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JP7801372B2 - Acoustic wave filter and communication device - Google Patents
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JP7801372B2 - Acoustic wave filter and communication device - Google Patents

Acoustic wave filter and communication device

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JP7801372B2 JP2023578593A JP2023578593A JP7801372B2 JP 7801372 B2 JP7801372 B2 JP 7801372B2 JP 2023578593 A JP2023578593 A JP 2023578593A JP 2023578593 A JP2023578593 A JP 2023578593A JP 7801372 B2 JP7801372 B2 JP 7801372B2
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Description

本開示の一態様は、弾性波フィルタに関する。 One aspect of the present disclosure relates to an acoustic wave filter.

下記の特許文献1には、弾性波フィルタの一例として、複数の直列共振子および複数の並列共振子を有するラダー型フィルタが開示されている。 Patent document 1 listed below discloses a ladder-type filter having multiple series resonators and multiple parallel resonators as an example of an elastic wave filter.

日本国特開2012-156741号公報Japanese Patent Application Publication No. 2012-156741

本開示の一態様に係る弾性波フィルタは、複数の直列共振子と、第1共振リップルを有する第1並列共振子と、その他の並列共振子を含む、複数の並列共振子と、を有し、前記第1共振リップルは、前記第1並列共振子の主共振周波数と反共振周波数との間に位置し、前記第1並列共振子の主共振周波数は、前記その他の並列共振子のうち、少なくとも1つの並列共振子の主共振周波数よりも高い。 An acoustic wave filter according to one aspect of the present disclosure has a plurality of parallel resonators including a plurality of series resonators, a first parallel resonator having a first resonant ripple, and other parallel resonators, wherein the first resonant ripple is located between the main resonant frequency and anti-resonant frequency of the first parallel resonator, and the main resonant frequency of the first parallel resonator is higher than the main resonant frequency of at least one of the other parallel resonators.

実施形態1の弾性波フィルタの要部の構成を示す図である。1 is a diagram illustrating a configuration of a main part of an acoustic wave filter according to a first embodiment. 比較例としての弾性波フィルタの要部の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a main part of an acoustic wave filter as a comparative example. 実施形態1の弾性波フィルタおよび比較例の弾性波フィルタのそれぞれの減衰特性を示す図である。4A and 4B are diagrams illustrating the attenuation characteristics of the acoustic wave filter of the first preferred embodiment and the acoustic wave filter of a comparative example. 第1並列共振子および通常並列共振子のそれぞれの周波数特性を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating frequency characteristics of a first parallel resonator and a normal parallel resonator. 共振子の一構成例を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing an example of the configuration of a resonator. 図5のIc-Ic線における断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line Ic-Ic in FIG. 5. 図5におけるIDT電極の一部を拡大した平面図である。FIG. 6 is an enlarged plan view of a portion of the IDT electrode in FIG. 5 . 図5における反射器の一部を拡大した平面図である。FIG. 6 is an enlarged plan view of a portion of the reflector in FIG. 5 . 実施形態2の弾性波フィルタの要部の構成を示す図である。10A and 10B are diagrams illustrating a configuration of a main part of an acoustic wave filter according to a second embodiment of the present invention. 実施形態2の弾性波フィルタおよび実施形態1の弾性波フィルタのそれぞれの減衰特性を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating the attenuation characteristics of the acoustic wave filter according to the second embodiment and the acoustic wave filter according to the first embodiment. 第2並列共振子および第1並列共振子のそれぞれの周波数特性を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating frequency characteristics of a second parallel resonator and a first parallel resonator. 実施形態3の通信装置の概略的な構成を例示する図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a schematic configuration of a communication device according to a third embodiment.

〔実施形態1〕
実施形態1の弾性波フィルタ100Aについて、以下に説明する。説明の便宜上、実施形態1にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、以降の各実施形態では同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。簡潔化のため、公知の技術事項についても、説明を適宜省略する。本明細書において述べる各構成および各数値は、特に明示されない限り、単なる一例である。従って、特に明示されない限り、各部材の位置関係は、各図の例に限定されない。また、各部材は、必ずしもスケール通りに図示されていない。
[Embodiment 1]
The acoustic wave filter 100A according to the first embodiment will be described below. For ease of explanation, components having the same functions as those described in the first embodiment will be denoted by the same reference numerals in the following embodiments, and their descriptions will not be repeated. For brevity, descriptions of well-known technical matters will also be omitted as appropriate. Unless otherwise specified, the configurations and values described in this specification are merely examples. Therefore, unless otherwise specified, the positional relationships of the components are not limited to the examples in the figures. Furthermore, the components are not necessarily drawn to scale.

(弾性波フィルタ100Aの構成)
図1は、弾性波フィルタ100Aの要部の構成を示す図である。弾性波フィルタ100Aは、複数(例:5つ)の直列共振子1Sと、複数(例:4つ)の並列共振子1Pとを有する。図1に示される通り、弾性波フィルタ100Aは、例えばラダー型フィルタであってよい。本明細書では、直列共振子1Sと並列共振子1Pとを総称的に、共振子1と称する。弾性波素子としての共振子1の構成例については、後述する。本明細書では、5つの直列共振子1Sのそれぞれを区別する場合、これらを直列共振子1S-1~1S-5とそれぞれ表記する。また、4つの並列共振子1Pのそれぞれを区別する場合、これらを並列共振子1P-1~1P-5とそれぞれ表記する。
(Configuration of Acoustic Wave Filter 100A)
FIG. 1 is a diagram illustrating the configuration of a main part of an acoustic wave filter 100A. The acoustic wave filter 100A includes a plurality of (e.g., five) series resonators 1S and a plurality of (e.g., four) parallel resonators 1P. As shown in FIG. 1, the acoustic wave filter 100A may be, for example, a ladder-type filter. In this specification, the series resonators 1S and the parallel resonators 1P are collectively referred to as resonators 1. A configuration example of the resonator 1 as an acoustic wave element will be described later. In this specification, when distinguishing between the five series resonators 1S, they are referred to as series resonators 1S-1 to 1S-5, respectively. When distinguishing between the four parallel resonators 1P, they are referred to as parallel resonators 1P-1 to 1P-5, respectively.

弾性波フィルタ100Aは、複数の並列共振子1Pとして、第1共振リップルを有する第1並列共振子1PAと、その他の並列共振子とを含む。後述する通り、第1並列共振子1PAは、その他の並列共振子とは異なる周波数特性を有する。図1の例における第1並列共振子1PAは、並列共振子1P-2である。 The acoustic wave filter 100A includes multiple parallel resonators 1P, including a first parallel resonator 1PA having a first resonance ripple and other parallel resonators. As described below, the first parallel resonator 1PA has frequency characteristics that differ from the other parallel resonators. In the example shown in Figure 1, the first parallel resonator 1PA is parallel resonator 1P-2.

これに対し、実施形態1の例では、第1並列共振子1PAを除いたその他の3つの並列共振子、すなわち、並列共振子1P-1、1P-3、および1P-4はそれぞれ、同等の周波数特性を有する。このことから、実施形態1では、並列共振子1P-1、1P-3、および1P-4を総称的に、通常並列共振子1PNとも称する。In contrast, in the example of embodiment 1, the three parallel resonators other than the first parallel resonator 1PA, i.e., parallel resonators 1P-1, 1P-3, and 1P-4, each have equivalent frequency characteristics. For this reason, in embodiment 1, parallel resonators 1P-1, 1P-3, and 1P-4 are also collectively referred to as normal parallel resonators 1PN.

図1に示される通り、弾性波フィルタ100Aは、入力端子Tinと、出力端子Toutと、複数の直列共振子1Sを接続する直列配線SLと、複数の並列共振子1Pのそれぞれを接続する複数の並列配線PLと、を有していてよい。以下では、例えば、入力端子Tinを、単にTinと適宜略記する。また、弾性波フィルタ100Aは、複数のPLのそれぞれに対応する複数の接地端子TGNDを有していてよい。図1の例では、弾性波フィルタ100Aは、4つのPLおよびTGNDをそれぞれ有している。4つのPLのそれぞれを区別する場合、これらをPL-1~PL-4と表記する。また、4つのTGNDのそれぞれを区別する場合、これらをTGND-1~TGND-4と表記する。As shown in FIG. 1, the acoustic wave filter 100A may have an input terminal Tin, an output terminal Tout, a series wiring SL connecting multiple series resonators 1S, and multiple parallel wiring PL connecting multiple parallel resonators 1P. Hereinafter, for example, the input terminal Tin will be abbreviated simply as Tin where appropriate. The acoustic wave filter 100A may also have multiple ground terminals TGND corresponding to the multiple PLs. In the example of FIG. 1, the acoustic wave filter 100A has four PLs and four TGNDs. When distinguishing between the four PLs, they are referred to as PL-1 to PL-4. When distinguishing between the four TGNDs, they are referred to as TGND-1 to TGND-4.

