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JP7820145B2 - Switch device, drive device, ultrasonic sensor, and vehicle - Google Patents
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JP7820145B2 - Switch device, drive device, ultrasonic sensor, and vehicle - Google Patents

Switch device, drive device, ultrasonic sensor, and vehicle

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Description

本明細書中に開示されている発明は、スイッチ装置、当該スイッチ装置を備える駆動装置、当該駆動装置を備える超音波センサ、及び当該超音波センサを備える車両に関する。 The invention disclosed in this specification relates to a switch device, a drive device including the switch device, an ultrasonic sensor including the drive device, and a vehicle including the ultrasonic sensor.

超音波センサは、超音波を送信し、その反射波を受信することにより物体までの距離、物体の有無及び状態などを検出する。超音波センサは、乗用車用障害物検出装置、自動パーキングシステム、ベルトコンベア上の物体検出、自動ドア、侵入防止の監視、各種の変位計測などに幅広く応用されている。 Ultrasonic sensors transmit ultrasonic waves and receive reflected waves to detect the distance to an object, as well as the presence and status of the object. Ultrasonic sensors are widely used in obstacle detection devices for passenger cars, automatic parking systems, object detection on conveyor belts, automatic doors, intrusion prevention monitoring, and various types of displacement measurement.

1つの振動子によって超音波の送信と受信を行う構成の超音波センサでは、振動子の駆動直後において振動子の振動が徐々に低下する現象、いわゆる残響が生じる。このため、上記構成の超音波センサでは、残響時間中に反射波が得られる近距離の物体を検出することが困難である。そこで、残響対策として、超音波の送信直後に発生する振動子の振動(残響振動)を速やかに減衰させることが、上記構成の超音波センサにおける課題となっている。 In ultrasonic sensors that use a single transducer to transmit and receive ultrasonic waves, a phenomenon known as reverberation occurs, in which the vibration of the transducer gradually decreases immediately after the transducer is activated. This makes it difficult for ultrasonic sensors with this configuration to detect close-range objects where reflected waves can be obtained during the reverberation time. Therefore, as a countermeasure against reverberation, a challenge for ultrasonic sensors with this configuration is to quickly attenuate the vibration of the transducer that occurs immediately after transmitting ultrasonic waves (reverberation vibration).

特許文献1は、残響対策を施した超音波センサとして、残響振動抑制回路を備える超音波センサを開示する。残響振動抑制回路の回路定数は、超音波センサの共振周波数を打ち消すように設定される。 Patent Document 1 discloses an ultrasonic sensor equipped with a reverberation vibration suppression circuit as an ultrasonic sensor with reverberation countermeasures. The circuit constants of the reverberation vibration suppression circuit are set to cancel the resonant frequency of the ultrasonic sensor.

特開2019-12955号公報(段落0005)JP 2019-12955 A (paragraph 0005)

残響振動抑制回路を備える超音波センサが超音波の送信と受信を行うときには、振動子を駆動する駆動回路と残響振動抑制回路とを電気的に遮断することによってセンサ感度の低下を防止することができる。そのため、残響振動抑制回路を備える超音波センサは、振動子を駆動する駆動回路と残響振動抑制回路との電気的接続と電気的遮断とを切り替えるスイッチ装置を備えることが望ましい。 When an ultrasonic sensor equipped with a reverberation vibration suppression circuit transmits and receives ultrasonic waves, a decrease in sensor sensitivity can be prevented by electrically disconnecting the drive circuit that drives the transducer from the reverberation vibration suppression circuit. Therefore, it is desirable for an ultrasonic sensor equipped with a reverberation vibration suppression circuit to be equipped with a switch device that switches between electrical connection and electrical disconnection between the drive circuit that drives the transducer and the reverberation vibration suppression circuit.

しかしながら、スイッチ装置のスイッチングノイズが大きい場合、スイッチ装置のスイッチングノイズが原因となる超音波センサでの誤検出が生じるおそれがある。 However, if the switching noise of the switch device is large, there is a risk that the ultrasonic sensor may detect the signal incorrectly due to the switching noise of the switch device.

本明細書中に開示されているスイッチ装置は、第1スイッチと、第2スイッチと、制御部と、を備える。前記第2スイッチは、第1スイッチに直列接続され前記第1スイッチよりも耐圧が低い。前記制御部は、前記スイッチ装置をオンにするときに前記第1スイッチをオン、前記第2スイッチをオンにし、前記スイッチ装置をオフにするときに前記第1スイッチをオン、前記第2スイッチをオフにするように構成される。 The switch device disclosed in this specification includes a first switch, a second switch, and a control unit. The second switch is connected in series to the first switch and has a lower withstand voltage than the first switch. The control unit is configured to turn on the first switch and the second switch when turning on the switch device, and to turn on the first switch and the second switch when turning off the switch device.

本明細書中に開示されている駆動装置は、振動子を駆動するように構成される駆動回路と、前記振動子の残響振動を抑制するように構成される残響振動抑制回路と、前記駆動回路と前記残響振動抑制回路との間の電気的接続と遮断とを切り替えるように構成される上記構成のスイッチ装置と、を備える。 The driving device disclosed in this specification includes a driving circuit configured to drive a vibrator, a reverberation vibration suppression circuit configured to suppress reverberation vibration of the vibrator, and a switch device configured as described above that is configured to switch between electrical connection and disconnection between the driving circuit and the reverberation vibration suppression circuit.

