JP7840558B2 - 電気光学ポリマー素子 - Google Patents

Description

本開示は、電気光学ポリマー素子に関する。

Takahiro Kaji et. al., "W-band optical modulators using electro-optic polymer waveguides and patch antenna arrays", Optics Express, 2021年9月13日発行, Vol.29 No.19, p.29604-29614（非特許文献１）は、基板と、グランド電極と、下部クラッド層と、コア層と、上部クラッド層と、複数対の矩形アンテナ電極とを備える光変調器を開示している。基板は、主面を含む。コア層は、電気光学ポリマーで形成されている。電気光学ポリマーは電気光学分子を含み、電気光学分子は、基板の主面の法線方向に配向されている。

Takahiro Kaji et. al., "W-band optical modulators using electro-optic polymer waveguides and patch antenna arrays", Optics Express, 2021年9月13日発行, Vol.29 No.19, p.29604-29614

しかし、非特許文献１の光変調器では、複数対の矩形アンテナ電極は、コア層の上方に配置されている。そのため、複数対の矩形アンテナ電極がＲＦ（Radio Frequency）電磁波を受信したときに、複数対の矩形アンテナ電極からコア層に印加される電界のうち電気光学分子の配向に沿う成分を増加させることが難しく、光変調器の光変調効率が十分でない。本開示は、上記の課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、光変調効率が向上された電気光学ポリマー素子を提供することである。

本開示の電気光学ポリマー素子は、光導波路と、第１アンテナ電極とを備える。光導波路は、第１主面と、第１主面とは反対側の第２主面とを有する。光導波路は、電気光学ポリマーで形成されているコア層を含む。第１アンテナ電極は、第１上側アンテナ電極と、第１下側アンテナ電極とを含む。電気光学ポリマーは、電気光学分子を含む。電気光学分子は、第１主面の法線方向に沿って配向している。第１上側アンテナ電極は、第１主面上に設けられている。第１上側アンテナ電極は、第１主面の平面視においてコア層の幅方向におけるコア層の中心線に近位する第１縁を含む。コア層の幅方向は、第１主面の平面視においてコア層の長手方向に垂直である。第１下側アンテナ電極は、第２主面上に設けられている。第１下側アンテナ電極は、第１主面の平面視においてコア層の中心線に近位する第２縁を含む。第１主面の平面視において、コア層の幅方向における第１上側アンテナ電極の第１中心線は、コア層の幅方向におけるコア層の中心線に対して第１幅方向にずれている。第１幅方向は、コア層の幅方向の一方側である。第１主面の平面視において、コア層の幅方向における第１下側アンテナ電極の第２中心線は、コア層の中心線に対して第１幅方向とは反対の第２幅方向にずれている。第２幅方向は、コア層の幅方向の他方側である。第１主面の平面視において、第１縁は、コア層に重なっている、または、コア層からコア層の幅方向に２０μｍ以下の距離離れている。第１主面の平面視において、第２縁は、コア層に重なっている、または、コア層からコア層の幅方向に２０μｍ以下の距離離れている。第１主面の法線方向における第１上側アンテナ電極とコア層との間の第１距離は、２０μｍ以下である。第１主面の法線方向における第１下側アンテナ電極とコア層との間の第２距離は、２０μｍ以下である。

本開示の電気光学ポリマー素子によれば、電気光学ポリマー素子の光変調効率が向上され得る。

実施の形態１の電気光学ポリマー素子の概略平面図である。 実施の形態１の電気光学ポリマー素子の、図１に示される断面線ＩＩ－ＩＩにおける概略断面図である。 実施の形態１の電気光学ポリマー素子の、図１に示される断面線ＩＩＩ－ＩＩＩにおける概略断面図である。 実施の形態１の電気光学ポリマー素子の製造方法の一工程を示す概略断面図である。 実施の形態１の電気光学ポリマー素子の製造方法における、図４に示される工程の次工程を示す概略断面図である。 実施の形態１の電気光学ポリマー素子の製造方法における、図５に示される工程の次工程を示す概略断面図である。 実施の形態１の電気光学ポリマー素子の製造方法における、図６に示される工程の次工程を示す概略断面図である。 実施の形態１の電気光学ポリマー素子の製造方法のうち、電気光学分子が配向された電気光学ポリマー層を準備する方法の一工程を示す概略断面図である。 実施の形態１の電気光学ポリマー素子の製造方法のうち、電気光学分子が配向された電気光学ポリマー層を準備する方法における、図９に示される工程の次工程を示す概略断面図である。 実施の形態１の電気光学ポリマー素子の製造方法における、図７及び図９に示される工程の次工程を示す概略断面図である。 実施の形態１の電気光学ポリマー素子の製造方法における、図１０に示される工程の次工程を示す概略断面図である。 実施の形態１の電気光学ポリマー素子の製造方法における、図１１に示される工程の次工程を示す概略断面図である。 実施の形態１の電気光学ポリマー素子の製造方法における、図１２に示される工程の次工程を示す概略断面図である。 実施の形態１の電気光学ポリマー素子の動作を説明する概略図である。 実施の形態１の第一変形例の電気光学ポリマー素子の概略断面図である。 実施の形態１の第一変形例の電気光学ポリマー素子の概略断面図である。 実施の形態１の第二変形例の電気光学ポリマー素子の概略断面図である。 実施の形態１の第二変形例の電気光学ポリマー素子の概略断面図である。 実施の形態１の第三変形例の電気光学ポリマー素子の概略平面図である。 実施の形態１の第三変形例の電気光学ポリマー素子の、図１９に示される断面線ＸＸ－ＸＸにおける概略断面図である。 実施の形態１の第三変形例の電気光学ポリマー素子の、図１９に示される断面線ＸＸＩ－ＸＸＩにおける概略断面図である。 実施の形態２の電気光学ポリマー素子の概略平面図である。 実施の形態２の電気光学ポリマー素子の、図２２に示される断面線ＸＸＩＩＩ－ＸＸＩＩＩにおける概略断面図である。 実施の形態２の電気光学ポリマー素子の、図２２に示される断面線ＸＸＩＶ－ＸＸＩＶにおける概略断面図である。 実施の形態２の変形例の電気光学ポリマー素子の概略断面図である。 実施の形態２の変形例の電気光学ポリマー素子の概略断面図である。 実施の形態３の電気光学ポリマー素子の概略平面図である。 実施の形態３の電気光学ポリマー素子の、図２７に示される断面線ＸＸＶＩＩＩ－ＸＸＶＩＩＩにおける概略断面図である。 実施の形態３の電気光学ポリマー素子の、図２７に示される断面線ＸＸＩＸ－ＸＸＩＸにおける概略断面図である。 実施の形態３の変形例の電気光学ポリマー素子の概略断面図である。 実施の形態３の変形例の電気光学ポリマー素子の概略断面図である。 実施の形態４の電気光学ポリマー素子の概略平面図である。 実施の形態４の変形例の電気光学ポリマー素子の概略平面図である。 本開示の実施例の電気光学ポリマー素子の上面顕微鏡画像である。 本開示の実施例の電気光学ポリマー素子の断面走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像である。 本開示の実施例の電気光学ポリマー素子からの出力光のスペクトルを示す図である。

以下、実施の形態を説明する。なお、同一の構成には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。

（実施の形態１）
図１から図３を参照して、実施の形態１の電気光学ポリマー素子１を説明する。電気光学ポリマー素子１は、例えば、電磁波４０を検出する装置である。電気光学ポリマー素子１は、基板１０と、グランド電極１１と、スペーサ層１２と、光導波路１５と、第１アンテナ電極２１と、第２アンテナ電極３１とを備える。

図２及び図３を参照して、基板１０は、主面１０ａを含む。主面１０ａは、ｘ方向とｘ方向に垂直なｙ方向とに延在する。主面１０ａの法線方向は、ｘ方向とｙ方向とに垂直なｚ方向である。基板１０は、特に限定されないが、例えば、シリコン（Ｓｉ）のような半導体材料で形成されている。基板１０は、ＢＫ７または石英ガラスのようなガラスで形成されてもよいし、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）または酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）のような酸化物で形成されてもよいし、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）またはＣＹＴＯＰ（旭硝子、登録商標）のようなフッ素樹脂で形成されてもよいし、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）またはシクロオレフィンポリマー（例えば、ＺＥＯＮＥＸ（日本ゼオン、登録商標）もしくはＺＥＯＮＯＲ（日本ゼオン、登録商標））のような樹脂で形成されてもよい。

グランド電極１１は、基板１０の主面１０ａ上に設けられている。グランド電極１１は、ｚ方向において、基板１０とスペーサ層１２との間に配置されている。グランド電極１１は、ｚ方向において、第１下側アンテナ電極２２に関して第１上側アンテナ電極２６とは反対側に、第１下側アンテナ電極２２から間隔を空けて配置されている。グランド電極１１は、ｚ方向において、第２下側アンテナ電極３２に関して第２上側アンテナ電極３６とは反対側に、第２下側アンテナ電極３２から間隔を空けて配置されている。光導波路１５の第１主面１５ａの平面視において、グランド電極１１は、第１アンテナ電極２１と第２アンテナ電極３１とに重なっている。

グランド電極１１は、金（Ａｕ）のような導電材料で形成されている。グランド電極１１は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）またはチタン（Ｔｉ）のような金属材料で形成されていてもよいし、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）またはＩＧＺＯ（ＩｎＧａＺｎＯ）のような透明導電性材料で形成されてもよい。グランド電極１１は、光導波路１５の第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、例えば、２００ｎｍの厚さを有している。グランド電極１１は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、１０ｍｍ以下の厚さを有してもよく、１ｍｍ以下の厚さを有してもよく、１００μｍ以下の厚さを有してもよく、１０μｍ以下の厚さを有してもよく、１μｍ以下の厚さを有してもよい。グランド電極１１とスペーサ層１２との間の密着性を向上させるために、グランド電極１１は、例えば、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）膜（図示せず）で覆われてもよい。

スペーサ層１２は、グランド電極１１上に設けられている。スペーサ層１２は、グランド電極１１と第１下側アンテナ電極２２との間に配置されているとともに、グランド電極１１と第２下側アンテナ電極３２との間に配置されている。スペーサ層１２は、グランド電極１１と光導波路１５との間に配置されている。スペーサ層１２は、コア層１７よりも小さな屈折率を有してもよい。スペーサ層１２は、光導波路１５の第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、例えば、４０μｍの厚さを有している。スペーサ層１２は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、１０ｍｍ以下の厚さを有してもよく、１ｍｍ以下の厚さを有してもよく、５００μｍ以下の厚さを有してもよく、１００μｍ以下の厚さを有してもよく、１０μｍ以下の厚さを有してもよい。

スペーサ層１２は、光導波路１５の下部クラッド層１６と同じ材料で形成されてもよい。スペーサ層１２は、例えば、１０^４Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されている。スペーサ層１２は、１０^６Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよく、１０^８Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよく、１０^９Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよく、１０^１０Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよく、１０^１２Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよい。そのため、スペーサ層１２による電磁波４０（図２、図３及び図１４を参照）の吸収を減少させることができる。

