JP7839330B2 - Polyimide film - Google Patents
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Description
本発明は、ポリイミドフィルム等に関する。 This invention relates to polyimide films, etc.
ポリイミドフィルムは、その優れた耐熱性、耐薬品性、電気特性から、電線の電気絶縁材料、チップオンフィルム(COF)、フレキシブルプリント配線基板(FPC)のベースフィルム、ICのテープオートメイティッドボンディング(TAB)用のキャリアテープフィルム、およびICのリードフレーム固定用テープ等に広く利用されている。 Due to its excellent heat resistance, chemical resistance, and electrical properties, polyimide film is widely used as an electrical insulation material for electric wires, chip-on film (COF), base film for flexible printed circuit boards (FPC), carrier tape film for tape-automated bonding (TAB) of ICs, and tape for fixing IC lead frames.
電子機器の小型化、軽量化、高機能化、多機能化および高密度実装化に伴い、これらの電子機器に用いられるプリント配線板は、導体幅と導体間の狭小化、多層化、フレキシブル化および基板の薄膜化により高密度化が急速に進んでいる。 With the miniaturization, weight reduction, increased functionality, multi-functionality, and high-density mounting of electronic devices, the printed circuit boards used in these devices are rapidly becoming more densely packed through narrower conductor widths and spacing, multi-layering, flexibility, and thinner substrates.
従来から、ポリイミドフィルムに接着剤層を介して導体層(銅層等の金属層)を貼り合わせた3層構造のフレキシブルプリント配線用基板が知られている(特許文献1)。 A three-layer flexible printed circuit board has been known for its construction, in which a conductive layer (such as a copper layer) is bonded to a polyimide film via an adhesive layer (Patent Document 1).
一方、ポリイミドフィルムは、接着剤層を介して導体層と貼り合わせる場合、ポリイミドフィルム及び金属層間で十分な接着性(密着性)を得られない場合があった。
このような中、ポリイミドフィルムを製造する際に、ポリアミック酸の固化フィルム(自己支持性フィルム)の表面に、耐熱性表面処理剤を含有する溶液を塗布し、固化フィルムを熱処理してイミド化することにより、上記密着性を向上させたポリイミドフィルムを得ることが知られている(特許文献2)。
On the other hand, when a polyimide film is bonded to a conductive layer via an adhesive layer, sufficient adhesion (tightness) may not be obtained between the polyimide film and the metal layer.
In this context, it is known that when manufacturing polyimide films, a solution containing a heat-resistant surface treatment agent is applied to the surface of a polyamic acid solidified film (self-supporting film), and the solidified film is heat-treated to imidize it, thereby obtaining a polyimide film with improved adhesion (Patent Document 2).
本発明の目的は、金属積層用(金属層の積層用)等として好適なポリイミドフィルムを提供すること等にある。 The object of the present invention is to provide a polyimide film suitable for use in metal lamination (for lamination of metal layers), etc.
前記のように、ポリアミック酸の自己支持性フィルムの表面に表面処理剤を塗布して熱処理することによってポリイミドフィルムを製造することが知られている。 As described above, it is known that polyimide films can be manufactured by applying a surface treatment agent to the surface of a self-supporting polyamic acid film and then heat-treating it.
しかし、本発明者は、このようにして得られたポリイミドフィルムは、金属層の積層直後ではポリイミドフィルム及び金属層間の密着性が改良されるものの、金属層積層フィルムが高温下に晒された場合、当該密着性が低下しやすい場合があることを見出した。 However, the inventors have found that while the adhesion between the polyimide film and the metal layer is improved immediately after lamination of the metal layer, this adhesion may decrease when the metal layer laminated film is exposed to high temperatures.
そこで、本発明者は、このような従来のポリイミドフィルムとは全く異なる観点で、金属積層用のポリイミドフィルムについて検討した。
そして、本発明者は、意外にも、ポリアミック酸の自己支持性フィルムではなく、イミド化後のポリイミドフィルムに表面処理剤を塗布することについて検討した。
しかし、イミド化後のポリイミドフィルムに表面処理剤を塗布する場合、ポリアミック酸の自己支持性フィルムに塗布する場合とは違い、ポリイミドと表面処理剤とがあまり反応しないため(すなわち、ポリイミドと表面処理剤間で化学結合があまり形成されないため)か、ポリイミドフィルムに、表面処理剤の加水分解縮合物を含む層を形成させにくかった。
また、表面処理剤の種類によっても、このような層を効率よく形成させることが難しく、イミド化後のポリイミドフィルムに、表面処理剤の加水分解縮合物を含む層を形成させることは、困難を極めた。
Therefore, the inventors investigated polyimide films for metal lamination from a perspective completely different from that of conventional polyimide films.
Surprisingly, the inventors then considered applying the surface treatment agent not to the self-supporting polyamic acid film, but to the polyimide film after imidization.
However, when applying a surface treatment agent to a polyimide film after imidization, unlike when applying it to a self-supporting polyamic acid film, it was difficult to form a layer containing hydrolysis condensates of the surface treatment agent on the polyimide film, possibly because the polyimide and the surface treatment agent did not react much (i.e., not many chemical bonds were formed between the polyimide and the surface treatment agent).
Furthermore, depending on the type of surface treatment agent, it was difficult to efficiently form such a layer, and forming a layer containing hydrolysis condensates of the surface treatment agent on the polyimide film after imidization proved extremely challenging.
このような中、本発明者は、さらに鋭意検討を重ねた結果、特定の表面処理剤(特に、シランカップリング剤等のカップリング剤)を特定の条件[例えば、カップリング剤含有溶液中のカップリング剤濃度、カップリング剤塗布後の乾燥条件(例えば、乾燥温度、乾燥時間等)]で処理することによって、表面処理剤の加水分解縮合物を含む層を有するポリイミドフィルムを効率良く得られることを見出した。
そして、本発明者は、このようなポリイミドフィルムが、金属層を積層するのに好適であり、接着剤層を設けなくても、十分な密着性を実現しうること(特に、厚みの薄い金属層であっても、十分な密着性で積層しうること)、当該フィルムに金属層が積層された金属層積層ポリイミドフィルムが、高温条件下に晒されても上記密着性の低下を抑制しうることを見出した。
さらに、本発明者は、当該フィルムは、金属層が積層された金属層積層ポリイミドフィルムとした際に、高温条件下に晒された際の上記密着性の低下を、ポリアミック酸の自己支持性フィルムに表面処理剤を塗布して得られたポリイミドフィルムを用いた場合よりも抑制しうること等を見出し、さらに研究を進め、本発明を完成するに至った。
In this context, the inventors, after further intensive research, have discovered that a polyimide film having a layer containing a hydrolysis condensate of a surface treatment agent can be efficiently obtained by treating a specific surface treatment agent (particularly a coupling agent such as a silane coupling agent) under specific conditions [for example, the concentration of the coupling agent in the coupling agent-containing solution, and the drying conditions after coating the coupling agent (for example, drying temperature, drying time, etc.)].
The inventors have found that such a polyimide film is suitable for laminating a metal layer, that sufficient adhesion can be achieved without providing an adhesive layer (in particular, even thin metal layers can be laminated with sufficient adhesion), and that the metal layer laminated polyimide film, in which a metal layer is laminated onto the film, can suppress the decrease in the above-mentioned adhesion even when exposed to high-temperature conditions.
Furthermore, the inventors discovered that when the film is a metal-layered polyimide film in which a metal layer is laminated, the decrease in adhesion when exposed to high-temperature conditions can be suppressed more effectively than when a polyimide film obtained by applying a surface treatment agent to a self-supporting polyamic acid film is used. Further research led to the completion of the present invention.
すなわち、本発明は、以下の発明等に関する。
[1]
片面又は両面に、カップリング剤(例えば、シランカップリング剤)の加水分解縮合物を含む(又は、加水分解縮合物で形成された)層(A)を有する、ポリイミドフィルム(特に、金属積層用のポリイミドフィルム)。
[2]
銅層(例えば、厚み8.5μmの銅層、スパッタリング法により形成された金属層(銅層)を介して厚み8.5μmの銅層)を直接積層したときの、銅層とポリイミドフィルムとの剥離強度(例えば、90°剥離強度)をT1、さらに、150℃で168時間加熱後の銅層とポリイミドフィルムとの剥離強度(例えば、90°剥離強度)をT2とするとき、T1が0.4kN/m以上であり、かつT2/T1が0.7以上である、ポリイミドフィルム(特に、金属積層用のポリイミドフィルム)。
なお、このようなポリイミドフィルムは、例えば、後述のように、(イミド化した)ポリイミドフィルム(の片面又は両面)にカップリング剤含有溶液を塗布し、乾燥させる(加水分解縮合させる)ことによって製造してもよい。すなわち、このようなポリイミドフィルムは、(イミド化した)ポリイミドフィルム(の片面又は両面)にカップリング剤含有溶液を塗布し、乾燥させる(加水分解縮合させる)ことによって得られるポリイミドフィルムであってもよい。
[3]
カップリング剤がアミノ基を有する、[1]記載のポリイミドフィルム。
[4]
カップリング剤がシランカップリング剤を含む、[1]又は[3]記載のポリイミドフィルム。
[5]
カップリング剤が、アミノ系シランカップリング剤を含む、[1]及び[3]~[4]のいずれか記載のポリイミドフィルム。
[6]
層(A)の厚みが100~400nmである、[1]及び[3]~[5]のいずれか記載のポリイミドフィルム。
[7]
層(A)が、(表面側に)カップリング剤の加水分解縮合物の層(又は、膜)(1)を含む、[1]及び[3]~[6]のいずれか記載のポリイミドフィルム。
[8]
層(A)が、カップリング剤の加水分解縮合物及びポリイミド由来の成分を含む層(2)を含む、[1]及び[3]~[7]のいずれか記載のポリイミドフィルム。
[9]
層(2)の厚みが300nm以下である、[8]記載のポリイミドフィルム。
[10]
カップリング剤が、3-アミノプロピルトリメトキシシランを含む、[1]及び[3]~[9]のいずれか記載のポリイミドフィルム。
[11]
フィルムの機械搬送方向(MD)の線膨張係数をαMD及び幅方向(TD)の線膨張係数をαTDとするとき、(|αMD|+|αTD|)/2の値が、15ppm/K以下である、[1]~[10]のいずれか記載のポリイミドフィルム。
[12]
αTDが-5~+10ppm/Kである、[1]~[11]のいずれか記載のポリイミドフィルム。
[13]
(ポリイミドフィルムを構成するポリイミドが)パラフェニレンジアミン及び4,4’-ジアミノジフェニルエーテルから選択された少なくとも1種を含む芳香族ジアミン成分と、ピロメリット酸二無水物及び3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選択された少なくとも1種を含む芳香族酸無水物成分とを重合成分とする、[1]~[12]のいずれか記載のポリイミドフィルム。
[14]
無機粒子を含有する、[1]~[13]のいずれか記載のポリイミドフィルム。
[15]
ロール状である、[1]~[14]のいずれか記載のポリイミドフィルム。
[16]
無機粒子を0.01~5質量%の割合で含み、かつ長さ5m以上のロール状である、[1]~[15]のいずれか記載のポリイミドフィルム。
[17]
メタライジング用(めっき用等)である、[1]~[16]のいずれか記載のポリイミドフィルム。
[18]
金属層を直接積層(又は接着剤層を介することなく)(例えば、厚み20μm以下の銅層を直接積層)するための、[1]~[17]のいずれか記載のポリイミドフィルム。
[19]
ポリイミドフィルムとこのフィルム上に直接的に(又は接着剤層を介することなく)積層された金属層とで構成された積層フィルムであって、ポリイミドフィルムが、[1]~[18]のいずれか記載のポリイミドフィルムである、積層フィルム。
[20]
金属層が厚み20μm以下の銅層である、[19]記載の積層フィルム。
[21]
金属層とポリイミドフィルムとの剥離強度(例えば、90°剥離強度)T1が0.5kN/m以上である、[19]又は[20]記載の積層フィルム。
[22]
金属層とポリイミドフィルムとの剥離強度(例えば、90°剥離強度)をT1、さらに、150℃で168時間加熱後の金属層とポリイミドフィルムとの剥離強度(例えば、90°剥離強度)をT2とするとき、T1が0.4kN/m以上であり、かつT2/T1が0.7以上である、[19]~[21]のいずれか記載の積層フィルム。
[23]
カップリング剤(例えば、シランカップリング剤)含有溶液をポリイミドフィルムの片面又は両面に塗布した後、乾燥させる工程を有する(又は、含む)、ポリイミドフィルム(特に、金属積層用のポリイミドフィルム、[1]~[18]のいずれか記載のポリイミドフィルム)の製造方法。
[24]
カップリング剤(例えば、シランカップリング剤)含有溶液が、カップリング剤(例えば、シランカップリング剤)を0.1~5質量%含有する、[23]記載の製造方法。
[25]
乾燥を、乾燥温度130~200℃、乾燥時間40~100秒で行う、[23]又は[24]記載の製造方法。
In other words, the present invention relates to the following inventions, etc.
[1]
A polyimide film (particularly a polyimide film for metal lamination) having a layer (A) on one or both sides containing (or formed from) a hydrolysis condensate of a coupling agent (e.g., a silane coupling agent).
[2]
A polyimide film (particularly a polyimide film for metal lamination) in which a copper layer (for example, a copper layer with a thickness of 8.5 μm, or a copper layer with a thickness of 8.5 μm via a metal layer (copper layer) formed by sputtering) is directly laminated, and T1 is the peel strength (e.g., 90° peel strength) between the copper layer and the polyimide film, and T2 is the peel strength (e.g., 90° peel strength) between the copper layer and the polyimide film after heating at 150°C for 168 hours, wherein T1 is 0.4 kN/m or more and T2/T1 is 0.7 or more.
Such polyimide films may also be manufactured, for example, by applying a coupling agent-containing solution to one or both sides of an (imidized) polyimide film and drying it (hydrolysis condensation), as described later. In other words, such polyimide films may be polyimide films obtained by applying a coupling agent-containing solution to one or both sides of an (imidized) polyimide film and drying it (hydrolysis condensation).
[3]
The polyimide film according to [1], wherein the coupling agent has an amino group.
[4]
A polyimide film according to [1] or [3], wherein the coupling agent comprises a silane coupling agent.
[5]
A polyimide film according to any one of [1] and [3] to [4], wherein the coupling agent comprises an amino-based silane coupling agent.
[6]
A polyimide film according to any one of [1] and [3] to [5], wherein the thickness of layer (A) is 100 to 400 nm.
[7]
A polyimide film according to any one of [1] and [3] to [6], wherein layer (A) comprises a layer (or film) (1) of a hydrolyzed condensate of a coupling agent (on the surface side).
[8]
A polyimide film according to any one of [1] and [3] to [7], comprising layer (A) and layer (2) containing a hydrolysis condensate of a coupling agent and a component derived from polyimide.
[9]
The polyimide film according to [8], wherein the thickness of layer (2) is 300 nm or less.
[10]
A polyimide film according to any one of [1] and [3] to [9], wherein the coupling agent comprises 3-aminopropyltrimethoxysilane.
[11]
A polyimide film according to any one of [1] to [10], wherein, when the coefficient of linear expansion in the mechanical transport direction (MD) of the film is αMD and the coefficient of linear expansion in the width direction (TD) is αTD, the value of (|αMD| + |αTD|)/2 is 15 ppm/K or less.
[12]
A polyimide film according to any one of [1] to [11], wherein the αTD is -5 to +10 ppm/K.
[13]
A polyimide film according to any one of [1] to [12], wherein the polyimide constituting the polyimide film comprises an aromatic diamine component containing at least one selected from paraphenylenediamine and 4,4'-diaminodiphenyl ether, and an aromatic acid anhydride component containing at least one selected from pyromellitic dianhydride and 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride as polymerization components.
[14]
A polyimide film containing inorganic particles, as described in any one of [1] to [13].
[15]
A polyimide film in roll form, as described in any of [1] to [14].
[16]
A polyimide film according to any one of [1] to [15], which contains inorganic particles in a proportion of 0.01 to 5% by mass and is in the form of a roll with a length of 5 m or more.
[17]
A polyimide film for metallizing (e.g., plating), as described in any of [1] to [16].
[18]
A polyimide film according to any one of [1] to [17] for directly laminating a metal layer (or without an adhesive layer) (for example, directly laminating a copper layer with a thickness of 20 μm or less).
[19]
A laminated film comprising a polyimide film and a metal layer laminated directly on the film (or without an adhesive layer), wherein the polyimide film is a polyimide film according to any one of [1] to [18].
[20]
The laminated film according to [19], wherein the metal layer is a copper layer with a thickness of 20 μm or less.
[21]
The laminated film according to [19] or [20], wherein the peel strength (e.g., 90° peel strength) T1 between the metal layer and the polyimide film is 0.5 kN/m or more.
[22]
A laminated film according to any one of [19] to [21], wherein T1 is the peel strength between the metal layer and the polyimide film (e.g., 90° peel strength), and T2 is the peel strength between the metal layer and the polyimide film after heating at 150°C for 168 hours (e.g., 90° peel strength), and T1 is 0.4 kN/m or more, and T2/T1 is 0.7 or more.
[23]
A method for producing a polyimide film (particularly a polyimide film for metal lamination, or a polyimide film according to any one of [1] to [18]), comprising the step of applying a solution containing a coupling agent (e.g., a silane coupling agent) to one or both sides of the polyimide film, and then drying it.
[24]
The manufacturing method according to [23], wherein the coupling agent (e.g., silane coupling agent) containing solution contains 0.1 to 5% by mass of the coupling agent (e.g., silane coupling agent).
[25]
The manufacturing method according to [23] or [24], wherein drying is performed at a drying temperature of 130 to 200°C and a drying time of 40 to 100 seconds.
本発明によれば、ポリイミドフィルムを提供できる。このようなポリイミドフィルムは、金属積層用(金属層積層用、金属層形成用)等として好適である。 According to the present invention, a polyimide film can be provided. Such a polyimide film is suitable for applications such as metal lamination (metal layer lamination, metal layer formation, etc.).
例えば、ポリイミドフィルムの一態様では、十分な密着性で金属層(例えば、銅層)を積層(形成)しうる。このような密着性は、接着剤層を設けなくても(直接的に金属層を形成しても)、担保しうるものであるため、メタライジング[又はメタライジング法又はメタライジング処理、例えば、めっき法(湿式ないし乾式めっき法、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法)]により金属層を好適に形成することもできる。 For example, in one embodiment of a polyimide film, a metal layer (e.g., a copper layer) can be laminated (formed) with sufficient adhesion. Since such adhesion can be ensured even without an adhesive layer (by directly forming the metal layer), the metal layer can also be suitably formed by metallizing [or a metallizing method or metallizing treatment, such as a plating method (wet or dry plating method, e.g., vacuum deposition, sputtering, ion plating)].
そのため、このようなポリイミドフィルムによれば、厚みの薄い(例えば、30μm以下、20μm以下、10μm以下等の厚みの)金属層であっても、十分な密着性を実現しうる。 Therefore, with such a polyimide film, sufficient adhesion can be achieved even with thin metal layers (for example, thicknesses of 30 μm or less, 20 μm or less, 10 μm or less, etc.).
本発明のポリイミドフィルムの他の一態様では、上記のような十分な密着性を、高温のような条件に晒されても、効率よく維持しうる。 In another embodiment of the polyimide film of the present invention, the above-described sufficient adhesion can be efficiently maintained even when exposed to conditions such as high temperatures.
本発明のポリイミドフィルムの別の態様では、ベースフィルム(基材フィルム)として有用ないし有効な機能{例えば、耐熱性、寸法安定性(例えば、金属層形成時の寸法安定性、金属層形成後(例えば、加工時)の寸法安定性)等}を備えつつ、上記のような金属層との十分な密着性を両立させて実現しうる。 In another embodiment of the polyimide film of the present invention, it is possible to achieve sufficient adhesion to the metal layer while possessing useful or effective functions as a base film (substrate film) {for example, heat resistance, dimensional stability (e.g., dimensional stability during metal layer formation, dimensional stability after metal layer formation (e.g., during processing))} as described above.
本発明のポリイミドフィルムの他の一態様では、高い絶縁破壊電圧を奏しうる。
そのため、このようなポリイミドフィルムによれば、高い絶縁性を奏しうる。
In another embodiment of the polyimide film of the present invention, a high dielectric breakdown voltage can be achieved.
Therefore, such polyimide films can provide high insulation properties.
[ポリイミドフィルム]
本発明のポリイミドフィルムは、表面に、カップリング剤の加水分解縮合物を含む(又は、加水分解縮合物で形成された)層(A)(以下、単に「層(A)」ということがある。)を有していてよい。
層(A)は、カップリング剤に対応する元素[例えば、ケイ素(シランカップリング剤に対応)等]を含む層であってもよい。
層(A)は、ポリイミドフィルムの片面(又は、片側)に形成されていてもよいし、両面(又は、両側)に形成されていてもよい。
このようなポリイミドフィルムは、例えば、(イミド化した)ポリイミドフィルム(の片面又は両面)にカップリング剤含有溶液を塗布し、乾燥させる(加水分解縮合させる)ことによって形成することができる。
[Polyimide film]
The polyimide film of the present invention may have a layer (A) on its surface that contains (or is formed from) a hydrolyzed condensate of a coupling agent (hereinafter sometimes simply referred to as "layer (A)").
Layer (A) may be a layer containing an element corresponding to the coupling agent [for example, silicon (corresponding to the silane coupling agent)].
Layer (A) may be formed on one side (or one side) of the polyimide film, or on both sides (or both sides).
Such polyimide films can be formed, for example, by applying a coupling agent-containing solution to one or both sides of an (imidized) polyimide film and drying it (causing hydrolysis condensation).
