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JP7831554B2 - Zeolite, resin composition, liquid encapsulant, underfill material, method for manufacturing encapsulant, and electronic device - Google Patents
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JP7831554B2 - Zeolite, resin composition, liquid encapsulant, underfill material, method for manufacturing encapsulant, and electronic device - Google Patents

Zeolite, resin composition, liquid encapsulant, underfill material, method for manufacturing encapsulant, and electronic device

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JP7831554B2 JP2024203477A JP2024203477A JP7831554B2 JP 7831554 B2 JP7831554 B2 JP 7831554B2 JP 2024203477 A JP2024203477 A JP 2024203477A JP 2024203477 A JP2024203477 A JP 2024203477A JP 7831554 B2 JP7831554 B2 JP 7831554B2
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Description

本発明は、ゼオライト、樹脂組成物、液状封止剤、アンダーフィル材、封止材の製造方法及び電子デバイスに関する。 This invention relates to zeolites, resin compositions, liquid encapsulants, underfill materials, methods for producing encapsulants, and electronic devices.

アンダーフィル材として用いられる液状封止剤は、注入性、接着性、硬化性、保存安定性等に優れ、かつ、ボイドが発生しないことが求められる。また、液状封止剤によって封止した部位が、耐湿性、耐サーマルサイクル性、耐リフロー、耐クラック性、耐反り等に優れることが求められる。上記の要求を満足するため、アンダーフィル材として用いられる液状封止剤としては、エポキシ樹脂を主剤とするものが広く用いられている。 Liquid sealants used as underfill materials are required to have excellent injectability, adhesion, curing properties, and storage stability, and to be void-free. Furthermore, the areas sealed with the liquid sealant must exhibit excellent moisture resistance, thermal cycling resistance, reflow resistance, crack resistance, and warping resistance. To satisfy these requirements, epoxy resin-based liquid sealants are widely used as underfill materials.

また、液状封止剤によって封止した部位の耐湿性及び耐サーマルサイクル性、特に耐サーマルサイクル性を向上させるためには、シリカフィラーのような無機物質からなる充填材(以下、「無機フィラー」と記載することがある。)を液状封止剤に用いることにより、エポキシ樹脂等の有機材料製の基板、及び半導体素子との熱膨張係数の差のコントロールや、バンプ電極を補強することが知られている(特許文献1参照)。 Furthermore, to improve the moisture resistance and thermal cycling resistance, particularly thermal cycling resistance, of the parts sealed with liquid encapsulants, it is known that using fillers made of inorganic substances such as silica fillers (hereinafter sometimes referred to as "inorganic fillers") in the liquid encapsulant allows for control of the difference in thermal expansion coefficients between the substrate made of organic materials such as epoxy resin and semiconductor elements, and to reinforce the bump electrodes (see Patent Document 1).

特開2007-56070号公報Japanese Patent Publication No. 2007-56070

シリカフィラーなどの無機フィラーを使用した液状封止剤(樹脂組成物)は、熱膨張係数が十分に低くならず、耐サーマルサイクル性などの観点から、熱膨張係数をさらに低くすることが求められている。また、熱膨張係数が低い無機フィラーとしては、ゼオライトが知られているが、ゼオライトが配合された液状封止剤は、粘度が高くなる傾向にあり、アンダーフィル材として使用した際の注入性(ギャップ浸入性)が低下してしまうために、硬化物の熱膨張係数を低くしつつ、注入性の良好な液状封止剤を得ることは難しい。 Liquid sealants (resin compositions) using inorganic fillers such as silica fillers do not have sufficiently low thermal expansion coefficients, and further reductions in the thermal expansion coefficient are required from the viewpoint of thermal cycling resistance. While zeolites are known as inorganic fillers with low thermal expansion coefficients, liquid sealants containing zeolites tend to have high viscosity, reducing their injectability (gap penetration) when used as underfill materials. Therefore, it is difficult to obtain a liquid sealant with good injectability while simultaneously having a low thermal expansion coefficient in the cured product.

また、ゼオライトは吸湿性が高いことが知られているが、水の存在により電子材料の誘電率や信頼性などが低下することがあるため、該用途に用いるゼオライトには、吸湿性が低いことが求められる。 Furthermore, while zeolites are known to be highly hygroscopic, the presence of water can reduce the dielectric constant and reliability of electronic materials. Therefore, zeolites used in this application require low hygroscopicity.

そこで、本発明は、低吸湿で硬化後の熱膨張係数が低く、かつ低粘度でギャップ浸入性が良好である樹脂組成物を得るためのゼオライトを提供することを課題とする。 Therefore, the object of the present invention is to provide a zeolite for obtaining a resin composition that has low moisture absorption, a low coefficient of thermal expansion after curing, low viscosity, and good gap penetration properties.

本発明者らは、上記課題に対して鋭意検討した結果、特定の構成からなるゼオライトを用いることで、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成させた。
本発明の要旨は、以下のとおりである。
[1]熱重量分析(TGA)により、空気雰囲気中、昇温速度10℃/分にて800℃まで昇温し、800℃で10分保持したときに、400℃における重量を基準とした800℃での重量減少率が1%以上であり、一次粒子の真円度が0.800以上であり、体積基準の粒度分布測定で得られた粒径が3μm以上の粒子が40%以下である、ゼオライト。
[2]CBUとしてd6rを有する、上記[1]に記載のゼオライト。
[3]酸素8員環以下の構造である、上記[1]又は[2]に記載のゼオライト。
[4]CHA型構造である、上記[1]~[3]のいずれか一つに記載のゼオライト。
[5]上記[1]~[4]のいずれか一つに記載のゼオライトと樹脂とを含有する、樹脂組成物。
[6]前記樹脂がエポキシ樹脂及びポリイミド樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種類を含む、上記[5]に記載の樹脂組成物。
[7]前記樹脂がエポキシ樹脂を含む、上記[5]又は[6]に記載の樹脂組成物。
[8]上記[5]~[7]のいずれか一つに記載の樹脂組成物からなる、液状封止剤。
[9]上記[5]~[7]のいずれか一つに記載の樹脂組成物からなる、アンダーフィル材。
[10]上記[5]~[7]のいずれか一つに記載の樹脂組成物を隙間に充填した後、硬化させる工程を有する、封止材の製造方法。
[11]上記[10]に記載の製造方法により得られる封止材を備える、電子デバイス。
As a result of diligent research into the above-mentioned problems, the inventors of this invention discovered that the above-mentioned problems could be solved by using a zeolite with a specific configuration, and thus completed the present invention.
The gist of this invention is as follows:
[1] A zeolite that, when heated to 800°C in an air atmosphere at a heating rate of 10°C/min and held at 800°C for 10 minutes, shows a weight loss rate of 1% or more at 800°C relative to the weight at 400°C, a roundness of 0.800 or more of the primary particles, and 40% or less of the particles with a particle size of 3 μm or larger obtained by volume-based particle size distribution measurement.
[2] The zeolite described in [1] above, having d6r as CBU.
[3] The zeolite described in [1] or [2] above, having a structure of an oxygen ring of 8 members or less.
[4] A zeolite described in any one of [1] to [3] above, having a CHA-type structure.
[5] A resin composition containing the zeolite and resin described in any one of [1] to [4] above.
[6] The resin composition according to [5] above, wherein the resin comprises at least one selected from the group consisting of epoxy resins and polyimide resins.
[7] The resin composition according to [5] or [6] above, wherein the resin comprises an epoxy resin.
[8] A liquid encapsulant comprising the resin composition described in any one of [5] to [7] above.
[9] An underfill material comprising the resin composition described in any one of [5] to [7] above.
[10] A method for manufacturing a sealing material, comprising the step of filling a gap with the resin composition described in any one of [5] to [7] above, and then curing it.
[11] An electronic device comprising a sealing material obtained by the manufacturing method described in [10] above.

本発明によれば、吸湿性及び硬化後の熱膨張係数が低く、かつ低粘度でギャップ浸入性が高い樹脂組成物を得るためのゼオライトを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a zeolite for obtaining a resin composition that has low hygroscopicity and low thermal expansion coefficient after curing, as well as low viscosity and high gap penetration properties.

[ゼオライト]
ゼオライトとは通常、ケイ素又はアルミニウムと、酸素とを含んで構成される、三次元ネットワークからなる骨格と、その骨格構造に由来する細孔を有する結晶性の物質の一群を指し、このような特徴的な構造は吸着剤や触媒に応用されている。そのため、ゼオライトの合成途中で細孔内部に取り込まれる有機構造規定剤などの有機物は、細孔を閉塞し、ゼオライトの吸着能や触媒能を低下させる原因となるため、焼成等によって除去されることが一般的である。しかしながら、本発明のゼオライト(以下、「本ゼオライト」と記載することがある。)は、細孔内部に有機物、好ましくはゼオライトの原料である有機構造規定剤由来の成分を含有していることを特徴とする。細孔内部に有機物、好ましくは有機構造規定剤由来の成分を含有したゼオライトの製造方法としては、これに限られないが、例えばゼオライトの製造過程において、通常行われる焼成処理を行わない、もしくは部分的に行うことが挙げられる。細孔内部に有機物、好ましくは有機構造規定剤由来の成分を含有したゼオライトの特徴としては、具体的には、熱重量分析(TGA)により、空気雰囲気中、昇温速度10℃/分にて800℃まで昇温し、800℃で10分保持したときに、400℃における重量を基準として、800℃での重量減少率が1%以上であることが挙げられる。細孔内部に有機物、好ましくは有機構造規定剤由来の成分を含有したゼオライトは、400℃から800℃の高温領域での熱処理では、ゼオライトの細孔内に存在する吸着水及び有機物、好ましくは有機構造規定剤が脱離することによって、通常の焼成されているゼオライト(以下、「焼成ゼオライト」と記載することがある。)に比較して、重量減少率の値が大きくなると思われる。
後述する本発明の樹脂組成物(以下、「本樹脂組成物」と記載することがある。)は、このような細孔内部に有機物、好ましくは有機構造規定剤由来の成分を含有したゼオライトを用いることによって、硬化物が低吸湿性を示す。このようなゼオライトを用いることによって低吸湿性を示す機構は、以下と推測している。ゼオライトが水や他物質への吸着性を発揮するのは、ゼオライトが多孔質な構造を持ち、吸着サイトである酸点を持つためである。その多孔内に有機物、好ましくは有機構造規定剤由来の成分が存在することで完全な多孔質になりきれず、水や他物質への吸着性が低下し、吸湿性が低下すると推定している。以上の観点から、本ゼオライトは、熱重量分析(TGA)により、空気雰囲気中、昇温速度10℃/分にて800℃まで昇温し、800℃で10分保持したときに、400℃における重量を基準とした800℃での重量減少率(以下、単に「重量減少率」と記載することがある。)が1%以上であり、2%以上であることが好ましく、3%以上であることがより好ましい。なお、重量減少率は5%以上であっても、10%以上であっても、20%以上であってもよい。上限値については、本願発明の効果を奏する範囲であれば、特に制限はないが、例えば50%以下であってよい。
[Zeolite]
Zeolites typically refer to a group of crystalline materials composed of silicon or aluminum and oxygen, with a three-dimensional network framework and pores derived from this framework structure. This characteristic structure is used in adsorbents and catalysts. Therefore, organic substances, such as organic structure-regulating agents, incorporated into the pores during zeolite synthesis can clog the pores and reduce the zeolite's adsorption and catalytic capabilities; these are generally removed by calcination or other methods. However, the zeolite of the present invention (hereinafter sometimes referred to as "this zeolite") is characterized by containing organic substances, preferably components derived from organic structure-regulating agents which are raw materials for zeolites, within its pores. Methods for producing zeolites containing organic substances, preferably components derived from organic structure-regulating agents, within their pores are not limited to this, but include, for example, omitting or partially performing the calcination process that is normally carried out during the zeolite manufacturing process. A characteristic of zeolites containing organic matter, preferably components derived from organic structural regulators, within their pores is that, as determined by thermogravimetric analysis (TGA), when heated to 800°C in an air atmosphere at a heating rate of 10°C/min and held at 800°C for 10 minutes, the weight loss rate at 800°C is 1% or more, relative to the weight at 400°C. Zeolites containing organic matter, preferably components derived from organic structural regulators, within their pores are expected to exhibit a larger weight loss rate compared to conventionally calcined zeolites (hereinafter sometimes referred to as "calcined zeolites") during heat treatment in the high-temperature range of 400°C to 800°C, due to the desorption of adsorbed water and organic matter, preferably organic structural regulators, present within the pores of the zeolite.
The resin composition of the present invention (hereinafter sometimes referred to as "this resin composition") described later uses a zeolite containing organic matter, preferably components derived from an organic structure-regulating agent, within its pores, thereby resulting in a cured product exhibiting low hygroscopicity. The mechanism by which such zeolite exhibits low hygroscopicity is presumed to be as follows: Zeolites exhibit adsorption properties to water and other substances because they have a porous structure and possess acid sites, which are adsorption sites. The presence of organic matter, preferably components derived from an organic structure-regulating agent, within these pores prevents the zeolite from becoming completely porous, thereby reducing its adsorption properties to water and other substances, and consequently reducing its hygroscopicity. From the above perspective, the zeolite, when heated to 800°C in an air atmosphere at a heating rate of 10°C/min and held at 800°C for 10 minutes, by thermogravimetric analysis (TGA), has a weight loss rate at 800°C (hereinafter sometimes simply referred to as "weight loss rate") of 1% or more, preferably 2% or more, and more preferably 3% or more, relative to the weight at 400°C. The weight loss rate may also be 5% or more, 10% or more, or 20% or more. There are no particular restrictions on the upper limit as long as the effects of the present invention are achieved, but for example, it may be 50% or less.

(ゼオライトの粒度分布)
本ゼオライトは、体積基準の粒度分布において、粒径が3μm以上の粒子が40%以下であることを特徴とするものである。体積基準の粒度分布において、粒径が3μm以上の粒子が40%以下であることで、樹脂組成物としたときに、狭ギャップであっても、樹脂組成物を十分に充填することができる。かかる観点から、体積基準の粒度分布において、粒径が3μm以上の粒子が40%以下であることが好ましく、より好ましくは30%以下、さらに好ましくは20%以下、特に好ましくは10%以下、最も好ましくは5%以下である。また、体積基準の粒度分布において、粒径が3μm以上の粒子の下限値は特に限定されず、0%以上であればよい。
なお、本ゼオライトの体積基準の粒度分布は、レーザ回折散乱式粒度分布測定法により測定して得られる。具体的には実施例に記載の方法により測定することができる。上記の粒度分布を満たすための方法としては、水熱合成後に分級処理を実施すること、水熱合成時に種晶やアルカリ金属を任意の割合で添加すること等を挙げることができる。なお、これらの工程は単独で用いてもよいし、組み合わせて用いてもよい。
(Zeolite particle size distribution)
This zeolite is characterized in that, in its volume-based particle size distribution, 40% or less of the particles have a particle size of 3 μm or larger. Having 40% or less of particles with a particle size of 3 μm or larger in its volume-based particle size distribution allows the resin composition to be sufficiently filled even in narrow gaps. From this viewpoint, it is preferable that, in its volume-based particle size distribution, 40% or less of particles with a particle size of 3 μm or larger are present, more preferably 30% or less, even more preferably 20% or less, particularly preferably 10% or less, and most preferably 5% or less. Furthermore, the lower limit of particles with a particle size of 3 μm or larger in its volume-based particle size distribution is not particularly limited; it should be 0% or more.
The volume-based particle size distribution of this zeolite is obtained by measuring it using the laser diffraction scattering particle size distribution method. Specifically, it can be measured by the method described in the examples. Methods to satisfy the above particle size distribution include performing a classification treatment after hydrothermal synthesis, and adding seed crystals or alkali metals in arbitrary proportions during hydrothermal synthesis. These steps may be used individually or in combination.

(ゼオライトの粒径)
本ゼオライトの粒径は、ゼオライトを樹脂に添加する場合は、その粘度が上がり難い点では大きいことが好ましい。具体的には、0.1μm以上が好ましく、0.2μm以上がより好ましく、0.3μm以上がさらに好ましく、中でも0.4μm以上、中でも0.5μm以上、中でも0.6μm以上、中でも0.7μm以上、0.8μm以上が特に好ましく、0.9μm以上が殊更に好ましく、1.0μm以上が最も好ましい。また、一方で、樹脂等の他の成分と均一に混合されやすく、表面の平滑性が高くなりやすい点では小さいことが好ましい。具体的には、3.0μm以下が好ましく、2.95μm以下がより好ましく、2.9μm以下がさらに好ましく、中でも2.8μm以下、中でも2.7μm以下、中でも2.5μm以下、中でも2.4μm以下、中でも2.3μm以下、2.2μm以下が特に好ましく、2.1μm以下が殊更に好ましく、2.0μm以下が最も好ましい。
なお、本ゼオライトの粒径は、体積基準の粒度分布で得られるメジアン径を意味し、当該体積基準の粒度分布はレーザ回折散乱式粒度分布測定法により測定して得られる。
また、本ゼオライトは、複数のゼオライト粒子が凝集して二次粒子を形成していてもよいが、この場合のゼオライトの粒径は、一次粒子の粒径である。
(Zeolite particle size)
When adding zeolite to a resin, a larger particle size is preferable in that it does not easily increase the viscosity. Specifically, a particle size of 0.1 μm or larger is preferable, 0.2 μm or larger is more preferable, 0.3 μm or larger is even preferable, 0.4 μm or larger is preferable, 0.5 μm or larger is preferable, 0.6 μm or larger is preferable, 0.7 μm or larger is preferable, 0.8 μm or larger is particularly preferable, 0.9 μm or larger is especially preferable, and 1.0 μm or larger is most preferable. On the other hand, a smaller particle size is preferable in that it is easier to uniformly mix with other components such as resin and the surface smoothness is easier to achieve. Specifically, a particle size of 3.0 μm or less is preferred, 2.95 μm or less is more preferred, 2.9 μm or less is even more preferred, 2.8 μm or less is preferred, 2.7 μm or less is preferred, 2.5 μm or less is preferred, 2.4 μm or less is preferred, 2.3 μm or less is particularly preferred, 2.2 μm or less is particularly preferred, 2.1 μm or less is especially preferred, and 2.0 μm or less is most preferred.
The particle size of this zeolite refers to the median diameter obtained from the volume-based particle size distribution, which is obtained by measuring the particle size distribution using the laser diffraction scattering method.
Furthermore, this zeolite may be formed by the aggregation of multiple zeolite particles to create secondary particles, but in this case, the particle size of the zeolite is the same as the particle size of the primary particles.

