JPS597651B2 - 光伝送用素材の製造方法 - Google Patents
光伝送用素材の製造方法Info
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- JPS597651B2 JPS597651B2 JP12283579A JP12283579A JPS597651B2 JP S597651 B2 JPS597651 B2 JP S597651B2 JP 12283579 A JP12283579 A JP 12283579A JP 12283579 A JP12283579 A JP 12283579A JP S597651 B2 JPS597651 B2 JP S597651B2
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- optical transmission
- cladding material
- gas
- manufacturing
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma- or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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- C03B37/01815—Reactant deposition burners or deposition heating means
- C03B37/01823—Plasma deposition burners or heating means
- C03B37/0183—Plasma deposition burners or heating means for plasma within a tube substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光損失の著しく少ない光伝送用素材、特に伝送
容量の大きい単モード型素材の製造方法に関する。
容量の大きい単モード型素材の製造方法に関する。
単モード型伝送路では径は多モード型の場合と同様に１
００ｔｔｍ前後であるが、光路となるコア−径を１０ｔ
ｔｍ以下に抑えることにより、信号光パルスの乱れを低
減し、各種モードの入り交つた多モード型伝送路に比べ
て、著しくパルス信号の伝送密度を増大させることがで
きるので、海底ケーブル等長距離・高密度伝送用として
、その実用化が期待されるものである。
００ｔｔｍ前後であるが、光路となるコア−径を１０ｔ
ｔｍ以下に抑えることにより、信号光パルスの乱れを低
減し、各種モードの入り交つた多モード型伝送路に比べ
て、著しくパルス信号の伝送密度を増大させることがで
きるので、海底ケーブル等長距離・高密度伝送用として
、その実用化が期待されるものである。
このように、長距離伝送を目的とするために、特に光損
失の少ないことが要求される。光伝送用素材の製造方法
として代表的なロッドインチューブ法はクラッド材の石
英ガラス管（チューブ）にコア材の石英ガラス棒（ロッ
ド）を挿入し加熱してクラッド材とコア材を溶着させ、
これを紡糸して伝送用素材のファイバーとする方法であ
り、この方法は、各素材の寸法精度の規制が容易で量産
性に富むが、コア材とクラッド材の界面に気泡、不純物
が伴いやすく、そのためファイバーの光損失が大きくあ
られれるという欠点があつた。
失の少ないことが要求される。光伝送用素材の製造方法
として代表的なロッドインチューブ法はクラッド材の石
英ガラス管（チューブ）にコア材の石英ガラス棒（ロッ
ド）を挿入し加熱してクラッド材とコア材を溶着させ、
これを紡糸して伝送用素材のファイバーとする方法であ
り、この方法は、各素材の寸法精度の規制が容易で量産
性に富むが、コア材とクラッド材の界面に気泡、不純物
が伴いやすく、そのためファイバーの光損失が大きくあ
られれるという欠点があつた。
