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JP7803097B2 - Soft magnetic alloy ribbon, manufacturing method thereof, magnetic core, and component - Google Patents
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JP7803097B2 - Soft magnetic alloy ribbon, manufacturing method thereof, magnetic core, and component - Google Patents

Soft magnetic alloy ribbon, manufacturing method thereof, magnetic core, and component

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Description

本開示は、軟磁性合金、軟磁性合金薄帯およびその製造方法、磁心、ならびに部品に関する。 This disclosure relates to soft magnetic alloys, soft magnetic alloy ribbons and their manufacturing methods, magnetic cores, and components.

ナノ結晶構造を有する軟磁性合金は、優れた磁気特性が得られ、変圧器、電子部品、モータなどに利用されている。それらの変圧器、電子部品、モータなどは、小型化や高効率化が求められている。そのため、それらの部品(変圧器、電子部品、モータなど)に用いられる軟磁性合金には、更なる特性の向上が求められている。その軟磁性合金に求められる特性としては、飽和磁束密度が高いこと、鉄損が低いことがある。それらの部品のなかには、半導体などの高周波化にともない動作周波数を高くして小型化を進めているものも多く、鉄損の低い、Fe基非晶質合金やFe基ナノ結晶合金が着目されている。また、商業的に普及させるためには、価格、生産性、熱処理性に優れた軟磁性合金が求められている。 Soft magnetic alloys with a nanocrystalline structure offer excellent magnetic properties and are used in transformers, electronic components, motors, and other devices. These transformers, electronic components, and motors are required to be smaller and more efficient. Therefore, the soft magnetic alloys used in these components (transformers, electronic components, motors, etc.) are required to have even better properties. The required properties of such soft magnetic alloys include high saturation magnetic flux density and low iron loss. Many of these components are being miniaturized by increasing their operating frequencies in response to the trend toward higher frequencies in semiconductors and other devices. Fe-based amorphous alloys and Fe-based nanocrystalline alloys, which have low iron loss, are attracting attention. Furthermore, for commercial adoption, soft magnetic alloys with excellent cost, productivity, and heat treatability are required.

特許文献1では、組成式Fe100-a-b-cCuM’で、M’は、Nb、Mo、Ta、W、Ni、及びCoから選択される少なくとも1種の元素であり、10≦a≦16、0<b≦2、及び0≦c≦8を満たす組成を有し、かつ非晶質相を有する合金を昇温速度10℃/秒以上で加熱し、かつ、結晶化開始温度以上、Fe-B化合物の生成開始温度未満で、0~80秒にわたり保持することにより、高飽和磁化と低保磁力を両立する軟磁性材料の製造方法が記載されている。 Patent Document 1 describes a method for producing a soft magnetic material that achieves both high saturation magnetization and low coercive force, by heating an alloy having an amorphous phase and a composition of the composition formula Fe 100-ab-c Ba Cu b M'c , where M' is at least one element selected from Nb, Mo, Ta, W, Ni, and Co, satisfying 10≦a≦16, 0<b≦2, and 0≦c≦8, at a heating rate of 10°C/sec or more, and holding the alloy at a temperature equal to or higher than the crystallization start temperature and lower than the temperature at which an Fe—B compound is generated, for 0 to 80 seconds.

特許文献2では、組成式((Fe(1-(α+β))X1αX2β(1-(a+b+c+d+e))SiCuからなる軟磁性合金であって、X1はCoおよびNiからなる群から選択される1種以上、X2はAl,Mn,Ag,Zn,Sn,As,Sb,Bi,N,Oおよび希土類元素からなる群より選択される1種以上、MはNb,Hf,Zr,Ta,Ti,Mo,WおよびVからなる群から選択される1種以上であり、0.140<a≦0.240、0≦b≦0.030、0<c<0.080、0<d≦0.020、0≦e≦0.030、α≧0、β≧0、0≦α+β≦0.50、であることを特徴とする軟磁性合金が開示されている。この軟磁性合金は、高い飽和磁束密度、低い保磁力および高い透磁率μ´を同時に有する軟磁性合金となることが記載されている。 In Patent Document 2, the composition formula ((Fe (1-(α+β)) X1 α X2 β ) (1-(a+b+c+d+e)) B a Si b C c Cu d M The publication discloses a soft magnetic alloy consisting of X1, Co, Ni, and Ni; X2, Al, Mn, Ag, Zn, Sn, As, Sb, Bi, N, O, and rare earth elements; M, Hf, Zr, Ta, Ti, Mo, W, and V; and 0.140<a≦0.240, 0≦b≦0.030, 0<c<0.080, 0<d≦0.020, 0≦e≦0.030, α≧0, β≧0, and 0≦α+β≦0.50. The publication also discloses that this soft magnetic alloy simultaneously possesses high saturation magnetic flux density, low coercive force, and high magnetic permeability μ'.

特許文献3では、Fe100-x-y-zにより表され、ここで、AはCuおよびAuから選ばれた少なくとも1種以上の元素、MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、Wから選ばれた少なくとも1種以上の元素、XはBおよびSiから選ばれた少なくとも一種以上の元素であり、原子%で、0<x≦5、0.4≦y<2.5、10≦z≦20であり、軟磁性合金の飽和磁束密度が1.7T以上、保磁力が15A/m以下である軟磁性合金が開示されている。 Patent Document 3 discloses a soft magnetic alloy represented by Fe 100-x-y-z A x M y X z , where A is at least one element selected from Cu and Au, M is at least one element selected from Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, and W, and X is at least one element selected from B and Si, and the atomic percentages are 0<x≦5, 0.4≦y<2.5, and 10≦z≦20, and the soft magnetic alloy has a saturation magnetic flux density of 1.7 T or more and a coercive force of 15 A/m or less.

国際公開第2018/025931号International Publication No. 2018/025931 特開2019-94532号公報JP 2019-94532 A 国際公開第2008/133301号WO 2008/133301

特許文献1には、高飽和磁化を有する軟磁性材料の製造方法が開示されている。しかしながら、特許文献1に記載の軟磁性材料は、Siを含有しない。このため、特許文献1に記載の軟磁性材料では、耐食性に寄与するSiO膜が材料表面に形成されないため、錆などの防止が困難となる。 Patent Document 1 discloses a method for producing a soft magnetic material with high saturation magnetization. However, the soft magnetic material described in Patent Document 1 does not contain Si. Therefore, with the soft magnetic material described in Patent Document 1, a SiO2 film that contributes to corrosion resistance is not formed on the material surface, making it difficult to prevent rust and the like.

特許文献2に記載された軟磁性合金は、飽和磁束密度(Bs)があまり高くない。一般にFe量が多くなれば、飽和磁束密度が高くなるが、Fe量が84.0at%の実施例6で、飽和磁束密度(Bs)は1.76Tとなっている。また、この実施例6は、Siを含有していないため、上記した課題がある。また、特許文献2に記載された軟磁性合金は、比較的B量が多いことより、熱処理性が不十分であると考えられる。 The soft magnetic alloy described in Patent Document 2 does not have a very high saturation magnetic flux density (Bs). Generally, the saturation magnetic flux density increases as the Fe content increases, but in Example 6, where the Fe content is 84.0 at%, the saturation magnetic flux density (Bs) is 1.76 T. Furthermore, since Example 6 does not contain Si, the above-mentioned issues arise. Furthermore, the soft magnetic alloy described in Patent Document 2 is thought to have insufficient heat treatability due to its relatively high B content.

特許文献3に記載された軟磁性合金は、高価なM元素(Nbなど)を多く含むため、価格が高くなる。また、鋳造方向に異方性が付与されており、鋳造方向に磁界80A/mを印加したときの磁束密度と、鋳造方向に直交する方向に磁界80A/mを印加したときの磁束密度との比が大きいため、等方性を必要とする用途には不向きである。 The soft magnetic alloy described in Patent Document 3 is expensive because it contains a large amount of expensive M elements (such as Nb). Furthermore, it is anisotropic in the casting direction, and the ratio of the magnetic flux density when a magnetic field of 80 A/m is applied in the casting direction to the magnetic flux density when a magnetic field of 80 A/m is applied in a direction perpendicular to the casting direction is large, making it unsuitable for applications requiring isotropy.

本開示は、飽和磁束密度が高く、鉄損が低い軟磁性合金、その軟磁性合金からなる軟磁性合金薄帯およびその製造方法、その軟磁性合金薄帯を用いた磁心、ならびに部品を提供することが好ましい。 The present disclosure preferably provides a soft magnetic alloy having a high saturation magnetic flux density and low core loss, a soft magnetic alloy ribbon made of the soft magnetic alloy and a method for manufacturing the same, and a magnetic core and component using the soft magnetic alloy ribbon.