本明細書中に開示されている超音波センサは、上記構成の駆動装置と、前記振動子と、を備える。 The ultrasonic sensor disclosed in this specification comprises a drive device having the above-described configuration and the vibrator.

本明細書中に開示されている車両は、上記構成の超音波センサを備える。 The vehicle disclosed in this specification is equipped with an ultrasonic sensor having the above configuration.

本明細書中に開示されているスイッチ装置、駆動装置、超音波センサ、及び車両によれば、スイッチングノイズを低減することができる。 The switch device, drive device, ultrasonic sensor, and vehicle disclosed in this specification can reduce switching noise.

図1は、実施形態に係る超音波センサの概略構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an ultrasonic sensor according to an embodiment. 図2は、駆動回路と残響振動抑制回路とが電気的に接続されている状態での振動子、駆動回路、及び残響振動抑制回路の等価回路である。FIG. 2 is an equivalent circuit of the vibrator, the drive circuit, and the reverberation vibration suppression circuit in a state where the drive circuit and the reverberation vibration suppression circuit are electrically connected. 図3は、疑似インダクタ回路の一構成例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of the configuration of a pseudo inductor circuit. 図4は、超音波の受波に基づく受波信号の概略波形を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a schematic waveform of a received signal based on the reception of an ultrasonic wave. 図5は、第2スイッチの一構成例を示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating an example of the configuration of the second switch. 図6は、第2スイッチの他の構成例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing another example of the configuration of the second switch. 図7は、第2スイッチの更に他の構成例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing yet another example of the configuration of the second switch. 図8は、車両の外観図である。FIG. 8 is an external view of the vehicle.

図1は、実施形態に係る超音波センサの概略構成を示す図である。図1に示す実施形態に係る超音波センサ1(以下、「超音波センサ1」と略す)は、振動子2と、駆動装置3と、を備える。 Figure 1 is a diagram showing the schematic configuration of an ultrasonic sensor according to an embodiment. The ultrasonic sensor 1 according to the embodiment shown in Figure 1 (hereinafter abbreviated as "ultrasonic sensor 1") includes a vibrator 2 and a driver 3.

振動子2は、駆動装置3からの電圧供給によって駆動(振動)して超音波の送波を行う。また、振動子2は、超音波の受波も行う。 The transducer 2 is driven (vibrates) by a voltage supply from the driver 3 to transmit ultrasonic waves. The transducer 2 also receives ultrasonic waves.

駆動装置3は、半導体集積回路装置である。駆動装置3は、処理装置4と、駆動回路5と、LNA(Low Noise Amplifier)6と、LPF(Low Pass Filter)7と、ADC(Analog to Digital Converter)8と、スイッチ装置9及び10と、残響振動抑制回路11と、外部端子T1~T5と、を備える。 The driving device 3 is a semiconductor integrated circuit device. It includes a processing device 4, a driving circuit 5, an LNA (Low Noise Amplifier) 6, an LPF (Low Pass Filter) 7, an ADC (Analog to Digital Converter) 8, switch devices 9 and 10, a reverberation vibration suppression circuit 11, and external terminals T1 to T5.

外部端子T1に電源電圧VCCが印加され、外部端子T2がグラウンド電位に接続されることで、駆動装置3は動作可能な状態となる。 When the power supply voltage VCC is applied to the external terminal T1 and the external terminal T2 is connected to ground potential, the drive unit 3 becomes operable.

処理装置4は、送波信号を生成する。処理装置4としては、例えばMPU(Micro Processor Unit)が用いられる。 The processing device 4 generates the transmission signal. For example, an MPU (Micro Processor Unit) is used as the processing device 4.

駆動回路5は、処理装置4から出力される送波信号を高電圧に変換して差動信号を出力する。駆動回路5から出力される差動信号は、外部端子T3及びT4を介して振動子2に供給される。駆動回路5は、振動子2への差動信号の供給によって振動子2を駆動する。 The drive circuit 5 converts the transmission signal output from the processing device 4 into a high voltage and outputs a differential signal. The differential signal output from the drive circuit 5 is supplied to the vibrator 2 via external terminals T3 and T4. The drive circuit 5 drives the vibrator 2 by supplying the differential signal to the vibrator 2.

LNA6は、外部端子T3及びT4を介して振動子2の出力信号を受け取る。LNA6は、差動信号である振動子2の出力信号を電力増幅しつつシングルエンド信号に変換する。 LNA 6 receives the output signal of vibrator 2 via external terminals T3 and T4. LNA 6 power amplifies the output signal of vibrator 2, which is a differential signal, and converts it to a single-ended signal.

LPF7は、LNA6から出力されるシングルエンド信号に含まれ得る高周波ノイズ成分を除去し、高周波ノイズ成分を除去した後の信号をADC8に供給する。 The LPF 7 removes high-frequency noise components that may be contained in the single-ended signal output from the LNA 6, and supplies the signal after the high-frequency noise components have been removed to the ADC 8.

