JP7808637B2 - Information processing method and information processing device - Google Patents
Information processing method and information processing deviceInfo
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Description
本開示は情報処理方法及び情報処理装置に関する。 This disclosure relates to an information processing method and an information processing device.
特許文献１には、試料に存在する欠陥を検出する技術が記載されている。 Patent document 1 describes a technology for detecting defects present in a sample.
試料の特定点の位置を正確に管理することが求められている。 It is necessary to accurately control the position of specific points on the sample.
本開示の目的は、このような問題を解決するためになされたものであり、特定点の位置を高精度で管理することができる情報処理方法及び情報処理装置を提供することである。 The purpose of this disclosure is to solve these problems and to provide an information processing method and information processing device that can manage the position of specific points with high accuracy.
本開示の情報処理方法は、
４つのアライメントマークで区画された領域を有する較正用試料の複数の区画のアライメントマークの座標を取得する取得ステップと、
前記区画ごとの、前記区画に含まれる領域を前記区画のアライメントマークの座標を基準とした座標系に座標変換する係数を算出して、前記区画に対応付けて記録する記録ステップと、
を備える情報処理方法である。
The information processing method of the present disclosure includes:
an acquiring step of acquiring the coordinates of alignment marks of a plurality of sections of a calibration sample having an area defined by four alignment marks;
a recording step of calculating, for each of the sections, a coefficient for converting a region included in the section into a coordinate system based on the coordinates of the alignment mark of the section, and recording the coefficient in association with the section;
The information processing method includes the steps of:
本開示の情報処理方法は、
検査試料内の特定点が、較正用試料における複数の区画のうちのどの区画に属するかを判定する判定ステップと、
属すると判定された区画に対応付けられた前記係数を読み出す読み出しステップと、
前記特定点の座標を、前記係数に基づいて変換する変換ステップと、
をさらに備えてもよい。
The information processing method of the present disclosure includes:
determining which of the plurality of compartments in the calibration sample a particular point in the test sample belongs to;
a reading step of reading the coefficients associated with the partition determined to belong to the partition;
a transformation step of transforming the coordinates of the specific point based on the coefficients;
may further comprise:
本開示の情報処理方法は、
さらに、前記取得ステップでは、前記区画のアライメントマークの座標を、経過時間に基づく関数で補正することで取得してもよい。
The information processing method of the present disclosure includes:
Furthermore, in the obtaining step, the coordinates of the alignment marks of the sections may be obtained by correcting them with a function based on elapsed time.
本開示の情報処理方法は、
さらに、前記取得ステップでは、前記区画のアライメントマークの隣り合う列の座標を、同一の方向に走査して計測してもよい。
The information processing method of the present disclosure includes:
Furthermore, in the obtaining step, the coordinates of adjacent rows of alignment marks in the section may be measured by scanning in the same direction.
本開示の情報処理方法は、
前記変換ステップで求めた変換後の座標を、さらに前記検査試料のグローバルアライメントマークに基づいて変換する第２の変換ステップと、
を備えてもよい。
The information processing method of the present disclosure includes:
a second transformation step of further transforming the transformed coordinates obtained in the transformation step based on a global alignment mark of the inspection sample;
may also be provided.
本開示の情報処理方法は、
前記座標変換は、ヘルマート変換、アフィン変換、またはホモグラフィ変換であってもよい。
The information processing method of the present disclosure includes:
The coordinate transformation may be a Helmert transformation, an affine transformation, or a homography transformation.
