JP7805852B2 - 較正装置、較正方法、および較正プログラム - Google Patents

Description

本発明は、較正装置、較正方法、および較正プログラムに関する。

特許文献１には、「移動体に設けられた所定の周期の目盛を有する第１のトラックから検出された第１の信号と、前記移動体に設けられた第２のトラックであって前記所定の周期よりも少ない周期の目盛を有する前記第２のトラックから検出された第２の信号の波形を補正する波形補正部と、補正された前記第１の信号及び前記第２の信号に基づいて前記移動体の位置を算出する位置算出部と、を備える、位置検出装置」が記載されている（請求項１）。また、特許文献１には、「内挿角補正部７００は、補正テーブル５１０から得られる内挿角の誤差情報に基づいて、内挿角演算部２５０、内挿角演算部２６０が演算した補正前の内挿角を補正する。この際、内挿角補正部７００は、角度演算部３１０から送られた絶対角度θｒｅｆに対応するスリット番号を求め、そのスリット番号に対応する内挿角を、補正テーブル５１０に記録された差分を用いて補正する。補正された内挿角は角度演算部６２０に送られる。角度演算部（第２の位置算出部）６２０は、補正された内挿角に基づいて絶対角度を演算する。より具体的には、角度演算部６２０は、補正された内挿角と、角度演算部３１０から送られた絶対角度θｒｅｆに対応するスリット番号とに基づいて絶対角度を演算する。」と記載されている（段落００４１）。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］ 国際公開第２０１８／１９００１９号

特許文献１に記載の位置検出装置においては、絶対角度θｒｅｆに対応するスリット番号を求め、そのスリット番号に対応する内挿角を、補正テーブル５１０に記録された差分を用いて補正する。このため、絶対角度θｒｅｆの誤差が大きい場合には、スリット番号を誤ってしまい、誤った差分値を補正テーブルから読み出す可能性がある。

本発明の第１の態様においては、較正装置を提供する。較正装置は、移動体の実位置毎に、移動体の検出位置を取得する取得部と、移動体の実位置毎の検出位置について、スリット位置を検出するスリット位置信号と移動体の実位置に応じた理想のスリット番号との誤差を算出する算出部と、予め定められた大きさの第１スリットを単位とするスリット番号が少なくとも一部異なる２以上の実位置が同一の検出位置に対応するか否かを判定する判定部と、２以上の実位置が同一の検出位置に対応することに応じて、当該検出位置において、スリット位置信号に対して２以上の実位置のそれぞれにおける誤差の間の大きさの補正を行なう補正値を生成する生成部を備える。

生成部は、１つの実位置のみがある検出位置に対応することに応じて、スリット位置信号に対して、その検出位置において１つの実位置における誤差の補正を行なう補正値を生成してよい。

上記のいずれかの較正装置において、生成部は、取得部が取得した検出位置の区間毎に補正値を生成してよい。

上記のいずれかの較正装置において、生成部は、取得部が取得した検出位置の区間毎に、検出位置に応じた補正値を表す補正関数のパラメータを算出してよい。

上記のいずれかの較正装置において、生成部は、取得部が取得した検出位置の区間毎に、検出位置に応じた補正値の集合をフーリエ級数展開することにより、補正関数のパラメータを算出してよい。

上記のいずれかの較正装置において、生成部は、２以上の実位置が同一の検出位置に対応することに応じて、スリット位置信号に対して、２以上の実位置のそれぞれにおける誤差を平均した大きさの補正を行なう補正値を生成してよい。

上記のいずれかの較正装置において、生成部は、実位置および検出位置の対応関係を、第１スリットの境界にマージンを持たせて判断してよい。上記のいずれかの較正装置において、生成部は、スリット位置信号に対して第１スリットの境界に予め定められたマージンの加算または減算の少なくとも１つを行なうことにより得られる検出位置と実位置との対応を含む、当該検出位置に対応する少なくとも１つの実位置を用いて補正値を生成してよい。

上記のいずれかの較正装置は、スリット位置信号に補正値を加えた値を四捨五入して第１スリットを単位とするスリット番号を算出するエンコーダに対して補正値を出力する出力部を更に備えてよい。

上記のいずれかの較正装置において、エンコーダは、スリット位置信号に補正値を加えた値が整数となるように四捨五入したスリット番号を算出してよい。

上記のいずれかの較正装置において、出力部は、エンコーダが有する補正テーブルに補正値を書き込んでよい。

上記のいずれかの較正装置は、生成部が生成した補正値により補正したスリット位置信号を用いて算出したスリット番号に誤りが生じるか否かを検査する検査部を更に備えてよい。

上記のいずれかの較正装置において、移動体は回転体でり、回転体は、回転体の１周を予め定められた第１の数で分割した第１周期毎の第１スリットを含む第１トラックと、回転体の１周を第１の数より小さい第２の数で分割した第２周期毎の第２スリットを含む第２トラックとを有し、較正対象となるエンコーダは、移動体の検出位置を、第１トラックから検出した第１検出値および第２トラックから検出した第２検出値に基づいて算出してよい。

回転体は、回転体の１周を第１の数および第２の数とは異なる第３の数で分割した第３周期毎の第３スリットを含む第３トラックを有し、エンコーダは、移動体の検出位置を、第３トラックから検出した第３検出値に更に基づいて算出してよい。

本発明の第２の態様においては、較正方法を提供する。較正方法は、較正装置が、移動体の実位置毎に、移動体の検出位置を取得することと、較正装置が、移動体の実位置毎の検出位置について、スリット位置を検出するスリット位置信号と移動体の実位置に応じた理想のスリット番号との誤差を算出することと、較正装置が、予め定められた大きさの第１スリットを単位とするスリット番号が少なくとも一部異なる２以上の実位置が同一の検出位置に対応するか否かを判定することと、２以上の実位置が同一の検出位置に対応することに応じて、当該検出位置において、スリット位置信号に対して２以上の実位置のそれぞれにおける誤差の間の大きさの補正を行なう補正値を生成することを備える。

本発明の第３の態様においては、コンピュータにより実行される較正プログラムを提供する。較正プログラムは、コンピュータを、移動体の実位置毎に、移動体の検出位置を取得する取得部と、移動体の実位置毎の検出位置について、スリット位置を検出するスリット位置信号と移動体の実位置に応じた理想のスリット番号との誤差を算出する算出部と、予め定められた大きさの第１スリットを単位とするスリット番号が少なくとも一部異なる２以上の実位置が同一の検出位置に対応するか否かを判定する判定部と、２以上の実位置が同一の検出位置に対応することに応じて、当該検出位置において、スリット位置信号に対して２以上の実位置のそれぞれにおける誤差の間の大きさの補正を行なう補正値を生成する生成部として機能させる。

なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本実施形態に係る位置検出装置１０の構成を示す。 理想機械角および電気内挿角の関係の一例を示す。 理想機械角およびスリット番号の関係の一例を示す。 理想機械角毎のスリット位置信号エラーの一例を示す。 理想機械角毎のスリット位置信号エラーの一例を、スリット番号２０に着目して示す。 機械角の測定値毎のスリット位置信号エラーの一例を、補正後にスリット番号２０に対応すべきエラー値に着目して示す。 本実施形態に係る較正装置７００の構成を示す。 本実施形態に係る較正装置７００の動作フローを示す。 較正装置７００が生成する補正値の一例を示す。 補正後のスリット位置信号エラーの一例を示す。 補正値に隙間が生じる例を示す。 本実施形態に係る、補正値の隙間を補間する方法の一例を示す。 本実施形態の変形例に係る位置検出装置１３００の構成を示す。 本実施形態の変形例に係る第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢの理想値の一例を示す。 本実施形態の変形例に係る第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢの理想値の一例を示す。 本実施形態の変形例に係るスリット番号の理想値の一例を示す。 本発明の複数の態様が全体的または部分的に具現化されてよいコンピュータ２２００の例を示す。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る位置検出装置１０の構成を示す。位置検出装置１０は、移動体１００およびエンコーダ１１０を備える。移動体１００は、エンコーダ１１０による位置検出の対象となる被測定物である。本実施形態において、移動体１００は、一例として、回転軸に対して垂直に配置された円盤状の回転体である。これに代えて、移動体１００は、直線に沿って、エンコーダ１１０に対して相対的に移動する移動体であってもよい。

移動体１００は、複数のトラック１０５ａ～ｂ（「トラック１０５」とも示す。）を備える。各トラック１０５は、移動体１００の移動方向に沿って予め定められた間隔毎に設けられた複数のスリットを含む。本実施形態においては、各トラック１０５は、回転体である移動体１００において、回転軸を中心とする円周方向に等間隔に設けられた複数のスリットを含む。各スリットは、磁気、光、または電気等を用いてエンコーダ１１０により検出可能な構造体である。例えば、各スリットは、移動体１００の円周方向に等間隔に設けられた開口もしくは突起、移動体１００の外周に形成された歯車の個々の歯、または、移動体１００の円周方向に等間隔に着磁された着磁体等である。

複数のトラック１０５のそれぞれは、移動体１００の面において、回転軸を中心として、回転軸からの距離（すなわち半径）が互いに異なる位置に設けられてよい。本実施形態においては、トラック１０５ａは、移動体１００の外周近傍において円周方向に設けられ、トラック１０５ｂは、トラック１０５ａの内周側においてトラック１０５ａに隣接して円周方向に設けられる。