上記課題を解決するための具体的手段には、以下の態様が含まれる。
<1> 組成式(Fe1-xSiCuで表され、AはNiおよびCoの少なくとも1種であり、MはNb,Mo,V,Zr,HfおよびWからなる群から選択される1種以上であり、原子%で82.4≦a≦86、0.2≦b≦2.4、12.5≦c≦15.0、0.05≦d≦0.8、0.4≦e≦1.0、0≦x≦0.1である軟磁性合金であって、
前記軟磁性合金は粒径60nm以下の結晶粒がアモルファス相中に存在する組織を有する軟磁性合金。
<2> <1>において、飽和磁束密度が1.74T以上である軟磁性合金。
<3> <1>または<2>において、密度が7.45g/cm以上である軟磁性合金。
<4> 合金組成が、組成式(Fe1-xSiCuで表され、AはNiおよびCoの少なくとも1種であり、MはNb,Mo,V,Zr,HfおよびWからなる群から選択される1種以上であり、原子%で82.4≦a≦86、0.2≦b≦2.4、12.5≦c≦15.0、0.05≦d≦0.8、0.4≦e≦1.0、0≦x≦0.1である軟磁性合金薄帯であって、
前記軟磁性合金薄帯は粒径60nm以下の結晶粒がアモルファス相中に存在する組織を有し、飽和磁束密度が1.74T以上、1kHz,1Tでの鉄損が25W/kg以下である軟磁性合金薄帯。
<5> <4>に記載の軟磁性合金薄帯において、密度が7.45g/cm以上である軟磁性合金薄帯。
<6> <4>または<5>に記載の軟磁性合金薄帯において、占積率が86%以上である軟磁性合金薄帯。
<7> <4>~<6>のいずれか1項に記載の軟磁性合金薄帯において、厚さが25μm以上である軟磁性合金薄帯。
<8> <4>~<7>のいずれか1項に記載の軟磁性合金薄帯において、前記軟磁性合金薄帯の鋳造方向に磁界80A/mを印加したときの磁束密度Lと、前記軟磁性合金薄帯の鋳造方向に直交する方向に磁界80A/mを印加したときの磁束密度Wとの値の比(L/W)が0.7~1.3である軟磁性合金薄帯。
<9> <4>~<8>のいずれか1項に記載の軟磁性合金薄帯において、飽和磁歪が20ppm以下である軟磁性合金薄帯。
<10> <4>~<9>のいずれか1項に記載の軟磁性合金薄帯を得る製造方法において、
合金薄帯を熱処理して、粒径60nm以下の結晶粒がアモルファス相中に存在する組織を有する軟磁性合金薄帯の製造方法であり、
前記熱処理では、bccFe結晶化開始温度より10~140℃低い温度を温度T1、FeB化合物析出開始温度より30~120℃低い温度を温度T2として、
室温から温度T1まで、昇温速度50℃/sec.以上で加熱し、
温度T1から温度T2まで、温度T1までの昇温速度より遅く、かつ400℃/sec.以下の昇温速度で加熱し、
温度T2に達したのち冷却する、又は、
温度T2に達したのち、温度T2-50℃から温度T2の間の温度で、0.5~60秒保持し、その後、冷却する、軟磁性合金薄帯の製造方法。
<11> 前記熱処理前の合金薄帯は、合金溶湯を回転する冷却ロール上に噴出させ、前記冷却ロール上で急冷凝固させて得られ、前記冷却ロールの外周部が熱伝導率120W/(m・K)以上となるCu合金で構成されている<10>に記載の軟磁性合金薄帯の製造方法。
<12> 前記熱処理前の合金薄帯の密度をM1とし、前記熱処理後の合金薄帯の密度をM2としたとき、M2/M1が1.005以上である<10>または<11>に記載の軟磁性合金薄帯の製造方法。
<13> <4>~<9>のいずれか1項に記載の軟磁性合金薄帯を用いて構成された磁心。
<14> <13>に記載の磁心と、巻線とを備える部品。
Specific means for solving the above problems include the following aspects.
<1> A soft magnetic alloy represented by the composition formula (Fe1 -xAx ) aSibBcCudMe , where A is at least one of Ni and Co, and M is at least one selected from the group consisting of Nb, Mo, V, Zr, Hf, and W, and where the atomic percentages are 82.4≦a≦86, 0.2≦b≦2.4, 12.5≦c≦15.0, 0.05≦d≦0.8, 0.4≦e≦1.0, and 0≦x≦0.1,
The soft magnetic alloy has a structure in which crystal grains of 60 nm or less exist in an amorphous phase.
<2> The soft magnetic alloy according to <1>, wherein the saturation magnetic flux density is 1.74 T or more.
<3> In <1> or <2>, the soft magnetic alloy has a density of 7.45 g/cm 3 or more.
<4> A soft magnetic alloy ribbon having an alloy composition represented by a composition formula ( Fe1 -xAx ) aSibBcCudMe , wherein A is at least one of Ni and Co, and M is at least one selected from the group consisting of Nb, Mo, V, Zr, Hf, and W, and the atomic percentages of the soft magnetic alloy ribbon are 82.4≦a≦86, 0.2≦b≦2.4, 12.5≦c≦15.0, 0.05≦d≦0.8, 0.4≦e≦1.0, and 0≦x≦0.1,
The soft magnetic alloy ribbon has a structure in which crystal grains having a grain size of 60 nm or less exist in an amorphous phase, and has a saturation magnetic flux density of 1.74 T or more and an iron loss at 1 kHz and 1 T of 25 W/kg or less.
<5> The soft magnetic alloy ribbon according to <4>, wherein the density is 7.45 g/cm 3 or more.
<6> The soft magnetic alloy ribbon according to <4> or <5>, wherein the space factor is 86% or more.
<7> The soft magnetic alloy ribbon according to any one of <4> to <6>, having a thickness of 25 μm or more.
<8> The soft magnetic alloy ribbon according to any one of <4> to <7>, wherein a ratio (L/W) of a magnetic flux density L when a magnetic field of 80 A/m is applied in a casting direction of the soft magnetic alloy ribbon to a magnetic flux density W when a magnetic field of 80 A/m is applied in a direction perpendicular to the casting direction of the soft magnetic alloy ribbon is 0.7 to 1.3.
<9> The soft magnetic alloy ribbon according to any one of <4> to <8>, wherein the soft magnetic alloy ribbon has a saturation magnetostriction of 20 ppm or less.
<10> A manufacturing method for obtaining a soft magnetic alloy ribbon according to any one of <4> to <9>,
A method for producing a soft magnetic alloy ribbon having a structure in which crystal grains having a grain size of 60 nm or less exist in an amorphous phase by heat-treating an alloy ribbon,
In the heat treatment, a temperature T1 is set to be 10 to 140°C lower than the bccFe crystallization start temperature, and a temperature T2 is set to be 30 to 120°C lower than the FeB compound precipitation start temperature.
Heat from room temperature to temperature T1 at a temperature increase rate of 50°C/sec or more,
Heating from temperature T1 to temperature T2 at a temperature rise rate that is slower than the temperature rise rate up to temperature T1 and is 400° C./sec or less,
Cooling after reaching temperature T2, or
After reaching temperature T2, the soft magnetic alloy ribbon is held at a temperature between temperature T2-50°C and temperature T2 for 0.5 to 60 seconds, and then cooled.
<11> The method for producing a soft magnetic alloy ribbon according to <10>, wherein the alloy ribbon before the heat treatment is obtained by ejecting a molten alloy onto a rotating chill roll and rapidly solidifying it on the chill roll, and an outer periphery of the chill roll is made of a Cu alloy having a thermal conductivity of 120 W/(m K) or more.
<12> The method for producing a soft magnetic alloy ribbon according to <10> or <11>, wherein M2/M1 is 1.005 or more, where M1 is a density of the alloy ribbon before the heat treatment and M2 is a density of the alloy ribbon after the heat treatment.
<13> A magnetic core formed using the soft magnetic alloy ribbon according to any one of <4> to <9>.
<14> A component comprising the magnetic core according to <13> and a winding.

本開示の一態様によれば、飽和磁束密度が高く、鉄損が低い軟磁性合金および軟磁性合金薄帯を得ることができる。また、本開示の一態様によれば、等方性を有する軟磁性合金薄帯を得ることができる。また、本開示の一態様の軟磁性合金薄帯を用いた磁心、ならびに部品によれば、飽和磁束密度が高く、低鉄損な特性を備える磁心、ならびに部品を得ることができる。 According to one aspect of the present disclosure, it is possible to obtain a soft magnetic alloy and a soft magnetic alloy ribbon having a high saturation magnetic flux density and low core loss. Furthermore, according to one aspect of the present disclosure, it is possible to obtain a soft magnetic alloy ribbon having isotropy. Furthermore, according to a magnetic core and a component using the soft magnetic alloy ribbon of one aspect of the present disclosure, it is possible to obtain a magnetic core and a component having a high saturation magnetic flux density and low core loss characteristics.

本開示の一実施例の熱処理パターン例と熱処理パターンの参考例を示す図である。1A and 1B are diagrams showing an example of a heat treatment pattern according to an embodiment of the present disclosure and a reference example of a heat treatment pattern. 参考例の熱処理パターンで熱処理した試料の保持温度とB8000,鉄損の相関図である。FIG. 10 is a correlation diagram of the holding temperature, B 8000 , and iron loss of samples heat-treated according to the heat treatment pattern of the reference example. 本開示の一実施例の熱処理パターンで熱処理した試料の保持温度とB8000,鉄損の相関図である。FIG. 10 is a correlation diagram of the holding temperature, B 8000 , and iron loss of a sample heat-treated according to a heat treatment pattern of an embodiment of the present disclosure. 本開示の一実施例のNo.2の軟磁性合金薄帯の透過型電子顕微鏡観察画像である。1 is a transmission electron microscope image of a soft magnetic alloy ribbon No. 2 according to an embodiment of the present disclosure.

以下、本開示の実施形態について詳細に説明する。本開示は、以下の実施形態に何ら制限されず、本開示の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。 Embodiments of the present disclosure are described in detail below. The present disclosure is not limited to the following embodiments and can be implemented with appropriate modifications within the scope of the purpose of the present disclosure.

本開示において、「~」を用いて示された数値範囲は、「~」の前後に記載される数値をそれぞれ下限値及び上限値として含む範囲を示す。本開示に段階的に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本開示において、2以上の好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
In the present disclosure, a numerical range indicated using "to" indicates a range that includes the numerical values before and after "to" as the lower and upper limits, respectively. In the numerical ranges described in stages in the present disclosure, the upper or lower limit described in a certain numerical range may be replaced with the upper or lower limit of another numerical range described in stages. Furthermore, in the numerical ranges described in the present disclosure, the upper or lower limit described in a certain numerical range may be replaced with a value shown in the examples.
In the present disclosure, a combination of two or more preferred aspects is a more preferred aspect.

本開示の軟磁性合金は、組成式(Fe1-xSiCuで表され、AはNiおよびCoの少なくとも1種であり、MはNb,Mo,V,Zr,HfおよびWからなる群から選択される1種以上であり、原子%で82.4≦a≦86、0.2≦b≦2.4、12.5≦c≦15.0、0.05≦d≦0.8、0.4≦e≦1.0、0≦x≦0.1である軟磁性合金であって、
前記軟磁性合金は粒径60nm以下の結晶粒がアモルファス相中に存在する組織を有する。
The soft magnetic alloy of the present disclosure is represented by a composition formula ( Fe1 -xAx ) aSibBcCudMe , where A is at least one of Ni and Co, and M is one or more selected from the group consisting of Nb, Mo, V, Zr, Hf, and W , and the atomic percentages are 82.4≦a≦86, 0.2≦b≦2.4, 12.5≦c≦15.0, 0.05≦d≦0.8, 0.4≦e≦1.0, and 0≦x≦0.1,
The soft magnetic alloy has a structure in which crystal grains with a grain size of 60 nm or less exist in an amorphous phase.

まず、本開示の組成に関して、以下に詳細に説明する。
Fe(鉄)は、原子%で82.4%以上86%以下であることが好ましい。
Feの含有量を82.4%以上とすることにより、飽和磁束密度1.74T以上を満たすことができる。好ましくは83%以上であり、さらに好ましくは83.5%以上であり、さらに好ましくは84%以上である。
また、Feの含有量が86%を超えるとアモルファス化が困難となるため、Feの含有量は86%以下とする。好ましくは85.5%以下である。
First, the composition of the present disclosure will be described in detail below.
The content of Fe (iron) is preferably 82.4% or more and 86% or less in atomic percent.
By setting the Fe content to 82.4% or more, it is possible to achieve a saturation magnetic flux density of 1.74 T or more. The Fe content is preferably 83% or more, more preferably 83.5% or more, and even more preferably 84% or more.
Furthermore, if the Fe content exceeds 86%, it becomes difficult to form an amorphous structure, so the Fe content is set to 86% or less, preferably 85.5% or less.

本開示の組成において、Feの一部をNiおよびCoの少なくとも1種の元素に置換しても良い。このとき、(Fe1-x)と表示でき、AはNiおよびCoの少なくとも1種であり、xは0.1以下である。なお、xは0でも良い。Feの一部をNiおよびCoの少なくとも1種の元素に置換する場合、上記したFeの範囲は、(Fe1-x)の範囲として読み替えることができる。つまり、(Fe1-x)は、原子%で82.4%以上86%以下である。好ましくは83%以上であり、さらに好ましくは83.5%以上であり、さらに好ましくは84%以上である。また、好ましくは85.5%以下である。 In the composition of the present disclosure, a portion of the Fe may be substituted with at least one element selected from Ni and Co. In this case, the composition can be expressed as (Fe 1-x A x ), where A is at least one element selected from Ni and Co, and x is 0.1 or less. Note that x may be 0. When a portion of the Fe is substituted with at least one element selected from Ni and Co, the above-described range of Fe can be interpreted as the range of (Fe 1-x A x ). In other words, (Fe 1-x A x ) is 82.4% or more and 86% or less in atomic percent. Preferably, it is 83% or more, more preferably 83.5% or more, and even more preferably 84% or more. Also, it is preferably 85.5% or less.

Si(ケイ素)は、原子%で0.2%以上2.4%以下である。
Siを含有することにより、合金表面に数十nm厚さのSiOの酸化膜を形成させることができる。これにより、軟磁性合金の耐食性を向上させることができる。この耐食性の向上の効果を得るために、Siを0.2%以上含有させる。好ましくは1.0%以上である。
Siの含有量が2.4%を超えると、1.74T以上の飽和磁束密度を得ることが困難となり、また、軟磁性合金薄帯の厚さを厚肉化することが困難となる。このため、Siの含有量は2.4%以下とする。好ましくは2.0%以下であり、さらに好ましくは1.9%以下である。
The content of Si (silicon) is 0.2% or more and 2.4% or less in atomic percent.
By including Si, an SiO2 oxide film several tens of nanometers thick can be formed on the alloy surface, thereby improving the corrosion resistance of the soft magnetic alloy. To achieve this effect of improving corrosion resistance, the Si content is set to 0.2% or more, preferably 1.0% or more.
If the Si content exceeds 2.4%, it becomes difficult to obtain a saturation magnetic flux density of 1.74 T or more, and it also becomes difficult to increase the thickness of the soft magnetic alloy ribbon. Therefore, the Si content is set to 2.4% or less, preferably 2.0% or less, and more preferably 1.9% or less.

