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JPS5823677B2 - memory erasing device - Google Patents
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JPS5823677B2 - memory erasing device - Google Patents

memory erasing device

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Publication number
JPS5823677B2
JPS5823677B2 JP51057458A JP5745876A JPS5823677B2 JP S5823677 B2 JPS5823677 B2 JP S5823677B2 JP 51057458 A JP51057458 A JP 51057458A JP 5745876 A JP5745876 A JP 5745876A JP S5823677 B2 JPS5823677 B2 JP S5823677B2
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JP
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memory
rays
erasing
timing pulse
ultraviolet rays
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蔵満洋一
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Mitsubishi Electric Corp
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/10Programming or data input circuits
    • G11C16/18Circuits for erasing optically

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  • Read Only Memory (AREA)
  • Non-Volatile Memory (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、半導体不揮発性メモリ素子の消去を常に最
適条件で行うことによって消去不良または消去による素
子破壊を防止することを可能にした記憶消去装置に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a memory erasing device that makes it possible to always erase a semiconductor nonvolatile memory element under optimal conditions to prevent defective erasing or destruction of the element due to erasing.

第1図は従来の浮遊ゲートに電荷を蓄積する浮遊ゲート
型半導体不揮発性メモリ消去装置の構成を示す図であり
、この第1図における1は消去時間設定部、2は消去動
作の始動および消去時間設定部に連動して消去動作を停
止させる開閉器、3はこの開閉器2に連動して動作する
消去用紫外線ランプ、4は消去すべき浮遊ゲートアバラ
ンシェ注入型半導体不揮発性メモIJ (FAMOSメ
モリ)素子である。
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a conventional floating gate type semiconductor nonvolatile memory erasing device that stores charge in a floating gate. In this FIG. A switch for stopping the erasing operation in conjunction with the time setting section, 3 an ultraviolet lamp for erasing that operates in conjunction with this switch 2, and 4 a floating gate avalanche injection type semiconductor non-volatile memory IJ (FAMOS memory) to be erased. ) element.

従来の半導体不揮発性メモリ消去装置は上記のように構
成され、たとえば、開閉器2を閉じて半導体不揮発性メ
モリ消去装置の動作を開始すると、エネルギ発生源であ
る消去用紫外線ランプ3から消去に必要なエネルギが浮
遊ゲートアバランシェ注入型半導体不揮発性メモリ素子
4に照射される。
The conventional semiconductor nonvolatile memory erasing device is configured as described above. For example, when the switch 2 is closed and the semiconductor nonvolatile memory erasing device starts operating, the energy necessary for erasing is supplied from the erasing ultraviolet lamp 3, which is the energy generation source. The floating gate avalanche injection type semiconductor nonvolatile memory element 4 is irradiated with such energy.

他のメモリ素子から経験的に得られたある一定の時間を
経過すると、消去時間設定部1が作動して、開閉器2を
開放して消去に必要なエネルギ発生を中止して消去動作
を完了する。
After a certain period of time empirically obtained from other memory elements has elapsed, the erase time setting section 1 operates, opens the switch 2, stops generating the energy necessary for erasing, and completes the erase operation. do.

さて、第2図は上記浮遊ゲートアバランシェ注入型半導
体不揮発性メモリ素子の紫外線による記憶消去特性を示
し、曲線aと曲線すは相異なる素子の記憶消去特性を示
している。
Now, FIG. 2 shows the memory erasing characteristics of the floating gate avalanche injection type semiconductor nonvolatile memory element by ultraviolet rays, and curves a and 2 show the memory erasing characteristics of different elements.

すなわち、2つの浮遊ゲートアバランシェ注入型半導体
不揮発性メモリ素子(以下FAMOSメモリと略称する
)に同じ条件で情報を書き込んだ後、4.8mW/cr
Aの強度の紫外線を上記2つの素子に一定時間照射した
ときのメモリトランジスタに流れる読出電流RI。
That is, after writing information to two floating gate avalanche injection type semiconductor nonvolatile memory devices (hereinafter referred to as FAMOS memory) under the same conditions, the power consumption was 4.8 mW/cr.
The read current RI that flows through the memory transistor when the above two elements are irradiated with ultraviolet rays with an intensity of A for a certain period of time.

