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JPS5836061B2 - ドウ オヨビ ドウケイゴウキンノ フシヨクヨクセイホウホウ - Google Patents
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JPS5836061B2 - ドウ オヨビ ドウケイゴウキンノ フシヨクヨクセイホウホウ - Google Patents

ドウ オヨビ ドウケイゴウキンノ フシヨクヨクセイホウホウ

Info

Publication number
JPS5836061B2
JPS5836061B2 JP50088852A JP8885275A JPS5836061B2 JP S5836061 B2 JPS5836061 B2 JP S5836061B2 JP 50088852 A JP50088852 A JP 50088852A JP 8885275 A JP8885275 A JP 8885275A JP S5836061 B2 JPS5836061 B2 JP S5836061B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
copper
corrosion
bta
fushiyokuyokuyokuseihouhou
dokeigokinno
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP50088852A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5212636A (en
Inventor
征史 正木
英雄 西村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DAIWA KASEI KENKYUSHO KK
Original Assignee
DAIWA KASEI KENKYUSHO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by DAIWA KASEI KENKYUSHO KK filed Critical DAIWA KASEI KENKYUSHO KK
Priority to JP50088852A priority Critical patent/JPS5836061B2/ja
Publication of JPS5212636A publication Critical patent/JPS5212636A/ja
Publication of JPS5836061B2 publication Critical patent/JPS5836061B2/ja
Expired legal-status Critical Current

