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JP7807982B2 - Optical non-contact speedometer calibration system and optical non-contact speedometer calibration method - Google Patents
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JP7807982B2 - Optical non-contact speedometer calibration system and optical non-contact speedometer calibration method - Google Patents

Optical non-contact speedometer calibration system and optical non-contact speedometer calibration method

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JP7807982B2 JP2022079887A JP2022079887A JP7807982B2 JP 7807982 B2 JP7807982 B2 JP 7807982B2 JP 2022079887 A JP2022079887 A JP 2022079887A JP 2022079887 A JP2022079887 A JP 2022079887A JP 7807982 B2 JP7807982 B2 JP 7807982B2
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Description

本発明は、光学式非接触速度計の校正システム及び光学式非接触速度計の校正方法に関する。 The present invention relates to a calibration system for an optical non-contact speedometer and a calibration method for an optical non-contact speedometer.

非接触速度計は測定対象の速度を非接触で測定可能であり、例えばフィルムや不織布のようなシートの搬送速度の測定などに用いられている。非接触速度計の精度を維持するために、非接触速度計を校正する方法が提案されている。 Non-contact speedometers can measure the speed of an object without contact, and are used, for example, to measure the conveying speed of sheets such as film or nonwoven fabric. In order to maintain the accuracy of non-contact speedometers, methods for calibrating them have been proposed.

特開平8-304452号公報は、既知の長さの測定対象材を設置し、移動装置により非接触速度計を任意の速度で測定対象材に対して平行移動させて、非接触速度計で測定対象材に対する相対速度を測定し、非接触速度計が測定した速度から測定対象材の測定長さを算出し、測定長さと測定対象材の既知の長さを比較することで、非接触速度計を校正することを記載している。 JP 8-304452 A describes a method of calibrating a non-contact speedometer by placing a measurement target of known length, using a moving device to move a non-contact speedometer parallel to the measurement target at a given speed, measuring the relative speed of the measurement target with respect to the measurement target, calculating the measurement length of the measurement target from the speed measured by the non-contact speedometer, and comparing the measured length with the known length of the measurement target.

特開平9-113526号公報は、既知の長さの無端ベルトを一対のプーリー間に架設し、無端ベルトの回転数と既知の長さから無端ベルトの基準速度を算出し、かつ、非接触速度計で無端ベルトの速度を測定し、非接触速度計で測定した速度と基準速度を比較することで、非接触速度計を校正することを記載している。 JP 9-113526 A describes a method of calibrating a non-contact speedometer by placing an endless belt of a known length between a pair of pulleys, calculating the reference speed of the endless belt from the rotation speed and known length of the endless belt, measuring the speed of the endless belt with a non-contact speedometer, and comparing the speed measured by the non-contact speedometer with the reference speed.

特開2017-173216号公報は、移動する定盤からの散乱光を非接触速度計で検出してビート信号の周期を算出し、定盤の移動距離をビート信号の周期で除した値を、非接触速度計が測定領域に形成する干渉縞の間隔として算出して、非接触速度計を校正することを記載している。 JP 2017-173216 A describes a method of calibrating a non-contact velocimeter by detecting scattered light from a moving surface plate using a non-contact velocimeter to calculate the period of the beat signal, and then dividing the moving distance of the surface plate by the period of the beat signal to calculate the spacing between the interference fringes formed in the measurement area by the non-contact velocimeter.

特開平8-304452号公報Japanese Patent Application Publication No. 8-304452 特開平9-113526号公報Japanese Patent Application Publication No. 9-113526 特開2017-173216号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2017-173216

従来の非接触速度計の校正方法では、既知の長さの基準測定対象を用いるが、校正の際には、速度から長さを算出する際に、正確な測定時間を計測あるいは設定する必要があり得る。そこで、本発明は、既知の長さの基準測定対象を必要としない光学式非接触速度計の校正システム及び光学式非接触速度計の校正方法を提供することを目的の一つとする。 Conventional methods for calibrating non-contact speedometers use a reference measurement object of known length, but during calibration, it may be necessary to measure or set an accurate measurement time when calculating length from speed. Therefore, one of the objects of the present invention is to provide a calibration system and a calibration method for an optical non-contact speedometer that do not require a reference measurement object of known length.

本発明の態様に係る光学式非接触速度計の校正システムは、校正対象の光学式非接触速度計が発する検査光に対して透明な配管と、配管に流体を供給する流体供給装置と、配管を流れる流体の速度を参照速度として計測する、配管に設けられた流速センサと、光学式非接触速度計が計測した流体の計測速度と、参照速度とに基づき、光学式非接触速度計の計測速度を校正するための校正信号を生成するための校正信号生成部と、を備える。 A calibration system for an optical non-contact speedometer according to one aspect of the present invention includes a pipe that is transparent to the inspection light emitted by the optical non-contact speedometer to be calibrated, a fluid supply device that supplies fluid to the pipe, a flow velocity sensor provided in the pipe that measures the speed of the fluid flowing through the pipe as a reference speed, and a calibration signal generation unit that generates a calibration signal for calibrating the measured speed of the optical non-contact speedometer based on the measured speed of the fluid measured by the optical non-contact speedometer and the reference speed.

上記の光学式非接触速度計の校正システムが、光学式非接触速度計を保持する保持部をさらに備えていてもよい。 The above-mentioned optical non-contact speedometer calibration system may further include a holder for holding the optical non-contact speedometer.

上記の光学式非接触速度計の校正システムにおいて、保持部が、流速センサに対向する位置に検査光が照射されるよう、光学式非接触速度計を保持してもよい。 In the above-mentioned optical non-contact speed meter calibration system, the holding unit may hold the optical non-contact speed meter so that the test light is irradiated at a position facing the flow velocity sensor.

