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JPS5845195B2 - Diode laser emission wavelength control method - Google Patents
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JPS5845195B2 - Diode laser emission wavelength control method - Google Patents

Diode laser emission wavelength control method

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JPS5845195B2
JPS5845195B2 JP54171070A JP17107079A JPS5845195B2 JP S5845195 B2 JPS5845195 B2 JP S5845195B2 JP 54171070 A JP54171070 A JP 54171070A JP 17107079 A JP17107079 A JP 17107079A JP S5845195 B2 JPS5845195 B2 JP S5845195B2
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emission wavelength
diode laser
diode
laser
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JP54171070A
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宏爾 篠原
興一 松浦
一郎 鶴見
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Fujitsu Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/06Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
    • H01S5/068Stabilisation of laser output parameters
    • H01S5/0683Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
    • H01S5/0687Stabilising the frequency of the laser

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は赤外線によるガス分析装置、とくに波長可変型
ダイオードレーザを光源とするガス分析装置における波
長可変範囲を一定に制御する方式%式% 赤外線によるガス分析装置は光源としてレーザダイオー
ドを用い、外部からダイオード電流を制御することによ
って発光波長を変化させ、赤外線波長に対応した被測定
ガス中での赤外線吸収スペクトルを測定し、そのスペク
トルの吸収ピークの波長および絶対値を測定してガス分
析を行うようなものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention provides a method for controlling the wavelength variable range to a constant level in an infrared ray gas analyzer, particularly a gas analyzer using a wavelength tunable diode laser as a light source. Using a laser diode, change the emission wavelength by externally controlling the diode current, measure the infrared absorption spectrum in the gas under test that corresponds to the infrared wavelength, and measure the wavelength and absolute value of the absorption peak of that spectrum. It is similar to performing gas analysis using

しかし、前記レーザダイオードに印加する外部電流供給
源の変動および外部温度等の変動要因によってレーザダ
イオードからの発光波長範囲が変動し、ひいては正確な
ガス分析を実行することができなかった。
However, the wavelength range of light emitted from the laser diode fluctuates due to fluctuations in the external current supply source applied to the laser diode, external temperature, and other fluctuation factors, making it impossible to perform accurate gas analysis.

本発明は上記欠点を除去するもので、レーザダイオード
の発振波長範囲を一定Qこ制御するための調整サイクル
におけるダイオード電流波形と分光分析時の波長走査に
用いる測定サイクルにおけるダイオード電流波形とを同
一の鋸歯状波形を用い、電流変化(こ対する光波長変化
の追従特性を一定に保ち高精度の分光分析を安定に維持
するようにしたものであって、走査すべき特定のレーザ
光の波長範囲において、レーザダイオードからの発光出
力をレーザ発光波長検出装置に導入し、該検出装置によ
って検出された検出信号を、基準波長信号すなわち基準
波長特性を記憶した制御装置に導入し、該制御装置で、
前記検出波長信号と、あらかじめ記憶していた基準波長
信号との偏差を検出し、該偏差信号にもとづいてダイオ
ード電流調節器を制御し、該電流調節器により制御され
た電流をし−ザダイオードに供給してダイオード電流の
変化範囲を一定に制御するとともにレーザ発光波長範囲
を一定Oこ保持するようにしたものである。
The present invention eliminates the above-mentioned drawbacks by making the diode current waveform in the adjustment cycle for controlling the oscillation wavelength range of the laser diode at a constant Q and the diode current waveform in the measurement cycle used for wavelength scanning during spectroscopic analysis to be the same. It uses a sawtooth waveform to maintain a constant tracking characteristic of current changes (in contrast to changes in light wavelength) and to maintain stable high-precision spectroscopic analysis within a specific wavelength range of the laser beam to be scanned. , the light emission output from the laser diode is introduced into a laser emission wavelength detection device, the detection signal detected by the detection device is introduced into a control device that stores a reference wavelength signal, that is, a reference wavelength characteristic, and the control device,
A deviation between the detected wavelength signal and a reference wavelength signal stored in advance is detected, a diode current regulator is controlled based on the deviation signal, and the current controlled by the current regulator is applied to the diode. By supplying the diode current, the variation range of the diode current is controlled to be constant, and the laser emission wavelength range is kept constant.

以下図面を参照しながら本発明の実施例について説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

なお各説明図において同一機能部分には同一符号を付し
て説明する。
In each explanatory diagram, the same functional parts are given the same reference numerals and explained.