この欠点を解決する方法として、本出願人はすでに特願
昭５３−１４３１６０号（特開昭５５一７１６３６号）
明細書に上記コア材とクラッド材の溶着前に該コア材と
該クラッド材間の隙間にＣ）Ｎ、、Ｏ、Ｓ、、Ｂｅより
なる群の中から選ばれた少なくとも一種とハロゲンの少
なくとも一種とを含みかつ水素を含まない室温で流体を
なす化合物を気相熱処理剤としで気相で流すことにより
、該クラッド材内面と該コア材表面の不純物をそれぞれ
揮発性ハロゲン化物として除去することよりなる光伝送
用素材の製造方法（以下、先発明という）を開示してい
る。
昭５３−１４３１６０号（特開昭５５一７１６３６号）
明細書に上記コア材とクラッド材の溶着前に該コア材と
該クラッド材間の隙間にＣ）Ｎ、、Ｏ、Ｓ、、Ｂｅより
なる群の中から選ばれた少なくとも一種とハロゲンの少
なくとも一種とを含みかつ水素を含まない室温で流体を
なす化合物を気相熱処理剤としで気相で流すことにより
、該クラッド材内面と該コア材表面の不純物をそれぞれ
揮発性ハロゲン化物として除去することよりなる光伝送
用素材の製造方法（以下、先発明という）を開示してい
る。
この先発明の方法を単モード型伝送路の製造に適用する
場合、次のような問題が生ずる。
場合、次のような問題が生ずる。
すなわち、コア材として、製造および取扱いの容易な径
６薦翼以上の棒を利用するとすれば、上述の気相熱処理
およびコア材とクラッド材の溶着に適当なクラッド材の
内径は８ないし１２ｍｍとなり、クラッド材の肉厚は３
０ｍｍ以上を要することになる。このような熱伝導率の
低い肉厚管の内面を加熱するのに外熱方式では管の外面
を過度に高い温度に曝しかつ加熱時間も長くなるので、
クラッド材の熱変形を招き易く不適当である。本発明は
上記の先発明の問題点を解決し、クラッド材の熱変形を
起こさせることなく、光損失の著しく少ない光伝送用素
材、特に伝送容量の大きい単モード型素材の製造を可能
ならしめる方法を提供するもので、その要旨とするとこ
ろは、管状のクラツド材の内壁にコア材を溶着させ、こ
れを紡糸することよりなる光伝送用素材の製造方法にお
いて、該クラツド材と該コア材の溶着前に該クラツド材
内部にＣ．．ＮｌＯ、Ｓ，．ｓｅｌよりなる群の中から
選ばれた少なくとも一種とハロゲンの少なくとも一種と
を含みかつ水素を含まない室温で流体をなす化合物を、
非平衡プラズマ発生下において、気相で流すことを特徴
とする光伝送用素材の製造方法、にある。
６薦翼以上の棒を利用するとすれば、上述の気相熱処理
およびコア材とクラッド材の溶着に適当なクラッド材の
内径は８ないし１２ｍｍとなり、クラッド材の肉厚は３
０ｍｍ以上を要することになる。このような熱伝導率の
低い肉厚管の内面を加熱するのに外熱方式では管の外面
を過度に高い温度に曝しかつ加熱時間も長くなるので、
クラッド材の熱変形を招き易く不適当である。本発明は
上記の先発明の問題点を解決し、クラッド材の熱変形を
起こさせることなく、光損失の著しく少ない光伝送用素
材、特に伝送容量の大きい単モード型素材の製造を可能
ならしめる方法を提供するもので、その要旨とするとこ
ろは、管状のクラツド材の内壁にコア材を溶着させ、こ
れを紡糸することよりなる光伝送用素材の製造方法にお
いて、該クラツド材と該コア材の溶着前に該クラツド材
内部にＣ．．ＮｌＯ、Ｓ，．ｓｅｌよりなる群の中から
選ばれた少なくとも一種とハロゲンの少なくとも一種と
を含みかつ水素を含まない室温で流体をなす化合物を、
非平衡プラズマ発生下において、気相で流すことを特徴
とする光伝送用素材の製造方法、にある。
このように、本発明においては、コア材とクラツド材の
溶着前に上記気相処理を行なう加熱状態にするために、
先発明における外熱方式の代りに、クラツド材内部に発
生させた非平衡プラズマを利用するものである。
溶着前に上記気相処理を行なう加熱状態にするために、
先発明における外熱方式の代りに、クラツド材内部に発
生させた非平衡プラズマを利用するものである。
