JPS5916135B2 - カム駆動機構 - Google Patents
カム駆動機構Info
- Publication number
- JPS5916135B2 JPS5916135B2 JP48127302A JP12730273A JPS5916135B2 JP S5916135 B2 JPS5916135 B2 JP S5916135B2 JP 48127302 A JP48127302 A JP 48127302A JP 12730273 A JP12730273 A JP 12730273A JP S5916135 B2 JPS5916135 B2 JP S5916135B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bonding
- arm
- cam
- capillary
- fulcrum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
Landscapes
- Transmission Devices (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はカム駆動機構を有するボンディング装置に係り
、主としてワイヤボンディング装置におけるボンディン
グアームの垂直方向駆動機構を対５ 象とし、該ボンデ
ィングアームを高速時においても確実に動作させうるカ
ム駆動機構を提供することを目的とする。
、主としてワイヤボンディング装置におけるボンディン
グアームの垂直方向駆動機構を対５ 象とし、該ボンデ
ィングアームを高速時においても確実に動作させうるカ
ム駆動機構を提供することを目的とする。
一般に、ワイヤボンディング装置は、半導体ペレット上
のボンディングパッドとリードとを金線０ などのワイ
ヤで接続するワイヤボンディング作業を行なう。
のボンディングパッドとリードとを金線０ などのワイ
ヤで接続するワイヤボンディング作業を行なう。
この場合、ワイヤを案内しボンディングを行なうキャピ
ラリを、ペレット上水平方向にパルスモータ等にてボン
ディングすべき所定位置まで移動させ、上記キャピラリ
が所定位置に達し５ たときに該キャピラリをペレット
上垂直方向に移動させる。このキャピラリの垂直方向駆
動手段としては、従来、カム駆動機構が用いられており
、その一例を第１図に示す。
ラリを、ペレット上水平方向にパルスモータ等にてボン
ディングすべき所定位置まで移動させ、上記キャピラリ
が所定位置に達し５ たときに該キャピラリをペレット
上垂直方向に移動させる。このキャピラリの垂直方向駆
動手段としては、従来、カム駆動機構が用いられており
、その一例を第１図に示す。
すなわち、ボンディングアーム’０１はその中央部に支
点２を有し、その一端にキャピラリ３が保持されている
。このボンディングアーム１の他端にはカム４に追従し
て図中上下方向に周期的に運動するカムフォロア５が当
接されており、このカムフォロア５の上下移動に追従し
てｊ５ボンディングアーム１がスプリング６により回動
変位される。なお、スプリング１は上記カムフォロア５
の運動を確実に行なわせる作用をもつている。しかし、
上記のようなカム駆動機構において、ボンデイングスピ
ードを上げるためにキヤピラリ３を高速動作させると、
カムフオロア５、ボンデイングアーム１の慣性により、
カム４とカムフオロア５、あるいはカムフオロア５とボ
ンデイングアーム１とが離れて、ボンデイングアーム１
が所望の動きをしなくなり所定のボンデイングができな
くなる。
点２を有し、その一端にキャピラリ３が保持されている
。このボンディングアーム１の他端にはカム４に追従し
て図中上下方向に周期的に運動するカムフォロア５が当
接されており、このカムフォロア５の上下移動に追従し
てｊ５ボンディングアーム１がスプリング６により回動
変位される。なお、スプリング１は上記カムフォロア５
の運動を確実に行なわせる作用をもつている。しかし、
上記のようなカム駆動機構において、ボンデイングスピ
ードを上げるためにキヤピラリ３を高速動作させると、
カムフオロア５、ボンデイングアーム１の慣性により、
カム４とカムフオロア５、あるいはカムフオロア５とボ
ンデイングアーム１とが離れて、ボンデイングアーム１
が所望の動きをしなくなり所定のボンデイングができな
くなる。
この場合、上記技術的問題点を解決する方法として、上
記スプリング６，７のばね定数を大きくしたり、カムフ
