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JP7797850B2 - reflector - Google Patents
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JP7797850B2 - reflector - Google Patents

reflector

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JP7797850B2 JP2021198261A JP2021198261A JP7797850B2 JP 7797850 B2 JP7797850 B2 JP 7797850B2 JP 2021198261 A JP2021198261 A JP 2021198261A JP 2021198261 A JP2021198261 A JP 2021198261A JP 7797850 B2 JP7797850 B2 JP 7797850B2
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Description

本開示は、特定の周波数帯の電磁波を正反射方向とは異なる方向に反射する反射板に関する。 This disclosure relates to a reflector that reflects electromagnetic waves in a specific frequency band in a direction other than the specular reflection direction.

移動通信システムにおいては、伝搬環境およびエリアを改善するために、リフレクトアレイの技術が検討されている(例えば、特許文献1~2、非特許文献1)。特に、第5世代通信システム(5G)に使用されるような高周波では、直進性が強いため、カバレッジホール(電波が届かない領域)の解消が重要な課題である。 In mobile communication systems, reflectarray technology is being considered to improve the propagation environment and coverage area (for example, Patent Documents 1 and 2, Non-Patent Document 1). In particular, the high frequencies used in fifth-generation communication systems (5G) have a strong tendency to propagate in a straight line, making it important to eliminate coverage holes (areas where radio waves cannot reach).

リフレクトアレイとしては、所定の方向の基地局から入射する特定の周波数の電磁波に対し、所望の方向に電磁波を反射することが可能であることが望まれている。このようなリフレクトアレイとしては、例えば、複数の反射素子が配列されており、反射素子の寸法や形状を変化させることによって、反射素子毎の共振周波数を変化させ、電磁波の反射位相を制御し、それにより、電磁波の入射方向および反射方向を制御する技術が開発されている。 It is desirable for a reflectarray to be able to reflect electromagnetic waves of a specific frequency incident from a base station in a specified direction in a desired direction. Such a reflectarray, for example, has an array of multiple reflecting elements, and by changing the dimensions and shape of the reflecting elements, the resonant frequency of each reflecting element can be changed, controlling the reflection phase of the electromagnetic waves, and thereby controlling the incident and reflection directions of the electromagnetic waves.

上記リフレクトアレイにおいて、反射素子のパターンは、例えば、フォトリソグラフィ技術を用い、金属層をエッチングすることによって形成することが知られている。 In the above-mentioned reflect array, it is known that the pattern of the reflective elements is formed, for example, by etching a metal layer using photolithography technology.

目的の反射角をもつ反射特性を有するリフレクトアレイを得るには、リフレクトアレイ面内で反射位相を細かく制御する必要がある。しかし、金属層のフォトリソグラフィ加工にはフォトマスクが用いられるため、微細化や高精度化に伴って、製造コストが上昇する傾向にある。また、金属層のフォトリソグラフィ加工では加工精度に限界があることから、波長が短く加工精度を要求される高周波において反射位相を細かく制御することが困難である。 To obtain a reflectarray with reflection characteristics at the desired reflection angle, it is necessary to precisely control the reflection phase within the reflectarray surface. However, because photomasks are used in photolithographic processing of the metal layer, manufacturing costs tend to rise as miniaturization and precision increase. Furthermore, there are limits to the processing precision that can be achieved in photolithographic processing of the metal layer, making it difficult to precisely control the reflection phase at high frequencies, which have short wavelengths and require high processing precision.

また、上記リフレクトアレイにおいては、例えば、反射素子のピッチを狭くすることで、反射角を大きくすることができるが、反射素子の平面配列においては反射素子のピッチの狭小化には限界があり、反射角を大きくすることが困難である。 Furthermore, in the above-mentioned reflectarray, for example, the reflection angle can be increased by narrowing the pitch of the reflective elements, but in a planar array of reflective elements, there is a limit to how narrow the pitch of the reflective elements can be, making it difficult to increase the reflection angle.

特許第5371633号公報Patent No. 5371633 特許第5162677号公報Patent No. 5162677 国際公開第2016/002832号International Publication No. 2016/002832

芳野真弓ら、「ーフェス反射板によるL字型廊下見通し外環境の受信電力の改善」、信学技報(IEICE TechnicalReport) A・P2020-5(2020-04)Mayumi Yoshino et al., "Improvement of received power in non-line-of-sight environments in L-shaped corridors using a face reflector," IEICE Technical Report A・P2020-5 (April 2020)

本開示は、上記実情に鑑みてなされたものであり、製造コストの削減可能な反射板を提供することを主目的とする。 This disclosure was made in light of the above situation, and its main objective is to provide a reflector that can reduce manufacturing costs.

本開示の一実施形態は、特定の周波数帯の電磁波を正反射方向とは異なる方向に反射する反射板であって、所定の方向に厚さが増加する厚さ分布を有する単位構造が複数配置された凹凸構造を有し、上記単位構造は、厚さの異なる複数のセル領域を有し、上記単位構造として、厚さの異なる2つ以上の上記セル領域を有する第1の単位構造を少なくとも有し、上記凹凸構造側の面に導電層を有し、隣接する上記セル領域同士が導通している、反射板を提供する。 One embodiment of the present disclosure provides a reflector that reflects electromagnetic waves in a specific frequency band in a direction different from the specular reflection direction, having a concave-convex structure in which a plurality of unit structures having a thickness distribution in which the thickness increases in a predetermined direction are arranged, the unit structures having a plurality of cell regions of different thicknesses, the unit structures including at least a first unit structure having two or more cell regions of different thicknesses, a conductive layer on the surface facing the concave-convex structure, and adjacent cell regions being electrically conductive to each other.

本開示においては、上記導電層が上記各セル領域の側面にも配置されていることが好ましい。 In the present disclosure, it is preferable that the conductive layer is also disposed on the side surfaces of each of the cell regions.

また、本開示においては、上記電磁波の波長をλ、mを整数、aを0以上の実数としたとき、上記単位構造では、最大厚さを有する最大厚さセル領域の厚さが、(λ/2)×m+aで表されることが好ましい。 Furthermore, in the present disclosure, when the wavelength of the electromagnetic waves is λ, m is an integer, and a is a real number greater than or equal to 0, it is preferable that the thickness of the maximum thickness cell region having the maximum thickness in the unit structure be expressed as (λ/2) × m + a.

また、本開示においては、上記電磁波の波長をλ、nを整数としたとき、上記単位構造では、隣接する上記セル領域同士の厚さの差が、(λ/2)/nで表されることが好ましい。 Furthermore, in the present disclosure, when the wavelength of the electromagnetic waves is λ and n is an integer, it is preferable that the difference in thickness between adjacent cell regions in the unit structure be expressed as (λ/2)/n.

また、本開示においては、上記単位構造では、隣接する上記セル領域同士の厚さの差が等しいことが好ましい。 Furthermore, in the present disclosure, it is preferable that the difference in thickness between adjacent cell regions in the unit structure is equal.

また、本開示においては、上記単位構造では、最小厚さを有する最小厚さセル領域の厚さと、最大厚さを有する最大厚さセル領域の厚さとの差が、上記電磁波の波長λの1/2未満であることが好ましい。 Furthermore, in the present disclosure, it is preferable that in the above unit structure, the difference in thickness between the minimum thickness cell region having the minimum thickness and the maximum thickness cell region having the maximum thickness is less than 1/2 the wavelength λ of the above electromagnetic wave.

また、本開示の反射板は、上記単位構造が繰り返し配置された周期構造を有することが好ましい。 Furthermore, it is preferable that the reflector of the present disclosure has a periodic structure in which the above-mentioned unit structures are repeatedly arranged.

また、本開示の反射板は、上記単位構造として、上記第1の単位構造とは異なる第2の単位構造を有していてもよい。 Furthermore, the reflector of the present disclosure may have, as the unit structure, a second unit structure different from the first unit structure.

本開示の反射板は、製造コストを低減することが可能であるという効果を奏する。 The reflector disclosed herein has the advantage of being able to reduce manufacturing costs.

本開示の反射板を例示する概略平面図および断面図、ならびに本開示の反射板における単位構造の各セル領域での電磁波の相対反射位相を説明するための模式図である。1A to 1C are a schematic plan view and a cross-sectional view illustrating a reflector of the present disclosure, and a schematic diagram for explaining the relative reflection phase of an electromagnetic wave in each cell region of a unit structure in the reflector of the present disclosure. 本開示の反射板における反射特性を例示する模式図である。1A and 1B are schematic diagrams illustrating the reflection characteristics of a reflector according to the present disclosure. 本開示の反射板における単位構造を例示する概略斜視図である。1 is a schematic perspective view illustrating an example of a unit structure in a reflector according to the present disclosure. 本開示の反射板における単位構造を例示する概略平面図である。1 is a schematic plan view illustrating a unit structure of a reflector according to the present disclosure. 本開示の反射板を例示する概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view illustrating a reflector according to the present disclosure. 本開示の反射板を例示する概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view illustrating a reflector according to the present disclosure. 本開示の反射板を例示する概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view illustrating a reflector according to the present disclosure. 本開示の反射板における反射特性を例示する模式図である。1A and 1B are schematic diagrams illustrating the reflection characteristics of a reflector according to the present disclosure. 本開示の反射板を例示する概略平面図である。1 is a schematic plan view illustrating a reflector according to the present disclosure. 本開示の反射板を例示する概略断面図、ならびに本開示の反射板における単位構造の各セル領域での電磁波の相対反射位相を説明するための模式図である。1A and 1B are a schematic cross-sectional view illustrating a reflector according to the present disclosure, and a schematic diagram for explaining the relative reflection phase of an electromagnetic wave in each cell region of a unit structure in the reflector according to the present disclosure. 本開示の反射板における単位構造の構成を例示する模式図である。1A and 1B are schematic diagrams illustrating the configuration of a unit structure in a reflector according to the present disclosure. 実施例1のシミュレーションモデルを示す概略斜視図およびシミュレーション結果を示すグラフである。1A and 1B are a schematic perspective view showing a simulation model of Example 1 and a graph showing simulation results.

下記に、図面等を参照しながら本開示の実施の形態を説明する。ただし、本開示は多くの異なる態様で実施することが可能であり、下記に例示する実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、図面は説明をより明確にするため、実際の形態に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表わされる場合があるが、あくまで一例であって、本開示の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。 Embodiments of the present disclosure are described below with reference to the drawings. However, the present disclosure can be implemented in many different forms, and should not be construed as being limited to the description of the embodiments exemplified below. Furthermore, to clarify the explanation, the drawings may show the width, thickness, shape, etc. of each part schematically compared to the actual form, but these are merely examples and do not limit the interpretation of the present disclosure. Furthermore, in this specification and each figure, elements similar to those previously described with reference to the previous figures are designated by the same reference numerals, and detailed descriptions may be omitted as appropriate.

本明細書において、ある部材の上に他の部材を配置する態様を表現するにあたり、単に「上に」あるいは「下に」と表記する場合、特に断りの無い限りは、ある部材に接するように、直上あるいは直下に他の部材を配置する場合と、ある部材の上あるいは下に、さらに別の部材を介して他の部材を配置する場合との両方を含むものとする。ある部材の上方に他の部材を配置する態様を表現するにあたり、単に「上方に」あるいは「下方に」と表記する場合、特に断りの無い限りは、ある部材に接するように、直上あるいは直下に他の部材を配置する場合と、ある部材の上あるいは下に、さらに別の部材を介して他の部材を配置する場合と、ある部材の上方あるいは下方に、空間を介して他の部材を配置する場合とのいずれも含むものとする。また、本明細書において、ある部材の面に他の部材を配置する態様を表現するにあたり、単に「面に」と表記する場合、特に断りの無い限りは、ある部材に接するように、直上あるいは直下に他の部材を配置する場合と、ある部材の上あるいは下に、さらに別の部材を介して他の部材を配置する場合との両方を含むものとする。 In this specification, when describing the arrangement of another component on a component, the terms "above" or "below" are used, unless otherwise specified, to include both the case where another component is placed directly above or below the component, so as to be in contact with the component, and the case where another component is placed above or below the component, with another component interposed between them. When describing the arrangement of another component above a component, the terms "above" or "below" are used, unless otherwise specified, to include both the case where another component is placed directly above or below the component, so as to be in contact with the component, the case where another component is placed above or below the component, with another component interposed between them, and the case where another component is placed above or below the component, with another component interposed between them. Furthermore, in this specification, when describing the arrangement of another component on the surface of a component, the terms "on the surface" are used, unless otherwise specified, to include both the case where another component is placed directly above or below the component, so as to be in contact with the component, and the case where another component is placed above or below the component, with another component interposed between them.