ADC8は、LPF7の出力信号をアナログ信号からデジタル信号へA/D変換し、A/D変換後の信号を処理装置4に供給する。ADC8の出力信号は、超音波の受波に基づく受波信号である。処理装置4は、受波信号を用いて送波の反射波を検知する。例えば、処理装置4は、受波信号のレベルが所定レベル以上であれば、送波の反射波(自波)を検知する。また、処理装置4は、超音波を送波してから物体での反射による反射波を受波するまでの時間であるTOF(Time Of Flight)を計測する。なお、処理装置4は、TOFを用いて超音波センサ1から物体までの距離を求めてもよい。処理装置4は、TOFの情報又は超音波センサ1から物体までの距離の情報を、外部端子T5を介して超音波センサ1の外部に供給する。 The ADC 8 converts the output signal of the LPF 7 from an analog signal to a digital signal and supplies the A/D converted signal to the processing device 4. The output signal of the ADC 8 is a received signal based on the reception of ultrasonic waves. The processing device 4 uses the received signal to detect reflected waves of the transmitted waves. For example, if the level of the received signal is equal to or higher than a predetermined level, the processing device 4 detects reflected waves of the transmitted waves (self-waves). The processing device 4 also measures the TOF (Time Of Flight), which is the time from transmitting ultrasonic waves to receiving the reflected waves reflected by an object. The processing device 4 may also use the TOF to determine the distance from the ultrasonic sensor 1 to the object. The processing device 4 supplies TOF information or information on the distance from the ultrasonic sensor 1 to the object via the external terminal T5 to the outside of the ultrasonic sensor 1.

スイッチ装置9及び10は、駆動回路5と残響振動抑制回路11との間の電気的接続と電気的遮断とを切り替えるように構成される。スイッチ装置9及び10は、処理装置4からの指示に応じてオン/オフが切り替わる。処理装置4は、残響振動が発生していると想定される期間、すなわち送波信号の出力完了から一定時間経過するまでの期間にスイッチ装置9及び10をオンにする。一方、処理装置4は、残響振動が発生していないと想定される期間にスイッチ装置9及び10をオフにする。スイッチ装置9及び10の詳細については後述する。 The switch devices 9 and 10 are configured to switch between electrical connection and electrical disconnection between the drive circuit 5 and the reverberation vibration suppression circuit 11. The switch devices 9 and 10 are switched on and off in response to instructions from the processing device 4. The processing device 4 turns on the switch devices 9 and 10 during the period when reverberation vibration is expected to be generated, i.e., during the period from the completion of output of the transmission signal until a certain amount of time has elapsed. On the other hand, the processing device 4 turns off the switch devices 9 and 10 during the period when reverberation vibration is expected not to be generated. Details of the switch devices 9 and 10 will be described later.

残響振動抑制回路11は、振動子2の残響振動を抑制するように構成される。残響振動抑制回路11は、抵抗RDと、疑似インダクタ回路LPと、を備える。残響振動抑制回路11は、抵抗RDと、疑似インダクタ回路LPとの並列回路である。なお、本実施形態では、抵抗RD及び疑似インダクタ回路LPとスイッチ装置10との接続ノードにバイアス電圧(例えば2Vの電圧)を印加する。 The reverberation vibration suppression circuit 11 is configured to suppress reverberation vibration of the vibrator 2. The reverberation vibration suppression circuit 11 includes a resistor RD and a pseudo-inductor circuit LP. The reverberation vibration suppression circuit 11 is a parallel circuit of the resistor RD and the pseudo-inductor circuit LP. In this embodiment, a bias voltage (e.g., a voltage of 2 V) is applied to the connection node between the resistor RD and the pseudo-inductor circuit LP and the switch device 10.

抵抗RDは、抵抗RDの抵抗値Rdが調整可能であるように構成される。疑似インダクタ回路LPは、疑似インダクタ回路LPのインダクタンス値Lpが調整可能であるように構成される。 The resistor RD is configured so that the resistance value Rd of the resistor RD is adjustable. The pseudo inductor circuit LP is configured so that the inductance value Lp of the pseudo inductor circuit LP is adjustable.

図2は、駆動回路5と残響振動抑制回路11とが電気的に接続されている状態での振動子2、駆動回路5、及び残響振動抑制回路11の等価回路である。 Figure 2 shows an equivalent circuit of the vibrator 2, drive circuit 5, and reverberation vibration suppression circuit 11 when the drive circuit 5 and reverberation vibration suppression circuit 11 are electrically connected.

図2に示す等価回路は、次のような回路構成である。抵抗RDの一端及び疑似インダクタ回路LPの一端は、キャパシタCPの一端及び抵抗RSの一端に接続される。抵抗RSの他端は、キャパシタCSを介してインダクタLSの一端に接続される。キャパシタCPの他端及びインダクタLSの他端は、抵抗RDの他端及び疑似インダクタ回路LPの他端に接続される。 The equivalent circuit shown in Figure 2 has the following circuit configuration: One end of resistor RD and one end of pseudo-inductor circuit LP are connected to one end of capacitor CP and one end of resistor RS. The other end of resistor RS is connected to one end of inductor LS via capacitor CS. The other end of capacitor CP and the other end of inductor LS are connected to the other end of resistor RD and the other end of pseudo-inductor circuit LP.