B(ホウ素)は、原子%で12.5%以上15.0%以下である。
Bの含有量が12.5%未満ではアモルファスの形成が困難となるため、Bの含有量は12.5%以上とする。好ましくは13.0%以上であり、さらに好ましくは13.5%以上である。
Bの含有量が15.0%を超えると、bccFe(αFe)結晶化開始温度とFeB化合物析出開始温度との差が小さくなり、最適な熱処理温度の範囲が狭くなる。このため、均一微細なナノ結晶組織を得ることが難しくなり、1T,1kHzでの鉄損を25W/kg以下とすることが難しくなる。これにより、Bの含有量は15.0%以下とする。好ましくは14.5%以下であり、さらに好ましくは14.4%以下であり、さらに好ましくは14.0%以下である。
The content of B (boron) is 12.5% or more and 15.0% or less in atomic percent.
If the B content is less than 12.5%, it becomes difficult to form an amorphous phase, so the B content is set to 12.5% or more, preferably 13.0% or more, and more preferably 13.5% or more.
If the B content exceeds 15.0%, the difference between the bccFe (αFe) crystallization onset temperature and the FeB compound precipitation onset temperature becomes small, narrowing the optimum heat treatment temperature range. This makes it difficult to obtain a uniform, fine nanocrystalline structure and to achieve an iron loss of 25 W/kg or less at 1 T and 1 kHz. For this reason, the B content is set to 15.0% or less. It is preferably 14.5% or less, more preferably 14.4% or less, and even more preferably 14.0% or less.

Cu(銅)は、原子%で0.05%以上0.8%以下である。
Cuの含有量が0.05%未満では、均一微細なナノ結晶組織を得ることが難しくなり、1T,1kHzでの鉄損を25W/kg以下とすることが難しくなる。このため、Cuの含有量は0.05%以上とする。好ましくは0.2%以上であり、さらに好ましくは0.4%以上であり、さらに好ましくは0.5%以上である。
Cuの含有量が0.8%を超えると、脆化しやすくなり、軟磁性合金薄帯の厚さを厚肉化することが困難となる。このため、Cuの含有量は、0.8%以下とする。好ましくは0.7%以下である。
The content of Cu (copper) is 0.05% or more and 0.8% or less in atomic percent.
If the Cu content is less than 0.05%, it becomes difficult to obtain a uniform and fine nanocrystalline structure, and it becomes difficult to keep the iron loss at 1 T, 1 kHz to 25 W/kg or less. Therefore, the Cu content is set to 0.05% or more, preferably 0.2% or more, more preferably 0.4% or more, and even more preferably 0.5% or more.
If the Cu content exceeds 0.8%, the soft magnetic alloy ribbon becomes easily embrittled, making it difficult to increase the thickness of the soft magnetic alloy ribbon. Therefore, the Cu content is set to 0.8% or less, and preferably 0.7% or less.

M元素は、Nb,Mo,V,Zr,HfおよびWからなる群から選択される1種以上であり、原子%で0.4%以上1.0%以下である。
M元素は、磁気磁性を著しく劣化させるFeB化合物の析出が開始する温度を高温側にシフトさせることができる。これにより、bccFe(αFe)結晶化開始温度とFeB化合物析出開始温度との差を広くすることができ、最適な熱処理温度の範囲を広げる効果を有し、熱処理条件を緩和させることができる。そのため、0.4%以上とする。好ましくは0.42%以上であり、さらに好ましくは0.43%以上である。
M元素は、高価であるため価格が上がってしまう。このため、含有量は少ない方が好ましい。したがって、M元素の含有量は、1.0%以下とする。好ましくは0.9%以下であり、さらに好ましくは0.8%以下であり、さらに好ましくは0.7%以下であり、さらに好ましくは0.6%以下である。
The element M is at least one element selected from the group consisting of Nb, Mo, V, Zr, Hf and W, and is present in an amount of 0.4% to 1.0% in atomic percent.
The M element can shift the temperature at which the precipitation of FeB compounds, which significantly deteriorates magnetism, begins to increase. This widens the difference between the bccFe (αFe) crystallization start temperature and the FeB compound precipitation start temperature, which has the effect of widening the range of optimal heat treatment temperatures and easing the heat treatment conditions. Therefore, the M content is set to 0.4% or more. Preferably, it is 0.42% or more, and more preferably, it is 0.43% or more.
The M element is expensive and therefore increases the price. For this reason, a lower content is preferable. Therefore, the content of the M element is set to 1.0% or less. Preferably, it is 0.9% or less, more preferably 0.8% or less, even more preferably 0.7% or less, and even more preferably 0.6% or less.

本開示の軟磁性合金は、C(炭素)を含有していても良い。Cの含有量は1質量%以下が好ましい。 The soft magnetic alloy of the present disclosure may contain C (carbon). The C content is preferably 1% by mass or less.

また、本開示の軟磁性合金は、組成式(Fe1-xSiCuで表される元素の他、上記したC以外にも不純物を含有し得る。
不純物としては、例えば、S(硫黄)、O(酸素)、N(窒素)、Cr、Mn、P、Ti、Al等が挙げられる。例えば、Sの含有量は、好ましくは200質量ppm以下であり、Oの含有量は、好ましくは5000質量ppm以下であり、Nの含有量は、好ましくは1000質量ppm以下である。これらの不純物の総含有量は、0.5質量%以下であることが好ましい。また、上記の範囲であれば、不純物に相当する元素が添加されていてもかまわない。
Furthermore, the soft magnetic alloy of the present disclosure may contain impurities other than the above-mentioned C in addition to the elements represented by the composition formula (Fe 1-x A x ) a Si b B c Cu d Me .
Examples of impurities include S (sulfur), O (oxygen), N (nitrogen), Cr, Mn, P, Ti, and Al. For example, the S content is preferably 200 mass ppm or less, the O content is preferably 5000 mass ppm or less, and the N content is preferably 1000 mass ppm or less. The total content of these impurities is preferably 0.5 mass% or less. Furthermore, as long as it is within the above range, elements corresponding to the impurities may be added.

本開示の軟磁性合金は、粒径60nm以下の結晶粒がアモルファス相中に存在する組織を有する。この粒径60nm以下の結晶粒がアモルファス相中に存在する組織をナノ結晶組織とも言う。また、粒径60nm以下の結晶をナノ結晶とも言う。
本開示の軟磁性合金は、ナノ結晶組織を備えることを一つの特徴としている。
また、本開示の軟磁性合金は、ナノ結晶の割合が体積率で50%以上であることが好ましい。この体積率は、例えば、合金断面を、透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて観察することにより、ナノ結晶と非晶質相とを観察し、おおよその割合を算出することができる。つまり、上記の観察像からナノ結晶の割合が体積率で50%以上であるか否かの判定は可能である。
The soft magnetic alloy of the present disclosure has a structure in which crystal grains of 60 nm or less exist in an amorphous phase. This structure in which crystal grains of 60 nm or less exist in an amorphous phase is also called a nanocrystalline structure. Crystals of 60 nm or less in size are also called nanocrystals.
The soft magnetic alloy of the present disclosure is characterized in that it has a nanocrystalline structure.
Furthermore, the soft magnetic alloy of the present disclosure preferably has a nanocrystalline volume fraction of 50% or more. This volume fraction can be roughly calculated by observing the nanocrystalline and amorphous phases, for example, by observing the cross section of the alloy using a transmission electron microscope (TEM). In other words, it is possible to determine whether the nanocrystalline volume fraction is 50% or more from the above observation image.

また、合金断面を観察したとき、特定の視野面積において、粒径が60nm以下となる結晶粒の面積率が50%以上(特定の視野面積を100%とした値)であることが好ましい。本開示の軟磁性合金は、粒径が60nm以下となる結晶粒と非晶質相とを備え、粒径が60nm以下となる結晶粒の面積率が50%以上であることが好ましい。合金断面を、例えば、透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて観察することにより、粒径が60nm以下となる結晶粒と非晶質相を観察し、面積率を判定することができる。 Furthermore, when observing the cross section of the alloy, it is preferable that, in a specific field of view, the area ratio of crystal grains with a grain size of 60 nm or less is 50% or more (a value where the specific field of view area is 100%). The soft magnetic alloy of the present disclosure comprises crystal grains with a grain size of 60 nm or less and an amorphous phase, and it is preferable that the area ratio of crystal grains with a grain size of 60 nm or less is 50% or more. By observing the cross section of the alloy using, for example, a transmission electron microscope (TEM), it is possible to observe the crystal grains with a grain size of 60 nm or less and the amorphous phase and determine the area ratio.

本開示の軟磁性合金は、飽和磁束密度が1.74T以上であることが好ましい。さらに好ましくは1.75T以上であり、さらに好ましくは1.77T以上である。
本開示の軟磁性合金は、密度が7.45g/cm以上であることが好ましい。密度が7.45g/cm以上であることにより、ナノ結晶の体積率が高くなり、飽和磁束密度が高くなる。
The soft magnetic alloy of the present disclosure preferably has a saturation magnetic flux density of 1.74 T or more, more preferably 1.75 T or more, and even more preferably 1.77 T or more.
The soft magnetic alloy of the present disclosure preferably has a density of 7.45 g/cm 3 or more. A density of 7.45 g/cm 3 or more increases the volume fraction of nanocrystals, and increases the saturation magnetic flux density.

本開示の軟磁性合金は、1kHz,1Tでの鉄損が25W/kg以下であることが好ましい。また、この鉄損は18W/kg以下であることが好ましい。また、この鉄損は15W/kg以下であることが好ましい。
また、本開示の軟磁性合金は、飽和磁歪が20ppm以下であることが好ましい。これにより、等方性が得られやすい。
本開示の軟磁性合金によれば、高い飽和磁束密度と、低い鉄損と、を備える軟磁性合金を得ることができる。
The soft magnetic alloy of the present disclosure preferably has an iron loss of 25 W/kg or less at 1 kHz and 1 T. Furthermore, this iron loss is preferably 18 W/kg or less. Furthermore, this iron loss is preferably 15 W/kg or less.
Furthermore, the soft magnetic alloy of the present disclosure preferably has a saturation magnetostriction of 20 ppm or less, which makes it easier to obtain isotropy.
According to the soft magnetic alloy of the present disclosure, it is possible to obtain a soft magnetic alloy having a high saturation magnetic flux density and low core loss.

本開示の軟磁性合金は、以下に説明する合金薄帯や、合金薄帯を粉砕した粉砕粉や、アトマイズ法などを用いて製造した粉末の形態とすることができる。 The soft magnetic alloy disclosed herein can be in the form of an alloy ribbon, a pulverized powder obtained by pulverizing the alloy ribbon, or a powder produced using an atomization method, as described below.

本開示の軟磁性合金薄帯は、上記した軟磁性合金組成となる合金溶湯を回転する冷却ロール上に噴出させ、冷却ロール上で急冷凝固させて合金薄帯を得て、その合金薄帯を熱処理することにより、得ることができる。
合金溶湯は、例えば、目的とする合金組成となる各元素源(純鉄、フェロボロン、フェロシリコン等)を配合し、誘導加熱炉等で融点以上に加熱して得ることができる。
The soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure can be obtained by ejecting a molten alloy having the above-described soft magnetic alloy composition onto a rotating chill roll, rapidly solidifying the molten alloy on the chill roll to obtain an alloy ribbon, and then heat treating the alloy ribbon.
The molten alloy can be obtained, for example, by blending the element sources (pure iron, ferroboron, ferrosilicon, etc.) that will form the desired alloy composition and heating them to above their melting points in an induction heating furnace or the like.

