JP7807219B2 - ドレッシング工具及びドレッシング方法 - Google Patents

Description

本発明は、研削ホイールに含まれる研削砥石のドレッシングに利用されるドレッシング工具と、このドレッシング工具を利用して研削ホイールに含まれる研削砥石をドレッシングするドレッシング方法とに関する。

ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面側に多数のデバイスが形成されたウェーハを個々のデバイスを含む領域毎に分割することで製造される。

さらに、ウェーハは、チップの小型化及び軽量化等を目的として、その分割前に薄化されることが多い。ウェーハを薄化する方法としては、研削装置によるウェーハの裏面側の研削が挙げられる。この研削装置は、例えば、ウェーハの表面側を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルの上方に設けられ、かつ、研削ホイールが下端部に装着されたスピンドルを有する研削ユニットとを備える（例えば、特許文献１参照）。

研削ホイールは、一般的に、環状に離散して配置され、かつ、それぞれが直方体状の形状を有する複数の研削砥石を含む。また、研削砥石は、ビトリファイドボンド又はレジンボンド等の結合材に分散されたダイヤモンド又は立方晶窒化ホウ素（ｃＢＮ：ｃｕｂｉｃ Ｂｏｒｏｎ Ｎｉｔｒｉｄｅ）等の砥粒を有する。さらに、研削ホイールには、一般的に、純水等の液体（研削水）を供給するための研削水供給ノズルが設けられている。

そして、研削装置においてウェーハを薄化する際には、チャックテーブル及びスピンドルの双方を回転させ、かつ、研削水供給ノズルからウェーハの裏面に研削水を供給した状態で、ウェーハの裏面と複数の研削砥石のそれぞれの研削面とを接触させる。これにより、複数の研削砥石のそれぞれの下面（研削面）に露出した砥粒によってウェーハの裏面側を研削してウェーハを薄化することができる。

なお、新品（未使用）の研削砥石においては、その下面に露出する砥粒が不十分であることがある。また、研削ホイールにおいては、複数の研削砥石のそれぞれの下面が不揃いなこと、すなわち、同一平面上に位置しないこともある。これらの場合、ウェーハの研削効率が低下するおそれがある。

そのため、研削装置においては、ウェーハを研削するのに先立って、複数の研削砥石のそれぞれの下面側を削ることによって下面に砥粒を十分に露出させ、かつ、それらの下面を揃える処理（下面ドレッシング）が行われることが多い。このような研削砥石の下面ドレッシングは、例えば、研削ホイールを回転させながら複数の研削砥石のそれぞれの下面をドレッシング工具（ドレッサボード）のドレッシング部（ドレス部）に接触させることによって行われる（例えば、特許文献２参照）。

さらに、ウェーハの研削によって生じた研削屑が研削砥石の下面に付着すると、研削砥石の下面に砥粒が十分に露出しない（目詰まりする）ことがある。また、研削を繰り返し行うことで下面に露出した砥粒が摩耗する（目潰れする）こともある。このような場合にも研削砥石の下面ドレッシングが行われることがある。

特開２０１４－１２４６９０号公報 特開２００９－１４２９０６号公報

研削ユニットのスピンドルへの研削ホイールの装着は、一般的に、手作業で行われる。そのため、研削ホイールは、研削ホイールの中心がスピンドルの回転軸となる直線からずれた状態でスピンドルに装着されるおそれがある。

このような状態でスピンドルを回転させると、スピンドルの回転軸となる直線と直交する方向に沿ってスピンドルが振動することがある。そして、スピンドルが振動した状態でスピンドルとともに回転する研削ホイールの複数の研削砥石によってウェーハの裏面側を研削すると、ウェーハの加工精度が低下するおそれがある。

例えば、ウェーハの外周端部を残存させて、その薄化に伴う剛性の低下を抑制するために、ウェーハの裏面に凹部が形成されるようにウェーハの裏面側が研削されることがある。このような研削は、ＴＡＩＫＯ研削とも呼ばれ、研削砥石の外側面をウェーハの外周端部に接触させながら行われる。

ここで、研削砥石を含む研削ホイールが先端部に装着されるスピンドルが振動した状態でＴＡＩＫＯ研削が行われると、残存するウェーハの外周端部を所望の形状とすることができずに、すなわち、ウェーハの加工精度が低下して、ウェーハが割れやすくなる。

このようなウェーハの加工精度の低下は、複数の研削砥石のうちスピンドルの回転軸となる直線からの距離が長い研削砥石の外側面側を削ることによって抑制することができる。そのため、ウェーハの加工精度の低下を抑制するためには、研削ホイールの中心と複数の研削砥石のそれぞれの外側面との間隔が等しくするように、それらの外側面を揃える処理（外側面ドレッシング）を行うことが有効である。

以上の点に鑑み、本発明の目的は、研削ホイールに含まれる研削砥石の下面（研削面）のドレッシングのみならず、その外側面のドレッシングが可能なドレッシング工具と、このドレッシング工具を利用して研削砥石の下面及び外側面の双方をドレッシングするドレッシング方法とを提供することである。

本発明の一側面によれば、研削ホイールに含まれる研削砥石のドレッシングに利用されるドレッシング工具であって、第１ドレッシング部と、第２ドレッシング部と、該第１ドレッシング部と該第２ドレッシング部とが上面に固定された支持プレートと、を備え、該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部の一方は、該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部の他方と比較して、上面が低く、かつ、外周端部が外側に位置付けられるように設けられ、該支持プレートは、該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部のそれぞれと比較して、外周端部が外側に位置付けられるように設けられ、該支持プレートは、円板状の本体部と、該本体部の上面から突出し、かつ、該本体部よりも直径が小さい円板状の凸部と、を含み、該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部の他方は、該凸部の上面に固定され、該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部の一方は、該本体部の該上面に固定されているドレッシング工具が提供される。