スペーサ層１２は、特に限定されないが、例えば、シクロオレフィンポリマー（例えば、ＺＥＯＮＥＸ（日本ゼオン、登録商標）、ＺＥＯＮＯＲ（日本ゼオン、登録商標）もしくはＡＲＴＯＮ（ＪＳＲ、登録商標）等）、シクロオレフィンコポリマー（ＴＯＰＡＳ（Topas Advanced Polymers GmbH、登録商標）もしくはＡＰＥＬ（三井化学、登録商標）等）、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリカーボネートまたはポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）のような樹脂で形成されている。スペーサ層１２は、シリコン（Ｓｉ）のような半導体材料で形成されてもよいし、ＢＫ７または石英ガラスのようなガラスで形成されてもよいし、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）または酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）のような酸化物で形成されてもよいし、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）またはＣＹＴＯＰ（旭硝子、登録商標）のようなフッ素樹脂で形成されてもよい。

光導波路１５は、第１主面１５ａと、第１主面１５ａとは反対側の第２主面１５ｂとを有する。第１主面１５ａ及び第２主面１５ｂは、各々、ｘ方向とｙ方向とに延在している。第１主面１５ａの法線方向及び第２主面１５ｂの法線方向は、各々、ｚ方向である。光導波路１５の第１主面１５ａは、光導波路１５の主面のうち、第１上側アンテナ電極２６に近位する主面である。光導波路１５の第２主面１５ｂは、光導波路１５の主面のうち、第１下側アンテナ電極２２、第２下側アンテナ電極３２、グランド電極１１及び基板１０に近位する主面である。光導波路１５の第２主面１５ｂは、第１下側アンテナ電極２２、第２下側アンテナ電極３２、グランド電極１１及び基板１０の主面１０ａに対向している。光導波路１５は、コア層１７と、上部クラッド層１８と、下部クラッド層１６とを含む。

コア層１７は、下部クラッド層１６及び上部クラッド層１８よりも大きな屈折率を有している。コア層１７は、例えば、１．６の屈折率を有している。コア層１７は、２．５以下の屈折率を有してもよく、２．０以下の屈折率を有してもよく、１．８以下の屈折率を有してもよい。図１を参照して、コア層１７の長手方向は、ｘ方向である。コア層１７の幅方向（±ｙ方向）は、光導波路１５の第１主面１５ａの平面視において、コア層１７の長手方向（ｘ方向）に垂直である。コア層１７の中心線１７ｃは、第１主面１５ａの平面視において、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）におけるコア層１７の中心線である。コア層１７の中心線１７ｃは、コア層１７の長手方向（ｘ方向）に延在している。

コア層１７は、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）に、例えば、１．６μｍの幅を有している。コア層１７は、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）に、１００μｍ以下の幅を有してもよく、１０μｍ以下の幅を有してもよく、５μｍ以下の幅を有してもよく、２μｍ以下の幅を有してもよい。コア層１７は、光導波路１５の第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、例えば、２μｍの高さを有している。コア層１７は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、２０μｍ以下の高さを有してもよく、５μｍ以下の高さを有してもよく、２μｍ以下の高さを有してもよく、０．１μｍ以下の高さを有してもよい。図２及び図３を参照して、コア層１７は、例えば、リッジ型コア層である。

コア層１７は、電気光学ポリマーで形成されている。電気光学ポリマーは、電気光学分子を含む。電気光学分子は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に沿って配向している（図２及び図３をコア層１７内の矢印を参照）。

本明細書において、「電気光学ポリマー」（以下、「ＥＯポリマー」という場合がある。）とは、２次非線形光学効果を発揮するポリマーであって、（１）マトリックスポリマーと電気光学分子とを混合したゲスト・ホスト型の電気光学ポリマー、（２）ベースポリマーの側鎖に電気光学分子が共有結合したサイドチェーン型の電気光学ポリマー、（３）ベースポリマーの主鎖中に電気光学分子が共有結合した主鎖型の電気光学ポリマー、（４）マトリックスポリマー間若しくはベースポリマー間、又は、マトリックスポリマー若しくはベースポリマーと電気光学分子等との間で架橋したクロスリンク型の電気光学ポリマー、または、（５）モレキュラーガラス型の電気光学ポリマーを含む。ゲスト・ホスト型の電気光学ポリマーは、マトリックスポリマーと電気光学分子とを含む組成物として把握することもできる。

「マトリックスポリマー」とは、電気光学ポリマーの母体となるポリマーを意味する。上記マトリックスポリマーは、ゲスト・ホスト型の電気光学ポリマーのホストとなる有機ポリマーを含む。また、「ベースポリマー」とは、電気光学ポリマーの基本骨格となるポリマーを意味する。上記ベースポリマーは、サイドチェーン型、主鎖型、又はクロスリンク型の電気光学ポリマーにおけるポリマー主鎖の有機ポリマーを含む。マトリックスポリマー及びベースポリマーとしては、光学材料として用いるために散乱のない透明なポリマーが好ましく、例えば、（メタ）アクリレート系ポリマー（例えば、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ））、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート（例えば、ｐｏｌｙ［Ｂｉｓｐｈｅｎｏｌ Ａ ｃａｒｂｏｎａｔｅ－ｃｏ－４，４’－（３，３，５－ｔｒｉｍｅｔｈｙｌｃｙｃｌｏ－ｈｅｘｙｌｉｄｅｎｅ）ｄｉｐｈｅｎｏｌ ｃａｒｂｏｎａｔｅ］等）、ポリジシクロペンタニルメタクリレート（ｐｏｌｙ ＤＣＰＭＡ）、ポリアダマンチルメタクリレート（ｐｏｌｙ ＡｄＭＡ）、ｐｏｌｙ（ＤＣＰＭＡ－ｃｏ－ＭＭＡ）、ｐｏｌｙ（ＡｄＭＡ－ｃｏ－ＭＭＡ）等）、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマー、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリメチルペンテン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリエチレンテレフタラート、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリフェニレンサルファイド、ポリウレア、シリコン系樹脂、エポキシ系樹脂、フッ素樹脂等が挙げられる。上記有機ポリマーは、一種を単独で用いてもよいし、複数種を組み合わせて用いてもよい。

「電気光学分子」とは、２次非線形光学効果を発揮する化合物を意味する。電気光学分子としては、例えば、米国特許６０６７１８６号明細書、特表２００４‐５０１１５９号公報、国際ＷＯ２０１１／０２４７７４Ａ１号公報、「非線形光学のための有機材料」（日本化学会編、季刊化学総説Ｎｏ．１５（１９９２））、“Organic Nonlinear Optical Materials”（Ch. Bosshard, et. al., Gordonand Breach Publishers(1995)）、「情報・通信用光有機材料の最新技術」（戒能俊邦監修、シーエムシー出版（２００７））、及び“Molecular Nonlinear Optics”（ed. J. Zyss, Academic Press(1994)）等に記載の２次非線形光学効果を発揮する化合物が挙げられる。

電気光学分子は、２次非線形光学効果を発揮する化合物であれば特に限定されないが、共役系の化学構造を有し、更に、分子内に電子供与性基及び電子求引性基を有する化合物であることが好ましい。ここで、共役系の化学構造の例としては、ベンゼン、ナフタレン、アントラセン、ペリレン、ビフェニル、インデン及びスチルベン等の芳香族化合物、フラン、ピラン、ピロール、イミダゾール、ピラゾール、チオフェン、チアゾール、ピリジン、ピリダジン、ピリミジン、ピラジン、キノリン及びクマリン等の複素環式化合物、これらの化合物同士が炭素―炭素不飽和結合又は窒素―窒素不飽和結合を介して結合した化合物等が挙げられる。

電子供与性基としては、例えば、アルキル基、アリール基又はアシル基で置換されてもよいアミノ基、アルコキシ基、アリルオキシ基及びチオエーテル基等が挙げられる。電子求引性基としては、例えば、ニトロ基、シアノ基、ジシアノビニル基、トリシアノビニル基、ハロゲン原子、カルボニル基、スルホン基、ペルフルオロアルキル、トリシアノビニルフラン、トリシアノフラン等が挙げられる。

電気光学分子の一例としては、以下の構造式［Ａ－１］～［Ａ－７］で表されるもの等が挙げられる。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。

電気光学分子の含有割合は、特に限定されないが、マトリックスポリマー又はベースポリマー、及び電気光学分子の全量（電気光学ポリマーの全質量に相当）に対して、通常は、約１－７０質量％であり、好ましくは、約５－６０質量％であり、より好ましくは、約１０－５０質量％である。上記含有割合は、電気光学ポリマーがサイドチェーン型又は主鎖型の形態であっても同様である。ここで、サイドチェーン型の電気光学ポリマーの場合、電気光学分子の含有割合は、サイドチェーン部分の由来となる電気光学分子に基づいて求めるものとする。主鎖型の電気光学ポリマーの場合、電気光学色素の含有割合は、主鎖中の電気光学分子部分に基づいて求めるものとする。

電気光学ポリマーは、例えば、式（１）から式（３）で表される繰り返し単位を有するサイドチェーン型の電気光学ポリマーであってもよい。式中、ｐ、ｑ、ｒはそれぞれ正の整数を示す。ここで、サイドチェーン型の電気光学ポリマーは、電気光学分子部分をサイドチェーンとして含まないベースポリマーを構成する繰り返し単位（例えば、式（１）、式（３）で表される繰り返し単位）と、電気光学分子部分をサイドチェーンとして含むベースポリマーを構成する繰り返し単位（例えば、式（２）で表される繰り返し単位）とのコポリマーであってもよい。この場合、上記コポリマーは、ランダムコポリマー、ブロックコポリマー、グラフトコポリマーのいずれでもよい。

図２及び図３を参照して、下部クラッド層１６は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）において、第１下側アンテナ電極２２とコア層１７との間に配置されている。下部クラッド層１６は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）において、第２下側アンテナ電極３２とコア層１７との間に配置されている。下部クラッド層１６は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）において、スペーサ層１２とコア層１７との間に配置されている。下部クラッド層１６は、コア層１７よりも小さな屈折率を有している。光導波路１５が下部クラッド層１６を含む場合、光導波路１５の第２主面１５ｂは、下部クラッド層１６で形成される。下部クラッド層１６は、第１下側アンテナ電極２２及び第２下側アンテナ電極３２による、コア層１７を伝搬する光４５の吸収を低減させる。

下部クラッド層１６は、例えば、１０^４Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されている。下部クラッド層１６は、１０^６Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよく、１０^８Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよく、１０^９Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよく、１０^１０Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよく、１０^１２Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよい。そのため、下部クラッド層１６による電磁波４０（図２、図３及び図１４を参照）の吸収を減少させることができる。

下部クラッド層１６は、特に限定されないが、例えば、シクロオレフィンポリマー（例えば、ＺＥＯＮＥＸ（日本ゼオン、登録商標）、ＺＥＯＮＯＲ（日本ゼオン、登録商標）もしくはＡＲＴＯＮ（ＪＳＲ、登録商標）等）、シクロオレフィンコポリマー（ＴＯＰＡＳ（Topas Advanced Polymers GmbH、登録商標）もしくはＡＰＥＬ（三井化学、登録商標）等）、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリカーボネートまたはポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）のような樹脂で形成されている。下部クラッド層１６は、シリコン（Ｓｉ）のような半導体材料で形成されてもよいし、ＢＫ７または石英ガラスのようなガラスで形成されてもよいし、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）または酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）のような酸化物で形成されてもよいし、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）またはＣＹＴＯＰ（旭硝子、登録商標）のようなフッ素樹脂で形成されてもよい。