(層(A))
カップリング剤は、例えば、加水分解(縮合)性基(例えば、アルコキシ基、ハロゲン原子等)と反応性官能基[例えば、アミノ基、エポキシ基、メルカプト基、(メタ)アクリロイル基、ビニル基等]とを有するものであってよい。
(Layer (A))
The coupling agent may, for example, have a hydrolyzable (condensable) group (e.g., an alkoxy group, a halogen atom, etc.) and a reactive functional group [e.g., an amino group, an epoxy group, a mercapto group, a (meth)acryloyl group, a vinyl group, etc.].
カップリング剤としては、例えば、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、アルミニウムカップリング剤等が挙げられ、好ましくは、シランカップリング剤であってもよい。
カップリング剤は、1種又は2種以上を組み合わせて使用してよい。
Examples of coupling agents include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents, and preferably, silane coupling agents.
Coupling agents may be used individually or in combination of two or more types.
シランカップリング剤としては、例えば、加水分解(縮合)性基(例えば、アルコキシ基、ハロゲン原子等)が結合したシリル基を有するもの等が挙げられる。
シランカップリング剤において、ケイ素(原子)の数は、1以上であればよく、2以上(例えば、オリゴマー乃至ポリマー型のシランカップリング剤等)であってもよい。
Examples of silane coupling agents include those having a silyl group to which a hydrolyzable (condensable) group (e.g., an alkoxy group, a halogen atom, etc.) is bonded.
In a silane coupling agent, the number of silicon atoms may be one or more, or two or more (for example, oligomer or polymer-type silane coupling agents).
具体的なシランカップリング剤としては、特に限定されないが、例えば、アミノ系シランカップリング剤(アミノ基含有シランカップリング剤)、エポキシ系シランカップリング剤(エポキシ基含有シランカップリング剤)、メルカプト系シランカップリング剤(メルカプト基含有シランカップリング剤)、(メタ)アクリロキシ系シランカップリング剤((メタ)アクリロキシ基含有シランカップリング剤)、ビニル系シランカップリング剤(ビニル基含有シランカップリング剤)等が挙げられ、好ましくは、アミノ系シランカップリング剤等であってもよい。
シランカップリング剤は、1種又は2種以上を使用することができる。
Specific silane coupling agents are not particularly limited, but examples include amino-based silane coupling agents (silane coupling agents containing amino groups), epoxy-based silane coupling agents (silane coupling agents containing epoxy groups), mercapto-based silane coupling agents (silane coupling agents containing mercapto groups), (meth)acryloxy-based silane coupling agents (silane coupling agents containing (meth)acryloxy groups), vinyl-based silane coupling agents (silane coupling agents containing vinyl groups), and preferably, amino-based silane coupling agents or the like.
One or more types of silane coupling agents may be used.
アミノ系シランカップリング剤としては、例えば、アミノ基を有するアルコキシシラン[例えば、アミノアルキルアルコキシシラン(例えば、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン等のアミノアルキルモノ乃至トリアルコキシシラン、好ましくはアミノC1-4アルキルモノ乃至トリC1-4アルコキシシラン)、(アミノアルキルアミノ)アルキルアルコキシシラン(例えば、3-(2-アミノエチルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、3-(2-アミノエチルアミノ)プロピルメチルジメトキシシラン、3-(2-アミノエチルアミノ)プロピルトリエトキシシラン等の(アミノアルキルアミノ)アルキルモノ乃至トリアルコキシシラン、好ましくは(アミノC1-4アミノ)C1-4アルキルモノ乃至トリC1-4アルコキシシラン)、フェニルアミノアルキルアルコキシシラン(例えば、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン等のフェニルアミノアルキルモノ乃至トリアルコキシシラン、好ましくはフェニルアミノC1-4アルキルモノ乃至トリC1-4アルコキシシラン)等]等が挙げられる。 Examples of amino-based silane coupling agents include alkoxysilanes having an amino group [for example, aminoalkylalkoxysilanes (e.g., aminoalkyl mono to trialkoxysilanes such as 3-aminopropyltrimethoxysilane and 3-aminopropyltriethoxysilane, preferably aminoC1-4 alkyl mono to triC1-4 alkoxysilanes), (aminoalkylamino)alkylalkoxysilanes (e.g., (aminoalkylamino)alkyl mono to trialkoxysilanes such as 3-(2-aminoethylamino)propyltrimethoxysilane, 3-(2-aminoethylamino)propylmethyldimethoxysilane, and 3-(2-aminoethylamino)propyltriethoxysilane, preferably (aminoC1-4 amino)C1-4 alkyl mono to triC1-4 alkoxysilanes), phenylaminoalkylalkoxysilanes (e.g., phenylaminoalkyl mono to trialkoxysilanes such as N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, preferably phenylaminoC1-4 alkyl mono to triC1-4 alkoxysilanes), etc.].
エポキシ系シランカップリング剤としては、例えば、エポキシ基を有するアルコキシシラン[例えば、グリシドキシアルキルアルコキシシラン(例えば、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のグリシドキシアルキルモノ乃至トリアルコキシシラン、好ましくはグリシドキシC1-4アルキルモノ乃至トリC1-4アルコキシシラン)、エポキシシクロアルキルアルコキシシラン(例えば、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン等のエポキシシクロアルキルモノ乃至トリアルコキシシラン、好ましくはエポキシC3-10シクロアルキルモノ乃至トリC1-4アルコキシシラン)等]等が挙げられる。 Examples of epoxy-based silane coupling agents include alkoxysilanes having epoxy groups [for example, glycidoxyalkylalkoxysilanes (e.g., glycidoxyalkyl mono to trialkoxysilanes such as 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, etc., preferably glycidoxy C1-4 alkyl mono to tri C1-4 alkoxysilanes), epoxycycloalkylalkoxysilanes (e.g., epoxycycloalkyl mono to trialkoxysilanes such as 2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane, 2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltriethoxysilane, preferably epoxy C3-10 cycloalkyl mono to tri C1-4 alkoxysilanes), etc.].
メルカプト系シランカップリング剤としては、例えば、メルカプト基を有するアルコキシシラン[例えば、メルカプトアルキルアルコキシシラン(例えば、3-メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプトアルキルモノ乃至トリアルコキシシラン、好ましくはメルカプトC1-4アルキルモノ乃至トリC1-4アルコキシシラン)等]等が挙げられる。 Examples of mercapto-silane coupling agents include alkoxysilanes having a mercapto group [for example, mercaptoalkylalkoxysilanes (e.g., mercaptoalkyl mono to trialkoxysilanes such as 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, preferably mercapto C1-4 alkyl mono to triC1-4 alkoxysilanes)].
(メタ)アクリロキシ系シランカップリング剤としては、例えば、(メタ)アクリロイル基を有するアルコキシシラン[例えば、3-(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-(メタ)アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3-(メタ)アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3-(メタ)アクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン等の(メタ)アクリロキシアルキルモノ乃至トリアルコキシシラン、好ましくは(メタ)アクリロキシC2-4アルキルモノ乃至トリC1-4アルコキシシラン等]等が挙げられる。 Examples of (meth)acryloxy silane coupling agents include alkoxysilanes having a (meth)acryloyl group [for example, (meth)acryloxyalkyl mono to trialkoxysilanes such as 3-(meth)acryloxypropyltrimethoxysilane, 3-(meth)acryloxypropyltriethoxysilane, 3-(meth)acryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-(meth)acryloxypropylmethyldiethoxysilane, preferably (meth)acryloxy C2-4 alkyl mono to triC1-4 alkoxysilanes, etc.].
ビニル系シランカップリング剤としては、例えば、ビニル基含有シラン{例えば、ビニル基を有するハロシラン(例えば、ビニルトリクロロシラン等のビニルモノ乃至トリハロシラン)、ビニル基を有するアルコキシシラン[例えば、ビニルアルコキシシラン(例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン等のビニルモノ乃至トリアルコキシシラン、好ましくはビニルモノ乃至トリC1-4アルコキシシラン)、ビニルアルコキシアルコキシシラン(例えば、ビニルトリ(メトキシエトキシ)シラン、ビニルトリス(β-メトキシエトキシ)シラン等のビニルモノ乃至トリ(C1-4アルコキシC1-4アルコキシ)シラン)、スチリル基含有シラン(例えば、p-スチリルトリメトキシシラン等のスチリルモノ乃至トリアルコキシシラン、好ましくはスチリルモノ乃至トリC1-4アルコキシシラン)等]}等が挙げられる。 Examples of vinyl-based silane coupling agents include vinyl group-containing silanes {e.g., halosilanes having a vinyl group (e.g., vinyl mono to trihalosilanes such as vinyltrichlorosilane), alkoxysilanes having a vinyl group [e.g., vinyl alkoxysilanes (e.g., vinyl mono to trialkoxysilanes such as vinyltrimethoxysilane and vinyltriethoxysilane, preferably vinyl mono to triC1-4 alkoxysilanes), vinyl alkoxyalkoxysilanes (e.g., vinyl tri(methoxyethoxy)silane, vinyltris(β-methoxyethoxy)silane, etc., vinyl mono to tri(C1-4 alkoxyC1-4 alkoxy)silanes), styryl group-containing silanes (e.g., styryl mono to trialkoxysilanes such as p-styryltrimethoxysilane, preferably styryl mono to triC1-4 alkoxysilanes), etc.]}.
チタンカップリング剤としては、例えば、イソステアロイルチタネート(例えば、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イソプロピルジメタクリロイルイソステアロイルチタネート、イソプロピルイソステアロイルジアクリルチタネート等のモノ乃至トリイソステアロイルチタネート)、アミノ基含有チタネート(例えば、イソプロピルトリ(N-アミノエチル-アミノエチル)チタネート)、イソプロピルトリデシルベンゼンスルホニルチタネート、イソプロピルトリス(ジオクチルパイロホスフェート)チタネート、テトライソプロピルビス(ジオクチルホスファイト)チタネート、テトラ(2,2-ジアリルオキシメチル-1-ブチル)ビス(ジ-トリデシル)ホスファイトチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)オキシアセテートチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)エチレンチタネート、イソプロピルトリオクタノイルチタネート、イソプロピルトリクミルフェニルチタネート等が挙げられる。 Examples of titanium coupling agents include isostearoyl titanates (e.g., mono- or triisostearoyl titanates such as isopropyltriisostearoyl titanate, isopropyldimethacryloylisostearoyl titanate, isopropylisostearoyldiacrylic titanate, etc.), amino group-containing titanates (e.g., isopropyltri(N-aminoethyl-aminoethyl) titanate), isopropyltridecylbenzenesulfonyl titanate, isopropyl Examples include pyrtris(dioctyl pyrophosphate) titanate, tetraisopropylbis(dioctyl phosphite) titanate, tetra(2,2-diallyloxymethyl-1-butyl)bis(di-tridecyl) phosphite titanate, bis(dioctyl pyrophosphate) oxyacetate titanate, bis(dioctyl pyrophosphate) ethylene titanate, isopropyltrioctanoyl titanate, and isopropyltricumylphenyl titanate.
アルミニウムカップリング剤としては、例えば、アルキルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート等が挙げられる。 Examples of aluminum coupling agents include alkylacetacetate aluminum diisopropylate.
カップリング剤は、本発明のポリイミドフィルムと金属層との密着性(特に、高温条件下に晒された際の密着性)等の観点から、好ましくは、アミノ基を有するもの(例えば、アミノ系シランカップリング剤等)であってもよい。
アミノ基を有するカップリング剤を用いる場合、定かではないが、カップリング剤塗布対象のポリイミドフィルム及びカップリング剤間の反応をある程度抑えられるため、本発明のポリイミドフィルム表面[例えば、層(A)表面等]にアミノ基が残存していると考えられる。換言すれば、アミノ基を有するカップリング剤を用いる場合、本発明のポリイミドフィルム表面は、アミノ基を含有していると考えられる。
また、定かではないが、このような本発明のポリイミドフィルム上に金属層が積層されると、アミノ基と金属原子(例えば、銅原子等)の間で配位結合が形成されることで、金属層が安定化されやすいため、高温条件に晒された場合でも金属層と本発明のポリイミドフィルムとの密着性を得られやすいと考えられる。
From the viewpoint of adhesion between the polyimide film and the metal layer of the present invention (particularly adhesion when exposed to high-temperature conditions), the coupling agent may preferably be one having an amino group (for example, an amino-based silane coupling agent).
When using a coupling agent containing amino groups, although not certain, it is thought that the reaction between the polyimide film to which the coupling agent is applied and the coupling agent can be suppressed to some extent, and therefore amino groups remain on the surface of the polyimide film of the present invention [for example, the surface of layer (A)]. In other words, when using a coupling agent containing amino groups, it is thought that the surface of the polyimide film of the present invention contains amino groups.
Furthermore, although not certain, it is thought that when a metal layer is laminated on such a polyimide film of the present invention, coordination bonds are formed between the amino groups and metal atoms (for example, copper atoms, etc.), which makes it easier to stabilize the metal layer, and thus easier to obtain good adhesion between the metal layer and the polyimide film of the present invention even when exposed to high-temperature conditions.
なお、層(A)は、カップリング剤以外の表面処理剤{例えば、シラン化合物[例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン等のモノ乃至テトラアルコキシシラン、好ましくはモノ乃至テトラC1-4アルコキシシラン]等}の加水分解縮合物を含んでいてもよい。 Furthermore, layer (A) may contain hydrolysis condensates of surface treatment agents other than coupling agents {for example, silane compounds [e.g., mono- to tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane and tetraethoxysilane, preferably mono- to tetraC1-4 alkoxysilanes]}.
層(A)は、カップリング剤の加水分解縮合物の層(又は、膜)(1)を有していてもよい。
層(1)は、層(A)の表面側に形成されていてよい。
層(1)は、実質的にカップリング剤の加水分解縮合物のみで形成されていてよく、ポリイミド(又は、ポリイミド由来の成分)を含んでいなくてもよい。
なお、本発明のポリイミドフィルムが両面(又は、両側)に層(A)を有する場合、層(1)は、ポリイミドフィルムの両面(又は、両側)に形成されていてもよいし、片面(又は、片側)に形成されていてもよい。
Layer (A) may have a layer (or film) (1) of a hydrolysis condensate of a coupling agent.
Layer (1) may be formed on the surface side of layer (A).
Layer (1) may be formed substantially solely from hydrolyzed condensates of coupling agents and may not contain polyimide (or polyimide-derived components).
Furthermore, if the polyimide film of the present invention has layers (A) on both sides (or both sides), layer (1) may be formed on both sides (or both sides) of the polyimide film, or on one side (or one side).
層(A)は、カップリング剤の加水分解縮合物及びポリイミド由来の成分を含む層(2)を有していてもよい。
層(2)は、層(A)のポリイミドフィルム側に形成されていてよい。
層(A)が層(1)及び層(2)を有する場合、ポリイミドフィルム(表面)側から、層(2)、層(1)の順で層が形成されてよい。
なお、本発明のポリイミドフィルムが両面(又は、両側)に層(A)を有する場合、層(2)は、ポリイミドフィルムの両面(又は、両側)に形成されていてもよいし、片面(又は、片側)に形成されていてもよい。
Layer (A) may have a layer (2) containing a hydrolysis condensate of the coupling agent and a component derived from polyimide.
Layer (2) may be formed on the polyimide film side of layer (A).
If layer (A) has layer (1) and layer (2), the layers may be formed in the order of layer (2) and layer (1) from the polyimide film (surface) side.
Furthermore, if the polyimide film of the present invention has layer (A) on both sides (or both sides), layer (2) may be formed on both sides (or both sides) of the polyimide film, or on one side (or one side).
層(A)の厚みは、特に限定されないが、本発明のポリイミドフィルムと金属層との密着性等の観点から、例えば、50nm以上(例えば、60nm以上、70nm以上、80nm以上、90nm以上)、好ましくは100nm以上(例えば、110nm以上、120nm以上、130nm以上、140nm以上、150nm以上、160nm以上、170nm以上、180nm以上、190nm以上、200nm以上)程度であってもよい。 The thickness of layer (A) is not particularly limited, but from the viewpoint of adhesion between the polyimide film and the metal layer of the present invention, it may be, for example, 50 nm or more (e.g., 60 nm or more, 70 nm or more, 80 nm or more, 90 nm or more), preferably 100 nm or more (e.g., 110 nm or more, 120 nm or more, 130 nm or more, 140 nm or more, 150 nm or more, 160 nm or more, 170 nm or more, 180 nm or more, 190 nm or more, 200 nm or more).
層(A)の厚み(の上限値)は、特に限定されないが、例えば、500nm以下(例えば、480nm以下、450nm以下、430nm以下)、好ましくは400nm以下(例えば、390nm以下、380nm以下、370nm以下、360nm以下、350nm以下、330nm以下、300nm以下、280nm以下、250nm以下、230nm以下、200nm以下)程度であってもよい。 The thickness (upper limit) of layer (A) is not particularly limited, but may be, for example, 500 nm or less (e.g., 480 nm or less, 450 nm or less, 430 nm or less), preferably 400 nm or less (e.g., 390 nm or less, 380 nm or less, 370 nm or less, 360 nm or less, 350 nm or less, 330 nm or less, 300 nm or less, 280 nm or less, 250 nm or less, 230 nm or less, 200 nm or less).
なお、層(A)の厚みの測定方法は、公知の方法を使用してよく、特に限定されないが、例えば、後述の実施例に記載の層(1)又は層(2)の厚み測定方法等によって測定してもよい。 The method for measuring the thickness of layer (A) may be a known method and is not particularly limited; for example, it may be measured by the method for measuring the thickness of layer (1) or layer (2) described in the embodiments below.
層(1)の厚みは、特に限定されないが、本発明のポリイミドフィルムと金属層との密着性等の観点から、例えば、5nm以上(例えば、6nm以上、7nm以上、8nm以上、9nm以上)、好ましくは10nm以上(例えば、11nm以上、12nm以上、13nm以上、14nm以上、15nm以上)程度であってもよい。 The thickness of layer (1) is not particularly limited, but from the viewpoint of adhesion between the polyimide film and the metal layer of the present invention, it may be, for example, 5 nm or more (e.g., 6 nm or more, 7 nm or more, 8 nm or more, 9 nm or more), preferably 10 nm or more (e.g., 11 nm or more, 12 nm or more, 13 nm or more, 14 nm or more, 15 nm or more).
層(1)の厚み(の上限値)は、特に限定されないが、例えば、150nm以下(例えば、140nm以下、130nm以下、120nm以下、110nm以下)、好ましくは100nm以下(例えば、90nm以下、80nm以下、70nm以下、60nm以下、50nm以下、40nm以下、30nm以下)程度であってもよい。 The thickness (upper limit) of layer (1) is not particularly limited, but may be, for example, 150 nm or less (e.g., 140 nm or less, 130 nm or less, 120 nm or less, 110 nm or less), preferably 100 nm or less (e.g., 90 nm or less, 80 nm or less, 70 nm or less, 60 nm or less, 50 nm or less, 40 nm or less, 30 nm or less).
なお、層(1)の厚みの測定方法は、公知の方法を使用してよく、特に限定されないが、例えば、後述の実施例に記載の方法等によって測定してもよい。 The method for measuring the thickness of layer (1) may be a known method and is not particularly limited; for example, it may be measured by the method described in the examples below.
層(2)の厚みは、特に限定されないが、例えば、50nm以上(例えば、60nm以上、70nm以上、80nm以上、90nm以上)、好ましくは100nm以上(例えば、110nm以上、120nm以上、130nm以上、140nm以上、150nm以上)程度であってもよい。 The thickness of layer (2) is not particularly limited, but may be, for example, 50 nm or more (e.g., 60 nm or more, 70 nm or more, 80 nm or more, 90 nm or more), preferably 100 nm or more (e.g., 110 nm or more, 120 nm or more, 130 nm or more, 140 nm or more, 150 nm or more).
層(2)の厚み(の上限値)は、特に限定されないが、例えば、350nm以下(例えば、340nm以下、330nm以下、320nm以下、310nm以下)、好ましくは300nm以下(例えば、290nm以下、280nm以下、270nm以下、260nm以下)、さらに好ましくは250nm以下(例えば、240nm以下、230nm以下、220nm以下、210nm以下、200nm以下)程度であってもよい。 The thickness (upper limit) of layer (2) is not particularly limited, but may be, for example, 350 nm or less (e.g., 340 nm or less, 330 nm or less, 320 nm or less, 310 nm or less), preferably 300 nm or less (e.g., 290 nm or less, 280 nm or less, 270 nm or less, 260 nm or less), and more preferably 250 nm or less (e.g., 240 nm or less, 230 nm or less, 220 nm or less, 210 nm or less, 200 nm or less).
なお、層(2)の厚みの測定方法は、公知の方法を使用してよく、特に限定されないが、例えば、後述の実施例に記載の方法等によって測定してもよい。 The method for measuring the thickness of layer (2) may be a known method and is not particularly limited; for example, it may be measured by the method described in the examples below.
((カップリング剤塗布対象の)ポリイミドフィルム)
以下、カップリング剤が表面に塗布される(すなわち、カップリング剤塗布対象の)ポリイミドフィルムについて説明する。
(Polyimide film to which the coupling agent will be applied)
The following describes the polyimide film on which the coupling agent is applied to the surface (i.e., the film to which the coupling agent is applied).
ポリイミドフィルムの厚みは、用途などに応じて適宜選択できるが、例えば、積層フィルムの基材(ベースフィルム)として好適に使用する(機能させる)等の観点から、例えば、1μm以上(例えば、2μm以上)、好ましくは3μm以上(例えば、4μm以上)、さらに好ましくは5μm以上(例えば、6μm以上)程度であってもよく、7μm以上(例えば、8μm以上、10μm以上、12μm以上、15μm以上、18μm以上、20μm以上、22μm以上、25μm以上、28μm以上、30μm以上、32μm以上、35μm以上)程度であってもよい。 The thickness of the polyimide film can be appropriately selected depending on the application, but from the viewpoint of suitably using it as a base film for laminated films, for example, it may be 1 μm or more (e.g., 2 μm or more), preferably 3 μm or more (e.g., 4 μm or more), and more preferably 5 μm or more (e.g., 6 μm or more), and may also be 7 μm or more (e.g., 8 μm or more, 10 μm or more, 12 μm or more, 15 μm or more, 18 μm or more, 20 μm or more, 22 μm or more, 25 μm or more, 28 μm or more, 30 μm or more, 32 μm or more, 35 μm or more).