本開示の情報処理装置は、
４つのアライメントマークで区画された領域を有する較正用試料の複数の区画のアライメントマークの座標を取得する取得部と、
前記区画ごとの、前記区画に含まれる領域を前記区画のアライメントマークの座標を基準とした座標系に座標変換する係数を算出して、前記区画に対応付けて記録する記録部と、
を備える情報処理装置である。
The information processing device of the present disclosure includes:
an acquisition unit that acquires coordinates of alignment marks of a plurality of sections of a calibration sample having an area defined by four alignment marks;
a recording unit that calculates, for each of the sections, a coefficient for converting a region included in the section into a coordinate system based on the coordinates of the alignment mark of the section, and records the coefficient in association with the section;
The information processing device is provided with:
本開示の情報処理装置は、
検査試料内の特定点が、較正用試料における複数の区画のうちのどの区画に属するかを判定する判定部と、
属すると判定された区画に対応付けられた前記係数を読み出す読み出し部と、
前記特定点の座標を、前記係数に基づいて変換する変換部と、
をさらに備えてもよい。
The information processing device of the present disclosure includes:
a determination unit that determines to which of a plurality of sections in the calibration sample a particular point in the test sample belongs;
a reading unit that reads out the coefficients associated with the partitions that are determined to belong to the image;
a conversion unit that converts the coordinates of the specific point based on the coefficient;
may further comprise:
本開示の情報処理装置は、
さらに、前記取得部では、前記区画のアライメントマークの座標を、経過時間に基づく関数で補正することで取得してもよい。
The information processing device of the present disclosure includes:
Furthermore, the acquisition unit may acquire the coordinates of the alignment marks of the sections by correcting them with a function based on elapsed time.
本開示の情報処理装置は、
さらに、前記取得部では、前記区画のアライメントマークの隣り合う列の座標を同一の方向に走査して計測してもよい。
The information processing device of the present disclosure includes:
Furthermore, the acquisition unit may measure the coordinates of adjacent rows of alignment marks in the section by scanning in the same direction.
本開示の情報処理装置は、
前記変換部で求めた変換後の座標を、さらに前記検査試料のグローバルアライメントマークに基づいて変換する第２の変換部と、
を備えてもよい。
The information processing device of the present disclosure includes:
a second conversion unit that further converts the converted coordinates obtained by the conversion unit based on a global alignment mark of the inspection sample;
may also be provided.
本開示の情報処理装置において、
前記座標変換は、ヘルマート変換、アフィン変換、またはホモグラフィ変換であってもよい。
In the information processing device of the present disclosure,
The coordinate transformation may be a Helmert transformation, an affine transformation, or a homography transformation.
本開示により、特定点の位置を高精度で管理することができる情報処理方法及び情報処理装置を提供できる。 This disclosure provides an information processing method and information processing device that can manage the position of specific points with high accuracy.
実施の形態
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。しかしながら、特許請求の範囲にかかる発明を以下の実施の形態に限定するものではない。また、実施の形態で説明する構成の全てが課題を解決するための手段として必須であるとは限らない。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略、及び簡略化がなされている。各図面において、同一の要素には同一の符号が付されており、必要に応じて重複説明は省略されている。
Embodiments Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the invention according to the claims is not limited to the following embodiments. Furthermore, not all of the configurations described in the embodiments are necessarily essential as means for solving the problems. For clarity of explanation, the following description and drawings have been omitted and simplified as appropriate. In each drawing, the same elements are given the same reference numerals, and repeated explanations are omitted as necessary.
（実施の形態にかかる情報処理装置と情報処理方法の説明）
図１は、実施の形態にかかる情報処理装置の構成を示すブロック図である。図２は、実施の形態にかかる情報処理方法のフローチャートである。図３は、実施の形態にかかるアライメントマーク座標を示す概略図である。図４は、実施の形態にかかるアライメントマーク座標のずれを示す概略図である。図９は、実施の形態にかかる情報処理装置の物理的構成を示すブロック図である。図１から図４及び図９を参照しながら、実施の形態にかかる情報処理装置と情報処理方法を説明する。実施の形態にかかる情報処理装置は、例えばマスクの欠陥を特定するために用いられる。
(Description of Information Processing Apparatus and Information Processing Method According to the Embodiment)
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an information processing device according to an embodiment. FIG. 2 is a flowchart of an information processing method according to an embodiment. FIG. 3 is a schematic diagram showing alignment mark coordinates according to an embodiment. FIG. 4 is a schematic diagram showing deviations of alignment mark coordinates according to an embodiment. FIG. 9 is a block diagram showing a physical configuration of an information processing device according to an embodiment. The information processing device and the information processing method according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 4 and 9. The information processing device according to the embodiment is used, for example, to identify defects in a mask.
