JPS602746B2 - 電子顕微鏡等における試料冷却装置 - Google Patents
電子顕微鏡等における試料冷却装置Info
- Publication number
- JPS602746B2 JPS602746B2 JP52069726A JP6972677A JPS602746B2 JP S602746 B2 JPS602746 B2 JP S602746B2 JP 52069726 A JP52069726 A JP 52069726A JP 6972677 A JP6972677 A JP 6972677A JP S602746 B2 JPS602746 B2 JP S602746B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- cooling tank
- axes
- cooling device
- attached
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子顕微鏡等における試料頃斜装置、特に低温
状態に保たれた試料に傾斜を与える装置の改良に関する
。
状態に保たれた試料に傾斜を与える装置の改良に関する
。
一般に電子顕微鏡等において液体ヘリウム等の冷煤を使
用して試料を極低温に冷却した状態でこの試料に傾斜を
与える装置としては第１図に示すような構造のものが従
釆広く使用されている。
用して試料を極低温に冷却した状態でこの試料に傾斜を
与える装置としては第１図に示すような構造のものが従
釆広く使用されている。
図中１は液体ヘリウム２が導入される冷却槽で、該冷却
槽は対物レンズ（図示せず）上に移動可能に敷薄された
試料移動台３に断熱体４ａ，４ｂを介して取付けられて
おり、又該冷却槽の下部には対物レンズの磁極片内に垂
れ下がった二本の支持脚５ａ及び５ｂが互いに対向して
設けられている。該支持脚の下部外周には二つの軸６ａ
，６ｂを介してジンパル機構の中間リング７が懐動可能
に保持されている。前記二つの軸６ａと６ｂの軸心は光
軸を通り直線×−Ｘ′上に配置されている。前記中間リ
ング７の内側には二つの軸８ａ，８ｂを介して額斜体９
が懐勤可能に保持されている。該額斜体の外周には２つ
の欠切部１０ａ，１０ｂが形成してあり、該欠切部内に
前記支持脚５ａ，５ｂが夫々任意な間隔を保つて配置さ
れる。前記二つの軸８ａと８ｂとの軸心は光軸を通り且
つ前記直線×−Ｘ′と直交した直線Ｙ−Ｙ′上に配置さ
れている。前記傾斜体９の中央部には試料１ １を保持
した試料筒１２が着脱自在に鉄合されており、又該懐斜
体には二本の駆動棒１３ａ，１３ｂ（第２図には点線で
その状態を示してある。）が夫々係合している。従って
駆動樺１３ａを第２図中紙面に対して垂直方向に移動せ
しめれば、髄６ａ，６ｂを中心にして額斜体９が軸８ａ
，８ｂ及び中間リングと共に額勤するため、試料１１は
×軸を中心にして額勤する。又一方の駆動軸１３ｂを移
動せしめれば懐斜体９が軸８ａ，８ｂを中心にして煩動
するため、試料はＹ薮を中心にして頭勤する。その結果
２つの駆動棒１３ａ，１３ｂを任意に操作することによ
り試料１１は任意方向に任意角度で煩斜することができ
る。試料１１は極低温状態に保たなければならないため
、第１図中符号１４で示すＵ字状に曲げられた可操性の
熱伝導体により冷却槽１と額斜体９とを熱的に接続せし
めている。しかし乍ら斯様に冷却槽と煩斜体との間をＵ
字状の熱伝導体で接続した装置においては試料をくり返
し煩斜させた場合、熱伝導体は大きな曲げとねじれを同
時に受けるため、疲労破壊しやすく、又大きな抵抗力が
生じるので煩斜動のさまたげとなる。
槽は対物レンズ（図示せず）上に移動可能に敷薄された
試料移動台３に断熱体４ａ，４ｂを介して取付けられて
おり、又該冷却槽の下部には対物レンズの磁極片内に垂
れ下がった二本の支持脚５ａ及び５ｂが互いに対向して
設けられている。該支持脚の下部外周には二つの軸６ａ
，６ｂを介してジンパル機構の中間リング７が懐動可能
に保持されている。前記二つの軸６ａと６ｂの軸心は光
軸を通り直線×−Ｘ′上に配置されている。前記中間リ
