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JPS5841599B2 - Mis電界効果トランジスタを用いたマトリクス回路 - Google Patents
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JPS5841599B2 - Mis電界効果トランジスタを用いたマトリクス回路 - Google Patents

Mis電界効果トランジスタを用いたマトリクス回路

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Publication number
JPS5841599B2
JPS5841599B2 JP54083651A JP8365179A JPS5841599B2 JP S5841599 B2 JPS5841599 B2 JP S5841599B2 JP 54083651 A JP54083651 A JP 54083651A JP 8365179 A JP8365179 A JP 8365179A JP S5841599 B2 JPS5841599 B2 JP S5841599B2
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JP
Japan
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circuit
field effect
current
mis field
effect transistors
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JP54083651A
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JPS5611679A (en
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信明 家田
正文 谷本
正人 和田
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NTT Inc
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/26Sensing or reading circuits; Data output circuits
    • G11C16/28Sensing or reading circuits; Data output circuits using differential sensing or reference cells, e.g. dummy cells

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  • Read Only Memory (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、複数nXm個の単位回路M182M1□・・
・Mlm;M212M22・・・M2m:・・・;Mn
12Mo2・・・Mnmを具備し、この場合単位回路M
ij(但しi=1.2・n ; j = 1.2”・m
)がMIS電界効果トランジスタを以って構成された電
流制御回路とこれを通じて所要の電流の供給される様に
なされた電流応動回路との直列回路でなり、一方単位回
路M10、M21・・・M、1; Ml、、M21・・
Mn2 :・・・:M1rn1M2rr1・・・Mnf
f1 の直列回路の一端が夫々第1の共通列線Al :
A2 ;・・・:Amに、他端が夫々第2の共通列線
B1: B2:・・・Bmに接続さへ而して第1及び第
2の共通列線A・及びB・が選択され且単位回路Mi1
、Mi2・・・Mimの電流制御回路のMIS電界効果
トランジスタが制御されることにより、単位回路M・・
の電流応動回路に所要の電流を供給する様になされたM
IS電界効果トランジスタを用いたマトリクス回路の改
良に関する。
斯種MIS電界効果トランジスタを用いたマトリクス回
路は、その単位回路Mijの電流応動回路を多結晶シリ
コンでなる通電されることにより高抵抗状態から低抵抗
状態に非可逆的に変化する性質を有する抵抗素子、通電
されることにより非溶断状態から溶断状態に非可逆的に
変化する性質を有するヒユーズ、通電されることにより
内部接合が破壊されて非短絡状態から短絡状態に非可逆
的に変化する性質を有するダイオード等とすることによ
り、単位回路Mijを読出専用記憶素子とせる読出専用
記憶回路となるものであるが、従来の斯種MIS電界効
果トランジスタを用いたマトリクス回路は、第1図に示
す如く、複数nXm個の単位回路M1□、M1□・・・
Mlm;M27、M2□・・・M2m;・・・;M
M ・・・M を具備し、この場合単位回路Mij(
但しi = 1.2−n;j=1.2”m)が、第2図
に示す如く1つのMIS電界電界効果トランジスタデっ
て構成された電流制御回路りとこれを通じて所要の電流
が供給されるべくMTS電界効果トランジスタQと直列
関係に接続された電流応動回路Hとの直列回路Fでなり
、而して単位回路M11、M21・”Mn1: M12
、M22・・・Mn2;・・・;M1m1M2m・・・
Mnm の直列回路Fの一端即ち例えば電流制御回路り
の電流応動回路H側とは反対側が夫々第1の共通列線A
I : A2 :・・・Amに、他端即ち電流応動回路
Hの電流制御回路り側とは反対側が夫々第2の共通列線
B、:B2;・・・;Bmに接続され、又単位回路Mi
1、Mi2・・・Mimの電制間回路りの電界効果トラ
ンジスタQのゲートが共通行線Wiに接続されてなる構