合金溶湯を所定形状のスリット状のノズルから回転する冷却ロール上に噴出させて、合金溶湯を冷却ロール上で急冷凝固させて、合金薄帯を得ることができる。このとき、冷却ロールは外径350~1000mm、幅100~400mm、回転の周速は20~35m/sとすることができる。この冷却ロールは内部に外周部の温度上昇を抑制するための冷却機構(水冷など)を備えていることが好ましい。 The molten alloy is ejected from a slit-shaped nozzle of a predetermined shape onto a rotating chill roll, where it is rapidly cooled and solidified to obtain a thin alloy ribbon. The chill roll can have an outer diameter of 350-1000 mm, a width of 100-400 mm, and a peripheral speed of 20-35 m/s. It is preferable that the chill roll be equipped with an internal cooling mechanism (such as water cooling) to suppress temperature rise around the periphery.

また、冷却ロールの外周部が熱伝導率120W/(m・K)以上となるCu合金で構成されていることが好ましい。外周部の熱伝導率を120W/(m・K)以上とすることにより、合金溶湯が合金薄帯へ鋳造される際の冷却速度を高めることができる。こうすることにより、合金薄帯の脆化を抑制し、合金薄帯の厚さの厚肉化を可能とすることができる。また、鋳造時の表面結晶化を抑制することができ、合金薄帯の熱処理時の結晶粒の粗大化を抑制し、鉄損を低くすることができる。なお、厚肉化とは、例えば、厚さを15μm以上とするものであり、好ましくは厚さを20μm以上とするものである。 It is also preferable that the outer periphery of the chill roll be made of a Cu alloy with a thermal conductivity of 120 W/(m·K) or higher. By making the thermal conductivity of the outer periphery 120 W/(m·K) or higher, the cooling rate when the molten alloy is cast into an alloy ribbon can be increased. This suppresses embrittlement of the alloy ribbon and enables the alloy ribbon to be thickened. It also suppresses surface crystallization during casting, suppresses coarsening of crystal grains during heat treatment of the alloy ribbon, and reduces iron loss. Note that thickening refers to, for example, a thickness of 15 μm or more, preferably a thickness of 20 μm or more.

また、冷却ロールの外周部の熱伝導率は150W/(m・K)以上とすることが好ましく、さらに180W/(m・K)以上とすることが好ましい。特に、軟磁性合金薄帯の厚さが30μm以上となる場合は、外周部の熱伝導率を150W/(m・K)以上とすることが好ましい。 The thermal conductivity of the outer periphery of the cooling roll is preferably 150 W/(m·K) or more, and more preferably 180 W/(m·K) or more. In particular, when the thickness of the soft magnetic alloy ribbon is 30 μm or more, it is preferable that the thermal conductivity of the outer periphery be 150 W/(m·K) or more.

なお、冷却ロールの外周部とは、合金溶湯が接する部分であり、その厚さは5~15mm程度あればよい。また、冷却ロールの外周部の内側はロール構造を維持する構造材を用いればよい。 The outer periphery of the chill roll is the part that comes into contact with the molten alloy, and its thickness should be approximately 5 to 15 mm. The inside of the outer periphery of the chill roll should be made of a structural material that maintains the roll structure.

合金溶湯を冷却ロール上で急冷凝固させて、合金薄帯を作製した後、その合金薄帯に熱処理を施すことによって、ナノ結晶組織を備える軟磁性合金薄帯を得ることができる。この熱処理を施す際、合金薄帯をbccFe(αFe)結晶化開始温度以上の温度に昇温するとともに、合金薄帯がFeB化合物析出開始温度に到達しないように温度調整して、熱処理することが好ましい。 The molten alloy is rapidly solidified on a cooling roll to produce an alloy ribbon, which is then heat-treated to obtain a soft magnetic alloy ribbon with a nanocrystalline structure. During this heat treatment, it is preferable to heat the alloy ribbon to a temperature equal to or higher than the bccFe (αFe) crystallization onset temperature, while adjusting the temperature so that the alloy ribbon does not reach the FeB compound precipitation onset temperature.

従来の合金薄帯の熱処理は、例えば、昇温速度10℃/sec.以上で、室温からFeB化合物析出開始温度より30~100℃低い温度まで加熱し、その後数秒保持する熱処理方法で実施されていた。
しかし、高飽和磁束密度を得るために、CuやNbを低減しFe量を多くした合金薄帯の場合、bccFe(αFe)結晶化開始温度とFeB化合物析出開始温度との温度差が小さくなり、最適な熱処理温度の範囲が非常に狭くなる。このため、狭い温度範囲で熱処理温度(最高温度)を調整しなければならないという課題が生じた。また、幅が50mm以上の広い合金薄帯を製造する場合、幅方向の急冷凝固の状態のばらつきや、幅方向の厚さのばらつきや、ロット毎の組成のばらつきなどが生じるため、最適な熱処理温度の範囲が一層狭くなり、合金薄帯の全体において、均一な熱処理を行うことが難しいという課題があった。
Conventional heat treatment of alloy ribbons has been carried out by a heat treatment method in which the alloy ribbon is heated from room temperature to a temperature 30 to 100°C lower than the temperature at which the FeB compound begins to precipitate, at a temperature rising rate of 10°C/sec or more, and then maintained for several seconds.
However, in the case of an alloy ribbon in which the Cu and Nb content is reduced and the Fe content is increased in order to obtain a high saturation magnetic flux density, the temperature difference between the bccFe (αFe) crystallization start temperature and the FeB compound precipitation start temperature becomes small, and the optimum heat treatment temperature range becomes very narrow. This causes a problem that the heat treatment temperature (maximum temperature) must be adjusted within a narrow temperature range. Furthermore, when a wide alloy ribbon having a width of 50 mm or more is produced, variations in the rapid solidification state in the width direction, variations in thickness in the width direction, and variations in composition from lot to lot occur, which further narrows the optimum heat treatment temperature range, making it difficult to perform uniform heat treatment throughout the entire alloy ribbon.

本開示の合金薄帯の熱処理では、bccFe(αFe)結晶化開始温度より10~140℃低い温度を温度T1、FeB化合物析出開始温度より30~120℃低い温度を温度T2として、室温から温度T1まで、昇温速度50℃/sec.以上で加熱し、温度T1から温度T2まで、温度T1までの昇温速度より遅く、かつ400℃/sec.以下の昇温速度で加熱し、その後、冷却することが好ましい。温度T2に達したのち、そのまま冷却してもよいし、温度T2に達したのち、温度T2-50℃から温度T2の間の温度で、0.5~60秒保持し、その後、冷却してもよい。 In the heat treatment of the alloy ribbon disclosed herein, temperature T1 is set to a temperature 10 to 140°C lower than the bccFe (αFe) crystallization onset temperature, and temperature T2 is set to a temperature 30 to 120°C lower than the FeB compound precipitation onset temperature. Preferably, the alloy ribbon is heated from room temperature to temperature T1 at a heating rate of 50°C/sec or higher, and then heated from temperature T1 to temperature T2 at a heating rate slower than the heating rate to temperature T1 and equal to or lower than 400°C/sec, followed by cooling. Cooling may be continued after temperature T2 is reached, or the alloy ribbon may be held at a temperature between temperature T2-50°C and temperature T2 for 0.5 to 60 seconds after reaching temperature T2, followed by cooling.

ここで、昇温速度は、その温度間での平均昇温速度とする。例えば、室温から温度T1までの昇温速度は、室温から温度T1までの時間(秒)を分母とし、温度T1から室温(25℃)を引いた温度を分子として計算できる。
本開示の合金薄帯の熱処理方法によれば、高飽和磁束密度で、低鉄損の軟磁性合金薄帯を安定して製造することができる。
なお、本開示の合金薄帯の熱処理は、合金薄帯を磁心形状に加工した後に行うこともできる。この磁心形状とは、合金薄帯を磁心形状にプレスなどで加工した薄帯、またはその磁心形状の薄帯を積層した磁心、薄帯を巻き回したりして構成される巻磁心などである。
Here, the temperature rise rate is the average temperature rise rate between the temperatures. For example, the temperature rise rate from room temperature to temperature T1 can be calculated by subtracting room temperature (25°C) from temperature T1 as the numerator and the time (seconds) from room temperature to temperature T1 as the denominator.
According to the heat treatment method for an alloy ribbon of the present disclosure, a soft magnetic alloy ribbon having a high saturation magnetic flux density and low core loss can be stably produced.
The heat treatment of the alloy ribbon according to the present disclosure can also be performed after the alloy ribbon is processed into a magnetic core shape. This magnetic core shape may be a ribbon obtained by processing the alloy ribbon into a magnetic core shape by pressing or the like, a magnetic core obtained by stacking ribbons in the magnetic core shape, or a wound core formed by winding a ribbon.

図1に本開示の一実施例の熱処理パターン例と熱処理パターンの参考例とを示す。図2(熱処理パターンの参考例)、図3(本開示の一実施例)にそのときの保持温度をX軸とし、磁界8000A/m印加したときの磁束密度B8000と1T,1kHzでの鉄損(CL)とをY軸とした相関を示し、表1(熱処理パターンの参考例)、表2(本開示の一実施例)にそのときの熱処理条件とB8000,鉄損の値を示す。この試料の合金組成は、下記で説明する表3のNo.3と同一であり、bccFe(αFe)結晶化開始温度は470℃、FeB化合物析出開始温度は590℃である。 Fig. 1 shows an example of a heat treatment pattern according to an embodiment of the present disclosure and a reference example of a heat treatment pattern. Fig. 2 (reference example of a heat treatment pattern) and Fig. 3 (one embodiment of the present disclosure) show correlations between the holding temperature at that time on the X axis and the magnetic flux density B8000 when a magnetic field of 8000 A/m is applied and the iron loss (CL) at 1 T, 1 kHz on the Y axis. Table 1 (reference example of a heat treatment pattern) and Table 2 (one embodiment of the present disclosure) show the heat treatment conditions and the B8000 and iron loss values. The alloy composition of this sample is the same as No. 3 in Table 3 described below, and the bccFe (αFe) crystallization start temperature is 470°C and the FeB compound precipitation start temperature is 590°C.

図2、表1に示すとおり、参考例C1~C5の熱処理パターンでは、保持温度が480℃と490℃とのとき、B8000が1.82Tとなり、保持温度が470℃以下のとき、および保持温度が500℃のとき、B8000が1.82T未満となった。保持温度が500℃の場合、鉄損が著しく高かった。保持温度が480℃と490℃とのとき、B8000が1.82T以上であり、鉄損も低い結果が得られた。しかし、B8000が1.82T以上で低い鉄損が得られる温度範囲は10℃程度であり、非常に狭かった。 As shown in FIG. 2 and Table 1, in the heat treatment patterns of Reference Examples C1 to C5, when the holding temperature was 480°C and 490°C, B 8000 was 1.82 T, and when the holding temperature was 470°C or less and when the holding temperature was 500°C, B 8000 was less than 1.82 T. When the holding temperature was 500°C, the iron loss was significantly high. When the holding temperature was 480°C and 490°C, B 8000 was 1.82 T or more, and low iron loss was also obtained. However, the temperature range in which low iron loss could be obtained with B 8000 of 1.82 T or more was about 10°C, which was very narrow.

一方、図3、表2に示すとおり、本開示の一実施例E1~E6の熱処理パターンでは、温度T1は、bccFe(αFe)結晶化開始温度(470℃)よりも10℃低く、E1、E2、E3、E4、E5、E6の温度T2は、順に、FeB析出開始温度(590℃)よりも、110℃、100℃、90℃、80℃、70℃、60℃低い。E1~E6の熱処理パターンにおけるT1の保持時間は0sec.、T2の保持時間は、0.5sec.であった。 On the other hand, as shown in Figure 3 and Table 2, in the heat treatment patterns of Examples E1 to E6 of the present disclosure, the temperature T1 is 10°C lower than the bccFe (αFe) crystallization onset temperature (470°C), and the temperatures T2 of E1, E2, E3, E4, E5, and E6 are, respectively, 110°C, 100°C, 90°C, 80°C, 70°C, and 60°C lower than the FeB precipitation onset temperature (590°C). In the heat treatment patterns E1 to E6, the T1 holding time was 0 seconds, and the T2 holding time was 0.5 seconds.

