JPS586266B2 - 電子顕微鏡等のレンズ電流設定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子顕微鏡等に用いられる電子レンズに供給さ
れるレンズ電流をデジタル信号によって制御するレンズ
電流設定装置に関し、特にファンクションを切換えても
再度の焦点合わせを必要としない上記装置に関する。

電子顕微鏡には集束レンズ、対物レンズ、投影レンズ等
複数の電磁レンズが用いられ、各レンズには指定された
倍率に対応して予め定められたレンズ電流が供給される
。

例えば第１図に示す様に対物レンズ１、中間レンズ２、
投影レンズ３には各レンズ毎に設けられた基準電源４，
５，６からの複数種の基準電圧が同じく各レンズ毎に設
けられた連動切換スイッチ７，８．９を介して送られる
増巾器１０，１１，１２から上記基準電圧に応じたレン
ズ電流が供給される。

しかしながら対物レンズ１に関しては微妙な焦点合わせ
の関係上切換スイッチ７と増巾器１０との間に苛変電源
１３を直列に挿入し基準電圧に可変電圧を重畳させて調
整し得るようにしている。

ところが電子顕微鏡は通常の透過像を得る機能に加えて
制限視野回析カメラとしての機能、高分散回折カメラと
しての機能等をも併せ持ち、ファンクション選択スイッ
チにて各機能が選択される。

そして各機能毎に可変電源を操作して焦点を合わせる必
要がある。

このため一度通常の透過像が焦点の合った状態で得られ
る様にした後ファンクションを切換えて例えば回折像が
焦点の合った状態で得られる様にし、再びファンクショ
ンを切換えて通常の透過像を得る機能に戻した場合再度
焦点合わせを行なわなければならず操作が繁雑になると
いう不都合があった。

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、ファン
クションの切換えの度に焦点合わせをする必要のないレ
ンズ電流設定装置を提供することを目的きする。

以下図面を用いて本発明の一実施例を詳説する。

第２図は本発明の一実施例を示す構成図であり、同図に
おいて２１，２２，２３は電子顕微鏡の結像レンズ系を
構成する夫々対物レンズ、中間レンズ、投影レンズであ
る。

各レンズ毎に設けられた増巾器２４ ，２５ ，２６は
同じく各レンズ毎に設けられたＤ−Ａ変換器２７，２８
．２９からの基準電圧に応じたレンズ電流を上記各レン
ズに供給する。

そして上記Ｄ−Ａ変換器２７，２８．２９には増巾器に
送るべき基準電圧を指定するデジタル信号がレジスタ３
０，３１．３２を介してコンピュータ３３より送られる
。

該コンピュータ３３にはファンクション切換回路３４、
倍率設定回路３５′、焦点調整回路３６、読出し専用の
固定記憶装置（以下ＲＯＭと略称する）３７及び書込み
も読出しも可能な記憶装置（ＲＡＭと略称する）３８と
夫々相互接続されている。

上記ファンクション切換回路３４は電子顕微鏡が有する
各機能に対応する選択子を持つ切換スイッチと該スイッ
チによって選択された機能に対応したコードを発生する
コード発生器とより構成され、倍率設定回路３５も同様
に電子顕微鏡によって実現される数十段階の倍率を指定
し得る指定スイッチと該スイッチによって指定された倍
率に対応したコードを発生するコード発生器とより構成
される。

又焦点調整回路３６は調整つまみを有し該つまみを回転
させると右回転の場合はアップカウントパルスを又左回
←の場合はダウンカウントパルスを夫々一定角度回転す
る毎に発し判別回路３９を介してコンピュータ３３に送
る。

該判別回路３９は上記調整回路３６から発生したパルス
がアップカウントパルスであるかダウンカウントパルス
であるかを判別し、それを区別する信号をコンピュータ
３３へ送る。

上述の如き構成において電子顕微鏡の倍率が２４段階に
わたって可変できるとすれば、各倍率を実現するために
中間レンズ２２、投影レンズ２３に供給すべきレンズ電
流値の組合わせがＲＯＭ３７の各倍率に対応した番地に
予め記憶されている。

又対物レンズ２１の電流値は上記中間及び投影レンズの
様に各倍率に応じた絶対的な電流値は定められておらず
、倍率を変えた時に各倍率間で増減すべき電流値が予め
測定され同じくＲＯＭ３７に記憶されている。

ここで操作者がファンクション切換回路３４及び倍率設
定回路３５を用いて通常透過像観察で１０万倍を指定し
たとすれば、コンピュータ３３はＲＯＭ３７から１０万
倍に対応する中間レンズ２２、投影レンズ２３のレンズ
電流値Ａ ｉ １ ２ Ａｐ １を読出し、夫々レジス
タ３１．３２へ送り保持させる。

