JPS5945126B2 - Manufacturing method of liquid crystal display element - Google Patents
Manufacturing method of liquid crystal display elementInfo
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- JPS5945126B2 JPS5945126B2 JP54105156A JP10515679A JPS5945126B2 JP S5945126 B2 JPS5945126 B2 JP S5945126B2 JP 54105156 A JP54105156 A JP 54105156A JP 10515679 A JP10515679 A JP 10515679A JP S5945126 B2 JPS5945126 B2 JP S5945126B2
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Description
【発明の詳細な説明】 この発明は液晶表示素子の製造方法に関する。[Detailed description of the invention] The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display element.
従来、文字、数字等を表示するようにした液晶表示素子
において、表示特性を良好にするために液晶表示素子を
構成する両基板のパターン電極側の表面に、酸化シリコ
ンSiO2等で配向制御膜を形成するようにしている。
この配向制御膜の形成には、(a)基板のパターン電極
側の表面に、酸化シリコン5102等で蒸着法等により
膜を形成し、この膜面を所定方向に布等によりラビング
する。Conventionally, in a liquid crystal display element for displaying characters, numbers, etc., an alignment control film made of silicon oxide, SiO2, etc., has been applied to the surface of the pattern electrode side of both substrates constituting the liquid crystal display element in order to improve the display characteristics. I'm trying to form it.
To form this alignment control film, (a) a film of silicon oxide 5102 or the like is formed by vapor deposition on the surface of the substrate on the pattern electrode side, and the film surface is rubbed in a predetermined direction with a cloth or the like.
(b)又は、上記基板のパターン電極側の表面に所定角
度で斜め蒸着する方法で行なわれている。(b) Alternatively, it is performed by diagonally depositing at a predetermined angle on the surface of the substrate on the pattern electrode side.
然るに、(a)のラビング方式においては、液晶分子の
プレテイルト角、すなわち、無電界時における液晶表示
素子の基板の配向制御膜面に対して液晶分子の長軸がな
す角度を制御できる範囲が狭く、またパターン電極に所
定の電圧を印加した際に液晶分子の配向欠陥(リバース
・テイルト・デイスクリネーシヨン)、いいかえると誘
起ドメインを発生し易く、さらに、上記配向制御膜の表
面がラビング布の屑等で汚れ易く、このような基板で構
成した液晶セルの表示特性は不満足なものであつた。However, in the rubbing method of (a), the range in which the pretilt angle of the liquid crystal molecules, that is, the angle formed by the long axis of the liquid crystal molecules with respect to the alignment control film surface of the substrate of the liquid crystal display element in the absence of an electric field, can be controlled is narrow. In addition, when a predetermined voltage is applied to the pattern electrode, alignment defects (reverse tailed disclination) of liquid crystal molecules, in other words, induced domains are likely to occur. The display characteristics of liquid crystal cells constructed with such substrates were unsatisfactory.
また、配向制御膜の形成作業の他にラビング作業が必要
であり、このため液晶表示素子用基板の生産性が良くな
かつた。一方、(b)の斜め蒸着方式においては、上記
プレテイルト角を(a)の方式によるものより大きな範
囲で制御できるものの、しきい電圧Vthに対する飽和
電圧Vsatの比の値Vsat/Vthが大きく、すな
わち、急峻度が不充分でコントラスト特性が良くなかつ
た。Further, a rubbing operation is required in addition to the operation of forming the alignment control film, and therefore the productivity of the substrate for a liquid crystal display element is not good. On the other hand, in the oblique deposition method (b), although the pretilt angle can be controlled over a larger range than in the method (a), the ratio Vsat/Vth of the saturation voltage Vsat to the threshold voltage Vth is large, i.e. , the steepness was insufficient and the contrast characteristics were not good.
また斜め蒸着作業自体が厄介な作業であり、このため、
液晶表示素子用基板の生産性が良くなかつた。この発明
は、上記種々の欠点をな<すためになされたもので、所
望のパターン電極を設けた基板を遠心機で回転しながら
パターン電極側の表面に液状物質を霧状に噴霧し、液晶
分子の配向を制御する配向制御膜を形成するようにした
ものであり、液晶表示素子におけるプレテイルト角を大
きな範囲で制御することができるとともに、Vsat/
Vth値の小さいコントラスト特性の良好なものとする
ことができ、また、配向制御膜の表面を汚す虞れもなく
簡単な作業で安価に製造できる液晶表示素子の製造方法
を提供することを目的とする。In addition, the oblique evaporation work itself is a troublesome work, so
The productivity of substrates for liquid crystal display elements was not good. This invention has been made to solve the various drawbacks mentioned above, and is made by spraying a liquid substance in the form of a mist onto the surface of the pattern electrode while rotating a substrate provided with a desired pattern electrode in a centrifuge, thereby creating a liquid crystal display. It is designed to form an alignment control film that controls the alignment of molecules, making it possible to control the pretilt angle in a liquid crystal display element over a wide range, and also to reduce Vsat/
It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a liquid crystal display element that can have a small Vth value and good contrast characteristics, and can be manufactured at low cost with simple operations without the risk of staining the surface of an alignment control film. do.
