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JP7806553B2 - Liquid jet head and liquid jet apparatus - Google Patents
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JP7806553B2 - Liquid jet head and liquid jet apparatus - Google Patents

Liquid jet head and liquid jet apparatus

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JP7806553B2
JP7806553B2 JP2022032533A JP2022032533A JP7806553B2 JP 7806553 B2 JP7806553 B2 JP 7806553B2 JP 2022032533 A JP2022032533 A JP 2022032533A JP 2022032533 A JP2022032533 A JP 2022032533A JP 7806553 B2 JP7806553 B2 JP 7806553B2
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Description

本開示は、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置に関する。 This disclosure relates to a liquid ejection head and a liquid ejection device.

特許文献1には、ノズルの両側に4つの圧力室を設け、4つの圧力室のそれぞれからノズルに至る流路をノズル付近で合流させる液体噴射ヘッドが開示されている。 Patent Document 1 discloses a liquid ejection head in which four pressure chambers are provided on both sides of a nozzle, and the flow paths leading from each of the four pressure chambers to the nozzle merge near the nozzle.

特開2019-155768号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2019-155768

しかしながら、上記従来技術では、4つの圧力室からノズルに至る流路の幅が狭いため、流路抵抗が大きく、噴射効率が良くないという問題があった。 However, with the above-mentioned conventional technology, the flow paths from the four pressure chambers to the nozzle were narrow, resulting in high flow path resistance and poor ejection efficiency.

本開示の第1形態による液体噴射ヘッドは、液体を噴射する第1ノズルが形成されたノズルプレートと、第1方向に並んで配置された第1及び第2圧力室と、前記第1方向に並んで配置された第3及び第4圧力室と、前記ノズルプレートに沿って延在する流路であり、前記第1ノズルに接続されるとともに前記第1乃至第4圧力室に連通する第1連通流路と、前記第1及び第2圧力室に連通する第1共通液室と、前記第3及び第4圧力室に連通する第2共通液室と、を備える。前記第1及び第2圧力室の組と、前記第3及び第4圧力室の組とは、前記第1方向に直交する第2方向において異なる位置に配置されている。前記ノズルプレートに向かって見た平面視において前記第1ノズルと重なる位置での前記第1連通流路の前記第1方向の幅を第1幅とし、前記第1圧力室の前記第1方向の幅を圧力室幅としたとき、前記第1幅は前記圧力室幅以上である。 A liquid jet head according to a first aspect of the present disclosure includes a nozzle plate in which a first nozzle for ejecting liquid is formed, first and second pressure chambers arranged side by side in a first direction, third and fourth pressure chambers arranged side by side in the first direction, a first communication flow path that is a flow path extending along the nozzle plate, the first communication flow path being connected to the first nozzle and communicating with the first to fourth pressure chambers, a first common liquid chamber communicating with the first and second pressure chambers, and a second common liquid chamber communicating with the third and fourth pressure chambers. The set of first and second pressure chambers and the set of third and fourth pressure chambers are arranged at different positions in a second direction orthogonal to the first direction. When a width in the first direction of the first communication flow path at a position overlapping with the first nozzle in a plan view looking toward the nozzle plate is defined as a first width, and a width in the first direction of the first pressure chamber is defined as a pressure chamber width, the first width is equal to or greater than the pressure chamber width.

本開示の第2形態による液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルが形成されたノズルプレートと、Nを3以上の整数としたとき、第1方向に並んで配置されたN個の圧力室Aと、N個の前記圧力室Aの組とは前記第1方向に直交する第2方向において異なる位置に配置されており、前記第1方向に並んで配置されたN個の圧力室Bと、前記ノズルプレートに沿って延在する流路であり、前記ノズルに接続されるとともに前記N個の圧力室A及び前記N個の圧力室Bに連通する連通流路と、前記N個の圧力室Aに連通する第1共通液室と、前記N個の圧力室Bに連通する第2共通液室と、を備える。前記ノズルプレートに向かって見た平面視において前記ノズルと重なる位置での前記連通流路の前記第1方向の幅を第1幅とし、前記圧力室Aの前記第1方向の幅を圧力室幅としたとき、前記第1幅は前記圧力室幅以上である。 A liquid jet head according to a second aspect of the present disclosure includes a nozzle plate in which nozzles for ejecting liquid are formed, N pressure chambers A arranged side by side in a first direction, where N is an integer of 3 or greater, N pressure chambers B arranged side by side in the first direction, wherein groups of the N pressure chambers A are arranged at different positions in a second direction orthogonal to the first direction, a communication flow path extending along the nozzle plate, the communication flow path being connected to the nozzle and communicating with the N pressure chambers A and the N pressure chambers B, a first common liquid chamber communicating with the N pressure chambers A, and a second common liquid chamber communicating with the N pressure chambers B. When a width in the first direction of the communication flow path at a position overlapping with the nozzle in a plan view looking toward the nozzle plate is defined as a first width, and a width in the first direction of the pressure chamber A is defined as a pressure chamber width, the first width is equal to or greater than the pressure chamber width.

本開示の第3形態による液体噴射装置は、前記液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドに供給する液体を貯留する液体貯留部と、を備える。 A liquid ejection device according to a third aspect of the present disclosure includes the liquid ejection head and a liquid storage section that stores liquid to be supplied to the liquid ejection head.

実施形態における液体噴射装置の構成を示す説明図。FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating a configuration of a liquid ejecting apparatus according to an embodiment. 液体噴射ヘッドの底面図。FIG. 図2のIII-III断面を示す断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the III-III cross section of FIG. 2 . 図3の底面から見た3ノズル分の流路および第1及び第2共通液室の一部を示す図。4 is a diagram showing a part of the flow paths for three nozzles and the first and second common liquid chambers as viewed from the bottom of FIG. 3; FIG. 図3の底面から見た1ノズル分の流路の一部を示す図。FIG. 4 is a diagram showing a part of a flow path for one nozzle as seen from the bottom of FIG. 3 . 図5の流路を拡大して示す図。FIG. 6 is an enlarged view of the flow path of FIG. 5 . 圧力室幅と壁厚の関係を示す説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram showing the relationship between the pressure chamber width and the wall thickness. 圧力室幅と壁厚の関係を示す説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram showing the relationship between the pressure chamber width and the wall thickness. 第2実施形態におけるノズル別流路の形状を示す図。FIG. 10 is a diagram showing the shape of a nozzle-specific flow path in the second embodiment. 第3実施形態におけるノズル別流路の形状を示す図。FIG. 11 is a diagram showing the shape of a nozzle-specific flow path in the third embodiment. 第4実施形態におけるノズル別流路の形状を示す図。FIG. 10 is a diagram showing the shape of a nozzle-specific flow path in the fourth embodiment. 第5実施形態におけるノズル別流路の形状を示す図。FIG. 13 is a diagram showing the shape of a nozzle-specific flow path in the fifth embodiment. 第6実施形態におけるノズル別流路の形状を示す図。FIG. 20 is a diagram showing the shape of a nozzle-specific flow path in the sixth embodiment. 第7実施形態におけるノズル別流路の形状を示す図。FIG. 23 is a diagram showing the shape of a nozzle-specific flow path in the seventh embodiment. 第8実施形態におけるノズル別流路の形状を示す図。FIG. 20 is a diagram showing the shape of a nozzle-specific flow path in the eighth embodiment.

A.第1実施形態
図1は、実施形態における液体噴射装置400の構成を示す説明図である。液体噴射装置400は、液体の一例であるインクを媒体PMに噴射するインクジェット方式の印刷装置である。インクの組成は、特に限定されず、例えば、染料又は顔料等の色材を水系溶媒に溶解させた水系インクでもよいし、色材を有機溶剤に溶解させた溶剤系インクでもよいし、紫外線硬化型インクでもよい。また、液体噴射装置400は、インクの代わりに液体として塗料を噴射してもよい。液体噴射装置400には、インクを貯留する液体貯留部420を取りつけることができる。液体噴射装置400は、液体貯留部420内のインクを、媒体PMに向けて噴射することによって印刷を実行する。液体噴射装置400は、液体噴射ヘッド100と、移動機構430と、搬送機構440と、制御ユニット450と、循環機構60とを備える。
A. First Embodiment FIG. 1 is an explanatory diagram showing the configuration of a liquid ejection device 400 according to an embodiment. The liquid ejection device 400 is an inkjet printing device that ejects ink, an example of a liquid, onto a medium PM. The composition of the ink is not particularly limited. For example, the ink may be an aqueous ink in which a colorant such as a dye or pigment is dissolved in an aqueous solvent, a solvent-based ink in which a colorant is dissolved in an organic solvent, or an ultraviolet-curable ink. The liquid ejection device 400 may also eject paint as a liquid instead of ink. The liquid ejection device 400 may be equipped with a liquid storage unit 420 that stores ink. The liquid ejection device 400 performs printing by ejecting the ink in the liquid storage unit 420 toward the medium PM. The liquid ejection device 400 includes a liquid ejection head 100, a movement mechanism 430, a transport mechanism 440, a control unit 450, and a circulation mechanism 60.

液体噴射ヘッド100は、図2に示す複数のノズル200を備え、液体貯留部420から供給される液体のインクを、複数のノズル200から噴射する。液体貯留部420の具体的な態様としては、例えば、液体噴射装置400に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、及び、インクを補充可能なインクタンク等の容器が挙げられる。ノズル200から噴射されたインクは、媒体PMに着弾する。媒体PMは、典型的には印刷用紙である。なお、媒体Mは、印刷用紙に限定されず、例えば、樹脂フィルム又は布帛等の任意の材質の印刷対象でもよい。 The liquid jet head 100 has multiple nozzles 200 as shown in FIG. 2, and jets liquid ink supplied from a liquid storage section 420 from the multiple nozzles 200. Specific examples of the liquid storage section 420 include a cartridge that can be attached to and detached from the liquid jet device 400, a bag-shaped ink pack made of flexible film, and a container such as an ink tank that can be refilled with ink. The ink jetted from the nozzles 200 lands on a medium PM, which is typically printing paper. Note that the medium M is not limited to printing paper and may be a printing target made of any material, such as a resin film or fabric.

移動機構430は、輪状のベルト432と、ベルト432に固定されたキャリッジ434と、を備える。キャリッジ434は、液体噴射ヘッド100を保持している。移動機構430は、輪状のベルト432を双方向に回転させることにより、液体噴射ヘッド100をX方向に沿って往復させることができる。 The movement mechanism 430 includes a loop-shaped belt 432 and a carriage 434 fixed to the belt 432. The carriage 434 holds the liquid jet head 100. The movement mechanism 430 can move the liquid jet head 100 back and forth along the X direction by rotating the loop-shaped belt 432 in both directions.

搬送機構440は、移動機構430による液体噴射ヘッド100の移動の合間に、媒体PMをY方向に沿って搬送する。Y方向は、X方向と直交する方向である。本実施形態では、X方向とY方向は水平方向である。Z方向は、X方向およびY方向に交差する方向である。本実施形態において、Z方向は鉛直下向きである。液体噴射ヘッド100は、X方向に沿って搬送されている間に、Z方向に沿ってインクを噴射する。Z方向を「噴射方向Z」とも呼ぶ。また、以下の説明では、図中のX方向を示す矢印の先端側を+X側と呼び、基端側を-X側と呼び、図中のY方向を示す矢印の先端側を+Y側と呼び、基端側を-Y側と呼び、図中のZ方向を示す矢印の先端側を+Z側と呼び、基端側を-Z側と呼ぶ。 The transport mechanism 440 transports the medium PM along the Y direction between movements of the liquid jet head 100 by the movement mechanism 430. The Y direction is a direction perpendicular to the X direction. In this embodiment, the X and Y directions are horizontal. The Z direction is a direction intersecting the X and Y directions. In this embodiment, the Z direction is vertically downward. The liquid jet head 100 ejects ink along the Z direction while being transported along the X direction. The Z direction is also referred to as the "ejection direction Z." In the following description, the tip side of the arrow indicating the X direction in the figure is referred to as the +X side, and the base end side is referred to as the -X side. The tip side of the arrow indicating the Y direction in the figure is referred to as the +Y side and the base end side is referred to as the -Y side. The tip side of the arrow indicating the Z direction in the figure is referred to as the +Z side and the base end side is referred to as the -Z side.

制御ユニット450は、液体噴射ヘッド100からのインクの噴射動作を制御する。制御ユニット450は、搬送機構440と、移動機構430と、液体噴射ヘッド100と、を制御して、媒体PM上に画像を形成させる。 The control unit 450 controls the ink ejection operation from the liquid ejection head 100. The control unit 450 controls the transport mechanism 440, the movement mechanism 430, and the liquid ejection head 100 to form an image on the medium PM.

図2は、液体噴射ヘッド100の底面図である。液体噴射ヘッド100は、複数のノズル200を有する。複数のノズル200は、XY平面に平行に配置されたノズルプレート240を貫通するように形成されている。複数のノズル200は、Y方向に沿って直線状に配置されることによってノズル列NLを構成している。ノズルプレート240は、例えば、半導体加工技術を用いてシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。当該シリコン単結晶基板としては、例えば、(100)面を主面とするシリコン単結晶基板が好適に用いられる。なお、ノズルプレート240は、例えばステンレス鋼(SUS)、チタンなどの材料で形成されていてもよい。 Figure 2 is a bottom view of the liquid jet head 100. The liquid jet head 100 has a plurality of nozzles 200. The plurality of nozzles 200 are formed to penetrate a nozzle plate 240 arranged parallel to the XY plane. The plurality of nozzles 200 are arranged linearly along the Y direction to form a nozzle row NL. The nozzle plate 240 is manufactured, for example, by processing a silicon single crystal substrate using semiconductor processing technology. A silicon single crystal substrate with a (100) plane as its main surface is preferably used as the silicon single crystal substrate. The nozzle plate 240 may also be formed from a material such as stainless steel (SUS) or titanium.