本開示の一実施例E1~E6の熱処理パターンでは、温度T2(保持温度)が490~530℃の場合に、B8000が1.82~1.83Tとほぼ安定して高い値を示し、温度T2が480℃の場合もB8000が1.81Tと高い値を示した。また、温度T2(保持温度)が480~530℃の場合に、鉄損が7.2~15.5W/kgとなり、低鉄損の値を示した。このことから、B8000が1.82T以上で、鉄損が25W/kg以下となる保持温度の温度範囲が40℃以上あり、また、B8000が1.81T以上で、鉄損が25W/kg以下となる保持温度の温度範囲は50℃以上あった。 In the heat treatment patterns of Examples E1 to E6 of the present disclosure, when the temperature T2 (holding temperature) was 490 to 530°C, B8000 exhibited a fairly stable high value of 1.82 to 1.83 T, and when the temperature T2 was 480°C, B8000 also exhibited a high value of 1.81 T. Furthermore, when the temperature T2 (holding temperature) was 480 to 530°C, the iron loss was 7.2 to 15.5 W/kg, indicating a low iron loss value. From this, it can be seen that the temperature range of the holding temperature where B8000 was 1.82 T or higher and the iron loss was 25 W/kg or less was 40°C or higher, and the temperature range of the holding temperature where B8000 was 1.81 T or higher and the iron loss was 25 W/kg or less was 50°C or higher.

つまり、本開示の熱処理パターンの場合、参考例よりも広い温度範囲において、高飽和磁束密度と低鉄損の軟磁性合金薄帯を得ることができた。 In other words, with the heat treatment pattern disclosed herein, a soft magnetic alloy ribbon with high saturation magnetic flux density and low core loss could be obtained over a wider temperature range than the reference example.

本開示の一実施例の熱処理パターンにより得られた試料は、粒径60nm以下の結晶粒がアモルファス相中に存在する組織を有していた。また、各試料を断面観察したところ、粒径が60nm以下となる結晶粒の面積率が50%以上(観察視野面積を100%とした値)であった。なお、図3、表2において、保持温度は温度T2である。 The samples obtained using the heat treatment pattern of one embodiment of the present disclosure had a structure in which crystal grains with a grain size of 60 nm or less were present in the amorphous phase. Furthermore, when the cross-sections of each sample were observed, the area ratio of crystal grains with a grain size of 60 nm or less was 50% or more (value assuming the observed field area as 100%). In Figure 3 and Table 2, the holding temperature is temperature T2.

熱処理時の昇温速度は薄帯の生産性、生成する核密度、結晶粒径の粗大化の抑制という観点から速い方が好ましい。しかし、昇温速度が速すぎると結晶化が短時間で起き、時間当たりの発熱量が大きくなり、薄帯の温度が上昇しすぎて、以下の課題を生じる。第一に、薄帯がFeB化合物析出開始温度に達してしまい、FeB化合物の析出を誘発する。第二に、薄帯がFeB化合物析出開始温度まで達しない場合でも温度が上昇しすぎて、結晶粒径の成長が加速され、鉄損が劣化してしまう。 A fast heating rate during heat treatment is preferable from the standpoints of ribbon productivity, the density of nuclei generated, and preventing coarsening of crystal grain size. However, if the heating rate is too fast, crystallization occurs in a short time, the amount of heat generated per unit time increases, and the ribbon temperature rises too much, resulting in the following problems: First, the ribbon reaches the FeB compound precipitation start temperature, inducing the precipitation of FeB compounds. Second, even if the ribbon does not reach the FeB compound precipitation start temperature, the temperature rises too much, accelerating the growth of crystal grain size and deteriorating iron loss.

そのため、本開示の熱処理では、第1の温度T1から昇温速度を抑え、FeB化合物の析出を抑制することができる。また、第1の温度T1から昇温速度を抑えることで結晶の成長を抑制し、結晶のばらつきを抑制することができる。これにより、本開示の熱処理では、鉄損の増加を抑制し、収縮差によって生じるしわなど熱処理時に生じる形状的不具合を改善することが可能となる。
なお、室温から温度T1までの昇温速度は、速ければ速い方がよく、例えば、50℃/sec.以上である。好ましくは200℃/sec.以上であり、更に好ましくは300℃/sec.以上であり、更に好ましくは400℃/sec.以上である。室温から温度T1までの昇温速度は、設備能力に応じて選択すればよい。
Therefore, in the heat treatment of the present disclosure, the rate of temperature increase from the first temperature T1 is suppressed, thereby suppressing the precipitation of FeB compounds. Furthermore, by suppressing the rate of temperature increase from the first temperature T1, crystal growth can be suppressed, thereby suppressing crystal variation. As a result, in the heat treatment of the present disclosure, it is possible to suppress an increase in iron loss and improve shape defects that occur during heat treatment, such as wrinkles caused by differential shrinkage.
The rate of temperature rise from room temperature to temperature T1 is preferably as fast as possible, for example, 50°C/sec or more, preferably 200°C/sec or more, more preferably 300°C/sec or more, and even more preferably 400°C/sec or more. The rate of temperature rise from room temperature to temperature T1 may be selected depending on the capacity of the equipment.

また、温度T1から温度T2までの昇温速度は、温度T1までの昇温速度より遅くする。例えば、温度T1までの昇温速度より遅く、かつ400℃/sec.以下とすることが好ましい。好ましくは温度T1までの昇温速度より遅く、かつ200℃/sec.以下であり、更に好ましくは温度T1までの昇温速度より遅く、かつ150℃/sec.以下であり、更に好ましくは温度T1までの昇温速度より遅く、かつ100℃/sec.以下である。また、温度T1から温度T2までの昇温速度は、10℃/sec.以上が好ましく、更に好ましくは30℃/sec.以上であり、さらに好ましくは50℃/sec.以上である。 The rate of temperature rise from temperature T1 to temperature T2 is slower than the rate of temperature rise to temperature T1. For example, it is preferable that the rate of temperature rise is slower than the rate of temperature rise to temperature T1 and is 400°C/sec or less. Preferably, the rate of temperature rise is slower than the rate of temperature rise to temperature T1 and is 200°C/sec or less, more preferably, the rate of temperature rise is slower than the rate of temperature rise to temperature T1 and is 150°C/sec or less, and even more preferably, the rate of temperature rise is slower than the rate of temperature rise to temperature T1 and is 100°C/sec or less. Furthermore, the rate of temperature rise from temperature T1 to temperature T2 is preferably 10°C/sec or more, more preferably, 30°C/sec or more, and even more preferably, 50°C/sec or more.

本開示の軟磁性合金薄帯では、上記のとおり、速い昇温速度で熱処理を行うとともに、速い昇温速度での熱処理はbccFe(αFe)の結晶化による温度上昇が始まる温度より低い温度T1までとする。そして、温度T1以降の昇温速度をそれまでの昇温速度より遅くし、かつ400℃/sec.以下とする。これにより、結晶化による発熱を制御することにより、FeB化合物の析出を抑制するとともに、αFe結晶の粒成長を抑制する。
本開示の軟磁性合金薄帯では、本開示の熱処理方法により、高い飽和磁束密度と低い鉄損が得られる最適な熱処理温度の範囲を広げることができ、制御する温度範囲が広くなり、熱処理性が優れた軟磁性合金薄帯が得られる。
As described above, the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure is heat-treated at a fast heating rate up to a temperature T1 that is lower than the temperature at which the temperature rise due to the crystallization of bccFe (αFe) begins. The heating rate from temperature T1 onward is then slower than the heating rate up to that point, and is set to 400° C./sec or less. This controls the heat generated by crystallization, thereby suppressing the precipitation of FeB compounds and the grain growth of αFe crystals.
In the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure, the heat treatment method of the present disclosure can widen the optimum heat treatment temperature range at which a high saturation magnetic flux density and a low iron loss can be obtained, and the temperature range to be controlled is widened, thereby making it possible to obtain a soft magnetic alloy ribbon with excellent heat treatability.

本開示の軟磁性合金薄帯では、熱処理前の合金薄帯の密度をM1とし、熱処理後の合金薄帯の密度をM2としたとき、M2/M1が1.005以上であることが好ましい。上記した本開示の熱処理により、合金薄帯の密度を向上させることができる。これにより、高い飽和磁束密度が得られる。 In the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure, when the density of the alloy ribbon before heat treatment is M1 and the density of the alloy ribbon after heat treatment is M2, it is preferable that M2/M1 be 1.005 or greater. The above-described heat treatment of the present disclosure can improve the density of the alloy ribbon, thereby achieving a high saturation magnetic flux density.

本開示の軟磁性合金薄帯は、飽和磁束密度が高く、鉄損が低い。この飽和磁束密度としては、1.74T以上、鉄損としては、1kHz,1Tで25W/kg以下が得られる。また、この鉄損は18W/kg以下であることが好ましく、さらに好ましくは15W/kg以下である。また、飽和磁束密度は1.75T以上であることが好ましく、さらに好ましくは1.77T以上である。
また、本開示の軟磁性合金薄帯は、密度が7.45g/cm以上であることが好ましい。密度が7.45g/cm以上であることにより、ナノ結晶の体積率が高くなり、飽和磁束密度が高くなる。
The soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure has a high saturation magnetic flux density and low iron loss. The saturation magnetic flux density is 1.74 T or more, and the iron loss is 25 W/kg or less at 1 kHz and 1 T. The iron loss is preferably 18 W/kg or less, and more preferably 15 W/kg or less. The saturation magnetic flux density is preferably 1.75 T or more, and more preferably 1.77 T or more.
Furthermore, the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure preferably has a density of 7.45 g/cm 3 or more. When the density is 7.45 g/cm 3 or more, the volume fraction of nanocrystals increases, and the saturation magnetic flux density increases.

また、本開示の軟磁性合金薄帯は、飽和磁歪が20ppm以下であることが好ましい。これにより、等方性が得られやすい。 Furthermore, the soft magnetic alloy ribbon disclosed herein preferably has a saturation magnetostriction of 20 ppm or less. This makes it easier to achieve isotropy.

本開示の軟磁性合金薄帯は、上記した軟磁性合金の構成および特徴を備えている。それらの説明は重複するので、上記の記載を適用する。
また、本開示の軟磁性合金薄帯は、厚さが15μm以上であることが好ましく、更には20μm以上であることが好ましく、厚さが25μm以上であることが好ましく、更には30μm以上であることが好ましい。例えば、厚さが25μm以上であることにより、軟磁性合金薄帯を積層して磁心を作製する際の工数および製造コストを低減できる。さらに好ましくは32μm以上である。また、軟磁性合金薄帯の厚さが大きくなると、合金薄帯の製造が難しくなる。そのため、50μm以下が好ましい。より好ましくは35μm以下である。
また、1kHzを超える高周波帯で鉄損をより低くする必要がある用途には厚さ15~25μm程度の軟磁性合金薄帯が好ましい。
The soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure has the configuration and characteristics of the soft magnetic alloy described above. Since the description thereof is redundant, the description above applies.
Furthermore, the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure preferably has a thickness of 15 μm or more, more preferably 20 μm or more, more preferably 25 μm or more, and even more preferably 30 μm or more. For example, a thickness of 25 μm or more can reduce the number of steps and manufacturing costs when laminating soft magnetic alloy ribbons to manufacture a magnetic core. A thickness of 32 μm or more is more preferable. Furthermore, if the thickness of the soft magnetic alloy ribbon is large, it becomes difficult to manufacture the alloy ribbon. Therefore, a thickness of 50 μm or less is preferable. A thickness of 35 μm or less is more preferable.
For applications requiring lower iron loss in a high frequency band exceeding 1 kHz, a soft magnetic alloy ribbon having a thickness of about 15 to 25 μm is preferred.