以下に、この発明の一実施例を添付図面にしたがつて説
明する。第1図はこの発明に適用できる装置の概略構成
図であり、1は方形状のガラス板等の基板で、この基板
1の一表面には酸化シリコンSiO2でスクリーン印刷
法等により、たとえば、日の字形の透明なパターン電極
2が設けられている。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an apparatus applicable to the present invention, in which 1 is a rectangular substrate such as a glass plate, and one surface of this substrate 1 is coated with silicon oxide (SiO2) by a screen printing method or the like. A transparent pattern electrode 2 in the shape of a square is provided.
3は遠心機の回転ドラムで、この回転ドラム3の内周面
に沿つて図示しない固定部材により、基板1がそのパタ
ーン電極2側の表面を回転ドラム3の中心に向け、かつ
その表面の軸線01が回転ドラム3の回転方向Aに対し
て所定の角度をなすように固定されるようになつている
。Reference numeral 3 denotes a rotating drum of a centrifuge, and a fixing member (not shown) is provided along the inner peripheral surface of the rotating drum 3 so that the substrate 1 faces the pattern electrode 2 side toward the center of the rotating drum 3 and the axis of the surface. 01 is fixed so as to form a predetermined angle with respect to the rotation direction A of the rotating drum 3.
この回転ドラム3の内部空間には、噴霧装置のノズル4
が回転ドラム3の内周面に向けて配設され、図中、破線
で示すように、配向制御膜形成用の液状物質5、たとえ
ば、シラノール溶液をノズル4から基板1に向けてスプ
レーするようになつている。つぎに、上述した装置を用
いて液晶表示素子用基板上に配向制御膜を形成する方法
について説明する。In the internal space of this rotating drum 3, a nozzle 4 of a spraying device is installed.
is arranged toward the inner peripheral surface of the rotating drum 3, and as shown by the broken line in the figure, a liquid substance 5 for forming an alignment control film, for example, a silanol solution, is sprayed from a nozzle 4 toward the substrate 1. It's getting old. Next, a method for forming an alignment control film on a liquid crystal display element substrate using the above-described apparatus will be described.
はじめに、遠心機の回転ドラム3の固定部材に基板1を
、上述したように取り付け、回転ドラム3を数百R.p
.mの遅い速度で矢印A方向に回転5駆動する。First, the substrate 1 is attached to the fixing member of the rotary drum 3 of a centrifuge as described above, and the rotary drum 3 is heated several hundred R. p
.. Rotate 5 times in the direction of arrow A at a slow speed of m.
そして、この状態において、噴霧装置のノズル4からシ
ラノール溶液の液状物質5を霧状にして基板1に向けて
スプレーし、この液状物質5の霧状体を基板1のパター
ン電極側の表面に付着させる。このようにして、基板1
のパターン電極側の表面に、第2図に示すように、点状
に散在する酸化シリコンSiO2の凝結した多数の半球
状の核6を形成する。In this state, a liquid substance 5 of silanol solution is atomized and sprayed toward the substrate 1 from the nozzle 4 of the spraying device, and the atomized substance 5 of the liquid substance 5 is attached to the surface of the substrate 1 on the pattern electrode side. let In this way, the substrate 1
As shown in FIG. 2, a large number of hemispherical nuclei 6 of condensed silicon oxide SiO2 scattered in a dotted manner are formed on the surface of the pattern electrode side.
つぎに、液状物質5のスプレーを停止する一方、回転ド
ラム3を矢印A方向に高速で数分間回転する。Next, while stopping the spraying of the liquid substance 5, the rotating drum 3 is rotated at high speed in the direction of arrow A for several minutes.
その後、回転ドラム3の回転速度を上げて液状物質5を
スプレーすることにより、各核6を中心に遠心機の回転
ドラム3の回転方向Aと逆方向に液状物質5を付着させ
、基板1の表面の所定方向に極性を有する配向制御膜7
を形成する。Thereafter, by increasing the rotational speed of the rotating drum 3 and spraying the liquid substance 5, the liquid substance 5 is deposited on each nucleus 6 in a direction opposite to the rotation direction A of the rotating drum 3 of the centrifuge. Orientation control film 7 having polarity in a predetermined direction on the surface
form.
そして、ノズル4からの液状物質5のスプレー操作を停
止するとともに回転ドラム3を遅い速度で回転駆動し、
基板1に形成された配向制御膜7を予備乾燥し、その後
、この予備乾燥した基板1をオーブン等により乾燥し、
これで液晶表示素子用基板8を完成する。Then, the operation of spraying the liquid substance 5 from the nozzle 4 is stopped, and the rotating drum 3 is driven to rotate at a slow speed.