上部クラッド層１８は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）において、第１上側アンテナ電極２６とコア層１７との間に配置されている。上部クラッド層１８は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）において、第２上側アンテナ電極３６とコア層１７との間に配置されている。上部クラッド層１８は、コア層１７よりも小さな屈折率を有している。光導波路１５が上部クラッド層１８を含む場合、光導波路１５の第１主面１５ａの少なくとも一部は、上部クラッド層１８で形成される。上部クラッド層１８は、第１上側アンテナ電極２６及び第２上側アンテナ電極３６による、コア層１７を伝搬する光４５の吸収を低減させる。

上部クラッド層１８は、例えば、１０^４Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されている。上部クラッド層１８は、１０^６Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよく、１０^８Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよく、１０^９Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよく、１０^１０Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよく、１０^１２Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されてもよい。そのため、上部クラッド層１８による電磁波４０（図２、図３及び図１４を参照）の吸収を減少させることができる。

上部クラッド層１８は、下部クラッド層１６と同じ材料で形成されてもよいし、下部クラッド層１６とは異なる材料で形成されてもよい。上部クラッド層１８は、特に限定されないが、例えば、紫外線硬化樹脂（例えば、ＦＥ４０４８、ＮＴＴ－ＡＴ社製）で形成されている。上部クラッド層１８は、例えば、シクロオレフィンポリマー（例えば、ＺＥＯＮＥＸ（日本ゼオン、登録商標）、ＺＥＯＮＯＲ（日本ゼオン、登録商標）もしくはＡＲＴＯＮ（ＪＳＲ、登録商標）等）、シクロオレフィンコポリマー（ＴＯＰＡＳ（Topas Advanced Polymers GmbH、登録商標）もしくはＡＰＥＬ（三井化学、登録商標）等）、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリカーボネートまたはポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）のような樹脂で形成されてもよいし、シリコン（Ｓｉ）のような半導体材料で形成されてもよいし、ＢＫ７または石英ガラスのようなガラスで形成されてもよいし、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）または酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）のような酸化物で形成されてもよいし、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）またはＣＹＴＯＰ（旭硝子、登録商標）のようなフッ素樹脂で形成されてもよい。

第１アンテナ電極２１は、金（Ａｕ）のような導電材料で形成されている。第１アンテナ電極２１は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）もしくはチタン（Ｔｉ）のような金属材料、または、ＩＴＯ、ＩＺＯもしくはＩＧＺＯのような透明導電性材料で形成されてもよい。図１から図３を参照して、第１アンテナ電極２１は、第１上側アンテナ電極２６と、第１下側アンテナ電極２２とを含む。

第１上側アンテナ電極２６は、光導波路１５の第１主面１５ａ上に設けられている。第１上側アンテナ電極２６は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、例えば、２００ｎｍの厚さを有している。第１上側アンテナ電極２６は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、１００μｍ以下の厚さを有してもよく、１０μｍ以下の厚さを有してもよく、１μｍ以下の厚さを有してもよい。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第１上側アンテナ電極２６とコア層１７との間の第１距離ｔ_１は、例えば、２０μｍ以下である。第１距離ｔ_１は、１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以下であってもよい。

第１上側アンテナ電極２６は、第１主面１５ａの平面視においてコア層１７の中心線１７ｃに近位する第１縁２７を含む。第１縁２７は、コア層１７の長手方向（ｘ方向）に沿って延在している。第１主面１５ａの平面視において、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）における第１上側アンテナ電極２６の第１中心線２６ｃは、コア層１７の中心線１７ｃに対して第１幅方向（＋ｙ方向）にずれている。第１幅方向は、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）の一方側である。第１主面１５ａの平面視において、第１縁２７は、コア層１７に重なっている。より特定的には、第１主面１５ａの平面視において、第１縁２７は、コア層１７の中心線１７ｃに一致している。

第１上側アンテナ電極２６のうちコア層１７の幅方向（±ｙ方向）においてコア層１７の中心線１７ｃから遠い部分は、主に、電磁波４０（図２、図３及び図１４を参照）を受信するアンテナとして機能する。第１上側アンテナ電極２６のうちコア層１７の幅方向（±ｙ方向）においてコア層１７の中心線１７ｃに近い部分は、主に、アンテナが受信した電磁波４０に基づく電界をコア層１７に印加する変調電極として機能する。本明細書において、「電磁波」は、０．２ＧＨｚ以上１００ＴＨｚ以下の周波数を有する電磁波を意味し、テラヘルツ波、マイクロ波、ミリ波及び赤外光等を含む。第１上側アンテナ電極２６は、矩形アンテナを含む。すなわち、第１主面１５ａの平面視において、第１上側アンテナ電極２６のうちアンテナとして機能する部分は、矩形形状を有している。第１上側アンテナ電極２６の形状は、特に限定されない。

第１下側アンテナ電極２２は、スペーサ層１２上に設けられている。第１下側アンテナ電極２２は、例えば、スペーサ層１２に形成された凹部１３（図２を参照）内に設けられている。第１下側アンテナ電極２２は、光導波路１５の第２主面１５ｂ上に設けられている。第１下側アンテナ電極２２は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、例えば、２００ｎｍの厚さを有している。第１下側アンテナ電極２２は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、１００μｍ以下の厚さを有してもよく、１０μｍ以下の厚さを有してもよく、１μｍ以下の厚さを有してもよい。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第１下側アンテナ電極２２とコア層１７との間の第２距離ｔ_２は、例えば、２０μｍ以下である。第２距離ｔ_２は、１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以下であってもよい。

第１下側アンテナ電極２２は、第１主面１５ａの平面視においてコア層１７の中心線１７ｃに近位する第２縁２３を含む。第２縁２３は、コア層１７の長手方向（ｘ方向）に沿って延在している。第１主面１５ａの平面視において、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）における第１下側アンテナ電極２２の第２中心線２２ｃは、コア層１７の中心線１７ｃに対して第２幅方向（－ｙ方向）にずれている。第２幅方向は、第１幅方向（＋ｙ方向）とは反対であり、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）の他方側である。第１主面１５ａの平面視において、第１下側アンテナ電極２２は、コア層１７の中心線１７ｃに関して、第１上側アンテナ電極２６に対称に配置されている。第１主面１５ａの平面視において、第２縁２３は、コア層１７に重なっている。より特定的には、第１主面１５ａの平面視において、第２縁２３は、コア層１７の中心線１７ｃに一致している。

第１下側アンテナ電極２２のうちコア層１７の幅方向（±ｙ方向）においてコア層１７の中心線１７ｃから遠い部分は、主に、電磁波４０を受信するアンテナとして機能する。第１下側アンテナ電極２２のうちコア層１７の幅方向（±ｙ方向）においてコア層１７の中心線１７ｃに近い部分は、主に、アンテナが受信した電磁波４０に基づく電界をコア層１７に印加する変調電極として機能する。第１下側アンテナ電極２２は、矩形アンテナを含む。すなわち、第１主面１５ａの平面視において、第１下側アンテナ電極２２のうちアンテナとして機能する部分は、矩形形状を有している。第１下側アンテナ電極２２の形状は、特に限定されない。第１主面１５ａの平面視において、第１下側アンテナ電極２２の少なくとも一部は、第１上側アンテナ電極２６から露出している。具体的には、第１主面１５ａの平面視において、第１下側アンテナ電極２２のうちアンテナとして機能する部分の少なくとも一部は、第１上側アンテナ電極２６から露出している。

第２アンテナ電極３１は、金（Ａｕ）のような導電材料で形成されている。第２アンテナ電極３１は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）もしくはチタン（Ｔｉ）のような金属材料、または、ＩＴＯ、ＩＺＯもしくはＩＧＺＯのような透明導電性材料で形成されてもよい。図１を参照して、第２アンテナ電極３１は、コア層１７の長手方向（ｘ方向）において第１アンテナ電極２１から間隔を空けて配置されている。図１から図３を参照して、第２アンテナ電極３１は、第２上側アンテナ電極３６と、第２下側アンテナ電極３２とを含む。

第２上側アンテナ電極３６は、光導波路１５の第１主面１５ａ上に設けられている。第２上側アンテナ電極３６は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、例えば、２００ｎｍの厚さを有している。第２上側アンテナ電極３６は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、１００μｍ以下の厚さを有してもよく、１０μｍ以下の厚さを有してもよく、１μｍ以下の厚さを有してもよい。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第２上側アンテナ電極３６とコア層１７との間の第３距離ｔ_３は、例えば、２０μｍ以下である。第３距離ｔ_３は、１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以下であってもよい。

第２上側アンテナ電極３６は、第１主面１５ａの平面視においてコア層１７の中心線１７ｃに近位する第３縁３７を含む。第３縁３７は、コア層１７の長手方向（ｘ方向）に沿って延在している。第１主面１５ａの平面視において、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）における第２上側アンテナ電極３６の第３中心線３６ｃは、コア層１７の中心線１７ｃに対して第２幅方向（－ｙ方向）にずれている。第１主面１５ａの平面視において、第３縁３７は、コア層１７に重なっている。より特定的には、第１主面１５ａの平面視において、第３縁３７は、コア層１７の中心線１７ｃに一致している。

第２上側アンテナ電極３６のうちコア層１７の幅方向（±ｙ方向）においてコア層１７の中心線１７ｃから遠い部分は、主に、電磁波４０を受信するアンテナとして機能する。第２上側アンテナ電極３６のうちコア層１７の幅方向（±ｙ方向）においてコア層１７の中心線１７ｃに近い部分は、主に、アンテナが受信した電磁波４０に基づく電界をコア層１７に印加する変調電極として機能する。第２上側アンテナ電極３６は、矩形アンテナを含む。すなわち、第１主面１５ａの平面視において、第２上側アンテナ電極３６のうちアンテナとして機能する部分は、矩形形状を有している。第２上側アンテナ電極３６の形状は、特に限定されない。

第２下側アンテナ電極３２は、スペーサ層１２上に設けられている。第２下側アンテナ電極３２は、例えば、スペーサ層１２に形成された凹部１４（図３を参照）内に設けられている。第２下側アンテナ電極３２は、光導波路１５の第２主面１５ｂ上に設けられている。第２下側アンテナ電極３２は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、例えば、２００ｎｍの厚さを有している。第２下側アンテナ電極３２は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に、１００μｍ以下の厚さを有してもよく、１０μｍ以下の厚さを有してもよく、１μｍ以下の厚さを有してもよい。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第２下側アンテナ電極３２とコア層１７との間の第４距離ｔ_４は、例えば、２０μｍ以下である。第４距離ｔ_４は、１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以下であってもよい。