以下、本開示の反射板について、詳細に説明する。 The reflector disclosed herein is described in detail below.

本開示の反射板は、特定の周波数帯の電磁波を正反射方向とは異なる方向に反射する反射板であって、所定の方向に厚さが増加する厚さ分布を有する単位構造が複数配置された凹凸構造を有し、上記単位構造は、厚さの異なる複数のセル領域を有し、上記単位構造として、厚さの異なる2つ以上の上記セル領域を有する第1の単位構造を少なくとも有し、上記凹凸構造側の面に導電層を有し、隣接する上記セル領域同士が導通している。 The reflector disclosed herein is a reflector that reflects electromagnetic waves in a specific frequency band in a direction different from the specular reflection direction, and has a concave-convex structure in which multiple unit structures are arranged, each having a thickness distribution in which the thickness increases in a predetermined direction. The unit structures have multiple cell regions of different thicknesses, and the unit structures include at least a first unit structure having two or more cell regions of different thicknesses. A conductive layer is provided on the surface facing the concave-convex structure, and adjacent cell regions are electrically connected to each other.

本開示の反射板について図面を参照して説明する。図1(a)、(b)は、本開示の反射板の一例を示す概略平面図および断面図であり、図1(b)は図1(a)のA-A線断面図である。図1(a)、(b)に示すように、反射板1は、特定の周波数帯の電磁波を反射する反射板であり、所定の方向D1に厚さt1~t6が増加する厚さ分布を有する単位構造10が複数配置された凹凸構造を有する。また、単位構造10は、厚さt1~t6の異なる複数のセル領域11a~11fを有する。例えば図1(b)においては、単位構造10は、所定の方向D1に厚さt1~t6が段階的に増加する階段形状を有しており、階段形状の段数が6段であり、単位構造10は6個のセル領域11a~11fを有している。また、反射板1は、凹凸構造側の面に導電層3を有しており、導電層3はセル領域11a~11fの側面にも配置することができ、隣接するセル領域同士が導通している。 The reflector of the present disclosure will be described with reference to the drawings. FIGS. 1(a) and 1(b) are a schematic plan view and a cross-sectional view showing an example of the reflector of the present disclosure, and FIG. 1(b) is a cross-sectional view taken along line A-A in FIG. 1(a). As shown in FIGS. 1(a) and 1(b), the reflector 1 is a reflector that reflects electromagnetic waves in a specific frequency band and has a concavo-convex structure in which multiple unit structures 10 are arranged, each having a thickness distribution in which thicknesses t1 to t6 increase in a predetermined direction D1. Each unit structure 10 also has multiple cell regions 11a to 11f with different thicknesses t1 to t6. For example, in FIG. 1(b), the unit structure 10 has a staircase shape in which the thicknesses t1 to t6 increase stepwise in the predetermined direction D1. The staircase shape has six steps, and the unit structure 10 has six cell regions 11a to 11f. In addition, the reflector 1 has a conductive layer 3 on the surface with the concave-convex structure, and the conductive layer 3 can also be placed on the side surfaces of the cell regions 11a to 11f, providing electrical continuity between adjacent cell regions.

なお、図1(b)において、反射板1は、一方の面に凹凸を有する基材層4と、基材層4の凹凸側の面に配置された導電層3とを有するが、反射板の構成はこの限りではない。 In Figure 1(b), the reflector 1 has a base layer 4 with an irregular surface on one side and a conductive layer 3 disposed on the irregular surface of the base layer 4, but the configuration of the reflector is not limited to this.

反射板1において、単位構造10の各セル領域11a~11fでは、厚さt1~t6が異なるため、電磁波が反射板1の凹凸構造側の面で反射して電磁波の入射側に放出される際の往復の光路長が異なることになり、これらの電磁波の往復光路長の差が反射位相の差を生み出すことになる。 In the reflector 1, the thicknesses t1 to t6 of each cell region 11a to 11f of the unit structure 10 are different, so the round-trip optical path length when the electromagnetic wave is reflected from the surface of the reflector 1 on the uneven structure side and emitted to the electromagnetic wave incident side is different, and these differences in the round-trip optical path length of the electromagnetic wave create differences in the reflection phase.

ここで、本明細書において、「光路長」という用語を用いたのは、本開示において対象とする周波数帯の波長が従来のLTE以前の周波数帯に比べると光に近づき直進性も高くなることから、光に類似の挙動としたほうが説明しやすいためであり、実際には空気中を電磁波が通過する際の実効距離を意味する。 The term "optical path length" is used in this specification because the wavelengths of the frequency bands covered in this disclosure are closer to those of light and have a higher degree of directivity compared to conventional pre-LTE frequency bands, making it easier to explain the behavior of the wave as being similar to that of light. In practice, this term refers to the effective distance that electromagnetic waves travel through air.

そして、反射板1において、単位構造10では、所定の方向D1における単位構造10の厚さ方向の断面において、各セル領域11a~11fの端部E1~E6が同一直線上にある。 In the reflector 1, in the unit structure 10, the ends E1 to E6 of each cell region 11a to 11f are aligned on the same line in a cross section of the unit structure 10 in the thickness direction in the predetermined direction D1.

例えば、各セル領域11a~11fの所定の方向D1における長さが同じであり、隣接するセル領域同士の厚さの差が同じである場合には、単位構造10では、所定の方向D1における単位構造10の厚さ方向の断面において、各セル領域11a~11fの端部E1~E6が同一直線(図中の一点鎖線)上に並ぶことになる。 For example, if the length of each cell region 11a-11f in the specified direction D1 is the same and the difference in thickness between adjacent cell regions is the same, then in the cross section of the unit structure 10 in the thickness direction in the specified direction D1, the ends E1-E6 of each cell region 11a-11f will be aligned on the same straight line (the dashed dotted line in the figure).

具体的には、6個のセル領域11a~11fを有する単位構造10においては、電磁波の波長をλとしたとき、隣接するセル領域同士の厚さの差は、λ/2を6で除した値、つまりλ/12になるように、設計することができる。このとき、電磁波の波長をλ、mを整数、aを0以上の実数とし、最大厚さt6を有する最大厚さセル領域11fの厚さt6を(λ/2)×m+aとする場合、各セル領域11a~11fの厚さt1~t6はそれぞれ下記のように設計することができる。 Specifically, in a unit structure 10 having six cell regions 11a-11f, when the wavelength of the electromagnetic wave is λ, the difference in thickness between adjacent cell regions can be designed to be λ/2 divided by 6, or λ/12. In this case, if the wavelength of the electromagnetic wave is λ, m is an integer, a is a real number greater than or equal to 0, and the thickness t6 of the thickest cell region 11f having the maximum thickness t6 is (λ/2) × m + a, the thicknesses t1-t6 of each cell region 11a-11f can be designed as follows:

t1:{(λ/2)×m}-{(λ/12)×5}+a
t2:{(λ/2)×m}-{(λ/12)×4}+a
t3:{(λ/2)×m}-{(λ/12)×3}+a
t4:{(λ/2)×m}-{(λ/12)×2}+a
t5:{(λ/2)×m}-{(λ/12)×1}+a
t6:{(λ/2)×m}+a
t1: {(λ/2)×m}-{(λ/12)×5}+a
t2: {(λ/2)×m}-{(λ/12)×4}+a
t3: {(λ/2)×m}-{(λ/12)×3}+a
t4: {(λ/2)×m}-{(λ/12)×2}+a
t5: {(λ/2)×m}-{(λ/12)×1}+a
t6: {(λ/2)×m}+a

例えば、m=1、a=0の場合、各セル領域11a~11fの厚さt1~t6はそれぞれ下記のようになる。 For example, when m = 1 and a = 0, the thicknesses t1 to t6 of each cell region 11a to 11f are as follows:

t1:1λ/12
t2:2λ/12
t3:3λ/12
t4:4λ/12
t5:5λ/12
t6:6λ/12
t1: 1λ/12
t2: 2λ/12
t3: 3λ/12
t4: 4λ/12
t5: 5λ/12
t6: 6λ/12

このような場合、セル領域11a、11b、11c、11d、11e、11fの順に電磁波の反射位相の遅れが大きく、セル領域11fでの電磁波の反射位相が最も小さい。反射位相が最も小さいセル領域11fでの反射位相を基準とする場合、各セル領域11a~11fでの相対反射位相は、例えば図1(c)に示すようになる。図1(c)においては、単位構造10の各セル領域11a~11fでの電磁波の相対反射位相はそれぞれ、-300度、-240度、-180度、-120度、-60度、0度であり、隣接するセル領域同士での電磁波の相対反射位相の差の絶対値は60度である。 In such a case, the delay in the reflection phase of the electromagnetic wave increases in the order of cell regions 11a, 11b, 11c, 11d, 11e, and 11f, with cell region 11f having the smallest reflection phase. If the reflection phase in cell region 11f, which has the smallest reflection phase, is used as a reference, the relative reflection phases in each of cell regions 11a to 11f are as shown in Figure 1(c), for example. In Figure 1(c), the relative reflection phases of the electromagnetic wave in each of cell regions 11a to 11f of unit structure 10 are -300 degrees, -240 degrees, -180 degrees, -120 degrees, -60 degrees, and 0 degrees, respectively, and the absolute value of the difference in the relative reflection phase of the electromagnetic wave between adjacent cell regions is 60 degrees.

上述のように、単位構造10の各セル領域11a~11fでは、厚さt1~t6が変化することで、電磁波の往復光路長が変化し、電磁波の反射位相が変化するため、図2に例示するように、電磁波の入射波W1を正反射(鏡面反射)方向とは異なる方向に反射させることができる。この場合、電磁波の入射波W1の入射角θ1と、電磁波の反射波W2の反射角θ2とは異なる。 As described above, in each cell region 11a to 11f of the unit structure 10, the thicknesses t1 to t6 change, changing the round-trip optical path length of the electromagnetic wave and changing the reflection phase of the electromagnetic wave. As a result, as shown in the example in Figure 2, the incident electromagnetic wave W1 can be reflected in a direction different from the regular reflection (specular reflection) direction. In this case, the incident angle θ1 of the incident electromagnetic wave W1 is different from the reflection angle θ2 of the reflected electromagnetic wave W2.

したがって、本開示の反射板においては、単位構造の各セル領域の厚さを変化させることによって、セル領域毎に電磁波の往復光路長を変化させ、電磁波の反射位相を制御することができる。これにより、電磁波の所定の入射方向に対する反射方向を任意の方向に制御することができる。 Therefore, in the reflector disclosed herein, by varying the thickness of each cell region of the unit structure, the round-trip optical path length of the electromagnetic wave can be varied for each cell region, thereby controlling the reflection phase of the electromagnetic wave. This makes it possible to control the reflection direction of the electromagnetic wave relative to a specified incident direction to any direction.

ここで、本明細書において、「反射位相」とは、ある表面に入射する入射波の位相に対する、反射波の位相の変化量をいう。 In this specification, "reflection phase" refers to the amount of change in the phase of a reflected wave relative to the phase of an incident wave incident on a surface.

また、本明細書において、「相対反射位相」とは、一つの単位構造において、反射位相の遅れが最も小さいセル領域での反射位相を基準として、その基準の反射位相に対する、あるセル領域での反射位相の遅れを負号で示すものである。例えば、一つの単位構造において、反射位相の遅れが最も小さいセル領域での反射位相が-10度である場合、反射位相が-40度であるセル領域での相対反射位相は-30度になる。 In addition, in this specification, "relative reflection phase" refers to the reflection phase delay in a cell region relative to the reference reflection phase, expressed as a negative sign, using the reflection phase in the cell region with the smallest reflection phase delay in one unit structure as a reference. For example, if the reflection phase in the cell region with the smallest reflection phase delay in one unit structure is -10 degrees, the relative reflection phase in a cell region with a reflection phase of -40 degrees will be -30 degrees.