ＥＵＶリソグラフィでは、転写性のある位相欠陥の直上に吸収体を配置する手法がとられる。上記手法では、マスク上の４隅に存在するマークを基準として欠陥座標を把握し、位相欠陥座標を把握し、位相欠陥座標と吸収体とをナノメートルオーダで位置合わせを行う。 EUV lithography employs a technique in which an absorber is placed directly above a transferable phase defect. In this technique, the defect coordinates are determined using marks at the four corners of the mask as reference points, the phase defect coordinates are determined, and the phase defect coordinates and the absorber are aligned to the nanometer order.
例えば次のような事情から欠陥の位置を正確に管理することが求められる。すなわち、検査装置ごとの機差などにより、同一試料であっても欠陥を検出した位置として記録される座標位置が微小に異なる場合が想定される。または、第１の装置で欠陥を検出し、第２の装置で当該欠陥を補修する、無効化するなどの工程を取る場合に、互いの装置の機差などの影響により、第１の装置にて欠陥を検出した試料上の位置とは微小に異なる位置を第２の装置にて、欠陥があるはずの位置としてしまう場合が想定される。 For example, it is necessary to accurately manage defect positions for the following reasons: It is conceivable that, due to differences between inspection devices, the coordinate positions recorded as the positions where defects were detected may differ slightly, even on the same sample. Or, when a defect is detected by a first device and a process such as repairing or invalidating the defect is carried out by a second device, it is conceivable that, due to differences between the devices, the second device may record a position on the sample where the defect was detected by the first device as being slightly different.
そこで、欠陥を検出する検査装置間での機差及び欠陥検査装置とその後工程の装置での機差による影響を緩和するため、欠陥の位置の特定及び管理のための装置及び方法を提案する。 Therefore, we propose a device and method for identifying and managing the location of defects in order to mitigate the effects of differences between inspection devices that detect defects, and differences between defect inspection devices and downstream process devices.
図３に示されるように、マスクにはアライメントマークと呼ばれる座標が、縦と横に複数の列に並んで格子状に設けられている。ここで、アライメントマークは、例えば１から２２５まで番号を振られた十字マークである。アライメントマークは、ＦＭ（Fiducial Mark）とも呼ぶ。図３の右下部に示されるように、マスクの最外部にある４隅にあるＦＭ座標のみを用いて補正しても、マスク面内に分布する計測誤差は様々である。 As shown in Figure 3, coordinates called alignment marks are arranged on the mask in a grid pattern, arranged in multiple columns and rows. Here, the alignment marks are cross marks numbered, for example, from 1 to 225. Alignment marks are also called Fiducial Marks (FMs). As shown in the lower right of Figure 3, even if correction is made using only the FM coordinates at the four outermost corners of the mask, there are various measurement errors distributed across the mask surface.
図４に示されるように、各アライメントマークの格子によって、面内の伸張方向が異なる。例えば一番左上の格子は、左上方向に伸張している。図４の右図に示されるように、この左上の格子を拡大してみると、黒の較正前の格子の黒三角の位置にある欠陥などの特定部は、白抜きの較正後の格子に合わせると白抜きの三角の位置で検出されることがわかる。特定部が属する格子領域の４点のアライメントマークに基づく変換を行うことで、機差によらず特定部の位置を検出できる。 As shown in Figure 4, the in-plane extension direction differs depending on the grid of each alignment mark. For example, the top left grid extends in the upper left direction. As shown in the right image of Figure 4, if we enlarge this top left grid, we can see that a specific feature such as a defect located at the position of a black triangle in the black grid before calibration will be detected at the position of a white triangle when aligned with the white grid after calibration. By performing a conversion based on the four alignment marks in the grid area to which the specific feature belongs, the position of the specific feature can be detected regardless of machine differences.
