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JP7797688B2 - Release film for ceramic green sheet manufacturing - Google Patents
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JP7797688B2 - Release film for ceramic green sheet manufacturing - Google Patents

Release film for ceramic green sheet manufacturing

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JP7797688B2 JP2024555406A JP2024555406A JP7797688B2 JP 7797688 B2 JP7797688 B2 JP 7797688B2 JP 2024555406 A JP2024555406 A JP 2024555406A JP 2024555406 A JP2024555406 A JP 2024555406A JP 7797688 B2 JP7797688 B2 JP 7797688B2
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Description

本発明は、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムに関し、より具体的には、グリーンシートの剥離が容易であるとともに、易剥離性の経時変化が小さく、グリーンシート塗工から長期間経過した場合でも優れた易剥離性を安定的に実現でき、積層セラミックコンデンサや多層セラミック基板等の各種セラミック製品の製造に特に好適に用いられる、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムに関する。 The present invention relates to a release film for producing ceramic green sheets, and more specifically, to a release film for producing ceramic green sheets that allows easy peeling of the green sheets, exhibits little change in peelability over time, and consistently achieves excellent peelability even long periods after the green sheet is applied, making it particularly suitable for use in the production of various ceramic products such as multilayer ceramic capacitors and multilayer ceramic substrates.

シート状のセラミック部材の製造においては、従来よりセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムが用いられている。例えば、積層セラミックコンデンサや多層セラミック基板といった積層セラミック製品を製造するには、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルム上にセラミックグリーンシートを成形し、得られたセラミックグリーンシートを複数枚積層して焼成することが行われている。
近年、電子機器の小型化および高性能化に伴い、積層セラミックコンデンサや多層セラミック基板の小型化および多層化が進んでいる。多層化実現のためセラミックグリーンシートは薄膜化が求められ、薄膜化したセラミックグリーンシートにおけるピンホールや厚みむら等の欠陥の発生を防止し、薄膜化したセラミックグリーンシートを剥離フィルムから剥離するときの破断を効果的に抑制する等の観点から、基材と特定の成分の剥離剤層とを有するセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムであって、剥離剤層の基材とは反対側の面における算術平均粗さ(Ra)、及び最大突起高さ(Rp)がそれぞれ所定値以下であり、かつ、基材の剥離剤層とは反対側の面における算術平均粗さ(Ra)、及び最大突起高さ(Rp)がそれぞれ所定の数値範囲内である、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
Release films for producing ceramic green sheets have been used in the production of sheet-like ceramic members. For example, to produce multilayer ceramic products such as multilayer ceramic capacitors and multilayer ceramic substrates, ceramic green sheets are formed on a release film for producing ceramic green sheets, and then multiple ceramic green sheets are stacked and fired.
In recent years, with the miniaturization and improvement in performance of electronic devices, the miniaturization and multilayering of multilayer ceramic capacitors and multilayer ceramic substrates have progressed. To achieve this, ceramic green sheets must be made thinner. From the viewpoints of preventing defects such as pinholes and uneven thickness in thin ceramic green sheets and effectively suppressing breakage when thin ceramic green sheets are peeled from a release film, a release film for producing ceramic green sheets has been proposed, which comprises a substrate and a release agent layer of specific components, in which the arithmetic mean roughness (Ra) and the maximum protrusion height (Rp) on the surface of the release agent layer opposite the substrate are each equal to or less than a predetermined value, and the arithmetic mean roughness (Ra) and the maximum protrusion height (Rp) on the surface of the substrate opposite the release agent layer are each within a predetermined numerical range (see, for example, Patent Document 1).

積層セラミックコンデンサや多層セラミック基板等の各種セラミック製品の製造にあたっては、セラミック製品の品質や生産性等の観点から、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルム上に形成したセラミックグリーンシートの剥離が容易であることが求められる。
しかしながら従来技術のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムを用いた場合、セラミックスラリーを塗工してセラミックグリーンシートを形成した直後の剥離が容易であったとしても、例えば塗工後1週間程度保管した場合に易剥離性が低下する場合があり、保管により重剥離化したり、保管後に剥離した際にセラミックグリーンシートが破断したりする場合があり、その改善が求められていた。
In the production of various ceramic products such as multilayer ceramic capacitors and multilayer ceramic substrates, it is required that the ceramic green sheet formed on the release film for producing the ceramic green sheet be easily peeled off from the viewpoints of the quality and productivity of the ceramic products.
However, when using a release film for producing ceramic green sheets using conventional technology, even if the ceramic green sheets are easy to peel immediately after being formed by applying a ceramic slurry, the peelability may decrease if the sheets are stored, for example, for about one week after application, and the sheets may become difficult to peel due to storage or may break when peeled after storage. Therefore, improvements in this area have been desired.

国際公開2013/145865 A1号パンフレットInternational Publication No. 2013/145865 A1 Brochure

上記技術背景に鑑み、本発明は、基材と剥離剤層とを有するセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムであって、グリーンシートの剥離が容易であるとともに、易剥離性の経時変化が小さく、グリーンシート塗工から長期間経過した場合でも優れた易剥離性を安定的に実現できる、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムを提供すること課題とする。 In light of the above technical background, the present invention aims to provide a release film for producing ceramic green sheets, which has a substrate and a release agent layer, allows the green sheet to be easily peeled off, exhibits little change in peelability over time, and can stably achieve excellent peelability even long periods of time after the green sheet is applied.

本発明者らは、鋭意検討の結果、基材と、前記基材の少なくとも一方に設けられた剥離剤層とを有するセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムにおいて、前記剥離剤層表面の、所定組成のセラミックスラリー塗工、乾燥、保管及び剥離前後の、ブロモナフタレン接触角変化量を所定数値範囲内とすることで、従来技術の限界を超えた高い水準で易剥離性の経時的に安定させることができることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち本発明は、
[1]
基材と、前記基材の少なくとも一方に設けられた剥離剤層とを有するセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムであって、
前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面のブロモナフタレン接触角BCAと、
前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面に下記組成のセラミックスラリーを塗工および乾燥し、23±2℃×50±5%RHの恒温恒湿環境下で1週間保管後に剥離した後のブロモナフタレン接触角BCAとの差、δBCA=BCA-BCA、が-1.5°から1.0°の範囲内である、上記セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムに関する。
a)チタン酸バリウム粒子45質量%、
b)ポリビニルブチラール3.6質量%、
c)フタル酸ジブチル0.9質量%、
d)トルエン25質量%、及び
e)エタノール25質量%を含有する、セラミックスラリー。
As a result of extensive research, the inventors have found that in a release film for producing a ceramic green sheet having a substrate and a release agent layer provided on at least one side of the substrate, by controlling the amount of change in bromonaphthalene contact angle on the surface of the release agent layer before and after coating, drying, storage and peeling of a ceramic slurry of a predetermined composition within a predetermined numerical range, it is possible to stabilize the ease of releasability over time at a high level that exceeds the limits of conventional technology, and have completed the present invention.
That is, the present invention provides:
[1]
A release film for producing a ceramic green sheet, comprising a substrate and a release agent layer provided on at least one side of the substrate,
a bromonaphthalene contact angle BCA of 1 on the surface of the release agent layer opposite to the substrate;
The release film for producing a ceramic green sheet relates to the above release film, in which a ceramic slurry having the following composition is applied to the surface of the release agent layer opposite the substrate and dried, and the release agent is stored in a constant temperature and humidity environment of 23±2°C x 50±5% RH for one week, and then peeled off, after which the difference from the bromonaphthalene contact angle BCA 2 , δBCA = BCA 2 - BCA 1 , is in the range of -1.5° to 1.0°.
a) 45% by weight of barium titanate particles,
b) 3.6% by weight of polyvinyl butyral,
c) 0.9% by weight of dibutyl phthalate,
d) 25% by weight of toluene; and e) 25% by weight of ethanol.

以下、[2]から[8]は、いずれも本発明の好ましい一態様又は一実施形態である。
[2]
前記セラミックスラリーの塗工量が乾燥前で厚み50μmであり、前記乾燥の条件が70℃、2分であり、前記剥離が角度180°で行われる、[1]に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
[3]
前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面の水接触角WCAと、
前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面に前記セラミックスラリーを塗工および乾燥し、23±2℃×50±5%RHの恒温恒湿環境下で1週間保管後に剥離した後の水接触角WCAとの差、δWCA=WCA-WCA、が-3.5°から1.0°の範囲内である、[1]又は[2]に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
[4]
前記剥離剤層が硬化性組成物の硬化物を含有し、該硬化性組成物が少なくとも1種の、(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基を有する反応性化合物(a)を含み、且つ該反応性化合物(a)の合計量が、質量比率で該剥離剤層の50%以上であることを特徴とする[1]から[3]のいずれか一項に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
[5]
前記硬化性組成物が、前記反応性化合物(a)として、(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基、並びにシロキサン骨格を有する反応性シリコーン(a1)少なくとも1種と、該反応性シリコーン(a1)と同じ反応性官能基を有し、且つ反応性官能基当量が2000g/mol以下である反応性化合物(a2)少なくとも1種と、を含有する、[4]に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
[6]
前記硬化性組成物が、更に1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する膜形成性化合物(a3)を含有する、[5]に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
[7]
前記基材の前記剥離剤層側の表面の算術平均粗さ(Ra)が1から70nmである、[1]から[6]のいずれか一項に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
[8]
積層セラミックコンデンサ、又は多層セラミック基板の製造に用いる、[1]から[7]のいずれか一項に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
Below, [2] to [8] are each a preferred aspect or embodiment of the present invention.
[2]
The release film for producing a ceramic green sheet according to [1], wherein the coating amount of the ceramic slurry is 50 μm before drying, the drying conditions are 70° C. and 2 minutes, and the peeling is performed at an angle of 180°.
[3]
a water contact angle WCA1 on the surface of the release agent layer opposite to the substrate;
The release film for producing a ceramic green sheet according to [1] or [2], wherein the ceramic slurry is applied to the surface of the release agent layer opposite the substrate, the ceramic slurry is dried, and the release agent layer is stored in a constant temperature and humidity environment of 23±2°C x 50±5% RH for one week, and then the difference between the water contact angle WCA 2 and the water contact angle WCA 1 , δWCA = WCA 2 - WCA 1 , is within the range of -3.5° to 1.0°.
[4]
[4] The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of [1] to [3], characterized in that the release agent layer contains a cured product of a curable composition, the curable composition contains at least one reactive compound (a) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group, and the total amount of the reactive compound (a) accounts for 50% or more of the release agent layer in terms of mass ratio.
[5]
[4] The release film for producing a ceramic green sheet according to [4], wherein the curable composition contains, as the reactive compound (a), at least one reactive silicone (a1) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group, and a siloxane skeleton, and at least one reactive compound (a2) having the same reactive functional group as the reactive silicone (a1) and having a reactive functional group equivalent of 2000 g/mol or less.
[6]
The release film for producing a ceramic green sheet according to [5], wherein the curable composition further contains a film-forming compound (a3) having two or more (meth)acryloyl groups in one molecule.
[7]
[6] The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of [1] to [6], wherein the arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the substrate on the release agent layer side is 1 to 70 nm.
[8]
The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of [1] to [7], which is used for producing a multilayer ceramic capacitor or a multilayer ceramic substrate.

本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムは、その上の形成したセラミックグリーンシートの剥離が容易であるとともに、剥離性の経時変化が小さく、グリーンシート塗工から長期間経過した場合でも優れた易剥離性を安定的に実現できる等、高い実用的価値を有する技術的効果を従来技術の限界を超えた高いレベルで実現するものであり、各種セラミック製品の製造に好適に使用することができる。例えば、積層セラミックコンデンサや多層セラミック基板等の各種セラミック製品の生産性を大幅に向上し、これらの製造において、特に好適に使用することができる。 The release film for producing ceramic green sheets of the present invention allows for easy release of the ceramic green sheets formed thereon, exhibits minimal change in releasability over time, and consistently achieves excellent releasability even long periods after the green sheet is applied. This achieves technical effects of great practical value at a high level that surpasses the limitations of conventional technology, making it suitable for use in the production of various ceramic products. For example, it significantly improves the productivity of various ceramic products such as multilayer ceramic capacitors and multilayer ceramic substrates, making it particularly suitable for use in their production.

セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの一実施形態を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing one embodiment of a release film for producing a ceramic green sheet.

