JP7803789B2 - 保護部材形成装置 - Google Patents

Description

本発明は、保護部材形成装置に関する。

特許文献１に記載の保護部材形成装置では、ガラステーブルの載置面に載置したシートの上に、液状樹脂を供給する。そして、ガラステーブルの上方に配置されたウェーハ保持部の保持面によってウェーハを保持し、ウェーハ保持部を下降させて、シートの上の液状樹脂をウェーハによって押し広げる。押し広げられた液状樹脂を硬化させることにより、ウェーハの下面に保護部材を形成する。このような保護部材形成装置では、たとえば液状樹脂をウェーハで押し広げることができない場合に、作業者が、液状樹脂が供給されたシートを、液状樹脂およびウェーハと共に、ガラステーブルから取り出している。

特開２０１７－２２０５４８号公報

上述したシートの取り出し作業の際に、液状樹脂がガラステーブルの載置面に付着することがある。また、液状樹脂は、ウェーハを保持する保持面に付着することもある。載置面や保持面に液状樹脂が付着していると、次のウェーハに形成した保護部材が均一な厚みになりにくい。
しかしながら、液状樹脂は、透明なので、人の目では、載置面や保持面に付着していることを見つけることは困難である。

したがって、本発明の目的は、ガラステーブルの載置面またはウェーハ保持部の保持面に液状樹脂が付着していることを良好に検知することにある。

本発明の第１保護部材形成装置は、ウェーハの一方の面の全面に紫外線硬化型の液状樹脂を押し広げて硬化させた樹脂とシートとからなる保護部材を形成する保護部材形成装置であって、シートが載置されるシート載置面を有するガラステーブルと、該ガラステーブルの上方においてウェーハ保持面によってウェーハを保持するウェーハ保持部と、該ウェーハ保持部を昇降させる昇降機構と、液状樹脂を該シートの上に供給する液状樹脂供給部と、カメラと、該液状樹脂に紫外線を照射する紫外線照射部と、第１制御部とを備え、該第１制御部は、該紫外線照射部から該シート載置面に紫外線を照射して、該カメラによって該シート載置面を撮像することによって第１撮像画を取得し、硬化した液状樹脂で反射した反射光は、該紫外線照射部から照射される紫外線の波長とは異なる所定の波長以上の波長の光に変化し、該第１撮像画内に、該所定の波長以上の波長の光に応じた画像が含まれていたら、該ガラステーブルの該シート載置面に液状樹脂が付着していると判断する第１判断部をさらに備える。

第１保護部材形成装置では、該カメラは、該ガラステーブルの下方に配置されていてもよく、該紫外線照射部は、該ガラステーブルの下方における該カメラの撮像領域外に配置されていてもよく、該ガラステーブルを介して液状樹脂に紫外線を照射してもよい。

第１保護部材形成装置は、第２制御部をさらに備えてもよく、該第２制御部は、該ウェーハ保持部を下降させて該シート載置面と該ウェーハ保持面との間に僅かな隙間を形成した状態で、該紫外線照射部から該ガラステーブルを介して該ウェーハ保持面に紫外線を照射して、該カメラによって該ウェーハ保持面を撮像することによって第２撮像画を取得してもよく、該第２撮像画内に、該所定の波長以上の波長の光に応じた画像が含まれていたら、該ウェーハ保持面に液状樹脂が付着していると判断する第２判断部をさらに備えてもよい。

本発明の第２保護部材形成装置は、ウェーハの一方の面の全面に紫外線硬化型の液状樹脂を押し広げて硬化させた樹脂とシートとからなる保護部材を形成する保護部材形成装置であって、ウェーハ保持面によってウェーハを保持するウェーハ保持部と、該ウェーハ保持部の上方に配置されるガラステーブルと、該ガラステーブルの外側に配置されたシート保持部と、液状樹脂を該ウェーハ保持面に保持されたウェーハの上に供給する液状樹脂供給部と、カメラと、該ウェーハの上の液状樹脂に紫外線を照射する紫外線照射部と、該ガラステーブル、該シート保持部、該カメラおよび該紫外線照射部を昇降させる昇降機構と、第３制御部とを備え、該第３制御部は、該紫外線照射部から該ガラステーブルに紫外線を照射して、該カメラによって該ガラステーブルの下面を撮像することによって第３撮像画を取得し、硬化した液状樹脂で反射した反射光は、該紫外線照射部から照射される紫外線の波長とは異なる所定の波長以上の波長の光に変化し、該第３撮像画内に、該所定の波長以上の波長の光に応じた画像が含まれていたら、該ガラステーブルの下面に液状樹脂が付着していると判断する第３判断部をさらに備える。

第２保護部材形成装置では、該カメラは、該ガラステーブルの上方に配置されていてもよく、該紫外線照射部は、該ガラステーブルの上方における該カメラの撮像領域外に配置されていてもよく、該ガラステーブルを介して液状樹脂に紫外線を照射してもよい。

第２保護部材形成装置は、第４制御部をさらに備えてもよく、該第４制御部は、該ガラステーブル、該シート保持部、該カメラおよび該紫外線照射部を下降させて、該ガラステーブルの下面と該ウェーハ保持面との間に僅かな隙間を形成した状態で、該紫外線照射部から該ガラステーブルを介して該ウェーハ保持面に紫外線を照射して、該カメラによって該ウェーハ保持面を撮像することによって第４撮像画を取得してもよく、該第４撮像画内に、該所定の波長以上の波長の光に応じた画像が含まれていたら、該ウェーハ保持面に液状樹脂が付着していると判断する第４判断部をさらに備えてもよい。