このようなポリイミドフィルムの厚み(の上限値)は、特に限定されないが、例えば、300μm以下(例えば、250μm以下)、好ましくは200μm以下(例えば、150μm以下)、さらに好ましくは100μm以下(例えば、80μm以下)程度であってもよく、70μm以下(例えば、60μm以下、55μm以下、50μm以下、45μm以下、40μm以下、35μm以下、30μm以下)であってもよい。 The thickness (upper limit) of such polyimide film is not particularly limited, but may be, for example, 300 μm or less (e.g., 250 μm or less), preferably 200 μm or less (e.g., 150 μm or less), and more preferably 100 μm or less (e.g., 80 μm or less), or 70 μm or less (e.g., 60 μm or less, 55 μm or less, 50 μm or less, 45 μm or less, 40 μm or less, 35 μm or less, 30 μm or less).
具体的なポリイミドフィルムの厚みとしては、例えば、1~200μm、好ましくは3~100μm、さらに好ましくは5~80μm等が挙げられる。 Specific examples of polyimide film thicknesses include, for instance, 1 to 200 μm, preferably 3 to 100 μm, and more preferably 5 to 80 μm.
ポリイミドフィルムは、複数のポリイミドフィルムの積層体であってもよいが、通常、単一のポリイミドフィルムであってもよい。 A polyimide film may be a laminate of multiple polyimide films, but it is usually a single polyimide film.
ポリイミドフィルムは、未延伸フィルムであってもよく、延伸フィルム(一軸又は二軸延伸フィルム)であってもよい。このような延伸フィルムにおいて、延伸条件(例えば、TD方向及び/又はMD方向の延伸倍率等)は、後述の条件であってもよい。 The polyimide film may be an unstretched film or a stretched film (uniaxial or biaxially oriented film). In such a stretched film, the stretching conditions (e.g., stretching ratio in the TD and/or MD directions) may be those described later.
本発明では、延伸フィルムにおいても、十分な密着性等を効率よく実現しやすい。 In this invention, sufficient adhesion and other properties can be efficiently achieved even in stretched films.
組成、製造方法等
ポリイミドフィルム(又はポリイミドフィルムを構成するポリイミド、又はポリアミック酸)は、通常、芳香族ジアミン成分と芳香族酸無水物成分を原料に含有する(重合成分とする)。
Composition, manufacturing method, etc. Polyimide films (or polyimides or polyamic acids that constitute polyimide films) typically contain aromatic diamine components and aromatic acid anhydride components as raw materials (these are the polymerization components).
芳香族ジアミン成分としては、例えば、パラフェニレンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノジフェニルエーテル、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、メタフェニレンジアミン、ジアミノジフェニルプロパン(例えば、4,4'-ジアミノジフェニルプロパン、3,4'-ジアミノジフェニルプロパン、3,3'-ジアミノジフェニルプロパン等)、ジアミノジフェニルメタン(例えば、4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3'-ジアミノジフェニルメタン等)、ベンジジン、ジアミノジフェニルサルファイド(例えば、4,4'-ジアミノジフェニルサルファイド、3,4'-ジアミノジフェニルサルファイド、3,3'-ジアミノジフェニルサルファイド等)、ジアミノジフェニルスルホン(例えば、4,4'-ジアミノジフェニルスルホン、3,4'-ジアミノジフェニルスルホン、3,3'-ジアミノジフェニルスルホン等)、2,6-ジアミノピリジン、ビス-(4-アミノフェニル)ジエチルシラン、3,3'-ジクロロベンジジン、ビス-(4-アミノフェニル)エチルホスフィノキサイド、ビス-(4-アミノフェニル)フェニルホスフィノキサイド、ビス-(4-アミノフェニル)-N-フェニルアミン、ビス-(4-アミノフェニル)-N-メチルアミン、1,5-ジアミノナフタレン、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノビフェニル、3,4'-ジメチル-3',4-ジアミノビフェニル、3,3'-ジメトキシベンジジン、2,4-ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェニル)エーテル、ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェニル)エーテル、p-ビス(2-メチル-4-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス-(1,1-ジメチル-5-アミノペンチル)ベンゼン、m-キシリレンジアミン、p-キシリレンジアミン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、2,2-ビス(4-アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、N-(3-アミノフェニル)-4-アミノベンズアミド、4-アミノフェニル-3-アミノベンゾエート等が挙げられる。これらは1種単独で又は2種以上を併用して使用することができる。 Aromatic diamine components include, for example, paraphenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, metaphenylenediamine, diaminodiphenylpropane (e.g., 4,4'-diaminodiphenylpropane, 3,4'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, etc.), diamino Diphenylmethane (e.g., 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, etc.), benzidine, diaminodiphenyl sulfide (e.g., 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, etc.), diaminodiphenyl sulfone (e.g., 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, etc.), 2 ,6-diaminopyridine, bis-(4-aminophenyl)diethylsilane, 3,3'-dichlorobenzidine, bis-(4-aminophenyl)ethylphosphinoxide, bis-(4-aminophenyl)phenylphosphinoxide, bis-(4-aminophenyl)-N-phenylamine, bis-(4-aminophenyl)-N-methylamine, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 3,4'-dimethyl-3',4-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 2,4-bi Examples include p-β-amino-t-butylphenyl ether, bis(p-β-amino-t-butylphenyl) ether, p-bis(2-methyl-4-aminopentyl)benzene, p-bis-(1,1-dimethyl-5-aminopentyl)benzene, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, 2,2-bis(4-aminophenyl)hexafluoropropane, N-(3-aminophenyl)-4-aminobenzamide, and 4-aminophenyl-3-aminobenzoate. These can be used individually or in combination of two or more.
芳香族ジアミン成分は、金属層との密着性、耐熱性、寸法安定性等を効率よく実現しやすい等の観点から、好ましくはパラフェニレンジアミン及び4,4’-ジアミノジフェニルエーテルから選択される1種を少なくとも含んでいてもよく、より好ましくはパラフェニレンジアミン及び4,4’-ジアミノジフェニルエーテルを含んでいてもよい。 The aromatic diamine component may preferably contain at least one selected from paraphenylenediamine and 4,4'-diaminodiphenyl ether, and more preferably, both paraphenylenediamine and 4,4'-diaminodiphenyl ether, from the viewpoint of efficiently achieving adhesion to the metal layer, heat resistance, dimensional stability, etc.
芳香族ジアミン成分がパラフェニレンジアミン及び4,4’-ジアミノジフェニルエーテルを含む場合、パラフェニレンジアミンと4,4’-ジアミノジフェニルエーテルのモル比は、例えば、60/40~1/99(例えば、55/45~5/95)、好ましくは50/50~10/90(例えば、45/55~15/85)程度であってよい。 When the aromatic diamine component includes paraphenylenediamine and 4,4'-diaminodiphenyl ether, the molar ratio of paraphenylenediamine to 4,4'-diaminodiphenyl ether may be, for example, 60/40 to 1/99 (e.g., 55/45 to 5/95), preferably 50/50 to 10/90 (e.g., 45/55 to 15/85).
芳香族酸無水物成分(芳香族テトラカルボン酸成分)としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3',3,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4’-オキシジフタル酸無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンジカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)エーテル、ピリジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物(例えば、1,2,4,5-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-デカヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,5,6-ヘキサヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,6-ジクロロ-1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,7-ジクロロ-1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-テトラクロロ-1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物)、1,8,9,10-フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ベンゼン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、3,4,3',4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられ、好ましくは、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。これらは1種単独で又は2種以上を併用して使用することができる。 Examples of aromatic acid anhydride components (aromatic tetracarboxylic acid components) include pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 2,3',3,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic acid anhydride, 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenedicarboxylic acid dianhydride, and 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl) ether. Pyridine-2,3,5,6-tetracarboxylic acid dianhydride, naphthalenetetracarboxylic acid dianhydride (e.g., 1,2,4,5-naphthalenetetracarboxylic acid dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid dianhydride, 1,4,5,8-decahydronaphthalenetetracarboxylic acid dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,5,6-hexahydronaphthalenetetracarboxylic acid dianhydride, 2,6-dichloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid dianhydride) Dianhydride, 2,7-dichloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,6,7-tetrachloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid dianhydride, 1,8,9,10-phenanthrenetetracarboxylic acid dianhydride, 2,2-bis(2,3-dicarboxyphenyl)propane dianhydride, 1,1-bis(3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, 1,1-bis(2,3-dicarboxyphenyl)ethane Examples include dianhydrides, bis(2,3-dicarboxyphenyl)methane dianhydrides, bis(3,4-dicarboxyphenyl)methane dianhydrides, bis(3,4-dicarboxyphenyl)sulfone dianhydrides, benzene-1,2,3,4-tetracarboxylic acid dianhydrides, 3,4,3',4'-benzophenonetetracarboxylic acid dianhydrides, etc. Preferably, pyromellitic acid dianhydrides, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydrides, etc. These can be used individually or in combination of two or more.
芳香族酸無水物成分は、前記のような芳香族ジアミン成分との組み合わせにおいて、金属層との密着性、耐熱性、寸法安定性等を効率よく実現しやすい等の観点から、ピロメリット酸二無水物及び3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選択された少なくとも1種を含むのが好ましく、より好ましくはピロメリット酸二無水物及び3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含むのが好ましい。 The aromatic acid anhydride component, in combination with the aromatic diamine component as described above, preferably contains at least one selected from pyromellitic dianhydride and 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, from the viewpoint of efficiently achieving adhesion to the metal layer, heat resistance, dimensional stability, etc., and more preferably contains both pyromellitic dianhydride and 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride.
芳香族酸無水物成分が、ピロメリット酸二無水物及び3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選択された少なくとも1種を少なくとも含む場合、芳香族酸無水物成分(又は全酸無水物成分)全体に対する、ピロメリット酸二無水物及び3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選択された少なくとも1種の割合は、30モル%以上(例えば、40~100モル%)程度の範囲から選択してもよく、例えば、50モル%以上(例えば、60モル%以上)、好ましくは70モル%以上(例えば、80モル%以上)、さらに好ましくは90モル%以上(例えば、95モル%以上、97モル%以上、98モル%以上、99モル%以上、100モル%)であってもよい。 When the aromatic acid anhydride component includes at least one selected from pyromellitic dianhydride and 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, the proportion of at least one selected from pyromellitic dianhydride and 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride to the total aromatic acid anhydride component (or total acid anhydride component) may be selected from a range of 30 mol% or more (for example, 40 to 100 mol%), for example, 50 mol% or more (for example, 60 mol% or more), preferably 70 mol% or more (for example, 80 mol% or more), and more preferably 90 mol% or more (for example, 95 mol% or more, 97 mol% or more, 98 mol% or more, 99 mol% or more, 100 mol%).
芳香族酸無水物成分がピロメリット酸二無水物及び3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含む場合、ピロメリット酸二無水物と3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物のモル比は、例えば、95/5~40/60(例えば、90/10~45/55)、好ましくは85/15~50/50(例えば、80/20~55/45)程度であってよい。 When the aromatic acid anhydride component includes pyromellitic dianhydride and 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, the molar ratio of pyromellitic dianhydride to 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride may be, for example, 95/5 to 40/60 (e.g., 90/10 to 45/55), preferably around 85/15 to 50/50 (e.g., 80/20 to 55/45).
ポリイミドフィルムの原料成分(重合成分、ジアミン成分及び酸無水物成分)は、本発明の効果を妨げない範囲で、上記芳香族酸無水物成分及び芳香族ジアミン成分以外の他の重合成分(例えば、他の酸無水物成分、他のジアミン成分)を含んでもよい。
他のジアミン成分(非芳香族ジアミン成分)としては、例えば、ジアミノアダマンタン類(例えば、1,3-ジアミノアダマンタン、3,3'-ジアミノ-1,1'-ジアミノアダマンタン、3,3'-ジアミノメチル-1,1'-ジアダマンタン等)、ジアミノアルカン類(例えば、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、3-メチルヘプタメチレンジアミン、4,4'-ジメチルヘプタメチレンジアミン、2,11-ジアミノドデカン、2,2-ジメチルプロピレンジアミン、3-メトキシヘキサエチレンジアミン、2,5-ジメチルヘキサメチレンジアミン、2,5-ジメチルヘプタメチレンジアミン、5-メチルノナメチレンジアミン、1,4-ジアミノシクロヘキサン、1,12-ジアミノオクタデカン等)、1,2-ビス(3-アミノプロポキシ)エタン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、2,2-ビス(4-アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、N-(3-アミノフェニル)-4-アミノベンズアミド、4-アミノフェニル-3-アミノベンゾエート等が挙げられる。これらは1種単独で又は2種以上を併用して使用することができる。
The raw material components of the polyimide film (polymerization components, diamine components, and acid anhydride components) may also include other polymerization components (e.g., other acid anhydride components, other diamine components) other than the above-mentioned aromatic acid anhydride components and aromatic diamine components, to the extent that they do not hinder the effects of the present invention.
Other diamine components (non-aromatic diamine components) include, for example, diaminoadamantanes (e.g., 1,3-diaminoadamantan, 3,3'-diamino-1,1'-diaminoadamantan, 3,3'-diaminomethyl-1,1'-diadamantane, etc.) and diaminoalkanes (e.g., hexamethylenediamine, heptamethylenediamine, octamethylenediamine, nonamethylenediamine, decamethylenediamine, 3-methylheptamethylenediamine, 4,4'-dimethylheptamethylenediamine, 2,11-diaminododecane, 2,2-dimethylp Examples include propyldiamine, 3-methoxyhexaethylenediamine, 2,5-dimethylhexamethylenediamine, 2,5-dimethylheptamethylenediamine, 5-methylnonamethylenediamine, 1,4-diaminocyclohexane, 1,12-diaminooctadecane, etc.), 1,2-bis(3-aminopropoxy)ethane, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, 2,2-bis(4-aminophenyl)hexafluoropropane, N-(3-aminophenyl)-4-aminobenzamide, 4-aminophenyl-3-aminobenzoate, etc. These can be used individually or in combination of two or more.
なお、重合成分が他の重合成分(他のジアミン成分等)を含む場合、重合成分全体に対する他の重合成分の割合は、小割合、例えば、20モル%以下(例えば、15モル%以下、10モル%以下、5モル%以下、3モル%以下、1モル%以下)であってもよい。 Furthermore, if the polymerization component contains other polymerization components (such as other diamine components), the proportion of the other polymerization components to the total polymerization component may be small, for example, 20 mol% or less (for example, 15 mol% or less, 10 mol% or less, 5 mol% or less, 3 mol% or less, or 1 mol% or less).
ポリイミドフィルムは、ポリイミド(樹脂成分)以外の他の成分を含んでいてもよい。例えば、ポリイミドフィルムは、取扱性(易滑性)等の観点から、無機粒子を含んでいてもよい。他の成分は、1種又は2種以上含有していてもよい。 Polyimide films may contain components other than polyimide (the resin component). For example, polyimide films may contain inorganic particles from the viewpoint of handling (ease of handling), etc. The other components may be present in one or more types.
無機粒子を含む場合、無機粒子は、通常、ポリイミドフィルム中に分散されている。
無機粒子としては、例えば、酸化物{例えば、SiO2(シリカ)、TiO2(酸化チタン(IV))等}、無機酸塩{例えば、CaHPO4(リン酸水素カルシウム)、CaPO4(リン酸カルシウム)、Ca2P2O7(二リン酸カルシウム)等のリン酸(水素)塩、CaCO3(炭酸カルシウム)等の炭酸塩}等が挙げられる。
無機粒子は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて使用してよい。
When inorganic particles are present, they are typically dispersed within the polyimide film.
Examples of inorganic particles include oxides {e.g., SiO₂ (silica), TiO₂ (titanium(IV) oxide), etc.}, inorganic salts {e.g., phosphate (hydrogen) salts such as CaHPO₄ (calcium hydrogen phosphate), CaPO₄ (calcium phosphate), Ca₂P₂O₃ ( dicalcium phosphate ), etc. , and carbonates such as CaCO₃ (calcium carbonate)}.
Inorganic particles may be used individually or in combination of two or more types.
分散に供する無機粒子の平均粒子径は、例えば、0.1~3.5μm(例えば、0.2~3μm)、好ましくは0.3~2.5μm等であってもよい。
なお、無機粒子の平均粒子径の測定方法は、特に限定されず、公知の方法を使用してよい。
The average particle size of the inorganic particles used for dispersion may be, for example, 0.1 to 3.5 μm (for example, 0.2 to 3 μm), preferably 0.3 to 2.5 μm, etc.
Furthermore, the method for measuring the average particle size of inorganic particles is not particularly limited, and known methods may be used.
無機粒子(分散に供する無機粒子)の粒度分布については、狭い分布であること、つまり類似の大きさの無機粒子が全無機粒子に占める割合が高い方が良い。具体的には、特定の粒子径(例えば、0.5~2.5μm、1~3.5μm等)の無機粒子が全無機粒子中80体積%以上(例えば、80~100体積%)の割合を占めることが好ましい。 Regarding the particle size distribution of inorganic particles (inorganic particles used for dispersion), a narrow distribution is preferable; that is, a high proportion of inorganic particles of similar size is desirable. Specifically, it is preferable that inorganic particles of a specific particle size (e.g., 0.5 to 2.5 μm, 1 to 3.5 μm, etc.) account for 80% or more (e.g., 80 to 100% by volume) of the total inorganic particles.
無機粒子を含む場合、ポリイミドフィルムにおける無機粒子の割合は、例えば、0.01質量%以上(例えば、0.02質量%以上)、好ましくは0.03質量%以上(例えば、0.04質量%以上)、さらに好ましくは0.05質量%以上等であってもよい。 When inorganic particles are included, the proportion of inorganic particles in the polyimide film may be, for example, 0.01% by mass or more (e.g., 0.02% by mass or more), preferably 0.03% by mass or more (e.g., 0.04% by mass or more), and more preferably 0.05% by mass or more.
無機粒子の割合の上限値は、ポリイミドフィルムにおいて、5質量%以下(例えば、3質量%以下、2質量%以下、1.5質量%以下)程度の範囲から選択してもよく、1質量%以下(例えば、0.9質量%以下)、好ましくは0.8質量%以下(例えば、0.7質量%以下)、さらに好ましくは0.6質量%以下(例えば、0.55質量%以下、0.5質量%以下、0.45質量%以下、0.4質量%以下、0.3質量%以下)等であってもよい。 The upper limit of the inorganic particle ratio in the polyimide film may be selected from a range of approximately 5% by mass or less (for example, 3% by mass or less, 2% by mass or less, 1.5% by mass or less), preferably 1% by mass or less (for example, 0.9% by mass or less), preferably 0.8% by mass or less (for example, 0.7% by mass or less), and more preferably 0.6% by mass or less (for example, 0.55% by mass or less, 0.5% by mass or less, 0.45% by mass or less, 0.4% by mass or less, 0.3% by mass or less), etc.
ポリイミドフィルムは、積層された状態であってもよく、特に、巻き取られた状態、すなわち、ロール状(ロール)であってもよい。
ポリイミドフィルム(例えば、ロール状のポリイミドフィルム)の幅は、特に限定されないが、例えば、30mm以上、45mm以上、50mm以上、75mm以上、100mm以上、150mm以上、200mm以上、300mm以上、500mm以上等であってもよく、3000mm以下、2000mm以下、1000mm以下等であってもよい。
ポリイミドフィルムは、比較的大きいサイズを有していてもよい。このようなポリイミドフィルム(例えば、ロール状のポリイミドフィルム)の長さは、例えば、1m以上(例えば、5m以上)、10m以上(例えば、20m以上)であり、好ましくは30m以上(例えば、40m以上)、さらに好ましくは50m以上(例えば、100m以上)であってもよく、200m以上、300m以上、500m以上、1000m以上、2000m以上、3000m以上、5000m以上などであってもよい。
The polyimide film may be in a laminated state, and in particular, it may be in a wound state, that is, in the form of a roll.
The width of the polyimide film (for example, a roll of polyimide film) is not particularly limited, but may be, for example, 30 mm or more, 45 mm or more, 50 mm or more, 75 mm or more, 100 mm or more, 150 mm or more, 200 mm or more, 300 mm or more, 500 mm or more, etc., or it may be 3000 mm or less, 2000 mm or less, 1000 mm or less, etc.
The polyimide film may have a relatively large size. The length of such a polyimide film (for example, a roll of polyimide film) may be, for example, 1 m or more (for example, 5 m or more), 10 m or more (for example, 20 m or more), preferably 30 m or more (for example, 40 m or more), and more preferably 50 m or more (for example, 100 m or more), and may also be 200 m or more, 300 m or more, 500 m or more, 1000 m or more, 2000 m or more, 3000 m or more, 5000 m or more, and so on.
ポリイミドフィルムは、表面処理(例えば、コロナ処理、プラズマ処理のような電気処理又はブラスト処理)されていてもよい。このような表面処理は、片面又は両面になされてもよい。
なお、表面処理(プラズマ処理等)やその程度によっては、高温のような条件に晒されたときの密着性(例えば、前述のT2や、T2/T1に具現化される値)を低下させる要因となりうる。
一方、本発明では、表面処理によらなくても、十分な密着力を実現しうる。
そのため、ポリイミドフィルムは、プラズマ処理してもよいが、プラズマ処理等しないか、又は処理してもその程度が小さいものを好適に選択してもよい。
The polyimide film may be surface-treated (e.g., by electrolytic treatment such as corona treatment or plasma treatment, or by blast treatment). Such surface treatment may be applied to one side or both sides.