ここで、複数のトラック１０５は、互いに異なる周期でスリットを有する。本実施形態において、トラック１０５ａは、第１トラックの一例であり、移動体１００の１周を予め定められた第１の数Ｎ_Ｍで分割した第１周期毎の第１スリットを含む。また、トラック１０５ｂは、第２トラックの一例であり、移動体１００の１周を第１の数より小さい第２の数Ｎ_Ｎで分割した第２周期毎の第２スリットを含む。ここで、移動体１００が有するトラック１０５が２つである場合には、トラック１０５ａにおける１周あたりのスリットの数（第１の数Ｎ_Ｍ）と、トラック１０５ｂにおける１周あたりのスリットの数（第２の数Ｎ_Ｎ）とは、互いに素であってよい。第１の数Ｎ_Ｍおよび第２の数Ｎ_Ｎは、差が１となるように決定されてもよい。例えば、第１の数Ｎ_Ｍおよび第２の数Ｎ_Ｎの組は、（８，７）、（４０，３９）、または（１２８，１２７）等であってよい。

エンコーダ１１０は、移動体１００の複数のトラック１０５から検出した複数の検出値に基づいて、移動体１００の検出位置を算出する。エンコーダ１１０は、複数の検出部１２０ａ～ｂ（「検出部１２０」とも示す。）と、スリット位置信号算出部１３０と、スリット番号算出部１４０と、補正テーブル１５０と、スリット番号補正部１６０と、位置算出部１７０とを備える。

複数の検出部１２０のそれぞれは、複数のトラック１０５のそれぞれに対応して設けられ、対応するトラック１０５から検出した検出値を出力する。本実施形態において、検出部１２０ａは、第１検出部として機能し、第１トラックの一例であるトラック１０５ａから第１検出値を検出して出力する。検出部１２０ｂは、第２検出部として機能し、第２トラックの一例であるトラック１０５ｂから第２検出値を検出して出力する。ここで、検出部１２０ａおよび検出部１２０ｂは、対応するトラック１０５における隣接するスリット間を１周期（＝３６０度）とする（電気）内挿角θ_Ｍおよびθ_Ｎをそれぞれ出力する。

スリット位置信号算出部１３０は、複数の検出部１２０に接続される。スリット位置信号算出部１３０は、複数の検出部１２０からの複数の検出値を用いて、スリット位置信号ＳＳを出力する。スリット位置信号は、エンコーダ１１０により検出された移動体１００の位置を示す値として、検出部１２０ａ～ｂにより検出された第１スリットのスリット番号を示す。

スリット番号算出部１４０は、スリット位置信号算出部１３０に接続される。スリット番号算出部１４０は、スリット位置信号算出部１３０が出力するスリット位置信号ＳＳを用いて、予め定められた大きさの第１スリットを単位とするスリット番号Ｓ_Ｍ（すなわち移動体１００が位置するスリットのスリット番号）を算出する。ここで、スリット番号補正部１６０によるスリット番号の補正前における移動体１００の検出位置は、スリット番号Ｓ_Ｍと、内挿角θ_Ｍとの組で表される。本実施形態において、検出位置の一例としての機械角θ_ｄは、以下の式（１）で表される。

補正テーブル１５０は、検出部１２０ａおよびスリット番号算出部１４０に接続される。補正テーブル１５０は、スリット番号毎に、第１トラックから検出された第１検出信号（内挿角θ_Ｍ）に応じた補正値のセットを格納する。補正テーブル１５０は、スリット番号算出部１４０から受け取ったスリット番号Ｓ_Ｍに対応付けられた補正値のセットのうち、第１検出信号により指定される内挿角θ_Ｍに対応付けられた補正値Ｓ_ｃａｌを出力する。

スリット番号補正部１６０は、スリット位置信号算出部１３０および補正テーブル１５０に接続される。スリット番号補正部１６０は、スリット位置信号算出部１３０から受け取るスリット位置信号ＳＳを補正テーブル１５０から受け取る補正値Ｓ_ｃａｌにより補正する。そして、スリット番号補正部１６０は、補正後のスリット位置信号に基づいて、補正後のスリット番号Ｓ'_Ｍを算出する。ここで、スリット番号補正部１６０は、スリット位置信号算出部１３０からのスリット位置信号ＳＳに補正値を加えた値を四捨五入して第１スリットを単位とするスリット番号を算出する。スリット位置信号ＳＳの小数点が、スリット位置信号ＳＳの整数部をスリット番号に対応させる位置にある場合には、スリット番号補正部１６０は、スリット位置信号ＳＳに補正値を加えた値が整数となるように四捨五入したスリット番号を算出する。

位置算出部１７０は、検出部１２０ａおよびスリット番号補正部１６０に接続される。位置算出部１７０は、スリット番号補正部１６０から受け取るスリット番号Ｓ'_Ｍと、検出部１２０ａから受け取る第１検出信号とを用いて、移動体１００の位置（補正後の位置）を算出する。本実施形態において、位置算出部１７０は、移動体１００の位置を示す値として、移動体１００の１回転を１周期とする機械角θを出力する。

図２は、理想機械角および電気内挿角の関係の一例を示す。ここで、「理想機械角」とは、誤差を考慮しない場合の機械角を意味し、移動体１００の実際の位置（実位置）に対応する。複数の検出部１２０のそれぞれは、対応するトラック１０５における隣接するスリット同士の間を１周期とする電気内挿角を出力する。一例として、各検出部１２０はトラック１０５のスリットを検出する２つのセンサを有し、２つのセンサの間にはスリット同士の間の１／４周期（９０度）の位相差が与えられる。これにより、２つのセンサは、センス対象となるスリットからの電気内挿角に応じたｓｉｎ電圧およびｃｏｓ電圧を検出することができる。

各検出部１２０は、２つのセンサから出力されるｓｉｎ電圧およびｃｏｓ電圧の波形を補正してもよい。具体的には、各検出部１２０は、ｓｉｎ電圧およびｃｏｓ電圧のオフセット、ゲイン、位相、またはひずみの少なくとも１つを補正してもよい。

次に各検出部１２０は、ｓｉｎ電圧およびｃｏｓ電圧を用いて逆正接（ａｒｃｔａｎ^－１）を算出することにより、内挿角を算出する。各検出部１２０は、ｓｉｎ電圧およびｃｏｓ電圧の振幅の歪み等を用いて、内挿角を補正してもよい。

本図の例においては、トラック１０５ａは、移動体１００の１周あたり８スリットを有し、トラック１０５ｂは、移動体１００の１周あたり７スリットを有する。移動体１００を１周（０度から３６０度）回転させると、検出部１２０ａが出力する内挿角θ_Ｍは０度から３６０度までを８周期繰り返し、検出部１２０ｂが出力する内挿角θ_Ｎは０度から３６０度までを７周期繰り返す。したがって、これらの内挿角の差θ_Ｍ－θ_Ｎは、図２に示したとおり移動体１００が１周すると０度から３６０度まで変化するものであり、式（１）に示した機械角θ_ｄに相当する。

スリット位置信号算出部１３０は、内挿角θ_Ｍおよびθ_Ｎを用いて、検出位置に応じたスリット番号を示すスリット位置信号ＳＳを算出する。ここで、スリット位置信号ＳＳは、理想的にはスリット番号算出部１４０が出力するスリット番号Ｓ_Ｍと一致すべきものである。したがって、式（１）のスリット番号Ｓ_Ｍをスリット位置信号ＳＳに置換し、式（１）の機械角θｄに内挿角の差θ_Ｍ－θ_Ｎを代入して変形すると、スリット位置信号ＳＳは、以下の式（２）で表される。なお、式（２）は、Ｎ_Ｎ＝Ｎ_Ｍ－１である場合について示す。
式（２）に示されるように、スリット位置信号算出部１３０は、内挿角の差θ_Ｍ－θ_ＮをＮ_Ｍ倍し、内挿角θ_Ｍを減じることによってトラック１０５ａのスリット１周期内における内挿角θ_Ｍの変化に伴うスリット位置信号ＳＳの変化を相殺する。スリット位置信号算出部１３０は、これを１周期分の角度（３６０度）で割ることにより、理想的には移動体１００が１周するとトラック１０５ａのスリット番号に応じた０からＮ_Ｍ－１までの整数値をとるスリット位置信号ＳＳを算出することができる。

なお、他の実施形態においては、スリット位置信号算出部１３０は、スリット位置信号ＳＳを補正するための補正値を算出するプリ補正関数を用いてスリット位置信号ＳＳを補整してから出力してもよい。このようなプリ補正関数は、例えば、検出部１２０ａおよび検出部１２０ｂが出力する内挿角θ_Ｍおよびθ_Ｎに基づいてよく、検出部１２０ａおよび検出部１２０ｂの検出値の振幅Ｒ_ＭおよびＲ_Ｎに基づいてよい。プリ補正関数は、例えば検出部１２０ａおよび検出部１２０ｂが出力する内挿角の差θ_Ｍ－θ_Ｎの正弦波（ｓｉｎ）を、目標とする補正量に応じて大きさおよび位相を調整したものであってよい。