第１保護部材形成装置および第２保護部材形成装置では、シート載置面あるいはガラステーブルの下面の撮像画、および、ウェーハ保持面の撮像画を取得し、これらの撮像画に所定の波長以上の波長の光に応じた画像が含まれていたら、シート載置面、ガラステーブルの下面あるいはウェーハ保持面に液状樹脂が付着していると判断する。これにより、これらに液状樹脂が付着していることを、良好に検知することができる。

第１保護部材形成装置の構成を示す斜視図である。 第１ウェーハ保持機構および第１シート保持機構の構成を示す説明図である。 液状樹脂が付着しているシート載置面を示す説明図である。 時間とともに変化する、シート載置面あるいはウェーハ保持面に付着した液状樹脂からの反射光のＧ値の例を示すグラフである。 第２保護部材形成装置の構成を示す斜視図である。 第２シート保持機構および第２ウェーハ保持機構の構成を示す説明図である。

図１に示す第１保護部材形成装置１は、ウェーハ１００の一方の面の全面に紫外線硬化型の液状樹脂を押し広げて硬化させた樹脂とシートとからなる保護部材を形成する装置である。

ウェーハ１００は、たとえば、円板状のシリコンのアズスライスウェーハである。ウェーハ１００は、たとえば円板状に形成されており、表面１０１および裏面１０２を有している。ウェーハ１００の裏面１０２および表面１０１は、それぞれ、ウェーハ１００の一方の面および他方の面の一例に相当する。

第１保護部材形成装置１は、筐体２００と、筐体２００内に配設された装置ベース２０１と、装置ベース２０１に立設されたコラム２０２と、装置ベース２０１に隣接して配設された支持ベース２０３と、筐体２００の後端側に連結されたカセット収容本体２０４と、を備えている。

カセット収容本体２０４には、カセット２０７が収容されている。カセット２０７には、保護部材が形成される前の複数のウェーハ１００、および、保護部材が形成された複数のウェーハ１００が収容される。

カセット収容本体２０４の－Ｙ方向側には、仮置きテーブル２１１と、仮置きテーブル２１１の下方側に位置するカットテーブル２１２とが配設されている。カットテーブル２１２には、シートカッター８が配設されている。シートカッター８は、ウェーハ１００の外形に沿って、余分なシート１２を切断する。

カセット収容本体２０４と仮置きテーブル２１１との間には、第１ウェーハ搬送機構４が配設されている。第１ウェーハ搬送機構４は、カセット２０７に対するウェーハ１００の搬出および搬入を行う。すなわち、第１ウェーハ搬送機構４は、保護部材が形成される前のウェーハ１００を、カセット２０７から搬出して、仮置きテーブル２１１に搬入する。さらに、第１ウェーハ搬送機構４は、保護部材が形成されたウェーハ１００を、カットテーブル２１２から搬出して、カセット２０７に搬入する。

第１ウェーハ搬送機構４の－Ｙ方向側には、第２ウェーハ搬送機構５が配置されている。第２ウェーハ搬送機構５は、保護部材が形成されたウェーハ１００を回収して、カットテーブル２１２に搬入する。また、第２ウェーハ搬送機構５は、仮置きテーブル２１１からウェーハ１００を搬出して、第１ウェーハ保持機構５０の保持テーブル５２に受け渡す。

装置ベース２０１には、ロール状に巻かれたシート１２を含むロール部１１を有するシート供給機構１０と、シート１２を保持するガラステーブル２１を含む第１シート保持機構２０と、第１シート載置機構３０と、が備えられる。

第１シート載置機構３０は、Ｙ軸方向と交差するＸ軸方向に延在するアーム部３１と、アーム部３１に取り付けられたクランプ部３２とを備えている。そして、第１シート載置機構３０は、ロール部１１に巻かれたシート１２を、クランプ部３２によってクランプして、アーム部３１によって＋Ｙ方向に引っ張り、ガラステーブル２１上に位置付けて、所定の大きさに切断する。これにより、第１シート載置機構３０は、ガラステーブル２１上にシート１２を載置することができる。

第１シート保持機構２０は、ガラステーブル２１と、ガラステーブル２１を支持するテーブル支持台２４とを有している。ガラステーブル２１は、シート１２が載置されるシート載置面２２を備えている。ガラステーブル２１、および、ガラステーブル２１の上面であるシート載置面２２は、たとえば、石英ガラス等のガラス製である。このシート載置面２２に、第１シート載置機構３０によってシート１２が載置される。

また、図２に示すように、第１シート保持機構２０におけるガラステーブル２１のシート載置面２２の周囲には、吸引源２２２および吸引路２２３に連通される円形の吸引口２２４が設けられている。この吸引口２２４は、ガラステーブル２１の外側に配置されたシート保持部の一例である。この吸引口２２４により、シート載置面２２は、吸引源２２２からの吸引力を用いて、シート１２を吸引保持することができる。

また、図１に示すように、ガラステーブル２１の近傍には、液状樹脂をシート１２の上に供給する液状樹脂供給部としての第１樹脂供給部４０が備えられている。第１樹脂供給部４０は、シート１２に液状樹脂を供給するための樹脂供給ノズル４１を有している。本実施形態では、樹脂供給ノズル４１は、第１シート載置機構３０のアーム部３１に備えられており、アーム部３１とともにＹ軸方向に移動する。第１樹脂供給部４０は、この樹脂供給ノズル４１により、ガラステーブル２１のシート載置面２２によって保持されたシート１２の上面中央に、図示しない液状樹脂タンクから吸い取った液状樹脂を供給する。