上記の光学式非接触速度計の校正システムにおいて、流体供給装置が、複数の異なる供給速度で、配管に流体を供給してもよい。 In the above-mentioned optical non-contact speed meter calibration system, the fluid supply device may supply fluid to the pipe at a plurality of different supply speeds.

上記の光学式非接触速度計の校正システムが、配管の温度を制御する温度制御装置をさらに備えていてもよい。 The above-mentioned optical non-contact speed meter calibration system may further include a temperature control device that controls the temperature of the piping.

上記の光学式非接触速度計の校正システムが、光学式非接触速度計に校正信号を送信するための校正信号送信部をさらに備えていてもよい。 The above-mentioned optical non-contact speedometer calibration system may further include a calibration signal transmission unit for transmitting a calibration signal to the optical non-contact speedometer.

上記の光学式非接触速度計の校正システムにおいて、校正信号が、計測速度を、参照速度に近づけるよう、構成されていてもよい。 In the above-mentioned optical non-contact speed meter calibration system, the calibration signal may be configured to bring the measured speed closer to the reference speed.

上記の光学式非接触速度計の校正システムにおいて、配管及び流体供給装置が、配管における流体の流れが層流になるよう構成されていてもよい。 In the above-mentioned optical non-contact speed meter calibration system, the piping and fluid supply device may be configured so that the fluid flow in the piping is laminar.

本発明の態様に係る光学式非接触速度計の校正方法は、校正対象の光学式非接触速度計が発する検査光に対して透明な配管に流体を供給することと、光学式非接触速度計で、配管を流れる流体の速度を計測速度として計測することと、配管に設けられた流速センサで、配管を流れる流体の速度を参照速度として計測することと、計測速度と、参照速度とに基づき、計測速度を校正するための校正信号を生成することと、を含む。 A method for calibrating an optical non-contact velocimeter according to one aspect of the present invention includes supplying a fluid to a pipe that is transparent to the test light emitted by the optical non-contact velocimeter to be calibrated; measuring the velocity of the fluid flowing through the pipe as a measurement velocity using the optical non-contact velocimeter; measuring the velocity of the fluid flowing through the pipe as a reference velocity using a flow velocity sensor provided in the pipe; and generating a calibration signal for calibrating the measurement velocity based on the measurement velocity and the reference velocity.

上記の光学式非接触速度計の校正方法が、流速センサに対向する位置に検査光が照射されるよう、光学式非接触速度計を配置することをさらに含んでいてもよい。 The above-mentioned method for calibrating an optical non-contact velocimeter may further include positioning the optical non-contact velocimeter so that the test light is irradiated at a position opposite the flow velocity sensor.

上記の光学式非接触速度計の校正方法において、複数の異なる供給速度で、配管に流体を供給してもよい。 In the above-mentioned method for calibrating an optical non-contact velocity meter, fluid may be supplied to the pipe at multiple different supply speeds.

上記の光学式非接触速度計の校正方法が、配管の温度を制御することをさらに含んでいてもよい。 The above-mentioned method for calibrating an optical non-contact velocity meter may further include controlling the temperature of the pipe.

上記の光学式非接触速度計の校正方法が、非接触速度計に校正信号を送信することをさらに含んでいてもよい。 The above-mentioned method for calibrating an optical non-contact speedometer may further include transmitting a calibration signal to the non-contact speedometer.

上記の光学式非接触速度計の校正方法において、校正信号が、計測速度を、参照速度に近づけるよう、構成されていてもよい。 In the above-mentioned method for calibrating an optical non-contact speed meter, the calibration signal may be configured to bring the measured speed closer to the reference speed.

上記の光学式非接触速度計の校正方法において、配管における流体の流れが層流になるよう、配管に流体を流してもよい。 In the above-mentioned method for calibrating an optical non-contact velocimeter, the fluid may be flowed through the pipe so that the flow of the fluid in the pipe is laminar.

本発明によれば、既知の長さの基準測定対象を必要としない光学式非接触速度計の校正システム及び光学式非接触速度計の校正方法を提供することができる。 The present invention provides a calibration system and a calibration method for an optical non-contact speed meter that do not require a reference measurement object of known length.

図1は、実施形態に係る光学式非接触速度計の校正システムを示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a calibration system for an optical non-contact speed meter according to an embodiment. 図2は、実施形態に係る流速センサの模式的斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view of the flow velocity sensor according to the embodiment. 図3は、実施形態に係る流速センサの模式的断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the flow velocity sensor according to the embodiment. 図4は、実施形態に係る光学式非接触速度計を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing an optical non-contact speed meter according to an embodiment. 図5は、実施形態に係る光学式非接触速度計を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing an optical non-contact speed meter according to an embodiment. 図6は、実施形態に係る光学式非接触速度計を示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing an optical non-contact speed meter according to an embodiment. 図7は、実施形態に係る参照速度と計測速度との関係を示す模式的なグラフである。FIG. 7 is a schematic graph showing the relationship between the reference speed and the measured speed according to the embodiment. 図8は、実施形態に係る参照速度と計測速度との関係を示す模式的なグラフである。FIG. 8 is a schematic graph showing the relationship between the reference speed and the measured speed according to the embodiment. 図9は、実施形態に係る光学式非接触速度計の校正方法のフローチャートである。FIG. 9 is a flowchart of a method for calibrating an optical non-contact speed meter according to an embodiment. 図10は、実施形態に係る光学式非接触速度計の校正システムを示す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram showing a calibration system for an optical non-contact speed meter according to an embodiment. 図11は、実施形態に係る光学式非接触速度計の校正システムを示す模式図である。FIG. 11 is a schematic diagram showing a calibration system for an optical non-contact speed meter according to an embodiment.

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。ただし、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description of the drawings, identical or similar parts are represented by identical or similar reference numerals. However, the drawings are schematic. Therefore, specific dimensions, etc. should be determined in reference to the following description. Naturally, there are also parts in which the dimensional relationships and ratios differ between the drawings.