(ゼオライトの構造)
ゼオライトとは、ケイ素又はアルミニウムと、酸素とを含んで構成される、TOユニット(T元素とは、骨格を構成する酸素以外の元素)を基本単位とする化合物である。ゼオライトは、具体的には、結晶性多孔質なアルミノケイ酸塩(アルミノシリケート)、結晶性多孔質なアルミノリン酸塩(ALPO)、又は結晶性多孔質なシリコアルミノリン酸塩(SAPO)等が挙げられる。本ゼオライトは、上述の構造のいずれでもよいが、アルミノシリケートが好ましい。
ゼオライトは、TOユニットが、いくつか(数個~数十個)つながった、Composite Building Unit(以下、「CBU」と記載することがある。)と呼ばれる構造単位から成り立っている。そのために、規則的なチャンネル(管状細孔)とキャビティ(空洞)を有している。
このCBUや後述するゼオライトの結晶構造に関しては、International Zeolite Association(IZA)が定めるゼオライトの構造を規定するコードで示すことができる。なお、ゼオライトの構造は、X線構造解析装置(例えば、BRUKER社製卓上型X線回析装置D2PHASER)により得られたX線回折パターンを基に、ゼオライト構造データベース2018年版(http://www.iza-structure.org/databases/)を用いて特定することができる。
(Structure of zeolite)
Zeolites are compounds composed of silicon or aluminum and oxygen, with TO4 units (T elements being elements other than oxygen that make up the skeleton) as their basic units. Specifically, zeolites include crystalline porous aluminosilicates, crystalline porous aluminophosphates (ALPO), and crystalline porous silicoaluminophosphates (SAPO). While any of the above structures is acceptable for the zeolite, aluminosilicate is preferred.
Zeolites are composed of structural units called Composite Building Units (hereinafter sometimes referred to as "CBUs"), which are made up of several (several to several dozen) TO 4 units linked together. As a result, they have regular channels (tubular pores) and cavities.
The crystal structure of this CBU and the zeolite described later can be indicated by the code that defines the structure of zeolites as defined by the International Zeolite Association (IZA). The structure of the zeolite can be determined based on the X-ray diffraction pattern obtained by an X-ray structural analyzer (for example, a BRUKER D2PHASER desktop X-ray diffractometer) using the 2018 Zeolite Structure Database (http://www.iza-structure.org/databases/).

(ゼオライトの骨格)
本ゼオライトの骨格は、CBUとしてd6rを有することが好ましい。d6rを有することにより、硬化後の熱膨張係数の低い樹脂組成物が得られやすい。
CBUとして、d6rを有するゼオライトとしては、AEI、AFT、AFV、AFX、AVL、CHA、EAB、EMT、ERI、FAU、GME、JSR、KFI、LEV、LTL、LTN、MOZ、MSO、MWW、OFF、SAS、SAT、SAV、SBS、SBT、SFW、SSF、SZR、TSC、及び-WEN型構造のゼオライト等が挙げられる。
これらのうち、水分子が細孔内に浸入しづらいという観点から、特に酸素8員環以下の構造であるゼオライトが好ましい。酸素8員環以下の構造であるゼオライトは、AEI、AFT、AFX、CHA、ERI、KFI、SAT、SAV、SFW、及びTSC型構造のゼオライト等が挙げられる。これらの中でも、形状制御しても構造が安定であることから、AEI、AFX、CHA、ERI型構造のゼオライトが特に好ましく、CHA型構造を有するゼオライトが最も好ましい。なお、本明細書において、酸素8員環を有する構造とは、ゼオライト骨格を形成する酸素とT元素(骨格を構成する酸素以外の元素)で構成される細孔の中で最も酸素数が多い場合の酸素元素の数が8である構造を意味する。
また、上記ゼオライトは1種を単独で用いてもいいし、2以上の複数種を組合せて用いてもよい。
(Zeolite skeleton)
The zeolite skeleton preferably has d6r as the CBU. Having d6r makes it easier to obtain a resin composition with a low coefficient of thermal expansion after curing.
Examples of zeolites containing d6r as CBU include AEI, AFT, AFV, AFX, AVL, CHA, EAB, EMT, ERI, FAU, GME, JSR, KFI, LEV, LTL, LTN, MOZ, MSO, MWW, OFF, SAS, SAT, SAV, SBS, SBT, SFW, SSF, SZR, TSC, and zeolites with a -WEN type structure.
Of these, zeolites with an oxygen ring of 8 members or less are particularly preferred from the viewpoint that water molecules do not easily penetrate into the pores. Examples of zeolites with an oxygen ring of 8 members or less include AEI, AFT, AFX, CHA, ERI, KFI, SAT, SAV, SFW, and TSC type zeolites. Among these, AEI, AFX, CHA, and ERI type zeolites are particularly preferred because their structure remains stable even when their shape is controlled, and CHA type zeolites are the most preferred. In this specification, an oxygen ring of 8 members refers to a structure in which the number of oxygen elements is 8 in the pores composed of oxygen and T elements (elements other than oxygen that constitute the skeleton), where the number of oxygen elements is highest.
Furthermore, the above-mentioned zeolite may be used individually or in combination of two or more types.

(ゼオライトの平均熱膨張係数)
本ゼオライトの平均熱膨張係数は、後述する液状組成物の平均熱膨張係数を少量で低減させやすいことから、低いことが好ましい。また、ゼオライトが少量であることによって、樹脂の様々な物性がゼオライトの添加により変わり難い点でも好ましい。特に、後述する液状組成物の粘度上昇を抑制することができることからも、低いことが好ましい。具体的には、ゼオライトの平均熱膨張係数は、通常0ppm/K未満であり、好ましくは-2ppm/K以下であり、より好ましくは-3ppm/K以下であり、さらに好ましくは-4ppm/K以下であり、特に好ましくは-5ppm/K以下である。
(Average thermal expansion coefficient of zeolite)
The average thermal expansion coefficient of this zeolite is preferably low because it is easy to reduce the average thermal expansion coefficient of the liquid composition described later with a small amount. It is also preferable that the various physical properties of the resin do not change easily due to the addition of zeolite because only a small amount is used. In particular, it is preferable that the viscosity increase of the liquid composition described later is suppressed. Specifically, the average thermal expansion coefficient of the zeolite is usually less than 0 ppm/K, preferably -2 ppm/K or less, more preferably -3 ppm/K or less, even more preferably -4 ppm/K or less, and particularly preferably -5 ppm/K or less.

一方、ゼオライトの平均熱膨張係数は、後述するゼオライトと樹脂を含む液状組成物として用いることを考慮すると、樹脂の平均熱膨張係数との差が小さく、ゼオライトと樹脂が分離し難い点では高いことが好ましい。そこで、ゼオライトの平均熱膨張係数は、通常-1000ppm/K以上であり、好ましくは-900ppm/K以上であり、より好ましくは-800ppm/K以上であり、さらに好ましくは-700ppm/K以上であり、特に好ましくは-500ppm/K以上であり、最も好ましくは-300ppm/K以上である。そして、特に、封止材用途に用いる場合は、高いことが好ましく、具体的には、通常-100ppm/K以上であり、好ましくは-50ppm/K以上であり、より好ましくは-40ppm/K以上であり、さらに好ましくは-30ppm/K以上であり、特に好ましくは-25ppm/K以上であり、最も好ましくは-20ppm/K以上である。
なお、ゼオライトの平均熱膨張係数は、BRUKER社製X線回折装置「D8ADVANCE」とX線回折解析ソフト「JADE」を用いて格子定数を算出することにより測定することができる。なお、ここで、水分脱離の影響を除くため、ゼオライトは、通常乾燥させた状態で測定する。
ゼオライトの平均熱膨張係数の測定は、通常50~100℃の範囲で行われる。すなわち、ゼオライトを昇温したときの50℃における平均格子定数と、100℃における平均格子定数から、1℃当たりの格子定数の変位を表した数値である。ここで、各温度における平均格子定数は、a軸、b軸、c軸の格子定数の平均値である。なお、平均熱膨張係数の測定は、格子定数が安定するまで待ってから徐々に昇温して行う。
On the other hand, considering that the zeolite will be used as a liquid composition containing zeolite and resin, as described later, it is preferable that the average thermal expansion coefficient of the zeolite be high, as this reduces the difference with the average thermal expansion coefficient of the resin and makes it difficult for the zeolite and resin to separate. Therefore, the average thermal expansion coefficient of the zeolite is usually -1000 ppm/K or higher, preferably -900 ppm/K or higher, more preferably -800 ppm/K or higher, even more preferably -700 ppm/K or higher, particularly preferably -500 ppm/K or higher, and most preferably -300 ppm/K or higher. In particular, when used as a sealing material, a high coefficient is preferable, specifically, usually -100 ppm/K or higher, preferably -50 ppm/K or higher, more preferably -40 ppm/K or higher, even more preferably -30 ppm/K or higher, particularly preferably -25 ppm/K or higher, and most preferably -20 ppm/K or higher.
The average thermal expansion coefficient of zeolite can be measured by calculating the lattice constant using a BRUKER D8 ADVANCE X-ray diffractometer and JADE X-ray diffraction analysis software. To eliminate the effects of water desorption, the zeolite is typically measured in a dry state.
The average thermal expansion coefficient of zeolite is typically measured in the range of 50 to 100°C. Specifically, it represents the displacement of the lattice constant per degree Celsius, calculated by comparing the average lattice constant at 50°C with the average lattice constant at 100°C. Here, the average lattice constant at each temperature is the average of the lattice constants along the a, b, and c axes. The measurement of the average thermal expansion coefficient is performed by gradually increasing the temperature after waiting for the lattice constant to stabilize.

樹脂は、一般的に、高温域における熱膨張係数が大きくなることが多い。そこで、ゼオライトの平均熱膨張係数は、特に高温域までの昇温で低いことが好ましい。具体的には、50~350℃の範囲の平均熱膨張係数(高温度域)が、-5ppm/K以下であることが好ましく、-5.5ppm/K以下であることがより好ましく、-6ppm/K以下であることがさらに好ましい。なお、ここでゼオライトの平均熱膨張係数(高温度域)は、ゼオライトを昇温したときの50℃における平均格子定数と、350℃における平均格子定数から、1℃当たりの格子定数の変位を表した数値である。 Resins generally exhibit a high coefficient of thermal expansion at high temperatures. Therefore, it is preferable that the average coefficient of thermal expansion of zeolite be low, especially when heated to high temperatures. Specifically, the average coefficient of thermal expansion (high temperature range) in the 50-350°C range is preferably -5 ppm/K or less, more preferably -5.5 ppm/K or less, and even more preferably -6 ppm/K or less. Here, the average coefficient of thermal expansion (high temperature range) of zeolite is a value representing the displacement of the lattice constant per degree Celsius, calculated from the average lattice constant at 50°C and the average lattice constant at 350°C when the zeolite is heated.

(ゼオライトの形状)
本ゼオライトは球状であることが好ましい。ゼオライトの形状が球状であることで、ゼオライトを含む樹脂組成物の粘度の増加を抑制することができる。具体的には、一次粒子が以下の真円度を有する。
なお、「一次粒子」とは、内部に結晶粒界を含まない単位粒子をいう。また、「一次粒子」は、走査型電子顕微鏡(SEM)による観察で求めることができる。
(Zeolite shape)
The zeolite is preferably spherical. The spherical shape of the zeolite helps to suppress an increase in the viscosity of the resin composition containing the zeolite. Specifically, the primary particles have the following degree of roundness.
A "primary particle" refers to a unit particle that does not contain grain boundaries within its structure. Furthermore, primary particles can be identified through observation using a scanning electron microscope (SEM).

<<真円度>>
本ゼオライトの一次粒子の真円度は、0.800以上であり、0.810以上が好ましく、0.820以上がより好ましく、0.830以上がさらに好ましく、0.835以上が特に好ましい。また、一次粒子の真円度の上限は特に限定されず、1以下であればよい。なお、通常ゼオライトに多い立方体の場合の真円度は、0.785である。
本明細書では、「真円度」を「4×π×面積/(円周)」と定義する。面積及び円周はそれぞれ走査型電子顕微鏡(SEM)による観察で求めることができる。なお、本明細書において、「真円度」は、走査型電子顕微鏡(SEM)によって得られた100個の粒子の平均値である。
本ゼオライトの一次粒子の真円度を上記範囲とする方法としては、水熱合成後に分級処理を実施すること、水熱合成時に種晶、アミノ酸、界面活性剤や有機構造規定剤を任意の割合で添加すること等が挙げられる。
<<Roundness>>
The roundness of the primary particles of this zeolite is 0.800 or higher, preferably 0.810 or higher, more preferably 0.820 or higher, even more preferably 0.830 or higher, and particularly preferably 0.835 or higher. Furthermore, there is no particular upper limit to the roundness of the primary particles, and it is sufficient if it is 1 or less. For reference, the roundness of the cubic shape, which is common in zeolites, is 0.785.
In this specification, "roundness" is defined as "4 × π × area / (circumference) ² ". The area and circumference can be determined by observation using a scanning electron microscope (SEM). In this specification, "roundness" is the average value of 100 particles obtained by scanning electron microscopy (SEM).
Methods for achieving the above-mentioned range of roundness of the primary particles of this zeolite include performing classification after hydrothermal synthesis, and adding seed crystals, amino acids, surfactants, or organic structure-regulating agents in arbitrary proportions during hydrothermal synthesis.

(ゼオライトのフレームワーク密度)
本ゼオライトのフレームワーク密度は、本発明の効果が損なわれない範囲であれば、特段に限定されるものではない。ゼオライトのフレームワーク密度は、ゼオライトの構造振動が起こりやすく、平均熱膨張係数が低くなりやすい点では低いことが好ましい。そこで、ゼオライトのフレームワーク密度は、好ましくは17.0T/1000Å以下、より好ましくは16.0T/1000Å以下である。
一方、ゼオライトのフレームワーク密度は、ゼオライトの構造安定性が高くなりやすい点では、高いことが好ましい。ゼオライトのフレームワーク密度は、好ましくは12.0T/1000Å以上、より好ましくは13.0T/1000Å以上、さらに好ましくは14.0T/1000Å以上である。フレームワーク密度が、上記範囲内であると、ゼオライトを安定したフィラーとして用いることができる。
なお、フレームワーク密度とは、ゼオライトの単位体積あたりに存在するT原子の数を示し、ゼオライトの構造によって定まる値である。本明細書では、IZAのゼオライト構造データベース2017年版(http://www.iza-structure.org/databases/)に記載の数値を用いればよい。
(Zeolite framework density)
The framework density of the zeolite is not particularly limited, as long as the effects of the present invention are not impaired. A low framework density of the zeolite is preferable because it makes the zeolite more susceptible to structural vibration and tends to result in a lower average coefficient of thermal expansion. Therefore, the framework density of the zeolite is preferably 17.0 T/1000 ų or less, and more preferably 16.0 T/1000 ų or less.
On the other hand, a high framework density of zeolite is preferable because it tends to increase the structural stability of the zeolite. The framework density of zeolite is preferably 12.0 T/1000 ų or higher, more preferably 13.0 T/1000 ų or higher, and even more preferably 14.0 T/1000 ų or higher. When the framework density is within the above range, zeolite can be used as a stable filler.
Framework density refers to the number of T atoms present per unit volume of zeolite, and is a value determined by the structure of the zeolite. In this specification, the values listed in the IZA Zeolite Structure Database 2017 edition (http://www.iza-structure.org/databases/) may be used.

フレームワーク密度が、16.0T/1000Åより大きく、17.0T/1000Å以下のゼオライトの例としては、ERI、LTL、LTN、MOZ、OFF、SAT、SSF、-WEN型構造のゼオライトを挙げることができる。
フレームワーク密度が、15.0T/1000Åより大きく、16.0T/1000Å以下のゼオライトの例としては、AEI、AFT、AFV、AFX、AVL、EAB、GME、LEV、MWW、及びSFW型構造のゼオライトを挙げることができる。
フレームワーク密度が、14.0T/1000Åより大きく、15.0T/1000Å以下のゼオライトの例としては、CHA、KFI、SAS、及びSAV型構造のゼオライトを挙げることができる。
フレームワーク密度が、14.0T/1000Å以下の範囲に存在するゼオライトの例としては、EMT、FAU、JSR、SBS、SBT、及びTSC型構造のゼオライトを挙げることができる。
Examples of zeolites with a framework density greater than 16.0 T/1000 ų and less than or equal to 17.0 T/1000 ų include ERI, LTL, LTN, MOZ, OFF, SAT, SSF, and -WEN type zeolites.
Examples of zeolites with a framework density greater than 15.0 T/1000 ų and less than or equal to 16.0 T/1000 ų include AEI, AFT, AFV, AFX, AVL, EAB, GME, LEV, MWW, and SFW type zeolites.
Examples of zeolites with a framework density greater than 14.0 T/1000 ų and less than or equal to 15.0 T/1000 ų include CHA, KFI, SAS, and SAV-type zeolites.
Examples of zeolites with a framework density in the range of 14.0 T/1000 ų or less include EMT, FAU, JSR, SBS, SBT, and zeolites with TSC-type structures.

(ゼオライトの組成)
本ゼオライトの組成は、本発明の効果が損なわれない態様であれば、特段に限定されるものではないが、フィラー用途への適用に有利であることから、骨格構造に少なくともアルミニウム原子とケイ素原子を含むアルミノシリケートが好ましい。ゼオライトは、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を任意の組み合わせ及び比率で用いてもよい。
(Composition of zeolite)
The composition of this zeolite is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired, but an aluminosilicate containing at least aluminum atoms and silicon atoms in its skeletal structure is preferred because it is advantageous for use as a filler. One type of zeolite may be used alone, or two or more types may be used in any combination and ratio.

なお、ケイ素、アルミニウムの代わりに、ガリウム、鉄、ホウ素、チタン、ジルコニウム、スズ、亜鉛、リン等の元素を用いた場合は、代わりになった該元素の酸化物のモル比を、アルミナ又はシリカのモル比として換算すればよい。具体的には、アルミニウムの代わりにガリウムを用いた場合は、酸化ガリウムのモル比をアルミナのモル比に換算すればよい。 Furthermore, if elements such as gallium, iron, boron, titanium, zirconium, tin, zinc, or phosphorus are used instead of silicon or aluminum, the molar ratio of the oxide of the substituted element should be converted to the molar ratio of alumina or silica. Specifically, if gallium is used instead of aluminum, the molar ratio of gallium oxide should be converted to the molar ratio of alumina.