また、本発明の別の側面によれば、研削ホイールに含まれる研削砥石のドレッシングに利用されるドレッシング工具であって、該研削砥石の下面のドレッシングに利用される第１ドレッシング部と、該研削砥石の外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部と、該第１ドレッシング部と該第２ドレッシング部とが上面に固定された支持プレートと、を備え、該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部の一方は、該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部の他方と比較して、上面が低く、かつ、外周端部が外側に位置付けられるように設けられ、該支持プレートは、該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部のそれぞれと比較して、外周端部が外側に位置付けられるように設けられている該ドレッシング工具を利用して該研削ホイールに含まれる該研削砥石をドレッシングするドレッシング方法であって、保持面の中心を通る直線を回転軸として回転可能なチャックテーブルの該保持面において該ドレッシング工具を保持する保持ステップと、第１方向に沿って延在するスピンドルの先端部に該研削ホイールを装着する装着ステップと、該保持ステップ及び該装着ステップの後に、回転する該研削砥石の軌跡と該第１ドレッシング部とが該第１方向において重なった状態で、該スピンドルと該チャックテーブルとを回転させながら、該研削砥石の該下面と該第１ドレッシング部の該上面とを接触させるように該研削ホイールと該チャックテーブルとを該第１方向に沿って接近させることによって、該研削砥石の該下面をドレッシングする下面ドレッシングステップと、該保持ステップ及び該装着ステップの後に、該研削砥石と該第２ドレッシング部とが該第１方向と直交する第２方向において重なった状態で、少なくとも該研削ホイールを回転させながら、該研削砥石の該外側面と該第２ドレッシング部の側面とを接触させるように該研削ホイールと該チャックテーブルとを該第２方向に沿って接近させることによって、該研削砥石の該外側面をドレッシングする外側面ドレッシングステップと、を備えるドレッシング方法が提供される。例えば、本発明のドレッシング方法においては、該第２ドレッシング部の上面は、該第１ドレッシング部の上面よりも高い位置にあり、該第１ドレッシング部の外周端部は、該第２ドレッシング部の外周端部よりも外側にあってもよい。この場合、該支持プレートは、円板状の本体部と、該本体部の上面から突出し、かつ、該本体部よりも直径が小さい円板状の凸部と、を含み、該第２ドレッシング部は、該凸部の上面に固定され、該第１ドレッシング部は、該本体部の該上面に固定されていてもよい。あるいは、本発明のドレッシング方法においては、該第１ドレッシング部の上面は、該第２ドレッシング部の上面よりも高い位置にあり、該第２ドレッシング部の外周端部は、該第１ドレッシング部の外周端部よりも外側にあってもよい。この場合、該支持プレートは、円板状の本体部と、該本体部の上面から突出し、かつ、該本体部よりも直径が小さい円板状の凸部と、を含み、該第１ドレッシング部は、該凸部の上面に固定され、該第２ドレッシング部は、該本体部の該上面に固定されていてもよい。

本発明のドレッシング工具においては、研削砥石の下面のドレッシングに利用される第１ドレッシング部及び研削砥石の外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部の一方が、第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部の他方と比較して、上面が低く、かつ、外周端部が外側に位置付けられるように設けられている。そのため、このドレッシング工具を利用することによって、研削砥石の下面及び外側面の双方のドレッシングを異時又は同時に行うことが可能になる。

図１は、研削装置の一例を模式的に示す一部断面側面図である。 図２（Ａ）は、ドレッシング工具の第１の例を模式的に示す斜視図であり、図２（Ｂ）は、ドレッシング工具の第１の例を模式的に示す断面図である。 図３（Ａ）は、研削ホイールの一例を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、研削ホイールの一例を模式的に示す下面図である。 図４は、ドレッシング方法の一例を模式的に示すフローチャートである。 図５は、保持ステップ及び装着ステップ後の研削装置の一例を模式的に示す一部断面側面図である。 図６（Ａ）及び図６（Ｂ）のそれぞれは、下面ドレッシングステップの一例の様子を模式的に示す一部断面側面図である。 図７（Ａ）及び図７（Ｂ）のそれぞれは、外側面ドレッシングステップの一例の様子を模式的に示す一部断面側面図である。 図８は、下面ドレッシング及び外側面ドレッシングを同時に行う様子を模式的に示す一部断面側面図である。 図９（Ａ）は、ドレッシング工具の第２の例を模式的に示す斜視図であり、図９（Ｂ）は、ドレッシング工具の第２の例を模式的に示す断面図である。 図１０（Ａ）は、ドレッシング工具の第３の例を模式的に示す斜視図であり、図１０（Ｂ）は、ドレッシング工具の第３の例を模式的に示す断面図である。 図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）のそれぞれは、下面ドレッシングステップの別の例の様子を模式的に示す一部断面側面図である。 図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）のそれぞれは、外側面ドレッシングステップの別の例の様子を模式的に示す一部断面側面図である。 図１３（Ａ）は、ドレッシング工具の第４の例を模式的に示す斜視図であり、図１３（Ｂ）は、ドレッシング工具の第４の例を模式的に示す断面図である。 図１４（Ａ）は、ドレッシング工具の第５の例を模式的に示す斜視図であり、図１４（Ｂ）は、ドレッシング工具の第５の例を模式的に示す断面図である。 図１５（Ａ）は、ドレッシング工具の第６の例を模式的に示す斜視図であり、図１５（Ｂ）は、ドレッシング工具の第６の例を模式的に示す断面図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、研削装置の一例を模式的に示す一部断面側面図である。なお、図１に示されるＸ軸方向及びＹ軸方向は、水平面上において互いに直交する方向であり、また、Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向（鉛直方向）である。

図１に示される研削装置２は、各構成要素を支持する基台４を有する。この基台４の上面には、それぞれがＸ軸方向に沿って延在する一対のガイドレール６が設けられている。そして、一対のガイドレール６の上には、Ｘ軸方向に沿ってスライド可能な態様で直方体状の移動プレート８が取り付けられている。