すなわち、クラツド材を囲んで設けた高周波誘導コイル
を通してクラツド材内部に発生させた非平衡プラズマの
下で、適当な減圧度を保ちつつ、該クラツド材の管内に
上記Ｃ、ＮｌＯ、Ｓ，．Ｓｅよりなる群の中から選ばれ
た少なくとも一種とハロゲンの少なくとも一種とを含み
かつ水素を含まない室温で流体をなす化合物よりなる気
相熱処理剤を気相で流入させ、該非平衡プラズマによる
熱あるいは化学的活性作用により、該気相熱処理剤によ
るクラツド材の内面、またはクラツド材内に挿入した溶
着前のコア材の表面の浄化作用を促進するものである。
本発明において、クラツド材の管内にプラズマ放電を生
じさせるために必要な高周波電力周波数は０．２ＭＨｚ
〜３０ＧＨｚの範囲である。
を通してクラツド材内部に発生させた非平衡プラズマの
下で、適当な減圧度を保ちつつ、該クラツド材の管内に
上記Ｃ、ＮｌＯ、Ｓ，．Ｓｅよりなる群の中から選ばれ
た少なくとも一種とハロゲンの少なくとも一種とを含み
かつ水素を含まない室温で流体をなす化合物よりなる気
相熱処理剤を気相で流入させ、該非平衡プラズマによる
熱あるいは化学的活性作用により、該気相熱処理剤によ
るクラツド材の内面、またはクラツド材内に挿入した溶
着前のコア材の表面の浄化作用を促進するものである。
本発明において、クラツド材の管内にプラズマ放電を生
じさせるために必要な高周波電力周波数は０．２ＭＨｚ
〜３０ＧＨｚの範囲である。
周波数が０．２ＭＨｚ以下ではプラズマを閉じ込めるク
ラツド材の管径が大きくなり、また３０ＧＨｚ以上では
装置コストが過大となるので、いずれも不適当である。
本発明においてコア材とクラツド材内に溶着前に挿入す
る場合には、それらをあらかじめ機械研摩または化学研
摩あるいは熱処理を施しておく、また、コア材を溶着前
にクラツド材内に挿入せずにクラツド材内面のみを上記
気相熱処理し、この気相処理によつて浄化されたクラツ
ド材の内面に実質的に気相熱処理を受けたと同様なきわ
めて純粋な状態でコア層を析出付着させ、これを延伸に
よつて中実のコア材とする場合もあるが、この場合はコ
ア材としてはあらかじめ機械研摩などを施す必要のない
ことはもちろんである。
ラツド材の管径が大きくなり、また３０ＧＨｚ以上では
装置コストが過大となるので、いずれも不適当である。
本発明においてコア材とクラツド材内に溶着前に挿入す
る場合には、それらをあらかじめ機械研摩または化学研
摩あるいは熱処理を施しておく、また、コア材を溶着前
にクラツド材内に挿入せずにクラツド材内面のみを上記
気相熱処理し、この気相処理によつて浄化されたクラツ
ド材の内面に実質的に気相熱処理を受けたと同様なきわ
めて純粋な状態でコア層を析出付着させ、これを延伸に
よつて中実のコア材とする場合もあるが、この場合はコ
ア材としてはあらかじめ機械研摩などを施す必要のない
ことはもちろんである。
本発明は以上のように、クラツド材内に非平衡プラズマ
を発生させることによつて、伝送容量の大きい単モード
型素材の製造においても、クラツド材の熱変形を招くこ
となく、光損失の著しく少ない光伝送用素材を製造でき
る方法を提供するもので、その工業的価値はきわめて大
きい。
を発生させることによつて、伝送容量の大きい単モード
型素材の製造においても、クラツド材の熱変形を招くこ
となく、光損失の著しく少ない光伝送用素材を製造でき
る方法を提供するもので、その工業的価値はきわめて大
きい。
次に、本発明を実施例によつて具体的に説明するが、本
発明はその要旨を越えない限り以下の実施例に限定され
るものではない。
発明はその要旨を越えない限り以下の実施例に限定され
るものではない。
実施例 １
Ａ１２０３を１．８％ドープした高純度合成石英ガラス
棒（径６ｍｍ）を機械研摩したのち、パークロルエチレ
ン、エタノール、純水、１０％弗酸、純水の順に各液中
で超音波洗浄を行ない、次いで、電熱乾燥器内で１２０
℃で乾燥した。
棒（径６ｍｍ）を機械研摩したのち、パークロルエチレ
ン、エタノール、純水、１０％弗酸、純水の順に各液中
