JPS6019843B2 - 厚みすべり振動子 - Google Patents
厚みすべり振動子Info
- Publication number
- JPS6019843B2 JPS6019843B2 JP6249478A JP6249478A JPS6019843B2 JP S6019843 B2 JPS6019843 B2 JP S6019843B2 JP 6249478 A JP6249478 A JP 6249478A JP 6249478 A JP6249478 A JP 6249478A JP S6019843 B2 JPS6019843 B2 JP S6019843B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- vibrator
- adjustment
- electrodes
- adjustment film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電気的特性に優れた厚みすべり振動子に関する
。
。
最近厚みすべり振動子を使用する通信機器等において、
その機器の小型化及び高周波化の煩向があり、それに伴
い振動子の特性向上が望まれている。
その機器の小型化及び高周波化の煩向があり、それに伴
い振動子の特性向上が望まれている。
一般にこのような厚みすべり振動子の大略の周波数は形
状、特に厚みによって決定されるが、その周波数の微調
整は振動子の電極の質量を加減することにより行なわれ
ている。
状、特に厚みによって決定されるが、その周波数の微調
整は振動子の電極の質量を加減することにより行なわれ
ている。
第１図ａ，ｂ及び、第２図ａ，ｂはこのような振動子の
一例を示す正面図および平面図で第１図は振動子素片１
の両側板面の電極２上に周波数の微調整用の電極膜すな
わち調整膜３を形成した振動子である。そして、第２図
に示すものは一方の電極側のみにその電極２の上に調整
膜３を形成した振動子である。ところで、振動子の電極
上に調整膜を形成する場合には、その調整膜を付加する
前後において振動子の電気的特性や回路定数に与える影
響を少〈することが重要な条件である。
一例を示す正面図および平面図で第１図は振動子素片１
の両側板面の電極２上に周波数の微調整用の電極膜すな
わち調整膜３を形成した振動子である。そして、第２図
に示すものは一方の電極側のみにその電極２の上に調整
膜３を形成した振動子である。ところで、振動子の電極
上に調整膜を形成する場合には、その調整膜を付加する
前後において振動子の電気的特性や回路定数に与える影
響を少〈することが重要な条件である。
そして、この条件を満足させるためには第３図ａ，ｂに
示す正面図および平面図のように電極２の相対向する電
極面の全面に均一な厚さで調整膜３を形成することが理
想とされている。しかしながら蒸着等の手段を用いてこ
のような所定形状の均一な厚さの調整膜を形成すること
は現在の技術においては不可能である。このために製造
技術の問題等により、第１図及び第２図に示すような振
動子が生産されていた。すなわち、第１図に示す振動子
では相対向する電極の中心部分に調整膜３を付加し、後
述する並列容量Ｃｏに与える影響を少なくしているが、
その結果として実効抵抗の増大及び副振動特性の劣化を
余儀なくされている。また、第２図に示す振動子におい
ては、一方の電極２の対向面の全面に調整膜３を付加し
、前述した電気的特性劣化の防止を計っているが、この
場合には電極２の部分から外れた調整膜３が、相対向す
る電極面積を大きくし、実質的に振動子の等価定数のう
ち特に並列容量Ｃｏを増大させ所定の設計値を変化させ
るという問題があった。
示す正面図および平面図のように電極２の相対向する電
極面の全面に均一な厚さで調整膜３を形成することが理
想とされている。しかしながら蒸着等の手段を用いてこ
のような所定形状の均一な厚さの調整膜を形成すること
は現在の技術においては不可能である。このために製造
技術の問題等により、第１図及び第２図に示すような振
動子が生産されていた。すなわち、第１図に示す振動子
では相対向する電極の中心部分に調整膜３を付加し、後
述する並列容量Ｃｏに与える影響を少なくしているが、
その結果として実効抵抗の増大及び副振動特性の劣化を
余儀なくされている。また、第２図に示す振動子におい
ては、一方の電極２の対向面の全面に調整膜３を付加し
、前述した電気的特性劣化の防止を計っているが、この
場合には電極２の部分から外れた調整膜３が、相対向す