また、一対のガイドレール６の間には、Ｘ軸方向に沿って延在するねじ軸１０が配置されている。そして、ねじ軸１０の一端部には、ねじ軸１０を回転させるためのパルスモータ１２が連結されている。また、ねじ軸１０のねじ山が形成された外周面上には、ねじ軸１０の回転に応じて循環するボールを収容するナット部１４が設けられ、ボールねじが構成されている。

また、ナット部１４は、移動プレート８の下面側に固定されている。そのため、パルスモータ１２でねじ軸１０を回転させれば、ナット部１４とともに移動プレート８がＸ軸方向に沿って移動する。また、移動プレート８の上には、移動プレート８とともにＸ軸方向に沿って移動する円板状のチャックテーブル１６が設けられている。

このチャックテーブル１６は、セラミックスからなる円板状の枠体１８を有する。そして、枠体１８の上面側には、所定の深さを有する円板状の凹部が形成されている。また、枠体１８の内部には、凹部の底面において開口する流路（不図示）が形成されている。また、この流路は、エジェクタ等の吸引源（不図示）と連通する。

さらに、枠体１８の上面側に形成されている凹部には、この凹部の直径と概ね等しい直径を有する円板状のポーラス板２０が固定されている。このポーラス板２０は、例えば、多孔質セラミックスからなる。また、ポーラス板２０は、円錐の側面に対応する形状（中心が外周よりも突出する形状）の上面（保持面）１６ａを有する。

そして、枠体１８の内部に形成されている流路に連通する吸引源を動作させると、ポーラス板２０の上面近傍の空間に吸引力が作用する。これにより、チャックテーブル１６の保持面１６ａにおいてウェーハ又はドレッシング工具等を保持することができる。

図２（Ａ）は、チャックテーブル１６の保持面１６ａにおいて保持されるドレッシング工具の一例を模式的に示す斜視図であり、図２（Ｂ）は、チャックテーブル１６の保持面１６ａにおいて保持されるドレッシング工具の一例を模式的に示す断面図である。図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示されるドレッシング工具１は、円板状の支持プレート３を備える。

この支持プレート３は、例えば、ポリ塩化ビニルからなる。また、支持プレート３の上面には、後述する研削砥石５８の下面（研削面）のドレッシングに利用される第１ドレッシング部５と、その外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部７とが固定されている。例えば、第１ドレッシング部５及び第２ドレッシング部７は、公知の接着剤を介して、支持プレート３の上面に貼り付けられている。

第１ドレッシング部５は、その外径が支持プレート３の直径よりも短い円筒状の形状を有する。また、第１ドレッシング部５の幅（支持プレート３の径方向における長さ）は、研削砥石５８の幅（研削砥石５８の内側面と外側面との間隔）よりも長い。

第２ドレッシング部７は、その直径が第１ドレッシング部５の内径と概ね等しい円板状の形状を有し、第１ドレッシング部５の内側に設けられている。すなわち、ドレッシング工具１においては、第１ドレッシング部５の外周端部が第２ドレッシング部７の外周端部よりも外側にある。

また、第２ドレッシング部７の上面は、第１ドレッシング部５の上面よりも高い位置にある。さらに、第１ドレッシング部５及び第２ドレッシング部７は、第１ドレッシング部５の内周及び外周並びに第２ドレッシング部７の外周のそれぞれが、平面視において、支持プレート３の外周と同心円状になるように設けられている。

そして、第１ドレッシング部５及び第２ドレッシング部７のそれぞれは、例えば、炭化珪素（ＳｉＣ）からなるグリーンカーボランダム（ＧＣ）砥粒又は酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）からなるホワイトアランダム（ＷＡ）砥粒をビトリファイドボンド又はレジンボンドからなる結合材に混錬した後に焼成することによって形成される。

なお、第２ドレッシング部７は、第１ドレッシング部５と比較して、硬度が高くなるように形成されることが好ましい。例えば、第１ドレッシング部５に含まれる砥粒の粒度は♯３０００～♯４０００であり、また、第２ドレッシング部７に含まれる砥粒の粒度は♯８０～♯２０００である。

具体的には、ウェーハの研削に利用される研削砥石５８の下面（研削面）の状態を均一にするために、第１ドレッシング部５に含まれる砥粒の粒径は小さいことが好ましい。他方、研削砥石５８の外側面側を効率よく研削するために、第２ドレッシング部７に含まれる砥粒の粒径は大きいことが好ましい。

また、図１に示されるように、チャックテーブル１６の下方にはチャックテーブル１６を回転させるパルスモータ等の回転駆動源２２が設けられている。そして、この回転駆動源２２が動作すると、保持面１６ａの中心を通る直線を回転軸としてチャックテーブル１６が回転する。なお、この直線は、保持面１６ａと対応する形状の側面を有する仮想の円錐の底面の中心を通る。

また、チャックテーブル１６の下方且つ回転駆動源２２の周囲には、チャックテーブル１６を回転可能に支持する円筒状のベアリング２４が設けられている。このベアリング２４は、円筒状の支持板２６によって支持されている。

さらに、支持板２６の下には、支持板２６の周方向に沿って概ね等間隔に固定支持機構２８ａ、第１可動支持機構２８ｂ及び第２可動支持機構２８ｃが設けられている。固定支持機構２８ａは、所定長さの固定軸部を有する。そして、この固定軸部の上部は支持板２６に固定され、また、固定軸部の下部は移動プレート８に固定されている。

また、第１可動支持機構２８ｂ及び第２可動支持機構２８ｃのそれぞれは、上部に雄ねじが形成された可動軸部を有する。そして、各可動軸部の上部は支持板２６のねじ穴に螺合され、また、各可動軸部の下部は移動プレート８に回転可能な態様で支持されている。

さらに、各可動軸部は、パルスモータ（不図示）に連結されている。そして、このパルスモータによって可動軸部を回転させると、支持板２６の可動軸部と螺合するねじ穴近傍の部分が上昇又は下降する。これにより、支持板２６の傾きが変更される。