成を有するを普通としていた。
所で斯る従来のMIS電界効果トランジスタを用いたマ
トリクス回路によれば、その第1及び第2の共通列線A
・及びB・を選択して両者間に所要の電源(図示せず)
を接続し且共通行線Wiを選択してそれに所要の制御電
圧を与えることにより、単位回路M・・の電流制御回路
りのMIS電界電界効果トランジスタデンとなって電流
応動回路Hに所要の電流が流れ、従ってその電流応動回
路Hがそれが前述せる抵抗素子である場合低抵抗状態に
、前述せるヒユーズである場合溶断状態に、前述せるダ
イオードである場合短絡状態になる態様を以って、単位
回路Mijに情報が書込まれたこととなり、依って単位
回路Mijを読出専用記憶素子とせる読出専用記憶回路
となるものであるが、この場合単位回路Mijの電流回
路りのMIS電界電界効果トランジスタデ一般的にみて
、第3図に示す如く例えばP型の半導体基板1内にその
主面2側より半導体基板1とは逆の導電型即ちN型を有
するソース又はドレインとしての2つの半導体領域3及
び4がそれ等間にチャンネル領域5を形成すべく形成さ
れ、又チャンネル領域5上に絶縁層6を介してゲートと
しての電極Tが配されてなる構成を以って構成され、又
単位回路Mi1、Mi2・・・MimのMIS電界電界
効果トランジスタデートとしての電極7は一般的に第3
図に示す如く共通行線Wiとしての直線状に延長せる導
電性層8の一部となるべく直列関係に連結されたものと
なるものである。
この為全共通行線Wiとしての導電性層8の抵抗R1こ
れに附随する容量をCとするとき、共通行線WiがRC
/2で近似される時定数を有し、依って共通行線Wiを
選択してそれに所要の制御電圧を与えることにより単位
回路Mijの電流制御回路りのMIS電界電界効果トラ
ンジスタデンとなる、その動作に遅延を伴い、特にその
遅延は、電流応動回路Hに所要とされる電流の値が大で
ある場合、これに応じてMIS電界電界効果トランジス
タデャンネル領域5の幅Tを大とするを要することより
して共通行線Wiとしての導電性層8の長さが大となり
、これに伴い抵抗R及び容量Cが大となるので無視し得
なくなるものである。
依って本発明は上述せる従来のMIS電界効果トランジ
スタを用いたマトリクス回路を基礎とするも、上述せる
動作の遅延を低減し得、更には全体を半導体基板上に所
謂モノリシックに小型密実に構成し得る新規なMIS電
界効果トランジスタを用いたマトリクス回路を提案せん
とするもので、以下詳述する所より明らかとなるであろ
う。
第4図は本発明によるMIS電界効果トランジスタを用
いたマトリクス回路の一例を示し、第1図との対応部分
には同一符号を附して詳細説明はこれを省略するも、第
1図にて上述せる構成に於てその単位回路M・・の電流
制御回路りが1つのMIS電界電界効果トランジスタデ
るに代え、第5図に示す如く並列関係に接続せる同じチ
ャンネル型の第1及び第2のMIS電界効果トランジス
タQ1及びQ2を含んで構成され、之に応じて単位回路
Mi□、Mi2、・・・Mimの電流制御回路りのMI
S電界電界効果トランジスタ及1Q2のゲニトが夫々同
じ制御信号が与えられる第1及び第2の共通行線W1・
及びW21に接続されてなることを除いては第1図の場
合と同様の構成を有する。
以上が本発明によるMIS電界効果トランジスタを用い
たマトリクス回路の一例構成であるが、斯る構成によれ
ば、その第1及び第2の共通列線A・及びBjを選択し
て両者間に所要の電源(図示せず)を接続し且第1及び
第2の共通行線W1i及びW2iを選択してそれ等に同
時的に所要の制御電圧を与えれば、単位回路Mijの電
流制御回路りのMIS電界電界効果トランジスタ及1Q
2が共にオンとなることにより電流応動回路Hに所要の
電流を流すことが出来、従って第1図にて上述せる従来
のマl−IJクス回路の場合と同様に単位回路Mijに
情報が書込まれたこととなって単位回路Mijを読出専
用記憶素子とせる読出専用記憶回路となるものであるが
、この場合単位回路Mijの電流制御回路りが2つのM
IS電界電界効果トランジスタ及1Q2を以って構成さ
れ、而してそれ等MIS電界効果トランジスタQ1及び
Q2は、一般的にみて、第6図に示す如き例えばP型の
半導体基板11内にその主面12側より半導体基板11
とは逆の導電型即ちN型のソース又はドレインとして3
つの半導体領域13,14及び15が、半導体領域13
及び14間、及び14及び15間に夫々チャンネル領域
16、及び17を形成すべく形成され、又チャンネル領
域16及び1T上に夫々絶縁層18及び19を介してゲ
ートとしての2つの電極20及び21が配されてなる構
成を以ってMIS電界電界効果トランジスタ及1導体領
域13及び14、チャンネル領域16、絶縁層18及び
電極20を含んで構成されたものとして、又MIS電界
効果トランジスタQ2が半導体領域14及び15、チャ
ンネル領域17、絶縁層19及び電極21を含んで構成
されたものとして構成され得、又単位回路Mi1、Mi
2−・・MimのMIS電界電界効果トランジスタ及1
−トとしての電極20は一般的に第6図に示す如く共通
行線W11としての直線状に延長せる導電性層22の一
部となるべく直列関係に連結されたものとし得、又単位
回路Mi1、Mi2・・・MimのMIS電界効果トラ
ンジスタQ2のゲートとしての電極21も同様に共通行
線W21としての直線状に延長せる導電性層23の一部
となるべく直列関係に連結されたものとし得るものであ
る。
この為単位回路Mijの電流応動回路Hに第1図の場合
と同じ値の電流を供給するものとした場合、単位回路M
ijのMIS電界電界効果トランジスタ及1Q2のチャ
ンネル領域16及び17の幅T′を第1図の単位回路M