の値を書込直後の読出電流RIsoで割って規格化した
読出電流■を縦軸に示し、紫外線照射時間tを横軸に取
って紫外線照射による記憶の減衰特性を、曲線aおよび
bが示している。
The vertical axis shows the normalized read current 2 by dividing the value of by the read current RIso immediately after writing, and the horizontal axis shows the ultraviolet irradiation time t. Curves a and b show the memory decay characteristics due to ultraviolet irradiation. ing.

読出電流Iが零になれば、FAMOSメモリ4に書き込
まれた情報が完全に消去されたことになり、このときま
でに照射した時間を消去時間TEと定義する。
When the read current I becomes zero, it means that the information written in the FAMOS memory 4 is completely erased, and the irradiation time up to this point is defined as the erase time TE.

曲線aより求まる消去時間T。Erasing time T determined from curve a.

は約400秒であり、一方、曲線すより求まる消去時間
TEは約150秒である。
is approximately 400 seconds, while the erasing time TE determined from the curve is approximately 150 seconds.

このように、同じFAMOSメモリであっても、素子に
よって消去時間が異なるものである。
In this way, even in the same FAMOS memory, the erasing time differs depending on the element.

しかるに、上記従来の装置では、他の素子から経験的に
求めた一定の紫外線照射時間では、消去不十分で消去不
良となったり、また、別の素子ではすでに完全に消去さ
れているにもかかわらず、余分に紫外線を照射すること
になり、紫外線の過剰照射によってFAMOSメモリ4
の周辺回路を破壊させるに至ると云う欠点があった。
However, with the above-mentioned conventional device, a fixed ultraviolet irradiation time determined empirically from other elements may not be enough to erase the data, resulting in a defective erasure, or even though another element has already been completely erased. However, the FAMOS memory 4 may be damaged due to excessive ultraviolet irradiation.
The drawback was that it could lead to the destruction of peripheral circuits.

この発明は、上記従来の欠点を除去するためになされた
もので、浮遊ゲートに電荷を蓄積する半導体不揮発性メ
モリ素子に書き込まれた記憶内容の消去を各チップごと
に最適の紫外線またはX線の照射量によって行うことに
より一1消去不良または消去による素子破壊を防止でき
る記憶消去装置を提供するものである。
This invention was made to eliminate the above-mentioned conventional drawbacks, and erases the memory contents written in a semiconductor non-volatile memory element that accumulates charge in a floating gate by using optimal ultraviolet rays or X-rays for each chip. The purpose of the present invention is to provide a memory erasing device that can prevent defective erasing or element destruction due to erasing by controlling the amount of radiation.

次に、図面を参照してこの発明の記憶消去装置の実施例
について説明すると、第3図はその一実施例を示すブロ
ック図であり、この第3図において、第1図と同一部分
には同一符号が付されており、図中の3,4は第1図の
場合と全く同様であって、3は消去用紫外線ランプ(以
下、紫外線発生部と称する)であり、4はF’AMOS
メモリである。
Next, an embodiment of the memory erasing device of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 3 is a block diagram showing one embodiment. In this FIG. 3, the same parts as in FIG. The same reference numerals are given, and 3 and 4 in the figure are exactly the same as in the case of FIG.
It's memory.

このFAMOSメモリ4の全てのセルに書き込まれた記
憶内容は読出回路5により読み出されるようになってお
り、この読出回路5による読出時および読出時における
FAMOSメモリ4のセルの選択のタイミングはタイミ
ングパルス発生器6から与えられるようになっている。
The memory contents written in all the cells of this FAMOS memory 4 are read out by the reading circuit 5, and the timing of selecting the cells of the FAMOS memory 4 at the time of reading by the reading circuit 5 is determined by a timing pulse. It is designed to be given from a generator 6.

