JP7799148B2 - Compression molding device and compression molding method - Google Patents
Compression molding device and compression molding methodInfo
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Description
本発明は、圧縮成形装置及び圧縮成形方法に関する。 The present invention relates to a compression molding apparatus and a compression molding method.
基材に電子部品が搭載されたワークを封止樹脂(以下、単に「樹脂」と称する場合がある)により封止して成形品に加工する樹脂封止装置及び樹脂封止方法の例として、圧縮成形方式によるものが知られている。 One example of a resin sealing device and method that uses a compression molding method to seal a workpiece, consisting of a substrate mounted with electronic components, with sealing resin (hereinafter sometimes simply referred to as "resin") to process it into a molded product.
圧縮成形方式は、上型と下型とを備えて構成される封止金型に設けられる封止領域(キャビティ)に所定量の樹脂を供給すると共に当該封止領域にワークを配置して、上型と下型とでクランプする操作によって樹脂封止する技術である。一例として、上型にキャビティを設けた封止金型を用いる場合、ワーク上の中心位置に一括して樹脂を供給して成形する技術等が知られている。一方、下型にキャビティを設けた封止金型を用いる場合、当該キャビティを含む金型面を覆うリリースフィルム(以下、単に「フィルム」と称する場合がある)及び樹脂を供給して成形する技術等が知られている(特許文献1:特開2019-145550号公報参照)。 Compression molding is a technique in which a predetermined amount of resin is supplied to a sealing area (cavity) in a sealing mold comprising an upper and lower mold, a workpiece is placed in the sealing area, and the upper and lower molds are clamped together to seal the workpiece. For example, when using a sealing mold with a cavity in the upper mold, a known technique involves supplying resin all at once to the center of the workpiece to form the mold. On the other hand, when using a sealing mold with a cavity in the lower mold, a known technique involves supplying a release film (hereinafter sometimes simply referred to as "film") that covers the mold surface, including the cavity, and resin to form the mold (see Patent Document 1: JP 2019-145550 A).
特許文献1に例示される圧縮成形装置及び圧縮成形方法のように、ガードによって保持されたフィルム上に樹脂を載置して、封止金型へ搬送する構成が知られている。しかしながら、上記構成の場合、ガードとフィルムとの間に微小な隙間が生じ、その隙間に樹脂が進入することによって成形品質を悪化させる原因になるという課題があった。 A known configuration, such as the compression molding apparatus and compression molding method illustrated in Patent Document 1, involves placing resin on a film held by a guard and transporting it to a sealing mold. However, with this configuration, there is an issue in that minute gaps form between the guard and the film, allowing resin to enter into these gaps and degrade molding quality.
さらに、樹脂が粒状である場合、粒同士が隙間のある状態で積み上がることで生じる「嵩張り」によって、ガードや封止金型(キャビティ)から漏れが生じ易く、漏れを防ぐため樹脂供給時のキャビティ深さを深くすると成形品の側面にフィルムシワが発生し易く、成形品質を悪化させる原因になるという課題があった。 Furthermore, when the resin is granular, the particles pile up with gaps between them, creating a bulky buildup that can easily lead to leakage from the guard or sealing mold (cavity). If the cavity depth is increased when the resin is supplied to prevent leakage, film wrinkles are likely to occur on the sides of the molded product, which can lead to poor molding quality.
本発明は、上記事情に鑑みてなされ、ガードとフィルムとの間に樹脂が進入することに起因する成形不良や、樹脂の漏れに起因する成形不良の発生を防止して、成形品質を向上させることが可能な圧縮成形装置及び圧縮成形方法を提供することを目的とする。 The present invention was made in consideration of the above circumstances, and aims to provide a compression molding device and compression molding method that can improve molding quality by preventing molding defects caused by resin entering between the guard and the film, and molding defects caused by resin leakage.
本発明は、一実施形態として以下に記載するような解決手段により、前記課題を解決する。 The present invention solves the above problem by the solution described below as one embodiment.
一実施形態に係る圧縮成形方法は、上型及び下型を有する封止金型と、樹脂を供給するディスペンサと、上下方向の貫通孔が設けられたガードと、前記ガードの前記貫通孔の内周部に密接して上下に移動可能な押圧部材と、を備える圧縮成形装置を用いて、ワークを前記樹脂により封止して成形品に加工する圧縮成形方法であって、前記貫通孔の全面を覆うように前記ガードの下面にフィルムを配置して、前記フィルムの下から蓋を被せて、前記ガードの下面と、前記蓋の上面とで前記フィルムを挟持して固定するフィルム固定工程と、前記ガードの前記貫通孔から前記フィルム上に前記樹脂を載置するフィルム上載置工程と、前記押圧部材を、前記ガードの前記貫通孔内における所定位置に配置する押圧部材配置工程と、前記押圧部材を下方へ移動して、前記フィルムに向けて前記樹脂を押圧する樹脂押圧工程と、前記樹脂を本硬化しない温度で加熱して、前記樹脂を前記フィルムに溶着させる加熱溶着工程と、前記フィルムを固定している前記蓋を取り外した後、前記樹脂を溶着させた状態の前記フィルムを前記下型の上方位置において下方へ移動して、前記下型のキャビティ内に吸引保持する下型内保持工程と、を備えることを要件とする。 In one embodiment, the compression molding method uses a compression molding device equipped with a sealing mold having upper and lower molds, a dispenser for supplying resin, a guard with a through hole in the vertical direction, and a pressing member that is in close contact with the inner periphery of the through hole of the guard and can move up and down. The compression molding method seals a workpiece with the resin to form a molded product. The method includes a film fixing process in which a film is placed on the underside of the guard so as to cover the entire surface of the through hole, a lid is placed on top of the film, and the film is sandwiched and fixed between the underside of the guard and the upper side of the lid; and a film fixing process in which the film is inserted through the through hole of the guard. The method includes a film placement step of placing the resin on a film; a pressure member placement step of placing the pressure member at a predetermined position within the through hole of the guard; a resin pressing step of moving the pressure member downward to press the resin against the film; a heat welding step of heating the resin at a temperature that does not fully cure the resin to weld it to the film; and a lower mold holding step of removing the lid that secures the film, and then moving the film with the resin welded to it downward above the lower mold and holding it by suction within the cavity of the lower mold.
他の実施形態に係る圧縮成形方法は、上型及び下型を有する封止金型と、樹脂を供給するディスペンサと、上下方向の貫通孔が設けられたガードと、前記ガードの前記貫通孔の内周部に密接して上下に移動可能な押圧部材と、を備える圧縮成形装置を用いて、ワークを前記樹脂により封止して成形品に加工する圧縮成形方法であって、前記押圧部材を、前記ガードの前記貫通孔内における所定位置に配置する押圧部材配置工程と、前記ガードの前記貫通孔から前記押圧部材上に前記樹脂を載置する押圧部材上載置工程と、前記貫通孔の全面を覆うように前記ガードの上面にフィルムを配置して、前記フィルムの上から蓋を被せて、前記ガードの上面と、前記蓋の下面とで前記フィルムを挟持して固定するフィルム固定工程と、前記押圧部材を上方へ移動して、前記フィルムに向けて前記樹脂を押圧する樹脂押圧工程と、前記ガード、前記押圧部材、前記樹脂、前記フィルム、及び前記蓋を、上下に180°反転させる溶着前反転工程と、前記樹脂を本硬化しない温度で加熱して、前記樹脂を前記フィルムに溶着させる加熱溶着工程と、前記フィルムを固定している前記蓋を取り外した後、前記樹脂を溶着させた状態の前記フィルムを前記下型の上方位置において下方へ移動して、前記下型のキャビティ内に吸引保持する下型内保持工程と、を備えることを要件とする。 Another embodiment of a compression molding method is a compression molding method for sealing a workpiece with resin to form a molded product using a compression molding device equipped with a sealing mold having upper and lower molds, a dispenser for supplying resin, a guard with a vertical through hole, and a pressing member that is in close contact with the inner periphery of the through hole of the guard and can move up and down. The compression molding method includes a pressing member placement process for placing the pressing member at a predetermined position within the through hole of the guard, a pressing member placement process for placing the resin on the pressing member through the through hole of the guard, and a film on the top surface of the guard so as to cover the entire surface of the through hole, and a lid is placed on top of the film to form the compression molding method. The process must include a film fixing process in which the film is clamped and fixed between the upper surface of the guard and the lower surface of the lid; a resin pressing process in which the pressing member is moved upward to press the resin against the film; a pre-welding inversion process in which the guard, the pressing member, the resin, the film, and the lid are turned upside down by 180 degrees; a heat welding process in which the resin is heated at a temperature at which it will not fully harden to weld it to the film; and a lower mold holding process in which the lid holding the film is removed, and then the film with the resin welded to it is moved downward above the lower mold and suction-held within the cavity of the lower mold.
上記の実施形態によれば、ガードとフィルムとの間に隙間が生じることを防止でき、当該隙間に樹脂が進入することを防止できる。また、樹脂を押圧することにより樹脂の嵩張りを解消もしくは低減することができ、当該嵩張りに起因して樹脂の漏れが生じることを防止できる。特に、樹脂が、ディスペンサからの供給時に粒状、顆粒状、粉砕状、もしくは粉末状である場合に好適に適用できる。 The above embodiment prevents gaps from forming between the guard and the film, preventing resin from entering those gaps. Furthermore, by pressing the resin, the bulk of the resin can be eliminated or reduced, preventing resin leakage due to that bulk. This is particularly suitable for applications where the resin is in granular, particulate, pulverized, or powder form when supplied from the dispenser.
また、前記下型内保持工程は、前記押圧部材を下方に移動して、前記ガードの内周部に付着した前記樹脂を掻き出す掻き出し工程を有することが好ましい。これによれば、樹脂の一部がガードの内周部に残留して塵埃の発生源となることを防止することができる。したがって、当該塵埃に起因する成形不良の発生を防止することができる。 Furthermore, the lower mold retaining step preferably includes a scraping step in which the pressing member is moved downward to scrape out the resin adhering to the inner periphery of the guard. This prevents some of the resin from remaining on the inner periphery of the guard and becoming a source of dust. This prevents molding defects caused by such dust.
また、前記樹脂押圧工程よりも前に、載置された前記樹脂に振動を与えて上下方向の積層厚さを平準化する平準化工程をさらに備えることが好ましい。これによれば、載置された粒状の樹脂の厚さを平準化することができる。したがって、嵩張りを解消もしくは低減して、成形不良の発生を防止することができる。 It is also preferable to further include a leveling step, prior to the resin pressing step, in which the placed resin is vibrated to level the layer thickness in the vertical direction. This makes it possible to level the thickness of the placed granular resin. This eliminates or reduces bulkiness, preventing molding defects.
また、前記フィルム固定工程よりも後で、前記溶着前反転工程よりも前に、前記フィルムを加熱するフィルム予備加熱工程をさらに備えることが好ましい。これによれば、フィルムに当接する樹脂を軟化(溶融)させて、粘着(溶着)力を高めることができるため、溶着前反転工程を実施する際に貫通孔内において樹脂が偏ってしまうことを抑制できる。したがって、偏りに起因する成形不良の発生を防止することができる。 It is also preferable to further include a film pre-heating step in which the film is heated after the film fixing step and before the pre-welding inversion step. This softens (melts) the resin in contact with the film, increasing its adhesive (welding) strength, thereby preventing the resin from becoming unevenly distributed within the through-holes when the pre-welding inversion step is carried out. This prevents molding defects caused by uneven distribution.