本発明は、基材と、前記基材の少なくとも一方に設けられた剥離剤層とを有するセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムであって、
前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面のブロモナフタレン接触角BCAと、
前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面に下記組成のセラミックスラリーを塗工および乾燥し、23±2℃×50±5%RHの恒温恒湿環境下で1週間保管後に剥離した後のブロモナフタレン接触角BCAとの差、δBCA=BCA-BCA、が-1.5°から1.0°の範囲内である、上記セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムである。
ここで、上記セラミックスラリーは、
a)チタン酸バリウム粒子45質量%、
b)ポリビニルブチラール3.6質量%、
c)フタル酸ジブチル0.9質量%、
d)トルエン25質量%、及び
e)エタノール25質量%を含有する、セラミックスラリーである。
すなわち、本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムは、基材と剥離剤層とを有する。本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムは、基材と剥離剤層とを有していればよく、それ以外の層を有していても、有していなくともよい。したがって、本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムは、図1に示す様に、基材(13)及び剥離剤層(12)のみからなっていてもよく、基材及び剥離剤層に加えて、帯電防止層、等のそれ以外の層を有していてもよい。
以下、上記各層について説明する。
The present invention provides a release film for producing a ceramic green sheet, comprising a substrate and a release agent layer provided on at least one side of the substrate,
a bromonaphthalene contact angle BCA of 1 on the surface of the release agent layer opposite to the substrate;
The release film for producing a ceramic green sheet is prepared by coating and drying a ceramic slurry having the following composition on the surface of the release agent layer opposite the substrate, storing the slurry in a constant temperature and humidity environment of 23±2°C x 50±5% RH for one week, and then peeling the release agent. The difference in the contact angle between the release agent layer and bromonaphthalene BCA 2 , δBCA = BCA 2 - BCA 1 , is within the range of -1.5° to 1.0°.
Here, the ceramic slurry is
a) 45% by weight of barium titanate particles,
b) 3.6% by weight of polyvinyl butyral,
c) 0.9% by weight of dibutyl phthalate,
d) 25% by weight of toluene, and e) 25% by weight of ethanol.
That is, the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention has a substrate and a release agent layer. The release film for producing a ceramic green sheet of the present invention only needs to have a substrate and a release agent layer, and may or may not have other layers. Therefore, as shown in Figure 1, the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention may consist only of a substrate (13) and a release agent layer (12), or may have other layers such as an antistatic layer in addition to the substrate and the release agent layer.
Each of the above layers will now be described.

基材
本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムを構成する基材には特に制限はなく、従来当該技術分野における基材として公知のものの中から任意のものを適宜選択して用いることができる。このような基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリプロピレンやポリメチルペンテン等のポリオレフィン、ポリカーボネート、エチレン-酢酸ビニル共重合体などのプラスチックからなるフィルムが挙げられ、単層であってもよいし、同種又は異種の2層以上の多層であってもよい。これらの中でもポリエステルフィルムが好ましく、特にポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましく、さらには二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。ポリエチレンテレフタレートフィルムは、加工時、使用時等において、埃等が発生しにくいため、例えば、埃等によるセラミックスラリー塗工不良等を効果的に防止することができる。
Substrate: The substrate constituting the release film for producing ceramic green sheets of the present invention is not particularly limited, and any substrate known in the art can be appropriately selected and used. Examples of such substrates include films made of plastics such as polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, polyolefins such as polypropylene and polymethylpentene, polycarbonate, and ethylene-vinyl acetate copolymers. These may be single-layer or multi-layers of two or more layers of the same or different materials. Among these, polyester films are preferred, with polyethylene terephthalate films being particularly preferred, and biaxially oriented polyethylene terephthalate films being even more preferred. Polyethylene terephthalate films are less likely to generate dust during processing and use, effectively preventing, for example, ceramic slurry coating defects due to dust.

また、この基材においては、その少なくとも一方の面に設けられる剥離剤層との密着性を向上させる目的で、酸化法などによる表面処理、あるいはプライマー処理を施すことができる。上記酸化法としては、例えばコロナ放電処理、プラズマ放電処理、クロム酸化処理(湿式)、火炎処理、熱風処理、オゾン、紫外線照射処理などが挙げられ、これらの表面処理法は、基材フィルムの種類に応じて適宜選ばれるが、一般にコロナ放電処理法が効果および操作性の面から好ましく用いられる。
基材の厚さには特に制限は無く、機械的強度や製造及び使用における取り扱いの容易さ等から適宜厚さを設定すればよいが、通常10から300μmであり、好ましくは12から200μmであり、特に好ましくは15から125μmである。
Furthermore, in order to improve adhesion to a release agent layer provided on at least one surface of the substrate, the substrate may be subjected to a surface treatment such as an oxidation method or a primer treatment. Examples of the oxidation method include corona discharge treatment, plasma discharge treatment, chromium oxidation treatment (wet), flame treatment, hot air treatment, ozone treatment, and ultraviolet irradiation treatment. These surface treatment methods are appropriately selected depending on the type of substrate film, but corona discharge treatment is generally preferred in terms of effectiveness and operability.
There are no particular restrictions on the thickness of the substrate, and the thickness may be set appropriately based on factors such as mechanical strength and ease of handling during production and use. The thickness is usually 10 to 300 μm, preferably 12 to 200 μm, and particularly preferably 15 to 125 μm.

基材の剥離剤層側の表面の算術平均粗さ(Ra)は0.1から70nmであることが好ましく、1から60nmであることが好ましい。
基材の剥離剤層側の表面の算術平均粗さ(Ra)が0.1から70nmであると、基材のハンドリング、導通不良抑制等の点で好ましい。また、表面の算術平均粗さ(Ra)が1から70nmである基材は比較的容易かつ安価に入手可能なので、本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの入手容易性や製造コストの観点からも好ましい。
The arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the substrate on the release agent layer side is preferably 0.1 to 70 nm, and more preferably 1 to 60 nm.
The arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the substrate on the release agent layer side is preferably 0.1 to 70 nm in terms of handling of the substrate, suppression of poor conduction, etc. Furthermore, substrates having a surface arithmetic mean roughness (Ra) of 1 to 70 nm are relatively easy and inexpensive to obtain, and are therefore preferred in terms of the availability and production costs of the release film for producing the ceramic green sheet of the present invention.

基材の剥離剤層側と反対側の表面の算術平均粗さ(Ra)は、5から70nmであることが好ましく、10から60nmであることが特に好ましい。
基材の剥離剤層側と反対側の表面の算術平均粗さ(Ra)が上記下限値以上であることで、本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの巻き取り時等におけるブロッキングを効果的に抑制することができるともに、上記上限値以下であることで、剥離剤層の表面を平滑にすることが容易になる。
The arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the substrate opposite to the release agent layer side is preferably from 5 to 70 nm, particularly preferably from 10 to 60 nm.
When the arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the substrate opposite to the release agent layer side is equal to or greater than the above lower limit, blocking can be effectively suppressed during winding of the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention, and when it is equal to or less than the above upper limit, it becomes easier to smooth the surface of the release agent layer.

剥離剤層
本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムを構成する剥離剤層の材質には特に制限はなく、剥離剤層の基材とは反対側の面のブロモナフタレン接触角BCAと、前記基材とは反対側の面に上述の特定の組成のセラミックスラリーを塗工および乾燥し、23±2℃×50±5%RHの恒温恒湿環境下で1週間保管後に剥離した後のブロモナフタレン接触角BCAとの差、δBCA=BCA-BCA、が-1.5°から1.0°の範囲内である、という条件を満たす限りにおいて、任意の材料を使用することができる。
セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの製造上の容易性や、ブロモナフタレン接触角、水接触角等を適宜制御する観点からは、硬化性組成物を基材上に塗工して硬化させることにより剥離剤層を形成することが好ましく、光硬化性及び/又は熱硬化性の硬化性組成物を塗工して硬化させることにより剥離剤層を形成することが特に好ましい。すなわち、本発明中の剥離剤層は、硬化性組成物の硬化物を含有することが好ましい。
Release Agent Layer There are no particular restrictions on the material of the release agent layer that constitutes the release film for producing ceramic green sheets of the present invention, and any material can be used as long as the following condition is met: the difference between the bromonaphthalene contact angle BCA 1 on the surface of the release agent layer opposite the substrate and the bromonaphthalene contact angle BCA 2 after a ceramic slurry of the specific composition described above is applied to the surface opposite the substrate, dried, stored in a constant temperature and humidity environment of 23±2°C x 50±5% RH for one week, and then peeled off, i.e., δBCA = BCA 2 - BCA 1 , is within the range of -1.5° to 1.0°.
From the viewpoint of ease of production of the release film for producing a ceramic green sheet and appropriate control of the bromonaphthalene contact angle, water contact angle, etc., it is preferable to form the release agent layer by coating a curable composition on a substrate and curing it, and it is particularly preferable to form the release agent layer by coating a photocurable and/or thermosetting curable composition and curing it. That is, it is preferable that the release agent layer in the present invention contains a cured product of the curable composition.

硬化性組成物
本発明において剥離剤層の形成に好ましく用いられる硬化性組成物は、(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基を有する反応性化合物(a)を少なくとも1種含有することが好ましい。
(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基を有する反応性化合物(a)を少なくとも1種含有する硬化性組成物を用いることで、容易に、かつ表面自由エネルギー等の制御性良く、本実施形態のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの剥離剤層を形成することができる。
Curable Composition The curable composition preferably used in the present invention for forming the release agent layer preferably contains at least one reactive compound (a) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group.
By using a curable composition containing at least one reactive compound (a) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group, the release agent layer of the release film for producing a ceramic green sheet of this embodiment can be formed easily and with good controllability of the surface free energy, etc.

上記硬化性組成物は、(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基を有する反応性化合物(a)を1種類のみ含有していてもよく、2種類以上の(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基を有する反応性化合物(a)を含有していてもよい。剥離剤層の硬化性、剥離性、表面自由エネルギー等の各種特性を制御する観点からは、2種類以上の反応性化合物(a)を組み合わせて使用することが好ましく、特に後述の反応性シリコーン(a1)と架橋性化合物(a2)とを組み合わせて使用することが好ましく、更に後述の膜形成性化合物(a3)を組み合わせることが好ましい。The curable composition may contain only one reactive compound (a) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group, or may contain two or more reactive compounds (a) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group. From the perspective of controlling various properties of the release agent layer, such as curability, releasability, and surface free energy, it is preferable to use a combination of two or more reactive compounds (a). It is particularly preferable to use a combination of the reactive silicone (a1) and the crosslinkable compound (a2) described below, and it is further preferable to combine them with the film-forming compound (a3) described below.

上記硬化性組成物は、(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基を有する反応性化合物(a)のみで構成されていてもよく、溶剤、ラジカル開始剤、カチオン開始剤、レベリング剤、帯電防止剤、染料、顔料等の、それ以外の成分を含有してもよい。
(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基を有する反応性化合物(a)の使用量は、合計で、剥離剤層の質量の50質量%以上であることが好ましく、60から96質量%であることが特に好ましい。
The curable composition may be composed only of a reactive compound (a) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group, or may contain other components such as a solvent, a radical initiator, a cationic initiator, a leveling agent, an antistatic agent, a dye, or a pigment.
The total amount of reactive compound (a) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group used is preferably 50% by mass or more, particularly preferably 60 to 96% by mass, of the mass of the release agent layer.

反応性化合物(a)
本発明中の剥離剤層の形成に好ましく用いられる反応性化合物(a)は、(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基を有する。(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基を有することで、硬化性組成物に光硬化性及び/又は熱硬化性を付与することができる。
Reactive Compound (a)
The reactive compound (a) preferably used for forming the release agent layer in the present invention has at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group. By having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group, it is possible to impart photocurability and/or thermocurability to the curable composition.