ング７の内側には二つの軸８ａ，８ｂを介して額斜体９
が懐勤可能に保持されている。該額斜体の外周には２つ
の欠切部１０ａ，１０ｂが形成してあり、該欠切部内に
前記支持脚５ａ，５ｂが夫々任意な間隔を保つて配置さ
れる。前記二つの軸８ａと８ｂとの軸心は光軸を通り且
つ前記直線×−Ｘ′と直交した直線Ｙ−Ｙ′上に配置さ
れている。前記傾斜体９の中央部には試料１ １を保持
した試料筒１２が着脱自在に鉄合されており、又該懐斜
体には二本の駆動棒１３ａ，１３ｂ（第２図には点線で
その状態を示してある。）が夫々係合している。従って
駆動樺１３ａを第２図中紙面に対して垂直方向に移動せ
しめれば、髄６ａ，６ｂを中心にして額斜体９が軸８ａ
，８ｂ及び中間リングと共に額勤するため、試料１１は
×軸を中心にして額勤する。又一方の駆動軸１３ｂを移
動せしめれば懐斜体９が軸８ａ，８ｂを中心にして煩動
するため、試料はＹ薮を中心にして頭勤する。その結果
２つの駆動棒１３ａ，１３ｂを任意に操作することによ
り試料１１は任意方向に任意角度で煩斜することができ
る。試料１１は極低温状態に保たなければならないため
、第１図中符号１４で示すＵ字状に曲げられた可操性の
熱伝導体により冷却槽１と額斜体９とを熱的に接続せし
めている。しかし乍ら斯様に冷却槽と煩斜体との間をＵ
字状の熱伝導体で接続した装置においては試料をくり返
し煩斜させた場合、熱伝導体は大きな曲げとねじれを同
時に受けるため、疲労破壊しやすく、又大きな抵抗力が
生じるので煩斜動のさまたげとなる。
本発明は斯様な不都合を解決するために、熱伝導体には
小さなねじれのみの変形が生ずるようになした装置を提
供するもので、以下図面に基づき詳説する。
小さなねじれのみの変形が生ずるようになした装置を提
供するもので、以下図面に基づき詳説する。
尚第１図及び第２図と同一番号は同一構成要素を示す。
第３図は本発明の一実施例を示す傾斜体底部の額視図で
あり、１５ａ乃至１５ｄは冷却槽１と頃斜体９とを熱的
に接続するための例えば銅や銀からなる熱伝導体で、該
熱伝導体は厚さが例えば０．１伽程度のように薄くて細
長い帯状に形成し、可操性をもたせてある。
第３図は本発明の一実施例を示す傾斜体底部の額視図で
あり、１５ａ乃至１５ｄは冷却槽１と頃斜体９とを熱的
に接続するための例えば銅や銀からなる熱伝導体で、該
熱伝導体は厚さが例えば０．１伽程度のように薄くて細
長い帯状に形成し、可操性をもたせてある。
又これらの熱伝導体は両端部が互いに略直角方向を向く
ように折曲げられ、傾斜軸×及びＹによって定められる
面に平行でこの面に近接した面に含まれるように配置し
た状態で、両端に設けた突出部が支持脚の底部と傾斜体
の底部に夫々固定される。即ち熱伝導体１５ａ，１５ｂ
は一方の突出部１６ａ，１７ａがビス１８ａ，１８ｂに
よって支持脚５ａの底部に固定され、他方の突出部１６
ｂ，１７ｂがビス１８ｃ，１８ｄによって傾斜体９の底
部に固定される。このとき両熱伝導体１５ａ，１５ｂの
支持脚５ａへの取付位置はＸ軸上におかれ、又該両熱伝
導体の傾斜体９への取付位置は光軸を中心にして反対側
でしかもＹ軸上におかれている。前記残りの両熱伝導体
１５ｃ，１５ｄは一方の突出部１９ａ，２０ａがビス１
８ｅ，１８ｆによって支持脚５ｂの底部に固定され、他
方の突出部１９ｂ，２０ｂがビス１８ｇ，１８ｈによっ
て鏡斜体９の底部に固定される。このとき両熱伝導体１
５ｃ，１５ｄの支持脚５ｂへの取付位置は×鼠上におか
れ、又該両熱伝導体の傾斜体９への取付位置は光軸を中
心にして反対側でしかもＹ軸上におかれている。しかし
て傾斜体９を例えばＸ軸を中心にして懐動させた場合、
各熱伝導体においては、煩斜軸×及びＹによって定めら
れる面に平行でこの面に近接した面に含まれるように配
置されているため、支持脚５ａ，５ｂに固定された側の
側面部分がねじられるのみである。
ように折曲げられ、傾斜軸×及びＹによって定められる
面に平行でこの面に近接した面に含まれるように配置し
た状態で、両端に設けた突出部が支持脚の底部と傾斜体
の底部に夫々固定される。即ち熱伝導体１５ａ，１５ｂ
は一方の突出部１６ａ，１７ａがビス１８ａ，１８ｂに