また、一実施形態に係る圧縮成形装置は、上型及び下型を有する封止金型を用いて、ワークを樹脂により封止して成形品に加工する圧縮成形装置であって、前記樹脂を供給するディスペンサと、上下方向に貫通形成された貫通孔を有するガードと、前記ガードの前記貫通孔の内周部に密接して上下に移動可能な押圧部材と、前記貫通孔の全面を覆うように配置するフィルムに被せ、前記ガードと共動して前記フィルムを挟持して固定する蓋と、を備えることを要件とする。 In one embodiment, the compression molding device is a compression molding device that uses a sealing mold having upper and lower dies to seal a workpiece with resin and process it into a molded product, and is required to include a dispenser that supplies the resin, a guard with a through hole formed therethrough in the vertical direction, a pressing member that is in close contact with the inner periphery of the through hole in the guard and can move up and down, and a lid that covers a film that is arranged to cover the entire surface of the through hole and moves together with the guard to clamp and secure the film.
また、前記ガード及び前記蓋は、前記フィルムを挟持する挟持部が相互に対応する係合形状を有する段差状もしくはテーパ状に形成されていることが好ましい。これによれば、挟持部に挟持させることで、フィルムを張った状態(張力を作用させて撓まないようにした状態)にすることができる。したがって、ガードとフィルムとの間に樹脂が入り込むことを防止する効果をより一層高めることができる。 It is also preferable that the guard and the lid have clamping portions that clamp the film and are formed in a stepped or tapered shape with corresponding engaging shapes. This allows the film to be held in a taut state (a state in which tension is applied to prevent it from bending) by being clamped between the clamping portions. This further enhances the effectiveness of preventing resin from getting between the guard and the film.
本発明によれば、ガードとフィルムとの間に樹脂が進入することを防止できる。また、ガードや封止金型(キャビティ)から樹脂の漏れが生じることを防止できる。したがって、それらに起因する成形不良の発生を防止して、成形品質を向上させることができる。 This invention can prevent resin from entering between the guard and the film. It can also prevent resin from leaking from the guard or the sealing mold (cavity). This prevents molding defects caused by these issues and improves molding quality.
(全体構成)
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について詳しく説明する。図1は、本実施形態に係る圧縮成形装置1の例を示す平面図(概略図)である。尚、説明の便宜上、図中において矢印により圧縮成形装置1における左右方向(X方向)、前後方向(Y方向)、上下方向(Z方向)を示す。また、各実施形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰返しの説明は省略する場合がある。
(Overall structure)
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Fig. 1 is a plan view (schematic diagram) showing an example of a compression molding apparatus 1 according to this embodiment. For ease of explanation, arrows in the drawing indicate the left-right direction (X direction), the front-rear direction (Y direction), and the up-down direction (Z direction) of the compression molding apparatus 1. In addition, in all drawings used to explain each embodiment, components having the same function are designated by the same reference numerals, and repeated explanations thereof may be omitted.
本実施形態に係る圧縮成形装置1は、上型204及び下型206を備える封止金型202を用いて、ワーク(被成形品)Wの樹脂封止(圧縮成形)を行う装置である。以下、圧縮成形装置1として、下型206に複数のキャビティ208(208A、208B)が設けられ、上型204に対応する複数のワーク保持部205(205A、205B)が設けられた封止金型202を用いて、複数のワークWを一括して樹脂Rにより封止する圧縮成形装置を例に挙げて説明する。但し、この構成に限定されるものではない。 The compression molding apparatus 1 according to this embodiment is an apparatus that performs resin sealing (compression molding) of a workpiece (molded product) W using a sealing mold 202 that includes an upper mold 204 and a lower mold 206. Below, the compression molding apparatus 1 will be described as an example of a compression molding apparatus that collectively seals multiple workpieces W with resin R using a sealing mold 202 that has multiple cavities 208 (208A, 208B) in the lower mold 206 and multiple workpiece holders 205 (205A, 205B) corresponding to the upper mold 204. However, the present invention is not limited to this configuration.
先ず、成形対象であるワークWは、基材Waに複数の電子部品Wbが行列状に搭載された構成を備えている。より具体的には、基材Waの例として、短冊状に形成された樹脂基板、セラミックス基板、金属基板、キャリアプレート、リードフレーム、ウェハ等の板状の部材(いわゆる、短冊ワーク)が挙げられる。また、電子部品Wbの例として、半導体チップ、MEMSチップ、受動素子、放熱板、導電部材、スペーサ等が挙げられる。尚、基材Waの他の例として、円形状、正方形状等に形成された上記部材を用いる構成としてもよい(不図示)。 First, the workpiece W to be molded has a structure in which multiple electronic components Wb are mounted in a matrix on a substrate Wa. More specifically, examples of the substrate Wa include rectangular plate-shaped components (so-called rectangular workpieces) such as resin substrates, ceramic substrates, metal substrates, carrier plates, lead frames, and wafers. Examples of the electronic components Wb include semiconductor chips, MEMS chips, passive elements, heat sinks, conductive components, spacers, and the like. Note that other examples of the substrate Wa may also include a configuration using the above-mentioned components formed in a circular or square shape (not shown).
基材Waに電子部品Wbを搭載する方法の例として、ワイヤボンディング実装、フリップチップ実装等による搭載方法がある。あるいは、樹脂封止後に成形品Wpから基材(ガラス製や金属製のキャリアプレート)Waを剥離する構成の場合には、熱剥離性を有する粘着テープや紫外線照射により硬化する紫外線硬化性樹脂を用いて電子部品Wbを貼付ける方法もある。 Examples of methods for mounting electronic components Wb on substrate Wa include wire bonding and flip-chip mounting. Alternatively, in configurations where the substrate (glass or metal carrier plate) Wa is peeled from the molded product Wp after resin sealing, electronic components Wb can be attached using heat-peelable adhesive tape or ultraviolet-curing resin that hardens when exposed to ultraviolet light.
一方、樹脂Rの例として、顆粒状(円柱状等を含む)、粉砕状、もしくは粉末状(本願において「粒状」と総称する場合がある)の熱硬化性樹脂(例えば、フィラー含有のエポキシ系樹脂等)が用いられる。尚、樹脂Rは、上記の状態に限定されるものではなく、液状、板状、シート状等、他の状態(形状)であってもよく、エポキシ系熱硬化性樹脂以外の樹脂であってもよい。 On the other hand, examples of resin R include granular (including cylindrical, etc.), pulverized, or powdered (sometimes collectively referred to as "granular" in this application) thermosetting resins (for example, filler-containing epoxy resins, etc.). Resin R is not limited to the above state, and may be in other states (shapes) such as liquid, plate, or sheet, and may be resins other than epoxy thermosetting resins.
また、フィルムFの例として、耐熱性、剥離容易性、柔軟性、伸展性に優れたフィルム材、例えば、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)、ETFE(ポリテトラフルオロエチレン重合体)、PET、FEP、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジン等が好適に用いられる。本実施形態においては、フィルムFとして、短冊状のワークWに対応した短冊状のフィルムが用いられる。但し、この構成に限定されるものではない。 Examples of film F that can be suitably used include film materials with excellent heat resistance, ease of peeling, flexibility, and extensibility, such as PTFE (polytetrafluoroethylene), ETFE (polytetrafluoroethylene polymer), PET, FEP, fluorine-impregnated glass cloth, polypropylene, and polyvinylidine chloride. In this embodiment, a strip-shaped film that corresponds to the strip-shaped workpiece W is used as film F. However, this configuration is not limiting.
続いて、本実施形態に係る圧縮成形装置1の概要について説明する。図1に示すように、圧縮成形装置1は、ワークWの供給、及び樹脂封止後の成形品Wpの収納を主に行うワーク処理ユニット100A、ワークWを樹脂封止して成形品Wpへの加工を主に行うプレスユニット100B、フィルムFの供給及び収納(廃棄)、並びに樹脂Rの供給を主に行うディスペンスユニット100Cを主要構成として備えている。また、各ユニットにおける各機構の作動制御を行う制御部150がワーク処理ユニット100Aに配置されている(他のユニットに配置される構成としてもよい)。 Next, an overview of the compression molding apparatus 1 according to this embodiment will be described. As shown in FIG. 1, the compression molding apparatus 1 mainly comprises a work processing unit 100A, which mainly supplies the workpiece W and stores the molded product Wp after resin sealing; a press unit 100B, which mainly seals the workpiece W with resin and processes it into the molded product Wp; and a dispensing unit 100C, which mainly supplies and stores (disposes of) film F and supplies resin R. In addition, a control unit 150, which controls the operation of each mechanism in each unit, is located in the work processing unit 100A (although it may also be located in another unit).
本実施形態においては、所定の一方向(一例として、図1中のX方向)に沿って、ワーク処理ユニット100A、二台のプレスユニット100B、ディスペンスユニット100Cの順に配置されている。また、各ユニット間を跨いで任意の数のガイドレール(不図示)が直線状に設けられており、ワークW及び成形品Wpを搬送する第1ローダ210、並びに、フィルムF、使用済みフィルムFd及び樹脂Rを搬送する第2ローダ212が、任意のガイドレールに沿って所定のユニット間を移動可能に設けられている。但し、上記の構成に限定されるものではなく、例えば、二台のプレスユニット100Bの間に、ディスペンスユニット100Cを配置する構成としてもよい。あるいは、ワークWの供給と成形品Wpの収納とを別々のユニットによって行う構成としてもよい。また、ローダに関しても、ワークWを搬送するローダと、成形品Wpを搬送するローダとを別々に設ける構成としてもよい(いずれも不図示)。 In this embodiment, the workpiece processing unit 100A, two press units 100B, and dispensing unit 100C are arranged in this order along a predetermined direction (for example, the X direction in FIG. 1). Additionally, any number of guide rails (not shown) are linearly arranged between each unit, and a first loader 210 that transports the workpiece W and molded product Wp, and a second loader 212 that transports film F, used film Fd, and resin R are arranged to be movable between predetermined units along any of the guide rails. However, this configuration is not limited to the above. For example, the dispensing unit 100C may be arranged between the two press units 100B. Alternatively, the supply of workpiece W and the storage of molded product Wp may be performed by separate units. Furthermore, with regard to the loaders, a loader that transports workpiece W and a loader that transports molded product Wp may be arranged separately (neither is shown).
尚、圧縮成形装置1は、ユニットの構成を変えることによって、全体の構成態様を変更することができる。例えば、図1に示す構成は、プレスユニット100Bを二台配置した例であるが、プレスユニット100Bを一台のみ配置する、あるいは三台以上配置する構成等も可能である。また、他のユニットを配置する構成等も可能である(いずれも不図示)。 The overall configuration of the compression molding device 1 can be changed by changing the configuration of the units. For example, the configuration shown in Figure 1 is an example in which two press units 100B are arranged, but configurations in which only one press unit 100B is arranged, or three or more press units 100B are also possible. Configurations in which other units are arranged are also possible (neither is shown).
(ワーク処理ユニット)
続いて、圧縮成形装置1が備えるワーク処理ユニット100Aについて詳しく説明する。
(Work Processing Unit)
Next, the workpiece processing unit 100A provided in the compression molding apparatus 1 will be described in detail.
ワーク処理ユニット100Aは、複数のワークWが収納される供給マガジン102と、複数の成形品Wpが収納される収納マガジン(不図示)とを備えている。ここで、供給マガジン102、収納マガジンには、公知のスタックマガジン、スリットマガジン等が用いられる。 The workpiece processing unit 100A is equipped with a supply magazine 102 that stores multiple workpieces W, and a storage magazine (not shown) that stores multiple molded products Wp. Here, the supply magazine 102 and storage magazine may be a well-known stack magazine, slit magazine, or the like.
