JPS5953321B2 - 粉末焼結装置 - Google Patents
粉末焼結装置Info
- Publication number
- JPS5953321B2 JPS5953321B2 JP52089398A JP8939877A JPS5953321B2 JP S5953321 B2 JPS5953321 B2 JP S5953321B2 JP 52089398 A JP52089398 A JP 52089398A JP 8939877 A JP8939877 A JP 8939877A JP S5953321 B2 JPS5953321 B2 JP S5953321B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- sintering
- pressure
- punch
- punches
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は金属、合金粉末、またはカーボン、セラミック
等の混合粉末を通電焼結する焼結装置の改良にに関する
。
等の混合粉末を通電焼結する焼結装置の改良にに関する
。
梨型内に充填した粉末に対して加圧と通電と同時に行な
い、制御して行ない、加圧は通常0.5〜10kg/c
m”程度の軽加圧をすることによって粉末相互間に放電
を行ない、加熱作用、拡散作用、酸化膜付着ガスの分解
除去作用等を働かせると同時に、ジュール熱発熱により
加熱し、不純物ガスの除去により梨型内充填粉末全体が
次第に収縮していくが、この収縮に対する追従制御を行
ないながら前記焼結処理を続け、最終的にアプセット圧
を加えて焼結成形するが、粉末焼結は、材料の粒度1、
材質特性、材料の吸着ガス量酸化度、焼結温度、粉末に
対する加圧の加わり方、媒体ガスの状態等によって焼結
体の性質は異なって来るものであり、仲々均一焼結は困
難であった。
い、制御して行ない、加圧は通常0.5〜10kg/c
m”程度の軽加圧をすることによって粉末相互間に放電
を行ない、加熱作用、拡散作用、酸化膜付着ガスの分解
除去作用等を働かせると同時に、ジュール熱発熱により
加熱し、不純物ガスの除去により梨型内充填粉末全体が
次第に収縮していくが、この収縮に対する追従制御を行
ないながら前記焼結処理を続け、最終的にアプセット圧
を加えて焼結成形するが、粉末焼結は、材料の粒度1、
材質特性、材料の吸着ガス量酸化度、焼結温度、粉末に
対する加圧の加わり方、媒体ガスの状態等によって焼結
体の性質は異なって来るものであり、仲々均一焼結は困
難であった。
本発明は任意の粉末に対し、混合粉末に対して均一で、
高密度に良好な焼結が行なえる焼結装置を提案するもの
で、通電々極兼加圧パンチは焼結形状、大きさに対応し
て任意個数に分割した分割パンチを使用し、各々に独立
して加圧するプレス装置を設け、且つ各々が制御できる
単位電源を設けて、全体焼結を均一に、また部分焼結し
て全体が焼結でき、均一に焼結できるようにしたことを
特徴とするものである。
高密度に良好な焼結が行なえる焼結装置を提案するもの
で、通電々極兼加圧パンチは焼結形状、大きさに対応し
て任意個数に分割した分割パンチを使用し、各々に独立
して加圧するプレス装置を設け、且つ各々が制御できる
単位電源を設けて、全体焼結を均一に、また部分焼結し
て全体が焼結でき、均一に焼結できるようにしたことを
特徴とするものである。
以下−実施例図により本発明を説明する。
第1図において、1は型で、この中に焼結粉末2が充填
される。
される。
3a、3b、3C,3dが上面から加圧焼結する通電々
極兼加圧パンチの分割パンチで、各々に独立した加圧シ
リンダ4a、4b、4C,4dが設けられる。
極兼加圧パンチの分割パンチで、各々に独立した加圧シ
リンダ4a、4b、4C,4dが設けられる。
5は下面加圧パンチ、6は商用交流電源の入力端子、7
は整流器で、交流を全波整流して直流電源を得る。
は整流器で、交流を全波整流して直流電源を得る。
81゜82.83,84は直流出力をオン、オフスイッ
チング制御するスイッチ、10が発振器で、商用交流の
周波数よりも充分高周波の例えば500Hz〜50KH
z程度、または更に高周波の発振を行ない、発振出力を
前記各スイッチに加えて制御し高周波の交流またはパル
スを発生する。
チング制御するスイッチ、10が発振器で、商用交流の
周波数よりも充分高周波の例えば500Hz〜50KH
z程度、または更に高周波の発振を行ない、発振出力を
前記各スイッチに加えて制御し高周波の交流またはパル
スを発生する。
