JP7848465B2 - Photosensitive composition, optical filter, image display device, and solid-state image sensor - Google Patents
Photosensitive composition, optical filter, image display device, and solid-state image sensorInfo
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- JP7848465B2 JP7848465B2 JP2021186668A JP2021186668A JP7848465B2 JP 7848465 B2 JP7848465 B2 JP 7848465B2 JP 2021186668 A JP2021186668 A JP 2021186668A JP 2021186668 A JP2021186668 A JP 2021186668A JP 7848465 B2 JP7848465 B2 JP 7848465B2
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Description
本発明は、カラーフィルタ等光学フィルタの形成に使用する感光性組成物に関する。 This invention relates to a photosensitive composition used in the formation of optical filters such as color filters.
画像表示装置や固体撮像素子等に使用するカラーフィルタ等の光学フィルタは、フォトリソグラフィー法で微細なパターンを形成する場合が多い。
画像表示装置や固体撮像素子の小型化や高画素化に伴い、1画素あたりの面積が小さくなる傾向にあり、感光性組成物中の色素の高濃度化で対応している。同時にパターンの高精細化も必要になる。
Optical filters, such as color filters used in image display devices and solid-state image sensors, often have fine patterns formed using photolithography.
As image display devices and solid-state image sensors become smaller and have higher pixel counts, the area per pixel tends to decrease, which is being addressed by increasing the concentration of dyes in the photosensitive composition. At the same time, it becomes necessary to increase the resolution of the patterns.
特許文献1には、ポリアルキレンオキサイドやグリセリンのアルキレンオキサイド付加物を含む感光性組成物が開示されている。 Patent Document 1 discloses a photosensitive composition containing polyalkylene oxides and alkylene oxide adducts of glycerin.
しかし、従来の感光性組成物は、形成するパターンの幅がフォトマスクの開口幅より増加する傾向にあった。また、パターンと基材の密着性と耐薬品性が満足できるレベルではなかった。 However, conventional photosensitive compositions tended to produce patterns with widths exceeding the aperture width of the photomask. Furthermore, the adhesion between the pattern and the substrate, as well as the chemical resistance, were not at a satisfactory level.
本発明は、フォトマスクの開口幅と同等に近いパターンの線幅を有しながら、密着性及び耐薬品性に優れた被膜を形成できる感光性組成物の提供を目的とする。 The present invention aims to provide a photosensitive composition that can form a coating with excellent adhesion and chemical resistance while having a line width of pattern close to that of the aperture width of a photomask.
本発明の感光性組成物は、色素(A)、分散剤(B)、アルカリ可溶性樹脂(C)、重合性化合物(D)、および光重合開始剤(E)を含み、
重合性化合物(D)は、水酸基およびカルボキシル基の一方、炭化水素環、ならびに重合性不飽和基を1個含有する単量体(D1)を含む。
The photosensitive composition of the present invention comprises a dye (A), a dispersant (B), an alkali-soluble resin (C), a polymerizable compound (D), and a photopolymerization initiator (E).
The polymerizable compound (D) comprises a monomer (D1) containing one hydroxyl group and one carboxyl group, a hydrocarbon ring, and one polymerizable unsaturated group.
上記の本発明によれば、フォトマスクの開口幅と同等に近いパターンの線幅を有しながら、密着性及び耐薬品性に優れた被膜を形成できる感光性組成物を提供できる。また、本発明は、光学フィルタ、画像表示装置、固体撮像素子を提供できる。 According to the present invention described above, it is possible to provide a photosensitive composition that can form a coating with excellent adhesion and chemical resistance while having a line width of a pattern close to that of the aperture width of a photomask. Furthermore, the present invention can provide optical filters, image display devices, and solid-state image sensors.
以下に、本発明の感光性組成物の各構成成分について説明する。
なお、本願では、「(メタ)アクリロイル」、「(メタ)アクリル」、「(メタ)アクリル酸」、「(メタ)アクリレート」、又は「(メタ)アクリルアミド」と表記した場合には、特に説明がない限り、それぞれ、「アクリロイル及び/又はメタクリロイル」、「アクリル及び/又はメタクリル」、「アクリル酸及び/又はメタクリル酸」、「アクリレート及び/又はメタクリレート」、又は「アクリルアミド及び/又はメタクリルアミド」を表すものとする。
また、本明細書に挙げる「C.I.」は、カラーインデックス(C.I.)を意味する。
The following describes each component of the photosensitive composition of the present invention.
In this application, when "(meth)acryloyl,""(meth)acrylic,""(meth)acrylicacid,""(meth)acrylate," or "(meth)acrylamide" are used, unless otherwise specified, they shall represent "acryloyl and/or methacryloyl,""acrylic and/or methacrylic,""acrylic acid and/or methacrylic acid,""acrylate and/or methacrylate," or "acrylamide and/or methacrylamide," respectively.
Furthermore, as used herein, "C.I." refers to Color Index (C.I.).
本発明の感光性組成物は、色素(A)、分散剤(B)、アルカリ可溶性樹脂(C)、重合性化合物(D)、および光重合開始剤(E)含み、
重合性化合物(D)は、水酸基およびカルボキシル基の一方、炭化水素環、ならびに重合性不飽和基を1個含有する単量体(D1)(以下、単量体(D1)ともいう)を含む。本発明の感光性組成物は、被膜を形成して使用する。当該被膜は、光学フィルタに使用することが好ましい。
The photosensitive composition of the present invention comprises a dye (A), a dispersant (B), an alkali-soluble resin (C), a polymerizable compound (D), and a photopolymerization initiator (E).
The polymerizable compound (D) contains a monomer (D1) (hereinafter also referred to as monomer (D1)) which contains one hydroxyl group and one carboxyl group, a hydrocarbon ring, and one polymerizable unsaturated group. The photosensitive composition of the present invention is used by forming a film. The film is preferably used as an optical filter.
本発明の感光性組成物から形成する被膜は、水酸基およびカルボキシル基の一方、炭化水素環、ならびに重合性不飽和基を1個含有する単量体(D1)中の1個の重合性不飽和基が、光硬化性が過剰にならないように調整するため、フォトソリグラフィー法によりフォトマスクの開口幅と同等に近いパターンの線幅が形成できる。
また、被膜中の単量体(D1)に由来する水酸基またはカルボキシル基が基板の界面と水素結合の形成や分子間力を向上できることでに密着性が大幅に向上する。さらに、単量体(D1)に由来する炭化水素環が現像工程で使用するアルカリ現像液との親和性を抑制することで、現像工程時に基板からパターンが剥がれ難くできる。
The film formed from the photosensitive composition of the present invention is such that the polymerizable unsaturated group in the monomer (D1), which contains either a hydroxyl group or a carboxyl group, a hydrocarbon ring, and one polymerizable unsaturated group, is adjusted so that the photocurability is not excessive, thereby enabling the formation of a line width pattern close to the aperture width of the photomask by photosolivation.
Furthermore, the hydroxyl or carboxyl groups derived from the monomer (D1) in the film can improve the formation of hydrogen bonds and intermolecular forces with the substrate interface, significantly improving adhesion. In addition, the hydrocarbon rings derived from the monomer (D1) suppress affinity with the alkaline developer used in the development process, making it less likely for the pattern to peel off the substrate during the development process.
<色素A>
本発明の感光性組成物は、色素(A)は、顔料、染料、近赤外線吸収色素が挙げられる。顔料には無機顔料と有機顔料がある。
赤色顔料は、例えば、C.I.ピグメントレッド1,2,3,4,5,6,7,8,9,12,14,15,16,17,21,22,23,31,32,37,38,41,47,48,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,50:1,52:1,52:2,53,53:1,53:2,53:3,57,57:1,57:2,58:4,60,63,63:1,63:2,64,64:1,68,69,81,81:1,81:2,81:3,81:4,83,88,90:1,101,101:1,104,108,108:1,109,112,113,114,122,123,144,146,147,149,151,166,168,169,170,172,173,174,175,176,177,178,179,181,184,185,187,188,190,193,194,200,202,206,207,208,209,210,214,216,220,221,224,230,231,232,233,235,236,237,238,239,242,243,245,247,249,250,251,253,254,255,256,257,258,259,260,262,263,264,265,266,267,268,269,270,271,272,273,274,275,276,277,278,279,280,281,282,283,284,285,286,287,291,295,296、特開2014-134712号公報に記載された顔料、特許第6368844号公報に記載された顔料等が挙げられる。これらの中でも、耐熱性、耐光性、及び透過率の観点から、C.I.ピグメントレッド48:1,122,177,224,242,269,254,291,295,296、特開2014-134712号公報に記載された顔料、特許第6368844号公報に記載された顔料が好ましく、C.I.ピグメントレッド177,254,291,295,296、特開2014-134712号公報に記載された顔料、特許第6368844号公報に記載された顔料が特に好ましい。
<Pigment A>
The photosensitive composition of the present invention includes pigments, dyes, and near-infrared absorbing dyes as the dye (A). Pigments include inorganic pigments and organic pigments.
Red pigments include, for example, C.I. Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 37, 38, 41, 47, 48, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 52:2, 53, 53:1, 53:2, 53:3, 57, 57:1, 57:2, 58:4, 60, 63, 63:1, 63:2 ,64,64:1,68,69,81,81:1,81:2,81:3,81:4,83,88,90:1,101,101:1,104,108,108:1,109,112,113,114,122,123,144,146,147,149,151,166,168,169,170,172,173,174,175,176,177,178,179,181,1 84, 185, 187, 188, 190, 193, 194, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 214, 216, 220, 221, 224, 230, 231, 232, 233, 235, 236, 237, 238, 239, 242, 243, 245, 247, 249, 250, 251, 253, 254, 255, 256, 257, 258, 259, 260 Examples include pigments described in JP 2014-134712, JP 6368844, JP 262, JP 263, JP 264, JP 265, JP 266, JP 267, JP 268, JP 269, JP 270, JP 271, JP 272, JP 273, JP 274, JP 275, JP 276, JP 277, JP 278, JP 279, JP 280, JP 281, JP 282, JP 283, JP 284, JP 285, JP 286, JP 287, JP 291, JP 295, JP 296, pigments described in JP 2014-134712, pigments described in JP 6368844, etc. Among these, C.I. is considered to have the most heat resistance, light resistance, and transmittance. Pigment red 48: 1,122,177,224,242,269,254,291,295,296, the pigment described in Japanese Patent Publication No. 2014-134712, and the pigment described in Japanese Patent Publication No. 6368844 are preferred, and C.I. Pigment red 177,254,291,295,296, the pigment described in Japanese Patent Publication No. 2014-134712, and the pigment described in Japanese Patent Publication No. 6368844 are particularly preferred.
橙色顔料は、例えば、C.I.ピグメントオレンジ36,38,43,64,71,73等が挙げられる。 Examples of orange pigments include C.I. Pigment Orange 36, 38, 43, 64, 71, and 73.
黄色顔料は、例えば、C.I.ピグメントイエロー1,2,3,4,5,6,10,12,13,14,15,16,17,18,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,126,127,128,129,138,139,147,150,151,152、153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,192,193,194,196,198,199,213,214,231,233、特開2012-226110号公報に記載された顔料等が挙げられる。これらの中でも、C.I.ピグメントイエロー138,139,150,185,231,233、特開2012-226110号公報に記載された顔料が好ましい。 Yellow pigments include, for example, C.I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 24, 31, 32, 34, 35, 35:1, 36, 36:1, 37, 37:1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 126, 1 Examples include pigments described in 27, 128, 129, 138, 139, 147, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 192, 193, 194, 196, 198, 199, 213, 214, 231, 233, and Japanese Patent Publication No. 2012-226110. Among these, C.I. Pigments described in Pigment Yellow 138, 139, 150, 185, 231, 233 and Japanese Patent Publication No. 2012-226110 are preferred.
緑色顔料は、例えば、C.I.ピグメントグリーン1,2,4,7,8,10,13,14,15,17,18,19,26,36,37,45,48,50,51,54,55,58,59,62,63等が挙げられる。これらの中でも、C.I.ピグメントグリーン7、36、58、59、62、63が好ましい。 Examples of green pigments include C.I. Pigment Green 1, 2, 4, 7, 8, 10, 13, 14, 15, 17, 18, 19, 26, 36, 37, 45, 48, 50, 51, 54, 55, 58, 59, 62, and 63. Among these, C.I. Pigment Green 7, 36, 58, 59, 62, and 63 are preferred.
青色顔料は、例えば、C.I.ピグメントブルー1,1:2,9,14,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,17,19,25,27,28,29,33,35,36,56,56:1,60,61,61:1,62,63,66,67,68,71,72,73,74,75,76,78,79等が挙げられる。これらの中でも、C.I.ピグメントブルー15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6が好ましい。 Examples of blue pigments include C.I. Pigment Blue 1, 1:2, 9, 14, 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 17, 19, 25, 27, 28, 29, 33, 35, 36, 56, 56:1, 60, 61, 61:1, 62, 63, 66, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 75, 76, 78, and 79. Among these, C.I. Pigment Blue 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, and 15:6 are preferred.
紫色顔料は、例えば、C.I.ピグメントバイオレット1,1:1,2,2:2,3,3:1,3:3,5,5:1,14,15,16,19,23,25,27,29,31,32,37,39,42,44,47,49,50等が挙げられる。これらの中でも、C.I.ピグメントバイオレット19,23が好ましい。 Examples of purple pigments include C.I. Pigment Violet 1, 1:1, 2, 2:2, 3, 3:1, 3:3, 5, 5:1, 14, 15, 16, 19, 23, 25, 27, 29, 31, 32, 37, 39, 42, 44, 47, 49, and 50. Among these, C.I. Pigment Violet 19 and 23 are preferred.
本発明で用いることができる黒色顔料は、例えば、C.I.ピグメントブラック1,6,7,12,20,31等が挙げられる。 Examples of black pigments that can be used in this invention include C.I. Pigment Black 1, 6, 7, 12, 20, and 31.
無機顔料は、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、合成鉄黒等が挙げられる。 Examples of inorganic pigments include titanium dioxide, barium sulfate, zinc oxide, lead sulfate, lead yellow, zinc yellow, red iron oxide (iron(III) oxide), cadmium red, ultramarine, Prussian blue, chromium oxide green, cobalt green, amber, and synthetic iron black.
近赤外線吸収色素は、波長700~2,000nmの範囲に極大吸収を有する化合物である。近赤外線吸収色素は、顔料(近赤外線吸収顔料ともいう)または染料(近赤外線吸収染料ともいう)が挙げられる。また、近赤外線吸収顔料と近赤外線吸収染料を併用してもよい。なお、近赤外線吸収色素は、耐熱性の観点から、近赤外線吸収顔料が好ましい。
前記近赤外線吸収顔料の25℃のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100gに対する溶解度は、2g未満が好ましく、1g未満がより好ましく、0.5g以下がさらに好ましい。
Near-infrared absorbing dyes are compounds that have maximum absorption in the wavelength range of 700 to 2,000 nm. Examples of near-infrared absorbing dyes include pigments (also called near-infrared absorbing pigments) or dyes (also called near-infrared absorbing dyes). Near-infrared absorbing pigments and near-infrared absorbing dyes may also be used in combination. However, from the viewpoint of heat resistance, near-infrared absorbing pigments are preferred.
The solubility of the near-infrared absorbing pigment in 100 g of propylene glycol monomethyl ether acetate at 25°C is preferably less than 2 g, more preferably less than 1 g, and even more preferably 0.5 g or less.
近赤外線吸収色素は、例えば、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、インジゴ化合物、インモニウム化合物、アントラキノン化合物、ピロロピロ-ル化合物、スクアリリウム化合物、クロコニウム化合物等が挙げられる。これらの中でも、耐熱性の観点から、ナフタロシアニン化合物、ピロロピロ-ル化合物、スクアリリウム化合物が好ましく、ナフタロシアニン化合物、スクアリリウム化合物がより好ましい。 Examples of near-infrared absorbing dyes include cyanine compounds, phthalocyanine compounds, naphthalocyanine compounds, indigo compounds, immonium compounds, anthraquinone compounds, pyrrolopyrrol compounds, squarylium compounds, and crokonium compounds. Among these, naphthalocyanine compounds, pyrrolopyrrol compounds, and squarylium compounds are preferred from the viewpoint of heat resistance, with naphthalocyanine compounds and squarylium compounds being more preferred.
シアニン化合物は、国際公開WO2006/006573号、国際公開WO2010/073857号、特開2013-241598号公報、特開2016-113501号公報、特開2016-113504号公報等;フタロシアニン化合物は、特開平4-23868号公報、特開平06-192584号公報、特開2000-63691号公報、国際公開WO2014/208514号等;ナフタロシアニン化合物は、特開平11-152414号公報、特開2000-86919号公報、特開2009-29955号公報、国際公開WO2018/186490号等;インジゴ化合物は、特開2013-230412号公報等;インモニウム化合物は、特開2005-336150号公報、特開2007-197492号公報、特開2008-88426号公報等;アントラキノン化合物は、特開昭62-903号公報、特開平1-172458号公報等;ピロロピロ-ル化合物は、特開2009-263614号公報、特開2010-90313号公報、特開2011-068731号公報;スクアリリウム化合物は、特開2011-132361号公報、特開2016-142891号公報、国際公開WO2017/135359号、国際公開WO2018/225837号、特開2019-001987号公報、国際公開WO2020/054718号等;クロコニウム化合物は、国際公開WO2019/021767号等に記載の化合物が挙げられる。 Cyanine compounds are described in International Publication WO2006/006573, International Publication WO2010/073857, Japanese Patent Publication No. 2013-241598, Japanese Patent Publication No. 2016-113501, Japanese Patent Publication No. 2016-113504, etc.; Phthalocyanine compounds are described in Japanese Patent Publication No. Hei 4-23868, Japanese Patent Publication No. Hei 06-192584, Japanese Patent Publication No. 2000-63691 Japanese Patent Publication No. 11-152414, Japanese Patent Publication No. 2000-86919, Japanese Patent Publication No. 2009-29955, Japanese Patent Publication No. WO2018/186490, etc.; Japanese Patent Publication No. 2013-230412, etc.; Japanese Patent Publication No. 2005-3361 Japanese Patent Publication No. 50, Japanese Patent Publication No. 2007-197492, Japanese Patent Publication No. 2008-88426, etc.; for anthraquinone compounds, Japanese Patent Publication No. Sho 62-903, Japanese Patent Publication No. Hei 1-172458, etc.; for pyrrolopyrrol compounds, Japanese Patent Publication No. 2009-263614, Japanese Patent Publication No. 2010-90313, Japanese Patent Publication No. 2011-068731; for squarylium compounds Examples of croconium compounds include those described in Japanese Patent Publication No. 2011-132361, Japanese Patent Publication No. 2016-142891, International Publication WO2017/135359, International Publication WO2018/225837, Japanese Patent Publication No. 2019-001987, International Publication WO2020/054718, etc. Croconium compounds include those described in International Publication WO2019/021767, etc.
(スクアリリウム化合物)
スクアリリウム化合物は、下記一般式(1)で表される化合物が好ましい。
(Squallium compounds)
The preferred squarylium compound is one represented by the following general formula (1).
一般式(1)
(一般式(1)中、R1~R4はそれぞれ独立に、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アラルキル基、-OR10、-COR11、-COOR12、-OCOR13、-NR14R15、-NHCOR16、-CONR17R18、-NHCONR19R20、-NHCOOR21、-SR22、-SO2R23、-SO2OR24、-NHSO2R25、-SO2NR26R27、-B(OR28)2、および-NHBR29R30を表す。R10~R30は、それぞれ独立に、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、およびアラルキル基を表す。なお、-COOR12のR12が水素の場合(すなわち、カルボキシル基)は、水素原子が解離してもよく(すなわち、カルボネート基)、塩の状態であってもよい。また、-SO2OR24のR24が水素原子の場合(すなわち、スルホ基)は、水素原子が解離してもよく(すなわち、スルホネート基)、塩の状態であってもよい。また、R1とR2、R3とR4はお互いに結合して環を形成しても良い。) (In general formula (1), R1 to R4 each independently represent a halogen atom, a cyano group, a nitro group, an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, a heteroaryl group, an aralkyl group, -OR 10 , -COR 11 , -COOR 12 , -OCOR 13 , -NR 14 R 15 , -NHCOR 16 , -CONR 17 R 18 , -NHCONR 19 R 20, -NHCOOR 21, -SR 22, -SO₂ R 23 , -SO₂OR 24 , -NHSO₂ R 25 , -SO₂NR 26 R 27 , -B(OR 28 ) 2 , and -NHBR 29 R 30 . R10 to R30 each independently represent a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, a heteroaryl group, and an aralkyl group. Note that when R12 in -COOR 12 is hydrogen (i.e., a carboxyl group), the hydrogen atom may dissociate (i.e., a carbonate group), or it may exist in a salt state. Also, when R24 in -SO2OR 24 is a hydrogen atom (i.e., a sulfo group), the hydrogen atom may dissociate (i.e., a sulfonate group), or it may exist in a salt state. Furthermore, R1 and R2 , and R3 and R4 may bond to each other to form a ring.
「置換基」は、例えば、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アラルキル基、-OR100、-COR101、-COOR102、-OCOR103、-NR104R105、-NHCOR106、-CONR107R108、-NHCONR109R110、-NHCOOR111、-SR112、-SO2R113、-SO2OR114、-NHSO2R115または-SO2NR116R117が挙げられる。
R100~R117は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、またはアラルキル基を表す。なお、-COOR102のR102が水素の場合(すなわち、カルボキシル基)は、水素原子が解離してもよく(すなわち、カルボネート基)、塩の状態であってもよい。また、-SO2OR114のR114が水素原子の場合(すなわち、スルホ基)は、水素原子が解離してもよく(すなわち、スルホネート基)、塩の状態であってもよい。
Examples of "substituents" include halogen atoms, cyano groups, nitro groups, alkyl groups, alkenyl groups, alkynyl groups, aryl groups, heteroaryl groups, aralkyl groups, -OR 100 , -COR 101 , -COOR 102 , -OCOR 103 , -NR 104R 105 , -NHCOR 106 , -CONR 107R 108 , -NHCONR 109R 110 , -NHCOOR 111 , -SR 112 , -SO₂R 113 , -SO₂OR 114 , -NHSO₂R 115 , or -SO₂NR 116R 117 .
R 100 to R 117 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, a heteroaryl group, or an aralkyl group. Note that when R 102 in -COOR 102 is hydrogen (i.e., a carboxyl group), the hydrogen atom may dissociate (i.e., a carbonate group), or the product may exist in a salt state. Similarly, when R 114 in -SO₂OR 114 is a hydrogen atom (i.e., a sulfo group), the hydrogen atom may dissociate (i.e., a sulfonate group), or the product may exist in a salt state.
ハロゲン原子は、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
アルキル基の炭素数は、1~20が好ましく、1~12がさらに好ましく、1~8がさらに好ましい。アルキル基は直鎖、分岐、環状のいずれでも良い。
アルケニル基の炭素数は、2~20が好ましく、2~12がさらに好ましく、2~8がさらに好ましい。アルケニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでも良い。
アルキニル基の炭素数は、2~20が好ましく、2~12がさらに好ましく、2~8がさらに好ましい。アルキニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでも良い。
アリール基の炭素数は、6~25が好ましく、6~15がさらに好ましく、6~10がさらに好ましい。
アラルキル基のアルキル部分は、上記アルキル基と同様である。アラルキル基のアリール部分は、上記アリール基と同様である。アラルキル基の炭素数は、7~40が好ましく、7~30がさらに好ましく、7~25がさらに好ましい。
ヘテロアリール基は、単環または縮合環が好ましく、単環または縮合数が2~8の縮合環がさらに好ましく、単環または縮合数が2~4の縮合環がさらに好ましい。ヘテロアリール基の環を構成するヘテロ原子の数は1~3が好ましい。ヘテロアリール基の環を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子、または硫黄原子が好ましい。ヘテロアリール基は、5員環または6員環が好ましい。ヘテロアリール基の環を構成する炭素原子の数は3~30が好ましく、3~18がさらに好ましく、3~12がさらに好ましい。
アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、およびアラルキル基は置換基を有していても良く、無置換であっても良い。置換基としては上述した「置換基」が挙げられる。
Examples of halogen atoms include fluorine, chlorine, bromine, and iodine.
The alkyl group preferably has 1 to 20 carbon atoms, more preferably 1 to 12, and even more preferably 1 to 8 carbon atoms. The alkyl group may be linear, branched, or cyclic.
The number of carbon atoms in the alkenyl group is preferably 2 to 20, more preferably 2 to 12, and even more preferably 2 to 8. The alkenyl group may be linear, branched, or cyclic.
The number of carbon atoms in the alkynyl group is preferably 2 to 20, more preferably 2 to 12, and even more preferably 2 to 8. The alkynyl group may be linear, branched, or cyclic.
The number of carbon atoms in the aryl group is preferably 6 to 25, more preferably 6 to 15, and even more preferably 6 to 10.
The alkyl portion of the aralkyl group is the same as that of the alkyl group described above. The aryl portion of the aralkyl group is the same as that of the aryl group described above. The number of carbon atoms in the aralkyl group is preferably 7 to 40, more preferably 7 to 30, and even more preferably 7 to 25.
The heteroaryl group is preferably a monocyclic or fused ring, more preferably a monocyclic or fused ring with 2 to 8 fused rings, and even more preferably a monocyclic or fused ring with 2 to 4 fused rings. The number of heteroatoms constituting the ring of the heteroaryl group is preferably 1 to 3. The heteroatoms constituting the ring of the heteroaryl group are preferably nitrogen atoms, oxygen atoms, or sulfur atoms. The heteroaryl group is preferably a 5-membered or 6-membered ring. The number of carbon atoms constituting the ring of the heteroaryl group is preferably 3 to 30, more preferably 3 to 18, and even more preferably 3 to 12.
Alkyl groups, alkenyl groups, alkynyl groups, aryl groups, heteroaryl groups, and aralkyl groups may have substituents or may be unsubstituted. Examples of substituents include the "substituents" mentioned above.
スクアリリウム化合物は、耐光性、耐熱性の観点から、下記一般式(2)で表される化合物がより好ましい。 From the viewpoint of light resistance and heat resistance, the compound represented by the following general formula (2) is more preferable among the squarylium compounds.