図1に示される通り、弾性波フィルタ100Aは、Tinに入力された電気信号をフィルタリングし、フィルタリング後の電気信号をToutに出力するフィルタとして構成されてよい。SLは、TinとToutとに接続されてよい。従って、直列共振子1S-1~1S-5はそれぞれ、SLを介して、TinとToutとに接続されてよい。図1の例において、直列共振子1S-1は、Tinに最も近い直列共振子である。これに対し、直列共振子1S-5は、Toutに最も近い(言い換えれば、Tinから最も遠い)直列共振子である。 As shown in FIG. 1, the acoustic wave filter 100A may be configured as a filter that filters an electrical signal input to Tin and outputs the filtered electrical signal to Tout. An SL may be connected to Tin and Tout. Therefore, each of the series resonators 1S-1 to 1S-5 may be connected to Tin and Tout via an SL. In the example of FIG. 1, the series resonator 1S-1 is the series resonator closest to Tin. In contrast, the series resonator 1S-5 is the series resonator closest to Tout (in other words, the farthest from Tin).

図1の例において、PL-1は、直列共振子1S-1・1S-2間においてSLから分岐し、かつ、TGND-1に接続されている。PL-2は、直列共振子1S-2・1S-3間においてSLから分岐し、かつ、TGND-2に接続されている。PL-3は、直列共振子1S-3・1S-4間においてSLから分岐し、かつ、TGND-3に接続されている。PL-4は、直列共振子1S-4・1S-5間においてSLから分岐し、かつ、TGND-4に接続されている。 In the example shown in Figure 1, PL-1 branches off from SL between series resonators 1S-1 and 1S-2 and is connected to TGND-1. PL-2 branches off from SL between series resonators 1S-2 and 1S-3 and is connected to TGND-2. PL-3 branches off from SL between series resonators 1S-3 and 1S-4 and is connected to TGND-3. PL-4 branches off from SL between series resonators 1S-4 and 1S-5 and is connected to TGND-4.

図1に示される通り、並列共振子1P-1~1P-4はそれぞれ、PL-1~PL-4を介して、TGND-1~TGND-4に接続されてよい。当該構成によれば、電気信号に含まれる不要成分を、並列共振子1Pを介してTGNDに逃がすことにより、当該電気信号をフィルタリングできる。図1の例において、並列共振子1P-1は、Tinに最も近い並列共振子である。これに対し、並列共振子1P-4は、Toutに最も近い直列共振子である。 As shown in Figure 1, parallel resonators 1P-1 to 1P-4 may be connected to TGND-1 to TGND-4 via PL-1 to PL-4, respectively. With this configuration, unwanted components contained in the electrical signal can be filtered by diverting them to TGND via parallel resonator 1P. In the example of Figure 1, parallel resonator 1P-1 is the parallel resonator closest to Tin. In contrast, parallel resonator 1P-4 is the series resonator closest to Tout.

(比較例としての弾性波フィルタ100Rの構成)
弾性波フィルタ100Aの周波数特性(より具体的には、減衰特性)についての説明に先立ち、比較例としての弾性波フィルタ100Rの構成について述べる。図2は、弾性波フィルタ100Rの要部の構成を示す図である。弾性波フィルタ100Rは、複数の並列共振子1Pとして、通常並列共振子1PNのみを含む。すなわち、弾性波フィルタ100Rでは、弾性波フィルタ100Aとは異なり、並列共振子1P-2は、通常並列共振子1PNである。
(Configuration of Acoustic Wave Filter 100R as Comparative Example)
Before describing the frequency characteristics (more specifically, the attenuation characteristics) of the acoustic wave filter 100A, the configuration of an acoustic wave filter 100R as a comparative example will be described. FIG. 2 is a diagram showing the configuration of a main part of the acoustic wave filter 100R. The acoustic wave filter 100R includes only normal parallel resonators 1PN as the multiple parallel resonators 1P. That is, unlike the acoustic wave filter 100A, the parallel resonator 1P-2 of the acoustic wave filter 100R is the normal parallel resonator 1PN.

(弾性波フィルタ100Aと弾性波フィルタ100Rとの減衰特性の比較)
図3には、弾性波フィルタ100Aおよび弾性波フィルタ100Rのそれぞれの減衰特性が例示されている。図3のグラフにおいて、横軸は周波数(単位:MHz)を、縦軸は減衰量(単位:dB)を、それぞれ示す。図3のグラフにおいて、実線は弾性波フィルタ100A(実施形態1)の特性を、点線は弾性波フィルタ100R(比較例)の特性を、それぞれ示す。減衰量は、透過量と言い換えることもできる。このため、減衰特性は、透過特性と言い換えることもできる。
(Comparison of Attenuation Characteristics Between Acoustic Wave Filter 100A and Acoustic Wave Filter 100R)
Fig. 3 illustrates the attenuation characteristics of the acoustic wave filter 100A and the acoustic wave filter 100R. In the graph of Fig. 3, the horizontal axis represents frequency (unit: MHz), and the vertical axis represents attenuation (unit: dB). In the graph of Fig. 3, the solid line represents the characteristics of the acoustic wave filter 100A (first embodiment), and the dotted line represents the characteristics of the acoustic wave filter 100R (comparative example). The attenuation can also be referred to as the transmission amount. Therefore, the attenuation characteristics can also be referred to as the transmission characteristics.

上述の通り、弾性波フィルタ100Aでは、弾性波フィルタ100Rとは異なり、並列共振子1Pとして、第1並列共振子1PAを含んでいる。それゆえ、図3に示される通り、弾性波フィルタ100Aでは、弾性波フィルタ100Rとは異なり、第1並列共振子1PAに起因する第1共振リップルが生じる。As described above, acoustic wave filter 100A, unlike acoustic wave filter 100R, includes a first parallel resonator 1PA as the parallel resonator 1P. Therefore, as shown in FIG. 3 , acoustic wave filter 100A generates a first resonance ripple due to first parallel resonator 1PA, unlike acoustic wave filter 100R.

加えて、弾性波フィルタ100Aでは、第1共振リップルは、第1並列共振子1PAの主共振周波数f1aと反共振周波数f1bとの間に位置している。f1aおよびf1bの例については、図4を参照して後述する。さらに、f1aは、その他の並列共振子のうち、少なくとも1つの並列共振子の主共振周波数よりも高い。従って、第1並列共振子1PAは、これらの条件を満たすように構成されていてよい。Additionally, in the acoustic wave filter 100A, the first resonant ripple is located between the main resonant frequency f1a and the anti-resonant frequency f1b of the first parallel resonator 1PA. Examples of f1a and f1b will be described later with reference to FIG. 4. Furthermore, f1a is higher than the main resonant frequency of at least one of the other parallel resonators. Therefore, the first parallel resonator 1PA may be configured to satisfy these conditions.

図3に示される通り、弾性波フィルタ100Aでは、第1共振リップルにより、弾性波フィルタ100Rに比べ、弾性波フィルタの透過帯域と遮断帯域との間に位置する遷移帯域において、減衰特性の急峻性が改善される。加えて、弾性波フィルタ100Aでは、上述の通りf1aを設定することにより、低周波側の遷移領域に第1共振リップルの隆起部分が生じるおそれを低減できる。それゆえ、弾性波フィルタ100Aによれば、弾性波フィルタ100Rに比べて、低周波側の遷移領域における減衰特性の急峻性を改善できる。以上の通り、弾性波フィルタ100Aでは、従来とは異なる様式によって、弾性波フィルタの減衰特性の急峻性を改善できる。As shown in FIG. 3 , in acoustic wave filter 100A, the first resonance ripple improves the steepness of the attenuation characteristics in the transition band located between the pass band and stop band of the acoustic wave filter compared to acoustic wave filter 100R. Additionally, in acoustic wave filter 100A, by setting f1a as described above, the risk of a protruding portion of the first resonance ripple occurring in the transition region on the low frequency side can be reduced. Therefore, acoustic wave filter 100A can improve the steepness of the attenuation characteristics in the transition region on the low frequency side compared to acoustic wave filter 100R. As described above, acoustic wave filter 100A can improve the steepness of the attenuation characteristics of an acoustic wave filter in a manner different from conventional techniques.

f1aは、その他の並列共振子のうち、全ての並列共振子の主共振周波数よりも高くてよい。この場合、低周波側の遷移領域における減衰特性の急峻性をより一層改善できる。従って、実施形態1の例では、f1aは、通常並列共振子1PNの主共振周波数よりも高くてよい。 f1a may be higher than the main resonant frequency of all of the other parallel resonators. In this case, the steepness of the attenuation characteristics in the transition region on the low frequency side can be further improved. Therefore, in the example of embodiment 1, f1a may be higher than the main resonant frequency of the normal parallel resonator 1PN.