図3は、図2のIII-III断面における断面図である。図4は、図3の底面から見た3ノズル分の流路および第1共通液室110、第2共通液室120の一部を示す図である。図5は、図3の底面から見た1ノズル分の流路および共通液室110,120の一部を示す図である。図6は、図5の流路を拡大して示す図である。なお、図4では、3つのノズル別流路130、第1共通液室110及び第2共通液室120のみを図示している。なお、図示の便宜上、図5では、連通流路350が実線で描かれており、圧力室330が点線で、駆動素子300が破線で、共通液室110,120が一点鎖線で描かれている。図6では、接続流路321~324と駆動素子301~304の図示が省略されている。また、図4には、ノズル200a、200bを含む3つのノズル200を図示している。複数のノズル200のうち任意の1つのノズルであるノズル200aを「第1ノズル」としたとき、ノズル200bは「第2ノズル」の一例である。図3、図5、図5のそれぞれに図示されているノズル200は、ノズル200aである。 Figure 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III in Figure 2. Figure 4 is a diagram showing the flow paths for three nozzles, the first common liquid chamber 110, and a portion of the second common liquid chamber 120, as viewed from the bottom of Figure 3. Figure 5 is a diagram showing the flow paths for one nozzle, and a portion of the common liquid chambers 110 and 120, as viewed from the bottom of Figure 3. Figure 6 is an enlarged view of the flow paths in Figure 5. Note that Figure 4 only shows three nozzle-specific flow paths 130, the first common liquid chamber 110, and the second common liquid chamber 120. Note that for ease of illustration, in Figure 5, the communicating flow path 350 is drawn with a solid line, the pressure chamber 330 with a dotted line, the drive element 300 with a dashed line, and the common liquid chambers 110 and 120 with a dashed line. In Figure 6, the connecting flow paths 321-324 and the drive elements 301-304 are omitted from the illustration. Also, Figure 4 illustrates three nozzles 200, including nozzles 200a and 200b. When nozzle 200a, which is any one of the multiple nozzles 200, is defined as the "first nozzle," nozzle 200b is an example of the "second nozzle." The nozzle 200 illustrated in Figures 3, 5, and 5 is nozzle 200a.

図3以降の各図では、第1方向Dr1と第2方向Dr2と第3方向Dr3も示されている。第1方向Dr1は、圧力室331,332が並ぶ方向、及び、圧力室333,334が並ぶ方向である。第2方向Dr2は、第1方向Dr1に直交する方向である。また、第1方向Dr1と第2方向Dr2は、ノズルプレート240の表面に平行な方向である。第3方向Dr3は、ノズルプレート240の厚さ方向である。ノズルプレート240の厚さ方向とは、ノズルプレート240の3辺のうち最も短い辺に沿う方向を意味する。本実施形態では、第1方向Dr1はY方向と平行であり、第2方向Dr2はX方向と平行であり、第3方向Dr3はZ方向と平行である。但し、3つの方向Dr1~Dr3をこの例と異なる方向に設定してもよい。 In Figure 3 and subsequent figures, the first direction Dr1, the second direction Dr2, and the third direction Dr3 are also shown. The first direction Dr1 is the direction in which the pressure chambers 331, 332 are aligned, and the pressure chambers 333, 334 are aligned. The second direction Dr2 is a direction perpendicular to the first direction Dr1. The first direction Dr1 and the second direction Dr2 are parallel to the surface of the nozzle plate 240. The third direction Dr3 is the thickness direction of the nozzle plate 240. The thickness direction of the nozzle plate 240 refers to the direction along the shortest of the three sides of the nozzle plate 240. In this embodiment, the first direction Dr1 is parallel to the Y direction, the second direction Dr2 is parallel to the X direction, and the third direction Dr3 is parallel to the Z direction. However, the three directions Dr1 to Dr3 may be set in directions different from this example.

図4に示すように、隣り合うノズル200の配置される間隔Pt1、即ちノズル200のY方向の中心同士の距離は、一定である。また、列L1を構成する複数の圧力室330_L1のうち隣り合う圧力室330_L1の間隔Pt2、即ち圧力室330_L1のY方向の中心同士の距離は、一定である。列L2も同様の関係である。更に、列L1における間隔Pt2と、列L2における間隔Pt2とは同じであり、間隔Pt2は間隔Pt1の半分である。また、圧力室330の間隔Pt2は、連通孔340の間隔と同じであり、ノズル200のY方向の中心同士の間隔とも同じである。 As shown in FIG. 4, the spacing Pt1 between adjacent nozzles 200, i.e., the distance between the centers of the nozzles 200 in the Y direction, is constant. Furthermore, the spacing Pt2 between adjacent pressure chambers 330_L1 among the multiple pressure chambers 330_L1 that make up row L1, i.e., the distance between the centers of the pressure chambers 330_L1 in the Y direction, is constant. A similar relationship applies to row L2. Furthermore, the spacing Pt2 in row L1 and the spacing Pt2 in row L2 are the same, and spacing Pt2 is half of spacing Pt1. Furthermore, spacing Pt2 between pressure chambers 330 is the same as the spacing between communication holes 340, and is also the same as the spacing between the centers of the nozzles 200 in the Y direction.

図3に示すように、液体噴射ヘッド100は、インクが供給される第1共通液室110と、インクが排出される第2共通液室120と、第1共通液室110と第2共通液室120の間を接続するノズル別流路130とを有する。第1共通液室110と第2共通液室120は複数のノズル200に共通に設けられており、ノズル別流路130は個々のノズル200に対して個別に設けられている。共通液室110,120のそれぞれは、ノズル列NLに沿う方向であるY方向に延在する。即ち、共通液室110,120の長手方向は、複数のノズル200が並ぶ方向に平行である。 As shown in FIG. 3, the liquid jet head 100 has a first common liquid chamber 110 to which ink is supplied, a second common liquid chamber 120 to which ink is discharged, and nozzle-specific flow paths 130 that connect the first common liquid chamber 110 and the second common liquid chamber 120. The first common liquid chamber 110 and the second common liquid chamber 120 are provided in common to multiple nozzles 200, and the nozzle-specific flow paths 130 are provided individually for each nozzle 200. Each of the common liquid chambers 110, 120 extends in the Y direction, which is the direction along the nozzle row NL. In other words, the longitudinal direction of the common liquid chambers 110, 120 is parallel to the direction in which the multiple nozzles 200 are arranged.

液体噴射ヘッド100は、第1共通液室110に連通する複数の圧力室330の列L1と、第2共通液室120に連通する複数の圧力室330の列L2とを有する。列L1は、複数の圧力室330がY方向に並ぶことで構成され、列L2は、複数の圧力室330がY方向に並ぶことで構成される。列L1は、ノズル列NLに対して-X側に配置され、列L2は、ノズル列NLに対して+X側に配置されている。以降、列L1を構成する複数の圧力室330を、圧力室330_L1と称し、列L2を構成する複数の圧力室330を、圧力室330_L2と称す。詳しくは後述する駆動素子300、接続流路320および連通孔340についても、列L1に対応する駆動素子300を駆動素子300_L1と称し、列L2に対応する駆動素子300を駆動素子300_L2と称し、列L1に対応する接続流路320を接続流路320_L1と称し、列L2に対応する接続流路320を接続流路320_L2と称し、列L1に対応する連通孔340を連通孔340_L1と称し、列L2に対応する連通孔340を連通孔340_L2と称する。 The liquid jet head 100 has a row L1 of multiple pressure chambers 330 that communicate with the first common liquid chamber 110, and a row L2 of multiple pressure chambers 330 that communicate with the second common liquid chamber 120. Row L1 is composed of multiple pressure chambers 330 lined up in the Y direction, and row L2 is composed of multiple pressure chambers 330 lined up in the Y direction. Row L1 is arranged on the -X side of the nozzle row NL, and row L2 is arranged on the +X side of the nozzle row NL. Hereinafter, the multiple pressure chambers 330 that make up row L1 will be referred to as pressure chambers 330_L1, and the multiple pressure chambers 330 that make up row L2 will be referred to as pressure chambers 330_L2. Regarding the driving elements 300, connection channels 320, and communication holes 340 described in detail below, the driving elements 300 corresponding to row L1 will be referred to as driving elements 300_L1, the driving elements 300 corresponding to row L2 will be referred to as driving elements 300_L2, the connection channels 320 corresponding to row L1 will be referred to as connection channels 320_L1, the connection channels 320 corresponding to row L2 will be referred to as connection channels 320_L2, the communication holes 340 corresponding to row L1 will be referred to as communication holes 340_L1, and the communication holes 340 corresponding to row L2 will be referred to as communication holes 340_L2.

本実施形態における1つのノズル200に対応するノズル別流路130は、列L1の2つの圧力室330_L1と、列L2の2つの圧力室330_L2と、この2つの圧力室330_L1のそれぞれに対応する2つの接続流路320_L1と、この2つの圧力室330_L2のそれぞれに対応する2つの接続流路320_L2と、この2つの圧力室330_L1のそれぞれに対応する2つの連通孔340_L1と、この2つの圧力室330_L2のそれぞれに対応する2つの連通孔340_L2と、連通流路350とを含む。ここで、この列L1の2つの圧力室330_L1を、圧力室331,332と称し、この列L2の2つの圧力室330_L2を、圧力室333,334と称し、この2つの接続流路320_L1を接続流路321,322と称し、この2つの接続流路320_L2を接続流路323,324と称し、この2つの連通孔340_L1を連通孔341,342と称し、この2つの連通孔340_L2を連通孔343,344と称する。また、圧力室331~334のそれぞれに対応する4つの駆動素子300を、駆動素子301~304と称する。 In this embodiment, the nozzle-specific flow path 130 corresponding to one nozzle 200 includes two pressure chambers 330_L1 in row L1, two pressure chambers 330_L2 in row L2, two connecting flow paths 320_L1 corresponding to each of the two pressure chambers 330_L1, two connecting flow paths 320_L2 corresponding to each of the two pressure chambers 330_L2, two communication holes 340_L1 corresponding to each of the two pressure chambers 330_L1, two communication holes 340_L2 corresponding to each of the two pressure chambers 330_L2, and a communication flow path 350. Here, the two pressure chambers 330_L1 in this row L1 are referred to as pressure chambers 331 and 332, the two pressure chambers 330_L2 in this row L2 are referred to as pressure chambers 333 and 334, the two connection flow paths 320_L1 are referred to as connection flow paths 321 and 322, the two connection flow paths 320_L2 are referred to as connection flow paths 323 and 324, the two communication holes 340_L1 are referred to as communication holes 341 and 342, and the two communication holes 340_L2 are referred to as communication holes 343 and 344. Furthermore, the four drive elements 300 corresponding to the pressure chambers 331 to 334, respectively, are referred to as drive elements 301 to 304.

共通液室110,120のそれぞれは、Y方向や、隣り合う圧力室331,332が並ぶ方向、換言すれば圧力室330の列L1の延在方向に延在すると考えることができる。なお、本実施形態において、隣り合う圧力室331,332が並ぶ方向は、「第1方向」の一例である。また、複数のノズル別流路130は、ノズル列NLに沿ってY方向に並ぶ。 Each of the common liquid chambers 110, 120 can be considered to extend in the Y direction or the direction in which adjacent pressure chambers 331, 332 are aligned, in other words, the extension direction of the row L1 of the pressure chambers 330. In this embodiment, the direction in which adjacent pressure chambers 331, 332 are aligned is an example of the "first direction." Furthermore, the multiple nozzle-specific flow paths 130 are aligned in the Y direction along the nozzle row NL.

共通液室110,120の下部と複数のノズル別流路130は、主に連通板140によって形成される。連通板140は、複数の板状の部材を積層することで構成されていてもよい。連通板140の上面、即ち連通板140の-Z側を向く面には、筐体部160および圧力室基板250が設置されている。圧力室基板250は、Z方向に見た平面視で、筐体部160の内側に位置する。圧力室基板250の上面、即ち圧力室基板250の-Z側を向く面には、振動板310が位置している。圧力室基板250には、複数の圧力室330が設けられる。各圧力室330は、連通板140と振動板310と圧力室基板250とによって画定された空間である。圧力室基板250は、例えば、半導体加工技術を用いてシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。当該シリコン単結晶基板としては、例えば、(110)基板、即ち、主面を(110)面とするシリコン単結晶基板が好適に用いられる。 The lower portions of the common liquid chambers 110, 120 and the multiple nozzle-specific flow paths 130 are primarily formed by the communication plate 140. The communication plate 140 may be constructed by stacking multiple plate-shaped members. The housing 160 and pressure chamber substrate 250 are mounted on the upper surface of the communication plate 140, i.e., the surface facing the -Z side of the communication plate 140. The pressure chamber substrate 250 is located inside the housing 160 in a plan view looking in the Z direction. The vibration plate 310 is located on the upper surface of the pressure chamber substrate 250, i.e., the surface facing the -Z side of the pressure chamber substrate 250. The pressure chamber substrate 250 has multiple pressure chambers 330. Each pressure chamber 330 is a space defined by the communication plate 140, the vibration plate 310, and the pressure chamber substrate 250. The pressure chamber substrate 250 is manufactured, for example, by processing a silicon single crystal substrate using semiconductor processing technology. As the silicon single crystal substrate, for example, a (110) substrate, i.e., a silicon single crystal substrate whose main surface is a (110) plane, is preferably used.

振動板310は、弾性的に振動可能な板状部材である。振動板310は、例えば、酸化シリコン(SiO)で構成される第1層と、酸化ジルコニウム(ZrO)で構成される第2層と、を含む積層体である。ここで、第1層と第2層との間には、金属酸化物等の他の層が介在してもよい。なお、振動板54の一部または全部は、圧力室基板250と同一材料で一体に構成されてもよい。例えば、所定厚の板状部材における圧力室330に対応する領域について厚さ方向の一部を選択的にエッチング等で除去することで、振動板310および圧力室基板250を一体に形成することができる。また、振動板310は、単一材料の層で構成されてもよい。 The diaphragm 310 is a plate-like member capable of elastically vibrating. The diaphragm 310 is a laminate including, for example, a first layer made of silicon oxide (SiO 2 ) and a second layer made of zirconium oxide (ZrO 2 ). Another layer, such as a metal oxide, may be interposed between the first and second layers. Part or all of the diaphragm 310 may be integrally formed with the pressure chamber substrate 250 using the same material. For example, the diaphragm 310 and the pressure chamber substrate 250 can be integrally formed by selectively removing a portion of a plate-like member of a predetermined thickness in the thickness direction in a region corresponding to the pressure chamber 330 by etching or the like. Alternatively, the diaphragm 310 may be formed from a layer of a single material.

連通板140の下面、即ち連通板140の+Z側を向く面には、ノズルプレート240が設置されており、また、第1共通液室110と第2共通液室120の下端部、即ち第1共通液室110と第2共通液室120の+Z側の端部は、樹脂フィルムや薄膜状の金属などから成る可撓性を有する封止膜150で封止されている。 A nozzle plate 240 is installed on the underside of the communication plate 140, i.e., the surface of the communication plate 140 facing the +Z side, and the lower ends of the first common liquid chamber 110 and the second common liquid chamber 120, i.e., the +Z side ends of the first common liquid chamber 110 and the second common liquid chamber 120, are sealed with a flexible sealing film 150 made of a resin film, thin metal film, or the like.

振動板310の-Z側を向く面には、配線基板59が接合される。配線基板59は、制御ユニット450と液体噴射ヘッド100とを電気的に接続するための複数の配線が形成される実装部品である。配線基板59は、例えば、FPC(Flexible Printed Circuit)またはFFC(Flexible Flat Cable)等の可撓性の配線基板である。配線基板59には、駆動素子300を駆動するための駆動回路70が実装される。駆動回路70は、駆動信号を各駆動素子300に供給する。 A wiring board 59 is bonded to the surface of the vibration plate 310 facing the -Z side. The wiring board 59 is a mounting component on which multiple wires are formed for electrically connecting the control unit 450 and the liquid jet head 100. The wiring board 59 is a flexible wiring board such as an FPC (Flexible Printed Circuit) or an FFC (Flexible Flat Cable). A drive circuit 70 for driving the drive elements 300 is mounted on the wiring board 59. The drive circuit 70 supplies drive signals to each drive element 300.