実施形態に係る光学式非接触速度計の校正システムは、図1に示すように、校正対象の光学式非接触速度計10が発する検査光に対して透明な配管20と、配管20に流体を供給する流体供給装置30と、配管20を流れる流体の速度を参照速度として計測する、配管20に設けられた流速センサ40と、光学式非接触速度計10が計測した流体の計測速度と、参照速度とに基づき、光学式非接触速度計10の計測速度を校正するための校正信号を生成するための校正信号生成部301と、を備える。 As shown in FIG. 1, the calibration system for an optical non-contact speed meter according to the embodiment includes a pipe 20 that is transparent to the inspection light emitted by the optical non-contact speed meter 10 to be calibrated, a fluid supply device 30 that supplies fluid to the pipe 20, a flow velocity sensor 40 provided in the pipe 20 that measures the velocity of the fluid flowing through the pipe 20 as a reference velocity, and a calibration signal generation unit 301 that generates a calibration signal for calibrating the measured velocity of the optical non-contact speed meter 10 based on the measured velocity of the fluid measured by the optical non-contact speed meter 10 and the reference velocity.

流体は液体であっても気体であってもよい。流体は、例えば、検査光を散乱させる特性、検査光を反射する特性、検査光を回折させる特性、及び検査光の透過特性に変調を与える特性の少なくともいずれかを有する。流体は、検査光を散乱させる物質、検査光を反射する物質、検査光を回折させる物質、及び検査光を吸収する物質の少なくともいずれかを含んでいてもよい。物質の検査光を散乱させる特性、物質の検査光を反射する特性、物質の検査光を回折させる特性、又は物質の検査光を吸収する特性は、検査光の波長に応じて選択されてもよい。物体は、粒子を構成していてもよい。液体の例としては、水、塩水、及び油が挙げられるが、特に限定されない。 The fluid may be a liquid or a gas. For example, the fluid has at least one of the following properties: scattering the inspection light, reflecting the inspection light, diffracting the inspection light, and modulating the transmission characteristics of the inspection light. The fluid may contain at least one of a substance that scatters the inspection light, reflects the inspection light, diffracts the inspection light, and absorbs the inspection light. The property of the substance that scatters the inspection light, reflects the inspection light, diffracts the inspection light, or absorbs the inspection light may be selected depending on the wavelength of the inspection light. The object may be composed of particles. Examples of liquids include, but are not limited to, water, salt water, and oil.

流体供給装置30は、例えば、流体を収容する容器31、容器31と配管20を接続する流路32、流路32に設けられた流量制御機械33を備える。容器31内の流体は、重力を利用して、流路32を介して配管20に一方向に送られ得る。あるいは、容器31内の流体は、ポンプ等の流体機械を用いて、流路32を介して配管20に送られ得る。またあるいは、容器31内の流体は、容器31内に加えられる圧力によって、流路32を介して配管20に送られ得る。流量制御機械33は、配管20に供給される流体の流量を制御する。流量制御機械33としては、バルブ、及びフローコントローラ―が使用可能である。流体の流量は、配管20の口径に基づいて設定してもよい。流体供給装置30は、複数の異なる供給速度で、配管20に流体を供給してもよい。流体供給装置30は、圧力変動を吸収するダンパーをさらに備えていてもよい。 The fluid supply device 30 includes, for example, a container 31 that stores a fluid, a flow path 32 that connects the container 31 to the pipe 20, and a flow control device 33 provided in the flow path 32. The fluid in the container 31 can be sent unidirectionally to the pipe 20 via the flow path 32 using gravity. Alternatively, the fluid in the container 31 can be sent to the pipe 20 via the flow path 32 using a fluid machine such as a pump. Still alternatively, the fluid in the container 31 can be sent to the pipe 20 via the flow path 32 by pressure applied to the container 31. The flow control device 33 controls the flow rate of the fluid supplied to the pipe 20. A valve or a flow controller can be used as the flow control device 33. The fluid flow rate may be set based on the diameter of the pipe 20. The fluid supply device 30 may supply the fluid to the pipe 20 at a plurality of different supply speeds. The fluid supply device 30 may further include a damper that absorbs pressure fluctuations.

配管20は、少なくとも光学式非接触速度計10が発する検査光が照射される部分が検査光に対して透明であればよい。配管20は、流体に乱流が生じないように構成されることが好ましい。配管20及び流体供給装置30の少なくともいずれかは、配管20における流体の流れが層流になるよう構成されていることが好ましい。配管20は、例えば直管であり、所定の長さを有する。流速センサ40は、例えば、配管20の側面に設けられる。流速センサ40は、例えば、配管20の外側面に当接している。流速センサ40が設けられた配管20の内側面の近傍に凹凸がないことが好ましい。流速センサ40は、配管20を流れる流体の速度を計測可能であれば、特に限定されない。流速センサ40の例としては、熱式流速センサ、超音波流速センサ、及び電磁式流速センサが挙げられる。流体の種類に応じて、流速センサ40の種類を選択してもよい。流速センサ40は、光学式非接触速度計10とは異なる種類の速度計であることが好ましい。例えば、流速センサ40は、非光学式流速センサである。 At least the portion of the pipe 20 that is irradiated with the inspection light emitted by the optical non-contact speed meter 10 must be transparent to the inspection light. The pipe 20 is preferably configured to prevent turbulence in the fluid. At least one of the pipe 20 and the fluid supply device 30 is preferably configured to ensure laminar fluid flow in the pipe 20. The pipe 20 is, for example, a straight pipe having a predetermined length. The flow velocity sensor 40 is, for example, provided on the side of the pipe 20. The flow velocity sensor 40 abuts, for example, the outer surface of the pipe 20. It is preferable that there are no irregularities near the inner surface of the pipe 20 where the flow velocity sensor 40 is provided. The flow velocity sensor 40 is not particularly limited as long as it can measure the speed of the fluid flowing through the pipe 20. Examples of flow velocity sensors 40 include thermal flow velocity sensors, ultrasonic flow velocity sensors, and electromagnetic flow velocity sensors. The type of flow velocity sensor 40 may be selected depending on the type of fluid. It is preferable that the flow velocity sensor 40 is a different type of speed meter from the optical non-contact speed meter 10. For example, the flow velocity sensor 40 is a non-optical flow velocity sensor.