ijのMIS電界電界効果トランジスタナャンネル5の
幅Tの1/2とし得ることにより、共通行線W1・及び
W2iとしての導電■ 他層20及び21の夫々の抵抗をR1′、これ等の夫々
に附随する容量をC′とするとき、それ等抵抗R′及び
容量C′がそれぞれ第1図の場合の共通行線Wiの抵抗
R及び容量Cの1/2に近い値となり得、従って共通行
線W1i及びW2iのR′C7/2で近似される時定数
が第1図の場合の共通行線Wiの時定数RC/2の1/
4に近い値となり得るものである。
依って共通行線W1・及びW2iを選択してそれに所要
の制御電圧を与えることにより単位回路Mij の電流
制御回路りのMIS電界電界効果トランジスタ及1Q2
がオンとなる、その動作に遅延を伴うとしても、その遅
延は第1図の場合の単位回路Mijの電流制御回路りの
MIS電界電界効果トランジスタナンとなる、その動作
の遅延の1/4に近いものとなり得るものである。
従って上述せる本発明によるマトリクス回路の一例構成
によれば、第1図にて上述せる従来のマトリクス回路の
場合に比し高い応動速度を以って電流応動回路Hを応動
せしめ得ることとなるものである。
又単位回路Mijの電流制御回路りの2つ(7)MIS
電界電界効果トランジスタ及1Q2を第6図に示す如く
、MIS電界電界効果トランジスタ及1−ス又はドレイ
ンとMIS電界効果トランジスタQ2のソース又はドレ
インとをそれ等に共通な領域14を以って構成するもの
とした場合、電流制御回路りのチャンネル16及び17
の幅方向と直角方向に延長せる長さが第1図の場合の同
様の長さに比し犬となるも、2つのMIS電界電界効果
トランジスタ及1Q2のチャンネル16及び17の幅T
′を第1図の場合のMIS電界電界効果トランジスタナ
ャンネル5の幅Tの1/2とし得るので、電流制御回路
りの半導体基板に占める面積を第1図の場合の3/4に
逓減せしめ得、従って全体を半導体基板上に所謂モノリ
シックに第1図の場合に比し格段的に小型密実に構成し
得る等の大なる特徴を有するものである。
また、単位回路Mijの電流制御回路りの2つのMIS
電界電界効果トランジスタ及1Q2が同じチャンネル型
を有するので、その電流制御回路りを簡易、小型に構成
することができると共に、共通行線W1・及びW2iに
与える制御信号が同じでよい、などの特徴も有するもの
である。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のMIS電界効果トランジスタを用いたマ
トリクス回路を示す系統的接続図、第2図はその単位回
路を示す接続図、第3図A及びBは第2図に示す単位回
路に於けるMIS電界効果トランジスタの一般的な構成
を示す路線的平面図及びその断面図、第4図は本発明に
よるMIS電界効果トランジスタを用いたマトリクス回
路の一例を示す系統的接続図、第5図はその単位回路の
一例を示す接続図、第6図A及びBは第5図に示す単位
回路に於ける2つのMIS電界効果トランジスタの一般
的な構成を示す路線的平面図及びその断面図である。 図中、Mij(但しi=1 、2・”n ; j= 1
、2・・・m)it単位回路、A・及びB・は共通列
線、WilWll及びW2iは共通行線、Fは直列回路
、Dは電流制御回路、Hは電流応動回路、Q、Ql及び
Q2は電界効果トランジスタを夫々示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 複数n x m個の単位回路M18. M12・M
    lm :M212M22・・・M2m;・・・;Mn1
    Mn2・・・Mnmを具備し、 上記単位回路M・・(但しi=1.2・・・n:j=1
    .2・・・m)がMIS電界効果トランジスタを以って
    構成された電流制御回路と、これを通じて所要の電流の
    供給される様になされた電流応動回路との直列回路でな
    り、 上記単位回路M119M21・・・Mn1;M122M
    22・・・Mn2:M1m2M2m・・・Mnm の直
    列回路の一端が夫々第1の共通列線A1:A2・・・A
    □に、他端が夫夫第2の共通列線B1:B2・・・;B
    mに接続され、上記第1及び第2の共通列線Aj及びB
    jが選択され、且つ上記単位回路MittMi2・・・
    Mimの電流制御回路のMIS電界効果トランジスタが
    制御されることにより、上記単位回路Mijの電流応動
    回路に所要の電流を供給する様になされたMIS電界効
    果トランジスタを用いたマトリクス回路に於て、 上記単位回路M・・の電流制御回路が、並列関係に接続
    せる同じチャンネル型の第1及び第2のMIS電界効果
    トランジスタを含んで構成され、上記単位回路Mi19
    Mi2・・・Mimの電流制御回路の第1及び第2のM
    IS電界効果トランジスタのゲートが、夫々同じ制御信
    号が与えられる第1及び第2の共通行線W1 、及びW
    2.に接続され、上記単位回路Mi12Mi2・・・M
    imの電流制御回路の第1及び第2のMIS電界効果ト
    ランジスタが、上記第1及び第2の共通行線W1 、及
    びW2゜に与えられる同じ制御信号によって、同時に制
    御されて、上記単位回路M・・の電流応動回路に、所要
    の電流が供給される様になされた事を特徴とするMIS
    電界効果トランジスタを用いたマトリクス回路。
JP54083651A 1979-07-02 1979-07-02 Mis電界効果トランジスタを用いたマトリクス回路 Expired JPS5841599B2 (ja)

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