Furthermore, depending on the surface treatment (such as plasma treatment) and its degree, it may be a factor that reduces adhesion (for example, the values embodied in T2 or T2/T1 mentioned above) when exposed to conditions such as high temperatures.
On the other hand, the present invention can achieve sufficient adhesion without surface treatment.
Therefore, while the polyimide film may be plasma-treated, it may also be preferable to select a film that is not plasma-treated, or one that is treated to a minimal degree.
ポリイミドフィルムの製造方法は、特に限定されないが、代表的な方法を含めて、以下に説明する。
ポリイミドフィルムを得るに際しては、まず、重合成分(芳香族ジアミン成分及び芳香族酸無水物成分を含む成分)を有機溶媒中で重合させることにより、ポリアミック酸溶液(以下、ポリアミド酸溶液ともいう)を得る。
The method for producing polyimide films is not particularly limited, but representative methods are described below.
To obtain a polyimide film, a polyamic acid solution (hereinafter also referred to as a polyamic acid solution) is first obtained by polymerizing the polymerization components (components including aromatic diamine components and aromatic acid anhydride components) in an organic solvent.
ポリアミック酸溶液の形成に使用される有機溶媒の具体例としては、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド等のスルホキシド系溶媒、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド等のホルムアミド系溶媒、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド等のアセトアミド系溶媒、N-メチル-2-ピロリドン、N-ビニル-2-ピロリドン等のピロリドン系溶媒、フェノール、o-,m-,或いはp-クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコール等のフェノール系溶媒、ヘキサメチルホスホルアミド、γ-ブチロラクトン等の非プロトン性極性溶媒等が挙げられる。これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。さらには、キシレン、トルエン等の芳香族炭化水素と組み合わせて使用してもよい。 Specific examples of organic solvents used in the formation of polyamic acid solutions include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide; formamide solvents such as N,N-dimethylformamide and N,N-diethylformamide; acetamide solvents such as N,N-dimethylacetamide and N,N-diethylacetamide; pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone; phenolic solvents such as phenol, o-, m-, or p-cresol, xylenol, halogenated phenols, and catechol; and aprotic polar solvents such as hexamethylphosphoramide and γ-butyrolactone. These can be used individually or in combination of two or more. Furthermore, they may be used in combination with aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene.
ポリアミック酸溶液の重合方法は公知のいずれの方法で行ってもよく、例えば、
(1)先にジアミン成分(芳香族ジアミン成分)全量を溶媒中に入れ、その後酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)をジアミン成分(芳香族ジアミン成分)全量と当量になるよう加えて重合する方法、
(2)先に酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)全量を溶媒中に入れ、その後ジアミン成分(芳香族ジアミン成分)を酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)と当量になるよう加えて重合する方法、
(3)一方のジアミン成分(芳香族ジアミン成分)を溶媒中に入れた後、反応成分に対して一方の酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)が95~105モル%となる比率で反応に必要な時間混合した後、もう一方の芳香族ジアミン成分を添加し、続いてもう一方の酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)を全ジアミン成分(芳香族ジアミン成分)と全酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)とがほぼ当量になるよう添加して重合する方法、
(4)一方の酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)を溶媒中に入れた後、反応成分に対して一方のジアミン成分(芳香族ジアミン成分)が95~105モル%となる比率で反応に必要な時間混合した後、もう一方の酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)を添加し、続いてもう一方のジアミン成分(芳香族ジアミン成分)を全ジアミン成分(芳香族ジアミン成分)と全酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)とがほぼ当量になるよう添加して重合する方法、
(5)溶媒中で一方のジアミン成分(芳香族ジアミン成分)と酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)をどちらかが過剰になるよう反応させてポリアミック酸溶液(A)を調整し、別の溶媒中でもう一方のジアミン成分(芳香族ジアミン成分)と酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)をどちらかが過剰になるよう反応させポリアミック酸溶液(B)を調製する。こうして得られた各ポリアミック酸溶液(A)と(B)を混合し、重合を完結する方法。この時ポリアミック酸溶液(A)を調整するに際しジアミン成分(芳香族ジアミン成分)が過剰の場合、ポリアミック酸溶液(B)では酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)を過剰に、またポリアミック酸溶液(A)で酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)が過剰の場合、ポリアミック酸溶液(B)ではジアミン成分(芳香族ジアミン成分)を過剰にし、ポリアミック酸溶液(A)と(B)を混ぜ合わせこれら反応に使用される全ジアミン成分(芳香族ジアミン成分)と全酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)とがほぼ当量になるよう調整する方法、等が挙げられる。
なお、重合方法はこれらに限定されることはなく、その他公知の方法を用いてもよい。
The polymerization method for the polyamic acid solution may be any known method, for example,
(1) A method of polymerization in which the entire amount of the diamine component (aromatic diamine component) is first placed in the solvent, and then the acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) is added in an amount equivalent to the total amount of the diamine component (aromatic diamine component),
(2) A method in which the entire amount of the acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) is first placed in the solvent, and then the diamine component (aromatic diamine component) is added in an equivalent amount to the acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) to polymerize.
(3) A method of polymerization in which one diamine component (aromatic diamine component) is placed in a solvent, one acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) is mixed for the time required for the reaction in a ratio of 95 to 105 mol% relative to the reaction components, the other aromatic diamine component is added, and then the other acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) is added so that the total diamine component (aromatic diamine component) and the total acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) are approximately equivalent in amount.
(4) A method of polymerization in which one acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) is placed in a solvent, one diamine component (aromatic diamine component) is mixed for the time required for the reaction in a ratio of 95 to 105 mol% relative to the reaction components, the other acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) is added, and then the other diamine component (aromatic diamine component) is added so that the total diamine component (aromatic diamine component) and the total acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) are approximately equivalent in amount.
(5) A polyamic acid solution (A) is prepared by reacting one diamine component (aromatic diamine component) and an acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) in a solvent such that one is in excess, and a polyamic acid solution (B) is prepared by reacting the other diamine component (aromatic diamine component) and an acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) in a separate solvent such that one is in excess. The obtained polyamic acid solutions (A) and (B) are then mixed to complete the polymerization. When preparing polyamic acid solution (A), if there is an excess of diamine component (aromatic diamine component), polyamic acid solution (B) may contain an excess of acid anhydride component (aromatic acid anhydride component). Conversely, if there is an excess of acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) in polyamic acid solution (A), polyamic acid solution (B) may contain an excess of diamine component (aromatic diamine component). By mixing polyamic acid solutions (A) and (B), the total amount of diamine component (aromatic diamine component) and total amount of acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) used in these reactions may be adjusted to be approximately equivalent.
The polymerization method is not limited to these methods, and other known methods may also be used.
ポリアミック酸を構成する酸無水物成分(芳香族酸無水物成分)とジアミン成分(芳香族ジアミン成分)とは、それぞれのモル数が大略等しくなる割合で重合されるが、その一方が10モル%、好ましくは5モル%の範囲内で他方に対して過剰に配合されてもよい。 The acid anhydride component (aromatic acid anhydride component) and the diamine component (aromatic diamine component) constituting the polyamic acid are polymerized in a ratio where the number of moles of each is approximately equal. However, one component may be added in excess of the other, within a range of 10 mol%, preferably 5 mol%.
重合反応は、有機溶媒中で撹拌しながら行うことが好ましい。重合温度は、特に限定されないが、通常は、反応溶液の内温0~80℃で行なわれる。重合時間は、特に限定されないが、10分~30時間連続して行うことが好ましい。重合反応は、必要により重合反応を分割したり、温度を上下させてもよい。両反応体の添加順序には特に制限はないが、芳香族ジアミン成分の溶液中に芳香族酸無水物を添加することが好ましい。重合反応中に真空脱泡することは、良質なポリアミック酸の有機溶媒溶液を製造するのに有効な方法である。また、重合反応の前に芳香族ジアミン類に少量の末端封止剤を添加することによって、重合反応の制御を行ってもよい。前記末端封止剤は、特に限定されず、公知のものを使用することができる。 The polymerization reaction is preferably carried out in an organic solvent with stirring. The polymerization temperature is not particularly limited, but is usually carried out at an internal temperature of 0 to 80°C in the reaction solution. The polymerization time is not particularly limited, but is preferably carried out continuously for 10 minutes to 30 hours. The polymerization reaction may be divided into stages or the temperature may be raised or lowered as needed. There are no particular restrictions on the order in which the two reactants are added, but it is preferable to add the aromatic acid anhydride to the solution of the aromatic diamine component. Vacuum degassing during the polymerization reaction is an effective method for producing a high-quality organic solvent solution of polyamic acid. Furthermore, the polymerization reaction may be controlled by adding a small amount of end-capping agent to the aromatic diamines before the polymerization reaction. The end-capping agent is not particularly limited, and known agents can be used.
こうして得られるポリアミック酸溶液は、固形分を、通常5~40質量%、好ましくは10~30質量%を含有してもよい。また、その粘度は、特に限定されないが、ブルックフィールド粘度計による測定値が、通常10~2000Pa・sであり、安定した送液のために、好ましくは100~1000Pa・sである。また、有機溶媒溶液中のポリアミック酸は部分的にイミド化されていてもよい。 The resulting polyamic acid solution may contain a solid content of typically 5 to 40% by mass, preferably 10 to 30% by mass. Its viscosity is not particularly limited, but the measurement using a Brookfield viscometer is typically 10 to 2000 Pa·s, and preferably 100 to 1000 Pa·s for stable liquid delivery. Furthermore, the polyamic acid in the organic solvent solution may be partially imidized.
無機粒子を含むポリイミドフィルムを得る場合、無機粒子は、ポリアミック酸溶液に含有させてもよい。無機粒子を含有するポリアミック酸溶液を得るに際しては、予め重合したポリアミック酸溶液に無機粒子を添加してもよいし、無機粒子の存在下でポリアミック酸溶液を重合してもよい。 When obtaining a polyimide film containing inorganic particles, the inorganic particles may be included in the polyamic acid solution. To obtain a polyamic acid solution containing inorganic particles, the inorganic particles may be added to a pre-polymerized polyamic acid solution, or the polyamic acid solution may be polymerized in the presence of the inorganic particles.
無機粒子は、溶媒(例えば、N,N-ジメチルホルムアミド、N、N-ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキサイド、N-メチルピロリドン等の極性溶媒等)に分散されたスラリー(無機粒子スラリー)として使用することが、凝集を防止できるため好ましい。 It is preferable to use inorganic particles as a slurry (inorganic particle slurry) dispersed in a solvent (for example, polar solvents such as N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide, and N-methylpyrrolidone) because this prevents aggregation.
無機粒子スラリーの製造方法は、特に限定されず、従来公知の方法に従ってよい。無機粒子スラリーの製造方法としては、例えば、ミキサーを用いて無機粒子と溶媒を混合する方法等が挙げられる。ミキサーとしては、高速ディスパー、ホモミキサー、ボールミル、コーレスミキサー、撹拌式ディスパー等の剪断力の高いものを用いることが好ましい。また、湿式粉砕処理を行い、平均粒子径を細かくしてもよい。湿式粉砕処理には、例えば、ビーズミル、サンドミル等を用いることができる。 The method for producing the inorganic particle slurry is not particularly limited and may follow conventionally known methods. Examples of methods for producing the inorganic particle slurry include mixing inorganic particles with a solvent using a mixer. It is preferable to use a mixer with high shear force, such as a high-speed disperser, homomixer, ball mill, coreless mixer, or agitated disperser. Furthermore, wet grinding may be performed to refine the average particle size. For wet grinding, for example, a bead mill or sand mill can be used.
無機粒子スラリーとしては、無機粒子が予め溶媒中に分散された市販品を使用してもよい。また、無機粒子スラリーは、必要に応じて、他の有機溶媒や配合剤等を含んでいてもよい。 As the inorganic particle slurry, a commercially available product in which inorganic particles are pre-dispersed in a solvent may be used. Furthermore, the inorganic particle slurry may contain other organic solvents or compounding agents as needed.
無機粒子スラリー中の無機粒子の濃度は、特に限定されないが、例えば、1~80質量%、好ましくは1~60質量%、より好ましくは1~40質量%である。 The concentration of inorganic particles in the inorganic particle slurry is not particularly limited, but is, for example, 1 to 80% by mass, preferably 1 to 60% by mass, and more preferably 1 to 40% by mass.
また、無機粒子スラリーを、所定の孔径を有するフィルター(例えば、孔径15μm以下、好ましくは孔径13μm以下、より好ましくは孔径11μm以下、さらに好ましくは孔径5μm以下、特に好ましくは孔径3μm以下のカットフィルター)にかける(フィルター処理する)ことが、無機粒子同士の凝集を抑制することができ、ポリイミドフィルム中の所定の粒子径の無機粒子(例えば、15μm以上の無機粒子)を除去することができる等の観点から、好ましい。 Furthermore, filtering the inorganic particle slurry through a filter having a predetermined pore size (for example, a cut filter with a pore size of 15 μm or less, preferably 13 μm or less, more preferably 11 μm or less, even more preferably 5 μm or less, and particularly preferably 3 μm or less) is preferable from the viewpoint of suppressing aggregation of inorganic particles and removing inorganic particles of a predetermined particle size (for example, inorganic particles of 15 μm or larger) from the polyimide film.
前記フィルターの材質は、特に限定されず、例えば、高分子素材(例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレン等)、金属(例えば、ステンレス等)等が挙げられる。 The material of the filter is not particularly limited and may include, for example, polymer materials (e.g., polyethylene, polypropylene, polytetrafluoroethylene, etc.) or metals (e.g., stainless steel, etc.).
無機粒子の添加量は、ポリイミドフィルムにおける所望の含有量に対応させて(例えば、ポリイミドを形成したときにポリイミド100質量部に対して、0.03~0.8質量部となるように)適宜選択すればよい。 The amount of inorganic particles added should be appropriately selected to correspond to the desired content in the polyimide film (for example, so that when the polyimide is formed, the amount is 0.03 to 0.8 parts by mass per 100 parts by mass of polyimide).
次に、ポリイミドフィルムの製造方法について説明する。ポリイミドフィルムの製膜(製造)は、例えば、ポリアミック酸溶液を環化反応させてゲルフィルムを得る(ポリアミックス酸又はポリアミック酸溶液をゲルフィルムに転化する)工程(1)、得られたゲルフィルムを乾燥(及び脱溶媒)処理し、熱処理する工程(2)を経て得ることができる。なお、乾燥及び熱処理により、乾燥及びイミド化が進行する。 Next, a method for manufacturing polyimide films will be described. Polyimide films can be produced (manufactured) by, for example, a step (1) of cyclizing a polyamic acid solution to obtain a gel film (converting polyamic acid or a polyamic acid solution into a gel film), and a step (2) of drying (and desolvation) the obtained gel film and then heat-treating it. Note that drying and imidization proceed during the drying and heat treatment.
工程(1)において、ポリアミック酸溶液を環化反応させる方法は、特に限定されないが、具体的には、(i)ポリアミック酸溶液をフィルム状にキャストし、熱的に脱水環化させてゲルフィルムを得る方法(熱閉環法)、又は(ii)ポリアミック酸溶液に触媒(環化触媒)及び脱水剤(転化剤)を混合し化学的に脱環化させてゲルフィルムを作製し、加熱により、ゲルフィルムを得る方法(化学閉環法)等が挙げられ、特に後者の方法(化学閉環法)が好ましい。 In step (1), the method for cyclizing the polyamic acid solution is not particularly limited, but specifically, examples include (i) a method of casting the polyamic acid solution into a film and obtaining a gel film by thermal dehydration and cyclization (thermal cyclization method), or (ii) a method of mixing a catalyst (cyclization catalyst) and a dehydrating agent (converter) with the polyamic acid solution, chemically decyclizing it to produce a gel film, and then obtaining the gel film by heating (chemical cyclization method). The latter method (chemical cyclization method) is particularly preferred.
化学閉環法(さらには、前記のような重合成分を選択しつつ、化学閉環法を選択すること)によれば、意外にも、本発明のポリイミドフィルムに要求される物性(特性)を効率よく得やすいようである。また、量産性の観点からも、化学閉環法は好適である。 The chemical cyclization method (and moreover, the selection of the polymerization components as described above while simultaneously selecting the chemical cyclization method) surprisingly appears to efficiently yield the physical properties (characteristics) required for the polyimide film of the present invention. Furthermore, the chemical cyclization method is also suitable from the viewpoint of mass production.
なお、上記ポリアミック酸溶液は、ゲル化遅延剤等を含有してもよい。ゲル化遅延剤としては、特に限定されず、アセチルアセトン等を使用することができる。 Furthermore, the above polyamic acid solution may contain a gelation retarder, etc. The gelation retarder is not particularly limited, and acetylacetone, for example, can be used.
環化触媒としては、アミン類、例えば、脂肪族第3級アミン(トリメチルアミン、トリエチレンジアミンなど)、芳香族第3級アミン(ジメチルアニリンなど)、複素環第3級アミン(例えば、イソキノリン、ピリジン、β-ピコリンなど)などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を混合して用いてもよい。これらのうち、β-ピコリンなどの複素環式第3級アミンが好ましい。 Examples of cyclization catalysts include amines, such as aliphatic tertiary amines (trimethylamine, triethylenediamine, etc.), aromatic tertiary amines (dimethylaniline, etc.), and heterocyclic tertiary amines (e.g., isoquinoline, pyridine, β-picoline, etc.). These may be used individually or in combination of two or more. Of these, heterocyclic tertiary amines such as β-picoline are preferred.
脱水剤としては、酸無水物、例えば、脂肪族カルボン酸無水物(例えば、無水酢酸、無水プロピオン酸、無水酪酸など)、芳香族カルボン酸無水物(例えば、無水安息香酸など)などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を混合して用いてもよい。これらの中でも、無水酢酸及び/又は無水安息香酸が好ましく、特に無水酢酸が好ましい。 Examples of dehydrating agents include acid anhydrides, such as aliphatic carboxylic acid anhydrides (e.g., acetic anhydride, propionic anhydride, butyric anhydride, etc.) and aromatic carboxylic acid anhydrides (e.g., benzoic anhydride, etc.). These may be used individually or in combination of two or more. Among these, acetic anhydride and/or benzoic anhydride are preferred, with acetic anhydride being particularly preferred.
環化触媒及び脱水剤の使用量は、特に限定されないが、それぞれ、ポリアミック酸(又はポリアミド酸)のアミド基(又はカルボキシル基)1モルに対して、例えば、1モル以上(例えば、1.5~10モル)程度であってもよい。 The amounts of cyclization catalyst and dehydrating agent used are not particularly limited, but for example, they may be 1 mole or more (for example, about 1.5 to 10 moles) per mole of amide groups (or carboxyl groups) of polyamic acid (or polyamic acid).
ゲルフィルムは、通常、ポリアミック酸溶液(特に環化触媒及び転化剤を混合したポリアミック酸溶液)を、支持体上に流延(塗布)して部分的に乾燥及び硬化(イミド化)させることで得ることができる。 Gel films can typically be obtained by casting (coating) a polyamic acid solution (particularly a polyamic acid solution mixed with a cyclization catalyst and a converter) onto a support, followed by partial drying and curing (imidization).
より具体的には、ポリアミック酸溶液を、スリット付き口金から支持体上に流延してフィルム状に成型し、支持体からの受熱、熱風又は電気ヒーター等の熱源からの受熱により、加熱して閉環反応させ、遊離した有機溶媒等の揮発分を乾燥させることによりゲルフィルムとした後、支持体から剥離することにより得てもよい。 More specifically, the polyamic acid solution may be cast onto a support using a slit nozzle to form a film, heated by heat from the support, hot air, or an electric heater to induce a ring-closing reaction, and then dried to form a gel film. The gel film is then peeled off the support.
ここで、ゲルフィルムは剥離するために自己支持性を備える必要があるが、通常、化学閉環法で得られたゲルフィルムと、熱閉環法で得られたゲルフィルムとでは、その態様が大きく異なる。すなわち、化学閉環法では、触媒によりゲル化(転化)できるため、溶媒を多く含む自己支持性のゲルフィルム(柔軟又はウェットなゲルフィルム)が得られる一方、熱閉環法では、ゲル化の(自己支持性を持たせる)ために多大な熱処理が必要となり、結果として比較的硬い(残存溶媒の少ない)ゲルフィルムが得られる。 Here, the gel film needs to possess self-supporting properties for peeling, but typically, gel films obtained by chemical cyclization and those obtained by thermal cyclization differ significantly in their characteristics. Specifically, chemical cyclization allows for gelation (conversion) using a catalyst, resulting in a self-supporting gel film (flexible or wet gel film) containing a large amount of solvent. In contrast, thermal cyclization requires significant heat treatment for gelation (to impart self-supporting properties), resulting in a relatively hard gel film (with less residual solvent).
支持体としては、特に限定されないが、金属(例えばステンレス)製の回転ドラム、エンドレスベルト等が例として挙げられる。支持体の温度は、特に限定されず、例えば、30~200℃、好ましくは40~150℃、さらに好ましくは50~120℃であってもよい。
なお、支持体の温度は、(i)液体又は気体の熱媒体、(ii)電気ヒーター等の輻射熱等により制御できる。
The support is not particularly limited, but examples include a rotating drum made of metal (e.g., stainless steel), an endless belt, etc. The temperature of the support is not particularly limited, and may be, for example, 30 to 200°C, preferably 40 to 150°C, and more preferably 50 to 120°C.
The temperature of the support can be controlled by (i) a liquid or gaseous heat transfer medium, (ii) radiant heat from an electric heater, etc.