一例として、ワーク処理ユニット100Aは、供給マガジン102の後方に配設されて、供給マガジン102から取り出されたワークWが載置される供給レール104を備えている。本実施形態においては、公知のプッシャ等(不図示)を用いて、供給マガジン102から中継レール106を経由して供給レール104にワークWが供給される。さらに、供給レール104上に載置されたワークWを保持して、所定位置へ搬送する供給ピックアップ120を備えている。 As an example, the workpiece processing unit 100A is provided with a supply rail 104 disposed behind the supply magazine 102, on which the workpiece W removed from the supply magazine 102 is placed. In this embodiment, the workpiece W is supplied from the supply magazine 102 to the supply rail 104 via a relay rail 106 using a known pusher or the like (not shown). Furthermore, the unit is provided with a supply pickup 120 that holds the workpiece W placed on the supply rail 104 and transports it to a predetermined position.
また、ワーク処理ユニット100Aは、収納マガジン(不図示)の後方に配設されて、封止金型202から取り出された成形品Wpが載置される収納レール(不図示)を備えている。本実施形態においては、公知のプッシャ等を用いて、収納レールから中継レールを経由して収納マガジンに成形品Wpが収納される(いずれも不図示)。さらに、樹脂封止後の成形品Wpを受け取って収納レール(不図示)上へ搬送する収納ピックアップ122及び収納エレベータ124を備えている。 The work processing unit 100A is also provided with a storage rail (not shown) disposed behind the storage magazine (not shown) on which the molded product Wp removed from the sealing mold 202 is placed. In this embodiment, the molded product Wp is stored in the storage magazine from the storage rail via a relay rail using a known pusher or the like (neither is shown). Furthermore, the work processing unit 100A is also provided with a storage pickup 122 and a storage elevator 124 that receive the molded product Wp after resin sealing and transport it onto the storage rail (not shown).
また、ワーク処理ユニット100Aは、X及びY方向に移動してワークW及び成形品Wpを搬送する第1ローダ210を備えている(本実施形態では、プレスユニット100B内まで移動可能に構成されている)。一例として、第1ローダ210は、一面側に設けられた保持機構によって、供給ピックアップ120に保持された状態のワークWを保持して、上型204の所定保持位置へ搬送する第1保持部210Aを備えている。また、第1ローダ210は、一面側に設けられた保持機構によって、樹脂封止後に封止金型202に保持された状態の成形品Wpを保持し、封止金型202外の所定位置(例えば、収納ピックアップ122に保持させる位置等)へ搬送する第2保持部210Bを備えている。但し、これに限定されるものではなく、Y方向に移動して封止金型202に対する搬送を行うローダと、X方向に移動してユニット間の搬送を行うローダとを別個に備える構成としてもよい(不図示)。 The workpiece processing unit 100A also includes a first loader 210 that moves in the X and Y directions to transport the workpiece W and molded product Wp (in this embodiment, it is configured to be movable into the press unit 100B). As an example, the first loader 210 includes a first holding section 210A that uses a holding mechanism on one side to hold the workpiece W held by the supply pickup 120 and transport it to a predetermined holding position in the upper mold 204. The first loader 210 also includes a second holding section 210B that uses a holding mechanism on one side to hold the molded product Wp held by the sealing mold 202 after resin sealing and transport it to a predetermined position outside the sealing mold 202 (e.g., a position to be held by the storage pickup 122). However, this is not limited to this, and a separate loader that moves in the Y direction to transport the workpiece W to the sealing mold 202 and a separate loader that moves in the X direction to transport the workpiece between units may also be included (not shown).
ここで、第1保持部210AにおけるワークWの保持機構は、短冊状の二つのワークWを保持可能なように、左右方向に二列並設された構成となっている。同様に、第2保持部210Bにおける成形品Wpの保持機構は、短冊状の二つの成形品Wpを保持可能なように、左右方向に二列並設された構成となっている。但し、これらの構成に限定されるものではない。尚、上記保持機構には、公知の保持機構(例えば、保持爪を有して挟持する構成、吸引装置に連通する吸引孔を有して吸着する構成、等)が用いられる(不図示)。 Here, the holding mechanism for the workpiece W in the first holding section 210A is configured to be arranged in two rows side by side in the left-right direction so that it can hold two strip-shaped workpieces W. Similarly, the holding mechanism for the molded product Wp in the second holding section 210B is configured to be arranged in two rows side by side in the left-right direction so that it can hold two strip-shaped molded products Wp. However, this configuration is not limited to these. Note that the above-mentioned holding mechanism may be a known holding mechanism (for example, a clamping configuration with holding claws, a suction configuration with suction holes connected to a suction device for suction, etc.) (not shown).
また、ワーク処理ユニット100Aは、ワークWを基材Wa側(電子部品Wbの非搭載面側)から加熱するワークヒータ116を備えている。一例として、ワークヒータ116には、公知の加熱機構(例えば、電熱線ヒータ、赤外線ヒータ、等)が用いられる。これにより、ワークWが封止金型202内に搬入されて加熱される前に予備加熱をしておくことができる。尚、ワークヒータ116を備えない構成としてもよい。 The workpiece processing unit 100A also includes a workpiece heater 116 that heats the workpiece W from the substrate Wa side (the side on which the electronic component Wb is not mounted). As an example, the workpiece heater 116 uses a known heating mechanism (e.g., an electric wire heater, an infrared heater, etc.). This allows the workpiece W to be preheated before being carried into the sealing mold 202 and heated. Note that the workpiece heater 116 may not be included in the configuration.
(プレスユニット)
続いて、圧縮成形装置1が備えるプレスユニット100Bについて詳しく説明する。ここで、プレスユニット100Bに設けられる封止金型202の正面断面図(概略図)を図2に示す。
(Press unit)
Next, a detailed description will be given of the press unit 100B provided in the compression molding apparatus 1. Here, a front cross-sectional view (schematic view) of a sealing mold 202 provided in the press unit 100B is shown in FIG.
プレスユニット100Bは、開閉される一対の金型(例えば、合金工具鋼からなる複数の金型ブロック、金型プレート、金型ピラー等やその他の部材が組み付けられたもの)を有する封止金型202を備えている。本実施形態においては、一対の金型のうち、鉛直方向において上方側の一方の金型を上型204とし、下方側の他方の金型を下型206としている。この封止金型202は、上型204と下型206とが相互に接近・離反することで型閉じ・型開きがなされる。すなわち、鉛直方向(上下方向)が型開閉方向となる。 The press unit 100B is equipped with a sealing mold 202 having a pair of molds that can be opened and closed (for example, a combination of multiple mold blocks, mold plates, mold pillars, and other components made of alloy tool steel). In this embodiment, one of the pair of molds, which is on the upper side in the vertical direction, is the upper mold 204, and the other mold, which is on the lower side, is the lower mold 206. This sealing mold 202 is closed and opened by the upper mold 204 and lower mold 206 moving toward and away from each other. In other words, the vertical direction (up and down direction) is the mold opening and closing direction.
尚、封止金型202は、公知の型開閉機構(不図示)によって型開閉が行われる。例えば、型開閉機構は、一対のプラテンと、一対のプラテンが架設される複数の連結機構(タイバーや柱部)と、プラテンを可動(昇降)させる駆動源(例えば、電動モータ)及び駆動伝達機構(例えば、ボールネジやトグルリンク機構)等を備えて構成されている(いずれも不図示)。 The sealing mold 202 is opened and closed by a known mold opening and closing mechanism (not shown). For example, the mold opening and closing mechanism may include a pair of platens, multiple connecting mechanisms (tie bars or pillars) between which the pair of platens are supported, a drive source (e.g., an electric motor) and a drive transmission mechanism (e.g., a ball screw or toggle link mechanism) that move (raise and lower) the platens (all not shown).
ここで、封止金型202は、当該型開閉機構の一対のプラテンの間に配設されている。本実施形態においては、固定型となる上型204が固定プラテン(連結機構に固定されるプラテン)に組み付けられ、可動型となる下型206が可動プラテン(連結機構に沿って昇降するプラテン)に組み付けられている。但し、この構成に限定されるものではなく、上型204を可動プラテンに組み付け、下型206を固定プラテンに組み付けてもよく、あるいは、上型204、下型206共に可動プラテンに組み付けてもよい。 Here, the sealing mold 202 is disposed between a pair of platens of the mold opening/closing mechanism. In this embodiment, the upper mold 204, which serves as the fixed mold, is assembled to the fixed platen (a platen fixed to the connecting mechanism), and the lower mold 206, which serves as the movable mold, is assembled to the movable platen (a platen that rises and falls along the connecting mechanism). However, this configuration is not limited to this; the upper mold 204 may be assembled to the movable platen and the lower mold 206 may be assembled to the fixed platen, or both the upper mold 204 and the lower mold 206 may be assembled to the movable platen.
次に、封止金型202の下型206について詳しく説明する。図2に示すように、下型206は、下プレート222、キャビティ駒226、クランパ228等を備え、これらが組み付けられて構成されている。本実施形態においては、下型206の上面(上型204側の面)にキャビティ208が設けられている。 Next, the lower mold 206 of the sealing mold 202 will be described in detail. As shown in Figure 2, the lower mold 206 comprises a lower plate 222, a cavity piece 226, a clamper 228, etc., which are assembled together. In this embodiment, a cavity 208 is provided on the upper surface of the lower mold 206 (the surface facing the upper mold 204).
より具体的に、キャビティ駒226は、下プレート222の上面に対して固定して組み付けられる。一方、クランパ228は、キャビティ駒226を囲うように環状に構成されると共に、付勢部材232を介して、下プレート222の上面に対して離間(フローティング)して上下動可能に組み付けられる。このキャビティ駒226がキャビティ208の奥部(底部)を構成し、クランパ228がキャビティ208の側部を構成する。尚、本実施形態においては、図1に示すように、一つの下型206にキャビティ208がX方向に二組並設されて(図中の208A、208B)、二つのワークWを一括して樹脂封止(圧縮成形)する構成となっている。但し、この構成に限定されるものではない。 More specifically, the cavity piece 226 is fixedly attached to the upper surface of the lower plate 222. Meanwhile, the clamper 228 is configured in an annular shape to surround the cavity piece 226, and is attached via a biasing member 232 so that it is spaced apart (floating) from the upper surface of the lower plate 222 and can move up and down. The cavity piece 226 forms the innermost (bottom) portion of the cavity 208, and the clamper 228 forms the side portion of the cavity 208. In this embodiment, as shown in FIG. 1, two sets of cavities 208 are arranged side by side in the X direction in one lower mold 206 (208A, 208B in the figure), and two workpieces W are resin-sealed (compression molded) together. However, this configuration is not limited to this.
ここで、クランパ228に対向する上型204の金型面204aには吸引溝(不図示)が設けられ、これが吸引装置(不図示)に連通している。また、これらを囲うシール構造が設けられることで、吸引装置を駆動させて減圧することにより、型閉じされた状態でキャビティ208内の脱気を行うことが可能となる。 Here, a suction groove (not shown) is provided on the mold surface 204a of the upper mold 204 facing the clamper 228, and this is connected to a suction device (not shown). Furthermore, by providing a seal structure surrounding these, it is possible to evacuate the cavity 208 while the mold is closed by driving the suction device to reduce the pressure.