(第1並列共振子1PAと通常並列共振子1PNとの周波数特性の比較)
図4には、第1並列共振子1PAおよび通常並列共振子1PNのそれぞれの周波数特性が例示されている。図4の各グラフにおいて、実線は第1並列共振子1PAの特性を、点線は通常並列共振子1PNの特性を、それぞれ示す。
(Comparison of frequency characteristics between the first parallel resonator 1PA and the normal parallel resonator 1PN)
4 illustrates the frequency characteristics of the first parallel resonator 1PA and the normal parallel resonator 1PN. In each graph in FIG. 4, the solid line indicates the characteristic of the first parallel resonator 1PA, and the dotted line indicates the characteristic of the normal parallel resonator 1PN.

図4において、符号4000Aのグラフは、第1並列共振子1PAおよび通常並列共振子1PNのそれぞれのインピーダンス特性を示す。図4では、第1並列共振子1PAと通常並列共振子1PNとの波形の違いを示すため、主共振周波数(位相0゜)の位置を合わせるように周波数をシフトして表示している。当該グラフにおいて、横軸は周波数(単位:MHz)を、縦軸はインピーダンスの絶対値(大きさ)(単位:Ohm)を、それぞれ示す。符号4000Bのグラフは、第1並列共振子1PAおよび通常並列共振子1PNのそれぞれのインピーダンスの位相特性を示す。当該グラフにおいて、横軸は周波数(単位:MHz)を、縦軸はインピーダンスの位相(単位:degree)を、それぞれ示す。以下の説明では、インピーダンスの位相を、単に「位相」と略記する。 In Figure 4, the graph labeled 4000A shows the impedance characteristics of the first parallel resonator 1PA and the normal parallel resonator 1PN. In Figure 4, to illustrate the difference in waveform between the first parallel resonator 1PA and the normal parallel resonator 1PN, the frequency is shifted to align the main resonant frequency (phase 0°). In this graph, the horizontal axis represents frequency (unit: MHz), and the vertical axis represents the absolute value (magnitude) of the impedance (unit: Ohm). The graph labeled 4000B shows the impedance phase characteristics of the first parallel resonator 1PA and the normal parallel resonator 1PN. In this graph, the horizontal axis represents frequency (unit: MHz), and the vertical axis represents the impedance phase (unit: degree). In the following description, the impedance phase will be abbreviated as simply "phase."

図4に示される通り、f1a(第1並列共振子1PAの主共振周波数)は、第1並列共振子1PAのインピーダンスの絶対値が最小値をとる周波数である。f1aは、位相が単調増加する周波数帯域において、当該位相が0°となる周波数でもある。実施形態1の例では、f1a=1945.3MHzである。これに対し、通常並列共振子1PNの主共振周波数は、1943.2MHzである。 As shown in Figure 4, f1a (the main resonant frequency of the first parallel resonator 1PA) is the frequency at which the absolute value of the impedance of the first parallel resonator 1PA is minimum. f1a is also the frequency at which the phase becomes 0° in a frequency band where the phase increases monotonically. In the example of embodiment 1, f1a = 1945.3 MHz. In contrast, the main resonant frequency of the normal parallel resonator 1PN is 1943.2 MHz.

f1b(第1並列共振子1PAの反共振周波数)は、第1並列共振子1PAのインピーダンスの絶対値が最大値をとる周波数である。f1bは、位相が単調減少する周波数帯域において、当該位相が0°となる周波数でもある。実施形態1の例では、f1b=2016.0MHzである。 f1b (the anti-resonance frequency of the first parallel resonator 1PA) is the frequency at which the absolute value of the impedance of the first parallel resonator 1PA is maximum. f1b is also the frequency at which the phase becomes 0° in a frequency band where the phase monotonically decreases. In the example of embodiment 1, f1b = 2016.0 MHz.

第1共振リップルの周波数f1rは、弾性波フィルタ100Aの透過帯域において、位相が極小値をとる周波数である。実施形態1の例では、f1r=1964.0MHzである。図4に示される通り、弾性波フィルタ100Aでは、第1共振リップルは、f1aとf1bとの間に位置している。本明細書では、「第1共振リップルが、f1aとf1bとの間に位置している」とは、「f1rが、f1aとf1bとの間に位置している」ことを意味する。 The frequency f1r of the first resonant ripple is the frequency at which the phase takes a minimum value in the passband of the acoustic wave filter 100A. In the example of embodiment 1, f1r = 1964.0 MHz. As shown in Figure 4, in the acoustic wave filter 100A, the first resonant ripple is located between f1a and f1b. In this specification, "the first resonant ripple is located between f1a and f1b" means "f1r is located between f1a and f1b."

f1rにおいて、第1並列共振子1PAの位相(インピーダンスの位相)は、50°以下であってよい。この場合、より大きい第1共振リップルを形成できるので、弾性波フィルタ100Aにおいて、低周波側の遷移領域における減衰特性の急峻性をより一層改善できる。図4の例では、f1rにおける第1並列共振子1PAの位相は、約20°である。At f1r, the phase (impedance phase) of the first parallel resonator 1PA may be 50° or less. In this case, a larger first resonance ripple can be formed, further improving the steepness of the attenuation characteristics in the low-frequency transition region of the acoustic wave filter 100A. In the example shown in FIG. 4, the phase of the first parallel resonator 1PA at f1r is approximately 20°.

(第1並列共振子1PAの位置についての例)
上述の図1に示される通り、弾性波フィルタ100Aにおいて、第1並列共振子1PAは、複数の並列配線PL-1~PL-4のうち、Tinに最も近い並列配線PL-1、および、Toutに最も近い並列配線PL-4を除いた、あるPLに接続されてよい。図1の例では、第1並列共振子1PAは、PL-2に接続されている。
(Example of the Position of the First Parallel Resonator 1PA)
1, in the acoustic wave filter 100A, the first parallel resonator 1PA may be connected to a certain PL among the multiple parallel wirings PL-1 to PL-4, excluding the parallel wiring PL-1 closest to Tin and the parallel wiring PL-4 closest to Tout. In the example of FIG. 1, the first parallel resonator 1PA is connected to PL-2.

リップルを有する共振子1が、TinまたはToutの近くに位置している場合、当該リップルは、弾性波フィルタ100Aと外部装置とのインピーダンス整合に悪影響を及ぼしうる。そこで、上述の通り第1並列共振子1PAを位置させることにより、第1リップルが外部装置とのインピーダンス整合に悪影響を及ぼすおそれを低減できる。それゆえ、外部装置とのインピーダンス整合が容易な弾性波フィルタ100Aを実現できる。If a resonator 1 having a ripple is located near Tin or Tout, the ripple may adversely affect the impedance matching between the acoustic wave filter 100A and an external device. Therefore, by positioning the first parallel resonator 1PA as described above, the risk of the first ripple adversely affecting the impedance matching with an external device can be reduced. This allows for an acoustic wave filter 100A that can easily be impedance matched with an external device.

(共振子1の一構成例)
図5は、本開示の一態様に係る共振子1(弾性波素子)の一構成例を示す平面図である。図5では、弾性波素子の一例として、SAW(Surface Acoustic Wave,弾性表面波)素子が示されている。以下の説明では、便宜的に、図5に示される直交座標系(xyz座標系)を導入する。実施形態1の例におけるx方向は、弾性波の伝搬方向である。これに対し、y方向は、前記平面図において、x方向と交差する方向の一例である。
(Example of the configuration of the resonator 1)
FIG. 5 is a plan view showing an example configuration of a resonator 1 (acoustic wave element) according to one aspect of the present disclosure. In FIG. 5, a SAW (Surface Acoustic Wave) element is shown as an example of an acoustic wave element. In the following description, for convenience, a Cartesian coordinate system (xyz coordinate system) shown in FIG. 5 is introduced. In the example of the first embodiment, the x direction is the propagation direction of acoustic waves. In contrast, the y direction is an example of a direction intersecting the x direction in the plan view.

図6は、図1のIc-Ic線における断面図である。図6に示される通り、実施形態1の例におけるz方向は、共振子1の各部材の厚さ方向である。図6における厚さsは、以下に述べる電極指32の厚さである。以下では、z方向の正側を上方として、上面という用語を用いる。 Figure 6 is a cross-sectional view taken along line Ic-Ic in Figure 1. As shown in Figure 6, the z direction in the example of embodiment 1 is the thickness direction of each component of the resonator 1. The thickness s in Figure 6 is the thickness of the electrode fingers 32, which will be described below. In the following, the positive side of the z direction is considered to be the upper side, and the term "top surface" will be used.