(ゼオライトのシリカ/アルミナのモル比(SAR))
本ゼオライトのシリカ/アルミナのモル比(以下、「SAR」、「Si/Alのモル比」、又は「Si/Al比」と記載することがある。)は、本発明の効果が損なわれない態様であれば、特段に制限されるものではない。ゼオライトのSAR(Si/Al比)は、硬化物の耐湿性が高くなり、カウンターカチオンの量を制御しやすい点では、高いことが好ましい。そこで、ゼオライトのSAR(Si/Al比)は、通常2以上、好ましくは5以上、より好ましくは10以上、さらに好ましくは14以上、中でも18以上、中でも20以上、中でも22以上、中でも23以上、中でも23.5以上、特に好ましくは24以上、殊更に好ましくは24.5以上、最も好ましくは25以上である。
一方、ゼオライトのSAR(Si/Al比)は、安価に製造されやすい点では、低いことが好ましい。そこで、ゼオライトのSAR(Si/Al比)は、通常2000以下、好ましくは1000以下、より好ましくは500以下、さらに好ましくは100以下、中でも50以下、中でも47.5以下、中でも45以下、中でも42.5以下、中でも40以下、中でも39以下、中でも38以下、特に好ましくは37以下、殊更に好ましくは36以下、最も好ましくは35以下である。Si/Al比が、上記範囲内であると、カウンターカチオンの量を制御しやすく、また、ゼオライトの製造コストも安くすむ。
ゼオライトのSi/Al比は、原料のケイ素含有化合物とアルミニウム含有化合物の種類と比率、構造規定剤の種類と量、種晶の使用、温度や時間等の合成条件等により調整できる。
(Silica/alumina molar ratio (SAR) of zeolite)
The silica/alumina molar ratio of this zeolite (hereinafter sometimes referred to as "SAR", "Si/ Al2 molar ratio", or "Si/ Al2 ratio") is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired. A high SAR (Si/ Al2 ratio) of the zeolite is preferable in that it improves the moisture resistance of the cured product and makes it easier to control the amount of countercations. Therefore, the SAR (Si/ Al2 ratio) of the zeolite is usually 2 or more, preferably 5 or more, more preferably 10 or more, even more preferably 14 or more, among many more preferably 18 or more, among many more preferably 20 or more, among many more preferably 22 or more, among many more preferably 23 or more, among many more preferably 23.5 or more, particularly preferably 24 or more, especially preferably 24.5 or more, and most preferably 25 or more.
On the other hand, a low SAR (Si/ Al2 ratio) of zeolite is preferable in terms of ease of inexpensive production. Therefore, the SAR (Si/ Al2 ratio) of zeolite is usually 2000 or less, preferably 1000 or less, more preferably 500 or less, even more preferably 100 or less, most preferably 50 or less, most preferably 47.5 or less, most preferably 45 or less, most preferably 42.5 or less, most preferably 40 or less, most preferably 39 or less, most preferably 38 or less, particularly preferably 37 or less, especially preferably 36 or less, and most preferably 35 or less. When the Si/ Al2 ratio is within the above range, it is easy to control the amount of countercations, and the manufacturing cost of the zeolite is also kept low.
The Si/ Al2 ratio of zeolite can be adjusted by the type and ratio of silicon-containing and aluminum-containing compounds used as raw materials, the type and amount of structure-regulating agent, the use of seed crystals, and synthesis conditions such as temperature and time.

(ゼオライトのカウンターカチオン)
本ゼオライトのカウンターカチオンは、本発明の効果が損なわれない態様であれば、特段に限定されるものではない。ゼオライトのカウンターカチオンは、通常、有機構造規定剤由来の成分、プロトン、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオンである。好ましくは有機構造規定剤由来の成分、プロトン、アルカリ金属イオンであり、より好ましくは有機構造規定剤由来の成分、プロトン、Liイオン、Naイオン、Kイオンであり、さらに好ましくは有機構造規定剤由来の成分である。アルカリ金属イオンやアルカリ土類金属イオンである場合は、そのサイズが小さいほど、ゼオライトが、0ppm/K未満の平均熱膨張係数をより示しやすいために好ましい。有機構造規定剤由来の成分である場合は、アルカリ金属イオンやアルカリ土類金属イオンに比べ、柔軟性があるために、ゼオライトが、0ppm/K未満の平均熱膨張係数を示しやすいために好ましい。
すなわち、ゼオライトとしては、好ましくは有機構造規定剤由来の成分型(以下、「as-made」と記載することがある。)、プロトン型、アルカリ金属型であり、より好ましくはas-made、プロトン型、Li型、Na型、K型であり、さらに好ましくはas-madeである。
(Zeolite countercations)
The countercation of the zeolite is not particularly limited as long as it does not impair the effects of the present invention. The countercation of the zeolite is usually a component derived from an organic structure-regulating agent, a proton, an alkali metal ion, or an alkaline earth metal ion. Preferably, it is a component derived from an organic structure-regulating agent, a proton, or an alkali metal ion; more preferably, it is a component derived from an organic structure-regulating agent, a proton, a Li ion, a Na ion, or a K ion; and even more preferably, it is a component derived from an organic structure-regulating agent. When it is an alkali metal ion or an alkaline earth metal ion, the smaller its size, the more likely the zeolite is to exhibit an average thermal expansion coefficient of less than 0 ppm/K, which is preferable. When it is a component derived from an organic structure-regulating agent, it is preferable because it is more flexible than alkali metal ions or alkaline earth metal ions, which is preferable because the zeolite is more likely to exhibit an average thermal expansion coefficient of less than 0 ppm/K.
In other words, the zeolite is preferably a component type derived from an organic structure-determining agent (hereinafter sometimes referred to as "as-made"), a proton type, or an alkali metal type, more preferably as-made, a proton type, a Li type, a Na type, or a K type, and even more preferably as-made.

(ゼオライトの結晶度)
本ゼオライトの結晶度は、本発明の効果が損なわれない態様であれば、特段に限定されるものではない。その理由としては、IZAがコードで定める構造よりも、Composite Building Unit(CBU)が、硬化物の平均熱膨張係数により影響が大きい因子であると推測されるからである。なお、ゼオライトの結晶度は、X線回折装置(例えば、BRUKER社製卓上型X線回析装置D2PHASER)で求めた、或るX線回折ピークを基準とするゼオライトのX線回折ピークと比較することで求めることができる。具体的な算出例として、Scientific Reports 2016、6、Article number:29210のLTA型ゼオライトの結晶度が挙げられる。
(Zeolite crystallinity)
The crystallinity of this zeolite is not particularly limited, as long as the effects of the present invention are not impaired. This is because the Composite Building Unit (CBU) is presumed to be a more influential factor than the structure defined by the code in IZA, due to its greater influence on the average thermal expansion coefficient of the cured product. The crystallinity of the zeolite can be determined by comparing it with the X-ray diffraction peak of the zeolite, using a reference X-ray diffraction peak obtained with an X-ray diffractometer (for example, a BRUKER D2PHASER desktop X-ray diffractometer). A specific example of calculation is the crystallinity of the LTA-type zeolite described in Scientific Reports 2016, 6, Article number: 29210.

(ゼオライトへの表面処理)
本ゼオライトは、本発明の効果が損なわれない範囲で、シリル化処理、フッ素化処理等の表面処理が施されていてもよい。当該表面処理は、物理的な処理でも化学的処理でもよい。
(Surface treatment of zeolite)
This zeolite may be subjected to surface treatments such as silylation treatment or fluorination treatment, to the extent that the effects of the present invention are not impaired. Such surface treatments may be physical or chemical treatments.

(ゼオライトの含有量)
本樹脂組成物における本ゼオライトの含有量は、樹脂組成物の熱膨張係数を低くする観点から、樹脂組成物全量に対して、40質量%以上であることが好ましく、45質量%以上であることがより好ましく、50質量%以上であることがさらに好ましい。一方で、本樹脂組成物における本ゼオライトの含有量は、樹脂組成物の粘度上昇を抑制する観点から、樹脂組成物全量に対して95質量%以下であることが好ましく、90質量%以下であることがより好ましく、85質量%以下であることがさらに好ましい。
(Zeolite content)
From the viewpoint of lowering the thermal expansion coefficient of the resin composition, the content of the zeolite in the resin composition is preferably 40% by mass or more, more preferably 45% by mass or more, and even more preferably 50% by mass or more, based on the total amount of the resin composition. On the other hand, from the viewpoint of suppressing the increase in viscosity of the resin composition, the content of the zeolite in the resin composition is preferably 95% by mass or less, more preferably 90% by mass or less, and even more preferably 85% by mass or less, based on the total amount of the resin composition.

<ゼオライト以外の無機フィラー>
本樹脂組成物は、本ゼオライト以外の無機フィラー(以下、「他の無機フィラー」と記載することがある。)を含有してもよい。他の無機フィラーとしては、本発明の効果を損なわない範囲であれば、特に限定されるものではなく、例えば、金属、炭素、金属炭化物、金属酸化物及び金属窒化物からなる群から選ばれる少なくとも1種類が挙げられる。
金属の例としては、銀、銅、アルミニウム、金、ニッケル、鉄、チタンが挙げられる。炭素の例としては、カーボンブラック、炭素繊維、グラファイト、フラーレン、ダイヤモンドなどが挙げられる。金属炭化物の例としては、炭化ケイ素、炭化チタン、炭化タングステンなどが挙げられる。金属酸化物の例としては、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム(アルミナ)、シリカなどの酸化ケイ素、酸化カルシウム、酸化亜鉛、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化セリウム、酸化イッテルビウム、サイアロン(ケイ素、アルミニウム、酸素、窒素からなるセラミックス)等が挙げられる。金属窒化物の例としては、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素等が挙げられる。
これらの無機フィラーのうち、樹脂組成物を低粘度化できるとの観点から、シリカが好ましい。
<Inorganic fillers other than zeolite>
This resin composition may contain inorganic fillers other than the zeolite (hereinafter sometimes referred to as "other inorganic fillers"). The other inorganic fillers are not particularly limited as long as they do not impair the effects of the present invention, and examples include at least one selected from the group consisting of metals, carbon, metal carbides, metal oxides, and metal nitrides.
Examples of metals include silver, copper, aluminum, gold, nickel, iron, and titanium. Examples of carbon include carbon black, carbon fiber, graphite, fullerene, and diamond. Examples of metal carbides include silicon carbide, titanium carbide, and tungsten carbide. Examples of metal oxides include magnesium oxide, aluminum oxide (alumina), silicon oxide such as silica, calcium oxide, zinc oxide, yttrium oxide, zirconium oxide, cerium oxide, ytterbium oxide, and SiAlON (ceramics composed of silicon, aluminum, oxygen, and nitrogen). Examples of metal nitrides include boron nitride, aluminum nitride, and silicon nitride.
Of these inorganic fillers, silica is preferred from the viewpoint of being able to reduce the viscosity of the resin composition.

他の無機フィラーの平均粒径は、本発明の効果を奏する範囲であれば、特に限定されないが、0.1μm以上5μm以下の範囲であることが好ましい。前記下限値以上であると、樹脂組成物を低粘度化でき、前記上限値以下であると、狭ギャップへの充填性が良好となる。以上の観点から、他の無機フィラーの平均粒径は、0.2μm以上4μm以下の範囲であることがより好ましく、0.5μm以上2μm以下の範囲であることがさらに好ましい。 The average particle size of the other inorganic fillers is not particularly limited as long as it is within the range that achieves the effects of the present invention, but it is preferably in the range of 0.1 μm to 5 μm. If it is above the lower limit, the viscosity of the resin composition can be reduced, and if it is below the upper limit, the filling ability into narrow gaps is good. From these viewpoints, the average particle size of the other inorganic fillers is more preferably in the range of 0.2 μm to 4 μm, and even more preferably in the range of 0.5 μm to 2 μm.

全無機フィラー中の本ゼオライトの含有量は、本ゼオライトの効果、すなわち低CTEが十分発揮されるとの点から、50質量%以上であることが好ましく、60質量%以上であることがより好ましく、70質量%以上であることがさらに好ましい。 The content of this zeolite in the total inorganic filler is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and even more preferably 70% by mass or more, in order to fully exhibit the effect of this zeolite, i.e., low CTE.

<全無機フィラー量>
本樹脂組成物に含まれる全ての無機フィラー(全無機フィラー)の合計含有量は、充填材としての効果が発現しやすい点では多いことが好ましい。一方で、本樹脂組成物が常温で液状である場合には、流動性が高く、狭い空間にも充填しやすい点では少ないことが好ましい。具体的には、全無機フィラーの合計含有量は樹脂組成物全量に対して、40質量%以上であることが好ましく、45質量%以上であることがより好ましく、50質量%以上であることがさらに好ましい。一方、95質量%以下であることが好ましく、90質量%以下であることがより好ましく、85質量%以下であることがさらに好ましい。
<Total amount of inorganic filler>
The total content of all inorganic fillers (total inorganic fillers) in this resin composition is preferably high in terms of how easily the filler effect is exhibited. On the other hand, if the resin composition is liquid at room temperature, it is preferable that the total content be low in terms of high fluidity and ease of filling into narrow spaces. Specifically, the total content of all inorganic fillers is preferably 40% by mass or more, more preferably 45% by mass or more, and even more preferably 50% by mass or more, based on the total amount of the resin composition. On the other hand, it is preferably 95% by mass or less, more preferably 90% by mass or less, and even more preferably 85% by mass or less.

<分散剤>
本樹脂組成物は、本ゼオライト等の無機フィラーの分散性を高めるため、分散剤を含有してもよい。樹脂とフィラーを含有する液状組成物に含有される分散剤は、主に、極性差が大きな樹脂とフィラーとを含有する液状組成物に添加することで、両者の界面状態を改善し、相溶性を向上させる。これにより、粘度低下やフィラーの分散性向上、フィラー凝集、沈降防止等に効果を発現させることができる。
<Dispersant>
This resin composition may contain a dispersant to enhance the dispersibility of inorganic fillers such as this zeolite. The dispersant contained in the liquid composition containing the resin and filler is mainly added to the liquid composition containing the resin and filler, which have a large difference in polarity, to improve the interface between the two and improve compatibility. This can be effective in reducing viscosity, improving the dispersibility of the filler, and preventing filler aggregation and sedimentation.

分散剤としては、例えば、アクリル系分散剤及び高分子系分散剤等が挙げられる。ここで、「高分子系分散剤」とは、重量平均分子量が1,000以上の分散剤を意味する。分散剤は、高分子系分散剤が好ましい。また、高分子分散剤の主鎖骨格は、特に制限は無いが、ポリウレタン骨格、ポリアクリル骨格、ポリエステル骨格、ポリアミド骨格、ポリイミド骨格、ポリウレア骨格等が挙げられ、保存安定性の点で、ポリウレタン骨格、ポリアクリル骨格、ポリエステル骨格が好ましい。また、高分子系分散剤の構造に関しても特に制限は無いが、ランダム構造、ブロック構造、くし型構造、星型構造等が挙げられ、同様に保存安定性の点で、ブロック構造又はくし型構造が好ましい。
また、分散剤は、溶剤を含まない、無溶剤タイプの分散剤、特に無溶剤タイプの高分子分散剤が好ましい。分散剤が溶剤を含まないことで、樹脂組成物を加熱硬化させた際に分散剤が揮発してボイドが生じることを防止することができる。
分散剤として市販品を使用できる。市販品としては、以下の分散剤が挙げられ、これらのうちアミノ基及びアミン塩の少なくともいずれかの官能基を有する分散剤を使用すればよい。
Examples of dispersants include acrylic dispersants and polymeric dispersants. Here, "polymeric dispersant" refers to a dispersant with a weight-average molecular weight of 1,000 or more. Polymeric dispersants are preferred as the dispersant. There are no particular restrictions on the main chain skeleton of the polymeric dispersant, but examples include polyurethane skeleton, polyacrylic skeleton, polyester skeleton, polyamide skeleton, polyimide skeleton, and polyurea skeleton, with polyurethane skeleton, polyacrylic skeleton, and polyester skeleton being preferred in terms of storage stability. There are also no particular restrictions on the structure of the polymeric dispersant, but examples include random structure, block structure, comb structure, and star structure, with block structure or comb structure being preferred in terms of storage stability.
Furthermore, the dispersant is preferably a solvent-free type dispersant, particularly a solvent-free polymer dispersant. By not using a solvent, it is possible to prevent the dispersant from volatilizing and creating voids when the resin composition is heat-cured.
Commercially available dispersants can be used. Examples of commercially available dispersants include the following, and any dispersant having at least one of the functional groups of an amino group and/or an amine salt should be used.

高分子系分散剤の市販品としては、ビックケミー社より市販されている湿潤分散剤DISPERBYKシリーズの101、102、103、106、108、109、110、111、112、116、130、140、142、145、161、162、163、164、166、167、168、170、171、174、108、182、183、184、185、2000、2001、2008、2020、2050、2070、2096、2150、2152、2155、BASFジャパン社より市販されているEFKAシリーズの4008、4009、4010、4015、4020、4046、4047、4050、4055、4060、4080、4300、4330、4340、4400、4401、4402、4403、4406、4800、5010、5044、5054、5055、5063、5064、5065、5066、5070、5244、ルーブリゾール社より市販されているSolsperseシリーズの3000、5000、11200、13240、13650、13940、16000、17000、18000、20000、21000、24000SC、24000GR、26000、28000、31845、32000、32500、32550、32600、33000、34750、35100、35200、36000、36600、37500、38500、39000、53095、54000、55000、56000、71000、楠本化成(株)より市販されているDISPARLONシリーズの1210、1220、1831、1850、1860、2100、2150、2200、7004、KS-260、KS-273N、KS-860、KS-873N、PW-36、DN-900、DA-234、DA-325、DA-375、DA-550、DA-1200、DA-1401、DA-7301、味の素(株)より市販されているアジスパーシリーズのPB-711、PB-821、PB-822、PN-411、PA-111、エアープロダクツ社より市販されているサーフィノールシリーズの104A、104C、104E、104H、104S、104BC、104DPM、104PA、104PG-50、420、440、DF110D、DF110L、DF37、DF58、DF75、DF210、CT111、CT121、CT131、CT136、GA、TG、TGE、日信化学工業(株)より市販されているオルフィンシリーズのSTG、E1004、サンノプコ(株)製SNスパースシリーズの70、2120、2190、(株)ADEKAより市販されているアデカコール及びアデカトールシリーズ、三洋化成工業(株)より市販されているサンノニックシリーズ、ナロアクティーCLシリーズ、エマルミンシリーズ、ニューポールPEシリーズ、イオネットMシリーズ、イオネットDシリーズ、イオネットSシリーズ、イオネットTシリーズ、サンセパラー100等が挙げられる。 Commercially available polymer-based dispersants include the DISPERBYK series of wetting dispersants from BIC-Chemie, specifically numbers 101, 102, 103, 106, 108, 109, 110, 111, 112, 116, 130, 140, 142, 145, 161, 162, 163, 164, 166, 167, 168, 170, 171, 174, 108, 182, and 1. 83, 184, 185, 2000, 2001, 2008, 2020, 2050, 2070, 2096, 2150, 2152, 2155, and the EFKA series models 4008, 4009, 4010, 4015, 4020, 4046, 4047, 4050, 4055, 4060, 4080, 4300, 4330, 4340, all commercially available from BASF Japan. 4400, 4401, 4402, 4403, 4406, 4800, 5010, 5044, 5054, 5055, 5063, 5064, 5065, 5066, 5070, 5244, and the Solsperse series 3000, 5000, 11200, 13240, 13650, 13940, 16000, 17000, which are commercially available from Lubrizol. , 18000, 20000, 21000, 24000SC, 24000GR, 26000, 28000, 31845, 32000, 32500, 32550, 32600, 3 3000, 34750, 35100, 35200, 36000, 36600, 37500, 38500, 39000, 53095, 54000, 55000, 56000, 71 000, Commercially available DISPARLON series from Kusumoto Kasei Co., Ltd.: 1210, 1220, 1831, 1850, 1860, 2100, 2150, 2200, 7004, KS-260, KS-273N, KS-860, KS-873N, PW-36, DN-900, DA-234, DA-325, DA-375, DA-550, DA-1200 DA-1401, DA-7301, PB-711, PB-821, PB-822, PN-411, PA-111 from the Ajisper series sold by Ajinomoto Co., Inc., and 104A, 104C, 104E, 104H, 104S, 104BC, 104DPM, 104PA, 104PG from the Surfinol series sold by Air Products Inc. Examples include 50, 420, 440, DF110D, DF110L, DF37, DF58, DF75, DF210, CT111, CT121, CT131, CT136, GA, TG, TGE, STG and E1004 from the Orphine series (commercially available from Nisshin Chemical Industry Co., Ltd.), 70, 2120, and 2190 from the SN Sparse series (manufactured by Sannopco Co., Ltd.), the Adekacol and Adekatol series (commercially available from ADEKA Corporation), and the Sannonic series, Naroacty CL series, Emulmin series, Newpol PE series, Ionet M series, Ionet D series, Ionet S series, Ionet T series, and Sansepara 100 (commercially available from Sanyo Chemical Industries, Ltd.).