図３は、理想機械角およびスリット番号の関係の一例を示す。本図のグラフは、誤差が無い場合における、機械角に応じたスリット位置信号ＳＳの値を示す。誤差がない場合、スリット位置信号算出部１３０が出力するスリット位置信号ＳＳは、移動体１００がトラック１０５ａの１周期目に対応する機械角に位置する場合には０、移動体１００がトラック１０５ａの２周期目に対応する機械角に位置する場合には１、…というように、移動体１００の機械角に応じたスリット番号を示す。

スリット番号算出部１４０は、以下の式（３）に示すように、スリット位置信号を四捨五入して、移動体１００の検出位置（機械角）に応じたスリット番号Ｓ_Ｍを算出してよい。この場合、スリット位置信号ＳＳは、誤差に対して－０．５以上＋０．５未満の範囲でマージンを有する。したがって、スリット番号算出部１４０は、スリット位置信号が－０．５以上＋０．５未満の範囲の誤差を有していた場合でも、正しいスリット番号Ｓ_Ｍを算出することができる。

図４は、理想機械角毎のスリット位置信号エラーの一例を示す。本図においては、移動体１００が、第１の数Ｎ_Ｍ＝４０および第２の数Ｎ_Ｎ＝３９であるトラック１０５ａおよびトラック１０５ｂを有する場合について例示する。この場合、トラック１０５ａは、１スリット周期が機械角９度に相当する（３６０÷４０＝９）。

本図のスリット位置信号エラーは、移動体１００の位置が理想機械角である場合にスリット位置信号算出部１３０が実際に出力するスリット位置信号ＳＳから、その理想機械角におけるスリット位置信号ＳＳの理想値Ｓ_{ｉｄｅａｌ}を減じた値（誤差）である。このようなスリット位置信号エラーは、一例として、位置検出装置１０を較正するために、移動体１００を回転させながら、理想のエンコーダ（例えばエンコーダ１１０の較正の基準として用いるエンコーダ）で理想のスリット番号Ｓ_{ｉｄｅａｌ}を含む理想機械角を測定すると共に、スリット位置信号算出部１３０が出力するスリット位置信号ＳＳを取得することによって測定できる。本図の例においては、理想機械角によっては、スリット位置信号エラーが±０．５の範囲を超えている。

図５は、理想機械角毎のスリット位置信号エラーの一例を、スリット番号２０に着目して示す。本図のスリット位置信号エラーは、図４と同様である。スリット番号２０は、機械角１８０～１８９度に対応する。エラー５００ａ（スリット位置信号エラー５００ａ）は、スリット位置信号ＳＳが示すスリット番号が、理想機械角に対応するスリット番号２０よりも２小さいことを示す。すなわち、スリット位置信号ＳＳの値は、スリット番号１８に対応する範囲内（例えば１７．５以上１８．５未満）であることを示す。

同様に、エラー５００ｂは、スリット位置信号ＳＳが示すスリット番号が、理想機械角に対応するスリット番号２０よりも１小さくスリット番号１９に対応する範囲内であることを示し、エラー５００ｃは、スリット位置信号ＳＳが示すスリット番号が、理想機械角に対応するスリット番号２０と同じであることを示し、エラー５００ｄは、スリット位置信号ＳＳが示すスリット番号が、理想機械角に対応するスリット番号２０よりも１大きくスリット番号２１に対応する範囲内であることを示し、エラー５００ｅは、スリット位置信号ＳＳが示すスリット番号が、理想機械角に対応するスリット番号２０よりも２大きくスリット番号２２に対応する範囲内であることを示す。このように、スリット位置信号エラーが±０．５の範囲を超える場合には、スリット位置信号ＳＳが示すスリット番号が、理想的なスリット番号と異なってしまう。

図６は、機械角の測定値毎のスリット位置信号エラーの一例を、補正後にスリット番号２０に対応すべきエラー値に着目して示す。図４および図５は、位置検出装置１０の較正において移動体１００の実位置毎に取得されるスリット位置信号エラーを示すのに対し、本図は、較正後の位置検出装置１０が、移動体１００の検出位置毎に、スリット番号を示すスリット位置信号ＳＳに対してどのような補正値Ｓ_ｃａｌを用いるべきかを示す。具体的には、位置検出装置１０の実使用時において、スリット番号補正部１６０が、スリット位置信号ＳＳを、どのような補正値Ｓ_ｃａｌを用いて補正すべきかを示す。

本図の横軸は、スリット番号算出部１４０からの補正前のスリット番号Ｓ_Ｍに、検出部１２０からの内挿角θ_Ｍを加えた補正前の機械角（すなわち検出位置）に対応する値である。ここで、検出部１２０からの内挿角θ_Ｍは、１／Ｎ_Ｍ倍することにより０～９度の範囲に正規化されている。

なお、スリット番号補正部１６０は、スリット位置信号算出部１３０からのスリット位置信号ＳＳに、補正値Ｓ_ｃａｌを加えて四捨五入することにより、補正後のスリット番号Ｓ'_Ｍ（すなわちスリット位置信号の理想値Ｓ_{ｉｄｅａｌ}）を算出する。このため、スリット位置信号エラーはスリット位置信号ＳＳ－理想値Ｓ_{ｉｄｅａｌ}であるのに対し、補正値Ｓ_ｃａｌは、理想値Ｓ_{ｉｄｅａｌ}－スリット位置信号ＳＳである。したがって、補正値Ｓ_ｃａｌは、スリット位置信号エラーの正負を逆にした値となる。

図５のエラー５００ａは、スリット位置信号ＳＳに応じたスリット番号が１８に対応するものである。したがって、機械角の測定値を横軸とするように変換すると、図５のエラー５００ａは、スリット番号１８にシフトされ、元々スリット番号１８に存在したエラー６１０と重なるエラー６００ａとなる。同様に、図５のエラー５００ｂは、スリット番号１９にシフトされ、元々スリット番号１９に存在したスリット位置信号エラーと重なるエラー６００ｂとなり、図５のエラー５００ｄは、スリット番号２１にシフトされ、元々スリット番号２１に存在したスリット位置信号エラーと重なるエラー６００ｄとなり、図５のエラー５００ｅは、図５のエラー５００ｂは、スリット番号２２にシフトされ、元々スリット番号２２に存在したスリット位置信号エラーと重なるエラー６００ｅとなる。

このように、移動体１００の実位置（理想機械角）毎にスリット位置信号ＳＳを測定して実位置毎のスリット位置信号エラーを算出すると、スリット位置信号エラーは、実位置毎に１点に定まる（図５）。しかし、スリット位置信号エラーが±０．５の範囲を超え、スリット位置信号ＳＳが示すスリット番号が移動体１００の実位置に対応するスリット番号と異なる場合には、移動体１００の検出位置（スリット番号Ｓ_Ｍ＋内挿角θ_Ｍ／Ｎ_Ｍ）毎のスリット位置信号エラーに変換すると、同じ検出位置に対して２以上の実位置が対応する結果、２以上のスリット位置信号エラーが対応しうる。

したがって、スリット位置信号エラーが大きく、測定されたスリット番号が理想のスリット番号と異なる位置検出装置１０については、同じ検出位置に対して２以上の補正値（スリット位置信号エラーの正負を逆にした値）が出現する。このような場合において、位置検出装置１０の較正装置が、エンコーダ１１０内の補正テーブル１５０がどのような補正値を出力するように較正するべきかが問題となる。

図７は、本実施形態に係る較正装置７００の構成を示す。較正装置７００は、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）、ワークステーション、サーバコンピュータ、または汎用コンピュータ等のコンピュータであってよく、複数のコンピュータが接続されたコンピュータシステムであってもよい。このようなコンピュータシステムもまた広義のコンピュータである。また、較正装置７００は、コンピュータ内で１または複数実行可能な仮想コンピュータ環境によって実装されてもよい。これに代えて、較正装置７００は、エンコーダ１１０の較正用に設計された専用コンピュータであってもよく、専用回路によって実現された専用ハードウェアであってもよい。較正装置７００がコンピュータにより実現される場合、較正装置７００は、較正プログラムを実行することにより、本図に示す各構成要素として機能してよい。

較正装置７００は、例えば位置検出装置１０を製造した後出荷する前に、または位置検出装置１０の検査または診断時にエンコーダ１１０に接続されて、エンコーダ１１０を較正する。この較正において、較正装置７００は、移動体１００の同一の検出位置に対して２以上の補正値が出現する場合に、適切な補正値をエンコーダ１１０に設定する。較正装置７００は、取得部７１０と、算出部７１４と、判定部７１６と、生成部７２０と、検査部７３０と、出力部７４０とを備える。

取得部７１０は、移動体１００の実位置毎に、移動体１００の検出位置を取得する。ここで、取得部７１０は、移動体１００の実位置として、スリット位置信号ＳＳの理想値であって実位置のスリット番号を示すＳ_{ｉｄｅａｌ}と、実位置の内挿角を示すθ_{Ｍｉｄｅａｌ}とを、較正作業のために移動体１００に取り付けられた、較正の基準として用いる基準エンコーダから取得する。また、取得部７１０は、移動体１００の検出位置として、スリット位置信号算出部１３０が出力する、検出位置のスリット位置を検出したスリット位置信号ＳＳと、検出位置を検出部１２０ａにより検出した内挿角θ_Ｍとをエンコーダ１１０から取得する。