また、支持板２６の傾きが変更されると、チャックテーブル１６の傾きも変更される。そのため、研削装置２においては、第１可動支持機構２８ｂ及び第２可動支持機構２８ｃを動作させることによって、チャックテーブル１６の傾きを調整することができる。

また、基台４の端部上には、Ｚ軸方向に延在する壁部３０が設けられている。この壁部３０のチャックテーブル１６側の面には、それぞれがＺ軸方向に沿って延在する一対のガイドレール３２が設けられている。そして、一対のガイドレール３２の表面には、Ｚ軸方向に沿ってスライド可能な態様で直方体状の移動プレート３４が取り付けられている。

また、一対のガイドレール３２の間には、Ｚ軸方向に沿って延在するねじ軸３６が配置されている。そして、ねじ軸３６の一端部（上端部）には、ねじ軸３６を回転させるためのパルスモータ３８が連結されている。また、ねじ軸３６のねじ山が形成された外周面上には、ねじ軸３６の回転に応じて循環するボールを収容するナット部４０が設けられ、ボールねじが構成されている。

また、このナット部４０は、移動プレート３４の裏面側に固定されている。そのため、パルスモータ３８でねじ軸３６を回転させれば、ナット部４０とともに移動プレート３４がＺ軸方向に沿って移動する。また、移動プレート３４の表面側には、固定具４２を介して、研削ユニット４４が固定されている。

この研削ユニット４４は、Ｚ軸方向に沿って延在する円筒状のスピンドルハウジング４６を有する。そして、スピンドルハウジング４６には、円柱状のスピンドル４８の一部が回転可能に収容されている。また、スピンドル４８の基端部（上端部）には、パルスモータ等の回転駆動源（不図示）が設けられている。

さらに、スピンドル４８の先端部（下端部）は、スピンドルハウジング４６の下面から下方に突出しており、この先端部には円板状のマウント５０が設けられている。このマウント５０の外周端部には、マウント５０の周方向に沿って概ね等間隔に複数の貫通孔（不図示）が形成されている。そして、マウント５０、すなわち、スピンドル４８の先端部には、各貫通孔に挿入されるボルトを利用して研削ホイールが装着される。

図３（Ａ）は、スピンドル４８の先端部に装着される研削ホイールの一例を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、スピンドル４８の先端部に装着される研削ホイールの一例を模式的に示す下面図である。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示される研削ホイール５２は、円筒状の形状を備えるホイール基台５４を有する。

このホイール基台５４は、例えば、ステンレス鋼又はアルミニウム等の金属材料からなり、その外径がマウント５０の直径に概ね等しい。また、ホイール基台５４の上面には、ボルトと螺合可能な複数のねじ穴５６が形成されている。そして、各ねじ穴５６は、上述のとおり、マウント５０に研削ホイール５２を装着する際に利用される。

また、ホイール基台５４の下面には、ホイール基台５４の周方向に沿って概ね等間隔に複数の研削砥石５８が固定されている。各研削砥石５８は、直方体を円弧に沿って湾曲させたような形状を有する。また、各研削砥石５８は、例えば、気孔が内在するビトリファイドボンド又はレジンボンド等のボンド材と、ボンド材に分散されたダイヤモンド又は立方晶窒化ホウ素（ｃＢＮ：ｃｕｂｉｃ Ｂｏｒｏｎ Ｎｉｔｒｉｄｅ）等の砥粒とを有する。

図４は、研削装置２において、ドレッシング工具１を利用して研削ホイール５２に含まれる研削砥石５８をドレッシングするドレッシング方法の一例を模式的に示すフローチャートである。この方法においては、まず、チャックテーブル１６の保持面１６ａにおいてドレッシング工具１を保持するとともに（保持ステップ：Ｓ１）、スピンドル４８の先端部に研削ホイール５２を装着する（装着ステップ：Ｓ２）。

なお、保持ステップ（Ｓ１）及び装着ステップ（Ｓ２）の前後は限定されない。すなわち、保持ステップ（Ｓ１）が行われた後に装着ステップ（Ｓ２）が行われてもよいし、装着ステップ（Ｓ２）が行われた後に保持ステップ（Ｓ１）が行われてもよい。図５は、保持ステップ（Ｓ１）及び装着ステップ（Ｓ２）後の研削装置の一例を模式的に示す一部断面側面図である。

この保持ステップ（Ｓ１）においては、まず、支持プレート３の下面の中心とチャックテーブル１６の保持面１６ａの中心に一致させるようにドレッシング工具１をチャックテーブル１６に搬入する。そして、チャックテーブル１６の枠体１８の内部に形成されている流路に連通する吸引源を動作させることによって、ドレッシング工具１の支持プレート３に吸引力を作用させる。

これにより、支持プレート３がチャックテーブル１６の保持面１６ａに倣うように弾性変形する。すなわち、支持プレート３の下面が円錐の側面に対応するような形状となり、チャックテーブル１６の保持面１６ａが支持プレート３によって覆われる。その結果、チャックテーブル１６の保持面１６ａにおいてドレッシング工具１が保持される。

また、装着ステップ（Ｓ２）においては、まず、ねじ穴５６がマウント５０の外周端部に形成されている貫通孔と重なるように研削ホイール５２をマウントと重ねる。そして、この貫通孔を介してボルト（不図示）とねじ穴５６とを螺合させる。これにより、スピンドル４８の先端部に研削ホイール５２が装着される。

次いで、研削砥石５８の下面をドレッシングするとともに（下面ドレッシングステップ：Ｓ３）、研削砥石５８の外側面をドレッシングする（外側面ドレッシングステップ：Ｓ４）。なお、下面ドレッシングステップ（Ｓ３）及び外側面ドレッシングステップ（Ｓ４）の前後は限定されない。

すなわち、下面ドレッシングステップ（Ｓ３）が行われた後に外側面ドレッシングステップ（Ｓ４）が行われてもよいし、外側面ドレッシングステップ（Ｓ４）が行われた後に下面ドレッシングステップ（Ｓ３）が行われてもよい。

