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JP7844933B2 - curable composition - Google Patents
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JP7844933B2 - curable composition - Google Patents

curable composition

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JP7844933B2 JP2022031727A JP2022031727A JP7844933B2 JP 7844933 B2 JP7844933 B2 JP 7844933B2 JP 2022031727 A JP2022031727 A JP 2022031727A JP 2022031727 A JP2022031727 A JP 2022031727A JP 7844933 B2 JP7844933 B2 JP 7844933B2
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Description

本発明は、硬化性組成物に関する。さらには、硬化性組成物を使用した、硬化性組成物含有シート、回路基板、半導体チップパッケージ及び電子部材に関する。 This invention relates to a curable composition. Furthermore, it relates to a sheet containing the curable composition, a circuit board, a semiconductor chip package, and an electronic component using the curable composition.

近年、電子機器の小型化及び高機能化が進み、プリント配線板における半導体素子の実装密度は高くなる傾向にある。実装される半導体素子の高機能化も相俟って、半導体素子が発生する熱を効率的に放熱する技術が求められている。 In recent years, as electronic devices have become smaller and more sophisticated, the mounting density of semiconductor elements on printed circuit boards has tended to increase. Coupled with the increasing sophistication of the semiconductor elements being mounted, there is a growing demand for technologies that efficiently dissipate the heat generated by these semiconductor elements.

例えば、特許文献1には、樹脂及び所定の要件を満たすアルミナを含む樹脂組成物を硬化させた絶縁層を回路基板に用いることで、放熱させることが開示されている。 For example, Patent Document 1 discloses a method of dissipating heat by using an insulating layer, formed by curing a resin composition containing a resin and alumina satisfying predetermined requirements, on a circuit board.

特開2012-77123号公報Japanese Patent Publication No. 2012-77123

絶縁層には、熱伝導率が高いことに加え、耐衝撃性の観点から弾性率が低いことも求められている。しかし、熱伝導率が高く且つ弾性率が低い絶縁層は、従来の技術では必ずしも十分に満足するものが実現できていなかった。 Insulating layers require not only high thermal conductivity but also low elastic modulus for impact resistance. However, conventional technologies have not always been able to fully achieve insulating layers with both high thermal conductivity and low elastic modulus.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、熱伝導率が高く、弾性率が低い硬化物を得ることができる硬化性組成物;該硬化性組成物を使用した、硬化性組成物含有シート、回路基板、半導体チップパッケージ、及び電子部材を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above, and aims to provide a curable composition that can produce a cured product with high thermal conductivity and low elastic modulus; and a sheet containing the curable composition, a circuit board, a semiconductor chip package, and an electronic component using the curable composition.

本発明の課題を達成すべく、本発明者らは鋭意検討した結果、(A)熱伝導性フィラー、(B)シルセスキオキサン化合物、及び(C)液状ポリチオール等を含有させることで、熱伝導率が高く、弾性率が低い硬化物を得ることができることを見出し、本発明を完成するに至った。 To achieve the objectives of this invention, the inventors conducted diligent research and, as a result, discovered that by incorporating (A) a thermally conductive filler, (B) a silsesquioxane compound, and (C) a liquid polythiol, a cured product with high thermal conductivity and low elastic modulus can be obtained, thus completing the present invention.

すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1] (A)熱伝導性フィラー、
(B)シルセスキオキサン化合物、及び
(C)液状ポリチオール化合物、を含有する硬化性組成物であって、
(B)成分が、エポキシ基を有するエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有しない場合、硬化性組成物は、さらに(D)エポキシ樹脂を含有し、
(B)成分が、エポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有する場合、硬化性組成物は、(D)エポキシ樹脂を含有する、又は含有しない、硬化性組成物。
[2] (A)成分の含有量が、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、20質量%以上80質量%以下である、[1]に記載の硬化性組成物。
[3] 硬化性組成物が、(B)成分としてエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有し、さらに(D)エポキシ樹脂を含有する場合、(B)成分の含有量が、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、5質量%以上65質量%以下である、[1]又は[2]に記載の硬化性組成物。
[4] 硬化性組成物が、(B)成分としてエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有し、(D)エポキシ樹脂を含有しない場合、(B)成分の含有量が、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、10質量%以上65質量%以下である、[1]又は[2]に記載の硬化性組成物。
[5] (C)成分の含有量が、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、5質量%以上30質量%以下である、[1]~[4]のいずれかに記載の硬化性組成物。
[6] (C)成分が、1分子中のチオール基を2以上含む、[1]~[5]のいずれかに記載の硬化性組成物。
[7] 支持体と、当該支持体上に設けられた[1]~[6]のいずれかに記載の硬化性組成物を含む硬化性組成物層とを有する硬化性組成物含有シート。
[8] [1]~[6]のいずれかに記載の硬化性組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む回路基板。
[9] [1]~[6]のいずれかに記載の硬化性組成物の硬化物を含む、半導体チップパッケージ。
[10] 電子部品と、該電子部品上に設けられた[1]~[6]のいずれかに記載の硬化性組成物の硬化物と、該硬化物上に装着された放熱部材と、を有する電子部材。
In other words, the present invention includes the following:
[1] (A) Thermally conductive filler,
A curable composition containing (B) a silsesquioxane compound and (C) a liquid polythiol compound,
If component (B) does not contain an epoxy group-containing silsesquioxane compound having an epoxy group, the curable composition further contains (D) an epoxy resin.
(B) If component contains an epoxy group-containing silsesquioxane compound, the curable composition is a curable composition that contains (D) an epoxy resin or does not contain it.
[2] The curable composition according to [1], wherein the content of component (A) is 20% by mass or more and 80% by mass or less, when the nonvolatile components in the curable composition are taken as 100% by mass.
[3] The curable composition according to [1] or [2], wherein the curable composition contains an epoxy group-containing silsesquioxane compound as component (B) and further contains an epoxy resin (D), and the content of component (B) is 5% by mass or more and 65% by mass or less, when the nonvolatile components in the curable composition are taken as 100% by mass.
[4] The curable composition according to [1] or [2], wherein the curable composition contains an epoxy group-containing silsesquioxane compound as component (B) and does not contain an epoxy resin (D), and the content of component (B) is 10% by mass or more and 65% by mass or less, when the nonvolatile components in the curable composition are taken as 100% by mass.
[5] The curable composition according to any one of [1] to [4], wherein the content of component (C) is 5% by mass or more and 30% by mass or less, when the nonvolatile components in the curable composition are taken as 100% by mass.
[6] The curable composition according to any one of [1] to [5], wherein component (C) contains two or more thiol groups in one molecule.
[7] A sheet containing a curable composition, comprising a support and a curable composition layer provided on the support containing the curable composition described in any of [1] to [6].
[8] A circuit board comprising an insulating layer formed of a cured product of any of the curable compositions described in [1] to [6].
[9] A semiconductor chip package comprising a cured product of any of the curable compositions described in [1] to [6].
[10] An electronic component having an electronic component, a cured product of any of the curable compositions described in [1] to [6] provided on the electronic component, and a heat dissipation member mounted on the cured product.

本発明によれば、熱伝導率が高く、弾性率が低い硬化物を得ることができる硬化性組成物;該硬化性組成物を使用した、硬化性組成物含有シート、回路基板、半導体チップパッケージ、及び電子部材を提供することができる。 According to the present invention, a curable composition can be obtained that yields a cured product with high thermal conductivity and low elastic modulus; and a sheet containing the curable composition, a circuit board, a semiconductor chip package, and an electronic component using the curable composition can be provided.

以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。ただし、本発明は、下記実施形態及び例示物に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲及びその均等の範囲を逸脱しない範囲において任意に変更して実施され得る。なお、本発明において、硬化性組成物中の各成分の含有量は、別途明示のない限り、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%としたときの値である。 The present invention will be described in detail below with reference to its preferred embodiments. However, the present invention is not limited to the embodiments and examples described below, and can be modified and implemented as appropriate without departing from the scope of the claims and equivalents of the present invention. In the present invention, unless otherwise specified, the content of each component in the curable composition is the value when the non-volatile component in the curable composition is taken as 100% by mass.

[硬化性組成物]
硬化性組成物は、(A)熱伝導性フィラー、(B)シルセスキオキサン化合物、及び(C)液状ポリチオール化合物、を含有し、(B)成分がエポキシ基を有するエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有しない場合、さらに(D)エポキシ樹脂を含有し、(B)成分がエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有する場合、(D)エポキシ樹脂を含有する、又は含有しない。硬化性組成物はこれら成分を含有することにより、その硬化物の熱伝導率を高くすることができるとともに弾性率を低くすることができる。
[Curable composition]
The curable composition contains (A) a thermally conductive filler, (B) a silsesquioxane compound, and (C) a liquid polythiol compound, wherein component (B) does not contain an epoxy group-containing silsesquioxane compound having an epoxy group, and further contains (D) an epoxy resin, and if component (B) contains an epoxy group-containing silsesquioxane compound, it may or may not contain (D) an epoxy resin. By containing these components, the curable composition can increase the thermal conductivity of its cured product and decrease its elastic modulus.

硬化性組成物は、(A)成分~(D)成分の他に、必要に応じてさらに(E)硬化促進剤、及び(F)任意の添加剤を含んでいてもよい。以下、硬化性組成物に含まれる各成分について詳細に説明する。 The curable composition may, in addition to components (A) to (D), optionally further contain (E) a curing accelerator and (F) any optional additives. The components included in the curable composition are described in detail below.

<(A)熱伝導性フィラー>
硬化性組成物は、(A)成分として、(A)熱伝導性フィラーを含有する。(A)成分を硬化性組成物に含有させることで熱伝導率が高い硬化物(絶縁層)を得ることができる。
<(A) Thermally conductive filler>
The curable composition contains (A) a thermally conductive filler as component (A). By including component (A) in the curable composition, a cured product (insulating layer) with high thermal conductivity can be obtained.

(A)熱伝導性フィラーの熱伝導率は、熱伝導率が高い硬化物を得る観点から、好ましくは20W/m・K以上、より好ましくは30W/m・K以上、さらに好ましくは50W/m・K以上、100W/m・K以上である。上限は特に限定されないが、1000W/m・K以下等とし得る。 (A) The thermal conductivity of the thermally conductive filler is preferably 20 W/m·K or higher, more preferably 30 W/m·K or higher, even more preferably 50 W/m·K or higher, and 100 W/m·K or higher, from the viewpoint of obtaining a cured product with high thermal conductivity. The upper limit is not particularly limited, but it can be 1000 W/m·K or lower, etc.

(A)成分の材料は、熱伝導率が上記範囲内であれば特に限定されない。(A)成分の材料は、例えば、炭化ケイ素、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム(アルミナ)等が挙げられる。(A)成分は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。また、2種以上の同一材料を組み合わせて用いてもよい。中でも(A)成分は、熱伝導率が高い硬化物を得る観点から、炭化ケイ素、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、及び酸化アルミニウムから選ばれる1種以上を含むことが好ましく、炭化ケイ素を含むことがより好ましい。 The material of component (A) is not particularly limited as long as its thermal conductivity is within the above range. Examples of materials for component (A) include silicon carbide, boron nitride, aluminum nitride, and aluminum oxide (alumina). Component (A) may be used alone or in combination of two or more. Furthermore, two or more identical materials may be used in combination. In particular, from the viewpoint of obtaining a cured product with high thermal conductivity, component (A) preferably contains one or more selected from silicon carbide, boron nitride, aluminum nitride, and aluminum oxide, and more preferably contains silicon carbide.

(A)成分の平均粒径は、熱伝導率に優れる絶縁層を得る観点及び充填性を向上させる観点から、好ましくは50μm以下、より好ましくは45μm以下、さらに好ましくは40μm以下であり、好ましくは1μm以上、より好ましくは5μm以上、さらに好ましくは10μm以上、20μm以上、又は30μm以上である。 The average particle size of component (A) is preferably 50 μm or less, more preferably 45 μm or less, even more preferably 40 μm or less, preferably 1 μm or more, more preferably 5 μm or more, even more preferably 10 μm or more, 20 μm or more, or 30 μm or more, from the viewpoint of obtaining an insulating layer with excellent thermal conductivity and improving filling properties.

(A)成分の平均粒径は、ミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折散乱式粒度分布測定装置により、熱伝導性フィラーの粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、(A)成分を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折散乱式粒度分布測定装置としては、堀場製作所社製「LA-500」、島津製作所社製「SALD2200」等を使用することができる。 The average particle size of component (A) can be measured by a laser diffraction/scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, a volume-based particle size distribution of the thermal conductive filler is created using a laser diffraction/scattering particle size distribution analyzer, and the median diameter is used as the average particle size for measurement. A sample of component (A) dispersed in water using ultrasound is preferably used. Suitable laser diffraction/scattering particle size distribution analyzers include the LA-500 from Horiba, Ltd. and the SALD2200 from Shimadzu Corporation.

(A)成分の比表面積は、熱伝導率に優れる硬化物を得る観点から、好ましくは0.01m/g以上、より好ましくは0.025m/g以上、さらに好ましくは0.05m/g以上である。上限は好ましくは30m/g以下、より好ましくは25m/g以下、さらに好ましくは20m/g以下である。(A)成分の比表面積は、窒素BET法により測定することができる。具体的には自動比表面積測定装置を使用して測定することができ、自動比表面積測定装置としては、マウンテック社製「Macsorb HM-1210」等を使用することができる。 (A) The specific surface area of component (A) is preferably 0.01 /g or more, more preferably 0.025 /g or more, and even more preferably 0.05 /g or more, from the viewpoint of obtaining a cured product with excellent thermal conductivity. The upper limit is preferably 30 /g or less, more preferably 25 /g or less, and even more preferably 20 /g or less. The specific surface area of component (A) can be measured by the nitrogen BET method. Specifically, it can be measured using an automatic specific surface area measuring device, and as an automatic specific surface area measuring device, the "Macsorb HM-1210" manufactured by Mountec Co., Ltd. can be used.

(A)成分は、市販品を用いてもよい。市販品としては、例えばMOMENTIVE社製の「PT-110A」、「PT-120」、「PT-350」、「PTX-25」、「PTX-60」、MARUWA社製の「ANF-S-30」、「ANF-S-50」、「ANF-A-01-F」、「ANF-A-05-F」、デンカ社製の「DAW―05」、「DAW―20」等が挙げられる。 (A) Component may be a commercially available product. Examples of commercially available products include MOMENTIVE's "PT-110A," "PT-120," "PT-350," "PTX-25," and "PTX-60," MARUWA's "ANF-S-30," "ANF-S-50," "ANF-A-01-F," and "ANF-A-05-F," and Denka's "DAW-05" and "DAW-20."

(A)成分は、耐湿性及び分散性を高める観点から、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、アルコキシシラン化合物、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等の1種以上の表面処理剤で処理されていてもよい。表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業社製「KBM403」(3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM803」(3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBE903」(3-アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM573」(N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM5783」(N-フェニル-3-アミノオクチルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「SZ-31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業社製「KBM103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM-4803」(長鎖エポキシ型シランカップリング剤)等が挙げられる。 (A) Component may be treated with one or more surface treatment agents, such as aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, mercaptosilane coupling agents, silane coupling agents, alkoxysilane compounds, organosilazane compounds, or titanate coupling agents, from the viewpoint of improving moisture resistance and dispersibility. Examples of commercially available surface treatment agents include Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM403" (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM803" (3-mercaptopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM5783" (N-phenyl-3-aminooctyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "SZ-31" (hexamethyldisilazane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM103" (phenyltrimethoxysilane), and Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM-4803" (long-chain epoxy type silane coupling agent).

表面処理剤による表面処理の程度は、(A)成分の分散性向上の観点から、(A)成分100質量部に対して、0.2質量部~5質量部の表面処理剤で表面処理されていることが好ましく、0.2質量部~3質量部で表面処理されていることが好ましく、0.3質量部~2質量部で表面処理されていることが好ましい。 From the viewpoint of improving the dispersibility of component (A), the degree of surface treatment with the surface treatment agent is preferably 0.2 to 5 parts by mass of the surface treatment agent per 100 parts by mass of component (A), preferably 0.2 to 3 parts by mass, and preferably 0.3 to 2 parts by mass.

表面処理剤による表面処理の程度は、(A)成分の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。(A)成分の単位表面積当たりのカーボン量は、(A)成分の分散性向上の観点から、0.02mg/m以上が好ましく、0.1mg/m以上がより好ましく、0.2mg/m以上が更に好ましい。一方、溶融粘度の上昇を抑制する観点から、1mg/m以下が好ましく、0.8mg/m以下がより好ましく、0.5mg/m以下が更に好ましい。 The degree of surface treatment by the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of component (A). From the viewpoint of improving the dispersibility of component (A), the amount of carbon per unit surface area of component (A) is preferably 0.02 mg/ or more, more preferably 0.1 mg/ or more, and even more preferably 0.2 mg/ or more. On the other hand, from the viewpoint of suppressing the increase in melt viscosity, it is preferably 1 mg/ or less, more preferably 0.8 mg/ or less, and even more preferably 0.5 mg/ or less.

(A)成分の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の(A)成分を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された(A)成分に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて(A)成分の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、堀場製作所社製「EMIA-320V」等を使用することができる。 The amount of carbon per unit surface area of component (A) can be measured after cleaning component (A) with a solvent (e.g., methyl ethyl ketone (MEK)) following surface treatment. Specifically, a sufficient amount of MEK is added to component (A) that has been surface-treated with a surface treatment agent, and ultrasonic cleaning is performed at 25°C for 5 minutes. After removing the supernatant and drying the solids, the amount of carbon per unit surface area of component (A) can be measured using a carbon analyzer. A carbon analyzer such as the EMIA-320V manufactured by Horiba, Ltd. can be used.

(A)成分の含有量は、熱伝導率に優れる硬化物を得る観点から、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは20質量%以上、より好ましくは30質量%以上、さらに好ましくは40質量%以上である。上限は、好ましくは80質量%以下、より好ましくは65質量%以下、さらに好ましくは50質量%以下である。(A)成分の含有量が前記の範囲にある場合、熱伝導率及び弾性率を効果的に良好にできる。また、通常は、(A)成分の含有量が前記上限値以下である場合、硬化性組成物の粘度を低くできるので、作業性及び接着性を良好にできる。 From the viewpoint of obtaining a cured product with excellent thermal conductivity, the content of component (A) is preferably 20% by mass or more, more preferably 30% by mass or more, and even more preferably 40% by mass or more, when the non-volatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass. The upper limit is preferably 80% by mass or less, more preferably 65% by mass or less, and even more preferably 50% by mass or less. When the content of component (A) is within the above range, the thermal conductivity and elastic modulus can be effectively improved. Also, when the content of component (A) is usually below the upper limit, the viscosity of the curable composition can be lowered, thus improving workability and adhesiveness.