また、本実施形態においては、後述のディスペンスユニット100Cから供給されるフィルムF(本実施形態においては、樹脂Rが溶着された状態)を下型206に吸引保持する吸着機構が設けられている。この吸着機構は、一例として、クランパ228を貫通して配設され、吸引装置(不図示)に連通する吸引路230a、230b、及び、下プレート222、キャビティ駒226を貫通して配設され、吸引装置(不図示)に連通する吸引路230cを有している。具体的には、吸引路230a、230b、230cの一端が下型206の金型面206aに通じ、他端が下型206外に配設される吸引装置と接続される。これにより、吸引装置を駆動させて吸引路230a、230b、230cからフィルムFを吸引し、キャビティ208の内面を含む金型面206aにフィルムFを吸着させて保持することが可能となる。 In addition, this embodiment is provided with a suction mechanism that suction-holds the film F (in this embodiment, with resin R welded thereto) supplied from the dispensing unit 100C (described below) to the lower mold 206. As an example, this suction mechanism includes suction paths 230a, 230b that penetrate the clamper 228 and communicate with a suction device (not shown), and suction path 230c that penetrates the lower plate 222 and cavity piece 226 and communicates with the suction device (not shown). Specifically, one end of suction paths 230a, 230b, and 230c leads to the mold surface 206a of the lower mold 206, and the other end is connected to a suction device disposed outside the lower mold 206. This allows the suction device to be driven to suck the film F through the suction paths 230a, 230b, and 230c, thereby suction-holding the film F against the mold surface 206a, including the inner surface of the cavity 208.
このように、キャビティ208の内面、及び下型206の金型面206a(一部)を覆うフィルムFを設けることにより、成形品Wpの下面における樹脂Rの部分を容易に剥離させることができるため、成形品Wpを封止金型202(下型206)から容易に取り出すことが可能となる。 In this way, by providing a film F that covers the inner surface of the cavity 208 and (part of) the mold surface 206a of the lower mold 206, the resin R portion on the underside of the molded product Wp can be easily peeled off, making it possible to easily remove the molded product Wp from the sealing mold 202 (lower mold 206).
尚、クランパ228の内周面とキャビティ駒226の外周面との間に設けられる所定寸法の隙間は、上記の吸引路230aの一部を構成する。そのため、当該隙間の所定位置にシール部材234(例えば、Oリング)が配設されて、フィルムFを吸引する際のシール作用をなす。 The gap of a predetermined dimension provided between the inner surface of the clamper 228 and the outer surface of the cavity piece 226 constitutes part of the suction path 230a. Therefore, a seal member 234 (e.g., an O-ring) is disposed at a predetermined position in the gap to provide a seal when the film F is sucked in.
また、本実施形態においては、下型206を所定温度に加熱する下型加熱機構が設けられている。この下型加熱機構は、ヒータ(例えば、電熱線ヒータ)、温度センサ、電源等を備えており、制御部150によって加熱の制御が行われる(いずれも不図示)。一例として、ヒータは、下プレート222やこれらを収容する金型ベース(不図示)に内蔵され、主に下型206全体及び樹脂Rに熱を加える構成となっている(後述)。これにより、下型206が所定温度(例えば、100℃~200℃)に調整されて加熱される。 In addition, in this embodiment, a lower mold heating mechanism is provided that heats the lower mold 206 to a predetermined temperature. This lower mold heating mechanism is equipped with a heater (e.g., an electric wire heater), a temperature sensor, a power source, etc., and heating is controlled by the control unit 150 (all not shown). As an example, the heater is built into the lower plate 222 or the mold base (not shown) that houses them, and is configured to apply heat mainly to the entire lower mold 206 and the resin R (described below). This allows the lower mold 206 to be heated and adjusted to a predetermined temperature (e.g., 100°C to 200°C).
次に、封止金型202の上型204について詳しく説明する。図2に示すように、上型204は、上プレート224、保持プレート236等を備え、これらが組み付けられて構成されている。ここで、保持プレート236は、上プレート224の下面(下型206側の面)に対して固定して組み付けられている。 Next, the upper mold 204 of the sealing mold 202 will be described in detail. As shown in Figure 2, the upper mold 204 is configured by assembling together an upper plate 224, a holding plate 236, etc. Here, the holding plate 236 is fixedly assembled to the underside of the upper plate 224 (the surface facing the lower mold 206).
また、本実施形態においては、ワークWを保持プレート236の下面における所定位置に保持するワーク保持部205が設けられている。このワーク保持部205は、一例として、保持プレート236及び上プレート224を貫通して配設され、吸引装置(不図示)に連通する吸引路240aを有している。具体的には、吸引路240aの一端が上型204の金型面204aに通じ、他端が上型204外に配設される吸引装置と接続される。これにより、吸引装置を駆動させて吸引路240aからワークWを吸引し、金型面204a(ここでは、保持プレート236の下面)にワークWを吸着させて保持することが可能となる。さらに、吸引路240aを備える構成と並設して、ワークWの外周を挟持する保持爪を備える構成としてもよい(不図示)。尚、本実施形態においては、図1に示すように、下型206のキャビティ208に対応して、一つの上型204にワーク保持部205がX方向に二組並設される構成(図中の205A、205B)としているが、これに限定されるものではない。 In addition, in this embodiment, a workpiece holding section 205 is provided that holds the workpiece W at a predetermined position on the underside of the holding plate 236. As an example, this workpiece holding section 205 has a suction passage 240a that penetrates the holding plate 236 and the upper plate 224 and communicates with a suction device (not shown). Specifically, one end of the suction passage 240a leads to the mold surface 204a of the upper mold 204, and the other end is connected to a suction device disposed outside the upper mold 204. This allows the suction device to be driven to suck the workpiece W through the suction passage 240a, and the workpiece W can be adsorbed and held on the mold surface 204a (here, the underside of the holding plate 236). Furthermore, a configuration that includes holding claws (not shown) that clamp the outer periphery of the workpiece W may be configured in parallel with the configuration that includes the suction passage 240a. In this embodiment, as shown in FIG. 1, two sets of workpiece holders 205 are arranged side by side in the X direction on one upper mold 204 (205A and 205B in the figure) to correspond to the cavities 208 of the lower mold 206, but the present invention is not limited to this.
また、本実施形態においては、上型204を所定温度に加熱する上型加熱機構が設けられている。この上型加熱機構は、ヒータ(例えば、電熱線ヒータ)、温度センサ、電源等を備えており、制御部150によって加熱の制御が行われる(いずれも不図示)。一例として、ヒータは、上プレート224やこれらを収容する金型ベース(不図示)に内蔵され、主に上型204全体及びワークWに熱を加える構成となっている。これにより、上型204が所定温度(例えば、100℃~200℃)に調整されて加熱される。 In addition, in this embodiment, an upper die heating mechanism is provided that heats the upper die 204 to a predetermined temperature. This upper die heating mechanism is equipped with a heater (e.g., an electric wire heater), a temperature sensor, a power source, etc., and heating is controlled by the control unit 150 (all not shown). As an example, the heater is built into the upper plate 224 or the die base (not shown) that houses them, and is configured to apply heat mainly to the entire upper die 204 and the workpiece W. As a result, the upper die 204 is heated and adjusted to a predetermined temperature (e.g., 100°C to 200°C).
(ディスペンスユニット)
続いて、圧縮成形装置1が備えるディスペンスユニット100Cについて詳しく説明する。
(Dispense unit)
Next, the dispensing unit 100C included in the compression molding apparatus 1 will be described in detail.
ディスペンスユニット100Cは、フィルムFを供給するフィルム供給機構306と、樹脂Rを供給するディスペンサ312とを備えている。 The dispensing unit 100C includes a film supply mechanism 306 that supplies film F and a dispenser 312 that supplies resin R.
一例として、フィルム供給機構306は、巻出し・巻取り機構を有する二つのフィルムロール306A、306Bと、長尺状のフィルムFを切断する切断機構(例えば、公知の固定刃カッター、熱溶融カッター等)とを備えて構成されている。尚、フィルム供給機構306は、一つのフィルムロールで構成されていてもよいし、X方向に巻き出される構成としてもよい(いずれも不図示)。これにより、所定長さの短冊状の枚葉フィルムFを供給することができる。 As an example, the film supply mechanism 306 is configured with two film rolls 306A, 306B each having a winding/unwinding mechanism, and a cutting mechanism (e.g., a known fixed blade cutter, a heat melting cutter, etc.) that cuts the long film F. The film supply mechanism 306 may also be configured with a single film roll, or may be configured to unwind in the X direction (neither is shown). This allows for the supply of strips of film F of a predetermined length.
また、ディスペンスユニット100Cは、X及びY方向に移動してフィルムF及び樹脂Rを封止金型202へ搬送すると共に、使用済みフィルムFdを封止金型202内から搬送する第2ローダ212を備えている(本実施形態では、プレスユニット100B内まで移動可能に構成されている)。但し、これに限定されるものではなく、Y方向に移動して封止金型202に対する搬送を行うローダと、X方向に移動してユニット間の搬送を行うローダとを別個に備える構成としてもよい(不図示)。 The dispensing unit 100C also includes a second loader 212 that moves in the X and Y directions to transport the film F and resin R to the sealing mold 202 and transports the used film Fd from inside the sealing mold 202 (in this embodiment, it is configured to be able to move into the press unit 100B). However, this is not limited to this, and a separate loader that moves in the Y direction to transport to the sealing mold 202 and a separate loader that moves in the X direction to transport between units may also be included (not shown).
一例として、第2ローダ212は、フィルムF及び樹脂Rを保持して封止金型202内へ搬送し、下型206のキャビティ208内(一部、金型面206aを含む)に保持させる第3保持部212Aを備えている。また、使用済みフィルムFdを保持して封止金型202内から搬送し、ディスポーザ316へ搬送して廃棄する第4保持部212Bを備えている。 As an example, the second loader 212 is equipped with a third holding section 212A that holds the film F and resin R, transports them into the sealing mold 202, and holds them within the cavity 208 of the lower mold 206 (partially including the mold surface 206a). It also has a fourth holding section 212B that holds the used film Fd, transports it from the sealing mold 202, and transports it to the disposer 316 for disposal.
ここで、本実施形態においては、図3に示すように、上下方向に貫通形成された貫通孔400aを有するガード400が設けられている。また、ガード400の貫通孔400aの内周部に密接して上下に移動可能な押圧部材216が設けられている。さらに、ガード400の貫通孔400aの全面を覆うように(すなわち、貫通孔400aの開口部を塞ぐように)配置するフィルムFに被せ、ガード400と共動してフィルムFを挟持して固定する蓋218が設けられている。尚、ガード400、押圧部材216、及び蓋218は、いずれも、第2ローダ212に対して、一体で組み込まれる構成としてもよく、別体で組み込まれる(すなわち、適宜、係脱される)構成としてもよい。 In this embodiment, as shown in FIG. 3, a guard 400 having a through hole 400a formed therethrough in the vertical direction is provided. A pressing member 216 is provided that is in close contact with the inner periphery of the through hole 400a of the guard 400 and is movable up and down. A lid 218 is provided that covers the film F arranged to cover the entire surface of the through hole 400a of the guard 400 (i.e., to block the opening of the through hole 400a) and cooperates with the guard 400 to clamp and secure the film F. The guard 400, pressing member 216, and lid 218 may all be configured to be incorporated into the second loader 212 as a single unit, or may be configured to be incorporated separately (i.e., to be engaged and disengaged as appropriate).