本実施形態では、液状樹脂は、ウェーハ１００の表面１０１の全面を保護する保護部材の形成に用いられる、紫外線硬化型の樹脂である。保護部材の形成では、ガラステーブル２１のシート載置面２２に載置されたシート１２の上に供給された液状樹脂に、その上方からウェーハ１００の裏面１０２を押し付け、裏面１０２の全面に液状樹脂を押し広げて、液状樹脂を硬化させる。

コラム２０２の－Ｙ方向側には、第２ウェーハ搬送機構５から受け渡されたウェーハ１００を保持する第１ウェーハ保持機構５０、および、第１ウェーハ保持機構５０を昇降させる昇降機構６０が配されている。

第１ウェーハ保持機構５０は、昇降機構６０に取り付けられた支持構造５１、および、支持構造５１に取り付けられた保持テーブル５２を有している。支持構造５１は、保持テーブル５２を支持した状態で、昇降機構６０に取り付けられており、昇降機構６０によってＺ軸方向に移動する。

第１ウェーハ保持機構５０の保持テーブル５２は、図１および図２に示すように、ガラステーブル２１のシート載置面２２に対向するように配設されたウェーハ保持面５３を有している。保持テーブル５２は、ガラステーブル２１の上方においてウェーハ保持面５３によってウェーハ１００を保持するウェーハ保持部の一例である。
ウェーハ保持面５３は、たとえばポーラス材からなる。保持テーブル５２では、このウェーハ保持面５３を吸引源（図示せず）に連通させることによって、ウェーハ保持面５３により、ウェーハ１００の他方の面である表面１０１を吸引保持することができる。

図１に示す昇降機構６０は、保持テーブル５２を昇降させるものである。すなわち、昇降機構６０は、保持テーブル５２を含む第１ウェーハ保持機構５０を、ガラステーブル２１のシート載置面２２に対してＺ軸方向に沿って接近させることによって、シート載置面２２に保持されているシート１２上に供給された液状樹脂を、保持テーブル５２に保持されているウェーハ１００の一方の面である裏面１０２の全面に押し広げる。

昇降機構６０は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ６１、ボールネジ６１の一端に接続されたモータ６２、ボールネジ６１と平行に延在する一対のガイドレール６３、および、第１ウェーハ保持機構５０が取り付けられた昇降板６４を備える。昇降板６４は、一対のガイドレール６３に対してスライド可能に設置されている。また、昇降板６４には、ナット部（図示せず）が形成されている。このナット部には、ボールネジ６１が螺合している。

昇降機構６０では、モータ６２によってボールネジ６１が回動されることにより、一対のガイドレール６３に沿って、昇降板６４が、第１ウェーハ保持機構５０とともにＺ軸方向に移動する。これにより、昇降機構６０は、ガラステーブル２１のシート載置面２２に対して略垂直なＺ軸方向に沿って、第１ウェーハ保持機構５０を昇降させることができる。このようにして、昇降機構６０は、ウェーハ１００の裏面１０２の全面に、シート載置面２２上に蓄積された液状樹脂を押し広げることができる。

また、図２に示すように、第１シート保持機構２０は、ガラステーブル２１の下方に、ウェーハ１００の裏面１０２の全面に押し広げられたシート載置面２２上の液状樹脂に紫外線を照射する紫外線照射部９０、および、カメラ８０を備えている。カメラ８０は、被写体のカラー画像を取得することの可能なカラーカメラである。本実施形態では、カメラ８０は、シート載置面２２あるいはウェーハ保持面５３を撮像するために用いられる。

本実施形態では、カメラ８０は、ガラステーブル２１の下方に配置されている。そして、カメラ８０を囲むように、複数の紫外線照射部９０が配置されている。

紫外線照射部９０は、液状樹脂に紫外線を照射するものである。すなわち、紫外線照射部９０は、たとえば比較的に強い強度の紫外線を、ガラステーブル２１を介して、昇降機構６０によってウェーハ１００の裏面１０２の全面に押し広げられた液状樹脂に照射することにより、この液状樹脂を硬化させる。このようにして、第１保護部材形成装置１は、ウェーハ１００の裏面１０２の全面に押し広げられた紫外線硬化型の液状樹脂を硬化させることにより、硬化した樹脂とシートとを含む保護部材をウェーハ１００の裏面１０２に形成することができる。

カメラ８０は、シート載置面２２にシート１２が載置されておらず、かつ、ウェーハ保持面５３にウェーハ１００が保持されていないときに、紫外線照射部９０からの光を用いて、シート載置面２２あるいはウェーハ保持面５３を下方から撮像するために用いられる。なお、紫外線照射部９０は、カメラ８０による撮像を邪魔しないように、ガラステーブル２１の下方におけるカメラ８０の撮像領域外に配置されている。

また、第１保護部材形成装置１は、たとえばカセット収容本体２０４の側面に、タッチパネル９を備えている。

タッチパネル９には、第１保護部材形成装置１に関する各種情報が表示される。また、タッチパネル９は、各種情報を設定するためにも用いられる。このように、タッチパネル９は、情報を入力するための入力部材として機能するとともに、情報を表示するための表示部材としても機能する。