なお、反射位相は、特に断りのない限り、-360度超360度未満の範囲内であり、-360度および+360度は0度に戻る。また、相対反射位相は、特に断りのない限り、-360度超0度以下の範囲内であり、-360度は0度に戻る。 Unless otherwise specified, the reflection phase is in the range of more than -360 degrees and less than 360 degrees, with -360 degrees and +360 degrees returning to 0 degrees. Unless otherwise specified, the relative reflection phase is in the range of more than -360 degrees and less than 0 degrees, with -360 degrees returning to 0 degrees.

また、本明細書において、「セル領域」とは、単位構造において、厚さが同じである領域をいい、すなわち電磁波の反射位相が同じである領域をいう。 In addition, in this specification, the term "cell region" refers to a region in a unit structure that has the same thickness, i.e., a region in which the reflection phase of electromagnetic waves is the same.

従来のような複数の反射素子が配列されたリフレクトアレイでは、例えば、反射素子の寸法や形状を調整することで、反射位相を遅らせることも、反射位相を進めることもできる。本開示の反射板においては、厚さが最も小さいセル領域での反射位相を基準とし、単位構造の各セル領域の厚さを増すことで、反射位相を進ませることができ、反射波の方向を制御することができる。また、本開示の反射板においては、厚さが最も大きいセル領域での反射位相を基準とし、単位構造の各セル領域の厚さが減るにつれて反射位相が遅れることを利用して、反射波の方向を制御することもできる。 In a conventional reflectarray in which multiple reflecting elements are arranged, the reflection phase can be delayed or advanced by adjusting the dimensions and shape of the reflecting elements, for example. In the reflector of the present disclosure, the reflection phase in the cell region with the smallest thickness is used as the reference, and by increasing the thickness of each cell region of the unit structure, the reflection phase can be advanced, allowing the direction of the reflected wave to be controlled. Furthermore, in the reflector of the present disclosure, the reflection phase in the cell region with the largest thickness is used as the reference, and the reflection phase delays as the thickness of each cell region of the unit structure decreases, allowing the direction of the reflected wave to be controlled by utilizing this.

本開示においては、従来のように複数の反射素子を配列する必要が無いため、製造コストを削減することができる。また、本開示における凹凸構造は、例えば、切削、レーザー加工、金型を使用した賦型、3Dプリンタ、小片パーツの接合等の種々の手法によって形成することができる。そのため、従来のリフレクトアレイにおける金属層のフォトリソグラフィ加工のように、フォトマスクを必要としない。よって、目的の入射角および反射角をもつ反射特性になるように、単位構造の各セル領域の厚さを設計し、反射板を製造する場合に、比較的安価、短期に所望の反射板を製造することができる。また、反射特性の制御に影響する単位構造の厚さや単位構造のサイズについては、加工可能範囲が比較的広いことから、例えば電磁波の入射・反射角を大きくすることも可能であり、反射特性の制御域を広くすることができる。さらに、単位構造の厚さや単位構造のセル領域のピッチについては、所望の反射位相を実現するための寸法加工精度のマージンが比較的広いことから、所望の反射特性を得られやすく、寸法ばらつきの影響も軽減することができる。したがって、反射板の反射特性をカスタマイズすることが容易である。 In the present disclosure, there is no need to arrange multiple reflective elements as in conventional methods, thereby reducing manufacturing costs. Furthermore, the concave-convex structure in the present disclosure can be formed by various methods, such as cutting, laser processing, molding using a mold, 3D printing, and joining small pieces. Therefore, unlike conventional reflectarrays, which require photolithography to process the metal layer, a photomask is not required. Therefore, when designing the thickness of each cell region of a unit structure to achieve the desired reflection characteristics with the desired angle of incidence and reflection, the desired reflector can be manufactured relatively inexpensively and in a short period of time. Furthermore, since the thickness and size of the unit structures, which affect the control of reflection characteristics, can be manipulated over a relatively wide range, it is possible to increase the incidence and reflection angles of electromagnetic waves, for example, thereby widening the control range of reflection characteristics. Furthermore, since the thickness of the unit structures and the pitch of the cell regions of the unit structures have a relatively wide margin of dimensional processing accuracy to achieve the desired reflection phase, the desired reflection characteristics can be easily obtained and the effects of dimensional variation can be reduced. Therefore, the reflection characteristics of the reflector can be easily customized.

以下、本開示の反射板の各構成について説明する。 The following describes each configuration of the reflector disclosed herein.

1.凹凸構造
本開示の反射板は、所定の方向に厚さが増加する厚さ分布を有する単位構造が複数配置された凹凸構造を有する。
1. Uneven Structure The reflector of the present disclosure has an uneven structure in which a plurality of unit structures having a thickness distribution in which the thickness increases in a predetermined direction are arranged.

単位構造は、厚さの異なる複数のセル領域を有する。 The unit structure has multiple cell regions of different thicknesses.

また、入射波・反射波がともに平面波とみなせる場合には、各単位構造では、所定の方向における単位構造の厚さ方向の断面において、各セル領域の端部が同一直線上にあることになる。 Furthermore, if both the incident wave and the reflected wave can be considered as plane waves, then in each unit structure, the ends of each cell region will be on the same straight line in a cross section of the unit structure's thickness direction in a specified direction.

一方、例えば入射波が球面波である場合や反射板による反射ビームプロファイルを制御する場合には、所定の方向における単位構造の厚さ方向の断面は、一定の厚さを上限とする周期性のある階段形状、具体的には、一定の厚さを上限とし、周期的に厚さの増減を繰り返す階段形状を有することになる。 On the other hand, for example, when the incident wave is a spherical wave or when the reflected beam profile is controlled by a reflector, the cross section of the unit structure in the thickness direction in a specified direction will have a periodic step shape with a certain thickness as its upper limit, specifically, a step shape in which the thickness periodically increases and decreases with a certain thickness as its upper limit.

なお、一のセル領域の端部とは、一つの単位構造の断面において、一のセル領域に対して、厚さが増加する一の方向に隣接する他のセル領域のうち、一のセル領域の厚さよりも薄い他のセル領域側に位置する端部をいう。例えば図1(b)において、セル領域11bの端部は、セル領域11bに対して、所定の方向D1に隣接する他のセル領域11a、11cのうち、セル領域11bの厚さよりも薄いセル領域11a側に位置する端部をいい、E2で示される。同様に、各セル領域11c~11fの端部はそれぞれE3~E6で示される。なお、一つの単位構造の断面において、一のセル領域に対して、厚さが増加する一の方向に隣接する他のセル領域のうち、一のセル領域の厚さよりも薄い他のセル領域が存在しない場合には、一のセル領域の端部とは、一のセル領域の厚さよりも厚い他のセル領域側とは反対側に位置する端部をいう。例えば図1(b)において、セル領域11aの端部は、セル領域11aの厚さよりも厚いセル領域11b側とは反対側に位置する端部をいい、E1で示される。 Note that the term "end of a cell region" refers to the end of a cell region that is adjacent to the cell region in a direction of increasing thickness in the cross section of a unit structure, and that is located on the side of the other cell region that is thinner than the first cell region. For example, in Figure 1(b), the end of cell region 11b refers to the end of cell region 11a, which is adjacent to cell region 11b in a specific direction D1 and that is thinner than cell region 11b, and is indicated by E2. Similarly, the ends of cell regions 11c to 11f are indicated by E3 to E6, respectively. Note that, in the cross section of a unit structure, if there are no other cell regions that are adjacent to the first cell region in a direction of increasing thickness, and that are thinner than the first cell region, the end of the first cell region refers to the end located on the opposite side of the other cell region that is thicker than the first cell region. For example, in Figure 1(b), the end of cell region 11a refers to the end located on the opposite side to cell region 11b, which is thicker than cell region 11a, and is indicated by E1.

また、所定の方向における単位構造の厚さ方向の断面において、各セル領域の端部の厚さ方向の差は、好ましくは±λ/2以内であり、より好ましくは±λ/4以内であり、さらに好ましくは±λ/6以内である。 Furthermore, in a cross section of the unit structure in the thickness direction in a predetermined direction, the difference in thickness between the ends of each cell region is preferably within ±λ/2, more preferably within ±λ/4, and even more preferably within ±λ/6.

単位構造は、所定の方向に厚さが増加する厚さ分布を有する。単位構造は、例えば、一方向のみに厚さが増加する厚さ分布を有していてもよく、あるいは、第一方向および第一方向に垂直な第二方向の二方向に厚さが増加する厚さ分布を有していてもよい。例えば、図3(a)は、単位構造10が第一方向D1のみに厚さが増加する厚さ分布を有する例であり、図3(c)、(e)、図4(a)は、単位構造10が第一方向D1および第二方向D2に厚さが増加する厚さ分布を有する例である。 The unit structure has a thickness distribution in which the thickness increases in a predetermined direction. For example, the unit structure may have a thickness distribution in which the thickness increases in only one direction, or may have a thickness distribution in which the thickness increases in two directions: a first direction and a second direction perpendicular to the first direction. For example, Figure 3(a) is an example of a unit structure 10 having a thickness distribution in which the thickness increases only in the first direction D1, while Figures 3(c), (e), and 4(a) are examples of unit structures 10 having a thickness distribution in which the thickness increases in both the first direction D1 and the second direction D2.

上述したように、各単位構造では、所定の方向における単位構造の厚さ方向の断面において、各セル領域の端部が同一直線上にある場合であって、単位構造が一方向のみに厚さが増加する厚さ分布を有する場合には、その一方向における単位構造の厚さ方向の断面において、各セル領域の端部が同一直線上にあることになる。また、上記の場合であって、単位構造が互いに垂直な二方向に厚さが増加する厚さ分布を有する場合には、それらの二方向における単位構造の厚さ方向の断面において、それぞれ、各セル領域の端部が同一直線上にあることになる。 As described above, in each unit structure, if the ends of each cell region are on the same line in a cross section of the unit structure's thickness direction in a specified direction, and the unit structure has a thickness distribution in which the thickness increases in only one direction, the ends of each cell region will be on the same line in a cross section of the unit structure's thickness direction in that one direction. Furthermore, in the above case, if the unit structure has a thickness distribution in which the thickness increases in two mutually perpendicular directions, the ends of each cell region will be on the same line in a cross section of the unit structure's thickness direction in each of those two directions.

一方、上述したように、所定の方向における単位構造の厚さ方向の断面が、一定の厚さを上限とする周期性のある階段形状、具体的には、一定の厚さを上限とし、周期的に厚さの増減を繰り返す階段形状を有する場合であって、単位構造が一方向のみに厚さが増加する厚さ分布を有する場合には、その一方向における単位構造の厚さ方向の断面において、一定の厚さを上限とする周期性のある階段形状になる。また、上記の場合であって、単位構造が互いに垂直な二方向に厚さが増加する厚さ分布を有する場合には、それらの二方向における単位構造の厚さ方向の断面において、それぞれ、一定の厚さを上限とする周期性のある階段形状になる。 On the other hand, as described above, when the cross section of a unit structure in a specified direction in the thickness direction has a periodic step shape with a constant thickness as its upper limit, specifically, a step shape in which the thickness periodically increases and decreases with a constant thickness as its upper limit, and when the unit structure has a thickness distribution in which the thickness increases in only one direction, the cross section of the unit structure in the thickness direction in that one direction will have a periodic step shape with a constant thickness as its upper limit. Furthermore, in the above case, when the unit structure has a thickness distribution in which the thickness increases in two mutually perpendicular directions, the cross section of the unit structure in the thickness direction in each of those two directions will have a periodic step shape with a constant thickness as its upper limit.

