JPS5814973B2 - 差圧検出装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感圧素子を用いた差圧検出装置に関する。

この種装置は第１図に示すように、圧力を電気信号に変
換する感圧素子１を内装する本体ケース２と、感圧素子
１０両面部と連絡する本体ターフ２０両開口部側に装着
され、被検出圧力Ｐａ、Ｐｂの圧力導入口３ａ、３ｂを
有する受圧フランジ４ａ、４ｂとから構成されている。

この本体ケース２と受圧フランジ４ａ、４ｂとの間には
それぞれダイヤフラム５ａ、５ｂが張着され、このダイ
ヤフラム５ａ 、５ｂと感圧素子１とで形成されたそれ
ぞれの閉所には例えばシリコーン油の如き圧力伝達媒体
６ａ、６ｂが液密に封入されている。

Ｉはケーブルであって感圧素子１の出力信号を図示しな
い前置増幅器や種々の制御回路に送り込んでいる。

また、本体ケー７２の内部には弾性限界を越える圧力に
対する感圧素子１の破損等を防止するために過圧防止機
構１０が装着されている。

この過圧防止機構１０は、内外面が肉圧力伝達媒体６ａ
ｔ６ｂにそれぞれ接するベローズ１１、このベローズ１
１に連動し一方の圧力伝達媒体６ａの移動を防止する弁
１２および弁１２を制財する操作片１３とからなってい
る。

この弁１２及び操作片１３は圧力伝達媒体６ａ内に位置
し、これらは板ばね１４で連結されている。

この弁１２にはそれぞれ本体ケース２に密着可能な０１
ング１２Ａ。

１２Ｂが両端に取着されている。

また、操作片１３はばね１５により押圧された２つの支
点１６ａ、１６ｂを有し、過圧時におけるベローズ１１
の伸縮に応じて弁１２及び板ばね１４を介して時計方向
あるいは反時計方向に回動するものである。

また弁１２は感圧素子１に例えばその弾性限界を越える
圧力が加わったときに前記圧力伝達媒体６ａの移動を阻
止するようになっている。

ところで、以上のような差圧検出装置において加圧防止
機構１０のベローズ１１は、感圧素子１０弾性限界内す
なわち検出許容内の圧力では何ら作動しないが、どちら
か一方の被検出圧力Ｐａ。

ｐｂがばね１５の押圧力及び板ばね１４の反発丈を越え
たとき、すなわち感圧素子１０弾性限界を越えたときに
は伸縮動作を行ない、この動きに斤じて弁１２及び板ば
ね１４も動作する。

今、一方の被検出圧力ｐｂが感圧素子１０弾怜限界を越
えて加わったとすると、板ばね１４の反発力及びばね１
５の押圧力に抗して前記操作片１３が支点１６ｂを中心
に時計方向に回動するとともに、弁１２は図中右方向に
移動して本体ケース２に密着される。

この結果、圧力伝達媒体６ａは弁１２により完全に分離
され、ダイヤフラム５ａと弁１２との間、及び弁１２と
感圧素子１との間の圧力伝達媒体６ａの移動は阻止され
る。

これにより、感圧素子１０反対側の圧力伝達媒体６ｂの
移動も間接的に阻止され、被検出圧力ｐｂのそれ以上の
圧力増加分は感圧素子１に加わらない。

従って、過大圧力から感圧素子１を保護することができ
る。

しかしながら第１図に示すような過圧防止機構１０を持
つ差圧検出装置では以下のような欠点を有する。

例えば過大な圧力Ｐａが加わったとき、０リング１２Ａ
は第２図Ａに示すように本体ケース２の側壁に当接して
圧力伝達媒体６ａの移動を阻止するのであるが、更にそ
れより大きな圧力Ｐａが加わったときに弁１２は同図Ｂ
に示すように図中左方向に移動し、この結果、０リング
１２Ａは弁１２に押されて偏平し実質的な容積変化を起
す。

すなわち、同図Ａで示す面積Ｖだけの容積変化を生じ、
このため更に感圧素子１に過大圧力が加わることになっ
たり、あるいはむしろ負圧を生ずる原因をつ（つたすす
ることがあり、このため最適な過圧防止手段とは言えな
・。