図１に示されるように、情報処理装置１００は、取得部１０１と、記録部１０２とを備える。図９に示されるように物理的構成として、情報処理装置１００は、プログラムを格納するメモリ９０２と、格納されているプログラムに基づいて処理を実行するプロセッサ９０１を備える。情報処理装置１００は、１つの装置で構成されてもよいし、複数の装置で構成されてもよい。情報処理装置１００は、機能の一部または全部を分散して処理するクラウドサーバで構成されてもよい。 As shown in FIG. 1, the information processing device 100 includes an acquisition unit 101 and a recording unit 102. As shown in FIG. 9, the physical configuration of the information processing device 100 includes a memory 902 that stores programs and a processor 901 that executes processing based on the stored programs. The information processing device 100 may be configured as a single device or multiple devices. The information processing device 100 may also be configured as a cloud server that distributes and processes some or all of its functions.
取得部１０１は、４つのアライメントマークで区画された領域を有する較正用試料の複数の区画のアライメントマークの座標を取得する。記録部１０２は、区画ごとの、区画に含まれる領域を区画のアライメントマークの座標を基準とした座標系に座標変換する係数を算出して、区画に対応付けて記録する。記録部１０２は、区画ごとに補正した格子に変換する係数を算出して記録する。 The acquisition unit 101 acquires the coordinates of the alignment marks of multiple sections of a calibration sample having areas separated by four alignment marks. The recording unit 102 calculates a coefficient for converting the area included in each section into a coordinate system based on the coordinates of the alignment marks of the section, and records the coefficient in association with the section. The recording unit 102 calculates and records a coefficient for converting each section into a corrected grid.
座標変換は、格子の２点を用いるヘルマート変換でも、３点を用いるアフィン変換でも、４点を用いる射影変換と呼ばれるホモグラフィ変換であってもよい。４つの格子点を測定するので、ホモグラフィ変換が、誤差が少ないため好ましい。 The coordinate transformation can be a Helmert transformation using two grid points, an affine transformation using three points, or a homography transformation called a projective transformation using four points. Since four grid points are measured, a homography transformation is preferred because it has less error.
ホモグラフィ変換は、ｘ’を変換後の点、ｘを変換前の点とすると、
ここでホモグラフィ変換行列Ｈは、
格子点ｘ０、ｙ０、・・・ｙ’３が既知のとき、
Here, the homography transformation matrix H is
When the lattice points x 0 , y 0 , . . . y′ 3 are known,
上記構成により、特定点の位置を高精度で管理することができる情報処理装置が提供される。 The above configuration provides an information processing device that can manage the position of specific points with high accuracy.
図２に示されるように、実施の形態にかかる情報処理方法は、まず座標を取得する（ステップＳ２０１）。情報処理装置１００の取得部１０１は、４つのアライメントマークで区画された領域を有する較正用試料の複数の区画のアライメントマークの座標を取得する取得ステップを実行する。 As shown in FIG. 2, the information processing method according to the embodiment first acquires coordinates (step S201). The acquisition unit 101 of the information processing device 100 executes an acquisition step to acquire the coordinates of alignment marks in multiple sections of a calibration sample having an area divided by four alignment marks.
次に、座標変換する係数を算出して、区画に対応付けて記録する（ステップＳ２０２）。情報処理装置１００の記録部１０２が、区画ごとの、区画に含まれる領域を区画のアライメントマークの座標を基準とした座標系に座標変換する係数を算出して、区画に対応付けて記録する記録ステップを実行する。 Next, the coefficients for coordinate conversion are calculated and recorded in association with the partition (step S202). The recording unit 102 of the information processing device 100 executes a recording step in which it calculates, for each partition, coefficients for converting the area included in the partition into a coordinate system based on the coordinates of the partition's alignment mark, and records the coefficients in association with the partition.
