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JPS5853748B2 - Digital Sosa Souchi - Google Patents
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JPS5853748B2 - Digital Sosa Souchi - Google Patents

Digital Sosa Souchi

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Publication number
JPS5853748B2
JPS5853748B2 JP50050733A JP5073375A JPS5853748B2 JP S5853748 B2 JPS5853748 B2 JP S5853748B2 JP 50050733 A JP50050733 A JP 50050733A JP 5073375 A JP5073375 A JP 5073375A JP S5853748 B2 JPS5853748 B2 JP S5853748B2
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JP
Japan
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scanning
digital
sawtooth wave
mass
scanning device
Prior art date
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JP50050733A
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Japanese (ja)
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保二 小山
浩五郎 前田
功 鈴木
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
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Publication date
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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、被測定量の高速度走査が可能で、データ収
納後、オンラインでその処理を可能とし、かつ、任意範
囲を任意の順序で任意回数走査を可能ならしめるディジ
タル走査装置に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] This invention enables high-speed scanning of a measured quantity, enables on-line processing after data storage, and enables scanning of an arbitrary range in an arbitrary order and an arbitrary number of times. The present invention relates to digital scanning devices.

科学や工学等では多くの場合、重要な関係をもつ二つの
因子をひろい上げて、他の因子を一定とみなし、その二
つのみの因果関係をしらべるのが普通である。
In science and engineering, it is common to select two factors that have an important relationship, consider other factors constant, and examine the causal relationship between only those two factors.

Xという因子に対して他の因子yが関連してきまる場合
、因子Xの変化に対して結果yがどう変るかを観測、実
験をするが、そのとき、普通Xをある範囲にわたって連
続的に変化させ(これを走査という)、それに対応する
yを測定することにより、因子Xを横軸に、結果yを縦
軸にした二次元のグラフの形にまとめ、アナログ的な表
示を得ることにより全体の様子を把握する。
When another factor y is related to factor X, we observe and experiment to see how the result y changes with changes in factor (this is called scanning), and by measuring the corresponding y, it is summarized in a two-dimensional graph with the factor X on the horizontal axis and the result y on the vertical axis, and by obtaining an analog display, the overall Understand the situation.

この状態を第1図に示す。This state is shown in FIG.

しかし、近年得られた結果からより高次の情報を得るた
めデータ処理を施すのが普通となり、処理器にはディジ
タルコンピュータ等が使われるため、因子Xを一定間隔
をもって非連続的に走査をさせ、Xl + X2+ x
31 ””’・に対応するyl、y2゜y31・・・・
・・を求め、それを処理すると云う方式が使われるよう
になってきている。
However, in recent years, it has become common to perform data processing to obtain higher-order information from the results obtained, and since digital computers and the like are used as processors, factor X is scanned discontinuously at regular intervals. , Xl + X2+ x
31 yl corresponding to ``”'・, y2゜y31...
A method of finding... and processing it has come into use.

これを第2図に示す。あるいは因子Xを連続的に走査は
するが、結果yを一定時間間隔でアナログ・ディジタル
・コンノパ一夕がサンプリングし、それをコンピュータ
のメモリに蓄えるという方式も使われる。
This is shown in FIG. Alternatively, a method may be used in which the factor X is continuously scanned, but the result y is sampled by an analog/digital computer at fixed time intervals and stored in the computer's memory.

しかし、これらの方式はともに、因子Xは一定方向に単
調に増大、または減少するのみで、不必要な情報が過剰
に入りこむ傾向があり、とくに後者の場合は因子Xが時
間tに対して一次に変化すると云う保証がないため、し
ばしばXとyとの対応が充分でないことが起る欠点があ
った。
However, in both of these methods, the factor Since there is no guarantee that the change will occur, there is a drawback that the correspondence between X and y is often insufficient.

この発明はこれらの欠点を除去し、不必要な情報をでき
る限り少なくし、Xとyとの厳密な対応を可能ならしめ
、かつXの選択が全く自由に、例えば、Xl 、 X2
* X3 、 ”””の変化をX3 + X2 *x
1.・・・・・・という変化や、X2 + Xl +
X3 +・・・・・・という変化にも自由に調整可能な
らしめるディジタル走査装置を提供するものである。
This invention eliminates these drawbacks, reduces unnecessary information as much as possible, allows strict correspondence between X and y, and completely freely selects X, for example, Xl, X2.
*X3, change “” to X3 + X2 *x
1.・・・・Changes such as X2 + Xl +
The present invention provides a digital scanning device that can be freely adjusted to changes such as X3 + . . . .