91.92,93.94は各々のスイッチ81.82,
83,84で発生する高周波交流を変圧するトランス、
101,102,103,104はトランス出力を整流
する整流器で、各整流出力を前記各分割パンチ3a、3
b、3C,3dに接続する。
83,84で発生する高周波交流を変圧するトランス、
101,102,103,104はトランス出力を整流
する整流器で、各整流出力を前記各分割パンチ3a、3
b、3C,3dに接続する。
11は前記発振器10を制御し、各スイッチ81,82
,83,84に供給する制御用高周波の制御を行なう制
御回路、19は型1の周りに設けた誘導加熱用コイルで
、これは特に通電困難なセラミック等の粉末焼結に有効
である。
,83,84に供給する制御用高周波の制御を行なう制
御回路、19は型1の周りに設けた誘導加熱用コイルで
、これは特に通電困難なセラミック等の粉末焼結に有効
である。
焼結は次の如くして行なわれる。
充填された粉末2にパンチ3a、3b、3C,3dでプ
レスするが、加圧用の各シリンダ4a、 4b、
4C,4dは同時にまたは時間差制御し、図示しないが
例えばNC制御装置によるプログラムによって制御され
、粉末加圧が行なわれる。
レスするが、加圧用の各シリンダ4a、 4b、
4C,4dは同時にまたは時間差制御し、図示しないが
例えばNC制御装置によるプログラムによって制御され
、粉末加圧が行なわれる。
各パンチ3a、3b、3C,3d加圧によって加圧され
た粉末2部分に、単位電源の各整流器101,102,
103.104出力が通電される。
た粉末2部分に、単位電源の各整流器101,102,
103.104出力が通電される。
パンチによる加圧は通常前記したように0.5〜10k
g/cI112程度の軽加圧で制御するようにし、この
加圧状態において加圧に応答した通電により粉末量放電
並びにジュール熱が発生し、表面浄化、活性化、イオン
化、加熱等によって充填粉末2は次第に収縮していく、
この粉末収縮に対して各シリンダ3a、 3b、
3C,3dは追従制御して常に一定な加圧で前記放電及
びジュール熱による処理が継続されるよう制御が行なわ
れる。
g/cI112程度の軽加圧で制御するようにし、この
加圧状態において加圧に応答した通電により粉末量放電
並びにジュール熱が発生し、表面浄化、活性化、イオン
化、加熱等によって充填粉末2は次第に収縮していく、
この粉末収縮に対して各シリンダ3a、 3b、
3C,3dは追従制御して常に一定な加圧で前記放電及
びジュール熱による処理が継続されるよう制御が行なわ
れる。
前記各分割パンチに通電する通電々源は端子6に入力す
る商用交流ACを整流器7で整流した直流DCをスイッ
チ81,82・・・・・・でオン、オフすることにより
高周波HFを発生し、これをトランス91,92・・・
・・・で変圧し且つ整流器101. 102・・・・・
・で整流DCして直流出力を得るようにしたAC−DC
−HF−DCインバータ回路で゛あり、スイッチ81,
82・・・・・・の発振制御によって商用交流の周波数
よりも充分高い周波数500H2〜50KHz程度、更
にそれ以上の高周波交流を発生し、これを変圧して出力
を得るものであるから交流出力は殆んど矩形波となり効
率が著しく高い交流を発生でき、また変圧器91.92
・・・・・・は周波数が高いために極めて小型に構成で
き、電源が小型、軽量化できる効果があることは勿論の
こと出力制御が高応答で極めて容易である。
る商用交流ACを整流器7で整流した直流DCをスイッ
チ81,82・・・・・・でオン、オフすることにより
高周波HFを発生し、これをトランス91,92・・・
・・・で変圧し且つ整流器101. 102・・・・・
・で整流DCして直流出力を得るようにしたAC−DC
−HF−DCインバータ回路で゛あり、スイッチ81,
82・・・・・・の発振制御によって商用交流の周波数
よりも充分高い周波数500H2〜50KHz程度、更
にそれ以上の高周波交流を発生し、これを変圧して出力
を得るものであるから交流出力は殆んど矩形波となり効
率が著しく高い交流を発生でき、また変圧器91.92
・・・・・・は周波数が高いために極めて小型に構成で
き、電源が小型、軽量化できる効果があることは勿論の
こと出力制御が高応答で極めて容易である。
即ち発振器10の出力制御高周波のデユーティを制御す
ることによって容易に出力の電力制御ができ、しかもこ
れが前記の商用交流よりも充分高周波で発振するもの・
制御であるから極めて高応答で制御できる。
ることによって容易に出力の電力制御ができ、しかもこ