上記構成により、特定点の位置を高精度で管理することができる情報処理方法が提供される。 The above configuration provides an information processing method that can manage the position of specific points with high accuracy.
（実施の形態１にかかる情報処理装置及び情報処理方法の説明）
図５は、実施の形態１にかかるアライメントマーク座標に対する特定点の位置を示す概略図である。図６は、実施の形態１にかかるアライメントマーク座標と特定点の較正前後の概略図と、グローバルアライメントマーク座標の概略図である。図７は、実施の形態１にかかるアライメントマーク座標の時間経過した測定の概略図である。図８は、実施の形態１にかかるアライメントマーク座標の一方向測定と蛇行測定の例を示す図である。図５から図８を参照しながら、実施の形態１にかかる情報処理装置及び方法を説明する。
(Description of Information Processing Apparatus and Information Processing Method According to First Embodiment)
FIG. 5 is a schematic diagram showing the position of a specific point relative to alignment mark coordinates according to the first embodiment. FIG. 6 is a schematic diagram of alignment mark coordinates and specific points before and after calibration according to the first embodiment, and a schematic diagram of global alignment mark coordinates. FIG. 7 is a schematic diagram of measurements of alignment mark coordinates over time according to the first embodiment. FIG. 8 is a diagram showing examples of unidirectional measurement and meandering measurement of alignment mark coordinates according to the first embodiment. The information processing device and method according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 5 to 8.
検査試料には特定点が含まれる。特定点は、例えば試料において検出された欠陥の位置を表す点、試料に付着した異物が検出された位置を表す点、あるいは試料内での中央の位置を表す点等であり、情報処理装置の用途や試料の用途に応じた任意の目的の点であってよい。特定点は、特定位置と読み替えられてもよい。検査試料は、較正用試料とは異なる試料であってもよい。その場合には較正用試料は検査試料に対する情報処理や検査の較正に用いられる。検査試料には、縦と横に複数の列に並んだ格子状のアライメントマークが形成されていなくてもよい。 The inspection sample includes a specific point. The specific point may be, for example, a point representing the position of a defect detected on the sample, a point representing the position of a foreign substance attached to the sample, or a point representing the center position within the sample, and may be any point of any purpose depending on the application of the information processing device or the application of the sample. The specific point may also be read as a specific position. The inspection sample may be a sample different from the calibration sample. In that case, the calibration sample is used for information processing and inspection calibration of the inspection sample. The inspection sample does not need to have a grid-like alignment mark arranged in multiple vertical and horizontal rows.
冒頭の通り、検査試料における特定点の位置情報、すなわち特定点の座標（以下、「特定点座標値」という場合がある）を正確に取得、管理することが望まれる。そのため、図５に示されるように、取得した特定点座標値が、較正用試料におけるどの区画に相当する検査試料内の領域に属するか、換言すれば、較正用試料のどの４点のアライメントマークに囲まれた領域に相当する検査試料内の領域に特定点が含まれるか、を判定する。この判定は、取得した特定点座標値と、較正用試料のアライメントマークの座標との比較に基づき行われてよい。また、検査試料に、較正用試料と同様にして縦と横に複数の列に並んだ格子状のアライメントマークが形成されている場合には、検査試料におけるアライメントマークの座標値にも基づいてこれを判定してもよい。以上の様にして、判定ステップで較正用試料におけるどの区画に検査試料内の特定点が含まれるか判定される。そして、特定点座標値を較正基準座標（区画のアライメントマークを基準とした座標）へホモグラフィ変換する係数を求め、これを特定点座標に適用して座標変換する。 As mentioned at the beginning, it is desirable to accurately acquire and manage the positional information of specific points on the test sample, i.e., the coordinates of the specific points (hereinafter sometimes referred to as "specific point coordinate values"). Therefore, as shown in Figure 5, the acquired specific point coordinate values are determined to which area of the test sample corresponds to the section of the calibration sample. In other words, the area of the test sample corresponding to which four alignment marks on the calibration sample contains the specific point is determined. This determination may be made based on a comparison of the acquired specific point coordinate values with the coordinates of the alignment marks on the calibration sample. Furthermore, if the test sample contains multiple grid-like alignment marks arranged vertically and horizontally, similar to the calibration sample, this determination may also be made based on the coordinate values of the alignment marks on the test sample. In this way, the determination step determines which section of the calibration sample contains the specific point on the test sample. Then, coefficients for homography transformation of the specific point coordinate values to calibration reference coordinates (coordinates based on the alignment marks of the section) are calculated, and these are applied to the specific point coordinates to perform the coordinate transformation.