なお、取得部７１０は、エンコーダ１１０からスリット位置信号ＳＳを取得するのに代えて、移動体１００の検出位置として、エンコーダ１１０内の検出部１２０ａ～ｂが出力する内挿角θ_Ｍおよびθ_Ｎを取得してもよい。また、取得部７１０は、移動体１００の検出位置として、検出部１２０ａ～ｂのそれぞれにより検出されたｓｉｎ電圧を示すｓｉｎｎ値およびｃｏｓ電圧を示すｃｏｓ値を取得してもよい。この場合、取得部７１０は、検出部１２０ａ～ｂおよびスリット位置信号算出部１３０と同様にして、スリット位置信号ＳＳを算出してもよい。

算出部７１４は、取得部７１０に接続される。算出部７１４は、移動体１００の実位置毎の検出位置について、スリット位置信号ＳＳを用いて実位置に応じた理想のスリット番号Ｓ_{ｉｄｅａｌ}とスリット位置信号ＳＳとの誤差を算出する。判定部７１６は、算出部７１４に接続される。判定部７１６は、第１スリットを単位とするスリット番号が少なくとも一部異なる２以上の実位置が同一の検出位置に対応するか否かを判定する。生成部７２０は、判定部７１６に接続される。生成部７２０は、算出された誤差を用いて、移動体１００の検出位置毎にスリット位置信号ＳＳの補正値Ｓ_ｃａｌを生成する。ここで、生成部７２０は、第１スリットを単位とするスリット番号が少なくとも一部異なる２以上の実位置が同一の検出位置に対応することに応じて、その検出位置においてスリット位置信号ＳＳに対して２以上の実位置のそれぞれにおける誤差の間の大きさの補正を行なう補正値Ｓ_ｃａｌを生成する。

検査部７３０は、生成部７２０に接続される。検査部７３０は、生成部７２０が生成した補正値Ｓ_ｃａｌにより補正したスリット位置信号を用いて算出したスリット番号に誤りが生じるか否かを検査する。検査部７３０は、生成部７２０が生成した補正値Ｓ_ｃａｌにより補正したスリット位置信号と、実位置に応じたスリット番号Ｓ_{ｉｄｅａｌ}との差が予め定められた基準範囲内である場合に、スリット番号に誤りが生じないと判断してよい。この基準範囲は、例えばスリット番号１つ分の幅の±５０％の範囲であってよく、これよりも小さい範囲であってもよい。検査部７３０は、スリット番号に誤りが生じると判断したことに応じて、アラートを発生する。なお、較正装置７００は、検査部７３０を有さず、補正値Ｓ_ｃａｌの検査機能を有しなくてもよい。

出力部７４０は、生成部７２０が生成した、検査位置毎の補正値Ｓ_ｃａｌを出力する。出力部７４０は、検査位置毎の補正値Ｓ_ｃａｌをエンコーダ１１０に対して出力してよい。例えば、出力部７４０は、検査位置毎の補正値Ｓ_ｃａｌを、エンコーダ１１０が有する補正テーブル１５０に書き込んでよい。また例えば、出力部７４０は、検査位置毎の補正値Ｓ_ｃａｌを、例えばメモリまたはハードディスクドライブ等の記憶装置に格納してもよい。

図８は、本実施形態に係る較正装置７００の動作フローを示す。ステップ８００（Ｓ８００）において、取得部７１０は、移動体１００の実位置毎に、移動体１００の検出位置を取得する。生成部７２０は、移動体１００の実位置毎に検出位置が対応付けられたデータのデータ形式を変換して、移動体１００の検出位置毎に１または２以上の実位置が対応付けられたデータを得る。

生成部７２０は、移動体１００の検出位置毎に、Ｓ８１０からＳ８６０までの処理を繰り返す。Ｓ８２０において、判定部７１６は、第１スリットを単位とするスリット番号が少なくとも一部異なる２以上の実位置が同一の検出位置に対応するか否かを判定する。また、算出部７１４は、Ｓ８２０において、対象の検出位置について、スリット位置信号ＳＳを用いて実位置に応じた理想のスリット番号Ｓ_{ｉｄｅａｌ}とスリット位置信号ＳＳとの誤差を算出してよい。生成部７２０は、１つの実位置のみが対象の検出位置に対応すること（Ｓ８３０において「Ｎ」）に応じて、Ｓ８４０において、対象の検出位置においてスリット位置信号ＳＳに対して１つの実位置における誤差の補正を行なう補正値Ｓ_ｃａｌを生成する。これにより、生成部７２０は、スリット位置信号エラーが±０．５の範囲内にあり、かつ、理想機械角において他のスリット番号にあったスリット位置信号エラーが重ならないような検出位置については、１つのスリット位置信号エラーをキャンセルする補正値Ｓ_ｃａｌ（例えば、スリット位置信号エラーの正負を逆にした補正値）を生成することができる。なお、生成部７２０は、補正値Ｓ_ｃａｌの生成において、１つの実位置における誤差を完全にキャンセルするような補正値Ｓ_ｃａｌを生成してもよく、１つの実位置における誤差を低減するような補正値Ｓ_ｃａｌを生成してもよい。例えば、後述するようにスリット位置信号ＳＳの検出位置毎の補正値を補正関数によって近似する場合には、各検出位置についての補正量は、その検出位置についての１つの実位置における誤差量に近似するが必ずしも一致するとは限らない。

生成部７２０は、スリット番号が少なくとも一部異なる２以上の実位置が対象の検出位置に対応すること（Ｓ８３０において「Ｙ」）に応じて、その検出位置においてスリット位置信号ＳＳに対して２以上の実位置のそれぞれにおける誤差の間の大きさの補正を行なう補正値Ｓ_ｃａｌを生成する。これにより、生成部７２０は、同じ検出位置に対して２以上の誤差（例えばスリット位置信号エラー）が存在する場合には、これらの誤差を一元化して適切な補正値Ｓ_ｃａｌを生成することができる。

Ｓ８７０において、検出位置毎の補正値Ｓ_ｃａｌが生成されると、検査部７３０は、生成部７２０が生成した補正値Ｓ_ｃａｌにより補正したスリット位置信号を用いて算出したスリット番号に誤りが生じるか否かを検査する。ここで、検査部７３０は、検出位置毎に、その検出位置におけるスリット位置信号ＳＳをその検出位置に対応する補正値Ｓ_ｃａｌで補正した場合に、その検出位置に対応する１または２以上の実位置のいずれにおいても理想のスリット番号Ｓ_{ｉｄｅａｌ}との差が基準範囲内であるか否かを検査する。検査部７３０は、いずれかの検出位置において、少なくとも１つの実位置のスリット番号と、補正後のスリット位置信号が示すスリット番号との差が基準範囲外となったことに応じて、アラートを出力する。

Ｓ８８０において、出力部７４０は、生成部７２０が生成した検査位置毎の補正値Ｓ_ｃａｌを出力する。ここで、出力部７４０は、Ｓ８７０においてアラートが出力された場合には、補正値Ｓ_ｃａｌの出力を行なわずに較正処理を中断してもよい。

図９は、較正装置７００が生成する補正値Ｓ_ｃａｌの一例を示す。図９においては、横軸に機械角の測定値（検出位置）をとり、縦軸に生成部７２０が生成する補正値Ｓ_ｃａｌ（スリット補正値）をとる。図９は、図４～６に示したスリット位置信号エラーに対応する補正値Ｓ_ｃａｌを示すものである。なお、エンコーダ１１０内のスリット番号補正部１６０が、スリット位置信号ＳＳに補正値Ｓ_ｃａｌを加える場合には、補正値Ｓ_ｃａｌは、スリット位置信号エラーの正負を反転した値となる。しかし、本図においては、図４～６と見比べやすくするために、スリット位置信号エラーの正負を反転していない状態で補正値Ｓ_ｃａｌとして示す。

機械角の測定値（検出位置）が１５５．２５度から１５７．５０度となる区間に着目すると、この区間において、各検出位置に、スリット番号が異なる２つの実位置が対応する。したがって、この区間の各検出位置において、２つの実位置のそれぞれに対応する誤差（スリット位置信号エラー）が存在する。この場合、生成部７２０は、２つの実位置のそれぞれに対応する誤差の間の大きさの誤差分を補正する補正値Ｓ_ｃａｌを生成する。ここで、「２つの誤差の間の大きさ」とは、２つの誤差の両端を除く間の大きさを示し、２つの誤差のうちいずれか一方のみを採用せず、これら２つの誤差の間をとった大きさであることを意味する。

例えば、生成部７２０は、２以上の実位置が同一の検出位置に対応することに応じて、スリット位置信号ＳＳに対して、２以上の実位置のそれぞれにおける誤差を平均した大きさの補正を行なう補正値Ｓ_ｃａｌを生成する。また、生成部７２０は、２以上の実位置のそれぞれにおける誤差の間の大きさの補正を行なう補正値Ｓ_ｃａｌであって、補正されたスリット位置信号と２以上の実位置のそれぞれのスリット番号との誤差が基準範囲内となるように補正値Ｓ_ｃａｌを調整してもよい。

