止指令を出力する停止指令出力部と、を備える、請求項１に記載の位置調整システム。
3. 複数の前記位置調整装置は、
   前記対象物支持部を前記第一作動軸方向のみに移動させる第一の前記水平駆動機構を備えた第一の位置調整装置と、
   前記対象物支持部を前記第二作動軸方向のみに移動させる第二の前記水平駆動機構を備えた第二の位置調整装置と、を備え、
   前記第一の位置調整装置は、水平面に沿った水平第一方向に前記第一作動軸方向を沿わせて配置され、
   前記第二の位置調整装置は、水平面に沿って前記水平第一方向に直交する水平第二方向に前記第二作動軸方向を沿わせて配置されている、請求項１または２に記載の位置調整システム。
4. 複数の前記位置調整装置の前記水平駆動機構は、前記対象物支持部を前記第一作動軸方向のみに移動させるように構成され、
   複数の前記位置調整装置は、
   水平面に沿った水平第一方向に前記第一作動軸方向を沿わせて配置された第三の位置調整装置と、
   水平面に沿って前記水平第一方向に直交する水平第二方向に前記第一作動軸方向を沿わせて配置された第四の位置調整装置と、を備える請求項１または２に記載の位置調整システム。
5. 複数の前記位置調整装置のそれぞれは、
   前記水平駆動機構によって、前記第一水平移動部と前記第二水平移動部との双方が駆動され、
   水平面に沿った水平第一方向に前記第一作動軸方向を、及び、水平面に沿って前記水平第一方向に直交する水平第二方向に前記第二作動軸方向を、それぞれ沿わせて配置される、請求項１または２に記載の位置調整システム。
6. 前記水平駆動機構と前記垂直駆動機構のそれぞれは、サーボモータにより駆動される電動シリンダを備えている、請求項１から５のいずれか一項に記載の位置調整システム。
7. 請求項１から６のいずれか一項に記載の位置調整システムを用いた対象物の位置調整方法であって、
   複数の前記位置調整装置を、前記対象物、又は前記対象物に取り付けられた被支持部材の下方に配置する工程と、
   前記制御装置が、複数の前記位置調整装置のそれぞれに対して同一の移動指令を出力し、前記移動指令に基づき、複数の前記位置調整装置のそれぞれが互いに連動して同一の移動量で駆動されるように制御し、かつ、複数の前記位置調整装置のそれぞれの、前記水平駆動機構と、前記垂直駆動機構とを、これらが互いに連動して駆動されるように制御して、対象物を移動させる工程と、を含む、位置調整システムを用いた対象物の位置調整方法。