このように、特定点が属すると判定された区画に対応付けられた係数を読み出す読み出しステップと、特定点の座標を係数に基づいて変換する変換ステップで、特定点の座標を高精度に取得、特定、あるいは管理することができる。 In this way, the coordinates of a specific point can be acquired, identified, or managed with high accuracy through a read step that reads out the coefficients associated with the partition to which the specific point is determined to belong, and a conversion step that converts the coordinates of the specific point based on the coefficients.
実施の形態１にかかる情報処理装置は、判定部と、読み出し部と、変換部を備える。判定部は、検査試料内の特定点が、較正用試料における複数の区画のうちのどの区画に属するかを判定する。読み出し部は、属すると判定された区画に対応付けられた係数を読み出す。変換部は、特定点の座標を、係数に基づいて変換する。 The information processing device according to the first embodiment includes a determination unit, a readout unit, and a conversion unit. The determination unit determines to which of the multiple divisions in the calibration sample a specific point in the test sample belongs. The readout unit reads out the coefficients associated with the division to which the specific point belongs. The conversion unit converts the coordinates of the specific point based on the coefficients.
上記構成により、特定点の位置を高精度に特定できる情報処理装置及び情報処理方法が提供される。 The above configuration provides an information processing device and information processing method that can identify the position of a specific point with high accuracy.
上述の通り、実施の形態１にかかる情報処理装置は、特定点が属すると判定された較正用試料における区画に対応付けられた係数に基づいて、特定点の座標を座標変換する。図６の上図に、座標変換される前の特定点の位置を黒三角として、座標変換された後の特定点の位置を白三角として示す。実施の形態１にかかる情報処理装置は、その後、図６の下図に示されるように、座標変換された特定点の位置を、さらにグローバルアライメントマークに基づいて変換する。グローバルアライメントマークとは、試料最外部に設けられたアライメントマークであり、例えば、４隅の頂点を表す。すなわち、変換ステップで求めた変換後の座標を、さらに検査試料のグローバルアライメントマークに基づいて変換する。このように第２の変換部が、特定点座標値を較正基準座標で変換した座標を、更に、グローバルアライメントマークを基準とする座標へと座標変換する第２の変換ステップを実行することで、さらに高精度に特定点の位置を取得、特定、あるいは管理することができる。 As described above, the information processing device according to the first embodiment transforms the coordinates of the specific point based on coefficients associated with the section of the calibration sample to which the specific point is determined to belong. In the upper diagram of Figure 6, the position of the specific point before coordinate transformation is indicated by a black triangle, and the position of the specific point after coordinate transformation is indicated by a white triangle. The information processing device according to the first embodiment then further transforms the position of the specific point after coordinate transformation based on a global alignment mark, as shown in the lower diagram of Figure 6. A global alignment mark is an alignment mark provided on the outermost part of the sample, and represents, for example, the four corner vertices. In other words, the transformed coordinates obtained in the transformation step are further transformed based on the global alignment mark of the test sample. In this way, the second transformation unit performs a second transformation step in which the coordinates obtained by transforming the specific point coordinate values using the calibration reference coordinates are further transformed into coordinates based on the global alignment mark, thereby enabling the position of the specific point to be acquired, identified, or managed with even greater accuracy.