工程(2)では、ゲルフィルムを乾燥(脱溶媒)後、熱処理する。通常、工程(2)は、ゲルフィルムの幅方向両端を把持しつつ加熱炉(テンター加熱炉など)を通過させて、乾燥し、その後、熱処理を行う工程を含んでいてもよい。 In step (2), the gel film is dried (solvent removed) and then heat-treated. Typically, step (2) may include a step in which the gel film is held at both ends in the width direction and passed through a heating furnace (such as a tenter heating furnace) to dry it, followed by heat treatment.
具体的には、支持体から剥離されたゲルフィルムは、特に限定されないが、通常、回転ロールにより走行速度を規制しながら搬送方向に延伸されてもよい。なお、ポリイミドフィルムの厚み等は、走行速度によって調整してもよい。 Specifically, the gel film peeled from the support is not particularly limited, but it may typically be stretched in the transport direction while its travel speed is regulated by a rotating roll. The thickness of the polyimide film may be adjusted according to the travel speed.
搬送方向への延伸は、所定の温度(例えば、140℃以下の温度)で実施されてもよい。その延伸倍率(MDX)は、通常1.05~1.9倍であり、好ましくは1.1~1.6倍であり、さらに好ましくは1.1~1.5倍(例えば、1.15~1.4倍)である。 Stretching in the conveying direction may be carried out at a predetermined temperature (for example, a temperature of 140°C or lower). The stretching ratio (MDX) is typically 1.05 to 1.9 times, preferably 1.1 to 1.6 times, and more preferably 1.1 to 1.5 times (for example, 1.15 to 1.4 times).
乾燥において、乾燥温度は、例えば、210℃以上(例えば、213~500℃)、好ましくは215℃以上(例えば、218~400℃)、さらに好ましくは220℃以上(例えば、220~300℃)で行ってもよい。 During drying, the drying temperature may be, for example, 210°C or higher (e.g., 213 to 500°C), preferably 215°C or higher (e.g., 218 to 400°C), and more preferably 220°C or higher (e.g., 220 to 300°C).
また、乾燥は、フィルム幅方向における乾燥ムラ(バラツキ)を抑えつつ行ってもよい。例えば、フィルム幅方向の乾燥温度ムラは、25℃未満(例えば、0~24℃)、好ましくは22℃以下(例えば、1~21℃)、さらに好ましくは20℃以下(例えば、2~19℃)、特に18℃以下(例えば、3~18℃)であってもよい。 Furthermore, drying may be carried out while suppressing uneven drying (variation) in the film width direction. For example, the uneven drying temperature in the film width direction may be less than 25°C (e.g., 0 to 24°C), preferably 22°C or less (e.g., 1 to 21°C), more preferably 20°C or less (e.g., 2 to 19°C), and particularly 18°C or less (e.g., 3 to 18°C).
なお、乾燥温度ムラは、例えば、フィルム幅方向に沿って所定の間隔(例えば、200mm)で複数点をとり、測定した乾燥温度の最大値と最小値との差(幅)を乾燥温度ムラとして測定できる。 Furthermore, temperature unevenness in drying can be measured by taking multiple points at predetermined intervals (e.g., 200 mm) along the film width direction and determining the difference (width) between the maximum and minimum measured drying temperatures.
ゲルフィルム(特に、搬送方向に延伸されたゲルフィルム)は、乾燥後、熱処理される。熱処理温度は、特に限定されず、例えば、200℃以上(例えば、250~600℃)、好ましくは300℃以上、さらに好ましくは350℃以上であってもよい。 The gel film (especially a gel film stretched in the transport direction) is heat-treated after drying. The heat treatment temperature is not particularly limited and may be, for example, 200°C or higher (e.g., 250-600°C), preferably 300°C or higher, and more preferably 350°C or higher.
なお、前述の通り、L値は、上記熱処理温度の調整ないし設定(例えば、最高加熱温度の設定)(さらにはその他の条件との組み合わせ)により効率よく調整しうる。 As mentioned above, the L value can be efficiently adjusted by adjusting or setting the heat treatment temperature (for example, setting the maximum heating temperature) (and furthermore, by combining it with other conditions).
また、乾燥後、さらに、幅方向へ延伸されてもよい。幅方向への延伸は、熱処理と共に行ってもよい。 Furthermore, after drying, the material may be stretched in the width direction. This stretching in the width direction may be performed in conjunction with heat treatment.
幅方向への延伸において、延伸倍率(TDX)は、例えば、1.05~1.9倍であり、好ましくは1.1~1.6倍であり、さらに好ましくは1.1~1.5倍(例えば、1.15~1.4倍)であってもよい。 In stretching in the width direction, the stretching ratio (TDX) is, for example, 1.05 to 1.9 times, preferably 1.1 to 1.6 times, and more preferably 1.1 to 1.5 times (for example, 1.15 to 1.4 times).
なお、ポリイミドフィルム(さらには、本発明のポリイミドフィルム)に要求される物性(特性)は、このような延伸やその条件(さらにはその他の条件との組み合わせ)により効率よく調整できる場合がある。 Furthermore, the physical properties (characteristics) required for polyimide films (and more specifically, the polyimide films of the present invention) can sometimes be efficiently adjusted through stretching and its conditions (and even combinations with other conditions).
このようにしてポリイミドフィルムが得られる。得られたポリイミドフィルムに対しては、さらにアニール処理を行ってもよい。 A polyimide film is obtained in this manner. The obtained polyimide film may be further subjected to annealing.
アニール処理の方法は、特に限定されず、公知の方法を使用してもよい。
アニール処理の温度は、特に限定されないが、例えば200~500℃、好ましくは200~370℃、より好ましくは210~350℃であってもよい。具体的には、前記温度範囲に加熱された炉の中を、低張力下にてフィルムを走行させ、アニール処理を行ってもよい。走行時のフィルム張力は、例えば10~50N/m、より好ましくは20~30N/mであってもよい。
The annealing method is not particularly limited, and known methods may be used.
The temperature of the annealing process is not particularly limited, but may be, for example, 200 to 500°C, preferably 200 to 370°C, and more preferably 210 to 350°C. Specifically, the annealing process may be carried out by running the film through a furnace heated to the above temperature range under low tension. The film tension during running may be, for example, 10 to 50 N/m, more preferably 20 to 30 N/m.
上記のようにして得られたポリイミドフィルム(の表面)に対して、プラズマ処理を行ってもよい。プラズマ処理は、ポリイミドフィルムの両面に行ってもよいし、片面に行ってもよい。
なお、前述の通り、高温のような条件に晒されたときの密着性を考慮すると、ポリイミドフィルムには、プラズマ処理をしないか、又はプラズマ処理してもその程度を小さくするのが好ましい場合がある。
Plasma treatment may be performed on the polyimide film (or its surface) obtained as described above. Plasma treatment may be performed on both sides of the polyimide film or on one side.
Furthermore, as mentioned above, when considering adhesion when exposed to conditions such as high temperatures, it is sometimes preferable not to perform plasma treatment on polyimide films, or to perform plasma treatment to a small extent.
プラズマ処理の方法は、特に限定されず、公知の方法を使用してよい。
プラズマ処理の処理ガスとしては、特に限定されないが、不活性ガス(例えば、He、Ar、Kr、Xe、Ne、Rn、N2等)、O2、H2O、空気、CO2等が挙げられる。処理ガスは、1種単独で又は2種以上を組みわせて使用してもよい。
The plasma treatment method is not particularly limited, and known methods may be used.
The processing gas for plasma treatment is not particularly limited, but examples include inert gases (e.g., He, Ar, Kr, Xe, Ne, Rn, N2, etc.), O2 , H2O , air, CO2, etc. The processing gas may be used individually or in combination of two or more types.
プラズマ処理の処理圧力は、特に限定されないが、例えば、0.1Pa~1330kPaであってもよい。
プラズマ処理の処理強度(E値)は、特に限定されないが、例えば、50W・min/m2以上、75W・min/m2以上等であってもよく、2000W・min/m2以下、1800W・min/m2以下等であってもよい。
プラズマ処理の処理時間は、特に限定されないが、例えば、1秒~10分等であってもよい。
The processing pressure for plasma treatment is not particularly limited, but may be, for example, 0.1 Pa to 1330 kPa.
The processing intensity (E value) of the plasma treatment is not particularly limited, but may be, for example, 50 W・min/m² or more, 75 W・min/ m² or more, or 2000 W・min/ m² or less, 1800 W・min/ m² or less.
The processing time for plasma treatment is not particularly limited, but may be, for example, 1 second to 10 minutes.
カップリング剤塗布対象のポリイミドフィルムの各物性(特性)(例えば、ガラス転移温度、線膨張係数等)は、本発明のポリイミドフィルム(以下、単に、「ポリイミドフィルム1」ということがある。)の各物性(特性)と対応していてもよい。
すなわち、カップリング剤塗布対象のポリイミドフィルムの各物性(特性)(例えば、ガラス転移温度、線膨張係数等)は、後述するポリイミドフィルム1の各物性(特性)と同様であってもよい。
The physical properties (characteristics) of the polyimide film to be coated with the coupling agent (e.g., glass transition temperature, coefficient of linear expansion, etc.) may correspond to the physical properties (characteristics) of the polyimide film of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as "polyimide film 1").
In other words, the physical properties (characteristics) of the polyimide film to be coated with the coupling agent (e.g., glass transition temperature, coefficient of linear expansion, etc.) may be the same as the physical properties (characteristics) of polyimide film 1 described later.
(本発明のポリイミドフィルムの製造方法)
以下、本発明のポリイミドフィルム(ポリイミドフィルム1)の製造方法について説明する。
(Method for producing the polyimide film of the present invention)
The method for producing the polyimide film (polyimide film 1) of the present invention will be described below.
ポリイミドフィルム1の製造方法は、カップリング剤含有溶液をポリイミドフィルムの片面又は両面に塗布した後、乾燥させる工程を有する。
カップリング剤含有溶液が塗布されるポリイミドフィルムとしては、通常、ポリアミック酸のゲルフィルムではなく、ポリイミドフィルムを使用してよい。
The method for producing the polyimide film 1 includes the step of applying a coupling agent-containing solution to one or both sides of the polyimide film, and then drying it.
As the polyimide film to which the coupling agent-containing solution is applied, a polyimide film may be used instead of a polyamic acid gel film.
カップリング剤含有溶液は、通常、カップリング剤及び溶媒を含有していてよく、必要に応じて他の成分{例えば、カップリング剤以外の表面処理剤{例えば、シラン化合物[例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン等のモノ乃至テトラアルコキシシラン、好ましくはモノ乃至テトラC1-4アルコキシシラン]等}}を含有していてもよい。 The coupling agent-containing solution may typically contain the coupling agent and the solvent, and may optionally contain other components {for example, surface treatment agents other than the coupling agent {for example, silane compounds [e.g., mono- to tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane and tetraethoxysilane, preferably mono- to tetraC1-4 alkoxysilanes]}}.
カップリング剤含有溶液は、例えば、カップリング剤及び溶媒(さらに、必要に応じて他の成分)を混合することによって調製することができる。 A coupling agent-containing solution can be prepared, for example, by mixing the coupling agent and a solvent (and other components as needed).
溶媒としては、特に限定されず、例えば、水、アルコール類(例えば、メタノール、エタノール等)、エステル類(例えば、乳酸エチル、酢酸エチル等の有機酸エステル)等が挙げられ、カップリング剤の反応性(例えば、反応性官能基とポリイミドとの反応性)等の観点から、好ましくは、エステル類、アルコール類等であってもよい。溶媒は、1種又は2種以上を使用してよい。
なお、溶媒としては、ポリアミック酸溶液の形成に使用される溶媒と異なる溶媒(例えば、N,N-ジメチルアセトアミド以外の溶媒)を使用することが好ましい。
The solvent is not particularly limited and includes, for example, water, alcohols (e.g., methanol, ethanol, etc.), esters (e.g., organic acid esters such as ethyl lactate and ethyl acetate), and from the viewpoint of the reactivity of the coupling agent (e.g., the reactivity between the reactive functional group and the polyimide), esters, alcohols, etc. may be preferred. One or more solvents may be used.
Furthermore, it is preferable to use a solvent different from the one used to form the polyamic acid solution (for example, a solvent other than N,N-dimethylacetamide) as the solvent.
カップリング剤含有溶液におけるカップリング剤の含有量は、カップリング剤の反応性、ポリイミドフィルム表面への層(A)の形成等の観点から、例えば、0.05質量%以上(例えば、0.1質量%以上)、好ましくは0.5質量%以上(例えば、1質量%以上)程度であってもよく、例えば、10質量%以下(例えば、7質量%以下)、好ましくは5質量%以下(例えば、3質量%以下)程度であってもよい。 The content of the coupling agent in the coupling agent-containing solution may be, for example, 0.05% by mass or more (e.g., 0.1% by mass or more), preferably 0.5% by mass or more (e.g., 1% by mass or more), from the viewpoint of the reactivity of the coupling agent and the formation of layer (A) on the polyimide film surface, and may also be, for example, 10% by mass or less (e.g., 7% by mass or less), preferably 5% by mass or less (e.g., 3% by mass or less).
溶媒が有機酸エステル(例えば、乳酸エチル)を含む場合、溶媒全体に対する有機酸エステル(例えば、乳酸エチル)の割合は、カップリング剤の反応性(例えば、反応性官能基とポリイミドとの反応性)等の観点から、例えば、30質量部以上(例えば、40質量部以上)、好ましくは50質量部以上(例えば、60質量部以上、70質量部以上)、より好ましくは80質量部以上(例えば、90質量部以上)程度であってもよい。 When the solvent contains an organic acid ester (e.g., ethyl lactate), the proportion of the organic acid ester (e.g., ethyl lactate) to the total solvent may be, for example, 30 parts by mass or more (e.g., 40 parts by mass or more), preferably 50 parts by mass or more (e.g., 60 parts by mass or more, 70 parts by mass or more), and more preferably 80 parts by mass or more (e.g., 90 parts by mass or more), from the viewpoint of the reactivity of the coupling agent (e.g., the reactivity between the reactive functional group and the polyimide).
溶媒が有機酸エステル(例えば、乳酸エチル)を含む場合、溶媒全体に対する有機酸エステル(例えば、乳酸エチル)の割合(の上限値)は、特に限定されないが、例えば、99質量部以下(例えば、98質量部以下、97質量部以下、96質量部以下、95質量部以下)程度であってもよい。 When the solvent contains an organic acid ester (e.g., ethyl lactate), the proportion (upper limit) of the organic acid ester (e.g., ethyl lactate) to the total solvent is not particularly limited, but may be, for example, 99 parts by mass or less (e.g., 98 parts by mass or less, 97 parts by mass or less, 96 parts by mass or less, 95 parts by mass or less).
乾燥において、乾燥温度は、ポリイミドフィルム表面への層(A)の形成、本発明のポリイミドフィルムと金属層との密着性等の観点から、例えば、100℃以上(例えば、110℃以上、120℃以上)、好ましくは130℃以上(例えば、140℃以上)程度であってもよく、例えば、280℃以下(例えば、250℃以下)、220℃以下(例えば、210℃以下)、好ましくは200℃以下(例えば、190℃以下)程度であってもよい。 During drying, the drying temperature may be, for example, 100°C or higher (e.g., 110°C or higher, 120°C or higher), preferably 130°C or higher (e.g., 140°C or higher), from the viewpoint of forming layer (A) on the surface of the polyimide film and ensuring good adhesion between the polyimide film and the metal layer of the present invention. It may also be, for example, 280°C or lower (e.g., 250°C or lower), 220°C or lower (e.g., 210°C or lower), preferably 200°C or lower (e.g., 190°C or lower).
乾燥において、乾燥時間は、乾燥温度等にもよるが、ポリイミドフィルム表面への層(A)の形成、本発明のポリイミドフィルムと金属層との密着性等の観点から、例えば、20秒以上(例えば、30秒以上)、好ましくは40秒以上(例えば、50秒以上、60秒以上)程度であってもよく、例えば、150秒以下(例えば、140秒以下、130秒以下)、好ましくは120秒以下(例えば、110秒以下、100秒以下)程度であってもよい。 During drying, the drying time depends on the drying temperature and other factors, but from the viewpoint of forming layer (A) on the surface of the polyimide film and ensuring good adhesion between the polyimide film and the metal layer of the present invention, it may be, for example, 20 seconds or more (e.g., 30 seconds or more), preferably 40 seconds or more (e.g., 50 seconds or more, 60 seconds or more), or for example, 150 seconds or less (e.g., 140 seconds or less, 130 seconds or less), preferably 120 seconds or less (e.g., 110 seconds or less, 100 seconds or less).
(本発明のポリイミドフィルム)
本発明のポリイミドフィルム(ポリイミドフィルム1)は、通常、特定の物性等を備えている。
(Polyimide film of the present invention)
The polyimide film of the present invention (polyimide film 1) typically possesses certain physical properties.
ポリイミドフィルム1は、下記のような物性値の少なくとも1つを充足する場合が多く、代表的には、少なくとも密着性(金属層との剥離強度)[特に、密着性と、密着性以外の物性値のうち1つ又は2以上]を充足してもよい。なお、下記のような物性値は、例えば、(カップリング剤塗布対象ポリイミドフィルムの)ポリイミドの組成、フィルムの厚み、フィルムの製造条件、これらの組み合わせ(選択・調整)等により、効率よく充足しうる。
なお、ポリイミドフィルム1は、カップリング剤塗布対象ポリイミドフィルムの物性(特性)(例えば、ガラス転移温度、線膨張係数等)を維持しやすい。
Polyimide film 1 often satisfies at least one of the following physical properties, and typically, it may satisfy at least adhesion (peel strength to the metal layer) [in particular, adhesion and one or more of the other physical properties]. The following physical properties can be efficiently satisfied, for example, by the composition of the polyimide (of the polyimide film to be coated with the coupling agent), the thickness of the film, the manufacturing conditions of the film, and combinations of these (selection and adjustment).
Furthermore, polyimide film 1 is more likely to maintain the physical properties (characteristics) (e.g., glass transition temperature, coefficient of thermal expansion, etc.) of the polyimide film to which the coupling agent is applied.
ポリイミドフィルム1は、金属層との十分な密着性を実現しうる。このようなポリイミドフィルム1としては、例えば、金属層を(ポリイミドフィルム1上に)直接的に積層(接着剤層を介することなく積層)したとき、金属層とポリイミドフィルム1間の剥離強度(密着力、引きはがし強さ、90°剥離強度)の値(T1)において、0.3kN/m超(例えば、0.35kN/m以上)、好ましくは0.4kN/m以上(例えば、0.45kN/m以上)、さらに好ましくは0.5kN/m以上等となるポリイミドフィルムが挙げられる。 The polyimide film 1 can achieve sufficient adhesion to the metal layer. Examples of such polyimide films 1 include those in which, when the metal layer is directly laminated (laminated without an adhesive layer), the peel strength (adhesion, peel strength, 90° peel strength) (T1) between the metal layer and the polyimide film 1 is greater than 0.3 kN/m (e.g., 0.35 kN/m or more), preferably 0.4 kN/m or more (e.g., 0.45 kN/m or more), and more preferably 0.5 kN/m or more.
T1の上限値は、特に限定されないが、例えば、5kN/m以下、4kN/m以下、3kN/m以下、2.5kN/m以下、2kN/m以下、1.5kN/m以下、1.2kN/m以下、1kN/m以下等であってもよい。 The upper limit of T1 is not particularly limited, but it may be, for example, 5 kN/m or less, 4 kN/m or less, 3 kN/m or less, 2.5 kN/m or less, 2 kN/m or less, 1.5 kN/m or less, 1.2 kN/m or less, 1 kN/m or less, etc.
このような密着性は、高温のような条件(例えば、苛酷な条件)を経る等としても比較的高いレベルで維持しうる。このようなポリイミドフィルム1としては、例えば、金属層を(ポリイミドフィルム1上に)直接的に積層(接着剤層を介することなく積層)したときの金属層とポリイミドフィルム1間の剥離強度(密着力、引きはがし強さ)をT1、さらに、150℃で168時間加熱後の金属層とポリイミドフィルム1間の剥離強度(密着力、引きはがし強さ)をT2とするとき、T2/T1が、0.3以上(例えば、0.4以上)、好ましくは0.5以上(例えば、0.5超、0.55以上)、さらに好ましくは0.6以上(例えば、0.65以上)、特に0.7以上(例えば、0.72以上)、特に好ましくは0.75以上(例えば、0.75超、0.78以上、0.8以上)等となるポリイミドフィルムが挙げられる。 Such adhesion can be maintained at a relatively high level even when subjected to conditions such as high temperatures (e.g., harsh conditions). Examples of such polyimide films 1 include those where, when the peel strength (adhesion, tear strength) between the metal layer and the polyimide film 1 is T1 (laminated directly on the polyimide film 1 without an adhesive layer), and T2 is the peel strength (adhesion, tear strength) between the metal layer and the polyimide film 1 after heating at 150°C for 168 hours, T2/T1 is 0.3 or higher (e.g., 0.4 or higher), preferably 0.5 or higher (e.g., greater than 0.5, 0.55 or higher), more preferably 0.6 or higher (e.g., 0.65 or higher), particularly 0.7 or higher (e.g., 0.72 or higher), and particularly preferably 0.75 or higher (e.g., greater than 0.75, 0.78 or higher, 0.8 or higher).
なお、T2/T1の上限値は、1であってもよく、1未満(例えば、0.99以下、0
.98以下、0.97以下、0.96以下、0.95以下、0.94以下、0.93以下、0.92以下、0.91以下、0.9以下)であってもよい。
Note that the upper limit of T2/T1 may be 1, or less than 1 (for example, 0.99 or less, 0
(It may also be 98 or less, 0.97 or less, 0.96 or less, 0.95 or less, 0.94 or less, 0.93 or less, 0.92 or less, 0.91 or less, or 0.9 or less.)