第２下側アンテナ電極３２は、第１主面１５ａの平面視においてコア層１７の中心線１７ｃに近位する第４縁３３を含む。第４縁３３は、コア層１７の長手方向（ｘ方向）に沿って延在している。第１主面１５ａの平面視において、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）における第２下側アンテナ電極３２の第４中心線３２ｃは、コア層１７の中心線１７ｃに対して第１幅方向（＋ｙ方向）にずれている。第１主面１５ａの平面視において、第２下側アンテナ電極３２は、コア層１７の中心線１７ｃに関して、第２上側アンテナ電極３６に対称に配置されている。第１主面１５ａの平面視において、第４縁３３は、コア層１７に重なっている。より特定的には、第１主面１５ａの平面視において、第４縁３３は、コア層１７の中心線１７ｃに一致している。

第２下側アンテナ電極３２のうちコア層１７の幅方向（±ｙ方向）においてコア層１７の中心線１７ｃから遠い部分は、主に、電磁波４０を受信するアンテナとして機能する。第２下側アンテナ電極３２のうちコア層１７の幅方向（±ｙ方向）においてコア層１７の中心線１７ｃに近い部分は、主に、アンテナが受信した電磁波４０に基づく電界をコア層１７に印加する変調電極として機能する。第２下側アンテナ電極３２は、矩形アンテナを含む。すなわち、第１主面１５ａの平面視において、第２下側アンテナ電極３２のうちアンテナとして機能する部分は、矩形形状を有している。第２下側アンテナ電極３２の形状は、特に限定されない。第１主面１５ａの平面視において、第２下側アンテナ電極３２の少なくとも一部は、第２上側アンテナ電極３６から露出している。具体的には、第１主面１５ａの平面視において、第２下側アンテナ電極３２のうちアンテナとして機能する部分の少なくとも一部は、第２上側アンテナ電極３６から露出している。

コア層１７の長手方向（ｘ方向）における第１アンテナ電極２１及び第２アンテナ電極３１の配置ピッチＰは、第１アンテナ電極２１及び第２アンテナ電極３１が受信する電磁波４０の波長及びコア層１７を伝搬する光に対するコア層１７の屈折率に応じて適切に定められる。配置ピッチＰは、例えば、０．５μｍ以上５０ｍｍ以下である。

電気光学ポリマー素子１では、複数のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂがコア層１７の長手方向（ｘ方向）に沿って周期的に配置されている。複数のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂの各々は、第１アンテナ電極２１と第２アンテナ電極３１とを含む。コア層１７の長手方向（ｘ方向）における複数のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂの配置周期Ｑは、複数のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂが受信する電磁波４０の波長及びコア層１７を伝搬する光に対するコア層１７の屈折率に応じて適切に定められる。配置周期Ｑは、例えば、１μｍ以上１００ｍｍ以下である。複数のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂの配置周期Ｑは、例えば、第１アンテナ電極２１と第２アンテナ電極３１との配置ピッチＰの二倍である。

図１、図２及び図４から図１３を参照して、本実施の形態の電気光学ポリマー素子１の製造方法の一例を説明する。

図４を参照して、基板１０の主面１０ａ上に、スパッタ法などによって、グランド電極１１を形成する。グランド電極１１とスペーサ層１２との間の密着性を向上させるために、グランド電極１１は、例えば、二酸化ケイ素膜（図示せず）で覆われてもよい。図５を参照して、グランド電極１１とスペーサ層１２との間の密着性を向上させるために、グランド電極１１とスペーサ層１２とに前処理を施す。例えば、グランド電極１１の表面とスペーサ層１２の表面に、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）装置などを用いて、酸素プラズマ処理を施す。スペーサ層１２のガラス転移温度より低い温度（例えば、１００℃）でスペーサ層１２及び基板１０を加熱しながら、スペーサ層１２を基板１０に圧着する。こうして、グランド電極１１上にスペーサ層１２が形成される。スペーサ層１２は、スピンコート法などによって形成されてもよい。スペーサ層１２上に光リソグラフィー法などによってレジストパターン（図示せず）などを形成する。レジストパターンを用いてスペーサ層１２の一部を反応性イオンエッチング法などによって除去して、凹部１３及び凹部１４（図示せず）を形成する。

図６を参照して、スパッタ法などによって、第１下側アンテナ電極２２及び第２下側アンテナ電極３２（図示せず）を、スペーサ層１２上に形成する。具体的には、第１下側アンテナ電極２２は、凹部１３内に形成される。第２下側アンテナ電極３２は、凹部１４（図示せず）内に形成される。

図７を参照して、第１下側アンテナ電極２２と下部クラッド層１６との間の密着性、第２下側アンテナ電極３２と下部クラッド層１６との間の密着性、及び、スペーサ層１２と下部クラッド層１６との間の密着性を向上させるために、第１下側アンテナ電極２２と第２下側アンテナ電極３２とスペーサ層１２と下部クラッド層１６とに前処理を施す。例えば、第１下側アンテナ電極２２の表面と、第２下側アンテナ電極３２の表面と、スペーサ層１２の表面と、下部クラッド層１６の表面とに、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）装置などを用いて、酸素プラズマ処理を施す。スペーサ層１２のガラス転移温度及び下部クラッド層１６のガラス転移温度より低い温度（例えば、１００℃）で下部クラッド層１６及び基板１０を加熱しながら、下部クラッド層１６を基板１０に圧着する。こうして、第１下側アンテナ電極２２、第２下側アンテナ電極３２及びスペーサ層１２上に、下部クラッド層１６が形成される。下部クラッド層１６は、スピンコート法などによって形成されてもよい。

図８及び図９を参照して、電気光学分子が配向された電気光学ポリマー層５５を準備する方法を説明する。

図８を参照して、支持体５０上に、スパッタ法などによって、下部電極５１を形成する。支持体５０は、特に限定されないが、例えば、シリコン（Ｓｉ）のような半導体材料、または、ＢＫ７もしくは石英ガラスのようなガラスを含む材料で形成されている。下部電極５１は、例えば、ＩＺＯのような導電材料によって形成されている。下部電極５１上に、電気光学ポリマーをスピンコート法などによって塗布する。電気光学ポリマーを、熱アニール処理する。こうして、電気光学ポリマー層５２が形成される。電気光学ポリマー層５２は、電気光学分子を含む電気光学ポリマーによって形成されている。電気光学分子は、まだ配向されていない。電気光学ポリマー層５２上に、スパッタ法などによって、上部電極５３を形成する。上部電極５３は、例えば、ＩＺＯのような導電材料によって形成されている。

図９を参照して、下部電極５１及び上部電極５３を電源５４に接続する。電気光学ポリマー層５２のポーリング処理を行う。具体的には、電気光学ポリマー層５２のガラス転移温度付近の温度（例えば、１５０℃）まで加熱しながら、下部電極５１と上部電極５３との間に電圧（例えば、１００Ｖ／μｍの電界強度）を印加する。このポーリング処理によって、電気光学ポリマー層５２に含まれる電気光学分子は、上部電極５３と下部電極５１とが互いに離間されている方向（第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向））に沿って配向する。こうして、電気光学分子が配向された電気光学ポリマー層５５が得られる。

図１０を参照して、ウェットエッチングなどによって、上部電極５３を除去する。それから、電気光学ポリマー層５５と下部クラッド層１６との間の接合強度を増加させるために、電気光学ポリマー層５５と下部クラッド層１６とに前処理を施す。例えば、上部電極５３が除去された電気光学ポリマー層５５の表面に、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）装置などを用いて、酸素プラズマ処理を施す。下部クラッド層１６の表面に、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）装置などを用いて酸素プラズマ処理を施し、それから、アミノ基を有するシランカップリング剤などで表面処理を施す。電気光学ポリマー層５５のガラス転移温度より低い温度（例えば、１００℃）で支持体５０及び基板１０を加熱しながら、支持体５０及び基板１０を圧着する。図１１を参照して、支持体５０及び下部電極５１を電気光学ポリマー層５５から除去する。こうして、電気光学分子が配向された電気光学ポリマー層５５が、下部クラッド層１６上に転写される。

図１２を参照して、光リソグラフィー法などによって、電気光学ポリマー層５５上にレジストパターン（図示せず）などを形成する。レジストパターンなどを用いて電気光学分子が配向された電気光学ポリマー層５５をドライエッチングなどによって加工して、コア層１７を形成する。図１３を参照して、スピンコート法などによって、コア層１７上に紫外線硬化性樹脂を塗布する。紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させる。こうして、上部クラッド層１８が形成される。光リソグラフィー法などによって上部クラッド層１８上に、レジストパターン（図示せず）などを形成する。スパッタ法などによって、第１上側アンテナ電極２６と第２上側アンテナ電極３６（図示せず）とを形成する。こうして、図１から図３に示される電気光学ポリマー素子１が得られる。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１の製造方法の一例では、第１アンテナ電極２１及び第２アンテナ電極３１とは別の上部電極５３及び下部電極５１を用いて、電気光学ポリマー層５５をポーリング処理している。そのため、下部クラッド層１６の電気抵抗率及び上部クラッド層１８の電気抵抗率を、各々、コア層１７（電気光学ポリマー層５５）の電気抵抗率よりも高くすることができる。例えば、コア層１７（電気光学ポリマー層５５）の電気抵抗率は１０^６Ω・ｍ以上１０^８Ω・ｍ以下であるのに対し、下部クラッド層１６の電気抵抗率及び上部クラッド層１８の電気抵抗率は、各々、１０^８Ω・ｍよりも大きい。そして、一般に、層の電気抵抗率が増加するにつれて、当該層における電磁波の吸収は減少する。そのため、下部クラッド層１６及び上部クラッド層１８による電磁波４０の吸収を減少させることができる。

これに対し、比較例の電気光学ポリマー素子の製造方法では、一対のポーリング電極の間に、電気光学ポリマー層５５に加えて、上部クラッド層１８または下部クラッド層１６の少なくとも一つが配置されている。電気光学ポリマー層５５のポーリング処理は、コア層１７に加えて、上部クラッド層１８または下部クラッド層１６の少なくとも一つにも、ポーリング電界が印加されている。そのため、上部クラッド層１８または下部クラッド層１６の少なくとも一つが、電気光学ポリマー層５５よりも高い電気抵抗率を有する場合、電気光学ポリマー層５５に効率よくポーリング電圧が印加されない。そのため、電気光学ポリマー層５５中の電気光学分子を、十分に配向させることができない。比較例の製造方法によって製造された電気光学ポリマー素子の性能は、本実施の形態の製造方法によって製造された電気光学ポリマー素子１の性能より低い。

図１から図３及び図１４を参照して、本実施の形態の電気光学ポリマー素子１の動作及び作用を説明する。

光４５がコア層１７に入射する。光４５は、コア層１７を伝搬する。光４５は、例えば、特に限定されないが、例えば、近赤外の波長（例えば、１．５３５μｍ）を有するレーザー光である。電磁波４０が電気光学ポリマー素子１に入射する。電磁波４０は、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）に沿う電界成分を含んでいる。

第１アンテナ電極２１（第１上側アンテナ電極２６及び第１下側アンテナ電極２２）は、電磁波４０を受信する。本実施の形態では、第１主面１５ａの平面視において、第１下側アンテナ電極２２の第２中心線２２ｃは、コア層１７の中心線１７ｃに対して、第１上側アンテナ電極２６の第１中心線２６ｃとは反対方向にずれている。電磁波４０は、第１上側アンテナ電極２６によって遮られることなく、第１下側アンテナ電極２２にも到達し得る。そのため、第１アンテナ電極２１は、電磁波４０のうちコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に沿う電界成分を効率的に受信することができる。