以下この発明について詳細に説明する。This invention will be explained in detail below.

第3図はこの発明の詳細な説明するためのブロック図で
、■は測定系、■はこの発明によるディジタル走査装置
、■はデータ処理システムで、データ収納メモリ■aと
、演算処理回路mbおよびX軸制御回路llIcよりな
る。
FIG. 3 is a block diagram for explaining the present invention in detail, where ■ is a measurement system, ■ is a digital scanning device according to the present invention, and ■ is a data processing system, which includes a data storage memory ■a, an arithmetic processing circuit mb, and It consists of an X-axis control circuit llIc.

■は処理結果表示システム、■は操作制御指令ボードを
示す。
■ indicates a processing result display system, and ■ indicates an operation control command board.

その動作について説明すると、まず、操作制御指令ボー
ド■からxiの範囲、順序など、また走査の反復回数な
どを打ち込むと、それらを受けて演算処理回路mbが直
ちに判断し、X軸制御回路■cに指令を送る。
To explain its operation, first, when inputting the range, order, etc. of xi, as well as the number of repetitions of scanning from the operation control command board ■, the arithmetic processing circuit mb immediately makes a judgment based on the information, and the X-axis control circuit ■ c send commands to.

X軸制御回路mcは前記指令により、必要な制御情報を
苛ったパルス群をディジタル走査装置■に送ると、その
指示に従って、xiが測定系に伝えられる。
In accordance with the instruction, the X-axis control circuit mc sends a group of pulses containing necessary control information to the digital scanning device (2), and in accordance with the instruction, xi is transmitted to the measurement system.

xiは操作制御指令ボード■の指示に従い、全く任意は
Xl t Xto sx3.・・・・・・のようにジャ
ンプしたり、あるいはxl。
xi follows the instructions from the operation control command board (■), and is completely optional.Xl t Xto sx3. Jump like... or xl.

X2 、x3.・・・・・・のように連続的に走査を実
行する。
X2, x3. . . . Execute scanning continuously.

このとき任意のxiに対応するyiが必ずxiの走査と
同期してディジタル走査装置■によりよみとられ、デー
タ収納メモリmaに(x is y t )と一対とし
て収納される。
At this time, yi corresponding to any xi is always read by the digital scanning device 2 in synchronization with the scanning of xi, and stored as a pair with (x is y t ) in the data storage memory ma.

ざらにxiと、これに続<xi+1の間の時間は十分の
1〜2秒程度の短時間に操作を終了することができる。
The operation can be completed in a short time of about 1 to 2 seconds between roughly xi and then <xi+1.

これらはこの発明のもつとも特長とするところで、例え
ば、第1図、第2図で変化の極大と極小を求めたいとき
、X5とx7のみを走査して対応するy5とy7のみを
一対にして収納し、他のXの値は走査することなく、従
って走査の所要時間を著しく短縮するとともに、不必要
な情報の入り込むのを防いで、システムの能率を向上さ
せることができる。
These are the features of this invention. For example, when you want to find the maximum and minimum of change in Figures 1 and 2, only X5 and x7 are scanned and only the corresponding y5 and y7 are stored as a pair. However, other values of X are not scanned, thus significantly reducing the time required for scanning, preventing unnecessary information from being introduced, and improving the efficiency of the system.

必要とあれば、操作制御指令ボードVから結果を処理結
果表示システム■に与え、表示することができる。
If necessary, the results can be sent from the operation control command board V to the processing result display system (2) for display.

第4図はこの発明の一実施例を示すもので、ディジタル
質量走査装置にこの発明を適用した例である。
FIG. 4 shows an embodiment of the present invention, which is an example in which the present invention is applied to a digital mass scanning device.

以下第4図の構成と動作を合わせて説明する。The configuration and operation of FIG. 4 will be explained below.

操作制御指令ボード■(第3図)よりの指令により、X
軸制御回路■cから制御パルスがのこぎり波発生回路1
に送られると、ディジタル質量走査装置■は動作を開始
する。
Based on the command from the operation control command board (Fig. 3),
Control pulse from axis control circuit c is sawtooth wave generation circuit 1
When the signal is sent to , the digital mass scanning device (2) starts operating.