また、第１保護部材形成装置１には、第１保護部材形成装置１の各部材を制御する制御部７が備えられている。

制御部７は、制御プログラムに従って演算処理を行うＣＰＵ、および、メモリ等の記憶媒体等を備えている。制御部７は、第１保護部材形成装置１の上述した各部材を制御して、様々な動作を実行する。たとえば、制御部７は、ウェーハ１００に対する保護部材形成動作を実行する。

また、制御部７は、第１制御部７１、第２制御部７２、第１判断部７３および第２判断部７４を備えており、これらを用いて、シート載置面２２あるいはウェーハ保持面５３に、液状樹脂が付着しているか否かを判断する樹脂付着検知動作を実施する。

以下に、樹脂付着検知動作について説明する。
まず、樹脂付着検知の概要について説明する。図３に示すように、ガラステーブル２１のシート載置面２２に液状樹脂３００が付着した場合、液状樹脂は、紫外線照射部９０からの紫外線の照射を受けると硬化する。そして、硬化した液状樹脂で反射した反射光（蛍光）は、紫外線照射部９０から照射される紫外線の波長とは異なる所定の波長以上の波長の光に変化する。

ここで、シート載置面２２あるいはウェーハ保持面５３に付着した液状樹脂からの反射光の波長は、反射光のＧ成分（ＲＧＢにおけるＧ）の値（Ｇ値；２５６階調）と対応している。そして、反射光のＧ値は、紫外線の照射時間の経過とともに液状樹脂が硬化してゆくにつれて、徐々に上がっていく。

図４は、時間経過とともに変化する、シート載置面２２あるいはウェーハ保持面５３に付着した液状樹脂が硬化していく状態での反射光のＧ値の例を示すグラフである。この図に示す例では、紫外線照射部９０から照射される紫外線の波長は、３５６ｎｍである。この場合、シート載置面２２あるいはウェーハ保持面５３上において完全に硬化した液状樹脂で反射した反射光の波長は、４３０ｎｍであり、この波長は、Ｇ値２３６に対応している。また、硬化が開始された直後の液状樹脂で反射した反射光の波長は、たとえば４００ｎｍであり、この波長は、Ｇ値１９０に対応している。

したがって、シート載置面２２あるいはウェーハ保持面５３のカラーの撮像画をカメラ８０によって取得し、Ｇ値１９０を閾値として、この撮像画に含まれる反射光のＧ値に基づいて、シート載置面２２あるいはウェーハ保持面５３に液状樹脂が付着しているか否かを判断することができる。すなわち、閾値である１９０以上のＧ値の光（所定の波長である４００ｎｍ以上の波長の光）に応じた画像（画素）が撮像画に含まれていたら、シート載置面２２あるいはウェーハ保持面５３に液状樹脂が付着していると判断することができる。

そこで、樹脂付着検知動作では、まず、シート載置面２２に対する液状樹脂の付着の有無の判断が実施される。すなわち、第１制御部７１が、カメラ８０のピントを、ガラステーブル２１のシート載置面２２に合わせる。そして、第１制御部７１は、紫外線照射部９０からシート載置面２２に紫外線を照射して、カメラ８０によってシート載置面２２を撮像する。これによって、第１制御部７１は、シート載置面２２の画像である第１撮像画を取得する。なお、この撮像における撮像範囲は、たとえば、シート載置面２２の全面である。

次に、第１判断部７３が、第１撮像画内に、所定の波長（上記の例では４００ｎｍ）以上の波長の光に応じた画像が含まれているか否かを判断する。この判断は、たとえば、１９０以上のＧ値の光に応じた画像が第１撮像画に含まれているか否かに基づいて実施される。そして、第１判断部７３は、このような画像が第１撮像画に含まれている場合に、シート載置面２２に液状樹脂が付着していると判断する。

そして、第１判断部７３が、シート載置面２２に液状樹脂が付着していると判断した場合、制御部７は、タッチパネル９を用いて、シート載置面２２に液状樹脂が付着していることを、音声および／または画像によって作業者に表示する。

このようなシート載置面２２に対する液状樹脂の付着の有無の判断が実施された後、ウェーハ保持面５３に対する液状樹脂の付着の有無の判断が実施される。すなわち、第２制御部７２が、昇降機構６０を制御して保持テーブル５２を下降させて、保持テーブル５２のウェーハ保持面５３とガラステーブル２１のシート載置面２２との間に僅かな隙間を形成した状態を形成する。この状態で、第２制御部７２は、カメラ８０のピントをウェーハ保持面５３に合わせる。そして、第２制御部７２は、紫外線照射部９０からガラステーブル２１を介してウェーハ保持面５３に紫外線を照射して、カメラ８０によってウェーハ保持面５３を撮像する。これによって、第２制御部７２は、ウェーハ保持面５３の画像である第２撮像画を取得する。なお、この撮像における撮像範囲は、たとえば、ウェーハ保持面５３の全面である。

次に、第２判断部７４が、第２撮像画内に、所定の波長（上記の例では４００ｎｍ）以上の波長の光に応じた画像が含まれているか否かを判断する。この判断は、たとえば、１９０以上のＧ値の光に応じた画像が第２撮像画に含まれているか否かに基づいて実施される。そして、第２判断部７４は、このような画像が第２撮像画に含まれている場合に、ウェーハ保持面５３に液状樹脂が付着していると判断する。

そして、第２判断部７４が、ウェーハ保持面５３に液状樹脂が付着していると判断した場合、制御部７は、タッチパネル９を用いて、ウェーハ保持面５３に液状樹脂が付着していることを、音声および／または画像によって作業者に表示する。