一般式(2)
(一般式(2)中、R5~R8はそれぞれ独立に、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アラルキル基、-OR50、-COR51、-COOR52、-OCOR53、-NR54R55、-NHCOR56、-CONR57R58、-NHCONR59R60、-NHCOOR61、-SR62、-SO2R63、-SO2OR64、-NHSO2R65または-SO2NR66R67、-B(OR68)2、および-NHBR69R70を表す。R50~R70は、それぞれ独立に、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、およびアラルキル基を表す。なお、-COOR52のR52が水素の場合(すなわち、カルボキシル基)は、水素原子が解離してもよく(すなわち、カルボネート基)、塩の状態であってもよい。また、-SO2OR64のR64が水素原子の場合(すなわち、スルホ基)は、水素原子が解離してもよく(すなわち、スルホネート基)、塩の状態であってもよい。また、R5とR6、R7とR8はお互いに結合して環を形成しても良い。) (In general formula (2), R 5 to R 8 each independently represent a halogen atom, a cyano group, a nitro group, an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, a heteroaryl group, an aralkyl group, -OR 50 , -COR 51 , -COOR 52 , -OCOR 53 , -NR 54 R 55 , -NHCOR 56 , -CONR 57 R 58 , -NHCONR 59 R 60 , -NHCOOR 61 , -SR 62 , -SO₂ R 63 , -SO₂ OR 64 , -NHSO₂ R 65 or -SO₂ NR 66 R 67 , -B(OR 68 ) ₂ , and -NHBR 69 R 70 . R50 to R70 each independently represent a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, a heteroaryl group, and an aralkyl group. Note that when R52 in -COOR 52 is hydrogen (i.e., a carboxyl group), the hydrogen atom may dissociate (i.e., a carbonate group), or the product may exist in a salt state. Similarly, when R64 in -SO2OR 64 is a hydrogen atom (i.e., a sulfo group), the hydrogen atom may dissociate (i.e., a sulfonate group), or the product may exist in a salt state. Furthermore, R5 and R6 , and R7 and R8 may bond to each other to form a ring.
「置換基」は、上述の「置換基」と同様の意義である。 The term "substituent" has the same meaning as the term "substituent" described above.
以下、スクアリリウム化合物の具体例を示す。なお、本発明はこれらに限定されない。
(ピロロピロール化合物)
ピロロピロ-ル化合物は、下記一般式(3)で表される化合物が好ましい。
(Pyrrolopyrrole compounds)
The pyrrolopyrrol compound is preferably a compound represented by the following general formula (3).
一般式(3)
(一般式(3)中、R1X及びR1Yは、各々独立に、アルキル基、アリール基又はヘテロアリール基を表し、R2及びR3は、各々独立に、水素原子又は置換基を表し、R2及びR3は、互いに結合して環を形成してもよく、R4は、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、-BR4XR4Y又は金属原子を表し、R4は、R1X、R1Y及びR3からなる群から選ばれる少なくとも1つと共有結合又は配位結合してもよく、R4XR4Yは各々独立に、置換基を表す。一般式(3)で表される化合物は、特開2009-263614号公報、特開2011-68731号公報、国際公開第2015/166873号に記載されている。 (In general formula (3), R 1X and R 1Y each independently represent an alkyl group, an aryl group, or a heteroaryl group; R 2 and R 3 each independently represent a hydrogen atom or a substituent; R 2 and R 3 may be bonded to each other to form a ring; R 4 represents a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, a heteroaryl group, -BR 4X R 4Y , or a metal atom; R 4 may be covalently or coordinately bonded with at least one selected from the group consisting of R 1X , R 1Y , and R 3 ; and R 4X R 4Y each independently represent a substituent. Compounds represented by general formula (3) are described in Japanese Patent Publication No. 2009-263614, Japanese Patent Publication No. 2011-68731, and International Publication No. 2015/166873.
R1X及びR1Yは、各々独立に、アリール基又はヘテロアリール基が好ましく、アリール基がより好ましい。また、R1X及びR1Yが表すアルキル基、アリール基が及びヘテロアリール基は、置換基を有してもよく、無置換であってもよい。置換基としては、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、-OCOR11、-SOR12、-SO2R13等が挙げられる。R11~R13は、各々独立に、炭化水素基又はヘテロアリール基を表す。また、置換基としては、特開2009-263614号公報の段落0020~0022に記載の置換基が挙げられる。なかでも、置換基としては、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、-OCOR11、-SOR12、-SO2R13が好ましい。R1X及びR1Yで表される基としては、分岐アルキル基を有するアルコキシ基、又は-OCOR11で表される基を置換基として有するアリール基が好ましい。分岐アルキル基の炭素数は、3~30が好ましく、3~20がより好ましい。 R 1X and R 1Y are each independently preferably aryl groups or heteroaryl groups, with aryl groups being more preferred. Furthermore, the alkyl groups, aryl groups, and heteroaryl groups represented by R 1X and R 1Y may be substituted or unsubstituted. Examples of substituents include alkoxy groups, hydroxyl groups, halogen atoms, cyano groups, nitro groups, -OCOR 11 , -SOR 12 , and -SO₂R 13. R 11 to R 13 each independently represent a hydrocarbon group or a heteroaryl group. Examples of substituents include those described in paragraphs 0020 to 0022 of Japanese Patent Application Publication No. 2009-263614. Among these, alkoxy groups, hydroxyl groups, halogen atoms, cyano groups, nitro groups, -OCOR 11 , -SOR 12 , and -SO₂R 13 are preferred substituents. The groups represented by R 1X and R 1Y are preferably alkoxy groups having a branched alkyl group, or aryl groups having a group represented by -OCOR 11 as a substituent. The number of carbon atoms in the branched alkyl group is preferably 3 to 30, and more preferably 3 to 20.
R2及びR3の少なくとも一方は電子吸引性基が好ましく、R2は電子吸引性基を表し、R3はヘテロアリール基を表すことがより好ましい。ヘテロアリール基は、5員環又は6員環が好ましい。また、ヘテロアリール基は、単環又は縮合環が好ましく、単環又は縮合数が2~8の縮合環が好ましく、単環又は縮合数が2~4の縮合環がより好ましい。ヘテロアリール基を構成するヘテロ原子の数は、1~3が好ましく、1~2がより好ましい。ヘテロ原子は、例えば、窒素原子、酸素原子、硫黄原子が挙げられる。ヘテロアリール基は、窒素原子を1個以上有することが好ましい。一般式(3)における2個のR2同士は同一であってもよく、異なっていてもよい。また、一般式(3)における2個のR3同士は同一であってもよく、異なっていてもよい。 At least one of R2 and R3 is preferably an electron-withdrawing group, more preferably R2 represents an electron-withdrawing group and R3 represents a heteroaryl group. The heteroaryl group is preferably a five-membered ring or a six-membered ring. The heteroaryl group is also preferably a monoring or a fused ring, preferably a monoring or a fused ring with 2 to 8 fused rings, and more preferably a monoring or a fused ring with 2 to 4 fused rings. The number of heteroatoms constituting the heteroaryl group is preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2. Examples of heteroatoms include nitrogen atoms, oxygen atoms, and sulfur atoms. The heteroaryl group preferably has one or more nitrogen atoms. The two R2s in general formula (3) may be the same or different. The two R3s in general formula (3) may be the same or different.
R4は、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、又は-BR4XR4Yで表される基が好ましく、水素原子、アルキル基、アリール基、又は-BR4XR4Yで表される基がより好ましく、-BR4XR4Yで表される基がさらに好ましい。R4XR4Yが表す置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、又はヘテロアリール基が好ましく、アルキル基、アリール基、又はヘテロアリール基がより好ましく、アリール基がさらに好ましい。これらの基は、更に置換基を有してもよい。一般式(3)における2個のR4同士は同一であってもよく、異なっていてもよい。 R 4 is preferably a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, a heteroaryl group, or a group represented by -BR 4X R 4Y , more preferably a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, or a group represented by -BR 4X R 4Y , and even more preferably a group represented by -BR 4X R 4Y. The substituent represented by R 4X R 4Y is preferably a halogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group, or a heteroaryl group, more preferably an alkyl group, an aryl group, or a heteroaryl group, and even more preferably an aryl group. These groups may have further substituents. The two R 4s in general formula (3) may be the same or different.
以下、ピロロピロ-ル化合物の具体例を示す。以下の構造式中、MEはメチル基、PHはフェニル基を表す。また、ピロロピロ-ル化合物は、特開2009-263614号公報の段落0016~0058、特開2011-68731号公報の段落0037~0052、特開2014-130343号公報の段落0014~0027、国際公開第2015/166873号の段落0010~0033に記載の化合物が挙げられる。なお、本発明はこれらに限定されない。 The following are specific examples of pyrrolopyrrol compounds. In the following structural formulas, ME represents a methyl group and PH represents a phenyl group. Examples of pyrrolopyrrol compounds include those described in paragraphs 0016-0058 of Japanese Patent Publication No. 2009-263614, paragraphs 0037-0052 of Japanese Patent Publication No. 2011-68731, paragraphs 0014-0027 of Japanese Patent Publication No. 2014-130343, and paragraphs 0010-0033 of International Publication No. 2015/166873. However, the present invention is not limited to these.
(ナフタロシアニン化合物)
ナフタロシアニン化合物は、下記一般式(4)で表される化合物が好ましい。
(Naphthalocyanine compounds)
The naphthalocyanine compound is preferably a compound represented by the following general formula (4).
一般式(4)
一般式(4)中、R1乃至R24はそれぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、置換基を有する若しくは無置換の炭素原子数1乃至20のアルキル基、置換基を有する若しくは無置換の炭素原子数6乃至20のアリール基、置換基を有する若しくは無置換の炭素原子数4乃至20の複素環基、-OR25または-SR26を表し、R25及びR26はそれぞれ独立に、水素原子、置換基を有する若しくは無置換の炭素原子数1乃至20のアルキル基、
置換基を有する若しくは無置換の炭素原子数6乃至20のアリール基を表す。
In general formula (4), R1 to R24 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a substituted or unsubstituted alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a substituted or unsubstituted aryl group having 6 to 20 carbon atoms, a substituted or unsubstituted heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, -OR25 or -SR26 , and R25 and R26 each independently represent a hydrogen atom, a substituted or unsubstituted alkyl group having 1 to 20 carbon atoms,
This represents an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, either substituted or unsubstituted.
一般式(4)のR1乃至R24が表すハロゲン原子は、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。 Examples of halogen atoms represented by R1 to R24 in general formula (4) include fluorine, chlorine, bromine, and iodine atoms.
式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数1乃至20のアルキル基としては、炭素原子数1乃至20からなる飽和の脂肪族炭化水素基であれば特に制限されるものではない。該アルキル基は分岐を有していてもよく、また環を形成していてもよい。
一般式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数1乃至20のアルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、iso-プロピル基、n-ブチル基、iso-ブチル基、sec-ブチル基、t-ブチル基、n-ペンチル基、iso-ペンチル基、neo-ペンチル基、1,2-ジメチル-プロピル基、n-ヘキシル基、イソヘキシル基、sec-ヘキシル基、n-ヘプチル基、iso-ヘプチル基、sec-ヘプチル基、n-オクチル基、2-エチルヘキシル基、3-メチル-1-イソプロピルブチル基、1-t-ブチル-2-メチルプロピル基、n-ノニル基、3,5,5-トリメチルヘキシル基、n-デシル基、n-ドデシル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、シクロペンチルメチル基及びシクロペンチルエチル基等が挙げられる。
一般式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数1乃至20のアルキル基としては、直鎖若しくは分岐鎖の炭素数1乃至12のアルキル基が好ましく、直鎖若しくは分岐鎖の炭素数1乃至8のアルキル基がより好ましい。
The alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R1 to R24 in formula (4) are not particularly limited as long as they are saturated aliphatic hydrocarbon groups having 1 to 20 carbon atoms. The alkyl groups may be branched or may form a ring.
Specific examples of alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R1 to R24 in general formula (4) include methyl group, ethyl group, n-propyl group, iso-propyl group, n-butyl group, iso-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, iso-pentyl group, neo-pentyl group, 1,2-dimethylpropyl group, n-hexyl group, isohexyl group, sec-hexyl group, n-heptyl group, iso-heptyl group, s Examples include ec-heptyl group, n-octyl group, 2-ethylhexyl group, 3-methyl-1-isopropylbutyl group, 1-t-butyl-2-methylpropyl group, n-nonyl group, 3,5,5-trimethylhexyl group, n-decyl group, n-dodecyl group, cyclohexyl group, cyclopentyl group, cyclohexylmethyl group, cyclohexylethyl group, cyclopentylmethyl group, and cyclopentylethyl group.
The alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R1 to R24 in general formula (4) are preferably linear or branched alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms, and more preferably linear or branched alkyl groups having 1 to 8 carbon atoms.
一般式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数1乃至20のアルキル基は置換基を有していてもよい。該有していてもよい置換基は、例えば、アルコキシ基、ハロゲン基、アミノ基、シアノ基、ニトロ基等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
尚、本発明において置換基を有する炭素数1乃至20のアルキル基における「置換基を有する」との語句は、炭素数1乃至20からなる飽和の脂肪族炭化水素基が有する1つ又は2つ以上の水素原子が例えば前記のアルコキシ基、ハロゲン基、アミノ基、シアノ基、ニトロ基等の置換基で置換されていることを意味し、「無置換の」との語句は、炭素数1乃至20からなる飽和の脂肪族炭化水素基が有する水素原子がアルコキシ基、ハロゲン基、アミノ基、シアノ基、ニトロ基等の置換基で置換されていないことを意味する。本発明において、以降では、「置換基を有する」及び「無置換の」は、ここで説明したのと同様の意味で用いられる。
The alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R1 to R24 in general formula (4) may have substituents. Examples of such substituents include, but are not limited to, alkoxy groups, halogen groups, amino groups, cyano groups, and nitro groups.
In this invention, the phrase "substituted" in a C1 to C20 alkyl group having substituents means that one or more hydrogen atoms of a saturated aliphatic hydrocarbon group having C1 to C20 are substituted with substituents such as the alkoxy group, halogen group, amino group, cyano group, or nitro group. The phrase "unsubstituted" means that the hydrogen atoms of a saturated aliphatic hydrocarbon group having C1 to C20 are not substituted with substituents such as the alkoxy group, halogen group, amino group, cyano group, or nitro group. In this invention, "substituted" and "unsubstituted" are used hereafter with the same meanings as described herein.
一般式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数6乃至20のアリール基としては、炭素原子数6乃至20からなる芳香族環から水素原子1つを除いた残基であれば特に制限されるものではない。その具体例としてはフェニル基、フェネチル基、o-、m-若しくはp-トリル基、2,3-若しくは2,4-キシリル基、メシチル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基、ビフェニリル基、ベンズヒドリル基、トリチル基及びピレニル基等が挙げられる。フェニル基が特に好ましい。
一般式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数6乃至20のアリール基は置換基を有していてもよい。該有していてもよい置換基としては式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数1乃至20のアルキル基が有していてもよい置換基と同じものが挙げられる。
The aryl groups having 6 to 20 carbon atoms represented by R1 to R24 in general formula (4) are not particularly limited as long as they are residues obtained by removing one hydrogen atom from an aromatic ring consisting of 6 to 20 carbon atoms. Specific examples include phenyl group, phenethyl group, o-, m- or p-tolyl group, 2,3- or 2,4-xylyl group, mesityl group, naphthyl group, anthryl group, phenanthryl group, biphenylyl group, benzhydryl group, trityl group, and pyrenyl group. The phenyl group is particularly preferred.
The aryl groups having 6 to 20 carbon atoms represented by R1 to R24 in general formula (4) may have substituents. Examples of such substituents are the same as those that may be present on alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R1 to R24 in formula (4).
一般式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数4乃至20の複素環基としては、炭素原子数4乃至20からなる複素環から水素原子1つを除いた残基であれば特に制限されるものではない。その具体例としてはピリジル基、ピロリル基、オキサゾリル基、イソオキサゾリル基、チアゾリル基、イソチアゾリル基、イミダゾリル基、オキサジアゾリル基、チアジアゾリル基、トリアゾリル基、テトラゾリル基、ピラゾリル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、ピラジニル基、トリアジニル基、インドリル基、イソインドリル基、ベンゾイミダゾリル基、ベンゾオキサゾリル基、ベンゾチアゾリル基、キノリル基、イソキノリル基、プリニル基、カルバゾリル基、アクリジニル基、フェノキサジニル基及びフェノチアジニル基等が挙げられる。ピリジル基が特に好ましい。
一般式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数4乃至20の複素環基は置換基を有していてもよい。該有していてもよい置換基としては一般式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数1乃至20のアルキル基が有していてもよい置換基と同じものが挙げられる。
The heterocyclic groups having 4 to 20 carbon atoms represented by R1 to R24 in general formula (4) are not particularly limited as long as they are residues obtained by removing one hydrogen atom from a heterocyclic ring having 4 to 20 carbon atoms. Specific examples include pyridyl group, pyrrolyl group, oxazolyl group, isoxazolyl group, thiazolyl group, isothiazolyl group, imidazolyl group, oxadiazolyl group, thiadiazolyl group, triazolyl group, tetrazolyl group, pyrazolyl group, pyrimidinyl group, pyridadinyl group, pyrazinyl group, triazinyl group, indolyl group, isoindolyl group, benzimidazolyl group, benzoxazolyl group, benzothiazolyl group, quinolyl group, isoquinolyl group, purinyl group, carbazolyl group, acridinyl group, phenoxazinyl group, and phenothiazinyl group. The pyridyl group is particularly preferred.
The heterocyclic groups having 4 to 20 carbon atoms represented by R1 to R24 in general formula (4) may have substituents. Examples of such substituents are the same as those that may be present on alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R1 to R24 in general formula (4).
一般式(4)のR25及びR26が表す炭素原子数1乃至20のアルキル基としては、一般式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数1乃至20のアルキル基と同じものが挙げられる。
一般式(4)のR25及びR26が表す炭素原子数1乃至20のアルキル基は置換基を有していてもよい。該有していてもよい置換基としては一般式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数1乃至20のアルキル基が有していてもよい置換基と同じものが挙げられる。
The alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R 25 and R 26 in general formula (4) are the same as the alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R 1 to R 24 in general formula (4).
The alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R25 and R26 of general formula (4) may have substituents. Examples of such substituents are the same as those that may be present on the alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R1 to R24 of general formula (4).
一般式(4)のR25及びR26が表す炭素原子数6乃至20のアリール基としては、一般式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数6乃至20のアリール基と同じものが挙げられる。
一般式(4)のR25及びR26が表す炭素原子数6乃至20のアリール基は置換基を有していてもよい。該有していてもよい置換基としては一般式(4)のR1乃至R24が表す炭素原子数1乃至20のアルキル基が有していてもよい置換基と同じものが挙げられる。
The aryl groups having 6 to 20 carbon atoms represented by R 25 and R 26 in general formula (4) are the same as the aryl groups having 6 to 20 carbon atoms represented by R 1 to R 24 in general formula (4).
The aryl groups having 6 to 20 carbon atoms represented by R25 and R26 in general formula (4) may have substituents. Examples of such substituents are the same as those that may be present on the alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R1 to R24 in general formula (4).
一般式(4)におけるR1乃至R24としては、それぞれ独立に水素原子又は置換基を有する若しくは無置換の炭素数6乃至20のアリール基が好ましい。R1乃至R24の全てが水素原子であるか、又はR1、R2乃至R5、R7、R8乃至R11、R13、R14乃至R17、R19及びR20乃至R23が水素原子であって、R6、R12、R18及びR24が無置換の炭素数6乃至20のアリール基であるか、若しくはR2乃至R5、R6、R8乃至R11、R12、R14乃至R17、R18、R20乃至R23及びR24が水素原子であって、R1、R7、R13及びR19が無置換の炭素数6乃至20のアリール基がより好ましい。R1乃至R24の全てが水素原子であるか、又はR1、R2乃至R5、R7、R8乃至R11、R13、R14乃至R17、R19及びR20乃至R23が水素原子であって、R6、R12、R18及びR24がフェニル基であるか、若しくはR2乃至R5、R6、R8乃至R11、R12、R14乃至R17、R18、R20乃至R23及びR24が水素原子であって、R1、R7、R13及びR19がフェニル基がさらに好ましい。 In general formula (4), R1 to R24 are preferably each independently a hydrogen atom or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, either substituted or unsubstituted. It is preferable that all of R1 to R24 are hydrogen atoms, or that R1 , R2 to R5 , R7 , R8 to R11 , R13 , R14 to R17 , R19 and R20 to R23 are hydrogen atoms and R6 , R12 , R18 and R24 are unsubstituted C6 to C20 aryl groups, or more preferably that R2 to R5 , R6 , R8 to R11 , R12 , R14 to R17 , R18 , R20 to R23 and R24 are hydrogen atoms and R1 , R7 , R13 and R19 are unsubstituted C6 to C20 aryl groups. It is more preferable that all of R1 to R24 are hydrogen atoms, or that R1 , R2 to R5 , R7 , R8 to R11 , R13 , R14 to R17 , R19 and R20 to R23 are hydrogen atoms and R6 , R12 , R18 and R24 are phenyl groups, or that R2 to R5 , R6 , R8 to R11 , R12 , R14 to R17 , R18 , R20 to R23 and R24 are hydrogen atoms and R1 , R7 , R13 and R19 are phenyl groups .
一般式(4)中、Mは2個の水素原子、金属原子、金属酸化物または金属ハロゲン化物を表す。Mが2個の水素原子を表す場合、一般式(4)中のN-M-Nの部分が2つのN-Hとして示される構造が形成される。
一般式(4)のMが表す金属原子としては、鉄、マグネシウム、ニッケル、コバルト、銅、パラジウム、亜鉛、バナジウム、チタン、インジウム及び錫等が挙げられる。
一般式(4)のMが表す金属酸化物としては、チタニル及びバナジル等が挙げられる。
一般式(4)のMが表す金属ハロゲン化物としては、塩化アルミニウム、塩化インジウム、塩化ゲルマニウム、塩化錫(II)、塩化錫(IV)及び塩化珪素等が挙げられる。
式 式(1)におけるMとしては、銅、亜鉛、コバルト、ニッケル、鉄、バナジル、チタニル、塩化インジウム又は塩化錫(II)であることが好ましく、銅、亜鉛、バナジル又はチタニルであることがより好ましく、バナジルであることが特に好ましい。
In general formula (4), M represents two hydrogen atoms, a metal atom, a metal oxide, or a metal halide. When M represents two hydrogen atoms, the N-M-N portion of general formula (4) is represented as two N-H structures.
Examples of metal atoms represented by M in general formula (4) include iron, magnesium, nickel, cobalt, copper, palladium, zinc, vanadium, titanium, indium, and tin.
Examples of metal oxides represented by M in general formula (4) include titanyl and vanadyl.
Examples of metal halides represented by M in general formula (4) include aluminum chloride, indium chloride, germanium chloride, tin(II) chloride, tin(IV) chloride, and silicon chloride.
In formula (1), M is preferably copper, zinc, cobalt, nickel, iron, vanadyl, titanyl, indium chloride, or tin(II) chloride, more preferably copper, zinc, vanadyl, or titanyl, and particularly preferably vanadyl.
以下に、一般式(4)で表される化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されない。
一般式(4)で表されるナフタロシアニン化合物は、単独又は複数種を組み合わせて用いることもできる。
一般式(4)で表されるナフタロシアニン化合物としては、750乃至1500nmの波長領域に極大吸収波長を有するものが好ましく、780乃至1000nmの波長領域に極大吸収波長を有するものがより好ましい。
Naphthalocyanine compounds represented by general formula (4) can be used individually or in combination of multiple types.
The naphthalocyanine compound represented by general formula (4) is preferably one having a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 750 to 1500 nm, and more preferably one having a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 780 to 1000 nm.
また、ナフタロシアニン化合物は、下記一般式(5)で表される化合物が好ましい。 Furthermore, the naphthalocyanine compound is preferably one represented by the following general formula (5).
一般式(5)
(一般式(5)中、R1~R24は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、ニトロ基、ニトリル基、カルボキシル基、スルホン基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいシクロアルキル基、置換基を有してもよいアルコキシル基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルチオ基、置換基を有してもよいアリールチオ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、または、置換基を有してもよいスルファモイル基を表す。
Zは、一般式(6)で示す単量体単位を含む重合体部位、または一般式(7)で表すリン化合物部位である。)
(In general formula (5), R1 to R24 each independently represent a halogen atom, a nitro group, a nitrile group, a carboxyl group, a sulfone group, an optionally substituted alkyl group, an optionally substituted aryl group, an optionally substituted cycloalkyl group, an optionally substituted alkoxy group, an optionally substituted aryloxy group, an optionally substituted alkylthio group, an optionally substituted arylthio group, an optionally substituted alkylamino group, an optionally substituted arylamino group, or an optionally substituted sulfamoyl group.
Z is a polymer moiety containing the monomer unit shown in general formula (6), or a phosphorus compound moiety represented by general formula (7).
(一般式(6)中、Xは、-CONH-R25-、-COO-R26-、-CONH-R27-O-、-COO-R28-O-、R25~R28は、炭素原子と炭素原子の間が、-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-CONH-、または-NHCO-で連結されていても良いアルキレン基もしくはアリーレン基を表す。R31は水素または、メチル基を表す。nは0または1~10の整数である。*は、Alとの結合手である。)
(一般式(7)中、R29およびR30は、それぞれ独立に、水酸基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシル基または置換基を有してもよいアリールオキシ基を表し、R29とR30は、互いに結合して環を形成しても良い。*は、Alとの結合手である。)
(In general formula (6), X represents an alkylene or arylene group in which carbon atoms may be linked by -O-, -CO-, -COO-, -OCO-, -CONH-, or -NHCO- between carbon atoms. R 25 to R 28 represent a hydrogen atom or a methyl group. n is 0 or an integer from 1 to 10. * represents a bond with Al.)
(In general formula (7), R 29 and R 30 each independently represent a hydroxyl group, an optionally substituted alkyl group, an optionally substituted aryl group, an optionally substituted alkoxyl group, or an optionally substituted aryloxy group, and R 29 and R 30 may be bonded to each other to form a ring. * represents a bond with Al.)
以下、一般式(5)で表される化合物の具体例を示す。なお、本発明はこれらに限定されない。 The following are specific examples of compounds represented by general formula (5). However, the present invention is not limited to these examples.
近赤外線吸収色素は、単独または2種類以上を併用して使用できる。2種類以上併用して用いる場合、極大吸収波長の異なる少なくとも2種の化合物を用いることが好ましい。これにより、1種類の近赤外線吸収色素を使用した場合に比べて、吸収スペクトルの波形が広がり、幅広い波長範囲の近赤外線を吸収できる。 Near-infrared absorbing dyes can be used individually or in combination of two or more types. When using two or more types in combination, it is preferable to use at least two compounds with different maximum absorption wavelengths. This broadens the waveform of the absorption spectrum compared to using a single near-infrared absorbing dye, allowing for absorption of near-infrared light across a wider wavelength range.