のこぎり波発生回路1は、予め定められたピーク電圧と
時間幅ののこぎり波をくり返し発生し、その立下りに同
期して同期パルスを発生する同期パルス発生回路2から
の同期パルスをXゲート3を介してXカウンタ4に加え
る。
A sawtooth wave generation circuit 1 repeatedly generates a sawtooth wave with a predetermined peak voltage and time width, and outputs a synchronization pulse from a synchronization pulse generation circuit 2 that generates a synchronization pulse in synchronization with the falling edge of the sawtooth wave to an X gate 3. It is added to the X counter 4 via the X counter.

Xカウンタ4は前記同期パルスを計数し、これに比例し
た階段波がDAコンバータ5から得られる。
The X counter 4 counts the synchronization pulses, and a staircase wave proportional to this is obtained from the DA converter 5.

前記のこぎり波発生回路1ののこぎり波と、DAコンバ
ータ5からの階段波の両者を合成したものが、質量分析
計の質量走査信号として測定系■に送られる。
A combination of the sawtooth wave from the sawtooth wave generation circuit 1 and the staircase wave from the DA converter 5 is sent to the measurement system (2) as a mass scanning signal of the mass spectrometer.

これらの関係を示したのが、第5図のタイムチャートで
あり、Xiは測定系Iに送られる合成信号、aはDAコ
ンバータ5からの階段波、bはのこぎり波発生回路1か
らののこぎり波の波形図である。
The time chart in FIG. 5 shows these relationships, where Xi is the composite signal sent to measurement system I, a is the staircase wave from the DA converter 5, and b is the sawtooth wave from the sawtooth wave generation circuit 1. FIG.

のこぎり波すの一つ一つが質量分析計で得られる質量ス
ペクトルの一つ一つの質量に対応する。
Each sawtooth wave corresponds to each mass in the mass spectrum obtained by the mass spectrometer.

波形分割回路6はのこぎり波すの時間軸を一定間隔に分
割し、定められた時点で第5図に示すように、一連のス
タートパルスC,ストップパルスdを同期ゲート開閉器
Iに送る。
The waveform dividing circuit 6 divides the time axis of the sawtooth wave into regular intervals, and sends a series of start pulses C and stop pulses d to the synchronous gate switch I at predetermined times as shown in FIG.

これによりXゲート8の開閉が制御され、のこぎり波す
の一つ一つに対応して予め定められた時間だけXゲート
8が開き、測定系Iからのイオン信号yi第5図の波形
gが、電圧、8波数コンパ−9からXゲート8を介して
yカウンタ10に入り計数される。
As a result, the opening and closing of the X gate 8 is controlled, and the X gate 8 is opened for a predetermined time corresponding to each sawtooth wave, and the ion signal yi from the measurement system I is changed to the waveform g in Fig. 5. , voltage, and 8-wave number comparator 9 enter the Y counter 10 via the X gate 8 and are counted.

Xゲート8が閉じると、信号同期送信パルス発生回路1
1は、第5図に示すメモリパルスeをレジスタメモリ1
2と、レジスタメモリ13の両方に送り、それによって
Xカウンタ4およびyカウンタ10に蓄えられた質量数
とそれに対応するイオン信号yiのyゲートB後のパル
ス信号の内容がそれぞれレジスタメモリ12.13に記
憶される。
When the X gate 8 closes, the signal synchronous transmission pulse generation circuit 1
1 inputs the memory pulse e shown in FIG. 5 to the register memory 1.
2 and the register memory 13, whereby the mass number stored in the X counter 4 and the y counter 10 and the contents of the pulse signal after the y gate B of the ion signal yi corresponding thereto are stored in the register memory 12.13, respectively. is memorized.

その後、第5図に示すような信号同期送信パルス発生回
路11よりの送信コマンドパルスfにより質量数iとイ
オン信号yiを一対としてデータ収納メモリIIIaに
送る。
Thereafter, the mass number i and the ion signal yi are sent as a pair to the data storage memory IIIa by a transmission command pulse f from the signal synchronous transmission pulse generation circuit 11 as shown in FIG.

以上の動作によりイオン信号yiと質量xiとの確実な
対応を保ちながら一定範囲を予め定められた任意の順序
で走査することが可能となる。
The above operation makes it possible to scan a certain range in any predetermined order while maintaining reliable correspondence between the ion signal yi and the mass xi.