また、第１アンテナ電極２１（第１上側アンテナ電極２６及び第１下側アンテナ電極２２）は、第１アンテナ電極２１が受信した電磁波４０に基づく電界をコア層１７に印加する。この電界は、第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７のうち光導波路１５に接触する部分（第１上側アンテナ電極２６の角部）と、第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３のうち光導波路１５に接触する部分（第１下側アンテナ電極２２の角部）とに集中する。そして、本実施の形態では、第１主面１５ａの平面視において、第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７及び第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３は、コア層１７に重なっている。そのため、第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７のうち光導波路１５に接触する部分（第１上側アンテナ電極２６の角部）と第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３のうち光導波路１５に接触する部分（第１下側アンテナ電極２２の角部）とを結ぶ直線上に、コア層１７が位置する。また、第１上側アンテナ電極２６及び第１下側アンテナ電極２２によってコア層１７に印加される電界の方向は、電気光学分子の配向方向（第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向））に、より平行になる。第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分を増加させることができる。

こうして、コア層１７を伝搬する光４５は、第１アンテナ電極２１によって受信された電磁波４０に基づく電界によって、効率的に変調される。電気光学ポリマー素子１の光変調効率が改善される。

第２アンテナ電極３１（第２上側アンテナ電極３６及び第２下側アンテナ電極３２）も、第１アンテナ電極２１（第１上側アンテナ電極２６及び第１下側アンテナ電極２２）と同様に、電磁波４０を受信する。コア層１７を伝搬する光４５は、第１アンテナ電極２１及び第２アンテナ電極３１によって受信された電磁波４０に基づく電界によって、効率的に変調される。電気光学ポリマー素子１の光変調効率が改善される。

例えば、図１４に示されるように、コア層１７を伝搬する光４５が第１アンテナ電極２１に達したとき、電磁波４０の山４１ａが第１アンテナ電極２１に達する。コア層１７を伝搬する光４５が第２アンテナ電極３１に達したとき、電磁波４０の谷４２ａが第２アンテナ電極３１に達する。このように、コア層１７を伝搬する光４５は、第１アンテナ電極２１及び第２アンテナ電極３１において、電磁波４０の山４１ａに基づく電界と電磁波４０の谷４２ａに基づく電界とによって変調される。

さらに、電気光学ポリマー素子１では、複数のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂがコア層１７の長手方向（ｘ方向）に沿って周期的に配置されている。複数のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂの各々は、第１アンテナ電極２１と第２アンテナ電極３１とを含む。コア層１７を伝搬する光４５は、複数のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂによって受信された電磁波４０に基づく電界によって、効率的に変調される。電気光学ポリマー素子１の光変調効率が改善される。

例えば、図１４に示されるように、コア層１７を伝搬する光４５がアンテナ電極対２０ａの第１アンテナ電極２１に達したとき、電磁波４０の山４１ａがアンテナ電極対２０ａの第１アンテナ電極２１に達する。コア層１７を伝搬する光４５がアンテナ電極対２０ａの第２アンテナ電極３１に達したとき、電磁波４０の谷４２ａがアンテナ電極対２０ａの第２アンテナ電極３１に達する。コア層１７を伝搬する光４５がアンテナ電極対２０ｂの第１アンテナ電極２１に達したとき、電磁波４０の山４１ｂがアンテナ電極対２０ｂの第１アンテナ電極２１に達する。コア層１７を伝搬する光４５がアンテナ電極対２０ｂの第２アンテナ電極３１に達したとき、電磁波４０の谷４２ｂがアンテナ電極対２０ｂの第２アンテナ電極３１に達する。このように、コア層１７を伝搬する光４５は、複数のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂの第１アンテナ電極２１及び第２アンテナ電極３１において、電磁波４０の山４１ａ，４１ｂに基づく電界と電磁波４０の谷４２ａ，４２ｂに基づく電界とによって繰り返し変調される。

（変形例）
コア層１７は、図１５及び図１６に示されるようにチャネル型コア層であってもよいし、リブ型コア層などであってもよい。コア層１７は、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）において、コア層１７の中心線１７ｃから一定の距離以上離れた部分の電気光学分子をフォトブリーチングして当該部分の屈折率を低下させることによって製造されたフォトブリーチング型コア層であってもよい。

図１７及び図１８に示されるように、第１上側アンテナ電極２６、第１下側アンテナ電極２２、第２上側アンテナ電極３６（図示せず）及び第２下側アンテナ電極３２（図示せず）は、コア層１７に接触してもよい。すなわち、下部クラッド層１６は省略されてもよく、かつ、コア層１７上に上部クラッド層１８が設けられていなくてもよい。そのため、第１アンテナ電極２１及び第２アンテナ電極３１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分を増加させることができる。

図１９及び図２０に示されるように、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）において、第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７及び第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３は、コア層１７の中心線１７ｃに関して互いに反対側にあってもよい。コア層１７の幅方向（±ｙ方向）において、第２上側アンテナ電極３６の第３縁３７及び第２下側アンテナ電極３２の第４縁３３は、コア層１７の中心線１７ｃに関して互いに反対側にあってもよい。第１主面１５ａの平面視において、第１下側アンテナ電極２２は、コア層１７の中心線１７ｃに関して、第１上側アンテナ電極２６に対称に配置されてもよい。

具体的には、第１主面１５ａの平面視において、第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７は、コア層１７に重なっているとともに、コア層１７の中心線１７ｃに対して第１幅方向（＋ｙ方向）にずれていてもよい。第１主面１５ａの平面視において、第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３は、コア層１７に重なっているとともに、コア層１７の中心線１７ｃに対して第２幅方向（－ｙ方向）にずれていてもよい。第１主面１５ａの平面視において、第２上側アンテナ電極３６の第３縁３７は、コア層１７に重なっているとともに、コア層１７の中心線１７ｃに対して第２幅方向（－ｙ方向）にずれていてもよい。第１主面１５ａの平面視において、第２下側アンテナ電極３２の第４縁３３は、コア層１７に重なっているとともに、コア層１７の中心線１７ｃに対して第１幅方向（＋ｙ方向）にずれていてもよい。

光導波路１５は、上部クラッド層１８または下部クラッド層１６の一方だけを含んでもよい。光導波路１５は、上部クラッド層１８及び下部クラッド層１６の両方を含んでいなくてもよい。三つ以上のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂが電気光学ポリマー素子１に配置されてもよいし、一つのアンテナ電極対２０ａ，２０ｂが電気光学ポリマー素子１に配置されてもよい。第２アンテナ電極３１が省略されており、かつ、一つの第１アンテナ電極２１が電気光学ポリマー素子１に配置されてもよい。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１の効果を説明する。
本実施の形態の電気光学ポリマー素子１は、光導波路１５と、第１アンテナ電極２１とを備える。光導波路１５は、第１主面１５ａと、第１主面１５ａとは反対側の第２主面１５ｂとを有する。光導波路１５は、電気光学ポリマーで形成されているコア層１７を含む。第１アンテナ電極２１は、第１上側アンテナ電極２６と、第１下側アンテナ電極２２とを含む。電気光学ポリマーは、電気光学分子を含む。電気光学分子は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）に沿って配向している。第１上側アンテナ電極２６は、第１主面１５ａ上に設けられている。第１上側アンテナ電極２６は、第１主面１５ａの平面視においてコア層１７の幅方向（±ｙ方向）におけるコア層１７の中心線１７ｃに近位する第１縁２７を含む。コア層１７の幅方向は、第１主面１５ａの平面視においてコア層１７の長手方向（ｘ方向）に垂直である。第１下側アンテナ電極２２は、第２主面１５ｂ上に設けられている。第１下側アンテナ電極２２は、第１主面１５ａの平面視においてコア層１７の中心線１７ｃに近位する第２縁２３を含む。第１主面１５ａの平面視において、コア層１７の幅方向における第１上側アンテナ電極２６の第１中心線２６ｃは、コア層１７の幅方向におけるコア層１７の中心線１７ｃに対して第１幅方向（＋ｙ方向）にずれている。第１幅方向は、コア層１７の幅方向の一方側である。第１主面１５ａの平面視において、コア層１７の幅方向における第１下側アンテナ電極２２の第２中心線２２ｃは、コア層１７の中心線１７ｃに対して第１幅方向とは反対の第２幅方向（－ｙ方向）にずれている。第２幅方向は、コア層１７の幅方向の他方側である。第１主面１５ａの平面視において、第１縁２７及び第２縁２３は、コア層１７に重なっている。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第１上側アンテナ電極２６とコア層１７との間の第１距離ｔ_１は、２０μｍ以下である。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第１下側アンテナ電極２２とコア層１７との間の第２距離ｔ_２は、２０μｍ以下である。

本実施の形態では、第１主面１５ａの平面視において、第１下側アンテナ電極２２の第２中心線２２ｃは、コア層１７の中心線１７ｃに対して、第１上側アンテナ電極２６の第１中心線２６ｃとは反対方向にずれている。電磁波４０は、第１上側アンテナ電極２６によって遮られることなく、第１下側アンテナ電極２２にも到達し得る。そのため、第１上側アンテナ電極２６及び第１下側アンテナ電極２２は、電磁波４０のうちコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に沿う電界成分を効率的に受信することができる。また、本実施の形態では、第１主面１５ａの平面視において、第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７及び第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３は、コア層１７に重なっている。第１距離ｔ_１は２０μｍ以下であり、第２距離ｔ_２は２０μｍ以下である。そのため、第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分を増加させることができる。こうして、電気光学ポリマー素子１の光変調効率が改善される。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１では、第１主面１５ａの平面視において、第１縁２７及び第２縁２３は、コア層１７の中心線１７ｃに一致している。

そのため、第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分をさらに増加させることができる。電気光学ポリマー素子１の光変調効率が改善される。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１では、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）において、第１縁２７及び第２縁２３は、コア層１７の中心線１７ｃに関して互いに反対側にある。

そのため、電磁波４０は、第１上側アンテナ電極２６によって遮られることなく、第１下側アンテナ電極２２にも到達し得る。第１上側アンテナ電極２６及び第１下側アンテナ電極２２は、電磁波４０のうちコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に沿う電界成分を効率的に受信することができる。また、コア層１７の全体にわたって、第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分を増加させることができる。電気光学ポリマー素子１の光変調効率が改善される。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１は、グランド電極１１と、スペーサ層１２とをさらに備える。グランド電極１１は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）において、第１下側アンテナ電極２２に関して第１上側アンテナ電極２６とは反対側に配置されており、かつ、第１主面１５ａの平面視において第１上側アンテナ電極２６と第１下側アンテナ電極２２に重なっている。スペーサ層１２は、グランド電極１１と第１下側アンテナ電極２２との間に配置されている。スペーサ層１２は、１０^４Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されている。