また、T2の値は、例えば、0.2kN/m超(例えば、0.25kN/m以上)、好ましくは0.3kN/m以上(例えば、0.35kN/m以上)、さらに好ましくは0.4kN/m以上であってもよい。 Furthermore, the value of T2 may be, for example, greater than 0.2 kN/m (e.g., 0.25 kN/m or more), preferably 0.3 kN/m or more (e.g., 0.35 kN/m or more), and even more preferably 0.4 kN/m or more.
T2の上限値は、特に限定されないが、例えば、5kN/m以下、4kN/m以下、3kN/m以下、2.5kN/m以下、2kN/m以下、1.5kN/m以下、1.2kN/m以下、1kN/m以下、0.9kN/m以下、0.8kN/m以下等であってもよい。 The upper limit of T2 is not particularly limited, but for example, it may be 5 kN/m or less, 4 kN/m or less, 3 kN/m or less, 2.5 kN/m or less, 2 kN/m or less, 1.5 kN/m or less, 1.2 kN/m or less, 1 kN/m or less, 0.9 kN/m or less, 0.8 kN/m or less, etc.
なお、T1(さらにはT2)の測定において、金属層は、特に限定されないが、特定の金属層{例えば、後述の実施例に対応するもの、すなわち、厚み8.5μmの銅層[例えば、25nm厚のニッケル/クロム合金(ニッケル/クロム=80/20)層(例えば、スパッタリングにより形成された層)と、この層上に形成された100nm厚の銅層(例えば、スパッタリングにより形成された層)を介して、積層された厚み8.5μmの銅層(例えば、めっきにより形成された層)]}であってもよい。 Furthermore, in the measurement of T1 (and even T2), the metal layer is not particularly limited, but may be a specific metal layer {for example, one corresponding to the embodiment described later, i.e., a copper layer with a thickness of 8.5 μm [for example, a copper layer with a thickness of 8.5 μm (for example, a layer formed by plating) laminated via a 25 nm thick nickel/chromium alloy (nickel/chromium = 80/20) layer (for example, a layer formed by sputtering) and a 100 nm thick copper layer (for example, a layer formed by sputtering) formed on this layer]}.
T1(さらにはT2)の測定方法は、例えば、JIS C 6471に記載された銅箔の引きはがし強さの試験方法にある方法Aに準じたもの(例えば、引張角度90°、引張速度50mm/min)にて測定してもよい。
より具体的には、T1(さらにはT2)は、後述する実施例の方法にて測定してもよい
The measurement method for T1 (and even T2) may be, for example, one that conforms to Method A in the test method for the peel strength of copper foil described in JIS C 6471 (for example, a tensile angle of 90° and a tensile speed of 50 mm/min).
More specifically, T1 (and even T2) may be measured by the method described in the examples below.
ポリイミドフィルム1において、MD方向(機械搬送方向、縦方向、長さ方向、長手方向、幅方向(TD方向)と垂直な方向)の線膨張係数αMDは、50ppm/K以下(例えば、40ppm/K以下、35ppm/K以下、30ppm/K以下、25ppm/K以下)程度の範囲から選択してもよく、寸法安定性(例えば、銅等の金属層積層時の寸法安定性)等の観点から、例えば、20ppm/K以下(例えば、18ppm/K以下)、好ましくは16ppm/K以下(例えば、15ppm/K以下)、さらに好ましくは14ppm/K以下(例えば、13ppm/K以下)程度であってもよく、12ppm/K以下(例えば、11ppm/K以下、10ppm/K以下)等であってもよい。 In the polyimide film 1, the coefficient of linear expansion αMD in the MD direction (direction perpendicular to the machine transport direction, longitudinal direction, length direction, longitudinal direction, and width direction (TD direction)) may be selected from a range of approximately 50 ppm/K or less (for example, 40 ppm/K or less, 35 ppm/K or less, 30 ppm/K or less, 25 ppm/K or less). From the viewpoint of dimensional stability (for example, dimensional stability when laminating metal layers such as copper), it may be, for example, approximately 20 ppm/K or less (for example, 18 ppm/K or less), preferably 16 ppm/K or less (for example, 15 ppm/K or less), and even more preferably approximately 14 ppm/K or less (for example, 13 ppm/K or less), or 12 ppm/K or less (for example, 11 ppm/K or less, 10 ppm/K or less), etc.
αMDの下限値としては、0ppm/Kであってもよく、0ppm/K超[例えば、寸法安定性(例えば、銅等の金属層積層時の寸法安定性)等の観点から、1ppm/K以上(例えば、1.5ppm/K以上)、好ましくは2ppm/K以上(例えば、2.5ppm/K以上)、さらに好ましくは3ppm/K以上(例えば、3.5ppm/K以上)]であってもよく、4ppm/K以上(例えば、4.5ppm/K以上、5ppm/K以上、5.5ppm/K以上、6ppm/K以上、6.5ppm/K以上、7ppm/K以上)であってもよい。 The lower limit of αMD may be 0 ppm/K, greater than 0 ppm/K [for example, from the viewpoint of dimensional stability (e.g., dimensional stability when laminating metal layers such as copper), 1 ppm/K or more (e.g., 1.5 ppm/K or more), preferably 2 ppm/K or more (e.g., 2.5 ppm/K or more), and more preferably 3 ppm/K or more (e.g., 3.5 ppm/K or more)], or 4 ppm/K or more (e.g., 4.5 ppm/K or more, 5 ppm/K or more, 5.5 ppm/K or more, 6 ppm/K or more, 6.5 ppm/K or more, 7 ppm/K or more].
具体的なαMDとしては、例えば、0~30ppm/K、寸法安定性(例えば、銅等の金属層積層時の寸法安定性)等の観点から、好ましくは1~20ppm/K(例えば、2~18ppm/K)、さらに好ましくは3~17ppm/K(例えば、4~16ppm/K、5~15ppm/K、6~14ppm/K、6~12ppm/K、6~10ppm/K)等であってもよい。 Specific αMD values may include, for example, 0 to 30 ppm/K, and from the viewpoint of dimensional stability (e.g., dimensional stability when laminating metal layers such as copper), preferably 1 to 20 ppm/K (e.g., 2 to 18 ppm/K), and more preferably 3 to 17 ppm/K (e.g., 4 to 16 ppm/K, 5 to 15 ppm/K, 6 to 14 ppm/K, 6 to 12 ppm/K, 6 to 10 ppm/K), etc.
ポリイミドフィルム1において、TD方向(幅方向、横方向、直角方向、縦方向(MD)方向に垂直な方向)の線膨張係数αTDは、50ppm/K以下(例えば、40ppm/K以下、35ppm/K以下、30ppm/K以下、25ppm/K以下)程度の範囲から選択してもよく、寸法安定性(例えば、銅等の金属層積層時の寸法安定性)等の観点から、例えば、20ppm/K以下(例えば、18ppm/K以下)、好ましくは16ppm/K以下(例えば、15ppm/K以下)、さらに好ましくは14ppm/K以下(例えば、13ppm/K以下)程度であってもよく、12ppm/K以下(例えば、11ppm/K以下、10ppm/K以下、9ppm/K以下、8ppm/K以下、7ppm/K以下、6ppm/K以下、5ppm/K以下)等であってもよい。 In the polyimide film 1, the coefficient of linear expansion αTD in the TD direction (width direction, transverse direction, perpendicular direction, and direction perpendicular to the longitudinal direction (MD)) may be selected from a range of approximately 50 ppm/K or less (for example, 40 ppm/K or less, 35 ppm/K or less, 30 ppm/K or less, 25 ppm/K or less), and from the viewpoint of dimensional stability (for example, dimensional stability when laminating metal layers such as copper), it may be set to, for example, 20 ppm/K or less. (For example, 18 ppm/K or less), preferably 16 ppm/K or less (for example, 15 ppm/K or less), and even more preferably around 14 ppm/K or less (for example, 13 ppm/K or less). It may also be 12 ppm/K or less (for example, 11 ppm/K or less, 10 ppm/K or less, 9 ppm/K or less, 8 ppm/K or less, 7 ppm/K or less, 6 ppm/K or less, 5 ppm/K or less), etc.
αTDの下限値としては、例えば、-10ppm/K以上(例えば、-9ppm/K以上、-8ppm/K以上、-7ppm/K以上、―6ppm/K以上)、-5ppm/K以上(例えば、-4ppm/K以上、-3ppm/K以上、-2ppm/K以上、-1ppm/K以上)、0ppm/K以上、0ppm/K超[例えば、1ppm/K以上(例えば、1.5ppm/K以上)]であってもよく、好ましくは2ppm/K以上であってもよい。 The lower limit of αTD may be, for example, -10 ppm/K or higher (e.g., -9 ppm/K or higher, -8 ppm/K or higher, -7 ppm/K or higher, -6 ppm/K or higher), -5 ppm/K or higher (e.g., -4 ppm/K or higher, -3 ppm/K or higher, -2 ppm/K or higher, -1 ppm/K or higher), 0 ppm/K or higher, or greater than 0 ppm/K [e.g., 1 ppm/K or higher (e.g., 1.5 ppm/K or higher)], and preferably 2 ppm/K or higher.
具体的なαTDとしては、例えば、-10~30ppm/K、寸法安定性(例えば、銅等の金属層積層時の寸法安定性)等の観点から、好ましくは-10~20ppm/K(例えば、-8~18ppm/K)、さらに好ましくは-5~17ppm/K(例えば、-5~15ppm/K、-5~10ppm/K、-5~8ppm/K)等であってもよい。 Specific αTD values may include, for example, -10 to 30 ppm/K, preferably -10 to 20 ppm/K (e.g., -8 to 18 ppm/K), and more preferably -5 to 17 ppm/K (e.g., -5 to 15 ppm/K, -5 to 10 ppm/K, -5 to 8 ppm/K), from the viewpoint of dimensional stability (e.g., dimensional stability when laminating metal layers such as copper).
ポリイミドフィルム1において、(|αMD|+|αTD|)/2の値は、50ppm/K以下(例えば、40ppm/K以下、35ppm/K以下、30ppm/K以下、25ppm/K以下)程度の範囲から選択してもよく、寸法安定性(例えば、銅等の金属層積層時の寸法安定性)等の観点から、例えば、20ppm/K以下(例えば、18ppm/K以下)、好ましくは16ppm/K以下(例えば、15ppm/K以下)、さらに好ましくは14ppm/K以下(例えば、13ppm/K以下)程度であってもよく、12ppm/K以下(例えば、11ppm/K以下、10ppm/K以下)等であってもよい。 In the polyimide film 1, the value of (|αMD| + |αTD|)/2 may be selected from a range of approximately 50 ppm/K or less (for example, 40 ppm/K or less, 35 ppm/K or less, 30 ppm/K or less, 25 ppm/K or less). From the viewpoint of dimensional stability (for example, dimensional stability when laminating a metal layer such as copper), it may be, for example, approximately 20 ppm/K or less (for example, 18 ppm/K or less), preferably 16 ppm/K or less (for example, 15 ppm/K or less), and even more preferably approximately 14 ppm/K or less (for example, 13 ppm/K or less), or 12 ppm/K or less (for example, 11 ppm/K or less, 10 ppm/K or less), etc.
(|αMD|+|αTD|)/2(の下限値)としては、0ppm/Kであってもよく、0ppm/K超[例えば、寸法安定性(例えば、銅等の金属層積層時の寸法安定性)等の観点から、1ppm/K以上(例えば、1.5ppm/K以上)、好ましくは2ppm/K以上(例えば、2.5ppm/K以上)、さらに好ましくは3ppm/K以上(例えば、3.5ppm/K以上)]であってもよく、4ppm/K以上(例えば、4.5ppm/K以上、5ppm/K以上)であってもよい。 The lower limit of (|αMD| + |αTD|)/2 may be 0 ppm/K, greater than 0 ppm/K [for example, from the viewpoint of dimensional stability (e.g., dimensional stability when laminating metal layers such as copper), 1 ppm/K or more (e.g., 1.5 ppm/K or more), preferably 2 ppm/K or more (e.g., 2.5 ppm/K or more), and more preferably 3 ppm/K or more (e.g., 3.5 ppm/K or more)], and may also be 4 ppm/K or more (e.g., 4.5 ppm/K or more, 5 ppm/K or more).
具体的な(|αMD|+|αTD|)/2としては、例えば、0~30ppm/K、寸法安定性(例えば、銅等の金属層積層時の寸法安定性)等の観点から、好ましくは1~20ppm/K(例えば、2~18ppm/K)、さらに好ましくは3~17ppm/K(例えば、4~16ppm/K、4~15ppm/K、5~14ppm/K)等であってもよい。 The specific value of (|αMD| + |αTD|)/2 may be, for example, 0 to 30 ppm/K. From the viewpoint of dimensional stability (e.g., dimensional stability when laminating metal layers such as copper), it may preferably be 1 to 20 ppm/K (e.g., 2 to 18 ppm/K), and more preferably 3 to 17 ppm/K (e.g., 4 to 16 ppm/K, 4 to 15 ppm/K, 5 to 14 ppm/K), etc.
ポリイミドフィルム1において、|αMD|と|αTD|との差(|αMD|-|αTD|)の絶対値は、30ppm/K以下(例えば、25ppm/K以下、20ppm/K以下)程度の範囲から選択してもよく、寸法安定性(例えば、銅等の金属層積層時の寸法安定性)等の観点から、例えば、15ppm/K以下(例えば、12ppm/K以下)、好ましくは10ppm/K以下(例えば、8ppm/K以下)、さらに好ましくは7ppm/K以下(例えば、6ppm/K以下)程度であってもよく、5ppm/K以下(例えば、4.5ppm/K以下、4ppm/K以下、3.5ppm/K以下、3ppm/K以下、2.5ppm/K以下、2ppm/K以下、1.5ppm/K以下、1ppm/K以下)等であってもよい。 In polyimide film 1, the absolute value of the difference between |αMD| and |αTD| (|αMD| - |αTD|) may be selected from a range of approximately 30 ppm/K or less (for example, 25 ppm/K or less, 20 ppm/K or less). From the viewpoint of dimensional stability (for example, dimensional stability when laminating a metal layer such as copper), it may be, for example, 15 ppm/K or less (for example, 12 ppm/K or less), preferably 10 ppm/K or less (for example, 8 ppm/K or less), and more preferably 7 ppm/K or less (for example, 6 ppm/K or less). It may also be 5 ppm/K or less (for example, 4.5 ppm/K or less, 4 ppm/K or less, 3.5 ppm/K or less, 3 ppm/K or less, 2.5 ppm/K or less, 2 ppm/K or less, 1.5 ppm/K or less, 1 ppm/K or less), etc.
|αMD|と|αTD|との差(|αMD|-|αTD|)の絶対値(の下限値)としては、0ppm/Kであってもよく、0ppm/K超(例えば、0.1ppm/K以上、0.2ppm/K以上、0.3ppm/K以上、0.4ppm/K以上、0.5ppm/K以上)であってもよい。 The absolute value (lower limit) of the difference between |αMD| and |αTD| (|αMD| - |αTD|) may be 0 ppm/K, or it may be greater than 0 ppm/K (for example, 0.1 ppm/K or more, 0.2 ppm/K or more, 0.3 ppm/K or more, 0.4 ppm/K or more, 0.5 ppm/K or more).
なお、αMD及びαTDは、特に限定されないが、特定の温度範囲(例えば、50~200℃)において測定されたものであってもよく、特定の条件(例えば、昇温速度10℃/分)にて測定してもよい。具体的には、後述する実施例の方法にて測定してもよい。 Furthermore, αMD and αTD are not particularly limited, but may be measured within a specific temperature range (e.g., 50 to 200°C) or under specific conditions (e.g., a heating rate of 10°C/min). Specifically, they may be measured using the method described in the examples below.
ポリイミドフィルム1(又はポリイミドフィルムを構成するポリイミド、以下、同様)のガラス転移温度(Tg)は、金属層との密着性等の観点から、400℃以下(例えば、395℃以下)程度の範囲から選択してもよく、好ましくは390℃以下(例えば、385℃以下)、さらに好ましくは380℃以下(例えば、375℃以下)であってもよい。 The glass transition temperature (Tg) of the polyimide film 1 (or the polyimide constituting the polyimide film, hereinafter the same) may be selected from a range of approximately 400°C or less (for example, 395°C or less), preferably 390°C or less (for example, 385°C or less), and more preferably 380°C or less (for example, 375°C or less), from the viewpoint of adhesion with the metal layer.
ポリイミドフィルム1のTg(Tgの下限値)は、耐熱性、寸法安定性等(さらには金属層との密着性とのバランスないし両立)等の観点から、150℃以上(例えば、160℃以上、170℃以上)程度の範囲から選択してもよく、例えば、180℃以上(例えば、190℃以上)、好ましくは200℃以上(例えば、210℃以上)、さらに好ましくは220℃以上(例えば、225℃以上)であってもよく、230℃以上(例えば、235℃以上、240℃以上、245℃以上、250℃以上、255℃以上、260℃以上、265℃以上、270℃以上、275℃以上、280℃以上、285℃以上、290℃以上、295℃以上、300℃以上、305℃以上、310℃以上、315℃以上、320℃以上、325℃以上、330℃以上)等であってもよい。 The Tg (lower limit of Tg) of the polyimide film 1 may be selected from a range of approximately 150°C or higher (for example, 160°C or higher, 170°C or higher), from the viewpoint of heat resistance, dimensional stability, etc. (and further, balance or compatibility with adhesion to the metal layer), for example, 180°C or higher (for example, 190°C or higher), preferably 200°C or higher (for example, 210°C or higher), and even more preferably 220°C or higher (for example, 22 It may be 5°C or higher, or 230°C or higher (for example, 235°C or higher, 240°C or higher, 245°C or higher, 250°C or higher, 255°C or higher, 260°C or higher, 265°C or higher, 270°C or higher, 275°C or higher, 280°C or higher, 285°C or higher, 290°C or higher, 295°C or higher, 300°C or higher, 305°C or higher, 310°C or higher, 315°C or higher, 320°C or higher, 325°C or higher, 330°C or higher), etc.
なお、これらの範囲(上限値と下限値)を適宜組み合わせて範囲を選択してもよい(例えば、200~400℃、230~390℃等、以下、範囲の記載について同じ)。 Furthermore, you may choose a range by appropriately combining these ranges (upper and lower limits) (for example, 200-400°C, 230-390°C, etc.; the same applies to the range descriptions below).
具体的なポリイミドフィルム1のTgとしては、例えば、180~400℃、好ましくは200~390℃、さらに好ましくは220~380℃等が挙げられる。 Specific Tg values for the polyimide film 1 include, for example, 180 to 400°C, preferably 200 to 390°C, and more preferably 220 to 380°C.
なお、Tgの測定方法は、公知の方法を使用してよく、特に限定されないが、例えば、tanδ法(すなわち、tanδのピーク強度をTgとする値)を使用してもよい。 The method for measuring Tg may be any known method and is not particularly limited; for example, the tanδ method (i.e., using the peak intensity of tanδ as the Tg value) may be used.
ポリイミドフィルム1において、ポリイミドフィルム(カップリング剤塗布対象ポリイミドフィルム)と層(A)との厚み比は、用途等に応じて選択できるが、例えば、カップリング剤塗布対象ポリイミドフィルム/層(A)(厚み比)=30000/1~10/1(例えば、20000/1~30/1)程度の範囲から選択してもよく、10000/1~40/1(例えば、8000/1~50/1)、好ましくは6000/1~60/1(例えば、5000/1~50/1)、さらに好ましくは3000/1~70/1(例えば、2900/1~80/1、2800/1~100/1、2700/1~200/1)程度であってもよい。 In polyimide film 1, the thickness ratio between the polyimide film (polyimide film to be coated with coupling agent) and layer (A) can be selected according to the application, etc. For example, the thickness ratio of polyimide film to be coated with coupling agent/layer (A) (thickness ratio) may be selected from a range of approximately 30000/1 to 10/1 (e.g., 20000/1 to 30/1), or 10000/1 to 40/1 (e.g., 8000/1 to 50/1), preferably 6000/1 to 60/1 (e.g., 5000/1 to 50/1), and even more preferably 3000/1 to 70/1 (e.g., 2900/1 to 80/1, 2800/1 to 100/1, 2700/1 to 200/1).
ポリイミドフィルム1の絶縁破壊電圧は、例えば、445kV/mm以上(例えば、448kV/mm以上)、好ましくは450kV/mm以上(例えば、453kV/mm以上)、より好ましくは455kV/mm以上(例えば、458kV/mm以上、460kV/mm以上)程度であってもよい。
ポリイミドフィルム1の絶縁破壊電圧の上限値は、特に限定されないが、例えば、700kV/mm以下(例えば、650kV/mm以下)、好ましくは630kV/mm以下(例えば、600kV/mm以下、580kV/mm以下、550kV/mm以下)程度であってもよい。
ポリイミドフィルム1は層(A)を有するため、カップリング剤の加水分解縮合物の分解等によって絶縁破壊電圧が低くなることが予想されたものの、ポリイミドフィルム1が高い絶縁破壊電圧を有することは、予想外の効果であった。
ポリイミドフィルム1が高い絶縁破壊電圧を有する理由は、定かではないが、ポリイミドフィルム1が層(A)を有することにより、ポリイミドフィルム表面に化学結合を形成され、ポリイミドフィルム表面の不均一性(粗さ)が低減したことにより、電極との接点が多くなり局所的な導通が妨げられたためや、層(A)によって水分による導通が防げたためと予想される。
The dielectric breakdown voltage of the polyimide film 1 may be, for example, 445 kV/mm or more (e.g., 448 kV/mm or more), preferably 450 kV/mm or more (e.g., 453 kV/mm or more), and more preferably 455 kV/mm or more (e.g., 458 kV/mm or more, 460 kV/mm or more).