また、本開示の軟磁性合金薄帯は、高い占積率が得られる。本開示の軟磁性合金薄帯では、占積率を86%以上とすることが好ましい。また、本開示の軟磁性合金薄帯は、占積率が88%以上であることが好ましい。高い占積率であることにより、軟磁性合金薄帯を積み重ねたとき、占積率の低い合金薄帯に比べ、同じ積層数であっても、積層厚さを薄くすることができ、磁心の小型化、ならびに部品の小型化に寄与する。
なお、占積率は、JIS C 2534:2017に準拠した以下の方法で測定することができる。
長さ120mmに切断した薄帯を20枚重ね、平らな試料台にセットし、直径16mmの平らなアンビルを50kPaの圧力で積層した薄帯に乗せ、幅方向に10mm間隔で高さを測定する。そのときの最大高さをhmax(μm)とし以下の計算式から占積率LFを求める。
LF(%)=試料の重量(g)/密度(g/cm)/hmax(μm)/試料長さ(240cm)/薄帯の幅(cm)×10000
このとき、密度(g/cm)は、熱処理後の合金薄帯の密度である。
Moreover, the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure can obtain a high space factor. The soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure preferably has a space factor of 86% or more. The soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure preferably has a space factor of 88% or more. Due to the high space factor, when soft magnetic alloy ribbons are stacked, the lamination thickness can be made thinner than that of an alloy ribbon with a low space factor, even with the same number of layers, which contributes to the miniaturization of magnetic cores and components.
The space factor can be measured by the following method in accordance with JIS C 2534:2017.
Twenty ribbons cut to a length of 120 mm are stacked and set on a flat sample stage. A flat anvil with a diameter of 16 mm is placed on the stacked ribbons under a pressure of 50 kPa, and the height is measured at 10 mm intervals in the width direction. The maximum height at this time is defined as hmax (μm), and the space factor LF is calculated using the following formula.
LF (%) = sample weight (g) / density (g/cm 3 ) / hmax (μm) / sample length (240 cm) / ribbon width (cm) × 10000
In this case, the density (g/cm 3 ) is the density of the alloy ribbon after the heat treatment.

また、本開示の軟磁性合金薄帯は、軟磁性合金薄帯の鋳造方向に磁界80A/mを印加したときの磁束密度Lと、軟磁性合金薄帯の鋳造方向に直交する方向に磁界80A/mを印加したときの磁束密度Wとの値の比(L/W)が0.7~1.3であることが好ましい。比(L/W)が0.7~1.3であることにより、等方性の高い軟磁性合金薄帯を得ることができる。 Furthermore, the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure preferably has a ratio (L/W) of 0.7 to 1.3 between the magnetic flux density L when a magnetic field of 80 A/m is applied in the casting direction of the soft magnetic alloy ribbon and the magnetic flux density W when a magnetic field of 80 A/m is applied in a direction perpendicular to the casting direction of the soft magnetic alloy ribbon. A ratio (L/W) of 0.7 to 1.3 makes it possible to obtain a soft magnetic alloy ribbon with high isotropy.

一般に、回転する冷却ロールに合金溶湯を噴出させ、急冷凝固させて製造された合金薄帯は、鋳造方向に異方性が導入される。なお、鋳造方向とは、冷却ロールの回転方向に沿う方向であり、連続して鋳造される合金薄帯の長手方向となる。
上記したように、鋳造時に鋳造方向の異方性が導入された軟磁性合金薄帯では、導入された異方性は、熱処理後(ナノ結晶組織とする熱処理後)の特性にも影響を及ぼす。特に、非晶質相の体積率が高いと、合金薄帯の鋳造方向(合金薄帯の長手方向)と鋳造方向に直交する方向(長手方向に直交する方向であり、合金薄帯の幅方向に相当する)とで磁束密度が異なり、熱処理後も異方性が残ることになる。
Generally, an alloy ribbon produced by ejecting a molten alloy onto a rotating chill roll and rapidly solidifying it has anisotropy introduced in the casting direction, which is the direction along the rotation direction of the chill roll, and corresponds to the longitudinal direction of the continuously cast alloy ribbon.
As described above, in a soft magnetic alloy ribbon in which anisotropy in the casting direction is introduced during casting, the introduced anisotropy also affects the properties after heat treatment (after heat treatment to form a nanocrystalline structure). In particular, if the volume fraction of the amorphous phase is high, the magnetic flux density differs between the casting direction of the alloy ribbon (the longitudinal direction of the alloy ribbon) and the direction perpendicular to the casting direction (the direction perpendicular to the longitudinal direction, which corresponds to the width direction of the alloy ribbon), and the anisotropy remains even after heat treatment.

しかしながら、モータ用途など、等方性の軟磁性合金薄帯が求められる用途もある。そのため、鋳造方向と鋳造方向に直交する方向との磁束密度の差を、ある範囲内に収めるようにナノ結晶の体積率を上げる熱処理を実施することが好ましい。
一方、ナノ結晶の体積率を上げるため、熱処理温度を高温とする、または熱処理時間を延ばすと、ある条件でFeB化合物が析出し、磁気特性が劣化する。特にFe量が多い軟磁性合金薄帯では等方性を実現する最適な熱処理温度の範囲が狭く、高い飽和磁束密度、低い鉄損、および等方性を兼ね備え、ナノ結晶組織を備える軟磁性合金薄帯を得ることが難しいという課題があった。
However, there are also applications that require isotropic soft magnetic alloy ribbons, such as motor applications, etc. Therefore, it is preferable to perform heat treatment to increase the volume fraction of nanocrystals so that the difference in magnetic flux density between the casting direction and the direction perpendicular to the casting direction falls within a certain range.
On the other hand, if the heat treatment temperature is increased or the heat treatment time is extended in order to increase the volume fraction of nanocrystals, FeB compounds are precipitated under certain conditions, resulting in deterioration of magnetic properties. In particular, for soft magnetic alloy ribbons with a large amount of Fe, the optimum heat treatment temperature range for achieving isotropy is narrow, and it has been difficult to obtain a soft magnetic alloy ribbon having a nanocrystalline structure that combines high saturation magnetic flux density, low core loss, and isotropy.

本開示によれば、上記の課題を解決し、FeB化合物の析出を抑制しつつ、高い飽和磁束密度と、低い鉄損と、を兼ね備えた軟磁性合金薄帯を得ることができ、さらに、等方性を兼ね備えた軟磁性合金薄帯を得ることができる。 This disclosure solves the above-mentioned problems and makes it possible to obtain a soft magnetic alloy ribbon that combines high saturation magnetic flux density and low core loss while suppressing the precipitation of FeB compounds, and also to obtain a soft magnetic alloy ribbon that is isotropic.

本開示の軟磁性合金薄帯では、所望の特性を得るための最適な熱処理温度の範囲が広く、量産時のばらつきを考慮しても、量産性が高い。特にモータ用磁心などに使用される幅が広い合金薄帯の場合、熱処理時の温度ばらつきが生じやすくなるため、最適な熱処理温度の範囲が広いことが有効となる。 The soft magnetic alloy ribbon disclosed herein has a wide optimal heat treatment temperature range for achieving the desired properties, and is highly suitable for mass production, even when considering variations during mass production. In particular, in the case of wide alloy ribbons used in motor cores, etc., temperature variations during heat treatment are likely to occur, so a wide optimal heat treatment temperature range is effective.

一般に、合金薄帯内で昇温速度や温度のばらつきが生じると部分的に結晶化による発熱の制御ができなくなり、結晶化時の収縮にばらつきが生じ合金薄帯にしわができるなどして、磁心にした時の占積率が低下するなどの不具合が生じやすくなる。
しかしながら、本開示の軟磁性合金薄帯では、上記したとおり、熱処理時の温度ばらつきに対する許容範囲が広く、しわが抑制され、占積率が高く、平滑度の高い軟磁性合金薄帯を得ることができる。
平滑度は占積率測定時に測定した幅方向の厚さの最大値hmaxと最小値hminとから、(hmax―hmin)/20で定義することができる。この平滑度は、3μm以下が好ましい。
Generally, if variations in the heating rate or temperature occur within the alloy ribbon, it becomes impossible to control the heat generated by partial crystallization, which causes variations in shrinkage during crystallization and wrinkles in the alloy ribbon, which can lead to problems such as a decrease in the space factor when made into a magnetic core.
However, as described above, the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure has a wide tolerance range for temperature variations during heat treatment, and wrinkles are suppressed, and a soft magnetic alloy ribbon with a high space factor and high smoothness can be obtained.
The smoothness can be defined as (hmax-hmin)/20, where hmax is the maximum value and hmin is the minimum value of the thickness in the width direction measured when measuring the space factor. This smoothness is preferably 3 μm or less.

本開示の軟磁性合金薄帯を用いて、変圧器、電子部品、モータなどに用いる磁心を構成することにより、優れた特性を備える磁心を得ることができる。
磁心を構成する場合、合金薄帯を所定形状にカットして積み重ねること、合金薄帯を巻き回すこと、合金薄帯を積み重ねて曲げることなどにより、磁心を構成することができる。
また、本開示の軟磁性合金薄帯を粉砕して粉末状とし、その粉末を用いて磁心を構成することもできる。また、アトマイズ法を用いて、本開示の軟磁性合金からなる粉末を作製し、その粉末を用いて磁心を構成することもできる。
また、本開示の磁心と巻線とを組み合わせて、変圧器、電子部品、モータなどの部品を構成することにより、優れた特性を備える部品を得ることができる。この場合、本開示の磁心と他の磁性材料による磁心とを組み合わせても良い。
By using the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure to form a magnetic core for use in a transformer, electronic component, motor, or the like, a magnetic core with excellent characteristics can be obtained.
When forming a magnetic core, the magnetic core can be formed by cutting alloy ribbons into a predetermined shape and stacking them, by winding alloy ribbons, or by stacking and bending alloy ribbons.
The soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure may be pulverized into powder and the powder may be used to form a magnetic core. Alternatively, powder made of the soft magnetic alloy of the present disclosure may be produced by an atomization method and the powder may be used to form a magnetic core.
Furthermore, by combining the magnetic core of the present disclosure with a winding to form a component such as a transformer, electronic component, or motor, it is possible to obtain a component with excellent characteristics. In this case, the magnetic core of the present disclosure may be combined with a magnetic core made of another magnetic material.

〔実施例1〕
表3に示す各組成となるように元素源配合し、1300℃に加熱して合金溶湯を作製し、その合金溶湯を周速30m/sで回転する外径400mm、幅200mmの冷却ロール上に噴出させ、冷却ロール上で急冷凝固させて、合金薄帯を作製した。各合金薄帯は、表4に示す熱処理条件にて熱処理を行い、軟磁性合金薄帯を作製した。作製した合金薄帯の幅と厚さは表3に示す。なお、冷却ロールの外周部は、熱伝導率が150W/(m・K)のCu合金で構成されており、冷却ロールの内部には外周部の温度制御用の冷却機構が備えられている。
Example 1
The element sources were blended to obtain the compositions shown in Table 3, and the blend was heated to 1,300°C to prepare molten alloys. The molten alloys were then ejected onto a chill roll having an outer diameter of 400 mm and a width of 200 mm, rotating at a peripheral speed of 30 m/s, and rapidly solidified on the chill roll to prepare alloy ribbons. Each alloy ribbon was heat treated under the heat treatment conditions shown in Table 4 to prepare soft magnetic alloy ribbons. The widths and thicknesses of the prepared alloy ribbons are shown in Table 3. The outer periphery of the chill roll was made of a Cu alloy with a thermal conductivity of 150 W/(m K), and the chill roll was equipped with a cooling mechanism for controlling the temperature of the outer periphery.