図６（Ａ）及び図６（Ｂ）のそれぞれは、ドレッシング工具１を利用して行われる下面ドレッシングステップ（Ｓ３）の様子を模式的に示す一部断面側面図である。この下面ドレッシングステップ（Ｓ３）においては、まず、スピンドル４８の回転に伴って回転する研削砥石５８の軌跡と第１ドレッシング部５とがＺ軸方向（第１方向）において重なるように、チャックテーブル１６のＸ軸方向における位置を調整する（図６（Ａ）参照）。

なお、この調整においては、第１ドレッシング部５の上面の内縁と外縁とを最短距離で結び、かつ、Ｚ軸方向に直交する線分と、回転する研削砥石５８の軌跡と、をＺ軸方向において重ねる必要がある。すなわち、Ｚ軸方向に直交する座標平面（ＸＹ座標平面）における当該線分の座標と当該軌跡の座標とを重ねる必要がある。そのため、必要であれば、この調整に先立って第１可動支持機構２８ｂ及び／又は第２可動支持機構２８ｃを動作させてチャックテーブル１６の傾きが調整されてもよい。

そして、スピンドル４８とチャックテーブル１６とを回転させながら、研削砥石５８の下面と第１ドレッシング部５の上面とを接触させるように研削ホイール５２とチャックテーブル１６とをＺ軸方向に沿って接近させる、すなわち、研削ホイール５２を下降させる（図６（Ｂ）参照）。これにより、研削砥石５８の下面がドレッシングされる。

図７（Ａ）及び図７（Ｂ）のそれぞれは、ドレッシング工具１を利用して行われる外側面ドレッシングステップ（Ｓ４）の様子を模式的に示す一部断面側面図である。この外側面ドレッシングステップ（Ｓ４）においては、まず、研削砥石５８と第２ドレッシング部７とがＸ軸方向（第２方向）において重なるように、研削ホイール５２のＺ軸方向における位置を調整する（図７（Ａ）参照）。具体的には、第１ドレッシング部５の上面よりも高く、かつ、第２ドレッシング部７の上面よりも低い位置に研削砥石５８の下面を位置付けるように、研削ホイール５２のＺ軸方向における位置を調整する。

なお、この調整においては、第２ドレッシング部７の側面の下端と上端とを最短距離で結び、かつ、Ｚ軸方向に沿って直線的に延在する線分と、研削砥石５８とをＸ軸方向において重ねる必要がある。すなわち、Ｘ軸方向に直交する座標平面（ＹＺ座標平面）における当該線分の座標と研削砥石５８の座標とを重ねる必要がある。そのため、必要であれば、この調整に先立って、第１可動支持機構２８ｂ及び／又は第２可動支持機構２８ｃを動作させてチャックテーブル１６の傾きが調整されてもよい。

そして、スピンドル４８を回転させながら、研削砥石５８の外側面と第２ドレッシング部７の側面とを接触させるように研削ホイール５２とチャックテーブル１６とをＸ軸方向に沿って接近させる、すなわち、チャックテーブル１６をＸ軸方向に沿って移動させる（図７（Ｂ）参照）。これにより、研削砥石５８の外側面がドレッシングされる。

なお、研削砥石５８の外側面のドレッシングは、チャックテーブル１６を回転させながら、すなわち、ドレッシング工具１を回転させながら行われてもよい。さらに、この場合には、研削砥石５８の下面ドレッシングと、その外側面ドレッシングとが同時に行われてもよい。図８は、研削砥石５８の下面ドレッシングと外側面ドレッシングとを同時に行う様子を模式的に示す一部断面側面図である。

具体的には、スピンドル４８とチャックテーブル１６とを回転させながら、研削砥石５８の下面と第１ドレッシング部５の上面とを接触させるように研削ホイール５２を下降させ、かつ、研削砥石５８の外側面と第２ドレッシング部７の側面とを接触させるようにチャックテーブル１６をＸ軸方向に沿って移動させる。これにより、研削砥石５８の下面のドレッシングと、その外側面のドレッシングとが同時に行われる。

上述したとおり、ドレッシング工具１においては、研削砥石５８の下面（研削面）のドレッシングに利用される第１ドレッシング部５が、その外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部７と比較して、上面が低く、かつ、外周端部が外側に位置付けられるように設けられている。そのため、このドレッシング工具１を利用することによって、研削砥石５８の下面及び外側面の双方のドレッシングを異時又は同時に行うことが可能になる。

なお、ドレッシング工具１は本発明のドレッシング工具の一態様であって、本発明のドレッシング工具はドレッシング工具１に限定されない。図９（Ａ）は、本発明のドレッシング工具の第２の例を模式的に示す斜視図であり、図９（Ｂ）は、本発明のドレッシング工具の第２の例を模式的に示す断面図である。

端的には、図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示されるドレッシング工具１１は、支持プレートの上面に凸部が設けられている点で図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示されるドレッシング工具１と異なる。具体的には、このドレッシング工具１１は、例えば、ポリ塩化ビニルからなる支持プレート１３を備える。

この支持プレート１３は、円板状の本体部１３ａと、本体部１３ａの上面から突出し、かつ、本体部１３ａよりも直径が小さい円板状の凸部１３ｂとを有する。また、支持プレート１３においては、平面視において、それぞれの外周が同心円状になるように本体部１３ａ及び凸部１３ｂが設けられている。

そして、本体部１３ａの上面には、凸部１３ｂを囲むように、研削砥石５８の下面（研削面）のドレッシングに利用される第１ドレッシング部１５が固定されている。この第１ドレッシング部１５は、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示される第１ドレッシング部５と同様の形状を有し、また、同様の材料からなる。さらに、第１ドレッシング部１５の内径は、凸部１３ｂの直径と概ね等しい。また、第１ドレッシング部１５は、上面が凸部１３ｂの上面と概ね同じ高さになるように設けられている。