以上のように、本実施形態では、シート載置面２２の撮像画である第１撮像画およびウェーハ保持面５３の撮像画である第２撮像画を取得し、これらの撮像画に所定の波長以上の波長の光に応じた画像が含まれていたら、シート載置面２２あるいはウェーハ保持面５３に液状樹脂が付着していると判断する。これにより、シート載置面２２あるいはウェーハ保持面５３に液状樹脂が付着していることを、良好に検知することができる。

また、本実施形態では、シート載置面２２あるいはウェーハ保持面５３に液状樹脂が付着している場合に、その旨をタッチパネル９を用いて作業者に表示している。したがって、作業者は、これらに液状樹脂が付着していることを、容易に認識することができる。さらに、作業者は、付着している液状樹脂を除去して、シート載置面２２およびウェーハ保持面５３に液状樹脂が付着していない状態で、ウェーハ１００に保護部材を形成することができる。このため、均一な厚みの保護部材を形成することが可能になる。すなわち、不均一な厚みの保護部材が形成されることを防止することが可能になる。

なお、第１保護部材形成装置１では、カメラ８０および紫外線照射部９０が、ガラステーブル２１の下方に配置されている。これに関し、カメラ８０は、ガラステーブル２１のシート載置面２２および保持テーブル５２のウェーハ保持面５３を撮像できる位置であれば、どの位置に設置されていてもよい。また、紫外線照射部９０も、カメラ８０の撮像領域外であって、ウェーハ１００の裏面１０２に押し広げられた液状樹脂、シート載置面２２およびウェーハ保持面５３に紫外線を照射できる位置であれば、どの位置に設置されていてもよい。

また、本実施形態にかかる保護部材形成装置は、図５に示す第２保護部材形成装置２であってもよい。第２保護部材形成装置２は、第１保護部材形成装置１と同様に、ウェーハ１００の一方の面の全面に紫外線硬化型の液状樹脂を押し広げて硬化させた樹脂とシートとからなる保護部材を形成する装置である。

図５に示す第２保護部材形成装置２は、図１に示した第１保護部材形成装置１の構成において、第１シート保持機構２０、第１シート載置機構３０、第１樹脂供給部４０および第１ウェーハ保持機構５０に代えて、第２シート保持機構１２０、第２シート載置機構１３０、第２樹脂供給部１４０および第２ウェーハ保持機構１５０を備えている。

図５に示すように、第２保護部材形成装置２における装置ベース２０１には、シート１２のロール部１１を有する上述したシート供給機構１０と、シート１２を保持する第２シート保持機構１２０と、第２シート保持機構１２０にシートを受け渡す第２シート載置機構１３０と、ウェーハ１００を保持する第２ウェーハ保持機構１５０とが備えられる。

第２シート載置機構１３０は、たとえばスポンジからなる円形の弾性部材１３６を有する搬送テーブル１３５、および、シート１２を把持する把持部１３３を有するシート配置機構１３２を備えている。シート配置機構１３２は、シート供給機構１０におけるロール部１１のシート１２の外周辺を把持部１３３によって把持して水平方向（＋Ｙ方向）に引き出すとともに、搬送テーブル１３５の弾性部材１３６を覆うようにシート１２を位置付けて、所定の大きさに切断することができる。

また、第２シート載置機構１３０は、搬送テーブル１３５をＹ軸方向に沿って移動させるテーブル移動機構１３１を有している。テーブル移動機構１３１は、シート１２に覆われた弾性部材１３６を有する搬送テーブル１３５を、第２シート保持機構１２０の下方に配置することができる。

第２シート保持機構１２０は、支持構造６５を介して昇降機構６０の昇降板６４に取り付けられており、昇降機構６０によって昇降されるように構成されている。

図６に示すように、第２シート保持機構１２０は、第２ウェーハ保持機構１５０の上方に配置されるガラステーブル１２１と、ガラステーブル１２１を支持するテーブル支持台１２４とを有している。ガラステーブル１２１は、シート１２を保持するシート保持面１２２を備えている。ガラステーブル１２１、および、ガラステーブル１２１の下面であるシート保持面１２２は、たとえば、石英ガラス等のガラス製である。

また、図６に示すように、第２シート保持機構１２０におけるガラステーブル１２１のシート保持面１２２の周囲には、吸引源２２２および吸引路２２３に連通される円形の吸引口２２４が設けられている。吸引口２２４は、ガラステーブルの外側に配置されるシート保持部の一例である。

第２シート保持機構１２０は、シート１２に覆われた弾性部材１３６を有する搬送テーブル１３５が第２シート保持機構１２０の下方に配置された際、昇降機構６０によって下方に移動される。これにより、第２シート保持機構１２０のシート保持面１２２が、弾性部材１３６を覆うシート１２に接触し、シート１２を介して弾性部材１３６を押圧する。この状態で、吸引源２２２からの吸引力を吸引口２２４に作用させることにより、シート保持面１２２が、弾性部材１３６上のシート１２を吸引保持することができる。

第２保護部材形成装置２では、昇降機構６０は、ガラステーブル１２１、吸引口２２４、カメラ８０および紫外線照射部９０を含む第２シート保持機構１２０を昇降させるように構成されている。シート保持面１２２によってシート１２を吸引保持した第２シート保持機構１２０は、昇降機構６０によって上方に移動される。

また、第２シート保持機構１２０の下方には、第２ウェーハ保持機構１５０が配置されている。第２ウェーハ保持機構１５０は、第２ウェーハ搬送機構５によって仮置きテーブル２１１から搬出されたウェーハ１００を保持するものである。