振動板310の上面、即ち振動板310の-Z側を向く面には、各圧力室330に対応して複数の駆動素子300がそれぞれ設けられている。これらの駆動素子300は、例えば圧電素子で構成されている。圧電素子は、例えば、圧電体層と圧電体層を挟むように設けられた2つの電極によって構成されている。例えば、圧電素子である駆動素子301~304が振動すると、それらの振動が圧力室331~334にそれぞれ伝わり、圧力室331~334に圧力波が発生する。インクは、駆動素子301~304によって発生した圧力によってノズル200から噴射される。なお、駆動素子として、圧電素子に代えて、圧力室330内のインクを加熱する発熱素子を用いてもよい。 A plurality of drive elements 300 are provided on the upper surface of the vibration plate 310, i.e., the surface facing the -Z side of the vibration plate 310, corresponding to each pressure chamber 330. These drive elements 300 are, for example, piezoelectric elements. A piezoelectric element is, for example, composed of a piezoelectric layer and two electrodes arranged to sandwich the piezoelectric layer. For example, when the drive elements 301 to 304, which are piezoelectric elements, vibrate, the vibrations are transmitted to the pressure chambers 331 to 334, respectively, generating pressure waves in the pressure chambers 331 to 334. Ink is ejected from the nozzles 200 by the pressure generated by the drive elements 301 to 304. Note that instead of piezoelectric elements, heat-generating elements that heat the ink in the pressure chambers 330 may be used as drive elements.

共通液室110,120には、循環機構60が接続される。循環機構60は、第1共通液室110にインクを供給するとともに、第2共通液室120から排出されるインクを第1共通液室110への再供給のために回収する。循環機構60は、第1供給ポンプ61と第2供給ポンプ62と貯留容器63と回収流路64と供給流路65とを有する。 A circulation mechanism 60 is connected to the common liquid chambers 110 and 120. The circulation mechanism 60 supplies ink to the first common liquid chamber 110 and recovers ink discharged from the second common liquid chamber 120 for resupply to the first common liquid chamber 110. The circulation mechanism 60 has a first supply pump 61, a second supply pump 62, a storage container 63, a recovery flow path 64, and a supply flow path 65.

第1供給ポンプ61は、液体貯留部420に貯留されるインクを貯留容器63に供給するポンプである。貯留容器63は、液体貯留部420から供給されるインクを一時的に貯留するサブタンクである。回収流路64は、第2共通液室120と貯留容器63との間に介在しており、第2共通液室120からのインクを貯留容器63に回収するための流路である。貯留容器63には、液体貯留部420に貯留されるインクが第1供給ポンプ61から供給される。更に、貯留容器63には、第1共通液室110から各ノズル別流路130に供給されたがノズル200から噴射されずに各ノズル別流路130から第2共通液室120に排出されるインクが、回収流路64を介して供給される。第2供給ポンプ62は、貯留容器63に貯留されるインクを送出するポンプである。供給流路65は、第1共通液室110と貯留容器63との間に介在しており、貯留容器63のインクを第1共通液室110に供給するための流路である。 The first supply pump 61 is a pump that supplies ink stored in the liquid storage section 420 to the storage container 63. The storage container 63 is a sub-tank that temporarily stores ink supplied from the liquid storage section 420. The recovery flow path 64 is interposed between the second common liquid chamber 120 and the storage container 63 and is a flow path for recovering ink from the second common liquid chamber 120 to the storage container 63. The ink stored in the liquid storage section 420 is supplied to the storage container 63 from the first supply pump 61. Furthermore, ink that is supplied from the first common liquid chamber 110 to each nozzle-specific flow path 130 but is not ejected from the nozzles 200 and is discharged from each nozzle-specific flow path 130 to the second common liquid chamber 120 is supplied to the storage container 63 via the recovery flow path 64. The second supply pump 62 is a pump that pumps out ink stored in the storage container 63. The supply flow path 65 is located between the first common liquid chamber 110 and the storage container 63, and is a flow path for supplying ink from the storage container 63 to the first common liquid chamber 110.

第1共通液室110の上端、即ち第1共通液室110の-Z側の端部にある開口部161は、液体噴射ヘッド100の外部である供給流路65に接続されている。つまり、本実施形態の開口部161は、循環機構60から液体を導入するための導入口としての機能を有する。第2共通液室120の上端、即ち第2共通液室120の-Z側の端部にある開口部162は、液体噴射ヘッド100の外部である循環機構60の回収流路64に接続されている。つまり、本実施形態の開口部162は、循環機構60から液体を排出するための導出口としての機能を有する。 An opening 161 at the upper end of the first common liquid chamber 110, i.e., the end on the -Z side of the first common liquid chamber 110, is connected to a supply flow path 65 that is external to the liquid jet head 100. In other words, the opening 161 in this embodiment functions as an inlet for introducing liquid from the circulation mechanism 60. An opening 162 at the upper end of the second common liquid chamber 120, i.e., the end on the -Z side of the second common liquid chamber 120, is connected to a recovery flow path 64 of the circulation mechanism 60 that is external to the liquid jet head 100. In other words, the opening 162 in this embodiment functions as an outlet for discharging liquid from the circulation mechanism 60.

ノズル別流路130は、以下の流路や空間を有する。以下の説明において、「接続」という語句は、直接的に接続する意味で使用する。また、「連通」という語句は、直接的な接続だけでなく、間接的に接続されることも含む広い意味で使用する。
<接続流路321~324>
接続流路321は、第1共通液室110と圧力室331とを接続する。
接続流路322は、第1共通液室110と圧力室332とを接続する。
接続流路323は、第2共通液室120と圧力室333とを接続する。
接続流路324は、第2共通液室120と圧力室334とを接続する。
接続流路321~324は、いずれもZ方向に延在する流路であり、連通板140を貫通している。図5と図6では、図示の便宜上、接続流路321~324にハッチングが付されている。なお、接続流路320と圧力室330とが交わる部分は、圧力室330の一部であると見なすことができる。
The nozzle-specific flow path 130 has the following flow paths and spaces. In the following description, the term "connected" is used to mean directly connected. The term "communicating" is used in a broader sense to include not only direct connection but also indirect connection.
<Connection flow paths 321 to 324>
The connection flow path 321 connects the first common liquid chamber 110 and the pressure chamber 331 .
The connection flow path 322 connects the first common liquid chamber 110 and the pressure chamber 332 .
The connection flow path 323 connects the second common liquid chamber 120 and the pressure chamber 333 .
The connection flow path 324 connects the second common liquid chamber 120 and the pressure chamber 334 .
The connection flow paths 321 to 324 are all flow paths that extend in the Z direction and penetrate the communication plate 140. For convenience of illustration, the connection flow paths 321 to 324 are hatched in Figures 5 and 6. The intersection of the connection flow path 320 and the pressure chamber 330 can be considered to be part of the pressure chamber 330.

<圧力室331~334>
圧力室331~圧力室334は、駆動素子301~駆動素子304によってそれぞれ圧力の変化を受ける空間である。圧力室331と圧力室332は、第1方向Dr1に並べて配置され、圧力室333と圧力室334も第1方向Dr1に並べて配置されている。本実施形態では、第1方向Dr1はY方向に平行である。圧力室331および圧力室332の組と、圧力室333および圧力室334の組とは、第1方向Dr1に直交する第2方向Dr2において異なる位置に配置されている。本実施形態では、第2方向Dr2はX方向に平行である。圧力室331~圧力室334で発生した圧力波は、ノズル200に到達してノズル200からインクを噴射させる。圧力室331~334は、同じ形状を有することが好ましい。本実施形態では、複数の圧力室331~334が千鳥状に配置されている。各圧力室330は、第2方向Dr2に延在している。ここで、ノズル200aに連通する圧力室331aは、「第1圧力室」の一例であり、ノズル200aに連通する圧力室332aは、「第2圧力室」の一例であり、ノズル200aに連通する圧力室333aは、「第3圧力室」の一例であり、ノズル200aに連通する圧力室334aは、「第4圧力室」の一例である。
<Pressure Chambers 331 to 334>
The pressure chambers 331 to 334 are spaces that are subjected to pressure changes by the drive elements 301 to 304, respectively. The pressure chambers 331 and 332 are arranged side by side in a first direction Dr1, and the pressure chambers 333 and 334 are also arranged side by side in the first direction Dr1. In this embodiment, the first direction Dr1 is parallel to the Y direction. The set of the pressure chambers 331 and 332 and the set of the pressure chambers 333 and 334 are arranged at different positions in a second direction Dr2 that is perpendicular to the first direction Dr1. In this embodiment, the second direction Dr2 is parallel to the X direction. Pressure waves generated in the pressure chambers 331 to 334 reach the nozzles 200 and eject ink from the nozzles 200. It is preferable that the pressure chambers 331 to 334 have the same shape. In this embodiment, the multiple pressure chambers 331 to 334 are arranged in a staggered pattern. Each pressure chamber 330 extends in the second direction Dr2. Here, the pressure chamber 331a communicating with the nozzle 200a is an example of a "first pressure chamber," the pressure chamber 332a communicating with the nozzle 200a is an example of a "second pressure chamber," the pressure chamber 333a communicating with the nozzle 200a is an example of a "third pressure chamber," and the pressure chamber 334a communicating with the nozzle 200a is an example of a "fourth pressure chamber."

<連通孔341~344>
連通孔341~連通孔344は、それぞれZ方向に延在し、連通流路350と圧力室331~圧力室334とをそれぞれ接続する流路である。つまり、各圧力室330は、一端で接続流路320に接続され、他端で連通孔340に接続されている。なお、図5と図6では、図示の便宜上、連通孔341~344にハッチングが付されている。また、図6では、接続流路321~324と駆動素子301~304の図示が省略されている。連通孔341と連通孔342は、第1方向Dr1に並べて配置され、連通孔343と連通孔344も、第1方向Dr1に並べて配置されている。連通孔341~344は、接続流路321~324と同じ方向に延在する流路であり、連通板140を貫通している。連通孔341~344は、同じ形状を有することが好ましい。なお、連通孔340と圧力室330とが交わる部分は、圧力室330の一部であると見なすことができる。
<Communication holes 341 to 344>
The communicating holes 341 to 344 each extend in the Z direction and are flow paths connecting the communicating flow path 350 to the pressure chambers 331 to 334, respectively. That is, each pressure chamber 330 is connected at one end to the connecting flow path 320 and at the other end to the communicating hole 340. Note that in FIGS. 5 and 6, the communicating holes 341 to 344 are hatched for ease of illustration. Also, in FIG. 6, the connecting flow paths 321 to 324 and the driving elements 301 to 304 are omitted from illustration. The communicating holes 341 and 342 are arranged side by side in the first direction Dr1, and the communicating holes 343 and 344 are also arranged side by side in the first direction Dr1. The communicating holes 341 to 344 are flow paths extending in the same direction as the connecting flow paths 321 to 324 and penetrate the communicating plate 140. It is preferable that the communication holes 341 to 344 have the same shape. The portion where the communication hole 340 and the pressure chamber 330 intersect can be considered to be part of the pressure chamber 330.

<連通流路350>
図3に示すように、連通流路350は、ノズル200に接続され、ノズル200と圧力室331~圧力室334とを連通させる流路である。また、連通流路350は、ノズルプレート240の複数のノズル200が形成されたノズル面に沿って延在する流路であり、連通流路350の途中にノズル200が設けられている。具体的には、連通流路350は、X方向に沿って延在しており、連通板140とノズルプレート240の-Z側を向く面とによって画定されている。換言すれば、連通流路350は、第2方向Dr2を長手方向とする流路である。連通孔341~344と連通流路350とが交わる部分は、連通流路350の一部であると見なすことができる。ここで、ノズル200aに接続される連通流路350aは、「第1連通流路」の一例である。
<Communicating flow path 350>
As shown in FIG. 3 , the communication flow path 350 is a flow path connected to the nozzle 200 and communicating the nozzle 200 with the pressure chambers 331 to 334. The communication flow path 350 extends along the nozzle surface of the nozzle plate 240 on which the plurality of nozzles 200 are formed, and the nozzle 200 is provided midway along the communication flow path 350. Specifically, the communication flow path 350 extends along the X direction and is defined by the communication plate 140 and the surface of the nozzle plate 240 facing the -Z side. In other words, the communication flow path 350 is a flow path whose longitudinal direction is the second direction Dr2. The intersections between the communication holes 341 to 344 and the communication flow path 350 can be considered to be part of the communication flow path 350. Here, the communication flow path 350a connected to the nozzle 200a is an example of a "first communication flow path."

インクとしては、例えば、擬塑性を有する液体を使用することができる。より具体的には、インクは、25℃において、せん断速度が1000s-1のときの粘度が0.01Pa・s以上0.2Pa・s以下であり、せん断速度が0.01s-1のときの粘度が0.5Pa・s以上50Pa・s以下であることが好ましい。本実施形態では、4つの圧力室331~334を用いることによって個々の流路の断面積を小さくし、流速を上げてインクの粘度を低下させることにより、擬塑性を有する液体状のインクを使用することが可能となっている。但し、圧力室331~334からノズル200までは、駆動素子301~304のエネルギーを効率的に利用したいため、流路抵抗を過度に大きくするのは好ましくない。そこで、本実施形態では、図6に示す連通流路350の幅WR1を大きくすることによって、流路抵抗を低下させている。 For example, a pseudoplastic liquid can be used as the ink. More specifically, the ink preferably has a viscosity of 0.01 Pa·s or more and 0.2 Pa·s or less at a shear rate of 1000 s −1 at 25°C, and a viscosity of 0.5 Pa·s or more and 50 Pa·s or less at a shear rate of 0.01 s −1 . In this embodiment, the use of four pressure chambers 331-334 reduces the cross-sectional area of each flow channel, increasing the flow rate and reducing the ink viscosity, making it possible to use pseudoplastic liquid ink. However, because it is desirable to efficiently utilize the energy of the drive elements 301-304 from the pressure chambers 331-334 to the nozzle 200, excessively large flow channel resistance is not desirable. Therefore, in this embodiment, the flow channel resistance is reduced by increasing the width W R1 of the communication flow channel 350 shown in FIG. 6.

本実施形態では、1つのノズル200に対して4つの圧力室331~334が設けられていたが、圧力室は5つ以上設けても良い。いずれの場合にも、駆動素子は、個々の圧力室に対応するように設けられる。 In this embodiment, four pressure chambers 331-334 are provided for one nozzle 200, but five or more pressure chambers may be provided. In either case, a drive element is provided to correspond to each individual pressure chamber.