なお、機械角の測定値（検出位置）が１５３度から１６２度以外の範囲においても、１つの検出位置にスリット番号が異なる２つの実位置が対応する箇所が存在する。図９においては、説明の便宜上１５３度から１６２度以外の範囲については図示を省略している。

図１０は、補正後のスリット位置信号エラーの一例を示す。図１０においては、横軸に機械角の測定値（検出位置）をとり、縦軸にはスリット位置信号ＳＳと、各検出位置に対応する１または２以上の実位置のそれぞれのスリット番号Ｓ_{ｉｄｅａｌ}との間のスリット位置信号エラー（誤差）を示す。ここで、破線は、補正前のスリット位置信号エラーを示し、実線は、２以上の実位置のそれぞれにおける誤差を平均した大きさの補正を行なった後のスリット位置信号エラーを示す。

本図において実線で示したように、較正装置７００は、各検出位置において２以上の実位置のそれぞれにおける誤差の間の大きさの補正を行なう補正値Ｓ_ｃａｌを生成することにより、図４～６に示したスリット位置信号エラーを、各実位置におけるスリット番号に対する誤差が±０．５の範囲内となるように補正することが可能な補正値Ｓ_ｃａｌを出力することができる。

なお、以上に示した生成部７２０は、検出位置毎に補正値Ｓ_ｃａｌを生成する。これに代えて、生成部７２０は、取得部７１０が取得した検出位置の区間毎に補正値を生成してもよい。例えば、生成部７２０は、第１スリットの１周期を分割した区間毎（例えば内挿角の１５°毎等）に、補正値Ｓ_ｃａｌを生成してもよい。この場合、生成部７２０は、当該区間内において算出した各検出位置毎の補正値を平均等することにより、当該区間における補正値Ｓ_ｃａｌを算出してもよい。

また、生成部７２０は、取得部７１０が取得した検出位置の区間毎に、補正値Ｓ_ｃａｌを表す補正関数のパラメータを算出してもよい。例えば、生成部７２０は、第１スリットのスリット周期毎に、そのスリット周期における内挿角０°～３６０°の範囲の補正値Ｓ_ｃａｌを、フーリエ級数展開等の予め定められた補正関数によって近似してもよい。フーリエ級数展開を用いる場合、生成部７２０は、内挿角θ_Ｍにおける補正値Ｓ_ｃａｌを、補正値＝Σ_ｋＡ_ｋ×ｓｉｎ（ｋθＭ＋δ_ｋ）で近似する補正関数の補正係数（パラメータ）Ａ_ｋおよびδ_ｋを算出してよい。

生成部７２０は、例えば予め定められた角度ずつの内挿角に対応する補正値Ｓ_ｃａｌを代表点として算出し、代表点の集合に対してフーリエ級数展開をすることにより、上記の補正係数を算出してよい。出力部７４０は、生成部７２０によって算出された補正係数を補正テーブル１５０に書き込む。スリット番号補正部１６０は、実使用時において、スリット番号算出部１４０からスリット番号Ｓ_Ｍを受け取ると、スリット番号Ｓ_Ｍに対応付けて補正テーブル１５０に格納された補正係数を読み出して、その補正係数を用いた補正関数により補正値Ｓ_ｃａｌを算出してよい。

図１１は、補正値に隙間が生じる例を示す。図５～６に示したように、実位置毎のスリット位置信号エラーを検出位置毎のスリット位置信号エラーに変換すると、例えば実位置がスリット番号２０であるエラー５００ａが検出位置がスリット番号１８であるエラー６００ａへと変換されることとなる。この結果、検出位置によっては２以上の実位置に対応し、２以上のスリット位置信号エラーが存在しうる。

逆に、検出位置によってはスリット位置信号エラーが他のスリット番号へと割り振られる結果、対応する実位置が存在しなくなる可能性がある。図１１の例においては、移動体１００の１周あたりに第１スリットが８周期存在する場合（Ｎ_Ｍ＝８）において、０．５以上のスリット位置信号エラーが機械角（検出位置）で＋４５°シフトし、－０．５未満のスリット位置信号エラーが機械角で－４５°シフトした結果、破線で囲った箇所において検出位置に対応する実位置が存在しなくなってしまう。

ここで、対応する実位置が存在しない検出位置は、較正処理において移動体１００の実位置を可動範囲全体の中で変化させても観測されなかった位置であるから、較正処理時とは異なる誤差等が生じない限り実使用においても発生しない。しかし、位置検出装置１０は、一時的な誤差または変動等によりそのような検出位置を検出することもありうる。

図１２は、本実施形態に係る、補正値の隙間を補間する方法の一例を示す。補正値の隙間を補間する場合には、判定部７１６は、実位置および検出位置の対応関係を、第１スリットの境界にマージンを持たせて判断してよい。ここで、生成部７２０は、スリット位置信号に対して第１スリットの境界に予め定められたマージンの加算または減算の少なくとも１つを行なうことにより得られる検出位置と実位置との対応を含む、ある検出位置に対応する少なくとも１つの実位置を用いて、その検出位置における補正値を生成してよい。本実施形態において、生成部７２０は、スリット位置信号ＳＳからスリット番号Ｓ_Ｍを特定したもの（すなわちＳ_Ｍ＝ｒｏｕｎｄ（ＳＳ）としたもの）に加えて、スリット位置信号ＳＳに予め定められたマージンεを加算または減算してスリット番号を特定したもの（すなわちＳ_Ｍ＝ｒｏｕｎｄ（ＳＳ±ε）としたもの）を追加し、これらを含めて補正値を生成する。ここで、マージンεは、スリット番号特定に用いるマージン（０．５）よりも小さい値である。

スリット位置信号ＳＳからマージンεを減じると、スリット位置信号エラーが正である場合には、スリット位置信号エラーがスリット番号の境界（＋０．５等）よりも＋ε大きくなるまではスリット位置信号エラーが他のスリット番号へと移動しない。これに対し、スリット位置信号エラーが負である場合には、スリット位置信号エラーがスリット番号の境界（－０．５等）よりもε大きい点を境界としてスリット位置信号エラーが他のスリット番号へと移動する。

また、スリット位置信号ＳＳからマージンεを加えると、スリット位置信号エラーが正である場合には、スリット位置信号エラーがスリット番号の境界（＋０．５等）よりもε小さい点を境界としてスリット位置信号エラーが他のスリット番号へと移動する。これに対し、スリット位置信号エラーが負である場合には、スリット位置信号エラーがスリット番号の境界（－０．５等）よりもε分さらに小さくなるまではスリット位置信号エラーが他のスリット番号へと移動しない。

このようにして、スリット位置信号ＳＳにマージンεを加算または減算してスリット番号を特定したものを追加すると、図１２に例示したように、対応する実位置が存在しない検出位置に対しても、スリット位置信号エラーを割り当てることができる。そして、生成部７２０は、これらのスリット位置信号エラーも含めて補正値を生成することにより、検出位置毎の補正値の隙間を埋めることができる。

また、較正装置７００の実使用時に検出される検出位置が、較正時に検出された検出位置から変動し、その結果スリット位置信号が変動しうる場合においても、較正装置７００は、スリット位置信号にマージンεを加減することによって、このような変動を予め模擬したスリット位置信号エラーを用いて生成した補正値を準備しておくことができる。これにより、位置検出装置１０は、例えば実使用中における環境温度の変化等に伴って各検出部１２０内のセンサの出力が変動した場合等においても、ロバストな補正値を使用することが可能となる。

図１３は、本実施形態の変形例に係る位置検出装置１３００の構成を示す。位置検出装置１３００は、位置検出装置１０の変形例であるため、以下相違点を除き説明を省略する。位置検出装置１３００は、移動体１３０１と、エンコーダ１３１０とを備える。移動体１３０１は、エンコーダ１３１０による位置検出の対象となる被測定物である。移動体１３０１は、移動体１００と同様に、移動体１３０１の１周あたりのスリット数が第１の数Ｎ_Ｍである第１トラックと、移動体１３０１の１周あたりのスリット数が第２の数Ｎ_Ｎである第２トラックとを有する。そして、本変形例における移動体１３０１は、移動体１３０１の１周を第１の数および第２の数とは異なる第３の数Ｎ_Ｓで分割した第３周期毎の第３スリットを含む第３トラックを更に有する。

エンコーダ１３１０は、移動体１３０１の３つのトラックから検出した３つの検出値に基づいて、移動体１３０１の検出位置を算出する。エンコーダ１３１０は、複数の検出部１３２０ａ～ｃ（「検出部１３２０」とも示す。）と、複数のスリット位置信号算出部１３３０ａ～ｂ（「スリット位置信号算出部１３３０」とも示す。）と、スリット番号算出部１３４０と、補正テーブル１３５０と、スリット番号補正部１３６０と、位置算出部１３７０とを備える。