The alignment control film 7 formed on the substrate 1 is pre-dried, and then the pre-dried substrate 1 is dried in an oven or the like.
This completes the liquid crystal display element substrate 8.
このようにして、第3図に示すように、基板1のパター
ン電極2側の表面に、第2図に示すような多数の核6を
基にしてシラノール溶液の噴霧体が付着し、遠心機の回
転ドラム3の回転方向A側に急な傾斜面を、その反対側
に緩やかな傾斜面を有する多数の傾斜部7aが形成され
た異方性を有する配向制御膜7が得られる。In this way, as shown in FIG. 3, a spray of silanol solution is attached to the surface of the substrate 1 on the pattern electrode 2 side based on a large number of nuclei 6 as shown in FIG. An anisotropic alignment control film 7 is obtained in which a large number of inclined portions 7a are formed, each having a steeply inclined surface on the rotation direction A side of the rotating drum 3 and a gentle inclined surface on the opposite side.
なお、基板1の配向制御膜7の異方軸方向、すなわち、
配向制御膜7の各傾斜部7aの法線02の方向は、遠心
機の回転卜゛ラム3内に配設された固定部材(図示しな
い)を介して、回転ドラム3の回転方向Aに対する基板
1の軸01の方向を所定角度にセツトすることにより決
定することができる。Note that the anisotropic axis direction of the alignment control film 7 of the substrate 1, that is,
The direction of the normal line 02 of each inclined portion 7a of the orientation control film 7 is determined by the direction of the substrate relative to the rotation direction A of the rotary drum 3 via a fixing member (not shown) disposed within the rotary drum 3 of the centrifuge. This can be determined by setting the direction of axis 01 of 1 at a predetermined angle.
上述のように製作した2枚の液晶表示素子用基板8,8
は、第4図に示すように、互いに各基板8,8の膜7,
7を平行状に対向しかつ所定の間隔でフリツト等のスペ
ーサ9を介して貼り合わされて、液晶表示素子11が形
成される。Two liquid crystal display element substrates 8, 8 manufactured as described above.
As shown in FIG. 4, the films 7, 8 of each substrate 8,
The liquid crystal display element 11 is formed by bonding the liquid crystal display elements 7 parallel to each other at a predetermined interval with spacers 9 such as frits interposed therebetween.
この液晶表示素子11の両基板8,8およびスペーサ9
で形成される空間部に、公知の真空式注人方法により、
一方の基板8に穿設された注入孔12を介して液晶13
を注入し、さらに、両基板8,8の各外面に偏光板14
,14を貼着して、液晶表示装置用の液晶表示素子とし
て完成する。このように、基板8を使用して製作された
液晶表示素子11においては、遠心機の回転ドラム3の
回転速度、配向制御膜形成用の液状物質5の粘度、およ
び液状物質5のノズル4からの噴霧圧力を調整すること
により、両基板8,8のパターン電極2,2間に何ら電
圧を印加しない状態における液晶分子のプレテイルト角
を、従来方式による基板を使用したものにおけるよりも
大きな範囲内で設定することができ、すなわち、配向制
御力の大きなものとすることができ、上記電極2,2間
に所定の電圧を印加した際に、配向欠陥(リバース・テ
イルト・デイスクリネーシヨン)、いいかえると誘起ド
メインを発生する虞れもなく、表示特性の良好なものが
得られる。Both substrates 8, 8 and spacer 9 of this liquid crystal display element 11
Into the space formed by a known vacuum pouring method,
Liquid crystal 13 is inserted through an injection hole 12 formed in one substrate 8.
Further, a polarizing plate 14 is injected onto each outer surface of both substrates 8, 8.
, 14 are attached to complete a liquid crystal display element for a liquid crystal display device. In this way, in the liquid crystal display element 11 manufactured using the substrate 8, the rotational speed of the rotating drum 3 of the centrifuge, the viscosity of the liquid substance 5 for forming the alignment control film, and the flow rate from the nozzle 4 of the liquid substance 5 are determined. By adjusting the spray pressure, the pretilt angle of the liquid crystal molecules in a state where no voltage is applied between the pattern electrodes 2, 2 of both substrates 8, 8 can be kept within a larger range than when using conventional substrates. In other words, it can be set to have a large orientation control force, and when a predetermined voltage is applied between the electrodes 2, 2, orientation defects (reverse tailed disclination), Good display characteristics can be obtained without the risk of generating induced domains.
また、基板8の配向制御膜7は、従来方式によるよのに
比べて配向規制力を強くすることができ、特に、従来の
斜め蒸着方式によるものよりもしきい直電圧Vthを大
きくできる。Further, the alignment control film 7 of the substrate 8 can have a stronger alignment regulating force than that by the conventional method, and in particular, can make the threshold direct voltage Vth larger than that by the conventional oblique vapor deposition method.