本実施形態のノズル別流路130は、4つの駆動素子301~304に対応した4つの個別流路と、4つの駆動素子301~304に共通の流路を含むものと考えることができる。「個別流路」とは、少なくとも圧力室330を含む流路であり、1つの駆動素子300に対して1つの個別流路が対応する。本実施形態では、第1個別流路は、接続流路321と圧力室331と連通孔341とを含むものと考えることができる。第2~第4個別流路も同様に把握することが可能である。また、4つの駆動素子301~304に共通の流路、換言すれば圧力室331~334に共通の流路は、前述の4つの個別流路に接続された連通流路350に対応する。また、本実施形態の複数のノズル別流路130は、ほぼ同じ構造を有する。 The nozzle-specific flow paths 130 in this embodiment can be considered to include four individual flow paths corresponding to the four drive elements 301-304, as well as a flow path common to the four drive elements 301-304. An "individual flow path" is a flow path that includes at least a pressure chamber 330, with one individual flow path corresponding to one drive element 300. In this embodiment, the first individual flow path can be considered to include a connection flow path 321, a pressure chamber 331, and a communication hole 341. The second to fourth individual flow paths can be understood in a similar manner. Furthermore, the flow path common to the four drive elements 301-304, in other words, the flow path common to the pressure chambers 331-334, corresponds to the communication flow path 350 connected to the four individual flow paths mentioned above. Furthermore, the multiple nozzle-specific flow paths 130 in this embodiment have approximately the same structure.

第1実施形態の液体噴射ヘッド100は、主に流路抵抗に関連して以下のような種々の特徴を有する。
<特徴D1>
図6に示すように、ノズルプレート240に向かって見た平面視において、ノズル200と重なる位置での連通流路350の第1方向Dr1の幅を第1幅WR1とし、圧力室331の第1方向Dr1の幅を圧力室幅WC1としたとき、WC1≦WR1を満たす。
この特徴D1によれば、連通流路350の第1幅WR1が広いので噴射効率の低下を抑制できる。
The liquid jet head 100 of the first embodiment has the following various features, mainly related to the flow path resistance.
<Feature D1>
As shown in Figure 6, in a plan view looking toward the nozzle plate 240, when the width in the first direction Dr1 of the communicating flow path 350 at the position overlapping with the nozzle 200 is defined as a first width W R1 and the width in the first direction Dr1 of the pressure chamber 331 is defined as a pressure chamber width W C1 , W C1 ≦W R1 is satisfied.
According to the feature D1, the first width W R1 of the communication flow passage 350 is wide, so that a decrease in the injection efficiency can be suppressed.

なお、連通流路350の第1幅WR1は、圧力室幅WC1より大きいことが好ましく、圧力室幅WC1の1.5倍以上であることが更に好ましい。また、連通流路350の第1幅WR1は、圧力室幅WC1の2倍以下であることが好ましく、圧力室幅WC1の2倍に等しいことが特に好ましい。 The first width W R1 of the communicating flow path 350 is preferably larger than the pressure chamber width W C1 , and more preferably 1.5 times or more the pressure chamber width W C1 . The first width W R1 of the communicating flow path 350 is preferably equal to or less than twice the pressure chamber width W C1 , and particularly preferably equal to twice the pressure chamber width W C1 .

本実施形態では、圧力室331の幅WC1は、第2方向Dr2に沿った位置に拘わらず一定である。但し、圧力室331の幅WC1が第2方向Dr2に沿って変化する場合には、上記特徴D1における「圧力室幅WC1」を、その最大値とすることが好ましい。4つの圧力室331~334は、第1方向Dr1の幅WC1~WC4が互いに等しいことが好ましく、第2方向Dr2の長さLC1も互いに等しいことが好ましい。 In this embodiment, the width W C1 of the pressure chamber 331 is constant regardless of the position along the second direction Dr2. However, if the width W C1 of the pressure chamber 331 varies along the second direction Dr2, it is preferable that the "pressure chamber width W C1 " in the above-mentioned feature D1 be set to its maximum value. It is preferable that the widths W C1 to W C4 of the four pressure chambers 331 to 334 in the first direction Dr1 are equal to one another, and it is also preferable that the lengths L C1 in the second direction Dr2 are equal to one another.

本開示において、連通流路350の第1幅WR1は、連通流路350を画定する壁面のうち、第1方向Dr1に直接対向する2つの壁面同士の距離を意味する。「直接対向する2つの壁面」とは、それらの間に他の壁面や構造物を含まないことを意味している。圧力室331などの他の流路の幅や長さも同様である。 In the present disclosure, the first width W R1 of the communicating flow path 350 refers to the distance between two wall surfaces that directly face each other in the first direction Dr1 among the wall surfaces that define the communicating flow path 350. "Two wall surfaces that directly face each other" means that no other wall surfaces or structures are present between them. The same applies to the widths and lengths of other flow paths, such as the pressure chamber 331.

<特徴D2>
図3に示すように、平面視においてノズル200と重なる位置での連通流路350の第3方向Dr3の高さを第1高さHR1としたとき、図6に示す連通流路350の第1幅WR1は、第1高さHR1以上である。
ここで、「ノズル200と重なる位置での連通流路350の第1高さHR1」とは、ノズル200の凹部が無いと仮定したときの連通流路350の高さを意味する。換言すれば、連通流路350の第1高さHR1は、ノズルプレート240の上面と連通板140の下面との間の距離である。即ち、第1高さHR1は、ノズルプレート240の連通流路350を画定する面と、連通板140のノズルプレート240に対向する面との間の第3方向Dr3の距離である。この特徴D2によれば、連通流路350の流路抵抗を小さくしながらも、連通板140の剛性を確保できる。なお、第1幅WR1は、第1高さHR1より大きいことが好ましい。
<Feature D2>
As shown in FIG. 3 , when the height of the communication flow path 350 in the third direction Dr3 at a position overlapping with the nozzle 200 in a plan view is defined as a first height H R1 , the first width W R1 of the communication flow path 350 shown in FIG. 6 is equal to or greater than the first height H R1 .
Here, the "first height H R1 of the communicating flow path 350 at the position overlapping the nozzle 200" refers to the height of the communicating flow path 350 when it is assumed that the nozzle 200 does not have a recess. In other words, the first height H R1 of the communicating flow path 350 is the distance between the upper surface of the nozzle plate 240 and the lower surface of the communicating plate 140. In other words, the first height H R1 is the distance in the third direction Dr3 between the surface of the nozzle plate 240 that defines the communicating flow path 350 and the surface of the communicating plate 140 that faces the nozzle plate 240. This feature D2 makes it possible to ensure the rigidity of the communicating plate 140 while reducing the flow path resistance of the communicating flow path 350. Note that the first width W R1 is preferably greater than the first height H R1 .

<特徴D3>
図3に示すように、平面視においてノズル200と重なる位置での連通板140の第3方向Dr3の厚みを第1厚みTR1としたとき、第1厚みTR1は、連通流路350の第1高さHR1より大きい。
この特徴D3によれば、連通流路の350流路抵抗を小さくしながらも、連通板140の剛性を確保できる。なお、第1厚みTR1は、好ましくは第1高さHR1の2倍以上であり、より好ましくは3倍以上であり、さらに好ましくは4倍以上である。
<Feature D3>
As shown in FIG. 3 , when the thickness of the communicating plate 140 in the third direction Dr3 at a position overlapping the nozzle 200 in a plan view is defined as a first thickness TR1 , the first thickness TR1 is greater than the first height HR1 of the communicating flow path 350.
This feature D3 reduces the flow resistance of the communicating flow passage while ensuring the rigidity of the communicating plate 140. The first thickness TR1 is preferably at least two times the first height HR1 , more preferably at least three times, and even more preferably at least four times.

<特徴D4>
圧力室331と圧力室332とを区画する隔壁PW1の第1方向Dr1の幅WS1の2倍をV1(=2×WS1)とし、第1方向Dr1に隣り合う2つの連通流路350を区画する隔壁PW2の第1方向Dr1の幅をWS2としたとき、V1≦WS2≦V1+WC1を満たす。
圧力室331と圧力室332とを区画する隔壁PW1の第1方向Dr1の幅WS1は、図6に示されている。また、第1方向Dr1に隣り合う2つの連通流路350を区画する隔壁PW2の第1方向Dr1の幅WS2は、図6及び図3に示されている。ここで、V1は、「第1の値」であり、V1+WC1は、「第2の値」である。なお、「第1方向Dr1に隣り合う2つの連通流路350を区画する隔壁PW2の第1方向Dr1の幅WS2」とは、第2方向Dr2に関してノズル200が配置されている位置で測定したときの隔壁PW2の幅WS2である。
<Feature D4>
When V1 (= 2 × W S1 ) is twice the width W S1 in the first direction Dr1 of the partition PW1 that separates the pressure chambers 331 and 332, and W S2 is the width in the first direction Dr1 of the partition PW2 that separates the two communicating flow paths 350 adjacent to each other in the first direction Dr1, the relationship V1 ≦W S2 V1+W C1 is satisfied.
The width W S1 in the first direction Dr1 of the partition wall PW1 that separates the pressure chamber 331 and the pressure chamber 332 is shown in FIG. 6 . The width W S2 in the first direction Dr1 of the partition wall PW2 that separates the two communicating flow paths 350 that are adjacent in the first direction Dr1 is shown in FIGS. 6 and 3 . Here, V1 is a "first value," and V1 + W C1 is a "second value." Note that the "width W S2 in the first direction Dr1 of the partition wall PW2 that separates the two communicating flow paths 350 that are adjacent in the first direction Dr1" refers to the width W S2 of the partition wall PW2 when measured at a position where the nozzle 200 is disposed in the second direction Dr2.

図7及び図8は、上記特徴D4,D1に関連して、圧力室幅と壁厚の関係を示す説明図である。図7及び図8には、Y方向に隣り合う2つのノズル200a,200bと、ノズル200aに関連する第1連通流路350a及び圧力室331a~334aと、ノズル200bに関連する第2連通流路350b及び圧力室331b~334bと、隔壁Pw1と、隔壁Pw2とが模式的に描かれている。ここで、ノズル200bに連通する圧力室331bは、「第5圧力室」の一例であり、ノズル200bに連通する圧力室332bは、「第6圧力室」の一例であり、ノズル200bに連通する圧力室333bは、「第7圧力室」の一例であり、ノズル200bに連通する圧力室334bは、「第8圧力室」の一例である。なお、第1方向Dr1に隣り合う2つの圧力室330を区画する隔壁Pw1の幅WS1は一定であり、また、各圧力室330の圧力室幅WC1も一定である。図7及び図8のいずれの場合も、(2×WC1+2×WS1)=(WR1+WS2)が成立するように流路が配列されている。 7 and 8 are explanatory diagrams showing the relationship between pressure chamber width and wall thickness in relation to features D4 and D1 described above. Figures 7 and 8 schematically show two nozzles 200a and 200b adjacent to each other in the Y direction, a first communication flow path 350a and pressure chambers 331a to 334a associated with nozzle 200a, a second communication flow path 350b and pressure chambers 331b to 334b associated with nozzle 200b, partition wall Pw1, and partition wall Pw2. Here, pressure chamber 331b communicating with nozzle 200b is an example of a "fifth pressure chamber," pressure chamber 332b communicating with nozzle 200b is an example of a "sixth pressure chamber," pressure chamber 333b communicating with nozzle 200b is an example of a "seventh pressure chamber," and pressure chamber 334b communicating with nozzle 200b is an example of an "eighth pressure chamber." The width W S1 of the partition wall Pw1 that separates two pressure chambers 330 adjacent to each other in the first direction Dr1 is constant, and the pressure chamber width W C1 of each pressure chamber 330 is also constant. In both of the cases of Figures 7 and 8, the flow paths are arranged so that (2 × W C1 + 2 × W S1 ) = (W R1 + W S2 ) holds.

図7の例は、上記特徴D1においてWR1=2×WC1である場合に相当しており、上記特徴D4においてWS2=V1=(2×WS1)が成立している。一方、図8の例は、上記特徴D1においてWR1=WC1である場合に相当しており、上記特徴D4においてWS2=(V1+WC1)=(2×WS1+WC1)が成立している。このように、ノズル200と圧力室330と連通流路350の組を第1方向Dr1に沿って一定の間隔で緻密に配列する場合には、上記特徴D4を有することが好ましい。 The example of Fig. 7 corresponds to the case where W R1 = 2 x W C1 in the above-mentioned characteristic D1, and W S2 = V1 = (2 x W S1 ) holds in the above-mentioned characteristic D4. On the other hand, the example of Fig. 8 corresponds to the case where W R1 = W C1 in the above-mentioned characteristic D1, and W S2 = (V1 + W C1 ) = (2 x W S1 + W C1 ) holds in the above-mentioned characteristic D4. In this way, when sets of nozzles 200, pressure chambers 330, and communication channels 350 are densely arranged at regular intervals along the first direction Dr1, it is preferable to have the above-mentioned characteristic D4.

なお、上述したように、連通流路350は、第2方向Dr2を長手方向としている。即ち、図4及び図6に示した2つの圧力室列330_L1、330_L2同士の第2方向Dr2の間隔Lは、連通流路350の第1方向Dr1の第1幅WR1よりも大きく設定されている。 As described above, the second direction Dr2 is the longitudinal direction of the communication flow path 350. That is, the distance L G in the second direction Dr2 between the two pressure chamber rows 330_L1 and 330_L2 shown in FIGS. 4 and 6 is set to be larger than the first width W R1 in the first direction Dr1 of the communication flow path 350.

以上のように、第1実施形態によれば、液体噴射ヘッド100が上述の特徴D1~D4の少なくとも一部を有し、連通流路350の第1幅WR1が広く設定されているので、噴射効率の低下を抑制できる。但し、上述した特徴の一部は省略可能である。 As described above, according to the first embodiment, the liquid jet head 100 has at least some of the above-described features D1 to D4, and the first width W R1 of the communication flow path 350 is set wide, so that it is possible to suppress a decrease in jetting efficiency. However, some of the above-described features may be omitted.

なお、連通流路350の抵抗を下げるために、その幅WR1を大きくする代わりに高さHR1を大きくする方法も考えられる。但し、連通流路350の高さHR1を大きくすると、連通板140のエッチングの深さが深くなり、剛性が低下してしまう点で好ましくない構造となる可能性がある。一方、上述した第1実施形態では、連通流路350の高さHR1を大きくする必要が無いので、連通板140の剛性を過度に低下させることが無いという利点がある。 It is also possible to reduce the resistance of the communicating flow path 350 by increasing its height H R1 instead of increasing its width W R1 . However, increasing the height H R1 of the communicating flow path 350 may result in an undesirable structure in that the etching depth of the communicating plate 140 increases, reducing rigidity. On the other hand, in the first embodiment described above, there is no need to increase the height H R1 of the communicating flow path 350, which has the advantage of not excessively reducing the rigidity of the communicating plate 140.