従来の質量分析計の走査においては、走査とイオン信号
yiの取り入れが、一般には相互に関連なく独立に行わ
れていたため、例えば、イオン信号の時間変化などから
質量数を判定しなければならず、重心法などの多くのメ
モリを必要とするソフト方式で処理していた。
In the scanning of conventional mass spectrometers, the scanning and the acquisition of the ion signal yi are generally performed independently without being related to each other, so it is necessary to determine the mass number from, for example, changes in the ion signal over time. , processing was done using software methods that required a lot of memory, such as the center-of-gravity method.

しかも、この重心法ではイオン信号yiを大量に蓄積し
なければならず、コスト、操作などの点で充分でない点
が多かった。
Moreover, this centroid method requires the accumulation of a large amount of ion signals yi, which is often insufficient in terms of cost and operation.

しかし、この発明はこのような難点を解決するのみなら
ず、X軸制御回路l[cから上限下限設定回路14およ
びXゲート3に一連の制御パルスを送りこむことにより
、任意の質量のイオン信号yiのみをとり入れて不必要
な情報を排除して測定能率を高める一方、必要なメモリ
量を最小におさえる方式である。
However, the present invention not only solves these difficulties, but also sends a series of control pulses from the X-axis control circuit l[c to the upper and lower limit setting circuit 14 and the X gate 3, thereby generating an ion signal yi of any mass. This method minimizes the amount of memory required while increasing measurement efficiency by eliminating unnecessary information.

さらにこの発明によれば、予め定められた走査の終了に
対応するサイクルエンドパルスhを上限下限設定回路1
4より第5図のように送ることにより、再び同じ走査を
任意回数繰り返すこともできる。
Further, according to the present invention, the cycle end pulse h corresponding to the end of a predetermined scan is set by the upper and lower limit setting circuit 1.
4 to 5 as shown in FIG. 5, the same scanning can be repeated an arbitrary number of times.

これにより同一の質量のイオン信号の蓄積が可能で、そ
のため微弱なイオン信号をも高いS/N比で測定可能と
なる。
This allows ion signals of the same mass to be accumulated, making it possible to measure even weak ion signals with a high S/N ratio.

第6図、第1表、第2表はその様子を示すもので、イオ
ン信号yiを検出する検出器の感度が充分でない1O−
9Aの程度では、この発明を使用しない普通の方式によ
る1 8 m / eから26 m / eの走査にお
いて、18 m / e (H20水分子イオンに対応
する)と極めて小さな26 m / eのピークがみら
れるのみであるが、検出器の感度を10−11人に上昇
せしめると、20.24.25m/eの各ピークが見ら
れるようになる。
Figure 6, Tables 1 and 2 show the situation, and the sensitivity of the detector for detecting the ion signal yi is insufficient.
At a degree of 9A, a very small peak at 26 m/e (corresponding to the H20 water molecule ion) at 18 m/e (corresponding to the H20 water molecule ion) in a scan from 18 m/e to 26 m/e by the ordinary method without using this invention However, when the sensitivity of the detector is increased to 10-11 people, each peak at 20.24.25 m/e becomes visible.

26 m / eを100.00とするときの他のピー
クの強度は第1表に示す通りである。
The intensities of other peaks when 26 m/e is 100.00 are shown in Table 1.

検出器の感度を10−9Aに保って、この発明によるデ
ィジタル走査装置を用い、−質量当り0.02秒づ\繰
返し走査を行うと、この発明によらないときの時間とは
ゾ同じ程度の合計走査時間で第2表に示す結果が得られ
た。
If the sensitivity of the detector is maintained at 10-9 A and the digital scanning device according to the present invention is used to perform repeated scanning at an interval of 0.02 seconds per mass, the time taken when not according to the present invention is approximately the same. The results shown in Table 2 were obtained for the total scanning time.

第1表と第2表の一致はきわめてよく、この発明により
実質的に100倍程度の感度の上昇を得ることができる
The agreement between Tables 1 and 2 is very good, and the present invention can substantially increase the sensitivity by about 100 times.

これは高感度を必要とする公害分析等に直ちに応用可能
である。
This can be immediately applied to pollution analysis that requires high sensitivity.

なお、第1表、第2表、第6図を得る実験で試料圧Pは
全圧で、3 X 10−7Torl’、の程度で衝撃電
子流Ieは1.5mAである。
In the experiment for obtaining Tables 1, 2, and 6, the sample pressure P was about 3 x 10-7 Torl' in total pressure, and the impact electron current Ie was 1.5 mA.

