JPS587707B2 - エッチング加工品の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、金属板の面の所定部分のみに耐食膜を施して
選択的に化学エッチングして加工品を得る方法に関する
。

エッチング加工品として例えば半導体集積回路用の金属
導電板は、リードフレームと呼ばれ、第１図に示すよう
に、薄い金属板１をその下要部分を腐食除去して多数の
細い格子状乃至枝状の金属条２を有するものである。

その各金属条２の先端によって囲まれた枡型の部分はウ
エハーチップを載せる台３である。

図示の例はリードフレーム１個分しか表わしていないが
、普通は、多面付けと称して一枚の金属板から多数のリ
ードフレームを得るものである。

この金属板１の選択エッチングは、リードフレームに対
応する形（厳密に言うとそうではない）を有する露光用
マスクを用いた写真法にて耐食膜を金属板１の面に形成
し、化学エッチングすることに尽きるわけであるが、化
学エッチングにはサイドエッチングというものが避けら
れない。

リードフレームの一部を拡大して通常の耐食膜４の形状
を第２図ａに示すが、この形の耐食膜４を付与した金属
板１を化学エッチングすると、第２図ｂに示すようにサ
イドエッチングが生じ、耐食膜で覆われている金属板１
の側面までえぐり取られて、耐食膜４の形状よりやや小
ぶりとなる。

サイドエッチングの多寡は、エッチング方法やエッチン
グ液によっても決まるが、リードフレームの場合、金属
板１の厚みが０． ２ ｍｍ〜０．３ｍｍとエッチング
対象としてはやや厚いということがあり、これがサイド
エッチングを多くしている。

第２図ｂの金属条２の先端部について特に言うならば、
この部分は、集積回路の端子と電気的に接続するための
重要な部分であり、この先端部がサイドエッチングによ
り著しくえぐられて形状を欠損することは、全く困った
ことであった。

特に、最近は集積回路の発達によって端子数が増え、リ
ードフレームの金属条２の数も６４本以上あるものが出
現しており、本数の増加により各金属条２に要求される
パターン精度もより高いものになっている。

本発明は以上のような事情に鑑み、鋭意工夫したもので
、金属条の先端部を形成するための耐食膜の形状として
、先端部付近から先端に向って幅を拡げかつ先端部にお
いて隣接する金属条の耐食膜と互いに連結してなるもの
である。

実施例を示す第３図ａにより詳細に説明すると、金属板
１上に形成された耐食膜５は、金属条６の先端部に相当
する部分において両側に序々に幅を拡げかつ隣接する金
属条の耐食膜５′，５“と互いに連結して架橋部７を形
成してなる。

架橋部７によって覆われている金属板１の部分は、化学
エッチングの途中でサイドエッチングにより消滅するよ
うに、架橋部７全体の幅を狭くするか、あるいは金属条
６の本体から脱離するように架橋部７の橋脚に相当する
部分を細くしておくものである。

第３図ａのような形状の耐食膜５からは、金属条の先端
部の欠損が特に規制されるので、第３図ｂに示されるよ
うに、四角いシャープな先端を有する金属条６が得られ
るものである。

第４図を参照しながらこの点につき更に詳細に説明する
と、金属板１上の耐食膜８の内に破線およびハツチング
で示された区域は、エッチング後に残存する金属条９の
予想される形状であり、これによってもサイドエッチン
グによりえぐり取られる程度が明瞭であるが、実際にも
、耐食膜８の形状は、サイドエッチングの幅の考慮に入
れて広幅に決められる。

すなわち金属条９の側面からはみ出している幅ｄはサイ
ドエッチングの幅に相当する。

サイドエッチングは金属条９の先端部において特に顕著
になる傾向があるので、耐食膜９の幅を先端に向って拡
げかつ、サイドエッチングによって消滅するに充分な細
さの橋脚１１をもって架橋部１０を配置すると良い。

この実施例によれば、化学エッチングを行なうと、架橋
部１０は、エッチング終点の直前ぐらいに金属条９の先
端から遊離して脱落する。

この架橋部１０によって金属条９の先端部は良好な矩形
となり形状的な欠損を防止できる。

また、架橋部１０の脱落によってエッチング終点を目視
で検知できる。

もちろん、それは橋脚部１１がエッチング終点の直前で
消滅するようにその幅を調節することが前提となるが、
その幅は経験的に適当に定めることができる。

以上のように本発明のエッチング加工品の製法によれば
、並列する金属条の先端部の形状を整えることができる
ばかりでなく、架橋部の消滅や脱落を視ることでエッチ
ングの適正な終了時点を知ることができ、得られる製品
の品質安定に寄与する。

さらに言えば、エッチング途中においては、並列する金
属条は架橋部によって連結されているので、先端部の曲
がりが防止され、エッチング中の取扱いも楽という付随
的効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はエッチング加工品の一種であるリードフレーム
の一例を示す平面図であり、第２図ａ，ｂは従来の耐食
膜の形状およびそれをエッチングした金属板の形状を示
す平面図であり、第３図ａ，ｂは本発明の耐食膜の形状
およびそれをエッチングした金属板の形状を示す平面図
であり、第４図は、本発明の耐食膜の形状とサイドエッ
チングの関係を示す説明図である。 １・・・・・・金属板、２，６，９・・・・・・金属条
、３・・・・・・台、４，５，８・・・・・・耐食膜、
７，１０・・・・・・架橋部、１１・・・・・・橋脚。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 金属板の面の所定部分に耐食膜を施して選択的に化
   学エッチングして加工品を得る方法において、並列する
   金属条を形成するための耐食膜の形状として、金属条の
   先端部付近から先端に向って耐食膜の幅を拡げ、かつ隣
   接する金属条の耐食膜と互いに連結した架橋部を設けて
   なり、該架橋部の全体もしくは橋脚部の幅を細くしてサ
   イドエッチングにより金属板のその部分が消滅するよう
   にしたことを特徴とするエッチング加工品の製造方法。