B.他の実施形態
図9は、第2実施形態におけるノズル別流路130の形状を示す図である。図6に示した第1実施形態との主な違いは、連通流路350の形状だけであり、他の構成は第1実施形態とほぼ同じである。第2実施形態において、連通流路350は、第1部分351と第2部分352と第3部分353とを含む。連通流路350の第1部分351は、連通流路350の一端に配置され、連通孔341および連通孔342と接続される。連通流路350の第2部分352は、連通流路350の他端に配置され、連通孔343および連通孔344と接続される。連通流路350の第3部分353は、第1部分351および第2部分352の間に接続されている。なお、第3部分353は、第1部分351及び第2部分352と傾斜面SP1~SP4で接続されている。第3部分353の第1方向Dr1の第1幅WR1は、第1部分351及び第2部分352の幅WR2よりも小さい。
B. Other Embodiments FIG. 9 is a diagram showing the shape of the nozzle-specific flow path 130 in a second embodiment. The main difference from the first embodiment shown in FIG. 6 is the shape of the communication flow path 350; the other configurations are substantially the same as those of the first embodiment. In the second embodiment, the communication flow path 350 includes a first portion 351, a second portion 352, and a third portion 353. The first portion 351 of the communication flow path 350 is disposed at one end of the communication flow path 350 and is connected to the communication holes 341 and 342. The second portion 352 of the communication flow path 350 is disposed at the other end of the communication flow path 350 and is connected to the communication holes 343 and 344. The third portion 353 of the communication flow path 350 is connected between the first portion 351 and the second portion 352. The third portion 353 is connected to the first portion 351 and the second portion 352 by inclined surfaces SP1 to SP4. A first width W R1 of the third portion 353 in the first direction Dr1 is smaller than the width W R2 of the first portion 351 and the second portion 352 .

第2実施形態は、上述した第1実施形態の特徴に加えて、更に以下の特徴を有する。
<特徴D5>
連通流路350は、平面視において圧力室331及び圧力室332とノズル200との間の位置で、連通流路350の第1方向Dr1の幅が、平面視においてノズル200と重なる位置での連通流路350の第1幅WR1よりも大きい第2幅WR2である部分を含む。第2幅WR2を有する当該部分は、第1部分351の一部であり、第2方向Dr2に所定の長さだけ延在する。
In addition to the features of the first embodiment described above, the second embodiment further has the following features.
<Feature D5>
The communicating flow path 350 includes a portion, in plan view, at a position between the pressure chamber 331 and the pressure chamber 332 and the nozzle 200, where the width of the communicating flow path 350 in the first direction Dr1 is a second width W R2 that is larger than the first width W R1 of the communicating flow path 350 at a position that overlaps with the nozzle 200. The portion having the second width W R2 is part of the first portion 351, and extends a predetermined length in the second direction Dr2.

同様に、連通流路350は、平面視において圧力室333及び圧力室334とノズル200との間の位置で、連通流路350の第1方向Dr1の幅が、平面視においてノズル200と重なる位置での連通流路350の第1幅WR1よりも大きい第2幅WR2である部分を含む。第2幅WR2を有する当該部分は、第2部分352の一部であり、第2方向Dr2に所定の長さだけ延在する。第1部分351の第1方向Dr1の第2幅WR2と第2部分352の第1方向Dr1の第2幅WR2とは、互いに等しいことが好ましい。 Similarly, the communicating flow path 350 includes a portion, in plan view, at a position between the pressure chamber 333 and the pressure chamber 334 and the nozzle 200, where the width of the communicating flow path 350 in the first direction Dr1 is a second width W R2 that is larger than the first width W R1 of the communicating flow path 350 at a position that overlaps with the nozzle 200. The portion having the second width W R2 is part of the second portion 352, and extends a predetermined length in the second direction Dr2. It is preferable that the second width W R2 in the first direction Dr1 of the first portion 351 and the second width W R2 in the first direction Dr1 of the second portion 352 are equal to each other.

この特徴D5によれば、ノズル200近傍で流速を上げることができる。擬塑性の液体を用いる場合には、流速を上げることによって液体の粘度を低下させることができるので、特徴D5の利点が特に顕著である。 Feature D5 allows the flow rate to be increased near the nozzle 200. When using a pseudoplastic liquid, the advantage of feature D5 is particularly pronounced, since increasing the flow rate can reduce the viscosity of the liquid.

なお、特徴D5の下で、以下の(1)式を満たすことが好ましく、(2)式を満たすことが更に好ましい。
0.1×WC1≦(WR2-WR1) …(1)
0.2×WC1≦(WR2-WR1) …(2)
即ち、第2幅WR2から第1幅WR1を減算した値(WR2-WR1)が、圧力室幅WC1の0.1倍以上であることが好ましく、0.2倍以上であることが更に好ましい。
It should be noted that, under the characteristic D5, it is preferable to satisfy the following formula (1), and it is more preferable to satisfy the following formula (2).
0.1×W C1 ≦(W R2 −W R1 )…(1)
0.2×W C1 ≦(W R2 −W R1 )…(2)
That is, the value (W R2 −W R1 ) obtained by subtracting the first width W R1 from the second width W R2 is preferably 0.1 times or more, and more preferably 0.2 times or more, the pressure chamber width W C1 .

また、以下の(3a)式と(3b)式の両方を満たすことが好ましい。
R1<(WC1×1.5) …(3a)
(WC1×1.5)<WR2≦(WC1×2) …(3b)
It is also preferable that both the following formulas (3a) and (3b) be satisfied.
W R1 <(W C1 ×1.5) …(3a)
(W C1 ×1.5)<W R2 ≦(W C1 ×2) …(3b)

第1幅WR1は、圧力室幅WC1の1.5倍以下とすることがより好ましく、1.4倍以下とすることがより好ましく、1.3倍以下とすることがより好ましく、1.2倍以下とすることがより好ましく、1.1倍以下とすることがより好ましい。また、第1幅WR1は、圧力室幅WC1に等しいことが特に好ましい。また、第2幅WR2は、圧力室幅WC1の1.5倍以上とすることがより好ましく、1.6倍以上とすることがより好ましく、1.7倍以上とすることがより好ましく、1.8倍以上とすることがより好ましく、1.9倍以上とすることがより好ましい。また、第2幅WR2は、圧力室幅WC1の2倍に等しいことが特に好ましい。 The first width W R1 is preferably 1.5 times or less the pressure chamber width W C1 , more preferably 1.4 times or less, more preferably 1.3 times or less, more preferably 1.2 times or less, and more preferably 1.1 times or less. It is particularly preferable that the first width W R1 be equal to the pressure chamber width W C1 . The second width W R2 is preferably 1.5 times or more the pressure chamber width W C1 , more preferably 1.6 times or more, more preferably 1.7 times or more, more preferably 1.8 times or more, and more preferably 1.9 times or more. It is particularly preferable that the second width W R2 be equal to twice the pressure chamber width W C1 .

第2実施形態は、更に以下の特徴を有することが好ましい。
<特徴D6>
連通流路350のうち、第1幅WR1を有する部分の第2方向Dr2の第1長さLR1は、連通流路350の第2方向Dr2の全長Lの4%以上30%以下の長さである。
この特徴D6によれば、ノズル直前までは流路抵抗を小さくすることで噴射効率の低下を抑制しながらも、ノズル200近傍での擬塑性の液体の粘度を低下させることができる。
The second embodiment preferably further has the following features.
<Feature D6>
The first length L R1 in the second direction Dr2 of the portion of the communicating flow path 350 having the first width W R1 is 4% to 30% of the total length L R of the communicating flow path 350 in the second direction Dr2.
According to this feature D6, it is possible to reduce the viscosity of the pseudoplastic liquid in the vicinity of the nozzle 200 while suppressing a decrease in the ejection efficiency by reducing the flow path resistance up to just before the nozzle.

図10は、第3実施形態におけるノズル別流路130の形状を示す図である。図6に示した第1実施形態との主な違いは、連通流路350の形状だけであり、他の構成は第1実施形態とほぼ同じである。また、第3実施形態は、第3部分353の第1方向Dr1の幅WR1が、第1部分351の一部の幅WR3及び第2部分352の一部の幅WR3よりも大きい点で第2実施形態と異なっている。 10 is a diagram showing the shape of the nozzle-specific flow path 130 in the third embodiment. The main difference from the first embodiment shown in FIG. 6 is the shape of the communication flow path 350, and the other configurations are substantially the same as those of the first embodiment. The third embodiment also differs from the second embodiment in that the width W R1 of the third portion 353 in the first direction Dr1 is larger than the width W R3 of a portion of the first portion 351 and the width W R3 of a portion of the second portion 352.

第3実施形態は、上述した第1実施形態の特徴に加えて、更に以下の特徴を有する。
<特徴D7>
連通流路350は、平面視において第1圧力室331及び第2圧力室332とノズル200との間の位置で、連通流路350の第1方向Dr1の幅が、平面視においてノズル200と重なる位置での連通流路350の第1幅WR1よりも小さい第3幅WR3である部分を含む。第3幅WR3を有する当該部分は、第1部分351の一部であり、第2方向Dr2に所定の長さだけ延在する。
In addition to the features of the first embodiment described above, the third embodiment further has the following features.
<Feature D7>
The communicating flow path 350 includes a portion, in plan view, at a position between the first pressure chamber 331 and the second pressure chamber 332 and the nozzle 200, where the width of the communicating flow path 350 in the first direction Dr1 is a third width W R3 that is smaller than the first width W R1 of the communicating flow path 350 at a position that overlaps with the nozzle 200 in plan view. The portion having the third width W R3 is part of the first portion 351, and extends a predetermined length in the second direction Dr2.

同様に、連通流路350は、平面視において圧力室333及び圧力室334とノズル200との間の位置で、連通流路350の第1方向Dr1の幅が、平面視においてノズル200と重なる位置での連通流路350の第1幅WR1よりも小さい第3幅WR3である部分を含む。第3幅WR3を有する当該部分は、第2部分352の一部であり、第2方向Dr2に所定の長さだけ延在する。第1部分351の第1方向Dr1の第3幅WR3と第2部分352の第1方向Dr1の第3幅WR3とは、互いに等しいことが好ましい。 Similarly, the communicating flow path 350 includes a portion, in plan view, at a position between the pressure chamber 333 and the pressure chamber 334 and the nozzle 200, where the width of the communicating flow path 350 in the first direction Dr1 is a third width W R3 that is smaller than the first width W R1 of the communicating flow path 350 at a position overlapping with the nozzle 200. The portion having the third width W R3 is part of the second portion 352, and extends a predetermined length in the second direction Dr2. It is preferable that the third width W R3 in the first direction Dr1 of the first portion 351 and the third width W R3 in the first direction Dr1 of the second portion 352 are equal to each other.

一般に、インクの流速が早いほど、インクに含まれる粒子の濃度にバラツキが発生しやすいことが分かっている。そのため、ノズル200直上におけるインクの流速が早いと、ノズル直上でのインク中に含まれる粒子の濃度が下がる。特徴D7によれば、ノズル200直上で流路幅が広がることで、ノズル200直上での流速が低下するため、ノズル200近傍でのインク中に含まれる粒子の濃度が均一化されやすいという効果がある。 It is generally known that the faster the ink flow speed, the more likely variations in the concentration of particles contained in the ink are to occur. Therefore, if the ink flow speed directly above the nozzle 200 is fast, the concentration of particles contained in the ink directly above the nozzle will decrease. According to feature D7, the flow path width increases directly above the nozzle 200, reducing the flow speed directly above the nozzle 200, which has the effect of making it easier to uniformize the concentration of particles contained in the ink near the nozzle 200.

なお、特徴D7の下で、以下の(4)式を満たすことが好ましく、(5)式を満たすことが更に好ましい。
0.1×WC1≦(WR1-WR3) …(4)
0.2×WC1≦(WR1-WR3) …(5)
即ち、第3幅WR3から第1幅WR1を減算した値(WR3-WR1)が、圧力室幅WC1の0.1倍以上であることが好ましく、0.2倍以上であることが更に好ましい。
It is preferable that the following formula (4) be satisfied under the characteristic D7, and it is more preferable that the following formula (5) be satisfied.
0.1×W C1 ≦(W R1 −W R3 )…(4)
0.2×W C1 ≦(W R1 −W R3 )…(5)
That is, the value (W R3 −W R1 ) obtained by subtracting the first width W R1 from the third width W R3 is preferably 0.1 times or more, and more preferably 0.2 times or more, the pressure chamber width W C1 .

また、以下の(6a)式と(6b)式の両方を満たすことが好ましい。
(WC1×1.5)<WR1 …(6a)
C1≦WR3<(WC1×1.5) …(6b)
It is also preferable that both of the following formulas (6a) and (6b) be satisfied.
(W C1 ×1.5)<W R1 ...(6a)
W C1 ≦W R3 <(W C1 ×1.5) (6b)

第1幅WR1は、圧力室幅WC1の1.5倍以上とすることがより好ましく、1.6倍以上とすることがより好ましく、1.7倍以上とすることがより好ましく、1.8倍以上とすることがより好ましく、1.9倍以上とすることがより好ましい。また、第1幅WR1は、圧力室幅WC1の2倍に等しいことが特に好ましい。また、第3幅WR3は、圧力室幅WC1の1.5倍以下とすることがより好ましく、1.4倍以下とすることがより好ましく、1.3倍以下とすることがより好ましく、1.2倍以下とすることがより好ましく、1.1倍以下とすることがより好ましい。また、第3幅WR3は、圧力室幅WC1に等しいことが特に好ましい。 The first width W R1 is more preferably 1.5 times or more, more preferably 1.6 times or more, more preferably 1.7 times or more, more preferably 1.8 times or more, and even more preferably 1.9 times or more, the pressure chamber width W C1 . Furthermore, it is particularly preferable that the first width W R1 is equal to twice the pressure chamber width W C1 . Furthermore, the third width W R3 is more preferably 1.5 times or less, more preferably 1.4 times or less, more preferably 1.3 times or less, more preferably 1.2 times or less, and even more preferably 1.1 times or less, the pressure chamber width W C1 . Furthermore, it is particularly preferable that the third width W R3 is equal to the pressure chamber width W C1 .

第3実施形態は、更に以下の特徴を有することが好ましい。
<特徴D8>
連通流路350のうち、第1幅WR1を有する部分の第2方向Dr2の第1長さLR1は、連通流路350の第2方向Dr2の全長Lの4%以上30%以下の長さである。
この特徴D8によれば、インクに含まれる粒子の濃度にバラツキをより均一化させることができる。
The third embodiment preferably further has the following features.
<Feature D8>
The first length L R1 in the second direction Dr2 of the portion of the communicating flow path 350 having the first width W R1 is 4% to 30% of the total length L R of the communicating flow path 350 in the second direction Dr2.
This feature D8 makes it possible to more uniformly reduce variations in the concentration of particles contained in the ink.