熱式流速センサの例として、マイクロフローセンサが挙げられる。マイクロフローセンサは、例えば、図2及び図3に示すように、キャビティ46が設けられた基板41、基板41上にキャビティ46を覆うように配置された絶縁膜45、絶縁膜45に設けられたヒータ42、ヒータ42より上流側に設けられた上流側測温抵抗素子43、及びヒータ42より下流側に設けられた下流側測温抵抗素子44を備える。 An example of a thermal flow sensor is a microflow sensor. As shown in Figures 2 and 3, the microflow sensor includes a substrate 41 having a cavity 46, an insulating film 45 arranged on the substrate 41 to cover the cavity 46, a heater 42 provided on the insulating film 45, an upstream temperature-measuring resistor 43 provided upstream of the heater 42, and a downstream temperature-measuring resistor 44 provided downstream of the heater 42.

絶縁膜45のキャビティ46を覆う部分は、断熱性のダイヤフラムを構成している。ヒータ42は、キャビティ46を覆う絶縁膜45の中心に配置されており、配管20を流れる流体を加熱する。上流側測温抵抗素子43はヒータ42より上流側の流体の温度を検出するために用いられ、下流側測温抵抗素子44はヒータ42より下流側の流体の温度を検出するために用いられる。 The portion of the insulating film 45 that covers the cavity 46 forms an insulating diaphragm. The heater 42 is positioned at the center of the insulating film 45 that covers the cavity 46, and heats the fluid flowing through the pipe 20. The upstream resistance temperature element 43 is used to detect the temperature of the fluid upstream of the heater 42, and the downstream resistance temperature element 44 is used to detect the temperature of the fluid downstream of the heater 42.

配管20内の流体が静止している場合、ヒータ42で加えられた熱は、上流方向と下流方向へ対称的に拡散する。したがって、上流側測温抵抗素子43及び下流側測温抵抗素子44の温度は等しくなり、上流側測温抵抗素子43及び下流側測温抵抗素子44の電気抵抗は等しくなる。これに対し、配管20内の流体が上流から下流に流れている場合、ヒータ42が発した熱は、下流方向に運ばれる。したがって、上流側測温抵抗素子43の温度よりも、下流側測温抵抗素子44の温度が高くなる。そのため、上流側測温抵抗素子43の電気抵抗と下流側測温抵抗素子44の電気抵抗との間に差が生じる。下流側測温抵抗素子44の電気抵抗と上流側測温抵抗素子43の電気抵抗の差は、配管20内の流体の速度や流量と相関関係がある。そのため、下流側測温抵抗素子44の電気抵抗と上流側測温抵抗素子43の電気抵抗の差から、配管20内を流れる流体の速度や流量を算出可能である。 When the fluid in the pipe 20 is stationary, the heat applied by the heater 42 diffuses symmetrically in the upstream and downstream directions. Therefore, the temperatures of the upstream and downstream temperature measuring elements 43 and 44 are equal, and the electrical resistances of the upstream and downstream temperature measuring elements 43 and 44 are equal. In contrast, when the fluid in the pipe 20 is flowing from upstream to downstream, the heat generated by the heater 42 is carried downstream. Therefore, the temperature of the downstream temperature measuring element 44 is higher than the temperature of the upstream temperature measuring element 43. As a result, a difference occurs between the electrical resistance of the upstream temperature measuring element 43 and the electrical resistance of the downstream temperature measuring element 44. The difference in the electrical resistance of the downstream temperature measuring element 44 and the upstream temperature measuring element 43 is correlated with the speed and flow rate of the fluid in the pipe 20. Therefore, the velocity and flow rate of the fluid flowing through the pipe 20 can be calculated from the difference between the electrical resistance of the downstream temperature measuring resistor 44 and the electrical resistance of the upstream temperature measuring resistor 43.

図1に示す流速センサ40が超音波式流速センサである場合、超音波式流速センサは、例えば、配管20の側面に当接する超音波発振子を備え、流体の移動による超音波周波数の変化を利用して流体の流速を計測する。流速センサ40が電磁式流速センサである場合、電磁式流速センサは、流体の移動による電磁誘導の変化を利用して流体の流速を計測する。 If the flow velocity sensor 40 shown in FIG. 1 is an ultrasonic flow velocity sensor, the ultrasonic flow velocity sensor has, for example, an ultrasonic oscillator that abuts against the side of the pipe 20, and measures the flow velocity of the fluid using changes in ultrasonic frequency due to the movement of the fluid. If the flow velocity sensor 40 is an electromagnetic flow velocity sensor, the electromagnetic flow velocity sensor measures the flow velocity of the fluid using changes in electromagnetic induction due to the movement of the fluid.

光学式非接触速度計10は、配管20内の流体に検査光を照射し、少なくとも流体からの反射光に基づき、流体の速度を算出する。 The optical non-contact velocimeter 10 irradiates the fluid in the pipe 20 with inspection light and calculates the velocity of the fluid based at least on the light reflected from the fluid.

