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JP7804808B2 - Cleaning method for tin-containing water-soluble flux - Google Patents
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JP7804808B2 - Cleaning method for tin-containing water-soluble flux - Google Patents

Cleaning method for tin-containing water-soluble flux

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JP7804808B2 JP2025050291A JP2025050291A JP7804808B2 JP 7804808 B2 JP7804808 B2 JP 7804808B2 JP 2025050291 A JP2025050291 A JP 2025050291A JP 2025050291 A JP2025050291 A JP 2025050291A JP 7804808 B2 JP7804808 B2 JP 7804808B2
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Description

本開示は、スズ含有水溶性フラックスの洗浄方法、及びスズ析出防止剤に関する。 This disclosure relates to a method for cleaning tin-containing water-soluble flux and a tin deposition inhibitor.

半導体パッケージ等の電子基板の回路を形成する電極には、製造コストを低減する為に、銅、銅合金等の金属が用いられている。 To reduce manufacturing costs, metals such as copper and copper alloys are used for the electrodes that form the circuits of electronic substrates such as semiconductor packages.

プリント配線板の実装方法として、実装密度を向上させた表面実装が広く採用されている。実装密度を向上するために、基板上の配線と電子素子の端子間にナノ金属ペーストを塗布し、加熱によりナノ金属を溶融及び固化させ、基板上の配線と電子素子の端子間を結合させる技術が知られている。 Surface mounting, which improves mounting density, is widely used as a mounting method for printed wiring boards. One known technique for improving mounting density involves applying a nanometal paste between the wiring on the board and the terminals of the electronic element, then melting and solidifying the nanometal by heating, thereby bonding the wiring on the board and the terminals of the electronic element.

一方、はんだ(半田)付け後の電子部品のはんだフラックスやレジストを洗浄する技術が知られている。
例えば、特許文献1には、半田フラックスと、ドライフィルムレジストと、を同時洗浄することが可能な両用洗浄剤であって、全体量に対して、ベンジルアルコールの添加量を5~94重量%、アミン化合物を1~50重量%、かつ、水を3~90重量%とすることを特徴とする両用洗浄剤が提案されている。
特許文献2には、水100重量部に対して、グリコールエーテル化合物を5~100重量部含む、鉛フリーはんだ水溶性フラックス用洗浄剤が提案されている。
特許文献3には、洗浄剤組成物100質量部中、特定の第四級アンモニウム水酸化物を0.5質量部以上3.0質量部以下含有し、水溶性アミンを3.0質量部以上10.0質量部以下含有し、酸又はそのアンモニウム塩を0.3質量部以上2.5質量部以下含有し、水を50.0質量部以上95.0質量部以下含有する、樹脂マスク層用洗浄剤組成物が提案されている。
On the other hand, there is known a technique for cleaning solder flux and resist from electronic components after soldering.
For example, Patent Document 1 proposes a dual-purpose cleaner capable of simultaneously cleaning solder flux and dry film resist, characterized in that the amounts of benzyl alcohol added are 5 to 94 wt %, amine compound is 1 to 50 wt %, and water is 3 to 90 wt % relative to the total weight.
Patent Document 2 proposes a cleaning agent for lead-free solder water-soluble flux, which contains 5 to 100 parts by weight of a glycol ether compound per 100 parts by weight of water.
Patent Document 3 proposes a cleaning composition for a resin mask layer, which contains, per 100 parts by mass of the cleaning composition, 0.5 to 3.0 parts by mass of a specific quaternary ammonium hydroxide, 3.0 to 10.0 parts by mass of a water-soluble amine, 0.3 to 2.5 parts by mass of an acid or an ammonium salt thereof, and 50.0 to 95.0 parts by mass of water.

特開2007-224165号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-224165 国際公開第2011/027673号International Publication No. 2011/027673 特開2015-79244号公報JP 2015-79244 A

スズ(Sn)を含むはんだを使用して実装した電子部品上に残存する水溶性フラックスは、水系洗浄剤により容易に洗浄(除去)できることが知られている。しかし、洗浄前の水溶性フラックスにははんだのスズが溶出して溶解している。このため、このような水溶性フラックスを水で洗浄及びリンスを行い、その後乾燥させると、水溶性フラックス中に溶出・溶解していたスズが不溶性のスズ化合物(例えば、SnO、SnO2等のスズ酸化物)となって析出することがある(スズの再析出)。不溶性のスズ化合物(スズ析出物)は、絶縁抵抗の低下や製品の性能低下といった電子部品の電気的信頼性の低下につながるという問題がある。
そのため、スズを含むはんだを使用して実装した電子部品を洗浄する際に水溶性フラックス除去性(洗浄性)を維持しつつ、不溶性のスズ析出物の発生や成長を抑制できる洗浄剤や洗浄方法が求められる。
本発明者らは、水溶性フラックス洗浄剤自体のはんだ中の未溶出スズ(0価のスズ)に対する溶解性を抑制でき、かつ、洗浄時及びリンス時において溶出状態のスズ(例えば、2価や4価のスズ)に対する溶解性を維持することができれば、不溶性のスズ析出物の発生や成長を抑制できることを見出した。
It is known that water-soluble flux remaining on electronic components mounted using solder containing tin (Sn) can be easily cleaned (removed) using aqueous cleaners. However, tin from the solder is dissolved and dissolved in the water-soluble flux before cleaning. Therefore, when such water-soluble flux is cleaned and rinsed with water and then dried, the tin dissolved and dissolved in the water-soluble flux may precipitate as insoluble tin compounds (e.g., tin oxides such as SnO and SnO2 ) (tin reprecipitation). These insoluble tin compounds (tin precipitates) can lead to problems such as reduced insulation resistance and reduced product performance, which can reduce the electrical reliability of electronic components.
Therefore, there is a need for cleaning agents and methods that can suppress the generation and growth of insoluble tin deposits while maintaining the ability to remove water-soluble flux (cleaning performance) when cleaning electronic components mounted using solder containing tin.
The inventors have found that if the solubility of the water-soluble deflux chemical itself in undissolved tin (zerovalent tin) in solder can be suppressed and the solubility of dissolved tin (e.g., divalent or tetravalent tin) can be maintained during cleaning and rinsing, the generation and growth of insoluble tin precipitates can be suppressed.

そこで、本開示は、スズを含むはんだを使用して実装した電子部品の洗浄において、未溶出のスズ(0価のスズ)に対する溶解性を抑制でき、かつ、洗浄時及びリンス時において溶出状態のスズ(例えば、2価や4価のスズ)に対する溶解性を維持することができる組成物を用いたスズ含有水溶性フラックスの洗浄方法及びスズ析出物防止剤を提供する。 The present disclosure provides a cleaning method for tin-containing water-soluble flux and a tin precipitate inhibitor using a composition that can suppress the solubility of undissolved tin (zerovalent tin) when cleaning electronic components mounted using tin-containing solder, and that can maintain the solubility of dissolved tin (e.g., divalent or tetravalent tin) during cleaning and rinsing.

本開示は、一態様において、有機溶剤(成分A)と、第四級アンモニウム水酸化物及びアミン化合物から選ばれる少なくとも1種のアルカリ化合物(成分B)と、水(成分C)と、を含有する組成物で、スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板を処理する洗浄工程を含み、下記導電率Iに対する下記導電率IIの比率[II/I]が0.03以上1.0以下の範囲である、スズ含有水溶性フラックスの洗浄方法に関する。
導電率I:前記洗浄工程で前記基板の処理に使用する組成物の導電率
導電率II:前記洗浄工程で前記基板の処理に使用する組成物を100倍希釈したときの導電率
In one aspect, the present disclosure relates to a method for cleaning a tin-containing water-soluble flux, the method comprising a cleaning step of treating a substrate having tin-containing water-soluble flux residue with a composition containing an organic solvent (component A), at least one alkali compound (component B) selected from a quaternary ammonium hydroxide and an amine compound, and water (component C), wherein the ratio [II/I] of the following electrical conductivity II to the following electrical conductivity I is in the range of 0.03 or more and 1.0 or less.
Conductivity I: Conductivity of the composition used to treat the substrate in the cleaning step Conductivity II: Conductivity when the composition used to treat the substrate in the cleaning step is diluted 100 times

本開示は、一態様において、有機溶剤(成分A)と、第四級アンモニウム水酸化物及びアミン化合物から選ばれる少なくとも1種のアルカリ化合物(成分B)と、水(成分C)と、を含有するスズ析出防止剤に関する。 In one aspect, the present disclosure relates to a tin deposition inhibitor containing an organic solvent (component A), at least one alkali compound selected from quaternary ammonium hydroxides and amine compounds (component B), and water (component C).

本開示は、一態様において、本開示の洗浄方法を用いるフラックス洗浄工程を有する、電子部品の製造方法に関する。 In one aspect, the present disclosure relates to a method for manufacturing electronic components, which includes a flux cleaning step using the cleaning method of the present disclosure.

本開示によれば、スズを含むはんだを使用して実装した電子部品の洗浄において、未溶出のスズ(0価のスズ)に対する溶解性を抑制でき、かつ、洗浄時及びリンス時において溶出状態のスズ(例えば、2価や4価のスズ)に対する溶解性を維持することができる組成物を用いたスズ含有水溶性フラックスの洗浄方法及びスズ析出物防止剤を提供できる。 This disclosure provides a cleaning method for tin-containing water-soluble flux and a tin precipitate inhibitor that use a composition that can suppress the solubility of undissolved tin (zerovalent tin) when cleaning electronic components mounted using tin-containing solder, while maintaining the solubility of dissolved tin (e.g., divalent or tetravalent tin) during cleaning and rinsing.

本発明者らは、有機溶剤とアルカリ化合物とを含有する組成物であって、基板処理に使用する組成物の導電率Iと該基板処理に使用する組成物を100倍希釈したときの導電率IIとの比率[II/I]が特定の範囲内となる組成物を、スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板の処理に用いることで、前記組成物が、未溶出のスズ(0価のスズ)に対する溶解性を抑制でき、かつ、洗浄時及びリンス時において溶出/溶解状態のスズ(例えば、2価や4価のスズ)に対する溶解性を維持することができ、これにより、水溶性フラックス除去性を維持しつつ、不溶性のスズ析出物の発生を抑制できるという知見に基づく。 The inventors have discovered that by using a composition containing an organic solvent and an alkaline compound, where the ratio [II/I] of the electrical conductivity I of the composition used in substrate processing to the electrical conductivity II when the composition used in substrate processing is diluted 100 times, falls within a specific range, to process a substrate having tin-containing water-soluble flux residue, the composition can suppress the solubility of undissolved tin (zerovalent tin) and maintain the solubility of dissolved/dissolved tin (e.g., divalent or tetravalent tin) during cleaning and rinsing, thereby suppressing the formation of insoluble tin precipitates while maintaining the ability to remove water-soluble flux.

すなわち、本開示は、一態様において、有機溶剤(成分A)と、第四級アンモニウム水酸化物及びアミン化合物から選ばれる少なくとも1種のアルカリ化合物(成分B)と、水(成分C)と、を含有する組成物(以下、「本開示の組成物」ともいう)で、スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板を処理する洗浄工程を含み、下記導電率Iに対する下記導電率IIの比率[II/I]が0.03以上1.0以下の範囲である、スズ含有水溶性フラックスの洗浄方法(以下、「本開示の洗浄方法」ともいう)に関する。
導電率I:前記洗浄工程で前記基板の処理に使用する組成物の導電率
導電率II:前記洗浄工程で前記基板の処理に使用する組成物を100倍希釈したときの導電率
That is, in one aspect, the present disclosure relates to a method for cleaning a tin-containing water-soluble flux (hereinafter also referred to as the "cleaning method of the present disclosure"), which includes a cleaning step of treating a substrate having tin-containing water-soluble flux residue with a composition (hereinafter also referred to as the "composition of the present disclosure") containing an organic solvent (component A), at least one alkali compound (component B) selected from a quaternary ammonium hydroxide and an amine compound, and water (component C), wherein the ratio [II/I] of the electrical conductivity II below to the electrical conductivity I below is in the range of 0.03 or more and 1.0 or less.
Conductivity I: Conductivity of the composition used to treat the substrate in the cleaning step Conductivity II: Conductivity when the composition used to treat the substrate in the cleaning step is diluted 100 times

本開示によれば、一又は複数の実施形態において、スズを含むはんだを使用して実装した電子部品の洗浄において、未溶出のスズ(0価のスズ)に対する溶解性を抑制でき、かつ、洗浄時及びリンス時において溶出/溶解状態のスズ(例えば、2価や4価のスズ)に対する溶解性を維持することができる組成物を用いたスズ含有水溶性フラックスの洗浄方法を提供できる。 In one or more embodiments, the present disclosure provides a cleaning method for a tin-containing water-soluble flux using a composition that can suppress the solubility of undissolved tin (zerovalent tin) and maintain the solubility of dissolved/dissolved tin (e.g., divalent or tetravalent tin) during cleaning and rinsing when cleaning electronic components mounted using tin-containing solder.

本開示の効果発現の作用メカニズムの詳細は不明な部分はあるが、以下のように推察される。
スズは、はんだ合金の主成分として用いられており、強アルカリの液体によって腐食されることがよく知られている。強アルカリの液体中に溶解したスズ成分は、不溶性のスズ析出物の前駆体であり、不溶性のスズ析出物の発生が促進されると考えられる。部材に対してダメージが加わるという観点からも、0価のスズは溶解しないことが好ましい。
一方、基板を加熱する工程で、はんだ表面に存在する酸化スズが水溶性フラックス中に溶出/溶解することが知られている(引用文献:特開2000-042786号公報、0009段落)。既に溶解しているスズイオンも不溶性のスズ析出物の前駆体であり、はんだ上からスズイオンが除去されるまでの間(スズを含むはんだを使用して実装した電子部品の洗浄工程、リンス工程及び乾燥工程を含む期間)、スズイオンとしての状態を維持する必要がある。
本開示の洗浄方法では、有機溶剤とアルカリ化合物とを含有する組成物であって、基板処理に使用する組成物の導電率Iと該基板処理に使用する組成物を100倍希釈したときの導電率IIとの比率[II/I]が特定の範囲内となる組成物を用いて、スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板を処理することで、0価のスズの溶解を抑制しつつ、酸化スズから発生したスズイオンは洗浄工程、リンス工程及び乾燥工程を含む期間中にスズイオンとしての状態を維持できることから、不溶性のスズ析出物の発生防止に優れるものと考えられる。
ただし、本開示はこのメカニズムに限定して解釈されなくてもよい。
Although the details of the mechanism of action by which the effects of the present disclosure are manifested are still unclear, it is speculated as follows.
Tin is used as a main component of solder alloys and is well known to be corroded by strong alkaline liquids. Tin components dissolved in strong alkaline liquids are precursors of insoluble tin precipitates, and it is thought that the formation of insoluble tin precipitates is promoted. From the viewpoint of preventing damage to components, it is preferable that zero-valent tin does not dissolve.
On the other hand, it is known that tin oxide present on the solder surface dissolves/elutes into the water-soluble flux during the process of heating the substrate (cited in JP 2000-042786 A, paragraph 0009). The already dissolved tin ions are also precursors of insoluble tin precipitates, and must remain in the form of tin ions until they are removed from the solder (a period including the cleaning, rinsing, and drying processes for electronic components mounted using tin-containing solder).
In the cleaning method of the present disclosure, a substrate having tin-containing water-soluble flux residue is treated with a composition containing an organic solvent and an alkaline compound, wherein the ratio [II/I] of the electrical conductivity I of the composition used for substrate treatment to the electrical conductivity II when the composition used for substrate treatment is diluted 100 times is within a specific range. This composition suppresses dissolution of zero-valent tin while allowing tin ions generated from tin oxide to remain in the state of tin ions throughout the period including the cleaning step, rinsing step, and drying step, and is therefore considered to be excellent at preventing the generation of insoluble tin precipitates.
However, the present disclosure need not be construed as being limited to this mechanism.