反応性化合物(a)は1以上の反応性官能基を有していればよいが、光硬化性及び/又は熱硬化性の観点からは、2以上の反応性官能基を有することが好ましく、2から15個の反応性官能基を有することがより好ましく、2から10個の反応性官能基を有することが特に好ましい。反応性化合物(a)が2以上の反応性官能基を有する場合、同種の反応性官能基を2以上有していてもよく、異種の反応性官能基の組み合わせを合計で2以上有していてもよい。
反応性化合物(a)は、硬化性等の観点からは活性エネルギー線を用いる場合には(メタ)アクリロイル基を有することが好ましく、熱硬化を併用する場合には水酸基あるいはエポキシ基を含有する材料を適宜選択することが出来る。
The reactive compound (a) may have one or more reactive functional groups, but from the viewpoint of photocurability and/or thermosetting property, it preferably has two or more reactive functional groups, more preferably has 2 to 15 reactive functional groups, and particularly preferably has 2 to 10 reactive functional groups. When the reactive compound (a) has two or more reactive functional groups, it may have two or more of the same type of reactive functional groups, or it may have a combination of two or more different types of reactive functional groups in total.
From the viewpoint of curability, etc., the reactive compound (a) preferably has a (meth)acryloyl group when active energy rays are used, and when heat curing is also used, a material containing a hydroxyl group or an epoxy group can be appropriately selected.

反応性化合物(a)の好ましい例として、(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基、並びにシロキサン骨格を有する反応性シリコーン(a1)、該反応性シリコーン(a1)と同じ反応性官能基を有し、且つ反応性官能基当量が2000g/mol以下である反応性化合物(a2)、及び1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する膜形成性化合物(a3)を挙げることができる。
硬化性組成物においては、反応性シリコーン(a1)及び反応性化合物(a2)を組み合わせて使用することが好ましく、更に膜形成性化合物(a3)を組み合わせて使用することが好ましい。
Preferred examples of the reactive compound (a) include a reactive silicone (a1) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group, and a siloxane skeleton; a reactive compound (a2) having the same reactive functional group as the reactive silicone (a1) and having a reactive functional group equivalent of 2000 g/mol or less; and a film-forming compound (a3) having two or more (meth)acryloyl groups in one molecule.
In the curable composition, it is preferable to use a combination of the reactive silicone (a1) and the reactive compound (a2), and it is also preferable to use a combination of the film-forming compound (a3).

反応性シリコーン(a1)
上記硬化性組成物は、反応性化合物(a)として(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基、並びにシロキサン骨格を有する反応性シリコーン(a1)を含有することが好ましい。
反応性シリコーン(a1)を使用することで、剥離剤層の表面に所望の剥離性を付与し、セラミックグリーンシートの剥離を一層容易にすることができる。また、ブロモナフタレン接触角、水接触角等を適宜制御することもできる。
反応性シリコーン(a1)は、(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基を有し、かつシロキサン骨格を有していればよく、それ以外の制限は課されない。
(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基を有することで、活性エネルギー線の照射により、または別途の反応工程(例えば加熱工程)により、反応性官能基が反応して、シロキサン骨格が架橋構造に組み込まれ、固定されることとなる。これにより、剥離剤層の剥離性、ブロモナフタレン接触角、水接触角等を一層効果的に制御することができる。
反応性官能基としては、エポキシ基が特に好ましい。
Reactive silicone (a1)
The curable composition preferably contains, as the reactive compound (a), at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group, and a reactive silicone (a1) having a siloxane skeleton.
The use of the reactive silicone (a1) can impart desired releasability to the surface of the release agent layer, making it easier to release the ceramic green sheet. It can also appropriately control the bromonaphthalene contact angle, water contact angle, etc.
The reactive silicone (a1) is not limited as long as it has at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group, and has a siloxane skeleton.
By containing at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group, the reactive functional group reacts with the siloxane skeleton to incorporate it into a crosslinked structure and fix it by irradiation with active energy rays or by a separate reaction step (for example, a heating step), which makes it possible to more effectively control the releasability, bromonaphthalene contact angle, water contact angle, etc. of the release agent layer.
As the reactive functional group, an epoxy group is particularly preferred.

反応性官能基は、シロキサン骨格の片末端に導入されていてもよいし、両末端に導入されていてもよいし、側鎖に導入されていてもよい。(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基は、反応性シリコーン(a1)1分子中に2以上導入されていることが好ましい。2以上の反応性官能基を有する場合には、同種の反応性官能基を2以上有していてもよく、異なる反応性官能基の組み合わせを合計で2以上有していてもよい。
(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる反応性官能基に加えて、ビニル基、マレイミド基、カルボキシル基、イソシアネート基等を更に有していてもよい。
The reactive functional group may be introduced into one end of the siloxane skeleton, may be introduced into both ends, or may be introduced into a side chain. At least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group is preferably introduced into one molecule of the reactive silicone (a1) in an amount of two or more. When two or more reactive functional groups are present, they may have two or more of the same type of reactive functional groups, or may have a combination of two or more different reactive functional groups in total.
In addition to the reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group, the compound may further have a vinyl group, a maleimide group, a carboxyl group, an isocyanate group, or the like.

反応性シリコーン(a1)の分子量には特に制限は無いが、適切な剥離性とブロモナフタレン接触角、水接触角等の制御性等との観点から、5,000から100,000であることが好ましく、10,000から70,000であることが特に好ましい。 There are no particular restrictions on the molecular weight of reactive silicone (a1), but from the standpoint of appropriate release properties and controllability of bromonaphthalene contact angle, water contact angle, etc., it is preferable that it be between 5,000 and 100,000, and particularly preferable that it be between 10,000 and 70,000.

上記硬化性組成物において、反応性シリコーン(a1)は1種を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
上記硬化性組成物における反応性シリコーン(a1)の含有量には特に制限は無いが、剥離剤層の全質量を基準として、0.1から20質量%であることが好ましく、0.2から15質量%であることが特に好ましい。
In the curable composition, the reactive silicone (a1) may be used alone or in combination of two or more.
The content of the reactive silicone (a1) in the curable composition is not particularly limited, but is preferably 0.1 to 20 mass %, and particularly preferably 0.2 to 15 mass %, based on the total mass of the release agent layer.

反応性化合物(a2)(架橋性化合物(a2))
上記硬化性組成物は、反応性化合物(a)として、上記反応性シリコーン(a1)と同じ反応性官能基を有し、且つ反応性官能基当量が2000g/mol以下である反応性化合物(a2)を含有することが好ましい。反応性化合物(a2)を反応性シリコーン(a1)との組み合わせにおいて使用することが特に好ましい。
反応性化合物(a2)は反応性シリコーン(a1)等に対する架橋剤として機能し、硬化性組成物の効果を促進し、反応性シリコーン(a1)等を架橋構造に組み込み固定することができる。これにより、セラミックグリーンシートの汚染防止、架橋構造による硬化性促進の影響で経時安定性能等が一層優れたものとなる。架橋剤としての機能に鑑み、本明細書では反応性化合物(a2)を「架橋性化合物(a2)」とも呼ぶ。
Reactive compound (a2) (crosslinkable compound (a2))
The curable composition preferably contains, as the reactive compound (a), a reactive compound (a2) having the same reactive functional group as the reactive silicone (a1) and having a reactive functional group equivalent weight of 2000 g/mol or less. It is particularly preferred to use the reactive compound (a2) in combination with the reactive silicone (a1).
The reactive compound (a2) functions as a crosslinking agent for the reactive silicone (a1) and the like, promoting the effects of the curable composition and allowing the reactive silicone (a1) and the like to be incorporated and fixed into the crosslinked structure. This prevents contamination of the ceramic green sheet, and the crosslinked structure promotes curing, resulting in even better stability over time. In light of its function as a crosslinking agent, the reactive compound (a2) is also referred to herein as the "crosslinkable compound (a2)."

反応性化合物(a2)の反応性官能基当量は2000g/mol以下であり、1800g/mol以下であることが好ましく、1700g/mol以下であることが特に好ましい。
反応性官能基当量は2000g/mol以下であることにより、適切な架橋性能を実現するのに十分な数の(メタ)アクリロイル基、水酸基、及び/又はエポキシ基を有することになる。
反応性化合物(a2)は、反応性官能基((メタ)アクリロイル基、水酸基、及び/又はエポキシ基)を合計で1以上有することが好ましく、2から15個有することが好ましく、2から6個有することが特に好ましい。反応性官能基の数が上記範囲内にあることで、一層適切な架橋性能を実現することができる。
The reactive functional group equivalent weight of the reactive compound (a2) is 2000 g/mol or less, preferably 1800 g/mol or less, particularly preferably 1700 g/mol or less.
By having a reactive functional group equivalent weight of 2000 g/mol or less, the polymer has a sufficient number of (meth)acryloyl groups, hydroxyl groups, and/or epoxy groups to achieve suitable crosslinking performance.
The reactive compound (a2) preferably has a total of one or more reactive functional groups ((meth)acryloyl groups, hydroxyl groups, and/or epoxy groups), preferably 2 to 15, particularly preferably 2 to 6. When the number of reactive functional groups is within the above range, more appropriate crosslinking performance can be achieved.

架橋性化合物(a2)の分子量には特に制限は無いが、架橋性能等の観点から、150から4000であることが好ましく、150から3000であることが特に好ましい。
架橋性化合物(a2)はシロキサン骨格を有していてもよく、この場合反応性シリコーン(a1)のシロキサン骨格とともに、剥離剤層に十分なシロキサン骨格を導入することで、一層好ましい剥離性能を実現することができる。
There are no particular restrictions on the molecular weight of the crosslinkable compound (a2), but from the viewpoint of crosslinking performance, it is preferably from 150 to 4,000, and particularly preferably from 150 to 3,000.
The crosslinkable compound (a2) may have a siloxane skeleton. In this case, by introducing a sufficient amount of siloxane skeleton into the release agent layer together with the siloxane skeleton of the reactive silicone (a1), it is possible to achieve even more preferable release performance.

上記硬化性組成物において、架橋性化合物(a2)は1種を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
上記硬化性組成物における架橋性化合物(a2)の含有量には特に制限は無いが、剥離剤層の全質量を基準として、0.08から99質量%であることが好ましく、0.4から50質量%であることがより好ましく、0.7から30質量%であることがさらに好ましく、1.0から15質量%であることが特に好ましい。また、反応性シリコーン(a1)の使用量を基準とした場合、反応性シリコーン(a1)100質量部に対して、81から9900質量部使用することが好ましく、85から1000質量部使用することが特に好ましい。
In the curable composition, the crosslinkable compound (a2) may be used alone or in combination of two or more.
The content of the crosslinkable compound (a2) in the curable composition is not particularly limited, but is preferably 0.08 to 99 mass%, more preferably 0.4 to 50 mass%, even more preferably 0.7 to 30 mass%, and particularly preferably 1.0 to 15 mass%, based on the total mass of the release agent layer. Furthermore, based on the amount of reactive silicone (a1) used, the crosslinkable compound (a2) is preferably used in an amount of 81 to 9,900 mass parts, particularly preferably 85 to 1,000 mass parts, based on 100 mass parts of reactive silicone (a1).

上記硬化性組成物における反応性化合物(a)として、膜形成性能に優れる化合物を使用することも好ましい。膜形成性能に優れる化合物としては、(メタ)アクリロイル基を有する化合物、水酸基を有する化合物のいずれであってもよいが、1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する膜形成性化合物(a3)を使用することが好ましい。
膜形成性化合物(a3)
上記硬化性組成物は、反応性化合物(a)として、1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する膜形成性化合物(a3)を含有することが好ましい。
1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する膜形成性化合物(a3)を含有することで、硬化性組成物を活性エネルギー線の照射によって硬化させることができる。
膜形成性化合物(a3)は、モノマー、オリゴマーまたはポリマーのいずれであってもよいし、それらの混合物であってもよい。膜形成性化合物(a3)は、(メタ)アクリル酸エステルであることが好ましい。ここで、(メタ)アクリル酸エステルとは、アクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステルの両方を意味する。他の類似用語も同様である。
It is also preferable to use a compound having excellent film-forming properties as the reactive compound (a) in the curable composition. The compound having excellent film-forming properties may be either a compound having a (meth)acryloyl group or a compound having a hydroxyl group, but it is preferable to use a film-forming compound (a3) having two or more (meth)acryloyl groups in one molecule.
Film-forming compound (a3)
The curable composition preferably contains, as the reactive compound (a), a film-forming compound (a3) having two or more (meth)acryloyl groups in one molecule.
By including the film-forming compound (a3) having two or more (meth)acryloyl groups in one molecule, the curable composition can be cured by irradiation with active energy rays.
The film-forming compound (a3) may be any one of a monomer, an oligomer, or a polymer, or a mixture thereof. The film-forming compound (a3) is preferably a (meth)acrylic acid ester. Here, the term "(meth)acrylic acid ester" refers to both an acrylic acid ester and a methacrylic acid ester. The same applies to other similar terms.