(染料)
染料は、酸性染料、直接染料、塩基性染料、造塩染料、油溶性染料、分散染料、反応染料、媒染染料、建染染料、硫化染料等が挙げられる。また、染料は、これらの誘導体、または染料をレーキ化したレーキ顔料も使用できる。
(dye)
Examples of dyes include acid dyes, direct dyes, basic dyes, salt-forming dyes, oil-soluble dyes, disperse dyes, reactive dyes, mordant dyes, vat dyes, and sulfur dyes. In addition, derivatives of these dyes, or lake pigments obtained by lake-forming dyes, can also be used.
酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有することが好ましい。直接染料は、酸性染料の無機塩、または酸性染料と、四級アンモニウム塩化合物、三級アミン化合物、二級アミン化合物、または一級アミン化合物等の含窒素化合物との造塩化合物を形成することが好ましい。また、これらの官能基を有する樹脂成分と酸性染料との塩である造塩化合物も好ましい。また、造塩化合物は、スルホンアミド化してスルホン酸アミド化合物に変性することで耐性(耐光性、耐溶剤性)に優れた感光性組成物を得やすい。
また、酸性染料とオニウム塩基を有する化合物との造塩化合物も、耐性(耐光性、溶剤耐性)に優れるため好ましい。なお、オニウム塩基を有する化合物は、カチオン性基を有する樹脂が好ましい。
Acid dyes preferably have acidic groups such as sulfonic acid or carboxylic acid. Direct dyes preferably form salt compounds with an inorganic salt of the acid dye, or with an acid dye and a nitrogen-containing compound such as a quaternary ammonium salt compound, tertiary amine compound, secondary amine compound, or primary amine compound. Salt compounds that are salts of a resin component having these functional groups and an acid dye are also preferred. Furthermore, by sulfonamidating the salt compound to a sulfonic acid amide compound, it is easy to obtain a photosensitive composition with excellent resistance (lightfastness, solvent resistance).
Furthermore, salt-forming compounds of acid dyes and compounds containing an onium base are also preferred due to their excellent resistance (light resistance and solvent resistance). The compound containing the onium base is preferably a resin having a cationic group.
塩基性染料は、そのままでも使用できるが、有機酸や過塩素酸またはその金属塩と造塩化する造塩化合物が好ましい。塩基性染料の造塩化合物は、耐性(耐光性、耐溶剤性)や、顔料との親和性が優れているため好ましい。また、塩基性染料の造塩化合物で、カウンタイオンとしてはたらくアニオン成分は、有機スルホン酸、有機硫酸、フッ素基含有リンアニオン化合物、フッ素基含有ホウ素アニオン化合物、シアノ基含有窒素アニオン化合物、ハロゲン化炭化水素基を有する有機酸の共役塩基を有するアニオン化合物、酸性染料とを造塩した造塩化合物が好ましい。なお、造塩化合物は、分子中に重合性不飽和基を含有すると耐性がより向上する。 Basic dyes can be used as is, but salt compounds formed by chlorinating with organic acids, perchloric acid, or their metal salts are preferred. Salt compounds of basic dyes are preferred because they have excellent resistance (lightfastness, solvent resistance) and affinity with pigments. Furthermore, preferred salt compounds of basic dyes contain anionic components that act as counterions, such as organic sulfonic acids, organic sulfuric acids, fluorine-containing phosphorus anionic compounds, fluorine-containing boron anionic compounds, cyano-containing nitrogen anionic compounds, anionic compounds having a conjugate base of an organic acid with a halogenated hydrocarbon group, and acid dyes. Note that the resistance of the salt compound is further improved if it contains polymerizable unsaturated groups in its molecule.
染料の化学構造は、例えば、アゾ系染料、ジスアゾ系染料、アゾメチン系染料(インドアニリン系染料、インドフェノール系染料など)、ジピロメテン系染料、キノン系染料(ベンゾキノン系染料、ナフトキノン系染料、アントラキノン系染料、アントラピリドン系染料など)、カルボニウム系染料(ジフェニルメタン系染料、トリフェニルメタン系染料、キサンテン系染料、アクリジン系染料など)、キノンイミン系染料(オキサジン系染料、チアジン系染料など)、アジン系染料、ポリメチン系染料(オキソノール系染料、メロシアニン系染料、アリーリデン系染料、スチリル系染料、シアニン系染料、スクアリリウム系染料、クロコニウム系染料など)、キノフタロン系染料、フタロシアニン系染料、サブフタロシアニン系染料、ペリノン系染料、インジゴ系染料、チオインジゴ系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、ニトロソ系染料、ローダミン系染料、及びそれらの金属錯体系染料等から選ばれる染料に由来する色素構造が挙げられる。 The chemical structures of dyes include, for example, azo dyes, disazo dyes, azomethine dyes (indoaniline dyes, indophenol dyes, etc.), dipyromethene dyes, quinone dyes (benzoquinone dyes, naphthoquinone dyes, anthraquinone dyes, anthrapyridone dyes, etc.), carbonium dyes (diphenylmethane dyes, triphenylmethane dyes, xanthene dyes, acridine dyes, etc.), quinoneimine dyes (oxazine dyes, thiazine dyes, etc.), and azi Examples of pigment structures derived from dyes selected from the following: lin-based dyes, polymethine-based dyes (oxonol-based dyes, merocyanine-based dyes, arylidene-based dyes, styryl-based dyes, cyanine-based dyes, squarylium-based dyes, croconium-based dyes, etc.), quinophthalone-based dyes, phthalocyanine-based dyes, subphthalocyanine-based dyes, perinone-based dyes, indigo-based dyes, thioindigo-based dyes, quinoline-based dyes, nitro-based dyes, nitroso-based dyes, rhodamine-based dyes, and metal complex dyes thereof.
これらの中でも、色相、色分離性、色むらなどの色特性の観点から、アゾ系染料、キサンテン系染料、シアニン系染料、トリフェニルメタン系染料、アントラキノン系染料、ジピロメテン系染料、スクアリリウム系染料、キノフタロン系染料、フタロシアニン系染料、サブフタロシアニン系染料から選ばれる色素に由来する色素構造が好ましく、キサンテン系染料、シアニン系染料、トリフェニルメタン系染料、アントラキノン系染料、ジピロメテン系染料、フタロシアニン系染料から選ばれる色素に由来する色素構造がより好ましい。 Among these, from the viewpoint of color characteristics such as hue, color separation, and color unevenness, a pigment structure derived from a dye selected from azo dyes, xanthene dyes, cyanine dyes, triphenylmethane dyes, anthraquinone dyes, dipyromethene dyes, squarylium dyes, quinophthalone dyes, phthalocyanine dyes, and subphthalocyanine dyes is preferred, and a pigment structure derived from a dye selected from xanthene dyes, cyanine dyes, triphenylmethane dyes, anthraquinone dyes, dipyromethene dyes, and phthalocyanine dyes is more preferred.
色素(A)は、単独、または2種類以上を併用して使用することができる。 Dye (A) can be used alone or in combination of two or more types.
色素(A)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.5~80質量%が好ましく、1~60質量%がより好ましい。 The content of dye (A) is preferably 0.5 to 80% by mass, and more preferably 1 to 60% by mass, based on 100% by mass of the nonvolatile content of the photosensitive composition.
(有機顔料の微細化)
有機顔料は、微細化して用いることが好ましい。微細化方法は、特に限定されるものではなく、例えば、湿式磨砕、乾式磨砕、溶解析出法いずれも使用できる。これらの中でも、湿式磨砕の1種であるニーダー法によるソルトミリング処理が好ましい。微細化顔料のTEM(透過型電子顕微鏡)により求められる平均一次粒子径は、5~90nmが好ましい。なお、分散性、コントラスト比の観点から、平均一次粒子径は10~70nmがより好ましい。
(Fine milling of organic pigments)
Organic pigments are preferably used after being finely milled. The milling method is not particularly limited, and for example, wet milling, dry milling, or dissolution milling can all be used. Among these, salt milling by the kneader method, which is a type of wet milling, is preferred. The average primary particle size of the finely milled pigment, as determined by TEM (transmission electron microscope), is preferably 5 to 90 nm. More preferably, from the viewpoint of dispersibility and contrast ratio, the average primary particle size is 10 to 70 nm.
ソルトミリング処理には、必要に応じて樹脂を添加してもよい。樹脂を添加することにより、顔料が樹脂で被覆され、安定性、耐光性等が向上する。前記樹脂の種類は特に限定されず、天然樹脂、変性天然樹脂、合成樹脂、天然樹脂で変性された合成樹脂等が挙げられる。これらの中でも、室温で固体であり、水不溶性であることが好ましく、かつ上記有機溶剤に一部可溶が好ましい。樹脂の添加量は、顔料100質量部に対して、2~200質量部が好ましい。 Resin may be added to the salt milling process as needed. Adding resin coats the pigment, improving stability, lightfastness, and other properties. The type of resin is not particularly limited and includes natural resins, modified natural resins, synthetic resins, and synthetic resins modified with natural resins. Among these, it is preferable that the resin is solid at room temperature, water-insoluble, and partially soluble in the organic solvent. The amount of resin added is preferably 2 to 200 parts by mass per 100 parts by mass of pigment.
<分散剤(B)>
分散剤(B)は、公知の樹脂型分散剤を使用できる。樹脂型分散剤としては、着色剤(A)に吸着する着色剤親和性部位と、着色剤以外の成分と親和性が高く、分散粒子間を立体反発させる緩和部位とを有する。
分散剤(B)は、例えば、ポリウレタン等のウレタン系分散剤、ポリアクリレート等のポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸(部分)アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水酸基含有ポリカルボン酸エステルや、これらの変性物;ポリ(低級アルキレンイミン)と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩;(メタ)アクリル酸-スチレン共重合体、(メタ)アクリル酸-(メタ)アクリル酸エステル共重合体、スチレン-マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコ-ル、ポリビニルピロリドン等;ポリエステル、変性ポリアクリレート、エチレンオキサイド/プロピレンオキサイド付加化合物、リン酸エステル系等が挙げられる。
また、塩基性官能基を有する高分子分散剤は、窒素原子含有グラフト共重合体、側鎖に3級アミノ基、4級アンモニウム塩基、含窒素複素環などを含む官能基を有する、窒素原子含有アクリル系ブロック共重合体やウレタン系高分子分散剤等が挙げられる。
<Dispersant (B)>
The dispersant (B) can be any known resin-type dispersant. The resin-type dispersant has a colorant affinity site that adsorbs to the colorant (A), and a relaxation site that has high affinity for components other than the colorant and causes steric repulsion between dispersed particles.
Examples of dispersants (B) include urethane-based dispersants such as polyurethane, polycarboxylic acid esters such as polyacrylate, unsaturated polyamides, polycarboxylic acids, polycarboxylic acid (partial)amine salts, polycarboxylic acid ammonium salts, polycarboxylic acid alkylamine salts, polysiloxanes, long-chain polyaminoamide phosphates, hydroxyl group-containing polycarboxylic acid esters, and modified products thereof; amides and salts thereof formed by the reaction of poly(lower alkyleneimines) with polyesters having free carboxyl groups; (meth)acrylic acid-styrene copolymers, (meth)acrylic acid-(meth)acrylic acid ester copolymers, styrene-maleic acid copolymers, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, etc.; polyesters, modified polyacrylates, ethylene oxide/propylene oxide adduct compounds, phosphate esters, etc.
Furthermore, polymeric dispersants having basic functional groups include nitrogen atom-containing graft copolymers, nitrogen atom-containing acrylic block copolymers and urethane polymeric dispersants having functional groups in their side chains that include tertiary amino groups, quaternary ammonium bases, nitrogen-containing heterocycles, etc.
市販の樹脂型分散剤は、例えば、ビックケミ-・ジャパン社製のDisperbyk-101、103、107、108、110、111、116、130、140、154、161、162、163、164、165、166、167、168、170、171、174、180、181、182、183、184、185、190、2000、2001、2009、2010、2020、2025、2050、2070、2095、2150、2155、2163、2164またはAnti-Terra-U、203、204、またはBYK-P104、P104S、220S、LPN6919、LPN21116、LPN21324またはLactimon、Lactimon-WSまたはBykumen等、日本ル-ブリゾ-ル社製のSOLSPERSE-3000、9000、13000、13240、13650、13940、16000、17000、18000、20000、21000、24000、26000、27000、28000、31845、32000、32500、32550、33500、32600、34750、35100、36600、38500、41000、41090、53095、55000、56000、76500等、BASFジャパン社製のEFKA-46、47、48、452、4008、4009、4010、4015、4020、4047、4050、4055、4060、4080、4400、4401、4402、4403、4406、4408、4300、4310、4320、4330、4340、450、451、453、4540、4550、4560、4800、5010、5065、5066、5070、7500、7554、1101、120、150、1501、1502、1503等、味の素ファインテクノ社製のアジスパ-PA111、PB711、PB821、PB822、PB824等が挙げられる。 Commercially available resin-type dispersants include, for example, Disperbyk-101, 103, 107, 108, 110, 111, 116, 130, 140, 154, 161, 162, 163, 164, 165, 166, 167, 168, 170, 171, 174, 180, 181, 182, 183, 184, 185, 190, 2000, 2001, 2009, 2010, 2020, 2025, 2050, 2070, 2095, 2150, 2050, 2070, 2095, 2150, 2050, 2010, 2020, 2025, 2050, 2070, 2095, 2150, 2050, 2010, 2010, 2020, 2025, 2050, 2070, 2095, 2150, 201 155, 2163, 2164 or Anti-Terra-U, 203, 204 or BYK-P104, P104S, 220S, LPN6919, LPN21116, LPN21324 or Lactimon, Lactimon-WS or Bykumen, etc., manufactured by Nippon Lubrisol Co., Ltd. SOLSPERSE-3000, 9000, 13000, 13240, 13650, 13940, 16000, 17000, 18000, 20000, 21 000, 24000, 26000, 27000, 28000, 31845, 32000, 32500, 32550, 33500, 32600, 34750, 35100, 36600, 38500, 41000, 41090, 53095, 55000, 56000, 76500, etc., and EFKA-46, 47, 48, 452, 4008, 4009, 4010, 4015, 4020, 4047, 4050, 4055, 4060, 408 manufactured by BASF Japan. Examples include 0, 4400, 4401, 4402, 4403, 4406, 4408, 4300, 4310, 4320, 4330, 4340, 450, 451, 453, 4540, 4550, 4560, 4800, 5010, 5065, 5066, 5070, 7500, 7554, 1101, 120, 150, 1501, 1502, 1503, etc., as well as Ajispa PA111, PB711, PB821, PB822, PB824, etc., manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.
感光性組成物は、カルボキシル基を有する樹脂型分散剤を使用することが好ましい。カルボキシル基を有する樹脂型分散剤は、例えば、櫛型の樹脂型分散剤や直鎖状の樹脂型分散剤等が挙げられる。 The photosensitive composition preferably uses a resin-type dispersant having carboxyl groups. Examples of resin-type dispersants having carboxyl groups include comb-type resin-type dispersants and linear resin-type dispersants.
[カルボキシル基を有する櫛型の樹脂型分散剤]
カルボキシル基を有する櫛型の樹脂型分散剤は、WO2008/007776号公報、特開2008-029901号公報、特開2009-155406号公報、特開2011-157416号公報等の公知の方法で製造できる。
例えば、水酸基を有する重合体の水酸基と、テトラカルボン酸二無水物の酸無水物基との反応生成物である樹脂型分散剤であるか、水酸基を有する化合物の水酸基と、テトラカルボン酸二無水物の酸無水物基との反応生成物の存在下に、単量体を重合した重合体である樹脂型分散剤、または、水酸基を有する化合物の水酸基と、テトラカルボン酸二無水物の酸無水物基との反応生成物の存在下に、水酸基、t-ブチル基あるいはオキセタン骨格、ブロックイソシアネートなどの熱架橋基を有する単量体とそれ以外を重合した側鎖を持つ樹脂型分散剤とさらにその側鎖の水酸基にイソシアネート基を有するチレン性不飽和単量体を反応させて得られる樹脂型分散剤である。
[A comb-shaped resin dispersant containing carboxyl groups]
Comb-shaped resin dispersants having carboxyl groups can be manufactured by known methods such as those described in WO2008/007776, JP 2008-029901, JP 2009-155406, and JP 2011-157416.
For example, a resin-type dispersant is a reaction product of the hydroxyl group of a polymer having a hydroxyl group and the acid anhydride group of a tetracarboxylic dianhydride; a resin-type dispersant is a polymer obtained by polymerizing monomers in the presence of the reaction product of the hydroxyl group of a compound having a hydroxyl group and the acid anhydride group of a tetracarboxylic dianhydride; or a resin-type dispersant having a side chain obtained by polymerizing monomers having a hydroxyl group, a t-butyl group, or an oxetane skeleton, a blocked isocyanate, or other thermal crosslinking group, in the presence of the reaction product of the hydroxyl group of a compound having a hydroxyl group and the acid anhydride group of a tetracarboxylic dianhydride, and further reacting a ethylene unsaturated monomer having an isocyanate group on the hydroxyl group of the side chain.
[カルボキシル基を有する直鎖状の樹脂型分散剤]
カルボキシル基を有する直鎖状の樹脂型分散剤は、特開2009-251481号公報、特開2007-23195号公報、特開1996-143651号公報等の公知の方法で製造することができる。直鎖の分散剤の製造方法の一例として、カルボキシル基を有する分散剤は、片末端に1つの水酸基を有するビニル系重合体を原料として、トリカルボン酸無水物を水酸基に付加することによって製造することが出来る。
[Linear resin-type dispersant containing carboxyl groups]
Linear resin-type dispersants having carboxyl groups can be manufactured by known methods such as those described in Japanese Patent Publication No. 2009-251481, Japanese Patent Publication No. 2007-23195, and Japanese Patent Publication No. 1996-143651. As an example of a method for manufacturing linear dispersants, a dispersant having carboxyl groups can be manufactured by using a vinyl polymer having one hydroxyl group at one end as a raw material and adding a tricarboxylic acid anhydride to the hydroxyl group.
分散剤(B)の使用量は、色素(A)に対して3~200質量%程度が好ましく、5~100質量%程度がより好ましい。適量使用すると成膜性が向上する。 The amount of dispersant (B) used is preferably about 3 to 200% by mass relative to the dye (A), and more preferably about 5 to 100% by mass. Using an appropriate amount improves film formation.
<アルカリ可溶性樹脂(C)>
アルカリ可溶性樹脂(C)は、重合性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂、重合性不飽和基を含有しないアルカリ可溶性樹脂に分類できる。そして、アルカリ可溶性樹脂(C)は、アルカリ可溶性基は、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、ヒドロキシル基、フェノール性ヒドロキシル基等が挙げられる。これらの中でも、カルボキシル基が好ましい。
<Alkali-soluble resin (C)>
Alkali-soluble resins (C) can be classified into alkali-soluble resins containing polymerizable unsaturated groups and alkali-soluble resins not containing polymerizable unsaturated groups. Examples of alkali-soluble groups in alkali-soluble resins (C) include carboxyl groups, phosphate groups, sulfonic acid groups, hydroxyl groups, and phenolic hydroxyl groups. Among these, carboxyl groups are preferred.
アルカリ可溶性樹脂(C)の樹脂種は、酸性基を有するアクリル樹脂、α-オレフィン/(無水)マレイン酸共重合体、スチレン/スチレンスルホン酸共重合体、エチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、又はイソブチレン/(無水)マレイン酸共重合体等が挙げられる。これらの中でも、現像性、耐熱性、透明性の面で酸性基を有するアクリル樹脂、スチレン/スチレンスルホン酸共重合体が好ましく、酸性基を有するアクリル樹脂がより好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂(C)は、エポキシ基やオキセタニル基等の熱硬化性基を含有できる。
Examples of alkali-soluble resins (C) include acrylic resins having acidic groups, α-olefin/(anhydride) maleic acid copolymers, styrene/styrene sulfonic acid copolymers, ethylene/(meth)acrylic acid copolymers, or isobutylene/(anhydride) maleic acid copolymers. Among these, acrylic resins having acidic groups and styrene/styrene sulfonic acid copolymers are preferred in terms of developability, heat resistance, and transparency, and acrylic resins having acidic groups are more preferred.
Furthermore, the alkali-soluble resin (C) may contain thermosetting groups such as epoxy groups or oxetanyl groups.
[重合性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂]
重合性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂は、上記樹脂に重合性不飽和基を付与した樹脂である。本明細書で重合性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂は、下記(i) や(ii)の方法で合成する樹脂が好ましい。これにより感光性着色組成物から形成した被膜の光照射による架橋密度がより向上する。
[Alkali-soluble resin containing polymerizable unsaturated groups]
An alkali-soluble resin containing polymerizable unsaturated groups is a resin to which polymerizable unsaturated groups have been added. In this specification, the alkali-soluble resin containing polymerizable unsaturated groups is preferably a resin synthesized by the methods of (i) or (ii) below. This further improves the crosslinking density of the film formed from the photosensitive colored composition upon light irradiation.
[方法(i)]
方法(i)は、例えば、まず、エポキシ基含有単量体、およびその他単量体の重合体を合成する。次いで、前記重合体のエポキシ基に、モノカルボキシル基含有単量体を付加し、生成した水酸基に、多塩基酸無水物を反応させて重合性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂(C1)を得る方法が挙げられる。
[Method (i)]
Method (i) is, for example, to first synthesize polymers of epoxy group-containing monomers and other monomers. Then, a monocarboxyl group-containing monomer is added to the epoxy group of the polymer, and a polybasic acid anhydride is reacted with the resulting hydroxyl group to obtain an alkali-soluble resin (C1) containing polymerizable unsaturated groups.
エポキシ基含有単量体は、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレート、2-グリシドキシエチル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシブチル(メタ)アクリレート、及び3,4-エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレートが挙げられる。これらの中でも、反応性の観点で、グリシジル(メタ)アクリレートが好ましい。 Examples of epoxy group-containing monomers include glycidyl (meth)acrylate, methylglycidyl (meth)acrylate, 2-glycidoxyethyl (meth)acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth)acrylate, and 3,4-epoxycyclohexyl (meth)acrylate. Among these, glycidyl (meth)acrylate is preferred from the viewpoint of reactivity.
その他単量体は、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n-プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n-ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、t-ブチル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、又はエトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリレート類、
あるいは、(メタ)アクリルアミド、N,N-ジメチル(メタ)アクリルアミド、N,N-ジエチル(メタ)アクリルアミド、N-イソプロピル(メタ)アクリルアミド、ダイアセトン(メタ)アクリルアミド、又はアクリロイルモルホリン等の(メタ)アクリルアミド類スチレン、又はα-メチルスチレン等のスチレン類、エチルビニルエーテル、n-プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、n-ブチルビニルエーテル、又はイソブチルビニルエーテル等のビニルエーテル類、酢酸ビニル、又はプロピオン酸ビニル等の脂肪酸ビニル類等が挙げられる。
Other monomers include (meth)acrylates such as methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, n-propyl (meth)acrylate, isopropyl (meth)acrylate, n-butyl (meth)acrylate, isobutyl (meth)acrylate, t-butyl (meth)acrylate, 2-ethylhexyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, stearyl (meth)acrylate, lauryl (meth)acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth)acrylate, isobornyl (meth)acrylate, phenyl (meth)acrylate, benzyl (meth)acrylate, phenoxyethyl (meth)acrylate, phenoxydiethylene glycol (meth)acrylate, methoxypolypropylene glycol (meth)acrylate, or ethoxypolyethylene glycol (meth)acrylate.
Alternatively, examples include (meth)acrylamides such as (meth)acrylamide, N,N-dimethyl(meth)acrylamide, N,N-diethyl(meth)acrylamide, N-isopropyl(meth)acrylamide, diacetone(meth)acrylamide, or styrenes such as acryloylmorpholine, or styrenes such as α-methylstyrene, vinyl ethers such as ethyl vinyl ether, n-propyl vinyl ether, isopropyl vinyl ether, n-butyl vinyl ether, or isobutyl vinyl ether, and vinyl fatty acid compounds such as vinyl acetate or vinyl propionate.
また、シクロヘキシルマレイミド、フェニルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、1,2-ビスマレイミドエタン1,6-ビスマレイミドヘキサン、3-マレイミドプロピオン酸、6,7-メチレンジオキシ-4-メチル-3-マレイミドクマリン、4,4’-ビスマレイミドジフェニルメタン、ビス(3-エチル-5-メチル-4-マレイミドフェニル)メタン、N,N’-1,3-フェニレンジマレイミド、N,N’-1,4-フェニレンジマレイミド、N-(1-ピレニル)マレイミド、N-(2,4,6-トリクロロフェニル)マレイミド、N-(4-アミノフェニル)マレイミド、N-(4-ニトロフェニル)マレイミド、N-ベンジルマレイミド、N-ブロモメチル-2,3-ジクロロマレイミド、N-スクシンイミジル-3-マレイミドベンゾエート、N-スクシンイミジル-3-マレイミドプロピオナート、N-スクシンイミジル-4-マレイミドブチラート、N-スクシンイミジル-6-マレイミドヘキサノアート、N-[4-(2-ベンゾイミダゾリル)フェニル]マレイミド、9-マレイミドアクリジン等のN-置換マレイミド類、EO変性クレゾールアクリレート、n-ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、エトキシ化フェニルアクリレート、フェノールのエチレンオキサイド(EO)変性(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールのEO又はプロピレンオキサイド(PO)変性(メタ)アクリレート、ノニルフェノールのEO変性(メタ)アクリレート、ノニルフェノールのPO変性(メタ)アクリレート等が挙げられる。
また、水酸基含有単量体の水酸基に、5酸化リンやポリリン酸等のリン酸エステル化剤を反応させたリン酸エステル基含有単量体も挙げられる。
Also, cyclohexylmaleimide, phenylmaleimide, methylmaleimide, ethylmaleimide, 1,2-bismaleimideethane, 1,6-bismaleimidehexane, 3-maleimidepropionic acid, 6,7-methylenedioxy-4-methyl-3-maleimidocoumarin, 4,4'-bismaleimidediphenylmethane, bis(3-ethyl-5-methyl-4-maleimidophenyl)methane, N,N'-1,3-phenylenedimaleimide, N,N'-1,4-phenylenedimaleimide, N-(1-pyrenyl)maleimide, N-(2,4,6-trichlorophenyl)maleimide, N-(4-aminophenyl)maleimide, N-(4-nitrophenyl)maleimide, N-benzylmaleimide, N-bromomethyl-2,3-dichloromaleimide, N-succinimidyl-3-maleimide Examples include midobenzoates, N-succinimidyl-3-maleimide propionate, N-succinimidyl-4-maleimide butyrate, N-succinimidyl-6-maleimide hexanoate, N-[4-(2-benzimidazol)phenyl]maleimide, 9-maleimide acridine, and other N-substituted maleimides; EO-modified cresol acrylate, n-nonylphenoxypolyethylene glycol acrylate, phenoxyethyl acrylate, ethoxylated phenyl acrylate, ethylene oxide (EO)-modified (meth)acrylate of phenol, EO or propylene oxide (PO)-modified (meth)acrylate of paracumylphenol, EO-modified (meth)acrylate of nonylphenol, and PO-modified (meth)acrylate of nonylphenol.