<(B)シルセスキオキサン化合物>
硬化性組成物は、(B)成分として(B)シルセスキオキサン化合物を含有する。(B)成分と後述する(C)成分とを組み合わせて硬化性組成物に含有させることで、熱伝導率に優れるとともに、弾性率が低い硬化物を得ることが可能になる。一般的にフォノンの散乱が抑制されると硬化物の熱伝導率が高くなる傾向にある。(B)成分を含有させることで硬化性組成物の硬化物の熱伝導率が優れるようになる理由は定かではないが、(B)成分が有する骨格がフォノンの散乱を抑制するものと推察される。(B)成分は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<(B) Silsesquioxane compounds>
The curable composition contains a silsesquioxane compound (B) as component (B). By combining component (B) with component (C), described later, in the curable composition, it is possible to obtain a cured product with excellent thermal conductivity and low elastic modulus. Generally, suppressing phonon scattering tends to increase the thermal conductivity of the cured product. The reason why the thermal conductivity of the cured product of the curable composition improves when component (B) is included is not clear, but it is presumed that the framework of component (B) suppresses phonon scattering. Component (B) may be used alone or in combination of two or more types.

(B)成分は、シルセスキオキサン構造を有する化合物を用いることができる。シルセスキオキサン構造とは、1つのケイ素原子が3つの酸素原子を結合し、酸素原子が2つのケイ素原子と結合している構造を表し、下記構造式(B-1)で表される。
式中、Rは、それぞれ独立にアルキル基、ヒドロキシ基、グリシジル基、エポキシ基、チオール基、アルコキシ基、又は(メタ)アクリロイル基を表し、nは4~20の整数を表す。
Component (B) can be a compound having a silsesquioxane structure. A silsesquioxane structure is a structure in which one silicon atom is bonded to three oxygen atoms, and each oxygen atom is bonded to two silicon atoms, and is represented by the following structural formula (B-1).
In the formula, R independently represents an alkyl group, a hydroxyl group, a glycidyl group, an epoxy group, a thiol group, an alkoxy group, or a (meth)acryloyl group, and n represents an integer from 4 to 20.

(B)成分に含まれるシルセスキオキサン構造のうち、少なくとも1つのRがグリシジル基又はエポキシ基を表す構造を有する場合、(B)成分はエポキシ基を有するエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物である。 If, among the silsesquioxane structures contained in component (B), at least one R represents a glycidyl group or an epoxy group, then component (B) is an epoxy-containing silsesquioxane compound having an epoxy group.

(B)成分に含まれるシルセスキオキサン構造のうち、すべてのRが、それぞれ独立に炭化水素基、ヒドロキシ基、チオール基、アルコキシ基、又は(メタ)アクリロイル基を表す場合、(B)成分はエポキシ基を有さないシルセスキオキサン化合物である。(メタ)アクリロイル基とは、メタクリロイル基、アクリロイル基及びこれらの組み合わせを包含する。 If, in the silsesquioxane structure contained in component (B), all R groups independently represent a hydrocarbon group, a hydroxyl group, a thiol group, an alkoxy group, or a (meth)acryloyl group, then component (B) is a silsesquioxane compound without epoxy groups. The (meth)acryloyl group includes methacryloyl groups, acryloyl groups, and combinations thereof.

本発明の硬化性組成物は、(B)成分としてエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有する場合、後述する(D)エポキシ樹脂を含有する。 The curable composition of the present invention, when containing an epoxy group-containing silsesquioxane compound as component (B), also contains the epoxy resin (D) described later.

本発明の硬化性組成物は、(B)成分としてエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有しない場合、後述する(D)エポキシ樹脂は含有していてもよく、含有していなくてもよいが、本発明の効果を顕著に得る観点から、(D)エポキシ樹脂を含有することが好ましい。 The curable composition of the present invention, when not containing an epoxy group-containing silsesquioxane compound as component (B), may or may not contain the epoxy resin (D) described later. However, from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention, it is preferable to include the epoxy resin (D).

Rが表すアルキル基は、直鎖状、分岐状、又は環状であってもよい。アルキル基としては、炭素原子数1~6のアルキル基が好ましく、炭素原子数が1~3のアルキル基がより好ましく、メチル基又はエチル基がさらに好ましい。 The alkyl group represented by R may be linear, branched, or cyclic. Preferably, the alkyl group has 1 to 6 carbon atoms, more preferably 1 to 3 carbon atoms, and even more preferably a methyl or ethyl group.

Rが表すアルコキシ基としては、炭素原子数1~6のアルコキシ基が好ましく、炭素原子数が1~3のアルコキシ基がより好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がさらに好ましい。 The alkoxy group represented by R is preferably an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, and even more preferably a methoxy group or an ethoxy group.

中でも、Rとしては、(C)成分と反応し得る官能基であることが好ましく、ヒドロキシ基、グリシジル基、エポキシ基、及びチオール基から選択されることがより好ましく、グリシジル基、エポキシ基、及びチオール基から選択されることがさらに好ましく、エポキシ基、及びチオール基のいずれかであることが特に好ましい。 In particular, R is preferably a functional group that can react with component (C), more preferably selected from a hydroxyl group, a glycidyl group, an epoxy group, and a thiol group, even more preferably selected from a glycidyl group, an epoxy group, and a thiol group, and particularly preferably either an epoxy group or a thiol group.

nは4~20の整数を表し、6~12の整数を表すことが好ましい。 n represents an integer between 4 and 20, preferably between 6 and 12.

(B)成分は、シルセスキオキサン構造に加えて、下記式(B-2)で表される構造を含んでいてもよい。(B)成分が式(B-2)で表される構造を含む場合、式(B-2)で表される構造は(B)成分の末端の一部に有することが好ましい。
式中、Rは式(B-1)中のRと同じである。*は、シルセスキオキサン構造との結合手を表す。
Component (B) may include a structure represented by the following formula (B-2) in addition to the silsesquioxane structure. If component (B) includes a structure represented by formula (B-2), it is preferable that the structure represented by formula (B-2) is located at a part of the terminal of component (B).
In the formula, R1 is the same as R in formula (B-1). * represents a bond with the silsesquioxane structure.

シルセスキオキサン構造としては、ランダム構造、ラダー骨格を有するラダー構造、及びかご型構造が挙げられる。(B)成分としては、ランダム構造、ラダー構造、及びかご型構造から選択される1種以上有することが好ましく、ランダム構造及びかご型構造のいずれかを有することがより好ましく、ランダム構造を有することがさらに好ましい。 Examples of silsesquioxane structures include random structures, ladder structures with a ladder skeleton, and cage structures. Component (B) preferably contains one or more selected from random structures, ladder structures, and cage structures; more preferably contains either a random structure or a cage structure; and even more preferably contains a random structure.

ランダム構造とは、シルセスキオキサン構造の配列に規則性がなく、不完全である構造をいい、代表的なランダム構造としては、下記式(B-3)で表される構造が挙げられる。代表的なラダー構造としては、下記式(B-4)で表される構造が挙げられる。かご型構造には、完全縮合かご型構造及び不完全縮合かご型構造の2種類がある。完全縮合かご型構造は、シルセスキオキサン構造で構成される環状構造を複数含み、斯かる複数の環状構造によって、閉じた空間を形成するか又は反応後に閉じた空間を形成し得る構造をいう。不完全縮合かご型構造とは、完全縮合かご型構造の少なくとも1か所が閉じられていない構造をいう。代表的な完全縮合かご型構造としては、下記式(B-5)で表されるケイ素原子を8個有するT8構造、下記式(B-6)で表されるケイ素原子を10個有するT10構造、及び下記式(B-7)で表されるケイ素原子を12個有するT12構造等が挙げられる。代表的な不完全縮合かご型構造としては、下記式(B-8)で表される構造が挙げられる。式中、Rは式(B-1)中のRと同じであり、*は、シルセスキオキサン構造との結合手を表す。
A random structure is a structure in which the arrangement of silsesquioxane structures lacks regularity and is incomplete. A typical random structure is the structure represented by formula (B-3) below. A typical ladder structure is the structure represented by formula (B-4) below. There are two types of cage structures: fully condensed cage structures and incompletely condensed cage structures. A fully condensed cage structure is a structure that contains multiple cyclic structures composed of silsesquioxane structures, and these multiple cyclic structures form a closed space or can form a closed space after the reaction. An incompletely condensed cage structure is a structure in which at least one part of the fully condensed cage structure is not closed. Typical fully condensed cage structures include the T8 structure with eight silicon atoms represented by formula (B-5) below, the T10 structure with ten silicon atoms represented by formula (B-6) below, and the T12 structure with twelve silicon atoms represented by formula (B-7) below. A typical example of an incomplete condensation cage structure is the structure represented by the following formula (B-8). In the formula, is the same as R in formula (B-1), and * represents a bond with the silsesquioxane structure.

(B)成分が、ランダム構造、ラダー構造、及びかご型構造のいずれかを有するかの同定は、公知の方法に従って測定することができる。具体的な同定方法としては、例えば、特開2022-3126号公報に記載の方法に沿って測定することができる。 The identification of whether component (B) has a random structure, ladder structure, or cage structure can be measured according to known methods. For example, a specific identification method can be measured according to the method described in Japanese Patent Application Publication No. 2022-3126.

(B)成分は、公知の方法で合成することができる。また、(B)成分は市販品を用いてもよい。(B)成分の市販品としては、例えば、荒川化学工業社製の「SQ-502-8」、「SQ-107」、東亞合成社製「AC-SQ-TA-100」、「AC-SQ-SI20」等が挙げられる。 Component (B) can be synthesized by known methods. Alternatively, commercially available components (B) may be used. Examples of commercially available components (B) include "SQ-502-8" and "SQ-107" from Arakawa Chemical Industries, Ltd., and "AC-SQ-TA-100" and "AC-SQ-SI20" from Toagosei Co., Ltd.

(B)成分の官能基当量としては、好ましくは170g/eq.以上、より好ましくは180g/eq.以上、さらに好ましくは190g/eq.以上であり、好ましくは300g/eq.以下、より好ましくは290g/eq.以下、さらに好ましくは280g/eq.以下である。官能基当量とは、別に断らない限り、1当量の官能基を含む樹脂の質量を表す。 The functional group equivalent of component (B) is preferably 170 g/eq. or more, more preferably 180 g/eq. or more, even more preferably 190 g/eq. or more, preferably 300 g/eq. or less, more preferably 290 g/eq. or less, and even more preferably 280 g/eq. or less. Unless otherwise specified, the functional group equivalent represents the mass of the resin containing one equivalent of a functional group.

エポキシ基を含有しないシルセスキオキサン化合物であって、該化合物がチオール基を有する場合、(B)成分のチオール基当量としては、好ましくは170g/eq.以上、より好ましくは180g/eq.以上、さらに好ましくは190g/eq.以上であり、好ましくは220g/eq.以下、より好ましくは210g/eq.以下、さらに好ましくは200g/eq.以下である。「チオール基当量」とは1当量のチオール基を含む樹脂の質量であり、公知の方法、例えばでんぷんを指示薬として用いるヨウ素溶液滴定法により測定できる。 In the case of a silsesquioxane compound that does not contain epoxy groups and has thiol groups, the thiol group equivalent of component (B) is preferably 170 g/eq. or more, more preferably 180 g/eq. or more, even more preferably 190 g/eq. or more, preferably 220 g/eq. or less, more preferably 210 g/eq. or less, and even more preferably 200 g/eq. or less. "Thiol group equivalent" refers to the mass of resin containing one equivalent of thiol groups, and can be measured by known methods, such as iodine solution titration using starch as an indicator.

エポキシ基含有シルセスキオキサン化合物のエポキシ当量は、好ましくは250g/eq.以上、より好ましくは260g/eq.以上、さらに好ましくは270g/eq.以上であり、好ましくは300g/eq.以下、より好ましくは290g/eq.以下、さらに好ましくは280g/eq.以下である。エポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができ、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量である。 The epoxy equivalent of the epoxy group-containing silsesquioxane compound is preferably 250 g/eq. or higher, more preferably 260 g/eq. or higher, even more preferably 270 g/eq. or higher, preferably 300 g/eq. or lower, more preferably 290 g/eq. or lower, and even more preferably 280 g/eq. or lower. The epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236 and is the mass of the resin containing one equivalent of epoxy groups.

(B)成分の重量平均分子量は、好ましくは100~50000、より好ましくは500~10000、さらに好ましくは1000~10000である。ここで、(B)成分の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。 The weight-average molecular weight of component (B) is preferably 100 to 50,000, more preferably 500 to 10,000, and even more preferably 1,000 to 10,000. Here, the weight-average molecular weight of component (B) is the weight-average molecular weight in polystyrene terms, measured by gel permeation chromatography (GPC).

(B)成分の含有量としては、本発明の効果を顕著に得る観点から、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは5質量%以上、より好ましくは15質量%以上、さらに好ましくは25質量%以上であり、好ましくは65質量%以下、より好ましくは55質量%以下、さらに好ましくは45質量%以下である。 Regarding the content of component (B), from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention, when the nonvolatile component in the curable composition is considered to be 100% by mass, it is preferably 5% by mass or more, more preferably 15% by mass or more, even more preferably 25% by mass or more, preferably 65% by mass or less, more preferably 55% by mass or less, and even more preferably 45% by mass or less.

(B)成分がエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有しない場合、(B)成分の含有量としては、本発明の効果を顕著に得る観点から、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは5質量%以上、より好ましくは15質量%以上、さらに好ましくは25質量%以上であり、好ましくは65質量%以下、より好ましくは55質量%以下、さらに好ましくは45質量%以下である。 If component (B) does not contain an epoxy group-containing silsesquioxane compound, the content of component (B) is preferably 5% by mass or more, more preferably 15% by mass or more, even more preferably 25% by mass or more, preferably 65% by mass or less, more preferably 55% by mass or less, and even more preferably 45% by mass or less, when the nonvolatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass.

(B)成分がエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有し、硬化性組成物が後述する(D)成分を含有する場合、エポキシ基含有シルセスキオキサン化合物の含有量としては、本発明の効果を顕著に得る観点から、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは5質量%以上、より好ましくは15質量%以上、さらに好ましくは25質量%以上であり、好ましくは65質量%以下、より好ましくは55質量%以下、さらに好ましくは45質量%以下である。 When component (B) contains an epoxy group-containing silsesquioxane compound and the curable composition contains component (D) described later, the content of the epoxy group-containing silsesquioxane compound is preferably 5% by mass or more, more preferably 15% by mass or more, even more preferably 25% by mass or more, preferably 65% by mass or less, more preferably 55% by mass or less, and even more preferably 45% by mass or less, when the nonvolatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass.

(B)成分がエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有し、硬化性組成物が後述する(D)成分を含有しない場合、エポキシ基含有シルセスキオキサン化合物の含有量としては、本発明の効果を顕著に得る観点から、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは30質量%以上であり、好ましくは65質量%以下、より好ましくは55質量%以下、さらに好ましくは45質量%以下である。 When component (B) contains an epoxy group-containing silsesquioxane compound and the curable composition does not contain component (D) described later, the content of the epoxy group-containing silsesquioxane compound is preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, even more preferably 30% by mass or more, preferably 65% by mass or less, more preferably 55% by mass or less, and even more preferably 45% by mass or less, when the nonvolatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass.

<(C)液状ポリチオール化合物>
硬化性組成物は、(C)成分として、(C)液状ポリチオール化合物を含有する。この(C)液状ポリチオール化合物は、上述した(B)成分に該当するものは含めない。(C)成分と(B)成分とを組み合わせて硬化性組成物に含有させることにより、硬化性組成物の硬化物の熱伝導率の向上及び低弾性率化が可能になる。(C)成分は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。本発明において液状とは、室温(20℃)及び大気圧(0.1MPa)下で流動性を有することを言う。好ましくは、E型粘度計を用い、大気圧下、25℃、コーン回転数2.0rpmで測定される粘度が200000mPa・s以下である。E型粘度計としては例えば、E型粘度計:RE-85U(コーンロータ:3°×R14)(東機産業社製)が挙げられる。
<(C) Liquid polythiol compound>
The curable composition contains a liquid polythiol compound as component (C). This liquid polythiol compound (C) does not include any of the components described above as component (B). By combining component (C) and component (B) and including them in the curable composition, it is possible to improve the thermal conductivity and lower the elastic modulus of the cured product of the curable composition. Component (C) may be used alone or in combination of two or more types. In this invention, "liquid" means having fluidity at room temperature (20°C) and atmospheric pressure (0.1 MPa). Preferably, the viscosity measured using an E-type viscometer at atmospheric pressure, 25°C, and a cone rotation speed of 2.0 rpm is 200,000 mPa·s or less. An example of an E-type viscometer is the E-type viscometer: RE-85U (cone rotor: 3° × R14) (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.).

(C)成分としては、(B)成分の官能基又は(D)成分のエポキシ基と反応して硬化性組成物を硬化させる機能を有し、温度20℃で液状であるポリチオール化合物を用いることができる。(C)成分は、本発明の効果を顕著に得る観点から、1分子中のチオール基の数が好ましくは2以上(2官能以上)、より好ましくは3以上(3官能以上)であり、好ましくは6以下(6官能以下)、より好ましくは5以下(5官能以下)である。 As component (C), a polythiol compound that has the function of curing the curable composition by reacting with the functional group of component (B) or the epoxy group of component (D), and that is liquid at a temperature of 20°C, can be used. From the viewpoint of obtaining the effects of the present invention in particular, the number of thiol groups in one molecule of component (C) is preferably 2 or more (2 or more functional groups), more preferably 3 or more (3 or more functional groups), preferably 6 or less (6 or fewer functional groups), and more preferably 5 or less (5 or fewer functional groups).