一つの単位構造において、最大厚さを有する最大厚さセル領域の厚さは、電磁波の波長をλ、mを整数、aを0以上の実数としたとき、(λ/2)×m+aで表されることが好ましい。aは、0以上の実数であり、反射板のベースの厚さでもあり、全体的な強度、形成の容易さ等を考慮して適宜設定される。aは、例えば、0mm以上3mm以下程度とすることができる。なお、ベースの厚さaは、最小厚さを有する最小厚さセル領域の厚さとは異なる概念である。また、mは、整数であり、例えば、1以上の整数とすることができ、好ましくは1以上3以下の整数である。mが大きくなると、反射板全体の厚さが厚くなり、反射板の設置が困難になる可能性がある。例えば図1(b)においては、最大厚さt6を有する最大厚さセル領域11fの厚さt6が、(λ/2)×m+aであることが好ましい。 In one unit structure, the thickness of the maximum thickness cell region having the maximum thickness is preferably expressed as (λ/2) × m + a, where λ is the wavelength of the electromagnetic wave, m is an integer, and a is a real number greater than or equal to 0. a is a real number greater than or equal to 0 and is also the thickness of the base of the reflector. It is set appropriately taking into consideration overall strength, ease of formation, and other factors. a can be, for example, approximately 0 mm or greater and 3 mm or less. Note that the thickness of the base a is a different concept from the thickness of the minimum thickness cell region having the minimum thickness. m is an integer, and can be, for example, an integer greater than or equal to 1, preferably an integer greater than or equal to 1 and less than or equal to 3. As m increases, the thickness of the entire reflector increases, which may make installation of the reflector more difficult. For example, in Figure 1(b), the thickness t6 of the maximum thickness cell region 11f having the maximum thickness t6 is preferably (λ/2) × m + a.

一つの単位構造において、隣接するセル領域同士の厚さの差は、電磁波の波長をλ、nを整数としたとき、(λ/2)/nで表されることが好ましい。nは、整数であり、例えば単位構造の断面形状が階段形状である場合であって、隣接するセル領域同士の厚さの差が等しい場合には、階段形状の段数、すなわちセル領域の数に相当する。 In one unit structure, the difference in thickness between adjacent cell regions is preferably expressed as (λ/2)/n, where λ is the wavelength of the electromagnetic wave and n is an integer. n is an integer, and when, for example, the cross-sectional shape of the unit structure is stepped and the difference in thickness between adjacent cell regions is equal, n corresponds to the number of steps in the stepped shape, i.e., the number of cell regions.

例えば図1(b)は、単位構造10の断面形状が階段形状であり、階段形状の段数が6段であり、隣接するセル領域同士の厚さの差が等しい例である。この場合、隣接するセル領域同士の厚さの差は、(λ/2)/6=λ/12であることが好ましい。 For example, Figure 1(b) shows an example in which the cross-sectional shape of the unit structure 10 is stepped, the number of steps in the stepped shape is six, and the difference in thickness between adjacent cell regions is equal. In this case, it is preferable that the difference in thickness between adjacent cell regions is (λ/2)/6 = λ/12.

また、例えば図5は、単位構造10の断面形状が階段形状であり、階段形状の段数が4段であり、隣接するセル領域同士の厚さの差が異なる例である。この場合、隣接するセル領域同士の厚さの差は、(λ/2)/nであることが好ましい。具体的には、単位構造10の各セル領域11a~11dの厚さt1~t4をそれぞれ、1λ/12、3λ/12、4λ/12、6λ/12とし、隣接するセル領域11a、11b同士の厚さの差を2λ/12、隣接するセル領域11b、11c同士の厚さの差をλ/12、隣接するセル領域11c、11d同士の厚さの差を2λ/12とすることができる。この場合、隣接するセル領域同士の厚さの差はそれぞれ、2λ/12=λ/6=(λ/2)/3、λ/12=(λ/2)/6となる。 Furthermore, for example, Figure 5 shows an example in which the cross-sectional shape of the unit structure 10 is stepped, the number of steps of the stepped shape is four, and the difference in thickness between adjacent cell regions is different. In this case, the difference in thickness between adjacent cell regions is preferably (λ/2)/n. Specifically, the thicknesses t1 to t4 of each cell region 11a to 11d of the unit structure 10 can be 1λ/12, 3λ/12, 4λ/12, and 6λ/12, respectively, and the difference in thickness between adjacent cell regions 11a and 11b can be 2λ/12, the difference in thickness between adjacent cell regions 11b and 11c can be λ/12, and the difference in thickness between adjacent cell regions 11c and 11d can be 2λ/12. In this case, the differences in thickness between adjacent cell regions are 2λ/12 = λ/6 = (λ/2)/3 and λ/12 = (λ/2)/6, respectively.

また、一つの単位構造において、隣接するセル領域同士の厚さの差は、等しくてもよく、異なっていてもよいが、等しいことが好ましい。例えば、図1(b)は、隣接するセル領域同士の厚さの差が等しい例であり、図5は、隣接するセル領域同士の厚さの差が異なる例である。 Furthermore, within one unit structure, the difference in thickness between adjacent cell regions may be equal or different, but it is preferable that the difference is equal. For example, Figure 1(b) shows an example in which the difference in thickness between adjacent cell regions is equal, while Figure 5 shows an example in which the difference in thickness between adjacent cell regions is different.

また、一つの単位構造において、最小厚さを有する最小厚さセル領域の厚さと、最大厚さを有する最大厚さセル領域の厚さとの差は、電磁波の波長λの1/2未満であることが好ましい。また、一つの単位構造において、最小厚さを有する最小厚さセル領域の厚さと、最大厚さを有する最大厚さセル領域の厚さとの差は、電磁波の波長λの1/6超であることが好ましい。例えば、図1(b)に示すように、単位構造10が6個のセル領域を有する場合、一つの単位構造10において、最小厚さt1を有する最小厚さセル領域11aの厚さt1と、最大厚さt6を有する最大厚さセル領域11fの厚さtとの差は、λ/2未満であることが好ましい。具体的には、一つの単位構造10において、最小厚さt1を有する最小厚さセル領域11aの厚さt1をλ/12、最大厚さt6を有する最大厚さセル領域11fの厚さt6を6λ/12とし、最小厚さt1を有する最小厚さセル領域11aの厚さt1と、最大厚さt6を有する最大厚さセル領域11fの厚さt6との差を5λ/12とすることができる。 Furthermore, in one unit structure, it is preferable that the difference in thickness between the minimum thickness cell region having the minimum thickness and the maximum thickness cell region having the maximum thickness be less than 1/2 of the wavelength λ of the electromagnetic wave. Furthermore, in one unit structure, it is preferable that the difference in thickness between the minimum thickness cell region having the minimum thickness and the maximum thickness cell region having the maximum thickness be more than 1/6 of the wavelength λ of the electromagnetic wave. For example, as shown in Figure 1(b), if unit structure 10 has six cell regions, it is preferable that the difference in thickness t1 between minimum thickness cell region 11a having the minimum thickness t1 and maximum thickness cell region 11f having the maximum thickness t6 be less than λ/2 in one unit structure 10. Specifically, in one unit structure 10, the thickness t1 of the minimum thickness cell region 11a having the minimum thickness t1 can be set to λ/12, the thickness t6 of the maximum thickness cell region 11f having the maximum thickness t6 can be set to 6λ/12, and the difference between the thickness t1 of the minimum thickness cell region 11a having the minimum thickness t1 and the thickness t6 of the maximum thickness cell region 11f having the maximum thickness t6 can be set to 5λ/12.

単位構造のサイズ、具体的には、厚さが増加する所定の方向における単位構造の長さは、目的の反射特性に応じて適宜設定される。厚さが増加する所定の方向における単位構造の長さによって、1波長分(位相差:360度)ずれることになるため、反射角を調整することができる。例えば、厚さが増加する所定の方向における単位構造の長さを短くすることで、正反射角に対する反射角の差を大きくすることができ、一方、厚さが増加する所定の方向における単位構造の長さを長くすることで、正反射角に対する反射角の差を小さくすることができる。 The size of the unit structure, specifically the length of the unit structure in a specified direction in which the thickness increases, is set appropriately according to the desired reflection characteristics. The length of the unit structure in a specified direction in which the thickness increases results in a shift of one wavelength (phase difference: 360 degrees), making it possible to adjust the reflection angle. For example, by shortening the length of the unit structure in a specified direction in which the thickness increases, the difference between the reflection angle and the specular reflection angle can be increased; conversely, by increasing the length of the unit structure in a specified direction in which the thickness increases, the difference between the reflection angle and the specular reflection angle can be reduced.

なお、単位構造において、厚さが増加する所定の方向における単位構造の長さとは、単位構造が、所定の方向に厚さが増加する厚さ分布を有する場合において、その所定の方向における単位構造の長さをいう。例えば図5においては、単位構造10では、所定の方向D1に厚さが増加しており、この所定の方向D1における単位構造10の長さはLである。 Note that the length of a unit structure in a predetermined direction in which the thickness increases refers to the length of the unit structure in that predetermined direction when the unit structure has a thickness distribution in which the thickness increases in that predetermined direction. For example, in Figure 5, the thickness of unit structure 10 increases in predetermined direction D1, and the length of unit structure 10 in this predetermined direction D1 is L.

また、単位構造の断面形状としては、例えば、所定の方向に厚さが段階的に増加する階段形状であってもよく、あるいは、所定の方向に厚さが漸次的に増加するテーパー形状であってもよい。例えば、図1(b)および図5は、単位構造10が階段形状を有する例であり、図6は、単位構造10がテーパー形状を有する例である。 The cross-sectional shape of the unit structure may be, for example, a stepped shape in which the thickness increases stepwise in a predetermined direction, or a tapered shape in which the thickness increases gradually in a predetermined direction. For example, Figures 1(b) and 5 show examples in which the unit structure 10 has a stepped shape, and Figure 6 shows an example in which the unit structure 10 has a tapered shape.

なお、単位構造は厚さの異なる複数のセル領域を有するが、単位構造の断面形状がテーパー形状を有する場合は、単位構造におけるセル領域の数を無限に多くしたものとみなすことができる。この場合でも、単位構造が有する厚さ分布は、各セル領域の厚さが上述した設定になるように設計される。 Note that a unit structure has multiple cell regions of different thicknesses, but if the cross-sectional shape of the unit structure is tapered, the number of cell regions in the unit structure can be considered to be infinitely large. Even in this case, the thickness distribution of the unit structure is designed so that the thickness of each cell region is set as described above.

また、反射板は、厚さ分布を有する単位構造が複数配置されたものであるため、単位構造の平面視のパターン形状は、隙間なく配列することが可能な形状であればよく、例えば、矩形状、正六角形状等を挙げることができる。例えば、図3(a)~(f)、図4(a)は、単位構造10の平面視のパターン形状が矩形状である例である。 Furthermore, since the reflector is made up of an arrangement of multiple unit structures with thickness distribution, the pattern shape of the unit structures in a planar view can be any shape that allows them to be arranged without gaps, such as a rectangle or a regular hexagon. For example, Figures 3(a) to (f) and Figure 4(a) show examples in which the pattern shape of the unit structures 10 in a planar view is rectangular.

単位構造において、各セル領域の厚さは、上述した設定になるように設計されている。各セル領域の厚さは、電磁波の波長および目的の反射特性に応じて適宜設定される。例えば、電磁波の周波数が30GHzであり、すなわち電磁波の波長が10mmである場合、各セル領域の厚さは0.1mm以上5.1mm以下程度であることが好ましい。 In the unit structure, the thickness of each cell region is designed to be as described above. The thickness of each cell region is set appropriately depending on the wavelength of the electromagnetic wave and the desired reflection characteristics. For example, if the frequency of the electromagnetic wave is 30 GHz, i.e., the wavelength of the electromagnetic wave is 10 mm, it is preferable that the thickness of each cell region be approximately 0.1 mm or more and 5.1 mm or less.

単位構造において、セル領域のピッチや幅は適宜設定される。 In the unit structure, the pitch and width of the cell area are set appropriately.

また、セル領域のサイズとしては、例えば、セル領域の平面視のパターン形状がストライプ状である場合には、電磁波の波長をλとし、pを整数としたとき、セル領域の幅をλ/p以上とすることができる。すなわち、単位構造は、幅がλ/p以下であるセル領域が敷き詰められた構成とすることができる。pは2以上10以下程度とすることができる。一方、上記の場合、セル領域の長さは反射板の一辺の長さ以下であればよい。また、一つの単位構造において、敷き詰められたセル領域の数は、入射波・反射波の方向や角度によって異なるが、2以上である。 Furthermore, regarding the size of the cell region, for example, if the pattern shape of the cell region in a planar view is striped, the width of the cell region can be λ/p or more, where λ is the wavelength of the electromagnetic wave and p is an integer. In other words, the unit structure can be configured with cell regions each with a width of λ/p or less laid out closely together. p can be approximately 2 or more and 10 or less. Meanwhile, in the above case, the length of the cell region only needs to be equal to or less than the length of one side of the reflector. Furthermore, the number of cell regions laid out in one unit structure will vary depending on the direction and angle of the incident wave and reflected wave, but will be 2 or more.