当業者であれば明らかである通り、本開示の一態様に係る弾性波は、SAWに限定されない。当該弾性波は、弾性波素子の圧電基板に沿う伝搬方向を概念できる波であればよい。当該弾性波は、例えば、BAW(Bulk Acoustic Wave,バルク弾性波)であってもよい。それゆえ、本開示の一態様に係る弾性波素子の別の例として、BAW素子を挙げることもできる。従って、本開示の一態様に係る弾性波フィルタは、SAWフィルタであってもよいし、あるいはBAWフィルタであってもよい。As will be apparent to those skilled in the art, the acoustic wave according to one embodiment of the present disclosure is not limited to a SAW. The acoustic wave may be any wave that can be conceptualized as propagating along the piezoelectric substrate of the acoustic wave element. The acoustic wave may be, for example, a BAW (Bulk Acoustic Wave). Therefore, a BAW element can be cited as another example of an acoustic wave element according to one embodiment of the present disclosure. Therefore, the acoustic wave filter according to one embodiment of the present disclosure may be a SAW filter or a BAW filter.

共振子1は、(i)圧電基板2と、(ii)当該圧電基板2の上面2Aに設けられたIDT(Interdigital Transducer)電極3と、(iii)当該IDT電極に対応する一対の反射器4A・4Bと、を有していてよい。IDT電極は、励振電極とも称される。本明細書では、反射器4A・4Bのそれぞれを、総称的に反射器4とも称する。反射器4は、x方向においてIDT電極3を挟むように位置してよい。 The resonator 1 may have (i) a piezoelectric substrate 2, (ii) an IDT (Interdigital Transducer) electrode 3 provided on the upper surface 2A of the piezoelectric substrate 2, and (iii) a pair of reflectors 4A and 4B corresponding to the IDT electrode. The IDT electrode is also referred to as an excitation electrode. In this specification, the reflectors 4A and 4B are also collectively referred to as reflectors 4. The reflectors 4 may be positioned so as to sandwich the IDT electrode 3 in the x-direction.

圧電基板2は、圧電性を有する単結晶の基板によって構成されてよい。例えば、圧電基板2は、ニオブ酸リチウム(LiNbO)またはタンタル酸リチウム(LiTaO)の単結晶によって構成されてよい。 The piezoelectric substrate 2 may be made of a single crystal substrate having piezoelectric properties. For example, the piezoelectric substrate 2 may be made of a single crystal of lithium niobate (LiNbO 3 ) or lithium tantalate (LiTaO 3 ).

IDT電極3は、第1櫛歯電極30aおよび第2櫛歯電極30bを有していてよい。本明細書では、第1櫛歯電極30aおよび第2櫛歯電極30bを、総称的に櫛歯電極30とも称する。以下の説明では、第1櫛歯電極に対応する各部材に添字aが、第2櫛歯電極に対応する各部材に添字bが、適宜付されている。これらの部材についても、櫛歯電極30に対応する総称的呼称を適宜用いる。The IDT electrode 3 may have a first comb-tooth electrode 30a and a second comb-tooth electrode 30b. In this specification, the first comb-tooth electrode 30a and the second comb-tooth electrode 30b are also collectively referred to as comb-tooth electrodes 30. In the following description, the subscript "a" is appropriately assigned to each component corresponding to the first comb-tooth electrode, and the subscript "b" is appropriately assigned to each component corresponding to the second comb-tooth electrode. For these components as well, the generic name corresponding to the comb-tooth electrode 30 is used as appropriate.

櫛歯電極30は、(i)y方向において互いに対向する2本のバスバー31と、(ii)y方向において、一方のバスバー31(例:第1バスバー31a)から他方のバスバー31(例:第2バスバー31b)側へと延びている複数の電極指32とを有していてよい。そして、図6に示される通り、第1電極指32aおよび第2電極指32bは、圧電基板2の上面2Aにおいて、x方向に概ね一定の間隔を有するように、交互に繰り返して位置してよい(図7も参照)。図7は、図5におけるIDT電極3の一部(例:IDT電極3の中央部3a)を拡大した平面図である。 The comb-tooth electrode 30 may have (i) two bus bars 31 facing each other in the y direction, and (ii) a plurality of electrode fingers 32 extending in the y direction from one bus bar 31 (e.g., the first bus bar 31a) to the other bus bar 31 (e.g., the second bus bar 31b). As shown in Figure 6, the first electrode fingers 32a and the second electrode fingers 32b may be positioned alternately and repeatedly on the upper surface 2A of the piezoelectric substrate 2 with a generally constant spacing in the x direction (see also Figure 7). Figure 7 is an enlarged plan view of a portion of the IDT electrode 3 in Figure 5 (e.g., the central portion 3a of the IDT electrode 3).

櫛歯電極30は、それぞれの電極指32に対向するダミー電極指33を有していてもよい。図7に示される通り、第1ダミー電極指33aは、第1バスバー31aから第2電極指32bに向かって延びていてよい。第2ダミー電極指33bは、第2バスバー31bから第1電極指32aに向かって延びていてよい。但し、櫛歯電極30は、必ずしもダミー電極指33を有していなくてもよい。 The comb-tooth electrode 30 may have dummy electrode fingers 33 that face each electrode finger 32. As shown in FIG. 7 , the first dummy electrode finger 33a may extend from the first bus bar 31a toward the second electrode finger 32b. The second dummy electrode finger 33b may extend from the second bus bar 31b toward the first electrode finger 32a. However, the comb-tooth electrode 30 does not necessarily have to have dummy electrode fingers 33.

バスバー31は、例えば、x方向に概ね一定の幅を有し、かつ、x方向に直線状に延びる長尺状に形成されてよい。従って、バスバー31の互いに対向する側の縁部は、直線状であってよい。これに対し、複数の電極指32は、例えば、x方向に概ね一定の幅を有し、かつ、y方向に直線状に延びる長尺状に形成されてよい。 The busbar 31 may be formed, for example, as an elongated piece having a generally constant width in the x direction and extending linearly in the x direction. Therefore, the edges of the busbar 31 on opposing sides may be linear. In contrast, the multiple electrode fingers 32 may be formed, for example, as an elongated piece having a generally constant width in the x direction and extending linearly in the y direction.

図6および図7に示される通り、IDT電極3における複数の電極指32は、x方向におけるピッチPt1を有していてよい。Pt1は、例えば、複数の電極指32の中心間のピッチ(繰り返し間隔)である。従って、Pt1は、第1電極指32aの中心から当該第1電極指32aに隣接する第2電極指32bの中心までのピッチとも表現できる。一例として、Pt1は、IDT電極3によって励振される弾性波の波長λの半値(λ/2)と等しく設定されてよい。この場合、λは、2×Pt1と表すことができる。 As shown in Figures 6 and 7, the multiple electrode fingers 32 in the IDT electrode 3 may have a pitch Pt1 in the x-direction. Pt1 is, for example, the pitch (repetition interval) between the centers of the multiple electrode fingers 32. Therefore, Pt1 can also be expressed as the pitch from the center of a first electrode finger 32a to the center of a second electrode finger 32b adjacent to the first electrode finger 32a. As an example, Pt1 may be set equal to half the wavelength λ (λ/2) of the acoustic wave excited by the IDT electrode 3. In this case, λ can be expressed as 2 x Pt1.

複数の電極指32は、x方向における幅w1を有していてよい。w1は、共振子1に要求される電気特性等に応じて、適宜に設定されてよい。例えば、Pt1に対するw1の比率(w1/Pt)が所定の範囲内の数値となるように、w1が設定されてよい。 The multiple electrode fingers 32 may have a width w1 in the x-direction. w1 may be set appropriately depending on the electrical characteristics required of the resonator 1. For example, w1 may be set so that the ratio of w1 to Pt1 (w1/Pt) is a value within a predetermined range.

図6に示される通り、IDT電極3は、例えば、金属からなる導電層15によって構成されてよい。また、IDT電極3および反射器4(図6では不図示)を覆うように、圧電基板2上に保護層5が設けられてもよい。 As shown in Figure 6, the IDT electrode 3 may be composed of, for example, a conductive layer 15 made of metal. In addition, a protective layer 5 may be provided on the piezoelectric substrate 2 so as to cover the IDT electrode 3 and the reflector 4 (not shown in Figure 6).

続いて、反射器4について述べる。反射器4は、(i)y方向において互いに対向する2本の反射器バスバー41と、(ii)当該反射器バスバー41間においてy方向に延びている複数の反射器電極指42とを有していてよい。反射器バスバー41は、例えば、x方向において概ね一定の幅を有し、かつ、x方向に直線状に延びる長尺状に形成されてよい。これに対し、複数の反射器電極指42は、例えば、x方向に概ね一定の幅を有し、かつ、y方向に直線状に延びる長尺状に形成されてよい。Next, we will describe the reflector 4. The reflector 4 may have (i) two reflector bus bars 41 facing each other in the y direction, and (ii) a plurality of reflector electrode fingers 42 extending in the y direction between the reflector bus bars 41. The reflector bus bar 41 may be formed, for example, as an elongated member having a generally constant width in the x direction and extending linearly in the x direction. In contrast, the plurality of reflector electrode fingers 42 may be formed, for example, as an elongated member having a generally constant width in the x direction and extending linearly in the y direction.

