JPS5853506B2 - ダイサ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体ウェハをダイシングするダイサ装置に
関するものである。

従来のダイサ装置には、第１図および第２図に示すもの
と、第３図および第４図に示すものとがある。

前者はウェハテーブル２上に載せたウェハ１のストリー
ト６をダイシングするダイシングブレード９と、そのダ
イシングブレード９のダイシングライン８の検出および
ウェハ１のストリート６の検出を行う検出系の顕微鏡３
と、その検出顕微鏡３の微動調節を微動テーブル（図示
せず）を介して行う微動ネジ１０と、ウェハテーブル２
を検出位置１１からダイシング位置７までの間往復移送
させる移送機構（図示せず）とを備えたものであって、
まず検出顕微鏡３の検出視野４内の合わせライン５にダ
イシングするストリート６をウェハテーブル２を動かし
て合わせ、次にウェハ１をウェハテーブル２を介して検
出位置１１からダイシング位置７に移送し、このダイシ
ング位置７においてダイシングしてウェハ１を検出位置
１１に戻し、以下上述の操作を繰返してウェハ１のダイ
シングを行う。

ここで、検出視野４内の合わせライン５は予めダイシン
グライン８に合わせである。

この合わせ作業は、摩耗したダイシングブレード９を新
しいものに交換した時に、新しいダイシングブレード９
でテストカットし、そのテストカットされたダイシング
ライン８を検出顕微鏡３で検出しながら微動ネジ１０に
より検出視野４内の合わせライン５を新たなダイシング
ラインに合わせて行っている。

また、後者は前者（ダイシングブレード９と検出顕微鏡
３とをダイシングライン８と合わせライン５とが一直線
になるように配置したものである。

）と比べて基本的な構成が略同−であり、ただダイシン
グブレード９と検出顕微鏡３とをダイシングライン８と
合わせライン５とが平行になるように配置し、該ダイシ
ングライン８と合わせライン５との間の距離Ｆ（オフセ
ット）を一定にし、ウェハテーブル２を上述の距離Ｆ（
オフセット）分往復移送させるように構成したもので、
まず検出位置１１においてダイシングするストリート６
の位置を合わせ、次にウェハ１をオフセットＦ分送り、
ダイシング位置７においてストリート６をダイシングし
、それからウェハ１をオフセットＦ分戻し、以下上述の
操作を繰返してウェハ１のダイシングを行う。

ここで、ダイシングブレード９が摩耗して新しいものに
取換えた時には、検出顕微鏡３を微動ネジにより微動調
節して合わせライン５をテストカットしオフセットＦ分
送られたダイシングライン８に合わせ直している。

そして、上述の従来のダ、イサ装置においては、ストリ
ート６の検出が自動の場合であっても、新たなダイシン
グブレード９に対する合わせライン５の合わせ作業は人
手によって行われる。

以上のように、従来のダイサ装置では、合わせライン５
をダイシングライン８に合わせる作業を人手によって行
うため、人のための目視検出系、例えば高精度ＴＶ両画
像ど、ストリート検出が自動の場合不必要なものであっ
ても必要とし、また検出顕微鏡３を微動調節するための
微動テーブルを必要とし、しかもこの微動テーブルは高
精度および高剛性が要求されており、従って装置全体が
大型化しかつ高価であるなどの欠点がある。

本発明は、上述の諸点に鑑み、構造が簡単で小型でかつ
安価なダイサ装置を提供せんとするものである。

本発明は、ストリート検出系とダイシングライン検出系
とを兼用し、新たに交換したダイシングブレードのテス
トカットのダイシングラインを検出してこのダイシング
ラインにより検出系とダイシングブレード間のオフセッ
ト値を演算し、この新オフセット値を旧オフセット値に
変えて記憶し、該新オフセット値に基づいてウェハを検
出系とダイシングブレード間において往復移送させるよ
うにしたことを特徴とする。

以下、本発明に係るダイサ装置の一実施例を第５図乃至
第９図を参照して説明する。

この実施例における本発明のダイサ装置は、ウェハ１の
ストリートの位置の検出およびテストカットのダイシン
グラインの位置の検出を行う検出手段と、ウェハ１のス
トリートをダイシングするダイシングブレード９と、オ
フセット値ＯＦの演算記憶、ウェハ１の位置決め、ウェ
ハ１の移送およびそれらを制御する手段とを備える。

前記検出手段は検出方向（ウェハ１の移送方向）１６に
対して斜め上方に配したランプ１７と、検出位置の上方
に配した対物レンズ２０、固定スリット２１およびスリ
ット透過光集光用ホトフル２２とからなる。