る電極面積を大きくし、実質的に振動子の等価定数のう
ち特に並列容量Ｃｏを増大させ所定の設計値を変化させ
るという問題があった。
このように第１図及び第２図に示した振動子においては
その製造上の問題もさることながら調整膜を付加して周
波数の微調整を行なう際に振動子の電気的特性の劣化を
防止し、かつ等価定数、特に並列容量Ｃｏの値に変化を
起さないようにすることは不可能であった。また、これ
らの振動子においては、その板面に形成される電極の径
を同じにしているため電極を形成する際の位置決めに高
精度を必要とし、また蒸着などによって調整膜を電極に
対して所定の相対位置に付加するために高度の技術を要
求されるために生産性が箸るしく低いという問題もあっ
た。
その製造上の問題もさることながら調整膜を付加して周
波数の微調整を行なう際に振動子の電気的特性の劣化を
防止し、かつ等価定数、特に並列容量Ｃｏの値に変化を
起さないようにすることは不可能であった。また、これ
らの振動子においては、その板面に形成される電極の径
を同じにしているため電極を形成する際の位置決めに高
精度を必要とし、また蒸着などによって調整膜を電極に
対して所定の相対位置に付加するために高度の技術を要
求されるために生産性が箸るしく低いという問題もあっ
た。
本発明は上述の事情を考慮してなされたものであり、振
動子の等価定数特に並列容量Ｃｏに変化を与えることな
く実効抵抗の増大や副振動特性の劣化を防止し、かつ生
産性に優れた厚みすべり振動子を提供することを目的と
する。
動子の等価定数特に並列容量Ｃｏに変化を与えることな
く実効抵抗の増大や副振動特性の劣化を防止し、かつ生
産性に優れた厚みすべり振動子を提供することを目的と
する。
以下、本発明の一実施例を第４図および第５図を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
ところで前述したように電極上に調整膜を付加した場合
振動子の特性には次に示すような影響がある。
振動子の特性には次に示すような影響がある。
すなわち第４図ａ，ｂに示すグラフは本発明者らが実験
した結果を示すグラフで、第４図ａは調整膜の径を一定
とし膜厚を変化させたときの振動子の実抵抗値の変化率
を示すグラフ。また、第４図ｂは調整膜厚を一定とし、
その膜径を変化させたときの振動子の実効抵抗値の変化
率を示すグラフである。このグラフからも明らかなよう
に振動子板面に対向して形成した電極面に対して調整膜
面が小さければ小さい程、又この膜厚が厚ければ厚い程
振動子の振動損失が大きくなり、又副振動特性劣化を生
じる事が確認された。
した結果を示すグラフで、第４図ａは調整膜の径を一定
とし膜厚を変化させたときの振動子の実抵抗値の変化率
を示すグラフ。また、第４図ｂは調整膜厚を一定とし、
その膜径を変化させたときの振動子の実効抵抗値の変化
率を示すグラフである。このグラフからも明らかなよう
に振動子板面に対向して形成した電極面に対して調整膜
面が小さければ小さい程、又この膜厚が厚ければ厚い程
振動子の振動損失が大きくなり、又副振動特性劣化を生
じる事が確認された。
本発明は並列容量Ｃｏに変化を与える′ことなくかつ相
対面して形成した電極面に比して調整膜面が大きい程振
動子の粋曲ま有利になる事に着目してなされたものであ
る。
対面して形成した電極面に比して調整膜面が大きい程振
動子の粋曲ま有利になる事に着目してなされたものであ
る。
第５図ａ，ｂは本考案の一実施例を示す正薗図および平
面図である。この厚みすべり振動子は振動子秦片１の一
側板面に蓬ａなる第１の電極４を形成し、池側板面に上
記第１の電極４に相対面して径ｂの第２の電極５を形成
している。なお、第１の電極４の蓬ａに比して第２の電
極５の蓬ｂが小さくなるように設定している。そして、
上記第１の電極４の上に蓬ｃの周波数調整膜６を形成し
ている。なお、この周波数調整膜６の径ｃは上記第１，
第２の電極４，５の蓬ａ，ｂに対してａ＞ｃ＞ｂとなる
ようにしている。 ．すなわち、このように構成さ
れた振動子によれば次のような作用効果がある。
面図である。この厚みすべり振動子は振動子秦片１の一
側板面に蓬ａなる第１の電極４を形成し、池側板面に上
記第１の電極４に相対面して径ｂの第２の電極５を形成
している。なお、第１の電極４の蓬ａに比して第２の電
極５の蓬ｂが小さくなるように設定している。そして、
上記第１の電極４の上に蓬ｃの周波数調整膜６を形成し
ている。なお、この周波数調整膜６の径ｃは上記第１，
第２の電極４，５の蓬ａ，ｂに対してａ＞ｃ＞ｂとなる