また、上記過圧防止機構１０は構造が複雑であり、各部
材の調整も難かしく、装置全体も大形化する。

これに伴ない温度変化による膨張の影響を受けやすい圧
力伝達媒体６ａ、６ｂの量が多（なるばかりか、過圧防
止機構１０の弁１２あるいは操作片１３が一方の圧力伝
達媒体６ａ内に配置されることになって、肉圧力伝達媒
体６ａ＞６ｂの量を同一にすることができず、従って、
その全体の量あるいは両者の差による不均一な媒体５ａ
。

６ｂの膨張の影響を受けやすく検出精度の低下をもたら
す。

また、感圧素子１がダイヤフラム５ａ、５ｂと平行に配
置され、かつ過圧防止機構１０の取付面Ａ側に設置され
ているために構造が複雑化し、かつ大形化は避けられな
い。

また、信頼性の面からダイヤフラム５ａ、５ｂは溶接加
工にて装着しているが、構造上感圧素子１の取付後に行
なうために加工の際に生じる放熱、振動、衝撃あるいは
塵埃等の感圧素子１への影響を防止することが困難であ
る。

さらに、感圧素子１が直接本体ケース２に取着されてい
るため、それらの温度膨張率の差に伴なう感圧素子１の
出力温度誤差の増大、あるいは静圧下における本体ケー
ス２の変形によるストレスが直接感圧素子１へ加わって
静圧誤差が増大する欠点がある。

本発明は以上のような欠点を除去するためになされたも
ので、過大圧力又は温度変化に伴なって生ずる媒体の熱
的変化から感圧素子を適切に保護するとともに、加圧防
止機構の調整を可能にして精度の向上を図り、更に静圧
誤差をなくするようにする差圧検出装置を提供するもの
である。

以下、本発明の一実施例を第３図を参照して説明する。

同図において３０は本体ケースであって、そのほぼ中心
軸上にそって階段状に径大となる貫通孔３１を形成し、
かつその貫通孔３１の一側部に２個の媒体導入通路３２
ａ、３２ｂを介して連絡する開口部３３が設けられてい
る。

この貫通孔３１には過圧防止機構３４が収納されている
。

また、貫通孔３１０両端は端部が本体ケース３０に溶接
されたダイヤフラム３６ａｔ３６ｂにより密封され、前
記開口部３３はシールキャップ３７により密封されてい
る。

そして、これらの貫通孔３１及び開口部３３内部に圧力
伝達媒体３８ａ。

３８ｂを封入している。

この圧力伝達媒体３８ａ。３８ｂは過圧防止機構３４及
び感圧素子３５によりそれぞれ分離されている。

また、本体ケース３００両側部にはダイヤフラム３６ａ
、３６ｂを覆うようにして被検出圧力Ｐａ、Ｐｂを導入
する圧力導入口３９ａ、３９ｂを有する受圧フランジ４
０ａ、４０ｂが液密に装着されている。

次に、感圧素子３５の取付構造、過圧防止機構３４の構
成並びにその取付構造について説明する先ず、感圧素子
３５について説明すれば、該感圧素子３５は環状の保持
ディスク４１の一面側にその開口を閉塞するように液密
に取着されている。

保持ディスク４１は感圧素子３５と同材質で形成されて
いる。

また、この保持ディスク４１は該ディスク４１に極めて
線膨張率の近い環状の金属製応力吸収シャフト４３に接
合されている。

例えば応力吸収シャフト４３の材質はシリコーン等の半
導体感圧素子３５を使用する場合にはＮｉ−Ｆｅ合金等
を用いる。

応力吸収シャフト４３及び感圧素子３５の信号取出しピ
ン４４は金属ボディ４２にガラス等でハーメチックシー
ルされている。

また、信号取出しピン４４には外部接続用の印刷配線板
４５が取着されている。

このように信号取出しピン４４及び応力吸収シャフト４
３は金属ボディ４２に対してガラス等の絶縁物を用いて
絶縁しこれによって金属ボディ４２と感圧素子３５間の
絶縁を完全にしている。

そして、感圧素子３５はこれと線膨張率のほぼ等しい保
持ディスク４１に取着しているので、温度変化等による
無用な応力が素子３５に加わることがなく、さらに保持
ディスク４１はこれと線膨張率のほぼ等しい応力吸収シ
ャフト４３に取着しているので、金属ボディ４２の収納
時に本体ケース３０に発生する機械的応力が感圧素子３
５に加わることがない。