で超音波洗浄を行ない、次いで、電熱乾燥器内で１２０
℃で乾燥した。
このドープド石英ガラス棒を同様な洗浄工程を経た石英
ガラス管（内径１２ｕ１外径７２ｍｍ）の管内に軸中心
に挿入し、これを硝子旋盤で回転させ、石英ガラス管の
一端からそれら石英ガラス管と石英ガラス棒との間隙の
空間を油回転ポンプで真空引きしながら、該石英ガラス
管の他端からＨｅガス２０ｍ１／分、ガス状ＣＣｌ４Ｏ
，５ｍｌ／分を流入させるとともに該石英ガラス管をか
こむ高周波誘導コイルによつて発生させた非平衡プラズ
マ帯を該ガスの流れに沿つて９０ｃＴｎ／分の移動速度
で２０回トラバースを繰り返した。高音波誘導コイルに
水冷銅パイプ（外径４ｍ１ｆＬ）を幅３０ｕ以内に６タ
ーン巻いたものを使用し、周波数１３．５６ＭＨ２の高
周波電力を加えた。入力は３００Ｗとしたが、その内約
７０％が高周波誘導コイル内のキヤビテイで消費された
ものと推定される。一方、該石英ガラス管内の真空度は
油回転ポンプの入口部で約５Ｔ０ｒｒであつた。２０回
の該プラズマ帯のトラバースを終了後、ガス状ＣＣｌ４
の流入を止め、代りに０２ガスを０．５ｍ１／分を流入
させ、さらに２０回の上記プラズマ帯の移動加熱を行な
い、ＣＣｌ４の熱分解によつて析出した炭素分を酸化除
去し、次いでＨｅガス及び、０２ガス流入をともに止め
、真空に弓きながら酸水素バーナによつて該石英ガラス
管を外熱し、該石英ガラス管と該石英ガラス棒の溶着を
行なつた。
ガラス管（内径１２ｕ１外径７２ｍｍ）の管内に軸中心
に挿入し、これを硝子旋盤で回転させ、石英ガラス管の
一端からそれら石英ガラス管と石英ガラス棒との間隙の
空間を油回転ポンプで真空引きしながら、該石英ガラス
管の他端からＨｅガス２０ｍ１／分、ガス状ＣＣｌ４Ｏ
，５ｍｌ／分を流入させるとともに該石英ガラス管をか
こむ高周波誘導コイルによつて発生させた非平衡プラズ
マ帯を該ガスの流れに沿つて９０ｃＴｎ／分の移動速度
で２０回トラバースを繰り返した。高音波誘導コイルに
水冷銅パイプ（外径４ｍ１ｆＬ）を幅３０ｕ以内に６タ
ーン巻いたものを使用し、周波数１３．５６ＭＨ２の高
周波電力を加えた。入力は３００Ｗとしたが、その内約
７０％が高周波誘導コイル内のキヤビテイで消費された
ものと推定される。一方、該石英ガラス管内の真空度は
油回転ポンプの入口部で約５Ｔ０ｒｒであつた。２０回
の該プラズマ帯のトラバースを終了後、ガス状ＣＣｌ４
の流入を止め、代りに０２ガスを０．５ｍ１／分を流入
させ、さらに２０回の上記プラズマ帯の移動加熱を行な
い、ＣＣｌ４の熱分解によつて析出した炭素分を酸化除
去し、次いでＨｅガス及び、０２ガス流入をともに止め
、真空に弓きながら酸水素バーナによつて該石英ガラス
管を外熱し、該石英ガラス管と該石英ガラス棒の溶着を
行なつた。
次いで、この棒状成形体を延伸機により径２０１１まで
引き延したのち、線引装置により外径１２０ｔｔｍ１コ
ア径１０μｍのフアイバ一とし、このフアイバ一の光透
過損失を測定したところ、波長０．８μｍで３．７ｄＢ
／Ｋ７ｌを得た。比較例として、上記ＣＣｌ４による気
相熱処理を施さなかつた場合のフアイバ一の光透過損失
は波長０．８μｍで１８．３ｄＢ／Ｋｍであつた。実施
例 ２実施例１と同様に機械研摩、湿式洗浄を施した無
ドープの高純度合成石英ガラス棒（径７ｍ７！Ｌ）を同
様に湿式洗浄を施した弗素０．５％ドープの石英ガラス
管（内径１４ｍ７！Ｌ１外径７５．５ｍｍ）中に同軸状
に挿入し、これを硝子旋盤により回転させ、石英ガラス
管の一端よりＣＦ２Ｃｌ２Ｏ．２ｍｌ／分、Ａｒガス５
ｍ１／分、０２ガス０．２ｍ１／分の混合ガス流入させ
るとともに、実施例１と同様の高周波誘導コイルにより
周波数０．４４ＭＨｚで発生させたプラズマ帯を移動速
度３０礪／分で上記混合ガスの流れに沿つて３０回トラ
バースさせた。
引き延したのち、線引装置により外径１２０ｔｔｍ１コ
ア径１０μｍのフアイバ一とし、このフアイバ一の光透
過損失を測定したところ、波長０．８μｍで３．７ｄＢ