分散剤の含有量は、例えば、液状組成物における無機フィラーを均一分散しやすい点では多いことが好ましい。一方、分散剤の含有量は、無機フィラーとエポキシ樹脂等の樹脂の相分離による熱膨張係数上昇が起こり難い点では少ないことが好ましい。そこで、液状組成物を狭い空間に充填しやすく、硬化後に低熱膨張係数としやすいことから、分散剤の含有量は、樹脂組成物全量に対して、0.1質量%以上30質量%以下であることが好ましく、0.1質量%以上25質量%以下であることがより好ましい。 The dispersant content is preferably high in order to facilitate uniform dispersion of inorganic fillers in the liquid composition. On the other hand, the dispersant content is preferably low in order to prevent an increase in the coefficient of thermal expansion due to phase separation between the inorganic filler and the resin such as epoxy resin. Therefore, in order to facilitate filling of the liquid composition into a narrow space and to achieve a low coefficient of thermal expansion after curing, the dispersant content is preferably 0.1% by mass or more and 30% by mass or less, and more preferably 0.1% by mass or more and 25% by mass or less, relative to the total amount of the resin composition.

<ゼオライトの製造方法>
ゼオライトの製造方法は、公知の方法を適用できる。例えば、CHA型のゼオライトを製造する場合、特開2009-097856号公報に記載の方法を参照して製造することができる。
より具体的には、アルミニウム原子原料、シリカ原子原料、及び有機構造規定剤等を混合して水性ゲルを調合する。混合順序は、通常、水にアルミニウム原子原料を混合し、これにシリカ原子原料、有機構造規定剤を混合する。次いで、調合した水性ゲルを水熱合成し、生成物を分離し、水洗、乾燥等の方法により、付着する原料由来の成分等を除去し、ゼオライトを得る。
<Method for manufacturing zeolite>
A known method can be applied to the manufacturing method of zeolite. For example, when manufacturing CHA-type zeolite, the method described in Japanese Patent Application Publication No. 2009-097856 can be used.
More specifically, an aqueous gel is prepared by mixing aluminum atom raw materials, silica atom raw materials, and organic structure-regulating agents. Typically, the mixing order is to mix the aluminum atom raw materials with water, and then mix in the silica atom raw materials and organic structure-regulating agents. Next, the prepared aqueous gel is subjected to hydrothermal synthesis, the product is separated, and any adhering raw material-derived components are removed by methods such as washing with water and drying to obtain a zeolite.

上述した特に好ましいゼオライトは、以下の方法(以下、「本製造方法」と記載することがある。)により製造することができる。
本製造方法は、ケイ素原子原料、アルミニウム原子原料、有機構造規定剤及び水を含む原料組成物を水熱合成する工程を有する。また、本製造方法では、上述のとおり、通常行われる焼成処理を行わない、もしくは焼成処理後のゼオライトが、前述の重量減少率が1%以上を達成する限りにおいて、部分的に焼成を行うことが好ましい。部分的に焼成を行う場合には、後述の焼成条件が好ましい。
本製造方法においては、上述のように部分的に焼成を行うこともできるが、焼成処理は行わないことが好ましい。すなわち、本ゼオライトは、焼成していない(未焼成である)ことが好ましい。焼成処理を行わないことで、重量減少率1%以上を達成しやすく、ひいては、低吸湿で硬化後の熱膨張係数が低く、かつ低粘度でギャップ浸入性が良好である樹脂組成物を得るためのゼオライトを容易に製造することができる。
なお、必要により所望のゼオライト(以下、「種晶ゼオライト」と記載することがある。)を用いてもよい。
The particularly preferred zeolite described above can be produced by the following method (hereinafter sometimes referred to as "this manufacturing method").
This manufacturing method includes a step of hydrothermally synthesizing a raw material composition containing silicon atom raw materials, aluminum atom raw materials, an organic structure-regulating agent, and water. Furthermore, in this manufacturing method, as described above, it is preferable not to perform the usual calcination treatment, or to perform partial calcination as long as the zeolite after calcination treatment achieves the aforementioned weight loss rate of 1% or more. When partial calcination is performed, the calcination conditions described below are preferred.
In this manufacturing method, partial firing can be performed as described above, but it is preferable not to perform the firing treatment. In other words, it is preferable that the zeolite is not fired (unfired). By not performing the firing treatment, it is easier to achieve a weight loss rate of 1% or more, and consequently, it is possible to easily manufacture a zeolite for obtaining a resin composition that has low moisture absorption, a low coefficient of thermal expansion after curing, low viscosity, and good gap penetration properties.
Furthermore, if necessary, a preferred zeolite (hereinafter sometimes referred to as "seed crystal zeolite") may be used.

<<ケイ素原子原料>>
本発明に用いられるケイ素原子原料としては、特に限定されず、公知の種々の物質を使用することができる。例えば、コロイダルシリカ、無定型シリカ、珪酸ナトリウム、トリメチルエトキシシラン、テトラエチルオルトシリケート、アルミノシリケートゲル、ゼオライトを用いることができる。これらは、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を任意の組み合わせと比率で併用してもよい。
<<Silicon Atom Raw Materials>>
The silicon atom raw material used in the present invention is not particularly limited, and various known substances can be used. For example, colloidal silica, amorphous silica, sodium silicate, trimethylethoxysilane, tetraethyl orthosilicate, aluminosilicate gel, and zeolite can be used. These may be used individually or in any combination and ratio of two or more types.

<<アルミニウム原子原料>>
アルミニウム原子原料は、水溶性の原料を用いることが好ましい。また、アルカリ金属の含有量が少ない点で水酸化アルミニウムが好ましい。
<<Aluminum atomic raw material>>
For the aluminum atom raw material, it is preferable to use a water-soluble raw material. Furthermore, aluminum hydroxide is preferred because it has a low alkali metal content.

<<有機物>>
本ゼオライトは、上述のとおり細孔内部に有機物を含有している。
有機物としては、本発明の効果を損なわない範囲であれば、特に限定されるものではなく、例えば、アミン、アミノ酸、脂肪酸、界面活性剤、ポリマー、有機構造規定剤などが挙げられる。アミンとしては、例えば、トリメチルアミン、アダマンチルアミン、モルホリンなどが挙げられる。アミノ酸としては、例えば、リシン、アルギニン、オルニチンが挙げられる。脂肪酸としては、例えば、オレイン酸、ステアリン酸が挙げられる。界面活性剤としては、例えば、オレイン酸ナトリウム、ステアリン酸ナトリウムが挙げられる。ポリマーとしては、例えば、ポリエチレングリコール、ポリエチレンイミンが挙げられる。有機構造規定剤としては、例えば、後述のもの等が挙げられる。なかでも、有機構造規定剤はゼオライトの骨格内の空間を埋めることで、水蒸気の細孔内拡散を阻害し、吸湿性を低下させることから好ましい。すなわち、本ゼオライトは、有機物として有機構造規定剤由来の成分を含有していることが好ましい。
有機物を用いる場合は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を任意の組み合わせと比率で併用してもよい。
<<Organic matter>>
As mentioned above, this zeolite contains organic matter within its pores.
The organic substance is not particularly limited as long as it does not impair the effects of the present invention, and examples include amines, amino acids, fatty acids, surfactants, polymers, and organic structure modifiers. Examples of amines include trimethylamine, adamantylamine, and morpholine. Examples of amino acids include lysine, arginine, and ornithine. Examples of fatty acids include oleic acid and stearic acid. Examples of surfactants include sodium oleate and sodium stearate. Examples of polymers include polyethylene glycol and polyethyleneimine. Examples of organic structure modifiers include those described later. Among these, organic structure modifiers are preferred because they fill the spaces within the zeolite skeleton, inhibiting the diffusion of water vapor into the pores and reducing hygroscopicity. In other words, it is preferable that the zeolite contains components derived from organic structure modifiers as organic substances.
When using organic materials, one type may be used alone, or two or more types may be used in any combination and ratio.

<<有機構造規定剤>>
有機構造規定剤としては、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAOH)やテトラエチルアンモニウムハイドロオキサイド(TEAOH)、テトラプロピルアンモニウムハイドロオキサイド(TPAOH)、N,N,N-トリメチル-1-アダマンチルアンモニウム水酸化物(TMAdaOH)などの公知の各種の物質を使用することができる。これらのうち、室温から200℃の範囲においてゼオライトの細孔内に有機物を保持しやすく、ゼオライトの吸湿性を低下できる観点から、N,N,N-トリメチル-1-アダマンチルアンモニウム水酸化物(TMAdaOH)が好ましい。また、これらは1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を任意の組み合わせと比率で併用してもよい。
有機構造規定剤の使用量は、原料組成物に含まれるケイ素(Si)に対するモル比で通常0.01以上、好ましくは0.02以上、より好ましくは0.03以上、さらに好ましくは0.04以上、特に好ましくは0.05以上である。また、一方で、通常1以下、好ましくは0.6以下、より好ましくは0.55以下、さらに好ましくは0.5以下、特に好ましくは0.45以下、最も好ましくは0.4以下である。この範囲内で用いることにより、副生成物が少ない高純度の球状ゼオライトが成長しやすいと考えられる。
<<Organic structure directing agent>>
Various known substances can be used as organic structure-determining agents, such as tetramethylammonium hydroxide (TMAOH), tetraethylammonium hydroxide (TEAOH), tetrapropylammonium hydroxide (TPAOH), and N,N,N-trimethyl-1-adamantylammonium hydroxide (TMAdaOH). Of these, N,N,N-trimethyl-1-adamantylammonium hydroxide (TMAdaOH) is preferred from the viewpoint of easily retaining organic matter in the pores of the zeolite in the range of room temperature to 200°C and reducing the hygroscopicity of the zeolite. These can be used individually or in any combination and ratio of two or more.
The amount of organic structure-determining agent used is typically 0.01 or more, preferably 0.02 or more, more preferably 0.03 or more, even more preferably 0.04 or more, and particularly preferably 0.05 or more, in terms of molar ratio to silicon (Si) contained in the raw material composition. On the other hand, it is typically 1 or less, preferably 0.6 or less, more preferably 0.55 or less, even more preferably 0.5 or less, particularly preferably 0.45 or less, and most preferably 0.4 or less. It is believed that using within this range facilitates the growth of high-purity spherical zeolites with fewer by-products.

<<水>>
水の使用量は、結晶が生成しやすいという観点から、後述する種晶ゼオライトを使用する場合には、該種晶ゼオライト以外の原料組成物に含まれるケイ素(Si)に対するモル比で通常5以上、好ましくは7以上、より好ましくは9以上、さらに好ましくは10以上がよい。この範囲内とすることにより、結晶が生成しやすく好ましい。また、水の量を多くして原料濃度を希釈した条件でゼオライトを水熱合成する場合には、粒径の大きいゼオライトとなりやすい。また、廃液処理にかかるコストダウン効果を得やすい点では、ケイ素(Si)に対するモル比で通常50以下、好ましくは40以下、より好ましくは30以下、さらに好ましくは25以下がよい。
<<Water>>
When using seed crystal zeolite, as described later, the amount of water used should, from the viewpoint of facilitating crystal formation, be typically 5 or more, preferably 7 or more, more preferably 9 or more, and even more preferably 10 or more, in terms of the molar ratio of water to silicon (Si) contained in the raw material composition other than the seed crystal zeolite. Keeping it within this range is preferable as it facilitates crystal formation. Furthermore, when hydrothermally synthesizing zeolite under conditions where the raw material concentration is diluted by increasing the amount of water, it is easier to obtain zeolite with a large particle size. In addition, in terms of easily obtaining cost reduction effects for wastewater treatment, the molar ratio to silicon (Si) should typically be 50 or less, preferably 40 or less, more preferably 30 or less, and even more preferably 25 or less.

<<アルカリ金属原子原料>>
ゼオライトの製造には、アルカリ金属原子原料を用いてもよい。アルカリ金属原子原料を用いる場合におけるアルカリ金属原子は、特に限定されず、ゼオライトの合成に使用される公知のものが使用できるが、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム及びセシウムからなる群から選ばれる少なくとも1種類のアルカリ金属が好ましい。なお、複数種のアルカリ金属原子を用いてもよい。
<<Alkali Metal Atom Raw Materials>>
Alkali metal atom raw materials may be used in the production of zeolites. When alkali metal atom raw materials are used, the alkali metal atoms are not particularly limited, and known alkali metals used in zeolite synthesis can be used, but at least one alkali metal selected from the group consisting of lithium, sodium, potassium, rubidium, and cesium is preferred. Multiple types of alkali metal atoms may also be used.

<<種晶ゼオライト>>
本製造方法では、種晶となるゼオライトを用いてもよい。種晶ゼオライトを用いる場合は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を任意の組み合わせと比率で併用してもよい。
<<Seed crystal zeolite>>
In this manufacturing method, a seed crystal zeolite may be used. If a seed crystal zeolite is used, one type may be used alone, or two or more types may be used in any combination and ratio.

<<原料の混合(反応前原料組成物の調製)>>
原料組成物は、通常、ケイ素原子原料、アルミニウム原子原料、有機構造規定剤及び水を混合した後に、種晶ゼオライトを用いる場合は添加することにより得ることができる。
なお、ゼオライトの製造においては、上述の成分以外に、反応を促進させる酸成分やポリアミンのような金属の安定化剤などの成分を必要に応じて任意の工程で添加してもよい。
<<Mixing of raw materials (preparation of raw material composition before reaction)>>
The raw material composition can usually be obtained by mixing silicon atom raw materials, aluminum atom raw materials, an organic structure-regulating agent, and water, and then adding seed crystal zeolite if used.
In addition to the components mentioned above, other components such as acidic components to promote the reaction and metal stabilizers such as polyamines may be added as needed at any stage in the production of zeolite.

<<熟成>>
上記のようにして調製された原料組成物は、調製後直ちに水熱合成してもよいが、より高い結晶性を有するゼオライトを得るためには、所定の温度条件下で一定時間熟成することが好ましい。特に反応をスケールアップする場合は、撹拌性がよくなり、原料をより均一な状態にさせやすいことから、一定期間原料を撹拌しながら熟成させることが好ましい。熟成させる場合の温度は、通常100℃以下、好ましくは95℃以下、より好ましくは90℃以下であり、その下限は特に限定されないが、熟成させる場合の温度は、通常0℃以上、好ましくは10℃以上である。熟成温度は、熟成中一定でもよいし、段階的又は連続的に変化させてもよい。熟成時間は、特に限定されないが、通常2時間以上、好ましくは3時間以上、より好ましくは5時間以上であり、また、一方で、通常30日以下、好ましくは10日以下、より好ましくは4日以下である。
<<Aging>>
The raw material composition prepared as described above may be hydrothermally synthesized immediately after preparation, but in order to obtain a zeolite with higher crystallinity, it is preferable to age it for a certain period of time under predetermined temperature conditions. In particular when scaling up the reaction, it is preferable to age the raw materials while stirring them for a certain period of time, as this improves agitation and makes it easier to make the raw materials more uniform. The temperature during aging is usually 100°C or lower, preferably 95°C or lower, and more preferably 90°C or lower, and there is no particular lower limit, but the temperature during aging is usually 0°C or higher, preferably 10°C or higher. The aging temperature may be constant during aging, or it may be changed in stages or continuously. The aging time is not particularly limited, but is usually 2 hours or more, preferably 3 hours or more, and more preferably 5 hours or more, and on the other hand, is usually 30 days or less, preferably 10 days or less, and more preferably 4 days or less.

<<水熱合成>>
次に、得られた原料組成物を水熱合成する。
水熱合成は、通常、上述のようにして調製された原料組成物又はこれを熟成して得られる水性ゲルを耐圧容器に入れ、自己発生圧力下、又は結晶化を阻害しない程度の気体加圧下で、撹拌下、又は、容器を回転ないしは揺動させながら、或いは静置状態で、所定温度保持することにより行われる。
水熱合成の際の反応温度は、反応速度を速めるために通常120℃以上であって、130℃以上が好ましく、140℃以上がより好ましく、150℃以上がさらに好ましい。また、一方で、通常230℃以下、好ましくは220℃以下、より好ましくは200℃以下、さらに好ましくは190℃以下である。反応時間は特に限定されないが、通常2時間以上、好ましくは3時間以上、より好ましくは5時間以上であって、また、一方で、通常30日以下、好ましくは10日以下、より好ましくは7日以下、さらに好ましくは5日以下である。反応温度は反応中一定でもよいし、段階的又は連続的に変化させてもよい。
<<Hydrothermal synthesis>>
Next, the obtained raw material composition is subjected to hydrothermal synthesis.
Hydrothermal synthesis is typically carried out by placing the raw material composition prepared as described above, or the aqueous gel obtained by maturing it, into a pressure-resistant container and maintaining a predetermined temperature under self-generated pressure or under gas pressure that does not inhibit crystallization, while stirring, rotating or oscillating the container, or while remaining still.
The reaction temperature during hydrothermal synthesis is usually 120°C or higher to increase the reaction rate, preferably 130°C or higher, more preferably 140°C or higher, and even more preferably 150°C or higher. On the other hand, it is usually 230°C or lower, preferably 220°C or lower, more preferably 200°C or lower, and even more preferably 190°C or lower. The reaction time is not particularly limited, but is usually 2 hours or more, preferably 3 hours or more, and more preferably 5 hours or more, and on the other hand, it is usually 30 days or less, preferably 10 days or less, more preferably 7 days or less, and even more preferably 5 days or less. The reaction temperature may be constant during the reaction, or it may be changed stepwise or continuously.