図2に示す等価回路において下記式(1)及び式(2)を満たせば、残響振動抑制回路12は、超音波センサ1の共振周波数を打ち消すことができ、適切に残響振動を抑制できる。なお、CpはキャパシタCPの静電容量値である。Rsは抵抗RSの抵抗値である。CsはキャパシタCSの静電容量値である。LsはインダクタLSのインダクタンス値である。
Lp=Ls*Cs/Cp …(1)
Rd=(1/2)*√(Ls/Cp) …(2)
If the following formulas (1) and (2) are satisfied in the equivalent circuit shown in Figure 2, the reverberation vibration suppression circuit 12 can cancel the resonance frequency of the ultrasonic sensor 1 and appropriately suppress reverberation vibration. Note that Cp is the capacitance value of the capacitor CP, Rs is the resistance value of the resistor RS, Cs is the capacitance value of the capacitor CS, and Ls is the inductance value of the inductor LS.
Lp=Ls*Cs/Cp...(1)
Rd=(1/2)*√(Ls/Cp)...(2)

図3は、疑似インダクタ回路LPの一構成例を示す図である。図3に示す構成例の疑似インダクタ回路LPは、キャパシタC0と、抵抗R1~R4と、オペアンプOP1及びOP2と、を備える。抵抗R1及びR2は固定抵抗であり、抵抗R3及びR4は可変抵抗である。 Figure 3 shows an example configuration of a pseudo-inductor circuit LP. The pseudo-inductor circuit LP of the example configuration shown in Figure 3 includes a capacitor C0, resistors R1 to R4, and operational amplifiers OP1 and OP2. Resistors R1 and R2 are fixed resistors, and resistors R3 and R4 are variable resistors.

図3に示す構成例の疑似インダクタ回路LPは、次のような回路構成である。抵抗R1の一端及びオペアンプOP1の非反転入力端との接続ノードが、疑似インダクタ回路LPの一端となる。抵抗R1の他端は、抵抗R4の一端及びオペアンプOP2の出力端に接続される。抵抗R4の他端は、オペアンプOP1及びOP2の各反転入力端と抵抗R2の一端に接続される。抵抗R2の他端は、オペアンプOP1の出力端及びキャパシタC0の一端に接続される。キャパシタC0の他端は、オペアンプOP1の非反転入力端及び抵抗R3の一端に接続される。図3に示す構成例の疑似インダクタ回路LPのインダクタンス値Lpは下記式(3)で表される。なお、CはキャパシタC0の静電容量値である。Rは抵抗R1の抵抗値である。Rは抵抗R2の抵抗値である。Rは抵抗R3の抵抗値である。Rは抵抗R4の抵抗値である。
Lp=C*R*R*R/R …(3)
The pseudo inductor circuit LP of the configuration example shown in FIG. 3 has the following circuit configuration. The connection node between one end of resistor R1 and the non-inverting input terminal of operational amplifier OP1 forms one end of the pseudo inductor circuit LP. The other end of resistor R1 is connected to one end of resistor R4 and the output terminal of operational amplifier OP2. The other end of resistor R4 is connected to the inverting input terminals of operational amplifiers OP1 and OP2 and one end of resistor R2. The other end of resistor R2 is connected to the output terminal of operational amplifier OP1 and one end of capacitor C0. The other end of capacitor C0 is connected to the non-inverting input terminal of operational amplifier OP1 and one end of resistor R3. The inductance value Lp of the pseudo inductor circuit LP of the configuration example shown in FIG. 3 is expressed by the following equation (3). Note that C0 is the capacitance value of capacitor C0, R1 is the resistance value of resistor R1, R2 is the resistance value of resistor R2, and R3 is the resistance value of resistor R3. R4 is the resistance value of resistor R4.
Lp=C 0 *R 1 *R 2 *R 3 /R 4 (3)

次に、スイッチ装置9及び10の詳細について説明する。 Next, we will explain the details of switch devices 9 and 10.

スイッチ装置9は、第1スイッチSW1Aと、第2スイッチSW2Aと、制御部CNT1Aと、を備える。第2スイッチSW2Aは、第1スイッチSW1Aに直列接続され第1スイッチSW1Aよりも耐圧が低い。制御部CNT1Aは、スイッチ装置9をオンにするときに第1スイッチSW1Aをオン、第2スイッチSW2Aをオンにし、スイッチ装置9をオフにするときに第1スイッチSW1Aをオン、第2スイッチSW2Aをオフにするように構成される。 The switch device 9 includes a first switch SW1A, a second switch SW2A, and a control unit CNT1A. The second switch SW2A is connected in series with the first switch SW1A and has a lower withstand voltage than the first switch SW1A. The control unit CNT1A is configured to turn on the first switch SW1A and turn on the second switch SW2A when turning on the switch device 9, and to turn on the first switch SW1A and turn off the second switch SW2A when turning off the switch device 9.

スイッチ装置10は、第1スイッチSW1Bと、第2スイッチSW2Bと、制御部CNT1Bと、を備える。第2スイッチSW2Bは、第1スイッチSW1Bに直列接続され第1スイッチSW1Bよりも耐圧が低い。制御部CNT1Bは、スイッチ装置10をオンにするときに第1スイッチSW1Bをオン、第2スイッチSW2Bをオンにし、スイッチ装置10をオフにするときに第1スイッチSW1Bをオン、第2スイッチSW2Bをオフにするように構成される。 The switch device 10 includes a first switch SW1B, a second switch SW2B, and a control unit CNT1B. The second switch SW2B is connected in series with the first switch SW1B and has a lower withstand voltage than the first switch SW1B. The control unit CNT1B is configured to turn on the first switch SW1B and turn on the second switch SW2B when turning on the switch device 10, and to turn on the first switch SW1B and turn off the second switch SW2B when turning off the switch device 10.

制御部CNT1A及びCNT1Bはそれぞれ、処理装置4に含まれてもよい。また、制御部CNT1A及びCNT1Bは別々の制御部であってもよいが、制御部CNT1A及びCNT1Bが共通化されて単一の制御部であってもよい。 The control units CNT1A and CNT1B may each be included in the processing device 4. Furthermore, the control units CNT1A and CNT1B may be separate control units, or the control units CNT1A and CNT1B may be shared and formed as a single control unit.