／Ｋ７ｌを得た。比較例として、上記ＣＣｌ４による気
相熱処理を施さなかつた場合のフアイバ一の光透過損失
は波長０．８μｍで１８．３ｄＢ／Ｋｍであつた。実施
例 ２実施例１と同様に機械研摩、湿式洗浄を施した無
ドープの高純度合成石英ガラス棒（径７ｍ７！Ｌ）を同
様に湿式洗浄を施した弗素０．５％ドープの石英ガラス
管（内径１４ｍ７！Ｌ１外径７５．５ｍｍ）中に同軸状
に挿入し、これを硝子旋盤により回転させ、石英ガラス
管の一端よりＣＦ２Ｃｌ２Ｏ．２ｍｌ／分、Ａｒガス５
ｍ１／分、０２ガス０．２ｍ１／分の混合ガス流入させ
るとともに、実施例１と同様の高周波誘導コイルにより
周波数０．４４ＭＨｚで発生させたプラズマ帯を移動速
度３０礪／分で上記混合ガスの流れに沿つて３０回トラ
バースさせた。
高周波発振機の入力電力は１５０Ｗで、その８０％が高
周波誘導コイル内キヤビテイで消費されたものと推定さ
れる。一方、該石英ガス管内の真空度は油回転ポンプの
入口部で約１Ｔ０ｒｒであつた。次いで、上記ガスの流
入をすべて止め、真空に引きながら酸水素バーナで該石
英ガラス管を外熱し該石英ガラス管と該石英ガラス棒を
溶着させ、延伸機により棒径を２０ｍｍまで縮小後、紡
糸して得られたフアイバ一（外径１２５μｍ１コア径１
０ｔｔｍ）の光透過損失は波長０．８μｍで２，９ｄＢ
／Ｋｍであつた。比較例として、上記ＣＦ２Ｃｌ２によ
る気相熱処理を施さなかつた場合のフアイバ一の光透過
損失は波長０．８μｍで１４．２ｄＢ／Ｋｍであつた。
周波誘導コイル内キヤビテイで消費されたものと推定さ
れる。一方、該石英ガス管内の真空度は油回転ポンプの
入口部で約１Ｔ０ｒｒであつた。次いで、上記ガスの流
入をすべて止め、真空に引きながら酸水素バーナで該石
英ガラス管を外熱し該石英ガラス管と該石英ガラス棒を
溶着させ、延伸機により棒径を２０ｍｍまで縮小後、紡
糸して得られたフアイバ一（外径１２５μｍ１コア径１
０ｔｔｍ）の光透過損失は波長０．８μｍで２，９ｄＢ
／Ｋｍであつた。比較例として、上記ＣＦ２Ｃｌ２によ
る気相熱処理を施さなかつた場合のフアイバ一の光透過
損失は波長０．８μｍで１４．２ｄＢ／Ｋｍであつた。
実施例 ３実施例１と同様に湿式洗浄を施した弗素０．
５％ドープした石英ガラス管（内径１０ｍｗＬ１外径１
５．５ｍｍ）を硝子旋盤で回転させ、管の一端より油回
転ポンプで真空に引きながら他端よりＳＯＢｒ２ｌｍｌ
／分、Ａｒガス２ｍ１／分の混合ガスを流入させるとと
もに実施例１と同様のプラズマ帯を上記混合ガスの流れ
に沿つて３０？／分で移動させた。
５％ドープした石英ガラス管（内径１０ｍｗＬ１外径１
５．５ｍｍ）を硝子旋盤で回転させ、管の一端より油回
転ポンプで真空に引きながら他端よりＳＯＢｒ２ｌｍｌ
／分、Ａｒガス２ｍ１／分の混合ガスを流入させるとと
もに実施例１と同様のプラズマ帯を上記混合ガスの流れ
に沿つて３０？／分で移動させた。
高周波発振機の出力は８０Ｗとしたが、その内９０％が
高周波誘導コイル内キヤビテイで消費されたものと推定
される。該石英ガラス管内の真空度は油回転４ポンプの
入口部で約０．５Ｔ０ｒｒであつた。プラズマ帯の移動
を２０回繰り返した後、上記混合ガスをガス状ＳｉＣｌ
４２ｍｌ／分、０２ガス３ｍ１／分、Ｈｅガス１０ｍ１
／分の混合ガスに切り換え、高周波発振機出力を４００
Ｗとし、プラズマ帯を６０ＣＴｒＬ／分で８０回トラバ
ースさせて該石英ガラス管の内壁に石英ガラス層を析出
させた。次いで、該混合ガラス管内を真空に引きながら
酸水素バーナにより強熱し該石英ガラス管を軟化させて
つふして中実棒状成形体とし、線引装置により外径１２
０Ｉｔｍ１コア径８μｍのフアイバ一に紡糸した。この
フアイバ一の光透過損失は波長０．８μｍで２．８ｄＢ
／Ｋｍｌ波長１．０μｍでは１．２ｄＢ／Ｋｍであつた
。比較例として、上記ＳＯＢｒ２による気相熱処理を施
さなかつた場合のフアイバ一の光透過損失は波長０．８
μｍで１９．７ｄＢ／Ｋ７！ｌ、波長１．０ｔｔｍでは
３．４ｄＢ／Ｋｍであつた。