一方、上記紫外線発生部3とF’AMOSメモリ4との
間には紫外線遮蔽板9が介在されており、この紫外線遮
蔽板9はゲート回路7の出力により開閉されるようにな
っている。
On the other hand, an ultraviolet shielding plate 9 is interposed between the ultraviolet ray generator 3 and the F'AMOS memory 4, and the ultraviolet shielding plate 9 is opened and closed by the output of the gate circuit 7.

上記タイミングによりFAMOSメモリ4のセルが選択
されて読出回路5で読み出されたFAMOSメモリ4の
セルに情報が記憶されているか否かを電圧比較器8で判
定するようになっている。
A cell of the FAMOS memory 4 is selected according to the above timing, and a voltage comparator 8 determines whether information is stored in the cell of the FAMOS memory 4 read out by the readout circuit 5.

10はFAMOSメモリ4の全てのセルの記憶が完全に
消去するまでの紫外線照射時間を与える計数器内蔵の消
去時間設定部であり、11は消去動作の完了を知らせる
ブザーである。
Reference numeral 10 denotes an erase time setting section with a built-in counter that determines the ultraviolet irradiation time until the memories of all cells of the FAMOS memory 4 are completely erased, and 11 is a buzzer that notifies the completion of the erase operation.

なお、第3図におけるアルファベットの符号A〜Hはそ
れぞれ各構成部の出力信号であり、それぞれ第4図A〜
第4図Hに対応するものである。
In addition, alphabetical symbols A to H in FIG. 3 are output signals of each component, respectively, and A to H in FIG.
This corresponds to FIG. 4H.

すなわち、Aは消去動作開始信号、Bは1秒ごとに発生
する巾30秒のパルス信号、Cは巾1.5μS繰り返し
周波数0.66 ME(z のアドレス選択用パルス信
号であり、この実施例では1024ビツトのFAMOS
メモリ4のセルを8ビット並列で読み出すので、256
語のアドレスを順次選択して行くようになっており、し
たがって、読出回路5によりFAMOSメモリ4のセル
の読出時に上記のアドレス選択用パルス信号が256回
出力されるものである。
That is, A is an erase operation start signal, B is a pulse signal with a width of 30 seconds generated every second, and C is a pulse signal for address selection with a width of 1.5 μS and a repetition frequency of 0.66 ME (z). Then 1024 bit FAMOS
Since the cells of memory 4 are read in 8 bits in parallel, 256
The addresses of the words are sequentially selected, and therefore, when the readout circuit 5 reads out the cells of the FAMOS memory 4, the address selection pulse signal is outputted 256 times.

Dはアドレス選択用パルス信号Cで選択されたアドレス
にあるFAMOSメモリ4のセルの記憶内容を判定する
信号で、8ビツトのFAMOSメモリ4のセルのうちの
1つでも書き込まれたものがあれば、「1」を出力する
D is a signal that determines the memory content of the cell of the FAMOS memory 4 at the address selected by the address selection pulse signal C. If even one of the cells of the 8-bit FAMOS memory 4 has been written, , outputs "1".

Eは1024ビツトのFAMOSメモリのセルに1つも
書き込まれたものがないときのみ「1」を出力する信号
である。
E is a signal that outputs "1" only when there is nothing written in any cell of the 1024-bit FAMOS memory.

Fは紫外線遮蔽板9を開閉するための信号であリ、「0
」のときは紫外線遮蔽板9が1閉」、「1」のときは紫
外線遮蔽板9は「開」の状態となるようになっている。
F is a signal for opening and closing the ultraviolet shielding plate 9;
'', the ultraviolet shielding plate 9 is in the "1 closed" state, and when the value is "1", the ultraviolet shielding plate 9 is in the "open" state.