Another example is a phosphate ester group-containing monomer obtained by reacting the hydroxyl group of a hydroxyl group-containing monomer with a phosphate esterifying agent such as phosphorus pentoxide or polyphosphate.
モノカルボキシル基含有単量体は、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、o-、m-、p-ビニル安息香酸、(メタ)アクリル酸のα位ハロアルキル、アルコキシル、ハロゲン、ニトロ、シアノ置換体等のモノカルボン酸等が挙げられる。 Examples of monocarboxyl group-containing monomers include (meth)acrylic acid, crotonic acid, o-, m-, p-vinylbenzoic acid, and monocarboxylic acids such as α-haloalkyl, alkoxyl, halogen, nitro, and cyano-substituted derivatives of (meth)acrylic acid.
多塩基酸無水物は、例えば、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等が挙げられる。なお、多塩基酸無水物は、酸無水物を形成しないカルボキシル基を有しても良い。 Examples of polybasic acid anhydrides include tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, and maleic anhydride. Note that polybasic acid anhydrides may also contain carboxyl groups that do not form acid anhydrides.
また、方法(i)に似た方法として、例えば、モノカルボキシル基含有単量体、およびその他単量体の重合体を合成する。次いで、前記重合体のカルボキシル基の一部にエポキシ基含有単量体を付加し、重合性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂(C1)を得る方法が挙げられる。 Another method similar to method (i) involves, for example, synthesizing polymers of monocarboxyl group-containing monomers and other monomers. Then, epoxy group-containing monomers are added to some of the carboxyl groups of the polymer to obtain an alkali-soluble resin (C1) containing polymerizable unsaturated groups.
[方法(ii)]
方法(ii)は、例えば、水酸基含有単量体、カルボキシル基含有単量体、およびそれ以外の単量体を合成し重合体を作製する。次いで、前記重合体の水酸基に、イソシアネート基含有単量体のイソシアネート基を反応させて樹脂を合成する方法が挙げられる。
[Method (ii)]
Method (ii) involves, for example, synthesizing a polymer by combining a hydroxyl group-containing monomer, a carboxyl group-containing monomer, and other monomers. Then, a resin is synthesized by reacting the hydroxyl group of the polymer with the isocyanate group of an isocyanate group-containing monomer.
水酸基含有単量体は、例えば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-若しくは3-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-若しくは3-若しくは4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、又はシクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキルメタアクリレート類が挙げられる。また、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートに、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、及び/又はブチレンオキシド等を付加重合させたポリエーテルモノ(メタ)アクリレートや、ポリγ-バレロラクトン、ポリε-カプロラクトン、及び/又はポリ12-ヒドロキシステアリン酸等を付加したポリエステルモノ(メタ)アクリレートも挙げられる。これらの中でも2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレートが好ましく、グリセロールモノ(メタ)アクリレートがより好ましい。 Examples of hydroxyl group-containing monomers include hydroxyalkyl methacrylates such as 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2- or 3-hydroxypropyl (meth)acrylate, 2- or 3- or 4-hydroxybutyl (meth)acrylate, glycerol mono(meth)acrylate, or cyclohexanedimethanol mono(meth)acrylate. Also included are polyether mono(meth)acrylates obtained by addition polymerization of ethylene oxide, propylene oxide, and/or butylene oxide to hydroxyalkyl (meth)acrylate, and polyester mono(meth)acrylates obtained by addition of polyγ-valerolactone, polyε-caprolactone, and/or poly12-hydroxystearic acid. Among these, 2-hydroxyethyl methacrylate and glycerol mono(meth)acrylate are preferred, with glycerol mono(meth)acrylate being more preferred.
イソシアネート基含有単量体は、例えば、2-(メタ)アクリロイルエチルイソシアネート、2-(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、又は1,1-ビス〔メタアクリロイルオキシ〕エチルイソシアネート等が挙げられる。 Examples of isocyanate group-containing monomers include 2-(meth)acryloylethyl isocyanate, 2-(meth)acryloyloxyethyl isocyanate, or 1,1-bis[methacryloyloxy]ethyl isocyanate.
上記単量体以外に使用できる単量体は、上記方法(i)で例示したその他単量体等が挙げられる。 Other monomers that can be used besides the monomers mentioned above include the other monomers exemplified in method (i) above.
アルカリ可溶性樹脂(C)の重量平均分子量(Mw)は、2,000~40,000が好ましく、3,000~300,00がより好ましく、5,000~25,000が特に好ましい。また、Mw/Mn(数平均分子量)の値は10以下が好ましい。 The weight-average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin (C) is preferably 2,000 to 40,000, more preferably 3,000 to 300,000, and particularly preferably 5,000 to 25,000. Furthermore, the Mw/Mn (number-average molecular weight) value is preferably 10 or less.
アルカリ可溶性樹脂(C)の酸価は、20~200mgKOH/gが好ましく、30~180mgKOH/gがより好ましい。 The acid value of the alkali-soluble resin (C) is preferably 20 to 200 mg KOH/g, and more preferably 30 to 180 mg KOH/g.
アルカリ可溶性樹脂(C)は、単独または2種類以上を併用して使用できる Alkali-soluble resin (C) can be used alone or in combination of two or more types.
アルカリ可溶性樹脂(C)の含有量は、色素(A)100質量部に対して、20~400質量部が好ましく、30~250質量部がより好ましい。 The content of alkali-soluble resin (C) is preferably 20 to 400 parts by mass, and more preferably 30 to 250 parts by mass, per 100 parts by mass of dye (A).
<重合性化合物(D)>
重合性化合物(D)は、重合性不飽和基を含有するモノマー(単量体)、オリゴマーである。重合性化合物(D)は、感光性組成物の被膜形成に寄与する。重合性化合物(D)は、例えば、水酸基およびカルボキシル基の一方、炭化水素環、ならびに重合性不飽和基を1個含有する単量体(D1)、重合性不飽和基を3以上含有する単量体(D2)(以下、単量体(D2)という)、単量体(D2)は酸基やウレタン結合を含んでいても良く、酸基を含むことでアルカリ現像液への親和性が向上したり、ウレタン結合は耐溶剤性の向上等の効果がある。本明細書では、単量体(D1)を必須成分として含む。単量体(D1)を含むことで感光性組成物は、密着性が向上する。なお、オリゴマーの分子量は1000以上である。
<Polymerizable compound (D)>
Polymerizable compound (D) is a monomer or oligomer containing polymerizable unsaturated groups. Polymerizable compound (D) contributes to the film formation of the photosensitive composition. Polymerizable compound (D) may include, for example, a monomer (D1) containing one hydroxyl group or a carboxyl group, a hydrocarbon ring, and one polymerizable unsaturated group, or a monomer (D2) containing three or more polymerizable unsaturated groups (hereinafter referred to as monomer (D2)). Monomer (D2) may also contain acidic groups or urethane bonds. The inclusion of acidic groups improves affinity to alkaline developers, and urethane bonds improve solvent resistance. In this specification, monomer (D1) is included as an essential component. The inclusion of monomer (D1) improves the adhesion of the photosensitive composition. The molecular weight of the oligomer is 1000 or more.
水酸基およびカルボキシル基の一方、炭化水素環、ならびに重合性不飽和基を1個含有する単量体(D1)は、重合性不飽和基を1個有するため、組成物の光硬化性を抑制する。これによりフォトマスクの開口幅と同等に近いパターンの線幅が形成できる。また、単量体(D1)の水酸基またはカルボキシル基が基板の界面と水素結合の形成や分子間力を向上できることで密着性が大幅に向上する。さらに、単量体(D1)に由来する炭化水素環が現像工程で使用するアルカリ現像液との親和性を抑制することで、現像工程時に基板からパターンが剥がれ難くできる。 Monomer (D1), which contains one hydroxyl group, one carboxyl group, a hydrocarbon ring, and one polymerizable unsaturated group, suppresses the photocurability of the composition due to the presence of one polymerizable unsaturated group. This allows for the formation of a pattern line width close to that of the photomask aperture. Furthermore, the hydroxyl or carboxyl group of monomer (D1) can improve hydrogen bonding and intermolecular forces with the substrate interface, significantly enhancing adhesion. Additionally, the hydrocarbon ring derived from monomer (D1) suppresses affinity with the alkaline developer used in the development process, making it less likely for the pattern to peel off the substrate during development.
単量体(D1)は、例えば、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピルアクリレート、2-アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2-アクリロイロキシエチル-フタル酸、2-アクリロイロキシエチル-2-ヒドロキシエチル-フタル酸、2-アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2-アクリロイルオキシプロピルフタル酸、2-アクリロイルオキシプロピルヘキサヒドロフタル酸、メタクリロイルオキシエチルフタル酸、メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、メタクリロイルオキシプロピルフタル酸、メタクリロイルオキシプロピルヘキサヒドロフタル酸等が挙げられる。 Examples of monomers (D1) include 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-acryloyloxyethylhexahydrophthalic acid, 2-acryloyloxyethyl phthalic acid, 2-acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalic acid, 2-acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid, 2-acryloyloxypropyl phthalic acid, 2-acryloyloxypropyl hexahydrophthalic acid, methacryloyloxyethyl phthalic acid, methacryloyloxypropyl phthalic acid, and methacryloyloxypropyl hexahydrophthalic acid.
単量体(D1)の市販品は、共栄社化学社製のエポキシエステルM-600A、ライトアクリレートHOA-HH(N)、HOA-MPL(N)、HOA-MPE(N)や新中村化学社製のACB-3、ACB-21、ACB-23、CB-1、CB-3、CB-21、CB-23等が挙げられる。 Commercially available monomers (D1) include epoxy ester M-600A, light acrylate HOA-HH(N), HOA-MPL(N), and HOA-MPE(N) manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., and ACB-3, ACB-21, ACB-23, CB-1, CB-3, CB-21, and CB-23 manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.
単量体(D2)は、単量体(D1)以外の単量体であり、重合性不飽和基を3以上含有する単量体である。
Monomer (D2) is a monomer other than monomer (D1) and is a monomer containing three or more polymerizable unsaturated groups.
単量体(D2)は、単量体(D1)以外の単量体であり、例えば、トリメチロールプロハントリアクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキサイド変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリアクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキサイド変性トリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジグリセリンエチレンオキサイド変性アクリレート等が挙げられるが重合性不飽和基を3以上含有するならば、この構造に限定されるものではない。 Monomer (D2) is a monomer other than monomer (D1), and examples include trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropanepropylene oxide-modified triacrylate, trimethylolpropaneethylene oxide-modified triacrylate, isocyanurate ethylene oxide-modified triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, ditrimethylolpropanetetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and diglycerin ethylene oxide-modified acrylate. However, the structure is not limited to these, as long as it contains three or more polymerizable unsaturated groups.
これらの市販品としては、東亞合成社製のアロニックスM-305、M-306、M-309、M-310、M-321、M-350、M-313、M-315、M-400、M-402、M-403、M-404、M-405、M-406、M-408、M-450、M-471、M-460、新中村化学社製のNKエステルA-9300等を好適に使用することができる。 Suitable commercially available products include Aronics M-305, M-306, M-309, M-310, M-321, M-350, M-313, M-315, M-400, M-402, M-403, M-404, M-405, M-406, M-408, M-450, M-471, M-460 from Toagosei Co., Ltd., and NK Ester A-9300 from Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.
(酸基を有する重合性化合物)
単量体(D2)は、酸基を有する光重合性化合物を用いることで、本発明の感光性組成物をアルカリ現像する際、形成した塗膜のアルカリ現像液へ溶解性を上げることができ、現像速度を向上したり残渣を低減することができる。酸基としては、スルホン酸基やカルボキシル基、リン酸基等が挙げられる。
これらの市販品としては、及び東亞合成社製アロニックスM-510、M-520、M-521等を好適に使用することができる。
(Polymerizable compounds containing acidic groups)
By using a photopolymerizable compound having an acidic group as monomer (D2), the solubility of the formed coating film in the alkaline developer can be increased when the photosensitive composition of the present invention is alkaline developed, thereby improving the development speed and reducing residue. Examples of acidic groups include sulfonic acid groups, carboxyl groups, and phosphate groups.
These commercially available products include, and suitably, Aronics M-510, M-520, M-521, etc., manufactured by Toagosei Co., Ltd.
(ウレタン結合を有する重合性化合物)
単量体(D2)は、ウレタン結合を有する光重合性化合物を含有することで、形成した塗膜を加熱した際の色材の析出を抑制することができ、耐溶剤性や基材への密着性を向上できる。
(Polymerizable compounds containing urethane bonds)
The monomer (D2) contains a photopolymerizable compound having a urethane bond, which suppresses the precipitation of colorants when the formed coating film is heated, thereby improving solvent resistance and adhesion to the substrate.
これらの市販品としては、共栄社化学社製のAH-600、AT-600、UA-306H、UA-306T、UA-306I、UA-510H、新中村化学工業社製のUA-1100H、UA-33H、U-10HA、U-10PA、U-15HA等を好適に使用することができる。 Suitable commercially available products include AH-600, AT-600, UA-306H, UA-306T, UA-306I, and UA-510H from Kyoeisha Chemical Co., Ltd., and UA-1100H, UA-33H, U-10HA, U-10PA, and U-15HA from Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd.
単量体(D2)と単量体(D1)に属さない重合性化合物(D)としては、重合性不飽和基を2含有する重合性化合物や炭化水素環を含まない重合性不飽和基を1含有する重合性化合物などが挙げられる。 Examples of polymerizable compounds (D) that do not belong to monomer (D2) or monomer (D1) include polymerizable compounds containing two polymerizable unsaturated groups and polymerizable compounds containing one polymerizable unsaturated group that does not contain a hydrocarbon ring.
これらの市販品としては、新中村化学工業社製のA-DCP、ABE-300、A-SAや大阪ガスケミカル社製のEA-200、EA-300等が挙げられる。 Examples of commercially available products include A-DCP, ABE-300, and A-SA manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., and EA-200 and EA-300 manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.
重合性化合物(D)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Polymerizable compound (D) can be used alone or in combination of two or more types.
重合性化合物(D)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量部中、1~50質量部が好ましい。単量体(D1)と単量体(D2)の質量比は0.5:9.5~8:2が好ましく、0.5:9.5~6:4がより好ましく、0.5:9.5~4:6がさらに好ましい。
また、単量体(D1)の含有量は、重合性化合物(D)100質量%、5~80質量%が好ましく、5~65質量%がより好ましく、5~45質量%がさらに好ましい。
The polymerizable compound (D) is preferably present in an amount of 1 to 50 parts by mass per 100 parts by mass of the nonvolatile content of the photosensitive composition. The mass ratio of monomer (D1) to monomer (D2) is preferably 0.5:9.5 to 8:2, more preferably 0.5:9.5 to 6:4, and even more preferably 0.5:9.5 to 4:6.
Furthermore, the monomer (D1) content is preferably 100% by mass of polymerizable compound (D), 5 to 80% by mass, more preferably 5 to 65% by mass, and even more preferably 5 to 45% by mass.
[光重合開始剤(E)]
光重合開始剤(E)は、光ラジカル重合開始剤である。
光重合開始剤(E)は、例えば、4-フェノキシジクロロアセトフェノン、4-t-ブチル-ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、1-(4-イソプロピルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-(ジメチルアミノ)-1-[4-(4-モルホリノ)フェニル]-2-(フェニルメチル)-1-ブタノン、又は2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル]-1-[4-(4-モルホリニル)フェニル]-1-ブタノン等のアセトフェノン系化合物;
2,4,6-トリクロロ-s-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-トリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-ピペロニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-スチリル-s-トリアジン、2-(ナフト-1-イル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシ-ナフト-1-イル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-(ピペロニル)-6-トリアジン、又は2,4-トリクロロメチル-(4’-メトキシスチリル)-6-トリアジン等のトリアジン系化合物;
1,2-オクタンジオン,1-〔4-(フェニルチオ)フェニル-,2-(O-ベンゾイルオキシム)〕、又はエタノーン,1-〔9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール3-イル〕-,1-(O-アセチルオキシム)等のオキシム系化合物;
ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、又はジフェニル-2,4,6-トリメチルベンゾイルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン系化合物;
9,10-フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等のキノン系化合物;ボレート系化合物;カルバゾール系化合物;イミダゾール系化合物;あるいは、チタノセン系化合物等が挙げられる。
[Photopolymerization initiator (E)]
The photopolymerization initiator (E) is a photoradical polymerization initiator.
The photopolymerization initiator (E) is, for example, an acetophenone compound such as 4-phenoxydichloroacetophenone, 4-t-butyl-dichloroacetophenone, diethoxyacetophenone, 1-(4-isopropylphenyl)-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one, 2-(dimethylamino)-1-[4-(4-morpholino)phenyl]-2-(phenylmethyl)-1-butanone, or 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone;
Triazine compounds such as 2,4,6-trichloro-s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-tolyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-piperonyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2,4-bis(trichloromethyl)-6-styryl-s-triazine, 2-(naphtho-1-yl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(4-methoxy-naphtho-1-yl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2,4-trichloromethyl-(piperonyl)-6-triazine, or 2,4-trichloromethyl-(4'-methoxystyryl)-6-triazine;
Oxime compounds such as 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)phenyl-,2-(O-benzoyl oxime)], or etanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazole-3-yl]-,1-(O-acetyl oxime);
Acylphosphine compounds such as bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phenylphosphine oxide or diphenyl-2,4,6-trimethylbenzoylphosphine oxide;
Examples include quinone compounds such as 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, and ethylanthraquinone; borate compounds; carbazole compounds; imidazole compounds; or titanocene compounds.
光重合開始剤(E)の市販品は、アセトフェノン系化合物として、IGM Resins社製のOmnirad 907,369,379EG、アシルホスフィン系化合物として、IGM Resins社製のOmnirad 819,TPO、オキシム系化合物として、BASFジャパン社製のIRGACURE OXE-01,02,03,04、ADEKA社製のN-1919,730,831,930、常州強力新材料社製のTRONLY TR-PBG-301,304,305,309,345,346,358,3054,3057、IGM Resins社製のOMNIRAD1312,1314,1316、サムヤンコーポレーション社製のSPI-02,03,04,05,06,07、ダイトーケミックス社製のDFI-020,036、EOX-01等や特開2021-076846号公報に記載の開始剤等も挙げられる。また、特開2005-215378号公報、特開2011-105713号公報、特表2017-523465号公報、特開2007-210991号公報、特開2009-179619号公報、特開2010-037223号公報、特開2010-215575号公報、特開2011-020998号公報、国際公開2015/036910号等に記載のオキシム系化合物も挙げられる。 Commercially available photopolymerization initiators (E) include, as acetophenone compounds, Omnirad 907, 369, 379EG from IGM Resins; as acylphosphine compounds, Omnirad 819, TPO from IGM Resins; as oxime compounds, IRGACURE OXE-01, 02, 03, 04 from BASF Japan, N-1919, 730, 831, 930 from ADEKA, and TRONLY TR-PBG-301, 304, 305, 309, 345, 346, 358, 3054, 3057 from Changzhou Strong New Materials Co., Ltd. Other examples include OMNIRAD1312, 1314, and 1316 from Resins, SPI-02, 03, 04, 05, 06, and 07 from Samyang Corporation, DFI-020, 036, and EOX-01 from Daito Chemix, as well as initiators described in Japanese Patent Publication No. 2021-076846. Furthermore, oxime compounds described in Japanese Patent Publication No. 2005-215378, Japanese Patent Publication No. 2011-105713, Japanese Patent Publication No. 2017-523465, Japanese Patent Publication No. 2007-210991, Japanese Patent Publication No. 2009-179619, Japanese Patent Publication No. 2010-037223, Japanese Patent Publication No. 2010-215575, Japanese Patent Publication No. 2011-020998, International Publication No. 2015/036910, etc., can also be cited.
光重合開始剤(E)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 The photopolymerization initiator (E) can be used alone or in combination of two or more types.
光重合開始剤(E)の含有量は、密着性、パターン形状の観点から、感光性組成物の不揮発分中、1~15質量%が好ましく、1~10質量部がより好ましく、1~5質量%がさらに好ましい。 From the viewpoint of adhesion and pattern shape, the content of the photopolymerization initiator (E) is preferably 1 to 15% by mass, more preferably 1 to 10 parts by mass, and even more preferably 1 to 5% by mass, in the nonvolatile content of the photosensitive composition.
[増感剤(F)]
本発明の感光性組成物は、増感剤(F)を含有できる。
[Sensitizer (F)]
The photosensitive composition of the present invention may contain a sensitizer (F).
増感剤(F)は、例えば、カルコン誘導体、ジベンザルアセトン等に代表される不飽和ケトン類、ベンジルやカンファーキノン等に代表される1,2-ジケトン誘導体、ベンゾイン誘導体、フルオレン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、キサンテン誘導体、チオキサンテン誘導体、キサントン誘導体、チオキサントン誘導体、クマリン誘導体、ケトクマリン誘導体、シアニン誘導体、メロシアニン誘導体、オキソノール誘導体等のポリメチン色素、アクリジン誘導体、アジン誘導体、チアジン誘導体、オキサジン誘導体、インドリン誘導体、アズレン誘導体、アズレニウム誘導体、スクアリリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、テトラフェニルポルフィリン誘導体、トリアリ-ルメタン誘導体、テトラベンゾポルフィリン誘導体、テトラピラジノポルフィラジン誘導体、フタロシアニン誘導体、テトラアザポルフィラジン誘導体、テトラキノキサリロポルフィラジン誘導体、ナフタロシアニン誘導体、サブフタロシアニン誘導体、ピリリウム誘導体、チオピリリウム誘導体、テトラフィリン誘導体、アヌレン誘導体、スピロピラン誘導体、スピロオキサジン誘導体、チオスピロピラン誘導体、金属アレ-ン錯体、有機ルテニウム錯体、又はミヒラ-ケトン誘導体、α-アシロキシエステル、アシルオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、9,10-フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、4,4’-ジエチルイソフタロフェノン、3,3’又は4,4’-テトラ(t-ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられる。 The sensitizer (F) is, for example, a polymethine dye such as chalcone derivatives, unsaturated ketones represented by dibenzalacetone, 1,2-diketone derivatives represented by benzyl and camphorquinone, benzoin derivatives, fluorene derivatives, naphthoquinone derivatives, anthraquinone derivatives, xanthene derivatives, thioxanthene derivatives, xanthone derivatives, thioxanthone derivatives, coumarin derivatives, ketocoumarin derivatives, cyanine derivatives, merocyanine derivatives, oxonol derivatives, acridine derivatives, azine derivatives, thiaidine derivatives, oxazine derivatives, indoline derivatives, azulene derivatives, azulenium derivatives, squarylium derivatives, porphyrin derivatives, tetraphenylporphyrin derivatives, triarylmethane derivatives, tetrabenzoporphyrin derivatives, tetrapyrazinoporphyra Examples include din derivatives, phthalocyanine derivatives, tetraazaporphyrazine derivatives, tetraquinoxaliloporphyrazine derivatives, naphthalocyanine derivatives, subphthalocyanine derivatives, pyrylium derivatives, thiopyrillium derivatives, tetraphylline derivatives, annulene derivatives, spiropyran derivatives, spirooxazine derivatives, thiospilopyran derivatives, metal allene complexes, organoruthenium complexes, or Mihler-ketone derivatives, α-acyloxyesters, acyl oxides, methylphenylglyoxylates, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, ethylanthraquinone, 4,4'-diethylisophthalophenone, 3,3' or 4,4'-tetra(t-butylperoxycarbonyl)benzophenone, 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone, etc.
これらの中でも、チオキサントン誘導体、ミヒラ-ケトン誘導体、カルバゾール誘導体が好ましい。具体的な化合物は、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジクロロチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、4-イソプロピルチオキサントン、1-クロロ-4-プロポキシチオキサントン、4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノン、N-エチルカルバゾール、3-ベンゾイル-N-エチルカルバゾール、3,6-ジベンゾイル-N-エチルカルバゾール等が好ましい。 Among these, thioxanthone derivatives, Mihler-ketone derivatives, and carbazole derivatives are preferred. Specific compounds that are preferred include 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, 4,4'-bis(dimethylamino)benzophenone, 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone, 4,4'-bis(ethylmethylamino)benzophenone, N-ethylcarbazole, 3-benzoyl-N-ethylcarbazole, and 3,6-dibenzoyl-N-ethylcarbazole.
増感剤(F)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 The sensitizer (F) can be used alone or in combination of two or more types.
増感剤(F)の含有量は、光重合開始剤(E)100質量部に対して、3~60質量部が好ましく、5~50質量部がより好ましい。適量含有すると光硬化性、現像性が向上する。 The sensitizer (F) content is preferably 3 to 60 parts by mass, and more preferably 5 to 50 parts by mass, per 100 parts by mass of the photopolymerization initiator (E). An appropriate amount improves photocurability and developability.
[熱硬化性化合物(G)]
本発明の感光性組成物は、熱硬化性化合物(G)を含有できる。これにより、加熱工程で熱硬化性化合物(G)が反応し、架橋密度が高まるため被膜の耐熱性が向上する。
[Thermosetting compound (G)]
The photosensitive composition of the present invention may contain a thermosetting compound (G). This allows the thermosetting compound (G) to react during the heating process, increasing the crosslinking density and thus improving the heat resistance of the coating.
熱硬化性化合物(G)は、低分子化合物や、樹脂のような高分子量化合物でもよい。熱硬化性化合物(G)は、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物、ベンゾグアナミン化合物、ロジン変性マレイン酸化合物、ロジン変性フマル酸化合物、メラミン化合物、尿素化合物、及びフェノール化合物が挙げられる。これらの中でもエポキシ化合物およびオキセタン化合物が好ましい。 The thermosetting compound (G) may be a low-molecular-weight compound or a high-molecular-weight compound such as a resin. Examples of thermosetting compounds (G) include epoxy compounds, oxetane compounds, benzoguanamine compounds, rosin-modified maleic acid compounds, rosin-modified fumaric acid compounds, melamine compounds, urea compounds, and phenolic compounds. Among these, epoxy compounds and oxetane compounds are preferred.