(メタ)アクリル酸エステルとしては、多官能の(メタ)アクリレートモノマーおよび(メタ)アクリレートオリゴマーから選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、特に、二官能以上の(メタ)アクリレートモノマーおよび(メタ)アクリレートオリゴマーから選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、さらには、三官能以上の(メタ)アクリレートモノマーであることが好ましい。二官能以上、更に好ましくは三官能以上であることで、硬化性組成物の硬化性が優れたものとなり、また、得られる剥離剤層の表面の剥離性もより優れたものとなる。The (meth)acrylic acid ester is preferably at least one selected from polyfunctional (meth)acrylate monomers and (meth)acrylate oligomers, particularly at least one selected from difunctional or higher functional (meth)acrylate monomers and (meth)acrylate oligomers, and even more preferably a trifunctional or higher functional (meth)acrylate monomer. Being difunctional or higher, and more preferably trifunctional or higher, results in excellent curability of the curable composition and also in excellent releasability of the surface of the resulting release agent layer.

膜形成性化合物(a3)の(メタ)アクリロイル基当量には特に制限は無く、本発明のδBCAの条件を満たすことができる限りにおいて、広範な範囲の(メタ)アクリロイル基当量を有する膜形成性化合物(a3)を使用することができる。
一層優れた剥離性、ブロモナフタレン接触角、水接触角等の制御性等を実現する等の観点からは、膜形成性化合物(a3)のは、300g/mol以下であることが特に好ましく、260g/mol以下であることがとりわけ好ましい。
There are no particular restrictions on the (meth)acryloyl group equivalent of the film-forming compound (a3), and film-forming compounds (a3) having a wide range of (meth)acryloyl group equivalents can be used as long as the δBCA requirement of the present invention is satisfied.
From the viewpoint of realizing even better peelability and controllability of the bromonaphthalene contact angle, water contact angle, etc., the molecular weight of the film-forming compound (a3) is particularly preferably 300 g/mol or less, and particularly preferably 260 g/mol or less.

多官能(メタ)アクリレートモノマーとしては、例えば、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジシクロペンテニルジ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド変性リン酸ジ(メタ)アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス((メタ)アクリロキシエチル)イソシアヌレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
これらは単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Examples of polyfunctional (meth)acrylate monomers include 1,4-butanediol di(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, polyethylene glycol di(meth)acrylate, neopentyl glycol adipate di(meth)acrylate, hydroxypivalic acid neopentyl glycol di(meth)acrylate, dicyclopentanyl di(meth)acrylate, caprolactone-modified dicyclopentenyl di(meth)acrylate, ethylene oxide-modified phosphate di(meth)acrylate, allylated cyclohexyl di(meth)acrylate, and isocyanurate di(meth)acrylate. acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, dipentaerythritol tri(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, propionic acid-modified dipentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, propylene oxide-modified trimethylolpropane tri(meth)acrylate, tris((meth)acryloxyethyl)isocyanurate, propionic acid-modified dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, and caprolactone-modified dipentaerythritol hexa(meth)acrylate.
These may be used alone or in combination of two or more.

多官能(メタ)アクリレートオリゴマーとしては、例えば、ポリエステルアクリレート系オリゴマー、エポキシアクリレート系オリゴマー、ウレタンアクリレート系オリゴマー、ポリエーテルアクリレート系オリゴマー、ポリブタジエンアクリレート系オリゴマー、シリコーンアクリレート系オリゴマー等が挙げられる。 Examples of polyfunctional (meth)acrylate oligomers include polyester acrylate oligomers, epoxy acrylate oligomers, urethane acrylate oligomers, polyether acrylate oligomers, polybutadiene acrylate oligomers, and silicone acrylate oligomers.

ポリエステルアクリレート系オリゴマーは、例えば、多価カルボン酸と多価アルコールの縮合によって得られる両末端に水酸基を有するポリエステルオリゴマーの水酸基を(メタ)アクリル酸でエステル化することにより、あるいは、多価カルボン酸にアルキレンオキシドを付加して得られるオリゴマーの末端の水酸基を(メタ)アクリル酸でエステル化することにより得ることができる。 Polyester acrylate oligomers can be obtained, for example, by esterifying the hydroxyl groups of a polyester oligomer having hydroxyl groups at both ends, obtained by condensation of a polycarboxylic acid and a polyhydric alcohol, with (meth)acrylic acid, or by esterifying the terminal hydroxyl groups of an oligomer obtained by adding an alkylene oxide to a polycarboxylic acid with (meth)acrylic acid.

エポキシアクリレート系オリゴマーは、例えば、比較的低分子量のビスフェノール型エポキシ樹脂やノボラック型エポキシ樹脂のオキシラン環に、(メタ)アクリル酸を反応しエステル化することにより得ることができる。また、エポキシアクリレート系オリゴマーを部分的に二塩基性カルボン酸無水物で変性したカルボキシル変性型のエポキシアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。 Epoxy acrylate oligomers can be obtained, for example, by reacting (meth)acrylic acid with the oxirane ring of a relatively low molecular weight bisphenol epoxy resin or novolac epoxy resin to esterify it. It is also possible to use carboxyl-modified epoxy acrylate oligomers, which are epoxy acrylate oligomers partially modified with dibasic carboxylic acid anhydrides.

ウレタンアクリレート系オリゴマーは、例えば、ポリエーテルポリオールやポリエステルポリオールとポリイソシアナートの反応によって得られるポリウレタンオリゴマーを、(メタ)アクリル酸でエステル化することにより得ることができる。 Urethane acrylate oligomers can be obtained, for example, by esterifying polyurethane oligomers obtained by reacting polyether polyols or polyester polyols with polyisocyanates with (meth)acrylic acid.

ポリエーテルアクリレート系オリゴマーは、ポリエーテルポリオールの水酸基を(メタ)アクリル酸でエステル化することにより得ることができる。 Polyether acrylate oligomers can be obtained by esterifying the hydroxyl groups of polyether polyol with (meth)acrylic acid.

上記硬化性組成物において、膜形成性化合物(a3)は1種を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
上記硬化性組成物における膜形成性化合物(a3)の含有量には特に制限は無いが、剥離剤層の全質量を基準として、50から90質量%であることが好ましく、60から85質量%であることが特に好ましい。
In the curable composition, the film-forming compound (a3) may be used alone or in combination of two or more.
The content of the film-forming compound (a3) in the curable composition is not particularly limited, but is preferably 50 to 90 mass %, and particularly preferably 60 to 85 mass %, based on the total mass of the release agent layer.

剥離剤層は、基材の少なくとも一方の面に剥離剤層の原料、好ましくは上記の硬化性組成物を塗工した後、必要に応じて乾燥し、光等の活性エネルギー線の照射により硬化させることで形成することができる。反応性化合物(a)の反応性官能基が熱により反応するものである場合には、このときの乾燥により反応を起こさせ、好ましくはシロキサン骨格を有する反応性化合物(a)を架橋構造に組み込むことができる。硬化性組成物の塗工方法には特に制限は無く、例えば、グラビアコート法、バーコート法、スプレーコート法、スピンコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ダイコート法等が使用できる。The release agent layer can be formed by applying a release agent layer raw material, preferably the curable composition described above, to at least one surface of the substrate, followed by drying as necessary and curing by irradiation with active energy rays such as light. If the reactive functional group of the reactive compound (a) is one that reacts with heat, the drying process causes a reaction, preferably incorporating the reactive compound (a) having a siloxane skeleton into a crosslinked structure. There are no particular limitations on the method for applying the curable composition; for example, gravure coating, bar coating, spray coating, spin coating, knife coating, roll coating, die coating, etc. can be used.

活性エネルギー線としては、通常、紫外線、電子線等が用いられる。活性エネルギー線の照射量は、エネルギー線の種類によって異なるが、例えば紫外線の場合には、光量で10から1000mJ/cmが好ましく、特に20から500mJ/cmが好ましい。また、電子線の場合には、0.1から50kGy程度が好ましい。 As the active energy ray, ultraviolet rays, electron beams, etc. are usually used. The irradiation dose of the active energy ray varies depending on the type of energy ray, but for example, in the case of ultraviolet rays, the light dose is preferably 10 to 1000 mJ/ cm2 , and particularly preferably 20 to 500 mJ/ cm2 . In addition, in the case of electron beams, the dose is preferably about 0.1 to 50 kGy.

本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムにおいては、剥離剤層の基材とは反対側の面のブロモナフタレン接触角BCAと、剥離剤層の前記基材とは反対側の面に特定組成のセラミックスラリー(a)チタン酸バリウム粒子45質量%、b)ポリビニルブチラール3.6質量%、c)フタル酸ジブチル0.9質量%、d)トルエン25質量%、及びe)エタノール25質量%を含有する、セラミックスラリー)を塗工および乾燥し、23±2℃×50±5%RHの恒温恒湿環境下で1週間保管後に剥離した後のブロモナフタレン接触角BCAとの差、δBCA=BCA-BCAは、-1.5°から1.0°の範囲内である。
δBCAが-1.5°から1.0°の範囲内であることで、他の本発明の技術的特徴とも相俟って、本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムは、その上の形成したセラミックグリーンシートの剥離が容易であるとともに、剥離性の経時変化が小さく、グリーンシート塗工から長期間経過した場合でも優れた易剥離性を安定的に実現できる等、高い実用的価値を有する技術的効果を従来技術の限界を超えた高いレベルで実現することができる。
δBCAが-1.5°から1.0°の範囲内であることで、優れたセラミックグリーンシートの易剥離性と、その経時変化の抑制とが実現できるメカニズムは必ずしも明らかではないが、剥離剤層の硬化性が、セラミックグリーンシート界面での相互作用に影響を及ぼし、その結果剥離剤成分の移行やグリーンシート成分の転写を抑制され易剥離性及びその経時変化の抑制に最適な表面状態に対応するブロモナフタレンの接触角変化量δBCAの範囲が存在し、具体的な数値としては、ブロモナフタレンの接触角変化量δBCAが-1.5°から1.0°の範囲となると推定される。
In the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention, the difference between the bromonaphthalene contact angle BCA 1 on the surface of the release agent layer opposite the substrate and the bromonaphthalene contact angle BCA 2 after a ceramic slurry of a specific composition (a) containing 45% by mass of barium titanate particles, b) 3.6% by mass of polyvinyl butyral, c) 0.9% by mass of dibutyl phthalate, d) 25% by mass of toluene, and e) 25% by mass of ethanol is applied to the surface of the release agent layer opposite the substrate, dried, stored for one week in a constant temperature and humidity environment of 23±2°C x 50±5% RH, and then peeled off, δBCA = BCA 2 - BCA 1 , which is within the range of -1.5° to 1.0°.
By having a δBCA in the range of -1.5° to 1.0°, in combination with other technical features of the present invention, the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention allows easy release of the ceramic green sheet formed thereon, and exhibits little change in releasability over time, so that excellent easy releasability can be stably achieved even long periods after the green sheet is coated. This allows for the realization of technical effects with high practical value at a high level that exceeds the limits of conventional technology.
The mechanism by which excellent ceramic green sheet ease of releasability and suppression of deterioration over time can be achieved by having a δBCA within the range of -1.5° to 1.0° is not entirely clear, but it is estimated that there is a range of the contact angle change δBCA of bromonaphthalene that corresponds to an optimum surface state for easy releasability and suppression of deterioration over time, in which the hardness of the release agent layer affects the interaction at the interface of the ceramic green sheet, and as a result, migration of release agent components and transfer of green sheet components are suppressed, and specifically, the contact angle change δBCA of bromonaphthalene is within the range of -1.5° to 1.0°.

セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの、剥離剤層の基材とは反対側の面のブロモナフタレン接触角BCA及びBCAは、当該技術分野において従来公知の方法で測定することができ、例えば自動接触角計等により測定することができる。より具体的には、本願明細書の実施例に記載の方法により測定することができる。
ブロモナフタレン接触角BCA及びBCAの測定の間のセラミックスラリーを塗工し、乾燥し、剥離する際の条件は、通常、セラミックスラリー塗工量が乾燥前で厚み50μm、乾燥の条件が70℃、2分であり、剥離角度が180°である。セラミックスラリーの組成は、上記にて説明したとおりである。
ブロモナフタレン接触角の変化量δBCAは、上記にて測定したBCA及びBCAから、式δBCA=BCA-BCAに従って計算することができる。
The bromonaphthalene contact angles BCA 1 and BCA 2 of the surface of the release agent layer opposite the substrate of the release film for producing a ceramic green sheet can be measured by a method conventionally known in the art, for example, by an automatic contact angle meter, etc. More specifically, they can be measured by the method described in the examples of the present specification.
The conditions for coating, drying, and peeling the ceramic slurry between the measurements of the bromonaphthalene contact angles BCA 1 and BCA 2 are typically as follows: the ceramic slurry coating thickness before drying is 50 μm, the drying conditions are 70° C. and 2 minutes, and the peel angle is 180°. The composition of the ceramic slurry is as described above.
The change in the bromonaphthalene contact angle, δBCA, can be calculated from the BCA 1 and BCA 2 measured above according to the formula δBCA=BCA 2 −BCA 1 .

セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの、剥離剤層の基材とは反対側の面のブロモナフタレン接触角の変化量δBCAは、-1.2°から0.8°であることが好ましく、-1.0°から0.6°であることがさらに好ましく、-0.8°から0.5°であることが特に好ましい。
剥離剤層の基材とは反対側の面の初期のブロモナフタレン接触角BCAには特に制限は無いが、グリーンシートの剥離を容易にするとともに、δBCAの値を所定範囲内とすることを容易にする、等の観点から、55°から85°であることが好ましく、60°から80°であることが特に好ましい。
In the release film for producing a ceramic green sheet, the change in bromonaphthalene contact angle δBCA of the surface of the release agent layer opposite the substrate is preferably −1.2° to 0.8°, more preferably −1.0° to 0.6°, and particularly preferably −0.8° to 0.5°.
There are no particular restrictions on the initial bromonaphthalene contact angle BCA1 on the surface of the release agent layer opposite the substrate, but from the viewpoints of facilitating the release of the green sheet and facilitating the setting of the δBCA value within a predetermined range, it is preferably 55° to 85°, and particularly preferably 60° to 80°.

剥離剤層の基材とは反対側の面の初期ブロモナフタレン接触角BCA、特定組成のセラミックスラリーを塗工および乾燥し、23±2℃×50±5%RHの恒温恒湿環境下で1週間保管後に剥離した後のブロモナフタレン接触角BCA、及びのブロモナフタレン接触角の変化量δBCAは、剥離剤層を構成する材料の種類及び使用量や、剥離剤層の塗工量や、乾燥温度や活性エネルギー線照射量といった硬化条件等を調整することで、適宜調整することができる。特に(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基を有する反応性化合物(a)、中でも反応性シリコーン(a1)と同じ反応性官能基を有し、且つ反応性官能基当量が2000g/mol以下である反応性化合物(a2)、1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する膜形成性化合物(a3)の(メタ)アクリロイル基当量及び使用量を調整すること、の反応性官能基当量及び使用量を調整すること等で、適宜調整することができる。 The initial bromonaphthalene contact angle BCA 1 of the surface of the release agent layer opposite the substrate, the bromonaphthalene contact angle BCA 2 after coating and drying a ceramic slurry of a specific composition and storing it in a constant temperature and humidity environment of 23±2°C x 50±5% RH for one week and then peeling it off, and the change in bromonaphthalene contact angle δBCA can be adjusted appropriately by adjusting the type and amount of material constituting the release agent layer, the coating amount of the release agent layer, and curing conditions such as the drying temperature and the amount of active energy ray irradiation. In particular, the reactive functional group equivalent and amount used of a reactive compound (a) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group, particularly a reactive compound (a2) having the same reactive functional group as the reactive silicone (a1) and having a reactive functional group equivalent of 2000 g/mol or less, or a film-forming compound (a3) having two or more (meth)acryloyl groups in one molecule can be appropriately adjusted by adjusting the reactive functional group equivalent and amount used.

本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムは、その剥離剤層の基材とは反対側の面のブロモナフタレン接触角BCAと、剥離剤層の基材とは反対側の面に特定の組成のセラミックスラリーを塗工および乾燥し、23±2℃×50±5%RHの恒温恒湿環境下で1週間保管後に剥離した後のブロモナフタレン接触角BCAとの差、δBCA=BCA-BCA、が上記条件を満たしていればよく、それ以外の制限は特に課せられないが、剥離剤層の基材とは反対側の面の水接触角WCAと、剥離剤層の前記基材とは反対側の面に特定組成のセラミックスラリーを塗工および乾燥し、23±2℃×50±5%RHの恒温恒湿環境下で1週間保管後に剥離した後の水接触角WCAとの差、δWCA=WCA-WCAが、-3.5°から1.0°の範囲内であることが好ましい。
δWCAが-3.5°から1.0°の範囲内であることで、他の本発明の技術的特徴とも相俟って、本実施形態のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムは、その上の形成したセラミックグリーンシートの剥離が容易であるとともに、剥離性の経時変化が小さく、グリーンシート塗工から長期間経過した場合でも優れた易剥離性を安定的に実現できる、グリーンシート剥離時の帯電を抑制できる等、高い実用的価値を有する技術的効果を、一層高いレベルで実現することができる。
The release film for producing ceramic green sheets of the present invention is sufficient if the difference (δBCA=BCA2-BCA1) between the bromonaphthalene contact angle BCA1 on the surface of the release agent layer opposite the substrate and the bromonaphthalene contact angle BCA2 obtained after coating and drying a ceramic slurry of a specific composition on the surface of the release agent layer opposite the substrate, storing it in a constant temperature and humidity environment of 23± 2 °C x 50± 5 % RH for one week, and then peeling it off, satisfies the above-mentioned condition, and no other restrictions are imposed. However, it is preferable that the difference (δWCA=WCA2- WCA1 ) between the water contact angle WCA1 on the surface of the release agent layer opposite the substrate and the water contact angle WCA2 obtained after coating and drying a ceramic slurry of a specific composition on the surface of the release agent layer opposite the substrate, storing it in a constant temperature and humidity environment of 23± 2 °C x 50 ± 5 % RH for one week, and then peeling it off, is within the range of -3.5° to 1.0°.
By having a δWCA within the range of -3.5° to 1.0°, in combination with other technical features of the present invention, the release film for producing ceramic green sheets of this embodiment allows easy peeling of the ceramic green sheet formed thereon, and exhibits little change in peelability over time, enabling stable realization of excellent easy peelability even long periods of time after green sheet coating, and suppressing charging when peeling the green sheet, thereby realizing technical effects of great practical value at an even higher level.

δWCAが-3.5°から1.0°の範囲内であることで、一層優れたセラミックグリーンシートの易剥離性、その経時変化の抑制、グリーンシート剥離時の帯電の抑制等が実現できるメカニズムは必ずしも明らかではないが、剥離剤層の硬化性が、セラミックグリーンシート界面での相互作用に影響を及ぼし、その結果剥離剤成分の移行やグリーンシート成分の転写を抑制され易剥離性及びその経時変化の抑制に一層最適な表面状態に対応する水の接触角変化量δWCAの範囲が存在し、具体的な数値としては、水の接触角変化量δWCAが-3.5°から1.0°の範囲となると推定される。 The mechanism by which a δWCA in the range of -3.5° to 1.0° achieves better ceramic green sheet releasability, suppression of changes over time, and suppression of charging when the green sheet is removed is not entirely clear, but it is believed that the hardness of the release agent layer affects the interaction at the ceramic green sheet interface, resulting in suppression of migration of release agent components and transfer of green sheet components, and there is a range of water contact angle change δWCA that corresponds to an optimal surface state for easy releasability and suppression of changes over time; specifically, it is estimated that the water contact angle change δWCA is in the range of -3.5° to 1.0°.

セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの、剥離剤層の基材とは反対側の面の水接触角WCA及びWCAは、当該技術分野において従来公知の方法で測定することができ、例えば自動接触角計等により測定することができる。より具体的には、本願明細書の実施例に記載の方法により測定することができる。
水接触角WCA及びWCAの測定の間のセラミックスラリーを塗工し、乾燥し、剥離する際の条件は、通常、セラミックスラリー塗工量が乾燥前で厚み50μm、乾燥の条件が70℃、2分であり、剥離角度が180°である。セラミックスラリーの組成は、上記にて説明したとおりである。
水接触角の変化量δWCAは、上記にて測定したWCA及びWCAから、式δWCA=WCA-WCAに従って計算することができる。
The water contact angles WCA1 and WCA2 of the surface of the release agent layer opposite the substrate of the release film for producing a ceramic green sheet can be measured by a method conventionally known in the art, for example, by an automatic contact angle meter, etc. More specifically, they can be measured by the method described in the examples of the present specification.
The conditions for coating, drying, and peeling the ceramic slurry between the measurements of water contact angles WCA 1 and WCA 2 are usually as follows: the ceramic slurry coating thickness before drying is 50 μm, the drying conditions are 70° C., 2 minutes, and the peel angle is 180°. The composition of the ceramic slurry is as described above.
The change in water contact angle δWCA can be calculated from the WCA 1 and WCA 2 measured above according to the formula δWCA=WCA 2 −WCA 1 .

セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの、剥離剤層の基材とは反対側の面の水接触角の変化量δWCAは、-3.3°から0.8°であることが好ましく、-3.2°から0.6°であることが特に好ましい。
剥離剤層の基材とは反対側の面の初期の水接触角WCAには特に制限は無いが、グリーンシートの剥離を一層容易にするとともに、δWCAの値を所定範囲内とすることを容易にする、等の観点から、85°から115°であることが好ましく、90°から110°であることが特に好ましい。
In the release film for producing a ceramic green sheet, the change in water contact angle δWCA of the surface of the release agent layer opposite the substrate is preferably −3.3° to 0.8°, particularly preferably −3.2° to 0.6°.
There are no particular restrictions on the initial water contact angle WCA1 of the surface of the release agent layer opposite the substrate, but from the viewpoints of making it easier to peel the green sheet and making it easier to keep the δWCA value within a predetermined range, it is preferably 85° to 115°, and particularly preferably 90° to 110°.

剥離剤層の基材とは反対側の面の初期水接触角WCA、特定組成のセラミックスラリーを塗工および乾燥し、23±2℃×50±5%RHの恒温恒湿環境下で1週間保管後に剥離した後の水接触角WCA、及び水接触角の変化量δWCAは、剥離剤層を構成する材料の種類及び使用量や、剥離剤層の塗工量や、乾燥温度や活性エネルギー線照射量といった硬化条件等を調整することで、適宜調整することができる。特に(メタ)アクリロイル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群より選ばれる少なくとも1種の反応性官能基を有する反応性化合物(a)、中でも反応性シリコーン(a1)と同じ反応性官能基を有し、且つ反応性官能基当量が2000g/mol以下である反応性化合物(a2)、1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する膜形成性化合物(a3)の(メタ)アクリロイル基当量及び使用量を調整すること、の反応性官能基当量及び使用量を調整すること等で、適宜調整することができる。 The initial water contact angle WCA 1 of the surface of the release agent layer opposite the substrate, the water contact angle WCA 2 after a ceramic slurry of a specific composition is applied and dried, stored for one week in a constant temperature and humidity environment of 23±2°C x 50±5% RH, and then peeled off, and the change in water contact angle δWCA can be adjusted appropriately by adjusting the type and amount of material constituting the release agent layer, the amount of the release agent layer applied, and curing conditions such as the drying temperature and the amount of active energy ray irradiation. In particular, the reactive functional group equivalent and amount used of a reactive compound (a) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth)acryloyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group, particularly a reactive compound (a2) having the same reactive functional group as the reactive silicone (a1) and having a reactive functional group equivalent of 2000 g/mol or less, or a film-forming compound (a3) having two or more (meth)acryloyl groups in one molecule can be appropriately adjusted by adjusting the reactive functional group equivalent and amount used.

剥離剤層の厚さは、0.05から2μmであることが好ましく、特に0.2から1.5μmであることが好ましい。剥離剤層の厚さが0.05μm以上であることは、剥離剤層表面の平滑性や、セラミックグリーンシートのピンホールや厚みむらの抑制の観点から好ましい。剥離剤層の厚さが2μm以下であることは、剥離剤層の硬化収縮によるカールの発生を抑制する観点から好ましい。また、ブロッキングや帯電の抑制の観点からも好ましい。The thickness of the release agent layer is preferably 0.05 to 2 μm, and particularly preferably 0.2 to 1.5 μm. A thickness of 0.05 μm or more is preferred from the standpoint of smoothness of the release agent layer surface and suppression of pinholes and thickness unevenness in the ceramic green sheet. A thickness of 2 μm or less is preferred from the standpoint of suppressing curling due to cure shrinkage of the release agent layer. It is also preferred from the standpoint of suppressing blocking and charging.