オロア５およびボンデイングアーム１の慣性を少なくし
たり、カム４のカム形状を選定してそのカムリフトを小
さくする等の方法がある。
記スプリング６，７のばね定数を大きくしたり、カムフ
オロア５およびボンデイングアーム１の慣性を少なくし
たり、カム４のカム形状を選定してそのカムリフトを小
さくする等の方法がある。
しかし、これらの方法にても、所定のボンデイングを確
実に行なわせるにはそのポンデイングスピードを制限し
て行なわねばならなかつた。本発明は上記欠点を除去し
たものであり、以下第２図および第３図と共にその１実
施例につき説明する。第２図は本発明によるカム駆動機
構を有するボンデイング装置の１実施例の概略機構図、
第３図は第２図に示したボンデイング装置の動作を示す
動作概略図を示す。
実に行なわせるにはそのポンデイングスピードを制限し
て行なわねばならなかつた。本発明は上記欠点を除去し
たものであり、以下第２図および第３図と共にその１実
施例につき説明する。第２図は本発明によるカム駆動機
構を有するボンデイング装置の１実施例の概略機構図、
第３図は第２図に示したボンデイング装置の動作を示す
動作概略図を示す。
第２図中、ボンデイングアーム部分については上記第１
図と同一につき同一符号を付し、その説明を省略する。
図と同一につき同一符号を付し、その説明を省略する。
第２図中、８ａ，８ｂはカムで、互いに所定距離離間し
て同一の支軸９に夫々固定されている。１０ａ，１０ｂ
はカムフオロアで、上記カム８ａ，８ｂのカム面に夫々
当接し、カム８ａ，８ｂの回転運動を夫々周期的な揺動
運動に変える。
て同一の支軸９に夫々固定されている。１０ａ，１０ｂ
はカムフオロアで、上記カム８ａ，８ｂのカム面に夫々
当接し、カム８ａ，８ｂの回転運動を夫々周期的な揺動
運動に変える。
これらカムフオロア１０ａ，１０ｂには、夫々レバー１
１ａ，１１ｂが固定されており、レバー１１ａ，１１ｂ
は軸受１２を支点として回動目在に支持されている。し
たがつて、レバー１１ａ，１１ｂは、カムフオロア１０
ａ，１０ｂを介して、軸受１２を中心とした所定の回動
運動をくり返して行なう。この場合、これらレバー１１
ａ，１１ｂの所定位置には、夫々スプリング１３ａ，１
３ｂが張設されており、これによりカム８ａとヵムフォ
ロァ１０ａ、又カム８ｂとカムフオロア１０ｂとは夫々
常に当接しており、したがつてペレツトあるいは、リー
ド面とキャピラリすなわちボンデイング用接続工具が接
するときの駆動時にもカム８ａ，８ｂの運動は確実にカ
ムフオロア１０ａ，１０ｂ（すなわちレバー１１ａ，１
１ｂ）に伝達される。１４ａ，１４ｂはローラで、上記
レバー１１ａ，１１ｂの一端に夫々回転自在に設けられ
ており、しかもローラ１４ａ，１４ｂは、ボンデイング
アーム１のキヤピラリ３の設置端とは反対側の端部にお
いて、該ボンデイングアーム１を挟持するように該ボン
デイングアーム１に当接している。
１ａ，１１ｂが固定されており、レバー１１ａ，１１ｂ
は軸受１２を支点として回動目在に支持されている。し
たがつて、レバー１１ａ，１１ｂは、カムフオロア１０
ａ，１０ｂを介して、軸受１２を中心とした所定の回動
運動をくり返して行なう。この場合、これらレバー１１
ａ，１１ｂの所定位置には、夫々スプリング１３ａ，１
３ｂが張設されており、これによりカム８ａとヵムフォ
ロァ１０ａ、又カム８ｂとカムフオロア１０ｂとは夫々
常に当接しており、したがつてペレツトあるいは、リー
ド面とキャピラリすなわちボンデイング用接続工具が接
するときの駆動時にもカム８ａ，８ｂの運動は確実にカ
ムフオロア１０ａ，１０ｂ（すなわちレバー１１ａ，１
１ｂ）に伝達される。１４ａ，１４ｂはローラで、上記
レバー１１ａ，１１ｂの一端に夫々回転自在に設けられ
ており、しかもローラ１４ａ，１４ｂは、ボンデイング
アーム１のキヤピラリ３の設置端とは反対側の端部にお
いて、該ボンデイングアーム１を挟持するように該ボン
デイングアーム１に当接している。
上記カムフオロア、レバー ローラからなる変位機構に
よりボンデイングアームを変位させるのであり、カムフ
オロア１０ａ、レバー１１ａ、ローラ１４ａは第１の変
位機構であり、カムフオロア１０ｂ、レバー１１ｂ、ロ
ーラ１４ｂは第２の変位機構である。そしてこれらの変
位機構は、カム８ａ、カム８ｂをもつた駆動機構すなわ
ちカム駆動機構によつて駆動される。なお、１５はキヤ
ピラリ３にボンデイング圧力を与えるためのスプリング
すなわちボンデイングアームにボンデイング用圧力を加