(エポキシ化合物(G1))
エポキシ化合物(G1)は、例えば、ビスフェノール類(ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、ビフェノール、ビスフェノールAD等)、フェノール類(フェノール、アルキル置換フェノール、芳香族置換フェノール、ナフトール、アルキル置換ナフトール、ジヒドロキシベンゼン、アルキル置換ジヒドロキシベンゼン、ジヒドロキシナフタレン等)と各種アルデヒド(ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、アルキルアルデヒド、ベンズアルデヒド、アルキル置換ベンズアルデヒド、ヒドロキシベンズアルデヒド、ナフトアルデヒド、グルタルアルデヒド、フタルアルデヒド、クロトンアルデヒド、シンナムアルデヒド等)との重縮合物、フェノール類と各種ジエン化合物(ジシクロペンタジエン、テルペン類、ビニルシクロヘキセン、ノールボルナジエン、ビニルノールボルネン、テトラヒドロインデン、ジビニルベンゼン、ジビニルビフェニル、ジイソプロペニルビフェニル、ブタジエン、イソプレン等)との重合物、フェノール類とケトン類(アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセトフェノン、ベンゾフェノン等)との重縮合物、フェノール類と芳香族ジメタノール類(ベンゼンジメタノール、α,α,α’,α’-ベンゼンジメタノール、ビフェニルジメタノール、α,α,α’,α’-ビフェニルジメタノール等)との重縮合物、フェノール類と芳香族ジクロロメチル類(α,α’-ジクロロキシレン、ビスクロロメチルビフェニル等)との重縮合物、ビスフェノール類と各種アルデヒドの重縮合物、アルコール類等をグリシジル化したグリシジルエーテル系エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、グリシジルエステル系エポキシ樹脂等が挙げられる。
(Epoxy compound (G1))
Epoxy compounds (G1) include, for example, polycondensates of bisphenols (bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, biphenol, bisphenol AD, etc.), phenols (phenol, alkyl-substituted phenol, aromatic-substituted phenol, naphthol, alkyl-substituted naphthol, dihydroxybenzene, alkyl-substituted dihydroxybenzene, dihydroxynaphthalene, etc.) and various aldehydes (formaldehyde, acetaldehyde, alkylaldehyde, benzaldehyde, alkyl-substituted benzaldehyde, hydroxybenzaldehyde, naphthaldehyde, glutaraldehyde, phthalaldehyde, crotonaldehyde, cinnamaldehyde, etc.), and various diene compounds (dicyclopentadiene, terpenes, vinylcyclohexene, norbornadiene, vinylnolbornene, tetrahydroindene, divinylbenzene) and phenols. Examples include polymers of phenols (such as divinylbiphenyl, diisopropenylbiphenyl, butadiene, isoprene, etc.), polycondensates of phenols and ketones (such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, acetophenone, benzophenone, etc.), polycondensates of phenols and aromatic dimethanols (such as benzenedimethanol, α,α,α',α'-benzenedimethanol, biphenyldimethanol, α,α,α',α'-biphenyldimethanol, etc.), polycondensates of phenols and aromatic dichloromethyls (such as α,α'-dichloroxylene, bischloromethylbiphenyl, etc.), polycondensates of bisphenols and various aldehydes, glycidyl ether epoxy resins, alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, aliphatic epoxy resins, glycidylamine epoxy resins, and glycidyl ester epoxy resins obtained by glycidylating alcohols, etc.
市販品は、例えば、油化シェルエポキシ社製のエピコート807,815,825,827,828,190P,191P、三井化学社製のTECHMORE VG3101L、日本化薬社製のEPPN-201,501H,502H、EOCN-102S,103S,104S,1020ジャパンエポキシレジン社製のエピコート1004,1256、JER1032H60,157S65,157S70,152,154、ダイセル化学工業社製のセロキサイド2021、EHPE-3150、ナガセケムテックス社製のデナコールEX-211,212,252,313,314,321,411,421,512,521,611,612,614,614B,622,711,721、日産化学工業社製のTEPIC-L,H,S等が挙げられる。 Examples of commercially available products include Epicote 807, 815, 825, 827, 828, 190P, and 191P from Shell Epoxy Oil & Epoxy Corporation, and TECHMORE from Mitsui Chemicals. Examples include VG3101L, EPPN-201, 501H, 502H, EOCN-102S, 103S, 104S, 1020 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Epicote 1004, 1256, JER1032H60, 157S65, 157S70, 152, 154 (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), Celoxide 2021, EHPE-3150 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), Denacol EX-211, 212, 252, 313, 314, 321, 411, 421, 512, 521, 611, 612, 614, 614B, 622, 711, 721 (manufactured by Nagase ChemteX Corporation), and TEPIC-L, H, S (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.).
エポキシ化合物(G1)の含有量は、硬化膜の耐熱性の観点から、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.5~50質量%が好ましく、1~40質量%がより好ましい。 From the viewpoint of heat resistance of the cured film, the content of epoxy compound (G1) is preferably 0.5 to 50% by mass, and more preferably 1 to 40% by mass, based on 100% by mass of the non-volatile content of the photosensitive composition.
(オキセタン化合物(G2))
オキセタン化合物(G2)は、オキセタン基を有する公知の化合物である。オキセタン化合物は、1官能オキセタン化合物、2官能オキセタン化合物、3官能以上のオキセタン化合物が挙げられる。
(Oxetane compound (G2))
Oxetane compounds (G2) are known compounds having an oxetane group. Examples of oxetane compounds include monofunctional oxetane compounds, difunctional oxetane compounds, and trifunctional or multifunctional oxetane compounds.
1官能オキセタン化合物は、例えば、(3-エチルオキセタン-3-イル)メチルアクリレート、(3-エチルオキセタン-3-イル)メチルメタクリレート、3-エチル-3-ヒドロキシメチルオキセタン、3-エチル-3-(2-エチルヘキシロキシメチル)オキセタン、3-エチル-3-(フェノキシメチル)オキセタン、3-エチル-3-(2-メタクリロキシメチル)オキセタン、3-エチル-3-{[3-(トリエトキシシリル)プロポキシ]メチル}オキセタン等が挙げられる。 Examples of monofunctional oxetane compounds include (3-ethyloxetane-3-yl)methyl acrylate, (3-ethyloxetane-3-yl)methyl methacrylate, 3-ethyl-3-hydroxymethyl oxetane, 3-ethyl-3-(2-ethylhexyloxymethyl)oxetane, 3-ethyl-3-(phenoxymethyl)oxetane, 3-ethyl-3-(2-methacryloxymethyl)oxetane, and 3-ethyl-3-{[3-(triethoxysilyl)propoxy]methyl}oxetane.
市販品は、例えば、大阪有機化学工業社製のOXE-10,30、東亞合成社製のOXT-101,212等が挙げられる。 Examples of commercially available products include OXE-10 and 30 manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd., and OXT-101 and 212 manufactured by Toagosei Co., Ltd.
2官能オキセタン化合物は、例えば、4,4’-ビス[(3-エチル-3-オキセタニル)メトキシメチル]ビフェニル)、1,4-ビス[(3-エチル-3-オキセタニル)メトキシメチル]ベンゼン、1,4-ビス{[(3-エチル-3-オキセタニル)メトキシ]メチル}ベンゼン、ジ[1-エチル(3-オキセタニル)]メチルエーテル、ジ[1-エチル(3-オキセタニル)]メチルエーテル3-エチル-3-ヒドロキシメチルオキセタン、3-エチル-3-(2-エチルヘキシロキシメチル)オキセタン、3-エチル-3-(2-フェノキシメチル)オキセタン、3,7-ビス(3-オキセタニル)-5-オキサ-ノナン、1,2-ビス[(3-エチル-3-オキセタニルメトキシ)メチル]エタン、1,3-ビス[(3-エチル-3-オキセタニルメトキシ)メチル]プロパン、エチレングリコ-スビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、ジシクロペンテニルビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、トリエチレングリコールビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、テトラエチレングリコールビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、1,4-ビス(3-エチル-3-オキセタニルメトキシ)ブタン、1,6-ビス(3-エチル-3-オキセタニルメトキシ)ヘキサン、ポリエチレングリコールビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、エチレンオキシド(EO)変性ビスフェノールAビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、プロピレンオキシド(PO)変性ビスフェノールAビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、EO変性水添ビスフェノールAビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、PO変性水添ビスフェノールAビス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、EO変性ビスフェノールF(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル等が挙げられる。 Difunctional oxetane compounds include, for example, 4,4'-bis[(3-ethyl-3-oxetanyl)methoxymethyl]biphenyl), 1,4-bis[(3-ethyl-3-oxetanyl)methoxymethyl]benzene, 1,4-bis{[(3-ethyl-3-oxetanyl)methoxy]methyl}benzene, di[1-ethyl(3-oxetanyl)]methyl ether, di[1-ethyl(3-oxetanyl)]methyl ether 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane, 3- Ethyl-3-(2-ethylhexyloxymethyl)oxetane, 3-ethyl-3-(2-phenoxymethyl)oxetane, 3,7-bis(3-oxetanyl)-5-oxanonanane, 1,2-bis[(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]ethane, 1,3-bis[(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]propane, ethylene glycos(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dicyclopentenyl(3-ethyl- 3-Oxetanylmethyl) ether, triethylene glycol bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, tetraethylene glycol bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, 1,4-bis(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)butane, 1,6-bis(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)hexane, polyethylene glycol bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, ethylene oxide (EO) modified bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, ethylene oxide (EO) modified bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether Examples include sphenol A bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, propylene oxide (PO)-modified bisphenol A bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, EO-modified hydrogenated bisphenol A bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, PO-modified hydrogenated bisphenol A bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, and EO-modified bisphenol F (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether.
市販品は、例えば、宇部興産社製のOXBP、OXTP、東亞合成社製のOXT-121,221等が挙げられる。 Examples of commercially available products include OXBP and OXTP manufactured by Ube Industries, and OXT-121 and OXT-221 manufactured by Toagosei Co., Ltd.
3官能以上のオキセタン化合物は、例えば、ペンタエリスリトールトリス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、ペンタエリスリトールテトラキス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールヘキサ(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールペンタキス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールテトラキス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタキス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、ジトリメチロ-ルプロパンテトラキス(3-エチル-3-オキセタニルメチル)エーテル、オキセタン基を含有する樹脂(例えば、特許第3783462号記載のオキセタン変性フェノールノボラック樹脂等)や前述のOXE-30のような(メタ)アクリルモノマーをラジカル重合させて得られる重合体が挙げられる。 Examples of oxetane compounds with three or more functionalities include pentaerythritol tris(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, pentaerythritol tetrakis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol hexa(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol pentakis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol tetrakis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, and caprolactone-modified dipenta Examples include erythritol hexa(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, caprolactone-modified dipentaerythritol pentakis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, ditrimethylolpropanetetrakis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, resins containing oxetane groups (for example, the oxetane-modified phenol novolac resin described in Japanese Patent No. 3783462), and polymers obtained by radical polymerization of (meth)acrylic monomers such as the aforementioned OXE-30.
オキセタン化合物(G2)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.5~50質量%が好ましく、1~40質量%がより好ましい。 The content of the oxetane compound (G2) is preferably 0.5 to 50% by mass, and more preferably 1 to 40% by mass, based on 100% by mass of the non-volatile content of the photosensitive composition.
メラミン化合物は、メラミン環構造を有する化合物である。メラミン化合物は、メチロ-ル型やエーテル型の化合物が好ましく、メラミン環1個当たりのメチロ-ル基および/またはエーテル基数が平均5.0以上のメラミン化合物がより好ましい。適度にメチロ-ル基やエーテル基数を有すると過不足ない耐熱性が得やすい。 Melamine compounds are compounds having a melamine ring structure. Methylol-type and ether-type melamine compounds are preferred, and melamine compounds with an average of 5.0 or more methylol and/or ether groups per melamine ring are more preferred. Having a moderate number of methylol and ether groups makes it easier to obtain adequate heat resistance.
市販品は、例えば、三和ケミカル社製の二カラックMW-30HM,MW-390,MW-100LM,MX-750LM,MW-30M,MW-30,MW-22,MS-21,MS-11,MW-24X,MS-001,MX-002,MX-730,MX-750,MX-708,MX-706,MX-042,MX-45,MX-500,MX-520,MX-43,MX-417,MX-410、日本サイテックインダストリーズ社製のサイメル232,235,236,238,285,300,301,303,350,370等が挙げられる。 Examples of commercially available products include Nikarac MW-30HM, MW-390, MW-100LM, MX-750LM, MW-30M, MW-30, MW-22, MS-21, MS-11, MW-24X, MS-001, MX-002, MX-730, MX-750, MX-708, MX-706, MX-042, MX-45, MX-500, MX-520, MX-43, MX-417, MX-410 from Sanwa Chemical Co., Ltd., and Cymel 232, 235, 236, 238, 285, 300, 301, 303, 350, 370 from Nippon Cytec Industries Co., Ltd.
これらの中でもメラミン環1個当たりのメチロ-ル基、及び/又は、エーテル基数が平均5.0以上である、三和ケミカル社製の二カラックMW-30HM、MW-390、MW-100LM、MX-750LM、MW-30M、MW-30、MW-22、MS-21、MS-11、MW-24X、MX-45、日本サイテックインダストリーズ社製のサイメル232,235,236,238,300,301,303,350等は、架橋密度を高められる面で好ましい。 Among these, Nikarac MW-30HM, MW-390, MW-100LM, MX-750LM, MW-30M, MW-30, MW-22, MS-21, MS-11, MW-24X, MX-45 from Sanwa Chemical Co., Ltd., and Cymel 232, 235, 236, 238, 300, 301, 303, 350 from Nippon Cytec Industries Co., Ltd., which have an average of 5.0 or more methylol groups and/or ether groups per melamine ring, are preferred in terms of increasing crosslinking density.
熱硬化性化合物(G)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Thermosetting compound (G) can be used alone or in combination of two or more types.
[硬化剤(硬化促進剤)]
本発明の感光性組成物は、熱硬化性化合物(G)の硬化を補助するため、硬化剤(硬化促進剤)を併用できる。硬化剤は、例えば、アミン系化合物、酸無水物、活性エステル、カルボン酸系化合物、スルホン酸系化合物等が挙げられる。硬化剤は、例えば、アミン化合物(例えば、ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4-(ジメチルアミノ)-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メトキシ-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メチル-N,N-ジメチルベンジルアミン等)、4級アンモニウム塩化合物(例えば、トリエチルベンジルアンモニウムクロリド等)、ブロックイソシアネート化合物(例えば、ジメチルアミン等)、イミダゾール誘導体二環式アミジン化合物及びその塩(例えば、イミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、4-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-(2-シアノエチル)-2-エチル-4-メチルイミダゾール等)、リン化合物(例えば、トリフェニルホスフィン等)、S-トリアジン誘導体(例えば、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジン、2-ビニル-2,4-ジアミノ-S-トリアジン、2-ビニル-4,6-ジアミノ-S-トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジン・イソシアヌル酸付加物等)等が挙げられる。
[Hardening agent (hardening accelerator)]
The photosensitive composition of the present invention may be used in combination with a curing agent (curing accelerator) to assist in the curing of the thermosetting compound (G). Examples of curing agents include amine compounds, acid anhydrides, active esters, carboxylic acid compounds, sulfonic acid compounds, etc. Examples of curing agents include amine compounds (e.g., dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4-(dimethylamino)-N,N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N,N-dimethylbenzylamine, 4-methyl-N,N-dimethylbenzylamine, etc.), quaternary ammonium salt compounds (e.g., triethylbenzylammonium chloride, etc.), blocked isocyanate compounds (e.g., dimethylamine, etc.), imidazole derivatives, bicyclic amidine compounds and their salts (e.g., imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, Examples include 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-(2-cyanoethyl)-2-ethyl-4-methylimidazole, etc.), phosphorus compounds (e.g., triphenylphosphine), S-triazine derivatives (e.g., 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine isocyanuric acid adduct, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine isocyanuric acid adduct, etc.).
硬化剤は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 The hardening agent can be used alone or in combination of two or more types.
硬化剤の含有量は、熱硬化性化合物(G)100質量部に対して、0.01~15質量部が好ましい。 The curing agent content is preferably 0.01 to 15 parts by mass per 100 parts by mass of thermosetting compound (G).
[チオール系連鎖移動剤(H)]
本発明の感光性組成物は、チオール系連鎖移動剤(H)を含有できる。チオール系連鎖移動剤(H)は、光重合開始剤(E)と併用すると光照射後のラジカル重合の際、酸素による重合阻害を受けにくいチイルラジカルが発生し、感光性組成物の光感度が向上する。
[Thiol chain transfer agent (H)]
The photosensitive composition of the present invention may contain a thiol-based chain transfer agent (H). When the thiol-based chain transfer agent (H) is used in combination with a photopolymerization initiator (E), thiyl radicals that are less susceptible to polymerization inhibition by oxygen are generated during radical polymerization after light irradiation, thereby improving the photosensitivity of the photosensitive composition.
チオール系連鎖移動剤(H)は、チオール基(SH基)を2以上有する多官能チオールが好ましい。なお、チオール系連鎖移動剤は、SH基を4以上有することがより好ましい。官能基数が増えると膜の表面から最深部まで光硬化し易くなる。 The thiol-based chain transfer agent (H) is preferably a polyfunctional thiol having two or more thiol groups (SH groups). More preferably, the thiol-based chain transfer agent has four or more SH groups. Increasing the number of functional groups facilitates photocuring from the surface to the deepest part of the film.
多官能チオールは、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4-ブタンジオ-ルビスチオプロピオネート、1,4-ブタンジオ-ルビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロ-ルプロパントリスチオグリコレート、トリメチロ-ルプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロ-ルプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、1,4-ジメチルメルカプトベンゼン、2、4、6-トリメルカプト-s-トリアジン、2-(N,N-ジブチルアミノ)-4,6-ジメルカプト-s-トリアジンなどが挙げられ、好ましくは、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロ-ルプロパントリスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート等が挙げられる。 Polyfunctional thiols include, for example, hexanedithiol, decanedithiol, 1,4-butanediol bisthiopropionate, 1,4-butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthiopropionate, trimethylolpropane tristhioglycolate, trimethylolpropane tristhiopropionate, trimethylolpropane tris(3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakisthioglycolate, and pentaerythritol. Examples include lysritol tetraxythiopropionate, tris(2-hydroxyethyl) isocyanurate trimercaptopropionate, 1,4-dimethylmercaptobenzene, 2,4,6-trimercapto-s-triazine, and 2-(N,N-dibutylamino)-4,6-dimercapto-s-triazine. Preferably, examples include ethylene glycol bisthiopropionate, trimethylolpropane tristhiopropionate, and pentaerythritol tetraxythiopropionate.
チオール系連鎖移動剤(H)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Thiol-based chain transfer agents (H) can be used alone or in combination of two or more types.
チオール系連鎖移動剤(H)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.1~10質量%が好ましく、0.2~8質量%がより好ましい。適量含有すると光感度が向上し、パターン表面にシワが発生し難くなる。 The content of the thiol-based chain transfer agent (H) is preferably 0.1 to 10% by mass, and more preferably 0.2 to 8% by mass, based on 100% by mass of the non-volatile content of the photosensitive composition. An appropriate amount improves photosensitivity and reduces the likelihood of wrinkles forming on the pattern surface.
[重合禁止剤(I)]
本発明の感光性組成物は、重合禁止剤(I)を含有できる。
[Polymerization inhibitor (I)]
The photosensitive composition of the present invention may contain a polymerization inhibitor (I).
重合禁止剤(I)は、例えば、カテコール、レゾールシノール、1,4-ヒドロキノン、2-メチルカテコール、3-メチルカテコール、4-メチルカテコール、2-エチルカテコール、3-エチルカテコール、4-エチルカテコール、2-プロピルカテコール、3-プロピルカテコール、4-プロピルカテコール、2-n-ブチルカテコール、3-n-ブチルカテコール、4-n-ブチルカテコール、2-t-ブチルカテコール、3-t-ブチルカテコール、4-t-ブチルカテコール、3,5-ジ-t-ブチルカテコール等のアルキルカテコール系化合物、2-メチルレゾールシノール、4-メチルレゾールシノール、2-エチルレゾールシノール、4-エチルレゾールシノール、2-プロピルレゾールシノール、4-プロピルレゾールシノール、2-n-ブチルレゾールシノール、4-n-ブチルレゾールシノール、2-t-ブチルレゾールシノール、4-t-ブチルレゾールシノール等のアルキルレゾールシノール系化合物、メチルヒドロキノン、エチルヒドロキノン、プロピルヒドロキノン、t-ブチルヒドロキノン、2,5-ジ-t-ブチルヒドロキノン等のアルキルヒドロキノーン系化合物、トリブチルホスフィン、トリオクチルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリベンジルホスフィン等のホスフィン化合物、トリオクチルホスフィンオキサイド、トリフェニルホスフィンオキサイドなどのホスフィンオキサイド化合物、トリフェニルホスファイト、トリスノニルフェニルホスファイト等のホスファイト化合物、ピロガロ-ル、フロログルシン等が挙げられる。 Polymerization inhibitor (I) is, for example, alkylcatechol compounds such as catechol, resorcinol, 1,4-hydroquinone, 2-methylcatechol, 3-methylcatechol, 4-methylcatechol, 2-ethylcatechol, 3-ethylcatechol, 4-ethylcatechol, 2-propylcatechol, 3-propylcatechol, 4-propylcatechol, 2-n-butylcatechol, 3-n-butylcatechol, 4-n-butylcatechol, 2-t-butylcatechol, 3-t-butylcatechol, 4-t-butylcatechol, 3,5-di-t-butylcatechol, 2-methylresorcinol, 4-methylresorcinol, 2-ethylresorcinol, 4-ethylresorcinol, 2-propylresorcinol, 4-propylresorcinol, 2-n Examples include alkylresorcinol compounds such as -butylresorcinol, 4-n-butylresorcinol, 2-t-butylresorcinol, and 4-t-butylresorcinol; alkylhydroquinone compounds such as methylhydroquinone, ethylhydroquinone, propylhydroquinone, t-butylhydroquinone, and 2,5-di-t-butylhydroquinone; phosphine compounds such as tributylphosphine, trioctylphosphine, tricyclohexylphosphine, triphenylphosphine, and tripenzylphosphine; phosphine oxide compounds such as trioctylphosphine oxide and triphenylphosphine oxide; phosphite compounds such as triphenylphosphine and trisnonylphenylphosphine; pyrogallol and phloroglucin.
重合禁止剤(I)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.01~0.4質量%が好ましい。 The content of polymerization inhibitor (I) is preferably 0.01 to 0.4% by mass, based on 100% by mass of the non-volatile content of the photosensitive composition.
[紫外線吸収剤(J)]
本発明の感光性組成物は、紫外線吸収剤(J)を含有できる。
[UV absorber (J)]
The photosensitive composition of the present invention may contain an ultraviolet absorber (J).
紫外線吸収剤(J)は、紫外線吸収機能を有する有機化合物であり、ベンゾトリアゾール系有機化合物、トリアジン系有機化合物、ベンゾフェノン系有機化合物、サリチル酸エステル系有機化合物、シアノアクリレート系有機化合物、及びサリシレート系有機化合物等が挙げられる。 UV absorbers (J) are organic compounds that have UV absorption properties, and include benzotriazole organic compounds, triazine organic compounds, benzophenone organic compounds, salicylate ester organic compounds, cyanoacrylate organic compounds, and salicylate organic compounds.
紫外線吸収剤(J)の含有量は、光重合開始剤(E)と紫外線吸収剤(J)との合計100質量%中、5~70質量%が好ましい。 The content of the ultraviolet absorber (J) is preferably 5 to 70% by mass of the total mass of the photopolymerization initiator (E) and the ultraviolet absorber (J).
[酸化防止剤(K)]
本発明の感光性組成物は、酸化防止剤(K)を含有できる。酸化防止剤(K)は、感光性組成物に含まれる光重合開始剤(E)や熱硬化性化合物(H)が、熱硬化やITOアニ-ル時の熱工程によって酸化による黄変を防ぐ。特に、感光性組成物の色素(A)濃度が高い場合、相対的に重合性化合物(D)の含有量が減少するため、光重合開始剤(E)の増量や、熱硬化性化合物(H)の配合で対応すると硬化膜が黄変し易い。そのため、酸化防止剤を含むことで、加熱工程時の酸化による硬化膜の黄変を防止する。
[Antioxidant (K)]
The photosensitive composition of the present invention may contain an antioxidant (K). The antioxidant (K) prevents yellowing due to oxidation caused by the photopolymerization initiator (E) and thermosetting compound (H) contained in the photosensitive composition during the thermal process of thermosetting and ITO aneeling. In particular, when the dye (A) concentration of the photosensitive composition is high, the content of polymerizable compound (D) decreases relatively, so if the amount of photopolymerization initiator (E) or thermosetting compound (H) is increased to compensate, the cured film is prone to yellowing. Therefore, by including an antioxidant, yellowing of the cured film due to oxidation during the heating process is prevented.
酸化防止剤(K)は、例えば、ヒンダ-ドフェノール系、ヒンダードアミン系、リン系、イオウ系、およびヒドロキシルアミン系の化合物が挙げられる。なお、本発明で酸化防止剤は、ハロゲン原子を含有しない化合物が好ましい。 Antioxidant (K) can be, for example, hindered phenol, hindered amine, phosphorus, sulfur, or hydroxylamine compounds. In this invention, the antioxidant is preferably a compound that does not contain halogen atoms.
これらの中でも、ヒンダ-ドフェノール系酸化防止剤、ヒンダ-ドアミン系酸化防止剤、リン系酸化防止剤、イオウ系酸化防止剤が好ましい。 Among these, hinderedphenol antioxidants, hinderedamine antioxidants, phosphorus antioxidants, and sulfur antioxidants are preferred.
酸化防止剤(K)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Antioxidants (K) can be used alone or in combination of two or more types.
酸化防止剤(K)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.5~5.0質量%が好ましい。適量含有すると透過率、分光特性、及び感度が向上する。 The antioxidant (K) content is preferably 0.5 to 5.0% by mass of 100% by mass of the non-volatile content of the photosensitive composition. An appropriate amount improves transmittance, spectral characteristics, and sensitivity.
[レベリング剤(L)]
本発明の感光性組成物は、レベリング剤(L)を含有できる。これにより、塗工時の基板に対する濡れ性、及び乾燥性がより向上する。レベリング剤(L)は、例えば、シリコン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、ノニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、両性界面活性剤等が挙げられる。
[Leveling agent (L)]
The photosensitive composition of the present invention may contain a leveling agent (L). This further improves the wettability and drying properties to the substrate during coating. Examples of leveling agents (L) include silicon-based surfactants, fluorine-based surfactants, nonionic surfactants, cationic surfactants, anionic surfactants, and amphoteric surfactants.
シリコン系界面活性剤は、例えば、シロキサン結合からなる直鎖状ポリマーや、側鎖や末端に有機基を導入した変性シロキサンポリマーが挙げられる。 Silicone-based surfactants include, for example, linear polymers composed of siloxane bonds, and modified siloxane polymers in which organic groups have been introduced into the side chains or terminals.