ようにしている。 ．すなわち、このように構成さ
れた振動子によれば次のような作用効果がある。
以下、この振動子の特性を測定した結果を参照して説明
する。まず調整膜６の蓬ｃを第１、第２の電極４，５の
釜ａ，ｂに対してａ＞ｃ＞ｂとしたために調整膜６を第
１、第２の電極４，５面に垂直な方向の第２の電極５の
投影面内の全面において均一な厚みに形成して付加する
ことができる。したがって、調整膜６を付力ｏした後で
も実効抵抗の増大や副振動特性の劣化を生じることがな
い。第６図は上記調整膜６の調整量に対応する周波数の
変化分を横軸とし、その周波数変化に対する振動子の周
波数微調整用後の実効抵抗値の変化を縦軸として示すグ
ラフである。このグラフでは、第１図に示した従来の振
動子の特性をＡ、本発明の振動子の特性をＢで示す。尚
振動子の外径５．５側め、周波数１４■ＭＨ２、次数７
倍波で本発明の振動子の第１の電極蚤ａを２．６肋、第
２の電極蓬ｂを１．９肋、調整膜蚤ｃを２．仇肋として
いる。また、第１図に示す従来の振動子の電極径をそれ
ぞれ２．６肋、その調整膜径を１．６柳とした。このグ
ラフからも明らかなように従来の振動子は右上りの大略
一次曲線となり、調整量に比例して実効抵抗は増大する
が本発明の振動子は右下りの二次曲線となり実効抵抗の
増大も少ない。また、上記の従来の振動子および本発明
の振動子を使用して副振動特性を比較測定した結果、第
７図ａ，ｂに示す結果が得られた。
する。まず調整膜６の蓬ｃを第１、第２の電極４，５の
釜ａ，ｂに対してａ＞ｃ＞ｂとしたために調整膜６を第
１、第２の電極４，５面に垂直な方向の第２の電極５の
投影面内の全面において均一な厚みに形成して付加する
ことができる。したがって、調整膜６を付力ｏした後で
も実効抵抗の増大や副振動特性の劣化を生じることがな
い。第６図は上記調整膜６の調整量に対応する周波数の
変化分を横軸とし、その周波数変化に対する振動子の周
波数微調整用後の実効抵抗値の変化を縦軸として示すグ
ラフである。このグラフでは、第１図に示した従来の振
動子の特性をＡ、本発明の振動子の特性をＢで示す。尚
振動子の外径５．５側め、周波数１４■ＭＨ２、次数７
倍波で本発明の振動子の第１の電極蚤ａを２．６肋、第
２の電極蓬ｂを１．９肋、調整膜蚤ｃを２．仇肋として
いる。また、第１図に示す従来の振動子の電極径をそれ
ぞれ２．６肋、その調整膜径を１．６柳とした。このグ
ラフからも明らかなように従来の振動子は右上りの大略
一次曲線となり、調整量に比例して実効抵抗は増大する
が本発明の振動子は右下りの二次曲線となり実効抵抗の
増大も少ない。また、上記の従来の振動子および本発明
の振動子を使用して副振動特性を比較測定した結果、第
７図ａ，ｂに示す結果が得られた。
尚、このグラフは複数のサンプルの主振動と副振動との
レベル差の分布を示すもので、第７図ａは従来の振動子
、第７図ｂは本発明の振動子である。
レベル差の分布を示すもので、第７図ａは従来の振動子
、第７図ｂは本発明の振動子である。
このグラフからも本発明の振動子が良好な副振動特性を
示すことは明らかである。また本発明によれば調整膜６
を第１、第２の電極４，５間の最大対向面積上の範囲外
に付加しても電極４，５の対向面積に変化を生じないの
で、並列容量Ｃｏの変化はなく設計上有利になる。
示すことは明らかである。また本発明によれば調整膜６
を第１、第２の電極４，５間の最大対向面積上の範囲外
に付加しても電極４，５の対向面積に変化を生じないの
で、並列容量Ｃｏの変化はなく設計上有利になる。
また、調整膜６が電極４の外周からはみ出たとしても、
実質的な並列容量Ｃｏの増加は生じない。さらに第１の
電極４と第２の電極５との大きさが異なるために、その
電極の位置合わせも容易になる。また電極４の上に調整
膜６を付加する際第２の電極５の大きさを起える範囲で
、この調整膜６を形成すれば、この発明の主たる目的を
達成することができるので作業も容易でそれによって生
産性も良好である。以上、詳述したように本発明によれ
ば振動子素片の電極の大きさを異ならせ面積の大なる電
極側の電極の上に、この電極に対向する面積の小なる電
極の面積よりも大きな範囲に調整膜を付加したために振
動子の等価定数に変化を及ぼすことなく実効抵抗の増大
や副振動特性劣化が良好でしかも生産性に優れた厚みす
べり振動子を提供できる。
実質的な並列容量Ｃｏの増加は生じない。さらに第１の
電極４と第２の電極５との大きさが異なるために、その
電極の位置合わせも容易になる。また電極４の上に調整
膜６を付加する際第２の電極５の大きさを起える範囲で