図６に示すように、第２ウェーハ保持機構１５０は、ピンチャック型の保持テーブルであり、凹状の空間を有する枠体１５３を有している。枠体１５３の凹状の空間には、複数の支持ピン１５５が設けられている。そして、これら複数の支持ピン１５５の上端面によって、図１に示す円形のウェーハ保持面１５２が形成される。

このように、第２ウェーハ保持機構１５０は、ウェーハ保持面１５２によってウェーハ１００を保持するウェーハ保持部の一例である。すなわち、第２ウェーハ保持機構１５０では、枠体１５３の凹状の空間を吸引源（図示せず）に連通させることにより、複数の支持ピン１５５の上端面であるウェーハ保持面１５２によって、ウェーハ１００の他方の面である表面１０１を吸引保持することができる。
なお、第２ウェーハ保持機構１５０は、ポーラス部材からなる保持面を備えるポーラスチャック型の保持テーブルであってもよい。

また、図５に示すように、第２ウェーハ保持機構１５０の近傍には、ウェーハ保持面１５２に保持されたウェーハ１００の上に液状樹脂を供給する液状樹脂供給部としての第２樹脂供給部１４０が備えられている。第２樹脂供給部１４０は、シート１２に液状樹脂を供給するための樹脂供給ノズル１４１を有している。本実施形態では、樹脂供給ノズル１４１は、第２ウェーハ保持機構１５０のウェーハ保持面１５２によって保持されたウェーハ１００の上面である裏面１０２の中央に、図示しない液状樹脂タンクから吸い取った液状樹脂を供給するように構成されている。

第２保護部材形成装置２では、第２ウェーハ保持機構１５０に保持されているウェーハ１００に液状樹脂が供給されているとともに、第２シート保持機構１２０のシート保持面１２２（図６参照）がシートを保持している状態で、昇降機構６０が、第２シート保持機構１２０をウェーハ１００に対してＺ軸方向に沿って接近させて、シート１２を保持しているシート保持面１２２をウェーハ１００上の液状樹脂に押し付ける。これによって、ウェーハ１００の一方の面である裏面１０２の全面に、液状樹脂を押し広げることができる。

また、図６に示すように、第２シート保持機構１２０は、ガラステーブル１２１の上方に、ウェーハ１００の裏面１０２の全面に押し広げられたシート保持面１２２上の液状樹脂に紫外線を照射する上述した紫外線照射部９０、および、ガラステーブル１２１の下面であるシート保持面１２２あるいはウェーハ保持面１５２を撮像するための上述したカメラ８０を備えている。

第２保護部材形成装置２では、カメラ８０は、ガラステーブル１２１の上方に配置されている。そして、カメラ８０を囲むように、複数の紫外線照射部９０が配置されている。

紫外線照射部９０は、上述したように、たとえば比較的に強い強度の紫外線を、ガラステーブル１２１を介して、昇降機構６０によってウェーハ１００の裏面１０２の全面に押し広げられた液状樹脂に照射することにより、この液状樹脂を硬化する。このようにして、第２保護部材形成装置２は、ウェーハ１００の裏面１０２の全面に押し広げられた紫外線硬化型の液状樹脂を硬化させることにより、硬化した樹脂とシートとを含む保護部材をウェーハ１００の裏面１０２に形成することができる。

カメラ８０は、シート保持面１２２にシート１２が保持されておらず、かつ、ウェーハ保持面１５２にウェーハ１００が保持されていないときに、紫外線照射部９０からの光を用いて、シート保持面１２２あるいはウェーハ保持面１５２を上方から撮像するために用いられる。なお、第２保護部材形成装置２においても、紫外線照射部９０は、カメラ８０による撮像を邪魔しないように、ガラステーブル１２１の上方におけるカメラ８０の撮像領域外に配置されている。

また、図５に示すように、第２保護部材形成装置２では、制御部７は、第３制御部７５、第４制御部７６、第３判断部７７および第４判断部７８を備えており、これらを用いて、シート保持面１２２あるいはウェーハ保持面１５２に液状樹脂が付着しているか否かを判断する樹脂付着検知動作を実施する。

以下に、第２保護部材形成装置２における樹脂付着検知動作について説明する。
上述した第１保護部材形成装置１の場合と同様に、第２保護部材形成装置２における樹脂付着検知動作においても、シート保持面１２２あるいはウェーハ保持面１５２のカラーの撮像画をカメラ８０によって取得し、Ｇ値１９０を閾値として、この撮像画に含まれる反射光のＧ値に基づいて、液状樹脂の有無を判断する。すなわち、１９０以上のＧ値の光（所定の波長である４００ｎｍ以上の光）に応じた画像（画素）が撮像画に含まれていたら、シート保持面１２２あるいはウェーハ保持面１５２に液状樹脂が付着していると判断する。

具体的には、第２保護部材形成装置２における樹脂付着検知動作では、まず、ガラステーブル１２１の下面であるシート保持面１２２に対する液状樹脂の付着の有無の判断が実施される。すなわち、第３制御部７５が、カメラ８０のピントを、ガラステーブル１２１のシート保持面１２２に合わせる。そして、第３制御部７５は、紫外線照射部９０からガラステーブル１２１に紫外線を照射して、ガラステーブル１２１の下面であるシート保持面１２２を、カメラ８０によって撮像する。これによって、第３制御部７５は、シート保持面１２２の画像である第３撮像画を取得する。なお、この撮像における撮像範囲は、たとえば、シート保持面１２２の全面である。