そのため、第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分を増加させることができる。電気光学ポリマー素子１の光変調効率が改善される。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１は、第２アンテナ電極３１をさらに備える。第２アンテナ電極３１は、コア層１７の長手方向（ｘ方向）において第１アンテナ電極２１から間隔を空けて配置されている。第２アンテナ電極３１は、第２上側アンテナ電極３６と、第２下側アンテナ電極３２とを含む。第２上側アンテナ電極３６は、第１主面１５ａ上に設けられている。第２上側アンテナ電極３６は、第１主面１５ａの平面視においてコア層１７の中心線１７ｃに近位する第３縁３７を含む。第２下側アンテナ電極３２は、第２主面１５ｂ上に設けられている。第２下側アンテナ電極３２は、第１主面１５ａの平面視においてコア層１７の中心線１７ｃに近位する第４縁３３を含む。第１主面１５ａの平面視において、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）における第２上側アンテナ電極３６の第３中心線３６ｃは、コア層１７の中心線１７ｃに対して第２幅方向（－ｙ方向）にずれている。第１主面１５ａの平面視において、コア層１７の幅方向における第２下側アンテナ電極３２の第４中心線３２ｃは、コア層１７の中心線１７ｃに対して第１幅方向（＋ｙ方向）にずれている。第１主面１５ａの平面視において、第３縁３７及び第４縁３３は、コア層１７に重なっている。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第２上側アンテナ電極３６とコア層１７との間の第３距離ｔ_３は、２０μｍ以下である。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第２下側アンテナ電極３２とコア層１７との間の第４距離ｔ_４は、２０μｍ以下である。

そのため、コア層１７を伝搬する光４５は、第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界に加えて、第２アンテナ電極３１からコア層１７に印加される電界によっても変調される。電気光学ポリマー素子１の光変調効率が改善される。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１では、複数のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂがコア層１７の長手方向（ｘ方向）に沿って周期的に配置されている。複数のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂの各々は、第１アンテナ電極２１と第２アンテナ電極３１とを含む。

そのため、コア層１７を伝搬する光４５は、複数のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂからコア層１７に印加される電界によって繰り返し変調される。電気光学ポリマー素子１の光変調効率が改善される。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１では、光導波路１５は、上部クラッド層１８または下部クラッド層１６の少なくとも一つを含む。上部クラッド層１８は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）において第１上側アンテナ電極２６とコア層１７との間に配置されており、かつ、コア層１７より小さな屈折率を有している。下部クラッド層１６は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）において第１下側アンテナ電極２２とコア層１７との間に配置されており、かつ、コア層１７より小さな屈折率を有している。上部クラッド層１８または下部クラッド層１６の少なくとも一つは、１０^４Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されている。

上部クラッド層１８または下部クラッド層１６の少なくとも一つは、第１下側アンテナ電極２２及び第２下側アンテナ電極３２による、コア層１７を伝搬する光４５の吸収を低減させる。また、上部クラッド層１８または下部クラッド層１６の少なくとも一つによる電磁波４０の吸収が減少する。第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分をさらに増加させることができる。電気光学ポリマー素子１の光変調効率が改善される。

（実施の形態２）
図２２から及び図２４を参照して、実施の形態２の電気光学ポリマー素子１ｂを説明する。本実施の形態の電気光学ポリマー素子１ｂは、実施の形態１の電気光学ポリマー素子１と同様の構成を備えているが、主に以下の点で実施の形態１の電気光学ポリマー素子１と異なっている。

電気光学ポリマー素子１ｂでは、第１主面１５ａの平面視において、第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７及び第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３は、コア層１７の中心線１７ｃに関して互いに反対側にあり、かつ、コア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に離れている。

具体的には、第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７は、コア層１７の中心線１７ｃに対して第１幅方向（＋ｙ方向）にずれている。第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７は、コア層１７の中心線１７ｃに対して、第１上側アンテナ電極２６の第１中心線２６ｃと同じ方向にずれている。第１主面１５ａの平面視において、第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７とコア層１７との間の距離ｄ_１は、０μｍより大きく、かつ、２０μｍ以下である。距離ｄ_１は、１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以下であってもよい。

第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３は、コア層１７の中心線１７ｃに対して第２幅方向（－ｙ方向）にずれている。第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３は、コア層１７の中心線１７ｃに対して、第１下側アンテナ電極２２の第２中心線２２ｃと同じ方向にずれている。第１主面１５ａの平面視において、第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３とコア層１７との間の距離ｄ_２は、０μｍより大きく、かつ、２０μｍ以下である。距離ｄ_２は、１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以下であってもよい。

第１主面１５ａの平面視において、第２上側アンテナ電極３６の第３縁３７及び第２下側アンテナ電極３２の第４縁３３は、コア層１７の中心線１７ｃに関して互いに反対側にあり、かつ、コア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に離れている。

具体的には、第２上側アンテナ電極３６の第３縁３７は、コア層１７の中心線１７ｃに対して第２幅方向（－ｙ方向）にずれている。第２上側アンテナ電極３６の第３縁３７は、コア層１７の中心線１７ｃに対して、第２上側アンテナ電極３６の第３中心線３６ｃと同じ方向にずれている。第１主面１５ａの平面視において、第２上側アンテナ電極３６の第３縁３７とコア層１７との間の距離ｄ_３は、０μｍより大きく、かつ、２０μｍ以下である。距離ｄ_３は、１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以下であってもよい。

第２下側アンテナ電極３２の第４縁３３は、コア層１７の中心線１７ｃに対して第１幅方向（＋ｙ方向）にずれている。第２下側アンテナ電極３２の第４縁３３は、コア層１７の中心線１７ｃに対して、第２下側アンテナ電極３２の第４中心線３２ｃと同じ方向にずれている。第１主面１５ａの平面視において、第２下側アンテナ電極３２の第４縁３３とコア層１７との間の距離ｄ_４は、０μｍより大きく、かつ、２０μｍ以下である。距離ｄ_４は、１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以下であってもよい。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１ｂは、以下のように、実施の形態１の電気光学ポリマー素子１の作用と同様の作用を奏する。

例えば、電気光学ポリマー素子１ｂでは、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）において、第１縁２７及び第２縁２３は、コア層１７の中心線１７ｃに関して互いに反対側にある。そのため、第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７のうち光導波路１５に接触する部分（第１上側アンテナ電極２６の角部）と第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３のうち光導波路１５に接触する部分（第１下側アンテナ電極２２の角部）とを結ぶ直線上に、コア層１７が位置する。さらに、第１主面１５ａの平面視において、第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７とコア層１７との間の距離ｄ_１は２０μｍ以下であり、かつ、第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３とコア層１７との間の距離ｄ_２は２０μｍ以下である。そのため、第１上側アンテナ電極２６及び第１下側アンテナ電極２２によってコア層１７に印加される電界の方向は、電気光学分子の配向方向（第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向））に、より平行になる。第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分を増加させることができる。

第２アンテナ電極３１（第２上側アンテナ電極３６及び第２下側アンテナ電極３２）も、第１アンテナ電極２１（第１上側アンテナ電極２６及び第１下側アンテナ電極２２）と同様に、第２アンテナ電極３１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分を増加させることができる。こうして、コア層１７を伝搬する光４５は、第１アンテナ電極２１及び第２アンテナ電極３１によって受信された電磁波４０に基づく電界によって、効率的に変調される。電気光学ポリマー素子１ｂの光変調効率が改善される。

（変形例）
図２５及び図２６に示されるように、本実施の形態の第１変形例では、第１上側アンテナ電極２６、第１下側アンテナ電極２２、第２上側アンテナ電極３６（図示せず）及び第２下側アンテナ電極３２（図示せず）は、コア層１７に接触してもよい。すなわち、下部クラッド層１６は省略されてもよく、かつ、コア層１７上に上部クラッド層１８が設けられていなくてもよい。そのため、第１アンテナ電極２１及び第２アンテナ電極３１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分を増加させることができる。

本実施の形態の第２変形例では、第１主面１５ａの平面視において、第１縁２７はコア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に２０μｍ以下の距離離れており、かつ、第２縁２３はコア層１７に重なってもよい。本実施の形態の第３変形例では、第１主面１５ａの平面視において、第１縁２７はコア層１７に重なっており、かつ、第２縁２３はコア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に２０μｍ以下の距離離れてもよい。本実施の形態の第２変形例及び第３変形例は、第１アンテナ電極２１及び第２アンテナ電極３１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分を増加させることができる。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１ｂの効果は、実施の形態１の電気光学ポリマー素子１の効果と同様の以下の効果を奏する。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１ｂでは、第１主面１５ａの平面視において、第１縁２７は、コア層１７に重なっている、または、コア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に２０μｍ以下の距離離れている。第１主面１５ａの平面視において、第２縁２３は、コア層１７に重なっている、または、コア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に２０μｍ以下の距離離れている。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第１上側アンテナ電極２６とコア層１７との間の第１距離ｔ_１は、２０μｍ以下である。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第１下側アンテナ電極２２とコア層１７との間の第２距離ｔ_２は、２０μｍ以下である。

そのため、電磁波４０は、第１上側アンテナ電極２６によって遮られることなく、第１下側アンテナ電極２２にも到達し得る。第１上側アンテナ電極２６及び第１下側アンテナ電極２２は、電磁波４０のうちコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に沿う電界成分を効率的に受信することができる。また、第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分を増加させることができる。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１ｂでは、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）において、第１縁２７及び第２縁２３は、コア層１７の中心線１７ｃに関して互いに反対側にある。

そのため、コア層１７の全体にわたって、第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向に沿う成分を増加させることができる。電気光学ポリマー素子１ｂの光変調効率が改善される。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１ｂでは、第１主面１５ａの平面視において、第３縁３７は、コア層１７に重なっている、または、コア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に２０μｍ以下の距離離れている。第１主面１５ａの平面視において、第４縁３３は、コア層１７に重なっている、または、コア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に２０μｍ以下の距離離れている。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第２上側アンテナ電極３６とコア層１７との間の第３距離ｔ_３は、２０μｍ以下である。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第２下側アンテナ電極３２とコア層１７との間の第４距離ｔ_４は、２０μｍ以下である。

そのため、コア層１７を伝搬する光４５は、第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界に加えて、第２アンテナ電極３１からコア層１７に印加される電界によっても変調される。電気光学ポリマー素子１ｂの光変調効率が改善される。

（実施の形態３）
図２７から図２９を参照して、実施の形態３の電気光学ポリマー素子１ｃを説明する。本実施の形態の電気光学ポリマー素子１ｃは、実施の形態２の電気光学ポリマー素子１ｂと同様の構成を備えているが、主に以下の点で実施の形態２の電気光学ポリマー素子１ｂと異なっている。

第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７は、コア層１７の中心線１７ｃに対して第１幅方向（－ｙ方向）にずれている。第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７は、コア層１７の中心線１７ｃに対して、第１上側アンテナ電極２６の第１中心線２６ｃとは反対方向にずれている。第１主面１５ａの平面視において、第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７とコア層１７との間の距離ｄ_１は、実施の形態２と同様に、０μｍより大きく、かつ、２０μｍ以下である。距離ｄ_１は、実施の形態２と同様に、１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以下であってもよい。

第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３は、コア層１７の中心線１７ｃに対して第１幅方向（＋ｙ方向）にずれている。第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３は、コア層１７の中心線１７ｃに対して、第１下側アンテナ電極２２の第２中心線２２ｃとは反対方向にずれている。第１主面１５ａの平面視において、第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３とコア層１７との間の距離ｄ_２は、実施の形態２と同様に、０μｍより大きく、かつ、２０μｍ以下である。距離ｄ_２は、実施の形態２と同様に、１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以下であってもよい。