さらに、この感圧素子３５を内装する金属ボディ４２は
前記ダイヤフラム３６ａ、３６ｂの溶接後装蓋すること
ができるので、溶接後のダイヤフラム３６ａｔ３６ｂの
特性によって金属ボディ４２の装着位置及びシールキャ
ップ３７の取付位置によって本体ケース３０の内部容積
のバランスを変えることができるので、温度膨張による
出力誤差及び静圧による出力誤差な防ぐことができる６
なお、以上のように構成された感圧素子３５の一面は開
口部３３側、他面は媒体導入通路３２ｂ側に位置するよ
うに配置し、これによって感圧素子３５０両面にそれぞ
れ圧力伝達媒体３８ａ。

３８ｂが接液するようにしている。

次に、過大圧力から感圧素子３５を保護する過圧防止機
構３４について説明する。

この過圧防止機構３４は本体ターフ３００貫通孔３１内
に前記ダイヤフラム３６ａ、３６ｂと直交する方向に移
動可能に設けられる。

即ち、この過圧防止機構３４は、０リング４６を装着し
たピストン部４７０両側に支軸５０を延長させこの端部
に螺子部５１ａ、５１ｂ（５１ｂは図示せず）を設けて
いる。

この螺子部５１ａ、５１ｂには該螺子部５１ａｔ５１ｂ
より径太でそれぞれＯリング５６ａ、５６ｂを支軸５０
側に位置させて設けた調節弁５４ａｔ５４ｂが螺合され
ている。

そして、このＯリング５６ａ、５６ｂは本体ケース３０
に直接又は本体ケース３０に螺合してなる突出体５７ａ
ｔ５７ｂと対峙し、前記支軸５０の移動によって突出体
５７ａ、５７ｂＫａ接するようになっている。

このＯリング５６ａ、５６ｂと突出体５７ａｔ５７ｂと
の間隔１１は、前記調節弁５４ａ、５４ｂを支軸５０の
螺子部５１ａ、５１ｂに螺進させることにより、容易に
調整することができる。

この間隔１１は圧力伝達媒体３８ａ。３８ｂの移動量即
ち加わる圧力を規制する基本条件となる。

また、前記調節弁５４ａ、５４ｂの支軸５０と反対側に
は螺子部を設けた突出体が設けられ、これにそれぞれ変
位調整用ばね体５８ａ、５８ｂがナツト６０ａ、６０ｂ
により取着されている。

このばね体５８ａ、５８ｂは調節弁５４ａｔ５４ｂの移
動を規制するもので、ホルダ６１ａ、６１ｂを介して螺
子６２により本体ケース３０に取着されている。

このばね体５８ａ、５８ｂは第４図に示すように円形に
形成され弾性力を持たすための複数の孔６３をあけ、さ
らに外周には前記螺子６２が挿入可能な取付用長孔６４
が３ケ所穿けられている。

一方、前記ピストン部４７はシリンダ室５２によって被
包され、これに媒体３８ａｔ３８ｂに応動するベローズ
６５の一端が取着されている。

このシリンダ室５２とピストン部４７とは間隔１２を有
し、これは間隔１１に比して半分以下となっている。

このピストン部４１は支軸５０を介してばね体５８ａ、
５８ｂにより保持されてベローズ６５の移動によってシ
リンダ室５２との間隔がな（なったときに移動をはじめ
る。

このように取殖されたベローズ６５は、その内外面をそ
れぞれ圧力伝達媒体３８ａｔ３８ｂに接液し、その媒体
３８ａ、３８ｂの移動にともなって伸縮するようになっ
ている。

次に、以上のように構成した差圧検出装置の作用を説明
する。

先ず、圧力Ｐａ、Ｐｂが零の場合第５図Ａに示すように
ピストン部４７とシリンダ室５２とで形成される右側間
隔１２と左側間隔１２とはほぼ等しい状態にある。

この状態において検出範囲内の圧力Ｐａ、Ｐｂがそれぞ
れ受圧フランジ４０ａ、４０ｂの圧力導入口３９ａ、３
９ｂから加えられたとすると、それぞれの被検出圧力Ｐ
ａ、Ｐｂに応じてダイヤフラム３６ａｔ３６ｂが変位し
、この結果圧力伝達媒体３８ａ＞３８ｂが移動する。