前記制御手段はウェハテーブル２の位置を検出するリニ
アエンコーダ１８と、ウェハチーフル２を移送する駆動
モータ１９と、前記ホトフル２２およびリニアエンコー
ダ１８からの信号を受けて前記駆動モータ１９を制御す
る電気回路２３とからなる。

この電気回路２３は第８図に示すように、電気回路２３
の操作の開始、停止、ダイシングラインモードとストリ
ートモードとの切換えを行うメイン回路２３Ａと、ダイ
シングライン検出のシーケンス回路２３Ｂと、ダイシン
グライン検出回路２３Ｃと、オフセット値演算回路２３
Ｄと、オフセット値記憶回路２３Ｅと、ストリート検出
のシーケンス回路２３Ｆと、ストリート検出回路２３Ｇ
と、駆動モータ制御回路２３Ｈとからなる。

次に、上述の如き構成よりなる本発明のダイサ装置の作
動、操作を第９図のフローチャートを参照して説明する
。

ダイシングブレード９が摩耗して新しいものに交換する
場合、まずマニアルでダイシングブレード９を新しいも
のに交換し、次にこの新しいダイシングブレード９でウ
ェハの裏面のようなパターンのない平坦なウェハをダイ
シングしてテストカットを行う。

次に、メイン回路２３Ａを操作してオート操作を開始さ
せる。

すると、ダイシングライン検出のシーケンス回路２３Ｂ
により、テストカットされたウェハがダイシング位置７
から検出位置１１に移送され、次にダイシングライン検
出回路２３Ｃが作動して新しいダイシングブレード９に
よりテストカットされたダイシングラインの位置が検出
される。

すなわち、ランプ１７から斜め上方より入射した光３０
はダイシングラインのエツジ部３１において乱反射し、
該乱射光３２により上方からは光って見えるが、平坦部
３３およびダイシング部３４は暗く見える。

従って、ウェハテーブル２が検出方向１６に動き、第６
図すに示すようにスリット２１がダイシング部３４に対
し相対的に図の方向３６にスキャンし、その透過光をホ
トフル２２で集光したとすれは、第６図Ｃ中の符号３７
に示す信号が得られ、この信号３７において２つのピー
ク３８．３８がダイシングラインのエツジ部３１に相当
するもので、以ってこの２つのピーク３８，３８の位置
３９，３９を検出し、その中心４０を計算すればダイシ
ングラインの中心が求まる。

なお、上述は斜め照射照明によるものであるが、落射照
明の場合は第７図に示すように、真上から垂直に光３０
が入射すると、ダイシング部３４からの反射光が少なく
暗く見える。

従って、ウェハテーブル２をスキャンさせてスリット２
１に対し、ウェハ１を動かしてスリット２１の透過光を
ホトフル２２で集光すれば、第７図Ｃに示すような信号
が得られ、この信号において低ピーク部４１がダイシン
グ部３４に相当するもので、以ってこの低ピークを２値
化して第７図ｄに示すような信号４２を得、その信号４
２のピークの中心４３を計算すればダイシングラインの
中心が求まる。

以上のようにしてダイシングライン検出回路２３Ｃにお
いてダイシングラインの位置が求められると、オフセッ
ト値演算回路２３Ｄが作動して前述の新たなダイシング
ラインにより、検出手段の中心と新たに交換したダイシ
ングブレード９との間のオフセット値ＯＦが求められる
。

次いで、オフセット値記憶回路２３Ｅが作動して前述に
新たに求めたオフセット値ＯＦを旧オフセットに変えて
記憶する。

そして、新たなオフセット値ＯＦが記憶されると、メイ
ン回路２３Ａが作動してダイシングラインモードからス
トリートモードに切換えられる。

すなわち、ダイシングライン検出のシーケンス回路２３
Ｂの作動を停止させ、一方ストリート検出のシーケンス
回路２３Ｆの作動を開始させ、このストリート検出のシ
ーケンス回路２３Ｆによりストリート検出回路２３Ｇが
作動する。

すなわち、ホトフル２２およびリニアエンコーダ１８か
らの信号を受けてウェハ１のストリートを検出しながら
、駆動モータ制御回路２３Ｈへ信号を送り、該駆動モー
タ制御回路２３Ｈにより駆動モータ１９を駆動させてウ
ェハ１の位置を決める。

ウェハ１の位置が決まると、駆動モータ１９によりウェ
ハテーブル２が検出位置１１からダイシング位置７に前
記の新たなオフセット値ＯＦ分送られ、該ダイシング位
置７においてウェハ１のストリートがダイシングブレー
ド９によりダイシングされる。