本実施形態に係るガード400は、図4に示すように、上面と下面とが平行となる平面に形成された所定厚さの平板状の形状を有すると共に、中央部分にフィルムFを保持するフィルム保持部400Aを有している。また、フィルム保持部400Aには、フィルムFに対応する位置(フィルムFを保持する位置)において、フィルムFが露出するように上下方向に貫通形成された貫通孔400aを有している。この貫通孔400aは、キャビティ208の位置及び形状に対応するように形成されており、その内部が樹脂Rを収容する空間となる。また、貫通孔400aの周囲に、吸引力を作用させてフィルムFを保持する複数の吸引孔400cが設けられており、当該吸引孔400cは、吸引力を発生させる機構(不図示)に連通している。このような機構によって、ガード400の所定位置にフィルムFを吸着保持することができる。尚、本実施形態に係るガード400は、キャビティ208毎に対応する個別の構成としているが、変形例として、図5に示すように、複数(この場合は二組)のキャビティ208に対応する一体の構成としてもよい。 As shown in FIG. 4, the guard 400 according to this embodiment has a flat plate-like shape of a predetermined thickness, with the top and bottom surfaces parallel to each other, and includes a film holding portion 400A in the center that holds the film F. The film holding portion 400A also has a through-hole 400a formed vertically through the film F at a position corresponding to the film F (the position where the film F is held), so that the film F is exposed. The through-hole 400a is formed to correspond to the position and shape of the cavity 208, and its interior provides a space for containing the resin R. A plurality of suction holes 400c are provided around the through-hole 400a, which apply suction force to hold the film F. The suction holes 400c are connected to a suction-generating mechanism (not shown). This mechanism allows the film F to be adsorbed and held in a predetermined position on the guard 400. In this embodiment, the guard 400 is configured individually to correspond to each cavity 208, but as a modification, it may be configured as an integrated unit to correspond to multiple cavities 208 (two sets in this case), as shown in Figure 5.
上記の構成によれば、ガード400の貫通孔400a内に樹脂Rを収容することができる。その際に、ガード400と蓋218とでフィルムFを挟持した状態で、当該フィルムFをガード400に固定することができる。したがって、ガード400とフィルムFとの間に隙間を発生させないようにすることができるため、従来の課題であったガード400とフィルムFとの間への樹脂の入り込みを防止することができる。 With the above configuration, resin R can be contained within the through-hole 400a of the guard 400. At that time, the film F can be fixed to the guard 400 while being sandwiched between the guard 400 and the lid 218. This prevents gaps from forming between the guard 400 and the film F, thereby preventing the infiltration of resin between the guard 400 and the film F, which was a problem with the conventional method.
尚、ガード400及び蓋218は、フィルムFを挟持する挟持部220が相互に対応する係合形状を有する段差状(図6A、図6B参照)もしくはテーパ状(図7A、図7B参照)に形成されていることが好適である。これによれば、挟持部220によってフィルムFを挟持する動作を行うだけで、当該フィルムFを張った状態(張力を作用させて撓まないようにした状態)にすることができる。したがって、ガード400とフィルムFとの間に樹脂が入り込むことを防止する効果をより一層高めることができる。 It is preferable that the guard 400 and lid 218 have a stepped shape (see Figures 6A and 6B) or tapered shape (see Figures 7A and 7B) in which the clamping sections 220 that clamp the film F have corresponding engaging shapes. This allows the film F to be kept taut (a state in which tension is applied to prevent it from bending) simply by clamping the film F with the clamping sections 220. This further enhances the effectiveness of preventing resin from getting between the guard 400 and the film F.
また、本実施形態に係る第2ローダ212は、ガード400、押圧部材216、及び蓋218を、一括して上下に180°反転させる反転機構(不図示)を備えている。例えば、ガード400と蓋218とでフィルムFが挟持され、且つ、貫通孔400aの内部が押圧部材216とフィルムFとによって閉鎖された状態とすれば、当該貫通孔400a内に樹脂Rを収容したまま(当該樹脂Rが漏れないようにして)上下に180°反転させることができる。 The second loader 212 according to this embodiment also includes an inversion mechanism (not shown) that can invert the guard 400, pressure member 216, and lid 218 together by 180° up and down. For example, if the film F is sandwiched between the guard 400 and the lid 218 and the inside of the through-hole 400a is closed by the pressure member 216 and the film F, the through-hole 400a can be inverted by 180° up and down while the resin R remains contained within the through-hole 400a (without leaking the resin R).
一方、本実施形態に係る押圧部材216は、ガード400における貫通孔400a内を上下に移動可能に構成されており、フィルムFに向けて樹脂Rを押圧するプレート面216aを有している。これによれば、押圧部材216を移動させることによって、ガード400の貫通孔400a内に収容されている樹脂Rを、フィルムFに向けて押圧することができる。したがって、樹脂Rの粒同士に隙間がある状態で積み上がった「嵩張り」を解消もしくは低減することができる(尚、万一、貫通孔400a内において樹脂Rが行き渡っていない領域が発生していた場合には、その領域に樹脂Rを充填できる効果も併せて得られる)。また、樹脂Rを本硬化しない程度の所定温度(例えば、60℃)に加熱された軟化(溶融)状態としておくことによって、当該樹脂RをフィルムFに溶着させることができる。また、プレート面216aは電子部品Wbの細部まで封止可能な樹脂形状やワイヤ変形を防止可能な樹脂形状に成形可能な形状としてもよい。ここで、プレート面216aには、樹脂Rの付着を防止する表面処理が施されている構成が好適である。これにより、押圧した樹脂Rが当該プレート面216aに付着してしまうことを防止できる。あるいは、冷却機構(不図示)を設けて押圧部材216の温度上昇を制御し、表面硬度を高める処理によって付着防止を図ってもよい。尚、押圧部材216の移動には、公知の移動機構(例えば、ボールネジやシリンダ機構)等が用いられる(不図示)。 On the other hand, the pressing member 216 according to this embodiment is configured to be movable up and down within the through-hole 400a of the guard 400 and has a plate surface 216a that presses the resin R toward the film F. This allows the resin R contained within the through-hole 400a of the guard 400 to be pressed toward the film F by moving the pressing member 216. This eliminates or reduces the "bulk" caused by gaps between the resin R particles. (Note: If there are areas within the through-hole 400a where the resin R is not fully distributed, this also has the effect of filling those areas with resin R.) Furthermore, by heating the resin R to a predetermined temperature (e.g., 60°C) that does not fully harden it, in a softened (molten) state, the resin R can be welded to the film F. The plate surface 216a may also be shaped to allow for molding into a resin shape that can seal even the fine details of the electronic component Wb or a resin shape that can prevent wire deformation. Here, it is preferable that the plate surface 216a be subjected to a surface treatment that prevents adhesion of the resin R. This prevents the pressed resin R from adhering to the plate surface 216a. Alternatively, a cooling mechanism (not shown) may be provided to control the temperature rise of the pressing member 216, and adhesion may be prevented by treatment to increase the surface hardness. Note that a known movement mechanism (e.g., a ball screw or cylinder mechanism) is used to move the pressing member 216 (not shown).
また、本実施形態においては、ガード400を前後、左右、上下の少なくとも一つの方向に振動させる振動機構を備えている(不図示)。これによれば、貫通孔400a内に収容した粒状の樹脂Rの厚さを平準化(均一化)することができる。したがって、嵩張りを解消もしくは低減して、成形不良の発生を防止することができる。尚、当該振動機構を備えない構成としてもよい。 In addition, this embodiment is equipped with a vibration mechanism (not shown) that vibrates the guard 400 in at least one direction: front-to-back, left-to-right, or up-to-down. This makes it possible to level (uniformize) the thickness of the granular resin R contained within the through-hole 400a. This eliminates or reduces bulkiness and prevents molding defects. Note that the configuration may also be designed without the vibration mechanism.
さらに、本実施形態においては、フィルムFを加熱することによって樹脂Rを本硬化しない程度の所定温度(例えば、60℃)で加熱する加熱機構(不図示)が設けられている。当該加熱機構は、第2ローダ212に配置される(組み込まれる)構成としてもよく、あるいは、第2ローダ212とは別にディスペンスユニット100C内(もしくはプレスユニット100B内)に配置される構成としもよい。尚、変形例として、樹脂Rを直接加熱する構成としてもよい。 Furthermore, in this embodiment, a heating mechanism (not shown) is provided that heats the film F to a predetermined temperature (e.g., 60°C) that does not fully harden the resin R. This heating mechanism may be configured to be located (integrated) in the second loader 212, or may be configured to be located separately from the second loader 212 in the dispensing unit 100C (or in the press unit 100B). As a variant, the resin R may also be directly heated.
この加熱機構の一例として、前述の蓋218に加熱用貫通孔を形成しておき、当該加熱用貫通孔を通過してフィルムFに当接・近接して当該フィルムFを加熱する構成(例えば、電熱線内蔵ヒータブロック)や、加熱用貫通孔を通過するように熱を放射もしくは輻射して、当該フィルムFを加熱する構成(例えば、赤外線ヒータ)等を採用し得る(いずれも不図示)。あるいは、他の例として、蓋218に加熱用貫通孔を形成せずに、同様のヒータ等で蓋218を加熱することによって、間接的にフィルムFを加熱する構成としてもよい(いずれも不図示)。 One example of this heating mechanism is a configuration in which a heating through-hole is formed in the lid 218, and the film F is heated by passing through the heating through-hole and coming into contact with or close to the film F (e.g., a heater block with a built-in heating wire), or a configuration in which heat is radiated or emitted through the heating through-hole to heat the film F (e.g., an infrared heater) (neither of these is shown). Alternatively, as another example, a configuration in which a heating through-hole is not formed in the lid 218, but the film F is indirectly heated by heating the lid 218 with a similar heater or the like (neither of these is shown).
上記の構成によれば、樹脂Rを間接的にもしくは直接的に所定温度(本硬化しない程度の温度)に加熱することができる。したがって、フィルムFに当接する樹脂Rを軟化(溶融)させて、粘着(溶着)力を高めることができるため、厚さを平準化した状態で樹脂RをフィルムFに溶着させることができる。それらを第2ローダ212によって封止金型202内へ搬送し、当該封止金型202(本実施形態においては、下型206)における所定位置(キャビティ208内)に保持させることができる。 With the above configuration, the resin R can be indirectly or directly heated to a predetermined temperature (a temperature that does not cause full curing). Therefore, the resin R in contact with the film F can be softened (melted) to increase its adhesive (welding) strength, allowing the resin R to be welded to the film F with a uniform thickness. The resin R can be transported into the sealing mold 202 by the second loader 212 and held at a predetermined position (in the cavity 208) in the sealing mold 202 (in this embodiment, the lower mold 206).
(第1の実施形態に係る圧縮成形方法)
続いて、上記の圧縮成形装置1を用いて樹脂封止(圧縮成形)を行う圧縮成形方法(第1の実施形態)について説明する。
(Compression molding method according to the first embodiment)
Next, a compression molding method (first embodiment) for performing resin sealing (compression molding) using the compression molding apparatus 1 will be described.
本実施形態においては、樹脂Rとして、ディスペンサ312からの供給時点で顆粒状(円柱状等を含む)、粉砕状、もしくは粉末状等の粒状の樹脂を用いる場合を例に挙げる。また、一つの下型206に二組のキャビティ208を有すると共に、一つの上型204に二つのワークW(例えば、短冊状等のワーク)を配置して一括して樹脂封止を行い、同時に二つの成形品Wpを得る構成を例に挙げる。但し、これらの構成に限定されるものではない。尚、図8~図15は、図2及び図3と同方向の正面断面図である。 In this embodiment, an example is given in which the resin R is in granular form (including cylindrical, etc.), crushed, powdered, or other granular form when supplied from the dispenser 312. Also given is an example configuration in which one lower mold 206 has two sets of cavities 208, and two workpieces W (e.g., strip-shaped workpieces) are placed in one upper mold 204 and resin-sealed together, simultaneously obtaining two molded products Wp. However, this configuration is not limited to these. Note that Figures 8 to 15 are front cross-sectional views taken in the same direction as Figures 2 and 3.