Gは規定の時間だけ、紫外線発生部3より紫外線がFA
MOSメモリ4に照射されると、「0」となる信号であ
って、第4図Tにおける11秒の紫外線照射によって、
信号Eが「0」から「1」になった場合、さらに3T1
時間の紫外線照射を続行するための信号である。
In G, ultraviolet rays are FA from the ultraviolet generating part 3 for a specified time.
When the MOS memory 4 is irradiated, the signal becomes "0", and by irradiating ultraviolet light for 11 seconds in T in FIG.
When signal E changes from “0” to “1”, 3T1
This is the signal to continue UV irradiation for an hour.

この動作は消去すべき電荷量の変化は連続的であるが、
メモリセル内のセル信号を出力するバッファでは、ある
閾値で「0」または「1」に量子化される。
In this operation, the amount of charge to be erased changes continuously, but
In a buffer that outputs a cell signal in a memory cell, the cell signal is quantized to "0" or "1" at a certain threshold value.

したがって、電荷量が0にならなくても、見掛上消去さ
れたことになり、消去不足による不良が発生する。
Therefore, even if the amount of charge does not become zero, it appears that the data has been erased, and a defect occurs due to insufficient erasing.

このような不良をなくするために、メモリセルからの信
号が見掛は上「消去された」時刻のさらに3倍の時間を
照射して完全に消去するために行うようになっている。
In order to eliminate such defects, the signal from the memory cell is irradiated for three times as long as the time at which it was apparently "erased" to completely erase it.

Hは復帰信号で、信号Gを復帰させて再び始動できる状
態にするためのものである。
H is a return signal, which is used to restore signal G to a state where the engine can be started again.

また、第4図Tは時間軸で、T1は消去開始から信号E
が「1」となるまでの時間で、さらに3T1の紫外線照
射によって消去動作を完了するようになっており、した
がって、消去時間TEは4T1である。
In addition, T in FIG. 4 is the time axis, and T1 is the signal E from the start of erasing.
In the time it takes for TE to become "1", the erasing operation is completed by further 3T1 of ultraviolet irradiation, so the erasing time TE is 4T1.

次に、上述のように構成されたこの発明の記憶消去装置
の動作について説明すると、まず消去動作開始信号Aが
タイミングパルス発生回路6に与えられると、このタイ
ミングパルス発生回路6が作動して、タイミングパルス
発生回路6からゲート回路7にパルス信号Bが送出され
る。
Next, the operation of the memory erasing device of the present invention configured as described above will be explained. First, when the erasing operation start signal A is applied to the timing pulse generation circuit 6, the timing pulse generation circuit 6 is activated. A pulse signal B is sent from the timing pulse generation circuit 6 to the gate circuit 7.

これにより、ゲート回路7の出力側において、信号Fが
「1」となり、この信号Fにより紫外線遮蔽板9が開い
て、紫外線発生部3からFAMOSメモリ4にこの紫外
線遮蔽板9を通して紫外線が照射される。
As a result, the signal F becomes "1" on the output side of the gate circuit 7, the ultraviolet shielding plate 9 is opened by this signal F, and ultraviolet rays are irradiated from the ultraviolet generating section 3 to the FAMOS memory 4 through the ultraviolet shielding plate 9. Ru.

紫外線遮蔽板9が開いて30秒間経過すると、信号Bが
反転するので、信号Fが「0」となり、紫外線遮蔽板9
が閉じ、今度はタイミングパルス発生部6からアドレス
選択用パルス信号Cが読出回路5に送られ、FAMOS
メモリ4の0番地から順次アドレスを選択して読み出し
て行く。
After 30 seconds have passed since the UV shielding plate 9 was opened, the signal B is inverted, so the signal F becomes "0" and the UV shielding plate 9 is opened.
is closed, and this time the address selection pulse signal C is sent from the timing pulse generator 6 to the readout circuit 5, and the FAMOS
Addresses are sequentially selected and read out from address 0 of the memory 4.