レジスタに保持されたデジタル電流値はＤ−Ａ変換器及
び増巾器を介してレンズへ送られるため、中間レンズ２
２及び投影レンズ２３には１０万倍に対応する上記所定
の値Ａ １ １ ，Ａｐｌを持つレンズ電流が供給され
ることとなる。

この状態では対物レンズ２１のレンズ電流が調整されて
いないため焦点の合った像が得られていない。

そこで操作者は焦点調整回路３６の調整つまみを操作し
て対物レンズ電流を変化させ像の焦点合わせを行う。

即ち調整つまみの回転に伴ってパルスが発生する度にコ
ンピュータ３３は発生したパルスがアップカウントパル
スであるかダウンカウントパルスであるかを判別回路３
９からの信号によって判断し、前者の場合には対物レン
ズ電流値に一定微小電流値ずつ加算し後者の場合には減
算してレンズ電流を変化させる。

この様にして焦点を合わせた後像観察を行い、更に同じ
試料の回折像を観察するためにファンクション切換回路
３４を用いて例えば高分散回折カメラの機能に切換えた
とする。

この時コンピュータ３３は切換直前にレジスタ３０に保
持されていたデジタル電流値Ａｏ１をＲＡＭ３８へ退避
させる。

そしてコンピュータ３３は次に切換えられた高分散回折
カメラの機能に応じて予めＲＯＭ３７に記憶されている
中間レンズ電流値Ａ ｉ ２及び投影レンズ電流値Ａｐ
２を読出してレジスタ３１．３２に送り、中間レンズ２
２及び投影レンズ２３へ上記読出された値Ａ Ｉ ２
ｔ Ａ−ｐ２を持つレンズ電流を供給する。

次に操作者は焦点調整つまみを操作して回折像の焦点合
わせを行う。

従ってレジスタ３０に保持されるデジタル電流値は先の
値Ａｏ１とは異なったものとなってしまう。

そのためもしこのままファンクション切換回路３４によ
って先の透過像を得る機能に戻しても焦点のずれた像し
か得られず再度の焦点合わせが必要である。

ところが本発明では先に焦点が合った状態での電流値Ａ
ｏ１が調３８に退避されており、コンピュータ３３は透
過像を得る機能に戻ったことを確認してＲＡＭ３８から
電流値Ａｏ１を読出してレジスタ３０へ送る。

そのため焦点の合った像が再度の調整を必要とせず即座
に再び得られることとなる。

又本実施例ではこの状態で倍率を切換えるとコンピュー
タ３３はＲＯＭ３７から倍率を変化させるために増減す
べき対物レンズ電流値を読出し先の電流値Ａｏｌと加算
してレジスタ３０へ送る。

従って倍率を変えても常に焦点の合った像が得られ、倍
率を変える毎の焦点合わせが不要となっている。

尚上述した実施例ではファンクションを切換える際にそ
の直前のレジスタの値をＲＡＭに退避させる様にしたが
、レジスタの値を常にＲＡＭに送る様にしておけばファ
ンクションを切換えた際のＲＡＭの値を保持するだけで
よい。

又ＲＡＭに退避させる値も上記の実施例では対物レンズ
電流値であったが必ずしもその必要はなく、上記電流値
に対応した値であればよい。

更に上記の実施例では透過像観察の時のみ対物レンズ電
流値をＲＡＭへ退避させる様にしたが、フアクション切
換回路で切換えることができる機能夫々についてＲＡＭ
内の異なった番地をわりあてて焦点が合った状態での対
物レンズ電流値を各機能毎に退避させるようにすれば、
ファンクションを切換えても常に焦点の合った像が得ら
れ再度の焦点合わせが不要となる。

以上詳述した如く本発明によればファンクションを切換
える都度焦点合わせを行う必要がないため電子顕微鏡の
操作性を著しく改善することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の欠点を説明するための図であり、第２図
は本発明の一実施例を示す構成図である。 ２１：対物レンズ、２２：中間レンズ、２３：投影レン
ズ、２７，２８，２９：Ｄ−Ａ変換器、３０，３１，３
２：レジスタ、３３：コンピュータ、３４：ファンクシ
ョン切換回路、３５：倍率設定回路、３６：焦点調整回
路、３ ７ ： ＲＯＭ、３８ ： ＲＡＭ○

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ レンズに供給する電流をＤ−Ａ変換器を介してデジ
   タル的に設定する装置において、ファンクションが切換
   えられる直前のレンズ電流値に対応するデジタル値を記
   憶する記憶手段を設けたことを特徴とする電子顕微鏡等
   のレンズ電流設定装置。