本実施形態では、第1スイッチSW1A及びSW1Bとして、高耐圧(例えば耐圧が80V以上)のNチャネル型MOSトランジスタが用いられる。第1スイッチSW1A及びSW1Bはそれぞれ、通常のNMOSFET(Negative-channel Double-Diffused Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)であってもよく、NDMOSFET(Negative-channel Double-Diffused Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)であってもよい。本明細書において、MOSFETとは、ゲートの構造が、「導電体または抵抗値が小さいポリシリコン等の半導体からなる層」、「絶縁層」、及び「P型、N型、又は真性の半導体層」の少なくとも3層からなる電界効果トランジスタをいう。つまり、MOSFETのゲートの構造は、金属、酸化物、及び半導体の3層構造に限定されない。高耐圧のMOSトランジスタは、ゲート容量、ドレイン容量、ゲート-ドレイン間寄生容量などが大きいため、スイッチングノイズも大きい。一方、第2スイッチSW2A及びSW2Bは、第1スイッチSW1A及びSW1Bよりも耐圧が低いため、第1スイッチSW1A及びSW1Bよりもスイッチングノイズが小さい。 In this embodiment, high-voltage N-channel MOS transistors (e.g., 80 V or higher) are used as the first switches SW1A and SW1B. The first switches SW1A and SW1B may each be a conventional NMOSFET (Negative-Channel Double-Diffused Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) or an NDMOSFET (Negative-Channel Double-Diffused Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor). In this specification, a MOSFET refers to a field-effect transistor whose gate structure consists of at least three layers: a layer made of a conductor or a semiconductor such as polysilicon with low resistance, an insulating layer, and a P-type, N-type, or intrinsic semiconductor layer. In other words, the gate structure of a MOSFET is not limited to a three-layer structure of metal, oxide, and semiconductor. High-voltage MOS transistors have large gate capacitance, drain capacitance, and gate-drain parasitic capacitance, resulting in large switching noise. On the other hand, the second switches SW2A and SW2B have a lower withstand voltage than the first switches SW1A and SW1B, and therefore generate less switching noise than the first switches SW1A and SW1B.

また、本実施形態では、第1スイッチSW1Aは、Nチャネル型MOSトランジスタであるため、第1スイッチSW1Aがオンであるときに、第1スイッチSW1Aと第2スイッチSW2Aとの接続ノードの電圧すなわち第1スイッチSW1AであるNチャネル型MOSトランジスタのソース電圧をクランプするように構成される。第1スイッチSW1Aのオン時のゲート電圧は、第2スイッチSW2Aの耐圧を超えないように調整される。これにより、第2スイッチSW2Aに高電圧が印加されることによって第2スイッチSW2Aが破壊することを防止することができる。同様に、本実施形態では、第1スイッチSW1Bは、Nチャネル型MOSトランジスタであるため、第1スイッチSW1Bがオンであるときに、第1スイッチSW1Bと第2スイッチSW2Bとの接続ノードの電圧すなわち第1スイッチSW1BであるNチャネル型MOSトランジスタのソース電圧をクランプするように構成される。第1スイッチSW1Bのオン時のゲート電圧は、第2スイッチSW2Bの耐圧を超えないように調整される。これにより、第2スイッチSW2Bに高電圧が印加されることによって第2スイッチSW2Aが破壊することを防止することができる。 In addition, in this embodiment, the first switch SW1A is an N-channel MOS transistor, and is configured to clamp the voltage at the connection node between the first switch SW1A and the second switch SW2A, i.e., the source voltage of the N-channel MOS transistor that is the first switch SW1A, when the first switch SW1A is on. The gate voltage of the first switch SW1A when it is on is adjusted so as not to exceed the withstand voltage of the second switch SW2A. This prevents the second switch SW2A from being destroyed by a high voltage being applied to the second switch SW2A. Similarly, in this embodiment, the first switch SW1B is an N-channel MOS transistor, and is configured to clamp the voltage at the connection node between the first switch SW1B and the second switch SW2B, i.e., the source voltage of the N-channel MOS transistor that is the first switch SW1B, when the first switch SW1B is on. The gate voltage of the first switch SW1B when it is on is adjusted so as not to exceed the withstand voltage of the second switch SW2B. This prevents the second switch SW2A from being destroyed by applying a high voltage to the second switch SW2B.

スイッチ装置9は、第1スイッチSW1Aによって高耐圧を確保する。したがって、スイッチ装置9は、高電圧が印加される箇所に設けることができる。また、スイッチ装置9は、第1スイッチSW1Aをスイッチングさせずに第2スイッチSW2Aをスイッチングさせるので、スイッチングノイズを抑制することができる。同様に、スイッチ装置10は、第1スイッチSW1Bによって高耐圧を確保する。したがって、スイッチ装置10は、高電圧が印加される箇所に設けることができる。また、スイッチ装置10は、第1スイッチSW1Bをスイッチングさせずに第2スイッチSW2Bをスイッチングさせるので、スイッチングノイズを抑制することができる。 The switch device 9 ensures a high withstand voltage by using the first switch SW1A. Therefore, the switch device 9 can be installed in a location where a high voltage is applied. Furthermore, the switch device 9 switches the second switch SW2A without switching the first switch SW1A, thereby suppressing switching noise. Similarly, the switch device 10 ensures a high withstand voltage by using the first switch SW1B. Therefore, the switch device 10 can be installed in a location where a high voltage is applied. Furthermore, the switch device 10 switches the second switch SW2B without switching the first switch SW1B, thereby suppressing switching noise.