The upper limit of the dielectric breakdown voltage of the polyimide film 1 is not particularly limited, but may be, for example, 700 kV/mm or less (e.g., 650 kV/mm or less), preferably 630 kV/mm or less (e.g., 600 kV/mm or less, 580 kV/mm or less, 550 kV/mm or less).
Although it was expected that the dielectric breakdown voltage of polyimide film 1 would be lower due to the decomposition of hydrolyzed condensates of the coupling agent, etc., because polyimide film 1 has layer (A), the high dielectric breakdown voltage of polyimide film 1 was an unexpected effect.
The reason why polyimide film 1 has a high dielectric breakdown voltage is not clear, but it is thought that the presence of layer (A) in polyimide film 1 forms chemical bonds on the surface of the polyimide film, reducing the non-uniformity (roughness) of the polyimide film surface, which increases the number of contact points with the electrode and hinders localized conductivity, or that layer (A) prevents conductivity due to moisture.
なお、ポリイミドフィルム1の絶縁破壊電圧は、これらの範囲(上限値と下限値)を適宜組み合わせて範囲を選択してもよい(例えば、450~600kV/mm等)。 Furthermore, the dielectric breakdown voltage of polyimide film 1 may be selected by appropriately combining these ranges (upper and lower limits) (for example, 450 to 600 kV/mm).
絶縁破壊電圧の測定方法は、特に限定されないが、例えば、JIS C 2151の平板電極法に準ずる方法によって測定してもよい。 The method for measuring the dielectric breakdown voltage is not particularly limited, but for example, it may be measured by a method conforming to the flat-plate electrode method of JIS C 2151.
[ポリイミドフィルムの用途、金属積層フィルム等]
本発明のポリイミドフィルムは、金属(金属層)積層用として好適である。
[Applications of polyimide films, such as metal laminated films]
The polyimide film of the present invention is suitable for use in lamination of metals (metal layers).
このようなポリイミドフィルムは、接着剤層を介することなく(直接的に)、金属(金属層)を積層することもできる。そのため、接着剤層を介することなく(直接的に)、金属(金属層)を積層するためのポリイミドフィルムとしても好適である。 Such polyimide films can also be laminated with metal (metal layers) directly, without the need for an adhesive layer. Therefore, they are also suitable as polyimide films for laminating metal (metal layers) directly, without the need for an adhesive layer.
さらに、ポリイミドフィルムは、金属(金属層)を、メタライジング(めっき等)により、効率よく積層(形成)することもできる。そのため、本発明のポリイミドフィルムはメタライジング用としても好適である。 Furthermore, polyimide films can be efficiently laminated (formed) with metal (metal layers) through metallization (plating, etc.). Therefore, the polyimide film of the present invention is also suitable for metallization.
以下、このような好適なポリイミドフィルムの使用態様を含めて説明する。 The following describes suitable uses of such polyimide films.
上記のように、ポリイミドフィルムは、金属(金属層)を積層した、積層フィルムとすることができる。 As described above, polyimide films can be laminated films in which metal (metal layers) are laminated.
このような積層フィルムは、ポリイミドフィルムとこのフィルム上に積層された金属層(金属)とで構成された積層フィルム(金属積層ポリイミドフィルム、金属積層フィルム)ということができる。 Such a laminated film can be described as a laminated film (metal-laminated polyimide film, metal-laminated film) composed of a polyimide film and a metal layer (metal) laminated on this film.
積層フィルムにおいて、金属層は、通常、接着剤層を介することなく(又は直接的に)、ポリイミドフィルム上に積層(形成)されてもよい。 In a laminated film, the metal layer may typically be laminated (formed) on the polyimide film without an adhesive layer (or directly).
このような積層フィルムにおいて、金属層は、金属箔等であってもよく、メタライジングにより形成されたものであってもよいが、好ましくはメタライジングにより形成されたものであってもよい。 In such a laminated film, the metal layer may be a metal foil or the like, or it may be formed by metallization, but it is preferably formed by metallization.
メタライジング(メタライジング法)は、特に限定されないが、代表的には、めっき(めっき法)が挙げられる。具体的なメタライジングとしては、例えば、湿式めっき(例えば、電解めっき)、乾式めっき(例えば、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティングなど)が挙げられる。 Metallizing (metallizing methods) are not particularly limited, but typical examples include plating (plating methods). Specific examples of metallizing include wet plating (e.g., electroplating) and dry plating (e.g., vacuum deposition, sputtering, ion plating, etc.).
これらの方法は、1種又は2種以上組み合わせてよい。2種以上組み合わせる例としては、例えば、後述のように金属層を、下地層と上地層とで構成する場合、下地層を乾式めっき法で形成(例えば、比較的薄く形成)し、上地層を湿式めっき法で形成する等が挙げられる。 These methods may be used individually or in combination of two or more. An example of combining two or more methods is, for instance, when a metal layer is composed of a base layer and an upper layer, as described later, the base layer may be formed using a dry plating method (e.g., relatively thinly), and the upper layer may be formed using a wet plating method.
金属層を構成する金属としては、特に限定されないが、例えば、銅、ニッケル、クロム、マンガン、アルミニウム、鉄、モリブデン、コバルト、タングステン、バナジウム、チタン、タルク等の金属、これら金属の合金、これら金属の酸化物、これら金属の炭化物等が挙げられる。 The metals constituting the metal layer are not particularly limited, but examples include copper, nickel, chromium, manganese, aluminum, iron, molybdenum, cobalt, tungsten, vanadium, titanium, talc, alloys of these metals, oxides of these metals, and carbides of these metals.
金属層を構成する金属は、1種又は2種以上であってよい。 The metal layers may consist of one or more metals.
金属層は、1層であってもよく、多層(例えば、2~3層)であってもよい。 The metal layer may be a single layer or multiple layers (for example, two to three layers).
例えば、金属層は、下地層(下地金属層、ベース金属層)と、この下地層上に積層(形成)された上地層(上地金属層、配線層)とで構成されてもよい。また、下地層や上地層(例えば、下地層)もまた、多層であってもよい。 For example, a metal layer may consist of a base layer (underlying metal layer, base metal layer) and an upper layer (upper metal layer, wiring layer) laminated (formed) on this base layer. Furthermore, the base layer and upper layer (for example, the base layer) may also be multi-layered.
なお、金属層が多層の場合、各層を構成する金属は、同一であってもよいし、異なっていてもよい。 Furthermore, in the case of a multi-layered metal structure, the metals constituting each layer may be the same or different.
銅積層フィルムの例を挙げると、銅積層フィルムにおける金属層は銅層のみで構成してもよく、下地層(下地金属層)を介して銅層(上地層)が形成されてもよい。この際、下地層は、1層又は2層以上であってもよく、銅及び非銅金属から選択された少なくとも1種で構成してもよい。 Taking a copper laminated film as an example, the metal layer in the copper laminated film may consist solely of a copper layer, or a copper layer (upper layer) may be formed via a base layer (underlying metal layer). In this case, the base layer may consist of one or more layers, and may be composed of at least one selected from copper and non-copper metals.
銅層を上地層とする金属層の具体例を挙げると、銅層、非銅金属層(例えば、ニッケル/クロム層)及びこれらの組み合わせ等から選択された少なくとも1層とした下地層(例えば、スパッタリング層)と、この下地層に積層された銅層(例えば、めっき層)等が挙げられる。 Specific examples of metal layers with a copper layer as the upper layer include an underlayer (e.g., a sputtering layer) consisting of at least one layer selected from a copper layer, a non-copper metal layer (e.g., a nickel/chromium layer), and combinations thereof, and a copper layer (e.g., a plating layer) laminated on top of this underlayer.
金属層は、ポリイミドフィルムの片面に形成されていてもよく、両面に形成されていてもよい。なお、プラズマ処理が施されたポリイミドフィルムを使用する場合、金属層は、ポリイミドフィルムのプラズマ処理面側に形成されていてよい。 The metal layer may be formed on one side of the polyimide film, or on both sides. Furthermore, when using a plasma-treated polyimide film, the metal layer may be formed on the plasma-treated side of the polyimide film.
金属層の厚み(多層である場合は総厚み、両面に設ける場合は各金属層の厚み)は、用途や金属層の態様等に応じて適宜選択でき、1nm以上(例えば、2nm~100μm)、3nm以上(例えば、5nm~50μm)等であってもよい。 The thickness of the metal layer (total thickness in the case of a multilayer structure, or the thickness of each metal layer if it is provided on both sides) can be appropriately selected depending on the application and the characteristics of the metal layer, and may be 1 nm or more (e.g., 2 nm to 100 μm), 3 nm or more (e.g., 5 nm to 50 μm), etc.
特に、配線板(プリント配線板)等において、金属層[例えば、銅層(銅層を上地層とする金属層を含む)]の厚みは、1μm以上(例えば、1~50μm、2~40μm)、好ましくは3μm以上(例えば、3~30μm、4~25μm、3~20μm)、さらに好ましくは5μm以上(例えば、5~30μm、5~20μm、5~15μm)等であってもよい。 In particular, in printed circuit boards (PCBs), the thickness of the metal layer [for example, a copper layer (including a metal layer with a copper layer as the base layer)] may be 1 μm or more (for example, 1 to 50 μm, 2 to 40 μm), preferably 3 μm or more (for example, 3 to 30 μm, 4 to 25 μm, 3 to 20 μm), and more preferably 5 μm or more (for example, 5 to 30 μm, 5 to 20 μm, 5 to 15 μm), etc.
金属層が下地層を含む場合、下地層の厚みは、特に限定されないが、例えば、1~500nm(例えば、5~200nm)等であってもよい。 When the metal layer includes an underlying layer, the thickness of the underlying layer is not particularly limited, but may be, for example, 1 to 500 nm (e.g., 5 to 200 nm).
金属層が下地層を含む場合、金属層の厚み全体に占める下地層の厚みの割合は、例えば、30%以下程度の範囲から選択してもよく、20%以下(例えば、15%以下、10%以下、5%以下、3%以下、2%以下)等であってもよい。 When the metal layer includes the underlying layer, the ratio of the underlying layer's thickness to the total thickness of the metal layer may be selected from a range of, for example, 30% or less, or 20% or less (for example, 15% or less, 10% or less, 5% or less, 3% or less, 2% or less), etc.
特に、金属層の厚みは、比較的小さい(薄い)厚み、例えば、50μm以下(例えば、40μm以下)、好ましくは30μm以下(例えば、25μm以下)、さらに好ましくは20μm以下(例えば、15μm以下、12μm以下、10μm以下)であってもよい。 In particular, the thickness of the metal layer may be relatively small (thin), for example, 50 μm or less (e.g., 40 μm or less), preferably 30 μm or less (e.g., 25 μm or less), and even more preferably 20 μm or less (e.g., 15 μm or less, 12 μm or less, 10 μm or less).
本発明のポリイミドフィルムによれば(本発明の積層フィルムでは)、このような比較的小さい(薄い、低割合の)厚みの金属層であっても、十分な密着力を実現しうる。 According to the polyimide film of the present invention (the laminated film of the present invention), even with a relatively small (thin, low-proportion) metal layer, sufficient adhesion can be achieved.
積層フィルムにおいて、ポリイミドフィルム及び金属層との厚み比は、用途等に応じて選択できるが、例えば、ポリイミドフィルム/金属層(厚み比)=1/0.001~1/100(例えば、1/0.01~1/50)程度の範囲から選択してもよく、1/0.02~1/10(例えば、1/0.03~1/8)、好ましくは1/0.05~1/5(例えば、1/0.07~1/3)、さらに好ましくは1/0.1~1/2(例えば、1/0.15~1/1、1/0.2~1/0.8)程度であってもよい。
本発明のポリイミドフィルムによれば(本発明の積層フィルムでは)、このような厚み比であっても、ポリイミドフィルムをベースフィルムとしての機能を十分に発揮しうる。
In a laminated film, the thickness ratio of the polyimide film to the metal layer can be selected according to the application, etc. For example, the polyimide film/metal layer (thickness ratio) may be selected from a range of about 1/0.001 to 1/100 (for example, 1/0.01 to 1/50), preferably 1/0.02 to 1/10 (for example, 1/0.03 to 1/8), preferably 1/0.05 to 1/5 (for example, 1/0.07 to 1/3), and even more preferably 1/0.1 to 1/2 (for example, 1/0.15 to 1/1, 1/0.2 to 1/0.8).
According to the polyimide film of the present invention (the laminated film of the present invention), even with such a thickness ratio, the polyimide film can fully exhibit its function as a base film.
銅積層フィルム(例えば、プリント配線板等に好適な銅積層フィルム)を例として、より具体的に製法の一例(具体例)を挙げると、ポリイミドフィルムのうち、銅を形成させる面に対して真空条件下のもと、下地処理(例えば、ニッケル/クロムをスパッタにより下地処理し、続いて銅をスパッタ)して薄い銅薄膜を形成させた後、硫酸銅浴等により電解めっきで銅層を積層させる方法等が挙げられる。 Taking copper laminated films (for example, copper laminated films suitable for printed circuit boards, etc.) as an example, a more specific example of a manufacturing method would involve forming a thin copper film on the surface of a polyimide film under vacuum conditions by surface treatment (for example, surface treatment with nickel/chromium by sputtering, followed by sputtering with copper), and then laminating the copper layer by electroplating using a copper sulfate bath or the like.
なお、金属層(銅めっき層等)は、エッチング等によってパターンニングを行ってもよい。エッチング方法は、特に限定されず、従来公知の方法を使用してよい。 Furthermore, the metal layer (such as a copper plating layer) may be patterned by etching or other methods. The etching method is not particularly limited, and conventionally known methods may be used.
積層フィルムにおいて、金属層とポリイミドフィルムは、強固に密着していてよい。 In a laminated film, the metal layer and the polyimide film may be firmly adhered to each other.
このような積層フィルムとしては、金属層とポリイミドフィルム間の剥離強度(密着力、引きはがし強さ)の値(T1)において、0.3kN/m超(例えば、0.35kN/m以上)、好ましくは0.4kN/m以上(例えば、0.45kN/m以上)、さらに好ましくは0.5kN/m以上である積層フィルムが挙げられる。 Examples of such laminated films include those with a peel strength (adhesion, tear strength) value (T1) between the metal layer and the polyimide film of more than 0.3 kN/m (for example, 0.35 kN/m or more), preferably 0.4 kN/m or more (for example, 0.45 kN/m or more), and more preferably 0.5 kN/m or more.
T1の上限値は、特に限定されないが、例えば、5kN/m以下、4kN/m以下、3kN/m以下、2.5kN/m以下、2kN/m以下、1.5kN/m以下、1.2kN/m以下、1kN/m以下等であってもよい。 The upper limit of T1 is not particularly limited, but it may be, for example, 5 kN/m or less, 4 kN/m or less, 3 kN/m or less, 2.5 kN/m or less, 2 kN/m or less, 1.5 kN/m or less, 1.2 kN/m or less, 1 kN/m or less, etc.
このような密着性は、高温のような条件(例えば、苛酷な条件)を経る等としても比較的高いレベルで維持しうる。このような積層フィルムとしては、例えば、金属層とポリイミドフィルム間の剥離強度(密着力、引きはがし強さ)をT1、さらに、150℃で168時間加熱後の金属層とポリイミドフィルム間の剥離強度(密着力、引きはがし強さ)をT2とするとき、T2/T1が、0.3以上(例えば、0.4以上)、好ましくは0.5以上(例えば、0.5超、0.55以上)、さらに好ましくは0.6以上(例えば、0.65以上)、特に0.7以上(例えば、0.72以上)、特に好ましくは0.75以上(例えば、0.75超、0.78以上、0.8以上)である積層フィルムが挙げられる。 Such adhesion can be maintained at a relatively high level even when subjected to conditions such as high temperatures (e.g., harsh conditions). Examples of such laminated films include those where, when T1 is the peel strength (adhesion, tear resistance) between the metal layer and the polyimide film, and T2 is the peel strength (adhesion, tear resistance) between the metal layer and the polyimide film after heating at 150°C for 168 hours, T2/T1 is 0.3 or higher (e.g., 0.4 or higher), preferably 0.5 or higher (e.g., greater than 0.5, 0.55 or higher), more preferably 0.6 or higher (e.g., 0.65 or higher), particularly 0.7 or higher (e.g., 0.72 or higher), and particularly preferably 0.75 or higher (e.g., greater than 0.75, 0.78 or higher, 0.8 or higher).
なお、T2/T1の上限値は、1であってもよく、1未満(例えば、0.99以下、0.98以下、0.97以下、0.96以下、0.95以下、0.94以下、0.93以下、0.92以下、0.91以下、0.9以下)であってもよい。 Furthermore, the upper limit of T2/T1 may be 1, or it may be less than 1 (for example, 0.99 or less, 0.98 or less, 0.97 or less, 0.96 or less, 0.95 or less, 0.94 or less, 0.93 or less, 0.92 or less, 0.91 or less, 0.9 or less).
また、T2の値は、例えば、0.2kN/m超(例えば、0.25kN/m以上)、好ましくは0.3kN/m以上(例えば、0.35kN/m以上)、さらに好ましくは0.4kN/m以上であってもよい。 Furthermore, the value of T2 may be, for example, greater than 0.2 kN/m (e.g., 0.25 kN/m or more), preferably 0.3 kN/m or more (e.g., 0.35 kN/m or more), and even more preferably 0.4 kN/m or more.
T2の上限値は、特に限定されないが、例えば、5kN/m以下、4kN/m以下、3kN/m以下、2.5kN/m以下、2kN/m以下、1.5kN/m以下、1.2kN/m以下、1kN/m以下、0.9kN/m以下、0.8kN/m以下等であってもよい。 The upper limit of T2 is not particularly limited, but for example, it may be 5 kN/m or less, 4 kN/m or less, 3 kN/m or less, 2.5 kN/m or less, 2 kN/m or less, 1.5 kN/m or less, 1.2 kN/m or less, 1 kN/m or less, 0.9 kN/m or less, 0.8 kN/m or less, etc.
T1(さらにはT2)の測定方法は、例えば、JIS C 6471に記載された銅箔の引きはがし強さの試験方法にある方法Aに準じたもの(例えば、引張角度90°、引張速度50mm/min)にて測定してもよい。
より具体的には、T1(さらにはT2)は、後述する実施例の方法にて測定してもよい。
The measurement method for T1 (and even T2) may be, for example, one that conforms to Method A in the test method for the peel strength of copper foil described in JIS C 6471 (for example, a tensile angle of 90° and a tensile speed of 50 mm/min).
More specifically, T1 (and even T2) may be measured by the method described in the examples below.
積層フィルムは、種々の用途、例えば、COF(Chip on Film)、フレキシブルプリント基板(FPC)等の回路基板(特に、ファインピッチな配線回路を用いる基板)に使用することができる。 Laminated films can be used in a variety of applications, such as COF (Chip-on-Film), flexible printed circuit boards (FPCs), and other circuit boards (especially those using fine-pitch wiring circuits).
次に、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではなく、多くの変形が本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により可能である。 Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited in any way by these examples, and many modifications are possible within the technical concept of the present invention by those with ordinary skill in the art.
実施例において、以下の各化合物は、以下の略称を用いる。
パラフェニレンジアミン:PPD
4,4’-ジアミノジフェニルエーテル:4,4’-ODA
ピロメリット酸二無水物:PMDA
3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物:BPDA
N,N-ジメチルアセトアミド:DMAc
In the examples, the following compounds will be referred to by the following abbreviations.
Paraphenylenediamine: PPD
4,4'-diaminodiphenyl ether: 4,4'-ODA
Pyromellitic dianhydride: PMDA
3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride: BPDA
N,N-dimethylacetamide:DMAc
各特性は、以下の方法で評価した。 Each characteristic was evaluated using the following method:
・熱膨張係数(CTE)
機器:TMA-50(商品名、島津製作所製)を使用し、測定温度範囲:50~200℃、昇温速度10℃/分の条件で測定した。熱膨張係数αは、フィルムの機械搬送方向(MD)の線膨張係数αMD、及び幅方向(TD)の線膨張係数αTDを用いて、α=(|αMD|+|αTD|)/2と定義した。
• Coefficient of thermal expansion (CTE)
Equipment: The TMA-50 (product name, manufactured by Shimadzu Corporation) was used for measurement under the following conditions: measurement temperature range: 50 to 200°C, heating rate: 10°C/min. The thermal expansion coefficient α was defined as α = (|αMD| + |αTD|)/2, using the linear expansion coefficient αMD in the mechanical transport direction (MD) and the linear expansion coefficient αTD in the width direction (TD).
・ガラス転移温度(Tg)
機器:DMS6100(商品名:日立ハイテクサイエンス製)を使用し、測定温度範囲:25~420℃の範囲において、50mL/分の窒素を流入しながら、昇温速度2℃/分及び測定周波数5Hzの条件で測定した。測定により得られる、損失弾性率(E”)と貯蔵弾性率(E’)に対する比である損失正接tanδ(E”/E’)が極大を示す箇所の温度をガラス転移温度(Tg)とした。
• Glass transition temperature (Tg)
Equipment: A DMS6100 (product name: Hitachi High-Tech Science) was used, and measurements were taken in the temperature range of 25 to 420°C while infusing 50 mL/min of nitrogen at a heating rate of 2°C/min and a measurement frequency of 5 Hz. The temperature at which the loss tangent tanδ(E''/E'), which is the ratio of the loss modulus (E'') to the storage modulus (E'), showed a maximum was defined as the glass transition temperature (Tg).
・銅とポリイミド積層フィルムとの密着力(90°剥離強度)
銅とポリイミド積層フィルムとの密着力評価は、JIS C 6471に記載された銅箔の引きはがし強さの試験方法にある方法Aに準じ、引張角度90°、引張速度50mm/minの条件で測定した。
銅積層ポリイミドフィルムを作成直後に測定した密着力を常態密着力(T1)、150℃で168時間加熱後に測定した密着力を耐熱密着力(T2)とした。
- Adhesion strength between copper and polyimide laminated film (90° peel strength)
The adhesion strength between copper and polyimide laminated film was evaluated according to Method A of the test method for peel strength of copper foil described in JIS C 6471, measured under conditions of a tensile angle of 90° and a tensile speed of 50 mm/min.