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  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Preventing Corrosion Or Incrustation Of Metals (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、銅および銅系合金の腐蝕抑制処理をする方法
に関する。
銅および銅系合金を腐蝕抑制するための腐蝕抑制剤とし
て最近はペンゾトリアゾール(以下BTAと略記する)
が使用されることが多く、これは周知の事柄であり、そ
の防蝕機構や効果についても幾多の文献に紹介されてお
り、銅系金属製品に対して広範囲に実用されている。
BTAは、化学名1,2,3−ペンゾトリアゾール、分
子量119.12の白色針状結晶の物質で、融点95〜
99℃を示し、表1の如き弱い蒸気圧を有し、水、アル
コールおよび有機溶剤に溶解する。
表1 温度’C 30 70 100 110 1
20 130 140蒸気圧mm/ HP O.04
0.07 0.1 0.16 0.32 0.58
0.97従来BTAを適用する方法は、BTAの0.0
5〜0.5%を含む溶媒を使用し、目的対象物によって
、浸漬、スプレー、ワイプ等の方法でBTA溶液を塗布
して防蝕性皮膜を形成せしめる。
これに使用される溶媒も目的対象物によって選定される
が、水、アルコール類、塩素化炭化水素類、グリコール
類、ケトン類、炭化水素類等其他の有機溶剤が使用され
る。
なお特に耐蝕性のよい皮膜を形成するときには、1〜1
0%の水溶液中で60〜80℃に加熱処理することもあ
る。
あるいはBTA0.0 1〜5 V/rr?を紙に含浸
した加工紙で銅系金属製品を包装して、包装体の内部に
BTAの蒸気によって醸成される雰囲気で腐蝕抑制する
ことも行なわれている。
ただしこの場合には、金属表面に抑制的皮膜を形成する
ためには相当長期間を要するようで、通常の包装期間内
では、銅製品を包装外に取り出して大気に曝露すると腐
蝕を受ける。
本発明の方法は、BTAの蒸気圧に依存するもので、B
TAと一般式R−OHI:Rは炭素数1〜3の鎖状炭化
水素部分を表わす〕で示すアルコールとが共存する気相
中で、銅および銅系合金の表面に腐蝕抑制皮膜を形成す
るものである。
本発明の方法により形成された皮膜は、BTA溶液を塗
布して形成される皮膜と何ら変らない耐蝕性を有してい
る。
BTAを塗布する方法では、溶媒の気散、乾燥を行なう
ための手数や時間を必要とし、それに使用される溶媒に
よっては工場内の空気を汚染し、毒性が作業者に与える
保健上の問題となることもある。
また、長尺曲管の内部を腐蝕抑制処理するときには、処
理後溶媒を完全に外部に排出することが困難であって、
そのため未排出の溶媒が管内にいつまでも残存して好ま
しくない。
本発明の気相処理による方法では、BTAとアルコール
の比較的稀薄な気相で単時間に処理するもので、事後の
乾燥を必要とせず、溶媒が管内に残存する不都合も生じ
ない。
即ち、BTA結晶体に対し重量比で5〜15多のアルコ
ール(例えばメタノール、エタノール、イソプロパノー
ル)を添加して液状を呈するまで加熱する。
このときの温度は70〜80℃を示す程度のアルコール
量が適当である。
このような組成のBTAを加熱しうる長方形の開閉でき
る蓋のある密閉容器の低部に入れ、BTAの気化ガスが
均一に接触しうるような上部の位置に銅系金属製品を設
置して、低部のBTAを加熱によりBTAが均一な液状
を呈する点よりさらに温度を上昇させると、BTAとア
ルコールの気化が加速される。
このような状態で外部より空気を流入し、空気の流れが
先ずBTA溶融体の界面と接し、上部の処理室を通って
蓋に設けられた排気口より外部に排出するならば、BT
Aとアルコールの気化ガスは銅系金属製品の表面に腐蝕
抑制皮膜を短時間に形成する。
このときの加熱温度は90℃±5℃で、処理時間は3〜
15分、空気の流量は処理室の容積、対象物の形状に支
配されるが0.5〜1 0 1/min7’tが適当で
ある。
アルコールとしては、メタノール、エタノール、イソプ
ロパノールが使用される。
なおアルコール類以外の溶媒として水、塩素化系炭化水
素等も使′用することが出来るが、BTAのキャリャー
としての効果はアルコールに劣る。
BTA単独で同様な処理方法で実施した場合、融点以上
に温度を上げないと気化量が僅少であり、温度を高くし
てBTAを昇華吸着しても皮膜形戒に到らず、勿論耐蝕
性がない。
上記方法で処理した試験片をSO2ガス、50晒の雰囲
気中に曝露して、耐蝕性について未処理のものおよびB
TA溶液を塗布したものと比較した結果、BTA溶液を
塗布処理した試験片と変らない耐蝕性を有した。
以下その実施例を記す。註 IPA(イングロビルアル
コー)L/)M e O H (メタノール) EtO
H(エタノール)クロロ七ン(1,1,1−トリクロル
エタン)腐蝕試験 SO2ガス雰囲気、濃度50PF時
間4Hr 結果表示 ◎完全、01部腐蝕、△効果あり、×効果な
し。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 85〜95重量多のペンゾトリアゾールと15〜5
    重量係の一般式R−OH[Rは炭素数1〜3の鎖状炭化
    水素部分を表わす〕で示すキャリャー用アルコールとの
    混合物を入れた容器を90±5℃に加熱して気化させる
    とともに、その容器に空気を流入させてその気化を加速
    させることにより生じたペンゾトリアゾールとキャリャ
    ー用アルコールとが共存する気相中で銅および銅系合金
    の表面に腐蝕抑制皮膜を形成せしめることを特徴とする
    銅および銅系合金の大気腐蝕に対する腐蝕抑制方法。
JP50088852A 1975-07-22 1975-07-22 ドウ オヨビ ドウケイゴウキンノ フシヨクヨクセイホウホウ Expired JPS5836061B2 (ja)

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JPS5212636A JPS5212636A (en) 1977-01-31
JPS5836061B2 true JPS5836061B2 (ja) 1983-08-06

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US7144802B2 (en) * 2003-04-01 2006-12-05 Texas Instruments Incorporated Vapor deposition of benzotriazole (BTA) for protecting copper interconnects

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JPS5212636A (en) 1977-01-31

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