える機構である。次に、上記構成のカム駆動機構を有す
るボンデイング装置の動作につき説明する。
よりボンデイングアームを変位させるのであり、カムフ
オロア１０ａ、レバー１１ａ、ローラ１４ａは第１の変
位機構であり、カムフオロア１０ｂ、レバー１１ｂ、ロ
ーラ１４ｂは第２の変位機構である。そしてこれらの変
位機構は、カム８ａ、カム８ｂをもつた駆動機構すなわ
ちカム駆動機構によつて駆動される。なお、１５はキヤ
ピラリ３にボンデイング圧力を与えるためのスプリング
すなわちボンデイングアームにボンデイング用圧力を加
える機構である。次に、上記構成のカム駆動機構を有す
るボンデイング装置の動作につき説明する。
上記カム８ａが第２図図示の矢印方向に回転すると、そ
れに当接するカムフオロア１０ａが該カム８ａに追従し
て図中左方向に変位される。
れに当接するカムフオロア１０ａが該カム８ａに追従し
て図中左方向に変位される。
このカムフオロア１０ａの変位時、その１駆動変位量は
、レバー１１ａおよびローラ１４ａによりボンデイング
アーム１に伝達される。これにより、ボンデイングアー
ム１は、キヤピラリ３がペレツト面に下降される方向に
駆動される。この時同時に、他方のカム８ｂも上記カム
８ａと同方向に回転するが、その回転運動はカムフオロ
ア１０ｂおよびローラ１４ｂにより、ボンデイングアー
ム１に上記カム８ａによる５駆動力とは反対方向の力を
与える。
、レバー１１ａおよびローラ１４ａによりボンデイング
アーム１に伝達される。これにより、ボンデイングアー
ム１は、キヤピラリ３がペレツト面に下降される方向に
駆動される。この時同時に、他方のカム８ｂも上記カム
８ａと同方向に回転するが、その回転運動はカムフオロ
ア１０ｂおよびローラ１４ｂにより、ボンデイングアー
ム１に上記カム８ａによる５駆動力とは反対方向の力を
与える。
このカム８ｂによる力は、上記カム８ａによる駆動力に
対する反対方向の力（ボンデイングアーム１とローラ１
４ａとを同一系として考えた場合）である。この反対方
向の力は、＋記力によるボンデイングアーム１のばね上
がりを拘束して、該アーム１とローラ１４ａとが離間す
ることを防止する。こうして、上記キヤピラリ３がペレ
ツト表面（あるいはリード面）の高さまで下降したボン
デインク位置において、上記ボンデイングアーム１は、
ローラ１４ａおよびローラ１４ｂと離間する。
対する反対方向の力（ボンデイングアーム１とローラ１
４ａとを同一系として考えた場合）である。この反対方
向の力は、＋記力によるボンデイングアーム１のばね上
がりを拘束して、該アーム１とローラ１４ａとが離間す
ることを防止する。こうして、上記キヤピラリ３がペレ
ツト表面（あるいはリード面）の高さまで下降したボン
デインク位置において、上記ボンデイングアーム１は、
ローラ１４ａおよびローラ１４ｂと離間する。
つまり、上記ボンデイングアーム１の一端のキヤピラリ
３には、スプリング１５により所定のボンディング圧力
が加わりボンデイングが行なわれる。上記ボンデイング
装置の動作について第３図ａ〜ｃを基にさらに述べる。
まず、第３図ａはボンデイング前のボンデイングアーム
１及びキヤピラリ３の状態を示すものである。
３には、スプリング１５により所定のボンディング圧力
が加わりボンデイングが行なわれる。上記ボンデイング
装置の動作について第３図ａ〜ｃを基にさらに述べる。
まず、第３図ａはボンデイング前のボンデイングアーム
１及びキヤピラリ３の状態を示すものである。
同図ａからもわかるようにローラ１４ａ，１４ｂはポン
デイングアーム１の端部において上記ボンデイングアー
ム１に接つして℃・る。この時、ローラ１４ａと１４ｂ
間の距離はＷ，である。そして、第３図ｂは、上記した
ようにカム８ａの回転によりボンデイングアーム１のキ
ャピラリ３を有する端部がポンチインク点（ペレツト面
又はリード面）に向つて下降するように上記ボンデイン
グアーム１を駆動する場合を示す。同図ｂからもわかる
ように、ローラ１４ａ，１４ｂは上記第３図ａの場合と
同様にボンデイングアーム１の端部において、上記ボン
デイングアーム１に接つしている。すなわち、上記した
ように、カム８ａによる駆動力がローラ１４、ａを介し
てさらに、カム８ｂによる上記駆動力とは反対方巾の力
がローラ１４ｂを介してそれぞれ上記ボンデイングアー
ム１に与えられるのである。さらに、第３図ｃは、上記
ボンデイングアニム１に備えられたキヤピラ１Ｊ３がボ