この際、もし、FAMOSメモリ4に書き込まれた番地
が選択されると、この読出回路5で読み出され、その出
力が電圧比較器8に送出され、電圧比較器8では信号り
が「1」とり、消去時間設定部10内に内蔵された計数
器に信号を与える。
At this time, if the address written in the FAMOS memory 4 is selected, it is read out by the readout circuit 5 and its output is sent to the voltage comparator 8, where the signal is set to "1". and gives a signal to a counter built in the erase time setting section 10.

次に、再びタイミングパルス発生部6からゲート回路7
に送出する信号Bが「1」となると、このゲート回路7
の出力信号である信号Fは「1」となり、紫外線遮蔽板
9が開き、紫外線発生部3から紫外線遮蔽板9を通して
FAMOSメモリ4に紫外線が照射される。
Next, the timing pulse generator 6 returns to the gate circuit 7.
When the signal B sent to the gate becomes "1", this gate circuit 7
The signal F which is the output signal becomes "1", the ultraviolet shielding plate 9 is opened, and the ultraviolet rays are irradiated from the ultraviolet generating section 3 to the FAMOS memory 4 through the ultraviolet shielding plate 9.

このようにして、30秒ごとにFAMOSメモリ4の記
憶内容の読出を行いつつ紫外線照射を行う。
In this way, the ultraviolet rays are irradiated while reading out the stored contents of the FAMOS memory 4 every 30 seconds.

もし、T1秒経過して、電圧比較器8からの信号Eが1
1」となると、この信号Eは消去時間設定部10、タイ
ミングパルス発生部6およびゲート回路7に送出され、
タイミングパルス発生部6の動作が停止し、信号Bがゲ
ート回路7に送出されなくなるとともに、アドレス選択
用パルス信号Cは読出回路5にも送出されなくなる。
If T1 seconds have passed and the signal E from the voltage comparator 8 is 1
1'', this signal E is sent to the erase time setting section 10, timing pulse generation section 6 and gate circuit 7,
The operation of the timing pulse generator 6 is stopped, the signal B is no longer sent to the gate circuit 7, and the address selection pulse signal C is also no longer sent to the readout circuit 5.

しかし、信号Eがゲート回路7に送出されるので、ゲー
ト回路7の出力側より信号Fが3T1秒間出力され、こ
の信号Fによってさらに3T1秒間紫外線遮蔽板9が開
かれ、3 T1秒間FAMOSメモリ4に紫外線照射が
行われる。
However, since the signal E is sent to the gate circuit 7, the signal F is output from the output side of the gate circuit 7 for 3T1 seconds, and the ultraviolet shielding plate 9 is opened for an additional 3T1 seconds by this signal F, and the FAMOS memory 4 is opened for 3T1 seconds. is irradiated with ultraviolet light.

この3T1秒間経過すると、消去時間設定部10から1
1」の信号Gがブザー11および電圧比較器8に送出さ
れ、上記信号E、Fを「0」にして、紫外線遮蔽板9を
閉じて消去を完了する。
After this 3T1 second has elapsed, the erase time setting section 10
A signal G of ``1'' is sent to the buzzer 11 and the voltage comparator 8, the signals E and F are set to ``0'', the ultraviolet shielding plate 9 is closed, and erasing is completed.

この完了と同時に、復帰信号Hが消去時間設定部10に
送出され、信号Gを復帰させるとともに、 −ブザ
ー11を鳴動させ、消去動作の完了を知らせる。
Simultaneously with this completion, a return signal H is sent to the erasing time setting section 10, which causes the signal G to return and also causes the buzzer 11 to sound to notify the completion of the erasing operation.

なお、上記の実施例では、FAMOSメモリ4の記憶消
去について説明したが、浮遊ゲートに電荷を蓄積する他
の半導体不揮発性メモリ、たとえば、SAMO8(S
tacked −gate Avalanche −1
njection MOS )メモリについても全く同
様に適用できることは明らかである。
Note that in the above embodiment, the memory erasing of the FAMOS memory 4 was explained, but other semiconductor nonvolatile memories that accumulate charge in the floating gate, such as SAMO8 (S
tacked-gate Avalanche-1
It is clear that the same can be applied to memory (MOS) memory.