The adhesion strength measured immediately after fabrication of the copper-laminated polyimide film was defined as the normal adhesion strength (T1), and the adhesion strength measured after heating at 150°C for 168 hours was defined as the heat-resistant adhesion strength (T2).
・(カップリング剤塗布対象の)ポリイミドフィルム厚み
Mitutoyo製ライトマチック(Series318)厚み計を使用して、フィルム全面から任意に15箇所を選び、この15箇所について厚みを測定し、その平均を算出し、フィルム厚みとした。
- Using a Mitutoyo Lightmatic (Series 318) thickness gauge, 15 locations were arbitrarily selected from the entire surface of the polyimide film (to be coated with the coupling agent). The thickness of these 15 locations was measured, and the average was calculated to determine the film thickness.
・層(1)の厚み
アルバックファイ製X線光電子分光装置を使用して、フィルム表面から深さ方向にSi強度を測定し、Si強度と深さとの関係(直線グラフ)の傾きが変わる点を変位点とし、フィルム表面から当該変位点までの深さを層(1)の厚みとした。
- Thickness of layer (1): Using an ULVAC-FI X-ray photoelectron spectrometer, the Si intensity was measured in the depth direction from the film surface. The point where the slope of the relationship between Si intensity and depth (linear graph) changes was defined as the displacement point, and the depth from the film surface to this displacement point was defined as the thickness of layer (1).
・層(2)の厚み
アルバックファイ製2次イオン質量分析装置を使用し、フィルム表面から深さ方向にSi強度を測定し、上記変位点からSi強度が0となる深さまでを層(2)の厚みとした。
- Thickness of layer (2): Using an ULVAC-FI secondary ion mass spectrometer, the Si intensity was measured in the depth direction from the film surface, and the thickness of layer (2) was defined as the depth from the displacement point to where the Si intensity became 0.
・無機粒子の評価
株式会社堀場製作所社製のレーザー回析/散乱式粒度分布測定装置LA-910を用い、極性溶媒に分散させた試料を測定し、レーザー回折および散乱光強度パターンを解析した結果から、体積平均径として、平均粒子径を読み取った。
- Evaluation of inorganic particles: Using the LA-910 laser diffraction/scattering particle size distribution analyzer manufactured by Horiba, Ltd., samples dispersed in a polar solvent were measured, and the average particle diameter was read as the volume-averaged diameter from the results of the analysis of the laser diffraction and scattered light intensity patterns.
・絶縁破壊電圧の測定
JIS C 2151の平板電極法に準じ、入力電圧100V±10% 50/60Hz、出力電圧DC 0~+50KV/5Ma、昇圧時間40~800秒可変で測定した。
なお、測定前のフィルム試験片を200℃で30分乾燥させた後、測定を行った。
フィルム試験片の寸法:200mm×200mm、測定雰囲気:25℃×60%RHとした。
- Dielectric breakdown voltage was measured according to the flat electrode method of JIS C 2151, with an input voltage of 100V ±10% at 50/60Hz, an output voltage of DC 0 to +50kV/5Ma, and a variable boost time of 40 to 800 seconds.
The film test pieces were dried at 200°C for 30 minutes before measurement.
The dimensions of the film test specimen were 200 mm x 200 mm, and the measurement atmosphere was 25°C x 60% RH.
(ポリアミック酸溶液の作製)
[合成例1]
容量2000mLのセパラブルフラスコにPPDを25.7g投入し、そこへDMAcを960g加え、完全に溶解するまで撹拌した。続けてPMDAを50.2g添加し、1時間撹拌を行った。その後、4,4’-ODAを71.3g添加し、完全に溶解したことを確認した後にBPDA52.4g、PMDA39.1gを添加し、3時間撹拌を行い、3000ポイズのポリアミック酸溶液(固形分20質量%)を得た。これに、平均粒子径0.3μmのシリカDMAcスラリーをポリアミック酸樹脂重量当たり0.3質量%添加し、十分に撹拌し分散させた。
(Preparation of polyamic acid solution)
[Synthesis Example 1]
25.7 g of PPD was placed in a 2000 mL separable flask, and 960 g of DMAc was added. The mixture was stirred until completely dissolved. Subsequently, 50.2 g of PMDA was added, and the mixture was stirred for 1 hour. After that, 71.3 g of 4,4'-ODA was added, and after confirming that it was completely dissolved, 52.4 g of BPDA and 39.1 g of PMDA were added, and the mixture was stirred for 3 hours to obtain a 3000 poise polyamic acid solution (20% solids by mass). To this, a silica DMAc slurry with an average particle size of 0.3 μm was added at a concentration of 0.3% by mass per weight of the polyamic acid resin, and the mixture was thoroughly stirred and dispersed.
(塗工液の調製)
以下のようにして塗工液(シランカップリング剤含有溶液)を調製した。
[塗工液1]
乳酸エチル(武蔵野科学研究所)90質量部、エタノール10質量部、3-アミノプロピルトリメトキシシラン(東京化成)1質量部を混合し、塗工液1を調製した。
[塗工液2]
乳酸エチル(武蔵野科学研究所)90質量部、エタノール10質量部、3-アミノプロピルトリメトキシシラン(東京化成)2質量部を混合し、塗工液2を調製した。
[塗工液3]
乳酸エチル(武蔵野科学研究所)90質量部、エタノール10質量部、3-アミノプロピルトリメトキシシラン(東京化成)3質量部を混合し、塗工液3を調製した。
(Preparation of coating solution)
The coating solution (silane coupling agent-containing solution) was prepared as follows.
[Coating Liquid 1]
Coating solution 1 was prepared by mixing 90 parts by mass of ethyl lactate (Musashino Scientific Research Institute), 10 parts by mass of ethanol, and 1 part by mass of 3-aminopropyltrimethoxysilane (Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.).
[Coating liquid 2]
Coating solution 2 was prepared by mixing 90 parts by mass of ethyl lactate (Musashino Scientific Research Institute), 10 parts by mass of ethanol, and 2 parts by mass of 3-aminopropyltrimethoxysilane (Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.).
[Coating liquid 3]
Coating solution 3 was prepared by mixing 90 parts by mass of ethyl lactate (Musashino Scientific Research Institute), 10 parts by mass of ethanol, and 3 parts by mass of 3-aminopropyltrimethoxysilane (Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.).
[実施例1]
(ポリイミドフィルムの作製)
合成例1で得られたポリアミック酸溶液を-5℃まで冷却した後、ポリアミック酸の固形分100質量部に対して、21質量部のDMAcと、16質量部の無水酢酸と、14質量部の3-メチルピリジンを混合した混合液を得た。
この混合液を、T型スリットダイを用いて、85℃の回転ドラムに30秒流涎させた後、得られた自己支持性フィルムを100℃で5分間加熱しながら、走行方向に1.23倍延伸した。次いで幅方向両端部を把持して、270℃で2分間加熱しながら幅方向に1.4倍延伸した後、380℃にて90秒間加熱し、幅500mm、厚さ25μm、長さ500mのポリイミドフィルムを得た。
塗工液1を上記ポリイミドフィルムの片面に塗布し、130℃で60秒乾燥させてポリイミドフィルム1を得た。なお、当該ポリイミドフィルム1において、層(1)の厚みは20nm、層(2)の厚みは180nmであった。
[Example 1]
(Preparation of polyimide film)
After cooling the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 1 to -5°C, a mixture was obtained by mixing 21 parts by mass of DMAc, 16 parts by mass of acetic anhydride, and 14 parts by mass of 3-methylpyridine with 100 parts by mass of the solid content of the polyamic acid.
This mixture was passed through a rotating drum at 85°C for 30 seconds using a T-type slit die. The resulting self-supporting film was then heated at 100°C for 5 minutes while being stretched 1.23 times in the running direction. Next, both ends in the width direction were grasped, and the film was stretched 1.4 times in the width direction while being heated at 270°C for 2 minutes. Finally, it was heated at 380°C for 90 seconds to obtain a polyimide film with a width of 500 mm, a thickness of 25 μm, and a length of 500 m.
The coating solution 1 was applied to one side of the polyimide film, and the polyimide film 1 was dried at 130°C for 60 seconds. In the polyimide film 1, the thickness of layer (1) was 20 nm, and the thickness of layer (2) was 180 nm.
(銅積層ポリイミドフィルムの作製)
ポリイミドフィルム1の片面にプラズマ処理を行い、続いてスパッタリング法により25nm厚のニッケル/クロム合金(ニッケル/クロム=80/20)層を形成した。次に、このニッケル/クロム合金層の上に、同じくスパッタリング法により100nm厚の銅層を形成した。次に、電解銅めっき法により、銅層厚みを8.5μmとした。最後に、配線幅が1mmとなるように、銅エッチングによりパターニングを行うことで、銅積層ポリイミドフィルム1を得た。
この銅積層ポリイミドフィルム1について密着力を評価した。表1にその結果を示す。
(Fabrication of copper-laminated polyimide film)
Plasma treatment was performed on one side of polyimide film 1, and then a 25 nm thick nickel/chromium alloy (nickel/chromium = 80/20) layer was formed by sputtering. Next, a 100 nm thick copper layer was formed on this nickel/chromium alloy layer, also by sputtering. Then, the copper layer thickness was reduced to 8.5 μm by electrolytic copper plating. Finally, a copper laminated polyimide film 1 was obtained by copper etching to pattern the film so that the wiring width was 1 mm.
The adhesion strength of this copper-laminated polyimide film 1 was evaluated. The results are shown in Table 1.
[実施例2]
実施例1において塗工液を塗布後の乾燥温度を200℃とした以外は実施例1と同様の方法により、ポリイミドフィルム2を得た。また、このポリイミドフィルム2を用いて、実施例1と同様の手順で銅積層ポリイミドフィルム2を得た。
この銅積層ポリイミドフィルム2について密着力を評価した。表1にその結果を示す。
[Example 2]
A polyimide film 2 was obtained in the same manner as in Example 1, except that the drying temperature after application of the coating solution was 200°C. Furthermore, a copper-laminated polyimide film 2 was obtained using this polyimide film 2, following the same procedure as in Example 1.
The adhesion strength of this copper-laminated polyimide film 2 was evaluated. The results are shown in Table 1.
[実施例3]
実施例1において塗工液を塗布後の乾燥時間を90秒とした以外は実施例1と同様の方法により、ポリイミドフィルム3を得た。また、このポリイミドフィルム3を用いて、実施例1と同様の手順で銅積層ポリイミドフィルム3を得た。
この銅積層ポリイミドフィルム3について密着力を評価した。表1にその結果を示す。
[Example 3]
A polyimide film 3 was obtained in the same manner as in Example 1, except that the drying time after application of the coating solution was 90 seconds. Furthermore, a copper-laminated polyimide film 3 was obtained using this polyimide film 3 in the same manner as in Example 1.
The adhesion strength of this copper-laminated polyimide film 3 was evaluated. The results are shown in Table 1.
[実施例4]
塗工液1の代わりに塗工液2を用いた以外は実施例3と同様の方法により、ポリイミドフィルム4を得た。また、このポリイミドフィルム4を用いて、実施例1と同様の手順で銅積層ポリイミドフィルム4を得た。
この銅積層ポリイミドフィルム4について密着力を評価した。表1にその結果を示す。
[Example 4]
A polyimide film 4 was obtained in the same manner as in Example 3, except that coating solution 2 was used instead of coating solution 1. Furthermore, a copper-laminated polyimide film 4 was obtained using this polyimide film 4 in the same manner as in Example 1.
The adhesion strength of this copper-laminated polyimide film 4 was evaluated. The results are shown in Table 1.
[実施例5]
塗工液1の代わりに塗工液3を用いた以外は実施例3と同様の方法により、ポリイミドフィルム5を得た。また、このポリイミドフィルム5を用いて、実施例1と同様の手順で銅積層ポリイミドフィルム5を得た。
この銅積層ポリイミドフィルム5について密着力を評価した。表1にその結果を示す。
[Example 5]
A polyimide film 5 was obtained in the same manner as in Example 3, except that coating solution 3 was used instead of coating solution 1. Furthermore, a copper-laminated polyimide film 5 was obtained using this polyimide film 5 in the same manner as in Example 1.
The adhesion strength of this copper-laminated polyimide film 5 was evaluated. The results are shown in Table 1.
[比較例1]
実施例1の塗工液の塗布を行わない以外は実施例1と同様の方法により、ポリイミドフィルム6を得た。また、このポリイミドフィルム6を用いて、実施例1と同様の手順で銅積層ポリイミドフィルム6を得た。
この銅積層ポリイミドフィルム6について密着力を評価した。表1にその結果を示す。
[Comparative Example 1]
A polyimide film 6 was obtained in the same manner as in Example 1, except that the coating solution of Example 1 was not applied. Furthermore, a copper-laminated polyimide film 6 was obtained using this polyimide film 6 in the same manner as in Example 1.
The adhesion strength of this copper-laminated polyimide film 6 was evaluated. The results are shown in Table 1.
[比較例2]
合成例1で得られたポリアミック酸溶液を-5℃まで冷却した後、ポリアミック酸の固形分100質量部に対して、21質量部のDMAcと、16質量部の無水酢酸と、14質量部の3-メチルピリジンを混合した混合液を得た。
この混合液を、T型スリットダイを用いて、85℃の回転ドラムに30秒流涎させた後、得られた自己支持性フィルムの片面に塗工液3を塗布し、120℃で150秒乾燥させた。次いで100℃で5分間加熱しながら、走行方向に1.23倍延伸した。次いで幅方向両端部を把持して、270℃で2分間加熱しながら幅方向に1.4倍延伸した後、380℃にて90秒間加熱し、幅500mm、厚さ25μm、長さ500mのポリイミドフィルム7を得た。
なお、ポリイミドフィルム7について、上記層(2)の厚み測定方法と同様に、アルバックファイ製2次イオン質量分析装置を使用し、フィルム表面から深さ方向にSi強度を測定し、Si強度が0となる深さを測定したところ、390nmであった。
ポリイミドフィルム7を用いて、実施例1と同様の手順で銅積層ポリイミドフィルム7を得た。
この銅積層ポリイミドフィルム7について密着力を評価した。表1にその結果を示す。
[Comparative Example 2]
After cooling the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 1 to -5°C, a mixture was obtained by mixing 21 parts by mass of DMAc, 16 parts by mass of acetic anhydride, and 14 parts by mass of 3-methylpyridine with 100 parts by mass of the solid content of the polyamic acid.
The mixture was passed through a rotating drum at 85°C for 30 seconds using a T-type slit die. The coating liquid 3 was then applied to one side of the resulting self-supporting film and dried at 120°C for 150 seconds. Next, it was stretched 1.23 times in the running direction while being heated at 100°C for 5 minutes. Then, both ends in the width direction were grasped, and it was stretched 1.4 times in the width direction while being heated at 270°C for 2 minutes, and then heated at 380°C for 90 seconds to obtain a polyimide film 7 with a width of 500 mm, a thickness of 25 μm, and a length of 500 m.
Furthermore, regarding the polyimide film 7, the Si intensity was measured in the depth direction from the film surface using an ULVAC-FI secondary ion mass spectrometer, similar to the method used to measure the thickness of layer (2) described above. The depth at which the Si intensity became zero was measured and found to be 390 nm.
Using the polyimide film 7, a copper-laminated polyimide film 7 was obtained using the same procedure as in Example 1.
The adhesion strength of this copper-laminated polyimide film 7 was evaluated. The results are shown in Table 1.
なお、表1において、αMD、αTD、α、Tg及び絶縁破壊電圧は、ポリイミドフィルム1~7の値である。 Note that in Table 1, αMD, αTD, α, Tg, and dielectric breakdown voltage are the values for polyimide films 1 to 7.
表1が示すように、実施例1~5のポリイミドフィルムは、比較例1及び2と比較して、高温条件に晒された場合の金属層との密着性を維持できた。
また、実施例1~5のポリイミドフィルムは、比較例1及び2と比較して、絶縁破壊電圧が高くなった。
As shown in Table 1, the polyimide films of Examples 1 to 5 maintained better adhesion to the metal layer when exposed to high-temperature conditions compared to Comparative Examples 1 and 2.
Furthermore, the polyimide films of Examples 1 to 5 showed a higher dielectric breakdown voltage compared to Comparative Examples 1 and 2.
[実施例6]
実施例1において塗工液を塗布後の乾燥温度を170℃とした以外は実施例1と同様の方法により、ポリイミドフィルム8を得た。また、このポリイミドフィルム8を用いて、実施例1と同様の手順で銅積層ポリイミドフィルム8を得た。
この銅積層ポリイミドフィルム8について密着力を評価した。表2にその結果を示す。
[Example 6]
A polyimide film 8 was obtained in the same manner as in Example 1, except that the drying temperature after application of the coating solution was 170°C. Furthermore, a copper-laminated polyimide film 8 was obtained using this polyimide film 8 in the same manner as in Example 1.
The adhesion strength of this copper-laminated polyimide film 8 was evaluated. The results are shown in Table 2.
[実施例7]
実施例1において塗工液を塗布後の乾燥温度を250℃とした以外は実施例1と同様の方法により、ポリイミドフィルム9を得た。また、このポリイミドフィルム9を用いて、実施例1と同様の手順で銅積層ポリイミドフィルム9を得た。
この銅積層ポリイミドフィルム9について密着力を評価した。表2にその結果を示す。
[Example 7]
A polyimide film 9 was obtained in the same manner as in Example 1, except that the drying temperature after application of the coating solution was 250°C. Furthermore, a copper-laminated polyimide film 9 was obtained using this polyimide film 9 in the same procedure as in Example 1.
The adhesion strength of this copper-laminated polyimide film 9 was evaluated. The results are shown in Table 2.
[実施例8]
実施例1において塗工液を塗布後の乾燥温度を280℃とした以外は実施例1と同様の方法により、ポリイミドフィルム10を得た。また、このポリイミドフィルム10を用いて、実施例1と同様の手順で銅積層ポリイミドフィルム10を得た。
この銅積層ポリイミドフィルム10について密着力を評価した。表2にその結果を示す。
[Example 8]
A polyimide film 10 was obtained in the same manner as in Example 1, except that the drying temperature after application of the coating solution was 280°C. Furthermore, a copper-laminated polyimide film 10 was obtained using this polyimide film 10 in the same procedure as in Example 1.
The adhesion strength of this copper-laminated polyimide film 10 was evaluated. The results are shown in Table 2.
本発明のポリイミドフィルムは、金属積層用等として有用である。 The polyimide film of the present invention is useful for applications such as metal lamination.
Claims (23)
層(A)が、実質的にカップリング剤の加水分解縮合物のみで形成された層(1)と、カップリング剤の加水分解縮合物及びポリイミド由来の成分を含む層(2)を含み、
層(A)が、ポリイミドフィルム表面側から、層(2)、層(1)の順で層が形成されており、層(1)の厚みが5nm以上であり、層(A)の厚みが100~400nmである金属積層用のポリイミドフィルム。 The polyimide film has a layer (A) containing a hydrolysis condensate of a coupling agent on one or both sides, and the polyimide constituting the polyimide film has an aromatic diamine component and an aromatic acid anhydride component as polymerization components, and the polymerization components do not contain any other polymerization components other than the aromatic acid anhydride component and the aromatic diamine component, or the proportion of other polymerization components other than the aromatic acid anhydride component and the aromatic diamine component to the total polymerization components is 20 mol% or less.
Layer (A) comprises a layer (1) which is substantially composed solely of hydrolyzed condensates of a coupling agent, and a layer (2) which contains hydrolyzed condensates of a coupling agent and components derived from polyimide.
A polyimide film for metal lamination in which layer (A) is formed in the order of layer (2) and layer (1) from the surface side of the polyimide film, with a thickness of layer (1) of 5 nm or more and a thickness of layer (A) of 100 to 400 nm .
ポリイミドフィルムが、片面又は両面に、カップリング剤の加水分解縮合物を含む層(A)を有し、ポリイミドフィルムを構成するポリイミドが、芳香族ジアミン成分と芳香族酸無水物成分を重合成分とし、重合成分が、芳香族酸無水物成分及び芳香族ジアミン成分以外の他の重合成分を含まないか、又は重合成分全体に対する芳香族酸無水物成分及び芳香族ジアミン成分以外の他の重合成分の割合が20モル%以下であり、層(A)が、実質的にカップリング剤の加水分解縮合物のみで形成された層(1)と、カップリング剤の加水分解縮合物及びポリイミド由来の成分を含む層(2)を含み、層(A)が、ポリイミドフィルム表面側から、層(2)、層(1)の順で層が形成されており、層(1)の厚みが5nm以上であり、層(A)の厚みが100~400nmである、製造方法。 A method for producing a polyimide film for metal lamination, comprising the step of applying a coupling agent-containing solution to one or both sides of a polyimide film and then drying it,
A method for producing a polyimide film, wherein the polyimide film has a layer (A) on one or both sides containing a hydrolysis condensate of a coupling agent, the polyimide constituting the polyimide film has an aromatic diamine component and an aromatic acid anhydride component as polymerization components, the polymerization components do not contain other polymerization components other than the aromatic acid anhydride component and the aromatic diamine component, or the proportion of other polymerization components other than the aromatic acid anhydride component and the aromatic diamine component to the total polymerization components is 20 mol% or less, and layer (A) comprises a layer (1) substantially formed only of a hydrolysis condensate of a coupling agent and a layer (2) containing a hydrolysis condensate of a coupling agent and components derived from polyimide, the layers (A) are formed in the order of layer (2) and layer (1) from the surface side of the polyimide film, the thickness of layer (1) is 5 nm or more, and the thickness of layer (A) is 100 to 400 nm .
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