この媒体３８ａ、３８ｂの移動により感圧素子３５０両
面において（Ｐａ−Ｐｂ）の差圧が生じ、その差圧（Ｐ
ａ−Ｐｂ）分が電気信号に変換される。

そして、この電気信号は図示していないが信号線により
種々の制御系に送られ差圧として検出される。

なお、Ｐａ＞Ｐｂの圧力を受けて圧力伝達媒体３８ａ、
３８ｂが移動すると、過圧防止機構３４のベローズ６５
が伸びて右側間隔１２が減少し、これと同時に支軸５０
及び調節弁５４ａｔ５４ｂも移動するが、加えられた被
検出圧力Ｐａ、Ｐｂが検出範囲内であるため、その移動
量は間隔１１を閉止するまでにはいたらず、従って、圧
力伝達媒体３８ａ、３８ｂは調節弁５４ａ、５４ｂによ
って閉止されることはない。

次に、被検出圧力Ｐａ、Ｐｂが感圧素子３５の弾性限界
を越える圧力の場合について述べる。

金波検出圧力がＰａ＞ｐｂの関係を有し、圧力Ｐａが感
圧素子３５０弾性限界を越える圧力とする。

従って、このような圧力Ｐａが加わると、これに応じて
ダイヤフラム３６ａ及び圧力伝達媒体３８ａを介して過
圧防止機構３４のベローＸ６５が図中左方向に移動し、
これに伴なってシリンダ室５２の右側内面がピストン部
４７の右面に密着する。

この状態で更にベローズ６５が移動すると。ばね体５８
ａ、調節弁５４ａおよび支軸５０が左方向に移動し、第
５図Ｂのように調節弁５４ａの０Ｊング５６ａが突出体
５７ａに密接する。

さらに、被検出圧力Ｐａが上昇すると該圧力Ｐａによっ
てＯリング５６ａがつぶされるが、このときＯリング５
６ａによって媒体３８ａの移動が阻止されているので、
調節弁５４ａを介して支軸５０が左方向に移動しピスト
ン部４７を左方向に押圧する。

この結果、ピストン部４γの右面がシリンダ室５２の右
側内面より離れ、第５図Ｃのようにピストン部４７の右
面とシリンダ室５２の右側内面との間に間隔１２が形成
される。

この間隔１２によって形成されたシリンダ室５２０部屋
内にはＯリング５６ａの偏平によって生じた容積変化分
の媒体３８ａが供給されることになる。

そして、支軸５０等の動きが停止することにより、前記
圧力伝達媒体３８ａはダイヤフラム３６ａと調節弁５４
ａとの間、調節弁５４ａ、感圧素子３５、ベローズ６５
等とピストン部４７との間にそれぞれ封止される。

従って、過圧防止機構３４は、過大な圧力Ｐａ（但し、
Ｐａ）Ｐｂ）が加わったとき、（調節弁５４ａと突出体
５７ａとの間隔１１）＋（ピストン部４７の右面とシリ
ンダ室５２の右側内面との間隔１２）だけ移動し、逆に
Ｐａ＜Ｐｂの圧力が加わったとき、（調節弁５４ｂと突
出体５７ｂとの間隔１１）＋（ピストン部４７の左面と
シリンダ室５２の左側内面との間隔１２）だけ移動する
。

従って、本装置は以上のように構成したので、欠のよう
な効果が得られる。

（１）第５図Ｃの状態において温度変化があった場合、
調節弁５４ａ、感圧素子３５、ベローズ６５及びピスト
ン部４７等で封止された圧力伝達媒体３８ａに容積変化
が生じるが、ピストン部４７は第５図Ｃに示す位置でそ
の動きが完全に封じられている反面、ピストン部４７の
右面とシリンダ室５２の右側内面との間に間隔１２があ
るので、媒体３８ａの熱膨張によって増加した容積変化
分に対応してベローズ６５が更に左方向に伸びてい（。

更に、具体的に述べると、ベローズ６５は、元来圧力Ｐ
ａの増加に従って左方向に伸びる状態にあるが、第５図
Ｂの圧力状態下では０リング５６ａによって媒体３８ａ
の移動が封じられるので、この時点でベローズ６５の動
きも封じられてしまう。

しかし、温度変化によって媒体３８ａに熱膨張があれば
、ベローズ６５内の容積が増加するので、その容積増加
に対応してベローズ６５が左方向に移動する。

そして、間隔１２で形成された室内の媒体３８ａは該室
より流出してベローズ６５の移動によるベローズ内部容
積の増加によって吸収することになる。

従って、感圧素子３５に更に過大な圧力が作用すること
はない。

■また、本体ケース３０を円形に形成し、特に感圧素子
３５を開口部３３内に収納し、かつ過圧防止機構３４の
収納されている貫通孔３１と分離したので、スペースフ
ァクタがよ（、圧力伝達媒体３８ａ、３８ｂの全体量を
少なくでき。