、この調整膜６を形成すれば、この発明の主たる目的を
達成することができるので作業も容易でそれによって生
産性も良好である。以上、詳述したように本発明によれ
ば振動子素片の電極の大きさを異ならせ面積の大なる電
極側の電極の上に、この電極に対向する面積の小なる電
極の面積よりも大きな範囲に調整膜を付加したために振
動子の等価定数に変化を及ぼすことなく実効抵抗の増大
や副振動特性劣化が良好でしかも生産性に優れた厚みす
べり振動子を提供できる。
第１図ａ，ｂ、第２図ａ，ｂは従釆の振動子の一例を示
す正面図および平面図、第３図ａ，ｂは理想的な振動子
の一例を示す正面図および平面図、第４図ａ，ｂは電極
径および調整膜量と実効抵抗との関係を示すグラフ、第
５図ａ，ｂは本発明の−実施例を示す正面図および平面
図、第６図は調整膜と実効抵抗との関係を示すグラフ、
第７図ａ，ｂは従釆の振動子および本願の振動子のスプ
リアス特性を示すグラフである。 １・・・・・・振動子素片、４・・・・・・第１の電極
、５・・・・・・第２の電極、６・・・・・・周波数調
整膜。 第１図第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図
す正面図および平面図、第３図ａ，ｂは理想的な振動子
の一例を示す正面図および平面図、第４図ａ，ｂは電極
径および調整膜量と実効抵抗との関係を示すグラフ、第
５図ａ，ｂは本発明の−実施例を示す正面図および平面
図、第６図は調整膜と実効抵抗との関係を示すグラフ、
第７図ａ，ｂは従釆の振動子および本願の振動子のスプ
リアス特性を示すグラフである。 １・・・・・・振動子素片、４・・・・・・第１の電極
、５・・・・・・第２の電極、６・・・・・・周波数調
整膜。 第１図第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図
Claims (1)
- １ 板状の振動子素片と、この振動子素片の一側板面に
形成された所定の径を有する第１の電極と、この振動子
素片の他側板面に形成された上記第１の電極に比して小
さな径の第２の電極と上記第２の電極より大きな径を有
し、第１の電極の上に形成された周波数調整膜とを具備
する厚みすべり振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6249478A JPS6019843B2 (ja) | 1978-05-25 | 1978-05-25 | 厚みすべり振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6249478A JPS6019843B2 (ja) | 1978-05-25 | 1978-05-25 | 厚みすべり振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54153592A JPS54153592A (en) | 1979-12-03 |
| JPS6019843B2 true JPS6019843B2 (ja) | 1985-05-18 |
Family
ID=13201770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6249478A Expired JPS6019843B2 (ja) | 1978-05-25 | 1978-05-25 | 厚みすべり振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6019843B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5943620A (ja) * | 1982-09-03 | 1984-03-10 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電セラミクス素子 |
| JP2013207336A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、及び電子機器 |
-
1978
- 1978-05-25 JP JP6249478A patent/JPS6019843B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54153592A (en) | 1979-12-03 |
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