<<乾燥工程>>
水熱合成後、ゼオライトは水熱合成後の組成物(水熱合成反応液)より分離される。分離の方法としては、特に限定されないが、通常、水洗した後に濾過、デカンテーション又は直接乾燥等により分離される。なお、濾過又はデカンテーションにより分離された場合でも、通常その後乾燥される。
乾燥条件としては、特に限定されず、例えば、乾燥温度としては、50℃以上200℃以下が好ましく、70℃以上150℃以下がより好ましい。乾燥時の雰囲気は、特に限定されないが、空気中、又は窒素、アルゴン等の不活性ガス雰囲気下で行ってもよい。
<<Drying process>>
After hydrothermal synthesis, the zeolite is separated from the resulting composition (hydrothermal synthesis reaction solution). While the separation method is not particularly limited, it is usually separated by washing with water followed by filtration, decantation, or direct drying. Even when separated by filtration or decantation, it is usually dried afterward.
The drying conditions are not particularly limited; for example, the drying temperature is preferably 50°C to 200°C, and more preferably 70°C to 150°C. The atmosphere during drying is not particularly limited, but it may be carried out in air or under an inert gas atmosphere such as nitrogen or argon.

<<焼成>>
乾燥したゼオライトは、細孔内に有機物、好ましくは有機構造規定剤由来の成分を含有する範囲において、製造時に使用した有機構造規定剤等を任意の割合で除去するために、焼成等を行ってもよい。細孔内に有機物、好ましくは有機構造規定剤由来の成分を含有するゼオライトを、本樹脂組成物に用いることで、低CTEかつ低吸湿性の硬化物を与える樹脂組成物を提供することができる。
焼成を行う場合には、焼成温度としては、通常200~1000℃であることが好ましい。300℃以上で焼成することで、有機構造規定剤等を除去することができ、一方、1000℃以下であると、ゼオライトの物性を損なうことがない。以上の観点から、焼成温度は好ましくは300℃以上、より好ましくは350℃以上、さらに好ましくは400℃以上であり、好ましくは900℃以下、より好ましくは800℃以下、さらに好ましくは700℃以下である。
焼成の雰囲気としては、特に限定はなく、空気中、又は窒素、アルゴン等の不活性ガス雰囲気下で行ってもよい。
焼成の方法は特に限定されず、マッフル炉、キルン、流動焼成炉などを用いることができるが、上記気体を流通させて焼成する方法が望ましい。気体の流通速度は特に限定されないが、通常粉体1gあたりの気体の流通量は、0.1ml/分以上100ml/分以下の範囲であることが好ましく、5ml/分以上20ml/分以下の気体の流通下、焼成することがより好ましい。
<<Firing>>
The dried zeolite may be subjected to calcination or other processes to remove organic structural modifiers used during production in any proportion, to the extent that it contains organic matter, preferably components derived from organic structural modifiers, within its pores. By using a zeolite containing organic matter, preferably components derived from organic structural modifiers, within its pores in this resin composition, a resin composition that provides a cured product with low CTE and low hygroscopicity can be provided.
When firing is performed, the firing temperature is usually preferably 200 to 1000°C. Firing at 300°C or higher can remove organic structural regulators, while firing at 1000°C or lower does not impair the physical properties of the zeolite. From this viewpoint, the firing temperature is preferably 300°C or higher, more preferably 350°C or higher, even more preferably 400°C or higher, preferably 900°C or lower, more preferably 800°C or lower, and even more preferably 700°C or lower.
There are no particular limitations on the firing atmosphere; it may be carried out in air or under an inert gas atmosphere such as nitrogen or argon.
The calcination method is not particularly limited, and muffle furnaces, kilns, fluidized bed furnaces, etc., can be used, but the method of calcining by circulating the above-mentioned gas is preferable. The gas flow rate is not particularly limited, but the gas flow rate per gram of powder is usually preferably in the range of 0.1 ml/min to 100 ml/min, and more preferably calcined under a gas flow rate of 5 ml/min to 20 ml/min.

[樹脂組成物]
本樹脂組成物は、ゼオライト、樹脂を含む。本樹脂組成物は、常温で液状であることが好ましく、本樹脂組成物が常温で液状である場合(以下、「液状組成物」と記載することがある。)には、液状封止剤として使用すること好ましく、アンダーフィル材として特に好適である。
以下、各構成要件について詳述するが、常温で液状であることが前提とされる場合には、樹脂組成物は液状組成物と読み替えるものとする。
なお、本明細書において、「常温で液状」とは、10℃から35℃の間で流動性を有することをいう。
[Resin composition]
This resin composition contains zeolite and resin. This resin composition is preferably liquid at room temperature, and when this resin composition is liquid at room temperature (hereinafter sometimes referred to as "liquid composition"), it is preferably used as a liquid encapsulant and is particularly suitable as an underfill material.
The following details each constituent element, but when it is assumed that the resin composition is liquid at room temperature, it should be read as a liquid composition.
In this specification, "liquid at room temperature" means having fluidity between 10°C and 35°C.

<樹脂>
本樹脂組成物における樹脂としては、本発明の効果を奏する範囲で特に限定されず、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等が挙げられる。中でも、アンダーフィル材等の液状封止剤を考慮した場合には、熱硬化性樹脂を含むことが好ましい。
<Resin>
The resin in this resin composition is not particularly limited as long as it achieves the effects of the present invention, and examples include thermosetting resins and thermoplastic resins. In particular, when considering liquid encapsulants such as underfill materials, it is preferable to include a thermosetting resin.

<<熱硬化性樹脂>>
本樹脂組成物は、熱硬化性樹脂を含むことが好ましい。熱硬化性樹脂としては、特に制限されず、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、マレイミド樹脂、ポリアミド樹脂、フェノール樹脂、ビニルエステル樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、メラミン樹脂等が挙げられる。これらの熱硬化性樹脂のうち、本発明においては、エポキシ樹脂及びポリイミド樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種類を含むことが好ましく、エポキシ樹脂を含むことがより好ましい。
<<Thermosetting resin>>
The resin composition preferably contains a thermosetting resin. The thermosetting resin is not particularly limited and examples include epoxy resins, polyimide resins, maleimide resins, polyamide resins, phenolic resins, vinyl ester resins, unsaturated polyester resins, melamine resins, and the like. Of these thermosetting resins, the present invention preferably contains at least one selected from the group consisting of epoxy resins and polyimide resins, and more preferably contains an epoxy resin.

(エポキシ樹脂)
本発明で用いることのできるエポキシ樹脂としては、硬化後の熱膨張係数が低くなりやすいことから、ビスフェノールA型骨格、ビスフェノールF型骨格、ビフェニル骨格など芳香環を有するエポキシ化合物を用いることが好ましい。具体的には、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン環含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、フェノールノボラック型樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、アミノフェノール型エポキシ樹脂、脂肪族系エポキシ樹脂、脂肪族系エポキシ樹脂と芳香族系エポキシ樹脂の共重合体エポキシ樹脂等が例示され、これらの中でもビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン環含有エポキシ樹脂が好ましく、より好ましくはビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ナフタレン環含有エポキシ樹脂、アミノフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂が用いられる。
(Epoxy resin)
In the present invention, epoxy resins that can be used are preferably epoxy compounds having aromatic rings, such as bisphenol A type skeletons, bisphenol F type skeletons, and biphenyl skeletons, as these tend to have a low coefficient of thermal expansion after curing. Specifically, examples include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol S type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, naphthalene ring-containing epoxy resins, epoxy resins having a dicyclopentadiene skeleton, phenol novolac type resins, cresol novolac type epoxy resins, triphenylmethane type epoxy resins, aminophenol type epoxy resins, aliphatic epoxy resins, and copolymer epoxy resins of aliphatic epoxy resins and aromatic epoxy resins. Among these, bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol S type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, and naphthalene ring-containing epoxy resins are preferred, and more preferably, bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, naphthalene ring-containing epoxy resins, aminophenol type epoxy resins, and biphenyl type epoxy resins are used.

また、本樹脂組成物として、熱硬化後のガラス転移温度が高くなりやすい点では、多官能エポキシ樹脂を用いることが好ましい。多官能エポキシ樹脂としては、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、ジシクロペンタジエンフェノール樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ナフトールノボラック樹脂、ビフェニルノボラック樹脂、テルペンフェノール樹脂、重質油変性フェノール樹脂、などの種々のフェノール類や、種々のフェノール類と、ヒドロキシベンズアルデヒド、クロトンアルデヒド、グリオキザールなどの種々のアルデヒド類との縮合反応で得られる多価フェノール樹脂等の各種のフェノール系化合物と、エピハロヒドリンとから製造されるエポキシ樹脂等のグリシジルエーテル型多官能エポキシ樹脂が好ましい。 Furthermore, in this resin composition, it is preferable to use a polyfunctional epoxy resin because it tends to have a high glass transition temperature after thermal curing. Preferred polyfunctional epoxy resins include various phenols such as phenol novolac resins, cresol novolac resins, bisphenol A novolac resins, dicyclopentadienephenol resins, phenol aralkyl resins, naphthol novolac resins, biphenyl novolac resins, terpene phenol resins, and heavy oil-modified phenol resins, as well as glycidyl ether-type polyfunctional epoxy resins, such as epoxy resins produced from various phenol compounds (including polyhydric phenol resins obtained by condensation reactions of various phenols with various aldehydes such as hydroxybenzaldehyde, crotonaldehyde, and glyoxal) and epihalohydrins.

また、エポキシ樹脂は、流動性の観点から、23℃における粘度が5Pa・s以下であることが好ましく、0.1~3Pa・sであることがより好ましい。エポキシ樹脂の粘度測定方法は、JISK7233(1986年)で規定されており、単一円筒回転粘度計法が適している。本発明で用いるエポキシ樹脂の23℃における粘度は単一円筒回転粘度計法の一つである、B型回転粘度計(「LVDV-1 Pri」、ブルックフィールド社製、スピンドル:S62)を用いて測定するとよい。 Furthermore, from the viewpoint of fluidity, the epoxy resin preferably has a viscosity of 5 Pa·s or less at 23°C, and more preferably 0.1 to 3 Pa·s. The viscosity measurement method for epoxy resins is specified in JIS K7233 (1986), and the single-cylinder rotational viscometer method is suitable. The viscosity of the epoxy resin used in this invention at 23°C should be measured using a B-type rotational viscometer ("LVDV-1 Pri", manufactured by Brookfield, spindle: S62), which is one of the single-cylinder rotational viscometer methods.

エポキシ樹脂は、粘度制御の観点から、そのエポキシ当量が50g/当量以上500g/当量以下であることが好ましく、より好ましくは90g/当量以上150g/当量以下である。エポキシ当量は、耐熱性に優れる点では高いことが好ましい。一方で、エポキシ樹脂の融点が低くなり、粘度が低くなることにより、本樹脂組成物の充填性が良好となり、充填による接合性が高くなりやすい点では、低いことが好ましい。
エポキシ樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を任意の組み合わせ及び比率で混合して用いてもよいが、混合した場合のエポキシ当量は混合物の当量とする。
From the viewpoint of viscosity control, the epoxy resin preferably has an epoxy equivalent of 50 g/equivalent to 500 g/equivalent, and more preferably 90 g/equivalent to 150 g/equivalent. A high epoxy equivalent is preferable in terms of excellent heat resistance. On the other hand, a low epoxy equivalent is preferable in terms of lowering the melting point and viscosity of the epoxy resin, which results in good filling properties of the resin composition and easier bonding through filling.
Epoxy resin may be used alone or mixed in any combination and ratio of two or more types, but in the case of a mixture, the epoxy equivalent shall be the equivalent of the mixture.

本樹脂組成物中のエポキシ樹脂の含有量は、相対的にゼオライト等の無機フィラーの含有量が多くなり、熱膨張係数を低くしやすい点では少ないことが好ましい。一方で、エポキシ樹脂の優れた物性が維持されやすい点では多いことが好ましい。以上のように、樹脂の優れた物性の維持と硬化された樹脂組成物としての耐熱性(熱膨張の起こり難さ)の両立の観点から、具体的には、樹脂組成物全量に対して5質量%以上であることが好ましく、10質量%以上であることがより好ましい。一方、50質量%以下であることが好ましく、35質量%以下であることがより好ましく、20質量%以下であることがさらに好ましい。 The epoxy resin content in this resin composition is preferably low because it allows for a relatively high content of inorganic fillers such as zeolite, which tends to lower the coefficient of thermal expansion. On the other hand, a high epoxy resin content is preferable because it helps maintain the excellent physical properties of the epoxy resin. Therefore, from the viewpoint of achieving both the maintenance of the resin's excellent physical properties and the heat resistance (resistance to thermal expansion) of the cured resin composition, it is preferably 5% by mass or more, and more preferably 10% by mass or more, relative to the total amount of the resin composition. Conversely, it is preferably 50% by mass or less, more preferably 35% by mass or less, and even more preferably 20% by mass or less.

(硬化剤)
本樹脂組成物は、さらに硬化剤を含むことが好ましい。硬化剤とは、樹脂、特に好適にはエポキシ樹脂の架橋基間の架橋反応に寄与する物質をいう。
硬化剤としては特に制限はなく、一般的に樹脂硬化剤、特に好適にはエポキシ樹脂硬化剤として知られているものが使用できる。例えば、フェノール系硬化剤、脂肪族アミン、ポリエーテルアミン、脂環式アミン、芳香族アミンなどのアミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤、アミド系硬化剤、第3級アミン、イミダゾール及びその誘導体、有機ホスフィン類、ホスホニウム塩、テトラフェニルボロン塩、有機酸ジヒドラジド、ハロゲン化ホウ素アミン錯体、ポリメルカプタン系硬化剤、イソシアネート系硬化剤、ブロックイソシアネート系硬化剤、ジシアンジアミン化合物等が挙げられる。流動性付与及び速硬化性の観点から、硬化剤としては、酸無水物系硬化剤が好ましい。
(Hardening agent)
The resin composition preferably further contains a curing agent. A curing agent is a substance that contributes to the crosslinking reaction between crosslinking groups of a resin, particularly preferably an epoxy resin.
There are no particular restrictions on the curing agent; generally, resin curing agents, especially epoxy resin curing agents, can be used. Examples include phenolic curing agents, amine curing agents such as aliphatic amines, polyetheramines, alicyclic amines, and aromatic amines, acid anhydride curing agents, amide curing agents, tertiary amines, imidazoles and their derivatives, organophosphines, phosphonium salts, tetraphenylboron salts, organic acid dihydrazides, boron halogenated amine complexes, polymercaptan curing agents, isocyanate curing agents, blocked isocyanate curing agents, and dicyandiamine compounds. From the viewpoint of imparting fluidity and rapid curing, acid anhydride curing agents are preferred as the curing agent.

フェノール系硬化剤の具体例としては、ビスフェノールA、ビスフェノールF、4,4’-ジヒドロキシジフェニルメタン、4,4’-ジヒドロキシジフェニルエーテル、1,4-ビス(4-ヒドロキシフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-ヒドロキシフェノキシ)ベンゼン、4,4’-ジヒドロキシジフェニルスルフィド、4,4’-ジヒドロキシジフェニルケトン、4,4’-ジヒドロキシジフェニルスルホン、4,4’-ジヒドロキシビフェニル、2,2’-ジヒドロキシビフェニル、10-(2,5-ジヒドロキシフェニル)-10H-9-オキサ-10-ホスファフェナンスレン-10-オキサイド、フェノールノボラック、ビスフェノールAノボラック、o-クレゾールノボラック、m-クレゾールノボラック、p-クレゾールノボラック、キシレノールノボラック、ポリ-p-ヒドロキシスチレン、ハイドロキノン、レゾルシン、カテコール、t-ブチルカテコール、t-ブチルハイドロキノン、フルオログリシノール、ピロガロール、t-ブチルピロガロール、アリル化ピロガロール、ポリアリル化ピロガロール、1,2,4-ベンゼントリオール、2,3,4-トリヒドロキシベンゾフェノン、1,2-ジヒドロキシナフタレン、1,3-ジヒドロキシナフタレン、1,4-ジヒドロキシナフタレン、1,5-ジヒドロキシナフタレン、1,6-ジヒドロキシナフタレン、1,7-ジヒドロキシナフタレン、1,8-ジヒドロキシナフタレン、2,3-ジヒドロキシナフタレン、2,4-ジヒドロキシナフタレン、2,5-ジヒドロキシナフタレン、2,6-ジヒドロキシナフタレン、2,7-ジヒドロキシナフタレン、2,8-ジヒドロキシナフタレン、上記ジヒドロキシナフタレンのアリル化物又はポリアリル化物、アリル化ビスフェノールA、アリル化ビスフェノールF、アリル化フェノールノボラック、アリル化ピロガロール等が例示される。 Specific examples of phenolic curing agents include bisphenol A, bisphenol F, 4,4'-dihydroxydiphenylmethane, 4,4'-dihydroxydiphenyl ether, 1,4-bis(4-hydroxyphenoxy)benzene, 1,3-bis(4-hydroxyphenoxy)benzene, 4,4'-dihydroxydiphenyl sulfide, 4,4'-dihydroxydiphenyl ketone, 4,4'-dihydroxydiphenyl sulfone, 4,4'-dihydroxybiphenyl, 2,2'-dihydroxybiphenyl, 10-(2,5-dihydroxyphenyl)-10H-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide, phenol novolac, bisphenol A novolac, o-cresol novolac, m-cresol novolac, p-cresol novolac, xylenol novolac, poly-p-hydroxystyrene, hydroquinone, resorcinol, catechol, t-butylcatechol, t-butylhydroquinone, fluoroglycinol, pyrogallol, t-butylpyrogallol, allylated pyrogallol, polyallylated pyrogallol, 1,2,4-benzenetriol, 2,3,4-trihydroxybenzophenone, 1,2-dihydroxynaphthalene, 1,3-dihydroxynaphthalene, 1,4-dihydroxynaphthalene, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 1,7-dihydroxynaphthalene, Examples include 1,8-dihydroxynaphthalene, 2,3-dihydroxynaphthalene, 2,4-dihydroxynaphthalene, 2,5-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, 2,7-dihydroxynaphthalene, 2,8-dihydroxynaphthalene, allyl or polyallylized derivatives of the above dihydroxynaphthalenes, allylated bisphenol A, allylated bisphenol F, allylated phenol novolac, allylated pyrogallol, and the like.