図4は、ADC8の出力信号すなわち超音波の受波に基づく受波信号の概略波形を示すである。図4の横軸は時間を示しており、図4の縦軸は信号レベルを示している。細い実線で示す概略波形W1は、超音波センサ1での受波信号の概略波形である。一方、太い点線で示す概略波形W2は、超音波センサ1から第2スイッチを取り除き、第1スイッチがスイッチングされた場合における受波信号の概略波形である。太い点線で示す概略波形W2では、送波及び残響振動に起因する第1ピークPK1、スイッチ装置のスイッチングノイズに起因する第2ピークPK2、並びに受波に起因する第3ピークPK3が出現する。一方、細い実線で示す概略波形W1は、送波及び残響振動に起因する第1ピークPK1並びに受波に起因する第3ピークPK3が出現し、スイッチ装置のスイッチングノイズに起因する第2ピークPK2が出現しない。したがって、超音波センサ1では、第2ピークPK2が原因となる誤検出を抑制することができる。 Figure 4 shows the schematic waveform of the output signal of ADC 8, i.e., the received signal based on the received ultrasonic waves. The horizontal axis of Figure 4 represents time, and the vertical axis represents signal level. The schematic waveform W1, indicated by a thin solid line, is the schematic waveform of the received signal at ultrasonic sensor 1. On the other hand, the schematic waveform W2, indicated by a thick dotted line, is the schematic waveform of the received signal when the second switch is removed from ultrasonic sensor 1 and the first switch is switched on. In the schematic waveform W2, indicated by the thick dotted line, a first peak PK1 due to the transmitted wave and reverberation vibration, a second peak PK2 due to switching noise of the switch device, and a third peak PK3 due to the received wave appear. On the other hand, in the schematic waveform W1, indicated by a thin solid line, the first peak PK1 due to the transmitted wave and reverberation vibration and the third peak PK3 due to the received wave appear, but the second peak PK2 due to switching noise of the switch device does not appear. Therefore, ultrasonic sensor 1 can suppress false detection caused by the second peak PK2.

第2スイッチSW2A及びSW2Bの具体的な構成は特に限定されない。 The specific configuration of the second switches SW2A and SW2B is not particularly limited.

第2スイッチSW2A及びSW2Bはそれぞれ、例えば単一のMOSトランジスタであってもよい。 The second switches SW2A and SW2B may each be, for example, a single MOS transistor.

また、第2スイッチSW2A及びSW2Bはそれぞれ、例えば図6に示すNチャネル型MOSトランジスタQ1とPチャネル型MOSトランジスタQ2の並列回路であって、Nチャネル型MOSトランジスタQ1のオン/オフとPチャネル型MOSトランジスタQ2のオン/オフとを同期させてもよい。この場合、第2スイッチSW2A及びSW2Bのスイッチングノイズを低減することができる。 Furthermore, the second switches SW2A and SW2B may each be a parallel circuit of an N-channel MOS transistor Q1 and a P-channel MOS transistor Q2, as shown in FIG. 6, and the on/off of the N-channel MOS transistor Q1 may be synchronized with the on/off of the P-channel MOS transistor Q2. In this case, the switching noise of the second switches SW2A and SW2B can be reduced.

また、第2スイッチSW2A及びSW2Bはそれぞれ、例えば図7に示すNチャネル型MOSトランジスタQ3とダミーのNチャネル型MOSトランジスタQ4との並列回路であって、ダミーでないNチャネル型MOSトランジスタQ3をオン/オフし、ダミーのNチャネル型MOSトランジスタQ4をオフにしてもよい。この場合も、第2スイッチSW2A及びSW2Bのスイッチングノイズを低減することができる。 Furthermore, the second switches SW2A and SW2B may each be a parallel circuit of an N-channel MOS transistor Q3 and a dummy N-channel MOS transistor Q4, as shown in FIG. 7, for example, and may turn on/off the non-dummy N-channel MOS transistor Q3 and turn off the dummy N-channel MOS transistor Q4. In this case, too, the switching noise of the second switches SW2A and SW2B can be reduced.

また、本実施形態とは異なり、第1スイッチであるNチャネル型MOSトランジスタのソースにアンプの出力端が接続される場合には、アンプのイネーブル状態とディセーブル状態とを切り変えることでアンプの出力段を第2スイッチとして用いることもできる。この場合、第1スイッチとアンプとの間に第2スイッチを設けなくてすむため、低コスト化及び省面積化を図ることができる。アンプの出力段としては、例えば図7に示すようにアンプAMP1内に設けられたPチャネル型MOSトランジスタQ5とNチャネル型MOSトランジスタQ6との直列回路である。Pチャネル型MOSトランジスタQ5とNチャネル型MOSトランジスタQ6との接続ノードがアンプAMP1の出力端TOUTとなり、図7において不図示の第1スイッチに接続される。 Furthermore, unlike this embodiment, when the output terminal of the amplifier is connected to the source of the N-channel MOS transistor that serves as the first switch, the amplifier's output stage can be used as the second switch by switching between the enabled and disabled states of the amplifier. In this case, there is no need to provide a second switch between the first switch and the amplifier, which contributes to lower costs and space savings. The amplifier's output stage is, for example, a series circuit of a P-channel MOS transistor Q5 and an N-channel MOS transistor Q6 provided within amplifier AMP1, as shown in FIG. 7. The connection node between P-channel MOS transistor Q5 and N-channel MOS transistor Q6 becomes the output terminal TOUT of amplifier AMP1, and is connected to the first switch (not shown in FIG. 7).

