JPS5920649Y2 - レ−ザ出力測定装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はレーザの出力を測定する装置に関するものであ
る。

従来のレーザ出力測定装置としては第１図に示す如くレ
ーザ発生源ａより出力されるレーザビームｂをビーム吸
収器Ｃに照射し、そのビーム吸収器Ｃの温度上昇を検出
してレーザ出力を測定する装置が知られている。

そして、ビーム吸収器Ｃとして第２図に示す如く、平滑
板状の受光面ｄを有する形状、第３図に示す如くＶ字状
の受光面ｄを有するコーンタイプ、第４図に示す如くＶ
字状受光面ｄと多面体の受光面ｅとを有するコーン・黒
体タイプ等がしられているが、第１のものは表面劣化が
激しく精度が悪い、第２のもの及び第３のものは製作が
困難、洩れる量多い等の不具合を有する。

また、第１図に示す測定装置では吸収面の劣化により吸
収率が変化し精度が悪い、レーザビーム径の変化に対し
て自由度が少ない、大出力レーザビームに耐えうる表面
がなく大出力を測定することは困難で２〜３Ｋｗ程の小
出力のレーザビームしか測定できない等の不具合を有す
る。

本考案は上記の事情に鑑みなされたものであり、その目
的はレーザの出力を精度良く測定できるようにしたレー
ザ出力測定装置を提供することである。

以下第５図以降を参照して本考案の実施例を説明する。

レーザ発生源１のレーザビーム２はビーム吸収器３のビ
ーム人口４に照射される。

水源５より吐出される水は流量調整弁６、流量計７、圧
力検出器８、測定用ヒータ９を経て前記ビーム吸収器３
の水入口３ａに供給された後に水出口３ｂより流出する
。

前記測定用ヒータ９は電力計１０に接続され、メータ１
０にはトランス１１が接続され、トランス１１は電源に
接続されて電源により加熱されるようになっていると共
にその加熱に要した電気エネルギーを測定できるように
構威しである。

前記水の流路における測定ヒータ９の流入側とビーム吸
収器３の水出口３ｂには一対の温度検出器１００，１０
２が設けてあり、実施例では精度を上げるためにサーミ
スタとなっている。

次に前記ビーム吸収器３の詳細を説明する。

板状三角形の基体２０における各端縁部に中空三角錐状
の覆体２１を形成する各板状三角形の覆板２２における
基端フランジ２２ ａをボルト・ナツト２３で締付けて
中空の異形４面体２４を形成し、前記基体２０の外側面
２０ ａに板状三角形の隔壁２５を間隔を有して取付け
て水路２６を形成すると共に、前記各覆板２２の外側面
２２ ａに覆体２１と相似形の中空三角錐状の隔壁体２
７の板状三角形の隔壁２７ ａを間隔を有して取付けて
覆板２２の外側面に沿った水路２８をそれぞれ形成し、
該水路２８は隔壁体２７の頂部に設けたブロック２９の
水路３０にそれぞれ開口連通している。

前記基体２０、覆板２２の内表面２０ ｂ 、２２ ｂ
は表面吸収率が２０〜４０％と悪くしである。

そして、前記中空の異形４面体２４は筐体３１内に取付
は支持してあり、該筐体３１には水入口３ａとなる主入
口用ニップル３２と水出口３ｂとなる主出口用ニップル
３５とが設けられ、該主人口用ニップル３２はホース（
図示せず）を経て前記水路３０に開口した入口用ニップ
ル３３に接続連通してあり、該水路３０は水路２８、ニ
ップル３６、ホース（図示せず）、前記隔壁２５に水路
２６に開口取付けた入口用ニップル３４を経て水路２６
に接続連通しであると共に、前記主出口用水路２６に接
続連通しであると共に、前記主出口用ニップル３５はホ
ース（図示せず）を介して前記水路２６に開口取付けた
出口用ニップル３６にそれぞれ接続連通してあって水入
口３ａより流入した水は各水路３０．２８．２６を経て
水出口３ｂより流出する。

また、前記筐体３１．隔壁２５、基体２０に亙ってビー
ム人口４とチェック用ホール３７とが対称的に設けてあ
って、レーザビームはビーム人口４より異形４面体２４
内に照射されて基体２０、覆板２２の内表面２０ｂ、２
２ｂに反射して水路３０ 、２８．２６を流通する水を
加熱昇温するとともに、異形４面体２４内より洩れるレ
ーザビームをチェック用ホール３７でチェックできるよ
うに構威しである。

次に動作を説明する。

水源５の水を水入口３ａよりビーム吸収器３の水路３０
、２８ 、２６を経て水出口３ｂより流出させるとと
もに、ビーム人口４よりレーザビーム２を異形４面体２
４内に照射させて水路３０ 、２８ 、２６を流通する
水を加熱昇温させる。

これにより、水路３０，２８．２６を流通する水はレー
ザビーム２の出力に応し値まで加熱昇温され、その昇温
温度は第１．第２温度検出器１０１，１０２の検出温度
差により検出される。

次に、レーザビーム２の照射を停止させて水のみを流通
させるとともに測定用ヒータ９にトランス１１を経て電
力を供給して発熱させて流通する水を加熱昇温させる。

この測定用ヒータ９で加熱昇温される水の温度は第１．
第２温度検出器１０１，１０２の温度差で検出され、こ
の温度差が前記のレーザビーム２による加熱昇温時の温
度差と同一となるまで測定用ヒータ９に電力を供給する
。

そしてそれまで要した電力エネルギーにより前記レーザ
ビーム２の出力を換算測定する。

このように、レーザビーム２で加熱昇温される水温状態
を測定用ヒータ９で再現し、その電力エネルギーよりレ
ーザビーム出力を換算測定するのでレーザ出力を精度良
く測定できる。

また、流量調整弁６はレーザビーム２の出力の大きさに
より水量を変えるためであり、これによって大出力のレ
ーザ出力をも測定できる。

また、流量計７はレーザビーム２による加熱昇温時の水
量と測定用ヒータ９による加熱昇温時の水量が同一であ
るかをチェックするためのものである。

また、ビーム吸収器３は異形４面体２４となり一度入射
されたレーザビーム２は外に出ないように構成されてい
ると共に、チェック用ホール３７を有しているから洩れ
出たレーザビーム出力をチェックでき、さらには表面吸
収率を悪く（２０〜４０％）して吸収面上の一部の熱劣
化を低減できると共に、基体２０と覆体２１とをボルト
締めした構造であるから簡単に分解でき製作も容易とな
る。

本考案は前述のように構成したので、レーザ出力を精度
良く測定できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の全体図、第２図、第３図、第４図は従
来のビーム吸収器の説明図、第５図は本考案の実施例を
示す全体説明図、第６図はビーム吸収器の断面図、第７
図はその左正面図である。 ３はビーム吸収器、５は水源、９は測定用ヒータ、１（
ｈ 、 １０２は第１・第２温度検出器、２６ 、２８
、３０は水路。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 水源５の水を測定用ヒータ９を経てビーム吸収器３の水
   路３０，２８．２６に流通させると共に、該測定用ヒー
   タ９の入口側とビーム吸収器の出口側に第１、第２温度
   検出器１０．，１０２を設け、前記測定用ヒータ９を電
   源に消費電力測定器１０を経て接続したことを特徴とす
   るレーザ出力測定装置。