先ず、準備工程として、上型加熱機構により上型204を所定温度(例えば、100℃~200℃)に調整して加熱する加熱工程(上型加熱工程)を実施する。また、下型加熱機構により下型206を所定温度(例えば、100℃~200℃)に調整して加熱する加熱工程(下型加熱工程)を実施する。 First, as a preparation process, a heating process (upper die heating process) is carried out in which the upper die 204 is heated to a predetermined temperature (e.g., 100°C to 200°C) using an upper die heating mechanism. Also, a heating process (lower die heating process) is carried out in which the lower die 206 is heated to a predetermined temperature (e.g., 100°C to 200°C) using a lower die heating mechanism.
次いで、図8に示すように、貫通孔400aの全面を覆うように(すなわち、貫通孔400aの下側開口部が塞がれるように)、ガード400の下面にフィルムFを配置し、さらに、当該フィルムFの下から蓋218を被せて、ガード400の下面と、蓋218の上面とでフィルムFを挟持して固定するフィルム固定工程を実施する。これによれば、ガード400とフィルムFとの間に隙間を発生させないようにして、当該フィルムFを保持することができる。したがって、貫通孔400a内に収容される樹脂Rがガード400とフィルムFとの間へ入り込むことを防止することができるため、樹脂Rの入り込みに起因する成形不良の発生を防止することができる。 Next, as shown in Figure 8, film F is placed on the underside of guard 400 so as to cover the entire surface of through-hole 400a (i.e., so as to block the lower opening of through-hole 400a), and then lid 218 is placed from below the film F to sandwich and fix the film F between the underside of guard 400 and the upper surface of lid 218, in a film fixing process. This allows the film F to be held without creating a gap between guard 400 and film F. Therefore, resin R contained in through-hole 400a can be prevented from seeping between guard 400 and film F, preventing molding defects caused by resin R seeping in.
次いで、図9に示すように、ガード400(フィルムFが固定された状態)をディスペンサ312のノズル312aの直下となる位置へ移動する。この状態で、ディスペンサ312のノズル312aから、ガード400の貫通孔400a内に樹脂Rを投入する。このようにして、ガード400に固定されたフィルムF上(貫通孔400a内に露出しているフィルムFの面上)に樹脂Rを載置するフィルム上載置工程を実施する。 Next, as shown in Figure 9, the guard 400 (with the film F fixed thereto) is moved to a position directly below the nozzle 312a of the dispenser 312. In this state, resin R is poured from the nozzle 312a of the dispenser 312 into the through-hole 400a of the guard 400. In this way, the on-film placement process is carried out, in which resin R is placed on the film F fixed to the guard 400 (on the surface of the film F exposed in the through-hole 400a).
尚、上記のフィルム上載置工程において、ノズル312aから樹脂Rを投下する際に、ガード400(フィルムFが固定された状態)を任意のパターンに沿って移動させることが好適である。これにより、貫通孔400a内に嵩張りが大きく生じないように樹脂Rを供給することができる。尚、当該移動をさせない構成とすることも可能である。 In the above-mentioned film-mounting process, it is preferable to move the guard 400 (with the film F fixed) along an arbitrary pattern when dropping the resin R from the nozzle 312a. This allows the resin R to be supplied without creating too much bulk inside the through-hole 400a. It is also possible to configure the guard 400 not to move in this way.
次いで、図10に示すように、フィルムF上に載置された樹脂Rに振動を与えて上下方向の積層厚さを平準化(均一化)する平準化工程を実施する。これによれば、フィルムF上に載置された粒状の樹脂Rの厚さを平準化することができる。したがって、嵩張りを解消もしくは低減して、成形不良の発生を防止することができる。尚、当該平準化工程を備えない構成とすることも可能である。 Next, as shown in Figure 10, a leveling process is carried out in which vibrations are applied to the resin R placed on the film F to level (uniform) the layer thickness in the vertical direction. This allows the thickness of the granular resin R placed on the film F to be leveled. This eliminates or reduces bulkiness and prevents molding defects. Note that it is also possible to configure the system without this leveling process.
次いで、図11に示すように、押圧部材216を、ガード400の貫通孔400a内における所定位置に配置する押圧部材配置工程を実施する。このとき、貫通孔400aの内部が、当該押圧部材216とフィルムFとによって閉鎖された空間となるようにする。 Next, as shown in Figure 11, a pressing member placement process is carried out in which the pressing member 216 is placed at a predetermined position within the through-hole 400a of the guard 400. At this time, the interior of the through-hole 400a is made into a space enclosed by the pressing member 216 and the film F.
次いで、図12に示すように、押圧部材216を下方へ移動して、フィルムFに向けて樹脂Rを継続的に、もしくは非継続的(瞬間的)に押圧する樹脂押圧工程を実施する。これによれば、貫通孔400a内において樹脂Rを平準化させた状態にする(もしくは、平準化させた状態を維持する)ことができる。尚、押圧した状態で次工程に移行する方が樹脂Rの偏り防止効果は高い。 Next, as shown in Figure 12, a resin pressing process is carried out in which the pressing member 216 is moved downward to press the resin R against the film F continuously or discontinuously (instantaneously). This allows the resin R to be leveled (or maintained in a leveled state) within the through-hole 400a. Note that moving to the next process in a pressed state is more effective in preventing the resin R from becoming uneven.
次いで、図13に示すように、樹脂Rを本硬化しない程度の所定温度(例えば、60℃)で加熱して、樹脂RをフィルムFに溶着させる加熱溶着工程を実施する。例えば、樹脂Rを直接的に加熱してもよく、あるいは、樹脂Rが保持(載置)されたフィルムFを加熱することによって樹脂Rを間接的に加熱してもよい。尚、フィルムFを加熱する場合には、フィルムFを直接的に加熱してもよく、あるいは、フィルムFと当接(もしくは近接)する蓋218を加熱することによってフィルムFを間接的に加熱してもよい。これによれば、樹脂Rを軟化(溶融)させて、フィルムFに溶着させることができる。また、押圧部材216を下方へ移動して、フィルムFに向けて樹脂Rを継続的、もしくは非継続的(瞬間的)に押圧する樹脂押圧工程を実施することが好適である。これによれば、樹脂Rへの熱供給と押圧部材216の断熱とを効率的に行うことができる。 Next, as shown in FIG. 13, a heat welding process is performed in which the resin R is heated to a predetermined temperature (e.g., 60°C) that does not fully harden the resin R, thereby welding the resin R to the film F. For example, the resin R may be heated directly, or the film F on which the resin R is held (placed) may be heated to heat the resin R indirectly. When heating the film F, the film F may be heated directly, or the film F may be heated indirectly by heating the lid 218 that contacts (or is close to) the film F. This softens (melts) the resin R and welds it to the film F. It is also preferable to perform a resin pressing process in which the pressing member 216 moves downward to press the resin R against the film F continuously or discontinuously (instantaneously). This allows for efficient heat supply to the resin R and thermal insulation of the pressing member 216.
次いで、図14に示すように、フィルムFを固定している蓋218をガード400から取り外した後、押圧部材216の下方への移動等によって、樹脂Rを溶着させた状態のフィルムFを下型206の上方位置において下方へ移動して、下型206のキャビティ208内の所定位置(金型面206aの一部も含む)に収容して吸引保持する下型内保持工程を実施する。これによれば、一工程に必要な量の樹脂Rを、フィルムFと共にキャビティ208内に供給・保持することができる。 Next, as shown in Figure 14, the lid 218 securing the film F is removed from the guard 400, and the film F with the resin R welded thereto is moved downward from a position above the lower mold 206 by, for example, moving the pressing member 216 downward, thereby carrying out the lower mold holding process, in which the film F is accommodated in a predetermined position within the cavity 208 of the lower mold 206 (including part of the mold surface 206a) and held by suction. This allows the amount of resin R required for one process to be supplied and held within the cavity 208 together with the film F.
尚、上記の下型内保持工程において、押圧部材216を下方に移動してガード400の内周部(すなわち、貫通孔400aの内周部)に付着した樹脂Rを掻き出す掻き出し工程を実施することが好適である。これによれば、樹脂Rの一部がガード400の内周部に残留して塵埃の発生源となることを防止することができるため、当該塵埃に起因する成形不良の発生を防止することができる。このとき、フィルムFに向けて樹脂Rを非継続的(瞬間的)に押圧する樹脂押圧工程を実施してもよい。これによれば、予熱温度より高い温度になるので樹脂Rの溶融が進行し、「嵩張り」をさらに低減することができる。 In addition, during the above-mentioned lower mold holding step, it is preferable to carry out a scraping step in which the pressing member 216 is moved downward to scrape out the resin R adhering to the inner periphery of the guard 400 (i.e., the inner periphery of the through-hole 400a). This prevents some of the resin R from remaining on the inner periphery of the guard 400 and becoming a source of dust, thereby preventing molding defects caused by such dust. At this time, a resin pressing step may be carried out in which the resin R is discontinuously (instantaneously) pressed against the film F. This will raise the temperature to a higher temperature than the preheating temperature, which will cause the resin R to melt and further reduce "bulkiness."
次いで、第2ローダ212(第3保持部212A)を移動することにより、ガード400、押圧部材216、蓋218を封止金型202の外部へ搬送(搬出)する。 Next, the second loader 212 (third holding section 212A) is moved to transport (carry out) the guard 400, pressing member 216, and lid 218 to the outside of the sealing mold 202.
次いで、第1ローダ210(第1保持部210A)によって、ワークWを封止金型202内へ搬送(搬入)するワーク搬入工程を実施する。予め、ワークヒータ116によってワークWの予備加熱を行ったうえで、図15に示すように、第1ローダ210によって封止金型202内へ搬送したワークWを上型204の所定位置に保持することが好適である(但し、予備加熱を省略してもよい)。本実施形態においては、二つのワークWを並設状態で保持する。尚、当該ワーク搬入工程は、前述の下型内保持工程の前に実施してもよい。 Next, a workpiece carrying-in process is performed in which the first loader 210 (first holding unit 210A) carries (carries) the workpiece W into the sealing mold 202. It is preferable to preheat the workpiece W using the workpiece heater 116 and then hold the workpiece W carried into the sealing mold 202 by the first loader 210 in a predetermined position in the upper mold 204, as shown in FIG. 15 (however, preheating may be omitted). In this embodiment, two workpieces W are held side by side. This workpiece carrying-in process may also be performed before the previously described lower mold holding process.
これ以降の工程は、従来の圧縮成形方法と同様であって、封止金型202の型閉じを行い、上型204と下型206とで二つのワークWをクランプする工程を実施する。このとき、二組のキャビティ208において、それぞれキャビティ駒226が相対的に上昇して、二つのワークWに対して樹脂Rを加熱加圧する。これにより、樹脂Rが熱硬化して樹脂封止(圧縮成形)が完了する。次いで、封止金型202の型開きを行い、二つの成形品Wpと使用済みフィルムFdとを分離する工程を実施する。次いで、第1ローダ210(第2保持部210B)によって、二つの成形品Wpを封止金型202内から搬送(搬出)する工程を実施する。また、第2ローダ212(第4保持部212B)によって、二つの使用済みフィルムFdを封止金型202内から搬送(搬出)する工程を実施する。 The subsequent steps are the same as those in conventional compression molding methods. The sealing mold 202 is closed, and the two workpieces W are clamped between the upper mold 204 and the lower mold 206. At this time, the cavity pieces 226 in each of the two sets of cavities 208 rise relatively to each other, applying heat and pressure to the resin R against the two workpieces W. This thermally hardens the resin R, completing resin sealing (compression molding). The sealing mold 202 is then opened, and the two molded products Wp and the used film Fd are separated. The first loader 210 (second holding unit 210B) then transports (removes) the two molded products Wp from the sealing mold 202. The second loader 212 (fourth holding unit 212B) then transports (removes) the two used films Fd from the sealing mold 202.