第１主面１５ａの平面視における第１上側アンテナ電極２６と第１下側アンテナ電極２２との間の重なりが大きくなるため、第１アンテナ電極２１のサイズが小さくなる。電気光学ポリマー素子１ｃは、小型化され得る。

第２上側アンテナ電極３６の第３縁３７は、コア層１７の中心線１７ｃに対して第１幅方向（＋ｙ方向）にずれている。第２上側アンテナ電極３６の第３縁３７は、コア層１７の中心線１７ｃに対して、第２上側アンテナ電極３６の第３中心線３６ｃとは反対方向にずれている。第１主面１５ａの平面視において、第２上側アンテナ電極３６の第３縁３７とコア層１７との間の距離ｄ_３は、実施の形態２と同様に、０μｍより大きく、かつ、２０μｍ以下である。距離ｄ_３は、実施の形態２と同様に、１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以下であってもよい。

第２下側アンテナ電極３２の第４縁３３は、コア層１７の中心線１７ｃに対して第２幅方向（－ｙ方向）にずれている。第２下側アンテナ電極３２の第４縁３３は、コア層１７の中心線１７ｃに対して、第２下側アンテナ電極３２の第４中心線３２ｃとは反対方向にずれている。第１主面１５ａの平面視において、第２下側アンテナ電極３２の第４縁３３とコア層１７との間の距離ｄ_４は、実施の形態２と同様に、０μｍより大きく、かつ、２０μｍ以下である。距離ｄ_４は、実施の形態２と同様に、１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以下であってもよい。

第１主面１５ａの平面視における第２上側アンテナ電極３６と第２下側アンテナ電極３２との間の重なりが大きくなるため、第２アンテナ電極３１のサイズが小さくなる。電気光学ポリマー素子１ｃは、小型化され得る。

（変形例）
本実施の形態の第１変形例では、図２８及び図２９に示されるように、第１上側アンテナ電極２６、第１下側アンテナ電極２２、第２上側アンテナ電極３６（図示せず）及び第２下側アンテナ電極３２（図示せず）は、コア層１７に接触してもよい。すなわち、下部クラッド層１６は省略されてもよく、かつ、コア層１７上に上部クラッド層１８が設けられていなくてもよい。そのため、第１アンテナ電極２１及び第２アンテナ電極３１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分を増加させることができる。

本実施の形態の第２変形例では、第１主面１５ａの平面視において、第１縁２７はコア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に２０μｍ以下の距離離れており、かつ、第２縁２３はコア層１７に重なってもよい。本実施の形態の第３変形例では、第１主面１５ａの平面視において、第１縁２７はコア層１７に重なっており、かつ、第２縁２３はコア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に２０μｍ以下の距離離れてもよい。本実施の形態の第２変形例及び第３変形例は、第１アンテナ電極２１及び第２アンテナ電極３１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分を増加させることができる。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１ｃの効果は、実施の形態２の電気光学ポリマー素子１ｂの効果と同様の以下の効果を奏する。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１ｃでは、第１主面１５ａの平面視において、第１縁２７は、コア層１７に重なっている、または、コア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に２０μｍ以下の距離離れている。第１主面１５ａの平面視において、第２縁２３は、コア層１７に重なっている、または、コア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に２０μｍ以下の距離離れている。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第１上側アンテナ電極２６とコア層１７との間の第１距離ｔ_１は、２０μｍ以下である。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第１下側アンテナ電極２２とコア層１７との間の第２距離ｔ_２は、２０μｍ以下である。

そのため、電磁波４０は、第１上側アンテナ電極２６によって遮られることなく、第１下側アンテナ電極２２にも到達し得る。第１上側アンテナ電極２６及び第１下側アンテナ電極２２は、電磁波４０のうちコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に沿う電界成分を効率的に受信することができる。また、第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向（ｚ方向）に沿う成分を増加させることができる。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１ｃでは、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）において、第１縁２７及び第２縁２３は、コア層１７の中心線１７ｃに関して互いに反対側にある。

そのため、コア層１７の全体にわたって、第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界のうち電気光学分子の配向方向に沿う成分を増加させることができる。電気光学ポリマー素子１ｃの光変調効率が改善される。また、第１主面１５ａの平面視における第１上側アンテナ電極２６と第１下側アンテナ電極２２との間の重なりが大きくなるため、第１アンテナ電極２１のサイズが小さくなる。電気光学ポリマー素子１ｃは、小型化され得る。

本実施の形態の電気光学ポリマー素子１ｃでは、第１主面１５ａの平面視において、第３縁３７は、コア層１７に重なっている、または、コア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に２０μｍ以下の距離離れている。第１主面１５ａの平面視において、第４縁３３は、コア層１７に重なっている、または、コア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に２０μｍ以下の距離離れている。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第２上側アンテナ電極３６とコア層１７との間の第３距離ｔ_３は、２０μｍ以下である。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第２下側アンテナ電極３２とコア層１７との間の第４距離ｔ_４は、２０μｍ以下である。

そのため、コア層１７を伝搬する光４５は、第１アンテナ電極２１からコア層１７に印加される電界に加えて、第２アンテナ電極３１からコア層１７に印加される電界によっても変調される。電気光学ポリマー素子１ｃの光変調効率が改善される。

（実施の形態４）
図３２を参照して、実施の形態４の電気光学ポリマー素子１ｄを説明する。本実施の形態の電気光学ポリマー素子１ｄは、実施の形態１の電気光学ポリマー素子１と同様の構成を備えており、かつ、実施の形態１の電気光学ポリマー素子１と同様の効果を奏するが、主に以下の点で実施の形態１の電気光学ポリマー素子１と異なっている。

電気光学ポリマー素子１ｄでは、第１上側アンテナ電極２６、第１下側アンテナ電極２２、第２上側アンテナ電極３６及び第２下側アンテナ電極３２は、各々、ボウタイアンテナを含む。

具体的には、第１上側アンテナ電極２６は、アンテナ２９と、変調電極２８とを含む。アンテナ２９は、電磁波４０（図２、図３及び図１４を参照）を受信する。アンテナ２９は、ボウタイアンテナである。アンテナ２９の形状は、特に限定されない。第１主面１５ａの平面視において、アンテナ２９は、変調電極２８よりも大きな面積を有してもよい。第１主面１５ａの平面視において、変調電極２８は、コア層１７の長手方向（ｘ方向）に細長いストライプ形状を有してもよい。変調電極２８の形状は、特に限定されない。変調電極２８は、アンテナ２９に接続されており、かつ、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）においてアンテナ２９よりもコア層１７の中心線１７ｃに近位している。変調電極２８は、アンテナ２９が受信した電磁波４０に基づく電界をコア層１７に印加する。

第１下側アンテナ電極２２は、アンテナ２５と、変調電極２４とを含む。アンテナ２５は、電磁波４０（図２、図３及び図１４を参照）を受信する。アンテナ２５は、ボウタイアンテナである。アンテナ２５の形状は、特に限定されない。第１主面１５ａの平面視において、アンテナ２５は、変調電極２４よりも大きな面積を有してもよい。第１主面１５ａの平面視において、変調電極２４は、コア層１７の長手方向（ｘ方向）に細長いストライプ形状を有してもよい。変調電極２４の形状は、特に限定されない。変調電極２４は、アンテナ２５に接続されており、かつ、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）においてアンテナ２５よりもコア層１７の中心線１７ｃに近位している。変調電極２４は、アンテナ２５が受信した電磁波４０に基づく電界をコア層１７に印加する。

第２上側アンテナ電極３６は、アンテナ３９と、変調電極３８とを含む。アンテナ３９は、電磁波４０（図２、図３及び図１４を参照）を受信する。アンテナ３９は、ボウタイアンテナである。アンテナ３９の形状は、特に限定されない。第１主面１５ａの平面視において、アンテナ３９は、変調電極３８よりも大きな面積を有してもよい。第１主面１５ａの平面視において、変調電極３８は、コア層１７の長手方向（ｘ方向）に細長いストライプ形状を有してもよい。変調電極３８の形状は、特に限定されない。変調電極３８は、アンテナ３９に接続されており、かつ、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）においてアンテナ３９よりもコア層１７の中心線１７ｃに近位している。変調電極３８は、アンテナ３９が受信した電磁波４０に基づく電界をコア層１７に印加する。

第１下側アンテナ電極２２は、アンテナ３５と、変調電極３４とを含む。アンテナ３５は、電磁波４０（図２、図３及び図１４を参照）を受信する。アンテナ３５は、ボウタイアンテナである。アンテナ３５の形状は、特に限定されない。第１主面１５ａの平面視において、アンテナ３５は、変調電極３４よりも大きな面積を有してもよい。第１主面１５ａの平面視において、変調電極３４は、コア層１７の長手方向（ｘ方向）に細長いストライプ形状を有してもよい。変調電極３４の形状は、特に限定されない。変調電極３４は、アンテナ３５に接続されており、かつ、コア層１７の幅方向（±ｙ方向）においてアンテナ３５よりもコア層１７の中心線１７ｃに近位している。変調電極３４は、アンテナ３５が受信した電磁波４０に基づく電界をコア層１７に印加する。

（変形例）
図３３に示されるように、第１上側アンテナ電極２６、第１下側アンテナ電極２２、第２上側アンテナ電極３６及び第２下側アンテナ電極３２は、各々、メタマテリアルアンテナを含んでもよい。具体的には、アンテナ２５，２９，３５，３９は、各々、メタマテリアルアンテナである。

（実施例）
図３４から図３６を参照して、本開示の実施例の電気光学ポリマー素子を説明する。本実施例の電気光学ポリマー素子は、実施の形態２の第３変形例の電気光学ポリマー素子と同様に構成されており、図４から図１３に示される製造方法によって製造されている。

コア層１７は、リッジ型コア層である。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）におけるコア層１７の高さは、２μｍである。コア層１７の幅は、１．６μｍである。コア層１７を形成する電気光学ポリマーとして、上記式（１）から上記式（３）で表される繰り返し単位を有するサイドチェーン型の電気光学ポリマーが用いられている。透過型エリプソメトリー法で見積もられた波長１５５０ｎｍでの電気光学ポリマーの電気光学係数は３６ｐｍ／Ｖである。下部クラッド層１６は、シクロオレフィンポリマー（ＺＥＯＮＥＸ（日本ゼオン、登録商標））で形成されている。シクロオレフィンポリマーの電気抵抗率は、１０^１２Ω・ｍより大きい。上部クラッド層１８は、紫外線硬化樹脂（ＦＥ４０４８、ＮＴＴ－ＡＴ社製）で形成されている。

グランド電極１１、第１上側アンテナ電極２６、第１下側アンテナ電極２２、第２上側アンテナ電極３６及び第２下側アンテナ電極３２は、金（Ａｕ）で形成されている。基板１０は、シリコン（Ｓｉ）で形成されている。図３５を参照して、基板１０の表面に二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）膜１９ａが形成されており、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）膜１９ａは、基板１０とグランド電極１１との間に配置されている。二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）膜１９ｂは、グランド電極１１を覆っている。二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）膜１９ｂは、グランド電極１１とスペーサ層１２との間に配置されている。スペーサ層１２は、シクロオレフィンポリマー（ＺＥＯＮＯＲ（日本ゼオン、登録商標））で形成されている。第１上側アンテナ電極２６、第２上側アンテナ電極３６及び上部クラッド層１８上に保護層１８ｃが形成されている。保護層１８ｃは、紫外線硬化樹脂（ＦＥ４０４８、ＮＴＴ－ＡＴ社製）で形成されている。