また、凸部１３ｂの上面には、研削砥石５８の外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部１７が固定されている。この第２ドレッシング部１７は、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示される第２ドレッシング部７と同様の材料からなる。さらに、第２ドレッシング部１７は、その直径が、第１ドレッシング部１５の内径、すなわち、凸部１３ｂの直径と概ね等しい円板状の形状を有する。

このドレッシング工具１１においては、研削砥石５８の下面（研削面）のドレッシングに利用される第１ドレッシング部１５が、その外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部１７と比較して、上面が低く、かつ、外周端部が外側に位置付けられるように設けられている。そのため、このドレッシング工具１１を利用することによって、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示されるドレッシング工具１を利用する場合と同様に、研削砥石５８の下面及び外側面の双方のドレッシングを異時又は同時に行うことが可能になる。

図１０（Ａ）は、本発明のドレッシング工具の第３の例を模式的に示す斜視図であり、図１０（Ｂ）は、本発明のドレッシング工具の第３の例を模式的に示す断面図である。端的には、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示されるドレッシング工具２１は、第１ドレッシング部及び第２ドレッシング部の配置が入れ替わっている点で図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示されるドレッシング工具１と異なる。

具体的には、このドレッシング工具２１は、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示される支持プレート３と同様の形状を有し、また、同様の材料からなる支持プレート２３を有する。この支持プレート２３の上面には、研削砥石５８の下面（研削面）のドレッシングに利用される第１ドレッシング部２５と、その外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部２７とが固定されている。例えば、第１ドレッシング部２５及び第２ドレッシング部２７は、公知の接着剤を介して、支持プレート２３の上面に貼り付けられている。

第１ドレッシング部２５は、その直径が支持プレート２３の直径よりも短い円板状の形状を有する。また、第１ドレッシング部２５の直径は、研削砥石５８の幅（研削砥石５８の内側面と外側面との間隔）よりも長い。

第２ドレッシング部２７は、その外径が支持プレート２３の直径よりも短く、かつ、その内径が第１ドレッシング部２５の直径と概ね等しい円筒状の形状を有し、その内側面が第１ドレッシング部２５の側面に接触するように設けられている。すなわち、ドレッシング工具２１においては、第２ドレッシング部２７の外周端部が第１ドレッシング部２５の外周端部よりも外側にある。

また、第１ドレッシング部２５の上面は、第２ドレッシング部２７の上面よりも高い位置にある。さらに、第１ドレッシング部２５及び第２ドレッシング部２７は、第１ドレッシング部２５の外周並びに第２ドレッシング部２７の内周及び外周のそれぞれが、平面視において、支持プレート２３の外周と同心円状になるように設けられている。

さらに、第１ドレッシング部２５は、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示される第１ドレッシング部５と同様の材料からなる。また、第２ドレッシング部２７は、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示される第２ドレッシング部７と同様の材料からなる。

図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）のそれぞれは、ドレッシング工具２１を利用して行われる下面ドレッシングステップ（Ｓ３）の様子を模式的に示す一部断面側面図である。この下面ドレッシングステップ（Ｓ３）においては、まず、スピンドル４８の回転に伴って回転する研削砥石５８の軌跡と第１ドレッシング部２５とがＺ軸方向（第１方向）において重なるように、チャックテーブル１６のＸ軸方向における位置を調整する（図１１（Ａ）参照）。

なお、この調整においては、第１ドレッシング部２５の上面の中心と外周とを最短距離で結び、かつ、Ｚ軸方向に直交する線分と、回転する研削砥石５８の軌跡と、をＺ軸方向において重ねる必要がある。すなわち、Ｚ軸方向に直交する座標平面（ＸＹ座標平面）における当該線分の座標と当該軌跡の座標とを重ねる必要がある。そのため、必要であれば、この調整に先立って第１可動支持機構２８ｂ及び／又は第２可動支持機構２８ｃを動作させてチャックテーブル１６の傾きが調整されてもよい。

そして、スピンドル４８とチャックテーブル１６とを回転させながら、研削砥石５８の下面と第１ドレッシング部２５の上面とを接触させるように研削ホイール５２とチャックテーブル１６とをＺ軸方向に沿って接近させる、すなわち、研削ホイール５２を下降させる（図１１（Ｂ）参照）。これにより、研削砥石５８の下面がドレッシングされる。

図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）のそれぞれは、ドレッシング工具２１を利用して行われる外側面ドレッシングステップ（Ｓ４）の様子を模式的に示す一部断面側面図である。この外側面ドレッシングステップ（Ｓ４）においては、まず、研削砥石５８と第２ドレッシング部２７とがＸ軸方向（第２方向）において重なるように、研削ホイール５２のＺ軸方向における位置を調整する（図１２（Ａ）参照）。具体的には、支持プレート２３の上面よりも高く、かつ、第２ドレッシング部２７の上面よりも低い位置に研削砥石５８の下面を位置付けるように、研削ホイール５２のＺ軸方向における位置を調整する。

なお、この調整においては、第２ドレッシング部２７の側面の下端と上端とを最短距離で結び、かつ、Ｚ軸方向に沿って直線的に延在する線分と、研削砥石５８とをＸ軸方向において重ねる必要がある。すなわち、Ｘ軸方向に直交する座標平面（ＹＺ座標平面）における当該線分の座標と研削砥石５８の座標とを重ねる必要がある。そのため、必要であれば、この調整に先立って、第１可動支持機構２８ｂ及び／又は第２可動支持機構２８ｃを動作させてチャックテーブル１６の傾きが調整されてもよい。

そして、スピンドル４８を回転させながら、研削砥石５８の外側面と第２ドレッシング部２７の側面とを接触させるように研削ホイール５２とチャックテーブル１６とをＸ軸方向に沿って接近させる、すなわち、チャックテーブル１６をＸ軸方向に沿って移動させる（図１２（Ｂ）参照）。これにより、研削砥石５８の外側面がドレッシングされる。