れが前記の商用交流よりも充分高周波で発振するもの・
制御であるから極めて高応答で制御できる。
この制御はプログラムにしたがった制御でもよいが、最
も好ましくは焼結粉末の処理状態、収縮状態によって制
御することがよい。
も好ましくは焼結粉末の処理状態、収縮状態によって制
御することがよい。
第2図は粉末収縮による体積変化を検出する装置の実施
例で、トランス結合した1次コイル12及び2次コイル
13を加圧送りの移動をするロッドに固定支持し、可動
鉄心14を他の移動装置に設ける。
例で、トランス結合した1次コイル12及び2次コイル
13を加圧送りの移動をするロッドに固定支持し、可動
鉄心14を他の移動装置に設ける。
15は所定信号で制御されるモータで、ロッドと平行軸
16を回転し、この回転軸16に移動コマ17を係合さ
せ、この移動コマ17に前記鉄心14を結合して移動制
御させる。
16を回転し、この回転軸16に移動コマ17を係合さ
せ、この移動コマ17に前記鉄心14を結合して移動制
御させる。
18は2次コイル13の検出信号出力端子で、この信号
を制御回路11に加えて発振器10の制御を行なう。
を制御回路11に加えて発振器10の制御を行なう。
なおこの検出装置は各シリンダ4a、4b、4C,4d
の各々に設けられている。
の各々に設けられている。
しかして各パンチ3a、3b、3C,3(H:よる加圧
部分の充填粉末2は加圧と通電の制御によって前記した
ように粉末量放電並びにジュール熱が発生して処理され
ることによって、表面浄化、活性化、イオン化、加熱等
によって次第に収縮していき、この粉末収縮に対して各
シリンダ4a。
部分の充填粉末2は加圧と通電の制御によって前記した
ように粉末量放電並びにジュール熱が発生して処理され
ることによって、表面浄化、活性化、イオン化、加熱等
によって次第に収縮していき、この粉末収縮に対して各
シリンダ4a。
4b、4C,4dは追従制御する。
そこでモータ15を所定の速度で駆動し、ネジ軸16を
回動し、移動コマ17を移動せしめる。
回動し、移動コマ17を移動せしめる。
これにより可動鉄心14は移動コマ17と共に下方に所
定速度で移動し、一方シリンダ4aのロッドの移動と共
に1次、2次コイル12.13も下降し、始めに両者の
移動(下降)速度かはパ等しい程度に焼結状態に応じた
設定がしてあり、鉄心14のコイル12.13内挿入深
さも一定し、2次コイルの出力電圧を制御回路11に加
えて所定に制御する。
定速度で移動し、一方シリンダ4aのロッドの移動と共
に1次、2次コイル12.13も下降し、始めに両者の
移動(下降)速度かはパ等しい程度に焼結状態に応じた
設定がしてあり、鉄心14のコイル12.13内挿入深
さも一定し、2次コイルの出力電圧を制御回路11に加
えて所定に制御する。
そのうち前記粉末の放電及びジュール熱による処理が進
むにしたがって粉末収縮速度が高まるとロッドと共にコ
イル12.13の下降速度が高まり、所定速度で下降す
る可動鉄心14との相対速度が変化して次第に鉄心14
がコイル12,13内に深く挿入して来る。
むにしたがって粉末収縮速度が高まるとロッドと共にコ
イル12.13の下降速度が高まり、所定速度で下降す
る可動鉄心14との相対速度が変化して次第に鉄心14
がコイル12,13内に深く挿入して来る。
これにより2次コイル13の出力電圧は増大し、端子1
8から制御回路11に加わる信号が増大し、発振器10
のデユーティを制御(高める)し、パンチ3aより粉末
2に通電する電力を増大(低減)するよう制御する。
8から制御回路11に加わる信号が増大し、発振器10
のデユーティを制御(高める)し、パンチ3aより粉末
2に通電する電力を増大(低減)するよう制御する。
更に通電による処理が進めば粉末の収縮速度は増大し、
これをコイル12.13と可動鉄心14の相対速度変化
により検出し、通電々力の増大(低減)制御する。
これをコイル12.13と可動鉄心14の相対速度変化
により検出し、通電々力の増大(低減)制御する。
このようにして粉末収縮状態に対応して通電制御をし最
適とする通電を行なう。
適とする通電を行なう。
また他のパンチ3b、3C,3dには通電制御も同様に
体積変化に応じた最適制御が行なわれる。
体積変化に応じた最適制御が行なわれる。
通電制御は焼結材質、焼結形状、焼結目的等によって異
なるけれども、例えば高密度の焼結をするためには一般
に通電々力を増大する必要があるが、必要以上電力が増
大すると焼結粉末がガス化してこれが焼結品中に介入す
ることがあり、電力の制御が必要である。
なるけれども、例えば高密度の焼結をするためには一般