本開示において「スズ含有水溶性フラックス残渣」とは、水溶性フラックスを用いてはんだバンプを形成した後の基板、及び/又は水溶性フラックスを用いてはんだ付けをした後の基板等に残存する水溶性フラックス由来の残渣をいう。例えば、回路基板上に他の部品(例えば、半導体チップ、チップ型コンデンサ、他の回路基板等)が積層して搭載されると前記回路基板と前記他の部品との間に空間(隙間)が形成される。前記搭載のために使用される水溶性フラックスは、リフロー等によりはんだ付けされた後に、フラックス残渣としてこの隙間にも残存しうる。
本開示において「組成物」は、一又は複数の実施形態において、水溶性フラックスを用いてはんだバンプを形成及び/又ははんだ付けした後の水溶性フラックス残渣を洗浄し除去するための洗浄剤組成物である。
はんだバンプの形成及び/又ははんだ付けに使用された水溶性フラックス(洗浄し除去されるべき水溶性フラックスル残渣)には、はんだ中のスズ(0価のスズ)の溶出に起因して、溶解状態のスズ(例えば、2価や4価のスズ)が含まれうる。
本開示の組成物の処理(洗浄)対象であるスズ含有水溶性フラックス残渣としては、例えば、(ア)粉末状のはんだと水溶性フラックスとからなるクリームはんだではんだ付けした後に生成する水溶性フラックス残渣、(イ)はんだで形成された電極を、水溶性フラックスを介してはんだ付けした後に生ずる水溶性フラックス残渣等を含むものである。
In the present disclosure, "tin-containing water-soluble flux residue" refers to residue derived from water-soluble flux remaining on a substrate after forming solder bumps using the water-soluble flux and/or on a substrate after soldering using the water-soluble flux. For example, when other components (e.g., semiconductor chips, chip-type capacitors, other circuit boards, etc.) are stacked and mounted on a circuit board, a space (gap) is formed between the circuit board and the other components. The water-soluble flux used for the mounting may remain in this gap as flux residue after soldering by reflow or the like.
In one or more embodiments, the "composition" in this disclosure is a cleaning composition for cleaning and removing water-soluble flux residue after forming and/or soldering a solder bump using the water-soluble flux.
The water-soluble flux used in forming and/or soldering the solder bumps (water-soluble flux residue to be cleaned and removed) may contain dissolved tin (e.g., divalent or tetravalent tin) due to the dissolution of tin (zerovalent tin) in the solder.
Examples of tin-containing water-soluble flux residues that can be treated (cleaned) with the composition of the present disclosure include (a) water-soluble flux residues that are generated after soldering with a solder cream made of powdered solder and water-soluble flux, and (b) water-soluble flux residues that are generated after soldering an electrode made of solder via a water-soluble flux.

本開示において、「はんだ」は、一又は複数の実施形態において、スズを含むはんだである。スズを含むはんだとしては、例えば、Sn-Ag系はんだ、Sn-Cu系はんだ、Sn-Ag-Cu系はんだ、Sn-Zn系はんだ、Sn-Sb系はんだ等のスズを含む鉛(Pb)フリーはんだが挙げられる。 In this disclosure, in one or more embodiments, "solder" refers to solder containing tin. Examples of solder containing tin include lead (Pb)-free solders containing tin, such as Sn-Ag solder, Sn-Cu solder, Sn-Ag-Cu solder, Sn-Zn solder, and Sn-Sb solder.

本開示において「水溶性フラックス」とは、電極や配線等の金属とはんだ金属との接続を妨げる酸化物を取り除き、前記接続を促進するために用いられる、ロジンを含まない水溶性フラックス等をいう。
上記水溶性フラックスとしては、例えば、樹脂、活性剤及び溶剤を主成分として含有する組成物が挙げられる。
上記水溶性フラックスに含まれる樹脂としては、例えば、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、及びそれらのコポリマー、並びにそれらの誘導体;ポリグリセリンエステル化合物;トリアジン系化合物;ビニル基含有化合物;カルボキシル基含有化合物;エポキシ基含有化合物:等が挙げられる。
上記水溶性フラックスに含まれる活性剤としては、例えば、ハロゲン化合物、有機酸、アミン化合物、アミン塩、アミノ酸、アミド化合物等が挙げられる。アミン化合物としては、モノアルカノールアミン、ジアルカノールアミン、トリアルカノールアミン等が挙げられる。
上記水溶性フラックスに含まれる溶剤としては、例えば、水、脂肪族アルコール、芳香族アルコール、グリコール、多価アルコール等が挙げられる。
上記水溶性フラックスとしては、リフロー等の加熱処理前の基板への塗布の時点で、水へ溶解あるいは分散するフラックスであって、好ましくは20℃における水への溶解度が1質量%以上の水溶性フラックスである。
In the present disclosure, the term "water-soluble flux" refers to a water-soluble flux that does not contain rosin and is used to remove oxides that interfere with the connection between the metal of an electrode, wiring, etc. and the solder metal, and to promote the connection.
The water-soluble flux may be, for example, a composition containing a resin, an activator, and a solvent as main components.
Examples of resins contained in the water-soluble flux include polyethylene glycol, polypropylene glycol, copolymers thereof, and derivatives thereof; polyglycerin ester compounds; triazine compounds; vinyl group-containing compounds; carboxyl group-containing compounds; and epoxy group-containing compounds.
Examples of the activator contained in the water-soluble flux include halogen compounds, organic acids, amine compounds, amine salts, amino acids, amide compounds, etc. Examples of the amine compounds include monoalkanolamines, dialkanolamines, trialkanolamines, etc.
Examples of the solvent contained in the water-soluble flux include water, aliphatic alcohols, aromatic alcohols, glycols, and polyhydric alcohols.
The water-soluble flux is a flux that dissolves or disperses in water when applied to the substrate before heat treatment such as reflow, and is preferably a water-soluble flux whose solubility in water at 20°C is 1 mass % or more.

[洗浄工程]
本開示の洗浄方法に含まれる洗浄工程は、スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板(被洗浄物)を本開示の組成物で処理する洗浄工程(以下、単に「洗浄工程」ともいう)である。
ここで「処理」とは、一又は複数の実施形態において、被洗浄物を洗浄すること、被洗浄物からスズ含有水溶性残渣を除去することを含む。前記処理は、一又は複数の実施形態において、ドライフィルムレジストを洗浄又は除去することを含まない。すなわち、前記洗浄工程は、一又は複数の実施形態において、水溶性フラックス(スズ含有水溶性フラックス残渣)とドライフィルムレジストを同時に洗浄又は除去することを含まない。
本開示の洗浄方法によれば、一又は複数の実施形態において、本開示の組成物が未溶出のスズ(0価のスズ)に対する溶解性を抑制でき、かつ、洗浄時及びリンス時において溶出状態のスズ(例えば、2価や4価のスズ)に対する溶解性を維持することができ、それにより、スズを含むはんだを使用して実装した電子部品の洗浄において、不溶性のスズ析出物の発生を抑制できる。本開示の洗浄方法によれば、一又は複数の実施形態において、はんだ付けした部品の隙間に残存するスズ含有水溶性フラックス残渣を効率よく洗浄しつつ、不溶性のスズ析出物の発生を抑制することができる。
[Cleaning process]
The cleaning step included in the cleaning method of the present disclosure is a cleaning step (hereinafter also simply referred to as the "cleaning step") in which a substrate (object to be cleaned) having tin-containing water-soluble flux residue is treated with the composition of the present disclosure.
Here, in one or more embodiments, the term "treatment" includes cleaning the object to be cleaned and removing tin-containing water-soluble residue from the object to be cleaned. In one or more embodiments, the treatment does not include cleaning or removing dry film resist. That is, in one or more embodiments, the cleaning step does not include simultaneously cleaning or removing water-soluble flux (tin-containing water-soluble flux residue) and dry film resist.
According to the cleaning method of the present disclosure, in one or more embodiments, the composition of the present disclosure can suppress the solubility of undissolved tin (zerovalent tin) and can maintain the solubility of dissolved tin (e.g., divalent or tetravalent tin) during cleaning and rinsing, thereby suppressing the formation of insoluble tin precipitates when cleaning electronic components mounted using tin-containing solder. According to the cleaning method of the present disclosure, in one or more embodiments, the formation of insoluble tin precipitates can be suppressed while efficiently cleaning tin-containing water-soluble flux residue remaining in gaps between soldered components.

前記洗浄工程は、一又は複数の実施形態において、被洗浄物を本開示の組成物に接触させることを含む。本開示において「接触」は、一又は複数の実施形態において、被洗浄物を組成物に浸漬すること、及び、被洗浄物を組成物でシャワー洗浄することを含む。
被洗浄物に本開示の組成物を接触させる方法、被洗浄物を本開示の組成物で処理する方法、被洗浄物を本開示の組成物で洗浄する方法としては、例えば、超音波洗浄装置の浴槽内で接触させる方法、組成物をスプレー状に射出して接触させる方法(シャワー方式)等が挙げられる。本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、希釈することなくそのまま処理又は洗浄に使用できる。
In one or more embodiments, the cleaning step includes contacting the object to be cleaned with the composition of the present disclosure. In one or more embodiments, "contact" in the present disclosure includes immersing the object to be cleaned in the composition and shower-washing the object to be cleaned with the composition.
Examples of methods for contacting an object to be cleaned with a composition of the present disclosure, treating an object to be cleaned with a composition of the present disclosure, and cleaning an object to be cleaned with a composition of the present disclosure include a method for contacting the object in a bathtub of an ultrasonic cleaning device, a method for contacting the object by spraying the composition in a spray form (shower method), etc. In one or more embodiments, the composition of the present disclosure can be used for treatment or cleaning as is without dilution.

前記洗浄工程は、一又は複数の実施形態において、前記被洗浄物を本開示の組成物に浸漬することを含む。
被洗浄物を本開示の組成物に接触又は浸漬させる時間(接触時間又は浸漬時間)は、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点から、1分以上が好ましく、3分以上がより好ましく、5分以上が更に好ましく、そして、3時間以下が好ましく、2時間以下がより好ましく、1時間以下が更に好ましい。同様の観点から、接触時間又は浸漬時間は、1分以上3時間以下が好ましく、3分以上2時間以下がより好ましく、5分以上1時間以下が更に好ましい。
被洗浄物に接触又は浸漬させる本開示の組成物の温度(接触温度又は浸漬温度)は、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点から、10℃以上が好ましく、20℃以上がより好ましく、30℃以上が更に好ましく、40℃以上が更に好ましく、そして、不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点、及び、扱いの安全性や装置負荷低減の観点から、80℃以下が好ましく、70℃以下がより好ましく、60℃以下が更に好ましい。同様の観点から、接触温度又は浸漬温度は、10℃以上80℃以下が好ましく、20℃以上70℃以下がより好ましく、30℃以上60℃以下が更に好ましく、40℃以上60℃以下が更に好ましい。
したがって、前記洗浄工程は、一又は複数の実施形態において、被洗浄物を10℃以上80℃以下の組成物に接触させる又は浸漬することを含むものである。
In one or more embodiments, the cleaning step includes immersing the object to be cleaned in the composition of the present disclosure.
The time for which the object to be cleaned is contacted or immersed in the composition of the present disclosure (contact time or immersion time) is preferably 1 minute or longer, more preferably 3 minutes or longer, even more preferably 5 minutes or longer, and preferably 3 hours or shorter, more preferably 2 hours or shorter, and even more preferably 1 hour or shorter, from the viewpoint of improving the removability of tin-containing water-soluble flux. From the same viewpoint, the contact time or immersion time is preferably 1 minute or longer and 3 hours or shorter, more preferably 3 minutes or longer and 2 hours or shorter, and even more preferably 5 minutes or longer and 1 hour or shorter.
The temperature of the composition of the present disclosure that is brought into contact with or immersed in the object to be cleaned (contact temperature or immersion temperature) is preferably 10° C. or higher, more preferably 20° C. or higher, even more preferably 30° C. or higher, and even more preferably 40° C. or higher, from the viewpoint of improving the removability of tin-containing water-soluble flux, and from the viewpoint of suppressing the generation of insoluble tin precipitates, and from the viewpoints of handling safety and reducing the load on the equipment, it is preferably 80° C. or lower, more preferably 70° C. or lower, and even more preferably 60° C. or lower. From the same viewpoint, the contact temperature or immersion temperature is preferably 10° C. or higher and 80° C. or lower, more preferably 20° C. or higher and 70° C. or lower, even more preferably 30° C. or higher and 60° C. or lower, and even more preferably 40° C. or higher and 60° C. or lower.
Therefore, in one or more embodiments, the cleaning step includes contacting or immersing the object to be cleaned in a composition at a temperature of 10°C or higher and 80°C or lower.

前記洗浄工程は、一又は複数の実施形態において、スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板(被洗浄物)を、洗浄機を用いて洗浄することを含む。洗浄機としては、例えば、浸漬洗浄機、超音波洗浄機、揺動洗浄機、スプレー洗浄機、真空洗浄機、真空超音波洗浄機等が挙げられる。 In one or more embodiments, the cleaning step includes cleaning a substrate (object to be cleaned) having tin-containing water-soluble flux residue using a cleaning machine. Examples of cleaning machines include immersion cleaners, ultrasonic cleaners, vibration cleaners, spray cleaners, vacuum cleaners, and vacuum ultrasonic cleaners.

本開示の洗浄方法は、本開示の組成物の洗浄力が発揮されやすい点から、本開示の組成物と被洗浄物との接触時に超音波を照射することが好ましく、その超音波は比較的強いものであることがより好ましい。 In the cleaning method of the present disclosure, it is preferable to irradiate the composition of the present disclosure with ultrasonic waves when it comes into contact with the object to be cleaned, as this makes it easier for the cleaning power of the composition of the present disclosure to be exerted, and it is more preferable that the ultrasonic waves be relatively strong.

本開示の洗浄方法は、一又は複数の実施形態において、本開示の組成物に被洗浄物を接触させた後(洗浄工程の後)、水及び/又はメタノール等のアルコール又はハロゲン系溶剤等でリンスする工程(リンス工程)、乾燥する工程(乾燥工程)を含むことが好ましい。 In one or more embodiments, the cleaning method of the present disclosure preferably includes, after contacting the object to be cleaned with the composition of the present disclosure (after the cleaning step), a step of rinsing with water and/or an alcohol such as methanol or a halogenated solvent (rinsing step), and a step of drying (drying step).

[組成物]
前記洗浄工程で用いる本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、後述する成分Aと成分Bと成分Cとを含有する又は配合してなるものであり、必要に応じて後述する任意成分(成分D、成分E、その他の成分)をさらに含有する又は配合してなるものとすることができる。本開示において、「成分Aと成分Bと成分Cとを含有する又は配合してなる」とは、成分A、成分B及び成分Cだけでなく、必要に応じて任意成分をさらに含有又は配合できることを意味する。
前記洗浄工程で用いる本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板(被洗浄物)から該スズ含有水溶性フラックス残渣を除去するための洗浄剤として使用することができる。したがって、本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、スズ含有水溶性フラックス残渣除去用洗浄剤組成物である。
[Composition]
In one or more embodiments, the composition of the present disclosure used in the cleaning step contains or is blended with the components A, B, and C described below, and may further contain or be blended with optional components (component D, component E, and other components) described below as needed. In the present disclosure, "containing or being blended with components A, B, and C" means that in addition to components A, B, and C, optional components may further be contained or blended as needed.
In one or more embodiments, the composition of the present disclosure used in the cleaning step can be used as a cleaning agent for removing tin-containing water-soluble flux residue from a substrate (object to be cleaned) having the tin-containing water-soluble flux residue. Thus, in one or more embodiments, the composition of the present disclosure is a cleaning agent composition for removing tin-containing water-soluble flux residue.