次に、第３判断部７７が、第３撮像画内に、所定の波長（上記の例では４００ｎｍ）以上の波長の光に応じた画像が含まれているか否かを判断する。この判断は、たとえば、１９０以上のＧ値の光に応じた画像が第３撮像画に含まれているか否かに基づいて実施される。そして、第３判断部７７は、このような画像が第３撮像画に含まれている場合に、シート保持面１２２に液状樹脂が付着していると判断する。

そして、第３判断部７７が、シート保持面１２２に液状樹脂が付着していると判断した場合、制御部７は、タッチパネル９を用いて、シート保持面１２２に液状樹脂が付着していることを、音声および／または画像によって作業者に表示する。

このようなシート保持面１２２に対する液状樹脂の付着の有無の判断が実施された後、ウェーハ保持面１５２に対する液状樹脂の付着の有無の判断が実施される。すなわち、第４制御部７６が、昇降機構６０を制御して、ガラステーブル１２１、吸引口２２４、カメラ８０および紫外線照射部９０を含む第２シート保持機構１２０を下降させる。これにより、第４制御部７６は、第２ウェーハ保持機構１５０のウェーハ保持面１５２とガラステーブル１２１のシート保持面１２２との間に僅かな隙間を形成した状態を形成する。この状態で、第４制御部７６は、カメラ８０のピントをウェーハ保持面１５２に合わせる。そして、第４制御部７６は、紫外線照射部９０からガラステーブル１２１を介してウェーハ保持面１５２に紫外線を照射して、カメラ８０によってウェーハ保持面１５２を撮像する。これによって、第４制御部７６は、ウェーハ保持面１５２の画像である第４撮像画を取得する。なお、この撮像における撮像範囲は、たとえば、ウェーハ保持面１５２の全面である。

次に、第４判断部７８が、第４撮像画内に、所定の波長（上記の例では４００ｎｍ）以上の波長の光に応じた画像が含まれているか否かを判断する。この判断は、たとえば、１９０以上のＧ値の光に応じた画像が第４撮像画に含まれているか否かに基づいて実施される。そして、第４判断部７８は、このような画像が第４撮像画に含まれている場合に、ウェーハ保持面１５２に液状樹脂が付着していると判断する。

そして、第４判断部７８が、ウェーハ保持面１５２に液状樹脂が付着していると判断した場合、制御部７は、タッチパネル９を用いて、ウェーハ保持面１５２に液状樹脂が付着していることを、音声および／または画像によって作業者に表示する。

このように、第２保護部材形成装置２においても、シート保持面１２２の撮像画である第３撮像画およびウェーハ保持面１５２の撮像画である第４撮像画を取得し、これらの撮像画に所定の波長以上の波長の光に応じた画像が含まれていたら、シート保持面１２２あるいはウェーハ保持面１５２に液状樹脂が付着していると判断する。これにより、シート保持面１２２あるいはウェーハ保持面１５２に液状樹脂が付着していることを、良好に検知することができる。

また、本実施形態では、シート保持面１２２あるいはウェーハ保持面１５２に液状樹脂が付着している場合に、その旨をタッチパネル９を用いて作業者に表示している。したがって、作業者は、これらに液状樹脂が付着していることを、容易に認識することができる。さらに、作業者は、付着している液状樹脂を除去して、シート保持面１２２およびウェーハ保持面１５２に液状樹脂が付着していない状態で、ウェーハ１００に保護部材を形成することができる。このため、均一な厚みの保護部材を形成することが可能になる。

なお、第２保護部材形成装置２では、カメラ８０および紫外線照射部９０が、ガラステーブル１２１の上方に配置されている。これに関し、カメラ８０は、ガラステーブル１２１の下面であるシート保持面１２２および第２ウェーハ保持機構１５０のウェーハ保持面１５２を撮像できる位置であれば、どの位置に設置されていてもよい。また、紫外線照射部９０も、カメラ８０の撮像領域外であって、ウェーハ１００の裏面１０２に押し広げられた液状樹脂、シート保持面１２２およびウェーハ保持面１５２に紫外線を照射できる位置であれば、どの位置に設置されていてもよい。
なお、カメラ８０は、ウェーハ保持面１５２とシート保持面１２２とを撮像できればよいため、ウェーハ保持面１５２とシート保持面１２２とを別々に撮像するように、カメラ８０を水平方向に延在するアームに配置して、アームを回転させてもよい。

なお、第１保護部材形成装置１および第２保護部材形成装置２では、カメラ８０によって取得されるカラー画像の画素が小さいほど、小さな樹脂を検出することができる。たとえば、１画素が１μｍであれば、撮像画から１μｍの樹脂を検出することができる。したがって、カメラ８０の画素は、できるだけ小さいことが好ましい。