に通電々力を増大する必要があるが、必要以上電力が増
大すると焼結粉末がガス化してこれが焼結品中に介入す
ることがあり、電力の制御が必要である。
したがって焼結初期には粉末量放電を充分発生させるた
めに電力制御し、放電処理によって粉末収縮を伴なう時
期に電力を増加して充分な加熱、拡散をして焼結完了さ
せることが良く、前記粉末収縮による制御によって良質
の焼結ができることになる。
めに電力制御し、放電処理によって粉末収縮を伴なう時
期に電力を増加して充分な加熱、拡散をして焼結完了さ
せることが良く、前記粉末収縮による制御によって良質
の焼結ができることになる。
勿論通電々力の制御は粉末収縮がある一定値までは一定
制御し、成る値を越えると電力を増大(または減少)制
御するデジタル的制御であってもよい。
制御し、成る値を越えると電力を増大(または減少)制
御するデジタル的制御であってもよい。
各パンチ3a、3b、3C,3dによる加圧、通電制御
を同時に行なえば粉末2は全体に加圧と通電が同時に行
なわれて焼結されるけれども、この場合も加圧と通電が
各パンチにより独立して最適に制御して行なわれるから
各部分とも最良状態で焼結でき、また場合によっては部
分的に時間差制御して焼結する方が良く、加圧、通電の
処理を相隣り合うパンチで交互に行ない、焼結処理中に
充填粉末2に練り合せの効果を与えて、また分解ガスの
ガス抜き効果を高めて焼結でき、特にセラミック焼結に
おいては透明度が向上する等、極めて良好な良質の焼結
体が得られる。
を同時に行なえば粉末2は全体に加圧と通電が同時に行
なわれて焼結されるけれども、この場合も加圧と通電が
各パンチにより独立して最適に制御して行なわれるから
各部分とも最良状態で焼結でき、また場合によっては部
分的に時間差制御して焼結する方が良く、加圧、通電の
処理を相隣り合うパンチで交互に行ない、焼結処理中に
充填粉末2に練り合せの効果を与えて、また分解ガスの
ガス抜き効果を高めて焼結でき、特にセラミック焼結に
おいては透明度が向上する等、極めて良好な良質の焼結
体が得られる。
またこの焼結中にコイル19より誘導電流を内部粉末2
に流して加熱処理することができ、この場合コイル19
にトランス91の高周波出力を通電して利用することも
できる。
に流して加熱処理することができ、この場合コイル19
にトランス91の高周波出力を通電して利用することも
できる。
第3図は上部パンチ3a、3b、3Cに対応して下部パ
ンチも分割5a、5b、5Cして設けた例で、通電は対
向するパンチ間3a、 5a、 3b、5b、3C
,5Cに通電する。
ンチも分割5a、5b、5Cして設けた例で、通電は対
向するパンチ間3a、 5a、 3b、5b、3C
,5Cに通電する。
そしてパンチ3aと5a、3bと5b、3Cと5Cを同
時に加圧制御して対向部分の充填粉末2の部分焼結を行
・なうようにしたものである。
時に加圧制御して対向部分の充填粉末2の部分焼結を行
・なうようにしたものである。
上下対向パンチの同時加圧制御、通電制御によって放電
による粉末処理が、またジュール熱による処理が充分に
行なわれ、これがまた部分的に同時に、また時間差を有
して順次に行なわれ、最終的にアプセット加して全体を
均一に焼結できる。
による粉末処理が、またジュール熱による処理が充分に
行なわれ、これがまた部分的に同時に、また時間差を有
して順次に行なわれ、最終的にアプセット加して全体を
均一に焼結できる。
また加圧パンチは前記実施例以外にx、 y、 z方
向に設けられ、しかも各々多分割して設けられ、各々を
NC制御装置によりプログラム制御して焼結することに
より任意の材質、粒度、大きさ、形状、密度の焼結体が
最適状態に容易に均一に焼結成形することができる。
向に設けられ、しかも各々多分割して設けられ、各々を
NC制御装置によりプログラム制御して焼結することに
より任意の材質、粒度、大きさ、形状、密度の焼結体が
最適状態に容易に均一に焼結成形することができる。
また通電々力源も前記したAC−DC−HE−DCイン
バータに限らず□実施でき、通電々力制御可能に設けら
れ、粉末の体積変化に伴なって制御し最適通電ができる
ようにすることにより良好な焼結ができる。
バータに限らず□実施でき、通電々力制御可能に設けら
れ、粉末の体積変化に伴なって制御し最適通電ができる
ようにすることにより良好な焼結ができる。
また通電々源の制御は予じめ焼結工程をプログラムした
NC装置等によるプログラム制御であってもよい。
NC装置等によるプログラム制御であってもよい。