(組成物の導電率)
本開示において、前記洗浄工程でスズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板(被洗浄物)の処理に使用する組成物の導電率I(以下、単に「導電率I」ともいう)は、一又は複数の実施形態において、溶出状態のスズ(例えば、2価や4価のスズ)に対する溶解性を維持する観点から、1mS/m以上が好ましく、10mS/m以上がより好ましく、30mS/m以上が更に好ましく、そして、部材ダメージを抑制する観点から、250mS/m以下が好ましく、200mS/m以下がより好ましく、150mS/m以下が更に好ましい。導電率Iは、一又は複数の実施形態において、部材ダメージを抑制する観点から、400mS/m以下が好ましく、350mS/m以下がより好ましく、300mS/m以下が更に好ましい。導電率Iは、一又は複数の実施形態において、100mS/m以下であってもよく、50mS/m以下であってもよい。
より具体的には、導電率Iは、一又は複数の実施形態において、1mS/m以上250mS/m以下が好ましく、10mS/m以上200mS/m以下がより好ましく、30mS/m以上150mS/m以下が更に好ましい。導電率Iは、一又は複数の実施形態において、1mS/m以上400mS/m以下が好ましく、10mS/m以上350mS/m以下がより好ましく、30mS/m以上300mS/m以下が更に好ましい。
本開示において、前記洗浄工程で前記基板(被洗浄物)の処理に使用する組成物を100倍希釈したときの導電率II(以下、単に「導電率II」ともいう)は、一又は複数の実施形態において、溶出状態のスズ(例えば、2価や4価のスズ)に対する溶解性を維持する観点から、0.5mS/m以上が好ましく、1.0mS/m以上がより好ましく、2mS/m以上が更に好ましく、そして、部材ダメージを抑制する観点から、20mS/m以下が好ましく、15mS/m以下がより好ましく、10mS/m以下が更に好ましい。
導電率IIは、一又は複数の実施形態において、溶出状態のスズ(例えば、2価や4価のスズ)に対する溶解性を維持する観点から、0.5mS/m以上が好ましく、1.0mS/m以上がより好ましく、2mS/m以上が更に好ましく、そして、部材ダメージを抑制する観点から、50mS/m以下が好ましく、40mS/m以下がより好ましく、30mS/m以下が更に好ましい。
より具体的には、導電率IIは、一又は複数の実施形態において、0.5mS/m以上20mS/m以下が好ましく、1.0mS/m以上15mS/m以下がより好ましく、2mS/m以上10mS/m以下が更に好ましい。導電率IIは、一又は複数の実施形態において、0.5mS/m以上50mS/m以下が好ましく、1.0mS/m以上40mS/m以下がより好ましく、2mS/m以上30mS/m以下が更に好ましい。
本開示において、導電率Iに対する導電率IIの比率[II/I]は、不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点から、0.03以上であって、0.05以上が好ましく、0.07以上がより好ましく、そして、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点から、1.0以下であって、1.0未満が好ましく、0.5以下が好ましく、0.3以下がより好ましい。より具体的には、導電率比[II/I]は、0.03以上1.0以下の範囲であって、0.05以上0.5以下の範囲が好ましく、0.07以上0.3以下の範囲がより好ましい。
本開示における導電率I及びIIは、一又は複数の実施形態において、成分Bの濃度で調整できる。
本開示において、導電率は、実施例に記載の方法により算出できる。
(Conductivity of Composition)
In the present disclosure, the electrical conductivity I (hereinafter also simply referred to as "electrical conductivity I") of the composition used in the cleaning process to treat a substrate (object to be cleaned) having tin-containing water-soluble flux residue is preferably 1 mS/m or more, more preferably 10 mS/m or more, and even more preferably 30 mS/m or more, from the viewpoint of maintaining solubility of eluted tin (e.g., divalent or tetravalent tin). Also, from the viewpoint of suppressing component damage, the electrical conductivity I is preferably 250 mS/m or less, more preferably 200 mS/m or less, and even more preferably 150 mS/m or less. In one or more embodiments, the electrical conductivity I is preferably 400 mS/m or less, more preferably 350 mS/m or less, and even more preferably 300 mS/m or less, from the viewpoint of suppressing component damage. In one or more embodiments, the electrical conductivity I may be 100 mS/m or less, or may be 50 mS/m or less.
More specifically, in one or more embodiments, the conductivity I is preferably 1 mS/m or more and 250 mS/m or less, more preferably 10 mS/m or more and 200 mS/m or less, and even more preferably 30 mS/m or more and 150 mS/m or less. In one or more embodiments, the conductivity I is preferably 1 mS/m or more and 400 mS/m or less, more preferably 10 mS/m or more and 350 mS/m or less, and even more preferably 30 mS/m or more and 300 mS/m or less.
In one or more embodiments of the present disclosure, the electrical conductivity II (hereinafter also simply referred to as "electrical conductivity II") when the composition used to treat the substrate (object to be cleaned) in the cleaning step is diluted 100 times is, from the viewpoint of maintaining the solubility of eluted tin (e.g., divalent or tetravalent tin), preferably 0.5 mS/m or more, more preferably 1.0 mS/m or more, and even more preferably 2 mS/m or more, and, from the viewpoint of suppressing damage to components, is preferably 20 mS/m or less, more preferably 15 mS/m or less, and even more preferably 10 mS/m or less.
In one or more embodiments, the electrical conductivity II is preferably 0.5 mS/m or more, more preferably 1.0 mS/m or more, and even more preferably 2 mS/m or more, from the viewpoint of maintaining the solubility of eluted tin (e.g., divalent or tetravalent tin), and from the viewpoint of suppressing damage to components, it is preferably 50 mS/m or less, more preferably 40 mS/m or less, and even more preferably 30 mS/m or less.
More specifically, in one or more embodiments, the conductivity II is preferably 0.5 mS/m or more and 20 mS/m or less, more preferably 1.0 mS/m or more and 15 mS/m or less, and even more preferably 2 mS/m or more and 10 mS/m or less. In one or more embodiments, the conductivity II is preferably 0.5 mS/m or more and 50 mS/m or less, more preferably 1.0 mS/m or more and 40 mS/m or less, and even more preferably 2 mS/m or more and 30 mS/m or less.
In the present disclosure, the ratio [II/I] of electrical conductivity II to electrical conductivity I is 0.03 or more, preferably 0.05 or more, and more preferably 0.07 or more, from the viewpoint of suppressing the generation of insoluble tin precipitates, and is 1.0 or less, preferably less than 1.0, preferably 0.5 or less, and more preferably 0.3 or less, from the viewpoint of improving the removability of tin-containing water-soluble flux. More specifically, the electrical conductivity ratio [II/I] is in the range of 0.03 or more and 1.0 or less, preferably 0.05 or more and 0.5 or less, and more preferably 0.07 or more and 0.3 or less.
In one or more embodiments, the conductivities I and II in the present disclosure can be adjusted by the concentration of component B.
In the present disclosure, the electrical conductivity can be calculated by the method described in the Examples.

(成分A:有機溶剤)
本開示の組成物に含まれる又は配合されている有機溶剤(以下、「成分A」ともいう)は、1種でもよいし、2種以上の組合せもよい。
成分Aは、一又は複数の実施形態において、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点から、下記式(I)で表される化合物及び下記式(II)で表される化合物から選ばれる少なくとも1種の溶剤であることが好ましい。
(Component A: organic solvent)
The organic solvent contained or blended in the composition of the present disclosure (hereinafter also referred to as "component A") may be one type or a combination of two or more types.
In one or more embodiments, from the viewpoint of improving the removability of tin-containing water-soluble flux, Component A is preferably at least one solvent selected from the group consisting of compounds represented by the following formula (I) and compounds represented by the following formula (II):

<式(I)で表される化合物>
1-O-(AO)n-R2 (I)
上記式(I)中、R1はフェニル基又は炭素数1以上8以下のアルキル基であり、R2は水素原子又は炭素数1以上4以下のアルキル基であり、AOはエチレンオキシド基又はプロピレンオキシド基であり、nはAOの付加モル数であり、1以上3以下の整数である。
<Compound represented by formula (I)>
R 1 -O-(AO) n -R 2 (I)
In the above formula (I), R1 is a phenyl group or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, R2 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, AO is an ethylene oxide group or a propylene oxide group, and n is the number of moles of AO added and is an integer of 1 to 3.

上記式(I)において、R1は、一又は複数の実施形態において、フェニル基又は炭素数1以上8以下のアルキル基であり、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点から、フェニル基又は炭素数4以上6以下のアルキル基が好ましく、炭素数4以上6以下のアルキル基がより好ましい。
上記式(I)において、R2は、一又は複数の実施形態において、水素原子又は炭素数1以上4以下のアルキル基であり、同様の観点から、水素原子又は炭素数2以上4以下のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。
上記式(I)において、AOは、一又は複数の実施形態において、エチレンオキシ基又はプロピレンオキシ基であり、同様の観点から、エチレンオキシ基が好ましい。
上記式(I)において、nは、一又は複数の実施形態において、1以上3以下の整数であり、同様の観点から、1又は2が好ましく、2がより好ましい。
In the above formula (I), in one or more embodiments, R1 represents a phenyl group or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms. From the viewpoint of improving the removability of the tin-containing water-soluble flux, R1 is preferably a phenyl group or an alkyl group having 4 to 6 carbon atoms, and more preferably an alkyl group having 4 to 6 carbon atoms.
In the above formula (I), in one or more embodiments, R2 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and from the same viewpoint, a hydrogen atom or an alkyl group having 2 to 4 carbon atoms is preferable, and a hydrogen atom is more preferable.
In one or more embodiments, AO in the above formula (I) is an ethyleneoxy group or a propyleneoxy group, and from the same viewpoint, an ethyleneoxy group is preferred.
In the above formula (I), in one or more embodiments, n is an integer of 1 or more and 3 or less, and from the same viewpoint, 1 or 2 is preferable, and 2 is more preferable.

上記式(I)で表される化合物としては、例えば、エチレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールモノフェニルエーテル、トリエチレングリコールモノフェニルエーテル等のモノフェニルエーテル;炭素数1以上8以下のアルキル基を有するエチレングリコールモノアルキルエーテル、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、トリエチレングリコールモノアルキルエーテル等のモノアルキルエーテル;炭素数1以上8以下のアルキル基及び炭素数1以上4以下のアルキル基を有するエチレングリコールジアルキルエーテル、ジエチレングリコールジアルキルエーテル、トリエチレングリコールジアルキルエーテル等のジアルキルエーテル;フェニル基及び炭素数1以上4以下のアルキル基を有するエチレングリコールフェニルアルキルエーテル、ジエチレングリコールフェニルアルキルエーテル、トリエチレングリコールフェニルアルキルエーテル等のフェニルアルキルエーテル;等が挙げられる。これらのなかでも、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点から、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールモノフェニルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテルが好ましく挙げられる。 Examples of compounds represented by formula (I) above include monophenyl ethers such as ethylene glycol monophenyl ether, diethylene glycol monophenyl ether, and triethylene glycol monophenyl ether; monoalkyl ethers having an alkyl group with 1 to 8 carbon atoms, such as ethylene glycol monoalkyl ether, diethylene glycol monoalkyl ether, and triethylene glycol monoalkyl ether; dialkyl ethers having an alkyl group with 1 to 8 carbon atoms and an alkyl group with 1 to 4 carbon atoms, such as ethylene glycol dialkyl ether, diethylene glycol dialkyl ether, and triethylene glycol dialkyl ether; phenyl alkyl ethers having a phenyl group and an alkyl group with 1 to 4 carbon atoms, such as ethylene glycol phenyl alkyl ether, diethylene glycol phenyl alkyl ether, and triethylene glycol phenyl alkyl ether; and the like. Among these, from the viewpoint of improving the removability of tin-containing water-soluble flux, preferred examples include ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monohexyl ether, diethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monophenyl ether, diethylene glycol monophenyl ether, propylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monobutyl ether, tripropylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol dibutyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, and triethylene glycol dimethyl ether.

<式(II)で表される化合物>
3-CH2OH (II)
上記式(II)中、R3はフェニル基、ベンジル基又はシクロヘキシル基である。
<Compound represented by formula (II)>
R 3 -CH 2 OH (II)
In the above formula (II), R3 is a phenyl group, a benzyl group, or a cyclohexyl group.

上記式(II)において、R3は、一又は複数の実施形態において、フェニル基、ベンジル基又はシクロヘキシル基であり、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点から、フェニル基又はシクロヘキシル基が好ましく、フェニル基がより好ましい。 In the above formula (II), in one or more embodiments, R3 represents a phenyl group, a benzyl group, or a cyclohexyl group. From the viewpoint of improving the removability of the tin-containing water-soluble flux, a phenyl group or a cyclohexyl group is preferable, and a phenyl group is more preferable.

上記式(II)で表される化合物としては、例えば、ベンジルアルコール、フェネチルアルコール、及びシクロヘキサンメタノールから選ばれる少なくとも1種が挙げられる。これらのなかでも、上記式(II)で表される化合物としては、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点から、ベンジルアルコールが好ましい。 Examples of the compound represented by formula (II) above include at least one selected from benzyl alcohol, phenethyl alcohol, and cyclohexanemethanol. Of these, benzyl alcohol is preferred as the compound represented by formula (II) above from the viewpoint of improving the removability of tin-containing water-soluble flux.

成分Aとしては、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点から、式(II)で表される化合物が好ましく、ベンジルアルコールがより好ましく挙げられる。 From the viewpoint of improving the removability of tin-containing water-soluble flux, component A is preferably a compound represented by formula (II), and more preferably benzyl alcohol.

本開示の組成物の使用時における成分Aの含有量は、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点から、0質量%超が好ましく、0.1質量%以上がより好ましく、0.2質量%以上が更に好ましく、そして、すすぎ性の観点から、10質量%以下が好ましく、5質量%以下がより好ましく、3質量%以下が更に好ましい。より具体的には、本開示の組成物の使用時における成分Aの含有量は、0質量%超10質量%以下が好ましく、0.1質量%以上5質量%以下がより好ましく、0.2質量%以上3質量%以下が更に好ましい。成分Aが2種以上の組合せである場合、成分Aの含有量はそれらの合計含有量をいう。 From the viewpoint of improving the removability of tin-containing water-soluble flux, the content of component A when using the composition of the present disclosure is preferably greater than 0% by mass, more preferably greater than 0.1% by mass, and even more preferably greater than 0.2% by mass. From the viewpoint of rinsability, the content is preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, and even more preferably 3% by mass or less. More specifically, the content of component A when using the composition of the present disclosure is preferably greater than 0% by mass and 10% by mass or less, more preferably 0.1% by mass or more and 5% by mass or less, and even more preferably 0.2% by mass or more and 3% by mass or less. When component A is a combination of two or more types, the content of component A refers to the total content of those components.

(成分B:アルカリ化合物)
本開示の組成物に含まれる又は配合されているアルカリ化合物は、第四級アンモニウム水酸化物及びアミン化合物から選ばれる少なくとも1種のアルカリ化合物(以下、単に「成分A」ともいう)である。成分Aは、1種でもよいし、2種以上の組合せでもよい。
(Component B: Alkaline Compound)
The alkali compound contained in or blended into the composition of the present disclosure is at least one alkali compound selected from a quaternary ammonium hydroxide and an amine compound (hereinafter, also simply referred to as "Component A"). Component A may be one type or a combination of two or more types.

<第四級アンモニウム水酸化物>
第四級アンモニウム水酸化物としては、一又は複数の実施形態において、第四級アンモニウムカチオンとハイドロキサイドとからなる塩等が挙げられる。カチオンとしては、一又は複数の実施形態において、テトラメチルアンモニウム、テトラエチルアンモニウム、テトラ(n-又はi-)プロピルアンモニウム、テトラ(n-又はi-)ブチルアンモニウム、トリメチルエチルアンモニウム等のテトラアルキルアンモニウムカチオン(アルキルの炭素数1~4)が挙げられ、また、トリメチル(2-ヒドロキシエチル)アンモニウム及びトリエチル(2-ヒドロキシエチル)アンモニウム等のヒドロキシアルキル基を有するアルキルアンモニウムカチオン(アルキルの炭素数1~4)が挙げられる。
<Quaternary ammonium hydroxide>
In one or more embodiments, the quaternary ammonium hydroxide may be a salt composed of a quaternary ammonium cation and hydroxide. In one or more embodiments, examples of the cation include tetraalkylammonium cations (alkyl having 1 to 4 carbon atoms) such as tetramethylammonium, tetraethylammonium, tetra(n- or i-)propylammonium, tetra(n- or i-)butylammonium, and trimethylethylammonium, as well as alkylammonium cations (alkyl having 1 to 4 carbon atoms) having a hydroxyalkyl group such as trimethyl(2-hydroxyethyl)ammonium and triethyl(2-hydroxyethyl)ammonium.

第四級アンモニウム水酸化物は、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点、スズイオンの溶解を維持する観点、及び不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点から、一又は複数の実施形態において、下記式(III)で表される第四級アンモニウム水酸化物であることが好ましい。
上記式(III)中、R4、R5、R6及びR7は、それぞれ独立に、メチル基、エチル基、プロピル基、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基及びヒドロキシプロピル基から選ばれる少なくとも1種である。上記式(III)において、R4、R5、R6及びR7は、スズイオンの溶解を維持する観点から、メチル基が好ましい。
In one or more embodiments, the quaternary ammonium hydroxide is preferably a quaternary ammonium hydroxide represented by the following formula (III), from the viewpoints of improving the removability of the tin-containing water-soluble flux, maintaining the dissolution of tin ions, and suppressing the generation of insoluble tin precipitates:
In the formula (III), R4 , R5 , R6 , and R7 are each independently at least one selected from the group consisting of a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a hydroxymethyl group, a hydroxyethyl group, and a hydroxypropyl group. In the formula (III), R4 , R5 , R6 , and R7 are preferably methyl groups from the viewpoint of maintaining dissolution of tin ions.