１：第１保護部材形成装置、２：第２保護部材形成装置、４：第１ウェーハ搬送機構、
５：第２ウェーハ搬送機構、７：制御部、８：シートカッター、９：タッチパネル、
１０：シート供給機構、１１：ロール部、１２：シート、２０：第１シート保持機構、
２１：ガラステーブル、２２：シート載置面、２４：テーブル支持台、
３０：第１シート載置機構、３１：アーム部、３２：クランプ部、
４０：第１樹脂供給部、４１：樹脂供給ノズル、
５０：第１ウェーハ保持機構、５１：支持構造、５２：保持テーブル、
５３：ウェーハ保持面、６０：昇降機構、６１：ボールネジ、６２：モータ、
６３：ガイドレール、６４：昇降板、６５：支持構造、７１：第１制御部、
７２：第２制御部、７３：第１判断部、７４：第２判断部、７５：第３制御部、
７６：第４制御部、７７：第３判断部、７８：第４判断部、８０：カメラ、
９０：紫外線照射部、１００：ウェーハ、１０１：表面、１０２：裏面、
１２０：第２シート保持機構、１２１：ガラステーブル、１２２：シート保持面、
１２４：テーブル支持台、１３０：第２シート載置機構、１３１：テーブル移動機構、
１３２：シート配置機構、１３３：把持部、１３５：搬送テーブル、１３６：弾性部材、
１４０：第２樹脂供給部、１４１：樹脂供給ノズル、１５０：第２ウェーハ保持機構、
１５２：ウェーハ保持面、１５３：枠体、１５５：支持ピン、１９０：Ｇ値、
２００：筐体、２０１：装置ベース、２０２：コラム、２０３：支持ベース、
２０４：カセット収容本体、２０７：カセット、２１１：仮置きテーブル、
２１２：カットテーブル、２２２：吸引源、２２３：吸引路、２２４：吸引口、
３００：液状樹脂

Claims (6)

1. ウェーハの一方の面の全面に紫外線硬化型の液状樹脂を押し広げて硬化させた樹脂とシートとからなる保護部材を形成する保護部材形成装置であって、
   シートが載置されるシート載置面を有するガラステーブルと、
   該ガラステーブルの上方においてウェーハ保持面によってウェーハを保持するウェーハ保持部と、
   該ウェーハ保持部を昇降させる昇降機構と、
   液状樹脂を該シートの上に供給する液状樹脂供給部と、
   カメラと、
   該液状樹脂に紫外線を照射する紫外線照射部と、
   第１制御部とを備え、
   該第１制御部は、該紫外線照射部から該シート載置面に紫外線を照射して、該カメラによって該シート載置面を撮像することによって第１撮像画を取得し、
   硬化した液状樹脂で反射した反射光は、該紫外線照射部から照射される紫外線の波長とは異なる所定の波長以上の波長の光に変化し、
   該第１撮像画内に、該所定の波長以上の波長の光に応じた画像が含まれていたら、該ガラステーブルの該シート載置面に液状樹脂が付着していると判断する第１判断部をさらに備える、
   保護部材形成装置。
2. 該カメラは、該ガラステーブルの下方に配置されていて、
   該紫外線照射部は、該ガラステーブルの下方における該カメラの撮像領域外に配置されていて、該ガラステーブルを介して液状樹脂に紫外線を照射する、
   請求項１記載の保護部材形成装置。
3. 第２制御部をさらに備え、
   該第２制御部は、該ウェーハ保持部を下降させて該シート載置面と該ウェーハ保持面との間に僅かな隙間を形成した状態で、該紫外線照射部から該ガラステーブルを介して該ウェーハ保持面に紫外線を照射して、該カメラによって該ウェーハ保持面を撮像することによって第２撮像画を取得し、
   該第２撮像画内に、該所定の波長以上の波長の光に応じた画像が含まれていたら、該ウェーハ保持面に液状樹脂が付着していると判断する第２判断部をさらに備える、
   請求項１又は２記載の保護部材形成装置。
4. ウェーハの一方の面の全面に紫外線硬化型の液状樹脂を押し広げて硬化させた樹脂とシートとからなる保護部材を形成する保護部材形成装置であって、
   ウェーハ保持面によってウェーハを保持するウェーハ保持部と、
   該ウェーハ保持部の上方に配置されるガラステーブルと、
   該ガラステーブルの外側に配置されたシート保持部と、
   液状樹脂を該ウェーハ保持面に保持されたウェーハの上に供給する液状樹脂供給部と、
   カメラと、
   該ウェーハの上の液状樹脂に紫外線を照射する紫外線照射部と、
   該ガラステーブル、該シート保持部、該カメラおよび該紫外線照射部を昇降させる昇降機構と、
   第３制御部とを備え、
   該第３制御部は、該紫外線照射部から該ガラステーブルに紫外線を照射して、該カメラによって該ガラステーブルの下面を撮像することによって第３撮像画を取得し、
   硬化した液状樹脂で反射した反射光は、該紫外線照射部から照射される紫外線の波長とは異なる所定の波長以上の波長の光に変化し、
   該第３撮像画内に、該所定の波長以上の波長の光に応じた画像が含まれていたら、該ガラステーブルの下面に液状樹脂が付着していると判断する第３判断部をさらに備える、
   保護部材形成装置。
5. 該カメラは、該ガラステーブルの上方に配置されていて、
   該紫外線照射部は、該ガラステーブルの上方における該カメラの撮像領域外に配置されていて、該ガラステーブルを介して液状樹脂に紫外線を照射する、
   請求項４記載の保護部材形成装置。
6. 第４制御部をさらに備え、
   該第４制御部は、該ガラステーブル、該シート保持部、該カメラおよび該紫外線照射部を下降させて、該ガラステーブルの下面と該ウェーハ保持面との間に僅かな隙間を形成した状態で、該紫外線照射部から該ガラステーブルを介して該ウェーハ保持面に紫外線を照射して、該カメラによって該ウェーハ保持面を撮像することによって第４撮像画を取得し、
   該第４撮像画内に、該所定の波長以上の波長の光に応じた画像が含まれていたら、該ウェーハ保持面に液状樹脂が付着していると判断する第４判断部をさらに備える、
   請求項４又は５記載の保護部材形成装置。