上述した超音波センサ1は、例えば図8に示す車両Xに搭載される車載用クリアランスソナーとして利用することができる。また、圧電素子を駆動する駆動装置は、測定対象物までの距離をセンシングする超音波センサ以外に、例えば流体の速度を計測する超音波流量計に搭載することもできる。 The ultrasonic sensor 1 described above can be used, for example, as an on-board clearance sonar mounted on vehicle X shown in Figure 8. Furthermore, the drive device that drives the piezoelectric element can be mounted not only in ultrasonic sensors that sense the distance to a measurement object, but also in ultrasonic flowmeters that measure the velocity of a fluid, for example.

本発明の構成は、上記実施形態のほか、発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。上記実施形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきであり、本発明の技術的範囲は、上記実施形態の説明ではなく、特許請求の範囲によって示されるものであり、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内に属する全ての変更が含まれると理解されるべきである。 In addition to the above-described embodiments, various modifications can be made to the configuration of the present invention without departing from the spirit of the invention. The above-described embodiments are illustrative in all respects and should be considered not to be limiting. The technical scope of the present invention is defined by the claims, not by the description of the above-described embodiments, and should be understood to include all modifications that fall within the meaning and scope of the claims.

例えば、上記実施形態では、スイッチ装置は超音波センサに搭載されたが、上述したスイッチ装置は超音波センサ以外の製品にも搭載することができる。上述したスイッチ装置は、高耐圧及びスイッチングノイズの低減が求められる場合に適している。 For example, in the above embodiment, the switch device was mounted on an ultrasonic sensor, but the above-described switch device can also be mounted on products other than ultrasonic sensors. The above-described switch device is suitable for situations where high voltage resistance and reduced switching noise are required.

以上説明したスイッチ装置(9、10)は、第1スイッチ(SW1A、SW1B)と、前記第1スイッチに直列接続され前記第1スイッチよりも耐圧が低い第2スイッチ(SW2A、SW2B)と、前記スイッチ装置をオンにするときに前記第1スイッチをオン、前記第2スイッチをオンにし、前記スイッチ装置をオフにするときに前記第1スイッチをオン、前記第2スイッチをオフにするように構成される制御部(CNT1A、CNT1B)を備える構成(第1の構成)である。 The switch device (9, 10) described above is configured (first configuration) to include a first switch (SW1A, SW1B), a second switch (SW2A, SW2B) connected in series to the first switch and having a lower withstand voltage than the first switch, and a control unit (CNT1A, CNT1B) configured to turn on the first switch and the second switch when the switch device is turned on, and to turn on the first switch and the second switch when the switch device is turned off.

上記第1の構成であるスイッチ装置は、スイッチングノイズを低減することができる。 The switch device having the first configuration described above can reduce switching noise.

上記第1の構成であるスイッチ装置において、前記第1スイッチは、前記第1スイッチがオンであるときに、前記第1スイッチと前記第2スイッチとの接続ノードの電圧をクランプするように構成される構成(第2の構成)であってもよい。 In the switch device having the first configuration described above, the first switch may be configured to clamp the voltage of the connection node between the first switch and the second switch when the first switch is on (second configuration).

上記第2の構成であるスイッチ装置は、第2スイッチに高電圧が印加されることによって第2スイッチが破壊することを防止することができる。 The switch device having the second configuration described above can prevent the second switch from being destroyed by applying a high voltage to the second switch.

上記第1又は第2の構成であるスイッチ装置において、前記第2スイッチは、Nチャネル型MOSトランジスタとPチャネル型MOSトランジスタの並列回路である構成(第3の構成)であってもよい。 In the switch device having the first or second configuration described above, the second switch may be configured as a parallel circuit of an N-channel MOS transistor and a P-channel MOS transistor (third configuration).

上記第3の構成であるスイッチ装置は、第2スイッチのスイッチングノイズを低減することができる。 The switch device having the third configuration described above can reduce the switching noise of the second switch.

上記第1又は第2の構成であるスイッチ装置において、前記第2スイッチは、Nチャネル型MOSトランジスタとダミーのNチャネル型MOSトランジスタの並列回路である構成(第4の構成)であってもよい。 In the switch device having the first or second configuration described above, the second switch may be configured as a parallel circuit of an N-channel MOS transistor and a dummy N-channel MOS transistor (fourth configuration).

上記第4の構成であるスイッチ装置は、第2スイッチのスイッチングノイズを低減することができる。 The switch device having the fourth configuration described above can reduce the switching noise of the second switch.

上記第1又は第2の構成であるスイッチ装置において、前記第2スイッチはアンプの出力段であり、前記アンプの出力端は、前記第1スイッチに接続されるように構成される構成(第5の構成)であってもよい。 In the switch device having the first or second configuration described above, the second switch may be an output stage of an amplifier, and the output end of the amplifier may be configured to be connected to the first switch (fifth configuration).

上記第5の構成であるスイッチ装置は、第1スイッチとアンプとの間に第2スイッチを設けなくてすむため、低コスト化及び省面積化を図ることができる。 The switch device having the fifth configuration described above eliminates the need for a second switch between the first switch and the amplifier, thereby reducing costs and space.