上記式(III)で表される第四級アンモニウム水酸化物としては、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、2-ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド(コリン)、2-ヒドロキシエチルトリエチルアンモニウムヒドロキシド、2-ヒドロキシエチルトリプロピルアンモニウムヒドロキシド、2-ヒドロキシプロピルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、2-ヒドロキシプロピルトリエチルアンモニウムヒドロキシド、2-ヒドロキシプロピルトリプロピルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス(2-ヒドロキシエチル)アンモニウムヒドロキシド、ジエチルビス(2-ヒドロキシエチル)アンモニウムヒドロキシド、ジプロピルビス(2-ヒドロキシエチル)アンモニウムヒドロキシド、トリス(2-ヒドロキシエチル)メチルアンモニウムヒドロキシド、トリス(2-ヒドロキシエチル)エチルアンモニウムヒドロキシド、トリス(2-ヒドロキシエチル)プロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラキス(2-ヒドロキシエチル)アンモニウムヒドロキシド、及びテトラキス(2-ヒドロキシプロピル)アンモニウムヒドロキシドから選ばれる少なくとも1種が挙げられる。これらのなかでも、スズイオンの溶解を維持する観点の観点から、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)が好ましい。 Examples of the quaternary ammonium hydroxide represented by formula (III) above include at least one selected from tetramethylammonium hydroxide (TMAH), tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide (choline), 2-hydroxyethyltriethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltripropylammonium hydroxide, 2-hydroxypropyltrimethylammonium hydroxide, 2-hydroxypropyltriethylammonium hydroxide, 2-hydroxypropyltripropylammonium hydroxide, dimethylbis(2-hydroxyethyl)ammonium hydroxide, diethylbis(2-hydroxyethyl)ammonium hydroxide, dipropylbis(2-hydroxyethyl)ammonium hydroxide, tris(2-hydroxyethyl)methylammonium hydroxide, tris(2-hydroxyethyl)ethylammonium hydroxide, tris(2-hydroxyethyl)propylammonium hydroxide, tetrakis(2-hydroxyethyl)ammonium hydroxide, and tetrakis(2-hydroxypropyl)ammonium hydroxide. Among these, tetramethylammonium hydroxide (TMAH) is preferred from the viewpoint of maintaining the dissolution of tin ions.

<アミン化合物>
アミン化合物は、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点、スズイオンの溶解を維持する観点、及び不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点から、一又は複数の実施形態において、下記式(IV)で表されるアミンであることが好ましい。
上記式(IV)中、R8は、水素原子、アルキル基、フェニル基、ベンジル基、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、又はアミノエチル基を示し、R9は、水素原子、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、アルキル基を示し、R10は、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、又はアルキル基を示す。アルキル基としては、例えば、炭素数1以上6以下のアルキル基が挙げられる。
<Amine Compound>
In one or more embodiments, the amine compound is preferably an amine represented by the following formula (IV), from the viewpoints of improving the removability of the tin-containing water-soluble flux, maintaining the dissolution of tin ions, and suppressing the generation of insoluble tin precipitates.
In the above formula (IV), R8 represents a hydrogen atom, an alkyl group, a phenyl group, a benzyl group, a hydroxyethyl group, a hydroxypropyl group, or an aminoethyl group, R9 represents a hydrogen atom, a hydroxyethyl group, a hydroxypropyl group, or an alkyl group, and R10 represents a hydroxyethyl group, a hydroxypropyl group, or an alkyl group. Examples of the alkyl group include alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms.

上記式(IV)において、R8は、一又は複数の実施形態において、水素原子、アルキル基、フェニル基、ベンジル基、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、又はアミノエチル基であり、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点、スズイオンの溶解を維持する観点、及び不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点から、アルキル基が好ましく、炭素数1以上6以下のアルキル基がより好ましく、メチル基又はエチル基が更に好ましい。
9は、一又は複数の実施形態において、水素原子、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、アルキル基であり、同様の観点から、水素原子が好ましい。
10は、一又は複数の実施形態において、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、又はアルキル基であり、同様の観点から、ヒドロキシエチル基又はヒドロキシプロピル基が好ましく、ヒドロキシエチル基がより好ましい。
In the above formula (IV), in one or more embodiments, R8 represents a hydrogen atom, an alkyl group, a phenyl group, a benzyl group, a hydroxyethyl group, a hydroxypropyl group, or an aminoethyl group. From the viewpoints of improving the removability of the tin-containing water-soluble flux, maintaining the dissolution of tin ions, and suppressing the formation of insoluble tin precipitates, R8 is preferably an alkyl group, more preferably an alkyl group having from 1 to 6 carbon atoms, and even more preferably a methyl group or an ethyl group.
In one or more embodiments, R 9 represents a hydrogen atom, a hydroxyethyl group, a hydroxypropyl group, or an alkyl group, and from the same viewpoint, a hydrogen atom is preferred.
In one or more embodiments, R 10 represents a hydroxyethyl group, a hydroxypropyl group, or an alkyl group, and from the same viewpoint, a hydroxyethyl group or a hydroxypropyl group is preferred, and a hydroxyethyl group is more preferred.

上記式(IV)で表されるアミンとしては、例えば、モノエタノールアミン(MEA)、モノイソプロパノールアミン、N-メチルモノエタノールアミン、N-メチルイソプロパノールアミン、N-エチルモノエタノールアミン、N-エチルイソプロパノールアミン、ジエタノールアミン、ジイソプロパノールアミン、N-ジメチルモノエタノールアミン、N-ジメチルモノイソプロパノールアミン、N-メチルジエタノールアミン、N-メチルジイソプロパノールアミン、N-ジエチルモノエタノールアミン、N-ジエチルモノイソプロパノールアミン、N-エチルジエタノールアミン、N-ブチルジエタノールアミン、N-エチルジイソプロパノールアミン、N-(β-アミノエチル)エタノールアミン、N-(β-アミノエチル)イソプロパノールアミン、N-(β-アミノエチル)ジエタノールアミン、N-(β-アミノエチル)ジイソプロパノールアミン、及びN,N-ジブチルエタノールアミン(ジブチルアミノエタノール)等のアルカノールアミン;並びに、ジメチルベンジルアミン等の芳香族アミン;から選ばれる少なくとも1種が挙げられる。 Examples of the amine represented by formula (IV) above include at least one selected from alkanolamines such as monoethanolamine (MEA), monoisopropanolamine, N-methylmonoethanolamine, N-methylisopropanolamine, N-ethylmonoethanolamine, N-ethylisopropanolamine, diethanolamine, diisopropanolamine, N-dimethylmonoethanolamine, N-dimethylmonoisopropanolamine, N-methyldiethanolamine, N-methyldiisopropanolamine, N-diethylmonoethanolamine, N-diethylmonoisopropanolamine, N-ethyldiethanolamine, N-butyldiethanolamine, N-ethyldiisopropanolamine, N-(β-aminoethyl)ethanolamine, N-(β-aminoethyl)isopropanolamine, N-(β-aminoethyl)diethanolamine, N-(β-aminoethyl)diisopropanolamine, and N,N-dibutylethanolamine (dibutylaminoethanol); and aromatic amines such as dimethylbenzylamine.

成分Bのハンセン溶解度パラメータの極性項(δp)は、一又は複数の実施形態において、水溶性フラックス除去性向上及び製剤化の観点から、7.0MPa0.5以上であって、7.5MPa0.5より大きいことが好ましく、より好ましくは7.8MPa0.5以上、更に好ましくは7.8MPa0.5より大きく、更に好ましくは8.0MP0.5以上である。また、成分Bのハンセン溶解度パラメータの極性項(δp)は、水溶性フラックス除去性向上及び製剤化の観点から、好ましくは15MPa0.5以下、好ましくは11MPa0.5以下、好ましくは9MPa0.5以下、好ましくは8.8MPa0.5以下である。
本開示において、ハンセン溶解度パラメータ (Hansen solubility parameter)(以下、「HSP」ともいう)とは、Charles M. Hansenが1967年に発表した、物質の溶解性の予測に用いられる値であって、「分子間の相互作用が似ている2つの物質は、互いに溶解しやすい」との考えに基づくパラメータである。HSPは以下の3つのパラメータ(単位:MPa0.5)で構成されている。
δd:分子間の分散力によるエネルギー
δp:分子間の双極子相互作用によるエネルギー
δh:分子間の水素結合によるエネルギー
化学工業2010年3月号(化学工業社)等に詳細な説明があり、パソコン用ソフト「HSPiP:Hansen Solubility Parameters in Practice」等を用いることで各種物質のハンセン溶解度パラメータを得ることができる。
In one or more embodiments, from the viewpoint of improving water-soluble flux removability and formulation, the polar term (δp) of the Hansen solubility parameter of Component B is 7.0 MPa or more, preferably greater than 7.5 MPa , more preferably 7.8 MPa or more , even more preferably greater than 7.8 MPa, and even more preferably 8.0 MPa or more. Also, from the viewpoint of improving water-soluble flux removability and formulation, the polar term (δp) of the Hansen solubility parameter of Component B is preferably 15 MPa or less, preferably 11 MPa or less, preferably 9 MPa or less, and preferably 8.8 MPa or less.
In this disclosure, the Hansen solubility parameter (hereinafter also referred to as "HSP") is a value used to predict the solubility of a substance, which was published by Charles M. Hansen in 1967, and is a parameter based on the idea that "two substances with similar intermolecular interactions are likely to dissolve in each other." The HSP is composed of the following three parameters (unit: MPa 0.5 ):
δd: Energy due to intermolecular dispersion forces δp: Energy due to intermolecular dipole interactions δh: Energy due to intermolecular hydrogen bonds Detailed explanations are given in the March 2010 issue of Chemical Industry (Chemical Industry Co., Ltd.), and the Hansen solubility parameters of various substances can be obtained by using computer software such as "HSPiP: Hansen Solubility Parameters in Practice."

成分Bは、部材ダメージを抑制する観点、スズイオンの溶解を維持する観点、及び不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点から、一又は複数の実施形態において、好ましくはアミン化合物であり、より好ましくは上記式(IV)で表されるアミンであり、更に好ましくは上記式(IV)中のR10がヒドロキシエチル基又はヒドロキシプロピル基であるアルカノールアミンであり、より更に好ましくはN-メチルモノエタノールアミンである。
成分Bは、水溶性フラックス除去性向上及び製剤化の観点から、一又は複数の実施形態において、好ましくはハンセン溶解度パラメータの極性項(δp)が7.5MaP0.5より大きいアミン化合物を含むものであり、より好ましくはハンセン溶解度パラメータの極性項(δp)が7.5MPa0.5より大きいアミン化合物であって上記式(IV)で表されるアミンを含むものである。成分Bは、水溶性フラックス除去性向上及び製剤化の観点から、一又は複数の実施形態において、好ましくはハンセン溶解度パラメータの極性項(δp)が7.8MaP0.5より大きいアミン化合物を含むものであり、より好ましくはハンセン溶解度パラメータの極性項(δp)が7.8MPa0.5より大きいアミン化合物であって上記式(IV)で表されるアミンを含むものである。
ハンセン溶解度パラメータの極性項(δp)が7.5MPa0.5より大きいアミン化合物としては、例えば、N-メチルモノエタノールアミン(8.8MPa0.5)等が挙げられる。
From the viewpoints of suppressing damage to components, maintaining dissolution of tin ions, and suppressing the formation of insoluble tin precipitates, in one or a plurality of embodiments, component B is preferably an amine compound, more preferably an amine represented by formula (IV) above, even more preferably an alkanolamine in which R 10 in formula (IV) above is a hydroxyethyl group or a hydroxypropyl group, and still more preferably N-methylmonoethanolamine.
From the viewpoint of improving water-soluble flux removability and formulation, in one or more embodiments, component B preferably comprises an amine compound having a polar term (δp) of the Hansen solubility parameter greater than 7.5 MPa , more preferably an amine compound having a polar term (δp) of the Hansen solubility parameter greater than 7.5 MPa , which contains an amine represented by formula (IV) above. From the viewpoint of improving water-soluble flux removability and formulation, in one or more embodiments, component B preferably comprises an amine compound having a polar term (δp) of the Hansen solubility parameter greater than 7.8 MPa , more preferably an amine compound having a polar term (δp) of the Hansen solubility parameter greater than 7.8 MPa , which contains an amine represented by formula (IV) above.
An example of an amine compound having a polar term (δp) of the Hansen solubility parameter of greater than 7.5 MPa 0.5 is N-methylmonoethanolamine (8.8 MPa 0.5 ).

本開示の組成物の使用時における成分Bの含有量は、一又は複数の実施形態において、スズイオンの溶解を維持する観点、及び不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点から、0.01質量%以上が好ましく、0.05質量%以上がより好ましく、0.1質量%以上が更に好ましく、そして、部材ダメージを抑制する観点から、10質量%以下が好ましく、5質量%以下がより好ましく、3質量%以下が更に好ましく、0.5質量%未満がより更に好ましい。より具体的には、本開示の組成物の使用時における成分Bの含有量は、一又は複数の実施形態において、0.01質量%以上10質量%以下が好ましく、0.05質量%以上5質量%以下がより好ましく、0.1質量%以上3質量%以下が更に好ましく、0.1質量%以上0.5質量%未満がより更に好ましい。成分Bが2種類以上の組合せである場合、成分Bの含有量はそれらの合計含有量をいう。
本開示の組成物の使用時における成分Bの含有量は、一又は複数の実施形態において、スズイオンの溶解を維持する観点、及び不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点から、0.01質量%以上が好ましく、0.05質量%以上がより好ましく、0.1質量%以上が更に好ましく、そして、部材ダメージを抑制する観点から、10質量%以下が好ましく、8質量%以下がより好ましく、6質量%以下が更に好ましく、5質量%未満がより更に好ましい。より具体的には、本開示の組成物の使用時における成分Bの含有量は、一又は複数の実施形態において、0.01質量%以上10質量%以下が好ましく、0.05質量%以上8質量%以下がより好ましく、0.1質量%以上6質量%以下が更に好ましく、0.1質量%以上5質量%未満がより更に好ましい。
成分Bが第四級アンモニウム水酸化物である場合、本開示の組成物の使用時における第四級アンモニウム水酸化物の含有量は、スズイオンの溶解を維持する観点、及び不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点から、0.01質量%以上が好ましく、0.05質量%以上がより好ましく、0.1質量%以上が更に好ましく、そして、部材ダメージを抑制する観点から、10質量%以下が好ましく、5質量%以下がより好ましく、3質量%以下が更に好ましく、0.5質量%未満がより更に好ましい。より具体的には、本開示の組成物の使用時における第四級アンモニウム水酸化物の含有量は、0.01質量%以上10質量%以下が好ましく、0.05質量%以上5質量%以下がより好ましく、0.1質量%以上3質量%以下が更に好ましく、0.1質量%以上0.5質量%未満がより更に好ましい。第四級アンモニウム水酸化物が2種類以上の組合せである場合、第四級アンモニウム水酸化物の含有量はそれらの合計含有量をいう。
成分Bがアミン化合物である場合、本開示の組成物の使用時におけるアミン化合物の含有量は、スズイオンの溶解を維持する観点、及び不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点から、0.01質量%以上が好ましく、0.05質量%以上がより好ましく、0.1質量%以上が更に好ましく、そして、部材ダメージを抑制する観点から、10質量%以下が好ましく、5質量%以下がより好ましく、3質量%以下が更に好ましく、3質量%未満がより更に好ましい。より具体的には、本開示の組成物の使用時におけるアミン化合物の含有量は、0.01質量%以上10質量%以下が好ましく、0.05質量%以上5質量%以下がより好ましく、0.1質量%以上3質量%以下が更に好ましく、0.1質量%以上3質量%未満がより更に好ましい。アミン化合物が2種類以上の組合せである場合、アミン化合物の含有量はそれらの合計含有量をいう。
In one or more embodiments, the content of component B when using the composition of the present disclosure is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more, and even more preferably 0.1% by mass or more, from the viewpoint of maintaining dissolution of tin ions and suppressing the formation of insoluble tin precipitates. From the viewpoint of suppressing damage to components, the content is preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, even more preferably 3% by mass or less, and even more preferably less than 0.5% by mass. More specifically, in one or more embodiments, the content of component B when using the composition of the present disclosure is preferably 0.01% by mass or more and 10% by mass or less, more preferably 0.05% by mass or more and 5% by mass or less, even more preferably 0.1% by mass or more and 3% by mass or less, and even more preferably 0.1% by mass or more and less than 0.5% by mass. When component B is a combination of two or more types, the content of component B refers to the total content thereof.
In one or more embodiments, the content of component B when using the composition of the present disclosure is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more, and even more preferably 0.1% by mass or more, from the viewpoint of maintaining dissolution of tin ions and suppressing the generation of insoluble tin precipitates, and from the viewpoint of suppressing damage to components, it is preferably 10% by mass or less, more preferably 8% by mass or less, even more preferably 6% by mass or less, and even more preferably less than 5% by mass. More specifically, in one or more embodiments, the content of component B when using the composition of the present disclosure is preferably 0.01% by mass or more and 10% by mass or less, more preferably 0.05% by mass or more and 8% by mass or less, even more preferably 0.1% by mass or more and 6% by mass or less, and even more preferably 0.1% by mass or more and less than 5% by mass.
When component B is a quaternary ammonium hydroxide, the content of the quaternary ammonium hydroxide during use of the composition of the present disclosure is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more, and even more preferably 0.1% by mass or more, from the viewpoint of maintaining dissolution of tin ions and suppressing the formation of insoluble tin precipitates. From the viewpoint of suppressing damage to components, the content is preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, even more preferably 3% by mass or less, and even more preferably less than 0.5% by mass. More specifically, the content of the quaternary ammonium hydroxide during use of the composition of the present disclosure is preferably 0.01% by mass or more and 10% by mass or less, more preferably 0.05% by mass or more and 5% by mass or less, even more preferably 0.1% by mass or more and 3% by mass or less, and even more preferably 0.1% by mass or more and less than 0.5% by mass. When two or more types of quaternary ammonium hydroxides are used in combination, the content of the quaternary ammonium hydroxides refers to the total content of the quaternary ammonium hydroxides.
When component B is an amine compound, the content of the amine compound during use of the composition of the present disclosure is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more, and even more preferably 0.1% by mass or more, from the viewpoint of maintaining dissolution of tin ions and suppressing the generation of insoluble tin precipitates. From the viewpoint of suppressing damage to components, the content is preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, even more preferably 3% by mass or less, and even more preferably less than 3% by mass. More specifically, the content of the amine compound during use of the composition of the present disclosure is preferably 0.01% by mass or more and 10% by mass or less, more preferably 0.05% by mass or more and 5% by mass or less, even more preferably 0.1% by mass or more and 3% by mass or less, and even more preferably 0.1% by mass or more and less than 3% by mass. When two or more amine compounds are used in combination, the content of the amine compounds refers to the total content thereof.