図8は、図5における反射器4の一部を拡大した平面図である。図8に示される通り、複数の反射器電極指42は、x方向におけるピッチPt2を有していてよい。Pt2は、例えば、複数の反射器電極指42の中心間のピッチであってよい。従って、Pt1は、ある反射器電極指42の中心から隣接する反射器電極指42の中心までの間隔とも表現できる。複数の電極指32は、x方向における幅w2を有していてよい。w2は、w1と同程度の値に設定されてよい。一例として、w2は、w1と等しく設定されてよい。 Figure 8 is an enlarged plan view of a portion of the reflector 4 in Figure 5. As shown in Figure 8, the multiple reflector electrode fingers 42 may have a pitch Pt2 in the x-direction. Pt2 may be, for example, the pitch between the centers of the multiple reflector electrode fingers 42. Therefore, Pt1 can also be expressed as the distance from the center of one reflector electrode finger 42 to the center of an adjacent reflector electrode finger 42. The multiple electrode fingers 32 may have a width w2 in the x-direction. w2 may be set to a value approximately equal to w1. As an example, w2 may be set equal to w1.

反射器4は、IDT電極3によって励振される弾性波を反射させるように構成されていればよい。従って、Pt2は、Pt1と同程度の値に設定されてよい。一例として、Pt2は、Pt1と等しく設定されてよい。加えて、上述の図5に示されている通り、反射器4は、IDT電極3に対して間隔Gだけ離間して位置してよい。間隔Gは、例えば、(i)IDT電極3のある反射器4(例:反射器4A)側の端部に位置する電極指32の中心から、(ii)当該反射器4のIDT電極3側の端部に位置する反射器電極指42の中心まで、の間隔であってよい。The reflector 4 may be configured to reflect the acoustic waves excited by the IDT electrode 3. Therefore, Pt2 may be set to a value similar to Pt1. As an example, Pt2 may be set equal to Pt1. In addition, as shown in FIG. 5 above, the reflector 4 may be positioned at a distance G from the IDT electrode 3. The distance G may be, for example, from (i) the center of the electrode finger 32 located at the end of the IDT electrode 3 on the reflector 4 (e.g., reflector 4A) side to (ii) the center of the reflector electrode finger 42 located at the end of the reflector 4 on the IDT electrode 3 side.

実施形態1の例において、通常並列共振子1PNでは、Pt1は、第1ピッチa1に設定されている。そして、通常並列共振子1PNでは、Pt2およびGも、a1に等しく設定されている。すなわち、実施形態1では、通常並列共振子1PNが、電極指ピッチとして第1ピッチのみを有している場合を例示する。本明細書における電極指ピッチとは、Pt、Pt2、および間隔Gを総称的に指す。当該構成によれば、共振リップルを有しない通常並列共振子1PNが実現される。In the example of embodiment 1, in the normal parallel resonator 1PN, Pt1 is set to the first pitch a1. In addition, in the normal parallel resonator 1PN, Pt2 and G are also set equal to a1. That is, embodiment 1 illustrates a case in which the normal parallel resonator 1PN has only the first pitch as the electrode finger pitch. In this specification, the electrode finger pitch collectively refers to Pt, Pt2, and the spacing G. With this configuration, a normal parallel resonator 1PN without resonant ripple is realized.

(第1並列共振子1PAの一構成例)
第1並列共振子1PAは、(i)第1並列共振子1PAの電極指ピッチとして、第1ピッチa1を有する第1領域と、(ii)当該電極指ピッチとして、当該第1ピッチより小さい第2ピッチb1を有する第2領域と、を備えていてよい。図7に示されている領域REGa1は、第1領域の一例であり、図8に示されている領域REG1bは、第2領域の一例である。当該構成によれば、第1共振リップルを有する第1並列共振子1PAを実現できる。実施形態1の例では、a1=0.9882μm、b1=0.7313μmである。すなわち、実施形態1の例では、第2ピッチは、第1ピッチの0.74倍の長さである。第1ピッチに対する第2ピッチの比率を0.8より小さくすることで、弾性波フィルタにおける、より高い急峻性が得られる。
(Example of Configuration of First Parallel Resonator 1PA)
The first parallel resonator 1PA may include (i) a first region having a first pitch a1 as the electrode finger pitch of the first parallel resonator 1PA, and (ii) a second region having a second pitch b1 as the electrode finger pitch, the second pitch being smaller than the first pitch. The region REGa1 shown in FIG. 7 is an example of the first region, and the region REG1b shown in FIG. 8 is an example of the second region. This configuration achieves the first parallel resonator 1PA having a first resonant ripple. In the example of the first embodiment, a1 = 0.9882 μm and b1 = 0.7313 μm. That is, in the example of the first embodiment, the second pitch is 0.74 times the length of the first pitch. By making the ratio of the second pitch to the first pitch smaller than 0.8, higher steepness can be achieved in the acoustic wave filter.

第1並列共振子1PAは、2通りの電極指ピッチのみを有していてよい。言い換えれば、第1並列共振子1PAの電極指ピッチは、第1ピッチまたは第2ピッチの2通りのみであってよい。当該構成によれば、単一の共振リップルとして第1共振リップルのみを有する第1並列共振子1PAを実現できる。第1ピッチおよび第2ピッチはそれぞれ、第1並列共振子1PAの主ピッチおよび副ピッチと称されてもよい。 The first parallel resonator 1PA may have only two electrode finger pitches. In other words, the electrode finger pitch of the first parallel resonator 1PA may have only two pitches: a first pitch or a second pitch. This configuration makes it possible to realize a first parallel resonator 1PA that has only the first resonant ripple as a single resonant ripple. The first pitch and second pitch may be referred to as the main pitch and sub-pitch, respectively, of the first parallel resonator 1PA.

第1領域および第2領域は、第1並列共振子1PAの任意の位置に存在しうる。図7に示される通り、第1領域は、IDT電極3内に位置してよい。これに対し、一例として、図8に示される通り、第2領域は、反射器4内に位置してよい。例えば、間隔Gがa1に等しく設定されている場合、Pt2をb1に等しく設定することにより、反射器4内に第2領域を位置させることができる。 The first region and the second region can be located anywhere in the first parallel resonator 1PA. As shown in FIG. 7, the first region may be located within the IDT electrode 3. In contrast, as an example, as shown in FIG. 8, the second region may be located within the reflector 4. For example, if the spacing G is set equal to a1, the second region can be located within the reflector 4 by setting Pt2 equal to b1.

別の例として、第2領域は、IDT電極3と反射器4との間に位置してもよい。例えば、Pt2がa1に等しく設定されている場合、間隔Gをb1に等しく設定することにより、IDT電極3と反射器4との間に第2領域を位置させることができる。以上の説明から明らかである通り、第2領域は、2つ以上の電極指(IDT電極の電極指および反射器電極指を総称的に指す)によって形成されていればよい。 As another example, the second region may be located between the IDT electrode 3 and the reflector 4. For example, if Pt2 is set equal to a1, the second region can be located between the IDT electrode 3 and the reflector 4 by setting the spacing G equal to b1. As is clear from the above explanation, the second region may be formed by two or more electrode fingers (collectively referring to the electrode fingers of the IDT electrode and the reflector electrode fingers).

第2領域をIDT電極3内に位置させた場合、第1並列共振子1PAにおいて、耐電力などの性能面に悪影響が生じることが懸念される。従って、第2領域を、反射器4内、または、IDT電極3と反射器4との間に位置させることにより、当該悪影響が生じるおそれを低減できる。 If the second region were located within the IDT electrode 3, there is a concern that this could adversely affect the performance of the first parallel resonator 1PA, such as its power handling capability. Therefore, by locating the second region within the reflector 4 or between the IDT electrode 3 and the reflector 4, the risk of such adverse effects occurring can be reduced.

〔実施形態2〕
(弾性波フィルタ100Bの構成)
図9は、実施形態2の弾性波フィルタ100Bの要部の構成を示す図である。図9に示される通り、弾性波フィルタ100Bは、その他の並列共振器のうちの1つに、第2共振リップルを有する第2並列共振子1PBを含んでいてよい。後述する通り、第2並列共振子1PBは、第1並列共振子1PAおよび通常並列共振子1PNとは異なる周波数特性を有していてよい。図9の例における第2並列共振子1PBは、並列共振子1P-3である。従って、図9の例における通常並列共振子1PNは、並列共振子1P-1および1P-4である。
[Embodiment 2]
(Configuration of Acoustic Wave Filter 100B)
FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration of a main part of an acoustic wave filter 100B according to a second embodiment. As illustrated in FIG. 9 , the acoustic wave filter 100B may include a second parallel resonator 1PB having a second resonance ripple as one of the other parallel resonators. As will be described later, the second parallel resonator 1PB may have frequency characteristics different from those of the first parallel resonator 1PA and the normal parallel resonator 1PN. In the example illustrated in FIG. 9 , the second parallel resonator 1PB is the parallel resonator 1P-3. Therefore, the normal parallel resonator 1PN in the example illustrated in FIG. 9 is the parallel resonators 1P-1 and 1P-4.