第1図は本発明のダイオードレーザの発光波長制御装置
の構成図で、レーザダイオードA、レーザ発振波長検出
装置B、制御装置Cおよび電流調節器りから構成されて
いる。
FIG. 1 is a block diagram of a diode laser emission wavelength control device according to the present invention, which is composed of a laser diode A, a laser oscillation wavelength detection device B, a control device C, and a current adjustment device.

このような構成において、ダイオードAより放射された
レーザ光はビームスブリック25によりその大部分の光
26を汚染物質を含むガスの分光測定光源として発射し
、一部の光27を後で詳細説明する波長検出装置Bへ入
射する。
In such a configuration, the laser beam emitted from the diode A emits most of the light 26 through the beam subrick 25 as a light source for spectroscopic measurement of gas containing contaminants, and a part of the light 27 will be explained in detail later. The light is incident on the wavelength detection device B.

この波長検出装置Bより出力される差動出力電圧を制御
装置Cを通じてダイオード電流調節器りに帰還し、この
調節器りによってレーザダイオードの発光波長を所要の
走査範囲に制御するダイオード電流を出力し、前記ダイ
オードAに供給する。
The differential output voltage output from this wavelength detection device B is fed back to the diode current regulator through the control device C, and this regulator outputs a diode current that controls the emission wavelength of the laser diode within the required scanning range. , is supplied to the diode A.

次Oこ第2図および第3図a〜第3図Cを用いて上記レ
ーザ発振波長検出装置について説明する。
Next, the above laser oscillation wavelength detection device will be explained using FIG. 2 and FIGS. 3A to 3C.

第2図において27はレーザダイオードAから放射され
る光の1部を分岐して取り出した光ビームである。
In FIG. 2, 27 is a light beam obtained by branching a part of the light emitted from the laser diode A.

2は外部よりの迷光を除去するための帯域通過型のp波
器で、該沖波器2を通過した光ビーム3は光スプリッタ
4によって適当な強度の2つの光ビーム5および6に分
けられる。
Reference numeral 2 denotes a band-pass type p-wave device for removing stray light from the outside, and a light beam 3 passing through the p-wave device 2 is split by an optical splitter 4 into two light beams 5 and 6 of appropriate intensity.

一方のビーム5は沢波器7を通過して光ビーム8となり
、光検出器9に入射する。
One beam 5 passes through a wave detector 7 to become a light beam 8 and enters a photodetector 9.

他方の光ビーム6は沢波器10を通過して光ビーム11
となり、該光ビム11はさらに可変光減衰器12を通過
して光ビーム13となり、光検出器14に入射する。
The other light beam 6 passes through the wave generator 10 and becomes the light beam 11.
The light beam 11 further passes through a variable optical attenuator 12 to become a light beam 13 and enters a photodetector 14.

光検出器9および14の出力は出力配線15,16゜1
7にとりだされる。
The outputs of photodetectors 9 and 14 are connected to output wiring 15, 16°1
It will be taken out on 7th.

15は共通配線で、16と17には2つの出力が現れる
15 is a common wiring, and two outputs appear at 16 and 17.

これらの出力は対数増幅器18によって増幅され、ライ
ン19および20の上に出力される。
These outputs are amplified by logarithmic amplifier 18 and output on lines 19 and 20.

上記説明のレーザダイオードAから発射した光の1部を
分岐して取り出した光ビーム27は第3図aに示すよう
にレーザーダイオードAのいくつかの発光モードの中か
ら選ばれた1つのモードの発光波長と発光強度とを有し
ており、この関係を曲線21に示す。
The light beam 27 that is extracted by branching a part of the light emitted from the laser diode A described above is one mode selected from several light emission modes of the laser diode A, as shown in FIG. 3a. It has an emission wavelength and an emission intensity, and this relationship is shown in a curve 21.

図において横軸は発光波長を示し、縦線は発光強度を示
す。
In the figure, the horizontal axis indicates the emission wavelength, and the vertical line indicates the emission intensity.

第3図すには一波器7および10の光波長Iこ対する透
i14 %性曲線をそれぞれ22および23で示す。
In FIG. 3, the transmission i14% curves for the optical wavelength I of the single-wavelength filters 7 and 10 are shown at 22 and 23, respectively.

このフィルタは干渉フィルタまたはエフロンを用いて実
現することができる。
This filter can be implemented using an interference filter or an Efron.