光学式非接触速度計10は、レーザードップラー式速度計であってもよい。光学式非接触速度計10がレーザードップラー式速度計である場合、光学式非接触速度計10は、図4に示すように、レーザー光を発する光源201を備える。レーザー光は、コリメートレンズ202を経て、ハーフミラー203で二分割される。分割された一方のレーザー光は、ミラー204で反射され、二つのレーザー光は、それぞれ、入射角θで配管20に入射し、干渉する。配管20内で生じた散乱光又は反射光は、集光レンズ205で集光され、受光素子206で受光される。 The optical non-contact speedometer 10 may be a laser Doppler speedometer. When the optical non-contact speedometer 10 is a laser Doppler speedometer, the optical non-contact speedometer 10 includes a light source 201 that emits laser light, as shown in FIG. 4. The laser light passes through a collimating lens 202 and is split into two beams by a half mirror 203. One of the split laser beams is reflected by a mirror 204, and the two laser beams enter the pipe 20 at an incident angle θ and interfere with each other. The scattered light or reflected light generated within the pipe 20 is collected by a collecting lens 205 and received by a light-receiving element 206.

受光素子206から得られるドップラー信号の周波数Fと、流体の速度Vと、レーザー光の波長λと、レーザー光の入射角θと、の関係は、下記(1)式で与えられる。
F=(2V/λ)sinθ (1)
レーザー光の波長λと、レーザー光の入射角θと、は、予め取得可能である。ドップラー信号の周波数Fは、受光素子206で受光した光の時間変化をフーリエ変換することにより取得可能である。そのため、ドップラー信号の周波数Fを取得することにより、光学式非接触速度計10は、流体の速度Vを算出する。
The relationship between the frequency F of the Doppler signal obtained from the light receiving element 206, the velocity V of the fluid, the wavelength λ of the laser light, and the incident angle θ of the laser light is given by the following equation (1).
F=(2V/λ)sinθ (1)
The wavelength λ of the laser light and the incident angle θ of the laser light can be obtained in advance. The frequency F of the Doppler signal can be obtained by performing a Fourier transform on the time change of the light received by the light receiving element 206. Therefore, by obtaining the frequency F of the Doppler signal, the optical non-contact velocimeter 10 calculates the velocity V of the fluid.

光学式非接触速度計10は、自己結合式速度計であってもよい。光学式非接触速度計10が自己結合式速度計である場合、光学式非接触速度計10は、図5に示すように、レーザー光を発する光源211を備える。レーザー光は配管20に入射する。配管20内で生じた散乱光又は反射光は、照射光と同じ光路を逆に進む。光源211内の光共振器に再侵入する戻り光は、光共振器において生成されたレーザー光と干渉する。この干渉は、光共振器の中で自己結合効果が起きることを意味する。自己結合により生じた干渉波形を受光素子212で検出する。干渉波形の周期に基づき、光学式非接触速度計10は、流体の速度を算出する。 The optical non-contact velocimeter 10 may be a self-coupling velocimeter. When the optical non-contact velocimeter 10 is a self-coupling velocimeter, it includes a light source 211 that emits laser light, as shown in FIG. 5 . The laser light is incident on the pipe 20. Scattered or reflected light generated within the pipe 20 travels along the same optical path as the irradiated light, but in the reverse direction. The returning light that re-enters the optical resonator within the light source 211 interferes with the laser light generated in the optical resonator. This interference means that a self-coupling effect occurs within the optical resonator. The interference waveform generated by the self-coupling is detected by the light-receiving element 212. Based on the period of the interference waveform, the optical non-contact velocimeter 10 calculates the velocity of the fluid.

光学式非接触速度計10は、空間フィルタ式速度計であってもよい。光学式非接触速度計10が空間フィルタ式速度計である場合、光学式非接触速度計10は、図6に示すように、光を発する光源221を備える。光源221はレーザー光源であってもよいし、LEDであってもよい。配管20内の流体は、集光された光で、光学式非接触速度計10の受光光学系に対して暗視野照明となるよう、斜め方向から照射される。配管20内で生じた散乱光又は反射光は、集光レンズ222で集光され、周期的な透過率分布を有する格子223上に、流体の像を形成する。 The optical non-contact speedometer 10 may be a spatial filter speedometer. When the optical non-contact speedometer 10 is a spatial filter speedometer, the optical non-contact speedometer 10 includes a light source 221 that emits light, as shown in FIG. 6. The light source 221 may be a laser light source or an LED. The fluid in the pipe 20 is irradiated with concentrated light from an oblique direction so as to provide dark-field illumination for the light-receiving optical system of the optical non-contact speedometer 10. The scattered or reflected light generated in the pipe 20 is concentrated by a focusing lens 222, and an image of the fluid is formed on a grating 223 having a periodic transmittance distribution.

受光光学系の倍率をM、流体の速度をVとすると、格子223上の像は速度MVで移動する。格子223からの透過光を、受光素子224で受光する。受光素子224が受光する透過光の信号の周期Fは、格子223の間隔をpとすると、下記(2)式で与えられる。
F=MV/p (2)
受光光学系の倍率M、格子223の間隔pと、は予め取得可能であるため、周波数Fを測定することにより、光学式非接触速度計10は、流体の速度Vを算出する。
If the magnification of the light-receiving optical system is M and the velocity of the fluid is V, the image on the grating 223 moves at a velocity MV. Light transmitted through the grating 223 is received by the light-receiving element 224. The period F of the signal of the transmitted light received by the light-receiving element 224 is given by the following equation (2), where p is the spacing between the gratings 223.
F=MV/p (2)
The magnification M of the light receiving optical system and the spacing p of the grating 223 can be obtained in advance, so by measuring the frequency F, the optical non-contact velocimeter 10 calculates the velocity V of the fluid.

図1に示す光学式非接触速度計10の応答速度と流速センサ40の応答速度が一致するように、光学式非接触速度計10及び流速センサ40の少なくともいずれかの応答速度を調整してもよい。 The response speed of at least one of the optical non-contact speed meter 10 and the flow velocity sensor 40 shown in Figure 1 may be adjusted so that the response speed of the optical non-contact speed meter 10 and the flow velocity sensor 40 match.