検出部１３２０ａ～ｃのそれぞれは、第１～第３トラックのそれぞれに対応して設けられ、対応するトラックから検出した検出値を出力する。本実施形態において、検出部１３２０ａは、第１検出部として機能し、第１トラックから第１検出値を検出して出力する。検出部１３２０ｂは、第２検出部として機能し、第２トラックから第２検出値を検出して出力する。検出部１３２０ｃは、第３検出部として機能し、第３トラックから第３検出値を検出して出力する。ここで、検出部１３２０ａ～ｃは、検出値として、対応するトラックにおける隣接するスリット間を１周期（＝３６０度）とする（電気）内挿角θ_Ｍ、θ_Ｎ、およびθ_Ｓをそれぞれ出力する。各検出部１３２０は、その他の点において検出部１２０と同様である。

スリット位置信号算出部１３３０ａ～ｂのそれぞれは、複数の検出部１３２０に接続される。スリット位置信号算出部１３３０ａは、複数の検出部１３２０からの複数の検出値を用いて、第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢを出力する。本実施形態において、第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢは、第１トラックのスリット番号のうち、上位側のビットに関する。スリット位置信号算出部１３３０ｂは、複数の検出部１３２０からの複数の検出値を用いて、第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢを出力する。本実施形態において、第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢは、第１トラックのスリット番号のうち、下位側のビットに関する。

最終的に第１トラックのスリット番号Ｓ_Ｍを算出可能な任意の第１の数Ｎ_Ｍ、第２の数Ｎ_Ｎ、および第３の数Ｎ_Ｓの組合せについて、第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢおよび第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢは、以下の式（４）および式（５）に一般化することができる。

ここで、ｐ_Ｍ、ｐ_Ｎ、ｐ_Ｓ、ｑ_Ｍ、ｑ_Ｎ、およびｑ_Ｓは、最終的に第１トラックのスリット番号Ｓ_Ｍが算出できるように定められた整数値である。例えば、第１の数Ｎ_Ｍ＝１６、第２の数Ｎ_Ｎ＝１５、および第３の数Ｎ_Ｓ＝１２の場合、（ｐ_Ｍ，ｐ_Ｎ，ｐ_Ｓ）＝（３，－４，１）、（ｑ_Ｍ，ｑ_Ｎ，ｑ_Ｓ）＝（３，０，－４）としてよい。このようにして、各スリット位置信号算出部１３３０は、複数の検出部１３２０からの複数の検出値を、予め定められた整数により重み付けして総和をとることにより、各スリット位置信号を算出することができる。

スリット番号算出部１３４０は、複数のスリット位置信号算出部１３３０に接続される。スリット番号算出部１３４０は、複数のスリット位置信号算出部１３３０が出力するスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢおよびＳ_ＬＳＢを用いて、予め定められた大きさの第１スリットを単位とするスリット番号Ｓ_Ｍ（すなわち移動体１３０１が位置するスリットのスリット番号）を算出する。本実施形態において、スリット番号算出部１３４０は、スリット番号Ｓ_Ｍを、以下の式（６）により算出する。

ここで、ｋは、ＭＳＢの重みを示す正の整数値である。スリット番号算出部１３４０は、第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢを上位桁のスリット番号単位に四捨五入してＭＳＢの重みｋを乗じた値に、第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢをスリット番号単位に四捨五入した値を加えることにより、第１スリット単位のスリット番号を算出することができる。スリット番号算出部１３４０は、このスリット番号を０～Ｎ_Ｍ－１までの値に正規化することで、スリット番号Ｓ_Ｍを算出することができる。

なお、ｋは、スリット番号Ｓ_Ｍを算出できるように、ｐおよびｑの値に応じて一意に決定することができる。例えば、（ｐ_Ｍ，ｐ_Ｎ，ｐ_Ｓ）＝（３，－４，１）において、（ｑ_Ｍ，ｑ_Ｎ，ｑ_Ｓ）＝（０，４，－５）とした場合には、ｋ＝５としてよい。ｋ、ｐ、およびｑの組は、（ｐ_Ｍ，ｐ_Ｎ，ｐ_Ｓ）＝（３，－４，１）、（ｑ_Ｍ，ｑ_Ｎ，ｑ_Ｓ）＝（３，０，－４）－（ｋ－４）×（ｐ_Ｍ，ｐ_Ｎ，ｐ_Ｓ）の関係を満たすように定めてよい。ここで、ｑの絶対値（ｑベクトルの大きさ）が小さいほどスリットの特定誤差に対してロバストとなるから、この観点でｋ＝４を採用してもよい。

スリット番号の補正前における移動体１３０１の検出位置は、スリット番号Ｓ_Ｍと、内挿角θ_Ｍとの組で表される。本変形例における、検出位置の一例としての機械角θ_ｄは、エンコーダ１１０と同様に、前述の式（１）で表される。

補正テーブル１３５０は、検出部１３２０ａおよびスリット番号算出部１３４０に接続される。補正テーブル１３５０は、スリット番号毎に、第１トラックから検出された第１検出信号（内挿角θ_Ｍ）に応じた、第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢの補正値Ｓ_Ｍｃａｌと、第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢの補正値Ｓ_Ｌｃａｌとのセットを格納する。補正テーブル１３５０は、スリット番号算出部１３４０から受け取ったスリット番号Ｓ_Ｍに対応付けられた補正値のセットのうち、第１検出信号に対応する補正値Ｓ_ＭｃａｌおよびＳ_Ｌｃａｌを出力する。

スリット番号補正部１３６０は、複数のスリット位置信号算出部１３３０および補正テーブル１３５０に接続される。スリット番号補正部１３６０は、スリット位置信号算出部１３３０から受け取る複数のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢおよびＳ_ＬＳＢを、補正テーブル１５０から受け取る補正値Ｓ_ＭｃａｌおよびＳ_Ｌｃａｌにより補正する。そして、スリット番号補正部１６０は、補正後の複数のスリット位置信号に基づいて、補正後のスリット番号Ｓ'_Ｍを算出する。本変形例において、スリット番号補正部１３６０は、以下の式（７）により補正後のスリット番号Ｓ'_Ｍを算出する。

なお、式（７）は、式（６）におけるスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢおよびＳ_ＬＳＢを、補正後のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢ＋Ｓ_ＭｃａｌおよびＳ_ＬＳＢ＋Ｓ_Ｌｃａｌにそれぞれ置き換えたものである。

位置算出部１３７０は、検出部１３２０ａおよびスリット番号補正部１３６０に接続される。位置算出部１３７０は、図１の位置算出部１７０と同様にして、移動体１３０１の位置（補正後の位置）を算出する。本変形例において、位置算出部１３７０は、移動体１３０１の位置を示す値として、移動体１３０１の１回転を１周期とする機械角θを出力する。

図１４は、本実施形態の変形例に係る第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢの理想値の一例を示す。本図は、第１の数Ｎ_Ｍ＝１６、第２の数Ｎ_Ｎ＝１５、および第３の数Ｎ_Ｓ＝１２とし、（ｐ_Ｍ，ｐ_Ｎ，ｐ_Ｓ）＝（３，－４，１）の場合について式（４）に示した第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢをプロットしたものである。第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢは、係数ｐ_Ｍ、ｐ_Ｎ、およびｐ_Ｓの値により変化しうるが、本変形例においては図１４に示したとおりスリット番号の上位桁に概ね対応して変化する。

図１５は、本実施形態の変形例に係る第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢの理想値の一例を示す。本図は、第１の数Ｎ_Ｍ＝１６、第２の数Ｎ_Ｎ＝１５、および第３の数Ｎ_Ｓ＝１２とし、（ｑ_Ｍ，ｑ_Ｎ，ｑ_Ｓ）＝（３，０，－４）の場合について式（５）に示した第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢをプロットしたものである。第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢは、係数ｑ_Ｍ、ｑ_Ｎ、およびｑ_Ｓの値により変化しうるが、本変形例においては図１５に示したとおりスリット番号の下位桁に概ね対応して変化する。

図１６は、本実施形態の変形例に係るスリット番号の理想値の一例を示す。本図は、図１４に示した第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢ、および図１５に示した第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢを用いて、式（６）に示したスリット番号Ｓ_Ｍをプロットしたものである。本変形例においては、図１４に示した第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢ、および図１５に示した第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢを用いることで、移動体１３０１の理想機械角が０°から３６０°まで２２．５°（すなわち３６０°／Ｎ_Ｍ）ずつ変化する毎に、スリット番号が０から１５（すなわちＮ_Ｍ－１）まで１ずつ増加するスリット番号が得られる。

次に、図１３から１６に示した位置検出装置１３００の較正について示す。本変形例において、較正装置７００は、図７および図８に示したようにスリット位置信号ＳＳの補正値Ｓ_ｃａｌを生成するのと同様にして、第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢの補正値Ｓ_Ｍｃａｌおよび第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢの補正値Ｓ_Ｌｃａｌのそれぞれを生成してよい。より具体的には、取得部７１０は、図８のＳ８００と同様に、移動体１３０１の実位置毎に、移動体１３０１の検出位置を取得する。

ここで、取得部７１０は、移動体１３０１の実位置を示す値として、第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢの理想値であって実位置のスリット番号の上位桁に応じた値を示すＳ_{ＭＳＢｉｄｅａｌ}と、第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢの理想値であって実位置のスリット番号の下位桁に応じた値を示すＳ_{ＬＳＢｉｄｅａｌ}と、実位置の内挿角を示すθ_{Ｍｉｄｅａｌ}とを、較正の基準として用いるエンコーダから取得する。また、取得部７１０は、移動体１３０１の検出位置として、第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢと、第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢと、内挿角θ_Ｍとをエンコーダ１３１０から取得する。生成部７２０は、移動体１３０１の実位置毎に検出位置が対応付けられたデータのデータ形式を変換して、移動体１３０１の検出位置毎に１または２以上の実位置が対応付けられたデータを得る。