本開示の組成物の使用時における成分Aの含有量(質量%)に対する成分Bの含有量(質量%)の質量比、すなわち、本開示の組成物中の成分Bと成分Aとの質量比B/Aは、一又は複数の実施形態において、スズイオンの溶解を維持する観点、及び不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点から、0.5以上が好ましく、0.7以上がより好ましく、0.9以上が更に好ましく、そして、部材ダメージを抑制する観点から、2.0以下が好ましく、1.5以下がより好ましく、1.0以下が更に好ましい。より具体的には、質量比B/Aは、一又は複数の実施形態において、0.5以上2.0以下が好ましく、0.7以上1.5以下がより好ましく、0.9以上1.0以下が更に好ましい。
質量比B/Aは、一又は複数の実施形態において、スズイオンの溶解を維持する観点、及び不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点から、0.1以上が好ましく、0.3以上がより好ましく、0.5以上が更に好ましく、そして、部材ダメージを抑制する観点から、10.0以下が好ましく、5以下がより好ましく、2以下が更に好ましい。より具体的には、質量比B/Aは、一又は複数の実施形態において、0.1以上10.0以下が好ましく、0.3以上5以下がより好ましく、0.5以上2.0以下が更に好ましい。
In one or more embodiments, the mass ratio of the content (mass%) of component B to the content (mass%) of component A during use of the composition of the present disclosure, i.e., the mass ratio B/A of components B to A in the composition of the present disclosure, is preferably 0.5 or more, more preferably 0.7 or more, and even more preferably 0.9 or more, from the viewpoint of maintaining dissolution of tin ions and suppressing the generation of insoluble tin precipitates, and is preferably 2.0 or less, more preferably 1.5 or less, and even more preferably 1.0 or less, from the viewpoint of suppressing damage to components. More specifically, in one or more embodiments, the mass ratio B/A is preferably 0.5 or more and 2.0 or less, more preferably 0.7 or more and 1.5 or less, and even more preferably 0.9 or more and 1.0 or less.
In one or more embodiments, from the viewpoint of maintaining dissolution of tin ions and suppressing the generation of insoluble tin precipitates, the mass ratio B/A is preferably 0.1 or more, more preferably 0.3 or more, and even more preferably 0.5 or more, and from the viewpoint of suppressing damage to components, it is preferably 10.0 or less, more preferably 5 or less, and even more preferably 2 or less. More specifically, in one or more embodiments, the mass ratio B/A is preferably 0.1 or more and 10.0 or less, more preferably 0.3 or more and 5 or less, and even more preferably 0.5 or more and 2.0 or less.

(成分C:水)
本開示の組成物に含まれる又は配合されている水(以下、「成分C」ともいう)としては、イオン交換水、RO水(逆浸透膜処理水)、蒸留水、純水、超純水等が挙げられる。
本開示の組成物の使用時における成分Cの含有量は、スズ含有水溶性フラックス除去性向上の観点から、80質量%以上が好ましく、90質量%以上がより好ましく、95質量%以上が更に好ましく、そして、スズイオンの溶解を維持する観点、及び不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点から、99.99質量%以下が好ましく、99.95質量%以下がより好ましく、99.90質量%以下が更に好ましい。より具体的には、本開示の組成物の使用時における成分Cの含有量は、80質量%以上99.99質量%以下が好ましく、90質量%以上99.95質量%以下がより好ましく、95質量%以上99.90質量%以下が更に好ましい。
(Component C: water)
Examples of water contained in or blended into the composition of the present disclosure (hereinafter also referred to as "component C") include ion-exchanged water, RO water (water treated by a reverse osmosis membrane), distilled water, pure water, and ultrapure water.
The content of component C when using the composition of the present disclosure is preferably 80% by mass or more, more preferably 90% by mass or more, and even more preferably 95% by mass or more from the viewpoint of improving the removability of tin-containing water-soluble flux, and from the viewpoint of maintaining the dissolution of tin ions and suppressing the generation of insoluble tin precipitates, it is preferably 99.99% by mass or less, more preferably 99.95% by mass or less, and even more preferably 99.90% by mass or less. More specifically, the content of component C when using the composition of the present disclosure is preferably 80% by mass or more and 99.99% by mass or less, more preferably 90% by mass or more and 99.95% by mass or less, and even more preferably 95% by mass or more and 99.90% by mass or less.

本開示の組成物中の成分Bと成分Cとの質量比B/C[成分Bの含有量(質量%)/成分Cの含有量(質量%)]は、スズイオンの溶解を維持する観点、及び、不溶性のスズ析出物の発生抑制の観点から、0.0005以上が好ましく、0.005以上がより好ましく、0.05以上が更に好ましく、そして、部材ダメージ性の観点から、0.11以下が好ましく、0.10以下がより好ましく、0.09以下が更に好ましい。より具体的には、質量比B/Cは、0.0005以上0.11以下が好ましく、0.005以上0.07以下がより好ましく、0.05以上0.09以下が更に好ましい。 The mass ratio B/C of component B to component C in the composition of the present disclosure [content of component B (mass%) / content of component C (mass%)] is preferably 0.0005 or more, more preferably 0.005 or more, and even more preferably 0.05 or more, from the viewpoint of maintaining the dissolution of tin ions and suppressing the formation of insoluble tin precipitates. From the viewpoint of component damage, it is preferably 0.11 or less, more preferably 0.10 or less, and even more preferably 0.09 or less. More specifically, the mass ratio B/C is preferably 0.0005 or more and 0.11 or less, more preferably 0.005 or more and 0.07 or less, and even more preferably 0.05 or more and 0.09 or less.

本開示の組成物中の成分Cと成分Aとの質量比C/A[成分Cの含有量(質量%)/成分Aの含有量(質量%)]は、水溶性フラックス洗浄性向上の観点から、1以上が好ましく、4以上がより好ましく、9以上が更に好ましく、そして、水溶性フラックス洗浄速度向上の観点から、10,000以下が好ましく、500以下がより好ましく、250以下が更に好ましい。より具体的には、質量比C/Aは、1以上10,000以下が好ましく、4以上500以下がより好ましく、9以上250以下が更に好ましい。 The mass ratio C/A of component C to component A in the composition of the present disclosure [content of component C (mass%) / content of component A (mass%)] is preferably 1 or greater, more preferably 4 or greater, and even more preferably 9 or greater, from the viewpoint of improving the water-soluble flux cleaning performance. Also, from the viewpoint of improving the water-soluble flux cleaning speed, it is preferably 10,000 or less, more preferably 500 or less, and even more preferably 250 or less. More specifically, the mass ratio C/A is preferably 1 or greater and 10,000 or less, more preferably 4 or greater and 500 or less, and even more preferably 9 or greater and 250 or less.

(成分D:複素環式芳香族化合物)
本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、複素環式芳香族化合物(その塩も含む)(以下、「成分D」ともいう)をさらに含有する又は配合してなるものとすることができる。成分Dは1種でもよいし、2種以上の組合せでもよい。
(Component D: Heterocyclic Aromatic Compound)
In one or more embodiments, the composition of the present disclosure may further contain or be formulated with a heterocyclic aromatic compound (including a salt thereof) (hereinafter also referred to as "Component D"). Component D may be one type or a combination of two or more types.

成分Dは、部材ダメージを抑制する観点から、複素環内に窒素原子を2個以上含む複素環式芳香族化合物であることが好ましく、複素環内に窒素原子を3個以上有することがより好ましく、そして複素環内に窒素原子を9個以下有することが好ましく、複素環内に窒素原子を5個以下有することがより好ましく、複素環内に窒素原子を4個以下有することが更に好ましい。 From the viewpoint of suppressing damage to components, component D is preferably a heterocyclic aromatic compound containing two or more nitrogen atoms in the heterocycle, more preferably three or more nitrogen atoms in the heterocycle, and preferably nine or fewer nitrogen atoms in the heterocycle, more preferably five or fewer nitrogen atoms in the heterocycle, and even more preferably four or fewer nitrogen atoms in the heterocycle.

成分Dとしては、一又は複数の実施形態において、1,2,4-トリアゾール、3-アミノ-1,2,4-トリアゾール、5-アミノ-1,2,4-トリアゾール、3-メルカプト-1,2,4-トリアゾール、1H-テトラゾール、5-アミノテトラゾール、1H-ベンゾトリアゾール(BTA)、1H-トリルトリアゾール、2-アミノベンゾトリアゾール、3-アミノベンゾトリアゾール、及びこれらのアルキル置換体若しくはアミン置換体から選ばれる少なくとも1種が好ましい。前記アルキル置換体のアルキル基としては、例えば、炭素数1~4の低級アルキル基が挙げられ、一又は複数の実施形態において、メチル基、エチル基が挙げられる。前記アミン置換体としては、一又は複数の実施形態において、1-[N,N-ビス(ヒドロキシエチレン)アミノメチル]ベンゾトリアゾール、1-[N,N-ビス(ヒドロキシエチレン)アミノメチル]トリルトリアゾール等が挙げられる。これらの中でも、部材ダメージを抑制する観点から、成分Dとしては、1H-ベンゾトリアゾール(BTA)が好ましい。 In one or more embodiments, Component D is preferably at least one selected from 1,2,4-triazole, 3-amino-1,2,4-triazole, 5-amino-1,2,4-triazole, 3-mercapto-1,2,4-triazole, 1H-tetrazole, 5-aminotetrazole, 1H-benzotriazole (BTA), 1H-tolyltriazole, 2-aminobenzotriazole, 3-aminobenzotriazole, and alkyl- or amine-substituted derivatives thereof. Examples of the alkyl group in the alkyl substituent include lower alkyl groups having 1 to 4 carbon atoms, and in one or more embodiments, methyl and ethyl groups. In one or more embodiments, examples of the amine substituent include 1-[N,N-bis(hydroxyethylene)aminomethyl]benzotriazole and 1-[N,N-bis(hydroxyethylene)aminomethyl]tolyltriazole. Among these, 1H-benzotriazole (BTA) is preferred as Component D from the viewpoint of suppressing damage to components.

本開示の組成物が成分Dを含有する又は配合してなる場合、本開示の組成物の使用時における成分Dの含有量は、一又は複数の実施形態において、部材ダメージを抑制する観点から、0.001質量%以上が好ましく、0.005質量%以上がより好ましく、0.01質量%以上が更に好ましく、そして、配合性の観点から、1.0質量%以下が好ましく、0.5質量%以下がより好ましく、0.1質量%以下が更に好ましい。より具体的には、本開示の組成物の使用時における成分Dの含有量は、一又は複数の実施形態において、0.001質量%以上1.0質量%以下が好ましく、0.005質量%以上0.5質量%以下がより好ましく、0.01質量%以上0.1質量%以下が更に好ましい。
本開示の組成物の使用時における成分Dの含有量は、一又は複数の実施形態において、配合性の観点から、5.0質量%以下が好ましく、2.0質量%以下がより好ましく、1.0質量%以下が更に好ましい。より具体的には、本開示の組成物の使用時における成分Dの含有量は、一又は複数の実施形態において、0.001質量%以上5.0質量%以下が好ましく、0.005質量%以上2.0質量%以下がより好ましく、0.01質量%以上1.0質量%以下が更に好ましい。
成分Dが2種以上の組合せである場合、成分Dの含有量はそれらの合計含有量をいう。
When the composition of the present disclosure contains or is blended with Component D, in one or more embodiments, the content of Component D when the composition of the present disclosure is used is preferably 0.001% by mass or more, more preferably 0.005% by mass or more, and even more preferably 0.01% by mass or more, from the viewpoint of suppressing damage to components, and from the viewpoint of blendability, is preferably 1.0% by mass or less, more preferably 0.5% by mass or less, and even more preferably 0.1% by mass or less. More specifically, in one or more embodiments, the content of Component D when the composition of the present disclosure is used is preferably 0.001% by mass or more and 1.0% by mass or less, more preferably 0.005% by mass or more and 0.5% by mass or less, and even more preferably 0.01% by mass or more and 0.1% by mass or less.
In one or more embodiments, from the viewpoint of blendability, the content of component D when the composition of the present disclosure is used is preferably 5.0% by mass or less, more preferably 2.0% by mass or less, and even more preferably 1.0% by mass or less. More specifically, in one or more embodiments, the content of component D when the composition of the present disclosure is used is preferably 0.001% by mass or more and 5.0% by mass or less, more preferably 0.005% by mass or more and 2.0% by mass or less, and even more preferably 0.01% by mass or more and 1.0% by mass or less.
When Component D is a combination of two or more types, the content of Component D refers to the total content thereof.

本開示の組成物中の成分Bと成分Dとの質量比B/D[成分Bの含有量(質量%)/成分Dの含有量(質量%)]は、スズイオンの溶解を維持及び不溶性のスズ析出物の発生抑制のから、0.001以上が好ましく、0.01以上がより好ましく、0.1以上が更に好ましく、そして、部材ダメージ抑制の観点から、1000以下が好ましく、700以下がより好ましく、500以下が更に好ましい。より具体的には、質量比B/Dは、0.001以上1000以下が好ましく、0.01以上700以下がより好ましく、0.1以上500以下が更に好ましい。 The mass ratio B/D of component B to component D in the composition of the present disclosure [content of component B (mass%)/content of component D (mass%)] is preferably 0.001 or more, more preferably 0.01 or more, and even more preferably 0.1 or more, in order to maintain the dissolution of tin ions and suppress the formation of insoluble tin precipitates. From the viewpoint of suppressing damage to components, it is preferably 1000 or less, more preferably 700 or less, and even more preferably 500 or less. More specifically, the mass ratio B/D is preferably 0.001 or more and 1000 or less, more preferably 0.01 or more and 700 or less, and even more preferably 0.1 or more and 500 or less.

(成分E:キレート剤)
本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、キレート剤(以下、「成分E」ともいう)をさらに含有する又は配合してなるものとすることができる。成分Eは1種でもよいし、2種以上の組合せでもよい。
成分Eとしては、スズ析出抑制の観点から、オキシカルボン酸及びホスホン酸から選ばれる少なくとも1種の有機酸が挙げられ、ホスホン酸が好ましく挙げられる。オキシカルボン酸としては、例えば、クエン酸、リンゴ酸、酒石酸、グルコン酸又はこれらの塩が挙げられる。ホスホン酸化合物としては、例えば、エチドロン酸(1-ヒドロキシエタン-1,1-ジホスホン酸、HEDP)又はその塩が挙げられる。塩としては、ナトリウム塩、カリウム塩等のアルカリ金属塩が好ましく挙げられる。
(Component E: Chelating Agent)
In one or more embodiments, the composition of the present disclosure may further contain or be formulated with a chelating agent (hereinafter also referred to as "component E"). Component E may be one type or a combination of two or more types.
From the viewpoint of inhibiting tin deposition, Component E includes at least one organic acid selected from hydroxycarboxylic acids and phosphonic acids, with phosphonic acids being preferred. Examples of hydroxycarboxylic acids include citric acid, malic acid, tartaric acid, gluconic acid, and salts thereof. Examples of phosphonic acid compounds include etidronic acid (1-hydroxyethane-1,1-diphosphonic acid, HEDP) and salts thereof. Preferred salts include alkali metal salts such as sodium salts and potassium salts.