それ以外の層
本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムは、上述の基材と剥離剤層以外の層を有していてもよく、例えば保護層、接着層、帯電防止層等を有していてもよい。
基材と剥離剤層とは直接積層されていてもよく、接着層等のそれ以外の層を介して積層されていてもよい。
Other Layers The release film for producing a ceramic green sheet of the present invention may have layers other than the above-mentioned substrate and release agent layer, such as a protective layer, an adhesive layer, an antistatic layer, etc.
The substrate and the release agent layer may be laminated directly or via another layer such as an adhesive layer.

セラミックグリーンシート製造用剥離フィルム
本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムは、その上の形成したセラミックグリーンシートの剥離が容易であるとともに、剥離性の経時変化が小さく、グリーンシート塗工から長期間経過した場合でも優れた易剥離性を安定的に実現できる等、高い実用的価値を有する技術的効果を従来技術の限界を超えた高いレベルで実現することができるので、各種セラミック製品に用いるセラミックグリーンシートの製造において好適に使用することができ、例えば積層セラミックコンデンサ、又は多層セラミック基板に用いるセラミックグリーンシートの製造に好適に使用することができる。
The release film for producing ceramic green sheets of the present invention allows easy release of the ceramic green sheets formed thereon, and exhibits little change in releasability over time, ensuring stable, excellent releasability even long periods of time after the green sheet is applied. This achieves technical effects of great practical value at a high level that exceeds the limits of conventional technology, and can therefore be suitably used in the production of ceramic green sheets used in various ceramic products, such as multilayer ceramic capacitors or multilayer ceramic substrates.

本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムを用いたセラミックグリーンシートの製造方法には特に制限は無いが、例えば以下の工程を有する製造方法において、本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムを好ましく使用することができる。
A)本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム上にセラミックスラリーを塗工する工程
B)前記A)工程において塗工されたセラミックスラリーからセラミックグリーンシートを形成する工程
C)前記B)工程において形成されたセラミックグリーンシートを前記セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムから剥離する工程
There are no particular limitations on the method for producing a ceramic green sheet using the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention. For example, the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention can be preferably used in a production method having the following steps.
A) a step of applying a ceramic slurry to the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention; B) a step of forming a ceramic green sheet from the ceramic slurry applied in the step A); and C) a step of peeling the ceramic green sheet formed in the step B) from the release film for producing a ceramic green sheet.

A)セラミックスラリーの塗工
本実施形態のセラミックグリーンシートの製造方法を構成する工程A)においては、例えば本技術分野においてセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム上にセラミックスラリーを塗工するために従来より用いられている技術を適宜使用することができ、例えば以下の技術を使用することができる。
A) Coating of ceramic slurry In step A) of the method for producing a ceramic green sheet of this embodiment, any technique conventionally used in this technical field for coating a ceramic slurry onto a release film for producing a ceramic green sheet can be used as appropriate, for example, the following techniques can be used.

セラミックスラリー
本実施形態の工程A)において使用するセラミックスラリーには特に制限はなく、例えば本技術分野においてセラミックグリーンシートの製造に従来より用いられているセラミックススラリーを適宜使用することができる。
Ceramic Slurry There are no particular limitations on the ceramic slurry used in step A) of this embodiment, and for example, any ceramic slurry that has been conventionally used in the art for producing ceramic green sheets can be used as appropriate.

工程A)において使用するセラミックスラリーは、本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムを特徴づけるδBCA=BCA-BCAの測定の際の、ブロモナフタレン接触角BCAの測定とブロモナフタレン接触角BCAの測定との間に、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルム上に塗工される特定組成のセラミックスラリー(a)チタン酸バリウム粒子45質量%、b)ポリビニルブチラール3.6質量%、c)フタル酸ジブチル0.9質量%、d)トルエン25質量%、及びe)エタノール25質量%を含有する、セラミックスラリー)と同じものであってもよく、異なるものであってもよい。
すなわち、本実施形態のセラミックグリーンシートの製造方法は、上記の特定組成のセラミックスラリーを用いたセラミックグリーンシートの製造方法には限定されず、それ以外の広汎な組成のセラミックスラリーを用いたセラミックグリーンシートの製造方法にも適用することができる。
The ceramic slurry used in step A) may be the same as or different from a ceramic slurry of a specific composition (a) containing 45 % by mass of barium titanate particles, b) 3.6 % by mass of polyvinyl butyral, c) 0.9 % by mass of dibutyl phthalate, d) 25% by mass of toluene, and e) 25% by mass of ethanol) that is coated on the release film for producing a ceramic green sheet between the measurements of bromonaphthalene contact angle BCA 1 and bromonaphthalene contact angle BCA 2 when measuring δBCA = BCA 2 - BCA 1, which characterizes the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention.
That is, the method for manufacturing a ceramic green sheet according to this embodiment is not limited to a method for manufacturing a ceramic green sheet using a ceramic slurry of the above-mentioned specific composition, but can also be applied to a method for manufacturing a ceramic green sheet using a ceramic slurry of a wide range of other compositions.

セラミックスラリーとしては、セラミック粒子と溶剤を含有するものであることが好ましく、セラミック粒子が溶剤中に分散されていることが好ましい。
上記セラミック粒子としては、焼結によりセラミックを形成可能な無機化合物粒子を使用することができ、無機化合物としては、金属又は半金属の酸化物、窒化物、酸窒化物、ホウ化物等を例示することができる。
無機化合物のより具体的な例としては、チタン酸バリウム(BaTiO)、チタン酸カルシウム(CaTiO)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)またはジルコン酸カルシウム(CaZrO)、ジルコン酸ストロンチウム(SrZrO)などのペロブスカイト型化合物などを挙げることができる。これらの無機化合物を主成分としてセラミック粒子に用いる場合には、上記主成分よりも含有量の少ない副成分として、Mn、Mg、Si、Co、Ni、または希土類元素などを含んでいてもよい。
The ceramic slurry preferably contains ceramic particles and a solvent, and the ceramic particles are preferably dispersed in the solvent.
As the ceramic particles, inorganic compound particles that can form ceramics by sintering can be used, and examples of inorganic compounds include oxides, nitrides, oxynitrides, borides, etc. of metals or semimetals.
More specific examples of inorganic compounds include perovskite compounds such as barium titanate ( BaTiO3 ), calcium titanate ( CaTiO3 ), strontium titanate ( SrTiO3 ), calcium zirconate ( CaZrO3 ), strontium zirconate ( SrZrO3 ), etc. When these inorganic compounds are used as the main component of the ceramic particles, they may contain Mn, Mg, Si, Co, Ni, rare earth elements, or the like as a minor component in a content less than that of the main component.

セラミック粒子の粒径は、一次粒子で1μm以下であることが望ましい。 It is desirable that the particle size of the ceramic particles be 1 μm or less for primary particles.

上記溶媒は、有機溶剤であっても水系溶剤等の無機溶剤であってもよいが、後述の工程B)においてセラミックグリーンシートを形成する際の溶剤除去の容易性等の観点からは有機溶剤であることが好ましい。有機溶剤としては、一般的なものを用いることができ、グリーンシート形成時の乾燥温度、使用するバインダー種によって適宜選択することができる。一般的には芳香族、アルコール、エステル、ケトン、炭化水素系が用いられ、これらを混合して使用することも可能である。
溶媒の沸点にも特に制限はないが、60から130℃であることが好ましく、70から130℃であることが特に好ましい。
The solvent may be an organic solvent or an inorganic solvent such as an aqueous solvent, but an organic solvent is preferred from the viewpoint of ease of solvent removal when forming a ceramic green sheet in step B) described below. A typical organic solvent can be used, and can be appropriately selected depending on the drying temperature when forming the green sheet and the type of binder used. Aromatic, alcohol, ester, ketone, or hydrocarbon solvents are generally used, and a mixture of these can also be used.
There is no particular limitation on the boiling point of the solvent, but it is preferably from 60 to 130°C, and particularly preferably from 70 to 130°C.

セラミックグリーンシートの取扱いの容易性等の観点から、セラミックスラリーは、セラミック粒子及び溶媒に加えてバインダーを含んでいることが好ましい。
上記バインダーとしては本技術分野においてセラミックグリーンシートの製造に従来より用いられる各種バインダーを適宜使用することができ、例えば、ポリビニルブチラール、ウレタン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、セルロース樹脂等を適宜使用することができる。中でも、ポリビニルブチラール、アクリル等を特に好ましく使用することができる。
バインダーの使用量には特に制限はないが、セラミック粒子100質量部に対して、3から20質量部であることが好ましく、5から15質量部であることが特に好ましい。
From the viewpoint of ease of handling of the ceramic green sheets, the ceramic slurry preferably contains a binder in addition to ceramic particles and a solvent.
As the binder, various binders conventionally used in the production of ceramic green sheets in this technical field can be used as appropriate, such as polyvinyl butyral, urethane resin, polyvinyl acetate resin, acrylic resin, cellulose resin, etc. Among them, polyvinyl butyral, acrylic, etc. are particularly preferably used.
There are no particular restrictions on the amount of binder used, but it is preferably 3 to 20 parts by mass, and particularly preferably 5 to 15 parts by mass, per 100 parts by mass of ceramic particles.

セラミックスラリーは、上記セラミック粒子、溶媒、及び所望によるバインダーに加えて、可塑剤、界面活性剤、分散安定剤、帯電防止剤等のそれ以外の成分を含有していてもよい。
好適な可塑剤として、フタル酸ジブチル、脂肪酸エステル等を例示することができる。
The ceramic slurry may contain other components such as a plasticizer, a surfactant, a dispersion stabilizer, an antistatic agent, etc. in addition to the ceramic particles, the solvent, and an optional binder.
Suitable plasticizers include dibutyl phthalate and fatty acid esters.

上述のセラミック粒子、及び有機溶剤、並びに所望によりバインダー及び可塑剤等のそれ以外の成分を攪拌混合することで、セラミックスラリーを製造することができる。
攪拌混合の方法には特に制限はなく、本技術分野において従来よりセラミックスラリーの製造に使用されている方法、装置を適宜使用することができるが、例えばボールミルを用い攪拌混合することができる。ボールミルを用いることで、セラミック粒子の粒度調整を一緒に行うことができる。
The ceramic slurry can be produced by stirring and mixing the above-mentioned ceramic particles, an organic solvent, and, if desired, other components such as a binder and a plasticizer.
The stirring and mixing method is not particularly limited, and any method and apparatus conventionally used in the art for producing ceramic slurries can be used as appropriate, but stirring and mixing can be performed using, for example, a ball mill, which allows for particle size adjustment of the ceramic particles.

工程A)において、セラミックスラリーを塗工する方法は、セラミックスラリーの粘度および工程B)において形成するセラミックグリーンシートの種類や厚さに応じて適宜選択することができる。、
例えば、アプリケータ、オンロールダイコータ、減圧ダイコータ、オフロールダイコータ、スリットコータ、カーテンコータ、引き上げコータ、ナイフコータ、キャストコータ、リバースロールコータ、ブレードコータ、スクリーン印刷法などを適宜採用することができる。
In step A), the method for applying the ceramic slurry can be appropriately selected depending on the viscosity of the ceramic slurry and the type and thickness of the ceramic green sheet to be formed in step B).
For example, an applicator, on-roll die coater, reduced pressure die coater, off-roll die coater, slit coater, curtain coater, lift coater, knife coater, cast coater, reverse roll coater, blade coater, screen printing method, etc. can be appropriately used.

B)グリーンシート形成工程、
工程A)において塗工されたセラミックスラリーから、工程B)において乾燥等により溶剤を除去することで剥離フィルム上にセラミックグリーンシートを形成することができる。
工程B)において乾燥を行う場合の温度及び時間には特に制限は無いが、通常60から100℃、好ましくは70から100℃で、通常30から300秒、好ましくは30から200秒間乾燥を行うことができる。
B) green sheet forming step;
In step B), the solvent is removed from the ceramic slurry applied in step A) by drying or the like, thereby forming a ceramic green sheet on the release film.
The temperature and time for drying in step B) are not particularly limited, but drying can be carried out usually at 60 to 100°C, preferably 70 to 100°C, for usually 30 to 300 seconds, preferably 30 to 200 seconds.