アミン系硬化剤の具体例として、脂肪族アミン類としては、エチレンジアミン、1,3-ジアミノプロパン、1,4-ジアミノプロパン、ヘキサメチレンジアミン、2,5-ジメチルヘキサメチレンジアミン、トリメチルヘキサメチレンジアミン、ジエチレントリアミン、イミノビスプロピルアミン、ビス(ヘキサメチレン)トリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン、N-ヒドロキシエチルエチレンジアミン、テトラ(ヒドロキシエチル)エチレンジアミン等が例示される。
ポリエーテルアミン類としては、トリエチレングリコールジアミン、テトラエチレングリコールジアミン、ジエチレングリコールビス(プロピルアミン)、ポリオキシプロピレンジアミン、ポリオキシプロピレントリアミン類等が例示される。
脂環式アミン類としては、イソホロンジアミン、メタセンジアミン、N-アミノエチルピペラジン、ビス(4-アミノ-3-メチルジシクロヘキシル)メタン、ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、3,9-ビス(3-アミノプロピル)-2,4,8,10-テトラオキサスピロ(5,5)ウンデカン、ノルボルネンジアミン等が例示される。
芳香族アミン類としては、テトラクロロ-p-キシレンジアミン、m-キシレンジアミン、p-キシレンジアミン、m-フェニレンジアミン、o-フェニレンジアミン、p-フェニレンジアミン、2,4-ジアミノアニソール、2,4-トルエンジアミン、2,4-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノ-1,2-ジフェニルエタン、2,4-ジアミノジフェニルスルホン、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、m-アミノフェノール、m-アミノベンジルアミン、ベンジルジメチルアミン、2-ジメチルアミノメチルフェノール、トリエタノールアミン、メチルベンジルアミン、α-(m-アミノフェニル)エチルアミン、α-(p-アミノフェニル)エチルアミン、ジアミノジエチルジメチルジフェニルメタン、α,α’-ビス(4-アミノフェニル)-p-ジイソプロピルベンゼン等が例示される。
Specific examples of amine-based curing agents include aliphatic amines such as ethylenediamine, 1,3-diaminopropane, 1,4-diaminopropane, hexamethylenediamine, 2,5-dimethylhexamethylenediamine, trimethylhexamethylenediamine, diethylenetriamine, iminobispropylamine, bis(hexamethylene)triamine, triethylenetetramine, tetraethylenepentamine, pentaethylenehexamine, N-hydroxyethylethylenediamine, and tetra(hydroxyethyl)ethylenediamine.
Examples of polyetheramines include triethylene glycol diamine, tetraethylene glycol diamine, diethylene glycol bis(propylamine), polyoxypropylenediamine, and polyoxypropylene triamines.
Examples of alicyclic amines include isophoronediamine, metacenediamine, N-aminoethylpiperazine, bis(4-amino-3-methyldicyclohexyl)methane, bis(aminomethyl)cyclohexane, 3,9-bis(3-aminopropyl)-2,4,8,10-tetraoxaspiro(5,5)undecane, and norbornenediamine.
Examples of aromatic amines include tetrachloro-p-xylenediamine, m-xylenediamine, p-xylenediamine, m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 2,4-diaminoanisole, 2,4-toluenediamine, 2,4-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylethane, 4,4'-diaminodiphenylethane, 2,4-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, m-aminophenol, m-aminobenzylamine, benzyldimethylamine, 2-dimethylaminomethylphenol, triethanolamine, methylbenzylamine, α-(m-aminophenyl)ethylamine, α-(p-aminophenyl)ethylamine, diaminodiethyldimethyldiphenylmethane, and α,α'-bis(4-aminophenyl)-p-diisopropylbenzene.

酸無水物系硬化剤の具体例としては、ドデセニル無水コハク酸、ポリアジピン酸無水物、ポリアゼライン酸無水物、ポリセバシン酸無水物、ポリ(エチルオクタデカン二酸)無水物、ポリ(フェニルヘキサデカン二酸)無水物、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水メチルハイミック酸、テトラヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルシクロヘキセンジカルボン酸無水物、メチルシクロヘキセンテトラカルボン酸無水物、無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、エチレングリコールビストリメリテート二無水物、無水ヘット酸、無水ナジック酸、無水メチルナジック酸、水素化ナジック酸、水素化メチルナジック酸、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロ-3-フラニル)-3-メチル-3-シクロヘキサン-1,2-ジカルボン酸無水物、3,4-ジメチル-6-(2-メチル-1-プロペニル)-4-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸無水物、3,4-ジカルボキシ-1,2,3,4-テトラヒドロ-1-ナフタレンコハク酸二無水物、1-メチル-ジカルボキシ-1,2,3,4-テトラヒドロ-1-ナフタレンコハク酸二無水物等が例示される。 Specific examples of acid anhydride-based curing agents include dodecenyl succinic anhydride, polyadipic anhydride, polyazelaic anhydride, polysebacic anhydride, poly(ethyl octadecanediic acid) anhydride, poly(phenylhexadecanedioic acid) anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhymic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, methylcyclohexenedicarboxylic acid anhydride, methylcyclohexenetetracarboxylic acid anhydride, phthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, and benzophenone tetracarbone. Examples include acid anhydrides, ethylene glycol bistrimellitate dianhydrides, hetic anhydrides, nadic anhydrides, methylnadic anhydrides, hydrogenated nadic acid, hydrogenated methylnadic acid, 5-(2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl)-3-methyl-3-cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid anhydride, 3,4-dimethyl-6-(2-methyl-1-propenyl)-4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid anhydride, 3,4-dicarboxy-1,2,3,4-tetrahydro-1-naphthalene succinic acid dianhydride, and 1-methyl-dicarboxy-1,2,3,4-tetrahydro-1-naphthalene succinic acid dianhydride.

アミド系硬化剤としては、ジシアンジアミド、ポリアミド樹脂等が例示される。
第3級アミンとしては、1,8-ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン-7、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール等が例示される。
イミダゾール及びその誘導体としては、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-エチル-4(5)-メチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノ-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾールトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加体、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加体、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール、及びエポキシ樹脂と上記イミダゾール類との付加体又は高分子カプセル化イミダゾール等が例示される。
Examples of amide-based curing agents include dicyandiamide and polyamide resins.
Examples of tertiary amines include 1,8-diazabicyclo(5,4,0)undecene-7, triethylenediamine, benzyldimethylamine, triethanolamine, dimethylaminoethanol, and tris(dimethylaminomethyl)phenol.
Imidazoles and their derivatives include 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-ethyl-4(5)-methylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyano-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, and 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazole]. Examples include midazolyl-(1')-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine isocyanurate adduct, 2-phenylimidazole isocyanurate adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, and adducts of epoxy resins with the above imidazoles or polymer-encapsulated imidazoles.

有機ホスフィン類としては、トリブチルホスフィン、メチルジフェニルホスフイン、トリフェニルホスフィン、ジフェニルホスフィン、フェニルホスフィン等が例示され、ホスホニウム塩としては、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート、テトラフェニルホスホニウム・エチルトリフェニルボレート、テトラブチルホスホニウム・テトラブチルボレート等が例示され、テトラフェニルボロン塩としては、2-エチル-4-メチルイミダゾール・テトラフェニルボレート、N-メチルモルホリン・テトラフェニルボレート等が例示される。
これらの硬化剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を任意の組み合わせ及び比率で混合して用いてもよい。
Examples of organophosphines include tributylphosphine, methyldiphenylphosphine, triphenylphosphine, diphenylphosphine, and phenylphosphine. Examples of phosphonium salts include tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, tetraphenylphosphonium ethyltriphenylborate, and tetrabutylphosphonium tetrabutylborate. Examples of tetraphenylboron salts include 2-ethyl-4-methylimidazole tetraphenylborate and N-methylmorpholine tetraphenylborate.
These hardening agents may be used individually, or two or more may be mixed in any combination and ratio.

本樹脂組成物が硬化剤を含有する場合における硬化剤の含有量は、未反応のエポキシ基や硬化剤の官能基の残留による影響が起こり難いことから、硬化剤がフェノール系硬化剤、アミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤の場合は、エポキシ樹脂中のエポキシ基と硬化剤中の官能基との当量比(硬化剤中の官能基/エポキシ樹脂中のエポキシ基)で、0.8~2.0の範囲となるように用いることが好ましく、0.8~1.5の範囲となるように用いることがより好ましい。 When this resin composition contains a curing agent, the curing agent content is preferably such that the effect of unreacted epoxy groups or residual functional groups of the curing agent is minimized. Therefore, when the curing agent is a phenolic, amine, or acid anhydride-based curing agent, the equivalent ratio of epoxy groups in the epoxy resin to functional groups in the curing agent (functional groups in the curing agent / epoxy groups in the epoxy resin) is in the range of 0.8 to 2.0, and more preferably in the range of 0.8 to 1.5.

硬化剤がアミド系硬化剤、第3級アミン、イミダゾール及びその誘導体、有機ホスフィン類、ホスホニウム塩、テトラフェニルボロン塩、有機酸ジヒドラジド、ハロゲン化ホウ素アミン錯体、ポリメルカプタン系硬化剤、イソシアネート系硬化剤、ブロックイソシアネート系硬化剤等の場合は、エポキシ樹脂100質量部に対して、0.1質量部以上用いることが好ましく、0.5質量部以上がより好ましい。一方、20質量部以下用いることが好ましく、15質量部以下がより好ましい。
ジシアンジアミン化合物の場合は、エポキシ樹脂100質量部に対して、0.1質量部以上用いることが好ましく、0.5質量部以上がより好ましい。一方で、10質量部以下用いることが好ましく、6質量部以下がより好ましい。
When the curing agent is an amide-based curing agent, tertiary amine, imidazole and its derivatives, organophosphines, phosphonium salts, tetraphenylboron salts, organic acid dihydrazides, boron-halogenated amine complexes, polymercaptan-based curing agents, isocyanate-based curing agents, blocked isocyanate-based curing agents, etc., it is preferable to use 0.1 parts by mass or more, and more preferably 0.5 parts by mass or more, per 100 parts by mass of epoxy resin. On the other hand, it is preferable to use 20 parts by mass or less, and more preferably 15 parts by mass or less.
In the case of dicyandiamine compounds, it is preferable to use 0.1 parts by mass or more, and more preferably 0.5 parts by mass or more, per 100 parts by mass of epoxy resin. On the other hand, it is preferable to use 10 parts by mass or less, and more preferably 6 parts by mass or less.

<反応性希釈剤>
本樹脂組成物が液状である場合、本樹脂組成物は、反応性希釈剤を含有してもよい。反応性希釈剤は、少なくとも1種類の単官能エポキシ化合物を含む限り特に制限はない。単官能エポキシ化合物は、エポキシ基を1個有するエポキシ化合物であり、従来より反応性希釈剤としてエポキシ樹脂組成物の粘度調整に用いられている。単官能エポキシ化合物は、脂肪族単官能エポキシ化合物と芳香族単官能エポキシ化合物に大別され、粘度の観点から芳香族単官能エポキシ化合物であることが好ましい。
<Reactive Diluent>
If the resin composition is in liquid form, it may contain a reactive diluent. The reactive diluent is not particularly limited as long as it contains at least one monofunctional epoxy compound. A monofunctional epoxy compound is an epoxy compound having one epoxy group and has been conventionally used as a reactive diluent to adjust the viscosity of epoxy resin compositions. Monofunctional epoxy compounds are broadly classified into aliphatic monofunctional epoxy compounds and aromatic monofunctional epoxy compounds, and from the viewpoint of viscosity, aromatic monofunctional epoxy compounds are preferred.

<その他の添加剤>
本樹脂組成物は、上記以外にも、カップリング剤、紫外線防止剤、酸化防止剤、可塑剤、難燃剤、着色剤、流動性改良剤、消泡剤、イオントラップ剤等から選択されるその他の添加剤を適宜含有してもよい。
<Other additives>
In addition to the above, this resin composition may appropriately contain other additives selected from coupling agents, UV inhibitors, antioxidants, plasticizers, flame retardants, colorants, flow improvers, defoamers, ion trappers, etc.

また、本樹脂組成物が液状である場合には、本樹脂組成物は、無溶剤系であることが好ましい。無溶剤系とすることで、液状組成物を加熱硬化した際に、溶剤が揮発してボイドなどが発生することを防止できる。なお、溶剤とは、揮発成分であり、本明細書においては水、及び有機溶剤を包含する用語である。無溶剤系の液状組成物は、溶剤を実質的に含有しないものであり、例えば、液状組成物全量に対して、溶剤の含有量が、3質量%未満であることが好ましく、1質量%未満であることがより好ましく、0質量%であることがさらに好ましい。 Furthermore, when the resin composition is in liquid form, it is preferable that the resin composition be solvent-free. By being solvent-free, it is possible to prevent the generation of voids and other defects due to solvent volatilization when the liquid composition is heat-cured. Note that "solvent" refers to volatile components and, in this specification, includes water and organic solvents. A solvent-free liquid composition is one that substantially does not contain solvent; for example, the solvent content is preferably less than 3% by mass, more preferably less than 1% by mass, and even more preferably 0% by mass, relative to the total amount of the liquid composition.

<本樹脂組成物の製造方法>
本樹脂組成物は、ゼオライト及び樹脂、必要に応じて用いられる、ゼオライト以外の無機フィラー、硬化剤、分散剤、反応性希釈剤、その他の添加剤成分を真空ミキサー、ミキシングロール、プラネタリミキサ等を用いて混合及び混練し、必要に応じて脱泡することによって得ることができる。これらの成分の配合順序は、反応や沈殿物が発生する等の特段の問題がない限り、任意であり、構成成分のうち、いずれか2成分又は3成分以上を予め混合し、その後に残りの成分を混合してもよいし、一度に全成分を混合してもよい。
<Method for manufacturing this resin composition>
This resin composition can be obtained by mixing and kneading zeolite and resin, along with inorganic fillers other than zeolite, curing agents, dispersants, reactive diluents, and other additive components as needed, using a vacuum mixer, mixing rolls, planetary mixer, etc., and degassing as necessary. The order in which these components are added is arbitrary, as long as there are no particular problems such as the occurrence of reactions or precipitates. Two or three or more of the constituent components may be mixed in advance and then the remaining components may be mixed, or all components may be mixed at once.

<本樹脂組成物の物性>
(平均熱膨張係数(Coefficient of Thermal Expansion、CTE))
本樹脂組成物のゲル分率80%以上に硬化させたときの該硬化物の25~100℃での平均熱膨張係数(CTE)は、0ppm/K以上であることが好ましく、2ppm/K以上であることがより好ましく、4ppm/K以上であることがさらに好ましく、10ppm/K以上であることが特に好ましい。一方、100ppm/K以下であることが好ましく、50ppm/K以下であることがより好ましく、30ppm/K以下であることがさらに好ましい。
このような樹脂組成物は、ガラス転移温度以下の温度における平均熱膨張係数が低いことから、種々の耐熱性が求められる材料として有用であり、特に電子デバイスへの適用に有効である。
<Physical properties of this resin composition>
(Average coefficient of thermal expansion (CTE))
When the resin composition is cured to a gel fraction of 80% or more, the average coefficient of thermal expansion (CTE) of the cured product at 25 to 100°C is preferably 0 ppm/K or more, more preferably 2 ppm/K or more, even more preferably 4 ppm/K or more, and particularly preferably 10 ppm/K or more. On the other hand, it is preferably 100 ppm/K or less, more preferably 50 ppm/K or less, and even more preferably 30 ppm/K or less.
Such resin compositions have a low average thermal expansion coefficient at temperatures below the glass transition temperature, making them useful as materials requiring various heat resistances, and are particularly effective for application in electronic devices.

なお、上記平均熱膨張係数は、樹脂組成物をゲル分率80%以上に硬化させて得た硬化物に対して、熱機械分析によって測定すればよい。具体的な測定条件は、実施例に記載のとおりである。 The average thermal expansion coefficient mentioned above can be measured by thermomechanical analysis of a cured product obtained by curing the resin composition to a gel fraction of 80% or more. The specific measurement conditions are as described in the examples.

(粘度)
本樹脂組成物は、常温(23℃)において流動性を有する組成物であることが好ましい。本樹脂組成物の粘度は、樹脂組成物を狭い空間でも充填しやすい点では、低いことが好ましい。一方、樹脂組成物充填時に液だれ等が起こり難い点では、高いことが好ましい。本樹脂組成物の23℃における粘度は、0.1Pa・s以上であることが好ましく、より好ましくは1Pa・s以上、さらに好ましくは3Pa・s以上、特に好ましくは5Pa・s以上である。一方、250Pa・s以下であることが好ましく、より好ましくは150Pa・s以下、さらに好ましくは50Pa・s以下、特に好ましくは20Pa・s以下である。
(viscosity)
The resin composition is preferably fluid at room temperature (23°C). A low viscosity is preferable for ease of filling even narrow spaces. On the other hand, a high viscosity is preferable for preventing dripping during filling. The viscosity of the resin composition at 23°C is preferably 0.1 Pa·s or higher, more preferably 1 Pa·s or higher, even more preferably 3 Pa·s or higher, and particularly preferably 5 Pa·s or higher. Conversely, it is preferably 250 Pa·s or lower, more preferably 150 Pa·s or lower, even more preferably 50 Pa·s or lower, and particularly preferably 20 Pa·s or lower.

なお、上記23℃における粘度は、単一円筒回転粘度計法の一つである、B型回転粘度計を用いて測定するとよい。B型回転粘度計は、例えば実施例に記載のものを使用すればよい。 Furthermore, the viscosity at 23°C mentioned above should be measured using a Type B rotational viscometer, which is one of the single-cylinder rotational viscometers. For example, the Type B rotational viscometer described in the examples can be used.

(吸水率)
本樹脂組成物は、ゲル分率80%以上に硬化させたときの該硬化物の吸水率が5%以下であることが好ましい。吸水率が5%以下であると、例えば、アンダーフィル材等の電子部品の一部として用いた場合でも、吸湿性を原因とする不具合が生じにくい。以上の観点から、吸水率は小さければ小さいほど好ましく、より好ましくは4%以下、さらに好ましくは3%以下、特に好ましくは2%以下である。
なお、上記吸水率の測定は、実施例に記載の方法により実施することができる。
(Water absorption rate)
It is preferable that the water absorption rate of the cured resin composition is 5% or less when cured to a gel fraction of 80% or more. When the water absorption rate is 5% or less, problems caused by hygroscopicity are less likely to occur, even when used as part of an electronic component such as an underfill material. From this viewpoint, the lower the water absorption rate, the better; more preferably 4% or less, even more preferably 3% or less, and particularly preferably 2% or less.
The water absorption rate can be measured using the method described in the examples.