算出部７１４、判定部７１６、および生成部７２０は、図８と同様に、移動体１３０１の検出位置毎に、第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢおよび第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢのそれぞれについて、Ｓ８１０からＳ８６０までの処理を繰り返す。

第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢに関し、判定部７１６は、図８のＳ８２０と同様に、第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢの単位となる上位桁のスリット番号が少なくとも一部異なる２以上の実位置が同一の検出位置に対応するか否かを判定する。１つの実位置のみが対象の検出位置に対応すること（Ｓ８３０において「Ｎ」）に応じて、生成部７２０は、Ｓ８４０と同様に、第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢに対して、その検出位置において１つの実位置における誤差（すなわちＳ_ＭＳＢ－Ｓ_{ＭＳＢｉｄｅａｌ}）分の補正を行なう補正値Ｓ_Ｍｃａｌを生成する。スリット番号が少なくとも一部異なる２以上の実位置が対象の検出位置に対応すること（Ｓ８３０において「Ｙ」）に応じて、生成部７２０は、Ｓ８５０と同様に、その検出位置において２以上の実位置のそれぞれにおける誤差の間の大きさの補正を行なう補正値Ｓ_Ｍｃａｌを生成する。第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢに関しても、生成部７２０は、上記と同様にして、対象の検出位置における補正値Ｓ_Ｌｃａｌを生成する。

検出位置毎の補正値が生成されると、検査部７３０は、図８のＳ８７０と同様に、第１のスリット位置信号Ｓ_ＭＳＢに関し、生成部７２０が生成した補正値Ｓ_Ｍｃａｌにより補正したスリット位置信号を用いて算出した上位側のスリット番号に誤りが生じるか否かを検査する。また、検査部７３０は、第２のスリット位置信号Ｓ_ＬＳＢに関し、生成部７２０が生成した補正値Ｓ_Ｌｃａｌにより補正したスリット位置信号を用いて算出した下位側のスリット番号に誤りが生じるか否かを検査する。

出力部７４０は、図８のＳ８８０と同様に、生成部７２０が生成した検査位置毎かつ第１および第２のスリット位置信号毎の補正値を出力する。

本変形例に係る較正装置７００によれば、３つのトラックを有する移動体１３０１を用いて移動体１３０１の位置を検出するエンコーダ１３１０においてトラック番号を適切に補正する補正値を生成することができる。同様にして、較正装置７００は、４以上のトラックを有する移動体の位置を検出するエンコーダについても、複数のトラックから検出した複数の検出値の重み付け和によって計算される１または複数のスリット位置信号のそれぞれを補正する補正値を出力することができる。

本発明の様々な実施形態は、フローチャートおよびブロック図を参照して記載されてよく、ここにおいてブロックは、（１）操作が実行されるプロセスの段階または（２）操作を実行する役割を持つ装置のセクションを表わしてよい。特定の段階およびセクションが、専用回路、コンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプログラマブル回路、および／またはコンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプロセッサによって実装されてよい。専用回路は、デジタルおよび／またはアナログハードウェア回路を含んでよく、集積回路（ＩＣ）および／またはディスクリート回路を含んでよい。プログラマブル回路は、論理ＡＮＤ、論理ＯＲ、論理ＸＯＲ、論理ＮＡＮＤ、論理ＮＯＲ、および他の論理操作、フリップフロップ、レジスタ、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、プログラマブルロジックアレイ（ＰＬＡ）等のようなメモリ要素等を含む、再構成可能なハードウェア回路を含んでよい。

コンピュータ可読媒体は、適切なデバイスによって実行される命令を格納可能な任意の有形なデバイスを含んでよく、その結果、そこに格納される命令を有するコンピュータ可読媒体は、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく実行され得る命令を含む、製品を備えることになる。コンピュータ可読媒体の例としては、電子記憶媒体、磁気記憶媒体、光記憶媒体、電磁記憶媒体、半導体記憶媒体等が含まれてよい。コンピュータ可読媒体のより具体的な例としては、フロッピー（登録商標）ディスク、ディスケット、ハードディスク、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＰＲＯＭまたはフラッシュメモリ）、電気的消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＥＰＲＯＭ）、静的ランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）、コンパクトディスクリードオンリメモリ（ＣＤ-ＲＯＭ）、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）、ブルーレイ（登録商標）ディスク、メモリスティック、集積回路カード等が含まれてよい。

コンピュータ可読命令は、アセンブラ命令、命令セットアーキテクチャ（ＩＳＡ）命令、マシン命令、マシン依存命令、マイクロコード、ファームウェア命令、状態設定データ、またはＪＡＶＡ（登録商標）、Ｃ＋＋、Ｓｍａｌｌｔａｌｋ（登録商標）等のようなオブジェクト指向プログラミング言語、および「Ｃ」プログラミング言語または同様のプログラミング言語のような従来の手続型プログラミング言語を含む、１または複数のプログラミング言語の任意の組み合わせで記述されたソースコードまたはオブジェクトコードのいずれかを含んでよい。

コンピュータ可読命令は、汎用コンピュータ、特殊目的のコンピュータ、若しくは他のコンピュータ等のプログラム可能なデータ処理装置のプロセッサまたはプログラマブル回路に対し、ローカルにまたはローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、インターネット等のようなワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）を介して提供され、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく、コンピュータ可読命令を実行してよい。プロセッサの例としては、コンピュータプロセッサ、処理ユニット、マイクロプロセッサ、デジタル信号プロセッサ、コントローラ、マイクロコントローラ等を含む。

図１７は、本発明の複数の態様が全体的または部分的に具現化されてよいコンピュータ２２００の例を示す。コンピュータ２２００にインストールされたプログラムは、コンピュータ２２００に、本発明の実施形態に係る装置に関連付けられる操作または当該装置の１または複数のセクションとして機能させることができ、または当該操作または当該１または複数のセクションを実行させることができ、および／またはコンピュータ２２００に、本発明の実施形態に係るプロセスまたは当該プロセスの段階を実行させることができる。そのようなプログラムは、コンピュータ２２００に、本明細書に記載のフローチャートおよびブロック図のブロックのうちのいくつかまたはすべてに関連付けられた特定の操作を実行させるべく、ＣＰＵ２２１２によって実行されてよい。

本実施形態によるコンピュータ２２００は、ＣＰＵ２２１２、ＲＡＭ２２１４、グラフィックコントローラ２２１６、およびディスプレイデバイス２２１８を含み、それらはホストコントローラ２２１０によって相互に接続されている。コンピュータ２２００はまた、通信インターフェイス２２２２、ハードディスクドライブ２２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ２２２６、およびＩＣカードドライブのような入／出力ユニットを含み、それらは入／出力コントローラ２２２０を介してホストコントローラ２２１０に接続されている。コンピュータはまた、ＲＯＭ２２３０およびキーボード２２４２のようなレガシの入／出力ユニットを含み、それらは入／出力チップ２２４０を介して入／出力コントローラ２２２０に接続されている。

ＣＰＵ２２１２は、ＲＯＭ２２３０およびＲＡＭ２２１４内に格納されたプログラムに従い動作し、それにより各ユニットを制御する。グラフィックコントローラ２２１６は、ＲＡＭ２２１４内に提供されるフレームバッファ等またはそれ自体の中にＣＰＵ２２１２によって生成されたイメージデータを取得し、イメージデータがディスプレイデバイス２２１８上に表示されるようにする。

通信インターフェイス２２２２は、ネットワークを介して他の電子デバイスと通信する。ハードディスクドライブ２２２４は、コンピュータ２２００内のＣＰＵ２２１２によって使用されるプログラムおよびデータを格納する。ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ２２２６は、プログラムまたはデータをＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１から読み取り、ハードディスクドライブ２２２４にＲＡＭ２２１４を介してプログラムまたはデータを提供する。ＩＣカードドライブは、プログラムおよびデータをＩＣカードから読み取り、および／またはプログラムおよびデータをＩＣカードに書き込む。

ＲＯＭ２２３０はその中に、アクティブ化時にコンピュータ２２００によって実行されるブートプログラム等、および／またはコンピュータ２２００のハードウェアに依存するプログラムを格納する。入／出力チップ２２４０はまた、様々な入／出力ユニットをパラレルポート、シリアルポート、キーボードポート、マウスポート等を介して、入／出力コントローラ２２２０に接続してよい。

プログラムが、ＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１またはＩＣカードのようなコンピュータ可読媒体によって提供される。プログラムは、コンピュータ可読媒体から読み取られ、コンピュータ可読媒体の例でもあるハードディスクドライブ２２２４、ＲＡＭ２２１４、またはＲＯＭ２２３０にインストールされ、ＣＰＵ２２１２によって実行される。これらのプログラム内に記述される情報処理は、コンピュータ２２００に読み取られ、プログラムと、上記様々なタイプのハードウェアリソースとの間の連携をもたらす。装置または方法が、コンピュータ２２００の使用に従い情報の操作または処理を実現することによって構成されてよい。