工程B)における乾燥時間が30秒以上であることで、乾燥が完了するまでにシート内の粒子を均一かつ密に配列させることができ、それによってグリーンシート内の空隙を低減することができる。
工程B)における乾燥時間が200秒以下であることで、セラミックグリーンシートの製造工程における生産効率を向上することができる。
By setting the drying time in step B) to 30 seconds or more, the particles in the sheet can be uniformly and densely arranged by the time drying is completed, thereby reducing voids in the green sheet.
By setting the drying time in step B) to 200 seconds or less, the production efficiency in the process for producing the ceramic green sheet can be improved.

工程B)における乾燥温度を70℃以上とすることで、セラミックグリーンシート中に溶媒が実質的に残存せず、焼成工程でセラミック中にボイドが発生するのを防ぐことができる。また、乾燥温度を100℃以下とすることで、溶媒の急激な揮発によるグリーンシートの表面におけるふくれやへこみの発生を抑えることができる。また、乾燥ゾーンを複数にして、各々の乾燥ゾーン毎に温度を変えてもよい。 By setting the drying temperature in step B) to 70°C or higher, virtually no solvent remains in the ceramic green sheet, preventing voids from forming in the ceramic during the firing process. Furthermore, by setting the drying temperature to 100°C or lower, it is possible to prevent swelling or dents on the surface of the green sheet due to the rapid evaporation of the solvent. It is also possible to use multiple drying zones and change the temperature for each drying zone.

C)剥離工程
工程C)において、B)工程において形成されたセラミックグリーンシートをセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムから剥離する。
工程C)における剥離の方法には特に制限は無く、セラミックグリーンシートの材質や性状、その後の工程などに応じて適宜選択すればよく、例えば剥離フィルム上のセラミックグリーンシート部を切断した後に加熱を行ったり、剥離フィルムを変形させるなどして、セラミックグリーンシートを剥離することができる。
本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムを使用することで、工程C)における剥離力が低く(軽剥離)とすることができる。これにより、セラミックグリーンシートの破損が有効に低減することができる。
剥離工程における剥離力は、5から100(mN/50mm)であることが好ましく、10から50(mN/50mm)であることが特に好ましい。
C) Peeling Step In step C), the ceramic green sheet formed in step B) is peeled off from the release film for producing a ceramic green sheet.
The peeling method in step C) is not particularly limited and may be selected appropriately depending on the material and properties of the ceramic green sheet, the subsequent steps, etc. For example, the ceramic green sheet can be peeled off by cutting the ceramic green sheet portion on the release film and then heating or deforming the release film.
By using the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention, the peel force in step C) can be reduced (light peeling), which effectively reduces breakage of the ceramic green sheet.
The peeling force in the peeling step is preferably 5 to 100 (mN/50 mm), and particularly preferably 10 to 50 (mN/50 mm).

本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムを使用することで、工程A)及びB)から工程C)の間に長時間が経過した場合であっても、初期のグリーンシート剥離力から変化の少ない剥離力を維持することができる。
例えば、工程A)及びB)から常温で1週間保管した後であっても、工程C)における剥離力は、工程A)及びB)の直後に工程C)を実施した場合の剥離力の115%以下であることが好ましく、110%以下であることが特に好ましい。工程B)から常温で1週間保管した後の工程C)における剥離力が115%以下であることで、グリーンシート破断の不具合を一層有効に抑制できる。
By using the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention, even if a long time has passed between steps A) and B) and step C), the peel force of the green sheet can be maintained with little change from the initial peel force.
For example, even after storage at room temperature for one week following steps A) and B), the peel force in step C) is preferably 115% or less, and particularly preferably 110% or less, of the peel force when step C) is performed immediately after steps A) and B. By having the peel force in step C) after storage at room temperature for one week following step B) being 115% or less, the problem of green sheet breakage can be more effectively suppressed.

電極印刷工程、ハーフカット工程、打ち抜き工程
本実施形態のセラミックグリーンシートの製造方法は、上記工程A)からC)に加えて、工程B)後工程C)前に、電極印刷、ハーフカット及び/又は打ち抜きを行う工程を更に有することができる。
Electrode printing process, half-cut process, punching process
In addition to the above steps A) to C), the method for producing a ceramic green sheet of this embodiment may further include a step of performing electrode printing, half-cutting, and/or punching after step B) and before step C).

本実施形態の製造方法により得られたセラミックグリーンシートを焼成することで、各種セラミック製品を製造することができる。
工程B)後工程C)前に電極印刷工程を有する上記の実施形態によれば、電極印刷後、工程C)(剥離)、積層圧着、切断分離、焼成、外部電極形成工程を経て、積層セラミックコンデンサや多層セラミック基板を製造することができる。
By firing the ceramic green sheet obtained by the manufacturing method of this embodiment, various ceramic products can be manufactured.
According to the above embodiment in which the electrode printing step is performed after step B) and before step C), after electrode printing, a multilayer ceramic capacitor or a multilayer ceramic substrate can be manufactured through step C) (peeling), lamination and pressure bonding, cutting and separation, firing, and external electrode formation steps.

上記製造方法により得られたセラミックグリーンシートを焼成することで、各種セラミック製品を製造することができる。
積層セラミックコンデンサの製造にあたっては、上記工程B)と工程C)との間にグリーンシート上に内部電極を印刷する工程を設ける。その後、工程C)(剥離)、積層圧着、切断分離、焼成、外部電極形成工程を経て、積層セラミックコンデンサを製造することができる。
By firing the ceramic green sheet obtained by the above-described manufacturing method, various ceramic products can be manufactured.
In manufacturing a multilayer ceramic capacitor, a step of printing internal electrodes on the green sheets is provided between the above steps B) and C).Then, the multilayer ceramic capacitor can be manufactured through step C) (peeling), lamination and pressure bonding, cutting and separation, firing, and external electrode formation steps.

以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明は、これにより何ら限定されるものではない。 The present invention will be explained in more detail below using examples, but the present invention is not limited thereto in any way.

以下の実施例/比較例において、物性/特性の評価は下記の方法で行った。
(水接触角)
以下の条件で、離型剤層表面の水の接触角を測定した。
接触角計:協和界面科学社製 DM-701 全自動接触角計
接触角計解析ソフト:同社製 FAMAS
液滴法にて、接触角θを算出した。手順は以下のとおり。
i)短冊上にカットしたサンプルを接触角計にセットした。
ii)シリンジポンプから、約6.1μLの水滴を吐出した。
iii)サンプル上に吐出した液滴の状態を画像撮影した。
iv)サンプルと液滴のなす角を測定し、これを水の接触角(°)とした。
In the following Examples and Comparative Examples, the physical properties and characteristics were evaluated by the following methods.
(water contact angle)
The contact angle of water on the surface of the release agent layer was measured under the following conditions.
Contact angle meter: DM-701 fully automatic contact angle meter manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. Contact angle meter analysis software: FAMAS manufactured by the same company
The contact angle θ was calculated using the sessile drop method as follows.
i) The sample cut into a strip was set in a contact angle meter.
ii) A droplet of approximately 6.1 μL of water was dispensed from the syringe pump.
iii) Images of the state of the droplets discharged onto the sample were taken.
iv) The angle between the sample and the droplet was measured and taken as the contact angle (°) of water.

(ブロモナフタレン接触角)
水に代えて1-ブロモナフタレンを使用し、1-ブロモナフタレンの量を3.4μLとしたことを除くほか、上記の水接触角の測定方法と同様にしてブロモナフタレン接触角を測定した。
(Bromonaphthalene contact angle)
The bromonaphthalene contact angle was measured in the same manner as in the above method for measuring the water contact angle, except that 1-bromonaphthalene was used instead of water and the amount of 1-bromonaphthalene was 3.4 μL.

(剥離力)
1)セラミックスラリーの調製
チタン酸バリウム(堺化学工業株式会社製、BT-01)、ポリビニルブチラール(積水化学工業株式会社製、エスレックBH-S)、フタル酸ジブチル、トルエン、及びエタノールを、45:3.6:0.9:25:25(質量比)で混合し、セラミックグリーンシートの原料となるセラミックスラリーを調製した。
2)セラミックグリーンシートの形成
セラミックグリーンシート製造用剥離フィルム試料の離型剤層側に、アプリケータにて上記1)にて調製したセラミックスラリーを厚み50μmで塗工し、70℃で2分間乾燥して、厚さ10μmのセラミックグリーンシートを形成した。
3)グリーンシートの剥離力の測定
離型フィルム試料及び上記2)にてその上に形成したセラミックグリーンシートを50mm×200mmの短冊状にカットし、テンシロン(株式会社エー・アンド・デイ:RTG-1210)にて離型フィルムからグリーンシートを180°の角度で剥離しその剥離強度を測定した。
(peel force)
1) Preparation of ceramic slurry Barium titanate (BT-01, manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.), polyvinyl butyral (S-LEC BH-S, manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.), dibutyl phthalate, toluene, and ethanol were mixed in a mass ratio of 45:3.6:0.9:25:25 to prepare a ceramic slurry that would serve as a raw material for ceramic green sheets.
2) Formation of ceramic green sheet The ceramic slurry prepared in 1) above was applied to the release agent layer side of the release film sample for producing a ceramic green sheet with an applicator to a thickness of 50 μm, and dried at 70° C. for 2 minutes to form a ceramic green sheet with a thickness of 10 μm.
3) Measurement of peel strength of green sheet The release film sample and the ceramic green sheet formed thereon in the above 2) were cut into strips of 50 mm x 200 mm, and the green sheet was peeled off from the release film at an angle of 180° using a Tensilon (A&D Co., Ltd.: RTG-1210) to measure the peel strength.

実施例/比較例で剥離剤層に用いた樹脂等の各構成成分の詳細は、以下のとおりである。
・(a3)多官能アクリレート1
新中村化学工業株式会社製、商品名:NKエステル A-9300
トリス-(2-アクリロキシエチル)イソシアヌレート(官能基数:3)
アクリル当量:141g/mol

・(a3)多官能アクリレート2
新中村化学工業株式会社製、商品名:NKエステル A-TMM-3LM-N
ペンタエリスリトールトリおよびテトラアクリレート(官能基数:3及び4)
アクリル当量:93.7g/mol

・(a3)多官能アクリレート3
新中村化学工業株式会社製、商品名:NKエステル A-DCP
トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(官能基数:2)
アクリル当量:304g/mol

・(a3)多官能アクリレート4
新中村化学工業株式会社製、商品名:NKエステル A-GLY-9E
エトキシ化グリセリントリアクリレート(官能基数:3)
アクリル当量:217g/mol

・(a1)エポキシ変性シリコーン1
荒川化学工業株式会社製、商品名:シリコリース UV POLY201
ジメチルシリコン、脂環エポキシシリコンブロック共重合体

・(a2)エポキシ変性シリコーン2
信越化学株式会社製、商品名:信越シリコーン KR-470
脂環式エポキシ基含有環状シロキサン4官能オリゴマー
エポキシ当量:200g/mol

・(a2)エポキシ変性シリコーン3
信越化学株式会社製、商品名:信越シリコーン X-22-169AS
両末端型/脂環式エポキシ変性シリコーンオイル
エポキシ当量:500g/mol

・(a2)エポキシ変性シリコーン4
信越化学株式会社製、商品名:信越シリコーン X-22-169B
両末端型/脂環式エポキシ変性シリコーンオイル
エポキシ当量:1700g/mol

・エポキシ変性シリコーン5
信越化学株式会社製、商品名:信越シリコーン KF-102
側鎖型/脂環式エポキシ変性シリコーンオイル
エポキシ当量:3600g/mol

・カチオン開始剤1
三新化学工業株式会社製 商品名:サンエイド SI-100

・ラジカル開始剤1
IGM RESINS製 商品名:Esacure ONE
α-ヒドロキシケトンタイプ光重合開始剤
Details of each component such as resin used in the release agent layer in the examples and comparative examples are as follows:
(a3) Multifunctional acrylate 1
Product name: NK Ester A-9300, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.
Tris-(2-acryloxyethyl)isocyanurate (number of functional groups: 3)
Acrylic equivalent: 141 g/mol

(a3) Multifunctional acrylate 2
Manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product name: NK Ester A-TMM-3LM-N
Pentaerythritol tri- and tetraacrylate (functional groups: 3 and 4)
Acrylic equivalent: 93.7 g/mol