このような液状ポリチオール化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)(略称:TMTP)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)(略称:PEMP)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3-メルカプトプロピオネート)(略称:DPMP)、トリス-[(3-メルカプトプロピオニルオキシ)-エチル]-イソシアヌレート(略称:TEMPIC)、トリス(3-メルカプトプロピル)イソシアヌレート(略称:TMPIC)、チオグリコール酸オクチル(略称:OTG)、エチレングリコールビスチオグリコレート(略称:EGTG)、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート(略称:TMTG)、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート(略称:PETG)、3-メルカプトプロピオン酸(略称:3-MPA)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、1,4-ビス(3-メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,3,5-トリス(3-メルカプトブチリルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトブチレート)(略称:TPMB)、トリメチロールエタントリス(3-メルカプトブチレート)(略称:TEMB)、1,3,4,6-テトラキス(2-メルカプトエチル)グリコールウリル、4,4’-イソプロピリデンビス[(3-メルカプトプロポキシ)ベンゼン]等が挙げられる。 Examples of such liquid polythiol compounds include trimethylolpropane tris(3-mercaptopropionate) (abbreviation: TMTP), pentaerythritol tetrakis(3-mercaptopropionate) (abbreviation: PEMP), dipentaerythritol hexakis(3-mercaptopropionate) (abbreviation: DPMP), tris-[(3-mercaptopropionyloxy)-ethyl]-isocyanurate (abbreviation: TEMPIC), tris(3-mercaptopropyl)isocyanurate (abbreviation: TMPIC), octyl thioglycolate (abbreviation: OTG), ethylene glycol bisthioglycolate (abbreviation: EGTG), trimethylolpropane tristhioglycolate (abbreviation: TMTG), and pentaerythritol Examples include lithol tetrakisthioglycolate (abbreviated as PETG), 3-mercaptopropionic acid (abbreviated as 3-MPA), pentaerythritol tetrakis(3-mercaptobutyrate), 1,4-bis(3-mercaptobutyryloxy)butane, 1,3,5-tris(3-mercaptobutyryloxyethyl)-1,3,5-triazine-2,4,6(1H,3H,5H)-trione, trimethylolpropanetris(3-mercaptobutyrate) (abbreviated as TPMB), trimethylolethanetris(3-mercaptobutyrate) (abbreviated as TEMB), 1,3,4,6-tetrakis(2-mercaptoethyl)glycoluryl, and 4,4'-isopropylidenebis[(3-mercaptopropoxy)benzene].

これらの化合物は公知の方法で合成することができ、例えば、トリス(3-メルカプトプロピル)イソシアヌレート(略称:TMPIC)や4,4’-イソプロピリデンビス[(3-メルカプトプロポキシ)ベンゼン]は、例えば、特開2012-153794号公報や国際公開第2001/00698号に記載の方法で合成することができる。 These compounds can be synthesized by known methods. For example, tris(3-mercaptopropyl)isocyanurate (abbreviated as TMPIC) and 4,4'-isopropylidenebis[(3-mercaptopropoxy)benzene] can be synthesized, for example, by the methods described in Japanese Patent Application Publication No. 2012-153794 and International Publication No. 2001/00698.

(C)成分は市販品を用いてもよい。市販品としては、例えば「PEMP」(SC有機化学社製)、「OTG」、「EGTG」、「TMTG」、「PETG」、「3-MPA」、「TMTP」、「PETP」(淀化学社製)、「TEMP」、「PEMP」、「TEMPIC」、「DPMP」(堺化学工業社製)、「PE-1」(ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート))、「BD-1」(1,4-ビス(3-メルカプトブチリルオキシ)ブタン)、「NR-1」(1,3,5-トリス(3-メルカプトブチリルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン)、「TPMB」、「TEMB」(昭和電工社製)、「TS-G」(メルカプトエチルグリコール)(四国化成工業社製)等が挙げられる。 (C) Component may be a commercially available product. Examples of commercially available products include "PEMP" (manufactured by SC Organic Chemicals Co., Ltd.), "OTG", "EGTG", "TMTG", "PETG", "3-MPA", "TMTP", "PETP" (manufactured by Yodo Chemical Co., Ltd.), "TEMP", "PEMP", "TEMPIC", "DPMP" (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.), "PE-1" (pentaerythritol tetrakis(3-mercaptobutyrate)), "BD-1" (1,4-bis(3-mercaptobutyryloxy)butane), "NR-1" (1,3,5-tris(3-mercaptobutyryloxyethyl)-1,3,5-triazine-2,4,6(1H,3H,5H)-trione), "TPMB", "TEMB" (manufactured by Showa Denko Corporation), and "TS-G" (mercaptoethyl glycol) (manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd.).

ポリチオール化合物のチオール基当量は、好ましくは50~500g/eq、より好ましくは75~300g/eq、さらに好ましくは100~200g/eqである。「チオール基当量」とは1グラム当量のチオール基を含む樹脂のグラム数(g/eq)であり、公知の方法、例えばでんぷんを指示薬として用いるヨウ素溶液滴定法により測定できる。 The thiol group equivalent of the polythiol compound is preferably 50 to 500 g/eq, more preferably 75 to 300 g/eq, and even more preferably 100 to 200 g/eq. "Thiol group equivalent" refers to the number of grams (g/eq) of resin containing 1 gram equivalent of thiol groups, and can be measured by known methods, such as iodine solution titration using starch as an indicator.

(B)成分と(C)成分との量比は、[(B)成分の官能基の合計数]:[(C)成分のチオール基の合計数]の比率で、1:0.1~1:5の範囲が好ましく、1:0.5~1:2がより好ましく、1:0.5~1:1がさらに好ましい。ここで、(B)の官能基とは、上記式(B-1)中のRで表される、ヒドロキシ基、グリシジル基、エポキシ基、及びチオール基のいずれかであり、(B)成分の種類によって異なる。また、(B)成分の官能基の合計数とは、各(B)成分の固形分質量を官能基当量で除した値をすべての(B)成分について合計した値であり、(C)成分のチオール基の合計数とは、各(C)成分の固形分質量をチオール基当量で除した値をすべての(C)成分について合計した値である。(B)成分と(C)成分との量比を斯かる範囲とすることにより、本発明の効果をより顕著に向上させることが可能になる。 The ratio of component (B) to component (C) is preferably in the range of 1:0.1 to 1:5, more preferably 1:0.5 to 1:2, and even more preferably 1:0.5 to 1:1, as expressed in the ratio of [total number of functional groups in component (B)] : [total number of thiol groups in component (C)]. Here, the functional group of (B) is one of the hydroxyl group, glycidyl group, epoxy group, and thiol group represented by R in the above formula (B-1), and varies depending on the type of component (B). Furthermore, the total number of functional groups of component (B) is the sum of the values obtained by dividing the solid content mass of each component (B) by the functional group equivalent for all components (B), and the total number of thiol groups of component (C) is the sum of the values obtained by dividing the solid content mass of each component (C) by the thiol group equivalent for all components (C). By setting the ratio of component (B) to component (C) within this range, it becomes possible to more significantly improve the effects of the present invention.

硬化性組成物が後述する(D)エポキシ樹脂を含有する場合、(D)エポキシ樹脂と(C)成分との量比は、[エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数]:[(C)成分のチオール基の合計数]の比率で、1:0.1~1:3の範囲が好ましく、1:0.5~1:2がより好ましく、1:0.5~1:1がさらに好ましい。また、エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数とは、各(D)エポキシ樹脂の固形分質量をエポキシ当量で除した値をすべてのエポキシ樹脂について合計した値であり、(C)成分のチオール基の合計数とは、各(C)成分の固形分質量をチオール基当量で除した値をすべての(C)成分について合計した値である。(D)エポキシ樹脂と(C)成分との量比を斯かる範囲とすることにより、硬化性組成物の硬化物の耐熱性がより向上する。 When the curable composition contains the epoxy resin (D) described later, the ratio of the epoxy resin (D) to component (C) is preferably in the range of 1:0.1 to 1:3, more preferably 1:0.5 to 1:2, and even more preferably 1:0.5 to 1:1, as expressed in the ratio of [total number of epoxy groups in the epoxy resin] : [total number of thiol groups in component (C)]. The total number of epoxy groups in the epoxy resin is the sum of the values obtained by dividing the solid content mass of each (D) epoxy resin by the epoxy equivalent for all epoxy resins, and the total number of thiol groups in component (C) is the sum of the values obtained by dividing the solid content mass of each (C) component by the thiol group equivalent for all (C) components. By setting the ratio of the epoxy resin (D) to component (C) within this range, the heat resistance of the cured product of the curable composition is further improved.

(C)成分の含有量は、硬化性組成物の硬化物の熱伝導性を向上させるとともに、弾性率を低くする観点から、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、さらに好ましくは15質量%以上であり、好ましくは30質量%以下、より好ましくは28質量%以下、さらに好ましくは25質量%以下である。 The content of component (C) is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, even more preferably 15% by mass or more, preferably 30% by mass or less, more preferably 28% by mass or less, and even more preferably 25% by mass or less, when the nonvolatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass.

硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、(B)成分の含有量(質量%)をB1とし、(C)成分の含有量(質量%)をC1としたとき、B1/C1は、本発明の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.8以上、さらに好ましくは1以上であり、好ましくは5以下、より好ましくは3以下、さらに好ましくは2以下である。 When the non-volatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass, and the content of component (B) is denoted as B1 (by mass%), and the content of component (C) is denoted as C1 (by mass%), then from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention, the ratio of B1/C1 is preferably 0.1 or more, more preferably 0.8 or more, even more preferably 1 or more, preferably 5 or less, more preferably 3 or less, and even more preferably 2 or less.

<(D)エポキシ樹脂>
硬化性組成物が、(B)成分としてエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有しない場合、硬化性組成物は(D)成分として(D)エポキシ樹脂を含有する。硬化性組成物が、(B)成分としてエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有する場合、上述した(A)~(C)成分に組み合わせて、任意成分として、さらに(D)エポキシ樹脂を含有していてもよく、含有していなくてもよい。この(D)エポキシ樹脂には、上述した(A)~(C)成分に該当するものは含めない。(D)成分を硬化性組成物に含有させることにより、絶縁信頼性を向上させることができる。(B)成分がエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有する場合、(D)エポキシ樹脂は含有していなくてもよいが、本発明の効果を顕著に得る観点から、(D)エポキシ樹脂を含有することが好ましい。
<(D) Epoxy resin>
If the curable composition does not contain an epoxy group-containing silsesquioxane compound as component (B), the curable composition contains epoxy resin (D) as component (D). If the curable composition contains an epoxy group-containing silsesquioxane compound as component (B), it may or may not contain epoxy resin (D) as an optional component in combination with components (A) to (C) described above. This epoxy resin (D) does not include those corresponding to components (A) to (C) described above. By including component (D) in the curable composition, the insulation reliability can be improved. If component (B) contains an epoxy group-containing silsesquioxane compound, epoxy resin (D) may not be included, but from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention, it is preferable to include epoxy resin (D).

(D)成分としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂及びトリメチロール型エポキシ樹脂等が挙げられる。(D)エポキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of component (D) include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, naphthol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having a butadiene structure, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiroring-containing epoxy resin, cyclohexanedimethanol type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, and trimethylol type epoxy resin. Component (D) epoxy resin may be used alone or in combination of two or more types.

(D)成分は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、エポキシ樹脂の不揮発成分100質量%に対して、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂の割合は、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、特に好ましくは70質量%以上である。 Component (D) preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups per molecule. From the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention, the ratio of epoxy resin having two or more epoxy groups per molecule to 100% by mass of the non-volatile component of the epoxy resin is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and particularly preferably 70% by mass or more.

(D)成分は、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」という。)と、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」という。)に分類される。硬化性組成物は、(D)エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、固体状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて含んでいてもよいが、本発明の効果を顕著に得る観点から、液状エポキシ樹脂のみを含むことが好ましい。 Component (D) is classified into a liquid epoxy resin at 20°C (hereinafter referred to as "liquid epoxy resin") and a solid epoxy resin at 20°C (hereinafter referred to as "solid epoxy resin"). The curable composition may contain only liquid epoxy resin, only solid epoxy resin, or a combination of both. However, from the viewpoint of significantly achieving the effects of the present invention, it is preferable to contain only liquid epoxy resin.

液状エポキシ樹脂としては、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂が好ましい。 As the liquid epoxy resin, a liquid epoxy resin having two or more epoxy groups per molecule is preferred.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂がより好ましい。 Preferred liquid epoxy resins include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, alicyclic epoxy resin having an ester skeleton, cyclohexane type epoxy resin, cyclohexanedimethanol type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, and epoxy resin having a butadiene structure. Bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin are more preferred.

液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「828US」、「jER828EL」、「825」、「エピコート828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER807」、「1750」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「630」、「630LSD」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品);ナガセケムテックス社製の「EX-721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂);ダイセル社製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂);ダイセル社製の「PB-3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ZX1658」、「ZX1658GS」(液状1,4-グリシジルシクロヘキサン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of liquid epoxy resins include DIC Corporation's "HP4032," "HP4032D," and "HP4032SS" (naphthalene-type epoxy resins); Mitsubishi Chemical Corporation's "828US," "jER828EL," "825," and "Epicote 828EL" (bisphenol A-type epoxy resins); Mitsubishi Chemical Corporation's "jER807" and "1750" (bisphenol F-type epoxy resins); Mitsubishi Chemical Corporation's "jER152" (phenol novolac-type epoxy resin); and Mitsubishi Chemical Corporation's "630" and "630LSD" (glycidylamine-type epoxy resins). Examples include: "ZX1059" (a mixture of bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.; "EX-721" (glycidyl ester type epoxy resin) manufactured by Nagase ChemteX Corporation; "Celoxide 2021P" (alicyclic epoxy resin with an ester skeleton) manufactured by Daicel Corporation; "PB-3600" (epoxy resin with a butadiene structure) manufactured by Daicel Corporation; and "ZX1658" and "ZX1658GS" (liquid 1,4-glycidylcyclohexane type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd. These may be used individually or in combination of two or more types.

固体状エポキシ樹脂としては、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する固体状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する芳香族系の固体状エポキシ樹脂がより好ましい。 As the solid epoxy resin, a solid epoxy resin having three or more epoxy groups per molecule is preferred, and an aromatic solid epoxy resin having three or more epoxy groups per molecule is more preferred.

固体状エポキシ樹脂としては、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましい。 Preferred solid epoxy resins include bixylenol-type epoxy resin, naphthalene-type epoxy resin, naphthalene-type tetrafunctional epoxy resin, novolac-type epoxy resin, cresol-novolac-type epoxy resin, dicyclopentadiene-type epoxy resin, trisphenol-type epoxy resin, naphthol-type epoxy resin, biphenyl-type epoxy resin, naphthylene ether-type epoxy resin, anthracene-type epoxy resin, bisphenol A-type epoxy resin, bisphenol AF-type epoxy resin, and tetraphenylethane-type epoxy resin.

固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「HP-4700」、「HP-4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂)、「N-690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「N-695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「HP-7200」、「HP-7200HH」、「HP-7200H」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂)、「EXA-7311」、「EXA-7311-G3」、「EXA-7311-G4」、「EXA-7311-G4S」、「HP6000」、「HP6000L」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「EPPN-502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂)、「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ESN475V」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX4000H」、「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂)、「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂)、「157S70」(ノボラック型エポキシ樹脂);大阪ガスケミカル社製の「PG-100」、「CG-500」、三菱ケミカル社製の「YX7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂)、「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂)、「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of solid epoxy resins include DIC's "HP4032H" (naphthalene-type epoxy resin), "HP-4700", "HP-4710" (naphthalene-type tetrafunctional epoxy resin), "N-690" (cresol novolac-type epoxy resin), "N-695" (cresol novolac-type epoxy resin), "HP-7200", "HP-7200HH", and "HP-7200H" (dicyclopentadiene-type epoxy resin). (Epoxy resin), "EXA-7311", "EXA-7311-G3", "EXA-7311-G4", "EXA-7311-G4S", "HP6000", "HP6000L" (naphthylene ether type epoxy resin); Nippon Kayaku Co., Ltd.'s "EPPN-502H" (trisphenol type epoxy resin), "NC7000L" (naphthol novolac type epoxy resin), "NC3000H", "NC3000", "N Examples include C3000L and NC3100 (biphenyl-type epoxy resin); ESN475V (naphthalene-type epoxy resin) and ESN485 (naphthol novolac-type epoxy resin) from Nippon Steel Chemical &Material; YX4000H and YL6121 (biphenyl-type epoxy resin), YX4000HK (bixylenol-type epoxy resin), YX8800 (anthracene-type epoxy resin), and 157S70 (novolac-type epoxy resin) from Mitsubishi Chemical Corporation; PG-100 and CG-500 from Osaka Gas Chemical Co., Ltd.; and YX7760 (bisphenol AF-type epoxy resin), YL7800 (fluorene-type epoxy resin), jER1010 (solid bisphenol A-type epoxy resin), and jER1031S (tetraphenylethane-type epoxy resin) from Mitsubishi Chemical Corporation. These may be used individually or in combination of two or more types.

エポキシ樹脂として、固体状エポキシ樹脂と液状エポキシ樹脂とを組み合わせて用いる場合、それらの質量比(固体状エポキシ樹脂:液状エポキシ樹脂)は、好ましくは1:0.01~1:50、より好ましくは1:0.05~1:20、特に好ましくは1:0.1~1:10である。液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との量比を斯かる範囲とすることにより、1)樹脂シートの形態で使用する場合に適度な粘着性がもたらされる、2)樹脂シートの形態で使用する場合に十分な可撓性が得られ、取り扱い性が向上する、並びに3)十分な破断強度を有する硬化物を得ることができるなどの効果が得られる。 When using a combination of solid epoxy resin and liquid epoxy resin as the epoxy resin, the mass ratio of the solid epoxy resin to the liquid epoxy resin is preferably 1:0.01 to 1:50, more preferably 1:0.05 to 1:20, and particularly preferably 1:0.1 to 1:10. By setting the ratio of liquid epoxy resin to solid epoxy resin within this range, the following effects can be obtained: 1) appropriate tackiness is achieved when used in the form of a resin sheet; 2) sufficient flexibility is obtained when used in the form of a resin sheet, improving handling; and 3) a cured product with sufficient breaking strength can be obtained.

エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50g/eq.~5000g/eq.、より好ましくは50g/eq.~3000g/eq.、さらに好ましくは80g/eq.~2000g/eq.、さらにより好ましくは110g/eq.~1000g/eq.である。この範囲となることで、架橋密度が十分な硬化性組成物の硬化物をもたらすことができる。エポキシ当量は、1当量のエポキシ基を含むエポキシ樹脂の質量である。このエポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができる。 The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 50 g/eq. to 5000 g/eq., more preferably 50 g/eq. to 3000 g/eq., even more preferably 80 g/eq. to 2000 g/eq., and even more preferably 110 g/eq. to 1000 g/eq. This range allows for the production of a curable composition with sufficient crosslinking density. The epoxy equivalent is the mass of the epoxy resin containing one equivalent of epoxy groups. This epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236.

エポキシ樹脂の重量平均分子量(Mw)は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは100~5000、より好ましくは250~3000、さらに好ましくは400~1500である。エポキシ樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。 The weight-average molecular weight (Mw) of the epoxy resin is preferably 100 to 5000, more preferably 250 to 3000, and even more preferably 400 to 1500, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. The weight-average molecular weight of the epoxy resin is the weight-average molecular weight in terms of polystyrene, measured by gel permeation chromatography (GPC).

(D)エポキシ樹脂の含有量は、良好な機械強度、絶縁信頼性を示す硬化物を得る観点から、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは1質量%以上、より好ましくは3質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上である。エポキシ樹脂の含有量の上限は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは25質量%以下、より好ましくは20質量%以下、さらに好ましくは15質量%以下である。 (D) The epoxy resin content is preferably 1% by mass or more, more preferably 3% by mass or more, and even more preferably 5% by mass or more, when the non-volatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass, from the viewpoint of obtaining a cured product exhibiting good mechanical strength and insulation reliability. The upper limit of the epoxy resin content is preferably 25% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, and even more preferably 15% by mass or less, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention.

(B)成分がエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有しない場合、(D)エポキシ樹脂の含有量としては、本発明の効果を顕著に得る観点から、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは1質量%以上、より好ましくは3質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上であり、好ましくは25質量%以下、より好ましくは20質量%以下、さらに好ましくは15質量%以下である。 If component (B) does not contain an epoxy group-containing silsesquioxane compound, the content of (D) epoxy resin is preferably 1% by mass or more, more preferably 3% by mass or more, even more preferably 5% by mass or more, preferably 25% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, and even more preferably 15% by mass or less, when the nonvolatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass.

(B)成分がエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有し、硬化性組成物が(D)エポキシ樹脂を含有する場合、(D)エポキシ樹脂の含有量としては、本発明の効果を顕著に得る観点から、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは1質量%以上、より好ましくは3質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上であり、好ましくは25質量%以下、より好ましくは20質量%以下、さらに好ましくは15質量%以下である。 When component (B) contains an epoxy group-containing silsesquioxane compound and the curable composition contains epoxy resin (D), the content of epoxy resin (D) is preferably 1% by mass or more, more preferably 3% by mass or more, even more preferably 5% by mass or more, preferably 25% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, and even more preferably 15% by mass or less, when the nonvolatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass.

(B)成分がエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有し、及び(D)成分を含有する場合、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合の(B)成分の含有量をB2とし、(D)成分の含有量をD1としたとき、B2/D1は、本発明の効果を顕著に得る観点から、好ましくは1以上、より好ましくは1.5以上、さらに好ましくは2以上であり、好ましくは5以下、より好ましくは4以下、さらに好ましくは3以下である。 When component (B) contains an epoxy group-containing silsesquioxane compound and component (D) is also present, if the content of component (B) in the curable composition is taken as 100% by mass, then B2 is the content of component (B) and D1 is the content of component (D). From the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention, B2/D1 is preferably 1 or more, more preferably 1.5 or more, even more preferably 2 or more, preferably 5 or less, more preferably 4 or less, and even more preferably 3 or less.

(B)成分がエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有せず、(D)成分を含有する場合、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合の(B)成分の含有量をB3とし、(D)成分の含有量をD1としたとき、B3/D1は、本発明の効果を顕著に得る観点から、好ましくは1以上、より好ましくは1.5以上、さらに好ましくは2以上であり、好ましくは5以下、より好ましくは4以下、さらに好ましくは3以下である。 When component (B) does not contain an epoxy group-containing silsesquioxane compound and component (D) is present, if the content of component (B) in the curable composition is taken as 100% by mass, then B3 is the content of component (B) and D1 is the content of component (D). From the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention, B3/D1 is preferably 1 or more, more preferably 1.5 or more, even more preferably 2 or more, preferably 5 or less, more preferably 4 or less, and even more preferably 3 or less.

<(E)硬化促進剤>
硬化性組成物は、上述した(A)~(D)成分に組み合わせて、任意の成分として、更に(E)硬化促進剤を含んでいてもよい。この(E)成分としての(E)硬化促進剤には、上述した(A)~(D)成分に該当するものは含めない。(E)硬化促進剤は、(B)シルセスキオキサン化合物及び(D)エポキシ樹脂の硬化を促進させる硬化触媒としての機能を有する。
<(E) Hardening accelerator>
The curable composition may further contain, as an optional component, (E) a curing accelerator in combination with the components (A) to (D) described above. This curing accelerator (E) does not include any of the components (A) to (D) described above. The curing accelerator (E) functions as a curing catalyst that accelerates the curing of the (B) silsesquioxane compound and the (D) epoxy resin.

このような(E)硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、ウレア系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、金属系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤等が挙げられる。(E)硬化促進剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of such (E) curing accelerators include phosphorus-based curing accelerators, urea-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, metal-based curing accelerators, and amine-based curing accelerators. (E) curing accelerators may be used individually or in combination of two or more types.

リン系硬化促進剤としては、例えば、テトラブチルホスホニウムブロマイド、テトラブチルホスホニウムクロライド、テトラブチルホスホニウムアセテート、テトラブチルホスホニウムデカノエート、テトラブチルホスホニウムラウレート、ビス(テトラブチルホスホニウム)ピロメリテート、テトラブチルホスホニウムハイドロジェンヘキサヒドロフタレート、テトラブチルホスホニウム2,6-ビス[(2-ヒドロキシ-5-メチルフェニル)メチル]-4-メチルフェノラート、ジ-tert-ブチルジメチルホスホニウムテトラフェニルボレート等の脂肪族ホスホニウム塩;メチルトリフェニルホスホニウムブロマイド、エチルトリフェニルホスホニウムブロマイド、プロピルトリフェニルホスホニウムブロマイド、ブチルトリフェニルホスホニウムブロマイド、ベンジルトリフェニルホスホニウムクロライド、テトラフェニルホスホニウムブロマイド、p-トリルトリフェニルホスホニウムテトラ-p-トリルボレート、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラフェニルホスホニウムテトラp-トリルボレート、トリフェニルエチルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリス(3-メチルフェニル)エチルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリス(2-メトキシフェニル)エチルホスホニウムテトラフェニルボレート、(4-メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等の芳香族ホスホニウム塩;トリフェニルホスフィン・トリフェニルボラン等の芳香族ホスフィン・ボラン複合体;トリフェニルホスフィン・p-ベンゾキノン付加反応物等の芳香族ホスフィン・キノン付加反応物;トリブチルホスフィン、トリ-tert-ブチルホスフィン、トリオクチルホスフィン、ジ-tert-ブチル(2-ブテニル)ホスフィン、ジ-tert-ブチル(3-メチル-2-ブテニル)ホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン等の脂肪族ホスフィン;ジブチルフェニルホスフィン、ジ-tert-ブチルフェニルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、エチルジフェニルホスフィン、ブチルジフェニルホスフィン、ジフェニルシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリ-o-トリルホスフィン、トリ-m-トリルホスフィン、トリ-p-トリルホスフィン、トリス(4-エチルフェニル)ホスフィン、トリス(4-プロピルフェニル)ホスフィン、トリス(4-イソプロピルフェニル)ホスフィン、トリス(4-ブチルフェニル)ホスフィン、トリス(4-tert-ブチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,4-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,5-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,6-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(3,5-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,4,6-トリメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,6-ジメチル-4-エトキシフェニル)ホスフィン、トリス(2-メトキシフェニル)ホスフィン、トリス(4-メトキシフェニル)ホスフィン、トリス(4-エトキシフェニル)ホスフィン、トリス(4-tert-ブトキシフェニル)ホスフィン、ジフェニル-2-ピリジルホスフィン、1,2-ビス(ジフェニルホスフィノ)エタン、1,3-ビス(ジフェニルホスフィノ)プロパン、1,4-ビス(ジフェニルホスフィノ)ブタン、1,2-ビス(ジフェニルホスフィノ)アセチレン、2,2’-ビス(ジフェニルホスフィノ)ジフェニルエーテル等の芳香族ホスフィン等が挙げられる。 Examples of phosphorus-based curing accelerators include aliphatic phosphonium salts such as tetrabutylphosphonium bromide, tetrabutylphosphonium chloride, tetrabutylphosphonium acetate, tetrabutylphosphonium decanoate, tetrabutylphosphonium laurate, bis(tetrabutylphosphonium) pyromelitate, tetrabutylphosphonium hydrogen hexahydrophthalate, tetrabutylphosphonium 2,6-bis[(2-hydroxy-5-methylphenyl)methyl]-4-methylphenolate, di-tert-butyldimethylphosphonium tetraphenylborate; methyltriphenylphosphonium bromide, ethyltriphenylphosphonium bromide, propyltriphenylphosphonium bromide, butyltriphenylphosphonium bromide, benzyltriphenylphosphonium chloride, and tetraphenyl Aromatic phosphonium salts such as phosphonium bromide, p-tolyltriphenylphosphonium tetra-p-tolylborate, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, tetraphenylphosphonium tetra-p-tolylborate, triphenylethylphosphonium tetraphenylborate, tris(3-methylphenyl)ethylphosphonium tetraphenylborate, tris(2-methoxyphenyl)ethylphosphonium tetraphenylborate, (4-methylphenyl)triphenylphosphonium thiocyanate, tetraphenylphosphonium thiocyanate, and butyltriphenylphosphonium thiocyanate; aromatic phosphine-borane complexes such as triphenylphosphine and triphenylborane; aromatic phosphine-quinone addition products such as triphenylphosphine-p-benzoquinone addition products; tributylphosphine, tri- Aliphatic phosphines such as tert-butylphosphine, trioctylphosphine, di-tert-butyl(2-butenyl)phosphine, di-tert-butyl(3-methyl-2-butenyl)phosphine, tricyclohexylphosphine; dibutylphenylphosphine, di-tert-butylphenylphosphine, methyldiphenylphosphine, ethyldiphenylphosphine, butyldiphenylphosphine, diphenylcyclohexylphosphine, triphenylphosphine, tri-o-tolylphosphine, tri-m-tolylphosphine, tri-p-tolylphosphine, tris(4-ethylphenyl)phosphine, tris(4-propylphenyl)phosphine, tris(4-isopropylphenyl)phosphine, tris(4-butylphenyl)phosphine, tris(4-tert-butylphenyl)phosphine, tris(2,4-dimethylphenyl) Examples of aromatic phosphines include tris(2,5-dimethylphenyl)phosphine, tris(2,6-dimethylphenyl)phosphine, tris(3,5-dimethylphenyl)phosphine, tris(2,4,6-trimethylphenyl)phosphine, tris(2,6-dimethyl-4-ethoxyphenyl)phosphine, tris(2-methoxyphenyl)phosphine, tris(4-methoxyphenyl)phosphine, tris(4-ethoxyphenyl)phosphine, tris(4-tert-butoxyphenyl)phosphine, diphenyl-2-pyridylphosphine, 1,2-bis(diphenylphosphino)ethane, 1,3-bis(diphenylphosphino)propane, 1,4-bis(diphenylphosphino)butane, 1,2-bis(diphenylphosphino)acetylene, and 2,2'-bis(diphenylphosphino)diphenyl ether.

ウレア系硬化促進剤としては、例えば、1,1-ジメチル尿素;1,1,3-トリメチル尿素、3-エチル-1,1-ジメチル尿素、3-シクロヘキシル-1,1-ジメチル尿素、3-シクロオクチル-1,1-ジメチル尿素等の脂肪族ジメチルウレア;3-フェニル-1,1-ジメチル尿素、3-(4-クロロフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(3,4-ジクロロフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(3-クロロ-4-メチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(2-メチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-メチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(3,4-ジメチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-イソプロピルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-メトキシフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-ニトロフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-[4-(4-メトキシフェノキシ)フェニル]-1,1-ジメチル尿素、3-[4-(4-クロロフェノキシ)フェニル]-1,1-ジメチル尿素、3-[3-(トリフルオロメチル)フェニル]-1,1-ジメチル尿素、N,N-(1,4-フェニレン)ビス(N’,N’-ジメチル尿素)、N,N-(4-メチル-1,3-フェニレン)ビス(N’,N’-ジメチル尿素)〔トルエンビスジメチルウレア〕等の芳香族ジメチルウレア等が挙げられる。 Examples of urea-based curing accelerators include aliphatic dimethylureas such as 1,1-dimethylurea, 1,1,3-trimethylurea, 3-ethyl-1,1-dimethylurea, 3-cyclohexyl-1,1-dimethylurea, and 3-cyclooctyl-1,1-dimethylurea; 3-phenyl-1,1-dimethylurea, 3-(4-chlorophenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(3,4-dichlorophenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(3-chloro-4-methylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(2-methylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(4-methylphenyl)-1,1-dimethylurea, and 3-(3,4-dimethylphenyl)-1,1-dimethylurea. Examples include aromatic dimethylureas such as tolueneurea, 3-(4-isopropylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(4-methoxyphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(4-nitrophenyl)-1,1-dimethylurea, 3-[4-(4-methoxyphenoxy)phenyl]-1,1-dimethylurea, 3-[4-(4-chlorophenoxy)phenyl]-1,1-dimethylurea, 3-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-1,1-dimethylurea, N,N-(1,4-phenylene)bis(N',N'-dimethylurea), and N,N-(4-methyl-1,3-phenylene)bis(N',N'-dimethylurea) [toluenebisdimethylurea].

グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1-メチルグアニジン、1-エチルグアニジン、1-シクロヘキシルグアニジン、1-フェニルグアニジン、1-(o-トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、1-メチルビグアニド、1-エチルビグアニド、1-n-ブチルビグアニド、1-n-オクタデシルビグアニド、1,1-ジメチルビグアニド、1,1-ジエチルビグアニド、1-シクロヘキシルビグアニド、1-アリルビグアニド、1-フェニルビグアニド、1-(o-トリル)ビグアニド等が挙げられる。 Examples of guanidine-based curing accelerators include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1-(o-tolyl)guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]deca-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]deca-5-ene, 1-methylbiguanide, 1-ethylbiguanide, 1-n-butylbiguanide, 1-n-octadecylbiguanide, 1,1-dimethylbiguanide, 1,1-diethylbiguanide, 1-cyclohexylbiguanide, 1-allylbiguanide, 1-phenylbiguanide, and 1-(o-tolyl)biguanide.

イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2-メチルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3-ジヒドロ-1H-ピロロ[1,2-a]ベンズイミダゾール、1-ドデシル-2-メチル-3-ベンジルイミダゾリウムクロライド、2-メチルイミダゾリン、2-フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられる。イミダゾール系硬化促進剤の市販品としては、例えば、四国化成工業社製の「1B2PZ」、「2E4MZ」、「2MZA-PW」、「2MZ-OK」、「2MA-OK」、「2MA-OK-PW」、「2PHZ」、「2PHZ-PW」、「Cl1Z」、「Cl1Z-CN」、「Cl1Z-CNS」、「C11Z-A」;三菱ケミカル社製の「P200-H50」等が挙げられる。 Examples of imidazole-based curing accelerators include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2- Phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl] -(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine isocyanurate adduct, 2-phenylimidazole isocyanurate adduct Examples include imidazole compounds such as 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo[1,2-a]benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline, and 2-phenylimidazoline, as well as adducts of imidazole compounds with epoxy resins. Examples of commercially available imidazole-based curing accelerators include "1B2PZ," "2E4MZ," "2MZA-PW," "2MZ-OK," "2MA-OK," "2MA-OK-PW," "2PHZ," "2PHZ-PW," "Cl1Z," "Cl1Z-CN," "Cl1Z-CNS," and "C11Z-A" from Shikoku Chemicals Corporation; and "P200-H50" from Mitsubishi Chemical Corporation.

金属系硬化促進剤としては、例えば、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体の具体例としては、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体、銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅錯体、亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体、鉄(III)アセチルアセトナート等の有機鉄錯体、ニッケル(II)アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体、マンガン(II)アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体等が挙げられる。有機金属塩としては、例えば、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛等が挙げられる。 Examples of metal-based hardening accelerators include organometallic complexes or organometallic salts of metals such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, and tin. Specific examples of organometallic complexes include organocobalto complexes such as cobalt(II) acetylacetonate and cobalt(III) acetylacetonate, organocouprogentocompound complexes such as copper(II) acetylacetonate, organozinc complexes such as zinc(II) acetylacetonate, organoiron complexes such as iron(III) acetylacetonate, organoniceric complexes such as nickel(II) acetylacetonate, and organomanganese complexes such as manganese(II) acetylacetonate. Examples of organometallic salts include zinc octoate, tin octoate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate, and zinc stearate.

アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、4-ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,-トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8-ジアザビシクロ(5,4,0)-ウンデセン等が挙げられる。アミン系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、味の素ファインテクノ社製の「MY-25」等が挙げられる。 Examples of amine-based curing accelerators include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6-tris(dimethylaminomethyl)phenol, and 1,8-diazabicyclo(5,4,0)-undecene. Commercially available amine-based curing accelerators may also be used; for example, "MY-25" manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd. is one such example.

(E)硬化促進剤の含有量は、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.3質量%以上、さらに好ましくは0.5質量%以上であり、好ましくは5質量%以下、より好ましくは3質量%以下、さらに好ましくは1質量%以下である。 (E) The content of the curing accelerator is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.3% by mass or more, even more preferably 0.5% by mass or more, preferably 5% by mass or less, more preferably 3% by mass or less, and even more preferably 1% by mass or less, when the nonvolatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass.