したがつて、急峻度を大きなものに設定でき、コントラ
スト特性の良好なものが得られる。さらには、基板8の
配向制御膜7は、ラピングすることもなく形成できるの
で表面汚染の虞れもなく、それだけ液晶表示素子の信頼
性を良好なものにすることができ、また、ラピング作業
も必要とせず、あるいは、斜め蒸着作業のような厄介な
操作を行なう必要もなく、少ない工程数で簡単に製作で
きる等の種々の利点がある。Therefore, the steepness can be set to a large value, and good contrast characteristics can be obtained. Furthermore, since the alignment control film 7 on the substrate 8 can be formed without wrapping, there is no risk of surface contamination, and the reliability of the liquid crystal display element can be improved accordingly. It has various advantages, such as not requiring complicated operations such as oblique vapor deposition, and being easily manufactured with a small number of steps.
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明に適用できる装置の概略構成説明図、
第2図はこの発明の中間工程における液晶表示素子用基
板の状態説明図、第3図は第2図の基板の完成状態説明
図、第4図はこの発明に係る液晶表示素子の一実施例の
断面図である。
1・・・・・・基板、2・・・・・・パターン電極、3
・・・・・・遠心機の回転ドラム、4・・・・・・噴霧
装置のノズル、5・・・・・・・・・配向制御膜形成用
の液状物質、6・・・・・・核、7・・・・・・配向制
御膜、7a・・・・・・傾斜部、8・・・・・・液晶表
示素子用基板、11・・・・・・液晶表示素子。[BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS] FIG. 1 is an explanatory diagram of a schematic configuration of a device applicable to the present invention;
Fig. 2 is an explanatory diagram of the state of the substrate for a liquid crystal display element in an intermediate step of the present invention, Fig. 3 is an explanatory diagram of the completed state of the substrate of Fig. 2, and Fig. 4 is an embodiment of the liquid crystal display element according to the present invention. FIG. 1...Substrate, 2...Pattern electrode, 3
... Rotating drum of centrifuge, 4 ... Nozzle of spraying device, 5 ... Liquid substance for forming alignment control film, 6 ... Nucleus, 7...Alignment control film, 7a...Slanted portion, 8...Substrate for liquid crystal display element, 11...Liquid crystal display element.
Claims (1)
ムの面上に配置し、前記回転ドラムの低速回転状態にお
いて噴霧装置のノズルから前記基板に向つて液晶配向制
御膜の源となる液状物質を霧状にスプレーすることによ
つて前記基板表面に半球状の核を形成し、次に、前記回
転ドラムの高速回転状態において前記噴霧装置のノズル
から前記液状物質を霧状にスプレーすることによつて前
記基板表面に所定方向に傾斜した多数の斜面部を有する
配向制御膜を形成するようにしたことを特徴とする液晶
表示素子の製造方法。1. A substrate on which a patterned electrode is formed is placed on the surface of a rotating drum, and while the rotating drum is rotating at a low speed, a liquid substance that will become the source of a liquid crystal alignment control film is directed from a nozzle of a spraying device toward the substrate. A hemispherical nucleus is formed on the surface of the substrate by spraying in a mist, and then the liquid substance is sprayed in a mist from a nozzle of the spraying device while the rotating drum is rotating at high speed. A method for manufacturing a liquid crystal display element, characterized in that an alignment control film having a large number of inclined surfaces inclined in a predetermined direction is formed on the surface of the substrate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54105156A JPS5945126B2 (en) | 1979-08-17 | 1979-08-17 | Manufacturing method of liquid crystal display element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54105156A JPS5945126B2 (en) | 1979-08-17 | 1979-08-17 | Manufacturing method of liquid crystal display element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5629212A JPS5629212A (en) | 1981-03-24 |
| JPS5945126B2 true JPS5945126B2 (en) | 1984-11-05 |
Family
ID=14399845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54105156A Expired JPS5945126B2 (en) | 1979-08-17 | 1979-08-17 | Manufacturing method of liquid crystal display element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5945126B2 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3904126A1 (en) * | 1989-02-11 | 1990-08-16 | Nokia Unterhaltungselektronik | METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING LIQUID CRYSTAL CELLS |
| JPH0333630A (en) * | 1989-06-30 | 1991-02-13 | Toshiba Corp | Semiconductor pressure sensor |
| JP4877415B2 (en) * | 2010-12-09 | 2012-02-15 | トヨタ自動車株式会社 | Exhaust gas recirculation device for internal combustion engine |
-
1979
- 1979-08-17 JP JP54105156A patent/JPS5945126B2/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5629212A (en) | 1981-03-24 |
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