以上説明した駆動装置(3)は、振動子(2)を駆動するように構成される駆動回路(5)と、前記振動子の残響振動を抑制するように構成される残響振動抑制回路(11)と、前記駆動回路と前記残響振動抑制回路との間の電気的接続と電気的遮断とを切り替えるように構成される上記第1~第5いずれかの構成であるスイッチ装置と、を備える構成(第6の構成)である。 The drive device (3) described above is a configuration (sixth configuration) that includes a drive circuit (5) configured to drive the vibrator (2), a reverberation vibration suppression circuit (11) configured to suppress reverberation vibration of the vibrator, and a switch device having any of the first to fifth configurations described above that is configured to switch between electrical connection and electrical disconnection between the drive circuit and the reverberation vibration suppression circuit.

上記第6の構成である駆動装置は、スイッチ装置のスイッチングノイズを低減することができる。 The drive device with the sixth configuration described above can reduce the switching noise of the switch device.

以上説明した超音波センサ(1)は、上記第6の構成である駆動装置と、前記振動子と、を備える構成(第7の構成)である。 The ultrasonic sensor (1) described above has a configuration (seventh configuration) that includes the drive device of the sixth configuration and the vibrator.

上記第7の構成である超音波センサは、スイッチ装置のスイッチングノイズを低減することができ、スイッチ装置のスイッチングノイズが原因となる誤検出を抑制することができる。 The ultrasonic sensor having the seventh configuration described above can reduce the switching noise of the switch device, thereby suppressing false detections caused by the switching noise of the switch device.

以上説明した車両(X)は、上記第7の構成である超音波センサを備える構成(第8の構成)である。 The vehicle (X) described above has a configuration (eighth configuration) that includes an ultrasonic sensor, which is the seventh configuration described above.

上記第8の構成である車両は、スイッチ装置のスイッチングノイズを低減することができ、スイッチ装置のスイッチングノイズが原因となる超音波センサでの誤検出を抑制することができる。 A vehicle with the eighth configuration described above can reduce switching noise from the switch device, thereby suppressing false detections by the ultrasonic sensor caused by switching noise from the switch device.

1 実施形態に係る超音波センサ
2 振動子
3 駆動装置
4 処理装置
5 駆動回路
6 LNA
7 LPF
8 ADC
9、10 スイッチ装置
11 残響振動抑制回路
AMP1 アンプ
C0、CP、CS キャパシタ
CNT1A、CNT1B 制御部
R1~R4、RD、RS 抵抗
LP 疑似インダクタ回路
LS インダクタ
OP1、OP2 オペアンプ
Q1、Q3、Q4、Q6 Nチャネル型MOSトランジスタ
Q2、Q5 Pチャネル型MOSトランジスタ
SW1A、SW1B 第1スイッチ
SW2A、SW2B 第2スイッチ
T1~T5 外部端子
TOUT 出力端
X 車両
REFERENCE SIGNS LIST 1 Ultrasonic sensor according to embodiment 2 Transducer 3 Driving device 4 Processing device 5 Driving circuit 6 LNA
7 LPF
8 ADC
9, 10 Switching device 11 Reverberation vibration suppression circuit AMP1 Amplifier C0, CP, CS Capacitor CNT1A, CNT1B Control unit R1 to R4, RD, RS Resistor LP Pseudo inductor circuit LS Inductor OP1, OP2 Operational amplifier Q1, Q3, Q4, Q6 N-channel MOS transistor Q2, Q5 P-channel MOS transistor SW1A, SW1B First switch SW2A, SW2B Second switch T1 to T5 External terminal TOUT Output end X Vehicle

Claims (5)

第1スイッチと、
前記第1スイッチに直列接続され前記第1スイッチよりも耐圧が低い第2スイッチと、
を備えるスイッチ装置であって、
前記スイッチ装置をオンにするときに前記第1スイッチをオン、前記第2スイッチをオンにし、前記スイッチ装置をオフにするときに前記第1スイッチをオン、前記第2スイッチをオフにするように構成される制御部を備え
前記第2スイッチは、Nチャネル型MOSトランジスタとPチャネル型MOSトランジスタの並列回路である、スイッチ装置。
A first switch;
a second switch connected in series to the first switch and having a lower withstand voltage than the first switch;
A switch device comprising:
a control unit configured to turn on the first switch and the second switch when the switch device is turned on, and to turn on the first switch and the second switch when the switch device is turned off ,
The second switch is a parallel circuit of an N-channel MOS transistor and a P-channel MOS transistor .
前記第1スイッチは、前記第1スイッチがオンであるときに、前記第1スイッチと前記第2スイッチとの接続ノードの電圧をクランプするように構成される、請求項1に記載のスイッチ装置。 The switch device of claim 1, wherein the first switch is configured to clamp the voltage of a connection node between the first switch and the second switch when the first switch is on. 振動子を駆動するように構成される駆動回路と、
前記振動子の残響振動を抑制するように構成される残響振動抑制回路と、
前記駆動回路と前記残響振動抑制回路との間の電気的接続と電気的遮断とを切り替えるように構成される請求項1又は請求項2に記載のスイッチ装置と、
を備える、駆動装置。
a drive circuit configured to drive the transducer;
a reverberation vibration suppression circuit configured to suppress reverberation vibration of the vibrator;
a switch device according to claim 1 or 2 , configured to switch between electrical connection and electrical disconnection between the drive circuit and the reverberation vibration suppression circuit;
A drive device comprising:
請求項に記載の駆動装置と、
前記振動子と、
を備える、超音波センサ。
The drive device according to claim 3 ;
The vibrator;
An ultrasonic sensor comprising:
請求項に記載の超音波センサを備える、車両。 A vehicle comprising the ultrasonic sensor according to claim 4 .
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