検出感度10−”A 1質量当りの走査時間5秒 19〜26m/e間の全走査時間40秒 以上詳細に説明したように、この発明によれば広く科学
や工学のスペクトロスコピーにおいてX軸の走査すべき
波長、電子エネルギー等を一般に等間隔に変化させるこ
とにより、それに対応する量を計測する全ての測定に使
用することが可能であり、また一定の範囲を予め定めら
れた順序に従って繰返し走査することができるのみなら
ず、赤外線分光等のように、SO2や、NO,NO2゜
00等の特定物質の特徴的な吸収の波長のみを走査する
ことにより公害分析などにおいて、効率的に計測するこ
とができる。
Detection sensitivity: 10-''A Scanning time per mass: 5 seconds Total scanning time from 19 to 26 m/e: 40 seconds or more As explained in detail, according to the present invention, the X-axis can be widely used in science and engineering spectroscopy. By changing the wavelength, electron energy, etc. to be scanned generally at equal intervals, it can be used for all measurements that measure the corresponding quantity, and it can also be used to repeatedly scan a certain range according to a predetermined order. Not only can it be used, but it can also be efficiently measured in pollution analysis by scanning only the characteristic absorption wavelengths of specific substances such as SO2, NO, NO2゜00, etc., such as infrared spectroscopy. be able to.

したがって、この発明は質量分析のみならず、赤外線分
光、紫外線分光、電子分光などの広い分野に適用して著
しい効果が得られる。
Therefore, the present invention can be applied not only to mass spectrometry, but also to a wide range of fields such as infrared spectroscopy, ultraviolet spectroscopy, and electronic spectroscopy, with remarkable effects.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図、第2図は因子Xと因子yの関係の一例を説明す
るための図、第3図はこの発明の詳細な説明するための
ブロック図、第4図はこの発明の一実施例を示すブロッ
ク図、第5図は第4図の実施例の動作を説明するための
タイムチャート、第6図は各種の感度の検出器を用いて
測定した質量分析計の従来例による質量m/e18から
26までの3種の検出感度における質量スペクトラムで
ある。 図中、■は測定系、■はディジタル走査装置、■はデー
タ処理システム、l1laはデータ収納メモリ、mbは
演算処理回路、llIcはX軸制御回路、1はのこぎり
波発生回路、5はDAコンバータ、12゜13はレジス
タメモリである。
1 and 2 are diagrams for explaining an example of the relationship between factor FIG. 5 is a time chart for explaining the operation of the embodiment shown in FIG. These are mass spectra at three detection sensitivities from e18 to e26. In the figure, ■ is the measurement system, ■ is the digital scanning device, ■ is the data processing system, l1la is the data storage memory, mb is the arithmetic processing circuit, llIc is the X-axis control circuit, 1 is the sawtooth wave generation circuit, and 5 is the DA converter. , 12° and 13 are register memories.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 データ収納メモリ、演算処理回路、X軸制御回路と
を含むデータ処理システムと組合せ使用されるディクル
走査装置において、前記X軸制御回路から発せられる走
査の一単位に相当するのこぎり波を発生する手段と、前
記のこぎり波に同期した階段波を発生させる手段と、前
記のこぎり波および階段波を合或し測定系における走査
信号を得る手段と、さらにこの走査信号に応答する測定
系からの信号のうち任意に設定された範囲のものを任意
に設定された順序に応じて任意に設定された回数走査し
前記データ収納メモリ内に蓄積させる手段とよりなるこ
とを特徴とするディジタル走査装置。
1. In a Dicle scanning device used in combination with a data processing system including a data storage memory, an arithmetic processing circuit, and an X-axis control circuit, means for generating a sawtooth wave corresponding to one unit of scanning emitted from the X-axis control circuit. a means for generating a staircase wave synchronized with the sawtooth wave; a means for combining the sawtooth wave and the staircase wave to obtain a scanning signal in the measurement system; 1. A digital scanning device comprising means for scanning an arbitrarily set range an arbitrarily set number of times according to an arbitrarily set order and storing the scanned data in the data storage memory.
JP50050733A 1975-04-28 1975-04-28 Digital Sosa Souchi Expired JPS5853748B2 (en)

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JPS51126728A JPS51126728A (en) 1976-11-05
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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