本開示の組成物が成分Eを含有する又は配合してなる場合、本開示の組成物の使用時における成分Eの含有量は、スズ析出抑制の観点から、0.01質量%以上が好ましく、0.05質量%以上がより好ましく、0.1質量%以上が更に好ましく、そして、部材ダメージの観点から、5質量%以下が好ましく、3質量%以下がより好ましく、1質量%以下が更に好ましい。より具体的には、本開示の組成物の使用時における成分Eの含有量は、0.01質量%以上5質量%以下が好ましく、0.05質量%以上3質量%以下がより好ましく、0.1質量%以上1質量%以下が更に好ましい。成分Eが2種以上の組合せである場合、成分Eの含有量はそれらの合計含有量をいう。 When the composition of the present disclosure contains or is formulated with component E, the content of component E when the composition of the present disclosure is used is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more, and even more preferably 0.1% by mass or more, from the viewpoint of suppressing tin deposition, and is preferably 5% by mass or less, more preferably 3% by mass or less, and even more preferably 1% by mass or less, from the viewpoint of preventing component damage. More specifically, the content of component E when the composition of the present disclosure is used is preferably 0.01% by mass or more and 5% by mass or less, more preferably 0.05% by mass or more and 3% by mass or less, and even more preferably 0.1% by mass or more and 1% by mass or less. When component E is a combination of two or more types, the content of component E refers to the total content of those components.

本開示の組成物中の成分Bの含有量又は配合量は、部材ダメージ性の観点から、成分Eの含有量又は配合量よりも多いことが好ましい。
本開示の組成物中の成分Bと成分Eとの質量比B/E[成分Bの含有量(質量%)/成分Eの含有量(質量%)]は、部材ダメージ性の観点から、0.01以上が好ましく、0.1以上がより好ましく、0.5以上が更に好ましく、そして、スズ析出抑制の観点から、1,000以下が好ましく、500以下がより好ましく、200以下が更に好ましい。より具体的には、質量比B/Eは、0.01以上1,000以下が好ましく、0.1以上500以下がより好ましく、0.5以上200以下が更に好ましい。
The content or blending amount of Component B in the composition of the present disclosure is preferably greater than the content or blending amount of Component E from the viewpoint of component damage resistance.
The mass ratio B/E of component B to component E in the composition of the present disclosure [content (mass%) of component B/content (mass%) of component E] is preferably 0.01 or more, more preferably 0.1 or more, and even more preferably 0.5 or more from the viewpoint of component damage resistance, and is preferably 1,000 or less, more preferably 500 or less, and even more preferably 200 or less from the viewpoint of tin deposition suppression. More specifically, the mass ratio B/E is preferably 0.01 or more and 1,000 or less, more preferably 0.1 or more and 500 or less, and even more preferably 0.5 or more and 200 or less.

本開示の組成物中の成分Aと成分Bと成分Cの合計含有量は、一又は複数の実施形態において、水溶性フラックス残渣除去性向上及び溶出状態のスズに対する溶解性を維持する観点からの観点から、90質量%以上が好ましく、92質量%以上が好ましく、95質量%以上がより好ましく、98質量%以上が好ましく、99質量%以上が好ましく、99.5質量%以上が更に好ましい。また、本開示の組成物中の成分Aと成分Bと成分Cの合計含有量は、一又は複数の実施形態において、100質量%であってもよい。
本開示の組成物中の成分Aと成分Bと成分Cと成分Dと成分Eの合計含有量は、一又は複数の実施形態において、水溶性フラックス残渣除去性向上及び溶出状態のスズに対する溶解性を維持する観点からの観点から、90質量%以上が好ましく、92質量%以上が好ましく、95質量%以上がより好ましく、98質量%以上が好ましく、99質量%以上が好ましく、99.6質量%以上が更に好ましい。また、本開示の組成物中の成分Aと成分Bと成分Cと成分Dと成分Eの合計含有量は、一又は複数の実施形態において、100質量%であってもよい。
In one or more embodiments, the total content of Components A, B, and C in the composition of the present disclosure is preferably 90% by mass or more, more preferably 92% by mass or more, more preferably 95% by mass or more, more preferably 98% by mass or more, more preferably 99% by mass or more, and even more preferably 99.5% by mass or more, from the viewpoints of improving the removability of water-soluble flux residue and maintaining the solubility of tin in an eluted state. In one or more embodiments, the total content of Components A, B, and C in the composition of the present disclosure may be 100% by mass.
In one or more embodiments, the total content of Components A, B, C, D, and E in the composition of the present disclosure is preferably 90% by mass or more, more preferably 92% by mass or more, more preferably 95% by mass or more, more preferably 98% by mass or more, more preferably 99% by mass or more, and even more preferably 99.6% by mass or more, from the viewpoints of improving the removability of water-soluble flux residue and maintaining the solubility of tin in an eluted state. In one or more embodiments, the total content of Components A, B, C, D, and E in the composition of the present disclosure may be 100% by mass.

(その他の成分)
本開示の組成物は、本開示の効果を損なわない範囲で、必要に応じてその他の成分を適宜含有する又は配合してなるものとすることができる。その他の成分としては、例えば、通常洗浄剤に用いられる成分A以外の溶剤、成分B以外のアルカリ、界面活性剤、防錆剤、増粘剤、分散剤、高分子化合物、可溶化剤、防腐剤、殺菌剤、抗菌剤、消泡剤、酸化防止剤から選ばれる少なくとも1種が挙げられる。
(Other ingredients)
The composition of the present disclosure may contain or be blended with other components as needed, as long as the effects of the present disclosure are not impaired. Examples of other components include at least one selected from solvents other than Component A, alkalis other than Component B, surfactants, rust inhibitors, thickeners, dispersants, polymeric compounds, solubilizers, preservatives, bactericides, antibacterial agents, antifoaming agents, and antioxidants, which are typically used in cleaning agents.

本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、グリコールエーテル化合物を含まない又は配合しないものとすることができる。例えば、本開示の組成物中のグリコールエーテル化合物の含有量又は配合量は、5質量%未満が好ましく、1質量%以下がより好ましく、0.1質量%以下が更に好ましく、0質量%(すなわち、含まないこと)がより更に好ましい。
本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、酸又はそのアンモニウム塩を含まない又は配合しないものとすることができる。例えば、本開示の組成物中の酸又はそのアンモニウム塩の含有量又は配合量は、0.3質量%未満が好ましく、0.1質量%以下がより好ましく、0質量%(すなわち、含まないこと)が更に好ましい。
本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、無機アルカリを含まない又は配合しないものとすることができる。例えば、本開示の組成物中の無機アルカリの含有量又は配合量は、1質量%以下が好ましく、0.1質量%以下がより好ましく、0.01質量%以下が更に好ましく、0質量%(すなわち、含まないこと)がより更に好ましい。
In one or more embodiments, the composition of the present disclosure may contain or not contain a glycol ether compound. For example, the content or amount of the glycol ether compound in the composition of the present disclosure is preferably less than 5% by mass, more preferably 1% by mass or less, even more preferably 0.1% by mass or less, and even more preferably 0% by mass (i.e., not contained).
In one or more embodiments, the composition of the present disclosure may contain or not contain an acid or an ammonium salt thereof. For example, the content or amount of an acid or an ammonium salt thereof in the composition of the present disclosure is preferably less than 0.3% by mass, more preferably 0.1% by mass or less, and even more preferably 0% by mass (i.e., not contained).
In one or more embodiments, the composition of the present disclosure may contain or not contain an inorganic alkali. For example, the content or amount of inorganic alkali in the composition of the present disclosure is preferably 1% by mass or less, more preferably 0.1% by mass or less, even more preferably 0.01% by mass or less, and even more preferably 0% by mass (i.e., not contained).

[組成物の製造方法]
本開示の組成物は、例えば、成分A、成分B、成分C、必要に応じて任意成分(成分D、その他の成分)を公知の方法で配合することにより製造できる。一又は複数の実施形態において、本開示の組成物は、少なくとも成分A、成分B及び成分Cを配合してなるものとすることができる。したがって、本開示は、一態様において、少なくとも成分Aと成分Bと成分Cとを配合する工程を含む、組成物の製造方法に関する。本開示において「配合する」とは、成分A、成分B、成分C及び必要に応じて任意成分(成分D、その他の成分)を同時に又は任意の順に混合することを含む。
本開示の組成物の製造方法において、各成分の配合量は、上述した本開示の組成物の使用時における各成分の含有量と同じとすることができる。
本開示において「組成物の使用時における各成分の含有量」とは、洗浄時、すなわち、組成物の処理又は洗浄への使用を開始する時点での各成分の含有量をいう。
本開示の組成物の使用時における各成分の含有量は、一又は複数の実施形態において、本開示の組成物中の各成分の配合量とみなすことができる。ただし、中和の影響を受ける場合は、配合量と含有量が異なる場合がある。
[Method of producing the composition]
The composition of the present disclosure can be produced, for example, by blending component A, component B, component C, and, if necessary, optional components (component D, other components) using a known method. In one or more embodiments, the composition of the present disclosure can be produced by blending at least component A, component B, and component C. Thus, in one aspect, the present disclosure relates to a method for producing a composition, comprising a step of blending at least component A, component B, and component C. In the present disclosure, "blending" includes mixing component A, component B, component C, and, if necessary, optional components (component D, other components) simultaneously or in any order.
In the method for producing the composition of the present disclosure, the amount of each component blended can be the same as the content of each component when the composition of the present disclosure is used as described above.
In the present disclosure, "the content of each component at the time of use of the composition" refers to the content of each component at the time of cleaning, i.e., at the time when the use of the composition for treatment or cleaning is started.
In one or more embodiments, the content of each component in the composition of the present disclosure when used can be considered to be the blended amount of each component in the composition of the present disclosure. However, if there is an effect of neutralization, the blended amount and the actual content may differ.

本開示の組成物は、そのまま洗浄に使用する形態であってもよく、分離や析出等を起こして保管安定性を損なわない範囲で濃縮物として調製してもよい。本開示の組成物の濃縮物は、使用時に各成分が上述した含有量(すなわち、洗浄時の含有量)になるよう希釈して使用することができる。本開示の組成物の濃縮物は、使用時に各成分を別々に添加して使用することもできる。本開示において、濃縮物の「使用時」とは、濃縮物が希釈された状態をいう。濃縮物としては、一又は複数の実施形態において、希釈倍率が2~300倍、5~200倍、又は10~100倍の濃縮物が挙げられる。 The composition of the present disclosure may be in a form that is used directly for cleaning, or may be prepared as a concentrate to the extent that separation, precipitation, or the like occurs and impairs storage stability. The concentrated composition of the present disclosure can be diluted at the time of use so that each component has the content described above (i.e., the content at the time of cleaning). The concentrated composition of the present disclosure can also be used by adding each component separately at the time of use. In this disclosure, "at the time of use" of the concentrate refers to the state in which the concentrate is diluted. In one or more embodiments, the concentrate may be diluted 2 to 300 times, 5 to 200 times, or 10 to 100 times.

本開示の組成物の実施形態は、全ての成分が予め混合された状態で市場に供給される、いわゆる1液型であってもよいし、使用時に混合される、いわゆる2液型であってもよい。 Embodiments of the compositions disclosed herein may be so-called one-component types, in which all components are supplied to the market in a pre-mixed state, or so-called two-component types, in which components are mixed at the time of use.

[組成物のpH]
本開示の組成物のpHは、スズイオンの溶解を維持する観点、及び不溶性のスズ酸化物の析出抑制の観点から、9.0以上が好ましく、9.5以上がより好ましく、10.0以上が更に好ましく、そして、部材ダメージを抑制する観点から、12.5以下が好ましく、12.0以下がより好ましく、11.5以下が更に好ましい。より具体的には、本開示の組成物のpHは、9.0以上12.5以下が好ましく、9.5以上12.0以下がより好ましく、10.0以上11.5以下が更に好ましい。本開示の組成物のpHは、成分Bや公知のpH調整剤を用いて調整することができる。本開示において組成物のpHは、25℃における組成物の使用時のpHであり、実施例に記載の方法により測定できる。
[pH of composition]
The pH of the composition of the present disclosure is preferably 9.0 or higher, more preferably 9.5 or higher, and even more preferably 10.0 or higher, from the viewpoint of maintaining dissolution of tin ions and suppressing precipitation of insoluble tin oxides. From the viewpoint of suppressing damage to components, the pH is preferably 12.5 or lower, more preferably 12.0 or lower, and even more preferably 11.5 or lower. More specifically, the pH of the composition of the present disclosure is preferably 9.0 or higher and 12.5 or lower, more preferably 9.5 or higher and 12.0 or lower, and even more preferably 10.0 or higher and 11.5 or lower. The pH of the composition of the present disclosure can be adjusted using component B or a known pH adjuster. In the present disclosure, the pH of the composition is the pH at 25°C when the composition is in use, and can be measured by the method described in the Examples.

[被洗浄物]
本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板(被洗浄物)の洗浄に使用される。本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、スズを含有するはんだを使用して実装した電子部品上のスズ含有水溶性フラックス残渣の除去(洗浄)に好適に使用される。
被洗浄物としては、例えば、リフローされたはんだを有する被洗浄物が挙げられる。はんだは、一又は複数の実施形態において、スズを含むはんだである。被洗浄物の例としては、例えば、電子部品及びその製造中間物が挙げられ、具体的には、はんだ付け電子部品及びその製造中間物が挙げられ、より具体的には、部品がスズを含むはんだではんだ付けされた電子部品及びその製造中間物、部品がスズを含むはんだを介して接続されている電子部品及びその製造中間物、スズを含むはんだ付けされた部品の隙間にスズ含有水溶性フラックス残渣を含む電子部品及びその製造中間物、スズを含むはんだを介して接続されている部品の隙間にスズ含有水溶性フラックス残渣を含む電子部品及びその製造中間物等が挙げられる。前記製造中間物は、半導体パッケージや半導体装置を含む電子部品の製造工程における中間製造物であって、例えば、水溶性フラックスを使用したはんだ付けにより、半導体チップ、チップ型コンデンサ、及び回路基板から選ばれる少なくとも1つの部品が搭載された回路基板、及び/又は、前記部品をはんだ接続するためのはんだバンプが形成された回路基板を含む。被洗浄物における隙間とは、例えば、回路基板とその回路基板にはんだ付けされて搭載された部品(半導体チップ、チップ型コンデンサ、他の回路基板等)との間に形成される空間であって、その高さ(部品間の距離)が、例えば、5~500μm、10~250μm、或いは20~100μmの空間をいう。隙間の幅及び奥行きは、搭載される部品や回路基板上の電極(ランド)の大きさや間隔に依存する。
[Item to be cleaned]
In one or more embodiments, the composition of the present disclosure is used for cleaning a substrate (object to be cleaned) having tin-containing water-soluble flux residue. In one or more embodiments, the composition of the present disclosure is suitably used for removing (cleaning) tin-containing water-soluble flux residue from electronic components mounted using tin-containing solder.
Examples of objects to be cleaned include objects having reflowed solder. In one or more embodiments, the solder is a tin-containing solder. Examples of objects to be cleaned include electronic components and their manufacturing intermediates, specifically soldered electronic components and their manufacturing intermediates. More specifically, examples include electronic components and their manufacturing intermediates in which components are soldered with tin-containing solder, electronic components and their manufacturing intermediates in which components are connected via tin-containing solder, electronic components and their manufacturing intermediates in which tin-containing water-soluble flux residues are present in the gaps between tin-containing soldered components, and electronic components and their manufacturing intermediates in which tin-containing water-soluble flux residues are present in the gaps between components connected via tin-containing solder. The manufacturing intermediates are intermediate products in the manufacturing process of electronic components, including semiconductor packages and semiconductor devices, and include, for example, circuit boards on which at least one component selected from semiconductor chips, chip-type capacitors, and circuit boards is mounted by soldering using water-soluble flux, and/or circuit boards on which solder bumps are formed for soldering the components. The gap in the object to be cleaned is, for example, the space formed between a circuit board and a component (such as a semiconductor chip, a chip capacitor, or another circuit board) soldered and mounted on the circuit board, and refers to a space with a height (distance between components) of, for example, 5 to 500 μm, 10 to 250 μm, or 20 to 100 μm. The width and depth of the gap depend on the size and spacing of the mounted components and electrodes (lands) on the circuit board.