<(F)任意の添加剤>
硬化性組成物は、上述した(A)~(D)成分に組み合わせて、更に任意の不揮発成分として、(F)任意の添加剤を含んでいてもよい。(F)任意の添加剤としては、例えば、保存安定剤;硬化剤;熱可塑性樹脂;重合開始剤;有機銅化合物、有機亜鉛化合物、有機コバルト化合物等の有機金属化合物;フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、アイオディングリーン、ジアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック等の着色剤;ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、フェノチアジン等の重合禁止剤;シリコーン系レベリング剤、アクリルポリマー系レベリング剤等のレベリング剤;ベントン、モンモリロナイト等の増粘剤;シリコーン系消泡剤、アクリル系消泡剤、フッ素系消泡剤、ビニル樹脂系消泡剤等の消泡剤;ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤等の紫外線吸収剤;尿素シラン等の接着性向上剤;トリアゾール系密着性付与剤、テトラゾール系密着性付与剤、トリアジン系密着性付与剤等の密着性付与剤;ヒンダードフェノール系酸化防止剤等の酸化防止剤;スチルベン誘導体等の蛍光増白剤;フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤;リン系難燃剤(例えばリン酸エステル化合物、ホスファゼン化合物、ホスフィン酸化合物、赤リン)、窒素系難燃剤(例えば硫酸メラミン)、ハロゲン系難燃剤、無機系難燃剤(例えば三酸化アンチモン)等の難燃剤;リン酸エステル系分散剤、ポリオキシアルキレン系分散剤、アセチレン系分散剤、シリコーン系分散剤、アニオン性分散剤、カチオン性分散剤等の分散剤;ボレート系安定剤、チタネート系安定剤、アルミネート系安定剤、ジルコネート系安定剤、イソシアネート系安定剤、カルボン酸系安定剤、カルボン酸無水物系安定剤等の安定剤;第三級アミン類等の光重合開始助剤;ピラリゾン類、アントラセン類、クマリン類、キサントン類、チオキサントン類等の光増感剤;が挙げられる。(F)任意の添加剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<(F) Any additives>
The curable composition may further contain (F) any additive as an optional nonvolatile component, in combination with the components (A) to (D) described above. (F) Optional additives include, for example, preservatives and stabilizers; curing agents; thermoplastic resins; polymerization initiators; organometallic compounds such as organocopper compounds, organozinc compounds, and organocobalt compounds; colorants such as phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodine green, diazo yellow, crystal violet, titanium dioxide, and carbon black; polymerization inhibitors such as hydroquinone, catechol, pyrogallol, and phenothiazine; leveling agents such as silicone-based leveling agents and acrylic polymer-based leveling agents; thickeners such as bentonite and montmorillonite; defoamers such as silicone-based defoamers, acrylic-based defoamers, fluorine-based defoamers, and vinyl resin-based defoamers; ultraviolet absorbers such as benzotriazole-based ultraviolet absorbers; adhesion improvers such as urea silane; adhesion ferrites such as triazole-based adhesion ferrites, tetrazole-based adhesion ferrites, and triazine-based adhesion ferrites; hindered ferrites Examples include antioxidants such as ol-based antioxidants; fluorescent whitening agents such as stilbene derivatives; surfactants such as fluorine-based surfactants and silicone-based surfactants; flame retardants such as phosphorus-based flame retardants (e.g., phosphate ester compounds, phosphazene compounds, phosphinic acid compounds, red phosphorus), nitrogen-based flame retardants (e.g., melamine sulfate), halogen-based flame retardants, and inorganic flame retardants (e.g., antimony trioxide); dispersants such as phosphate ester-based dispersants, polyoxyalkylene-based dispersants, acetylene-based dispersants, silicone-based dispersants, anionic dispersants, and cationic dispersants; stabilizers such as borate-based stabilizers, titanate-based stabilizers, aluminate-based stabilizers, zirconate-based stabilizers, isocyanate-based stabilizers, carboxylic acid-based stabilizers, and carboxylic acid anhydride-based stabilizers; photopolymerization initiators such as tertiary amines; and photosensitizers such as pyrarizones, anthracenes, coumarins, xanthones, and thioxanthones. (F) Any additive may be used individually or in combination of two or more types.

硬化性組成物は、揮発性成分として、さらに任意の溶剤を含有していてもよい。溶剤としては、例えば、有機溶剤が挙げられる。また、溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種類以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。 The curable composition may further contain any solvent as a volatile component. Examples of solvents include organic solvents. Furthermore, the solvent may be used alone, or two or more solvents may be used in any ratio.

溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸イソアミル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、γ-ブチロラクトン等のエステル系溶剤;テトラヒドロピラン、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジフェニルエーテル等のエーテル系溶剤;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール等のアルコール系溶剤;酢酸2-エトキシエチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセタート、エチルジグリコールアセテート、γ-ブチロラクトン、メトキシプロピオン酸メチル等のエーテルエステル系溶剤;乳酸メチル、乳酸エチル、2-ヒドロキシイソ酪酸メチル等のエステルアルコール系溶剤;2-メトキシプロパノール、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(ブチルカルビトール)等のエーテルアルコール系溶剤;N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン等のアミド系溶剤;ジメチルスルホキシド等のスルホキシド系溶剤;アセトニトリル、プロピオニトリル等のニトリル系溶剤;ヘキサン、シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、トリメチルベンゼン等の芳香族炭化水素系溶剤等を挙げることができる。 Examples of solvents include ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; ester solvents such as methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, isobutyl acetate, isoamyl acetate, methyl propionate, ethyl propionate, and γ-butyrolactone; ether solvents such as tetrahydropyran, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, diethyl ether, diisopropyl ether, dibutyl ether, and diphenyl ether; alcohol solvents such as methanol, ethanol, propanol, butanol, and ethylene glycol; and 2-ethoxyethyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, ethyl diglycol acetate, γ-butyrolactone, and methyl methoxypropionate. Examples of solvents include ether ester solvents; ester alcohol solvents such as methyl lactate, ethyl lactate, and methyl 2-hydroxyisobutyrate; ether alcohol solvents such as 2-methoxypropanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, propylene glycol monomethyl ether, and diethylene glycol monobutyl ether (butyl carbitol); amide solvents such as N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, and N-methyl-2-pyrrolidone; sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide; nitrile solvents such as acetonitrile and propionitrile; aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane, cyclopentane, cyclohexane, and methylcyclohexane; and aromatic hydrocarbon solvents such as benzene, toluene, xylene, ethylbenzene, and trimethylbenzene.

溶剤の量は、硬化性組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは3質量%以下、より好ましくは1質量%以下、更に好ましくは0.5質量%以下、更に好ましくは0.1質量%以下、更に好ましくは0.01質量%以下であり、含まないこと(0質量%)が特に好ましい。また、硬化性組成物は、このように溶剤の量が少ない場合に、ペースト状であってもよい。ペースト状の硬化性組成物の25℃における粘度は、20Pa・s~1000Pa・sの範囲内にあることが好ましい。 The amount of solvent is preferably 3% by mass or less, more preferably 1% by mass or less, even more preferably 0.5% by mass or less, even more preferably 0.1% by mass or less, and even more preferably 0.01% by mass or less, relative to 100% by mass of the non-volatile components in the curable composition. It is particularly preferable that there is no solvent (0% by mass). Furthermore, when the amount of solvent is so low, the curable composition may be in paste form. The viscosity of the paste-like curable composition at 25°C is preferably in the range of 20 Pa·s to 1000 Pa·s.

硬化性組成物の調製方法は、特に限定されるものではなく、例えば、任意の調製容器に、配合成分を、任意の順で及び/又は一部若しくは全部同時に加えて混合することによって、製造することができる。また、各成分を加えて混合する過程で、温度を適宜設定することができ、一時的に又は終始にわたって、加熱及び/又は冷却してもよい。また、各成分を加えて混合する過程において、撹拌又は振盪を行ってもよい。また、加えて混合する際に又はその後に、硬化性組成物を、例えば、ミキサーなどの撹拌装置又は振盪装置を用いて撹拌又は振盪し、均一に分散させてもよい。また、撹拌又は振盪と同時に、真空下等の低圧条件下で脱泡を行ってもよい。混合温度は、例えば、10~40℃であり得る。混合時の撹拌速度は、例えば、100~10000rpmであり得る。混合時間は、例えば、10秒から10分であり得る。 The method for preparing the curable composition is not particularly limited. For example, it can be manufactured by adding the components in any order and/or some or all of them simultaneously to any preparation container and mixing them. The temperature can be appropriately set during the process of adding and mixing each component, and heating and/or cooling may be performed temporarily or continuously. Stirring or shaking may also be performed during the process of adding and mixing each component. Furthermore, the curable composition may be stirred or shaken using a stirring or shaking device, such as a mixer, during or after mixing to ensure uniform dispersion. Degassing may also be performed simultaneously with stirring or shaking under low-pressure conditions, such as under vacuum. The mixing temperature may be, for example, 10 to 40°C. The stirring speed during mixing may be, for example, 100 to 10,000 rpm. The mixing time may be, for example, 10 seconds to 10 minutes.

<硬化性組成物の物性、用途>
硬化性組成物を120℃で90分間熱硬化させて得られた硬化物は、優れた熱伝導率を示す。即ち熱伝導率が高い絶縁層をもたらす。熱伝導率としては、好ましくは1.4W/m・K以上、より好ましくは1.41W/m・K以上、さらに好ましくは1.42W/m・K以上である。熱伝導率の上限は特に限定されないが、10W/m・K以下等とし得る。熱伝導率の評価は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。
<Physical properties and applications of curable compositions>
The cured product obtained by thermal curing the curable composition at 120°C for 90 minutes exhibits excellent thermal conductivity. That is, it provides an insulating layer with high thermal conductivity. The thermal conductivity is preferably 1.4 W/m·K or higher, more preferably 1.41 W/m·K or higher, and even more preferably 1.42 W/m·K or higher. There is no particular upper limit to the thermal conductivity, but it can be 10 W/m·K or lower. The thermal conductivity can be evaluated by measuring it according to the method described in the examples below.

硬化性組成物を120℃で90分間熱硬化させて得られた硬化物は、低い弾性率を示す。即ち低い弾性率を示す絶縁層をもたらす。該硬化物の弾性率は、好ましくは4000MPa未満、より好ましくは3500MPa以下、さらに好ましくは1000MPa以下、600MPa以下、500MPa以下、150MPa以下である。下限は特に限定されないが、0.1MPa以上等とし得る。弾性率の評価は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。該硬化物は低い弾性率を示すことから、耐衝撃性に優れる硬化物を得ることができる。 The cured product obtained by thermal curing the curable composition at 120°C for 90 minutes exhibits a low elastic modulus. That is, it yields an insulating layer with a low elastic modulus. The elastic modulus of the cured product is preferably less than 4000 MPa, more preferably 3500 MPa or less, and even more preferably 1000 MPa or less, 600 MPa or less, 500 MPa or less, or 150 MPa or less. The lower limit is not particularly limited, but can be 0.1 MPa or higher, for example. The elastic modulus can be evaluated according to the method described in the examples below. Because the cured product exhibits a low elastic modulus, a cured product with excellent impact resistance can be obtained.

本発明の硬化性組成物は熱伝導率が高く及び弾性率が低い絶縁層をもたらすことができる。したがって、本発明の硬化性組成物は、ヒートシンクと電子部品とを接着するための硬化性組成物(ヒートシンクの接着用硬化性組成物)、半導体チップパッケージの絶縁層を形成するための硬化性組成物(半導体チップパッケージの絶縁層用硬化性組成物)、回路基板(プリント配線板を含む)の絶縁層を形成するための硬化性組成物(回路基板の絶縁層用硬化性組成物)として好適に使用することができ、その上にメッキにより導体層が形成される層間絶縁層を形成するための硬化性組成物(メッキにより導体層を形成する回路基板の層間絶縁層用硬化性組成物)としてさらに好適に使用することができる。また、半導体チップを封止するための硬化性組成物(半導体チップ封止用硬化性組成物)、半導体チップに配線を形成するための硬化性組成物(半導体チップ配線形成用硬化性組成物)としても好適に使用することができる。 The curable composition of the present invention can provide an insulating layer with high thermal conductivity and low elastic modulus. Therefore, the curable composition of the present invention can be suitably used as a curable composition for bonding heat sinks to electronic components (curable composition for heat sink bonding), a curable composition for forming an insulating layer of a semiconductor chip package (curable composition for insulating layer of semiconductor chip package), and a curable composition for forming an insulating layer of a circuit board (including printed wiring boards) (curable composition for insulating layer of circuit board). It can be even more suitably used as a curable composition for forming an interlayer insulating layer on which a conductive layer is formed by plating (curable composition for interlayer insulating layer of circuit board where a conductive layer is formed by plating). Furthermore, it can be suitably used as a curable composition for encapsulating semiconductor chips (curable composition for semiconductor chip encapsulation) and a curable composition for forming wiring on semiconductor chips (curable composition for semiconductor chip wiring formation).

[硬化性組成物含有シート]
本発明の硬化性組成物含有シートは、支持体と、該支持体上に設けられた、本発明の硬化性組成物で形成された硬化性組成物層を含む。
[Curable composition-containing sheet]
The sheet containing the curable composition of the present invention comprises a support and a curable composition layer formed of the curable composition of the present invention, provided on the support.

硬化性組成物層の厚さは、薄型化の観点から、好ましくは200μm以下、より好ましくは150μm以下、さらに好ましくは100μm以下である。硬化性組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、通常、1μm以上、5μm以上、10μm以上等とし得る。 From the viewpoint of miniaturization, the thickness of the curable composition layer is preferably 200 μm or less, more preferably 150 μm or less, and even more preferably 100 μm or less. The lower limit of the thickness of the curable composition layer is not particularly limited, but it can usually be 1 μm or more, 5 μm or more, 10 μm or more, etc.

支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。 Examples of support materials include films made of plastic materials, metal foils, and release paper, with films made of plastic materials and metal foils being preferred.

支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミド等が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。 When using a film made of plastic material as a support, examples of plastic materials include polyesters such as polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PET") and polyethylene naphthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PEN"), polycarbonate (hereinafter sometimes abbreviated as "PC"), acrylics such as polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic polyolefins, triacetylcellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether ketones, and polyimides. Among these, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferred, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferred.

支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。 When using metal foil as a support, examples of metal foil include copper foil and aluminum foil, with copper foil being preferred. As for copper foil, foil made of pure copper may be used, or foil made of an alloy of copper with another metal (e.g., tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.) may be used.

支持体は、硬化性組成物層と接合する面にマット処理、コロナ処理、帯電防止処理を施してあってもよい。 The support may have a matte finish, corona treatment, or antistatic treatment applied to the surface that bonds with the curable composition layer.

また、支持体としては、硬化性組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型層付き支持体は、市販品を用いてもよく、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、リンテック社製の「SK-1」、「AL-5」、「AL-7」、東レ社製の「ルミラーT60」、帝人社製の「ピューレックス」、ユニチカ社製の「ユニピール」等が挙げられる。 Furthermore, as the support, a support with a release layer may be used, which has a release layer on the surface that bonds with the curable composition layer. Examples of release agents used in the release layer of the support with a release layer include one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, urethane resins, and silicone resins. Commercially available support products may be used for the support with a release layer. Examples include PET films having a release layer mainly composed of an alkyd resin-based release agent, such as "SK-1," "AL-5," and "AL-7" from Lintec Corporation, "Lumirror T60" from Toray Industries, Inc., "Purex" from Teijin Corporation, and "Unipeel" from Unitika Corporation.

支持体の厚みとしては、特に限定されないが、5μm~75μmの範囲が好ましく、10μm~60μmの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。 The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, and more preferably in the range of 10 μm to 60 μm. When using a support with a release layer, it is preferable that the overall thickness of the support with the release layer be within the above range.

一実施形態において、硬化性組成物含有シートは、さらに必要に応じて、その他の層を含んでいてもよい。斯かるその他の層としては、例えば、硬化性組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)に設けられた、支持体に準じた保護フィルム等が挙げられる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、1μm~40μmである。保護フィルムを積層することにより、硬化性組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを抑制することができる。 In one embodiment, the sheet containing the curable composition may further include other layers as needed. Such other layers include, for example, a protective film similar to the support, provided on the side of the curable composition layer that is not bonded to the support (i.e., the side opposite the support). The thickness of the protective film is not particularly limited, but is, for example, 1 μm to 40 μm. By laminating the protective film, the adhesion of dust and other debris to the surface of the curable composition layer and scratches can be suppressed.

硬化性組成物含有シートは、例えば、有機溶剤に硬化性組成物を溶解した硬化性組成物含有ワニスを調製し、この硬化性組成物含有ワニスを、ダイコーター等を用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて硬化性組成物層を形成させることにより製造することができる。 A sheet containing a curable composition can be manufactured, for example, by preparing a varnish containing the curable composition by dissolving the curable composition in an organic solvent, applying this varnish to a support using a die coater or the like, and then drying it to form a layer of the curable composition.

有機溶剤としては、硬化性組成物に含まれていてもよい溶剤と同じであり、上記したとおりである。 The organic solvent is the same as the solvent that may be included in the curable composition, as described above.

乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施してよい。乾燥条件は特に限定されないが、硬化性組成物層中の有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。硬化性組成物含有ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%~60質量%の有機溶剤を含む硬化性組成物含有ワニスを用いる場合、50℃~150℃で3分間~10分間乾燥させることにより、硬化性組成物層を形成することができる。 Drying may be carried out by known methods such as heating or hot air blowing. While the drying conditions are not particularly limited, the drying should be performed so that the content of the organic solvent in the curable composition layer is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Although this varies depending on the boiling point of the organic solvent in the curable composition-containing varnish, for example, when using a curable composition-containing varnish containing 30% to 60% by mass of organic solvent, the curable composition layer can be formed by drying at 50°C to 150°C for 3 to 10 minutes.

硬化性組成物含有シートは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。硬化性組成物含有シートが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。 Sheets containing the curable composition can be stored by being rolled up. If the sheet has a protective film, it can be used after removing the protective film.

[回路基板]
本発明の回路基板は、本発明の硬化性組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む。
本発明の回路基板の製造方法は、
(1)基材と、該基材の少なくとも一方の面に設けられた配線層とを有する配線層付き基材を準備する工程、
(2)配線層が埋め込まれるように、配線層付き基材上に硬化性組成物層を形成し、熱硬化させて絶縁層を形成する工程、
(3)配線層を層間接続する工程を含む。
また、回路基板の製造方法は、(4)基材を除去する工程、を含んでいてもよい。
[Circuit board]
The circuit board of the present invention includes an insulating layer formed from a cured product of the curable composition of the present invention.
The method for manufacturing a circuit board of the present invention is:
(1) A step of preparing a substrate with a wiring layer, which has a substrate and a wiring layer provided on at least one surface of the substrate.
(2) A step of forming a curable composition layer on a substrate with a wiring layer so that the wiring layer is embedded, and then heat-curing it to form an insulating layer.
(3) Includes the step of inter-layer connection of wiring layers.
Furthermore, the method for manufacturing the circuit board may include (4) the step of removing the substrate.