例えば、通信がコンピュータ２２００および外部デバイス間で実行される場合、ＣＰＵ２２１２は、ＲＡＭ２２１４にロードされた通信プログラムを実行し、通信プログラムに記述された処理に基づいて、通信インターフェイス２２２２に対し、通信処理を命令してよい。通信インターフェイス２２２２は、ＣＰＵ２２１２の制御下、ＲＡＭ２２１４、ハードディスクドライブ２２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１、またはＩＣカードのような記録媒体内に提供される送信バッファ処理領域に格納された送信データを読み取り、読み取られた送信データをネットワークに送信し、またはネットワークから受信された受信データを記録媒体上に提供される受信バッファ処理領域等に書き込む。

また、ＣＰＵ２２１２は、ハードディスクドライブ２２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ２２２６（ＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１）、ＩＣカード等のような外部記録媒体に格納されたファイルまたはデータベースの全部または必要な部分がＲＡＭ２２１４に読み取られるようにし、ＲＡＭ２２１４上のデータに対し様々なタイプの処理を実行してよい。ＣＰＵ２２１２は次に、処理されたデータを外部記録媒体にライトバックする。

様々なタイプのプログラム、データ、テーブル、およびデータベースのような様々なタイプの情報が記録媒体に格納され、情報処理を受けてよい。ＣＰＵ２２１２は、ＲＡＭ２２１４から読み取られたデータに対し、本開示の随所に記載され、プログラムの命令シーケンスによって指定される様々なタイプの操作、情報処理、条件判断、条件分岐、無条件分岐、情報の検索／置換等を含む、様々なタイプの処理を実行してよく、結果をＲＡＭ２２１４に対しライトバックする。また、ＣＰＵ２２１２は、記録媒体内のファイル、データベース等における情報を検索してよい。例えば、各々が第２の属性の属性値に関連付けられた第１の属性の属性値を有する複数のエントリが記録媒体内に格納される場合、ＣＰＵ２２１２は、第１の属性の属性値が指定される、条件に一致するエントリを当該複数のエントリの中から検索し、当該エントリ内に格納された第２の属性の属性値を読み取り、それにより予め定められた条件を満たす第１の属性に関連付けられた第２の属性の属性値を取得してよい。

上で説明したプログラムまたはソフトウェアモジュールは、コンピュータ２２００上またはコンピュータ２２００近傍のコンピュータ可読媒体に格納されてよい。また、専用通信ネットワークまたはインターネットに接続されたサーバーシステム内に提供されるハードディスクまたはＲＡＭのような記録媒体が、コンピュータ可読媒体として使用可能であり、それによりプログラムを、ネットワークを介してコンピュータ２２００に提供する。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１０ 位置検出装置
１００ 移動体
１０５ａ～ｂ トラック
１１０ エンコーダ
１２０ａ～ｂ 検出部
１３０ スリット位置信号算出部
１４０ スリット番号算出部
１５０ 補正テーブル
１６０ スリット番号補正部
１７０ 位置算出部
５００ａ～ｅ エラー
６００ａ～ｅ エラー
６１０ エラー
７００ 較正装置
７１０ 取得部
７１４ 算出部
７１６ 判定部
７２０ 生成部
７３０ 検査部
７４０ 出力部
１３００ 位置検出装置
１３０１ 移動体
１３１０ エンコーダ
１３２０ａ～ｂ 検出部
１３３０ スリット位置信号算出部
１３４０ スリット番号算出部
１３５０ 補正テーブル
１３６０ スリット番号補正部
１３７０ 位置算出部
２２００ コンピュータ
２２０１ ＤＶＤ－ＲＯＭ
２２１０ ホストコントローラ
２２１２ ＣＰＵ
２２１４ ＲＡＭ
２２１６ グラフィックコントローラ
２２１８ ディスプレイデバイス
２２２０ 入／出力コントローラ
２２２２ 通信インターフェイス
２２２４ ハードディスクドライブ
２２２６ ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ
２２３０ ＲＯＭ
２２４０ 入／出力チップ
２２４２ キーボード

Claims (16)

1. 移動体の実位置毎に、前記移動体の検出位置を取得する取得部と、
   前記移動体の実位置毎の検出位置について、スリット位置を検出するスリット位置信号と前記移動体の実位置に応じた理想のスリット番号との誤差を算出する算出部と、
   予め定められた大きさの第１スリットを単位とするスリット番号が少なくとも一部異なる２以上の実位置が同一の検出位置に対応するか否かを判定する判定部と、
   前記２以上の実位置が同一の検出位置に対応することに応じて、当該検出位置において前記スリット位置信号に対して前記２以上の実位置のそれぞれにおける誤差の間の大きさの補正を行なう補正値を生成する生成部と
   を備える較正装置。
2. 前記生成部は、１つの実位置のみがある検出位置に対応することに応じて、前記スリット位置信号に対して、その検出位置において前記１つの実位置における誤差の補正を行なう補正値を生成する請求項１に記載の較正装置。
3. 前記生成部は、前記取得部が取得した検出位置の区間毎に補正値を生成する請求項１に記載の較正装置。
4. 前記生成部は、前記取得部が取得した検出位置の区間毎に、検出位置に応じた補正値を表す補正関数のパラメータを算出する請求項１に記載の較正装置。
5. 前記生成部は、前記取得部が取得した検出位置の区間毎に、検出位置に応じた補正値の集合をフーリエ級数展開することにより、前記補正関数のパラメータを算出する請求項４に記載の較正装置。
6. 前記生成部は、前記２以上の実位置が同一の検出位置に対応することに応じて、前記スリット位置信号に対して前記２以上の実位置のそれぞれにおける誤差を平均した大きさの補正を行なう補正値を生成する請求項１に記載の較正装置。
7. 前記判定部は、実位置および検出位置の対応関係を、前記第１スリットの境界にマージンを持たせて判断する請求項１に記載の較正装置。
8. 前記生成部は、前記スリット位置信号に対して前記第１スリットの境界に予め定められたマージンの加算または減算の少なくとも１つを行なうことにより得られる検出位置と実位置との対応を含む、当該検出位置に対応する少なくとも１つの実位置を用いて補正値を生成する請求項７に記載の較正装置。
9. 前記スリット位置信号に補正値を加えた値を四捨五入して前記第１スリットを単位とするスリット番号を算出するエンコーダに対して補正値を出力する出力部を更に備える請求項１に記載の較正装置。
10. 前記エンコーダは、前記スリット位置信号に補正値を加えた値が整数となるように四捨五入したスリット番号を算出する請求項９に記載の較正装置。
11. 前記出力部は、前記エンコーダが有する補正テーブルに補正値を書き込む請求項９に記載の較正装置。
12. 前記生成部が生成した補正値により補正したスリット位置信号を用いて算出したスリット番号に誤りが生じるか否かを検査する検査部を更に備える請求項９に記載の較正装置。
13. 前記移動体は回転体であり、
    前記回転体は、
    前記回転体の１周を予め定められた第１の数で分割した第１周期毎の前記第１スリットを含む第１トラックと、
    前記回転体の１周を前記第１の数より小さい第２の数で分割した第２周期毎の第２スリットを含む第２トラックと
    を有し、
    較正対象となるエンコーダは、前記移動体の検出位置を、前記第１トラックから検出した第１検出値および前記第２トラックから検出した第２検出値に基づいて算出する
    請求項１から１２のいずれか一項に記載の較正装置。
14. 前記回転体は、前記回転体の１周を前記第１の数および前記第２の数とは異なる第３の数で分割した第３周期毎の第３スリットを含む第３トラックを更に有し、
    前記エンコーダは、前記移動体の検出位置を、前記第３トラックから検出した第３検出値に更に基づいて算出する
    請求項１３に記載の較正装置。
15. 較正装置が、移動体の実位置毎に、前記移動体の検出位置を取得することと、
    前記較正装置が、前記移動体の実位置毎の検出位置について、スリット位置を検出するスリット位置信号と前記移動体の実位置に応じた理想のスリット番号との誤差を算出することと、
    前記較正装置が、予め定められた大きさの第１スリットを単位とするスリット番号が少なくとも一部異なる２以上の実位置が同一の検出位置に対応するか否かを判定することと、
    前記２以上の実位置が同一の検出位置に対応することに応じて、当該検出位置において、前記スリット位置信号に対して前記２以上の実位置のそれぞれにおける誤差の間の大きさの補正を行なう補正値を生成することと
    を備える較正方法。
16. コンピュータにより実行され、前記コンピュータを、
    移動体の実位置毎に、前記移動体の検出位置を取得する取得部と、
    前記移動体の実位置毎の検出位置について、スリット位置を検出するスリット位置信号と前記移動体の実位置に応じた理想のスリット番号との誤差を算出する算出部と、
    予め定められた大きさの第１スリットを単位とするスリット番号が少なくとも一部異なる２以上の実位置が同一の検出位置に対応するか否かを判定する判定部と、
    前記２以上の実位置が同一の検出位置に対応することに応じて、当該検出位置において、前記スリット位置信号に対して前記２以上の実位置のそれぞれにおける誤差の間の大きさの補正を行なう補正値を生成する生成部と
    して機能させる較正プログラム。