[スズ析出防止剤]
本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板(被洗浄物)の洗浄後に不溶性のスズ析出物の発生を防止(抑制)するために使用することができる。すなわち、本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板(被洗浄物)の洗浄後に不溶性のスズ析出物の発生を防止(抑制)するためのスズ析出防止剤である。
したがって、本開示は、一態様において、有機溶剤(成分A)と、第四級アンモニウム水酸化物及びアミン化合物から選ばれる少なくとも1種のアルカリ化合物(成分B)と、水(成分C)と、を含有する又は配合してなるスズ析出防止剤(以下、「本開示のスズ析出防止剤」ともいう)に関する。本開示のスズ析出防止剤は、一又は複数の実施形態において、必要に応じて任意成分(成分D、成分E、その他の成分)をさらに含む又は配合してなるものとすることができる。
本開示のスズ析出防止剤は、一又は複数の実施形態において、スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板(被洗浄物)を洗浄する際に、洗浄に用いる水等の洗浄液に添加して使用することができる。
本開示のスズ析出防止剤によれば、一又は複数の実施形態において、スズを含むはんだを使用して実装した電子部品の洗浄において、不溶性のスズ析出物の発生を抑制できる。
[Tin deposition inhibitor]
In one or more embodiments, the composition of the present disclosure can be used to prevent (suppress) the formation of insoluble tin precipitates after cleaning a substrate (object to be cleaned) having a tin-containing water-soluble flux residue. That is, in one or more embodiments, the composition of the present disclosure is a tin deposition inhibitor for preventing (suppressing) the formation of insoluble tin precipitates after cleaning a substrate (object to be cleaned) having a tin-containing water-soluble flux residue.
Therefore, in one aspect, the present disclosure relates to a tin deposition inhibitor (hereinafter also referred to as the "tin deposition inhibitor of the present disclosure") that contains or is blended with an organic solvent (component A), at least one alkali compound selected from a quaternary ammonium hydroxide and an amine compound (component B), and water (component C). In one or more embodiments, the tin deposition inhibitor of the present disclosure can further contain or be blended with optional components (component D, component E, other components) as necessary.
In one or more embodiments, the tin deposition inhibitor of the present disclosure can be used by being added to a cleaning liquid such as water used for cleaning a substrate (object to be cleaned) having tin-containing water-soluble flux residue.
In one or more embodiments, the tin deposition inhibitor of the present disclosure can suppress the generation of insoluble tin deposits when cleaning electronic components mounted using solder containing tin.

[スズ含有水溶性フラックス残渣除去剤]
本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、スズを含むはんだを使用して実装した電子部品上のスズ含有水溶性フラックス残渣の除去(洗浄)に好適に使用される。すなわち、本開示の組成物は、一又は複数の実施形態において、スズを含むはんだを使用して実装した電子部品上のスズ含有水溶性フラックス残渣を除去(洗浄)するためのスズ含有水溶性フラックス残渣除去剤である。
したがって、本開示は、一態様において、有機溶剤(成分A)と、第四級アンモニウム水酸化物及びアミン化合物から選ばれる少なくとも1種のアルカリ化合物(成分B)と、水(成分C)と、を含有する又は配合してなるスズ含有水溶性フラックス残渣除去剤(以下、「本開示の除去剤」ともいう)に関する。本開示の除去剤は、一又は複数の実施形態において、必要に応じて任意成分(成分D、成分E、その他の成分)をさらに含む又は配合してなるものとすることができる。
本開示の除去剤によれば、一又は複数の実施形態において、スズを含むはんだを使用して実装した電子部品の洗浄において、不溶性のスズ析出物の発生を抑制できる。本開示の除去剤によれば、一又は複数の実施形態において、はんだ付けした部品の隙間に残存するスズ含有水溶性フラックス残渣を効率よく除去しつつ、不溶性のスズ析出物の発生を抑制することができる。
[Tin-containing water-soluble flux residue remover]
In one or more embodiments, the composition of the present disclosure is suitable for use in removing (cleaning) tin-containing water-soluble flux residues from electronic components mounted using tin-containing solder. That is, in one or more embodiments, the composition of the present disclosure is a tin-containing water-soluble flux residue remover for removing (cleaning) tin-containing water-soluble flux residues from electronic components mounted using tin-containing solder.
Therefore, in one aspect, the present disclosure relates to a tin-containing water-soluble flux residue remover (hereinafter also referred to as the "remover of the present disclosure") that contains or is a combination of an organic solvent (component A), at least one alkali compound selected from a quaternary ammonium hydroxide and an amine compound (component B), and water (component C). In one or more embodiments, the remover of the present disclosure can further contain or be combined with optional components (component D, component E, and other components) as needed.
In one or more embodiments, the remover of the present disclosure can suppress the generation of insoluble tin precipitates when cleaning electronic components mounted using tin-containing solder. In one or more embodiments, the remover of the present disclosure can suppress the generation of insoluble tin precipitates while efficiently removing tin-containing water-soluble flux residue remaining in gaps between soldered components.

[電子部品の製造方法]
本開示は、一態様において、本開示の洗浄方法を用いるフラックス洗浄工程を有する、電子部品の製造方法(以下、「本開示の電子部品の製造方法」ともいう)に関する。フラックス洗浄工程は、一又は複数の実施形態において、本開示の洗浄方法を用いて被洗浄物を洗浄する工程である。該被洗浄物としては上述した被洗浄物が挙げられる。例えば、本開示の電子部品の製造方法は、一又は複数の実施形態において、半導体チップ、チップ型コンデンサ、及び回路基板から選ばれる少なくとも1つの部品を、水溶性フラックスを使用したはんだ付けにより回路基板上に搭載する工程、並びに前記部品等を接続するためのはんだバンプを回路基板上に形成する工程から選ばれる少なくとも1つの工程と、前記部品が搭載された回路基板及び前記はんだバンプが形成された回路基板から選ばれる少なくとも1つを本開示の洗浄方法により洗浄する工程(フラックス洗浄工程)と、を含む。水溶性フラックスを使用したはんだ付けは、例えば、スズを含む鉛フリーはんだで行われるものであり、リフロー方式でもよく、フロー方式でもよい。電子部品は、半導体チップが未搭載の半導体パッケージ、半導体チップが搭載された半導体パッケージ、及び、半導体装置を含む。本開示の電子部品の製造方法は、本開示の洗浄方法を用いて洗浄を行うことにより、はんだ付けされた部品の隙間やはんだバンプの周辺等に残存するスズ含有水溶性フラックス残渣が低減され、スズ含有水溶性フラックス残渣が残留することに起因する電極間でのショートや接着不良が抑制されるから、信頼性の高い電子部品の製造が可能になる。さらに、本開示の洗浄方法を用いて洗浄を行うことにより、はんだ付けされた部品の隙間等に残存するスズ含有水溶性フラックス残渣の除去(洗浄)が容易になるとともに、不溶性のスズ析出物の発生を抑制できることから、洗浄時間が短縮化でき、電子部品の製造効率を向上できる。
[Electronic component manufacturing method]
In one aspect, the present disclosure relates to a manufacturing method for electronic components (hereinafter also referred to as the "manufacturing method for electronic components of the present disclosure") that includes a flux cleaning step using the cleaning method of the present disclosure. In one or more embodiments, the flux cleaning step is a step of cleaning an object to be cleaned using the cleaning method of the present disclosure. Examples of the object to be cleaned include the objects described above. For example, in one or more embodiments, the manufacturing method for electronic components of the present disclosure includes at least one step selected from the steps of mounting at least one component selected from a semiconductor chip, a chip capacitor, and a circuit board on a circuit board by soldering using a water-soluble flux, and the step of forming solder bumps on the circuit board for connecting the components, etc., and a step (flux cleaning step) of cleaning at least one selected from the circuit board on which the component is mounted and the circuit board on which the solder bumps are formed using the cleaning method of the present disclosure. Soldering using a water-soluble flux is performed, for example, using a lead-free solder containing tin, and may be performed by a reflow method or a flow method. Electronic components include semiconductor packages without semiconductor chips, semiconductor packages with semiconductor chips, and semiconductor devices. The method for manufacturing electronic components disclosed herein reduces tin-containing water-soluble flux residue remaining in gaps between soldered components and around solder bumps by performing cleaning using the cleaning method disclosed herein, thereby suppressing short circuits between electrodes and poor adhesion caused by the remaining tin-containing water-soluble flux residue, thereby enabling the manufacture of highly reliable electronic components. Furthermore, cleaning using the cleaning method disclosed herein facilitates the removal (cleaning) of tin-containing water-soluble flux residue remaining in gaps between soldered components and suppresses the formation of insoluble tin precipitates, thereby shortening cleaning time and improving the manufacturing efficiency of electronic components.

[キット]
本開示は、一態様において、本開示の組成物を製造するためのキット(以下、「本開示のキット」ともいう)に関する。本開示のキットは、一又は複数の実施形態において、本開示の洗浄方法及び本開示の電子部品の製造方法のいずれかに使用するためのキットである。本開示のキットによれば、スズを含むはんだを使用して実装した電子部品の洗浄において、不溶性のスズ析出物の発生を抑制可能な組成物を得ることができる。
本開示のキットの一実施形態としては、成分Aを含有する溶液(第1液)と、成分Bを含有する溶液(第2液)とを、相互に混合されない状態で含み、第1液及び第2液から選ばれる少なくとも1つは成分C(水)の一部又は全部をさらに含有し、第1液と第2液とは使用時に混合される、キット(2液型洗浄剤組成物)が挙げられる。第1液と第2液とが混合された後、必要に応じて成分C(水)で希釈されてもよい。第1液及び第2液の各々には、必要に応じて上述した任意成分(成分D、成分E、その他の成分)が含まれていてもよい。
[kit]
In one aspect, the present disclosure relates to a kit for producing the composition of the present disclosure (hereinafter also referred to as the "kit of the present disclosure"). In one or more embodiments, the kit of the present disclosure is a kit for use in either the cleaning method of the present disclosure or the method for producing an electronic component of the present disclosure. The kit of the present disclosure can provide a composition that can suppress the generation of insoluble tin precipitates when cleaning electronic components mounted using solder containing tin.
One embodiment of the kit of the present disclosure is a kit (two-liquid cleaning composition) that contains a solution containing component A (first liquid) and a solution containing component B (second liquid) in a mutually unmixed state, and at least one selected from the first and second liquids further contains part or all of component C (water), and the first and second liquids are mixed at the time of use. After the first and second liquids are mixed, they may be diluted with component C (water) as needed. Each of the first and second liquids may contain the above-mentioned optional components (component D, component E, and other components) as needed.

以下に、実施例により本開示を具体的に説明するが、本開示はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。 The present disclosure will be explained in detail below using examples, but the present disclosure is not limited to these examples in any way.

1.洗浄剤組成物の調製(実施例1~2、比較例1~3)
(実施例1)
実施例1の洗浄剤組成物には、表1に示す処方1の組成物を用いた。処方1の組成物は以下のようにして調製した。
100mLガラスビーカーに、ベンジルアルコール(成分A)、N-メチルエタノールアミン(成分B)、ベンゾトリアゾール(成分D)、水(成分C)を配合し、下記条件で混合し、処方1の組成物(pH:11.1)を得た。処方1の組成物中の各成分の配合量(有効分、質量%)を表1に示す。
<混合条件>
液温度:25℃
攪拌機:マグネチックスターラー(50mm回転子)
回転数:300rpm
攪拌時間:10分
(実施例2)
実施例2の洗浄剤組成物には、表1に示す処方2の組成物を用いた。処方2の組成物は以下のようにして調製した。
100mLガラスビーカーに、ベンジルアルコール(成分A)、N-メチルエタノールアミン(成分B)、エチドロン酸(成分E)、水(成分C)を配合し、処方1と同様の混合条件で混合し、処方2の組成物(pH:11.0)を得た。処方2の組成物中の各成分の配合量(有効分、質量%)を表1に示す。
(比較例3)
比較例3の洗浄剤組成物には、表1に示す処方3の組成物を用いた。処方3の組成物は以下のようにして調製した。
100mLガラスビーカーに、ベンジルアルコール(成分A)、ブチルジエタノールアミン(成分B)、エチドロン酸(成分E)、水(成分C)を配合し、実施例1と同様の混合条件で混合し、処方3の組成物(pH:11.0)を得た。処方3の組成物中の各成分の配合量(有効分、質量%)を表1に示す。
なお、表1中の水の配合量には、酸水溶液等に含まれる水の配合量も含まれている。
1. Preparation of Cleaning Compositions (Examples 1 and 2, Comparative Examples 1 to 3)
Example 1
The cleaning composition of Example 1 used was the composition of Formulation 1 shown in Table 1. The composition of Formulation 1 was prepared as follows.
Benzyl alcohol (component A), N-methylethanolamine (component B), benzotriazole (component D), and water (component C) were blended in a 100 mL glass beaker and mixed under the conditions below to obtain a composition (pH: 11.1) of formulation 1. The blend amount (active ingredient, mass %) of each component in the composition of formulation 1 is shown in Table 1.
<Mixing conditions>
Liquid temperature: 25℃
Stirrer: Magnetic stirrer (50 mm rotor)
Rotation speed: 300 rpm
Stirring time: 10 minutes (Example 2)
The cleaning composition of Example 2 used was the composition of Formulation 2 shown in Table 1. The composition of Formulation 2 was prepared as follows.
Benzyl alcohol (ingredient A), N-methylethanolamine (ingredient B), etidronic acid (ingredient E), and water (ingredient C) were blended in a 100 mL glass beaker and mixed under the same mixing conditions as for formulation 1 to obtain a composition of formulation 2 (pH: 11.0). The blend amount (active ingredient, % by mass) of each component in the composition of formulation 2 is shown in Table 1.
(Comparative Example 3)
The cleaning composition of Comparative Example 3 used was the composition of Formulation 3 shown in Table 1. The composition of Formulation 3 was prepared as follows.
Benzyl alcohol (component A), butyldiethanolamine (component B), etidronic acid (component E), and water (component C) were combined in a 100 mL glass beaker and mixed under the same mixing conditions as in Example 1 to obtain a composition of formulation 3 (pH: 11.0). The amount of each component (active ingredient, % by mass) in the composition of formulation 3 is shown in Table 1.
The amount of water in Table 1 includes the amount of water contained in the acid aqueous solution and the like.

(比較例1)
比較例1の洗浄剤組成物には、水(pH:7.1)を用いた。
(比較例2)
比較例2の洗浄剤組成物には、KOH水溶液(使用濃度:0.1質量%、pH:13.1)を用いた。
(Comparative Example 1)
For the cleaning composition of Comparative Example 1, water (pH: 7.1) was used.
(Comparative Example 2)
For the cleaning composition of Comparative Example 2, an aqueous KOH solution (concentration used: 0.1% by mass, pH: 13.1) was used.

各洗浄剤組成物の調製には下記のものを使用した。
ベンジルアルコール[東京化成工業株式会社製]
N-メチルエタノールアミン[東京化成工業株式会社製]
ブチルジエタノールアミン[日本乳化剤株式会社製、アミノアルコールMBD]
水[オルガノ株式会社製純水装置G-10DSTSETで製造した1μS/cm以下の純水]
ベンゾトリアゾール[東京化成工業株式会社製]
エチドロン酸(HEDP)[イタルマッチジャパン株式会 社製、デイクエスト 2010、固形分60質量%]
KOH[東京化成工業株式会社製]
The following materials were used to prepare each of the cleaning compositions.
Benzyl alcohol [Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.]
N-methylethanolamine [Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.]
Butyldiethanolamine [Amino Alcohol MBD, manufactured by Nippon Nyukazai Co., Ltd.]
Water [pure water of 1 μS/cm or less produced using the Organo Corporation G-10DSTSET water purification system]
Benzotriazole [Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.]
Etidronic acid (HEDP) [Italmatch Japan Co., Ltd., Dequest 2010, solid content 60% by mass]
KOH [Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.]

[成分Bの物性]
洗浄剤組成物の調製に用いた成分Bのハンセン溶解度パラメータの極性項(δp)を表2に示す。極性項(δp)は、パソコン用ソフト「HSPiP:Hansen Solubility Parameters in Practice」を用いて算出した。
[Physical properties of component B]
The polarity term (δp) of the Hansen solubility parameters of component B used in preparing the cleaning composition is shown in Table 2. The polarity term (δp) was calculated using the computer software "HSPiP: Hansen Solubility Parameters in Practice."

2.パラメータ測定方法
[導電率の評価]
導電率の評価は、以下の手順にて行った。
50mLガラスビーカーに、各洗浄剤組成物を20g添加し、卓上型電気伝導率計「DS-72」(HORIBA社製)を用いて、25℃における導電率(単位:mS/m)を測定する。電極を洗浄剤組成物へ浸漬後3分後の数値を読み取る。
2. Parameter measurement method [Evaluation of conductivity]
The conductivity was evaluated according to the following procedure.
20 g of each cleaning composition was added to a 50 mL glass beaker, and the conductivity (unit: mS/m) at 25°C was measured using a benchtop electrical conductivity meter "DS-72" (manufactured by HORIBA Co., Ltd.) The value was read 3 minutes after immersing the electrode in the cleaning composition.

[pHの評価]
pHの評価は、以下の手順にて行った。
50mLガラスビーカーに、各洗浄剤組成物を20g添加し、pHメーター(東亜ティーディーケー社製)を用いて、25℃におけるpHを測定する。電極を洗浄剤組成物へ浸漬後3分後の数値を読み取る。
[Evaluation of pH]
The pH was evaluated according to the following procedure.
20 g of each cleaning composition was added to a 50 mL glass beaker, and the pH was measured at 25° C. using a pH meter (manufactured by Toa TDK Corporation). The value was read 3 minutes after immersing the electrode in the cleaning composition.