(隙間充填距離)
本樹脂組成物は、80℃において10分保持したときに7μmの隙間に浸入する隙間充填距離は10.0cm以上が好ましく、10.5cm以上がより好ましく、11.0cm以上がさらに好ましい。隙間充填距離がこの長さ以上であると、例えば、アンダーフィル材等の電子部品の一部として用いた場合に、良好に狭いギャップに浸入することができる。
なお、隙間充填距離の測定は、実施例に記載の方法により実施することができる。
(Gap filling distance)
When this resin composition is held at 80°C for 10 minutes, the gap-filling distance into a 7 μm gap is preferably 10.0 cm or more, more preferably 10.5 cm or more, and even more preferably 11.0 cm or more. When the gap-filling distance is this length or longer, it can penetrate narrow gaps well, for example, when used as part of an electronic component such as an underfill material.
The gap filling distance can be measured by the method described in the examples.

[用途]
本樹脂組成物は、例えば、触媒モジュール、分子篩膜モジュール、光学部材、吸湿部材、食品、建築部材、及び電子デバイスの構成部材や包装部材等に用いることができ、中でも電子デバイスに用いることが好ましい。
電子デバイスは、2個以上の電極を有し、その電極間に流れる電流や生じる電圧を、電気、光、磁気又は化学物質等により制御するデバイス、あるいは、印加した電圧や電流により、光や電場、磁場を発生させるデバイスである。具体的には、抵抗器、整流器(ダイオード)、スイッチング素子(トランジスタ、サイリスタ)、増幅素子(トランジスタ)、メモリー素子、若しくは化学センサー等、又はこれらの素子を組み合わせ若しくは集積化したデバイスが挙げられる。また、光電流を生じるフォトダイオード若しくはフォトトランジスタ、電界を印加することにより発光する電界発光素子、及び光により起電力を生じる光電変換素子若しくは太陽電池等の光素子も挙げることができる。電子デバイスは、半導体デバイスが好ましい。半導体デバイスは、少なくとも半導体基板を有するとよく、例えば、基板に半導体チップが搭載されたデバイス、半導体チップや半導体基板が多層に積層されたデバイスなどが挙げられる。
[Application]
This resin composition can be used, for example, in catalyst modules, molecular sieve membrane modules, optical components, moisture-absorbing components, food products, building materials, and components and packaging materials for electronic devices, with its use in electronic devices being particularly preferred.
An electronic device is a device having two or more electrodes that controls the current flowing between the electrodes or the voltage generated by electricity, light, magnetism, or chemical substances, or a device that generates light, an electric field, or a magnetic field by an applied voltage or current. Specifically, examples include resistors, rectifiers (diodes), switching elements (transistors, thyristors), amplifying elements (transistors), memory elements, or chemical sensors, or devices that combine or integrate these elements. Also, optical elements such as photodiodes or phototransistors that generate photocurrents, electroluminescent elements that emit light when an electric field is applied, and photoelectric conversion elements or solar cells that generate electromotive force from light can also be mentioned. Semiconductor devices are preferred among electronic devices. Semiconductor devices preferably have at least a semiconductor substrate, for example, a device on which a semiconductor chip is mounted on a substrate, or a device in which semiconductor chips or semiconductor substrates are stacked in multiple layers.

<液状封止剤>
本樹脂組成物が液状である場合には、液状封止剤として使用することが好ましく、その際、液状組成物を硬化して封止材となる。
液状封止剤は、構成部材に形成された隙間に充填し、その後、硬化することで、隙間を埋める封止材として使用するとよい。なお、樹脂組成物を隙間に充填した後、硬化させる工程を有する封止材の製造方法も、本発明の範囲内である。
また、液状封止剤は、例えば各種の構成部材上に塗布された後、別の構成部材が液状封止剤上に重ねられ、その後適宜硬化されることにより、構成部材の間の隙間を埋める封止材として使用されてもよい。このとき、液状封止剤は、別の構成部材が重ねられる前に適宜硬化されてBステージ化されてもよい。
これらの中では、本樹脂組成物、特に本樹脂組成物が液状である液状組成物は、隙間に充填して硬化する用途に使用することが好ましい。すなわち、本樹脂組成物を隙間に充填した後に硬化させることにより、封止材を製造することが好ましい。
<Liquid sealant>
When the resin composition is in liquid form, it is preferable to use it as a liquid encapsulant, in which case the liquid composition is cured to become a encapsulant.
Liquid sealants are best used as sealants to fill gaps formed in constituent members, and then harden to fill those gaps. A method for manufacturing a sealant that involves filling a gap with a resin composition and then hardening it is also within the scope of the present invention.
Furthermore, the liquid sealant may be used as a sealant to fill gaps between components by, for example, applying it to various components, then placing another component on top of the liquid sealant, and then curing it as appropriate. In this case, the liquid sealant may be cured to a B-stage before the other component is placed on top.
Among these, the present resin composition, particularly the liquid composition in which the present resin composition is in liquid form, is preferred for use in applications where it is filled into gaps and then cured. That is, it is preferable to manufacture a sealing material by filling a gap with the present resin composition and then curing it.

本樹脂組成物は、液状封止剤として使用することが好ましく、アンダーフィル材として使用することが特に好ましい。アンダーフィル材は、電気デバイス、特に半導体デバイスの製造において使用されることが好ましく、例えば基板と半導体チップや、基板間、半導体チップ間などに形成された隙間を埋める用途に使用することが好ましい。基板は、公知の基板を使用でき、エポキシ樹脂基板、フェノール樹脂基板などの有機材料製の基板などを使用するとよい。また、半導体チップは、シリコン基板などの半導体基板から形成されるとよい。
本樹脂組成物は、その硬化物の熱膨張係数が低くなるものであり、アンダーフィル材として使用することで、半導体基板などの熱膨張係数との差が小さくなるので、耐サーマルサイクル性などが向上する。
This resin composition is preferably used as a liquid encapsulant, and particularly preferably as an underfill material. The underfill material is preferably used in the manufacture of electrical devices, especially semiconductor devices, and is preferably used to fill gaps formed between a substrate and a semiconductor chip, between substrates, or between semiconductor chips. The substrate can be a known substrate, and it is preferable to use an organic material substrate such as an epoxy resin substrate or a phenolic resin substrate. The semiconductor chip is preferably formed from a semiconductor substrate such as a silicon substrate.
This resin composition has a low coefficient of thermal expansion of its cured product. When used as an underfill material, the difference in coefficient of thermal expansion between the underfill material and semiconductor substrates is reduced, thereby improving thermal cycling resistance and other properties.

アンダーフィル材は、例えば、基板上に半導体チップが搭載された積層体において、基板と半導体チップの間の隙間に充填され、その後、加熱により硬化されて、基板とチップの間を封止する封止材として使用されることが好ましい。この際、半導体チップは、アンダーフィル材が充填される前に、例えば、リフローなどによりバンプを介して配線パターンが形成された基板の表面に接合されているとよい。 The underfill material is preferably used as a sealing material to seal the gap between the substrate and the semiconductor chip in a laminate in which a semiconductor chip is mounted on a substrate, and is then cured by heating. In this case, it is preferable that the semiconductor chip be bonded to the surface of the substrate, where the wiring pattern is formed via bumps, for example, by reflow soldering, before the underfill material is filled.

アンダーフィル材は、プレアプライ法による半導体デバイスの製造において使用してもよい。具体的には、複数のバンプが形成された半導体チップの表面上において、複数のバンプ間にアンダーフィル材を充填し、アンダーフィル層を形成する。ここで、充填されたアンダーフィル材は、必要に応じてBステージ化を行ってもよい。その後、アンダーフィル層が形成された半導体チップは、アンダーフィル層が形成された側の面が基板に向くようにして、基板の表面上に載せるとよい。次いで、加熱加圧などにより、アンダーフィル層が硬化されて封止材となり、また半導体チップがバンプを介して、配線パターンが形成された基板の表面に接合されるとよい。 Underfill material may be used in the manufacturing of semiconductor devices using the pre-apply method. Specifically, underfill material is filled between multiple bumps on the surface of a semiconductor chip, where multiple bumps are formed, to form an underfill layer. The filled underfill material may be B-staged as needed. Afterward, the semiconductor chip with the underfill layer is placed on the surface of a substrate with the side containing the underfill layer facing the substrate. Then, the underfill layer is hardened by heating and pressing to become a encapsulant, and the semiconductor chip is bonded to the surface of the substrate with the wiring pattern formed on it via the bumps.

また、プレアプライ法では、配線パターンが形成された基板の表面上にアンダーフィル材を塗布して、アンダーフィル層を形成してもよい。ここで、塗布されたアンダーフィル層は、必要に応じてBステージ化を行ってもよい。その後、バンプが形成された半導体チップを、バンプが形成された側の面が、アンダーフィル層が形成された基板の表面に向くようにして、アンダーフィル層が形成された基板上に載せるとよい。その後、加熱加圧などにより、アンダーフィル層が硬化されて封止材となり、また半導体チップはバンプを介して、配線パターンが形成された基板の表面に接合されるとよい。 Furthermore, in the pre-apply method, an underfill layer may be formed by applying an underfill material to the surface of the substrate on which the wiring pattern is formed. The applied underfill layer may be B-staged as needed. Then, the semiconductor chip with the bumps formed on it should be placed on the substrate with the underfill layer so that the side with the bumps faces the surface of the substrate with the underfill layer. Subsequently, the underfill layer is hardened by heating and pressurizing, becoming a encapsulant, and the semiconductor chip is bonded to the surface of the substrate with the wiring pattern via the bumps.

なお、以上の説明では、アンダーフィル材は、基板と半導体チップの間の隙間を埋める封止材として使用する例を説明したが、アンダーフィル材の用途は、特に限定されず、半導体チップ同士の隙間を埋めてもよいし、基板間の隙間を埋める封止材などとして使用してもよい。また、基板は、有機材料製の基板に限定されず、半導体基板などであってもよい。 In the above explanation, we described an example where underfill material is used as a sealing material to fill the gap between a substrate and a semiconductor chip. However, the applications of underfill material are not particularly limited; it may also be used to fill gaps between semiconductor chips, or as a sealing material to fill gaps between substrates. Furthermore, the substrate is not limited to an organic material substrate; it may also be a semiconductor substrate or the like.

以下、本発明について、実施例及び比較例を用いてさらに詳細に説明するが、本発明はその趣旨を逸脱しない限り、以下の実施例及び比較例に限定されるものではない。 The present invention will be described in further detail below using examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples and comparative examples without departing from its spirit.

(物性評価)
物性評価は、以下のように行った。
(Evaluation of physical properties)
The physical properties were evaluated as follows:

(ゲル分率)
硬化物のゲル分率は、以下の手順で測定した。80℃2時間の熱処理後、120℃2時間の硬化条件下において作製した硬化物を0.5~0.6gの範囲内で切り出し、金網に設置した。その金網をアセトンに浸漬させた状態で24時間静置した。その後、アセトンから金網を取り出し、真空乾燥後させた。硬化物の浸漬後の重量の、浸漬前の重量に対する割合をゲル分率とした。
(Gel fraction)
The gel fraction of the cured material was measured using the following procedure. After heat treatment at 80°C for 2 hours, the cured material was prepared under curing conditions of 120°C for 2 hours. A sample of 0.5 to 0.6 g of the cured material was cut out and placed on a wire mesh. The wire mesh was then immersed in acetone and left to stand for 24 hours. After that, the wire mesh was removed from the acetone and vacuum-dried. The gel fraction was defined as the ratio of the weight of the cured material after immersion to its weight before immersion.

(重量減少率)
ゼオライトの重量減少率は、以下の手順で測定した。約5mgのゼオライトを白金製のカップに入れ、熱分析装置(装置名;TGA Q5000IR、TA Instruments社製)に投入した。空気雰囲気、昇温速度10℃/分で室温から800℃まで昇温し、800℃で10分間保持した。400℃における重量を基準としたときの、800℃における重量の減少率を重量減少率とした。具体的には「ゼオライトの重量減少率=100×{(400℃における重量)-(800℃で10分間保持したときの重量)}/(400℃における重量)」によって求めた。
(Weight reduction rate)
The weight loss rate of the zeolite was measured using the following procedure. Approximately 5 mg of zeolite was placed in a platinum cup and placed in a thermal analyzer (instrument name: TGA Q5000IR, manufactured by TA Instruments). The temperature was raised from room temperature to 800°C at an air atmosphere and a heating rate of 10°C/min, and held at 800°C for 10 minutes. The weight loss rate was defined as the percentage decrease in weight at 800°C relative to the weight at 400°C. Specifically, it was calculated as follows: "Weight loss rate of zeolite = 100 × {(weight at 400°C) - (weight after holding at 800°C for 10 minutes)} / (weight at 400°C)".

(一次粒子の真円度)
ゼオライトの一次粒子の真円度は、以下の手順で測定した。粒子を走査型電子顕微鏡(SEM)(装置名;JSM-6701F、JEOL社製)により観察した。そこで一次粒子とみなせる粒子100個について、面積及び円周を求め、「真円度=4×π×面積/(円周)」で計算した。得られた粒子100個の真円度の値の平均値を算出し、それをゼオライトの一次粒子の真円度とした。
(Circularity of primary particles)
The roundness of the primary particles of the zeolite was measured using the following procedure. The particles were observed using a scanning electron microscope (SEM) (device name: JSM-6701F, manufactured by JEOL). For 100 particles that could be considered primary particles, the area and circumference were determined and the roundness was calculated using the formula "roundness = 4 × π × area / (circumference) ² ". The average value of the roundness values of the obtained 100 particles was calculated and this was taken as the roundness of the primary particles of the zeolite.

(粒度分布)
ゼオライトの粒度分布は、以下の手順で測定した。ゼオライト粉末を純水に加えて約0.2質量%のスラリー液とし、それを純水が流通しているレーザ回折散乱式粒度分布測定装置(装置名;レーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置 Partica mini LA-350、HORIBA社製)に投入して1分間超音波処理した後に体積基準の粒度分布を得た。なお、水の屈折率は1.33を用い、ゼオライト粉末の屈折率は1.50を用いた。得られた体積基準の粒度分布測定において、装置によって検出された全粒子に対する粒径が3μm以上の粒子の割合を算出し、体積基準の粒度分布測定で得られた粒径が3μm以上の粒子(%)とした。
(particle size distribution)
The particle size distribution of zeolite was measured using the following procedure. Zeolite powder was added to pure water to make a slurry of approximately 0.2% by mass. This slurry was then placed in a laser diffraction/scattering particle size distribution analyzer (device name: Laser Diffraction/Scattering Particle Size Distribution Analyzer Partica mini LA-350, manufactured by HORIBA Corporation) through which pure water was flowing, and ultrasonically treated for 1 minute to obtain the volume-based particle size distribution. The refractive index of water was set to 1.33, and the refractive index of the zeolite powder was set to 1.50. In the obtained volume-based particle size distribution measurement, the percentage of particles with a particle size of 3 μm or larger relative to all particles detected by the device was calculated and expressed as the percentage of particles with a particle size of 3 μm or larger obtained from the volume-based particle size distribution measurement (%).

(粒径)
ゼオライトの粒径は、以下の手順で測定した。ゼオライト粉末を純水に加えて約0.2質量%のスラリー液とし、それを純水が流通しているレーザ回折散乱式粒度分布測定装置(装置名;レーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置 Partica mini LA-350、HORIBA社製)に投入して1分間超音波処理した後に体積基準の粒度分布を得た。なお、水の屈折率は1.33を用い、ゼオライト粉末の屈折率は1.50を用いた。得られた体積基準の粒度分布測定において、メジアン径を算出し、それをゼオライトの粒径とした。
(particle size)
The particle size of the zeolite was measured using the following procedure. Zeolite powder was added to pure water to make a slurry of approximately 0.2% by mass. This slurry was then placed in a laser diffraction/scattering particle size distribution analyzer (device name: Laser Diffraction/Scattering Particle Size Distribution Analyzer Partica mini LA-350, manufactured by HORIBA Corporation) through which pure water was flowing, and ultrasonically treated for 1 minute to obtain the volume-based particle size distribution. The refractive index of water was set to 1.33, and the refractive index of the zeolite powder was set to 1.50. In the obtained volume-based particle size distribution measurement, the median diameter was calculated and used as the particle size of the zeolite.

(ゼオライトの平均熱膨張係数(CTE))
ゼオライトの平均熱膨張係数は、以下の手順で測定した。予め乾燥させたゼオライトをX線回折装置(装置名;D8ADVANCE、BRUKER社製)に投入して50~100℃の範囲でX線回折測定を実施した。得られた結果をX線回折解析ソフト(ソフト名;JADE、Materials Data社製)を用いて各温度におけるa軸、b軸、c軸の格子定数を算出した。ゼオライトの平均熱膨張係数は、「ゼオライトの平均熱膨張係数={(100℃における平均格子定数)―(50℃における平均格子定数)}/{(50℃における平均格子定数)×(100℃-50℃)}」によって求めた。ここで、各温度における平均格子定数は、a軸、b軸、c軸の格子定数の平均値である。
(Average thermal expansion coefficient (CTE) of zeolite)
The average thermal expansion coefficient of zeolite was measured using the following procedure. Pre-dried zeolite was placed in an X-ray diffractometer (device name: D8 ADVANCE, manufactured by BRUKER) and X-ray diffraction measurements were performed in the range of 50 to 100°C. The obtained results were used to calculate the lattice constants of the a, b, and c axes at each temperature using X-ray diffraction analysis software (software name: JADE, manufactured by Materials Data). The average thermal expansion coefficient of zeolite was calculated using the following formula: "Average thermal expansion coefficient of zeolite = {(average lattice constant at 100°C) - (average lattice constant at 50°C)} / {(average lattice constant at 50°C) × (100°C - 50°C)}". Here, the average lattice constant at each temperature is the average value of the lattice constants of the a, b, and c axes.