以上のように本発明は通電々極兼加圧パンチを分割した
各パンチに、独立した加圧プレス装置と、独立した通電
を行なう通電電源を設けて、各々の分割パンチによって
制御された加圧と通電を充填された焼結粉末の部分に行
ない、各パンチによる前記加圧と通電とは同時に、また
は時間差を有して順次に行ない、部分的に最適な加圧と
通電により粉末の放電処理、加熱処理を充分性ないプレ
ス成形して焼結するから全体として均一で最良とする焼
結ができる。
各パンチに、独立した加圧プレス装置と、独立した通電
を行なう通電電源を設けて、各々の分割パンチによって
制御された加圧と通電を充填された焼結粉末の部分に行
ない、各パンチによる前記加圧と通電とは同時に、また
は時間差を有して順次に行ない、部分的に最適な加圧と
通電により粉末の放電処理、加熱処理を充分性ないプレ
ス成形して焼結するから全体として均一で最良とする焼
結ができる。
これによれば焼結晶が大型でも、異形の複雑形状のもの
でも容易に均一に焼結でき、材料の粒度、材質特性、材
料の吸着、ガス量、酸化度、媒体ガスの状態等に対応し
た焼結ができ均一焼結ができる効果がある。
でも容易に均一に焼結でき、材料の粒度、材質特性、材
料の吸着、ガス量、酸化度、媒体ガスの状態等に対応し
た焼結ができ均一焼結ができる効果がある。
第1図は本発明の一実施例構成図、第2図は粉・末の体
積変化を検出する装置の実施例図、第3図は第1図の変
更実施例の一部構成図である。 1は型、2は粉末、3a、3b、3C,3dは分割パン
チ、4a、4b、4C,4dはシリンダ、5は加圧パン
チ、5a、5b、5Cは分割パンチ、6はAC電源端子
、7は整流器、81,82.83,84はスイッチ、9
1. 92. 93゜94はトランス、10は発振器、
11は制御回路、101,102,103,104は整
流器、12.13はコイル、14は可動鉄心、15はモ
ータ、16はネジ軸、17は移動コマ、18は検出端子
、19は誘導コイルである。
積変化を検出する装置の実施例図、第3図は第1図の変
更実施例の一部構成図である。 1は型、2は粉末、3a、3b、3C,3dは分割パン
チ、4a、4b、4C,4dはシリンダ、5は加圧パン
チ、5a、5b、5Cは分割パンチ、6はAC電源端子
、7は整流器、81,82.83,84はスイッチ、9
1. 92. 93゜94はトランス、10は発振器、
11は制御回路、101,102,103,104は整
流器、12.13はコイル、14は可動鉄心、15はモ
ータ、16はネジ軸、17は移動コマ、18は検出端子
、19は誘導コイルである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 充填された焼結粉末に加圧と通電と通電を行なう通
電電極兼加圧パンチを設け、該パンチを通じて前記粉末
に通電する電源と加圧プレスするプレス装置とを設け、
加圧と通電を同時に制御して焼結する粉末焼結装置に於
て、前記通電電極兼加圧パンチとして複数の分割パンチ
を設け、該各パンチに独立した加圧プレスをするプレス
装置を設け、且つ前記各パンチに独立した通電を行なう
通電電源を設けてなることを特徴とする粉末焼結装置。 2 AC−DC−HF−DCインバータ通電電源を用
いた特許請求の範囲第1項に記載の粉末焼結装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52089398A JPS5953321B2 (ja) | 1977-07-25 | 1977-07-25 | 粉末焼結装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52089398A JPS5953321B2 (ja) | 1977-07-25 | 1977-07-25 | 粉末焼結装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5424208A JPS5424208A (en) | 1979-02-23 |
| JPS5953321B2 true JPS5953321B2 (ja) | 1984-12-24 |
Family
ID=13969532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52089398A Expired JPS5953321B2 (ja) | 1977-07-25 | 1977-07-25 | 粉末焼結装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5953321B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005086103A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Ricoh Co Ltd | 希土類マグネットブロックの製造方法及び装置 |