3.洗浄剤組成物の評価
実施例1~2、比較例1~3の洗浄剤組成物を用いて下記評価を行った。
3. Evaluation of Cleaning Compositions The cleaning compositions of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 3 were evaluated as follows.

[スズ化合物の溶解量評価]
スズ化合物の溶解量評価は、以下の手順にて行った。
50mLガラスビーカーに、回転子および各洗浄剤組成物を20g添加し、70℃に加温した湯浴中に浸漬する。
次に、各スズ試薬(スズ(0価)(富士フィルム和光純薬社製)、酸化スズ(2価)(富士フィルム和光純薬社製)、酸化スズ(4価)(富士フィルム和光純薬社製))をそれぞれビーカーに0.5g添加し、70℃条件下600rpmで1時間攪拌する。
ビーカーから洗浄剤組成物を採取し、フィルタリング(ADVANTEC社製、25HP020AN)をした後、超純水で10倍希釈を行った。得られたサンプルを用い、ICP発光分光分析(Agilent Techonologies社製、Agilent5100/5110ICP―OES)により、洗浄剤組成物中のスズ(0価、2価、4価)の溶解量を算出した。さらに、酸化スズ(2価)については、洗浄剤組成物を100倍希釈したときの溶解量も算出した。
溶解量を算出するにあたり、スズ標準液(Sn1000)(富士フィルム和光純薬社製)を使用し、検量線法を用いた。結果を表3に示す。表3中の数値は希釈前の換算値であり、数値が高いほど、スズ化合物の溶解量が高いと評価できる。
なお、表3中のA、B、C、Dは下記の溶解量を示す。
A:スズ(0価)の溶解量(Sn(0)溶解量)
B:スズ(2価)の溶解量(SnO(II)溶解量)
C:スズ(4価)の溶解量(SnO2(IV)溶解量)
D:スズ(2価)の溶解量(Bで使用した洗浄剤組成物を水で100倍希釈したときの酸化スズ(2価)の溶解量の評価を実施したもの)
[Evaluation of the amount of dissolved tin compounds]
The amount of dissolved tin compound was evaluated according to the following procedure.
A rotor and 20 g of each detergent composition were placed in a 50 mL glass beaker, and the beaker was immersed in a water bath heated to 70°C.
Next, 0.5 g of each tin reagent (tin (0-valent) (manufactured by Fujifilm Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), tin oxide (2-valent) (manufactured by Fujifilm Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), tin oxide (4-valent) (manufactured by Fujifilm Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)) was added to a beaker and stirred at 600 rpm at 70°C for 1 hour.
The cleaning composition was collected from the beaker, filtered (25HP020AN, manufactured by ADVANTEC Corporation), and then diluted 10-fold with ultrapure water. The resulting sample was used to calculate the amounts of tin (zerovalent, divalent, and tetravalent) dissolved in the cleaning composition by ICP emission spectroscopy (Agilent 5100/5110 ICP-OES, manufactured by Agilent Technologies). Furthermore, the amount of tin oxide (divalent) dissolved when the cleaning composition was diluted 100-fold was also calculated.
The amount dissolved was calculated using a calibration curve method using a tin standard solution (Sn1000) (manufactured by Fujifilm Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) The results are shown in Table 3. The values in Table 3 are converted values before dilution, and it can be evaluated that the higher the value, the higher the amount of tin compound dissolved.
In Table 3, A, B, C, and D represent the following dissolution amounts.
A: amount of dissolved tin (zero valent) (amount of dissolved Sn(0))
B: Amount of dissolved tin (divalent) (amount of dissolved SnO (II))
C: Amount of dissolved tin (tetravalent) (amount of dissolved SnO 2 (IV))
D: Amount of tin (divalent) dissolved (the amount of tin (divalent) oxide dissolved was evaluated when the cleaning composition used in B was diluted 100 times with water)

[不溶性のスズ化合物の洗浄性及び不溶性のスズ化合物の発生防止性の評価]
スズは、はんだ合金の主成分として用いられており、部材ダメージの低減及び不溶性のスズ化合物の発生防止という観点から、A(Sn(0)溶解量)の値は小さいことが好ましい。一方、基板を加熱する工程で、はんだ表面に存在する酸化スズがフラックス中に溶出することが知られている(引用文献:特開2000-042786、0009)。溶出したスズ成分を洗浄除去する観点から、B(SnO(II)溶解量)、C(SnO2(IV)溶解量)、D(100倍希釈したときのSnO(II)溶解量)の値はゼロを上回る必要がある。
不溶性のスズ化合物の発生を防止する観点から、BおよびCの値は大きいことが好ましい。フラックスを除去した後のすすぎ工程において、すすぎ槽に洗浄液が微量持ち込まれる。不溶性のスズ化合物の発生を防止する観点から、Dの値は大きいことが好ましい。
上記を踏まえ、下記評価基準に基づき、不溶性のスズ化合物の洗浄性・不溶性のスズ化合物の発生防止性の評価を行った。結果を表3に示す。
<不溶性のスズ化合物の洗浄性の評価基準>
2:溶解量B、C、Dが10を超過する
1:溶解量B、C、Dが0を超過し、10以下である
0:溶解量B、C、Dのいずれかが0である
<不溶性のスズ化合物の発生防止性の評価基準>
1:溶解量A~Dのうち、溶解量Aが最小値である
0:溶解量A~Dのうち、溶解量Aが他の溶解量と同等又は溶解量A以外の溶解量が溶解量Aより低い
[Evaluation of cleaning ability of insoluble tin compounds and prevention of generation of insoluble tin compounds]
Tin is used as the main component of solder alloys, and from the viewpoint of reducing damage to components and preventing the generation of insoluble tin compounds, it is preferable that the value of A (amount of dissolved Sn(O)) is small. On the other hand, it is known that tin oxide present on the solder surface dissolves into the flux during the process of heating the substrate (Reference: JP 2000-042786, 0009 A). From the viewpoint of cleaning and removing the dissolved tin component, the values of B (amount of dissolved SnO(II)), C (amount of dissolved SnO2 (IV)), and D (amount of dissolved SnO(II) when diluted 100 times) must be greater than zero.
From the viewpoint of preventing the generation of insoluble tin compounds, it is preferable that the values of B and C are large. In the rinsing process after flux removal, a small amount of cleaning liquid is carried into the rinsing tank. From the viewpoint of preventing the generation of insoluble tin compounds, it is preferable that the value of D is large.
Based on the above, the cleaning ability of insoluble tin compounds and the prevention of the generation of insoluble tin compounds were evaluated based on the following evaluation criteria. The results are shown in Table 3.
<Evaluation criteria for cleaning properties of insoluble tin compounds>
2: The dissolved amounts B, C, and D exceed 10. 1: The dissolved amounts B, C, and D exceed 0 and are 10 or less. 0: Any of the dissolved amounts B, C, and D is 0. <Evaluation criteria for prevention of generation of insoluble tin compounds>
1: Of the dissolution amounts A to D, dissolution amount A is the smallest value. 0: Of the dissolution amounts A to D, dissolution amount A is equal to the other dissolution amounts or the dissolution amounts other than dissolution amount A are lower than dissolution amount A.

[部材ダメージの評価]
走査電子顕微鏡(日本電子社製、JCM―7000NeoScope)を用いて、スズ化合物の溶解量評価に使用したスズ試薬(スズ(0価)(富士フィルム和光純薬社製))の観察を行い、下記評価基準で部材ダメージを評価した。結果を表3に示す。
<評価基準>
A:洗浄前後で、外観に変化がない。
B:洗浄後、部分的に変化あり
C:洗浄後、全体の30~70%に変化あり
D:洗浄後、全体の70%超に変化あり
上記評価に使用したスズ試薬の表面を観察すると、凹凸が存在することが確認される。実施例1~2及び比較例1、3の洗浄剤組成物を使用して部材ダメージを評価した場合、洗浄前後で外観に変化がないことが確認された。また、比較例2の洗浄剤組成物を使用して部材ダメージを評価した場合、洗浄後に表面の凹凸が除去されており、スズ表面にダメージがあることが確認された。
[Evaluation of component damage]
The tin reagent (tin (zero valence) (Fujifilm Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)) used to evaluate the amount of dissolved tin compounds was observed using a scanning electron microscope (JCM-7000 NeoScope, manufactured by JEOL Ltd.), and damage to the components was evaluated according to the following evaluation criteria. The results are shown in Table 3.
<Evaluation criteria>
A: There is no change in appearance before and after cleaning.
B: Partial change after cleaning C: 30 to 70% of the total surface changed after cleaning D: More than 70% of the total surface changed after cleaning When observing the surface of the tin reagent used in the above evaluation, the presence of irregularities was confirmed. When component damage was evaluated using the cleaning compositions of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 3, it was confirmed that there was no change in appearance before and after cleaning. Furthermore, when component damage was evaluated using the cleaning composition of Comparative Example 2, it was confirmed that the surface irregularities were removed after cleaning, and that there was damage to the tin surface.

上記表3に示すとおり、実施例1~2の洗浄剤組成物は、比較例1~2に比べて、未溶出のスズ(0価のスズ)に対する溶解性を抑制でき、かつ、洗浄時及びリンス時において溶出状態のスズ(例えば、2価や4価のスズ)に対する溶解性を維持することができており、不溶性のスズ化合物の洗浄性に優れ、不溶性のスズ化合物の発生を抑制できると評価できた。また、導電率比II/Iが0.07である実施例1~2は、導電率比II/Iが0.02である比較例3に比べて、不溶性のスズ化合物の発生をより抑制されていた。したがって、本開示の組成物は、スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板の洗浄において、不溶性のスズ析出物の発生を抑制できると考えられる。 As shown in Table 3 above, the cleaning compositions of Examples 1 and 2 were able to suppress the solubility of undissolved tin (zerovalent tin) compared to Comparative Examples 1 and 2, and were able to maintain the solubility of dissolved tin (e.g., divalent or tetravalent tin) during cleaning and rinsing. These compositions were evaluated as having excellent cleaning performance for insoluble tin compounds and suppressing the generation of insoluble tin compounds. Furthermore, Examples 1 and 2, which had a conductivity ratio II/I of 0.07, further suppressed the generation of insoluble tin compounds compared to Comparative Example 3, which had a conductivity ratio II/I of 0.02. Therefore, it is believed that the compositions of the present disclosure can suppress the generation of insoluble tin precipitates when cleaning substrates containing tin-containing water-soluble flux residues.

本開示の洗浄方法は、例えば、半導体装置の製造プロセスにおける水溶性フラックスの洗浄の短縮化及び製造される半導体装置の性能・信頼性の向上が可能となり、半導体装置の生産性を向上できる。 The cleaning method disclosed herein can, for example, shorten the cleaning time for water-soluble flux in the semiconductor device manufacturing process and improve the performance and reliability of the manufactured semiconductor device, thereby improving the productivity of semiconductor devices.

Claims (15)

有機溶剤(成分A)と、第四級アンモニウム水酸化物及びアミン化合物から選ばれる少なくとも1種のアルカリ化合物(成分B)と、水(成分C)と、を含有する組成物で、スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板を処理する洗浄工程を含み、
前記組成物中の成分Cの含有量が80質量%以上であり、
下記導電率Iに対する下記導電率IIの比率[II/I]が0.03以上1.0以下の範囲である、スズ含有水溶性フラックスの洗浄方法。
導電率I:前記洗浄工程で前記基板の処理に使用する組成物の導電率
導電率II:前記洗浄工程で前記基板の処理に使用する組成物を100倍希釈したときの導電率
The method includes a cleaning step of treating a substrate having a tin-containing water-soluble flux residue with a composition containing an organic solvent (component A), at least one alkaline compound selected from a quaternary ammonium hydroxide and an amine compound (component B), and water (component C),
The content of component C in the composition is 80% by mass or more,
A method for cleaning a tin-containing water-soluble flux, wherein the ratio [II/I] of the following electrical conductivity II to the following electrical conductivity I is in the range of 0.03 to 1.0.
Conductivity I: Conductivity of the composition used to treat the substrate in the cleaning step Conductivity II: Conductivity when the composition used to treat the substrate in the cleaning step is diluted 100 times
前記組成物中の成分Aの含有量に対する成分Bの含有量の質量比B/Aが0.1以上10.0以下である、請求項1に記載の洗浄方法。 The cleaning method according to claim 1, wherein the mass ratio B/A of the content of component B to the content of component A in the composition is 0.1 or more and 10.0 or less. 導電率IIが0.5mS/m以上50mS/m以下である、請求項1に記載の洗浄方法。 The cleaning method described in claim 1, wherein the conductivity II is 0.5 mS/m or more and 50 mS/m or less. 成分Aは、下記式(I)で表される化合物及び下記式(II)で表される化合物から選ばれる少なくとも1種の溶剤である、請求項1に記載の洗浄方法。
1-O-(AO)n-R2 (I)
上記式(I)中、R1はフェニル基又は炭素数1以上8以下のアルキル基であり、R2は水素原子又は炭素数1以上4以下のアルキル基であり、AOはエチレンオキシド基又はプロピレンオキシド基であり、nはAOの付加モル数であり、1以上3以下の整数である。
3-CH2OH (II)
上記式(II)中、R3はフェニル基、ベンジル基、又はシクロヘキシル基である。
2. The cleaning method according to claim 1, wherein component A is at least one solvent selected from the group consisting of compounds represented by the following formula (I) and compounds represented by the following formula (II):
R 1 -O-(AO) n -R 2 (I)
In the above formula (I), R1 is a phenyl group or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, R2 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, AO is an ethylene oxide group or a propylene oxide group, and n is the number of moles of AO added and is an integer of 1 to 3.
R 3 -CH 2 OH (II)
In the above formula (II), R3 is a phenyl group, a benzyl group, or a cyclohexyl group.
前記組成物中の成分Bと成分Cとの質量比B/Cが0.0005以上0.11以下である、請求項1に記載の洗浄方法。 The cleaning method according to claim 1, wherein the mass ratio B/C of component B to component C in the composition is 0.0005 or more and 0.11 or less. 前記組成物中の成分Cと成分Aの質量比C/Aが1以上10,000以下である、請求項1に記載の洗浄方法。 The cleaning method according to claim 1, wherein the mass ratio C/A of component C to component A in the composition is 1 or more and 10,000 or less. 成分Bはハンセン溶解度パラメータの極性項(δp)が7.5MPa0.5より大きいアミン化合物を含む、請求項1に記載の洗浄方法。 2. The cleaning method according to claim 1, wherein component B comprises an amine compound having a polar term (δp) of the Hansen solubility parameter of greater than 7.5 MPa 0.5 . 前記組成物が複素環式芳香族化合物(成分D)をさらに含有する、請求項1に記載の洗浄方法。 The cleaning method of claim 1, wherein the composition further contains a heterocyclic aromatic compound (component D). 前記組成物がキレート剤(成分E)をさらに含有する、請求項1に記載の洗浄方法。 The cleaning method of claim 1, wherein the composition further contains a chelating agent (component E). 成分Eが、オキシカルボン酸及びホスホン酸から選ばれる少なくとも1種の有機酸である、請求項に記載の洗浄方法。 10. The cleaning method according to claim 9 , wherein component E is at least one organic acid selected from hydroxycarboxylic acids and phosphonic acids. 前記組成物中の成分Bの含有量は、成分Eの含有量よりも多い、請求項に記載の洗浄方法。 The cleaning method according to claim 9 , wherein the content of component B in the composition is greater than the content of component E. 前記組成物中の成分Bと成分Eとの質量比B/Eが0.01以上1,000以下である、請求項に記載の洗浄方法。 The cleaning method according to claim 9 , wherein the mass ratio B/E of component B to component E in the composition is 0.01 or more and 1,000 or less. 前記洗浄工程は、前記スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板を、洗浄機を用いて洗浄することを含む、請求項1に記載の洗浄方法。 The cleaning method according to claim 1, wherein the cleaning step includes cleaning the substrate having the tin-containing water-soluble flux residue using a cleaning machine. 前記洗浄工程は、前記スズ含有水溶性フラックス残渣を有する基板を10℃以上80℃以下の前記組成物に接触させることを含む、請求項1に記載の洗浄方法。 The cleaning method according to claim 1, wherein the cleaning step includes contacting the substrate having the tin-containing water-soluble flux residue with the composition at a temperature of 10°C or higher and 80°C or lower. 請求項1から14のいずれか1項に記載の洗浄方法を用いるフラックス洗浄工程を有する、電子部品の製造方法。 A method for manufacturing electronic components, comprising a flux cleaning step using the cleaning method according to any one of claims 1 to 14 .
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