市販品は、例えば、ビックケミー社製のBYK-300,306,310,313,315N,320,322,323,330,331,333,342,345,346,347,348,349,370,377,378,3455,UV3510,3570、東レ・ダウコ-ニング社製のFZ-7002,2110,2122,2123,2191,5609、信越化学工業社製のX-22-4952、X-22-4272、X-22-6266、KF-351A、KF-354L、KF-355A、KF-945、KF-640、KF-642、KF-643、X-22-4515、KF-6004、KP-341等が挙げられる。 Examples of commercially available products include BYK-300, 306, 310, 313, 315N, 320, 322, 323, 330, 331, 333, 342, 345, 346, 347, 348, 349, 370, 377, 378, 3455, UV3510, 3570 from Bic Chemie, and FZ-7002, 211 from Toray Dow Corning. Examples include 0, 2122, 2123, 2191, 5609, and Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s X-22-4952, X-22-4272, X-22-6266, KF-351A, KF-354L, KF-355A, KF-945, KF-640, KF-642, KF-643, X-22-4515, KF-6004, KP-341, etc.
フッ素系界面活性剤は、例えば、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤又はレベリング剤が挙げられる。 Examples of fluorinated surfactants include surfactants or leveling agents having fluorocarbon chains.
市販品は、例えば、AGCセイミケミカル社製のサーフロンS-242,243,420,611,651,386、DIC社製のメガファックF-253,477,551,552,555,558,560,570,575,576、R-40-LM、R-41、RS-72-K、DS-21、住友スリーエム社製のFC-4430,4432、三菱マテリアル電子化成社製のEF-PP31N09、EF-PP33G1、EF-PP32C1、ネオス社製フタージェントの602A等が挙げられる。 Examples of commercially available products include AGC Seimi Chemical's Surflon S-242, 243, 420, 611, 651, 386; DIC's Megafac F-253, 477, 551, 552, 555, 558, 560, 570, 575, 576, R-40-LM, R-41, RS-72-K, DS-21; Sumitomo 3M's FC-4430, 4432; Mitsubishi Materials Electronic Chemicals' EF-PP31N09, EF-PP33G1, EF-PP32C1; and Neos's Futergent 602A.
ノニオン性界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンミリステルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルドデシルエーテル、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル、ポリオキシフェニレンジスチレン化フェニルエーテル、ポリオキシエチレントリベンジルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール、ポリオキシアルキレンアルケニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテ-ト、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンジステアレート、ソルビタントリステアレート、ソルビタンモノオレート、ソルビタントリオレート、ソルビタンセスキオレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテ-ト、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート、ポリオキシエチレンソルビタントリイソステアレート、テトラオレイン酸ポリオキシエチレンソルビット、グリセロ-ルモノステアレート、グリセロ-ルモノオレート、ポリエチレングリコールモノラウレート、ポリエチレングリコールモノステアレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ポリエチレングリコールモノオレート、ポリオキシエチレン硬化ヒマシ油、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルキルアルカノールアミド、アルキルイミダゾリン等が挙げられる。 Nonionic surfactants include, for example, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene cetyl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene myristelle ether, polyoxyethylene octyldodecyl ether, polyoxyalkylene alkyl ether, polyoxyphenylenedistyrenated phenyl ether, polyoxyethylene tribenzylphenyl ether, polyoxyethylene polyoxypropylene glycol, polyoxyalkylene alkenyl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyoxyethylene alkyl ether phosphate ester, sorbitan monolaurate, sorbitan monopalmitate, sorbitan monostearate, sorbitan distearate, sorbitan tristearate Examples include sorbitan monooleate, sorbitan trioleate, sorbitan sesquioleate, polyoxyethylene sorbitan monolaurate, polyoxyethylene sorbitan monopalmitate, polyoxyethylene sorbitan monostearate, polyoxyethylene sorbitan tristearate, polyoxyethylene sorbitan monooleate, polyoxyethylene sorbitan triisostearate, polyoxyethylene sorbitan tetraoleate, glycerol monostearate, glycerol monooleate, polyethylene glycol monolaurate, polyethylene glycol monostearate, polyethylene glycol distearate, polyethylene glycol monooleate, polyoxyethylene hydrogenated castor oil, polyoxyethylene alkylamine, alkyl alkanolamide, alkylimidazoline, etc.
市販品は、例えば、花王社製のエマルゲン103,104P,106,108,109P,120,123P,130K,147,150,210P,220,306P,320P,350,404,408,409PV,420,430,705,707,709,1108,1118S-70,1135S-70,1150S-60,2020G-HA,2025G,LS-106,LS-110,LS-114,MS-110,A-60,A-90,B-66,PP-290、ラテムルPD-420,PD-430,PD-430S,PD-450、レオドールSP-L10,SP-P10,SP-S10V,SP-S20,SP-S30V,SP-O10V,SP-O30V、スーパーSP-L10,AS-10V,AO-10V,AO-15V,TW-L120,TW-L106,TW-P120,TW-S120V,TW-S320V,TW-O120V,TW-O106V,TW-IS399C、スーパーTW-L120,430V,440V,460V,MS-50,MS-60,MO-60,MS-165V、エマノーン1112,3199V,3299V,3299RV,4110,CH-25,CH-40,CH-60(K),アミ-ト102,105,105A,302,320、アミノーンPK-02S、L-02、ホモゲノールL-95、ADEKA社製のアデカプルロニック(登録商標)L-23,31,44,61,62,64,71,72,101,121、TR-701,702,704,913R、共栄社化学社製の(メタ)アクリル酸系共重合体ポリフロ-No.75,No.90,No.95等が挙げられる。 Commercially available products include, for example, Kao's Emulgen 103, 104P, 106, 108, 109P, 120, 123P, 130K, 147, 150, 210P, 220, 306P, 320P, 350, 404, 408, 409PV, 420, 430, 705, 707, 709, 1108, 1118S-70, 1135S-70, 1150S-60, 2020G-HA, 2025G, LS. -106, LS-110, LS-114, MS-110, A-60, A-90, B-66, PP-290, Latemul PD-420, PD-430, PD-430S, PD-450, Leodor SP-L10, SP-P10, SP-S10V, SP-S20, SP-S30V, SP-O10V, SP-O30V, Super SP-L10, AS-10V, AO-10V, AO-15V TW-L120, TW-L106, TW-P120, TW-S120V, TW-S320V, TW-O120V, TW-O106V, TW-IS399C, Super TW-L120, 430V, 440V, 460V, MS-50, MS-60, MO-60, MS-165V, Emanon 1112, 3199V, 3299V, 3299RV, 4110, CH-25, CH-40 Examples include CH-60(K), Ami-to 102, 105, 105A, 302, 320, Aminone PK-02S, L-02, Homogenol L-95, ADEKA's Adekapluronic (registered trademark) L-23, 31, 44, 61, 62, 64, 71, 72, 101, 121, TR-701, 702, 704, 913R, and Kyoeisha Chemical's (meth)acrylic acid copolymer Polyflow No. 75, No. 90, No. 95.
カチオン性界面活性剤は、例えばアルキルアミン塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライド、ステアリルトリメチルアンモニウムクロライド、セチルトリメチルアンモニウムクロライドなどのアルキル4級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物が挙げられる。 Cationic surfactants include, for example, alkylamine salts, alkyl quaternary ammonium salts such as lauryltrimethylammonium chloride, stearyltrimethylammonium chloride, and cetyltrimethylammonium chloride, and their ethylene oxide adducts.
市販品は、例えば、花王社製のアセタミン24、コータミン24P、60W、86Pコンク等が挙げられる。 Examples of commercially available products include Kao Corporation's Acetamine 24, Cortamin 24P, 60W, and 86P Concentrate.
アニオン性界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、スチレン-アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン-アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル等が挙げられる。 Examples of anionic surfactants include polyoxyethylene alkyl ether sulfates, sodium dodecylbenzenesulfonate, alkali salts of styrene-acrylic acid copolymers, sodium alkylnaphthalenesulfonate, sodium alkyldiphenyl ether disulfonate, monoethanolamine lauryl sulfate, triethanolamine lauryl sulfate, ammonium lauryl sulfate, monoethanolamine stearate, sodium stearate, sodium lauryl sulfate, monoethanolamine styrene-acrylic acid copolymer, and polyoxyethylene alkyl ether phosphate esters.
市販品は、例えば、ネオス社製のフタージェント100,150、ADEKA社製のアデカホープYES-25、アデカコールTS-230E,PS-440E,EC-8600等が挙げられる。 Examples of commercially available products include Neos's Futegent 100 and 150, and ADEKA's Adeka Hope YES-25, Adeka Call TS-230E, PS-440E, and EC-8600.
両性界面活性剤は、例えば、ラウリン酸アミドプロピルベタイン、ラウリルベタイン、コカミドプロピルベタイン、ステアリルベタイン、アルキルジメチルアミノ酢酸ベタイン等のアルキルベタイン、ラウリルジメチルアミンオキサイド等のアルキルアミンオキサイド等が挙げられる。 Examples of amphoteric surfactants include alkyl betaines such as lauric acid amidopropyl betaine, lauryl betaine, cocamidopropyl betaine, stearyl betaine, and alkyldimethylaminoacetic acid betaine, and alkylamine oxides such as lauryldimethylamine oxide.
市販品は、花王社製のアンヒトール20AB,20BS,24B,55AB,86B,20Y-B,20N等が挙げられる。 Examples of commercially available products include Kao Corporation's Anchitol 20AB, 20BS, 24B, 55AB, 86B, 20Y-B, and 20N.
レベリング剤(L)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Leveling agent (L) can be used alone or in combination of two or more types.
レベリング剤(L)の含有量は、感光性組成物の不揮発分100質量%中、0.001~2.0質量%が好ましく、0.005~1.0質量%がより好ましい。この範囲内であることで、感光性組成物の塗布性と密着性のバランスがより向上する。 The leveling agent (L) content is preferably 0.001 to 2.0% by mass, and more preferably 0.005 to 1.0% by mass, based on 100% by mass of the non-volatile content of the photosensitive composition. Within this range, the balance between the applicability and adhesion of the photosensitive composition is further improved.
[貯蔵安定剤(M)]
本発明の感光性組成物は、貯蔵安定剤(M)を含有できる。これにより、感光性組成物の経時粘度が安定化する。貯蔵安定剤(M)は、例えば、ベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの4級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの有機酸およびそのメチルエーテル、t-ブチルピロカテコール、テトラエチルホスフィン、テトラフェニルなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩等が挙げられる。
[Storage stabilizer (M)]
The photosensitive composition of the present invention may contain a storage stabilizer (M). This stabilizes the viscosity of the photosensitive composition over time. Examples of storage stabilizers (M) include benzyltrimethyl chloride, quaternary ammonium chlorides such as diethylhydroxyamine, organic acids such as lactic acid and oxalic acid and their methyl ethers, organic phosphines such as t-butylpyrocatechol, tetraethylphosphine, and tetraphenyl, and phosphates.
貯蔵安定剤(M)の含有量は、色素(A)100質量部に対して、0.1~10質量部が好ましい。 The storage stabilizer (M) content is preferably 0.1 to 10 parts by mass per 100 parts by mass of dye (A).
[密着向上剤(N)]
本発明の感光性組成物は、密着向上剤(N)を含有できる。これにより、硬化膜と基材の密着性が向上する。また、フォトリソグラフィー法で幅が狭いパターンを形成し易くなる。
[Adhesion enhancer (N)]
The photosensitive composition of the present invention may contain an adhesion enhancer (N). This improves the adhesion between the cured film and the substrate. It also makes it easier to form narrow patterns using photolithography.
密着向上剤(N)は、例えば、シランカップリング剤等が挙げられる。 Examples of adhesion enhancers (N) include silane coupling agents.
密着向上剤(N)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Adhesion enhancers (N) can be used alone or in combination of two or more types.
密着向上剤(N)の含有量は、色素(A)100質量部に対して、0.01~10質量部が好ましく、0.05~5質量部がより好ましい。 The content of the adhesion enhancer (N) is preferably 0.01 to 10 parts by mass, and more preferably 0.05 to 5 parts by mass, per 100 parts by mass of the pigment (A).
[有機溶剤(O)]
本発明の感光性組成物は、有機溶剤(O)を含有できる。
[Organic solvent (O)]
The photosensitive composition of the present invention may contain an organic solvent (O).
有機溶剤(O)は、例えば、1,2,3-トリクロロプロパン、1-メトキシ-2-プロパノール、乳酸エチル、1,3-ブタンジオ-ル、1,3-ブチレングリコール、1,3-ブチレングリコールジアセテート、1,4-ジオキサン、2-ヘプタノーン、2-メチル-1,3-プロパンジオ-ル、3,5,5-トリメチル-2-シクロヘキセン-1-オン、3,3,5-トリメチルシクロヘキサノン、3-エトキシプロピオン酸エチル、3-メチル-1,3-ブタンジオ-ル、3-メトキシ-3-メチル-1-ブタノール、3-メトキシ-3-メチルブチルアセテート、3-メトキシブタノール、3-メトキシブチルアセテート、4-ヘプタノーン、m-キシレン、m-ジエチルベンゼン、m-ジクロロベンゼン、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、n-ブチルアルコール、n-ブチルベンゼン、n-プロピルアセテート、N-メチルピロリドン、o-キシレン、o-クロロトールエン、o-ジエチルベンゼン、o-ジクロロベンゼン、p-クロロトールエン、p-ジエチルベンゼン、sec-ブチルベンゼン、tert-ブチルベンゼン、γ-ブチロラクトン、イソブチルアルコール、イソホロン、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノターシャリーブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジイソブチルケトン、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノール、シクロヘキサノールアセテート、シクロヘキサノン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ダイアセトンアルコール、トリアセチン、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、ベンジルアルコール、メチルイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノール、酢酸n-アミル、酢酸n-ブチル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、酢酸プロピル、二塩基酸エステル等が挙げられる。これらの中でも、顔料の分散性、アルカリ可溶樹脂の溶解性の観点から、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のグリコールアセテート類、ベンジルアルコール、ダイアセトンアルコール等のアルコール類やシクロヘキサノン等のケトン類が好ましい。 Organic solvents (O) include, for example, 1,2,3-trichloropropane, 1-methoxy-2-propanol, ethyl lactate, 1,3-butanediol, 1,3-butylene glycol, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,4-dioxane, 2-heptanone, 2-methyl-1,3-propanediol, 3,5,5-trimethyl-2-cyclohexen-1-one, 3,3,5-trimethylcyclohexanone, 3-ethyl ethoxypropionate, 3-methyl-1,3-butanediol, 3-methoxy-3-methyl-1-butanol, 3-methoxy-3-methylbutyl acetate, 3-methoxybutanol, 3-methoxybutyl acetate, 4-heptanone, m-xylene, m-diethylbenzene, m-dichlorobenzene, N,N-dimethylacetamide, N,N-dimethylformamide, n-butyl Alcohol, n-butylbenzene, n-propyl acetate, N-methylpyrrolidone, o-xylene, o-chlorotolen, o-diethylbenzene, o-dichlorobenzene, p-chlorotolen, p-diethylbenzene, sec-butylbenzene, tert-butylbenzene, γ-butyrolactone, isobutyl alcohol, isophorone, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol dibutyl ether, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monotertiary butyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monohexyl ether Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, diisobutyl ketone, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoisopropyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether, cyclohexanol, cyclohexanol acetate, cyclohexanone, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol methyl ether acetate, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monopropyl ether, dipropylene glycol Examples include propyl monomethyl ether, diacetone alcohol, triacetin, tripropylene glycol monobutyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, propylene glycol diacetate, propylene glycol phenyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether propionate, benzyl alcohol, methyl isobutyl ketone, methylcyclohexanol, n-amyl acetate, n-butyl acetate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, propyl acetate, and dibasic acid esters. Among these, from the viewpoint of pigment dispersibility and alkali-soluble resin solubility, glycol acetates such as ethyl lactate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, and ethylene glycol monoethyl ether acetate, alcohols such as benzyl alcohol and diacetone alcohol, and ketones such as cyclohexanone are preferred.
有機溶剤(O)は、単独または2種類以上を併用して使用できる。 Organic solvents (O) can be used alone or in combination of two or more types.
[感光性組成物の製造方法]
本発明の感光性組成物は、例えば、色素(A)、分散剤(B)、アルカリ可溶性樹脂(C)、有機溶剤(O)等を加えて分散処理を行うことで、分散体を製造する。その後、前記分散体に、重合性化合物(D)、光重合開始剤(E)を配合し混合することで製造できる。なお、各材料を配合するタイミングは、任意である。また、分散工程を複数回行うこともできる。
[Method for manufacturing a photosensitive composition]
The photosensitive composition of the present invention can be produced by manufacturing a dispersion by adding, for example, a dye (A), a dispersant (B), an alkali-soluble resin (C), an organic solvent (O), etc., and performing a dispersion treatment. Subsequently, a polymerizable compound (D) and a photopolymerization initiator (E) are added to the dispersion and mixed. The timing of adding each material is arbitrary. Furthermore, the dispersion process can be performed multiple times.
分散処理を行う分散機は、例えば、2本ロ-ルミル、3本ロールミル、ボ-ルミル、横型サンドミル、縦型サンドミル、アニュラー型ビ-ズミル、又はアトライター等が挙げられる。 Distributed processing machines include, for example, two-roll mills, three-roll mills, ball mills, horizontal sand mills, vertical sand mills, annular bead mills, or attritors.
分散体中の色素(A)の平均分散粒子径(二次粒子径)は、30~200nmが好ましく、40~200nmがより好ましい。適度な粒子径を有すると分散安定性が高い感光性組成物が得やすい。 The average dispersed particle size (secondary particle size) of the dye (A) in the dispersion is preferably 30 to 200 nm, and more preferably 40 to 200 nm. Having an appropriate particle size makes it easier to obtain a photosensitive composition with high dispersion stability.
平均分散粒子径(二次粒子径)の測定方法は、例えば、動的光散乱法(FFTパワ-スペクトール法)を採用した日機装社のマイクロトラックUPA-EX150を用い、粒子透過性を吸収モ-ド、粒子形状を非球形とし、D50粒子径を平均径とする。測定用の希釈溶剤は分散に使用した有機溶剤をそれぞれ用い、超音波で処理したサンプルについてサンプル調整直後に測定するとバラツキが少ない結果が得られやすく好ましい。 The measurement method for the average dispersed particle diameter (secondary particle diameter) uses, for example, Nikkiso's Microtrac UPA-EX150, which employs dynamic light scattering (FFT power spectrum method). The particle permeability is set to absorption mode, the particle shape to non-spherical, and the D50 particle diameter is defined as the average diameter. The diluent for measurement is the same organic solvent used for dispersion. Measurement immediately after sample preparation of ultrasonically treated samples is preferable as it tends to yield results with less variation.
感光性組成物は、遠心分離、焼結フィルタやメンブレンフィルタによる濾過等の手段にて、5μm以上の粗大粒子、好ましくは1μm以上の粗大粒子、さらに好ましくは0.5μm以上の粗大粒子、および混入した塵の除去を行うことが好ましい。本発明の感光性組成物は、実質的に0.5μm以上の粒子を含まないことが好ましく、0.3μm以下の粒子を含まないことがより好ましい。 The photosensitive composition is preferably subjected to filtration by means of centrifugal separation, sintering filters, or membrane filters to remove coarse particles of 5 μm or larger, preferably 1 μm or larger, more preferably 0.5 μm or larger, and any impurities such as dust. The photosensitive composition of the present invention preferably contains substantially no particles of 0.5 μm or larger, and more preferably contains no particles of 0.3 μm or smaller.
<光学フィルタ>
本発明の光学フィルタは、基板、及び本発明の感光性組成物から形成される被膜を備える。前記被膜は、使用する色素(A)の種類を適宜選択することで各種の光学フィルタとして使用できる。例えば、有機顔料を使用してカラーフィルタ用途の赤色フィルタセグメント、緑色フィルタセグメント、および青色フィルタセグメントとして使用できる。または、マゼンタ色フィルタセグメント、シアン色フィルタセグメント、イエロー色フィルタセグメントとしても使用できる。また、近赤外線吸収色素を使用して近赤外線透過フィルタまたは近赤外線カットフィルとして使用できる。
<Optical Filters>
The optical filter of the present invention comprises a substrate and a coating formed from the photosensitive composition of the present invention. The coating can be used as various optical filters by appropriately selecting the type of dye (A) used. For example, it can be used as a red filter segment, a green filter segment, and a blue filter segment for color filter applications using an organic pigment. Alternatively, it can be used as a magenta filter segment, a cyan filter segment, and a yellow filter segment. Furthermore, it can be used as a near-infrared transmission filter or a near-infrared cut-off filter using a near-infrared absorbing dye.
基板は、透明基板、および反射基板が挙げられる。透明基板は、例えば、ガラス基板が挙げられる。反射基材は、例えばアルミ電極や金属薄膜を反射面として使用する基板が挙げられる。 Examples of substrates include transparent substrates and reflective substrates. Transparent substrates include, for example, glass substrates. Reflective substrates include, for example, substrates that use aluminum electrodes or thin metal films as reflective surfaces.
[光学フィルタの製造方法]
光学フィルタの製造方法は、限定されないところ、フォトリソグラフィー法が好ましい。例えば、基板上に感光性組成物を塗布し被膜を形成する工程(1)、前記被膜に、マスクを介してパターン状に露光する工程(2)、未露光部分をアルカリ現像しパターン状の硬化膜を形成する工程(3)、前記パターンを加熱処理(ポストベーク)する工程(4)を行い作製できる。
[Manufacturing method for optical filters]
The method for manufacturing an optical filter is not limited, but photolithography is preferred. For example, it can be manufactured by a step of applying a photosensitive composition to a substrate to form a film (1), exposing the film to light in a patterned manner through a mask (2), alkaline developing the unexposed areas to form a patterned cured film (3), and heat-treating the pattern (post-bake) (4).
以下、光学フィルタの製造方法を詳細に説明する。
(工程(1))
被膜を形成する工程(1)は、感光性組成物を基板上に、例えば、回転塗布、ロ-ル塗布、スリット塗布、流延塗布、またはインクジェット塗布等の方法で塗布し、必要に応じてオーブン、ホットプレート等を用いて、50~120℃の温度で10~120秒乾燥(プリベーク)する。
前記基板は、例えば、ガラス基板、シリコン基板等が挙げられる。シリコン基板は、例えば、表面にCCD、CMOS等の撮像素子が形成されていてもよい。また、基板上には、必要に応じて、上部との層との密着改良、物質の拡散防止、基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
層の膜厚は、乾燥後0.05~10.0μmとなるように塗布することが好ましく、0.3~5μmとなるように塗布することがより好ましい。
The manufacturing method of optical filters will be described in detail below.
(Step (1))
The film formation step (1) involves applying the photosensitive composition onto a substrate by methods such as rotary coating, roll coating, slit coating, casting coating, or inkjet coating, and then drying (pre-baking) it for 10 to 120 seconds at a temperature of 50 to 120°C using an oven, hot plate, etc., if necessary.
Examples of the substrate include glass substrates and silicon substrates. For example, an image sensor such as a CCD or CMOS may be formed on the surface of the silicon substrate. Furthermore, if necessary, an undercoat layer may be provided on the substrate to improve adhesion with the upper layer, prevent diffusion of materials, and flatten the substrate surface.
The layer thickness is preferably 0.05 to 10.0 μm after drying, and more preferably 0.3 to 5 μm.
(工程(2))
露光工程は、工程(1)で得られた被膜を、例えば、ステッパ-等の露光装置を用い、マスクを介して特定のパターンを露光する。これにより硬化膜が得られる。
露光に用いる放射線は、例えば、g線、h線、i線等の紫外線が挙げられる。
(Step (2))
In the exposure process, the film obtained in step (1) is exposed to a specific pattern through a mask using an exposure device such as a stepper. This results in a cured film.
Examples of radiation used in exposure include ultraviolet rays such as g-rays, h-rays, and i-rays.
(工程(3))
工程(2)で得られた硬化膜は、アルカリ現像処理を行うことで、未露光部分の被膜がアルカリ水溶液に溶出し、硬化部分のみが残りパターン状の硬化膜が得られる。
現像液は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロ-ル、ピペリジン、1,8-ジアザビシクロ-〔5.4.0〕-7-ウンデセン等のアルカリ性化合物が挙げられる。
現像液の濃度は、0.001~10質量%が好ましく、0.01~1質量%がより好ましい。
アルカリ現像液のpHは、11~13が好ましく、11.5~12.5がより好ましい。適度なpHで使用するとパターンの荒れや剥離を抑制し、現像後の残膜率が向上する。
(Step (3))
The cured film obtained in step (2) is subjected to alkaline development treatment, which causes the unexposed portions of the film to dissolve in the alkaline aqueous solution, leaving only the cured portions and resulting in a patterned cured film.
Examples of developing solutions include alkaline compounds such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrol, piperidine, and 1,8-diazabicyclo-[5.4.0]-7-undecene.
The concentration of the developer is preferably 0.001 to 10% by mass, and more preferably 0.01 to 1% by mass.
The pH of the alkaline developer is preferably 11 to 13, and more preferably 11.5 to 12.5. Using an appropriate pH suppresses pattern roughness and peeling, and improves the residual film rate after development.
現像方法は、例えば、ディップ法、スプレー法、パドール法等が挙げられる。現像温度は15~40℃が好ましい。なお、アルカリ現像後は、純水で洗浄することが好ましい。 Development methods include, for example, the dip method, spray method, and padre method. The development temperature is preferably 15 to 40°C. Furthermore, it is preferable to wash with pure water after alkaline development.
(工程(4))
加熱処理(ポストベーク)は、工程(3)で得られたパターン状の硬化膜を加熱により十分に硬化させる。ポストベークの加熱温度は、100~300℃が好ましく、150~250℃がより好ましい。また、加熱時間は、2分間~1時間程度が好ましく、3分間~30分間程度がより好ましい。
(Step (4))
The heat treatment (post-bake) is used to thoroughly harden the patterned cured film obtained in step (3) by heating. The heating temperature for post-bake is preferably 100 to 300°C, and more preferably 150 to 250°C. The heating time is preferably 2 minutes to 1 hour, and more preferably 3 minutes to 30 minutes.
<画像表示装置>
本発明の画像表示装置は、光学フィルタを備える。
画像表示装置に用いる形態は、画像表示装置として機能すればよく、特に制限されない。例えば、「次世代液晶ディスプレイ技術(内田龍男著、(株)工業調査会、1994年発行)に記載されている構成等が挙げられる。
画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば、「電子ディスプレイデバイス(佐々木昭夫著、(株)工業調査会、1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹順章著、産業図書(株)、平成元年発行)」等に記載されている。
<Image display device>
The image display device of the present invention includes an optical filter.