工程(3)は、配線層を層間接続することができれば特に限定されないが、絶縁層にビアホールを形成し、配線層を形成する工程、及び絶縁層を研磨又は研削し、配線層を露出させる工程の少なくともいずれかの工程であることが好ましい。 Step (3) is not particularly limited as long as the wiring layers can be interlayer-connected, but it is preferably at least one of the following steps: forming via holes in the insulating layer and forming the wiring layer, and polishing or grinding the insulating layer to expose the wiring layer.

<工程(1)>
工程(1)は、基材と、該基材の少なくとも一方の面に設けられた配線層とを有する配線層付き基材を準備する工程である。通常、配線層付き基材は、基材の両面に基材の一部である第1金属層、第2金属層をそれぞれ有し、第2金属層の基材側の面とは反対側の面に配線層を有する。詳細は、基材上にドライフィルム(感光性レジストフィルム)を積層し、フォトマスクを用いて所定の条件で露光、現像しパターンドライフィルムを形成する。現像したパターンドライフィルムをめっきマスクとして電解めっき法により配線層を形成した後、パターンドライフィルムを剥離する。
<Step (1)>
Step (1) is a step of preparing a substrate with a wiring layer, which has a substrate and a wiring layer provided on at least one side of the substrate. Typically, a substrate with a wiring layer has a first metal layer and a second metal layer, which are part of the substrate, on both sides of the substrate, and the wiring layer is on the side of the second metal layer opposite to the substrate side. Specifically, a dry film (photosensitive resist film) is laminated onto the substrate, and a pattern dry film is formed by exposure and development under predetermined conditions using a photomask. After forming a wiring layer by electroplating using the developed pattern dry film as a plating mask, the pattern dry film is peeled off.

基材としては、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板(ステンレスや冷間圧延鋼板(SPCC)など)、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の基板が挙げられ、基板表面に銅箔等の金属層が形成されていてもよい。また、表面に剥離可能な第1金属層及び第2金属層(例えば、三井金属鉱業社製のキャリア銅箔付極薄銅箔、商品名「Micro Thin」)等の金属層が形成されていてもよい。 Examples of substrates include glass epoxy substrates, metal substrates (such as stainless steel or cold-rolled steel sheets (SPCC)), polyester substrates, polyimide substrates, BT resin substrates, and thermosetting polyphenylene ether substrates. A metal layer, such as copper foil, may be formed on the substrate surface. Furthermore, peelable metal layers, such as a first metal layer and a second metal layer (for example, ultra-thin copper foil with carrier copper foil, product name "Micro Thin," manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.), may be formed on the surface.

ドライフィルムとしては、フォトレジスト組成物からなる感光性のドライフィルムである限り特に限定されず、例えば、ノボラック樹脂、アクリル樹脂等のドライフィルムを用いることができる。ドライフィルムは市販品を用いてもよい。 The dry film is not particularly limited as long as it is a photosensitive dry film made from a photoresist composition; for example, dry films made from novolac resin, acrylic resin, etc., can be used. Commercially available dry films may also be used.

基材とドライフィルムとの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃~160℃、より好ましくは80℃~140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa~1.77MPa、より好ましくは0.29MPa~1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間~400秒間、より好ましくは30秒間~300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力13hPa以下の減圧条件下で実施する。 Lamination of the substrate and dry film may be carried out by vacuum lamination. In vacuum lamination, the heat-pressing temperature is preferably in the range of 60°C to 160°C, more preferably 80°C to 140°C; the heat-pressing pressure is preferably in the range of 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0.29 MPa to 1.47 MPa; and the heat-pressing time is preferably in the range of 20 seconds to 400 seconds, more preferably 30 seconds to 300 seconds. Lamination is preferably carried out under reduced pressure conditions of 13 hPa or less.

ドライフィルムを基材上に積層後、ドライフィルムに対して所望のパターンを形成するためにフォトマスクを用いて所定の条件で露光、現像を行う。 After laminating the dry film onto the substrate, the dry film is exposed and developed under predetermined conditions using a photomask to form the desired pattern.

配線層のライン(回路幅)/スペース(回路間の幅)比は特に制限されないが、好ましくは20/20μm以下(即ちピッチが40μm以下)、より好ましくは10/10μm以下、さらに好ましくは5/5μm以下、よりさらに好ましくは1/1μm以下、特に好ましくは0.5/0.5μm以上である。ピッチは、配線層の全体にわたって同一である必要はない。配線層の最小ピッチは、40μm以下、36μm以下、又は30μm以下であってもよい。 The line (circuit width) / space (width between circuits) ratio of the wiring layer is not particularly limited, but is preferably 20/20 μm or less (i.e., pitch of 40 μm or less), more preferably 10/10 μm or less, even more preferably 5/5 μm or less, even more preferably 1/1 μm or less, and particularly preferably 0.5/0.5 μm or more. The pitch does not need to be the same throughout the entire wiring layer. The minimum pitch of the wiring layer may be 40 μm or less, 36 μm or less, or 30 μm or less.

ドライフィルムのパターンを形成後、配線層を形成し、ドライフィルムを剥離する。ここで、配線層の形成は、所望のパターンを形成したドライフィルムをめっきマスクとして使用し、めっき法により実施することができる。 After forming the pattern on the dry film, a wiring layer is formed, and the dry film is peeled off. Here, the wiring layer can be formed by using the dry film with the desired pattern as a plating mask and performing a plating method.

配線層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、配線層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。配線層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成されたものが挙げられる。中でも、配線層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。 The conductive material used for the wiring layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the wiring layer contains one or more metals selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin, and indium. The wiring layer may be a single-metal layer or an alloy layer. Examples of alloy layers include those formed from an alloy of two or more metals selected from the above group (e.g., nickel-chromium alloy, copper-nickel alloy, and copper-titanium alloy). Among these, from the viewpoint of versatility in wiring layer formation, cost, and ease of patterning, single-metal layers of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver, or copper, or alloy layers of nickel-chromium alloy, copper-nickel alloy, or copper-titanium alloy are preferred. Single-metal layers of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver, or copper, or alloy layers of nickel-chromium alloy are more preferred, and single-metal layers of copper are even more preferred.

配線層の厚みは、所望の配線板のデザインによるが、好ましくは3μm~35μm、より好ましくは5μm~30μm、さらに好ましくは10~20μm、又は15~20μmである。工程(3)において絶縁層を研磨又は研削し、配線層を露出させて配線層を層間接続する工程を採用する場合は、層間接続する配線と、接続しない配線の厚みは異なっていることが好ましい。配線層の厚みは、前述のパターン形成を繰り返すことで調整することができる。各配線層のうち、最も厚みがある配線層(導電性ピラー)の厚みは、所望の配線板のデザインによるが、好ましくは2μm以上100μm以下である。また層間接続する配線は凸型となっていてもよい。 The thickness of the wiring layer depends on the desired design of the wiring board, but is preferably 3 μm to 35 μm, more preferably 5 μm to 30 μm, and even more preferably 10 to 20 μm, or 15 to 20 μm. If step (3) involves polishing or grinding the insulating layer to expose the wiring layer and then inter-layer connecting the wiring layers, it is preferable that the thickness of the inter-layer connecting wiring differs from that of the unconnected wiring. The thickness of the wiring layer can be adjusted by repeating the pattern formation process described above. The thickness of the thickest wiring layer (conductive pillar) depends on the desired design of the wiring board, but is preferably 2 μm to 100 μm. The inter-layer connecting wiring may also be convex.

配線層を形成後、ドライフィルムを剥離する。ドライフィルムの剥離は、例えば、水酸化ナトリウム溶液等のアルカリ性の剥離液を使用して実施することができる。必要に応じて、不要な配線パターンをエッチング等により除去して、所望の配線パターンを形成することもできる。形成する配線層のピッチについては、先述のとおりである。 After forming the wiring layer, the dry film is peeled off. The dry film can be peeled off using an alkaline stripping solution, such as a sodium hydroxide solution. If necessary, unwanted wiring patterns can be removed by etching or other methods to form the desired wiring pattern. The pitch of the wiring layer to be formed is as described above.

<工程(2)>
工程(2)は、配線層が埋め込まれるように、配線層付き基材上に硬化性組成物層を形成し、熱硬化させて絶縁層を形成する工程である。詳細は、前述の工程(1)で得られた配線層付き基材の配線層上に、硬化性組成物含有シートの硬化性組成物層を接合し、硬化性組成物層を熱硬化させ絶縁層を形成する。また、工程(2)は、硬化性組成物を配線層付き基材上に塗布し、硬化性組成物を熱硬化させ絶縁層を形成してもよい。
<Step (2)>
Step (2) is a step in which a curable composition layer is formed on a substrate with a wiring layer so that the wiring layer is embedded, and then heat-cured to form an insulating layer. Specifically, the curable composition layer of the curable composition-containing sheet is bonded to the wiring layer of the substrate with a wiring layer obtained in step (1) above, and the curable composition layer is heat-cured to form an insulating layer. Alternatively, in step (2), the curable composition may be applied to the substrate with a wiring layer, and the curable composition may be heat-cured to form an insulating layer.

硬化性組成物層の形成方法の一実施形態としては、硬化性組成物層が配線層付き基材と接合するように、配線層付き基材に硬化性組成物含有シートを積層する。一実施形態において、配線層付き基材と硬化性組成物含有シートの積層は、例えば、支持体側から硬化性組成物含有シートを配線層付き基材に加熱圧着することにより行うことができる。硬化性組成物含有シートを配線層付き基材に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を硬化性組成物含有シートに直接プレスするのではなく、配線層付き基材の表面凹凸に硬化性組成物含有シート十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。 One embodiment of the method for forming a curable composition layer involves laminating a sheet containing a curable composition onto a substrate with a wiring layer so that the curable composition layer is bonded to the substrate with the wiring layer. In one embodiment, the lamination of the substrate with the wiring layer and the sheet containing the curable composition can be performed, for example, by heat-pressing the sheet containing the curable composition onto the substrate with the wiring layer from the support side. Examples of the heat-pressing member used to heat-press the sheet containing the curable composition onto the substrate with the wiring layer (hereinafter also referred to as the "heat-pressing member") include a heated metal plate (such as a SUS end plate) or a metal roll (such as a SUS roll). It is preferable to press the sheet containing the curable composition via an elastic material such as heat-resistant rubber, rather than directly pressing the sheet containing the curable composition onto it, so that the sheet conforms sufficiently to the surface irregularities of the substrate with the wiring layer.

配線層付き基材と硬化性組成物含有シートとの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃~160℃、より好ましくは80℃~140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa~1.77MPa、より好ましくは0.29MPa~1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは10秒間~400秒間、より好ましくは20秒間~300秒間の範囲である。また、積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施される。 Lamination of the substrate with the wiring layer and the sheet containing the curable composition may be carried out by a vacuum lamination method. In the vacuum lamination method, the heat-pressing temperature is preferably in the range of 60°C to 160°C, more preferably in the range of 80°C to 140°C; the heat-pressing pressure is preferably in the range of 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably in the range of 0.29 MPa to 1.47 MPa; and the heat-pressing time is preferably in the range of 10 seconds to 400 seconds, more preferably in the range of 20 seconds to 300 seconds. Furthermore, lamination is preferably carried out under reduced pressure conditions of 26.7 hPa or less.

積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、名機製作所社製の真空加圧式ラミネーター、ニッコー・マテリアルズ社製のバキュームアップリケーター、バッチ式真空加圧ラミネーター等が挙げられる。 Lamination can be performed using a commercially available vacuum laminator. Examples of commercially available vacuum laminators include vacuum pressure laminators manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., vacuum applicators and batch-type vacuum pressure laminators manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.

積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された硬化性組成物含有シートの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。 After lamination, the laminated sheets containing the curable composition may be smoothed by pressing a heat-pressure bonding member from the support side under normal pressure (atmospheric pressure). The pressing conditions for the smoothing process can be the same as those for the heat-pressure bonding process described above. The smoothing process can be performed using a commercially available laminator. Furthermore, lamination and the smoothing process may be performed continuously using a commercially available vacuum laminator.

硬化性組成物層の形成方法の他の実施形態としては、硬化性組成物を配線層付き基材上に塗布する。塗布方法としては、例えば、硬化性組成物をシリンジで注入し、硬化性組成物を押圧して均一の厚さの硬化性組成物層を形成することにより行うことができる。 Another embodiment of the method for forming a curable composition layer involves applying the curable composition onto a substrate with a wiring layer. For example, this can be done by injecting the curable composition with a syringe and then pressing the composition to form a curable composition layer of uniform thickness.

配線層が埋め込まれるように配線層付き基材上に硬化性組成物層を形成した後、硬化性組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。硬化性組成物層の熱硬化条件は、硬化性組成物の種類等によっても異なるが、例えば、硬化温度は120℃~240℃の範囲、硬化時間は5分間~120分間の範囲とすることができる。硬化性組成物層を熱硬化させる前に、硬化性組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。 After forming a curable composition layer on a substrate with a wiring layer so that the wiring layer is embedded, the curable composition layer is heat-cured to form an insulating layer. The heat-curing conditions for the curable composition layer vary depending on the type of curable composition, but for example, the curing temperature can be in the range of 120°C to 240°C, and the curing time can be in the range of 5 minutes to 120 minutes. Before heat-curing the curable composition layer, it may be preheated at a temperature lower than the curing temperature.

硬化性組成物層を熱硬化して絶縁層を形成した後、絶縁層表面を研磨してもよい。研磨方法は特に限定されず、公知の方法にて研磨すればよく、例えば平面研削盤を用いて絶縁層表面を研磨することができる。 After thermally curing the curable composition layer to form an insulating layer, the surface of the insulating layer may be polished. The polishing method is not particularly limited; any known method may be used. For example, the surface of the insulating layer can be polished using a surface grinding machine.

<工程(3)>
工程(3)は、配線層を層間接続する工程である。詳細は、絶縁層にビアホールを形成し、導体層を形成して配線層を層間接続する工程である。または絶縁層を研磨又は研削し、配線層を露出させて配線層を層間接続する工程である。
<Step (3)>
Step (3) is the step of inter-layer connection of the wiring layers. Specifically, it is the step of forming via holes in the insulating layer, forming a conductor layer, and inter-layer connection of the wiring layers. Alternatively, it is the step of polishing or grinding the insulating layer to expose the wiring layer and inter-layer connection of the wiring layers.

絶縁層にビアホールを形成し、導体層を形成して配線層を層間接続する工程を採用する場合、ビアホールの形成は特に限定されないが、レーザー照射、エッチング、メカニカルドリリング等が挙げられるが、レーザー照射によって行われることが好ましい。このレーザー照射は、光源として炭酸ガスレーザー、YAGレーザー、エキシマレーザー等を用いる任意好適なレーザー加工機を用いて行うことができる。 When employing a process of forming via holes in the insulating layer, forming a conductor layer, and then interlayer-connecting the wiring layer, the via hole formation method is not particularly limited, but examples include laser irradiation, etching, and mechanical drilling. However, laser irradiation is preferred. This laser irradiation can be performed using any suitable laser processing machine that employs a carbon dioxide laser, YAG laser, excimer laser, etc., as the light source.

レーザー照射の条件は特に限定されず、レーザー照射は選択された手段に応じた常法に従う任意好適な工程により実施することができる。 The conditions for laser irradiation are not particularly limited, and laser irradiation can be carried out by any suitable process in accordance with conventional methods depending on the selected means.

ビアホールの形状、すなわち延在方向でみたときの開口の輪郭の形状は特に限定されないが、一般的には円形(略円形)とされる。 The shape of the beer hole, that is, the shape of the opening's contour when viewed in the direction of extension, is not particularly limited, but it is generally considered to be circular (or nearly circular).

ビアホール形成後、ビアホール内のスミア除去工程である、いわゆるデスミア工程を行なってもよい。後述する導体層の形成をめっき工程により行う場合には、ビアホールに対して、例えば湿式のデスミア処理を行ってもよく、導体層の形成をスパッタ工程により行う場合には、例えばプラズマ処理工程などのドライデスミア工程を行ってもよい。また、デスミア工程は粗化処理工程を兼ねていてもよい。 After via hole formation, a desmearing process, also known as a desmearing process, may be performed to remove smear from within the via holes. If the conductive layer is formed by a plating process (described later), a wet desmearing treatment may be performed on the via holes. If the conductive layer is formed by a sputtering process, a dry desmearing process, such as a plasma treatment, may be performed. Furthermore, the desmearing process may also serve as a roughening treatment.

導体層を形成する前に、ビアホール及び絶縁層に対して粗化処理を行ってもよい。粗化処理は通常行われる公知の手順、条件を採用することができる。乾式の粗化処理の例としてはプラズマ処理等が挙げられ、湿式の粗化処理の例としては膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理及び中和液による中和処理をこの順に行う方法が挙げられる。 Before forming the conductive layer, roughening treatment may be performed on the via holes and insulating layer. Commonly known procedures and conditions can be used for the roughening treatment. Examples of dry roughening treatments include plasma treatment, while examples of wet roughening treatments include swelling with a swelling solution, roughening with an oxidizing agent, and neutralization with a neutralizing solution, performed in that order.

粗化処理後の絶縁層表面の表面粗さ(Ra)としては、好ましくは350nm以上、より好ましくは400nm以上、さらに好ましくは450nm以上である。上限は、好ましくは700nm以下、より好ましくは650nm以下、さらに好ましくは600nm以下である。表面粗さ(Ra)は、例えば、非接触型表面粗さ計を用いて測定することができる。 The surface roughness (Ra) of the insulating layer surface after roughening treatment is preferably 350 nm or more, more preferably 400 nm or more, and even more preferably 450 nm or more. The upper limit is preferably 700 nm or less, more preferably 650 nm or less, and even more preferably 600 nm or less. The surface roughness (Ra) can be measured, for example, using a non-contact surface roughness meter.