ンデイング点まで下降した状態を示すものである。上記
第３図ｂに示すようにポンチインクアーム１を駆動しキ
ヤピラリ３がボンデイング点（ペレツト表面）に近くな
るとローラ１４ａとローラ１４ｂの間はＷ２（Ｗ２〉Ｗ
１）の距離となり上記ローラ１４ａ，１４ｂはポンチイ
ンクアーム１と離間する。
デイングアーム１の端部において上記ボンデイングアー
ム１に接つして℃・る。この時、ローラ１４ａと１４ｂ
間の距離はＷ，である。そして、第３図ｂは、上記した
ようにカム８ａの回転によりボンデイングアーム１のキ
ャピラリ３を有する端部がポンチインク点（ペレツト面
又はリード面）に向つて下降するように上記ボンデイン
グアーム１を駆動する場合を示す。同図ｂからもわかる
ように、ローラ１４ａ，１４ｂは上記第３図ａの場合と
同様にボンデイングアーム１の端部において、上記ボン
デイングアーム１に接つしている。すなわち、上記した
ように、カム８ａによる駆動力がローラ１４、ａを介し
てさらに、カム８ｂによる上記駆動力とは反対方巾の力
がローラ１４ｂを介してそれぞれ上記ボンデイングアー
ム１に与えられるのである。さらに、第３図ｃは、上記
ボンデイングアニム１に備えられたキヤピラ１Ｊ３がボ
ンデイング点まで下降した状態を示すものである。上記
第３図ｂに示すようにポンチインクアーム１を駆動しキ
ヤピラリ３がボンデイング点（ペレツト表面）に近くな
るとローラ１４ａとローラ１４ｂの間はＷ２（Ｗ２〉Ｗ
１）の距離となり上記ローラ１４ａ，１４ｂはポンチイ
ンクアーム１と離間する。
そして上記ボンデイングアーム１はスプリング１５によ
つて駆動されキヤピラリ３はボンデイング点に達つする
のである。上記ボンデイングを終えた後、カムフオロア
１０ｂ、レバー１１ｂおよびローラ１４ｂを介してボン
デイングアーム１に駆動力を与える。
つて駆動されキヤピラリ３はボンデイング点に達つする
のである。上記ボンデイングを終えた後、カムフオロア
１０ｂ、レバー１１ｂおよびローラ１４ｂを介してボン
デイングアーム１に駆動力を与える。
これにより、上記キヤビラリ３は、上昇動作に移行し、
ペレツト面（あるいはリード面）から離れるが、その直
後に今までボンデイングアーム１から離間していたロー
ラ１４ａが該ボンデイングアーム１に当接し、その状態
でキヤピラリが上昇する。この状態では、ボンデイング
アーム１は、ローラ１４ｂ（すなわちカム８ｂ）により
駆動力が与えられた状態でしかもローラ１４ａ（すなわ
ちカム８ａ）により拘束力が与えられた状態となつてい
る。こうして、キヤピラリ３がボンデイング前の高さ位
置に達する。
ペレツト面（あるいはリード面）から離れるが、その直
後に今までボンデイングアーム１から離間していたロー
ラ１４ａが該ボンデイングアーム１に当接し、その状態
でキヤピラリが上昇する。この状態では、ボンデイング
アーム１は、ローラ１４ｂ（すなわちカム８ｂ）により
駆動力が与えられた状態でしかもローラ１４ａ（すなわ
ちカム８ａ）により拘束力が与えられた状態となつてい
る。こうして、キヤピラリ３がボンデイング前の高さ位
置に達する。
そして、キヤピラリの上昇とともに該キヤピラリ３は、
周知の如く、パルスモータ等にてリード面上（あるいは
ペレツト面上）ボンデイングすべき所定位置まで移動さ
れる。続いて、前記と同様にして上記キヤピラリ３のポ
ンチインク動作が行なわれる。上述の如く、本発明によ
るカム駆動機構を有するボンデイング装置によれば、ボ
ンデイングアーム等の被駆動体を動かすカムを２ケとし
、一方を１駆動用のカムとし、他方を拘束用のカムとし
て用いる構成としているため、スプリングの力によつて
リンク系が駆動される従来の方式とは異なり、リンク系
自身の慣性に左右されることなく、２つのカムで拘束し
た状態で駆動でき、したがつてリンク系がカムプロフイ
ールの速い変化にも追従でき、しかもカムプロフイール
から受ける急激な力によりリンク系がはね上がることも
有効に防止でき、これにより上記ボンデイングアーム等
の被駆動体を高速においても確実に動作させうる特長を
有する。
周知の如く、パルスモータ等にてリード面上（あるいは
ペレツト面上）ボンデイングすべき所定位置まで移動さ
れる。続いて、前記と同様にして上記キヤピラリ３のポ
ンチインク動作が行なわれる。上述の如く、本発明によ
るカム駆動機構を有するボンデイング装置によれば、ボ
ンデイングアーム等の被駆動体を動かすカムを２ケとし
、一方を１駆動用のカムとし、他方を拘束用のカムとし
て用いる構成としているため、スプリングの力によつて