また、一つの単位構造において、セル領域のピッチは等しいことが好ましい。 Furthermore, it is preferable that the pitch of the cell regions in one unit structure is uniform.

なお、セル領域のピッチとは、1つのセル領域の中心から隣接するセル領域の中心までの距離をいう。 Note that the pitch of a cell area refers to the distance from the center of one cell area to the center of an adjacent cell area.

また、一つの単位構造において、厚さが増加する所定の方向におけるセル領域の幅は、等しくてもよく、異なっていてもよいが、等しいことが好ましい。 Furthermore, in one unit structure, the width of the cell region in a given direction in which the thickness increases may be equal or different, but it is preferable that it be equal.

単位構造において、セル領域の平面視のパターン形状としては、例えば、ストライプ状、同心正方形を辺に平行で互いに垂直な直線で四等分したときの一つの形状、マイクロアレイ状、同心円を互いに垂直な直径で四等分したときの一つの形状である同心四分円状、曲線階段状等が挙げられる。例えば、図3(b)はストライプ状の例であり、図3(d)は同心正方形を辺に平行で互いに垂直な直線で四等分したときの一つの形状の例であり、図3(f)、図4(a)はマイクロアレイ状の例であり、図4(b)は同心四分円状の例であり、図4(c)は曲線階段状の例である。なお、図3(b)は図3(a)の上面図、図3(d)は図3(c)の上面図、図3(f)は図3(e)の上面図である。また、これらの例示された単位構造を隙間なく配置する場合、配列の方向には特に制限はなく、例えば矩形の単位構造を平面視で時計回りに30度回転させた状態で全面に配列させることもでき、必要とされる反射特性設計に応じて単位構造を適切な角度、適切な配列方向を選択し配置すればよい。 In the unit structure, the pattern shape of the cell region in a planar view can be, for example, a stripe shape, a shape obtained by dividing a concentric square into four equal parts by lines parallel to the sides and perpendicular to each other, a microarray shape, a concentric quadrant shape, which is a shape obtained by dividing a concentric circle into four equal parts by perpendicular diameters, or a curved staircase shape. For example, Figure 3(b) is an example of a stripe shape, Figure 3(d) is an example of a shape obtained by dividing a concentric square into four equal parts by lines parallel to the sides and perpendicular to each other, Figures 3(f) and 4(a) are examples of a microarray shape, Figure 4(b) is an example of a concentric quadrant shape, and Figure 4(c) is an example of a curved staircase shape. Note that Figure 3(b) is a top view of Figure 3(a), Figure 3(d) is a top view of Figure 3(c), and Figure 3(f) is a top view of Figure 3(e). Furthermore, when these exemplified unit structures are arranged without gaps, there are no particular restrictions on the arrangement direction; for example, rectangular unit structures can be arranged over the entire surface while rotated 30 degrees clockwise in a plan view; the unit structures can be arranged at an appropriate angle and in an appropriate arrangement direction depending on the required reflection characteristic design.

単位構造は、複数のセル領域を有する。一つの単位構造において、セル領域の数は、例えば、3以上であり、6以上であることが好ましい。一つの単位構造におけるセル領域の数が多いほど、隣接するセル領域同士の厚さの差を小さくし、隣接するセル領域同士での電磁波の反射位相の差を小さくすることができ、反射波の波面を滑らかにすることができる。また、一つの単位構造におけるセル領域の数は多いほど好ましく、上限は特に限定されない。なお、単位構造の断面形状が階段形状である場合、セル領域の数は、階段形状の段数に相当する。また、単位構造の断面形状がテーパー形状である場合、上述したように、テーパー形状は、セル領域の数を無限に多くしたものとみなすことができる。 A unit structure has multiple cell regions. The number of cell regions in one unit structure is, for example, three or more, and preferably six or more. The greater the number of cell regions in one unit structure, the smaller the difference in thickness between adjacent cell regions, which in turn reduces the difference in the reflection phase of electromagnetic waves between adjacent cell regions, resulting in a smoother wavefront of the reflected wave. Furthermore, the greater the number of cell regions in one unit structure, the more preferable it is, with no particular upper limit. Note that if the cross-sectional shape of the unit structure is stepped, the number of cell regions corresponds to the number of steps in the stepped shape. Furthermore, if the cross-sectional shape of the unit structure is tapered, as described above, the tapered shape can be considered to have an infinitely large number of cell regions.

反射板は、単位構造として、厚さの異なる2つ以上のセル領域を有する第1の単位構造を少なくとも有する。 The reflector has at least a first unit structure having two or more cell regions of different thicknesses as a unit structure.

また、反射板は、単位構造として、第1の単位構造のみを有していてもよく、第1の単位構造とは異なる第2の単位構造をさらに有していてもよい。すなわち、反射板は、単位構造として、同一の単位構造のみを有していてもよく、互いに異なる単位構造を有していてもよい。反射板が、互いに異なる単位構造が複数配置されたものである場合には、反射板の全体の反射特性に影響を与えることができる。具体的には、偏波特性の調整、ビームプロファイル(高指向性、拡散、マルチビーム等)に対する影響等が例示される。 Furthermore, the reflector may have only a first unit structure as its unit structure, or may further have a second unit structure that is different from the first unit structure. In other words, the reflector may have only the same unit structure as its unit structure, or may have unit structures that are different from each other. If the reflector is made up of multiple unit structures that are different from each other, this can affect the overall reflection characteristics of the reflector. Specific examples include adjusting the polarization characteristics and affecting the beam profile (high directivity, diffusion, multi-beam, etc.).

第1の単位構造および第2の単位構造においては、反射特性を異ならせることができ、例えば、厚さが増加する方向における単位構造の長さ、厚さ分布、セル領域の数、幅、ピッチ、単位構造の平面視のパターン形状、セル領域の平面視のパターン形状の少なくともいずれかを異ならせることができる。 The first unit structure and the second unit structure can have different reflection characteristics, for example, different lengths of the unit structures in the direction of increasing thickness, thickness distribution, number of cell regions, width, pitch, pattern shapes of the unit structures in a planar view, and pattern shapes of the cell regions in a planar view.

また、反射板が、単位構造として、互いに異なる単位構造を有する場合、単位構造の種類の数は特に限定されない。 Furthermore, if the reflector has unit structures that are different from each other, there is no particular limit to the number of types of unit structures.

反射板においては、所定の入射角で入射した入射波に対する反射波の同一位相面の法線ベクトルが所望の反射方向になるように、厚さ分布を適宜選択し、複数の単位構造を配置するが、例えば、入射波を単一の方向に反射する、いわゆる平面波として反射する場合は、反射板は、同一の単位構造のみが複数配置されたものであることが好ましく、厚さが増加する所定の方向における単位構造の長さが同じであり、セル領域の平面視のパターン形状がストライプ状であることがより好ましい。例えば、図1(a)、(b)では、反射板1は同一の単位構造のみを複数有しており、所定の方向D1における単位構造10a、10bの長さが同じであり、セル領域11a~11fの平面視のパターン形状がストライプ状である例である。この場合、図2に例示するように、所定の入射角θ1で入射した入射波W1を、単一の反射角θ2で反射させることができ、反射波W2を広がりのない平面波とすることができる。また、図1(a)には、反射板の短手方向に対してセル領域のストライプの長手方向が平行である配置が示されているが、これに限定されず、実際の反射板においては、セル領域のストライプの長手方向および短手方向は反射特性の設計に応じて任意に設定できる。 In a reflector, the thickness distribution is appropriately selected and multiple unit structures are arranged so that the normal vector of the same phase plane of the reflected wave relative to the incident wave incident at a predetermined incident angle is aligned in the desired reflection direction. For example, when reflecting an incident wave in a single direction, i.e., as a plane wave, it is preferable for the reflector to have multiple identical unit structures arranged therein. It is more preferable that the length of the unit structures in the predetermined direction of thickness increase be the same, and that the pattern shape of the cell region in a planar view be striped. For example, Figures 1(a) and 1(b) show an example in which the reflector 1 has multiple identical unit structures, the lengths of the unit structures 10a and 10b in the predetermined direction D1 are the same, and the pattern shape of the cell regions 11a-11f in a planar view is striped. In this case, as illustrated in Figure 2, an incident wave W1 incident at a predetermined incident angle θ1 can be reflected at a single reflection angle θ2, and the reflected wave W2 can be a plane wave without spreading. Furthermore, while Figure 1(a) shows an arrangement in which the longitudinal direction of the stripes in the cell region is parallel to the lateral direction of the reflector, this is not limited to this, and in an actual reflector, the longitudinal and lateral directions of the stripes in the cell region can be set arbitrarily depending on the design of the reflection characteristics.

また、例えば、電磁波を拡散する、すなわち円柱状の波として反射する場合は、反射板は、互いに異なる単位構造が複数配置されたものであることが好ましく、厚さが増加する所定の方向における単位構造の長さが異なり、セル領域の平面視のパターン形状がストライプ状である態様を挙げることができる。例えば、図7において、反射板1は、互いに異なる3種類の単位構造10aと10b、10cと10dとを有しており、これらの単位構造10aと10b、10cと10dとでは、所定の方向D1における単位構造の長さL1、L2、L3が互いに異なっている。また、セル領域11a、12a、13aの厚さは同じであり、同様に、セル領域11b、12b、13bの厚さは同じであり、セル領域11c、12c、13cの厚さは同じであり、セル領域11d、12d、13dの厚さは同じであり、セル領域11e、12e、13eの厚さは同じであり、セル領域11f、12f、13fの厚さは同じであり、セル領域11g、12g、13gの厚さは同じである。これにより、単位構造10aの各セル領域11a~11gの端部を通る直線と、単位構造10b、10cの各セル領域12a~12gの端部を通る直線と、単位構造10dの各セル領域13a~13gを通る直線とで、傾きが互いに異なっており、3種類の単位構造10aと10b、10cと10dとでは、反射特性が互いに異なっている。また、図示しないが、セル領域11a~11g、12a~12g、13a~13gの平面視のパターン形状はストライプ状である。この場合、図8に例示するように、所定の入射角θ1で入射した入射波W1を、単位構造に応じて反射角θ2、θ2’、θ2”で反射させ、広がりを持って反射させることができ、反射波W2の波面を広げることができる。 Furthermore, for example, when diffusing electromagnetic waves, i.e., reflecting them as cylindrical waves, it is preferable that the reflector be an arrangement of multiple different unit structures, with the unit structures having different lengths in a predetermined direction of thickness increase, and the cell region having a striped pattern in a planar view. For example, in Figure 7, reflector 1 has three different types of unit structures 10a and 10b, and 10c and 10d, and these unit structures 10a and 10b, and 10c and 10d have different lengths L1, L2, and L3 of the unit structures in a predetermined direction D1. Furthermore, cell regions 11a, 12a, and 13a have the same thickness, and similarly, cell regions 11b, 12b, and 13b have the same thickness, cell regions 11c, 12c, and 13c have the same thickness, cell regions 11d, 12d, and 13d have the same thickness, cell regions 11e, 12e, and 13e have the same thickness, cell regions 11f, 12f, and 13f have the same thickness, and cell regions 11g, 12g, and 13g have the same thickness. As a result, the slopes of the lines passing through the ends of each of cell regions 11a to 11g of unit structure 10a, the lines passing through the ends of each of cell regions 12a to 12g of unit structures 10b and 10c, and the lines passing through each of cell regions 13a to 13g of unit structure 10d are different from one another, and the reflection characteristics of the three types of unit structures 10a and 10b, and 10c and 10d are different from one another. Although not shown, the pattern shape of cell regions 11a-11g, 12a-12g, and 13a-13g in a planar view is striped. In this case, as shown in the example of Figure 8, an incident wave W1 incident at a predetermined incident angle θ1 can be reflected at reflection angles θ2, θ2', and θ2" depending on the unit structure, resulting in a broadened reflection and a broadened wavefront of the reflected wave W2.