表3、4において、No.1~6は本開示の軟磁性合金薄帯に相当し、No.51、52は比較例に相当する。各試料のB8000、1T/1kHzでの鉄損、密度、bccFe(αFe)結晶化開始温度、FeB化合物析出開始温度、温度T1、温度T2、室温から温度T1までの昇温速度、T1-T2間の昇温速度を表3、4に示す。なお、室温から温度T1までの昇温速度は400~500℃/sec.とした。また、密度は熱処理後の密度である。
なお、No.1~6の各試料は、粒径60nm以下の結晶粒がアモルファス相中に存在する組織を有していた。また、各試料を断面観察したところ、粒径が60nm以下となる結晶粒の面積率が50%以上(観察視野面積を100%とした値)であった。
In Tables 3 and 4, Nos. 1 to 6 correspond to the soft magnetic alloy ribbons of the present disclosure, and Nos. 51 and 52 correspond to comparative examples. Tables 3 and 4 show the B 8000 , core loss at 1 T/1 kHz, density, bccFe (αFe) crystallization start temperature, FeB compound precipitation start temperature, temperature T1, temperature T2, heating rate from room temperature to temperature T1, and heating rate between T1 and T2 for each sample. The heating rate from room temperature to temperature T1 was 400 to 500°C/sec. The density is the density after heat treatment.
Each of Samples No. 1 to No. 6 had a structure in which crystal grains with a grain size of 60 nm or less were present in an amorphous phase. Furthermore, when the cross section of each sample was observed, the area ratio of crystal grains with a grain size of 60 nm or less was 50% or more (value assuming the area of the observed field of view as 100%).

〔bccFe(αFe)結晶化開始温度、FeB化合物析出開始温度〕
bccFe(αFe)結晶化開始温度、FeB化合物析出開始温度は昇温速度により変化するが、一般的な熱分析装置の昇温速度の上限は2℃/sec.程度であり、本開示の熱処理時の昇温速度の測定ができないため、下記のような方法で昇温速度50℃/sec.時の値を求め、bccFe(αFe)結晶化開始温度、FeB化合物析出開始温度とした。
リガク製DSC8231にて、昇温速度5℃/min.(0.083℃/sec.)、20℃/min.(0.333℃/sec.)、50℃/min.(0.833℃/sec.)の3点でbccFe(αFe)結晶化開始温度、FeB化合物析出開始温度を測定し、その値をX軸昇温速度の対数、Y軸bccFe(αFe)結晶化開始温度またはFeB化合物析出開始温度でプロットし、その近似曲線より昇温速度50℃/sec.の値を外挿し求めた。
[bccFe (αFe) crystallization start temperature, FeB compound precipitation start temperature]
The bccFe (αFe) crystallization onset temperature and the FeB compound precipitation onset temperature vary depending on the heating rate, but the upper limit of the heating rate of a typical thermal analyzer is about 2° C./sec., and since this makes it impossible to measure the heating rate during the heat treatment of the present disclosure, the values at a heating rate of 50° C./sec. were determined by the following method, and were used as the bccFe (αFe) crystallization onset temperature and the FeB compound precipitation onset temperature.
Using a Rigaku DSC8231, the bccFe (αFe) crystallization onset temperature and the FeB compound precipitation onset temperature were measured at three heating rates of 5°C/min (0.083°C/sec), 20°C/min (0.333°C/sec), and 50°C/min (0.833°C/sec). The values were plotted with the logarithm of the heating rate on the X axis and the bccFe (αFe) crystallization onset temperature or the FeB compound precipitation onset temperature on the Y axis, and the value at a heating rate of 50°C/sec was extrapolated from the approximation curve.

熱処理後の軟磁性合金薄帯を用いて、飽和磁束密度(B8000)、鉄損、密度を測定した。
〔飽和磁束密度(B8000)〕
メトロン技研(株)製の直流磁化特性試験装置にて熱処理後の単板試料に磁界8000A/m印加し、その時の最大磁束密度を測定し、B8000とする。本開示の軟磁性合金薄帯は比較的飽和しやすい特性であるため、磁界8000A/m印加時点で飽和しており、B8000と飽和磁束密度がほぼ同じ値となるため、飽和磁束密度をB8000で表す。
〔鉄損〕
東英工業(株)製の交流磁気測定装置TWM18SRにて熱処理後の単板試料の鉄損を磁束密度1T,周波数1kHzの条件で測定した。
〔密度〕
(株)島津製作所製の乾式密度計アキュピーAccuPyc1330使用し、定容積膨張法にて試料セル寸法外径17mm、高さ33mmに挿入可能な寸法のコア状試料を作成し、その体積を測定し、コアの重量をその体積で割った値を密度として算出した。
The heat-treated soft magnetic alloy ribbon was used to measure the saturation magnetic flux density (B 8000 ), core loss, and density.
[Saturation magnetic flux density (B 8000 )]
A magnetic field of 8000 A/m is applied to the heat-treated single sheet sample using a DC magnetization characteristic tester manufactured by Metron Giken Co., Ltd., and the maximum magnetic flux density at that time is measured and designated as B 8000. The soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure has a characteristic that is relatively prone to saturation, and therefore is saturated when a magnetic field of 8000 A/m is applied, and B 8000 and the saturation magnetic flux density have almost the same value, so the saturation magnetic flux density is represented by B 8000 .
[Iron loss]
The iron loss of the heat-treated single sheet samples was measured using an AC magnetic measuring device TWM18SR manufactured by Toei Kogyo Co., Ltd. under the conditions of a magnetic flux density of 1 T and a frequency of 1 kHz.
〔density〕
Using a dry density meter AccuPyc 1330 manufactured by Shimadzu Corporation, a core-shaped sample having dimensions that could be inserted into a sample cell with an outer diameter of 17 mm and a height of 33 mm was prepared by the constant volume expansion method, and its volume was measured. The density was calculated by dividing the weight of the core by its volume.

本開示の実施例(No.1~6)では、高い飽和磁束密度と、低い鉄損が得られた。また、密度も7.45g/cm以上であった。
比較例のNo.51は飽和磁束密度が低い。
比較例のNo.52は鉄損がやや高いが、ほぼ特性値は本開示の実施例と同様であった。しかし、Siの含有量が少ないため、大気中保管数日で錆びが発生し、取り扱い上の課題が生じた。
In the examples (Nos. 1 to 6) of the present disclosure, high saturation magnetic flux density and low core loss were obtained. In addition, the density was 7.45 g/cm or more.
Comparative Example No. 51 has a low saturation magnetic flux density.
Comparative Example No. 52 had slightly higher iron loss but almost the same characteristic values as the Examples of the present disclosure. However, due to the low Si content, rust occurred within a few days of storage in the air, causing handling issues.

No.1~6,No.51、52の試料の鋳造方向に磁界80A/m印加したときの磁束密度Lと鋳造方向に直交する方向に磁界80A/mを印加したときの磁束密度Wとの値の比(L/W)および、熱処理前の合金薄帯の密度をM1、熱処理後の合金薄帯の密度をM2としたとき、M2/M1を表5に示す。 Table 5 shows the ratio (L/W) of the magnetic flux density L when a magnetic field of 80 A/m is applied in the casting direction of samples No. 1-6, 51, and 52 to the magnetic flux density W when a magnetic field of 80 A/m is applied in a direction perpendicular to the casting direction, as well as M2/M1, where M1 is the density of the alloy ribbon before heat treatment and M2 is the density of the alloy ribbon after heat treatment.

〔磁束密度L,W〕
メトロン技研(株)製の直流磁化特性試験装置にて熱処理後の単板試料の鋳造方向および鋳造方向と直交する方向にそれぞれ磁界80A/m印加し、その時の最大磁束密度をそれぞれL,Wとし、LとWの比L/Wにて等方性の評価を行った。
[Magnetic flux density L, W]
Using a DC magnetization characteristic tester manufactured by Metron Giken Co., Ltd., a magnetic field of 80 A/m was applied to the heat-treated single plate samples in the casting direction and in a direction perpendicular to the casting direction, and the maximum magnetic flux densities at that time were designated L and W, respectively, and isotropy was evaluated by the ratio L/W of L to W.

本開示の実施例(No.1~6)では、比(L/W)が0.7~1.3の範囲となっており、等方性が高い軟磁性合金薄帯が得られ、密度比(M2/M1)も1.005以上であった。
比較例のNo.51,52は、比(L/W)が1.3を超えていた。
In the examples (Nos. 1 to 6) of the present disclosure, the ratio (L/W) was in the range of 0.7 to 1.3, and soft magnetic alloy ribbons with high isotropy were obtained, and the density ratio (M2/M1) was 1.005 or more.
Comparative Examples Nos. 51 and 52 had a ratio (L/W) exceeding 1.3.

No.1~5の飽和磁歪の値を表5に示す。
〔飽和磁歪〕
(株)共和電業製の歪ゲージを張り付けた試料に電磁石で5kOeの磁界を印加し、電磁石を360°回転させ、試料に印加する磁界の方向を360°変化させせたときに生じた試料の伸びおよび収縮の最大変化量を歪ゲージの電気抵抗値の変化から測定した。飽和磁歪=2/3×最大変化量とした。
本開示の実施例は、飽和磁歪が20ppm以下であった。
The saturation magnetostriction values of Nos. 1 to 5 are shown in Table 5.
[Saturation magnetostriction]
A 5 kOe magnetic field was applied to a sample with a strain gauge attached by an electromagnet, and the electromagnet was rotated 360°, changing the direction of the magnetic field applied to the sample by 360°. The maximum change in the elongation and contraction of the sample was measured from the change in the electrical resistance of the strain gauge. Saturation magnetostriction was defined as 2/3 x maximum change.
The examples of the present disclosure had a saturation magnetostriction of 20 ppm or less.

No.2の軟磁性合金薄帯の断面観察写真を図4に示す。図4は、透過型電子顕微鏡によって観察した透過型電子顕微鏡観察画像(TEM像)である。図4に示すとおり、本開示の軟磁性合金薄帯は、粒径が20~30nmのナノ結晶を備える組織となっており、観察断面の半分以上をナノ結晶粒が占めていることからナノ結晶の体積率が50%以上となっていることが確認できた。 Figure 4 shows a cross-sectional photograph of the soft magnetic alloy ribbon No. 2. Figure 4 is a transmission electron microscope (TEM) image observed using a transmission electron microscope. As shown in Figure 4, the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure has a structure comprising nanocrystals with grain sizes of 20 to 30 nm, and since nanocrystal grains account for more than half of the observed cross section, it was confirmed that the volume fraction of nanocrystals was 50% or more.

〔実施例2〕
Fe83.07Si2.2013.60Nb0.45Cu0.68からなる組成となるように元素源を配合し、1300℃に加熱した合金溶湯を周速30m/sで回転する外径400mm、幅300mmの冷却ロール上に噴出させ、冷却ロール上で急冷凝固させて、合金薄帯を作製した。各合金薄帯は、表7に示す熱処理条件にて熱処理を行い、軟磁性合金薄帯を作製した。作製した合金薄帯の幅と厚さは表6に示す。なお、冷却ロールの外周部は、熱伝導率が150W/(m・K)のCu合金で構成されており、冷却ロールの内部には外周部の温度制御用の冷却機構が備えられている。
なお、本開示の実施例のNo.7~9の各試料は、粒径60nm以下の結晶粒がアモルファス相中に存在する組織を有していた。また、各試料を断面観察したところ、粒径が60nm以下となる結晶粒の面積率が50%以上(観察視野面積を100%とした値)であった。
Example 2
The element sources were blended to give a composition of Fe 83.07 Si 2.20 B 13.60 Nb 0.45 Cu 0.68 , and the molten alloy heated to 1300°C was ejected onto a chill roll with an outer diameter of 400 mm and a width of 300 mm rotating at a peripheral speed of 30 m/s, and rapidly solidified on the chill roll to produce an alloy ribbon. Each alloy ribbon was heat treated under the heat treatment conditions shown in Table 7 to produce a soft magnetic alloy ribbon. The width and thickness of the produced alloy ribbon are shown in Table 6. The outer periphery of the chill roll was made of a Cu alloy with a thermal conductivity of 150 W/(m·K), and the chill roll was equipped with a cooling mechanism for controlling the temperature of the outer periphery.
Each of Samples No. 7 to No. 9 in the examples of the present disclosure had a structure in which crystal grains having a grain size of 60 nm or less existed in an amorphous phase. Furthermore, when the cross section of each sample was observed, the area ratio of crystal grains having a grain size of 60 nm or less was 50% or more (value assuming that the area of the observed field of view is 100%).