また、これらのフィルタは透過率が波長に対してほぼ直
線的に変化する波長範囲を有しており、かつ波長範囲が
亙いに交叉しており、第3図aに示す曲線21の波長範
囲と重なるように選ばれている。
In addition, these filters have a wavelength range in which the transmittance changes almost linearly with respect to wavelength, and the wavelength ranges widely intersect, so that the wavelength range of curve 21 shown in FIG. 3a is It is selected so that it overlaps with

上記説明した曲線22と23との交叉点に刻する波長を
λ。
The wavelength marked at the intersection of the curves 22 and 23 described above is λ.

とする。いまレーザ光の波長がλ。であるとき出力比の
対数が0になるように光減衰器12を調整する。
shall be. The wavelength of the laser beam is now λ. The optical attenuator 12 is adjusted so that the logarithm of the output ratio becomes 0 when .

第3図Cにはレーザ光波長と出力比を対数出力として表
した較正特性曲線24を示す。
FIG. 3C shows a calibration characteristic curve 24 in which the laser light wavelength and output ratio are expressed as logarithmic output.

図において縦軸は出力比の対数を示し、横軸1・こは光
の波長を示す。
In the figure, the vertical axis represents the logarithm of the output ratio, and the horizontal axis represents the wavelength of light.

従って出力比を測れはレーザ発光波長λ。Therefore, the output ratio to be measured is the laser emission wavelength λ.

からどれだけずれているかを知ることができる。You can see how much it deviates from.

この方法はレーザ光強度の大小の影響を受けにくく、高
い信頼性をもって光波長の偏差量を測定することができ
る。
This method is not easily affected by the magnitude of the laser light intensity and can measure the deviation amount of the light wavelength with high reliability.

次に以−Lで説明したレーザ発光波長検出方法を利用し
た本発明の方式の動作について説明する。
Next, the operation of the system of the present invention using the laser emission wavelength detection method described in section L below will be explained.

第1図において、レーザダイオードAの電流はダイオー
ド電流調節器D(こよって直接制商1される。
In FIG. 1, the current in laser diode A is directly regulated by diode current regulator D.

制御□□装置Cは第4図のプログラムにしたがってレー
ザーダイオード電流を制御するダイオード電流制御器り
へのバイアス電圧を供給するため(1)ダイオードの電
流対発光波長特性の記憶装置、(11)鋸歯状波電流発
生回路、(iii)jJL定された波長のレーザ光を発
生する時刻の読み取り回路、Gv)バイアス電圧を記憶
・保持するAD−DA変換回路、(■)以上の諸ト1路
を設定されたプログラムに応じたタイミングで制御する
逐次切換「コ1路、等公知の電子回路を組合せたものを
含んでいる。
The control device C supplies a bias voltage to a diode current controller that controls the laser diode current according to the program shown in FIG. (iii) A time reading circuit that generates a laser beam with a specified wavelength; (Gv) an AD-DA conversion circuit that stores and holds the bias voltage; It includes a combination of known electronic circuits such as a sequential switching system controlled at timings according to a set program.

すなわち第4図aはレーザダイオードAに幻する直流バ
イアス電流11?こ鋸歯状波電流28が重なった電流波
形を示す。
That is, FIG. 4a shows the DC bias current 11? appearing in the laser diode A. A current waveform in which sawtooth wave currents 28 are overlapped is shown.

いまダイオードは定常動作状態に達しているものとする
It is assumed that the diode has now reached a steady state of operation.

第4図すはダイオード電流による光波長の追従特性を示
している。
FIG. 4 shows the tracking characteristics of the optical wavelength by the diode current.

次に上記第4図aと第4図すを用いて、ダイオード電流
の調整サイクルおよび測定サイクルの動作について第1
図を参照しながら説明する。
Next, using Figure 4a and Figure 4A above, we will explain the operation of the diode current adjustment cycle and measurement cycle.
This will be explained with reference to the figures.

制御装置Cに含まれる逐次切換回路の電子スイッチによ
り任意の鋸歯状波29を選び、これを調整サイクルと呼
ぶ。
An arbitrary sawtooth wave 29 is selected by an electronic switch of a sequential switching circuit included in the control device C, and this is called an adjustment cycle.

この調整サイクル中の先行の鋸歯状波の終点の立下がり
よりptザイクルの出発時刻を1 =0として検出する
The starting time of the pt cycle is detected as 1 = 0 from the fall of the end point of the preceding sawtooth wave during this adjustment cycle.

、一方策4図すに示す赤波長のカニ下がり時間tdを経
過してからλ。
, On the other hand, λ after the fall time td of the red wavelength shown in Figure 4 has elapsed.