上述した第1乃至第3実施形態を考慮すると、連通流路350は以下の特徴を有することが好ましい。
<特徴D9>
平面視において圧力室331,332から圧力室333,334までの連通流路350の第1方向Dr1の幅の平均値は、圧力室幅WC1以上である。なお、「平面視において圧力室331,332から圧力室333,334までの連通流路350」は、平面視において連通流路350のうち圧力室331,332と圧力室333,334との間の部分を指し、連通流路350のうち平面視において圧力室331,332や圧力室333,334と重なる部分を含まない。
この特徴D9によれば、連通流路350の流路抵抗を十分に低下させることができる。
Considering the above-described first to third embodiments, it is preferable that the communication flow path 350 has the following features.
<Feature D9>
In a plan view, the average width in the first direction Dr1 of the communication flow path 350 from the pressure chambers 331, 332 to the pressure chambers 333, 334 is equal to or greater than the pressure chamber width W C1 . Note that "communication flow path 350 from the pressure chambers 331, 332 to the pressure chambers 333, 334 in a plan view" refers to the portion of the communication flow path 350 between the pressure chambers 331, 332 and the pressure chambers 333, 334 in a plan view, and does not include the portions of the communication flow path 350 that overlap with the pressure chambers 331, 332 and the pressure chambers 333, 334 in a plan view.
According to this feature D9, the flow resistance of the communication flow path 350 can be sufficiently reduced.

図11乃至図13は、第4乃至第6実施形態におけるノズル別流路130の形状を示す図である。これらの第4乃至第6実施形態と、図6に示した第1実施形態との主な違いは、連通流路350の形状だけであり、他の構成は第1実施形態とほぼ同じである。図11に示す第4実施形態では、連通流路350の全体が第1実施形態と同様に直線的であるが、第2方向Dr2から傾いた方向に延びている。図12に示す第5実施形態と図13に示す第6実施形態では、連通流路350が途中で屈曲している。但し、第4乃至第6実施形態においても、連通流路350の全体が第2方向Dr2に延在している点は第1実施形態と同じである。第4乃至第6実施形態も、第1実施形態で説明した特徴D1~D4を有することが好ましい。また、第4乃至第6実施形態に対して上述した特徴D5~D9を適用してもよい。 Figures 11 to 13 are diagrams showing the shapes of the individual nozzle flow paths 130 in the fourth to sixth embodiments. The main difference between these fourth to sixth embodiments and the first embodiment shown in Figure 6 is the shape of the communicating flow path 350; the other configurations are substantially the same as those of the first embodiment. In the fourth embodiment shown in Figure 11, the communicating flow path 350 is entirely linear, as in the first embodiment, but extends in a direction tilted from the second direction Dr2. In the fifth embodiment shown in Figure 12 and the sixth embodiment shown in Figure 13, the communicating flow path 350 is bent midway. However, the fourth to sixth embodiments are similar to the first embodiment in that the entire communicating flow path 350 extends in the second direction Dr2. The fourth to sixth embodiments also preferably have features D1 to D4 described in the first embodiment. Furthermore, features D5 to D9 described above may also be applied to the fourth to sixth embodiments.

図14は、第7実施形態におけるノズル別流路130の形状を示す図である。第7実施形態と図6に示した第1実施形態との主な違いは、第2方向Dr2に沿った連通流路350の長さLだけであり、他の構成は第1実施形態とほぼ同じである。即ち、第7実施形態においては、連通流路350の長さLが、第1実施形態から短縮されている。 Fig. 14 is a diagram showing the shape of the nozzle-specific flow path 130 in the seventh embodiment. The main difference between the seventh embodiment and the first embodiment shown in Fig. 6 is the length L R of the communication flow path 350 along the second direction Dr2, and the other configurations are substantially the same as those of the first embodiment. That is, in the seventh embodiment, the length L R of the communication flow path 350 is shorter than in the first embodiment.

図14では、更に、連通流路350のうち、圧力室列330_L1と圧力室列330_L2の間の部分の第2方向Dr2の長さLが示されている。この長さLは、連通流路350の第1幅WR1以下であることが好ましい。また、この長さLは、圧力室330の第2方向Dr2の長さLC1以下であることが好ましい。更に、連通流路350の第2方向Dr2の全長Lは、圧力室330の第2方向Dr2の長さLC1以下であることが好ましい。なお、連通流路350の第1幅WR1は、圧力室330の第1方向Dr1の幅WC1よりも小さくても良い。即ち、第7実施形態では、第1実施形態で説明した特徴D1を有していなくてもよい。但し、第7実施形態に、上述した特徴D1~D9のうちの1つ以上を適用することも可能である。第7実施形態では、連通流路350の長さLが短いので、流路抵抗を更に小さくすることができる。 FIG. 14 also shows the length L G of the communicating flow path 350 in the second direction Dr2 of the portion between the pressure chamber rows 330_L1 and 330_L2. This length L G is preferably equal to or less than the first width W R1 of the communicating flow path 350. Furthermore, this length L G is preferably equal to or less than the length L C1 of the pressure chamber 330 in the second direction Dr2. Furthermore, the overall length L R of the communicating flow path 350 in the second direction Dr2 is preferably equal to or less than the length L C1 of the pressure chamber 330 in the second direction Dr2. The first width W R1 of the communicating flow path 350 may be smaller than the width W C1 of the pressure chamber 330 in the first direction Dr1. That is, the seventh embodiment does not necessarily have the feature D1 described in the first embodiment. However, it is also possible to apply one or more of the features D1 to D9 described above to the seventh embodiment. In the seventh embodiment, the length L R of the communication flow path 350 is short, so that the flow path resistance can be further reduced.

図15は、第8実施形態におけるノズル別流路130を示す図である。第8実施形態は、Nを3以上の整数としたとき、第1方向Dr1に並んで配置されたN個の圧力室330Aと、N個の圧力室330Bとを有する。N個の圧力室330Bは、N個の圧力室330Aの組とは第2方向Dr2において異なる位置に配置されている。図15の例では、Nは3であるが、Nを4以上としてもよい。N個の連通孔340Aは、連通流路350とN個の圧力室330Aとをそれぞれ接続し、N個の連通孔340Bは、連通流路350とN個の圧力室330Bとをそれぞれ接続する。ここで、圧力室330Aは「圧力室A」の一例であり、圧力室330Bは「圧力室B」の一例である。 FIG. 15 is a diagram showing the nozzle-specific flow path 130 in the eighth embodiment. The eighth embodiment has N pressure chambers 330A and N pressure chambers 330B arranged side by side in the first direction Dr1, where N is an integer greater than or equal to 3. The N pressure chambers 330B are arranged at different positions in the second direction Dr2 from the set of N pressure chambers 330A. In the example of FIG. 15 , N is 3, but N may be 4 or greater. The N communication holes 340A connect the communication flow paths 350 to the N pressure chambers 330A, respectively, and the N communication holes 340B connect the communication flow paths 350 to the N pressure chambers 330B, respectively. Here, the pressure chamber 330A is an example of a "pressure chamber A," and the pressure chamber 330B is an example of a "pressure chamber B."

第8実施形態は、以下の特徴を有する。
<特徴D10>
ノズルプレート240に向かって見た平面視において、ノズル200と重なる位置での連通流路350の第1方向Dr1の幅を第1幅WR1とし、圧力室330Aの第1方向Dr1の幅を圧力室幅WC1としたとき、WC1≦WR1を満たす。
この特徴D10は、上述の第1実施形態に関する特徴D1に対応している。
The eighth embodiment has the following features.
<Feature D10>
In a plan view looking toward the nozzle plate 240, when the width in the first direction Dr1 of the communicating flow path 350 at the position overlapping with the nozzle 200 is defined as a first width W R1 and the width in the first direction Dr1 of the pressure chamber 330A is defined as a pressure chamber width W C1 , W C1 ≦W R1 is satisfied.
This feature D10 corresponds to the feature D1 related to the first embodiment described above.

第8実施形態は、更に、次の特徴を有することが好ましい。
<特徴D11>
(N―1)×WC1≦WR1≦N×WC1を満たす。
即ち、第1幅WR1は、圧力室幅WC1の(N-1)倍以上でN倍以下であることが好ましい。
The eighth embodiment preferably further has the following features.
<Feature D11>
(N-1) x W C1 ≦W R1 ≦N x W C1 is satisfied.
That is, it is preferable that the first width W R1 is equal to or greater than (N−1) times and equal to or less than N times the pressure chamber width W C1 .

第8実施形態も、上述した第1実施形態と同様に、連通流路350の幅WR1が広いので噴射効率の低下を抑制できる。なお、第8実施形態に対して、上述した特徴D2~D9の一部又は全部を採用するようにしてもよい。 In the eighth embodiment, similarly to the first embodiment described above, the width W R1 of the communication flow passage 350 is wide, so that a decrease in injection efficiency can be suppressed. Note that some or all of the above-described features D2 to D9 may be adopted for the eighth embodiment.

・変形例1
上述の各形態では、液体噴射ヘッド100を保持するキャリッジ434を往復させるシリアル方式の液体噴射装置400が例示されるが、複数のノズル200が媒体PMの全幅にわたり分布するライン方式の液体噴射装置にも本開示を適用することが可能である。即ち、液体噴射ヘッド100を保持するキャリッジは、シリアル方式のキャリッジに限定されず、ライン方式において液体噴射ヘッド100を支持する構造体でもよい。この場合、例えば、複数の液体噴射ヘッド100が媒体PMの幅方向に並んで配置され、当該複数の液体噴射ヘッド100が1つのキャリッジに一括して保持される。
Modification 1
In each of the above-described embodiments, a serial-type liquid ejection device 400 in which a carriage 434 holding the liquid ejection head 100 is reciprocated is exemplified, but the present disclosure can also be applied to a line-type liquid ejection device in which a plurality of nozzles 200 are distributed across the entire width of the medium PM. In other words, the carriage holding the liquid ejection head 100 is not limited to a serial-type carriage, and may be a structure that supports the liquid ejection head 100 in a line-type system. In this case, for example, a plurality of liquid ejection heads 100 are arranged side by side in the width direction of the medium PM, and the plurality of liquid ejection heads 100 are collectively held by a single carriage.

・変形例2
上述の各形態では、循環機構60を備える液体噴射装置400が例示されるが、液体噴射装置400は循環機構60を備えていなくてもよい。即ち、筐体部160の開口部161,162の双方が液体貯留部420から液体を導入するための導入口であり、第1共通液室110および第2共通液室120の双方を、液体貯留部420から供給された液体をノズル200へ供給するための流路として使用してもよい。
Modification 2
In each of the above-described embodiments, the liquid ejecting device 400 is exemplified as being equipped with the circulation mechanism 60, but the liquid ejecting device 400 does not have to be equipped with the circulation mechanism 60. In other words, both of the openings 161, 162 of the housing 160 may be inlets for introducing liquid from the liquid storage section 420, and both the first common liquid chamber 110 and the second common liquid chamber 120 may be used as flow paths for supplying the liquid supplied from the liquid storage section 420 to the nozzles 200.

・変形例3
上述の各形態では、圧力室331~334のそれぞれに対して1つの接続流路320が接続されていたが、同じ第1共通液室110に接続された圧力室331,332に対して共通の接続流路320を設けるようにしても良い。つまり、複数の圧力室330に対応して1つの接続流路320を設ける構成であってもよい。同じ第2共通液室120に接続された圧力室333,334についても同様である。変形例3において個々の圧力室331~334に対応した4つの個別流路を考える場合、例えば、第1個別流路は、接続流路320を含まないことになる。第2~第4個別流路も同様に把握することが可能である。
Modification 3
In the above-described embodiments, one connection flow path 320 is connected to each of the pressure chambers 331 to 334, but a common connection flow path 320 may be provided for the pressure chambers 331 and 332 connected to the same first common liquid chamber 110. In other words, a configuration may be adopted in which one connection flow path 320 is provided corresponding to a plurality of pressure chambers 330. The same applies to the pressure chambers 333 and 334 connected to the same second common liquid chamber 120. When considering four individual flow paths corresponding to the individual pressure chambers 331 to 334 in Modification 3, for example, the first individual flow path does not include the connection flow path 320. The second to fourth individual flow paths can also be understood in a similar manner.

・変形例4
上述の各形態では、接続流路320は、Z方向に延在する流路であってが、接続流路320はZ方向に交差する方向に延在する流路であってもよいし、Z方向に延在する部分とZ方向に交差する方向に延在する部分の双方を含む流路であってもよい。
Modification 4
In each of the above-described embodiments, the connection flow path 320 is a flow path extending in the Z direction, but the connection flow path 320 may be a flow path extending in a direction intersecting the Z direction, or may be a flow path that includes both a portion extending in the Z direction and a portion extending in a direction intersecting the Z direction.

・変形例5
上述の形態で例示した液体噴射装置は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を噴射する液体噴射装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。
Variation 5
The liquid ejection apparatus exemplified in the above-described embodiment can be employed in various devices such as facsimile machines and copiers, as well as devices dedicated to printing. However, the uses of the liquid ejection apparatus are not limited to printing. For example, a liquid ejection apparatus that ejects a solution of a coloring material is used as a manufacturing apparatus for forming color filters for display devices such as liquid crystal display panels. Furthermore, a liquid ejection apparatus that ejects a solution of a conductive material is used as a manufacturing apparatus for forming wiring and electrodes on a wiring board. Furthermore, a liquid ejection apparatus that ejects a solution of an organic substance related to a living body is used as a manufacturing apparatus for manufacturing biochips, for example.

・他の形態:
本開示は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本開示は、以下の形態(aspect)によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本開示の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本開示の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
Other forms:
The present disclosure is not limited to the above-described embodiments and can be realized in various forms without departing from the spirit thereof. For example, the present disclosure can also be realized in the following aspects. The technical features in the above embodiments corresponding to the technical features in each aspect described below can be appropriately replaced or combined to solve some or all of the problems of the present disclosure or to achieve some or all of the effects of the present disclosure. Furthermore, if a technical feature is not described as essential in this specification, it can be appropriately deleted.