(硬化物の平均熱膨張係数(CTE))
樹脂組成物をゲル分率80%以上に硬化させたときの該硬化物の平均熱膨張係数は、JIS K7197(2012年)に準拠する方法を用い、熱機械分析によって測定した。熱機械分析装置(装置名:TMA SS7100、エスアイアイ・ナノテクノロジー社製)を用い、圧縮法にて測定した。
具体的には、樹脂組成物をゲル分率80%以上に硬化させたときの該硬化物をφ6mm×10mmのサイズに切り出し、熱機械分析装置を用いて、圧縮法にて200℃から20℃まで5℃/minで降温測定し、25~100℃におけるサンプル長さの変化量の温度変化を測定し、その接線の傾きを平均熱膨張係数(CTE)とした。
(Average thermal expansion coefficient (CTE) of the cured material)
The average thermal expansion coefficient of the cured resin composition, when cured to a gel fraction of 80% or more, was measured by thermomechanical analysis using a method compliant with JIS K7197 (2012). The measurement was performed using a thermomechanical analyzer (device name: TMA SS7100, manufactured by SII Nanotechnology Co., Ltd.) and the compression method.
Specifically, when the resin composition was cured to a gel fraction of 80% or more, the cured material was cut into pieces measuring φ6 mm × 10 mm in size. Using a thermomechanical analyzer, the temperature was measured by compression from 200°C to 20°C at a rate of 5°C/min, and the temperature change of the change in sample length between 25 and 100°C was measured. The slope of the tangent line was defined as the mean thermal expansion coefficient (CTE).

(粘度)
樹脂組成物の23℃での粘度を、B型回転粘度計を用いて測定した。B型回転粘度計としては粘度が0.1~100Pa・sの場合には、「LVDV-1 Pri」ブルックフィールド社製、スピンドル:S64、S63を用い、粘度が100Pa・sを超える場合には、「HBDV―E」ブルックフィールド社製、スピンドル:S-07を用いた。なお、5rpmで測定した値を各試料の粘度の代表値とした。
(viscosity)
The viscosity of the resin composition at 23°C was measured using a B-type rotational viscometer. For viscosity between 0.1 and 100 Pa·s, the Brookfield LVDV-1 Pri with spindles S64 and S63 was used. For viscosity exceeding 100 Pa·s, the Brookfield HBDV-E with spindle S-07 was used. The values measured at 5 rpm were used as representative values for the viscosity of each sample.

(吸水率)
樹脂組成物をゲル分率80%以上に硬化させたときの該硬化物について、乾燥炉中にて125℃で3時間保持した後、85℃、湿度85%に調湿した恒温恒湿層内で3時間保持した後の重量変化率(%)で評価した。
(Water absorption rate)
When a resin composition was cured to a gel fraction of 80% or more, the cured product was evaluated by the percentage change in weight (%) after being held in a drying oven at 125°C for 3 hours, and then held in a constant temperature and humidity chamber maintained at 85°C and 85% humidity for 3 hours.

(隙間充填距離)
10mm幅のガラス板上に7μmのギャップを設けた上で、その上からガラス板で挟みこんだ試験片を作製した。この試験片を80℃に熱した水平なホットプレート上に片方のガラス板面が接するように置き、ガラス板の一端側に樹脂組成物を塗布し、10分静置した。10分後にギャップ内を樹脂組成物が進んだ距離を測定することで隙間充填距離を評価した。
(Gap filling distance)
A test specimen was prepared by creating a 7 μm gap on a 10 mm wide glass plate and then sandwiching it with another glass plate. This test specimen was placed on a horizontal hot plate heated to 80°C with one side of the glass plate in contact with the hot plate. A resin composition was applied to one end of the glass plate and left to stand for 10 minutes. After 10 minutes, the distance the resin composition had advanced within the gap was measured to evaluate the gap-filling distance.

まず、本発明のゼオライトについての実施例を示す。 First, examples of the zeolite of the present invention are shown.

製造例1
容器に、水、有機構造規定剤(SDA;Structure Directing Agent)としてセイケム社製のN,N,N-トリメチル-1-アダマンチルアンモニウム水酸化物(TMAdaOH)、界面活性剤として富士フイルム和光純薬株式会社製のオレイン酸ナトリウム、水酸化アルミニウムとして協和化学工業株式会社製の「キョーワード200S」、シリカとして日産化学工業株式会社製の「スノーテックスN―40」を順次加えた。
得られた混合物の組成及びモル比は、SiO:Al:TMAdaOH:HO:界面活性剤=1.0:0.025:0.3:25:0.02であった。その後種晶としてCHA型ゼオライトをSiOに対して5質量%加えてよく混合した後、得られた混合物を耐圧容器に入れ、150℃のオーブン中で、48時間水熱合成を行った。吸引濾過、洗浄した後に、乾燥し、CHA型ゼオライトを得た。
得られたゼオライトは、体積基準で1%の粒子が3μm以上であった。また、得られたゼオライトの粒径は1.21μmであった。また、一次粒子の真円度は0.839であった。また、得られた粉体のXRDを測定したところ、CHA型のゼオライトであることが確認された。さらに、得られたゼオライトの重量減少率を上記方法で求めたところ、22.6%であった。また、50~100℃におけるゼオライトの平均熱膨張係数は、-6.8ppm/Kであった。
Manufacturing Example 1
Water, N,N,N-trimethyl-1-adamantylammonium hydroxide (TMadaOH) manufactured by Seichem Corporation as an organic structure directing agent (SDA), sodium oleate manufactured by Fujifilm Wako Pure Chemical Industries Ltd. as a surfactant, Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.'s "Kyoward 200S" as aluminum hydroxide, and Nissan Chemical Industries Ltd.'s "Snowtex N-40" as silica were added to the container in sequence.
The composition and molar ratio of the obtained mixture were SiO₂ : Al₂O₃ : TMAdaOH : H₂O :surfactant = 1.0:0.025:0.3:25:0.02. Subsequently, 5% by mass of CHA-type zeolite was added to SiO₂ as a seed crystal and thoroughly mixed. The resulting mixture was then placed in a pressure vessel and hydrothermally synthesized in an oven at 150°C for 48 hours. After suction filtration and washing, it was dried to obtain CHA-type zeolite.
The obtained zeolite contained particles of 3 μm or larger, representing 1% by volume. The particle size of the obtained zeolite was 1.21 μm. The roundness of the primary particles was 0.839. Furthermore, XRD measurement of the obtained powder confirmed that it was a CHA-type zeolite. The weight loss rate of the obtained zeolite, calculated using the above method, was 22.6%. The average thermal expansion coefficient of the zeolite at 50-100°C was -6.8 ppm/K.

製造例2
製造例1と同様にしてゼオライトを製造した。製造したゼオライトを600℃、6時間、空気流通下で焼成して焼成ゼオライトを得た。
得られたゼオライトは、体積基準で15%の粒子が3μm以上であった。また、得られたゼオライトの粒径は2.07μmであった。また、一次粒子の真円度は0.845であった。また、得られた粉体のXRDを測定したところ、CHA型のゼオライトであることが確認された。さらに、得られたゼオライトの重量減少率を上記方法で求めたところ、0.40%であった。また、50~100℃におけるゼオライトの平均熱膨張係数は、-9.4ppm/Kであった。
Manufacturing Example 2
Zeolite was manufactured in the same manner as in Manufacturing Example 1. The manufactured zeolite was calcined at 600°C for 6 hours under air circulation to obtain calcined zeolite.
The obtained zeolite contained 15% of its particles by volume that were 3 μm or larger. The particle size of the obtained zeolite was 2.07 μm. The roundness of the primary particles was 0.845. Furthermore, when the XRD of the obtained powder was measured, it was confirmed to be a CHA-type zeolite. In addition, the weight loss rate of the obtained zeolite, calculated using the above method, was 0.40%. The average thermal expansion coefficient of the zeolite at 50-100°C was -9.4 ppm/K.

製造例3
容器に、有機構造規定剤(SDA;Structure Directing Agent)としてセイケム社製のN,N,N-トリメチル-1-アダマンチルアンモニウム水酸化物(TMAdaOH)、水酸化アルミニウムとして富士フイルム和光純薬工業株式会社製の「水酸化アルミニウム」、シリカとしてキャボット社製の「CAB-O-SIL M-5」を順次加えた。
得られた混合物の組成及びモル比は、SiO:Al:TMAdaOH:HO=1.0:0.025:0.4:20であった。よく混合した後、得られた混合物を耐圧容器に入れ、150℃のオーブン中で、48時間水熱合成を行った。吸引濾過、洗浄した後に、乾燥し、CHA型ゼオライトを得た。
得られたゼオライトは、体積基準で50%の粒子が3μm以上であった。また、得られたゼオライトの粒径は2.98μmであった。また、一次粒子の真円度は0.840であった。また、得られた粉体のXRDを測定したところ、CHA型のゼオライトであることが確認された。さらに、得られたゼオライトの重量減少率を上記方法で求めたところ、24.2%であった。また、50~100℃におけるゼオライトの平均熱膨張係数は、-5.0ppm/Kであった。
Manufacturing Example 3
The following were added to the container in sequence: N,N,N-trimethyl-1-adamantylammonium hydroxide (TMAdaOH) manufactured by Seichem Corporation as an organic structure directing agent (SDA), "aluminum hydroxide" manufactured by Fujifilm Wako Pure Chemical Industries Ltd. as aluminum hydroxide, and "CAB-O-SIL M-5" manufactured by Cabot Corporation as silica.
The composition and molar ratio of the obtained mixture were SiO₂ : Al₂O₃ : TMadaOH : H₂O = 1.0:0.025:0.4:20. After thorough mixing, the mixture was placed in a pressure vessel and hydrothermally synthesized in an oven at 150°C for 48 hours. After suction filtration and washing, it was dried to obtain CHA-type zeolite.
The obtained zeolite had 50% of its particles larger than 3 μm by volume. The particle size of the obtained zeolite was 2.98 μm. The roundness of the primary particles was 0.840. Furthermore, XRD measurement of the obtained powder confirmed that it was a CHA-type zeolite. The weight loss rate of the obtained zeolite, calculated using the above method, was 24.2%. The average thermal expansion coefficient of the zeolite at 50-100°C was -5.0 ppm/K.

次に、本発明の樹脂組成物についての実施例を示す。
<配合成分>
樹脂組成物の調製に用いた成分は、次のとおりである。
Next, examples of the resin composition of the present invention are shown.
<Ingredients>
The components used in the preparation of the resin composition are as follows:

<エポキシ樹脂>
(A)p-アミノフェノール型エポキシ樹脂;三菱ケミカル株式会社製、品名「jER630」、エポキシ当量:97g/当量
<硬化剤>
(B)酸無水物硬化剤;酸無水物(主成分:水素化メチルナジック酸無水物):新日本理化株式会社製、品名「リカシッドHNA-100」(酸無水物当量:174~184)
(C)イミダゾール系硬化剤;四国化成工業株式会社製、品名「2E4MZ-CN」
<フィラー>
(D)ゼオライトフィラー1;上述の製造例1で製造したゼオライトを用いた。
(E)ゼオライトフィラー2;上述の製造例2で製造したゼオライトを用いた。
(F)ゼオライトフィラー3;上述の製造例3で製造したゼオライトを用いた。
<添加剤>
(G)添加剤;ビックケミー・ジャパン社製、湿潤分散剤、品名「DISPERBYK-2152」(アミノ基含有超分子量ポリエステル、くし型、無溶剤)
<Epoxy resin>
(A) p-aminophenol type epoxy resin; manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, product name "jER630", epoxy equivalent: 97 g/equivalent <hardener>
(B) Acid anhydride curing agent; Acid anhydride (main component: methylnadic hydrogenated anhydride): Manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd., product name "Ricacid HNA-100" (acid anhydride equivalent: 174-184)
(C) Imidazole-based curing agent; manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd., product name "2E4MZ-CN"
<Filler>
(D) Zeolite filler 1; The zeolite produced in the above-mentioned production example 1 was used.
(E) Zeolite filler 2; The zeolite produced in the above-mentioned production example 2 was used.
(F) Zeolite filler 3; Zeolite produced in the above-mentioned production example 3 was used.
<Additives>
(G) Additive; manufactured by BIC Chemie Japan, wetting and dispersing agent, product name "DISPERBY K-2152" (amino group-containing ultramolecular weight polyester, comb-type, solvent-free)

実施例1
表1に示すフィラー、樹脂、硬化剤及び添加剤を表1に示す配合量で配合した。その後、真空ミキサー(株式会社EME社製、「V-mini 300」)を用いて1500rpmで5分間混合して樹脂組成物(液状組成物)を調製した。この液状組成物の粘度を上記方法にて評価した。結果を表1に示す。
次に、この液状組成物5gの隙間充填距離を上記方法にて評価した。結果を表1に示す。
次に、この液状組成物を成型型へ注型して80℃で2時間加熱し、次いで、120℃で2時間加熱してゲル分率80%以上に硬化させた後、脱型することで硬化物を得た。この硬化物のCTEと吸水率を上記評価方法で評価した。結果を表1に示す。
Example 1
The fillers, resins, curing agents, and additives shown in Table 1 were mixed in the amounts shown in Table 1. Then, the mixture was mixed at 1500 rpm for 5 minutes using a vacuum mixer (V-mini 300, manufactured by EME Co., Ltd.) to prepare a resin composition (liquid composition). The viscosity of this liquid composition was evaluated using the method described above. The results are shown in Table 1.
Next, the gap-filling distance of 5 g of this liquid composition was evaluated using the method described above. The results are shown in Table 1.
Next, the liquid composition was poured into a mold and heated at 80°C for 2 hours, then heated at 120°C for 2 hours to cure to a gel fraction of 80% or more, and then demolded to obtain a cured product. The CTE and water absorption rate of this cured product were evaluated using the evaluation method described above. The results are shown in Table 1.

比較例1~2
実施例1において、ゼオライトフィラーを表1に示すものに代えて、実施例1と同様に樹脂組成物(液状組成物)及び硬化物を得た。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。
Comparative Examples 1-2
In Example 1, the zeolite filler was replaced with one shown in Table 1, and a resin composition (liquid composition) and cured product were obtained in the same manner as in Example 1. The results of the evaluation, in the same manner as in Example 1, are shown in Table 1.

実施例1と比較例1の結果より、有機構造規定剤由来の成分を含有するゼオライト(実施例1)をフィラーとして用いることで、焼成ゼオライト(比較例1)を用いた場合と比較して、粘度と吸水率が低下し、隙間充填距離が増加することがわかった。なお、比較例1で得られた焼成ゼオライトにおいて、体積基準での一次粒子の粒径が3μm以上の粒子の割合が、実施例1で得られた有機構造規定剤由来の成分を含有するゼオライトのものよりも多いが、これは焼成処理によって粒子同士が固着したためと推察する。また、比較例1で得られた樹脂組成物は、実施例1で得られた樹脂組成物と比べて粘度が高くなっているが、これはゼオライトを焼成処理すると粒子表面に孤立シラノール基が増加し、孤立シラノール基と樹脂が相互作用するためだと推察する。
また、実施例1と比較例2の結果より、体積基準での一次粒子の粒径が3μm以上の粒子が40%以下であるゼオライトをフィラーとして用いることで、隙間充填距離が増加することがわかった。
すなわち、本発明のゼオライトは、吸湿性及び硬化後の熱膨張係数が低く、かつ低粘度でギャップ浸入性が高い樹脂組成物を得ることができる。
From the results of Example 1 and Comparative Example 1, it was found that using zeolite containing components derived from an organic structure-regulating agent (Example 1) as a filler resulted in a decrease in viscosity and water absorption rate, and an increase in gap-filling distance compared to using calcined zeolite (Comparative Example 1). In Comparative Example 1, the proportion of primary particles with a particle size of 3 μm or larger on a volume basis was higher than that of the zeolite containing components derived from an organic structure-regulating agent obtained in Example 1. This is presumed to be due to the particles adhering to each other during the calcination process. Furthermore, the resin composition obtained in Comparative Example 1 had a higher viscosity compared to the resin composition obtained in Example 1. This is presumed to be because calcining the zeolite increases the number of isolated silanol groups on the particle surface, and these isolated silanol groups interact with the resin.
Furthermore, the results from Example 1 and Comparative Example 2 showed that using zeolite as a filler in which 40% or less of the primary particles have a particle size of 3 μm or larger on a volume basis increases the gap filling distance.
In other words, the zeolite of the present invention can be used to obtain a resin composition that has low hygroscopicity and low thermal expansion coefficient after curing, as well as low viscosity and high gap penetration properties.

本発明によれば、吸湿性及び硬化後の熱膨張係数が低く、かつ低粘度でギャップ浸入性が高い樹脂組成物を得るためのゼオライトを提供することができる。このような樹脂組成物は、液状封止剤に好適であり、特にアンダーフィル材として有用である。 According to the present invention, it is possible to provide a zeolite for obtaining a resin composition that has low hygroscopicity and low thermal expansion coefficient after curing, as well as low viscosity and high gap penetration properties. Such a resin composition is suitable as a liquid sealant and is particularly useful as an underfill material.

Claims (10)

ゼオライトと樹脂とを含有する、樹脂組成物であって、前記ゼオライトが、熱重量分析(TGA)により、空気雰囲気中、昇温速度10℃/分にて800℃まで昇温し、800℃で10分保持したときに、400℃における重量を基準とした800℃での重量減少率が1%以上であり、一次粒子の真円度が0.800以上であり、体積基準の粒度分布測定で得られた粒径が3μm以上の粒子が40%以下である、樹脂組成物。 A resin composition containing zeolite and resin, wherein the zeolite, when heated to 800°C in an air atmosphere at a heating rate of 10°C/min and held at 800°C for 10 minutes, by thermogravimetric analysis (TGA), has a weight loss rate of 1% or more at 800°C relative to its weight at 400°C, a roundness of 0.800 or more of primary particles, and 40% or less of particles with a particle size of 3 μm or larger obtained by volume-based particle size distribution measurement . 前記ゼオライトが、CBUとしてd6rを有する、請求項1に記載の樹脂組成物 The resin composition according to claim 1 , wherein the zeolite has d6r as CBU. 前記ゼオライトが、酸素8員環以下の構造である、請求項1に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to claim 1, wherein the zeolite has a structure of an oxygen ring of 8 members or less. 前記ゼオライトが、CHA型構造である、請求項1に記載の樹脂組成物 The resin composition according to claim 1, wherein the zeolite has a CHA-type structure. 前記樹脂がエポキシ樹脂及びポリイミド樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種類を含む、請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 4 , wherein the resin comprises at least one selected from the group consisting of epoxy resins and polyimide resins. 前記樹脂がエポキシ樹脂を含む、請求項5に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to claim 5, wherein the resin comprises an epoxy resin. 請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂組成物からなる、液状封止剤。 A liquid encapsulant comprising the resin composition according to any one of claims 1 to 4 . 請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂組成物からなる、アンダーフィル材。 An underfill material comprising the resin composition according to any one of claims 1 to 4 . 請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂組成物を隙間に充填した後、硬化させる工程を有する、封止材の製造方法。 A method for producing a sealing material, comprising the step of filling a gap with a resin composition according to any one of claims 1 to 4 , and then curing it. 請求項に記載の製造方法により得られる封止材を備える、電子デバイス。
An electronic device comprising a sealing material obtained by the manufacturing method described in claim 9 .
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