The form used in the image display device is not particularly limited, as long as it functions as an image display device. For example, the configuration described in "Next-Generation Liquid Crystal Display Technology" (by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Chosakai Co., Ltd. in 1994) is one such example.
For definitions of image display devices and details of various image display devices, see, for example, "Electronic Display Devices" (by Akio Sasaki, Kogyo Chosakai Co., Ltd., published in 1990) and "Display Devices" (by Junsho Ibuki, Sangyo Tosho Co., Ltd., published in 1989).
画像表示装置は、例えば、液晶表示装置、有機EL表示装置等が挙げられる。以下、液晶表示装置を説明する。
図1に示す画像表示装置10は、離間対向して配置された一対の透明基板11および21を備え、それらの間には、液晶LCが封入されている。
Examples of image display devices include liquid crystal displays and organic EL displays. Liquid crystal displays will be described below.
The image display device 10 shown in Figure 1 comprises a pair of transparent substrates 11 and 21 arranged opposite each other at a distance from one another, with a liquid crystal (LC) sealed between them.
第1の透明基板11の内面には、TFT(薄膜トランジスター)アレイ12が形成されており、その上には例えばITOからなる透明電極層13が形成されている。透明電極層13の上には、配向層14が設けられている。また、透明基板11の外面には、偏光板15が形成されている。 A TFT (thin-film transistor) array 12 is formed on the inner surface of the first transparent substrate 11, and a transparent electrode layer 13 made of, for example, ITO is formed on top of it. An orientation layer 14 is provided on top of the transparent electrode layer 13. A polarizing plate 15 is formed on the outer surface of the transparent substrate 11.
他方、第2の透明基板21の内面には、本発明の光学フィルタ22が形成されている。光学フィルタ22を構成する赤色、緑色および青色のフィルタセグメントは、ブラックマトリックス(図示せず)により分離されている。 On the other hand, the optical filter 22 of the present invention is formed on the inner surface of the second transparent substrate 21. The red, green, and blue filter segments constituting the optical filter 22 are separated by a black matrix (not shown).
光学フィルタ22を覆って、必要に応じて透明保護膜(図示せず)が形成され、さらにその上に、例えばITOからなる透明電極層23が形成され、透明電極層23を覆って配向層24が設けられている。 A transparent protective film (not shown) is formed over the optical filter 22 as needed. Furthermore, a transparent electrode layer 23, made of, for example, ITO, is formed on top of this, and an alignment layer 24 is provided covering the transparent electrode layer 23.
また、透明基板21の外面には、偏光板25が形成されている。なお、偏光板15の下方には、バックライトユニット30が設けられている。 Furthermore, a polarizing plate 25 is formed on the outer surface of the transparent substrate 21. A backlight unit 30 is provided below the polarizing plate 15.
<固体撮像素子>
本発明の固体撮像素子は、光学フィルタを備える。
固体撮像素子に用いる形態は、特に制限されないが、例えば、基材上に、固体撮像素子(CCDイメージセンサ、CMOSイメージセンサ等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、光学フィルタを有する構成である。さらに、デバイス保護膜上であって光学フィルタの下(基材に近い側)に集光手段(例えば、マイクロレンズ等。以下同じ)を有する構成や、光学フィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、光学フィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は、各着色画素に対して低屈折率が好ましい。
本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、デジタルカメラや、撮像機能を有する電子機器(携帯電話、スマートフォン等)の他、車載カメラや監視カメラ用等が挙げられる。
<Solid-state image sensor>
The solid-state image sensor of the present invention includes an optical filter.
The form used for the solid-state image sensor is not particularly limited, but for example, it may have a substrate on which a plurality of photodiodes constituting the light-receiving area of the solid-state image sensor (CCD image sensor, CMOS image sensor, etc.) and transfer electrodes made of polysilicon or the like are provided, a light-shielding film with an opening only for the light-receiving portion of the photodiode is provided on the photodiode and transfer electrodes, a device protective film made of silicon nitride or the like is provided on the light-shielding film so as to cover the entire surface of the light-shielding film and the light-receiving portion of the photodiode, and an optical filter on the device protective film. Furthermore, it may have a configuration in which a light-gathering means (e.g., a microlens, etc.; the same applies hereinafter) is provided on the device protective film and below the optical filter (on the side closer to the substrate), or a configuration in which the light-gathering means is provided on the optical filter. In addition, the optical filter may have a structure in which a hardened film forming each colored pixel is embedded in a space partitioned, for example, in a grid pattern by partitions. In this case, a low refractive index is preferable for each colored pixel of the partitions.
The imaging device equipped with the solid-state image sensor of the present invention can be used in digital cameras, electronic devices with imaging functions (mobile phones, smartphones, etc.), as well as in-vehicle cameras and surveillance cameras.
以下、実施例で本発明をより具体的に説明する。ただし、本発明はこれらに限定されない。なお、「部」は「質量部」、「%」は「質量%」である。 The present invention will be described more specifically below with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples. Note that "parts" refers to "parts by mass," and "%" refers to "mass percent."
実施例に先立ち、各測定方法について説明する。
樹脂の重量平均分子量(Mw)、数平均分子量(Mn)、酸価(mgKOH/g)、アミン価(mgKOH/g)は、以下の通りである。
Prior to the examples, each measurement method will be described.
The weight-average molecular weight (Mw), number-average molecular weight (Mn), acid value (mgKOH/g), and amine value (mgKOH/g) of the resin are as follows:
(アルカリ可溶性樹脂、及び分散樹脂の平均分子量)
アルカリ可溶性樹脂、及び分散樹脂の数平均分子量(Mn)、重量平均分子量(Mw)は、RI検出器を装備したゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定した。装置としてHLC-8220GPC(東ソー社製)を用い、分離カラムを2本直列に繋ぎ、両方の充填剤には「TSK-GEL SUPER HZM-N」を2連でつなげて使用し、オーブン温度40℃、溶離液としてテトラヒドロフラン(THF)溶液を用い、流速0.35ml/minで測定した。サンプルは1質量%の上記溶離液からなる溶剤に溶解し、20マイクロリットル注入した。分子量は、ポリスチレン換算値である。
(Average molecular weight of alkali-soluble resins and dispersion resins)
The number-average molecular weight (Mn) and weight-average molecular weight (Mw) of alkali-soluble resins and dispersed resins were measured by gel permeation chromatography (GPC) equipped with an RI detector. An HLC-8220GPC (Tosoh Corporation) was used, with two separation columns connected in series. Both columns were packed with two TSK-GEL SUPER HZM-N columns. Measurements were performed at an oven temperature of 40°C, using tetrahydrofuran (THF) solution as the eluent, and a flow rate of 0.35 ml/min. The sample was dissolved in a solvent consisting of 1% by mass of the above eluent, and 20 microliters were injected. Molecular weights are expressed on a polystyrene basis.
(アルカリ可溶性樹脂、及び分散樹脂の酸価)
アルカリ可溶性樹脂、及び分散樹脂溶液0.5~1gに、アセトン80ml及び水10mlを加えて攪拌して均一に溶解させ、0.1mol/LのKOH水溶液を滴定液として、自動滴定装置(「COM-555」平沼産業社製)を用いて滴定し、酸価(mgKOH/g)を測定した。そして、樹脂溶液の酸価と樹脂溶液の不揮発分濃度から、樹脂の不揮発分あたりの酸価を算出した。
(Acid value of alkali-soluble resins and dispersion resins)
0.5 to 1 g of alkali-soluble resin and dispersion resin solution were mixed with 80 ml of acetone and 10 ml of water and stirred to dissolve uniformly. A 0.1 mol/L aqueous KOH solution was used as the titrant, and the solution was titrated using an automatic titrator ("COM-555," manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.) to measure the acid value (mg KOH/g). The acid value per unit of non-volatile content of the resin was then calculated from the acid value of the resin solution and the non-volatile content concentration of the resin solution.
(分散樹脂のアミン価)
分散樹脂のアミン価は、ASTMD 2074の方法に準拠し、測定した全アミン価(mgKOH/g)を不揮発分換算した値である。
(Amine value of dispersion resin)
The amine value of the dispersion resin is calculated by converting the total amine value (mgKOH/g), which was measured according to the ASTM 2074 method, into a non-volatile content value.
<色素(A)の製造>
(微細化顔料A-1の製造)
アントラキノン系赤色顔料C.I.ピグメントレッド 177(シニック社製「シニレックスレッド SR3C」):500部、塩化ナトリウム:500部、およびジエチレングリコール:250部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)に仕込み、120℃で8時間混練した。次に、この混練物を5リットルの温水に投入し、70℃に加熱しながら1時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、80℃で一昼夜乾燥し、微細化顔料(A-1)を得た。
<Manufacturing of pigment (A)>
(Manufacturing of micronized pigment A-1)
500 parts of anthraquinone-based red pigment C.I. Pigment Red 177 (Synirex Red SR3C, manufactured by Synirex), 500 parts of sodium chloride, and 250 parts of diethylene glycol were charged into a stainless steel 1-gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho Co., Ltd.) and kneaded at 120°C for 8 hours. Next, this mixture was added to 5 liters of warm water and stirred for 1 hour while heating to 70°C to form a slurry. After repeated filtration and washing with water to remove sodium chloride and diethylene glycol, it was dried at 80°C overnight to obtain finely ground pigment (A-1).
(微細化顔料A-2の製造)
ジケトピロロピロール系赤色顔料C.I.ピグメントレッド254(BASFジャパン社製「Irgajin RedL 3630」):500部、塩化ナトリウム:500部、およびジエチレングリコール:250部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)に仕込み、120℃で8時間混練した。次に、この混練物を5リットルの温水に投入し、70℃に加熱しながら1時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、80℃で一昼夜乾燥し、微細化顔料(A-2)を得た。
(Manufacturing of micronized pigment A-2)
500 parts of diketopyrrolopyrrole-based red pigment C.I. Pigment Red 254 (BASF Japan's "Irgajin Red L 3630"), 500 parts of sodium chloride, and 250 parts of diethylene glycol were charged into a stainless steel 1-gallon kneader (Inoue Seisakusho Co., Ltd.) and kneaded at 120°C for 8 hours. Next, this mixture was added to 5 liters of warm water and stirred for 1 hour while heating to 70°C to form a slurry. After repeated filtration and washing with water to remove sodium chloride and diethylene glycol, it was dried at 80°C overnight to obtain finely ground pigment (A-2).
(微細化顔料A-3の製造)
キノフタロン系黄色顔料C.I.ピグメントイエロー 138(BASFジャパン社製「パリオトールイエローK0960-HD」)100部、塩化ナトリウム700部、およびジエチレングリコール180部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)に仕込み、80℃で6時間混練した。この混合物を温水2000部に投入し、80℃に加熱しながら1時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗をくりかえして食塩および溶剤を除いた後、80℃で一昼夜乾燥し、微細化顔料(A-3)を得た。
(Manufacturing of micronized pigment A-3)
100 parts of quinophthalone-based yellow pigment C.I. Pigment Yellow 138 (BASF Japan's "Pariotol Yellow K0960-HD"), 700 parts of sodium chloride, and 180 parts of diethylene glycol were charged into a stainless steel 1-gallon kneader (Inoue Seisakusho Co., Ltd.) and kneaded at 80°C for 6 hours. This mixture was added to 2000 parts of warm water and stirred for 1 hour while heating to 80°C to form a slurry. After repeated filtration and washing with water to remove salt and solvent, it was dried at 80°C overnight to obtain finely ground pigment (A-3).
(微細化顔料A-4の製造)
イソインドリン系黄色顔料C.I.ピグメントイエロー 139(BASFジャパン社製「Paliotol Yellow D1819)100部、塩化ナトリウム1600部、及びジエチレングリコール190部をステンレス製1ガロンニーダーに仕込み、60℃で10時間混練した。つぎにこの混合物を3リットルの温水に投入し、約80℃に加熱しながらハイスピードミキサーで約1時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗をくりかえして塩化ナトリウム及び溶剤を除いた後、80℃で1昼夜乾燥し、微細化顔料(A-4)を得た。
(Manufacturing of micronized pigment A-4)
100 parts of isoindoline yellow pigment C.I. Pigment Yellow 139 (BASF Japan's "Paliotoll Yellow D1819"), 1600 parts of sodium chloride, and 190 parts of diethylene glycol were charged into a stainless steel 1-gallon kneader and kneaded at 60°C for 10 hours. Next, this mixture was added to 3 liters of warm water and stirred with a high-speed mixer for about 1 hour while heating to about 80°C to form a slurry. After repeated filtration and washing with water to remove sodium chloride and solvent, it was dried at 80°C for 24 hours to obtain finely ground pigment (A-4).
(微細化顔料A-5の製造)
C.I.ピグメントグリーン58(DIC社製FASTOGEN Green A110)を100部、塩化ナトリウム1,200部、及びジエチレングリコール120部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所製)に仕込み、70℃で6時間混練した。この混練物を3000部の温水に投入し、70℃に加熱しながらハイスピードミキサーで1時間撹拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、80℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化顔料(A-5)を得た。
(Manufacturing of micronized pigment A-5)
100 parts of C.I. Pigment Green 58 (DIC Corporation's FASTOGEN Green A110), 1,200 parts of sodium chloride, and 120 parts of diethylene glycol were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho) and kneaded at 70°C for 6 hours. This mixture was added to 3,000 parts of warm water and stirred in a high-speed mixer for 1 hour while heating to 70°C to form a slurry. After repeated filtration and washing with water to remove sodium chloride and diethylene glycol, it was dried at 80°C overnight and then pulverized to obtain fine pigment (A-5).
(微細化顔料A-6の製造)
C.I.ピグメントグリーン63を100部、塩化ナトリウム1,200部、及びジエチレングリコール120部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)中に仕込み、60℃で6時間混練した。次に、混練した混合物を温水に投入し、約80℃に加熱しながらハイスピードミキサーで1時間攪拌してスラリー状として、濾過・水洗をして塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、80℃で一昼夜乾燥させ、粉砕することにより微細化顔料(A-6)を得た。
(Manufacturing of micronized pigment A-6)
100 parts of C.I. Pigment Green 63, 1,200 parts of sodium chloride, and 120 parts of diethylene glycol were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho Co., Ltd.) and kneaded at 60°C for 6 hours. Next, the kneaded mixture was added to warm water and stirred in a high-speed mixer for 1 hour while heating to approximately 80°C to form a slurry. After filtering and washing with water to remove sodium chloride and diethylene glycol, it was dried at 80°C overnight and then pulverized to obtain fine pigment (A-6).
(微細化顔料A-7の製造)
C.I.ピグメントブルー15:6(トーヨーカラー社製「リオノールブルーES」)を100部、塩化ナトリウム1,000部、およびジエチレングリコール100部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)に仕込み、50℃で12時間混練した。この混合物を温水3,000部に投入し、約70℃に加熱しながらハイスピードミキサーで約1時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗をくりかえして食塩および溶剤を除いた後、80℃で24時間乾燥し、粉砕することにより微細化顔料(A-7)を得た。
(Manufacturing of micronized pigment A-7)
100 parts of C.I. Pigment Blue 15:6 (Toyo Color Co., Ltd. "Lionol Blue ES"), 1,000 parts of sodium chloride, and 100 parts of diethylene glycol were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (Inoue Seisakusho Co., Ltd.) and kneaded at 50°C for 12 hours. 3,000 parts of this mixture were added to warm water and stirred in a high-speed mixer for about 1 hour while heating to about 70°C to form a slurry. After repeated filtration and washing to remove salt and solvent, the mixture was dried at 80°C for 24 hours and then pulverized to obtain finely ground pigment (A-7).
(微細化顔料A-8の製造)
C.I.ピグメントブルー15:3(トーヨーカラー社製「リオノールブルーFG7351」)を100部、塩化ナトリウム1,000部、およびジエチレングリコール100部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)に仕込み、50℃で12時間混練した。この混合物を温水3,000部に投入し、約70℃に加熱しながらハイスピードミキサーで約1時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗をくりかえして食塩および溶剤を除いた後、80℃で24時間乾燥し、粉砕することにより微細化顔料(A-8)を得た。
(Manufacturing of micronized pigment A-8)
100 parts of C.I. Pigment Blue 15:3 (Toyo Color Co., Ltd. "Lionol Blue FG7351"), 1,000 parts of sodium chloride, and 100 parts of diethylene glycol were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (Inoue Seisakusho Co., Ltd.) and kneaded at 50°C for 12 hours. 3,000 parts of this mixture were added to warm water and stirred in a high-speed mixer for about 1 hour while heating to about 70°C to form a slurry. After repeated filtration and washing to remove salt and solvent, the mixture was dried at 80°C for 24 hours and then pulverized to obtain finely ground pigment (A-8).
(微細化顔料A-9の製造)
C.I.ピグメントバイオレット23(トーヨーカラー社製「リオノゲンバイオレットFG6140」)を100部、塩化ナトリウム1,000部、およびジエチレングリコール100部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)に仕込み、50℃で12時間混練した。この混合物を温水3,000部に投入し、約70℃に加熱しながらハイスピードミキサーで約1時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗をくりかえして食塩および溶剤を除いた後、80℃で24時間乾燥し、粉砕することにより微細化顔料(A-9)を得た。
(Manufacturing of micronized pigment A-9)
C.I. Pigment Violet 23 (Toyo Color Co., Ltd. "Lionogen Violet FG6140") was placed in a stainless steel 1-gallon kneader (Inoue Seisakusho Co., Ltd.) at 50°C for 12 hours. This mixture was added to 3,000 parts of warm water and stirred in a high-speed mixer for about 1 hour while heating to about 70°C to form a slurry. After repeated filtration and washing to remove salt and solvent, the mixture was dried at 80°C for 24 hours and then pulverized to obtain fine pigment (A-9).
<微細化顔料の製造>
特開2011-132361号公報との実施例に準じて下記近赤外線吸収顔料(a)を作製した。
<Manufacturing of micronized pigments>
The following near-infrared absorbing pigment (a) was prepared in accordance with the examples in Japanese Patent Publication No. 2011-132361.
近赤外線吸収顔料(a)
赤外線吸収顔料(a)を100部、塩化ナトリウム1,200部、及びジエチレングリコール120部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所製)に仕込み、70℃で6時間混練した。この混練物を3000部の温水に投入し、70℃に加熱しながらハイスピードミキサーで1時間撹拌してスラリー状とし、濾過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、80℃で一昼夜乾燥し、粉砕することにより微細化顔料(A-10)を得た。 100 parts of infrared-absorbing pigment (a), 1,200 parts of sodium chloride, and 120 parts of diethylene glycol were placed in a stainless steel 1-gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho) and kneaded at 70°C for 6 hours. This mixture was added to 3,000 parts of warm water and stirred in a high-speed mixer for 1 hour while heating to 70°C to form a slurry. After repeated filtration and washing to remove sodium chloride and diethylene glycol, the mixture was dried at 80°C overnight and then pulverized to obtain finely ground pigment (A-10).
<分散剤(B)の製造>
(分散剤(B―1)溶液)
冷却管、滴下ロート、窒素用インレット、機械的攪拌機、デジタル温度計を備えた500mL丸底4口セパラブルフラスコに、テトラヒドロフラン(THF)250質量部及び開始剤のジメチルケテンメチルトリメチルシリルアセタール5.81質量部を、滴下ロートを介して加え、充分に窒素置換を行った。触媒のテトラブチルアンモニウムm-クロロベンゾエートの1モル/Lアセトニトリル溶液0.5質量部を、シリンジを用いて注入し、メタクリル酸2-ヒドロキシエチル19.7質量部、メタクリル酸2-エチルヘキシル7.5質量部、メタクリル酸n-ブチル12.9質量部、メタクリル酸ベンジル10.7質量部、メタクリル酸メチル30.9質量部を、滴下ロートを用いて60分かけて滴下した。反応フラスコを氷浴で冷却することにより、温度を40℃未満に保った。1時間後、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド18.3質量部を20分かけて滴下した。1時間反応させた後、メタノール1質量部を加えて反応を停止させた。得られたブロック共重合体THF溶液はヘキサン中で再沈殿させ、濾過、真空乾燥により精製を行った。
続いて、100mL丸底フラスコ中でプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMAc)35質量部に、得られたブロック共重合体15.0質量部を溶解させ、塩形成成分であるフェニルホスフィン酸1.1質量部(ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドに対し、0.5モル等量)加え、反応温度30℃で20時間攪拌し、PGMAcを添加して調整し、不揮発分20%の分散剤(B―1)溶液を得た。
<Manufacturing of Dispersant (B)>
(Dispersant (B-1) solution)
250 parts by mass of tetrahydrofuran (THF) and 5.81 parts by mass of the initiator dimethylketene methyltrimethylsilyl acetal were added to a 500 mL round-bottom, four-neck separable flask equipped with a condenser, dropping funnel, nitrogen inlet, mechanical stirrer, and digital thermometer via the dropping funnel, and the flask was thoroughly purged with nitrogen. 0.5 parts by mass of a 1 mol/L acetonitrile solution of the catalyst tetrabutylammonium m-chlorobenzoate was injected using a syringe, and 19.7 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate, 7.5 parts by mass of 2-ethylhexyl methacrylate, 12.9 parts by mass of n-butyl methacrylate, 10.7 parts by mass of benzyl methacrylate, and 30.9 parts by mass of methyl methacrylate were added dropwise over 60 minutes using the dropping funnel. The temperature was kept below 40°C by cooling the reaction flask in an ice bath. After 1 hour, 18.3 parts by mass of dimethylaminopropyl methacrylamide was added dropwise over 20 minutes. After reacting for 1 hour, 1 part by mass of methanol was added to stop the reaction. The resulting block copolymer THF solution was reprecipitated in hexane, and purified by filtration and vacuum drying.
Next, 15.0 parts by mass of the obtained block copolymer was dissolved in 35 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMAC) in a 100 mL round-bottom flask. 1.1 parts by mass of phenylphosphinic acid (0.5 molar equivalent relative to dimethylaminopropyl methacrylamide), which is a salt-forming component, was added, and the mixture was stirred at a reaction temperature of 30°C for 20 hours. PGMAC was then added to adjust the solution, and a dispersant (B-1) solution with 20% non-volatile content was obtained.
(分散剤(B―2)溶液)
ガス導入管、温度、コンデンサー、攪拌機を備えた反応容器に、メタクリル酸10部、メチルメタクリレート100部、i-ブチルメタクリレート70部、ベンジルメタクリレート20部、PGMAc50部を仕込み、窒素ガスで置換した。反応容器内を50℃に加熱撹拌し、3-メルカプト-1,2-プロパンジオール12部を添加した。90℃に昇温し、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル0.1部をPGMAc90部に加えた溶液を添加しながら7時間反応した。不揮発分測定により95%が反応したことを確認した。次いでピロメリット酸無水物19部、PGMAc50部、シクロヘキサノン50部、触媒として1,8-ジアザビシクロ-[5.4.0]-7-ウンデセン0.4部を追加し、100℃で7時間反応させた。酸価の測定で98%以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し反応を終了し、不揮発分が20%となるようPGMAcを加えて希釈し、酸価70mgKOH/g、重量平均分子量8,500の分散樹脂(B―2)溶液を得た。
(Dispersant (B-2) solution)
In a reaction vessel equipped with a gas inlet tube, temperature control, condenser, and stirrer, 10 parts methacrylic acid, 100 parts methyl methacrylate, 70 parts i-butyl methacrylate, 20 parts benzyl methacrylate, and 50 parts PGMAC were charged and purged with nitrogen gas. The reaction vessel was heated to 50°C and stirred, and 12 parts 3-mercapto-1,2-propanediol were added. The temperature was raised to 90°C, and the reaction was carried out for 7 hours while adding a solution of 0.1 parts 2,2'-azobisisobutyronitrile added to 90 parts PGMAC. Non-volatile content measurement confirmed that 95% had reacted. Next, 19 parts pyromellitic anhydride, 50 parts PGMAC, 50 parts cyclohexanone, and 0.4 parts 1,8-diazabicyclo-[5.4.0]-7-undecene as a catalyst were added, and the reaction was carried out at 100°C for 7 hours. After confirming that more than 98% of the acid anhydride had undergone half-esterification by measuring the acid value, the reaction was terminated. The solution was then diluted by adding PGMac to reduce the non-volatile content to 20%, yielding a dispersion resin (B-2) solution with an acid value of 70 mg KOH/g and a weight-average molecular weight of 8,500.
<アルカリ可溶性樹脂(C)の製造>
(アルカリ可溶性樹脂(C-1)溶液)
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロ-トおよび窒素導入管を備えたフラスコに、PGMAc333部を導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、100℃に昇温後、ベンジルメタクリレート70.5部(0.40モル)、グリシジルメタクリレート71.1部(0.50モル)、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート(日立化成社製FA-513M)22.0部(0.10モル)および、PGMAc164部からなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル5.0部を添加した溶液を滴下ロ-トから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに100℃で5時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、メタクリル酸43.0部[0.5モル、(本反応に用いたグリシジルメタクリレートのグリシジル基に対して100モル%)]、トリスジメチルアミノメチルフェノール0.9部およびハイドロキノーン0.145部をフラスコ内に投入し、110℃で6時間反応を続け不揮発分酸価が1mgKOH/gとなったところで反応を終了した。次に、テトラヒドロフタル無水フタル酸60.9部(0.40モル)、トリエチルアミン0.8部を加え、120℃で3.5時間反応させ酸価80mgKOH/gの樹脂溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約2部をサンプリングして180℃、20分加熱乾燥して不揮発分を測定し、不揮発分が20質量%になるようにPGMAcを添加して感光性アルカリ可溶性樹脂(C-1)溶液を調製した。重量平均分子量(Mw)は9,000であった。
<Manufacturing of alkali-soluble resin (C)>
(Alkali-soluble resin (C-1) solution)
In a flask equipped with a stirrer, thermometer, reflux condenser, dropping funnel, and nitrogen inlet tube, 333 parts of PGMAc were introduced, and the atmosphere inside the flask was changed from air to nitrogen. After raising the temperature to 100°C, a solution consisting of 70.5 parts (0.40 mol) of benzyl methacrylate, 71.1 parts (0.50 mol) of glycidyl methacrylate, 22.0 parts (0.10 mol) of tricyclodecane skeleton monomethacrylate (FA-513M, Hitachi Chemical Co., Ltd.), and 164 parts of PGMAc, to which 5.0 parts of azobisisobutyronitrile was added, was added dropwise to the flask from the dropping funnel over 2 hours, and the mixture was then stirred at 100°C for 5 hours. Next, the atmosphere inside the flask was changed from nitrogen to air, and 43.0 parts [0.5 mol, (100 mol%) relative to the glycidyl groups of the glycidyl methacrylate used in this reaction)], 0.9 parts of trisdimethylaminomethylphenol, and 0.145 parts of hydroquinone were added to the flask. The reaction was continued at 110°C for 6 hours, and terminated when the non-volatile acid value reached 1 mg KOH/g. Next, 60.9 parts (0.40 mol) of tetrahydrophthalic anhydride and 0.8 parts of triethylamine were added, and the reaction was carried out at 120°C for 3.5 hours to obtain a resin solution with an acid value of 80 mg KOH/g. After cooling to room temperature, approximately 2 parts of the resin solution were sampled and heated and dried at 180°C for 20 minutes to measure the non-volatile content. PGMac was added to adjust the non-volatile content to 20% by mass to prepare a photosensitive alkali-soluble resin (C-1) solution. The weight-average molecular weight (Mw) was 9,000.