| CN110608611B (zh) * | 2019-10-31 | 2021-04-06 | 中南大学 | 一种具有梯度晶粒的碳化硼轴承的制备方法 |
-
1977
- 1977-07-25 JP JP52089398A patent/JPS5953321B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5424208A (en) | 1979-02-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3317705A (en) | Method of and apparatus for controlling the porosity of electrically sintered bodies | |
| US4755648A (en) | Cyclical, multiple frequency high-frequency induction heating apparatus | |
| US4886952A (en) | Power source device for high-frequency induction heating | |
| US3708645A (en) | Method of heating a workpiece of particulate material | |
| JPS5953321B2 (ja) | 粉末焼結装置 | |
| US4394720A (en) | Auto-stabilized high power electric generator especially adapted for powering processes involving discharge in a rarefied gaseous atmosphere | |
| US4277668A (en) | High-frequency power feeder circuitry and supply method for electrical discharge machining | |
| GB1021150A (en) | A method of and apparatus for electro-magnetically deforming metal | |
| JPS6058281B2 (ja) | 粉末焼結装置 | |
| JPS5681678A (en) | Method and apparatus for plasma etching | |
| JP2002263472A (ja) | インバータ回路を用いたプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
| DE50106538D1 (de) | Verfahren zum elektrischen Beheizen von Öfen für die Wärmebehandlung metallischer Werkstücke | |
| JP3208134B2 (ja) | 鍛造成形装置 | |
| JPS55140707A (en) | Carbon sintering method | |
| US3906289A (en) | Method of compressing an arc discharge | |
| JPS58141379A (ja) | イオン処理装置 | |
| JPH0622948Y2 (ja) | 高周波加熱装置 | |
| JP2614589B2 (ja) | チューブ状容器の封緘方法及び装置 | |
| JPH05170408A (ja) | 窒化アルミニウムの製造方法 | |
| JPH0514158Y2 (ja) | ||
| JPH0677846B2 (ja) | 抵抗溶接機 | |
| JPH0240491A (ja) | 酸化雰囲気熱間等方圧加圧成形方法及び装置 | |
| KR950005483Y1 (ko) | 조리기용 다중 바닥재 제조장치 | |
| JP2002338370A (ja) | 加圧焼結装置の焼結型 | |
| JPH0648196U (ja) | 低周波誘導加熱電源装置 |