を与える時刻を検知しうる回路すなわち規定された波長
のレーザ光を発生ずる時刻の読みとり回路を動作させて
、この時間をパルス周波数変換して、これを計数して時
間txを知る。
A circuit capable of detecting the time when tx is given, that is, a time reading circuit that generates a laser beam of a specified wavelength, is operated, this time is converted into a pulse frequency, and the time is counted to know the time tx.

以上のようにして時間txを知ることによって、制御装
置Cに記憶されているダイオード電流対発振波長特性の
データを参照して、ダイオードの発光波長λと基準波長
λ。
By knowing the time tx as described above, the emission wavelength λ of the diode and the reference wavelength λ are determined by referring to the data of diode current vs. oscillation wavelength characteristics stored in the control device C.

との偏差を求め、ダイオードの電流を調節するためのバ
イアス量を知り、AD−DA変換回路に記憶させ、この
信号を制m11装置Cからダイオード電流制御器りへ供
給して、鋸歯状波の発光波長の最大値と最小値の中央値
が略々λ。
Find the bias amount for adjusting the diode current, store it in the AD-DA conversion circuit, and supply this signal from the control m11 device C to the diode current controller to generate the sawtooth wave. The median of the maximum and minimum emission wavelengths is approximately λ.

を与えるよう(こ、ダイオードの直流バイアス電流が■
(The diode's DC bias current is
.

に調節される。このよう(こして電流波形30へ移行す
る。
adjusted to. In this way, the current waveform 30 is obtained.

この調節サイクル29が終了すれば、電子スイッチを切
換え測定サイクル31に移行する。
When the adjustment cycle 29 is completed, the electronic switch is switched and the measurement cycle 31 begins.

その後、若干のサイクルを経過してから第4図すの32
に示されるように、汚染物質の分析測定(こ必要な波長
範囲の走査が行われる。
After that, after a few cycles, Figure 4 shows 32.
Analytical measurements of contaminants (scanning of the required wavelength range are performed) as shown in FIG.

一方波長走査範囲をλ。Meanwhile, the wavelength scanning range is λ.

ないしλ1に設定するにはλ。or λ to set it to λ1.

をうえる時刻よりλ1を与える時刻t1の間だけ測定系
を動作させるよう電子回路を設ければよい。
An electronic circuit may be provided to operate the measurement system only between the time t1 when λ1 is given and the time t1 when λ1 is given.

以Eの方式においては、調節サイクルと測定サイクルに
同じ鋸歯状波形を用いているので、ダイオード電流変化
に対する発光波長変化の追随特性をほぼ一定に保ち得る
こと、および適当な時間間隔ごとに調節サイクルへ電子
的に切換えて上述の走査波長域の調節を繰り返すことに
よって常時波長走査範囲を安定かつ高精度で維持できる
In the method described below, since the same sawtooth waveform is used for the adjustment cycle and the measurement cycle, it is possible to keep the tracking characteristic of the change in emission wavelength with respect to the change in diode current almost constant, and the adjustment cycle is performed at appropriate time intervals. By electronically switching to and repeating the above-described adjustment of the scanning wavelength range, the wavelength scanning range can be maintained stably and with high accuracy at all times.

なお以上の方法における光波長検出装置Bには2個の光
検出器が用いられているので、それらの光電感度が経年
変化することに伴って測定誤差を生ずる。
Note that since two photodetectors are used in the optical wavelength detection device B in the above method, measurement errors occur as their photoelectric sensitivities change over time.

この測定誤差をなくするためには、L述の第2図の構成
の1部を第5図に示すように改良すればよい。
In order to eliminate this measurement error, a part of the configuration shown in FIG. 2 described above may be improved as shown in FIG. 5.

第5図において、反射器33を用いて、光ビーム13を
反射して、光ビーム34とし、これを光ビーム8ととも
に同一の弄検出器9に入射させる。
In FIG. 5, a reflector 33 is used to reflect the light beam 13 into a light beam 34, which, together with the light beam 8, is incident on the same detector 9.

この検出器9の前に機械的光チョッパまたは電気的光シ
ャック35および36を光ビーム8および光ビーム34
が通遷するように配置して、各ビームを交Tiに断続す
ることによって、それぞれ電気的パルス出力として分離
検出し、さらOこ出力比の対数に変換する。
In front of this detector 9 a mechanical light chopper or an electrical light shack 35 and 36 are installed for the light beam 8 and the light beam 34.
By discontinuing each beam in an alternating manner, each beam is separately detected as an electrical pulse output, and further converted into a logarithm of the output ratio.