ビアホールを形成後、導体層を形成する。導体層を構成する導体材料は特に限定されず、導体層は、めっき、スパッタ、蒸着等従来公知の任意好適な方法により形成することができ、めっきにより形成することが好ましい。好適な一実施形態は、例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にめっきして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。 After forming via holes, a conductor layer is formed. The conductor material constituting the conductor layer is not particularly limited, and the conductor layer can be formed by any suitable conventionally known method such as plating, sputtering, or vapor deposition; formation by plating is preferred. A preferred embodiment involves plating the surface of the insulating layer using conventionally known techniques such as semi-additive or fully additive methods to form a conductor layer having a desired wiring pattern. The conductor layer may be a single-layer structure or a multi-layer structure consisting of two or more single-metal or alloy layers made of different types of metals or alloys.

詳細は、絶縁層の表面に、無電解めっきによりめっきシード層を形成する。次いで、形成されためっきシード層上に、所望の配線パターンに対応してめっきシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出しためっきシード層上に、電解めっきにより電解めっき層を形成する。その際、電解めっき層の形成とともに、ビアホールを電解めっきにより埋め込んでフィルドビアを形成してもよい。電解めっき層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なめっきシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。なお、導体層を形成する際、マスクパターンの形成に用いるドライフィルムは、上記ドライフィルムと同様である。 In detail, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern is formed on the formed plating seed layer, exposing a portion of the plating seed layer corresponding to the desired wiring pattern. An electroplated layer is then formed on the exposed plating seed layer by electroplating. At this time, via holes may be filled by electroplating to form filled vias along with the formation of the electroplated layer. After forming the electroplated layer, the mask pattern is removed. Then, the unnecessary plating seed layer can be removed by etching or other means to form a conductor layer with the desired wiring pattern. The dry film used to form the mask pattern when forming the conductor layer is the same as the dry film described above.

導体層は、線状の配線のみならず、例えば外部端子が搭載され得る電極パッド(ランド)なども含み得る。また導体層は、電極パッドのみから構成されていてもよい。 The conductor layer may include not only linear wiring but also electrode pads (lands) on which external terminals may be mounted. Alternatively, the conductor layer may consist solely of electrode pads.

また、導体層は、めっきシード層形成後、マスクパターンを用いずに電解めっき層及びフィルドビアを形成し、その後、エッチングによるパターニングを行うことにより形成してもよい。 Furthermore, the conductive layer may be formed by forming an electroplating layer and filled vias without using a mask pattern after the plating seed layer has been formed, and then performing patterning by etching.

絶縁層を研磨又は研削し、配線層を露出させて配線層を層間接続する工程を採用する場合、絶縁層の研磨方法又は研削方法としては、配線層を露出させることができ、研磨又は研削面が水平であれば特に限定されず、従来公知の研磨方法又は研削方法を適用することができ、例えば、化学機械研磨装置による化学機械研磨方法、バフ等の機械研磨方法、砥石回転による平面研削方法等が挙げられる。絶縁層にビアホールを形成し、導体層を形成して配線層を層間接続する工程と同様に、スミア除去工程、粗化処理を行う工程を行ってもよく、導体層を形成してもよい。また、全ての配線層を露出させる必要はなく、配線層の一部を露出させてもよい。 When employing a process of polishing or grinding the insulating layer to expose the wiring layer and connect the wiring layers, the method of polishing or grinding the insulating layer is not particularly limited as long as it can expose the wiring layer and the polished or ground surface is horizontal. Conventional known polishing or grinding methods can be applied, such as chemical mechanical polishing using a chemical mechanical polishing apparatus, mechanical polishing using a buff, or surface grinding using a rotating grinding wheel. Similar to the process of forming via holes in the insulating layer and forming a conductor layer to connect the wiring layers, a smear removal process and a roughening process may be performed, or a conductor layer may be formed. Furthermore, it is not necessary to expose all wiring layers; only a portion of the wiring layers may be exposed.

<工程(4)>
工程(4)は、基材を除去し、本発明の回路基板を形成する工程である。基材の除去方法は特に限定されない。好適な一実施形態は、第1及び第2金属層の界面で回路基板から基材を剥離し、第2金属層を例えば塩化銅水溶液などでエッチング除去する。必要に応じて、導体層を保護フィルムで保護した状態で基材を剥離してもよい。
<Step (4)>
Step (4) is a step of removing the substrate and forming the circuit board of the present invention. The method of removing the substrate is not particularly limited. In one preferred embodiment, the substrate is peeled off from the circuit board at the interface between the first and second metal layers, and the second metal layer is etched off with, for example, an aqueous copper chloride solution. If necessary, the substrate may be peeled off while the conductive layer is protected with a protective film.

[半導体チップパッケージ]
本発明の半導体チップパッケージは、本発明の硬化性組成物の硬化物を含む。
[Semiconductor Chip Packages]
The semiconductor chip package of the present invention includes a cured product of the curable composition of the present invention.

一実施形態において、本発明の半導体チップパッケージは、上記回路基板上に、半導体チップが搭載された、半導体チップパッケージである。上記回路基板に、半導体チップを接合することにより半導体チップパッケージを製造することができる。 In one embodiment, the semiconductor chip package of the present invention is a semiconductor chip package in which a semiconductor chip is mounted on the circuit board. The semiconductor chip package can be manufactured by bonding the semiconductor chip to the circuit board.

半導体チップの端子電極が回路基板の回路配線と導体接続する限り、接合条件は特に限定されず、半導体チップのフリップチップ実装において使用される公知の条件を使用してよい。また、半導体チップと回路基板間に絶縁性の接着剤を介して接合してもよい。 As long as the terminal electrodes of the semiconductor chip are conductively connected to the circuit wiring of the circuit board, the bonding conditions are not particularly limited, and known conditions used in flip-chip mounting of semiconductor chips may be used. Alternatively, the semiconductor chip and the circuit board may be bonded via an insulating adhesive.

好適な一実施形態は、半導体チップを回路基板に圧着する。圧着条件としては、例えば、圧着温度は120℃~240℃の範囲(好ましくは130℃~200℃の範囲、より好ましくは140℃~180℃の範囲)、圧着時間は1秒間~60秒間の範囲(好ましくは5秒間~30秒間)とすることができる。 A preferred embodiment involves crimping a semiconductor chip onto a circuit board. For example, the crimping conditions can be set as follows: a crimping temperature in the range of 120°C to 240°C (preferably 130°C to 200°C, more preferably 140°C to 180°C), and a crimping time in the range of 1 second to 60 seconds (preferably 5 seconds to 30 seconds).

また、他の好適な一実施形態は、半導体チップを回路基板にリフローして接合する。リフロー条件としては、例えば、120℃~300℃の範囲とすることができる。 Another preferred embodiment involves reflow bonding the semiconductor chip to the circuit board. The reflow temperature can be, for example, in the range of 120°C to 300°C.

半導体チップを回路基板に接合した後、例えば、半導体チップをモールドアンダーフィル材で充填することで半導体チップパッケージを得ることも可能である。モールドアンダーフィル材で充填する方法は公知の方法で実施することができる。モールドアンダーフィル材は、硬化性組成物を使用してもよい。 After bonding the semiconductor chip to the circuit board, it is also possible to obtain a semiconductor chip package by, for example, filling the semiconductor chip with a mold underfill material. The method of filling with mold underfill material can be carried out by known methods. A curable composition may be used as the mold underfill material.

他の一実施形態(以下、「第二実施形態」ともいう。)において、本発明の半導体チップパッケージは、例えば、本発明の硬化性組成物を用いて、下記(A)乃至(F)の工程を含む方法により製造することができる。工程(C)の封止層あるいは工程(E)の再配線形成層を形成するために、本発明の硬化性組成物を用いればよい。以下、硬化性組成物を用いて封止層や再配線形成層を形成する一例を示すが、半導体チップパッケージの封止層や再配線形成層を形成する技術は公知であり、当業者であれば、本発明の硬化性組成物を用いて、公知の技術に従って半導体チップパッケージを製造することができる。
(A)基材に仮固定フィルムを積層する工程、
(B)半導体チップを、仮固定フィルム上に仮固定する工程、
(C)半導体チップ上に封止層を形成する工程、
(D)基材及び仮固定フィルムを半導体チップから剥離する工程、
(E)半導体チップの基材及び仮固定フィルムを剥離した面に、絶縁層としての再配線形成層を形成する工程、及び
(F)再配線形成層上に、導体層としての再配線層を形成する工程
In another embodiment (hereinafter also referred to as the "second embodiment"), the semiconductor chip package of the present invention can be manufactured, for example, by a method including the following steps (A) to (F) using the curable composition of the present invention. The curable composition of the present invention may be used to form the sealing layer in step (C) or the redistribution layer in step (E). An example of forming a sealing layer or a redistribution layer using the curable composition is shown below, but the techniques for forming sealing layers and redistribution layers of semiconductor chip packages are well known, and those skilled in the art can manufacture semiconductor chip packages using the curable composition of the present invention in accordance with known techniques.
(A) A step of laminating a temporary fixing film onto the substrate,
(B) A step of temporarily fixing the semiconductor chip onto a temporary fixing film,
(C) A process of forming a sealing layer on a semiconductor chip.
(D) Steps to peel off the substrate and temporary fixing film from the semiconductor chip.
(E) A step of forming a redistribution layer as an insulating layer on the surface from which the substrate and temporary fixing film of the semiconductor chip have been peeled off, and (F) A step of forming a redistribution layer as a conductive layer on the redistribution layer.

<工程(A)>
基材に使用する材料は特に限定されない。基材としては、シリコンウェハ;ガラスウェハ;ガラス基板;銅、チタン、ステンレス、冷間圧延鋼板(SPCC)等の金属基板;ガラス繊維にエポキシ樹脂等をしみこませ熱硬化処理した基板(例えばFR-4基板);ビスマレイミドトリアジン樹脂(BT樹脂)からなる基板などが挙げられる。
<Process (A)>
The material used for the substrate is not particularly limited. Examples of substrates include silicon wafers, glass wafers, glass substrates, metal substrates such as copper, titanium, stainless steel, and cold-rolled steel sheets (SPCC), substrates made by impregnating glass fibers with epoxy resin and heat-curing treatment (e.g., FR-4 substrates), and substrates made of bismaleimidotriazine resin (BT resin).

仮固定フィルムは、工程(D)において半導体チップから剥離することができると共に、半導体チップを仮固定することができれば材料は特に限定されない。仮固定フィルムは市販品を用いることができる。市販品としては、日東電工社製のリヴァアルファ等が挙げられる。 The temporary fixing film can be peeled off from the semiconductor chip in process (D) and can temporarily fix the semiconductor chip; however, the material is not particularly limited. Commercially available temporary fixing films can be used. Examples of commercially available products include Riva Alpha manufactured by Nitto Denko Corporation.

<工程(B)>
半導体チップを、その電極パッド面が仮固定フィルムと接合するように、仮固定フィルム上に仮固定する。半導体チップの仮固定は、フリップチップボンダー、ダイボンダー等の公知の装置を用いて行うことができる。半導体チップの配置のレイアウト及び配置数は、仮固定フィルムの形状、大きさ、目的とする半導体パッケージの生産数等に応じて適宜設定することができ、例えば、複数行で、かつ複数列のマトリックス状に整列させて仮固定することができる。
<Process (B)>
The semiconductor chip is temporarily fixed onto a temporary fixing film such that its electrode pad surface is in contact with the temporary fixing film. Temporary fixing of the semiconductor chip can be performed using known equipment such as a flip-chip bonder or die bonder. The layout and number of semiconductor chips can be appropriately set according to the shape and size of the temporary fixing film, the target production quantity of the semiconductor package, etc. For example, they can be temporarily fixed in a matrix arrangement of multiple rows and multiple columns.

<工程(C)>
本発明の硬化性組成物を半導体チップ上に塗布し、硬化(例えば熱硬化)させて封止層を形成する。あるいは、本発明の硬化性組成物を上記の硬化性組成物含有シートの形態で半導体チップ上に積層し硬化(例えば熱硬化)させて封止層を形成してもよい。
<Step (C)>
The curable composition of the present invention is applied to a semiconductor chip and cured (e.g., by thermal curing) to form a sealing layer. Alternatively, the curable composition of the present invention may be laminated on a semiconductor chip in the form of a sheet containing the curable composition described above and cured (e.g., by thermal curing) to form a sealing layer.

なお、硬化性組成物含有シートの形態で用いる場合、半導体チップと硬化性組成物含有シートの積層は、必要に応じて硬化性組成物含有シートの保護フィルムを除去した後、支持体側から硬化性組成物含有シートを半導体チップに加熱圧着することにより行うことができる。半導体チップと硬化性組成物含有シートの積層は、真空ラミネート法により実施してもよく、その積層条件は、回路基板の製造方法の工程(2)における積層条件と同じである。 Furthermore, when used in the form of a sheet containing the curable composition, the lamination of the semiconductor chip and the sheet containing the curable composition can be performed by removing the protective film from the sheet containing the curable composition as needed, and then heat-pressing the sheet containing the curable composition onto the semiconductor chip from the support side. The lamination of the semiconductor chip and the sheet containing the curable composition may also be carried out by a vacuum lamination method, and the lamination conditions are the same as those in step (2) of the circuit board manufacturing method.

積層の後、硬化性組成物を熱硬化させて封止層を形成する。熱硬化の条件は、回路基板の製造方法の工程(2)における熱硬化の条件と同じである。 After lamination, the curable composition is heat-cured to form a sealing layer. The heat-curing conditions are the same as those in step (2) of the circuit board manufacturing method.

硬化性組成物含有シートの支持体は、半導体チップ上に硬化性組成物含有シートを積層し熱硬化した後に剥離してもよく、半導体チップ上に硬化性組成物含有シートを積層する前に支持体を剥離してもよい。 The support for the sheet containing the curable composition may be peeled off after the sheet has been laminated onto the semiconductor chip and heat-cured, or the support may be peeled off before the sheet containing the curable composition has been laminated onto the semiconductor chip.

本発明の硬化性組成物を塗布して封止層を形成する場合、その塗布条件としては、本発明の硬化性組成物含有シートにおける硬化性組成物層を形成する際の塗布条件と同じである。 When applying the curable composition of the present invention to form a sealing layer, the application conditions are the same as those used to form the curable composition layer in the sheet containing the curable composition of the present invention.

<工程(D)>
基材及び仮固定フィルムを剥離する方法は、仮固定フィルムの材質等に応じて適宜変更することができ、例えば、仮固定フィルムを加熱、発泡(又は膨張)させて剥離する方法、及び基材側から紫外線を照射させ、仮固定フィルムの粘着力を低下させ剥離する方法等が挙げられる。
<Step (D)>
The method for peeling off the substrate and the temporary fixing film can be appropriately changed depending on the material of the temporary fixing film, etc. Examples include a method of peeling off the temporary fixing film by heating and foaming (or expanding) it, and a method of peeling off the temporary fixing film by irradiating it with ultraviolet light from the substrate side to reduce its adhesive strength.

仮固定フィルムを加熱、発泡(又は膨張)させて剥離する方法において、加熱条件は、通常、100~250℃で1~90秒間又は5~15分間である。また、基材側から紫外線を照射させ、仮固定フィルムの粘着力を低下させ剥離する方法において、紫外線の照射量は、通常、10mJ/cm~1000mJ/cmである。 In the method of peeling off a temporary fixing film by heating and foaming (or expanding) it, the heating conditions are usually 100 to 250°C for 1 to 90 seconds or 5 to 15 minutes. In the method of peeling off a temporary fixing film by irradiating it with ultraviolet light from the substrate side to reduce its adhesive strength, the amount of ultraviolet light irradiated is usually 10 mJ/ cm² to 1000 mJ/ cm² .

<工程(E)>
再配線形成層(絶縁層)を形成する材料は、再配線形成層(絶縁層)形成時に絶縁性を有していれば特に限定されず、半導体チップパッケージの製造のしやすさの観点から、感光性樹脂、熱硬化性樹脂が好ましい。本発明の硬化性組成物を用いて再配線形成層を形成してもよい。
<Step (E)>
The material used to form the redistribution layer (insulating layer) is not particularly limited as long as it has insulating properties when the redistribution layer (insulating layer) is formed. From the viewpoint of ease of manufacturing semiconductor chip packages, photosensitive resins and thermosetting resins are preferred. The redistribution layer may also be formed using the curable composition of the present invention.

再配線形成層を形成後、半導体チップと後述する導体層を層間接続するために、再配線形成層にビアホールを形成してもよい。ビアホールは、再配線形成層の材料に応じて、公知の方法により形成してよい。 After forming the redistribution layer, via holes may be formed in the redistribution layer to connect the semiconductor chip to the conductor layer described later. The via holes may be formed by known methods depending on the material of the redistribution layer.

<工程(F)>
再配線形成層上に形成する導体層の材料は、特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、回路基板における配線層に使用する導体材料と同じである。導体材料は上記したとおりである。
<Process (F)>
The material of the conductor layer formed on the rewiring layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer is the same as the conductor material used for the wiring layer in the circuit board. The conductor material is as described above.

導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。 The conductive layer may be a single-layer structure, or it may be a multi-layer structure consisting of two or more single-metal or alloy layers made of different types of metals or alloys. When the conductive layer is a multi-layer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single-metal layer of chromium, zinc, or titanium, or an alloy layer of nickel-chromium alloy.

導体層の厚さは、所望の半導体チップパッケージのデザインによるが、一般に1μm~35μm、好ましくは1μm~20μmである。 The thickness of the conductor layer depends on the desired semiconductor chip package design, but is generally 1 μm to 35 μm, preferably 1 μm to 20 μm.

一実施形態において、導体層は、メッキにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により再配線形成層の表面にメッキして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができ、製造の簡便性の観点から、セミアディティブ法により形成することが好ましい。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。 In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed by plating the surface of the rewiring layer using conventionally known techniques such as the semi-additive method or the fully additive method. From the viewpoint of ease of manufacturing, it is preferable to form it by the semi-additive method. An example of forming the conductor layer by the semi-additive method is shown below.

まず、再配線形成層の表面に、無電解メッキによりメッキシード層を形成する。次いで、形成されたメッキシード層上に、所望の配線パターンに対応してメッキシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出したメッキシード層上に、電解メッキにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なメッキシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層(再配線層)を形成することができる。 First, a plating seed layer is formed on the surface of the rewiring layer by electroless plating. Next, a mask pattern is formed on the formed plating seed layer, exposing a portion of the plating seed layer corresponding to the desired wiring pattern. After forming a metal layer on the exposed plating seed layer by electroplating, the mask pattern is removed. Then, the unnecessary plating seed layer is removed by etching or other means to form a conductor layer (rewiring layer) with the desired wiring pattern.