(アルカリ可溶性樹脂(C-2)溶液)
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロ-トおよび窒素導入管を備えたフラスコに、PGMAc333部を導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、100℃に昇温後、ベンジルメタクリレート70.5部(0.40モル)、グリシジルメタクリレート71.1部(0.50モル)、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート(日立化成社製FA-513M)22.0部(0.10モル)および、PGMAc164部からなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル5.0部を添加した溶液を滴下ロ-トから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに100℃で5時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、メタクリル酸43.0部[0.5モル、(本反応に用いたグリシジルメタクリレートのグリシジル基に対して100モル%)]、トリスジメチルアミノメチルフェノール0.9部およびハイドロキノーン0.145部をフラスコ内に投入し、110℃で6時間反応を続け不揮発分酸価が1mgKOH/gとなったところで反応を終了した。次に、無水コハク酸60.9部(0.40モル)、トリエチルアミン0.8部を加え、120℃で3.5時間反応させ酸価100mgKOH/gの樹脂溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約2部をサンプリングして180℃、20分加熱乾燥して不揮発分を測定し、不揮発分が20質量%になるようにPGMAcを添加して感光性アルカリ可溶性樹脂(C-2)溶液を調製した。重量平均分子量(Mw)は8,000であった。
(Alkali-soluble resin (C-2) solution)
In a flask equipped with a stirrer, thermometer, reflux condenser, dropping funnel, and nitrogen inlet tube, 333 parts of PGMAc were introduced, and the atmosphere inside the flask was changed from air to nitrogen. After raising the temperature to 100°C, a solution consisting of 70.5 parts (0.40 mol) of benzyl methacrylate, 71.1 parts (0.50 mol) of glycidyl methacrylate, 22.0 parts (0.10 mol) of tricyclodecane skeleton monomethacrylate (FA-513M, Hitachi Chemical Co., Ltd.), and 164 parts of PGMAc, to which 5.0 parts of azobisisobutyronitrile was added, was added dropwise to the flask from the dropping funnel over 2 hours, and the mixture was then stirred at 100°C for 5 hours. Next, the atmosphere inside the flask was changed from nitrogen to air, and 43.0 parts of methacrylic acid [0.5 mol, (100 mol%) relative to the glycidyl groups of the glycidyl methacrylate used in this reaction)], 0.9 parts of trisdimethylaminomethylphenol, and 0.145 parts of hydroquinone were added to the flask. The reaction was continued at 110°C for 6 hours until the non-volatile acid value reached 1 mg KOH/g, at which point the reaction was terminated. Next, 60.9 parts (0.40 mol) of succinic anhydride and 0.8 parts of triethylamine were added, and the mixture was reacted at 120°C for 3.5 hours to obtain a resin solution with an acid value of 100 mg KOH/g. After cooling to room temperature, approximately 2 parts of the resin solution were sampled and heated and dried at 180°C for 20 minutes to measure the non-volatile content. PGMac was added to adjust the non-volatile content to 20% by mass to prepare a photosensitive alkali-soluble resin (C-2) solution. The weight-average molecular weight (Mw) was 8,000.
(アルカリ可溶性樹脂(C-3)溶液)
セパラブル4口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管および撹拌装置を取り付けた反応容器にシクロヘキサノン207部を仕込み、80℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、滴下管より、メタクリル酸20部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート(東亞合成社製アロニックスM110)20部、メタクリル酸メチル45部、2-ヒドロキシエチルメタクリレート8.5部、及び2,2'-アゾビスイソブチロニトリル0.99部の混合物を2時間かけて滴下した。滴下終了後、更に3時間反応を継続し、樹脂溶液を得た。次に得られた樹脂溶液に対して、窒素ガスを停止し乾燥空気を1時間注入しながら攪拌したのちに、室温まで冷却した後、2-メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(昭和電工社製カレンズMOI)6.5部、ラウリン酸ジブチル錫0.08部、シクロヘキサノン26部の混合物を70℃で3時間かけて滴下した。滴下終了後、更に1時間反応を継続し、樹脂の溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約2部をサンプリングして180℃、20分間加熱乾燥して不揮発分を測定し、不揮発分が20%になるようにシクロヘキサノンを添加してアルカリ可溶性樹脂(C-3)溶液を調製した。重量平均分子量(Mw)は22,050であった。
(Alkali-soluble resin (C-3) solution)
A reaction vessel was prepared by fitting a thermometer, condenser, nitrogen gas inlet, dropping tube, and stirrer into a separable four-neck flask. 207 parts of cyclohexanone were charged into this vessel, and the temperature was raised to 80°C. After purging the reaction vessel with nitrogen, a mixture of 20 parts methacrylic acid, 20 parts paracumylphenol ethylene oxide-modified acrylate (Aronics M110, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), 45 parts methyl methacrylate, 8.5 parts 2-hydroxyethyl methacrylate, and 0.99 parts 2,2'-azobisisobutyronitrile was added dropwise over 2 hours via the dropping tube. After the dropwise addition was complete, the reaction was continued for another 3 hours to obtain a resin solution. Next, the resin solution obtained was stirred while injecting dry air for 1 hour after stopping the nitrogen gas supply, and then cooled to room temperature. A mixture of 6.5 parts 2-methacryloyloxyethyl isocyanate (Kalenz MOI, Showa Denko Co., Ltd.), 0.08 parts dibutyltin laurate, and 26 parts cyclohexanone was added dropwise at 70°C for 3 hours. After the dropwise addition was complete, the reaction was continued for another hour to obtain a resin solution. After cooling to room temperature, approximately 2 parts of the resin solution were sampled and heated and dried at 180°C for 20 minutes to measure the non-volatile content. Cyclohexanone was added to adjust the non-volatile content to 20% to prepare an alkali-soluble resin (C-3) solution. The weight-average molecular weight (Mw) was 22,050.
(アルカリ可溶性樹脂(C-4)溶液)
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロ-トおよび窒素導入管を備えたフラスコに、PGMAc182部を導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、100℃に昇温後、ベンジルメタクリレート70.5部(0.40モル)、メタクリル酸43.0部(0.5モル)、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート(日立化成社製FA-513M)22.0部(0.10モル)およびPGMAc136部からなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル3.0部を添加した溶液を滴下ロ-トから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに100℃で5時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート35.5部[0.25モル、(本反応に用いたメタクリル酸のカルボキシル基に対して50モル%)]、トリスジメチルアミノメチルフェノール0.9部およびハイドロキノーン0.145部をフラスコ内に投入し、110℃で6時間反応を続け、樹脂溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約2部をサンプリングして180℃、20分加熱乾燥して不揮発分を測定し、不揮発分が20質量%になるようにPGMAcを添加してアルカリ可溶性樹脂(C-4)溶液を調製した。重量平均分子量(Mw)は14,960であった。
(Alkali-soluble resin (C-4) solution)
In a flask equipped with a stirrer, thermometer, reflux condenser, dropping funnel, and nitrogen inlet tube, 182 parts of PGMAc were introduced, and the atmosphere inside the flask was changed from air to nitrogen. After raising the temperature to 100°C, a solution consisting of 70.5 parts (0.40 mol) of benzyl methacrylate, 43.0 parts (0.5 mol) of methacrylic acid, 22.0 parts (0.10 mol) of tricyclodecane skeleton monomethacrylate (FA-513M, Hitachi Chemical Co., Ltd.), and 136 parts of PGMAc, to which 3.0 parts of azobisisobutyronitrile was added, was added dropwise to the flask from the dropping funnel over 2 hours, and the mixture was then stirred at 100°C for 5 hours. Next, the atmosphere inside the flask was changed from nitrogen to air, and 35.5 parts of glycidyl methacrylate [0.25 mol, (50 mol% relative to the carboxyl groups of methacrylic acid used in this reaction)], 0.9 parts of trisdimethylaminomethylphenol, and 0.145 parts of hydroquinone were added to the flask. The reaction was continued at 110°C for 6 hours to obtain a resin solution. After cooling to room temperature, approximately 2 parts of the resin solution were sampled and heated and dried at 180°C for 20 minutes to measure the non-volatile content. PGMac was added to prepare an alkali-soluble resin (C-4) solution so that the non-volatile content was 20% by mass. The weight-average molecular weight (Mw) was 14,960.
(アルカリ可溶性樹脂(C-5)溶液)
セパラブル4口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管および撹拌装置を取り付けた反応容器にシクロヘキサノン196部を仕込み、80℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、滴下管より、n-ブチルメタクリレート37.2部、2-ヒドロキシエチルメタクリレート12.9部、メタクリル酸12.0部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート(東亞合成社製「アロニックスM110」)20.7部、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル2.0部の混合物を2時間かけて滴下した。滴下終了後、更に2時間反応を継続し、樹脂の溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約2部をサンプリングして180℃、20分間加熱乾燥して不揮発分を測定し、不揮発分が20%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下、PGMAcともいう)を添加してアルカリ可溶性樹脂(C-5)溶液を調製した。重量平均分子量(Mw)は20,000であった。
(Alkali-soluble resin (C-5) solution)
A reaction vessel was prepared by fitting a thermometer, condenser, nitrogen gas inlet, dropping tube, and stirrer into a separable four-neck flask. 196 parts of cyclohexanone were charged into this vessel, and the temperature was raised to 80°C. After purging the reaction vessel with nitrogen, a mixture of 37.2 parts n-butyl methacrylate, 12.9 parts 2-hydroxyethyl methacrylate, 12.0 parts methacrylic acid, 20.7 parts paracumylphenol ethylene oxide modified acrylate (Toagosei Co., Ltd. "Aronics M110"), and 2.0 parts 2,2'-azobisisobutyronitrile was added dropwise over 2 hours via the dropping tube. After the addition was complete, the reaction was continued for another 2 hours to obtain a resin solution. After cooling to room temperature, approximately two parts of the resin solution were sampled and heated and dried at 180°C for 20 minutes. The non-volatile content was measured, and propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter also referred to as PGMAC) was added to prepare an alkali-soluble resin (C-5) solution so that the non-volatile content was 20%. The weight-average molecular weight (Mw) was 20,000.
<分散体の製造>
(分散体1)
下記の原料を均一になるように攪拌混合した後、直径0.5mmのジルコニアビ-ズを用いて、アイガーミル(アイガージャパン社製「ミニモデルM-250 MKII」)で3時間分散した後、孔径1.0μmのフィルタで濾過し、分散体1を作製した。有機溶剤(O-1)は、PGMAcである。
微細化顔料(A-1) :12.00部
分散剤(B-1)溶液 :20.00部
分散剤(B-2)溶液 :20.00部
有機溶剤(O―1) :48.00部
<Dispersion Manufacturing>
(Dispersion 1)
After stirring and mixing the following raw materials until uniform, the mixture was dispersed for 3 hours using an Eiger mill (Eiger Japan's "Mini Model M-250 MKII") with a diameter of 0.5 mm, and then filtered through a 1.0 μm pore size filter to prepare dispersion 1. The organic solvent (O-1) is PGMAC.
Micronized pigment (A-1): 12.00 parts Dispersant (B-1) solution: 20.00 parts Dispersant (B-2) solution: 20.00 parts Organic solvent (O-1): 48.00 parts
表1に記載の構成比になるように配合種、及び量を変え、分散液1~10を得た。 Dispersions 1 to 10 were obtained by varying the types and amounts of the ingredients to achieve the composition ratios shown in Table 1.
<感光性組成物の製造>
[実施例1]
(感光性組成物1)
以下の原料を混合、攪拌し、孔径1.0μmのフィルタで濾過して感光性組成物1を得た。
分散体1 :37.50部
アルカリ可溶性樹脂(C-1)溶液 :20.25部
重合性化合物(D1-1) :0.75部
重合性化合物(D2-1) :2.25部
光重合開始剤(E-1) :0.45部
レベリング剤(L) :1.00部
有機溶剤(O) :37.80部
<Manufacturing of photosensitive composition>
[Example 1]
(Photosensitive composition 1)
The following raw materials were mixed and stirred, and filtered through a filter with a pore size of 1.0 μm to obtain photosensitive composition 1.
Dispersion 1: 37.50 parts Alkali-soluble resin (C-1) solution: 20.25 parts Polymerizable compound (D1-1): 0.75 parts Polymerizable compound (D2-1): 2.25 parts Photopolymerization initiator (E-1): 0.45 parts Leveling agent (L): 1.00 part Organic solvent (O): 37.80 parts
[重合性化合物(D)]
・D-1:A-DCP(重合性不飽和基数2:新中村化学社製)
・D1-1:HOA-MPL(2-アクリロイロキシエチル-フタル酸:共栄社化学製)
・D1-2: HOA-MPE(2-アクリロイロキシエチル-2-ヒドロキシエチル-フタル酸:共栄社化学製)
・D2-1:アロニックス M-306(重合性不飽和基数3:東亞合成社製)
・D2-2:アロニックス M-420(重合性不飽和基数6:東亞合成社製)
・D2-3:アロニックス M-520(重合性不飽和基数5:東亞合成社製)
・D2-4:UA-306H(重合性不飽和基数6:共栄社化学製)
[Polymerizable compound (D)]
・D-1: A-DCP (polymerizable unsaturated group number 2: manufactured by Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.)
• D1-1: HOA-MPL (2-acryloyloxyethyl phthalate: manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)
• D1-2: HOA-MPE (2-acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl-phthalate: manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)
• D2-1: Arronix M-306 (3 polymerizable unsaturated groups: manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
• D2-2: Arronix M-420 (6 polymerizable unsaturated groups: manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
• D2-3: Arronix M-520 (5 polymerizable unsaturated groups: manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
・D2-4: UA-306H (Number of polymerizable unsaturated groups: 6: manufactured by Kyoeisha Chemical)
[光重合開始剤(E)]
・E―1:OXE―01(BASFジャパン社製)
・E―2:OXE―02(BASFジャパン社製)
・E―3:アデカクルーズNCI-831(ADEKA社製)
・E―4:アデカクルーズNCI-730(ADEKA社製)
・E―5:イルガキュア907(BASFジャパン社製)
・E―6:イルガキュア369(BASFジャパン社製)
・E―7:以下に示す化合物。なお、特開2021-076846号公報に準じて合成した。
[Photopolymerization initiator (E)]
• E-1: OXE-01 (manufactured by BASF Japan)
• E-2: OXE-02 (manufactured by BASF Japan)
• E-3: ADEKA Cruises NCI-831 (manufactured by ADEKA)
• E-4: ADEKA Cruises NCI-730 (manufactured by ADEKA)
• E-5: Ilgacure 907 (manufactured by BASF Japan)
• E-6: Irgacure 369 (manufactured by BASF Japan)
• E-7: The compound shown below. It was synthesized in accordance with Japanese Patent Publication No. 2021-076846.
[レベリング剤(L)]
BYK-330(ビックケミー社製)、メガファックF-551(DIC社製)をそれぞれ1部混合し、PGMAc98部に溶解させた混合溶液をレベリング剤(L)とした。
[Leveling agent (L)]
One part each of BYK-330 (manufactured by Big Chemie) and Megafac F-551 (manufactured by DIC) were mixed and dissolved in 98 parts of PGMac to create a mixed solution which was used as the leveling agent (L).
[有機溶剤(O) ]
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート80部、シクロヘキサノン10部、3-エトキシプロピオン酸エチル10部を混合し、有機溶剤(O)とした。
[Organic solvent (O)]
80 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate, 10 parts of cyclohexanone, and 10 parts of ethyl 3-ethoxypropionate were mixed to form an organic solvent (O).
[実施例2~42、比較例1]
実施例1の材料および配合量を表2~6に記載した通りに変更した以外は実施例1と同様に行い実施例2~42および比較例1の感光性組成物を得た。
[Examples 2-42, Comparative Example 1]
Except for changing the materials and proportions of Example 1 as shown in Tables 2 to 6, the same procedure was followed to obtain the photosensitive compositions of Examples 2 to 42 and Comparative Example 1.
<感光性組成物の評価>
実施例1~42と比較例1について、現像性、密着性、耐薬品性の評価を下記の方法で行った。評価結果を表7~8に示す。
<Evaluation of photosensitive compositions>
For Examples 1 to 42 and Comparative Example 1, the developability, adhesion, and chemical resistance were evaluated using the methods described below. The evaluation results are shown in Tables 7 and 8.
[線幅評価]
得られた感光性組成物を、縦100mm×横100mm、0.7mm厚のガラス基板(コーニング社製イーグル2000)に、スピンコータを用いて乾燥膜厚が2.0μmとなるように塗工し、70℃1分間ホットプレートで乾燥した。次いで、超高圧水銀ランプを用い、照度30mW/cm2、50mJ/cm2で、50μm幅ストライプパターンのフォトマスクを介して紫外線を露光した。さらに、この基板を室温に冷却後、有機アルカリ現像液テトラメチルアンモニウム=ヒドロキシド(以下、TMAH)を用いて、23℃で現像時間70秒スプレー現像し、イオン交換水で洗浄して風乾することで、基板上にストライプ状のパターンを形成した。パターンを光学顕微鏡にて観察し、線幅を評価した。評価基準は、以下の通りであり、3以上が実用可能である。
5:マスク開口より-1μm≦線幅≦1μmである。
4:マスク開口より-3μm≦線幅<-1μmまたは、1μm<線幅≦3μmである。
3:マスク開口より-5μm≦線幅<-3μmまたは、3μm<線幅≦5μmである。
2:マスク開口より-7μm≦線幅<-5μmまたは、5μm<線幅≦7μmである。
1:マスク開口より-7μm<線幅、または、7μm<線幅である。
[Line width evaluation]
The obtained photosensitive composition was coated onto a 100 mm x 100 mm, 0.7 mm thick glass substrate (Corning Eagle 2000) using a spin coater to a dry film thickness of 2.0 μm, and dried on a hot plate at 70°C for 1 minute. Next, ultraviolet light was exposed using an ultra-high pressure mercury lamp at an illuminance of 30 mW/ cm² and 50 mJ/ cm² through a photomask with a 50 μm wide stripe pattern. Furthermore, after the substrate was cooled to room temperature, it was spray-developed with an organic alkaline developer, tetramethylammonium hydroxide (TMAH), at 23°C for 70 seconds, washed with deionized water, and air-dried to form a stripe pattern on the substrate. The pattern was observed with an optical microscope, and the line width was evaluated. The evaluation criteria are as follows, with a score of 3 or higher indicating practical usability.
5. The line width is -1 μm ≤ 1 μm from the mask opening.
4. From the mask opening, -3 μm ≤ line width < -1 μm or 1 μm < line width ≤ 3 μm.
3. From the mask opening, -5 μm ≤ line width < -3 μm or 3 μm < line width ≤ 5 μm.
2: From the mask opening, -7 μm ≤ line width < -5 μm or 5 μm < line width ≤ 7 μm.
1: The line width is -7 μm or 7 μm from the mask opening.
[密着性評価]
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦100mm×横100mm、0.7mm厚のガラス基板(コーニング社製イーグル2000)に、乾燥後の膜厚が2.0μmとなるように塗工し、70℃1分間ホットプレートで乾燥した。次いで、この基板を室温に冷却後、高圧水銀灯を用い、5μm幅刻みのストライプパターンストライプパターンのフォトマスクを介して照度30mW/cm2、50mJ/cm2で露光した。その後、この基板を23℃のTMAHを用いてスプレー現像した後、イオン交換水で洗浄、風乾し、クリーンオーブン中230℃で30分間加熱し評価用基板を得た。スプレー現像は、それぞれの感光性組成物での被膜について、現像残りなくパターン形成可能な最短時間で行い、これを適正現像時間とした。
評価用基板のパターンのうち幅5~25μmの細線パターンについて、光学顕微鏡で観察し、残存した細線パターンの最小線幅を確認した。評価基準は、以下の通りであり、3以上が実用可能である。
5:5~10μmの細線が残存している。
4:15μm以上の細線が残存している。
3:20μm以上の細線が残存している。
2:25μm以上の細線が残存している。
1:細線が残存していない。
[Adhesion evaluation]
The obtained photosensitive composition was coated onto a 100 mm x 100 mm, 0.7 mm thick glass substrate (Corning Eagle 2000) by spin coating to a dry film thickness of 2.0 μm, and dried on a hot plate at 70°C for 1 minute. Next, after the substrate cooled to room temperature, it was exposed to light using a high-pressure mercury lamp through a photomask with a stripe pattern of 5 μm width intervals at an illuminance of 30 mW/ cm² and 50 mJ/ cm² . Subsequently, the substrate was spray developed using TMAH at 23°C, washed with deionized water, air-dried, and heated in a clean oven at 230°C for 30 minutes to obtain an evaluation substrate. Spray development was performed for the shortest time possible for pattern formation without any remaining development for each photosensitive composition, and this was defined as the appropriate development time.
Fine line patterns with a width of 5 to 25 μm on the evaluation substrate were observed with an optical microscope to confirm the minimum line width of the remaining fine line patterns. The evaluation criteria are as follows, with a score of 3 or higher indicating practical usability.
5: Fine lines measuring 5 to 10 μm remain.
4: Fine lines larger than 15 μm remain.
3: Fine lines larger than 20 μm remain.
2: Fine lines larger than 25 μm remain.
1: No thin lines remain.
[耐薬品性評価]
密着性評価と同様に作製した基板の幅100μmストライプパターンをC光源での色度([L*(1)、a*(1)、b*(1)])を顕微分光光度計(オリンパス光学社製「OSP-SP100」)を用いて測定した。その後、N-メチルピロリドンに30分浸漬後、イオン交換水で洗浄、風乾した。次いで、100μmストライプパターンをC光源での色度([L*(2)、a*(2)、b*(2)])を測定し、下記計算式により、色差ΔE*a*b*を求めた。
ΔE*a*b* = {(L*(2)-L*(1))2+(b*(2)-b*(1))2+(a*(2)-a*(1))2}0.5
評価基準は、以下の通りであり、3以上が実用可能である。
5:ΔE*a*b* が1未満である
4:ΔE*a*b* が1以上3未満である。
3:ΔE*a*b* が3以上5未満である。
2:ΔE*a*b* が5以上10未満である。
1:ΔE*a*b* が10以上である。
[Chemical resistance evaluation]
The chromaticity ([L*(1), a*(1), b*(1)]) of a 100 μm wide stripe pattern on a substrate, prepared in the same manner as for adhesion evaluation, was measured using a micro-spectrophotometer (Olympus Optical Co., Ltd. "OSP-SP100"). After that, the substrate was immersed in N-methylpyrrolidone for 30 minutes, washed with deionized water, and air-dried. Next, the chromaticity ([L*(2), a*(2), b*(2)]) of the 100 μm stripe pattern on the substrate was measured using a C light source, and the color difference ΔE*a*b* was calculated using the following formula.
ΔE*a*b* = {(L*(2)-L*(1)) 2 +(b*(2)-b*(1)) 2 +(a*(2)-a*(1)) 2 } 0.5
The evaluation criteria are as follows, with a score of 3 or higher indicating practical usability.
5: ΔE*a*b* is less than 1. 4: ΔE*a*b* is 1 or greater and less than 3.
3: ΔE*a*b* is greater than or equal to 3 and less than 5.
2: ΔE*a*b* is 5 or greater and less than 10.
1: ΔE*a*b* is 10 or greater.
10 液晶表示装置
11 透明基板
12 TFTアレイ
13 透明電極層
14 配向層
15 偏光板
21 透明基板
22 光学フィルタ
23 透明電極層
24 配向層
25 偏光板
30 バックライトユニット
31 白色LED光源
LC 液晶
10 Liquid crystal display device 11 Transparent substrate 12 TFT array 13 Transparent electrode layer 14 Alignment layer 15 Polarizing plate 21 Transparent substrate 22 Optical filter 23 Transparent electrode layer 24 Alignment layer 25 Polarizing plate 30 Backlight unit 31 White LED light source LC Liquid crystal
Claims (6)
アルカリ可溶性樹脂(C)が、重合性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂を含み、
かつ、重合性不飽和基を含有するアルカリ可溶性樹脂が、アルカリ可溶性基としてカルボキシル基を含み、
重合性化合物(D)は、水酸基およびカルボキシル基の一方、炭化水素環、ならびに重合性不飽和基を1個含有する単量体(D1)と、重合性不飽和基を3個以上含有する単量体(D2)と、を含む、感光性組成物。 A photosensitive composition comprising a dye (A ), a dispersant (B), an alkali-soluble resin (C), a polymerizable compound (D), and a photopolymerization initiator (E),
The alkali-soluble resin (C) includes an alkali-soluble resin containing polymerizable unsaturated groups.
Furthermore, the alkali-soluble resin containing polymerizable unsaturated groups contains carboxyl groups as alkali-soluble groups,
A photosensitive composition comprising polymerizable compound (D), a monomer (D1) containing one hydroxyl group and one carboxyl group, a hydrocarbon ring, and one polymerizable unsaturated group, and a monomer (D2) containing three or more polymerizable unsaturated groups.
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Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000122282A (en) | 1998-10-12 | 2000-04-28 | Goo Chemical Co Ltd | Photosensitive resin composition and photoresist ink for production of printed circuit board |
| JP2010169934A (en) | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Hitachi Chem Co Ltd | Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, method for forming partition of image display, and method for producing the image display |
| JP2018132636A (en) | 2017-02-15 | 2018-08-23 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | Coloring composition for color filter and color filter |
| WO2020022247A1 (en) | 2018-07-26 | 2020-01-30 | 富士フイルム株式会社 | Curable composition, production method for curable composition, film, color filter, production method for color filter, solid-state imaging element, and image display device |
-
2021
- 2021-11-16 JP JP2021186668A patent/JP7848465B2/en active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000122282A (en) | 1998-10-12 | 2000-04-28 | Goo Chemical Co Ltd | Photosensitive resin composition and photoresist ink for production of printed circuit board |
| JP2010169934A (en) | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Hitachi Chem Co Ltd | Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, method for forming partition of image display, and method for producing the image display |
| JP2018132636A (en) | 2017-02-15 | 2018-08-23 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | Coloring composition for color filter and color filter |
| WO2020022247A1 (en) | 2018-07-26 | 2020-01-30 | 富士フイルム株式会社 | Curable composition, production method for curable composition, film, color filter, production method for color filter, solid-state imaging element, and image display device |
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