また、反射板が、単位構造として、互いに異なる単位構造を有する場合、反射特性が互いに異なる複数種類の単位構造を用い、種類毎に単位構造を複数配置し、同じ種類の単位構造が複数配置された領域を平面配列してもよい。例えば、図9においては、反射特性が互いに異なる2種類の単位構造10a、10bを用い、一方の種類の単位構造10aが複数配置された第1領域5aと、他方の種類の単位構造10bが複数配置された第2領域5bとが平面配列されてなる反射板1としている。このような態様においては、複数のカバレッジホールに対応することができる。 Furthermore, when the reflector has unit structures that are different from one another, it is possible to use multiple types of unit structures with different reflection characteristics, arrange multiple unit structures of each type, and arrange regions where multiple unit structures of the same type are arranged in a plane. For example, in Figure 9, two types of unit structures 10a, 10b with different reflection characteristics are used, and the reflector 1 is formed by arranging a first region 5a where multiple unit structures 10a of one type are arranged in a plane, and a second region 5b where multiple unit structures 10b of the other type are arranged in a plane. In this manner, it is possible to accommodate multiple coverage holes.

また、反射板が、単位構造として、互いに異なる単位構造を有する場合、例えば、N個の単位構造によってN波長分(位相差:N×360度)ずれるように、N個の単位構造の各セル領域の厚さが設定されていてもよい。なお、Nは2以上の整数である。 Furthermore, if the reflector has unit structures that are different from each other, the thickness of each cell region of the N unit structures may be set so that, for example, the N unit structures are shifted by N wavelengths (phase difference: N x 360 degrees). N is an integer of 2 or greater.

例えば、図10(a)~(b)は、反射板1が、互いに異なる2種類の単位構造10a、10bを有しており、二つの単位構造10a、10bによって2波長分(位相差:720度)ずれるように、二つの単位構造10a、10bの各セル領域11a~11b、12a~12cの厚さが設定されている例である。 For example, Figures 10(a) and 10(b) show an example in which the reflector 1 has two different types of unit structures 10a and 10b, and the thicknesses of the cell regions 11a-11b and 12a-12c of the two unit structures 10a and 10b are set so that the two unit structures 10a and 10b are shifted by two wavelengths (phase difference: 720 degrees).

例えば、各セル領域11a~11b、12a~12cの所定の方向D1の長さが同じであり、隣接するセル領域同士の厚さの差が同じである場合には、所定の方向D1における単位構造10a、10bの厚さ方向の断面において、単位構造10aの各セル領域11a~11bの端部E1~E2を通る直線と、単位構造10bの各セル領域12a~12cの端部E3~E5を通る直線とで、傾きが同じになる。 For example, if the length of each cell region 11a-11b, 12a-12c in the specified direction D1 is the same and the difference in thickness between adjacent cell regions is the same, then in the cross section of the thickness direction of unit structures 10a and 10b in the specified direction D1, the slope of a line passing through ends E1-E2 of each cell region 11a-11b of unit structure 10a will be the same as the slope of a line passing through ends E3-E5 of each cell region 12a-12c of unit structure 10b.

具体的には、合計5個のセル領域11a~11b、12a~12cを有する二つの単位構造10a、10bにおいては、電磁波の波長をλとしたとき、隣接するセル領域同士の厚さの差は、λを5で除した値、つまりλ/5になるように、設計することができる。このとき、電磁波の波長をλ、aを0以上の実数とし、最大厚さt5を有する最大厚さセル領域12cの厚さt5を(λ/2)+aとする場合、各セル領域11a~11b、12a~12cの厚さt1~t4はそれぞれ下記のように設計することができる。 Specifically, in two unit structures 10a and 10b each having a total of five cell regions 11a-11b and 12a-12c, where λ is the wavelength of the electromagnetic wave, the difference in thickness between adjacent cell regions can be designed to be λ divided by 5, or λ/5. In this case, if λ is the wavelength of the electromagnetic wave, a is a real number greater than or equal to 0, and the thickness t5 of the thickest cell region 12c having the maximum thickness t5 is (λ/2) + a, then the thicknesses t1-t4 of each cell region 11a-11b and 12a-12c can be designed as follows:

t1:λ-{(λ/5)×4}+a
t2:λ-{(λ/5)×3}+a
t3:(λ/2)-{(λ/5)×2}+a
t4:(λ/2)-{(λ/5)×1}+a
t5:(λ/2)+a
t1:λ-{(λ/5)×4}+a
t2: λ-{(λ/5)×3}+a
t3: (λ/2)-{(λ/5)×2}+a
t4: (λ/2)-{(λ/5)×1}+a
t5: (λ/2)+a

例えば、a=0の場合、各セル領域11a~11b、12a~12cの厚さt1~t4はそれぞれ下記のようになる。 For example, when a = 0, the thicknesses t1 to t4 of each cell region 11a-11b and 12a-12c are as follows:

t1:2λ/10
t2:4λ/10
t3:1λ/10
t4:3λ/10
t5:5λ/10
t1: 2λ/10
t2: 4λ/10
t3: 1λ/10
t4: 3λ/10
t5: 5λ/10

このような場合、反射位相が最も小さいセル領域12cでの反射位相を基準とする場合、各セル領域11a~11b、12a~12cでの相対反射位相は、例えば図10(b)、(c)に示すようになる。なお、図10(b)は、電磁波の相対反射位相のレンジを-360度超0度以下として表記したグラフであり、図10(c)は、電磁波の相対反射位相のレンジを-720度超0度以下とし、相対反射位相が360度ずれた実質同位相の点を補完したグラフである。これらの単位構造10a、10bでは、所定の方向D1における単位構造の長さが互いに異なり、セル領域11a~11b、12a~12cの数が互いに異なっている。 In such a case, if the reflection phase in cell region 12c, which has the smallest reflection phase, is used as the reference, the relative reflection phase in each cell region 11a-11b, 12a-12c will be as shown, for example, in Figures 10(b) and 10(c). Note that Figure 10(b) is a graph in which the range of the relative reflection phase of the electromagnetic wave is greater than -360 degrees and less than 0 degrees, while Figure 10(c) is a graph in which the range of the relative reflection phase of the electromagnetic wave is greater than -720 degrees and less than 0 degrees, and the points where the relative reflection phase is substantially in phase, shifted by 360 degrees, are complemented. These unit structures 10a and 10b have different lengths in the specified direction D1, and different numbers of cell regions 11a-11b, 12a-12c.

また、入射波および反射波を平面波とする場合、反射板は、単位構造が繰り返し配置されている周期構造を有する。なお、「周期構造」とは、単位構造が周期的に繰り返し配置された構造をいう。周期構造における単位構造において、反射特性が同一である単位構造では、厚さが増加する方向における単位構造の長さ、厚さ分布、セル領域の数、幅、ピッチ、単位構造の平面視のパターン形状、セル領域の平面視のパターン形状等を同じにすることができる。また、反射板が周期構造を有する場合においても、上述したように、反射特性の異なる単位構造を組み合わせることができる。その場合、組み合わせる単位構造の反射特性は、目的の反射特性に応じて適宜設計され、具体的には、組み合わせる単位構造における、厚さが増加する方向における単位構造の長さ、厚さ分布、セル領域の数、幅、ピッチ、単位構造の平面視のパターン形状、セル領域の平面視のパターン形状等は、目的の反射特性に応じて適宜設定される。 Furthermore, when the incident wave and reflected wave are plane waves, the reflector has a periodic structure in which unit structures are repeatedly arranged. A "periodic structure" refers to a structure in which unit structures are periodically and repeatedly arranged. Unit structures in a periodic structure that have the same reflection characteristics can have the same length in the thickness direction, thickness distribution, number of cell regions, width, pitch, pattern shape of the unit structure in a planar view, and pattern shape of the cell regions in a planar view. Even when a reflector has a periodic structure, as described above, unit structures with different reflection characteristics can be combined. In this case, the reflection characteristics of the combined unit structures are appropriately designed according to the desired reflection characteristics. Specifically, the length in the thickness direction, thickness distribution, number of cell regions, width, pitch, pattern shape of the unit structure in a planar view, and pattern shape of the cell regions in a planar view of the combined unit structures are appropriately set according to the desired reflection characteristics.

一般的に、平面波を正反射方向とは異なる方向に平面波として反射させる反射特性設計においては、例えば反射板の面内x方向と面内y方向の入射・反射特性に分解したのち、x方向、y方向の反射位相分布に変換し、それを単位構造の厚さ分布として組み入れることで設計が可能である。例えば、図11に示すように、反射位相を個別に調整できる同一サイズのセル領域が10×10(i=10、j=10)配置された反射板の一部を例として説明する。このとき、必ずしもセル領域の10×10の大きさは単位構造のサイズでないことに留意する必要がある。入射角(θin、φin)の方向から入射する平面波を、反射角(θout、φout)の方向に平面波で反射する場合の(i、j)位置のセル領域に求められる反射位相δi,jは、次式で与えられる。 Generally, in designing reflection characteristics that reflect a plane wave as a plane wave in a direction different from the specular reflection direction, the design can be achieved by, for example, decomposing the reflection characteristics into the in-plane x-direction and in-plane y-direction of the reflector, converting them into reflection phase distributions in the x- and y-directions, and incorporating them as the thickness distribution of the unit structures. For example, as shown in Figure 11, a portion of a reflector in which 10 x 10 (i = 10, j = 10) cell regions of the same size, each with an individually adjustable reflection phase, are arranged will be described as an example. It should be noted that the size of the 10 x 10 cell regions does not necessarily correspond to the size of the unit structures. When a plane wave incident from an incident angle (θ in , φ in ) is reflected as a plane wave in a reflection angle (θ out , φ out ), the reflection phase δ i,j required for the cell region at position (i, j) is given by the following equation:

δi,j=2π{p×i×(sinθout×cosφout-sinθin×cosφin)+
p×j×(sinθout×sinφout-sinθin×sinφin)}/λ
ここで、上記式において、
δi,j:位相中心(0,0)に対して(i,j)位置にあるセル領域の反射位相
λ:反射波の波長[m]
p:セル領域の大きさ[m]
θin:入射波のθ傾き
φin:入射波のφ傾き
θout:反射波のθ傾き
φout:反射波のφ傾き
を示す。
δ i,j =2π{p×i×(sinθ out ×cosφ out −sinθ in ×cosφ in )+
p×j×(sinθ out ×sinφ out −sinθ in ×sinφ in )}/λ
Here, in the above formula,
δ i,j : Reflection phase of the cell area at the (i,j) position relative to the phase center (0,0) λ: Wavelength of the reflected wave [m]
p: Size of cell area [m]
θ in : θ gradient of incident wave φ in : φ gradient of incident wave θ out : θ gradient of reflected wave φ out : φ gradient of reflected wave.

なお、tをセル領域の厚さ、tminを最小厚さセル領域の厚さ、Δtを最小厚さからの厚さ増加分、λを電磁波の波長とし、Δt=0のときの反射位相を基準(0)とすると、反射位相δは、概ね下記式のように表される。
δ[rad]=4×π×(Δt/λ)
そして、上記式から、Δtは下記式のように表される。
Δt=(δ×λ)/(4×π)
そのため、下記式により、上記反射位相δi,jに一致するような厚さtを有するセル領域を配置すればよい。
t=tmin+Δt=tmin+((δ×λ)/(4×π))
Here, assuming that t is the thickness of the cell region, t min is the thickness of the minimum thickness cell region, Δt is the thickness increase from the minimum thickness, λ is the wavelength of the electromagnetic wave, and the reflection phase when Δt = 0 is the reference (0), the reflection phase δ is roughly expressed by the following formula.
δ[rad]=4×π×(Δt/λ)
From the above equation, Δt is expressed as follows:
Δt=(δ×λ)/(4×π)
Therefore, it is sufficient to arrange the cell regions having a thickness t that matches the reflection phase δ i,j according to the following formula.
t=t min +Δt=t min +((δ×λ)/(4×π))

また、上記式において、Δt=λ/2のとき、δ=2π[rad]となり、その厚さ未満であらゆる反射位相を作り出すことができる。同様に、上記式において、反射位相δi,jが2π[rad]を超える場合は、反射位相δi,jの2πの剰余を反射位相δi,jとみなして構わない。 Furthermore, in the above equation, when Δt = λ/2, δ = 2π [rad], and any reflection phase can be created below that thickness. Similarly, in the above equation, when the reflection phase δ i,j exceeds 2π [rad], the remainder of the reflection phase δ i,j modulo 2π can be regarded as the reflection phase δ i,j .