またほぼ対称的に形成したので、極めて精度よ（それぞ
れの圧力伝達媒体３８ａ、３８ｂの量を調整できる。

さらに、圧力伝達媒体３８ａ。３８ｂの熱膨張、熱収縮
による温度誤差を少なくすることができる。

■感圧素子３５はダイヤフラム３６ａ？３６ｂの取付後
に本体ケース３０に設置できるので、極めて条件のよい
状態で設置できる。

つまり、過圧防止機構３４の調整工程及びダイヤフラム
３６ａ、３６ｂの溶接工程とは別個の工程により感圧素
子３５を設置することが可能である。

■また、感圧素子３５を同様の線膨張率を有する保持デ
ィスク４１及び応力吸収シャツｇ４３を介して本体ケー
ス３０に取着したので、感圧素子３５は本体ケース３０
の温度変化による膨張、収縮の影響を受けることがほと
んどな（、さらに静圧時に生じる本体ケース３０の歪あ
るいは本体ケース３０内の収納する部材の取付時に発生
する歪によるストレスに影響されることもなくなる。

従って、温度、静圧変化に伴う出力変動を殆んどなくす
ることがで、きる。

■また、ダイヤフラム３６ａ、３６ｂはフランジ４０ａ
、４０ｂ内に突出し、しかも小径とした本体ケース３０
部分に取着したので、本体ケース３０が大形化しても計
測器に用いられる差圧式流量計の高低圧配管標準的間隔
即ちフランジ４０ａ、４０ｂの圧力導入孔３９ａ、３９
ｂの標準的間隔５４ｔｔを十分満足させることが可能と
なるばかりか、取着時の熱や残留応力の影響を少なくす
ることができる。

■さらに、調節弁５４ａ、５４ｂと支軸５０とを螺合さ
せる構成であるので、Ｏリング５６ａ。

５６ｂと突出体５７ａ、５７ｂとの間隔１１は支軸５０
に対して調節弁５４ａ、５４ｂを螺進させるだけで調節
でき、しかもベローズ６５に無用の応力を加えることな
（行なえる。

また、ばね体５８ａ、５８ｂを締着させている螺子６２
を少し緩めれば、ばね体５８ａ、ｓｓｂは支障な（回転
する。

従って、調節弁５４ａ。５４ｂを螺進させて間隔１１を
調節するときに、調節弁５４ａ、５４ｂとばね体５８ａ
ｔ５８ｂとを一体にしたまま調節可能となり、調節操作
が容易となる。

なお、ばね体５８ａ、５８ｂとして円形部材を用いて説
明したが、第６図に示す如くＭ字状部材５８ｔ／を用い
てもよ（、この外に弾性力を有する形状であれば特に形
状にこだわるものではない。

このＭ字状のばね体５８ｂ′を挾持するためにナラ）６
０ｂの外にナラ）６０ｂ’を用いてもよい。

次に、第７図は本発明装置の他の実施例である。

なお、第３図と同一部分は同一符号を付してその詳細な
説明を省略する。

即ち、第６図に示す装置は、少なくとも一方の圧力伝達
媒体例えば３８ｂ内にダンピング用の絞りを設けたもの
である。

６６は調節弁５４ｂに取着されたガスケットであって、
これは突出体５７ｂに密着して圧力伝達媒体３８ｂの流
通を阻止するものである。

６７ａはダイヤフラム３６ｂ側の圧力伝達媒体３８ｂと
ベローズ６５側の媒体３８ｂとを連通ずるための案内孔
である。

この孔６７ａには、外部に開放する孔６７ｂを介して前
記ベローズ側に連通しており、この孔６７ｂには外部操
作により螺進可能な絞りシャフト６８が外部より挿入さ
れている。

このシャフト６８は先細に形成され、かつ孔６７ｂの径
よりわずか小径に構成されている。

７０は０リング、７１はシャフト６８の抜は止め防止用
の螺子である。

このシャフト６８を螺進させてシャフト６８と孔６７ｂ
との間のクリアランスＹを変化させることにより、その
媒体３８ｂの移動の際に受ける抵抗を変化されることが
できる。

本構造はベローズ６５が圧力変化に応動し、その容積変
化も太きいため良好なダンピング効果を上げることがで
きる。

つまり、ダンピング効果を決定する一次遅れ時定数は、
Ｔ＝Ｒ−Ｃであり、Ｒは シャフトの閉所で構成される長さ シャフトの閉所で構成される断面積 に比例するから分子一定としてＴｏＣ／断面積となる。