高周波誘導コイル内キヤビテイで消費されたものと推定
される。該石英ガラス管内の真空度は油回転４ポンプの
入口部で約０．５Ｔ０ｒｒであつた。プラズマ帯の移動
を２０回繰り返した後、上記混合ガスをガス状ＳｉＣｌ
４２ｍｌ／分、０２ガス３ｍ１／分、Ｈｅガス１０ｍ１
／分の混合ガスに切り換え、高周波発振機出力を４００
Ｗとし、プラズマ帯を６０ＣＴｒＬ／分で８０回トラバ
ースさせて該石英ガラス管の内壁に石英ガラス層を析出
させた。次いで、該混合ガラス管内を真空に引きながら
酸水素バーナにより強熱し該石英ガラス管を軟化させて
つふして中実棒状成形体とし、線引装置により外径１２
０Ｉｔｍ１コア径８μｍのフアイバ一に紡糸した。この
フアイバ一の光透過損失は波長０．８μｍで２．８ｄＢ
／Ｋｍｌ波長１．０μｍでは１．２ｄＢ／Ｋｍであつた
。比較例として、上記ＳＯＢｒ２による気相熱処理を施
さなかつた場合のフアイバ一の光透過損失は波長０．８
μｍで１９．７ｄＢ／Ｋ７！ｌ、波長１．０ｔｔｍでは
３．４ｄＢ／Ｋｍであつた。
Claims (1)
- １ 管状のクラッド材の内壁にコア材を溶着させ、これ
を紡糸することよりなる光伝送用素材の製造方法におい
て、該クラッド材と該コア材の溶着前に該クラッド材内
部にＣ、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｅよりなる群の中から選ばれた
少なくとも一種とハロゲンの少なくとも一種とを含みか
つ水素を含まない室温で流体をなす化合物を、非平衡プ
ラズマ発生下において、気相で流すことを特徴とする光
伝送用素材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12283579A JPS597651B2 (ja) | 1979-09-25 | 1979-09-25 | 光伝送用素材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12283579A JPS597651B2 (ja) | 1979-09-25 | 1979-09-25 | 光伝送用素材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5645847A JPS5645847A (en) | 1981-04-25 |
| JPS597651B2 true JPS597651B2 (ja) | 1984-02-20 |
Family
ID=14845805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12283579A Expired JPS597651B2 (ja) | 1979-09-25 | 1979-09-25 | 光伝送用素材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS597651B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3731604A1 (de) * | 1987-09-19 | 1989-03-30 | Philips Patentverwaltung | Verfahren zur herstellung einer monomode-lichtleitfaser |
| JP4721573B2 (ja) * | 2001-08-23 | 2011-07-13 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
-
1979
- 1979-09-25 JP JP12283579A patent/JPS597651B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5645847A (en) | 1981-04-25 |
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