図７に示されるように、アライメントマークの測定は時間に依存する。装置内の温度、湿度、圧力などの環境変化によるものである。したがって、図７の左上から右下の格子に向かって測定がなされた場合、右下に近づくほど、測定点のずれは大きくなる。したがって、取得部１０１では、区画のアライメントマークの座標を、経過時間に基づく関数で補正することで取得することが好ましい。 As shown in Figure 7, alignment mark measurements are time-dependent. This is due to environmental changes such as temperature, humidity, and pressure within the device. Therefore, if measurements are taken from the upper left to the lower right grid in Figure 7, the closer you get to the bottom right, the greater the deviation of the measurement point. Therefore, it is preferable for the acquisition unit 101 to acquire the coordinates of the alignment marks of the section by correcting them with a function based on the elapsed time.
また、図８に示されるように、アライメントマークが格子状に並んでいる場合、アライメントマークの隣り合う列を同一方向に計測することが好ましい。例えば一連の計測時間内でアライメントマークの座標が右下方向に経時的にずれて測定されるとする。その場合、並んでいる格子の列に対して、１列目を第１の向きに走査、２列目を第１の向きと反対の第２の向きに走査、３列目を第１の向きに走査とのように蛇行して走査して測定すると、格子の中の列（図では２列目）が真ん中に寄って測定されてしまう。しかしながら、隣り合う列について同一の向きに走査して（すなわち、１列目、２列目及び３列目をいずれも第１の向きに走査して）計測することで、真ん中の列が均等にずれて測定され、歪みが小さい。これにより、区画の４点のアライメントマーク座標が均一にずれるため、区画のアライメントマークの座標を基準とした座標変換を行った後の特定点の座標がより正確な値になる。 Furthermore, as shown in Figure 8, when alignment marks are arranged in a grid pattern, it is preferable to measure adjacent columns of alignment marks in the same direction. For example, suppose the coordinates of the alignment marks are measured with a time shift toward the lower right during a series of measurements. In this case, if the grid columns are scanned in a zigzag pattern, such as scanning the first column in a first direction, the second column in a second direction opposite the first direction, and the third column in the first direction, the column in the grid (the second column in the figure) will be measured closer to the center. However, by scanning adjacent columns in the same direction (i.e., scanning the first, second, and third columns in the first direction), the center column is measured with an even shift, resulting in minimal distortion. This results in a uniform shift in the alignment mark coordinates of the four points in the section, which results in more accurate coordinates of the specific point after coordinate transformation based on the alignment mark coordinates of the section.
取得部１０１では、前記区画のアライメントマークの隣り合う列の座標を、同一の方向に走査して計測することで、測定誤差を小さくできる。なお、取得部１０１は、複数のアライメントマークの複数の隣り合う列の座標を同一の方向に走査して計測してよく、その際に、すべての列について同一の方向に走査して計測してもよい。 The acquisition unit 101 can reduce measurement errors by scanning and measuring the coordinates of adjacent rows of alignment marks in the section in the same direction. The acquisition unit 101 may also scan and measure the coordinates of multiple adjacent rows of multiple alignment marks in the same direction, and may also scan and measure all rows in the same direction.
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、格子は、正方形で表されたが、円形または三角形などの形状を取ってもよい。また、最外部のアライメントマークは、４点とされたが、それよりも多くてもよい。 The present invention is not limited to the above embodiment, and modifications can be made as appropriate without departing from the spirit of the invention. For example, the grid is represented as a square, but it may also be circular or triangular. Also, while the outermost alignment marks are represented as four points, there may be more than that.