なお、工程(E)及び工程(F)を繰り返し行い、導体層(再配線層)及び再配線形成層(絶縁層)を交互に積み上げて(ビルドアップ)もよい。 Furthermore, steps (E) and (F) may be repeated to alternately stack the conductor layer (rewiring layer) and the rewiring formation layer (insulating layer) (build-up).

半導体チップパッケージを製造するにあたって、(G)導体層(再配線層)上にソルダーレジスト層を形成する工程、(H)バンプを形成する工程、(I)複数の半導体チップパッケージを個々の半導体チップパッケージにダイシングし、個片化する工程をさらに実施してもよい。これらの工程は、半導体チップパッケージの製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。 In manufacturing semiconductor chip packages, the following steps may be further performed: (G) forming a solder resist layer on a conductor layer (redistribution layer), (H) forming bumps, and (I) dicing multiple semiconductor chip packages into individual semiconductor chip packages. These steps may be carried out according to various methods known to those skilled in the art for the manufacture of semiconductor chip packages.

上記の第二実施形態は、最初に半導体チップを設け、その電極パッド面に再配線層を形成する工法、すなわちチップ1st(Chip-1st)工法で製造する場合の一例である。本発明の半導体チップパッケージは、斯かるチップ1st工法のほか、最初に再配線層を設け、該再配線層に、その電極パッド面が再配線層と電気接続し得るような状態にて、半導体チップを設け、封止する工法、すなわち再配線層1st(RDL-1st)工法で製造してもよい。 The second embodiment described above is an example of a manufacturing method in which a semiconductor chip is first provided and a redistribution layer is formed on its electrode pad surface, i.e., the Chip- 1st method. In addition to the Chip-1st method described above, the semiconductor chip package of the present invention may also be manufactured by a method in which a redistribution layer is first provided, and a semiconductor chip is provided on the redistribution layer in a state in which its electrode pad surface can be electrically connected to the redistribution layer, and then sealed, i.e., the Redistribution Layer 1st (RDL- 1st ) method.

本発明の硬化性組成物を用いて封止層、再配線形成層等を形成することにより、本発明の半導体チップパッケージは、ファンイン(Fan-In)型パッケージであるかファンアウト(Fan-Out)型パッケージである。本発明の硬化性組成物は、ファンアウト型パネルレベルパッケージ(FOPLP)、ファンアウト型ウェハレベルパッケージ(FOWLP)の別を問わずに適用できる。 By forming a sealing layer, a redistribution layer, etc., using the curable composition of the present invention, the semiconductor chip package of the present invention can be either a fan-in type package or a fan-out type package. The curable composition of the present invention can be applied to both fan-out type panel-level packages (FOLP) and fan-out type wafer-level packages (FOWLP).

[半導体装置]
本発明の半導体チップパッケージを実装することとなる半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、スマートフォン、タブレット型デバイス、ウェラブルデバイス、デジタルカメラ、カメラモジュール、医療機器、及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。
[Semiconductor equipment]
Semiconductor devices on which the semiconductor chip package of the present invention will be mounted include various semiconductor devices used in electrical products (e.g., computers, mobile phones, smartphones, tablet devices, wearable devices, digital cameras, camera modules, medical equipment, and televisions, etc.) and vehicles (e.g., motorcycles, automobiles, trains, ships, and aircraft, etc.).

[電子部材]
本発明の電子部材は、電子部品と、該電子部品上に設けられた本発明の硬化性組成物の硬化物と、該硬化物上に装着された放熱部材とを有する。硬化性組成物の硬化物は、熱伝導率が高く、弾性率が低いことから、例えば、硬化性組成物の硬化物を電子部品に接着させるように電子部品上に設け、該硬化物上に放熱部材を装着することにより、電子部品の放熱部材への放熱効率が高くなる。硬化物の形成方法は、先述の工程(2)と同様の方法により行うことができる。本発明の電子部材は、放熱部材を複数有していてもよい。この場合、電子部材は、電子部品と、該電子部品上に設けられた本発明の硬化性組成物の第1の硬化物と、該第1の硬化物上に装着された第1の放熱部材と、該放熱部材上に設けられた本発明の硬化性組成物の第2の硬化物と、該第2の硬化物上に装着された第2の放熱部材とを有する態様が好ましい。第1の硬化物と第2の硬化物とは同じ成分であってもよく、異なる成分であってもよい。また、第1の放熱部材と第2の放熱部材とは同じ放熱部材であってもよく、異なる放熱部材であってもよい。
[Electronic components]
The electronic component of the present invention comprises an electronic component, a cured product of the curable composition of the present invention provided on the electronic component, and a heat dissipation member mounted on the cured product. Since the cured product of the curable composition has high thermal conductivity and low elastic modulus, for example, by providing the cured product of the curable composition on the electronic component so as to adhere to the electronic component, and mounting the heat dissipation member on the cured product, the heat dissipation efficiency of the electronic component to the heat dissipation member is increased. The method for forming the cured product can be carried out by the same method as in step (2) described above. The electronic component of the present invention may have a plurality of heat dissipation members. In this case, it is preferable that the electronic component comprises an electronic component, a first cured product of the curable composition of the present invention provided on the electronic component, a first heat dissipation member mounted on the first cured product, a second cured product of the curable composition of the present invention provided on the heat dissipation member, and a second heat dissipation member mounted on the second cured product. The first cured product and the second cured product may have the same components or different components. Furthermore, the first heat dissipation member and the second heat dissipation member may be the same heat dissipation member or they may be different heat dissipation members.

放熱部材としては、例えば、ヒートスプレッダー、ヒートシンク等が挙げられる。また、電子部品としては、例えば、半導体チップパッケージ、パワー半導体、LED-PKG等が挙げられる。電子部材としては、例えば、回路基板、半導体チップパッケージ、半導体装置等が挙げられる。 Examples of heat dissipation components include heat spreaders and heat sinks. Examples of electronic components include semiconductor chip packages, power semiconductors, and LED packages. Examples of electronic materials include circuit boards, semiconductor chip packages, and semiconductor devices.

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下の記載において、量を表す「部」及び「%」は、別途明示のない限り、それぞれ「質量部」及び「質量%」を意味する。 The present invention will be described in detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following description, "parts" and "%" refer to "parts by mass" and "mass%", respectively, unless otherwise specified.

[硬化性組成物の調製]
下記表に示す配合組成で各成分を混合し、実施例1~7及び比較例1~3に係る硬化性組成物を調製した。具体的には、専用のプラスチック容器に、下記表に示される量(質量部)を量り取った。その後、自転・公転真空ミキサーあわとり錬太郎(シンキー社製;ARE-310)を用い、室温にて2000rpmで充分混合し、更に1分間脱泡することで硬化性組成物を得た。なお、表中、各成分の配合量は質量部を意味する。
[Preparation of curable compositions]
The curable compositions for Examples 1-7 and Comparative Examples 1-3 were prepared by mixing each component according to the formulation shown in the table below. Specifically, the amounts (parts by mass) shown in the table below were weighed into a dedicated plastic container. Then, using a rotating/revolving vacuum mixer, Awatori Rentaro (manufactured by Shinky Co., Ltd.; ARE-310), the mixture was thoroughly mixed at 2000 rpm at room temperature, and degassed for a further minute to obtain the curable composition. In the table, the amount of each component represents parts by mass.

表中の略語等は以下のとおりである。
(A)成分
・PT-110A:MOMENTIVE社製、窒化ホウ素フィラー(平均粒子径33μm)
(B)成分
・SQ-502-8:荒川化学工業社製、エポキシ基含有シルセスキオキサン化合物(イソプロピルアルコール16.5%、トルエン3.5%含有)、エポキシ当量約276g/eq.
・SQ-107:荒川化学工業社製、チオール基含有シルセスキオキサン化合物(エチレングリコールジメチルエーテル24.4%、トルエン4%含有)、チオール基当量約206g/eq.
(C)成分
・TMTP:淀化学社製、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、チオール基当量140g/eq.
・PEMP:SC有機化学社製、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、チオール基当量122g/eq.
・PE-1:昭和電工社製、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、チオール基当量135g/eq.
(D)成分
・ZX1059:日本製鉄社製、ビスフェノール型エポキシ樹脂(ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品)、エポキシ当量約165g/eq.
(E)成分
・1B2PZ:四国化成工業社製、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール
(F)成分
・HN-2200(酸無水物系硬化剤):昭和電工マテリアルズ社製、3or4-メチル-1,2,3,6-テトラヒドロ無水フタル酸、分子量166、酸無水物基当量179g/eq.
The abbreviations used in the table are as follows:
(A) Component PT-110A: Boron nitride filler (average particle size 33 μm), manufactured by MOMENTIVE Inc.
(B) Component SQ-502-8: Manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd., epoxy group-containing silsesquioxane compound (containing 16.5% isopropyl alcohol and 3.5% toluene), epoxy equivalent approximately 276 g/eq.
SQ-107: Manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd., a thiol group-containing silsesquioxane compound (containing 24.4% ethylene glycol dimethyl ether and 4% toluene), with a thiol group equivalent of approximately 206 g/eq.
(C) Ingredients/TMTP: Manufactured by Yodo Chemical Co., Ltd., trimethylolpropane tristhiopropionate, thiol group equivalent 140 g/eq.
PEMP: Manufactured by SC Organic Chemicals, pentaerythritol tetrakis(3-mercaptopropionate), thiol group equivalent 122 g/eq.
PE-1: Manufactured by Showa Denko Corporation, pentaerythritol tetrakis(3-mercaptobutyrate), thiol group equivalent 135 g/eq.
(D) Component ZX1059: Manufactured by Nippon Steel Corporation, bisphenol-type epoxy resin (a 1:1 mixture of bisphenol A and bisphenol F), epoxy equivalent approximately 165 g/eq.
(E) Component 1B2PZ: Manufactured by Shikoku Chemicals, Inc., 1-benzyl-2-phenylimidazole (F) Component HN-2200 (acid anhydride-based curing agent): Manufactured by Showa Denko Materials, Inc., 3 or 4-methyl-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, molecular weight 166, acid anhydride group equivalent 179 g/eq.

[熱伝導率の測定、評価]
各硬化性組成物を所定容器に入れ、熱循環オーブンで、120℃90分間熱硬化し、厚み10mm×直径φ36mmの円筒状硬化物を作製した。得られた円筒状硬化物を、測定温度25℃、40%RHの恒温環境下で、京都電子工業社製「TPS-2500」を用いて、ホットディスク法により熱伝導率を測定した。また、測定した熱伝導率を以下の基準で評価した。
〇:熱伝導率が1.40W/mK以上
×:熱伝導率が1.40W/mK未満
[Measurement and evaluation of thermal conductivity]
Each curable composition was placed in a designated container and heat-cured in a heat-circulating oven at 120°C for 90 minutes to produce cylindrical cured objects with a thickness of 10 mm and a diameter of φ36 mm. The thermal conductivity of the obtained cylindrical cured objects was measured using the hot-disk method with a Kyoto Electronics Manufacturing Co., Ltd. "TPS-2500" under constant temperature conditions of 25°C and 40% RH. The measured thermal conductivity was also evaluated according to the following criteria.
○: Thermal conductivity of 1.40 W/mK or higher ×: Thermal conductivity of less than 1.40 W/mK

[弾性率の測定、評価]
各硬化性組成物を離形PETフィルム(NS-80A:東レ社製)上にバーコートを用いて塗布し、120℃で90分間加熱硬化させて硬化物を得た。得られた厚みが100μmの硬化物を、ダンベル(商品名「スーパーダンベルカッター(型式:SDMK-5889-01)」、ダンベル社製)で打ち抜き、引張強度測定用試験片を作製した。試験片から、PETフィルムを剥離した。温度25℃、湿度60%、引っ張り速度50mm/分の条件で、テンシロン万能試験機(オリエンテック社製、RTM-500)を用いて引っ張り試験を行った。また、測定した弾性率を以下の基準で評価した。
〇:弾性率が4000MPa未満
×:弾性率が4000MPa以上
[Measurement and evaluation of elastic modulus]
Each curable composition was applied to a release PET film (NS-80A: manufactured by Toray Industries, Inc.) using a bar coat, and heated and cured at 120°C for 90 minutes to obtain a cured product. The resulting cured product, with a thickness of 100 μm, was punched out using a dumbbell (product name "Super Dumbbell Cutter (model: SDMK-5889-01)," manufactured by Dumbbell Co., Ltd.) to prepare test specimens for tensile strength measurement. The PET film was peeled off the test specimens. Tensile tests were performed using a Tensilon universal tester (manufactured by Orientec, Inc., RTM-500) under the conditions of a temperature of 25°C, humidity of 60%, and a tensile speed of 50 mm/min. The measured modulus of elasticity was also evaluated according to the following criteria.
○: Elastic modulus less than 4000 MPa ×: Elastic modulus 4000 MPa or more

Claims (10)

(A)熱伝導性フィラー、
(B)シルセスキオキサン化合物、及び
(C)液状ポリチオール化合物、を含有する硬化性組成物であって、
(C)成分が、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3-メルカプトプロピオネート)、トリス-[(3-メルカプトプロピオニルオキシ)-エチル]-イソシアヌレート、トリス(3-メルカプトプロピル)イソシアヌレート、チオグリコール酸オクチル、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、3-メルカプトプロピオン酸、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、1,4-ビス(3-メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,3,5-トリス(3-メルカプトブチリルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、トリメチロールエタントリス(3-メルカプトブチレート)、1,3,4,6-テトラキス(2-メルカプトエチル)グリコールウリル、4,4’-イソプロピリデンビス[(3-メルカプトプロポキシ)ベンゼン]から選択され、
(B)成分が、エポキシ基を有するエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有しない場合、(B)成分は、チオール基を有するチオール基含有シルセスキオキサン化合物を含有し、さらに(D)エポキシ樹脂を含有し、
(B)成分が、エポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有する場合、硬化性組成物は、(D)エポキシ樹脂を含有する、又は含有せず
(D)成分が、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂及びトリメチロール型エポキシ樹脂から選択される、硬化性組成物
(A) Thermally conductive filler,
A curable composition containing (B) a silsesquioxane compound and (C) a liquid polythiol compound,
(C) The components are trimethylolpropane tris(3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis(3-mercaptopropionate), dipentaerythritol hexakis(3-mercaptopropionate), tris-[(3-mercaptopropionyloxy)-ethyl]-isocyanurate, tris(3-mercaptopropyl)isocyanurate, octyl thioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, trimethylolpropane tristhioglycolate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, 3-mercaptoprop Selected from pionic acid, pentaerythritol tetrakis(3-mercaptobutyrate), 1,4-bis(3-mercaptobutyryloxy)butane, 1,3,5-tris(3-mercaptobutyryloxyethyl)-1,3,5-triazine-2,4,6(1H,3H,5H)-trione, trimethylolpropane tris(3-mercaptobutyrate), trimethylolethane tris(3-mercaptobutyrate), 1,3,4,6-tetrakis(2-mercaptoethyl)glycoluryl, and 4,4'-isopropylidene bis[(3-mercaptopropoxy)benzene],
If component (B) does not contain an epoxy group-containing silsesquioxane compound having an epoxy group, then component (B) contains a thiol group-containing silsesquioxane compound having a thiol group, and further contains (D) epoxy resin.
If component (B) contains an epoxy group-containing silsesquioxane compound, the curable composition may or may not contain (D) epoxy resin.
A curable composition in which component (D) is selected from bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, naphthol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having a butadiene structure, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiro ring-containing epoxy resin, cyclohexanedimethanol type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, and trimethylol type epoxy resin .
(A)成分の含有量が、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、20質量%以上80質量%以下である、請求項1に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to claim 1, wherein the content of component (A) is 20% by mass or more and 80% by mass or less, when the nonvolatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass. 硬化性組成物が、(B)成分としてエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有し、さらに(D)エポキシ樹脂を含有する場合、(B)成分の含有量が、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、5質量%以上65質量%以下である、請求項1又は2に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to claim 1 or 2, wherein the curable composition contains an epoxy group-containing silsesquioxane compound as component (B) and further contains an epoxy resin (D), and the content of component (B) is 5% by mass or more and 65% by mass or less, when the non-volatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass. 硬化性組成物が、(B)成分としてエポキシ基含有シルセスキオキサン化合物を含有し、(D)エポキシ樹脂を含有しない場合、(B)成分の含有量が、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、10質量%以上65質量%以下である、請求項1又は2に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to claim 1 or 2, wherein the curable composition contains an epoxy group-containing silsesquioxane compound as component (B) and does not contain epoxy resin (D), and the content of component (B) is 10% by mass or more and 65% by mass or less, when the non-volatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass. (C)成分の含有量が、硬化性組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、5質量%以上30質量%以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the content of component (C) is 5% by mass or more and 30% by mass or less, when the non-volatile components in the curable composition are considered to be 100% by mass. (C)成分が、1分子中にチオール基を2以上含む、請求項1~5のいずれか1項に記載の硬化性組成物。 (C) The curable composition according to any one of claims 1 to 5, wherein component C contains two or more thiol groups in one molecule. 支持体と、当該支持体上に設けられた請求項1~6のいずれか1項に記載の硬化性組成物を含む硬化性組成物層とを有する硬化性組成物含有シート。 A sheet containing a curable composition, comprising a support and a curable composition layer provided on the support, the layer containing the curable composition described in any one of claims 1 to 6. 請求項1~6のいずれか1項に記載の硬化性組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む回路基板。 A circuit board comprising an insulating layer formed from a cured product of a curable composition according to any one of claims 1 to 6. 請求項1~6のいずれか1項に記載の硬化性組成物の硬化物を含む、半導体チップパッケージ。 A semiconductor chip package comprising a cured product of a curable composition according to any one of claims 1 to 6. 電子部品と、該電子部品上に設けられた請求項1~6のいずれか1項に記載の硬化性組成物の硬化物と、該硬化物上に装着された放熱部材と、を有する電子部材。 An electronic component comprising: an electronic component; a cured product of a curable composition according to any one of claims 1 to 6 provided on the electronic component; and a heat dissipation member mounted on the cured product.
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