実施形態に係る光学式非接触速度計の校正システムは、光学式非接触速度計10を保持する保持部50をさらに備えていてもよい。保持部50は、例えば、流速センサ40に対向する位置に検査光が照射されるよう、光学式非接触速度計10を保持する。 The calibration system for an optical non-contact speed meter according to the embodiment may further include a holder 50 that holds the optical non-contact speed meter 10. The holder 50 holds the optical non-contact speed meter 10 so that the test light is irradiated at a position facing the flow velocity sensor 40, for example.

校正信号生成部301は、計測速度を、参照速度に近づけるための校正信号を生成する。光学式非接触速度計10は、有線又は無線で、校正信号生成部301に、計測速度を送信する。流速センサ40は、有線又は無線で、校正信号生成部301に、参照速度を送信する。校正信号生成部301は、光学式非接触速度計10から計測速度を受信し、流速センサ40から参照速度を受信する。 The calibration signal generation unit 301 generates a calibration signal to bring the measured speed closer to the reference speed. The optical non-contact speed meter 10 transmits the measured speed to the calibration signal generation unit 301 via a wired or wireless connection. The flow velocity sensor 40 transmits the reference speed to the calibration signal generation unit 301 via a wired or wireless connection. The calibration signal generation unit 301 receives the measured speed from the optical non-contact speed meter 10 and receives the reference speed from the flow velocity sensor 40.

校正信号生成部301は、計測速度と、参照速度と、を比較する。例えば、図7に示すように、計測速度と、参照速度が、同じである場合は、校正信号生成部301は、校正信号を生成しない。図8(a)に示すように、計測速度が、参照速度より速い場合、校正信号生成部301は、計測速度が参照速度と等しくなるよう、計測速度を校正する校正信号を生成する。図8(b)に示すように、計測速度が、参照速度より遅い場合、校正信号生成部301は、計測速度が参照速度と等しくなるよう、計測速度を校正する校正信号を生成する。 The calibration signal generation unit 301 compares the measured speed with the reference speed. For example, as shown in FIG. 7, if the measured speed and the reference speed are the same, the calibration signal generation unit 301 does not generate a calibration signal. As shown in FIG. 8(a), if the measured speed is faster than the reference speed, the calibration signal generation unit 301 generates a calibration signal that calibrates the measured speed so that the measured speed is equal to the reference speed. As shown in FIG. 8(b), if the measured speed is slower than the reference speed, the calibration signal generation unit 301 generates a calibration signal that calibrates the measured speed so that the measured speed is equal to the reference speed.

校正信号は、図1に示す光学式非接触速度計10の計測速度を校正できれば、特に限定されない。例えば、校正信号は、光学式非接触速度計10が算出した計測速度に乗じる係数や式を含んでいてもよい。式は一次式であってもよいし、多項式であってもよい。あるいは、校正信号は、光学式非接触速度計10が計測速度の算出に用いる光学系の感度や電気回路の電気信号の強度及び周波数を校正する信号であってもよい。 The calibration signal is not particularly limited as long as it can calibrate the speed measured by the optical non-contact speed meter 10 shown in FIG. 1. For example, the calibration signal may include a coefficient or formula by which the measured speed calculated by the optical non-contact speed meter 10 is multiplied. The formula may be a linear expression or a polynomial expression. Alternatively, the calibration signal may be a signal that calibrates the sensitivity of the optical system or the strength and frequency of the electrical signal of the electrical circuit used by the optical non-contact speed meter 10 to calculate the measured speed.

実施形態に係る非接触速度計の校正システムは、校正信号生成部301が生成した校正信号を光学式非接触速度計10に送信するための校正信号送信部302をさらに備える。光学式非接触速度計10は、校正信号を受信し、校正信号に基づき、校正された計測速度を算出するよう構成される。 The calibration system for a non-contact speedometer according to the embodiment further includes a calibration signal transmission unit 302 for transmitting the calibration signal generated by the calibration signal generation unit 301 to the optical non-contact speedometer 10. The optical non-contact speedometer 10 is configured to receive the calibration signal and calculate a calibrated measured speed based on the calibration signal.

実施形態に係る非接触速度計の校正システムは、流体供給装置30、光学式非接触速度計10、及び流速センサ40の少なくともいずれかを有線又は無線を介して制御するための制御部303をさらに備えていてもよい。制御部303は、流体供給装置30が配管20の供給する流体の流量及び流速の少なくともいずれかを制御する。制御部303は、光学式非接触速度計10の速度計測の開始と停止を制御する。制御部303は、流速センサ40の速度計測の開始と停止を制御する。 The calibration system for a non-contact speed meter according to the embodiment may further include a control unit 303 for controlling at least one of the fluid supply device 30, the optical non-contact speed meter 10, and the flow velocity sensor 40 via a wired or wireless connection. The control unit 303 controls at least one of the flow rate and flow velocity of the fluid supplied by the fluid supply device 30 to the piping 20. The control unit 303 controls the start and stop of speed measurement by the optical non-contact speed meter 10. The control unit 303 controls the start and stop of speed measurement by the flow velocity sensor 40.

校正信号生成部301、校正信号送信部302、及び制御部303は、例えば、中央演算処理装置(CPU)300に含まれる。 The calibration signal generation unit 301, calibration signal transmission unit 302, and control unit 303 are included in, for example, a central processing unit (CPU) 300.

次に、図9を参照して、実施形態に係る光学式非接触速度計の校正方法を説明する。 Next, with reference to Figure 9, we will explain the calibration method for the optical non-contact speed meter according to this embodiment.