リンク系が駆動される従来の方式とは異なり、リンク系
自身の慣性に左右されることなく、２つのカムで拘束し
た状態で駆動でき、したがつてリンク系がカムプロフイ
ールの速い変化にも追従でき、しかもカムプロフイール
から受ける急激な力によりリンク系がはね上がることも
有効に防止でき、これにより上記ボンデイングアーム等
の被駆動体を高速においても確実に動作させうる特長を
有する。
第１図は従来のこの種のカム駆動機構の一例を示す概略
機構図、第２図は本発明によるカム駆動機構を有するボ
ンデイング装置の１実施例の概略機構図、第３図ａ−ｃ
は第２図に示したボンデイング装置の動作を示す動作概
略図である。 １・・・・・・ボンデイングアーム、３・・・・・・キ
ヤピラリ、８ａ，８ｂ・・・・・・カム、１０ａ，１０
ｂ・・・・・・カムフオロア、１１ａ，１１ｂ・・・・
・・レバー、１３ａ，１３ｂ・・・・・・スプリング、
１４ａ，１４ｂ・・・・・・口ーラ、１５・・・・・・
スプリング。
機構図、第２図は本発明によるカム駆動機構を有するボ
ンデイング装置の１実施例の概略機構図、第３図ａ−ｃ
は第２図に示したボンデイング装置の動作を示す動作概
略図である。 １・・・・・・ボンデイングアーム、３・・・・・・キ
ヤピラリ、８ａ，８ｂ・・・・・・カム、１０ａ，１０
ｂ・・・・・・カムフオロア、１１ａ，１１ｂ・・・・
・・レバー、１３ａ，１３ｂ・・・・・・スプリング、
１４ａ，１４ｂ・・・・・・口ーラ、１５・・・・・・
スプリング。
Claims (1)
- １ 支点を有しこの支点を中心にした回転方向に上下動
の変位が可能なボンディングアームと、ワイヤを案内し
被ワイヤボンディング体にワイヤのボンディングを行な
うものであつて、前記アームの支点から離れた位置に取
り付けられているボンディング用接続工具と、前記アー
ムの支点から離れた位置において前記アームを前記支点
を中心にした回転方向に上下動の変位をさせるための一
対の第１と第２の変位機構と、上記第１、第２の変位機
構を駆動するための第１、第２のカム駆動機構と、前記
アームにボンディング用圧力を加える機構とを有し、前
記一対の第１と第２の変位機構の前記アームへの当接部
は、前記アームを前記支点を中心にした回転方向に上下
動の変位をさせるようにこのアームに対し互に対向して
配置されてなり、しかも前記一対の第１と第２の変位機
構の前記アームへの当接部間のボンディング時の間隔は
、前記アームをボンディング位置へ変位させる過程での
間隔に比べ大きくしておき、前記ボンディング時には前
記ボンディング用圧力を加える機構により前記アームを
変位させるごとく構成してなることを特徴とするカム駆
動機構を有するボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP48127302A JPS5916135B2 (ja) | 1973-11-14 | 1973-11-14 | カム駆動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP48127302A JPS5916135B2 (ja) | 1973-11-14 | 1973-11-14 | カム駆動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5077763A JPS5077763A (ja) | 1975-06-25 |
| JPS5916135B2 true JPS5916135B2 (ja) | 1984-04-13 |
Family
ID=14956582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP48127302A Expired JPS5916135B2 (ja) | 1973-11-14 | 1973-11-14 | カム駆動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5916135B2 (ja) |
-
1973
- 1973-11-14 JP JP48127302A patent/JPS5916135B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5077763A (ja) | 1975-06-25 |
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