(1)本開示の第1形態による液体噴射ヘッドは、液体を噴射する第1ノズルが形成されたノズルプレートと、第1方向に並んで配置された第1及び第2圧力室と、前記第1方向に並んで配置された第3及び第4圧力室と、前記ノズルプレートに沿って延在する流路であり、前記第1ノズルに接続されるとともに前記第1乃至第4圧力室に連通する連通流路と、前記第1及び第2圧力室に第1連通する第1共通液室と、前記第3及び第4圧力室に連通する第2共通液室と、を備える。前記第1及び第2圧力室の組と、前記第3及び第4圧力室の組とは、前記第1方向に直交する第2方向において異なる位置に配置されている。前記ノズルプレートに向かって見た平面視において前記第1ノズルと重なる位置での前記第1連通流路の前記第1方向の幅を第1幅とし、前記第1圧力室の前記第1方向の幅を圧力室幅としたとき、前記第1幅は前記圧力室幅以上である。
この液体噴射ヘッドによれば、連通流路の幅が広いので噴射効率の低下を抑制できる。
(1) A liquid jet head according to a first aspect of the present disclosure includes a nozzle plate in which a first nozzle for ejecting liquid is formed, first and second pressure chambers arranged side by side in a first direction, third and fourth pressure chambers arranged side by side in the first direction, flow paths extending along the nozzle plate, the flow paths being connected to the first nozzle and communicating with the first to fourth pressure chambers, a first common liquid chamber in first communication with the first and second pressure chambers, and a second common liquid chamber in communication with the third and fourth pressure chambers. The set of first and second pressure chambers and the set of third and fourth pressure chambers are arranged at different positions in a second direction perpendicular to the first direction. When a width in the first direction of the first communication path at a position overlapping with the first nozzle in a plan view looking toward the nozzle plate is defined as a first width, and a width in the first direction of the first pressure chamber is defined as a pressure chamber width, the first width is equal to or greater than the pressure chamber width.
According to this liquid jet head, since the width of the communication flow path is wide, it is possible to suppress a decrease in jet efficiency.

(2)上記液体噴射ヘッドにおいて、前記第1幅は、前記圧力室幅より大きいものとしてもよい。 (2) In the above liquid jet head, the first width may be larger than the pressure chamber width.

(3)前記第1幅は、前記圧力室幅の1.5倍以上であるものとしてもよい。 (3) The first width may be 1.5 times or more the width of the pressure chamber.

(4)前記第1幅は、前記圧力室幅の2倍以下であるものとしてもよい。 (4) The first width may be less than or equal to twice the width of the pressure chamber.

(5)前記ノズルプレートの厚さ方向を第3方向とし、前記平面視において前記第1ノズルと重なる前記位置での前記第1連通流路の前記第3方向の高さを第1高さとしたとき、前記第1幅は前記第1高さ以上であるものとしてもよい。
この液体噴射ヘッドによれば、連通流路の流路抵抗を小さくしながらも、連通流路を形成する部材の剛性を確保できる。
(5) When the thickness direction of the nozzle plate is defined as a third direction and the height of the first communicating flow path in the third direction at the position where it overlaps with the first nozzle in the plan view is defined as a first height, the first width may be equal to or greater than the first height.
According to this liquid jet head, it is possible to ensure the rigidity of the members that form the communicating flow paths while reducing the flow path resistance of the communicating flow paths.

(6)前記ノズルプレートを向く面に前記第1連通流路が形成された連通板を備え、前記平面視において前記第1ノズルと重なる前記位置での前記連通板の前記第3方向の厚みを第1厚みとしたとき、前記第1厚みは前記第1高さより大きいものとしてもよい。
この液体噴射ヘッドによれば、連通流路の流路抵抗を小さくしながらも、連通板の剛性を確保できる。
(6) A communication plate may be provided with the first communication flow path formed on a surface facing the nozzle plate, and when the thickness of the communication plate in the third direction at the position overlapping with the first nozzle in the plan view is defined as a first thickness, the first thickness may be greater than the first height.
According to this liquid jet head, the flow path resistance of the communication flow path can be reduced while ensuring the rigidity of the communication plate.

(7)前記第1連通流路は、前記平面視において前記第1及び第2圧力室と前記第1ノズルとの間の位置で、前記第1方向の幅が前記第1幅よりも大きい第2幅である部分を含むものとしてもよい。
この液体噴射ヘッドによれば、ノズル近傍で流速を上げることができる。
(7) The first communication flow path may include a portion, in the plan view, between the first and second pressure chambers and the first nozzle, whose width in the first direction is a second width greater than the first width.
According to this liquid jet head, the flow velocity can be increased near the nozzle.

(8)前記第2幅から前記第1幅を減算した値は、前記圧力室幅の0.1倍以上であるものとしてもよい。 (8) The value obtained by subtracting the first width from the second width may be 0.1 times or more the pressure chamber width.

(9)前記液体は、擬塑性を有するものとしてもよい。
この液体噴射ヘッドによれば、ノズル近傍で流速を速めて粘度を低下させやすいので、擬塑性インクの噴射不良を低減できる。
(9) The liquid may be pseudoplastic.
According to this liquid jet head, it is easy to increase the flow rate near the nozzles and reduce the viscosity, so that ejection failures of pseudoplastic ink can be reduced.

(10)前記第1幅を有する部分の前記第2方向の第1長さは、前記第1連通流路の前記第2方向の長さの全長の4%以上30%以下の長さであるものとしてもよい。
この液体噴射ヘッドによれば、ノズル直前までは流路抵抗を小さくすることで噴射効率の低下を抑制しながらも、ノズル近傍での擬塑性の液体の粘度を低下させることができる。
(10) The first length in the second direction of the portion having the first width may be 4% or more and 30% or less of the total length in the second direction of the first communication flow path.
According to this liquid jet head, it is possible to reduce the viscosity of the pseudoplastic liquid in the vicinity of the nozzles while suppressing a decrease in jetting efficiency by reducing the flow path resistance up to just before the nozzles.

(11)前記第1連通流路は、前記平面視において前記第1及び第2圧力室と前記第1ノズルとの間の位置で、前記第1方向の幅が前記第1幅よりも小さい第3幅である部分を含むものとしてもよい。
この液体噴射ヘッドによれば、液体の流速が早いほど、液体に含まれる粒子の濃度にバラツキが発生しやすいことが分かっている。そのため、ノズル直上における液体の流速が早いと、ノズル直上での液体中に含まれる粒子の濃度が下がる。ノズル直上で流路幅が広がることで、ノズル直上での流速が低下するため、ノズル近傍での液体中に含まれる粒子の濃度が均一化されやすい。
(11) The first communication flow path may include a portion, in the plan view, between the first and second pressure chambers and the first nozzle, whose width in the first direction is a third width smaller than the first width.
With this liquid jet head, it is known that the faster the liquid flow velocity, the more likely it is that the concentration of particles contained in the liquid will vary. Therefore, if the liquid flow velocity directly above the nozzle is fast, the concentration of particles contained in the liquid directly above the nozzle will decrease. By widening the flow path directly above the nozzle, the flow velocity directly above the nozzle will decrease, making it easier to homogenize the concentration of particles contained in the liquid near the nozzle.

(12)前記第1幅から前記第3幅を減算した値は、前記圧力室幅の0.1倍以上であるものとしてもよい。 (12) The value obtained by subtracting the third width from the first width may be 0.1 times or more the pressure chamber width.

(13)前記第1幅を有する部分の前記第2方向の第1長さは、前記第1連通流路の前記第2方向の長さの全長の4%以上30%以下の長さであるものとしてもよい。
この液体噴射ヘッドによれば、液体内の粒子を均一化させることができる。
(13) The first length in the second direction of the portion having the first width may be 4% or more and 30% or less of the total length in the second direction of the first communication flow path.
According to this liquid jet head, the particles in the liquid can be made uniform.

(14)前記第1共通液室は、前記第1及び第2圧力室へ液体を供給するための流路であり、前記第2共通液室は、前記第3及び第4圧力室から液体を回収するための流路であるものとしてもよい。 (14) The first common liquid chamber may be a flow path for supplying liquid to the first and second pressure chambers, and the second common liquid chamber may be a flow path for recovering liquid from the third and fourth pressure chambers.

(15)前記平面視において前記第1及び第2圧力室から前記第3及び第4圧力室までの前記第1連通流路の前記第1方向の幅の平均値は、前記圧力室幅以上であるものとしてもよい。 (15) The average width in the first direction of the first communication flow path from the first and second pressure chambers to the third and fourth pressure chambers in the plan view may be equal to or greater than the width of the pressure chambers.

(16)前記第1連通流路は、前記第2方向を長手方向とするものとしてもよい。 (16) The first communication flow path may have the second direction as its longitudinal direction.

(17)前記第1連通流路は、前記第1乃至第4圧力室に共通の流路であるものとしてもよい。 (17) The first communication flow path may be a flow path common to the first to fourth pressure chambers.

(18)前記ノズルプレートには、液体を噴射する第2ノズルが形成され、前記第1方向に並んで配置された第5及び第6圧力室と、前記第5及び第6圧力室の組とは前記第2方向において異なる位置に配置されており、前記第1方向に並んで配置された第7及び第8圧力室と、前記ノズルプレートに沿って延在する流路であり、前記第2ノズルに接続されるとともに前記第5乃至第8圧力室に連通する第2連通流路と、を備える。前記第1共通液室は、前記第5及び第6圧力室に連通し、前記第2共通液室は、前記第7及び第8圧力室に連通する。前記第1圧力室と前記第2圧力室とを区画する隔壁の前記第1方向の幅の2倍を第1の値としたとき、前記第1連通流路と前記第2連通流路とを区画する隔壁の前記第1方向の幅は、前記第1の値以上で、前記第1の値に前記圧力室幅を加算した第2の値以下であるものとしてもよい。 (18) The nozzle plate has a second nozzle formed therein for ejecting liquid, and is equipped with fifth and sixth pressure chambers arranged side by side in the first direction, a set of the fifth and sixth pressure chambers being arranged at different positions in the second direction, seventh and eighth pressure chambers arranged side by side in the first direction, and second communication flow paths extending along the nozzle plate, connected to the second nozzles and communicating with the fifth to eighth pressure chambers. The first common liquid chamber communicates with the fifth and sixth pressure chambers, and the second common liquid chamber communicates with the seventh and eighth pressure chambers. When a first value is defined as twice the width in the first direction of a partition wall separating the first pressure chambers and the second pressure chambers, the width in the first direction of the partition wall separating the first communication flow path and the second communication flow path may be equal to or greater than the first value and equal to or less than a second value obtained by adding the width of the pressure chambers to the first value.

(19)本開示の第2形態による液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルが形成されたノズルプレートと、Nを3以上の整数としたとき、第1方向に並んで配置されたN個の圧力室Aと、N個の前記圧力室Aの組とは前記第1方向に直交する第2方向において異なる位置に配置されており、前記第1方向に並んで配置されたN個の圧力室Bと、前記ノズルプレートに沿って延在する流路であり、前記ノズルに接続されるとともに前記N個の圧力室A及び前記N個の圧力室Bに連通する連通流路と、前記N個の圧力室Aに連通する第1共通液室と、前記N個の圧力室Bに連通する第2共通液室と、を備える。前記ノズルプレートに向かって見た平面視において前記ノズルと重なる位置での前記連通流路の前記第1方向の幅を第1幅とし、前記圧力室Aの前記第1方向の幅を圧力室幅としたとき、前記第1幅は前記圧力室幅以上である。
(19) A liquid jet head according to a second aspect of the present disclosure includes a nozzle plate in which nozzles for ejecting liquid are formed, N pressure chambers A arranged side by side in a first direction, where N is an integer equal to or greater than 3, N pressure chambers B arranged side by side in the first direction, wherein groups of the N pressure chambers A are arranged at different positions in a second direction perpendicular to the first direction, a communication flow path extending along the nozzle plate, the communication flow path being connected to the nozzle and communicating with the N pressure chambers A and the N pressure chambers B, a first common liquid chamber communicating with the N pressure chambers A, and a second common liquid chamber communicating with the N pressure chambers B. When a width in the first direction of the communication flow path at a position overlapping with the nozzle in a plan view looking toward the nozzle plate is defined as a first width, and a width in the first direction of the pressure chamber A is defined as a pressure chamber width, the first width is equal to or greater than the pressure chamber width.

(20)上記液体噴射ヘッドにおいて、前記第1幅(WR1)は、前記圧力室幅(WC1)の(N-1)倍以上でN倍以下であるものとしてもよい。 (20) In the liquid jet head, the first width (W R1 ) may be equal to or greater than (N−1) times and equal to or less than N times the pressure chamber width (W C1 ).

(21)本開示の第3形態による液体噴射装置は、前記液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドに供給する液体を貯留する液体貯留部と、を備える。 (21) A liquid ejection device according to a third aspect of the present disclosure includes the liquid ejection head and a liquid storage section that stores liquid to be supplied to the liquid ejection head.

本開示は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置の製造方法や、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置の制御方法、その制御方法を実現するコンピュータープログラム、そのコンピュータープログラムを記録した一時的でない記録媒体等の形態で実現することができる。 The present disclosure can also be realized in various forms other than liquid jet heads and liquid jet devices. For example, it can be realized in the form of a method for manufacturing a liquid jet head and a liquid jet device, a method for controlling a liquid jet head and a liquid jet device, a computer program for implementing that control method, a non-transitory recording medium on which that computer program is recorded, etc.