さらに付け加えると、セル領域の厚さtは上記式から求められる厚さに厳密に一致させる必要はなく、例えば、2π/n[rad](nは1より大きい実数、好ましくは2以上である。)刻みに相当する厚さの刻みに、丸めてしまってもよい。 Furthermore, the thickness t of the cell region does not need to be exactly the thickness calculated from the above formula, but may be rounded to a thickness increment equivalent to, for example, 2π/n [rad] (n is a real number greater than 1, preferably 2 or greater).

2.層構成
本開示の反射板は、上記凹凸構造側の面に導電層を有し、隣接するセル領域同士が導通している。
2. Layer Structure The reflector of the present disclosure has a conductive layer on the surface on the concave-convex structure side, and adjacent cell regions are electrically connected to each other.

反射板は、少なくとも導電層を有していればよく、例えば、基材層と、基材層の表面に配置された導電層とを有していてもよく、あるいは、導電層のみを有していてもよい。 The reflector must have at least a conductive layer. For example, it may have a substrate layer and a conductive layer disposed on the surface of the substrate layer, or it may have only a conductive layer.

以下、反射板が基材層および導電層を有する第1態様と、反射板が導電層のみを有する第2態様とに分けて説明する。 The following describes a first embodiment in which the reflector has a substrate layer and a conductive layer, and a second embodiment in which the reflector has only a conductive layer.

(1)第1態様
本態様の反射板は、基材層と、基材層の表面に配置された導電層とを有する。
(1) First Aspect The reflector of this aspect has a substrate layer and a conductive layer disposed on the surface of the substrate layer.

(a)導電層
ここで、本明細書において、「導電層」とは、シート抵抗が100Ω/□以下である層をいう。導電層のシート抵抗は、1Ω/□以下であることが好ましく、0.01Ω/□以下であることがより好ましい。また、導電層のシート抵抗の下限は特に限定されないが、例えば、0.001Ω/□以上とすることができる。
(a) Conductive Layer In this specification, the term "conductive layer" refers to a layer having a sheet resistance of 100 Ω/□ or less. The sheet resistance of the conductive layer is preferably 1 Ω/□ or less, and more preferably 0.01 Ω/□ or less. The lower limit of the sheet resistance of the conductive layer is not particularly limited, but can be, for example, 0.001 Ω/□ or more.

なお、導電層のシート抵抗は、4端子法により測定することができる。 The sheet resistance of the conductive layer can be measured using the four-terminal method.

導電層は、反射板の凹凸構造側の面に配置されていればよいが、隣接するセル領域同士を導通させるため、セル領域の側面にも配置されていることが好ましい。 The conductive layer may be placed on the surface of the reflector facing the concave-convex structure, but it is preferable that it also be placed on the side of the cell region to provide electrical conductivity between adjacent cell regions.

導電層としては、所定の周波数帯の電磁波を反射することができ、上記シート抵抗を満たすものであれば特に限定されるものではなく、例えば、金属膜;ITO、IZO、AZO、GZO、ATO等の金属酸化物膜;カーボン膜;金属メッシュ等が挙げられる。 The conductive layer is not particularly limited as long as it is capable of reflecting electromagnetic waves in a specified frequency band and satisfies the above-mentioned sheet resistance. Examples include metal films; metal oxide films such as ITO, IZO, AZO, GZO, and ATO; carbon films; and metal mesh.

導電層の厚さとしては、所定の周波数帯の電磁波を反射することができ、上記シート抵抗を満たす厚さであれば特に限定されるものではなく、例えば、100nm以上100μm以下であることが好ましく、100nm以上10μm以下であることがより好ましく、1μm以上10μm以下であることがさらに好ましい。 The thickness of the conductive layer is not particularly limited as long as it is capable of reflecting electromagnetic waves in a specified frequency band and satisfies the above-mentioned sheet resistance. For example, it is preferably 100 nm or more and 100 μm or less, more preferably 100 nm or more and 10 μm or less, and even more preferably 1 μm or more and 10 μm or less.

導電層の形成方法としては、後述の基材層上に形成可能な方法であれば特に限定されるものではなく、例えば、真空蒸着法やスパッタリング法等のPVD法;CVD法;めっき法等を挙げることができる。 The method for forming the conductive layer is not particularly limited as long as it can be formed on the substrate layer described below, and examples include PVD methods such as vacuum deposition and sputtering; CVD methods; and plating methods.

(b)基材層
基材層は、上記導電層を支持する部材である。
(b) Substrate Layer The substrate layer is a member that supports the conductive layer.

基材層の材料としては、特に限定されるものではなく、例えば、樹脂、ガラス、石英、セラミックス等を用いることができる。中でも、凹凸構造の形成の容易さを考慮すると、樹脂が好適である。 The material for the substrate layer is not particularly limited, and examples include resin, glass, quartz, and ceramics. Of these, resin is preferred, considering the ease with which the uneven structure can be formed.

また、基材層が樹脂を含有する場合、さらに導電性粒子を含有していてもよい。この場合、セル領域の側面に上記導電層が配置されていなくとも、隣接するセル領域同士を導通させることができる。 Furthermore, when the base layer contains a resin, it may further contain conductive particles. In this case, even if the above-mentioned conductive layer is not disposed on the side surfaces of the cell regions, adjacent cell regions can be made conductive to each other.

また、基材層が樹脂を含有する場合、必要に応じて、添加剤を含有していてもよい。 Furthermore, when the substrate layer contains a resin, it may contain additives as needed.

基材層は、例えば、単層であってもよく、多層であってもよい。また、基材層は、ベースとなる基材部と、基材部上に配置された凹凸部とを有していてもよい。 The substrate layer may be, for example, a single layer or multiple layers. The substrate layer may also have a base substrate portion and an uneven portion disposed on the base substrate portion.

また、基材層は、例えば、全てのセル領域が一体に形成されている単一部材であってもよく、個々のセル領域が別々に形成されており、ブロック状のセル領域が配列されたものであってもよい。 Furthermore, the base layer may be, for example, a single member in which all cell regions are integrally formed, or may be a layer in which each cell region is formed separately and arranged in a block-like fashion.

基材層の形成方法としては、所定の凹凸構造を形成することが可能な方法であれば特に限定されるものではなく、例えば、樹脂シートの切削、レーザー加工、金型を用いた賦型や真空注型、3Dプリンタによる造形、小片パーツの接合等を挙げることができる。切削、レーザー加工や3Dプリンタ等の、金型を用いない形成方法の場合、目的の反射角に応じたカスタマイズが容易であるため、特殊な設置のシチュエーションや、シミュレーションが困難であるような大規模な反射板を設計、開発する場合の設計のチューニングにも好適に用いることができる。 The method for forming the base layer is not particularly limited as long as it is capable of forming the desired uneven structure, and examples include cutting a resin sheet, laser processing, molding using a mold or vacuum casting, modeling using a 3D printer, and joining small parts. Forming methods that do not use molds, such as cutting, laser processing, and 3D printing, are easy to customize according to the desired reflection angle, and are therefore suitable for special installation situations or for tuning the design when designing and developing large-scale reflectors that are difficult to simulate.

(2)第2態様
本態様の反射板は、導電層のみを有する。
(2) Second Aspect The reflector of this aspect has only a conductive layer.

導電層の定義については、上記第1態様と同様である。 The definition of the conductive layer is the same as in the first aspect above.

導電層としては、所定の周波数帯の電磁波を反射することができ、上記シート抵抗を満たすものであれば特に限定されるものではなく、例えば、金属膜;ITO、IZO、AZO、GZO、ATO等の金属酸化物膜;カーボン膜等が挙げられる。 The conductive layer is not particularly limited as long as it is capable of reflecting electromagnetic waves in a specified frequency band and satisfies the above-mentioned sheet resistance. Examples include metal films; metal oxide films such as ITO, IZO, AZO, GZO, and ATO; and carbon films.

導電層の形成方法としては、所定の凹凸構造を有する導電層を形成可能な方法であれば特に限定されるものではなく、例えば、金属シートの切削、金型を使用した賦型、レーザー加工、金属3Dプリンタによる造形、小片パーツの接合等を挙げることができる。 The method for forming the conductive layer is not particularly limited as long as it is capable of forming a conductive layer with the specified uneven structure. Examples include cutting a metal sheet, shaping using a mold, laser processing, modeling using a metal 3D printer, and joining small parts.

また、導電層は、例えば、全てのセル領域が一体に形成されている単一部材であってもよく、個々のセル領域が別々に形成されており、ブロック状のセル領域が配列されたものであってもよい。 Furthermore, the conductive layer may be, for example, a single member in which all cell regions are integrally formed, or may be a block-shaped arrangement in which each cell region is formed separately.

3.電磁波の反射方向の制御
本開示の反射板においては、単位構造の各セル領域の厚さを変えることで、セル領域毎に電磁波の往復光路長を変化させ、電磁波の反射位相を制御することができる。これにより、単位構造のサイズおよび平面視パターン、ならびに、単位構造のセル領域の数および厚さを調整することで、所定の方向から入射した電磁波の反射方向を制御することができる。
3. Control of the Reflection Direction of Electromagnetic Waves In the reflector of the present disclosure, by changing the thickness of each cell region of the unit structure, the round-trip optical path length of the electromagnetic wave can be changed for each cell region, thereby controlling the reflection phase of the electromagnetic wave. As a result, by adjusting the size and planar view pattern of the unit structure, as well as the number and thickness of the cell regions of the unit structure, it is possible to control the reflection direction of electromagnetic waves incident from a predetermined direction.

また、上述したように、単位構造において、厚さが増加する所定の方向における単位構造の長さを調整することにより、反射特性を制御することができる。例えば、厚さが増加する所定の方向における単位構造の長さを短くすることで、電磁波の反射角を大きくすることができ、一方、厚さが増加する所定の方向における単位構造の長さを長くすることで、電磁波の反射角を小さくすることができる。 Furthermore, as described above, the reflection characteristics of the unit structure can be controlled by adjusting the length of the unit structure in a predetermined direction in which the thickness increases. For example, by shortening the length of the unit structure in a predetermined direction in which the thickness increases, the reflection angle of the electromagnetic wave can be increased, while by increasing the length of the unit structure in a predetermined direction in which the thickness increases, the reflection angle of the electromagnetic wave can be decreased.

また、tをセル領域の厚さ、bを加工上のセル領域の最小厚さ、λを電磁波の波長とし、t=bのときの反射位相を基準(0)とすると、反射位相δは、概ね下記式のように表される。
δ[rad]=4×π×{(t-b)/λ)}
そして、上記式から、セル領域の厚さtは下記式のように表される。
t={(δ×λ)/(4×π)}+b
したがって、上記式で表されるセル領域の厚さtは、上述の(i、j)位置にあるセル領域の反射位相δi,jになるように配置される。
Furthermore, if t is the thickness of the cell region, b is the minimum thickness of the cell region due to processing, λ is the wavelength of the electromagnetic wave, and the reflection phase when t = b is taken as the reference (0), the reflection phase δ can be roughly expressed as follows:
δ[rad]=4×π×{(t-b)/λ)}
From the above equation, the thickness t of the cell region is expressed as follows:
t={(δ×λ)/(4×π)}+b
Therefore, the thickness t of the cell region expressed by the above formula is arranged so as to become the reflection phase δ i,j of the cell region at the above-mentioned (i, j) position.

4.他の構成
本開示の反射板は、必要に応じて他の構成を有していてもよい。
4. Other Configurations The reflector of the present disclosure may have other configurations as needed.