以後は第2図について説明したと同様の方法でレーザダ
イオードの発光波長を制御できることは明らかである。
From now on, it is clear that the emission wavelength of the laser diode can be controlled in the same manner as explained with reference to FIG.

この方法を用いれば、光検出器の光電特性の経年変化が
波長検出の精度に及ぼす影響を著しく軽減できる。
Using this method, it is possible to significantly reduce the influence of aging of the photoelectric characteristics of the photodetector on the accuracy of wavelength detection.

以上の方法により、電源の変動、ダイオードの発光特性
の経年変化、その他の原因などによるレーザ光波長の変
動は絶えず補正され、レーザダイオードを制御して基準
の波長より所要範囲に白1つて連続可変波長のレーザ光
を繰り返して安定に放射させ、大気汚染物質の即時的か
つ広域の分光分析を行うことができる。
Through the above method, fluctuations in the laser light wavelength due to power supply fluctuations, secular changes in the diode's light emitting characteristics, and other causes are constantly corrected, and the laser diode is controlled to continuously vary the white light within the required range from the reference wavelength. By repeating and stably emitting laser light of the same wavelength, it is possible to perform instant and wide-area spectroscopic analysis of air pollutants.

この方法によって得られる制御特性は機械的振動に対し
て鈍感であり、実用上安定した動作を得ることができる
The control characteristics obtained by this method are insensitive to mechanical vibrations and can provide practically stable operation.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明のダイオードレーザの発光波長変化41
裟置の構成図、第2図はレーザ発光波長検出装置の詳細
説明図、第3図a〜第3図Cはダイオードレーザ光の検
出手順を説明する図、第4図a〜第4図すはダイオード
電流と発光波長の制御プロセス説明図、第5図はレーザ
発光波長検出装置の別の構成を説明する図である。 Aニレ−廿ダイオード、B:レーザ発光波長検出装置、
C:制御装置、D:ダイオード電流調節器、2,10,
7:フィルタ、4,25:ビーl、スプリッタ、9,1
4:検出器、18二対数増幅器、33:反射器、35.
36:光シャック。
Figure 1 shows the change in emission wavelength of the diode laser of the present invention 41
Figure 2 is a detailed explanatory diagram of the laser emission wavelength detection device, Figures 3a to 3C are diagrams explaining the procedure for detecting diode laser light, and Figures 4a to 4 5 is a diagram illustrating the process of controlling the diode current and emission wavelength, and FIG. 5 is a diagram illustrating another configuration of the laser emission wavelength detection device. A: Elm diode, B: laser emission wavelength detection device,
C: Control device, D: Diode current regulator, 2, 10,
7: filter, 4, 25: beer, splitter, 9, 1
4: Detector, 18 dilogarithmic amplifier, 33: Reflector, 35.
36: Hikari Shack.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 波長可変型ダイオードレーザを光源とし、所定の範
囲にわたって発光波長を走査するよう前記ダイオードレ
ーザに波長制御のための電流調節器を接続する一方、該
ダイオードレーザの発光出力を検知してその波長を識別
する発光波長検出装置を設け、前記電流調節器からあら
かじめ定められた波形で変化する駆動電流をダイオード
レーザに供給して発光波長を変化させながら前記発光波
長検出装置からの出力信号により当該発光波長が上記走
査範囲内の所定の波長に達した時点を検知し、その時の
ダイオードレーザに対する駆動電流値を規準として波長
走査のための電流を調節することにより波長変化範囲を
一定に維持するようにしたことを特徴とするダイオード
レーザの発光波長制御方式。
1 A wavelength tunable diode laser is used as a light source, and a current regulator for wavelength control is connected to the diode laser so as to scan the emission wavelength over a predetermined range, while the emission output of the diode laser is detected and the wavelength is adjusted. An emission wavelength detection device for identifying the emission wavelength is provided, and while changing the emission wavelength by supplying a drive current that changes with a predetermined waveform from the current regulator to the diode laser, the emission wavelength is detected by an output signal from the emission wavelength detection device. The wavelength change range is maintained constant by detecting the point in time when the wavelength reaches a predetermined wavelength within the scanning range, and adjusting the current for wavelength scanning based on the driving current value for the diode laser at that time. A diode laser emission wavelength control method characterized by the following.
JP54171070A 1979-12-26 1979-12-26 Diode laser emission wavelength control method Expired JPS5845195B2 (en)

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