図３５を参照して、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第１上側アンテナ電極２６とコア層１７との間の第１距離ｔ_１は、３μｍである。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第１下側アンテナ電極２２とコア層１７との間の第２距離ｔ_２は、２．５μｍである。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第２上側アンテナ電極３６とコア層１７との間の第３距離ｔ_３は、第２距離ｔ_２と同じく、２．５μｍである。第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）における第２下側アンテナ電極３２とコア層１７との間の第４距離ｔ_４は、第１距離ｔ_１と同じく、３μｍである。

第１主面１５ａの平面視において、第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７は、コア層１７に重なっている。第１上側アンテナ電極２６の第１縁２７とコア層１７の中心線１７ｃとの間の距離は、０．４μｍである。第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３は、コア層１７からコア層１７の幅方向（±ｙ方向）に離れている。第１主面１５ａの平面視において、第１下側アンテナ電極２２の第２縁２３とコア層１７との間の距離ｄ_２は、１．３μｍである。第１主面１５ａの平面視において、第２上側アンテナ電極３６の第３縁３７は、第１縁２７と同じく、コア層１７に重なっている。第２上側アンテナ電極３６の第３縁３７とコア層１７の中心線１７ｃとの間の距離は、０．４μｍである。第１主面１５ａの平面視において、第２下側アンテナ電極３２の第４縁３３とコア層１７との間の距離ｄ_４は、距離ｄ_２と同じく、１．３μｍである。

図３４を参照して、第１アンテナ電極２１と第２アンテナ電極３１との配置ピッチＰは、０．５９ｍｍである。複数のアンテナ電極対２０ａ，２０ｂの配置周期Ｑは、１．１８ｍｍである。

本実施例では、光４５は、８ｍＷのパワーと１．５３５μｍの波長とを有するレーザー光である。レーザー光は、テーパードレンズドファイバー（図示せず）を通して、電気光学ポリマー素子に入射する。レーザー光の偏光方向は、第１主面１５ａの法線方向（ｚ方向）である。１５０ＧＨｚの周波数を有する電磁波が、電気光学ポリマー素子の上方（図２及び図３などを参照）から、電気光学ポリマー素子に照射される。電磁波が入射する電気光学ポリマー素子の表面における電磁波のパワー密度は、３４．３Ｗ／ｍ^２である。電気光学ポリマー素子に入射したレーザー光は、電気光学ポリマー素子によって変調される。電気光学ポリマー素子による変調光は、テーパードレンズドファイバー（図示せず）を通して、電気光学ポリマー素子から出力される。電気光学ポリマー素子からの出力光のスペクトルを、光スペクトラムアナライザーを用いて測定する。図３６に示されるように、電気光学ポリマー素子からの出力光のスペクトルにおいて、電気光学ポリマー素子への入射するレーザー光の周波数から１５０ＧＨｚ離れた周波数に、４５ｄＢのキャリアサイドバンド比を有する光変調サイドバンドが観測された。

今回開示された実施の形態１－４及びそれらの変形例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。矛盾のない限り、今回開示された実施の形態１－４及びそれらの変形例の少なくとも二つを組み合わせてもよい。例えば、実施の形態２及び実施の形態３において、第１上側アンテナ電極２６、第１下側アンテナ電極２２、第２上側アンテナ電極３６及び第２下側アンテナ電極３２は、各々、実施の形態４のように、ボウタイアンテナまたはメタマテリアルアンテナを含んでもよい。本開示の範囲は、上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。

１，１ｂ，１ｃ，１ｄ 電気光学ポリマー素子、１０ 基板、１０ａ 主面、１１ グランド電極、１２ スペーサ層、１３，１４ 凹部、１５ 光導波路、１５ａ 第１主面、１５ｂ 第２主面、１６ 下部クラッド層、１７ コア層、１７ｃ 中心線、１８ 上部クラッド層、１８ｃ 保護層、１９ａ，１９ｂ 二酸化ケイ素膜、２０ａ，２０ｂ アンテナ電極対、２１ 第１アンテナ電極、２２ 第１下側アンテナ電極、２２ｃ 第２中心線、２３ 第２縁、２４ 変調電極、２５ アンテナ、２６ 第１上側アンテナ電極、２６ｃ 第１中心線、２７ 第１縁、２８ 変調電極、２９ アンテナ、３１ 第２アンテナ電極、３２ 第２下側アンテナ電極、３２ｃ 第４中心線、３３ 第４縁、３４ 変調電極、３５ アンテナ、３６ 第２上側アンテナ電極、３６ｃ 第３中心線、３７ 第３縁、３８ 変調電極、３９ アンテナ、４０ 電磁波、４１ａ，４１ｂ 山、４２ａ，４２ｂ 谷、４５ 光、５０ 支持体、５１ 下部電極、５２，５５ 電気光学ポリマー層、５３ 上部電極、５４ 電源。

Claims (7)

1. 第１主面と、前記第１主面とは反対側の第２主面とを有するとともに、電気光学ポリマーで形成されているコア層を含む光導波路と、
   第１上側アンテナ電極と、第１下側アンテナ電極とを含む第１アンテナ電極と、
   前記コア層の長手方向において前記第１アンテナ電極から間隔を空けて配置される第２アンテナ電極とを備え、
   前記電気光学ポリマーは電気光学分子を含み、前記電気光学分子は前記第１主面の法線方向に沿って配向しており、
   前記第１上側アンテナ電極は、前記第１主面上に設けられており、かつ、前記第１主面の平面視において前記コア層の幅方向における前記コア層の中心線に近位する第１縁を含み、前記コア層の前記幅方向は、前記第１主面の前記平面視において前記コア層の前記長手方向に垂直であり、
   前記第１下側アンテナ電極は、前記第２主面上に設けられており、かつ、前記第１主面の前記平面視において前記コア層の前記中心線に近位する第２縁を含み、
   前記第１主面の前記平面視において、前記コア層の前記幅方向における前記第１上側アンテナ電極の第１中心線は、前記コア層の前記幅方向における前記コア層の前記中心線に対して第１幅方向にずれており、前記第１幅方向は、前記幅方向の一方側であり、
   前記第１主面の前記平面視において、前記コア層の前記幅方向における前記第１下側アンテナ電極の第２中心線は、前記コア層の前記中心線に対して前記第１幅方向とは反対の第２幅方向にずれており、前記第２幅方向は、前記幅方向の他方側であり、
   前記第１主面の前記平面視において、前記第１縁は、前記コア層に重なっている、または、前記コア層から前記コア層の前記幅方向に２０μｍ以下の距離離れており、
   前記第１主面の前記平面視において、前記第２縁は、前記コア層に重なっている、または、前記コア層から前記コア層の前記幅方向に２０μｍ以下の距離離れており、
   前記第１主面の前記法線方向における前記第１上側アンテナ電極と前記コア層との間の第１距離は、２０μｍ以下であり、
   前記第１主面の前記法線方向における前記第１下側アンテナ電極と前記コア層との間の第２距離は、２０μｍ以下であり、
   前記第２アンテナ電極は、前記コア層の前記長手方向において前記第１アンテナ電極から間隔を空けて配置され、
   前記第２アンテナ電極は、第２上側アンテナ電極と、第２下側アンテナ電極とを含み、
   前記第２上側アンテナ電極は、前記第１主面上に設けられており、かつ、前記第１主面の前記平面視において前記コア層の前記中心線に近位する第３縁を含み、
   前記第２下側アンテナ電極は、前記第２主面上に設けられており、かつ、前記第１主面の前記平面視において前記コア層の前記中心線に近位する第４縁を含み、
   前記第１主面の前記平面視において、前記コア層の前記幅方向における前記第２上側アンテナ電極の第３中心線は、前記コア層の前記中心線に対して前記第２幅方向にずれており、
   前記第１主面の前記平面視において、前記コア層の前記幅方向における前記第２下側アンテナ電極の第４中心線は、前記コア層の前記中心線に対して前記第１幅方向にずれており、
   前記第１主面の前記平面視において、前記第３縁は、前記コア層に重なっている、または、前記コア層から前記コア層の前記幅方向に２０μｍ以下の距離離れており、
   前記第１主面の前記平面視において、前記第４縁は、前記コア層に重なっている、または、前記コア層から前記コア層の前記幅方向に２０μｍ以下の距離離れており、
   前記第１主面の前記法線方向における前記第２上側アンテナ電極と前記コア層との間の第３距離は、２０μｍ以下であり、
   前記第１主面の前記法線方向における前記第２下側アンテナ電極と前記コア層との間の第４距離は、２０μｍ以下である、電気光学ポリマー素子。
2. 前記コア層の前記幅方向において、前記第１縁及び前記第２縁は、前記コア層の前記中心線に一致しており、
   前記コア層の前記幅方向において、前記第３縁及び前記第４縁は、前記コア層の前記中心線に一致している、請求項１に記載の電気光学ポリマー素子。
3. 前記コア層の前記幅方向において、前記第１縁及び前記第２縁は、前記コア層の前記中心線に関して互いに反対側にあり、
   前記コア層の前記幅方向において、前記第３縁及び前記第４縁は、前記コア層の前記中心線に関して互いに反対側にある、請求項１に記載の電気光学ポリマー素子。
4. グランド電極と、
   前記グランド電極と前記第１下側アンテナ電極との間に配置されているスペーサ層とをさらに備え、
   前記グランド電極は、前記第１主面の前記法線方向において、前記第１下側アンテナ電極に関して前記第１上側アンテナ電極とは反対側に配置されており、かつ、前記第１主面の前記平面視において、前記第１上側アンテナ電極と前記第１下側アンテナ電極に重なっており、
   前記スペーサ層は、１０^４Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されている、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の電気光学ポリマー素子。
5. 複数のアンテナ電極対が前記コア層の前記長手方向に沿って周期的に配置されており、
   前記複数のアンテナ電極対の各々は、前記第１アンテナ電極と前記第２アンテナ電極とを含む、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の電気光学ポリマー素子。
6. 前記光導波路は、上部クラッド層または下部クラッド層の少なくとも一つを含み、
   前記上部クラッド層は、前記第１主面の前記法線方向において前記第１上側アンテナ電極と前記コア層との間に配置されており、かつ、前記コア層より小さな屈折率を有しており、
   前記下部クラッド層は、前記第１主面の前記法線方向において前記第１下側アンテナ電極と前記コア層との間に配置されており、かつ、前記コア層より小さな屈折率を有しており、
   前記上部クラッド層または前記下部クラッド層の前記少なくとも一つは、１０^４Ω・ｍより大きい電気抵抗率を有する材料で形成されている、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の電気光学ポリマー素子。
7. 前記第１上側アンテナ電極及び前記第１下側アンテナ電極は、各々、矩形アンテナ、ボウタイアンテナまたはメタマテリアルアンテナを含む、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の電気光学ポリマー素子。