上述したとおり、ドレッシング工具２１においては、研削砥石５８の外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部２７が、その下面（研削面）のドレッシングに利用される第１ドレッシング部２５と比較して、上面が低く、かつ、外周端部が外側に位置付けられるように設けられている。そのため、このドレッシング工具２１を利用することによって、研削砥石５８の下面及び外側面の双方のドレッシングを異時に行うことが可能になる。

図１３（Ａ）は、本発明のドレッシング工具の第４の例を模式的に示す斜視図であり、図１３（Ｂ）は、本発明のドレッシング工具の第４の例を模式的に示す断面図である。端的には、図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）に示されるドレッシング工具３１は、支持プレートの上面に凸部が設けられている点で図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示されるドレッシング工具２１と異なる。

具体的には、このドレッシング工具３１は、例えば、ポリ塩化ビニルからなる支持プレート３３を備える。この支持プレート３３は、円板状の本体部３３ａと、本体部３３ａの上面から突出し、かつ、本体部３３ａよりも直径が小さい円板状の凸部３３ｂとを有する。また、支持プレート３３においては、平面視において、それぞれの外周が同心円状になるように本体部３３ａ及び凸部３３ｂが設けられている。

そして、凸部３３ｂの上面には、研削砥石５８の下面のドレッシングに利用される第１ドレッシング部３５が固定されている。この第１ドレッシング部３５は、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示される第２ドレッシング部７と同様の材料からなる。さらに、第１ドレッシング部３５は、その直径が凸部３３ｂの直径と概ね等しい円板状の形状を有する。

また、本体部３３ａの上面には、凸部３３ｂを囲むように、研削砥石５８の外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部３７が固定されている。この第２ドレッシング部３７は、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示される第２ドレッシング部２７と同様の形状を有し、また、同様の材料からなる。さらに、第２ドレッシング部２７の内径は、凸部３３ｂの直径、すなわち、第１ドレッシング部３５の直径と概ね等しい。また、第２ドレッシング部３７は、上面が凸部３３ｂの上面と概ね同じ高さになるように設けられている。

このドレッシング工具３１においては、研削砥石５８の外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部３７が、その下面（研削面）のドレッシングに利用される第１ドレッシング部３５と比較して、上面が低く、かつ、外周端部が外側に位置付けられるように設けられている。そのため、このドレッシング工具３１を利用することによって、研削砥石５８の下面及び外側面の双方のドレッシングを異時に行うことが可能になる。

図１４（Ａ）は、本発明のドレッシング工具の第５の例を模式的に示す斜視図であり、図１４（Ｂ）は、本発明のドレッシング工具の第５の例を模式的に示す断面図である。端的には、図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）に示されるドレッシング工具４１は、第２ドレッシング部の形状が異なる点で図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示されるドレッシング工具２１と異なる。

具体的には、このドレッシング工具４１は、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示される支持プレート２３と同様の形状を有し、また、同様の材料からなる支持プレート４３を有する。この支持プレート４３の上面には、研削砥石５８の下面（研削面）のドレッシングに利用される第１ドレッシング部４５と、その外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部４７とが固定されている。

第１ドレッシング部４５は、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示される第１ドレッシング部２５と同様の形状を有し、また、同様の材料からなる。第２ドレッシング部４７は、直方体を円弧に沿って湾曲させたような形状を有し、その内側面が第１ドレッシング部２５の側面に接触するように設けられている。

すなわち、ドレッシング工具４１においては、第２ドレッシング部４７の外周端部が第１ドレッシング部４５の外周端部よりも外側にある。さらに、第２ドレッシング部４７は、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示される第２ドレッシング部７と同様の材料からなる。

このドレッシング工具４１においては、研削砥石５８の外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部４７が、その下面（研削面）のドレッシングに利用される第１ドレッシング部４５と比較して、上面が低く、かつ、外周端部が外側に位置付けられるように設けられている。そのため、このドレッシング工具４１を利用することによって、研削砥石５８の下面及び外側面の双方のドレッシングを異時に行うことが可能になる。

図１５（Ａ）は、本発明のドレッシング工具の第６の例を模式的に示す斜視図であり、図１５（Ｂ）は、本発明のドレッシング工具の第６の例を模式的に示す断面図である。端的には、図１５（Ａ）及び図１５（Ｂ）に示されるドレッシング工具５１は、第１ドレッシング部と第２ドレッシング部とが離隔されている点で図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示されるドレッシング工具２１と異なる。

具体的には、このドレッシング工具５１は、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示される支持プレート２３と同様の形状を有し、また、同様の材料からなる支持プレート５３を有する。この支持プレート５３の上面には、研削砥石５８の下面（研削面）のドレッシングに利用される第１ドレッシング部５５と、その外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部５７とが固定されている。

第１ドレッシング部５５は、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示される第１ドレッシング部２５と同様の形状を有し、また、同様の材料からなる。第２ドレッシング部５７は、その外径が支持プレート５３の直径よりも短く、かつ、その内径が第１ドレッシング部５５よりも長い円筒状の形状を有し、第１ドレッシング部５５を囲むように設けられている。すなわち、ドレッシング工具５１においては、第２ドレッシング部５７の外周端部が第１ドレッシング部５５の外周端部よりも外側にある。

また、第１ドレッシング部５５の上面は、第２ドレッシング部５７の上面よりも高い位置にある。さらに、第１ドレッシング部５５及び第２ドレッシング部５７は、第１ドレッシング部５５の外周並びに第２ドレッシング部５７の内周及び外周のそれぞれが、平面視において、支持プレート５３の外周と同心円状になるように設けられている。さらに、第２ドレッシング部５７は、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示される第２ドレッシング部７と同様の材料からなる。

このドレッシング工具５１においては、研削砥石５８の外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部５７が、その下面（研削面）のドレッシングに利用される第１ドレッシング部５５と比較して、上面が低く、かつ、外周端部が外側に位置付けられるように設けられている。そのため、このドレッシング工具５１を利用することによって、研削砥石５８の下面及び外側面の双方のドレッシングを異時に行うことが可能になる。