(弾性波フィルタ100Bと弾性波フィルタ100Aとの減衰特性の比較)
図10には、弾性波フィルタ100Bおよび弾性波フィルタ100Aのそれぞれの減衰特性が例示されている。図10のグラフにおいて、横軸は周波数を、縦軸は減衰量を、それぞれ示す。図10のグラフにおいて、実線は弾性波フィルタ100B(実施形態2)の特性を、点線は弾性波フィルタ100A(実施形態1)の特性を、それぞれ示す。図10に示されている弾性波フィルタ100Aの特性は、図3と同等である。
(Comparison of Attenuation Characteristics Between Acoustic Wave Filter 100B and Acoustic Wave Filter 100A)
Fig. 10 illustrates the attenuation characteristics of the acoustic wave filter 100B and the acoustic wave filter 100A. In the graph of Fig. 10, the horizontal axis represents frequency and the vertical axis represents attenuation. In the graph of Fig. 10, the solid line represents the characteristics of the acoustic wave filter 100B (Embodiment 2), and the dotted line represents the characteristics of the acoustic wave filter 100A (Embodiment 1). The characteristics of the acoustic wave filter 100A shown in Fig. 10 are the same as those shown in Fig. 3.

上述の通り、実施形態2の例における弾性波フィルタ100Bは、弾性波フィルタ100Aとは異なり、並列共振子1Pとして、第2並列共振子1PBをさらに含んでいる。この場合、図10に示される通り、弾性波フィルタ100Bでは、弾性波フィルタ100Aとは異なり、第2並列共振子1PBに起因する第2共振リップルが生じる。As described above, the acoustic wave filter 100B according to the second embodiment differs from the acoustic wave filter 100A in that it further includes a second parallel resonator 1PB as the parallel resonator 1P. In this case, as shown in FIG. 10 , the acoustic wave filter 100B generates a second resonant ripple due to the second parallel resonator 1PB, unlike the acoustic wave filter 100A.

加えて、弾性波フィルタ100Bでは、第2共振リップルは、第2並列共振子1PBの主共振周波数f2aと反共振周波数f2bとの間に位置してよい。f2aおよびf2bの例については、図11を参照して後述する。図10に示される通り、弾性波フィルタ100Bでは、第2共振リップルにより、遷移帯域における減衰特性の急峻性がより一層改善される。Additionally, in the acoustic wave filter 100B, the second resonance ripple may be located between the main resonance frequency f2a and the anti-resonance frequency f2b of the second parallel resonator 1PB. Examples of f2a and f2b will be described later with reference to FIG. 11. As shown in FIG. 10, in the acoustic wave filter 100B, the second resonance ripple further improves the steepness of the attenuation characteristics in the transition band.

また、第2共振リップルは、第1共振リップルよりも低周波側に位置していてよい。言い換えれば、第2共振リップルの周波数f2rは、f1rよりも低く設定されてよい。従って、第2並列共振子1PBは、これらの条件を満たすように構成されていてよい。図10に示される通り、弾性波フィルタ100Bでは、第2共振リップルにより、低周波側の遷移領域における減衰特性の急峻性をより一層改善できる。 The second resonant ripple may be located on the lower frequency side than the first resonant ripple. In other words, the frequency f2r of the second resonant ripple may be set lower than f1r. Therefore, the second parallel resonator 1PB may be configured to satisfy these conditions. As shown in Figure 10, in the acoustic wave filter 100B, the second resonant ripple can further improve the steepness of the attenuation characteristics in the transition region on the low frequency side.

(第1並列共振子1PAと通常並列共振子1PNとの周波数特性の比較)
図11には、第2並列共振子1PBおよび第1並列共振子1PAのそれぞれの周波数特性が例示されている。図11の各グラフにおいて、実線は第2並列共振子1PBの特性を、点線は第1並列共振子1PAの特性を、それぞれ示す。図11に示されている第1並列共振子1PAの特性は、図4と同等である。図11では、第1並列共振子1PAの特性との対比のために、第2並列共振子1PBの特性を示す各プロットは、横軸において+5.7MHzだけシフトされている。
(Comparison of frequency characteristics between the first parallel resonator 1PA and the normal parallel resonator 1PN)
Fig. 11 illustrates the frequency characteristics of the second parallel resonator 1PB and the first parallel resonator 1PA. In each graph in Fig. 11, the solid line indicates the characteristics of the second parallel resonator 1PB, and the dotted line indicates the characteristics of the first parallel resonator 1PA. The characteristics of the first parallel resonator 1PA shown in Fig. 11 are the same as those in Fig. 4. In Fig. 11, each plot showing the characteristics of the second parallel resonator 1PB is shifted by +5.7 MHz on the horizontal axis for comparison with the characteristics of the first parallel resonator 1PA.

図11において、符号11000Aのグラフは、第2並列共振子1PBおよび第1並列共振子1PAのそれぞれのインピーダンス特性を示す。符号11000Bのグラフは、第2並列共振子1PBおよび第1並列共振子1PAのそれぞれの位相特性を示す。実施形態2の例では、f2a=1939.6MHz、f2b=2010.0MHz、f2r=1956.0MHzである。 In Figure 11, the graph labeled 11000A shows the impedance characteristics of the second parallel resonator 1PB and the first parallel resonator 1PA. The graph labeled 11000B shows the phase characteristics of the second parallel resonator 1PB and the first parallel resonator 1PA. In the example of embodiment 2, f2a = 1939.6 MHz, f2b = 2010.0 MHz, and f2r = 1956.0 MHz.

f2rにおいて、第2並列共振子1PBの位相(インピーダンスの位相)は、50°以下であってよい。この場合、より大きい第2共振リップルを形成できるので、弾性波フィルタ100Bにおいて、低周波側の遷移領域における減衰特性の急峻性をより一層改善できる。図11の例では、f2rにおける第2並列共振子1PBの位相は、約20°である。At f2r, the phase (impedance phase) of the second parallel resonator 1PB may be 50° or less. In this case, a larger second resonance ripple can be formed, further improving the steepness of the attenuation characteristics in the low-frequency transition region of the acoustic wave filter 100B. In the example shown in FIG. 11, the phase of the second parallel resonator 1PB at f2r is approximately 20°.

本明細書では、f1rとf1aとの差をΔf1として表す。また、f2rとf2aとの差をΔf2として表す。すなわち、
Δf1=f1r-f1a
Δf2=f2r-f2a
として表す。図11に示される通り、Δf1>Δf2であってよい。当該構成によれば、低周波側の遷移領域において、減衰特性の急峻性を2段階にて改善できる。実施形態2の例では、Δf1=20.8MHz、Δf2=16.4MHzである。
In this specification, the difference between f1r and f1a is represented as Δf1, and the difference between f2r and f2a is represented as Δf2.
Δf1=f1r−f1a
Δf2=f2r-f2a
As shown in FIG. 11 , Δf1 may be greater than Δf2. With this configuration, the steepness of the attenuation characteristics can be improved in two stages in the transition region on the low frequency side. In the example of the second embodiment, Δf1=20.8 MHz and Δf2=16.4 MHz.

(第2並列共振子1PBの位置についての例)
弾性波フィルタ100Bにおいて、第2並列共振子1PBは、複数の並列配線PL-1~PL-4のうち、Tinに最も近い並列配線PL-1、および、Toutに最も近い並列配線PL-4を除いた、あるPLに接続されてよい。図9の例では、第2並列共振子1PBは、PL-3に接続されている。当該構成によれば、外部装置とのインピーダンス整合が容易な弾性波フィルタ100Bを実現できる。
(Example of the Position of the Second Parallel Resonator 1PB)
In the acoustic wave filter 100B, the second parallel resonator 1PB may be connected to a certain PL among the parallel wirings PL-1 to PL-4, excluding the parallel wiring PL-1 closest to Tin and the parallel wiring PL-4 closest to Tout. In the example shown in Fig. 9, the second parallel resonator 1PB is connected to PL-3. This configuration enables the acoustic wave filter 100B to be easily impedance-matched with an external device.

(第2並列共振子1PBの一構成例)
第2並列共振子1PBは、(i)第2並列共振子1PBの電極指ピッチとして、第3ピッチa2を有する第3領域と、(ii)当該電極指ピッチとして、当該第3ピッチより小さい第4ピッチb2を有する第4領域と、を備えていてよい。図7に示されている領域REGa2は、第3領域の一例であり、図8に示されている領域REGb2は、第4領域の一例である。当該構成によれば、第2共振リップルを有する第2並列共振子1PBを実現できる。実施形態2の例では、a2=0.9914μm、b2=0.7535μmである。
(Example of the configuration of the second parallel resonator 1PB)
The second parallel resonator 1PB may include (i) a third region having a third pitch a2 as the electrode finger pitch of the second parallel resonator 1PB, and (ii) a fourth region having a fourth pitch b2 as the electrode finger pitch that is smaller than the third pitch. The region REGa2 shown in FIG. 7 is an example of the third region, and the region REGb2 shown in FIG. 8 is an example of the fourth region. This configuration makes it possible to realize the second parallel resonator 1PB having a second resonant ripple. In the example of embodiment 2, a2 = 0.9914 μm and b2 = 0.7535 μm.