また、上記実施例では、遮蔽板の開閉によって上記メモ
リに紫外線を照射したり、止めたりした場合について例
示したが、紫外線ランプの電源を開閉することによって
も、全く同様の動作を期待できることは明白である。
Furthermore, in the above embodiment, the UV rays are irradiated or stopped on the memory by opening and closing the shielding plate, but it is clear that exactly the same operation can be expected by opening and closing the power supply of the UV lamp. It is.

さらに、上記実施例では、30秒ごとに FAMOSメモリ4の記憶内容の読出を行う場合を示し
たが、T1 より短かい時間であれば、任意の時間ご
とに読出を行っても全く同様の効果を期待できるし、ま
た、消去動作の終了をブザー11によって知らせる場合
について説明したが、ランプまたはベルなどの任意の報
知装置によっても全く同様の動作を期待できる。
Furthermore, in the above embodiment, a case was shown in which the stored contents of the FAMOS memory 4 were read out every 30 seconds, but the same effect can be obtained even if the readout is carried out at any arbitrary time interval as long as the time is shorter than T1. Moreover, although the case where the end of the erasing operation is notified by the buzzer 11 has been described, it is also possible to expect exactly the same operation by using any notification device such as a lamp or a bell.

また、上記実施例では、紫外線照射によってFAMOS
メモリの消去を行ったが、X線照射によっても全く同様
の効果が得られるものであり、エネルギ発生源は側段上
記実施例に限られるものでないこともまた明白である。
In addition, in the above embodiment, the FAMOS is
Although the memory was erased, the same effect can be obtained by X-ray irradiation, and it is also clear that the energy generation source is not limited to the above-mentioned embodiments.