(1)グラウンド層
本開示の反射板は、上記の基材層および導電層を有する場合、基材層の導電層とは反対側の面にグラウンド層を有していてもよい。グラウンド層によって、反射板の裏面に存在する物体との干渉を遮断し、ノイズの発生を抑えることができる。グラウンド層としては、例えば、金属膜、金属メッシュ、カーボン膜、ITO膜等の一般的な導電膜を用いることができる。
(1) Ground Layer When the reflector of the present disclosure has the above-described base layer and conductive layer, it may have a ground layer on the surface of the base layer opposite the conductive layer. The ground layer can block interference with objects present on the back surface of the reflector and suppress noise generation. For example, a general conductive film such as a metal film, a metal mesh, a carbon film, or an ITO film can be used as the ground layer.

(2)固定部材
本開示の反射板を、例えば壁等に取り付けて使用する場合には、反射板の凹凸構造とは反対側の面に、反射板を取り付けるための機構を有する固定部材を配置してもよい。また、固定部材と、反射板との干渉を抑えるために、固定部材と反射板との間に金属層を配置してもよく、固定部材が金属層を兼ねてもよい。また、本開示の反射板を壁等に取り付ける場合に、設計した電磁波の入射方向および反射方向と、実際の電磁波の入射方向および反射方向とのずれを補正できるように、固定部材は反射板の法線方向の角度を可変にする機構を有していてもよい。
(2) Fixing Member When the reflector of the present disclosure is used by attaching it to, for example, a wall, a fixing member having a mechanism for attaching the reflector may be disposed on the surface of the reflector opposite the concave-convex structure. Furthermore, to suppress interference between the fixing member and the reflector, a metal layer may be disposed between the fixing member and the reflector, or the fixing member may also serve as the metal layer. Furthermore, when attaching the reflector of the present disclosure to a wall, the fixing member may have a mechanism for varying the angle of the normal direction of the reflector so that deviations between the designed incident direction and reflection direction of the electromagnetic wave and the actual incident direction and reflection direction of the electromagnetic wave can be corrected.

5.反射板の特性
本開示の反射板は、特定の周波数帯の電磁波を正反射方向とは異なる方向に反射する。電磁波の周波数帯としては、例えば、24GHz以上であることが好ましく、24GHz以上300GHz以下であることがより好ましい。電磁波の周波数帯が上記範囲であれば、本開示の反射板を第5世代移動通信システム、いわゆる5Gに利用することができる。
5. Characteristics of the Reflector The reflector of the present disclosure reflects electromagnetic waves of a specific frequency band in a direction different from the direction of specular reflection. The frequency band of the electromagnetic waves is preferably 24 GHz or higher, and more preferably 24 GHz or higher and 300 GHz or lower. If the frequency band of the electromagnetic waves is within the above range, the reflector of the present disclosure can be used in fifth-generation mobile communication systems, also known as 5G.

本開示の反射板は、例えば、通信用の反射板として用いることができ、中でも、移動通信用の反射板として好適である。 The reflector of the present disclosure can be used, for example, as a reflector for communications, and is particularly suitable as a reflector for mobile communications.

なお、本開示は、上記実施形態に限定されない。上記実施形態は、例示であり、本開示における特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本開示における技術的範囲に包含される。 Note that this disclosure is not limited to the above-described embodiments. The above-described embodiments are merely examples, and any configuration that is substantially identical to the technical concept described in the claims of this disclosure and that provides similar effects is encompassed within the technical scope of this disclosure.

以下、実施例を挙げて本開示を具体的に説明する。 The following examples will explain this disclosure in more detail.

[実施例1]
反射板の反射特性のシミュレーションを行った。シミュレーションでは、反射板の単位構造は、図12(a)に示すように、二方向に厚さが増加する厚さ分布を有し、厚さの異なる8種類のセル領域を合計36個有しており、単位構造が二方向にそれぞれ繰り返し配置された周期構造を有するモデルを用いた。また、シミュレーションでは、反射板について、下記のパラメータを用いた。
[Example 1]
A simulation of the reflection characteristics of a reflector was performed. In the simulation, the unit structure of the reflector had a thickness distribution in which the thickness increased in two directions, as shown in Figure 12(a), and had a total of 36 cell regions of eight different thicknesses, and a model was used that had a periodic structure in which the unit structures were repeatedly arranged in both directions. In addition, the following parameters were used for the reflector in the simulation.

入射波の周波数:28GHz
入射波の入射角:(θ、φ)=(20°、90°)
反射波の所望反射角:(θ、φ)=(45°、0°)
各セル領域の厚さ:0.1mm~5.6mm
隣接するセル領域同士の厚さの差:1.1mm
Incident wave frequency: 28 GHz
Incident angle of incident wave: (θ, φ) = (20°, 90°)
Desired reflection angle of reflected wave: (θ, φ) = (45°, 0°)
Thickness of each cell area: 0.1 mm to 5.6 mm
Thickness difference between adjacent cell areas: 1.1 mm

シミュレーション結果を図12(b)~(d)に示す。図12(b)は、(θ、φ)=(20°、90°)方向から到来する電磁波に対する反射板のバイスタティックレーダー断面積を3D表示した図であり、左下手前に伸びる軸がx軸、右下手前に伸びる軸がy軸、垂直に伸びる軸がz軸の右手系の直交座標軸であり、それに準じて上述の図11に示すように極座標(θ、φ)を定めている。なお、紙面から正面に反射しているように見えるRCS(レーダー断面積)が本件設計による反射波である。一方、左下手前に反射板の周囲を通過した入射波のRCS(レーダー断面積)が大きく見えているが、これは本件シミュレーションモデルにおいて反射板よりその周辺の空隙が広かったからであり、本件設計の本質とは関係ない。また、図12(c)は、XZ平面のバイスタティックレーダー断面積をθで掃引した図である。また、図12(d)は、θ=45°のバイスタティックレーダー断面積をφで掃引した図である。 The simulation results are shown in Figures 12(b)-(d). Figure 12(b) is a 3D display of the bistatic radar cross section of the reflector for electromagnetic waves arriving from the (θ, φ) = (20°, 90°) direction. The axis extending to the lower left and front is the x-axis, the axis extending to the lower right and front is the y-axis, and the axis extending vertically is the z-axis, which are the right-handed Cartesian coordinate axes. The polar coordinates (θ, φ) are determined accordingly, as shown in Figure 11 above. Note that the RCS (radar cross section) that appears to be reflected straight ahead from the page is the reflected wave from the present design. Meanwhile, the RCS (radar cross section) of the incident wave that passed around the reflector appears larger in the lower left and front. However, this is because the surrounding air gap was wider than the reflector in the simulation model, and is unrelated to the essence of the present design. Figure 12(c) is a diagram of the bistatic radar cross section in the XZ plane swept with θ. Also, Figure 12(d) shows the bistatic radar cross section at θ = 45° swept with φ.

1 … 反射板
3 … 導電層
4 … 基材層
10、10a、10b … 単位構造
11a~11g、12a~12f、13a~13e … セル領域
D1 … 所定の方向
L … 厚さが増加する所定の方向における単位構造の長さ
t1、t2、t3、t4、t5、t6 … セル領域の厚さ
REFERENCE SIGNS LIST 1 ... reflector 3 ... conductive layer 4 ... base material layer 10, 10a, 10b ... unit structure 11a to 11g, 12a to 12f, 13a to 13e ... cell region D1 ... predetermined direction L ... length of unit structure in a predetermined direction in which thickness increases t1, t2, t3, t4, t5, t6 ... thickness of cell region

Claims (14)

特定の周波数帯の電磁波を正反射方向とは異なる方向に反射する反射板であって、
所定の方向に厚さが増加する厚さ分布を有する単位構造が複数配置された凹凸構造を有し、
前記単位構造は、厚さの異なる複数のセル領域を有し、
前記単位構造として、厚さの異なる2つ以上の前記セル領域を有する第1の単位構造を少なくとも有し、
前記凹凸構造側の面に導電層を有し、隣接する前記セル領域同士が導通しており、
前記導電層が前記各セル領域の側面にも配置されている、反射板。
A reflector that reflects electromagnetic waves in a specific frequency band in a direction different from the specular reflection direction,
a concave-convex structure in which a plurality of unit structures having a thickness distribution in which the thickness increases in a predetermined direction are arranged;
The unit structure has a plurality of cell regions with different thicknesses,
The unit structure includes at least a first unit structure having two or more cell regions with different thicknesses,
a conductive layer is provided on the surface of the concave-convex structure side, and adjacent cell regions are electrically connected to each other;
A reflector , wherein the conductive layer is also disposed on a side surface of each of the cell regions .
前記電磁波の波長をλ、mを整数、aを0以上の実数としたとき、前記単位構造では、最大厚さを有する最大厚さセル領域の厚さが、(λ/2)×m+aで表される、請求項に記載の反射板。 2. The reflector according to claim 1, wherein, when the wavelength of the electromagnetic wave is λ, m is an integer, and a is a real number greater than or equal to 0, the thickness of the maximum thickness cell region having the maximum thickness in the unit structure is expressed as (λ/ 2 ) × m + a. 前記電磁波の波長をλ、nを整数としたとき、前記単位構造では、隣接する前記セル領域同士の厚さの差が、(λ/2)/nで表される、請求項1または請求項2に記載の反射板。 3. The reflector according to claim 1, wherein, in the unit structure, a difference in thickness between adjacent cell regions is expressed as (λ/2)/n, where λ is the wavelength of the electromagnetic wave and n is an integer. 前記単位構造では、隣接する前記セル領域同士の厚さの差が等しい、請求項1から請求項までのいずれかの請求項に記載の反射板。 4. The reflector according to claim 1 , wherein the difference in thickness between adjacent cell regions in the unit structure is equal. 前記単位構造では、最小厚さを有する最小厚さセル領域の厚さと、最大厚さを有する最大厚さセル領域の厚さとの差が、前記電磁波の波長λの1/2未満である、請求項1から請求項までのいずれかの請求項に記載の反射板。 5. The reflector according to claim 1, wherein in the unit structure, a difference between the thickness of a minimum thickness cell region having a minimum thickness and the thickness of a maximum thickness cell region having a maximum thickness is less than 1/2 of the wavelength λ of the electromagnetic wave. 前記単位構造が繰り返し配置された周期構造を有する、請求項1から請求項までのいずれかの請求項に記載の反射板。 The reflector according to claim 1 , which has a periodic structure in which the unit structures are repeatedly arranged. 前記単位構造として、前記第1の単位構造とは異なる第2の単位構造を有する、請求項1から請求項までのいずれかの請求項に記載の反射板。 7. The reflector according to claim 1, wherein the unit structure comprises a second unit structure different from the first unit structure. 前記各セル領域の端部の厚さの差が、±λ/2以内である、請求項1から請求項7までのいずれかに記載の反射板。8. The reflector according to claim 1, wherein a difference in thickness between the ends of the cell regions is within ±λ/2. 前記単位構造が、階段形状を有する、請求項1から請求項8までのいずれかに記載の反射板。The reflector according to claim 1 , wherein the unit structures have a staircase shape. 1つの前記単位構造において、前記セル領域の数が、3以上である、請求項1から請求項9までのいずれかに記載の反射板。10. The reflector according to claim 1, wherein the number of the cell regions in one unit structure is three or more. 前記各セル領域の端部が同一直線上にある、請求項10に記載の反射板。The reflector of claim 10, wherein the edges of each of the cell regions are collinear. 一方の面に凹凸を有する基材層と、前記基材層の凹凸側の面に配置された前記導電層とを有する、請求項1から請求項11までのいずれかに記載の反射板。12. The reflector according to claim 1, comprising a substrate layer having an irregularity on one surface thereof, and the conductive layer disposed on the irregular surface of the substrate layer. 前記基材層の前記導電層とは反対側の面にグラウンド層を有する、請求項12に記載の反射板。The reflector according to claim 12 , further comprising a ground layer on the surface of the base layer opposite to the conductive layer. 前記反射板の前記凹凸構造とは反対側の面に、固定部材が配置されている、請求項1から請求項13までのいずれかに記載の反射板。The reflector according to claim 1 , further comprising a fixing member disposed on a surface of the reflector opposite to the concave-convex structure.
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