ダイシングされると、ウェハテーブル２がダイシング位
置７から検出位置１１に新オフセット値ＯＦ分戻され、
以下ストリートの位置検出、ウェハ１の位置決め、ウェ
ハ１のストリートのダイシングを繰返す。

そして、ダイシングブレード９が摩耗したならば、新し
いものに取換え、以下最初に述べた操作を繰返す。

以上の実施例における本発明のダイサ装置は、ストリー
ト検出系とダイシングライン検出系とを兼用し、しかも
検出系の微動テーブルを廃したので、構造が簡単でかつ
小型であり、しかも安価に提供することができる。

なお、検出手段としては上述の実施例のもの以外にレー
ザスキャン法、ＴＶカメラ入力、ラインスキャナ入力等
があり、倒れもダイシングライン位置は第６図または第
１図に示す何かの形の信号が得られてその中心を求める
ことにより容易に求められる。

また、検出手段がラインスキャナやＴＶ等の自己走査型
の場合、ダイシングラインの位置はリニアエンコーダ１
８の値と検出器の値から、または検出器の値のみから算
出される。

さらに、ウェハテーブル２の位置検出は、リニアエンコ
ーダ１８の他にポテンシオメータ、レーザ測定器等でも
良い。

以上の実施例からも明らかなように、本発明のダイサ装
置は、新たに交換したダイシングブレードによりテスト
カットした新たなダイシングラインを検出し、この新た
なダイシングラインにより検出系と新たなダイシングブ
レード間のオフセット値を演算して記憶し、この新たな
オフセット値を基にしてウェハを検出系とダイシングブ
レード間において往復移送させるように構成したもので
あるから、検出系の微動調節テーブルを廃するこ、とが
でき、しかもダイシングライン検出系とストリート検出
系とを兼用させることができ、従って構造が簡単でかつ
小型で、しかも安価であるなどの効果がある。

なお、当然のことながら本発明のダイサ装置は、以上の
実施例にのみ限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のダイサ装置の第１の例を示した斜視図、
第２図は同じく検出視野の説明図である。 第３図は従来のダイサ装置の第２の例を示した一部斜視
図、第４図は同じくウェハの移送状態の説明図である。 第５図乃至第９図は本発明に係るダイサ装置の一実施例
を示し、第５図は原理図、第６図ａは斜め照明とダイシ
ングラインの関係を示した断面図、第６図すは上から観
察した図、第６図ｅはホトフルからの信号図、第７図ａ
は落射照明とダイシングラインの関係を示した断面図、
第７図すは上から観察した図、第７図Ｃはホトフルから
の信号図、第７図ｄは２値化信号図、第８図は制御手段
の電気回路図、第９図は操作２作動状態を示したフロー
チャートである。 １・・・・・・ウェハ、２・・・・・・ウェハテーブル
、７・・・・・・ダイシング位置、９・・・・・・ダイ
シングブレード、１１・・・・・・検出位置、１７・・
・・・・ランプ、１８・・・・・・リニアエンコーダ、
１９・・・・・・駆動モータ、２０・・・・・・対物レ
ンズ、２１・・・・・・固定スリット、２２・・・・・
・ホトフル、２３・・・・・・制御手段の電気回路、２
３Ａ・・・・・・メイン回路、２３Ｂ・・・・・・ダイ
シングライン検出のシーケンス回路、２３Ｃ・・・・・
・ダイシングライン検出回路、２３Ｄ・・・・・・オフ
セット値演算回路、２３Ｅ・・・・・・オフセット値記
憶回路、２３Ｆ・・・・・・ストリート検出のシーケン
ス回路、２３Ｇ・・・・・・ストリート検出回路、２３
Ｈ・・・・・・駆動モータ制御回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ウェハのストリートの位置の検出およびテストカッ
   トのダイシングラインの位置の検出を行う検出手段と、
   ウェハのストリートをダイシングするダイシングブレー
   ドと、前記検出手段により検出された新たなダイシング
   ブレードのテストカットのダイシングラインにより前記
   検出手段と新たなダイシングブレード間のオフセット値
   を演算して記憶する手段と、前記検出手段により検出さ
   れたストリートによりウェハの位置決めを行う手段と、
   位置決めされたウェハを前記検出手段とダイシングブレ
   ード間において前記オフセット値だけ往復移送する手段
   と、前記オフセット値演算記憶手段、ウェハ位置決め手
   段およびウェハ移送手段を制御する手段とを備えたこと
   を特徴とするダイサ装置。