以上が圧縮成形装置1を用いて行う圧縮成形方法(第1の実施形態)の主要工程である。但し、上記の工程順は一例であって、支障がない限り先後順の変更や並行実施が可能である。例えば、本実施形態においては、複数(一例として二台)のプレスユニット100Bを備える装置構成を採用しているため、上記の動作を並行して実施することで、効率的な成形品形成が可能となる。 The above are the main steps of the compression molding method (first embodiment) performed using the compression molding apparatus 1. However, the above order of steps is only an example, and the order of steps can be changed or performed in parallel as long as no problems arise. For example, in this embodiment, an apparatus configuration is used that includes multiple (for example, two) press units 100B, and by performing the above operations in parallel, efficient molding of molded products is possible.
(第2の実施形態に係る圧縮成形方法)
続いて、上記の圧縮成形装置1を用いて樹脂封止(圧縮成形)を行う圧縮成形方法(第2の実施形態)について説明する。本実施形態は、前述の第1の実施形態と比較して、ディスペンサ312から供給する樹脂Rをガード400の貫通孔400a内に配置された押圧部材216上に載置する構成であり、これに適合する一連の工程を備える点で相違する。以下、当該相違点を中心に説明する。尚、本実施形態においても、粒状の樹脂Rを用いて、一つの下型206に二組のキャビティ208を有する構成を例に挙げる。また、図16~図23は、図2及び図3と同方向の正面断面図である。
(Compression molding method according to the second embodiment)
Next, a compression molding method (second embodiment) for resin sealing (compression molding) using the compression molding apparatus 1 will be described. This embodiment differs from the first embodiment in that the resin R supplied from the dispenser 312 is placed on a pressing member 216 disposed within the through-hole 400a of the guard 400, and a series of steps are included to accommodate this. The following description will focus on these differences. This embodiment also uses granular resin R, and uses a configuration with two sets of cavities 208 in one lower mold 206 as an example. Figures 16 to 23 are front cross-sectional views taken in the same direction as Figures 2 and 3.
先ず、準備工程として、上型加熱機構により上型204を所定温度(例えば、100℃~200℃)に調整して加熱する加熱工程(上型加熱工程)を実施する。また、下型加熱機構により下型206を所定温度(例えば、100℃~200℃)に調整して加熱する加熱工程(下型加熱工程)を実施する。 First, as a preparation process, a heating process (upper die heating process) is carried out in which the upper die 204 is heated to a predetermined temperature (e.g., 100°C to 200°C) using an upper die heating mechanism. Also, a heating process (lower die heating process) is carried out in which the lower die 206 is heated to a predetermined temperature (e.g., 100°C to 200°C) using a lower die heating mechanism.
次いで、図16に示すように、押圧部材216を、ガード400の貫通孔400a内における所定位置に配置する押圧部材配置工程を実施する。このとき、押圧部材216の上面となるプレート面216aよりも高い位置まで、当該押圧部材216(プレート面216a)の外周部の全周がガード400によって囲われた状態となるように配置する。 Next, as shown in Figure 16, a pressing member placement process is carried out in which the pressing member 216 is placed at a predetermined position within the through-hole 400a of the guard 400. At this time, the pressing member 216 is placed so that the entire outer periphery of the pressing member 216 (plate surface 216a) is surrounded by the guard 400 up to a position higher than the plate surface 216a, which is the upper surface of the pressing member 216.
次いで、図17に示すように、ガード400(押圧部材216が貫通孔400a内に配置された状態)をディスペンサ312のノズル312aの直下となる位置へ移動する。この状態で、ディスペンサ312のノズル312aから、ガード400の貫通孔400a内に樹脂Rを投入する。このようにして、ガード400内に配置された押圧部材216上(プレート面216a上)に樹脂Rを載置する押圧部材上載置工程を実施する。 Next, as shown in Figure 17, the guard 400 (with the pressing member 216 positioned within the through-hole 400a) is moved to a position directly below the nozzle 312a of the dispenser 312. In this state, resin R is poured from the nozzle 312a of the dispenser 312 into the through-hole 400a of the guard 400. In this way, the pressing member placement process is carried out, in which resin R is placed on the pressing member 216 (on the plate surface 216a) positioned within the guard 400.
尚、上記の押圧部材上載置工程において、ノズル312aから樹脂Rを投下する際に、ガード400(押圧部材216が貫通孔400a内に配置された状態)を任意のパターンに沿って移動させることが好適である。これにより、貫通孔400a内に嵩張りが大きく生じないように樹脂Rを供給することができる。尚、当該移動をさせない構成とすることも可能である。 In addition, during the above-mentioned pressing member placement process, when the resin R is dropped from the nozzle 312a, it is preferable to move the guard 400 (with the pressing member 216 positioned within the through-hole 400a) along an arbitrary pattern. This allows the resin R to be supplied without creating too much bulk within the through-hole 400a. It is also possible to configure the guard 400 not to move in this way.
次いで、図18に示すように、押圧部材216上に載置された樹脂Rに振動を与えて上下方向の積層厚さを平準化(均一化)する平準化工程を実施する。これによれば、押圧部材216上に載置された粒状の樹脂Rの厚さを平準化することができる。したがって、嵩張りを解消もしくは低減して、成形不良の発生を防止することができる。尚、当該平準化工程を備えない構成とすることも可能である。 Next, as shown in Figure 18, a leveling process is carried out in which vibrations are applied to the resin R placed on the pressing member 216 to level (uniform) the layer thickness in the vertical direction. This allows the thickness of the granular resin R placed on the pressing member 216 to be leveled. This eliminates or reduces bulkiness and prevents molding defects. It is also possible to configure the system without this leveling process.
次いで、図19に示すように、貫通孔400aの全面を覆うように(すなわち、貫通孔400aの上側開口部が塞がれるように)、ガード400の上面にフィルムFを配置し、さらに、当該フィルムFの上から蓋218を被せて、ガード400の上面と、蓋218の下面とでフィルムFを挟持して固定するフィルム固定工程を実施する。これによれば、ガード400とフィルムFとの間に隙間を発生させないようにして、当該フィルムFを保持することができる。したがって、貫通孔400a内に収容される樹脂Rがガード400とフィルムFとの間へ入り込むことを防止することができるため、樹脂の入り込みに起因する成形不良の発生を防止することができる。尚、当該フィルム固定工程は前述の平準化工程の前に実施してもよい。 Next, as shown in FIG. 19, film F is placed on the top surface of guard 400 so as to cover the entire surface of through-hole 400a (i.e., so as to block the upper opening of through-hole 400a), and then lid 218 is placed over film F, thereby performing a film fixing process in which film F is sandwiched and fixed between the top surface of guard 400 and the bottom surface of lid 218. This allows film F to be held without creating a gap between guard 400 and film F. This prevents resin R contained in through-hole 400a from seeping between guard 400 and film F, thereby preventing molding defects caused by resin seepage. The film fixing process may also be performed before the aforementioned leveling process.
次いで、図20に示すように、押圧部材216を上方へ移動して、フィルムFに向けて樹脂Rを継続的に、もしくは、非継続的(瞬間的)に押圧する樹脂押圧工程を実施する。これによれば、貫通孔400a内において樹脂Rを平準化させた状態にする(もしくは、平準化させた状態を維持する)ことができる。 Next, as shown in Figure 20, a resin pressing process is performed in which the pressing member 216 is moved upward to continuously or discontinuously (instantaneously) press the resin R against the film F. This allows the resin R to be leveled (or maintained in a leveled state) within the through-hole 400a.
次いで、図21に示すように、ガード400(貫通孔400a内に樹脂Rが収容された状態)、ガード400の貫通孔400a内に配置された押圧部材216、ガード400に固定されたフィルムF及び蓋218を、一括して上下に180°反転させる溶着前反転工程を実施する。 Next, as shown in Figure 21, a pre-welding inversion process is carried out in which the guard 400 (with the resin R contained in the through-hole 400a), the pressing member 216 placed in the through-hole 400a of the guard 400, the film F fixed to the guard 400, and the lid 218 are all inverted 180 degrees up and down.
尚、上記の溶着前反転工程の前に(前述の樹脂押圧工程の前でもよい)、フィルムFを、樹脂Rが本硬化しない程度の所定温度(例えば、60℃)に加熱するフィルム予備加熱工程を実施することが好適である。例えば、フィルムFを直接的に加熱してもよく、あるいは、フィルムFと当接(もしくは近接)する蓋218を加熱することによってフィルムFを間接的に加熱してもよい。これによれば、フィルムFに当接する樹脂Rを軟化(溶融)させて、粘着(溶着)力を高めることができるため、溶着前反転工程を実施する際に貫通孔400a内において樹脂Rが偏ってしまうことを抑制できる。したがって、偏りに起因する成形不良の発生を防止することができる。尚、当該フィルム予備加熱工程を備えない構成とすることも可能である。 Furthermore, prior to the pre-welding reversal step (which may also be prior to the aforementioned resin pressing step), it is preferable to carry out a film pre-heating step in which the film F is heated to a predetermined temperature (e.g., 60°C) at which the resin R will not fully harden. For example, the film F may be heated directly, or the film F may be heated indirectly by heating the lid 218 that contacts (or is close to) the film F. This softens (melts) the resin R that contacts the film F, increasing its adhesive (welding) strength. This prevents the resin R from becoming unevenly distributed within the through-hole 400a when the pre-welding reversal step is carried out. This prevents molding defects caused by uneven distribution. It is also possible to omit the film pre-heating step.
次いで、図22に示すように、樹脂Rを本硬化しない程度の所定温度(例えば、60℃)で加熱して、樹脂RをフィルムFに溶着させる加熱溶着工程を実施する。例えば、樹脂Rを直接的に加熱してもよく、あるいは、樹脂Rが保持(載置)されたフィルムFを加熱することによって樹脂Rを間接的に加熱してもよい。尚、フィルムFを加熱する場合には、前述の方法と同様に、フィルムFを直接的に加熱してもよく、あるいは、フィルムFと当接(もしくは近接)する蓋218を加熱することによってフィルムFを間接的に加熱してもよい。これによれば、樹脂Rを軟化(溶融)させて、フィルムFに溶着させることができる。また、押圧部材216を下方へ移動して、フィルムFに向けて樹脂Rを継続的、もしくは非継続的(瞬間的)に押圧する樹脂押圧工程を実施することが好適である。これによれば、樹脂Rへの熱供給と押圧部材216の断熱とを効率的に行うことができる。 Next, as shown in FIG. 22 , a heat welding process is performed in which the resin R is heated to a predetermined temperature (e.g., 60°C) that does not fully harden the resin R, thereby welding the resin R to the film F. For example, the resin R may be heated directly, or the film F on which the resin R is held (placed) may be heated to heat the resin R indirectly. When heating the film F, the film F may be heated directly, as in the method described above, or the film F may be heated indirectly by heating the lid 218 that contacts (or is close to) the film F. This softens (melts) the resin R and welds it to the film F. It is also preferable to perform a resin pressing process in which the pressing member 216 moves downward to press the resin R against the film F continuously or discontinuously (instantaneously). This allows for efficient heat supply to the resin R and thermal insulation of the pressing member 216.