第2並列共振子1PBは、2通りの電極指ピッチのみを有していてよい。言い換えれば、第2並列共振子1PBの電極指ピッチは、第3ピッチおよび第4ピッチの2通りのみであってよい。第3ピッチおよび第4ピッチはそれぞれ、第2並列共振子1PBの主ピッチおよび副ピッチと称されてもよい。当該構成によれば、1つの共振リップルとして第2共振リップルのみを有する第2並列共振子1PBを実現できる。従って、第1共振リップルおよび第2共振リップルのみを有する弾性波フィルタ100Bを実現できる。 The second parallel resonator 1PB may have only two electrode finger pitches. In other words, the electrode finger pitch of the second parallel resonator 1PB may have only two pitches: a third pitch and a fourth pitch. The third pitch and the fourth pitch may be referred to as the main pitch and the sub-pitch, respectively, of the second parallel resonator 1PB. This configuration makes it possible to realize a second parallel resonator 1PB having only the second resonant ripple as a single resonant ripple. Therefore, it is possible to realize an acoustic wave filter 100B having only the first resonant ripple and the second resonant ripple.

第2並列共振子1PBにおける第3領域および第4領域は、第2並列共振子1PBの任意の位置に存在しうる。第3領域は、IDT電極3内に位置してよい。これに対し、一例として、第4領域は、反射器4内、または、IDT電極3と反射器4との間に位置してよい。第4領域を、反射器4内、または、IDT電極3と反射器4との間に位置させることにより、第2並列共振子1PBにおいて、耐電力などの性能面に悪影響が生じるおそれを低減できる。 The third and fourth regions in the second parallel resonator 1PB can be located anywhere in the second parallel resonator 1PB. The third region may be located within the IDT electrode 3. In contrast, as an example, the fourth region may be located within the reflector 4 or between the IDT electrode 3 and the reflector 4. By locating the fourth region within the reflector 4 or between the IDT electrode 3 and the reflector 4, the risk of adverse effects on performance aspects such as power handling capability of the second parallel resonator 1PB can be reduced.

〔実施形態3〕
図12は、実施形態3における通信装置151の概略的な構成を例示する図である。通信装置151は、本開示の一態様に係る弾性波フィルタの一適用例であり、電波を利用した無線通信を行う。通信装置151は、本開示の一態様に係る弾性波フィルタ(例:弾性波フィルタ100A)を含んでいてよい。例えば、通信装置151は、当該弾性波フィルタによって構成された分波器101を含んでいてよい。図12の例における通信装置151は、送信フィルタ109としての1つの分波器101と、受信フィルタ111としての別の1つの分波器101とを含んでいてよい。
[Embodiment 3]
FIG. 12 is a diagram illustrating a schematic configuration of a communication device 151 according to a third embodiment. The communication device 151 is an application example of an acoustic wave filter according to an aspect of the present disclosure, and performs wireless communication using radio waves. The communication device 151 may include an acoustic wave filter according to an aspect of the present disclosure (e.g., the acoustic wave filter 100A). For example, the communication device 151 may include a duplexer 101 configured using the acoustic wave filter. The communication device 151 in the example of FIG. 12 may include one duplexer 101 as a transmit filter 109 and another duplexer 101 as a receive filter 111.

通信装置151において、送信すべき情報を含む送信情報信号TISは、RF-IC(Radio Frequency-Integrated Circuit)153によって変調および周波数の引き上げ(搬送波周波数を有する高周波信号への変換)がなされ、送信信号TSへと変換されてよい。バンドパスフィルタ155は、TSについて、送信用の通過帯以外の不要成分を除去してよい。次いで、不要成分除去後のTSは、増幅器157によって増幅されて、送信フィルタ109に入力されてよい。 In communication device 151, a transmission information signal TIS containing information to be transmitted may be modulated and frequency-increased (converted to a high-frequency signal having a carrier frequency) by RF-IC (Radio Frequency-Integrated Circuit) 153, and converted into a transmission signal TS. Bandpass filter 155 may remove unwanted components from TS outside the transmission passband. The TS after removing the unwanted components may then be amplified by amplifier 157 and input to transmission filter 109.

送信フィルタ109は、入力された送信信号TSから送信用の通過帯以外の不要成分を除去してよい。送信フィルタ109は、不要成分除去後のTSを、アンテナ159に出力してよい。アンテナ159は、自身に入力された電気信号であるTSを、無線信号としての電波に変換し、当該電波を通信装置151の外部に送信してよい。 The transmit filter 109 may remove unnecessary components outside the transmission passband from the input transmit signal TS. The transmit filter 109 may output the TS after removing the unnecessary components to the antenna 159. The antenna 159 may convert the TS, which is an electrical signal input to it, into radio waves as a wireless signal and transmit the radio waves outside the communication device 151.

また、アンテナ159は。受信した外部からの電波を、電気信号である受信信号RSに変換し、当該RSを受信フィルタ111に入力してよい。受信フィルタ111は、入力されたRSから受信用の通過帯以外の不要成分を除去してよい。受信フィルタ111は、不要成分除去後の受信信号RSを増幅器161へ出力してよい。出力されたRSは、増幅器161によって増幅されてよい。バンドパスフィルタ163は、増幅後のRSについて、受信用の通過帯以外の不要成分を除去してよい。不要成分除去後のRSは、RF-IC153によって周波数の引き下げおよび復調がなされ、受信情報信号RISへと変換されてよい。 The antenna 159 may also convert received external radio waves into a received signal RS, which is an electrical signal, and input the RS to the receiving filter 111. The receiving filter 111 may remove unwanted components outside the receiving passband from the input RS. The receiving filter 111 may output the received signal RS after the unwanted components have been removed to the amplifier 161. The output RS may be amplified by the amplifier 161. The bandpass filter 163 may remove unwanted components outside the receiving passband from the amplified RS. The RS after the unwanted components have been removed may be frequency-downshifted and demodulated by the RF-IC 153, and converted into a received information signal RIS.

TISおよびRISは、適宜な情報を含む低周波信号(ベースバンド信号)であってよい。例えば、TISおよびRISは、アナログ音声信号であってもよいし、あるいはデジタル化された音声信号であってよい。無線信号の通過帯は、適宜に設定されてよく、公知の各種の規格に準拠してよい。The TIS and RIS may be low-frequency signals (baseband signals) containing appropriate information. For example, the TIS and RIS may be analog audio signals or digitized audio signals. The passband of the radio signals may be set as appropriate and may conform to various known standards.

〔付記事項〕
以上、本開示に係る発明について、諸図面および実施例に基づいて説明してきた。しかし、本開示に係る発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。すなわち、本開示に係る発明は本開示で示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本開示に係る発明の技術的範囲に含まれる。つまり、当業者であれば本開示に基づき種々の変形または修正を行うことが容易であることに注意されたい。また、これらの変形または修正は本開示の範囲に含まれることに留意されたい。
[Additional Notes]
The invention according to the present disclosure has been described above based on the drawings and examples. However, the invention according to the present disclosure is not limited to the above-described embodiments. In other words, the invention according to the present disclosure can be modified in various ways within the scope of the present disclosure, and embodiments obtained by appropriately combining the technical means disclosed in different embodiments are also included in the technical scope of the invention according to the present disclosure. In other words, it should be noted that a person skilled in the art can easily make various modifications or corrections based on the present disclosure. It should also be noted that these modifications or corrections are included in the scope of the present disclosure.