その他、上述した実施形態にかかる構造及び方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１ ：ドレッシング工具
２ ：研削装置
３ ：支持プレート
４ ：基台
５ ：第１ドレッシング部
６ ：ガイドレール
７ ：第２ドレッシング部
８ ：移動プレート
１０ ：ねじ軸
１１ ：ドレッシング工具
１２ ：パルスモータ
１３ ：支持プレート（１３ａ：本体部、１３ｂ：凸部）
１４ ：ナット部
１５ ：第１ドレッシング部
１６ ：チャックテーブル
１７ ：第２ドレッシング部
１８ ：枠体
２０ ：ポーラス板
２１ ：ドレッシング工具
２２ ：回転駆動源
２３ ：支持プレート
２４ ：ベアリング
２５ ：第１ドレッシング部
２６ ：支持板
２７ ：第２ドレッシング部
２８ａ：固定支持機構
２８ｂ：第１可動支持機構
２８ｃ：第２可動支持機構
３０ ：壁部
３１ ：ドレッシング工具
３２ ：ガイドレール
３３ ：支持プレート（３３ａ：本体部、３３ｂ：凸部）
３４ ：移動プレート
３５ ：第１ドレッシング部
３６ ：ねじ軸
３７ ：第２ドレッシング部
３８ ：パルスモータ
４０ ：ナット部
４１ ：ドレッシング工具
４２ ：固定部
４３ ：支持プレート
４４ ：研削ユニット
４５ ：第１ドレッシング部
４６ ：スピンドルハウジング
４７ ：第２ドレッシング部
４８ ：スピンドル
５０ ：マウント
５１ ：ドレッシング工具
５２ ：研削ホイール
５３ ：支持プレート
５４ ：ホイール基台
５５ ：第１ドレッシング部
５６ ：ねじ穴
５７ ：第２ドレッシング部
５８ ：研削砥石

Claims (6)

1. 研削ホイールに含まれる研削砥石のドレッシングに利用されるドレッシング工具であって、
   第１ドレッシング部と、
   第２ドレッシング部と、
   該第１ドレッシング部と該第２ドレッシング部とが上面に固定された支持プレートと、を備え、
   該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部の一方は、該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部の他方と比較して、上面が低く、かつ、外周端部が外側に位置付けられるように設けられ、
   該支持プレートは、該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部のそれぞれと比較して、外周端部が外側に位置付けられるように設けられ、
   該支持プレートは、円板状の本体部と、該本体部の上面から突出し、かつ、該本体部よりも直径が小さい円板状の凸部と、を含み、
   該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部の他方は、該凸部の上面に固定され、
   該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部の一方は、該本体部の該上面に固定されているドレッシング工具。
2. 研削ホイールに含まれる研削砥石のドレッシングに利用されるドレッシング工具であって、
   該研削砥石の下面のドレッシングに利用される第１ドレッシング部と、
   該研削砥石の外側面のドレッシングに利用される第２ドレッシング部と、
   該第１ドレッシング部と該第２ドレッシング部とが上面に固定された支持プレートと、を備え、
   該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部の一方は、該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部の他方と比較して、上面が低く、かつ、外周端部が外側に位置付けられるように設けられ、
   該支持プレートは、該第１ドレッシング部及び該第２ドレッシング部のそれぞれと比較して、外周端部が外側に位置付けられるように設けられている該ドレッシング工具を利用して該研削ホイールに含まれる該研削砥石をドレッシングするドレッシング方法であって、
   保持面の中心を通る直線を回転軸として回転可能なチャックテーブルの該保持面において該ドレッシング工具を保持する保持ステップと、
   第１方向に沿って延在するスピンドルの先端部に該研削ホイールを装着する装着ステップと、
   該保持ステップ及び該装着ステップの後に、回転する該研削砥石の軌跡と該第１ドレッシング部とが該第１方向において重なった状態で、該スピンドルと該チャックテーブルとを回転させながら、該研削砥石の該下面と該第１ドレッシング部の該上面とを接触させるように該研削ホイールと該チャックテーブルとを該第１方向に沿って接近させることによって、該研削砥石の該下面をドレッシングする下面ドレッシングステップと、
   該保持ステップ及び該装着ステップの後に、該研削砥石と該第２ドレッシング部とが該第１方向と直交する第２方向において重なった状態で、少なくとも該研削ホイールを回転させながら、該研削砥石の該外側面と該第２ドレッシング部の側面とを接触させるように該研削ホイールと該チャックテーブルとを該第２方向に沿って接近させることによって、該研削砥石の該外側面をドレッシングする外側面ドレッシングステップと、
   を備えるドレッシング方法。
3. 該第２ドレッシング部の上面は、該第１ドレッシング部の上面よりも高い位置にあり、
   該第１ドレッシング部の外周端部は、該第２ドレッシング部の外周端部よりも外側にある請求項２に記載のドレッシング方法。
4. 該支持プレートは、円板状の本体部と、該本体部の上面から突出し、かつ、該本体部よりも直径が小さい円板状の凸部と、を含み、
   該第２ドレッシング部は、該凸部の上面に固定され、
   該第１ドレッシング部は、該本体部の該上面に固定されている請求項３に記載のドレッシング方法。
5. 該第１ドレッシング部の上面は、該第２ドレッシング部の上面よりも高い位置にあり、
   該第２ドレッシング部の外周端部は、該第１ドレッシング部の外周端部よりも外側にある請求項２に記載のドレッシング方法。
6. 該支持プレートは、円板状の本体部と、該本体部の上面から突出し、かつ、該本体部よりも直径が小さい円板状の凸部と、を含み、
   該第１ドレッシング部は、該凸部の上面に固定され、
   該第２ドレッシング部は、該本体部の該上面に固定されている請求項５に記載のドレッシング方法。