次いで、図23に示すように、フィルムFを固定している蓋218をガード400から取り外した後、押圧部材216の下方への移動等によって、樹脂Rを溶着させた状態のフィルムFを下型206の上方位置において下方へ移動して、下型206のキャビティ208内の所定位置(金型面206aの一部も含む)に収容して吸引保持する下型内保持工程を実施する。これによれば、一工程に必要な量の樹脂Rを、フィルムFと共にキャビティ208内に供給・保持することができる。 Next, as shown in Figure 23, the lid 218 securing the film F is removed from the guard 400, and the film F with the resin R welded thereto is moved downward from a position above the lower mold 206 by, for example, moving the pressing member 216 downward, thereby carrying out the lower mold holding process, in which the film F is accommodated in a predetermined position within the cavity 208 of the lower mold 206 (including part of the mold surface 206a) and held by suction. This allows the amount of resin R required for one process to be supplied and held within the cavity 208 together with the film F.
尚、上記の下型内保持工程において、押圧部材216を下方に移動してガード400の内周部(すなわち、貫通孔400aの内周部)に付着した樹脂Rを掻き出す掻き出し工程を実施することが好適である。これによれば、樹脂Rの一部がガード400の内周部に残留して塵埃の発生源となることを防止することができるため、当該塵埃に起因する成形不良の発生を防止することができる。このとき、フィルムFに向けて樹脂Rを非継続的(瞬間的)に押圧する樹脂押圧工程を実施してもよい。これによれば、予熱温度より高い温度になるので樹脂Rの溶融が進行し、「嵩張り」をさらに低減することができる。 In addition, during the above-mentioned lower mold holding step, it is preferable to carry out a scraping step in which the pressing member 216 is moved downward to scrape out the resin R adhering to the inner periphery of the guard 400 (i.e., the inner periphery of the through-hole 400a). This prevents some of the resin R from remaining on the inner periphery of the guard 400 and becoming a source of dust, thereby preventing molding defects caused by such dust. At this time, a resin pressing step may be carried out in which the resin R is discontinuously (instantaneously) pressed against the film F. This will raise the temperature to a higher temperature than the preheating temperature, which will cause the resin R to melt and further reduce "bulkiness."
これ以降の工程は、前述の第1の実施形態と同様であるため、繰り返しの説明を省略する。 The steps from this point onwards are the same as those in the first embodiment described above, so repeated explanations will be omitted.
以上が圧縮成形装置1を用いて行う圧縮成形方法(第2の実施形態)の主要工程である。但し、上記の工程順は一例であって、支障がない限り先後順の変更や並行実施が可能である。例えば、本実施形態においては、複数(一例として二台)のプレスユニット100Bを備える装置構成を採用しているため、上記の動作を並行して実施することで、効率的な成形品形成が可能となる。 The above are the main steps of the compression molding method (second embodiment) performed using the compression molding apparatus 1. However, the above order of steps is only an example, and the order of steps can be changed or performed in parallel as long as no problems arise. For example, in this embodiment, an apparatus configuration is used that includes multiple (for example, two) press units 100B, and by performing the above operations in parallel, efficient molding of molded products is possible.
以上、説明した通り、本発明によれば、ガードとフィルムとの間に隙間が生じることを防止でき、当該隙間に樹脂が進入することを防止できる。また、樹脂を押圧することにより樹脂の嵩張りを解消もしくは低減することができ、当該嵩張りに起因して樹脂の漏れが生じることを防止できる。さらに、樹脂の漏れを防ぐため樹脂供給時のキャビティ深さを深くすると成形品の側面にフィルムシワが発生し易くなることも防止できる。したがって、ガードとフィルムとの間に樹脂が進入することに起因する成形不良や、樹脂の漏れに起因する成形不良の発生を防止することができるため、成形品質を向上させることできる。 As explained above, the present invention can prevent gaps from forming between the guard and the film, and can prevent resin from entering those gaps. Furthermore, by pressing the resin, the bulk of the resin can be eliminated or reduced, preventing resin leakage caused by that bulk. Furthermore, increasing the cavity depth when supplying resin to prevent resin leakage can also prevent film wrinkles from easily forming on the side of the molded product. Therefore, molding defects caused by resin entering between the guard and the film and molding defects caused by resin leakage can be prevented, improving molding quality.
尚、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明を逸脱しない範囲において種々変更可能である。特に、封止樹脂として、顆粒状、粉砕状、粉末状等の粒状の熱硬化性樹脂を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、液状、板状、シート状等の樹脂を用いる構成にも適用し得る。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible without departing from the spirit and scope of the present invention. In particular, the sealing resin has been described using a particulate thermosetting resin such as granular, pulverized, or powdered, but the present invention is not limited to this and can also be applied to configurations using resin in liquid, plate, or sheet form.
1 圧縮成形装置
204 上型
206 下型
208 キャビティ
216 押圧部材
218 蓋
400 ガード
F リリースフィルム
R 封止樹脂
W ワーク
1 Compression molding device 204 Upper mold 206 Lower mold 208 Cavity 216 Pressing member 218 Lid 400 Guard F Release film R Sealing resin W Work
Claims (11)
前記貫通孔の全面を覆うように前記ガードの下面にフィルムを配置して、前記フィルムの下から蓋を被せて、前記ガードの下面と、前記蓋の上面とで前記フィルムを挟持して固定するフィルム固定工程と、
前記ガードの前記貫通孔から前記フィルム上に前記樹脂を載置するフィルム上載置工程と、
前記押圧部材を、前記ガードの前記貫通孔内における所定位置に配置する押圧部材配置工程と、
前記押圧部材を下方へ移動して、前記フィルムに向けて前記樹脂を押圧する樹脂押圧工程と、
前記樹脂を本硬化しない温度で加熱して、前記樹脂を前記フィルムに溶着させる加熱溶着工程と、
前記フィルムを固定している前記蓋を取り外した後、前記樹脂を溶着させた状態の前記フィルムを前記下型の上方位置において下方へ移動して、前記下型のキャビティ内に吸引保持する下型内保持工程と、を備えること
を特徴とする圧縮成形方法。 A compression molding method for molding a workpiece into a molded product by sealing the workpiece with resin using a compression molding device including a sealing mold having an upper mold and a lower mold, a dispenser for supplying resin, a guard having a through hole in the up-down direction, and a pressing member that is in close contact with an inner periphery of the through hole of the guard and is movable up and down,
a film fixing step of placing a film on the lower surface of the guard so as to cover the entire surface of the through-hole, placing a lid on the film from below, and sandwiching and fixing the film between the lower surface of the guard and the upper surface of the lid;
a film-on-placement step of placing the resin on the film through the through-hole of the guard;
a pressing member disposing step of disposing the pressing member at a predetermined position within the through hole of the guard;
a resin pressing step of moving the pressing member downward to press the resin against the film;
a heat welding step of heating the resin at a temperature at which the resin does not fully cure, thereby welding the resin to the film;
and a lower mold holding process in which, after removing the lid that secures the film, the film with the resin welded thereto is moved downward from an upper position of the lower mold and held by suction within the cavity of the lower mold.
前記押圧部材を、前記ガードの前記貫通孔内における所定位置に配置する押圧部材配置工程と、
前記ガードの前記貫通孔から前記押圧部材上に前記樹脂を載置する押圧部材上載置工程と、
前記貫通孔の全面を覆うように前記ガードの上面にフィルムを配置して、前記フィルムの上から蓋を被せて、前記ガードの上面と、前記蓋の下面とで前記フィルムを挟持して固定するフィルム固定工程と、
前記押圧部材を上方へ移動して、前記フィルムに向けて前記樹脂を押圧する樹脂押圧工程と、
前記ガード、前記押圧部材、前記樹脂、前記フィルム、及び前記蓋を、上下に180°反転させる溶着前反転工程と、
前記樹脂を本硬化しない温度で加熱して、前記樹脂を前記フィルムに溶着させる加熱溶着工程と、
前記フィルムを固定している前記蓋を取り外した後、前記樹脂を溶着させた状態の前記フィルムを前記下型の上方位置において下方へ移動して、前記下型のキャビティ内に吸引保持する下型内保持工程と、を備えること
を特徴とする圧縮成形方法。 A compression molding method for molding a workpiece into a molded product by sealing the workpiece with resin using a compression molding device including a sealing mold having an upper mold and a lower mold, a dispenser for supplying resin, a guard having a through hole in the up-down direction, and a pressing member that is in close contact with an inner periphery of the through hole of the guard and is movable up and down,
a pressing member disposing step of disposing the pressing member at a predetermined position within the through hole of the guard;
a pressing member placing step of placing the resin on the pressing member through the through hole of the guard;
a film fixing step of placing a film on the upper surface of the guard so as to cover the entire surface of the through-hole, placing a lid on top of the film, and sandwiching and fixing the film between the upper surface of the guard and the lower surface of the lid;
a resin pressing step of moving the pressing member upward to press the resin against the film;
a pre-welding inversion process of inverting the guard, the pressing member, the resin, the film, and the lid 180° up and down;
a heat welding step of heating the resin at a temperature at which the resin does not fully cure, thereby welding the resin to the film;
and a lower mold holding process in which, after removing the lid that secures the film, the film with the resin welded thereto is moved downward from an upper position of the lower mold and held by suction within the cavity of the lower mold.
を特徴とする請求項1または請求項2記載の圧縮成形方法。 3. The compression molding method according to claim 1, wherein the resin is in the form of particles, granules, pulverized particles, or powder when supplied from the dispenser.
を特徴とする請求項1または請求項2記載の圧縮成形方法。 3. The compression molding method according to claim 1, wherein the lower mold retaining step includes a scraping step of moving the pressing member downward to scrape out the resin adhering to the inner peripheral portion of the guard.
を特徴とする請求項1または請求項2記載の圧縮成形方法。 3. The compression molding method according to claim 1, further comprising a leveling step, prior to the resin pressing step, of vibrating the placed resin to level the thickness of the laminate in the vertical direction.
を特徴とする請求項2記載の圧縮成形方法。 The compression molding method according to claim 2, further comprising a film preheating step of heating the film after the film fixing step and before the pre-welding inversion step.
前記樹脂を供給するディスペンサと、
上下方向に貫通形成された貫通孔を有するガードと、
前記ガードの前記貫通孔の内周部に密接して上下に移動可能な押圧部材と、
前記貫通孔の全面を覆うように配置するフィルムに被せ、前記ガードと共動して前記フィルムを挟持して固定する蓋と、を備えること
を特徴とする圧縮成形装置。 A compression molding apparatus that uses a sealing mold having an upper mold and a lower mold to seal a workpiece with resin and process it into a molded product,
a dispenser for supplying the resin;
a guard having a through hole formed therethrough in the vertical direction;
a pressing member that is in close contact with an inner periphery of the through hole of the guard and is movable up and down;
a lid that covers a film arranged to cover the entire surface of the through hole and cooperates with the guard to clamp and fix the film.
を特徴とする請求項7記載の圧縮成形装置。 8. The compression molding apparatus according to claim 7, wherein the guard and the lid have clamping portions for clamping the film, each of which is formed in a stepped or tapered shape having a corresponding engaging shape.
を特徴とする請求項7または請求項8記載の圧縮成形装置。 9. The compression molding apparatus according to claim 7, further comprising an inversion mechanism that inverts the guard, the pressing member, and the lid up and down by 180 degrees.
前記蓋の前記加熱用貫通孔を介して前記フィルムを加熱する加熱機構をさらに備えること
を特徴とする請求項7または請求項8記載の圧縮成形装置。 The lid has a heating through hole formed therethrough in the vertical direction,
9. The compression molding apparatus according to claim 7, further comprising a heating mechanism that heats the film through the heating through-hole of the lid.
を特徴とする請求項7または請求項8記載の圧縮成形装置。 9. The compression molding apparatus according to claim 7, wherein the resin is in the form of particles, granules, pulverized material, or powder when supplied from the dispenser.
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