以上詳述したように、この発明によれば、浮遊ゲートに
電荷を蓄積する半導体不揮発性メモリに書き込まれた記
憶内容の消去を各チップごとに最適の紫外線またはX線
を照射して所定時間ごとに読出を行うようにして、記憶
消去の様子を検査するようにしたので、消去不良または
消去による素子破壊を防止できると云う効果がある。
As detailed above, according to the present invention, the memory contents written in the semiconductor non-volatile memory that accumulates charge in the floating gate are erased at predetermined intervals by irradiating each chip with optimal ultraviolet rays or X-rays. Since reading is performed at the same time and the state of memory erasure is inspected, it is possible to prevent defective erasing or element destruction due to erasing.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は従来の浮遊ゲートアバランシェ注入型半導体不
揮発性メモリの記憶消去装置の構成を示すブロック図、
第2図は浮遊ゲートアバランシェ注入型半導体不揮発性
メモリの紫外線による記憶の消去特性を示す図、第3図
はこの発明の記憶消去装置の一実施例の構成を示すブロ
ック図、第4図A〜第4図Hは同上記憶消去装置におけ
る各部の信号を示すタイムチャート、第4図Tは時間軸
を示す図である。 計・・・・−紫外線発生部、4・・・・・・FAMOS
メモリ、5・・・・・・読出回路、6・−・・・タイミ
ングパルス発生部、7・・・・・・ゲート回路、8・・
・・・・電圧比較器、9・・−・・・紫外線遮蔽板、1
0・・・・・・照射時間設定部、11・・・・・−ブザ
ー。 なお、図中同一符号は同一部分または相当部分を示す。
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a conventional floating gate avalanche injection type semiconductor nonvolatile memory memory erasing device.
FIG. 2 is a diagram showing the memory erasing characteristics of a floating gate avalanche injection type semiconductor nonvolatile memory by ultraviolet rays, FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of the memory erasing device of the present invention, and FIGS. FIG. 4H is a time chart showing the signals of each part in the memory erasing device, and FIG. 4T is a diagram showing the time axis. Total: - UV generating section, 4: FAMOS
Memory, 5... Readout circuit, 6... Timing pulse generator, 7... Gate circuit, 8...
... Voltage comparator, 9 ... Ultraviolet shielding plate, 1
0...Irradiation time setting section, 11...-Buzzer. Note that the same reference numerals in the figures indicate the same or equivalent parts.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 浮遊ゲートに電荷を蓄積する型の半導体不揮発性メ
モリの記憶内容を紫外線またはX線照射によって消去す
る装置において、一定時間ごとの消。 去および記憶内容検査のためのタイミングパルスを発生
させるタイミングパルス発生部、上記タイミングパルス
発生部からのタイミングパルスに呼応して上記半導体不
揮発性メモリへの紫外線またはX線を所定時間間隔で繰
返し照射する手段、上。 起生導体不揮発性メモリへの紫外線またはX線照射ごと
に上記タイミングパルス発生部からのタイミングパルス
に呼応してアクセスして上記半導体不揮発性メモリ内の
記憶内容を検出する読出回路、との読出回路で読み出さ
れた内容から上記半導体不揮発性メモリの記憶内容が消
去されたか否かを判定する判定手段、この判定手段から
の出力を受けて上記半導体不揮発性メモリのすべてのセ
ルの記憶内容が完全に消去するまで上記紫外線またはX
線の照射時間を与える消去時間設定部、この消去時間設
定部で設定された照射時間になると上記半導体不揮発性
メモリの記憶内容が完全に消去されたことを報知する報
知装置を備えてなることを特徴とする記憶消去装置。 2 上記読出回路で検出される記憶内容は消去すべき上
記半導体不揮発性メモリセルの浮遊ゲートに蓄積された
電荷容量であることを特徴とする特許 3 上記紫外線またはX線を繰返し照射する手段は上記
半導体不揮発性メモリと紫外線またはX線を発生するエ
ネルギ発生源との間に介在させた遮蔽板を上記タイミン
グパルスに呼応して開閉させることで行うことを特徴と
する上記特許請求の範囲第1項記載の記憶消去装置。 4 上記手段は紫外線またはX線を発生するエネルギ発
生源の電源を上記タイミングパルスに呼応して開閉させ
ることを特徴とする上記特許請求の範囲第1項記載の記
憶消去装置。
[Claims] 1. In a device that erases the stored contents of a semiconductor non-volatile memory of a type in which charge is accumulated in a floating gate by irradiating ultraviolet rays or X-rays, erasing is performed at regular intervals. a timing pulse generating section that generates timing pulses for data storage and memory content inspection; a timing pulse generating section that repeatedly irradiates the semiconductor nonvolatile memory with ultraviolet rays or X-rays at predetermined time intervals in response to timing pulses from the timing pulse generating section; Means, above. a readout circuit that detects the storage content in the semiconductor nonvolatile memory by accessing it in response to a timing pulse from the timing pulse generator every time the generated conductive nonvolatile memory is irradiated with ultraviolet rays or X-rays; determining means for determining whether the memory contents of the semiconductor non-volatile memory have been erased based on the contents read out; UV rays or X until erased
An erasing time setting section for setting the irradiation time of the line, and a notification device for notifying that the storage contents of the semiconductor non-volatile memory have been completely erased when the irradiation time set by the erasing time setting section is reached. Characteristic memory erasing device. 2. The storage content detected by the reading circuit is the charge capacity accumulated in the floating gate of the semiconductor nonvolatile memory cell to be erased. 3. The means for repeatedly irradiating the ultraviolet rays or X-rays is as described above. Claim 1, characterized in that this is achieved by opening and closing a shielding plate interposed between the semiconductor non-volatile memory and an energy generation source that generates ultraviolet rays or X-rays in response to the timing pulse. The memory erasing device described. 4. The memory erasing device according to claim 1, wherein said means opens and closes a power source of an energy source that generates ultraviolet rays or X-rays in response to said timing pulse.
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