(a3) Multifunctional acrylate 3
Product name: NK Ester A-DCP, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.
Tricyclodecane dimethanol diacrylate (number of functional groups: 2)
Acrylic equivalent: 304 g/mol

(a3) Multifunctional acrylate 4
Product name: NK Ester A-GLY-9E, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.
Ethoxylated glycerin triacrylate (functional groups: 3)
Acrylic equivalent: 217 g/mol

(a1) Epoxy-modified silicone 1
Arakawa Chemical Industries, Ltd., product name: Silicolyse UV POLY201
Dimethyl silicone, alicyclic epoxy silicone block copolymer

(a2) Epoxy-modified silicone 2
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., product name: Shin-Etsu Silicone KR-470
Alicyclic epoxy group-containing cyclic siloxane tetrafunctional oligomer Epoxy equivalent: 200 g/mol

(a2) Epoxy-modified silicone 3
Manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., product name: Shin-Etsu Silicone X-22-169AS
Both-end type/alicyclic epoxy-modified silicone oil Epoxy equivalent: 500 g/mol

(a2) Epoxy-modified silicone 4
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., product name: Shin-Etsu Silicone X-22-169B
Both-end type/alicyclic epoxy-modified silicone oil Epoxy equivalent: 1700 g/mol

・Epoxy modified silicone 5
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., product name: Shin-Etsu Silicone KF-102
Side chain/alicyclic epoxy-modified silicone oil Epoxy equivalent: 3600 g/mol

Cationic initiator 1
Sanshin Chemical Industry Co., Ltd. Product name: San-Aid SI-100

Radical initiator 1
Made by IGM RESINS Product name: Esacure ONE
α-Hydroxyketone type photopolymerization initiator

[実施例1]
多官能アクリレート1、エポキシ変性シリコーン1、エポキシ変性シリコーン2、カチオン開始剤1、及びラジカル開始剤1を表1に示す質量比で配合して、剥離剤層用の硬化性組成物を調製した。
基材として、厚さ約30μm、表面の算術平均粗さ(Ra)が約20nmであるポリエチレンテレフタレートフィルムを用い、基材の1面上に上記で調整した硬化性組成物を塗工し、100℃×15秒乾燥した後に高圧水銀ランプを用いて紫外線を照射(積算光量:約40mJ/cm)して硬化させて剥離剤層を形成し、基材と該基材の一方に設けられた剥離剤層とを有する、剥離フィルムを製造した。
製造された剥離フィルムの剥離層表面について、上記の方法で水接触角及びブロモナフタレン接触角を測定し、初期水接触角WCA及び初期ブロモナフタレン接触角BCAを得た。
次いで、上記の方法で1)セラミックスラリーの調製、及び2)セラミックグリーンシートの形成を行い、次いで3)グリーンシートの剥離力の測定を行い、初期シート剥離力を得た。
別途未使用の剥離フィルムサンプル、及び上記1)セラミックスラリーの調製で得られたセラミックスラリーを用い、上記2)セラミックグリーンシートの形成を行い、23±2℃×50±5%RHの恒温恒湿環境下で1週保管した後、上記3)グリーンシートの剥離力の測定を行い、1週間後シート剥離力を得た。更に、1週間後シート剥離力の測定後(グリーンシート剥離後)の剥離フィルムの剥離層表面について、上記の方法で再度水接触角及びブロモナフタレン接触角を測定し、剥離後水接触角WCA及び剥離後ブロモナフタレン接触角BCAを得た。
結果を表1に示す。
[Example 1]
Polyfunctional acrylate 1, epoxy-modified silicone 1, epoxy-modified silicone 2, cationic initiator 1, and radical initiator 1 were blended in the mass ratios shown in Table 1 to prepare curable compositions for the release agent layer.
A polyethylene terephthalate film having a thickness of approximately 30 μm and a surface arithmetic mean roughness (Ra) of approximately 20 nm was used as the substrate. The curable composition prepared above was coated onto one side of the substrate, dried at 100°C for 15 seconds, and then cured by irradiating with ultraviolet light using a high-pressure mercury lamp (cumulative light intensity: approximately 40 mJ/ cm2 ) to form a release agent layer, thereby producing a release film having a substrate and a release agent layer provided on one side of the substrate.
The water contact angle and bromonaphthalene contact angle of the release layer surface of the prepared release film were measured by the above-mentioned method to obtain the initial water contact angle WCA 1 and the initial bromonaphthalene contact angle BCA 1 .
Next, 1) ceramic slurry was prepared, and 2) ceramic green sheets were formed using the methods described above, and then 3) the peel strength of the green sheets was measured to obtain the initial sheet peel strength.
Separately, using an unused release film sample and the ceramic slurry obtained in the above 1) preparation of ceramic slurry, the above 2) ceramic green sheet was formed, and after storing it for one week in a constant temperature and humidity environment of 23±2°C x 50±5%RH, the above 3) peel strength of the green sheet was measured to obtain the sheet peel strength after one week. Furthermore, after measuring the sheet peel strength after one week (after peeling the green sheet), the water contact angle and bromonaphthalene contact angle were measured again by the above method for the release layer surface of the release film, and the water contact angle after peeling WCA2 and the bromonaphthalene contact angle after peeling BCA2 were obtained.
The results are shown in Table 1.

[実施例2から4、及び比較例1から3]
剥離剤層用の硬化剤組成物の配合を表1に示すものに変更したことを除くほか、実施例1と同様にして剥離フィルムを製造し、評価した。
結果を表1に示す。
[Examples 2 to 4 and Comparative Examples 1 to 3]
Release films were produced and evaluated in the same manner as in Example 1, except that the formulation of the curing agent composition for the release agent layer was changed to that shown in Table 1.
The results are shown in Table 1.

本発明のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムは、その上に形成したセラミックグリーンシートの剥離が容易であるとともに、剥離性の経時変化が小さく、グリーンシート塗工から長期間経過した場合でも優れた易剥離性を安定的に実現できる等、高い実用的価値を有する技術的効果を従来技術の限界を超えた高いレベルで実現するものであり、各種セラミック製品の製造に好適に使用することができるので、電気電子産業、電子部品産業、機械産業、自動車産業をはじめとする産業の各分野において高い利用可能性を有する。 The release film for producing ceramic green sheets of the present invention allows for easy release of ceramic green sheets formed thereon, exhibits little change in releasability over time, and consistently achieves excellent releasability even long periods after the green sheet is applied. It achieves technical effects of great practical value at a high level that surpasses the limitations of conventional technology, and can be suitably used in the production of various ceramic products, making it highly applicable in various industrial fields, including the electrical and electronics industry, electronic parts industry, machinery industry, and automotive industry.

11:セラミックグリーンシート製造用剥離フィルム
12:剥離剤層
13:基材
11: Release film for producing ceramic green sheet 12: Release agent layer 13: Substrate

Claims (5)

基材と、前記基材の少なくとも一方に設けられた剥離剤層とを有するセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムであって、
前記剥離剤層が硬化性組成物の硬化物を含有し、
前記硬化性組成物が、ジメチルシリコン-脂環エポキシシリコンブロック共重合体、エポキシ当量が2000g/mol以下である反応性化合物であって、脂環式エポキシ基含有環状シロキサン4官能オリゴマー、及び両末端型/脂環式エポキシ変性シリコーンオイルから選ばれる反応性化合物並びに多官能アクリレートを含有し、
前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面のブロモナフタレン接触角がBCAであり、
前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面に下記組成のセラミックスラリーを塗工および乾燥し、23±2℃×50±5%RHの恒温恒湿環境下で1週間保管後に剥離した後にブロモナフタレン接触角を測定した場合、測定されたブロモナフタレン接触角BCAと上記BCAとが、δBCA=BCA-BCA、が-1.5°から1.0°の範囲内である関係を有する、上記セラミックグリーンシート製造用剥離フィルム:
a)チタン酸バリウム粒子45質量%、
b)ポリビニルブチラール3.6質量%、
c)フタル酸ジブチル0.9質量%、
d)トルエン25質量%、及び
e)エタノール25質量%を含有する、セラミックスラリー。
A release film for producing a ceramic green sheet, comprising a substrate and a release agent layer provided on at least one side of the substrate,
the release agent layer contains a cured product of a curable composition,
the curable composition comprises a dimethylsilicone-alicyclic epoxysilicone block copolymer , a reactive compound having an epoxy equivalent of 2000 g/mol or less and selected from an alicyclic epoxy group-containing cyclic siloxane tetrafunctional oligomer and a dual-end/alicyclic epoxy-modified silicone oil , and a polyfunctional acrylate;
the surface of the release agent layer opposite to the substrate has a bromonaphthalene contact angle of BCA 1 ;
The release film for producing a ceramic green sheet, wherein a ceramic slurry having the following composition is applied to the surface of the release agent layer opposite to the substrate, dried, and then stored in a constant temperature and humidity environment of 23±2°C x 50±5% RH for one week, and then peeled off, and the bromonaphthalene contact angle is measured. The measured bromonaphthalene contact angle BCA 2 and the above BCA 1 have a relationship, δBCA = BCA 2 - BCA 1 , within the range of -1.5° to 1.0°:
a) 45% by weight of barium titanate particles,
b) 3.6% by weight of polyvinyl butyral,
c) 0.9% by weight of dibutyl phthalate,
d) 25% by weight of toluene; and e) 25% by weight of ethanol.
前記セラミックスラリーの塗工量が乾燥前で厚み50μmであり、前記乾燥の条件が70℃、2分であり、前記剥離が角度180°で行われる、請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。 The release film for producing ceramic green sheets described in claim 1, wherein the coating amount of the ceramic slurry is 50 μm thick before drying, the drying conditions are 70°C and 2 minutes, and the peeling is performed at an angle of 180°. 前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面の水接触角がWCAであり、
前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面に前記セラミックスラリーを塗工および乾燥し、23±2℃×50±5%RHの恒温恒湿環境下で1週間保管後に剥離した後に水接触角を測定した場合、測定された水接触角WCAと上記WCAとが、δWCA=WCA-WCA、が-3.5°から1.0°の範囲内である関係を有する、請求項1又は2に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
the surface of the release agent layer opposite to the substrate has a water contact angle WCA of 1 ;
3. The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 1, wherein the ceramic slurry is applied to the surface of the release agent layer opposite the substrate, dried, and then the release agent layer is stored in a constant temperature and humidity environment of 23±2°C x 50±5% RH for one week, and then peeled off and the water contact angle is measured. The measured water contact angle WCA 2 and the above WCA 1 have a relationship δWCA = WCA 2 - WCA 1 within the range of -3.5° to 1.0°.
前記基材の前記剥離剤層側の表面の算術平均粗さ(Ra)が1から70nmである、請求項1又は2に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。 The release film for producing ceramic green sheets according to claim 1 or 2, wherein the arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the substrate facing the release agent layer is 1 to 70 nm. 積層セラミックコンデンサ、又は多層セラミック基板の製造に用いる、請求項1又は2に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。 The release film for producing ceramic green sheets according to claim 1 or 2, used in the production of multilayer ceramic capacitors or multilayer ceramic substrates.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017026365A1 (en) 2015-08-11 2017-02-16 東洋紡株式会社 Release film for molding solid polymer fuel cell members
JP6802785B2 (en) 2015-03-27 2020-12-23 リンテック株式会社 Release film for ceramic green sheet manufacturing process
JP2021109956A (en) 2020-01-09 2021-08-02 株式会社トクヤマデンタル Cationic curable composition
JP2023008443A (en) 2021-07-06 2023-01-19 リンテック株式会社 Release film for ceramic green sheet production process

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3465452B2 (en) * 1995-11-20 2003-11-10 東洋インキ製造株式会社 UV curable resin composition and coating agent containing the same
JP7431393B1 (en) * 2022-11-30 2024-02-15 三井化学東セロ株式会社 Ceramic green sheet manufacturing method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6802785B2 (en) 2015-03-27 2020-12-23 リンテック株式会社 Release film for ceramic green sheet manufacturing process
WO2017026365A1 (en) 2015-08-11 2017-02-16 東洋紡株式会社 Release film for molding solid polymer fuel cell members
JP2021109956A (en) 2020-01-09 2021-08-02 株式会社トクヤマデンタル Cationic curable composition
JP2023008443A (en) 2021-07-06 2023-01-19 リンテック株式会社 Release film for ceramic green sheet production process

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