従って、容積変化Ｃが小さければ断面積も小さくしなけ
ればならず、時定数Ｔは急変することになるので調整は
難しくなるが、本発明装置によれば容積変化Ｃが大きい
ため時定数Ｔは急変しないので調整が簡単であり、しか
も十分高い精度が得られる。

絞りシャフトの設置個所は特に限定するものではなく、
また両媒体３８ａ、３８ｂ内に設けてもよい。

なお、上記実施例では圧力変位弾性体にベローズを用い
てきたが、ベローズ以外の圧力変位弾性体例えばダイヤ
フラム等を用いてもよい。

以上詳記したように本発明装置は、過圧防止機構にて移
動を阻止した後も弾性体によって媒体の微動を吸収でき
るように構成したので、媒体閉止時に温度変化等によっ
て媒体の容積変化が生じてもその変化を吸収し、感圧素
子に過大圧力が印加されることがな（なり、従って、十
分高い精度で過大圧力を防止でき、また、感圧素子は圧
力吸収部材により本体ケースから浮かしたので、静圧時
の温度誤差をも防止することができる。

さらに、調節弁と支軸とを螺合させる構成を取ることが
できるので、０リングの突出体との間隔１、は支軸に対
して調節弁を螺進させるだけで調節でき、しかもベロー
ズに無用の応用を加えることな（行なえる。

また、ばね体を螺子により締着させることができるので
、この螺子を少し緩めれば、ばね体は支障な（回転する
。

従って、調節弁を螺進させて間隔１１を調節するときに
、調節弁とばね体とを一体にして調節可能であり、調節
操作が容易となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の差圧検出装置の断面図、第２図ａ、ｂは
第１図の一部抽出し拡大して示す図、第３図は本発明に
係る差圧検出装置の一実施例を説明する断面図、第４図
は第３図のばね体を拡大して示す分解斜視図、第５図は
圧力の増加に伴なう加圧防止機構の動作状態を示す図、
第６図は第４図の他の例を説明する分解斜視図、第７図
は本装置の他の実施例を説明する一部切欠断面図である
。 ３０・・・・・・本体ケース、３１・・・・・・貫通孔
、３３・・・・・・開口部、３４・・・・・・過圧防止
機構、３５・・・・・・感圧素子、３６ａｔ３６ｂ・・
・・・・ダイヤフラム、３７・・・・・・シールキャッ
プ、３８ａ、２８ｂ・・・・・・圧力伝達媒体、４０ａ
、４０ｂ・・・・・・受圧フランジ、４１・・・・・・
保持ディスク、４３・・・・・・金属応力吸収シャフト
、５０・・・・・・支軸、５４ａ、５４ｂ・・・・・・
調節弁、５８ａｔ５８ｂ・・・・・・ばね体、６５・・
・・・・ベローズ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 内部に貫通孔が形成され、かつこの貫通孔の両端を
   被検出圧力の受けるダイヤフラムによって密封されてな
   る本体ケースと；この本体ケースの貫通孔の内部に内装
   され、その一端部が本体ケース側に取着された圧力変位
   弾性体と、この圧力変位弾性体の他端部に取着され、内
   部に液密でかつ移動可能にピストン部を内装してなるシ
   リンダ装置と、このピストン部の両端部からシリンダ装
   置の外部に導出された支軸と、この支軸と直交する本体
   ケースの面部より所定の間隔をもって配置され前記支軸
   の端部が螺合される調節弁とを有する過圧防止機構と；
   前記貫通孔の両端に設けたダイヤフラムの内側に位置し
   て前記本体ケースに固定され、前記過圧防止機構の調節
   弁を支持して前記被検出圧力に応動するばね体と；前記
   ダイヤフラムを境にして前記貫通孔より伸びる２つの媒
   体導入通路に両面で接しかつ応力吸収部材を介して本体
   ケースに装着される感圧素子と：前記本体ケースの貫通
   孔に収納され、それぞれの被検出圧力により変位するダ
   イヤフラム、圧力変位弾性体及び感圧素子により２分割
   されるように夫々封止された圧力伝達媒体とを備えたこ
   とを特徴とする差圧検出装置。 ２ 応力吸収部材は、感圧素子とほぼ等しい線膨張率の
   部材であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の差圧検出装置。 ３ 感圧素子は、本体ケースの貫通孔とほぼ平行になる
   ように配置したことを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載の差圧検出装置。