54…振動板、59…配線基板、60…循環機構、61…第1供給ポンプ、62…第2供給ポンプ、63…貯留容器、64…回収流路、65…供給流路、70…駆動回路、100…液体噴射ヘッド、110…第1共通液室、120…第2共通液室、130…ノズル別流路、140…連通板、150…封止膜、160…筐体部、161,162…開口部、200…ノズル、240…ノズルプレート、250…圧力室基板、300,301~304…駆動素子、310…振動板、320,321~324…接続流路、330,331~334…圧力室、340,341~344…連通孔、350…連通流路、351…第1部分、352…第2部分、353…第3部分、400…液体噴射装置、420…液体貯留部、430…移動機構、432…ベルト、434…キャリッジ、440…搬送機構、450…制御ユニット 54...Vibration plate, 59...Wiring substrate, 60...Circulation mechanism, 61...First supply pump, 62...Second supply pump, 63...Storage container, 64...Recovery flow path, 65...Supply flow path, 70...Drive circuit, 100...Liquid jet head, 110...First common liquid chamber, 120...Second common liquid chamber, 130...Nozzle-specific flow path, 140...Communicating plate, 150...Sealing film, 160...Housing portion, 161, 162...Openings, 200...Nozzle, 240...Nozzle plate, 250...Pressure Force chamber substrate, 300, 301-304...drive element, 310...vibration plate, 320, 321-324...connecting flow path, 330, 331-334...pressure chamber, 340, 341-344...communicating hole, 350...communicating flow path, 351...first portion, 352...second portion, 353...third portion, 400...liquid ejection device, 420...liquid storage section, 430...movement mechanism, 432...belt, 434...carriage, 440...transport mechanism, 450...control unit

Claims (24)

液体を噴射する第1ノズルが形成されたノズルプレートと、
第1方向に並んで配置された第1及び第2圧力室と、
前記第1方向に並んで配置された第3及び第4圧力室と、
前記ノズルプレートに沿って延在する流路であり、前記第1ノズルに接続されるとともに前記第1乃至第4圧力室に連通する第1連通流路と、
前記第1及び第2圧力室に連通する第1共通液室と、
前記第3及び第4圧力室に連通する第2共通液室と、
を備え、
前記第1及び第2圧力室の組と、前記第3及び第4圧力室の組とは、前記第1方向に直交する第2方向において異なる位置に配置され
前記ノズルプレートに向かって見た平面視において前記第1ノズルと重なる位置での前記第1連通流路の前記第1方向の幅を第1幅とし、前記第1圧力室の前記第1方向の幅を圧力室幅としたとき、前記第1幅は前記圧力室幅以上である、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
a nozzle plate in which a first nozzle for ejecting liquid is formed;
First and second pressure chambers arranged side by side in a first direction;
third and fourth pressure chambers arranged side by side in the first direction;
a first communication flow path that is a flow path extending along the nozzle plate, connected to the first nozzle and communicating with the first to fourth pressure chambers;
a first common liquid chamber communicating with the first and second pressure chambers;
a second common liquid chamber communicating with the third and fourth pressure chambers;
Equipped with
the set of first and second pressure chambers and the set of third and fourth pressure chambers are arranged at different positions in a second direction perpendicular to the first direction,
a width in the first direction of the first communication flow channel at a position overlapping with the first nozzle in a plan view seen toward the nozzle plate is defined as a first width, and a width in the first direction of the first pressure chamber is defined as a pressure chamber width, the first width being equal to or greater than the pressure chamber width.
A liquid jet head characterized by:
前記第1幅は、前記圧力室幅より大きい、
請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
The first width is larger than the pressure chamber width.
The liquid jet head according to claim 1 .
前記第1幅は、前記圧力室幅の1.5倍以上である、
請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。
the first width is 1.5 times or more the width of the pressure chamber;
The liquid jet head according to claim 1 or 2.
前記第1幅は、前記圧力室幅の2倍以下である、
請求項1乃至3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
the first width is equal to or less than twice the width of the pressure chamber;
The liquid jet head according to claim 1 .
前記ノズルプレートの厚さ方向を第3方向とし、前記平面視において前記第1ノズルと重なる前記位置での前記第1連通流路の前記第3方向の高さを第1高さとしたとき、前記第1幅は前記第1高さ以上である、
請求項1乃至4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
a thickness direction of the nozzle plate is defined as a third direction, and a height of the first communication flow path in the third direction at the position overlapping with the first nozzle in the plan view is defined as a first height, the first width being equal to or greater than the first height.
The liquid jet head according to claim 1 .
前記ノズルプレートを向く面に前記第1連通流路が形成された連通板を備え、
前記平面視において前記第1ノズルと重なる前記位置での前記連通板の前記第3方向の厚みを第1厚みとしたとき、前記第1厚みは前記第1高さより大きい、
請求項5に記載の液体噴射ヘッド。
a communication plate having the first communication flow path formed on a surface facing the nozzle plate;
when a thickness of the communication plate in the third direction at the position overlapping with the first nozzle in the plan view is defined as a first thickness, the first thickness is greater than the first height;
The liquid jet head according to claim 5 .
前記第1連通流路は、前記平面視において前記第1及び第2圧力室と前記第1ノズルとの間の位置で、前記第1方向の幅が前記第1幅よりも大きい第2幅である部分を含む、
請求項1乃至6の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
the first communication flow path includes a portion, in the plan view, between the first and second pressure chambers and the first nozzle, and the portion has a second width that is larger than the first width in the first direction;
The liquid jet head according to claim 1 .
前記第2幅から前記第1幅を減算した値は、前記圧力室幅の0.1倍以上である、
請求項7に記載の液体噴射ヘッド。
a value obtained by subtracting the first width from the second width is 0.1 times or more the pressure chamber width;
The liquid jet head according to claim 7 .
前記液体は、擬塑性を有する、
請求項7又は8に記載の液体噴射ヘッド。
The liquid has pseudoplastic properties.
The liquid jet head according to claim 7 or 8.
前記第1幅を有する部分の前記第2方向の第1長さは、前記第1連通流路の前記第2方向の長さの全長の4%以上30%以下の長さである、
請求項7乃至9の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
a first length in the second direction of the portion having the first width is 4% or more and 30% or less of the entire length in the second direction of the first communication flow path,
The liquid jet head according to claim 7 .
前記第1連通流路は、前記平面視において前記第1及び第2圧力室と前記第1ノズルとの間の位置で、前記第1方向の幅が前記第1幅よりも小さい第3幅である部分を含む、
請求項1乃至6の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
the first communication flow path includes a portion, in the plan view, between the first and second pressure chambers and the first nozzle, and the portion has a third width that is smaller than the first width in the first direction;
The liquid jet head according to claim 1 .
前記第1幅から前記第3幅を減算した値は、前記圧力室幅の0.1倍以上である、
請求項11に記載の液体噴射ヘッド。
a value obtained by subtracting the third width from the first width is 0.1 times or more the width of the pressure chamber;
The liquid jet head according to claim 11.
前記第1幅を有する部分の前記第2方向の第1長さは、前記第1連通流路の前記第2方向の長さの全長の4%以上30%以下の長さである、
請求項11又は12に記載の液体噴射ヘッド。
a first length in the second direction of the portion having the first width is 4% or more and 30% or less of the entire length in the second direction of the first communication flow path,
The liquid jet head according to claim 11 or 12.
前記第1共通液室は、前記第1及び第2圧力室へ液体を供給するための流路であり、
前記第2共通液室は、前記第3及び第4圧力室から液体を回収するための流路である、
請求項1乃至13の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
the first common liquid chamber is a flow path for supplying liquid to the first and second pressure chambers,
the second common liquid chamber is a flow path for recovering liquid from the third and fourth pressure chambers;
The liquid jet head according to claim 1 .
前記平面視において前記第1及び第2圧力室から前記第3及び第4圧力室までの前記第1連通流路の前記第1方向の幅の平均値は、前記圧力室幅以上である、
請求項1乃至14の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
an average value of a width in the first direction of the first communication flow path from the first and second pressure chambers to the third and fourth pressure chambers in the plan view is equal to or greater than a width of the pressure chambers;
The liquid jet head according to claim 1 .
前記第1連通流路は、前記第2方向を長手方向とする、
請求項1乃至15の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
The first communication flow path has the second direction as its longitudinal direction.
The liquid jet head according to claim 1 .
前記第1連通流路は、前記第1乃至第4圧力室に共通の流路である、
請求項1乃至16の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
the first communication flow path is a flow path common to the first to fourth pressure chambers;
The liquid jet head according to claim 1 .
前記ノズルプレートには、液体を噴射する第2ノズルが形成され、
前記第1方向に並んで配置された第5及び第6圧力室と、
前記第5及び第6圧力室の組とは前記第2方向において異なる位置に配置され、前記第1方向に並んで配置された第7及び第8圧力室と、
前記ノズルプレートに沿って延在する流路であり、前記第2ノズルに接続されるとともに前記第5乃至第8圧力室に連通する第2連通流路と、
を備え、
前記第1共通液室は、前記第5及び第6圧力室に連通し、
前記第2共通液室は、前記第7及び第8圧力室に連通し、
前記第1圧力室と前記第2圧力室とを区画する隔壁の前記第1方向の幅の2倍を第1の値としたとき、前記第1連通流路と前記第2連通流路とを区画する隔壁の前記第1方向の幅は、前記第1の値以上で、前記第1の値に前記圧力室幅を加算した第2の値以下である、
請求項1乃至17の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
a second nozzle for ejecting a liquid is formed in the nozzle plate;
fifth and sixth pressure chambers arranged side by side in the first direction;
seventh and eighth pressure chambers arranged side by side in the first direction and disposed at positions different from the fifth and sixth pressure chamber sets in the second direction;
a second communication flow path that is a flow path extending along the nozzle plate, connected to the second nozzle and communicating with the fifth to eighth pressure chambers;
Equipped with
the first common liquid chamber communicates with the fifth and sixth pressure chambers,
the second common liquid chamber communicates with the seventh and eighth pressure chambers,
when a first value is twice the width in the first direction of a partition wall that separates the first pressure chamber and the second pressure chamber, the width in the first direction of the partition wall that separates the first communication flow path and the second communication flow path is equal to or greater than the first value and is equal to or less than a second value obtained by adding the width of the pressure chamber to the first value,
The liquid jet head according to claim 1 .
液体を噴射するノズルが形成されたノズルプレートと、
Nを3以上の整数としたとき、第1方向に並んで配置されたN個の圧力室Aと、
N個の前記圧力室Aの組とは前記第1方向に直交する第2方向において異なる位置に配置され、前記第1方向に並んで配置されたN個の圧力室Bと、
前記ノズルプレートに沿って延在する流路であり、前記ノズルに接続されるとともに前記N個の圧力室A及び前記N個の圧力室Bに連通する連通流路と、
前記N個の圧力室Aに連通する第1共通液室と、
前記N個の圧力室Bに連通する第2共通液室と、
を備え、
前記ノズルプレートに向かって見た平面視において前記ノズルと重なる位置での前記連通流路の前記第1方向の幅を第1幅とし、前記圧力室Aの前記第1方向の幅を圧力室幅としたとき、前記第1幅は前記圧力室幅以上である、
液体噴射ヘッド。
a nozzle plate in which nozzles for ejecting liquid are formed;
N pressure chambers A arranged side by side in a first direction, where N is an integer of 3 or more;
N pressure chambers B arranged in a line in the first direction and disposed at positions different from the set of N pressure chambers A in a second direction perpendicular to the first direction;
a communication flow path that is a flow path extending along the nozzle plate, connected to the nozzle and communicating with the N pressure chambers A and the N pressure chambers B;
a first common liquid chamber communicating with the N pressure chambers A;
a second common liquid chamber communicating with the N pressure chambers B;
Equipped with
a width of the communication flow channel in the first direction at a position overlapping with the nozzle in a plan view seen toward the nozzle plate is defined as a first width, and a width of the pressure chamber A in the first direction is defined as a pressure chamber width, the first width being equal to or greater than the pressure chamber width.
Liquid injection head.
前記第1幅は、前記圧力室幅の(N-1)倍以上でN倍以下である、
請求項19に記載の液体噴射ヘッド。
the first width is equal to or greater than (N-1) times and equal to or less than N times the width of the pressure chamber;
The liquid jet head according to claim 19.
液体を噴射するノズルが形成されたノズルプレートと、
第1方向に並んで配置された第1及び第2圧力室と、
前記第1方向に並んで配置された第3及び第4圧力室と、
前記ノズルプレートに沿って延在する流路であり、前記ノズルに接続されるとともに前記第1乃至第4圧力室に連通する連通流路と、
前記第1及び第2圧力室に連通する第1共通液室と、
前記第3及び第4圧力室に連通する第2共通液室と、
を備え、
前記第1及び第2圧力室の組と、前記第3及び第4圧力室の組とは、前記第1方向に直交する第2方向において異なる位置に配置され
前記連通流路のうち、前記第1圧力室と前記第圧力室との間の部分の前記第2方向の長さは、前記第1圧力室の前記第2方向の長さ以下である、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
a nozzle plate in which nozzles for ejecting liquid are formed;
First and second pressure chambers arranged side by side in a first direction;
third and fourth pressure chambers arranged side by side in the first direction;
a communication flow path extending along the nozzle plate, the communication flow path being connected to the nozzle and communicating with the first to fourth pressure chambers;
a first common liquid chamber communicating with the first and second pressure chambers;
a second common liquid chamber communicating with the third and fourth pressure chambers;
Equipped with
the set of first and second pressure chambers and the set of third and fourth pressure chambers are arranged at different positions in a second direction perpendicular to the first direction,
a length in the second direction of a portion of the communication flow path between the first pressure chamber and the third pressure chamber is equal to or less than a length in the second direction of the first pressure chamber;
A liquid jet head characterized by:
液体を噴射するノズルが形成されたノズルプレートと、
第1方向に並んで配置された第1及び第2圧力室と、
前記第1方向に並んで配置された第3及び第4圧力室と、
前記ノズルプレートに沿って延在する流路であり、前記ノズルに接続されるとともに前記第1乃至第4圧力室に連通する連通流路と、
前記第1及び第2圧力室に連通する第1共通液室と、
前記第3及び第4圧力室に連通する第2共通液室と、
を備え、
前記第1及び第2圧力室の組と、前記第3及び第4圧力室の組とは、前記第1方向に直交する第2方向において異なる位置に配置され
前記連通流路のうち、前記第1圧力室と前記第圧力室との間の部分の前記第2方向の長さは、前記ノズルプレートに向かって見た平面視において前記ノズルと重なる位置での前記連通流路の前記第1方向の幅以下である、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
a nozzle plate in which nozzles for ejecting liquid are formed;
First and second pressure chambers arranged side by side in a first direction;
third and fourth pressure chambers arranged side by side in the first direction;
a communication flow path extending along the nozzle plate, the communication flow path being connected to the nozzle and communicating with the first to fourth pressure chambers;
a first common liquid chamber communicating with the first and second pressure chambers;
a second common liquid chamber communicating with the third and fourth pressure chambers;
Equipped with
the set of first and second pressure chambers and the set of third and fourth pressure chambers are arranged at different positions in a second direction perpendicular to the first direction,
a length in the second direction of a portion of the communication flow path between the first pressure chamber and the third pressure chamber is equal to or less than a width in the first direction of the communication flow path at a position overlapping with the nozzle in a plan view seen toward the nozzle plate;
A liquid jet head characterized by:
液体を噴射するノズルが形成されたノズルプレートと、
第1方向に並んで配置された第1及び第2圧力室と、
前記第1方向に並んで配置された第3及び第4圧力室と、
前記ノズルプレートに沿って延在する流路であり、前記ノズルに接続されるとともに前記第1乃至第4圧力室に連通する連通流路と、
前記第1及び第2圧力室に連通する第1共通液室と、
前記第3及び第4圧力室に連通する第2共通液室と、
を備え、
前記第1及び第2圧力室の組と、前記第3及び第4圧力室の組とは、前記第1方向に直交する第2方向において異なる位置に配置されており、
前記連通流路の前記第2方向の全長は、前記第1圧力室の前記第2方向の長さ以下である
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
a nozzle plate in which nozzles for ejecting liquid are formed;
First and second pressure chambers arranged side by side in a first direction;
third and fourth pressure chambers arranged side by side in the first direction;
a communication flow path extending along the nozzle plate, the communication flow path being connected to the nozzle and communicating with the first to fourth pressure chambers;
a first common liquid chamber communicating with the first and second pressure chambers;
a second common liquid chamber communicating with the third and fourth pressure chambers;
Equipped with
the set of first and second pressure chambers and the set of third and fourth pressure chambers are disposed at different positions in a second direction perpendicular to the first direction,
a first pressure chamber that is formed in the second direction and has a first pressure chamber that is formed in the second direction;
請求項1乃至23の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドに供給する液体を貯留する液体貯留部と、
を備える液体噴射装置。
A liquid jet head according to any one of claims 1 to 23;
a liquid storage section that stores the liquid to be supplied to the liquid jet head;
A liquid ejection device comprising:
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