JPS5842937B2 - 電子顕微鏡およびその類似装置の非点補正装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子顕微鏡およびその類似装置の非点補正装置
に係り、特に電磁レンズの固有非点収差と電子線通路な
どの汚れに起因して経時的に変化する非点収差とを独立
に補正することが可能な非点補正装置に関する。

電子顕微鏡で良好な像を得るようにするためには、使用
する電磁レンズの固有非点収差や電子線通路や絞りなど
の汚れに起因して経時的に変化する非点収差を補正する
必要がある。

電磁レンズの固有非点収差は、レンズの加工精度に大き
く左右され、非点収差を零にすることは非常に困難であ
るが、これのみに着目すれば一度補正すればよい。

汚れに起因して経時的に変化する非点収差は使用時間に
より異なり、その都度補正する必要がある。

ところで、従来の電子顕微鏡では、非点収差を電磁レン
ズの固有非点収差と経時的に変化する非点収差に区別す
ることなくこれを１つの補正手段で補正するようにした
非点補正装置を用いているので、補正量が多くなって、
補正操作が困難であり、場合によっては非点収差を逆に
大きくしてしまうことがあるという欠点があった。

本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくシ、非
点収差の補正の操作性を向上することができる電子顕微
鏡およびその類似装置の非点補正装置を提供することに
ある。

本発明の特徴は、一対の非点補正レンズの各々に固有非
点収差を補正する補正信号と経時的に変化する非点収差
を補正する補正信号とをそれぞれ独立に供給するように
した点にある。

図は本発明の非点補正装置の一実施例を示すブロック図
である。

図において、１は数＋ＫＶ〜数百ＫＶに加速された電子
線で、電子線１は電磁レンズ２によって電子線径ａを目
的に応じて縮少または拡大される。

３ａ 、３ｂは本発明の装置のそれぞれ４極のコイルか
らなるＸ方向、Ｙ方向非点補正レンズで、第１のＸ方向
非点補正信号設定器４ａ１Ｙ方向非点補正信号設定器４
ｂで設定された補正電流信号と第２のＸ方向非点補正信
号設定器５ａ４Ｙ方向非点補正信号設定器５ｂで設定さ
れた補正電流信号とがそれぞれ加算されて、これらの補
正信号がそれぞれ加速電圧補正回路５ａ。

６ｂを通った後電流増幅器７ａ、７ｂで増幅されてＸ方
向、Ｙ方向非点補正レンズ３ａ、３ｂに給電される。

加速電圧補正回路６ａ、６ｂは、非点補正レンズ３ａ、
３ｂに流れる補正電流信号ｉを電子線１の加速電圧に対
応させて切換えるためのものであり、非点補正信号設定
器４ａ 、４ｂは電磁レンズ２の固有非点収差を補正す
る電流を設定するもので、非点補正信号設定器５ａ、５
ｂは電子線通路および絞りなどの汚れに起因して経時的
に変化する非点収差を補正する補正電流信号を設定する
もので、非点補正信号設定器５ａ 、５ｂは操作パネル
８に組み込まれている。

９は電磁レンズ２の焦点を変えるためのレンズ電源であ
る。

１０はスポットで、電子線１が電磁レンズ２を通過して
得られるが、一般には非点収差のため真円となっておら
ず、ａ′Ｎｂ′となっているが、本発明の実施例によれ
ば、その原因が電磁レンズ２の固有非点収差によるもの
であるときは、第１の非点補正信号設定器４ａ 、４ｂ
を用いて非点補正レンズ３ａ、３ｂに非点補正電流信号
ｉを流してにｂ′となるように補正することができる。

なお、電磁レンズ２の固有非点収差は固定的なものであ
るから、一度非点補正４ａ、４ｂをセットしたら、通常
、その後再調整する必要はない。

その後、長時間電子顕微鏡を使用したときに、ｒ）ｂ’
となったとすれば、それは電子線通路などの汚れに起因
して経時的に変化する非点収差が原因であるから、その
ときは、第２の非点補正信号設定器５ａ、５ｂを用いて
固有非点収差補正とは別個に独立に非点補正を行うこと
ができる。

したがって、電子線通路などが汚せんしないときは、第
２の非点補正５ａ、５ｂの操作が不要となり、固有非点
収差の補正はあらかじめ第１の非点補正信号設定器４ａ
、４ｂで行っであるから、伺ら操作を必要としない。

また、電子線通路などの汚せんにより非点収差が生じた
ときは、それのみを第２の非点補正信号設定器５ａ 、
５ｂを用いて補正すればよく、量的にわずかな補正で済
み、操作は簡単で、誤って非点収差を大きくするような
ことはめったに起らない。

要するに、非点収差の補正の操作性を向上することがで
きる。

なお、図に示す実施例には、加速電圧補正回路５ａ、５
ｂが設けであるが、加速電圧が一定の場合はこれを省略
することができる。

また、電磁レンズが１個となっているが、複数個の場合
は、それに合せて本発明の非点補正装置を増せばよい。

以上説明したように、本発明によれば、非点収差の補正
の操作性を向上できるという顕著な効果がある。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の非点補正装置の一実施例を示すブロック図
である。 １・・・・・・電子線、２・・・・・・電磁レンズ、３
ａ、３ｂ・・・・・・非点補正レンズ、４ａ、４ｂ・・
・・・・第１の非点補正信号設定器、５ａ、５ｂ・・・
・・・第２の非点補正信号設定器、６ａ、６ｂ・・・・
・・加速電圧補正回路、７ａ、７ｂ・・・・・・電流増
幅器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 電子線が通る軸の周りに配置された一対の非点補正
   レンズの各々に固有非点収差を補正する補正信号と経時
   的に変化する非点収差を補正する補正信号を独立して供
   給するように構成した電子顕微鏡およびその類似装置の
   非点補正装置。 ２ 電子線が通る軸の周りに配置された一対の非点補正
   レンズの各々に固有非点収差を補正する信号と経時的に
   変化する非点収差を補正する補正信号を独立に供給する
   ように構成し、かつ前記固有非点収差を補正する補正信
   号を前記電子線の加速電圧に応じて変えるように構成し
   た電子顕微鏡およびその類似装置の非点補正装置。