各試料の熱処理条件、熱処理後の試料の占積率、平滑度、B8000、鉄損、密度を測定した結果を表6,7に示す。
No.53,54は比較例である。No.53は、温度T2がFeB化合物析出開始温度より150℃低く、No.54は、温度T2がFeB化合物析出開始温度より20℃低い温度とした熱処理条件の試料であり、その結果の値も表6,7に示す。No.53の試料はB8000が1.73Tと低く熱処理が不十分である。No.54の試料は鉄損が大幅に増加し、1T,1kHzの条件では測定することができなかった。このことにより、No.54はFeB化合物の析出による特性劣化と考えらえる。また、No.54の試料では、熱処理時にしわが発生したため、占積率は79%、平滑度は3.5μmと劣化した。
本開示の実施例(No.7~9)は、飽和磁束密度が高く、鉄損が低く、占積率が86%以上であった。また、密度が高く、平滑度も良好であった。
Tables 6 and 7 show the heat treatment conditions for each sample, and the results of measuring the space factor, smoothness, B 8000 , iron loss, and density of the sample after heat treatment.
Samples No. 53 and 54 are comparative examples. Sample No. 53 was heat-treated at a temperature T2 150°C lower than the FeB compound precipitation start temperature, and Sample No. 54 was heat-treated at a temperature T2 20°C lower than the FeB compound precipitation start temperature. The results are also shown in Tables 6 and 7. Sample No. 53 had a low B8000 of 1.73 T, indicating insufficient heat treatment. Sample No. 54 showed a significant increase in core loss, making it impossible to measure under the conditions of 1 T and 1 kHz. This suggests that the characteristics of Sample No. 54 were degraded due to the precipitation of FeB compounds. Furthermore, Sample No. 54 developed wrinkles during heat treatment, resulting in a space factor of 79% and a smoothness of 3.5 μm.
The examples (Nos. 7 to 9) of the present disclosure had high saturation magnetic flux density, low iron loss, and a space factor of 86% or more. They also had high density and good smoothness.

〔占積率〕
JIS C 2534:2017に準拠した以下の方法で測定を実施した。
長さ120mmに切断した薄帯を20枚重ね、平らな試料台にセットし、直径16mmの平らなアンビルを50kPaの圧力で積層した薄帯に乗せ、幅方向に10mm間隔で高さを測定する。そのときの最大高さをhmax(μm)とし以下の計算式から占積率LFを求める。
LF(%)=試料の重量(g)/密度(g/cm)/hmax(μm)/試料長さ(240cm)/薄帯の幅(cm)×10000
[Occupancy rate]
Measurements were carried out according to the following method in accordance with JIS C 2534:2017.
Twenty ribbons cut to a length of 120 mm are stacked and set on a flat sample stage. A flat anvil with a diameter of 16 mm is placed on the stacked ribbons under a pressure of 50 kPa, and the height is measured at 10 mm intervals in the width direction. The maximum height at this time is defined as hmax (μm), and the space factor LF is calculated using the following formula.
LF (%) = sample weight (g) / density (g/cm 3 ) / hmax (μm) / sample length (240 cm) / ribbon width (cm) × 10000

以上のとおり、本開示によれば、飽和磁束密度が高く、鉄損が低い軟磁性合金薄帯が得られた。また、本開示によれば、異方性が抑制され、等方性を有する軟磁性合金薄帯が得られた。また、本開示によれば、密度が高く、占積率も高く、平滑度が良好な軟磁性合金薄帯が得られた。なお、本開示の軟磁性合金薄帯は、本開示の軟磁性合金の一形態である。 As described above, according to the present disclosure, a soft magnetic alloy ribbon having a high saturation magnetic flux density and low core loss has been obtained. Furthermore, according to the present disclosure, a soft magnetic alloy ribbon having suppressed anisotropy and isotropy has been obtained. Furthermore, according to the present disclosure, a soft magnetic alloy ribbon having a high density, a high space factor, and good smoothness has been obtained. The soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure is one embodiment of the soft magnetic alloy of the present disclosure.

本開示の軟磁性合金薄帯を用いて磁心を構成する場合、公知の手段を用いて磁心を構成することができる。そして、本開示の軟磁性合金薄帯を用いて構成された磁心は、本開示の軟磁性合金薄帯が備える高飽和磁束密度や低鉄損、さらに等方性を備えた磁心が構成され、優れた特性を備える磁心が得られる。 When a magnetic core is constructed using the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure, it can be constructed using known means. Furthermore, a magnetic core constructed using the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure is constructed with the high saturation magnetic flux density, low core loss, and isotropy inherent to the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure, resulting in a magnetic core with excellent characteristics.

さらに、本開示の軟磁性合金薄帯を用いて構成された磁心と、巻線とを備える部品を構成することにより、本開示の軟磁性合金薄帯が備える高飽和磁束密度や低鉄損、さらに等方性を備えた部品が構成され、優れた特性を備える部品が得られる。

Furthermore, by constructing a component including a magnetic core made using the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure and a winding, a component having the high saturation magnetic flux density, low iron loss, and isotropy that the soft magnetic alloy ribbon of the present disclosure has can be constructed, and a component having excellent characteristics can be obtained.

Claims (10)

合金組成が、組成式(Fe1-xSiCuで表され、AはNiおよびCoの少なくとも1種であり、MはNb,Mo,V,Zr,HfおよびWからなる群から選択される1種以上であり、原子%で82.4≦a≦86、0.2≦b≦2.4、12.5≦c≦15.0、0.05≦d≦0.8、0.4≦e≦1.0、0≦x≦0.1である軟磁性合金薄帯であって、
前記軟磁性合金薄帯は粒径60nm以下の結晶粒がアモルファス相中に存在する組織を有し、透過型電子顕微鏡による断面の観察画像から算出される前記結晶粒の面積率が50%以上であり、幅が50mm以上であり、占積率が86%以上であり、飽和磁束密度が1.74T以上であり、1kHz,1Tでの鉄損が25W/kg以下である軟磁性合金薄帯。
A soft magnetic alloy ribbon having an alloy composition represented by a composition formula (Fe1-xAx)aSibBcCudMe , wherein A is at least one of Ni and Co, and M is at least one selected from the group consisting of Nb, Mo, V, Zr, Hf, and W, and the atomic percentages of the soft magnetic alloy ribbon are 82.4≦a≦86, 0.2≦b≦2.4, 12.5≦c≦15.0, 0.05≦d≦0.8, 0.4≦e≦1.0, and 0≦x≦0.1,
The soft magnetic alloy ribbon has a structure in which crystal grains having a grain size of 60 nm or less are present in an amorphous phase , and the area ratio of the crystal grains calculated from an image of a cross section observed with a transmission electron microscope is 50% or more, the width is 50 mm or more, the space factor is 86% or more, the saturation magnetic flux density is 1.74 T or more, and the iron loss at 1 kHz, 1 T is 25 W/kg or less.
請求項に記載の軟磁性合金薄帯において、密度が7.45g/cm以上である軟磁性合金薄帯。 The soft magnetic alloy ribbon according to claim 1 , having a density of 7.45 g/cm 3 or more. 請求項1または2に記載の軟磁性合金薄帯において、厚さが25μm以上である軟磁性合金薄帯。 3. The soft magnetic alloy ribbon according to claim 1 , wherein the thickness of the soft magnetic alloy ribbon is 25 μm or more. 請求項のいずれか1項に記載の軟磁性合金薄帯において、前記軟磁性合金薄帯の鋳造方向に磁界80A/mを印加したときの磁束密度Lと、前記軟磁性合金薄帯の鋳造方向に直交する方向に磁界80A/mを印加したときの磁束密度Wとの値の比(L/W)が0.7~1.3である軟磁性合金薄帯。 4. The soft magnetic alloy ribbon according to claim 1 , wherein a ratio (L/W) of a magnetic flux density L when a magnetic field of 80 A/m is applied in a casting direction of the soft magnetic alloy ribbon to a magnetic flux density W when a magnetic field of 80 A/m is applied in a direction perpendicular to the casting direction of the soft magnetic alloy ribbon is 0.7 to 1.3. 請求項のいずれか1項に記載の軟磁性合金薄帯において、飽和磁歪が20ppm以下である軟磁性合金薄帯。 5. The soft magnetic alloy ribbon according to claim 1 , wherein the saturation magnetostriction is 20 ppm or less. 請求項のいずれか1項に記載の軟磁性合金薄帯を得る製造方法において、
合金薄帯を熱処理して、粒径60nm以下の結晶粒がアモルファス相中に存在する組織を有する軟磁性合金薄帯の製造方法であり、
前記熱処理では、bccFe結晶化開始温度より10~140℃低い温度を温度T1、FeB化合物析出開始温度より30~120℃低い温度を温度T2として、
室温から温度T1まで、昇温速度50℃/sec.以上で加熱し、
温度T1から温度T2まで、温度T1までの昇温速度より遅く、かつ400℃/sec.以下の昇温速度で加熱し、
温度T2に達したのち冷却する、又は、
温度T2に達したのち、温度T2-50℃から温度T2の間の温度で、0.5~60秒保持し、その後、冷却する、軟磁性合金薄帯の製造方法。
A method for producing the soft magnetic alloy ribbon according to any one of claims 1 to 5 ,
A method for producing a soft magnetic alloy ribbon having a structure in which crystal grains having a grain size of 60 nm or less exist in an amorphous phase by heat-treating an alloy ribbon,
In the heat treatment, a temperature T1 is set to be 10 to 140°C lower than the bccFe crystallization start temperature, and a temperature T2 is set to be 30 to 120°C lower than the FeB compound precipitation start temperature.
Heat from room temperature to temperature T1 at a temperature increase rate of 50°C/sec or more,
Heating from temperature T1 to temperature T2 at a temperature rise rate that is slower than the temperature rise rate up to temperature T1 and is 400° C./sec or less,
Cooling after reaching temperature T2, or
After reaching temperature T2, the soft magnetic alloy ribbon is held at a temperature between temperature T2-50°C and temperature T2 for 0.5 to 60 seconds, and then cooled.
前記熱処理前の合金薄帯は、合金溶湯を回転する冷却ロール上に噴出させ、前記冷却ロール上で急冷凝固させて得られ、前記冷却ロールの外周部が熱伝導率120W/(m・K)以上となるCu合金で構成されている請求項に記載の軟磁性合金薄帯の製造方法。 7. The method for producing a soft magnetic alloy ribbon according to claim 6, wherein the alloy ribbon before the heat treatment is obtained by ejecting a molten alloy onto a rotating chill roll and rapidly solidifying it on the chill roll, and an outer periphery of the chill roll is made of a Cu alloy having a thermal conductivity of 120 W/(m K) or more. 前記熱処理前の合金薄帯の密度をM1とし、前記熱処理後の合金薄帯の密度をM2としたとき、M2/M1が1.005以上である請求項またはに記載の軟磁性合金薄帯の製造方法。 8. The method for producing a soft magnetic alloy ribbon according to claim 6 , wherein M2/M1 is 1.005 or more, where M1 is the density of the alloy ribbon before the heat treatment and M2 is the density of the alloy ribbon after the heat treatment. 請求項のいずれか1項に記載の軟磁性合金薄帯を用いて構成された磁心。 A magnetic core formed using the soft magnetic alloy ribbon according to any one of claims 1 to 5 . 請求項に記載の磁心と、巻線とを備える部品。 A component comprising the magnetic core according to claim 9 and a winding.
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