ステップS101で、制御部303の指示により、配管20内の流体が流れていない状態で、光学式非接触速度計10が流体の速度の計測を開始し、光学式非接触速度計10が計測する計測速度をゼロにリセットする。ステップS102で、制御部303の指示により、配管20内の流体が流れていない状態で、流速センサ40が流体の速度の計測を開始し、流速センサ40が計測する参照速度をゼロにリセットする。 In step S101, in response to a command from the control unit 303, the optical non-contact velocimeter 10 begins measuring the velocity of the fluid when no fluid is flowing in the pipe 20, and the measured velocity measured by the optical non-contact velocimeter 10 is reset to zero. In step S102, in response to a command from the control unit 303, in response to a command from the flow velocity sensor 40 when no fluid is flowing in the pipe 20, the flow velocity sensor 40 begins measuring the velocity of the fluid, and the reference velocity measured by the flow velocity sensor 40 is reset to zero.

ステップS103で、制御部303の指示により、流体供給装置30が、配管20に所定の流量で流体を供給する。配管20内の流体の流速が安定する所定の時間が経過した後、ステップS104で、制御部303の指示により、光学式非接触速度計10が流体の速度の計測し、計測速度を校正信号生成部301に送信する。ステップS105で、制御部303の指示により、流速センサ40が流体の速度の計測し、参照速度を校正信号生成部301に送信する。ステップS103とステップS104は、並行して実施されてもよい。 In step S103, the control unit 303 instructs the fluid supply device 30 to supply fluid to the pipe 20 at a predetermined flow rate. After a predetermined time has passed during which the flow rate of the fluid in the pipe 20 has stabilized, in step S104, the control unit 303 instructs the optical non-contact velocimeter 10 to measure the velocity of the fluid and transmit the measured velocity to the calibration signal generation unit 301. In step S105, the control unit 303 instructs the flow velocity sensor 40 to measure the velocity of the fluid and transmit a reference velocity to the calibration signal generation unit 301. Steps S103 and S104 may be performed in parallel.

ステップS106で、制御部303の指示により、流体供給装置30及び流速センサ40が流体の速度の計測を終了する。ステップS107で、校正信号生成部301は、受信した参照速度と計測速度に基づき、校正信号を生成する。ステップS108で、校正信号送信部302は、校正信号生成部301が生成した校正信号を光学式非接触速度計10に送信する。光学式非接触速度計10は、校正信号を受信し、以後、校正された計測速度を算出するよう構成される。 In step S106, the control unit 303 instructs the fluid supply device 30 and flow velocity sensor 40 to end measuring the fluid velocity. In step S107, the calibration signal generation unit 301 generates a calibration signal based on the received reference velocity and measured velocity. In step S108, the calibration signal transmission unit 302 transmits the calibration signal generated by the calibration signal generation unit 301 to the optical non-contact velocity meter 10. The optical non-contact velocity meter 10 is configured to receive the calibration signal and thereafter calculate the calibrated measured velocity.

なお、ステップS103からステップS106を、複数の異なる流体の供給速度で実施してもよい。この場合、複数の異なる流体の供給速度のいずれにおいても、計測速度が参照速度と等しくなるよう、校正信号生成部301は、校正信号を生成する。 Steps S103 to S106 may be performed at multiple different fluid supply speeds. In this case, the calibration signal generation unit 301 generates a calibration signal so that the measured speed is equal to the reference speed at each of the multiple different fluid supply speeds.

上記のように本発明を実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。 Although the present invention has been described above using embodiments, the descriptions and drawings that form part of this disclosure should not be understood as limiting this invention. Various alternative embodiments, examples, and operating techniques will become apparent to those skilled in the art from this disclosure.

例えば、図10に示すように、実施形態に係る光学式非接触速度計の校正システムは、計測速度と参照速度にタイプスタンプを付与する時刻情報提供装置400をさらに備えていてもよい。時刻情報提供装置400は、光学式非接触速度計10及び流速センサ40と有線又は無線を介して通信し、光学式非接触速度計10及び流速センサ40に時刻情報を送信する。時刻情報提供装置400は、光学式非接触速度計10及び流速センサ40と無線接続するためのCPU300のアクセスポイントに接続されていてもよい。 For example, as shown in FIG. 10, the calibration system for an optical non-contact speedometer according to an embodiment may further include a time information providing device 400 that provides timestamps to the measured speed and the reference speed. The time information providing device 400 communicates with the optical non-contact speedometer 10 and the flow velocity sensor 40 via wired or wireless communication, and transmits time information to the optical non-contact speedometer 10 and the flow velocity sensor 40. The time information providing device 400 may be connected to an access point of the CPU 300 for wireless connection with the optical non-contact speedometer 10 and the flow velocity sensor 40.

光学式非接触速度計10は、計測速度を送信する際に、時刻情報に基づき、計測速度にタイムスタンプを付与する。流速センサ40は、参照速度を送信する際に、時刻情報に基づき、参照速度にタイムスタンプを付与する。校正信号生成部301は、タイムスタンプに基づき、同じ時刻に送信された計測速度と参照速度を比較する。これにより、精度の高い校正信号を生成可能である。 When transmitting a measured speed, the optical non-contact speed meter 10 assigns a timestamp to the measured speed based on time information. When transmitting a reference speed, the flow velocity sensor 40 assigns a timestamp to the reference speed based on time information. The calibration signal generator 301 compares the measured speed and reference speed transmitted at the same time based on the timestamp. This makes it possible to generate a highly accurate calibration signal.

また、例えば、図11に示すように、実施形態に係る光学式非接触速度計の校正システムは、配管20の温度を制御する温度制御装置21をさらに備えていてもよい。流体の流速が低い場合、配管20内の温度勾配により、流体に対流が生じる場合がある。温度制御装置21は、配管20の温度が一定になるように、配管20の温度を制御する。 Furthermore, for example, as shown in FIG. 11 , the calibration system for an optical non-contact speed meter according to the embodiment may further include a temperature control device 21 that controls the temperature of the pipe 20. When the fluid flow velocity is low, convection may occur in the fluid due to a temperature gradient within the pipe 20. The temperature control device 21 controls the temperature of the pipe 20 so that the temperature of the pipe 20 remains constant.

このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態等を包含するということを理解すべきである。 As such, it should be understood that the present invention encompasses various embodiments not described herein.

10・・・光学式非接触速度計、20・・・配管、21・・・温度制御装置、30・・・流体供給装置、31・・・容器、32・・・流路、33・・・流量制御機械、40・・・流速センサ、41・・・基板、42・・・ヒータ、43・・・上流側測温抵抗素子、44・・・下流側測温抵抗素子、45・・・絶縁膜、46・・・キャビティ、50・・・保持部、201・・・光源、202・・・コリメートレンズ、203・・・ハーフミラー、204・・・ミラー、205・・・集光レンズ、206・・・受光素子、211・・・光源、212・・・受光素子、221・・・光源、222・・・集光レンズ、223・・・格子、224・・・受光素子、301・・・校正信号生成部、302・・・校正信号送信部、303・・・制御部、400・・・時刻情報提供装置 10: Optical non-contact speedometer, 20: Piping, 21: Temperature control device, 30: Fluid supply device, 31: Container, 32: Flow path, 33: Flow control device, 40: Flow rate sensor, 41: Substrate, 42: Heater, 43: Upstream temperature-sensing resistor, 44: Downstream temperature-sensing resistor, 45: Insulating film, 46: Cavity, 50: Holding unit, 201: Light source, 202: Collimating lens, 203: Half mirror, 204: Mirror, 205: Condenser lens, 206: Light-receiving element, 211: Light source, 212: Light-receiving element, 221: Light source, 222: Condenser lens, 223: Grating, 224: Light-receiving element, 301: Calibration signal generation unit, 302: Calibration signal transmission unit, 303: Control unit, 400: Time information providing device

Claims (7)

校正対象の光学式非接触速度計が発する検査光に対して透明な配管と、
前記配管に流体を供給する流体供給装置と、
前記配管を流れる流体の速度を参照速度として計測する、前記配管に設けられた流速センサと、
前記光学式非接触速度計が計測した前記流体の計測速度と、前記参照速度とに基づき、前記光学式非接触速度計の計測速度を校正するための校正信号を生成するための校正信号生成部と、
前記光学式非接触速度計を保持する保持部と、
を備え、
前記保持部が、前記流速センサに対向する位置に前記検査光が照射されるよう、前記光学式非接触速度計を保持する、
光学式非接触速度計の校正システム。
A pipe that is transparent to the inspection light emitted by the optical non-contact speedometer to be calibrated;
a fluid supply device for supplying a fluid to the piping;
a flow velocity sensor provided in the pipe that measures the velocity of the fluid flowing through the pipe as a reference velocity;
a calibration signal generating unit configured to generate a calibration signal for calibrating the measured velocity of the optical non-contact velocimeter based on the measured velocity of the fluid measured by the optical non-contact velocimeter and the reference velocity;
a holder for holding the optical non-contact speed meter;
Equipped with
the holding unit holds the optical non-contact velocimeter so that the inspection light is irradiated at a position facing the flow velocity sensor.
Optical non-contact speedometer calibration system.
前記流体供給装置が、複数の異なる供給速度で、前記配管に前記流体を供給する、請求項1に記載の光学式非接触速度計の校正システム。 The optical non-contact velocimeter calibration system of claim 1, wherein the fluid supply device supplies the fluid to the piping at a plurality of different supply rates. 前記配管の温度を制御する温度制御装置をさらに備える、請求項1に記載の光学式非接触速度計の校正システム。 The optical non-contact speed meter calibration system of claim 1, further comprising a temperature control device that controls the temperature of the piping. 前記光学式非接触速度計に前記校正信号を送信するための校正信号送信部をさらに備える、請求項1に記載の光学式非接触速度計の校正システム。 The optical non-contact speedometer calibration system of claim 1, further comprising a calibration signal transmission unit for transmitting the calibration signal to the optical non-contact speedometer. 前記校正信号が、前記計測速度を、前記参照速度に近づけるよう、構成されている、請求項1に記載の光学式非接触速度計の校正システム。 The optical non-contact speed meter calibration system of claim 1, wherein the calibration signal is configured to bring the measured speed closer to the reference speed. 前記配管及び前記流体供給装置が、前記配管における前記流体の流れが層流になるよう構成されている、請求項1に記載の光学式非接触速度計の校正システム。 The optical non-contact velocimeter calibration system of claim 1, wherein the piping and the fluid supply device are configured so that the flow of the fluid in the piping is laminar. 校正対象の光学式非接触速度計が発する検査光に対して透明な配管に流体を供給することと、
前記光学式非接触速度計で、前記配管を流れる流体の速度を計測速度として計測することと、
前記配管に設けられた流速センサで、前記配管を流れる流体の速度を参照速度として計測することと、
前記計測速度と、前記参照速度とに基づき、前記計測速度を校正するための校正信号を生成することと、
を含
前記流速センサに対向する位置に前記検査光が照射されるよう、前記光学式非接触速度計を配置する、
光学式非接触速度計の校正方法。
supplying a fluid to a pipe that is transparent to an inspection light emitted by an optical non-contact speed meter to be calibrated;
measuring a velocity of the fluid flowing through the pipe as a measurement velocity using the optical non-contact velocimeter;
measuring a velocity of a fluid flowing through the pipe as a reference velocity with a flow velocity sensor provided in the pipe;
generating a calibration signal for calibrating the measured velocity based on the measured velocity and the reference velocity;
Including ,
The optical non-contact velocimeter is disposed so that the inspection light is irradiated at a position facing the flow velocity sensor.
How to calibrate an optical non-contact speedometer.
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