１００ 情報処理装置、１０１ 取得部、１０２ 記録部、９０１ プロセッサ、９０２ メモリ 100 Information processing device, 101 Acquisition unit, 102 Recording unit, 901 Processor, 902 Memory
Claims (10)
前記区画ごとの、前記区画に含まれる領域を前記区画のアライメントマークの座標を基準とした座標系に座標変換する係数を算出して、前記区画に対応付けて記録する記録ステップと、
検査試料内の特定点が、較正用試料における複数の区画のうちのどの区画に属するかを判定する判定ステップと、
属すると判定された区画に対応付けられた前記係数を読み出す読み出しステップと、
前記特定点の座標を、前記係数に基づいて変換する変換ステップと、
を備える情報処理方法。 an acquiring step of acquiring the coordinates of alignment marks of a plurality of sections of a calibration sample having an area defined by four alignment marks;
a recording step of calculating, for each of the sections, a coefficient for converting a region included in the section into a coordinate system based on the coordinates of the alignment mark of the section, and recording the coefficient in association with the section;
determining which of the plurality of compartments in the calibration sample a particular point in the test sample belongs to;
a reading step of reading the coefficients associated with the partition determined to belong to the partition;
a transformation step of transforming the coordinates of the specific point based on the coefficients;
An information processing method comprising:
を備える請求項１に記載の情報処理方法。 a second transformation step of further transforming the transformed coordinates obtained in the transformation step based on a global alignment mark of the inspection sample;
The information processing method according to claim 1 , comprising:
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の情報処理方法。 The coordinate transformation is a Helmert transformation, an affine transformation, or a homography transformation.
The information processing method according to any one of claims 1 to 4 .
前記区画ごとの、前記区画に含まれる領域を前記区画のアライメントマークの座標を基準とした座標系に座標変換する係数を算出して、前記区画に対応付けて記録する記録部と、
検査試料内の特定点が、較正用試料における複数の区画のうちのどの区画に属するかを判定する判定部と、
属すると判定された区画に対応付けられた前記係数を読み出す読み出し部と、
前記特定点の座標を、前記係数に基づいて変換する変換部と、
を備える情報処理装置。 an acquisition unit that acquires coordinates of alignment marks of a plurality of sections of a calibration sample having an area defined by four alignment marks;
a recording unit that calculates, for each of the sections, a coefficient for converting a region included in the section into a coordinate system based on the coordinates of the alignment mark of the section, and records the coefficient in association with the section;
a determination unit that determines to which of a plurality of sections in the calibration sample a particular point in the test sample belongs;
a reading unit that reads out the coefficients associated with the partitions that are determined to belong to the image;
a conversion unit that converts the coordinates of the specific point based on the coefficient;
An information processing device comprising:
を備える請求項６に記載の情報処理装置。 a second conversion unit that further converts the converted coordinates obtained by the conversion unit based on a global alignment mark of the inspection sample;
The information processing device according to claim 6 , comprising:
請求項６乃至９のいずれか１項に記載の情報処理装置。 The coordinate transformation is a Helmert transformation, an affine transformation, or a homography transformation.
The information processing device according to claim 6 .
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2024087087A JP7808637B2 (en) | 2024-05-29 | 2024-05-29 | Information processing method and information processing device |
| KR1020250066764A KR20250171170A (en) | 2024-05-29 | 2025-05-22 | Information processing method and information processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2024087087A JP7808637B2 (en) | 2024-05-29 | 2024-05-29 | Information processing method and information processing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2025180036A JP2025180036A (en) | 2025-12-11 |
| JP7808637B2 true JP7808637B2 (en) | 2026-01-29 |
Family
ID=97964911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024087087A Active JP7808637B2 (en) | 2024-05-29 | 2024-05-29 | Information processing method and information processing device |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7808637B2 (en) |
| KR (1) | KR20250171170A (en) |
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| JP2015065275A (en) | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | Drawing method and drawing apparatus |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7168425B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-11-09 | レーザーテック株式会社 | Mask inspection method and mask inspection apparatus |
-
2024
- 2024-05-29 JP JP2024087087A patent/JP7808637B2/en active Active
-
2025
- 2025-05-22 KR KR1020250066764A patent/KR20250171170A/en active Pending
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| JP2015065275A (en) | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | Drawing method and drawing apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20250171170A (en) | 2025-12-08 |
| JP2025180036A (en) | 2025-12-11 |
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