1 共振子
1P、1P-1~1P-4 並列共振子
1PA 第1並列共振子
1PB 第2並列共振子(その他の並列共振子)
1PN 通常並列共振子(その他の並列共振子)
1S、1S-1~1S-5 直列共振子
3 IDT電極
4、4A、4B 反射器
100A、100B 弾性波フィルタ
151 通信装置
PL 並列配線
PL-1 並列配線(入力端子に最も近い並列配線)
PL-2 並列配線(第1並列共振子が接続された並列配線)
PL-3 並列配線(第2並列共振子が接続された並列配線)
PL-4 並列配線(出力端子に最も近い並列配線)
SL 直列配線
Tin 入力端子
Tout 出力端子
a1 第1ピッチ
b1 第2ピッチ
a2 第3ピッチ
b2 第4ピッチ
REGa1 第1領域
REGb1 第2領域
REGa2 第3領域
REGb2 第4領域
f1a 第1並列共振子の主共振周波数
f1b 第1並列共振子の反共振周波数
f1r 第1共振リップルの周波数
f2a 第2並列共振子の主共振周波数
f2b 第2並列共振子の反共振周波数
f2r 第2共振リップルの周波数
Δf1 f1rとf1aとの差
Δf2 f2rとf2aとの差
1 Resonator 1P, 1P-1 to 1P-4 Parallel resonators 1PA First parallel resonator 1PB Second parallel resonator (other parallel resonators)
1PN Normal parallel resonator (other parallel resonators)
1S, 1S-1 to 1S-5: Series resonator 3: IDT electrode 4, 4A, 4B: Reflector 100A, 100B: Acoustic wave filter 151: Communication device PL: Parallel wiring PL-1: Parallel wiring (parallel wiring closest to input terminal)
PL-2 Parallel wiring (parallel wiring to which the first parallel resonator is connected)
PL-3 Parallel wiring (parallel wiring connected to the second parallel resonator)
PL-4 Parallel wiring (parallel wiring closest to the output terminal)
SL Series wiring Tin Input terminal Tout Output terminal a1 First pitch b1 Second pitch a2 Third pitch b2 Fourth pitch REGa1 First region REGb1 Second region REGa2 Third region REGb2 Fourth region f1a Main resonance frequency of first parallel resonator f1b Anti-resonance frequency of first parallel resonator f1r Frequency of first resonance ripple f2a Main resonance frequency of second parallel resonator f2b Anti-resonance frequency of second parallel resonator f2r Frequency of second resonance ripple Δf1 Difference between f1r and f1a Δf2 Difference between f2r and f2a

Claims (14)

複数の直列共振子と、
第1共振リップルを有する第1並列共振子と、その他の並列共振子と、を含む、複数の並列共振子と、
を有し、
前記第1並列共振子は、
前記第1並列共振子の電極指ピッチとして、第1ピッチを有する第1領域と、
前記第1並列共振子の電極指ピッチとして、前記第1ピッチより小さい第2ピッチを有する第2領域と、
を有し、
前記第1ピッチに対する前記第2ピッチの比率が0.8より小さいことによって、第1並列共振子が前記第1共振リップルを有しており、
前記第1共振リップルは、前記第1並列共振子の主共振周波数と反共振周波数との間に位置し、
前記第1並列共振子の主共振周波数は、前記その他の並列共振子のうち、少なくとも1つの並列共振子の主共振周波数よりも高い
弾性波フィルタ。
a plurality of series resonators;
a plurality of parallel resonators including a first parallel resonator having a first resonant ripple and other parallel resonators;
and
The first parallel resonator is
a first region having a first pitch as the electrode finger pitch of the first parallel resonator;
a second region having an electrode finger pitch of the first parallel resonator that is smaller than the first pitch;
and
a ratio of the second pitch to the first pitch is less than 0.8, so that the first parallel resonator has the first resonant ripple;
the first resonant ripple is located between a main resonant frequency and an anti-resonant frequency of the first parallel resonator,
The acoustic wave filter, wherein a main resonant frequency of the first parallel resonator is higher than a main resonant frequency of at least one of the other parallel resonators.
前記第1並列共振子の主共振周波数は、前記その他の並列共振子のうち、全ての並列共振子の主共振周波数よりも高い、請求項1に記載の弾性波フィルタ。 The acoustic wave filter of claim 1, wherein the main resonant frequency of the first parallel resonator is higher than the main resonant frequencies of all of the other parallel resonators. 前記第1共振リップルの周波数において、前記第1並列共振子のインピーダンスの位相が50°以下である、請求項1に記載の弾性波フィルタ。 The acoustic wave filter of claim 1, wherein the phase of the impedance of the first parallel resonator is 50° or less at the frequency of the first resonant ripple. 入力端子と、
出力端子と、
前記複数の直列共振子を接続する直列配線と、
前記複数の並列共振子のそれぞれを接続する複数の並列配線と、を有し、
前記第1並列共振子は、前記複数の並列配線のうち、前記入力端子に最も近い並列配線、および、前記出力端子に最も近い並列配線を除いた、ある並列配線に接続されている、請求項1に記載の弾性波フィルタ。
An input terminal,
An output terminal;
a series wiring that connects the plurality of series resonators;
a plurality of parallel wirings connecting the plurality of parallel resonators,
2. The acoustic wave filter according to claim 1, wherein the first parallel resonator is connected to a parallel wiring of the plurality of parallel wirings, excluding a parallel wiring closest to the input terminal and a parallel wiring closest to the output terminal.
前記第1並列共振子の電極指ピッチは、前記第1ピッチ及び前記第1ピッチの2通りのみである、請求項1に記載の弾性波フィルタ。 The acoustic wave filter according to claim 1, wherein the electrode finger pitch of the first parallel resonator has only two options: the first pitch and the second pitch. 前記第1並列共振子は、
IDT電極と、
弾性波の伝搬方向において前記IDT電極を挟む一対の反射器と、を有し、
前記第2領域は、前記反射器内に位置する、請求項1に記載の弾性波フィルタ。
The first parallel resonator is
an IDT electrode;
a pair of reflectors sandwiching the IDT electrode in the propagation direction of the acoustic wave,
The acoustic wave filter according to claim 1 , wherein the second region is located within the reflector.
前記第1並列共振子はIDT電極を有し、
前記第2領域は、前記IDT電極内に位置する、請求項1に記載の弾性波フィルタ。
the first parallel resonator has an IDT electrode;
The acoustic wave filter according to claim 1 , wherein the second region is located within the IDT electrode.
前記第1並列共振子は、
IDT電極と、
弾性波の伝搬方向において前記IDT電極を挟む一対の反射器と、を有し、
前記第2領域は、前記IDT電極と前記反射器内との間に位置する、請求項1に記載の弾性波フィルタ。
The first parallel resonator is
an IDT electrode;
a pair of reflectors sandwiching the IDT electrode in the propagation direction of the acoustic wave,
The acoustic wave filter according to claim 1 , wherein the second region is located between the IDT electrode and the reflector.
前記その他の並列共振子のうち、第2並列共振子は、第2共振リップルを有し、
前記第2共振リップルは、前記第2並列共振子の主共振周波数と反共振周波数との間に位置する、請求項1に記載の弾性波フィルタ。
a second parallel resonator among the other parallel resonators has a second resonant ripple;
The acoustic wave filter according to claim 1 , wherein the second resonant ripple is located between a main resonant frequency and an anti-resonant frequency of the second parallel resonator.
前記第2共振リップルは、前記第1共振リップルよりも低周波側に位置する、請求項9に記載の弾性波フィルタ。 The acoustic wave filter of claim 9, wherein the second resonant ripple is located on the lower frequency side than the first resonant ripple. 前記第1共振リップルの周波数と前記第1並列共振子の主共振周波数との差をΔf1、
前記第2共振リップルの周波数と前記第2並列共振子の主共振周波数との差をΔf2、としてそれぞれ表したとき、
Δf1>Δf2である、請求項9に記載の弾性波フィルタ。
The difference between the frequency of the first resonant ripple and the main resonant frequency of the first parallel resonator is Δf1,
When the difference between the frequency of the second resonant ripple and the main resonant frequency of the second parallel resonator is represented as Δf2,
The acoustic wave filter according to claim 9 , wherein Δf1>Δf2.
入力端子と、
出力端子と、
前記複数の直列共振子を接続する直列配線と、
前記複数の並列共振子のそれぞれを接続する複数の並列配線と、を有し、
前記第2並列共振子は、前記入力端子に最も近い並列配線、および、前記出力端子に最も近い並列配線を除いた、ある並列配線に接続されている、請求項に記載の弾性波フィルタ。
An input terminal,
An output terminal;
a series wiring that connects the plurality of series resonators;
a plurality of parallel wirings connecting the plurality of parallel resonators,
The acoustic wave filter according to claim 9 , wherein the second parallel resonator is connected to a parallel wiring other than the parallel wiring closest to the input terminal and the parallel wiring closest to the output terminal.
前記第2並列共振子は、
前記第2並列共振子の電極指ピッチとして、第3ピッチを有する第3領域と、
前記第2並列共振子の前記電極指ピッチとして、前記第3ピッチより小さい第4ピッチを有する第4領域と、を有し、
前記第2並列共振子の前記電極指ピッチは、前記第3ピッチおよび前記第4ピッチの2通りのみである、請求項に記載の弾性波フィルタ。
The second parallel resonator is
a third region having a third pitch as the electrode finger pitch of the second parallel resonator;
a fourth region in which the electrode finger pitch of the second parallel resonator is a fourth pitch that is smaller than the third pitch;
The acoustic wave filter according to claim 9 , wherein the electrode finger pitch of the second parallel resonator has only two pitches, the third pitch and the fourth pitch.
請求項1に記載の弾性波フィルタを有する、通信装置。 A communication device having the acoustic wave filter described in claim 1.
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