よって支持脚５ａの底部に固定され、他方の突出部１６
ｂ，１７ｂがビス１８ｃ，１８ｄによって傾斜体９の底
部に固定される。このとき両熱伝導体１５ａ，１５ｂの
支持脚５ａへの取付位置はＸ軸上におかれ、又該両熱伝
導体の傾斜体９への取付位置は光軸を中心にして反対側
でしかもＹ軸上におかれている。前記残りの両熱伝導体
１５ｃ，１５ｄは一方の突出部１９ａ，２０ａがビス１
８ｅ，１８ｆによって支持脚５ｂの底部に固定され、他
方の突出部１９ｂ，２０ｂがビス１８ｇ，１８ｈによっ
て鏡斜体９の底部に固定される。このとき両熱伝導体１
５ｃ，１５ｄの支持脚５ｂへの取付位置は×鼠上におか
れ、又該両熱伝導体の傾斜体９への取付位置は光軸を中
心にして反対側でしかもＹ軸上におかれている。しかし
て傾斜体９を例えばＸ軸を中心にして懐動させた場合、
各熱伝導体においては、煩斜軸×及びＹによって定めら
れる面に平行でこの面に近接した面に含まれるように配
置されているため、支持脚５ａ，５ｂに固定された側の
側面部分がねじられるのみである。
このとき各熱伝導体は傾斜体９の底部に設置されている
ため、煩斜軸に接近せしめることができ、従って熱伝導
体のまげはほとんどない。又傾斜体９をＹ軸を中心にし
て煩敷させた場合には各熱伝導体の額斜体に固定された
側の側面部にねじりが生ずる。尚ｔ熱伝導体１５ａ乃至
１５ｄは可能な限り傾斜鞠中心に接近して固定してある
ため、煩斜体９の底面が平面であると、この傾斜体をＹ
軸を中心にしてわずかに懐斜しただけで、この傾斜体の
底部が支持脚５ａ，５ｂに固定された熱伝導体１５ａ乃
至１５ｄに衝突し、額斜を行うことができなくなる。
ため、煩斜軸に接近せしめることができ、従って熱伝導
体のまげはほとんどない。又傾斜体９をＹ軸を中心にし
て煩敷させた場合には各熱伝導体の額斜体に固定された
側の側面部にねじりが生ずる。尚ｔ熱伝導体１５ａ乃至
１５ｄは可能な限り傾斜鞠中心に接近して固定してある
ため、煩斜体９の底面が平面であると、この傾斜体をＹ
軸を中心にしてわずかに懐斜しただけで、この傾斜体の
底部が支持脚５ａ，５ｂに固定された熱伝導体１５ａ乃
至１５ｄに衝突し、額斜を行うことができなくなる。
そこで第３図に示すように蟻斜体９の底部に凹部２１を
形成することにより煩斜体の懐斜角をできるだけ大きく
し得るように構成してある。以上の如く構成することに
より本発明は試料傾斜時における熱伝導体の変形を小さ
なねじれのみとなすことができるため、疲労破壊をなく
することができ「 しかも熱伝導体に生ずる抵抗力も小
さくなるので試料をスムーズに煩斜せしめることができ
る等、実用性大なる効果を有する。
形成することにより煩斜体の懐斜角をできるだけ大きく
し得るように構成してある。以上の如く構成することに
より本発明は試料傾斜時における熱伝導体の変形を小さ
なねじれのみとなすことができるため、疲労破壊をなく
することができ「 しかも熱伝導体に生ずる抵抗力も小
さくなるので試料をスムーズに煩斜せしめることができ
る等、実用性大なる効果を有する。
尚前述の説明は本発明の例示であり実施にあたっては幾
多の変形が考えられる。
多の変形が考えられる。
例えば熱伝導体は４本用いた場合を示したが、１本又は
それ以上用いてもよい。
それ以上用いてもよい。
第１図は従来例を示す縦断面図、第２図は第１図のＡ−
Ａ断面図、第３図は本発明の一実施例を示す斜視図であ
る。 第３図において５ａ及び５ｂは支持脚、９は傾斜体、１
５ａ乃至１５ｄは熱伝導体、１６ａ，１６ｂ，１７ａ，
１７ｂ，１９ａ，１９ｂ，２０ａ及び２０ｂは突出部、
１８ａ乃至１８ｈはビス、２１は凹部である。 汁ｌ図 矛乙図 汁３図
Ａ断面図、第３図は本発明の一実施例を示す斜視図であ
る。 第３図において５ａ及び５ｂは支持脚、９は傾斜体、１
５ａ乃至１５ｄは熱伝導体、１６ａ，１６ｂ，１７ａ，
１７ｂ，１９ａ，１９ｂ，２０ａ及び２０ｂは突出部、
１８ａ乃至１８ｈはビス、２１は凹部である。 汁ｌ図 矛乙図 汁３図
Claims (1)
- １ 冷却槽と、略直交する１対の傾斜軸により傾動可能
に保持された試料保持部材と、該試料保持部材を前記冷
却槽とを熱的に接続するための可撓性を有した帯状熱伝
導体とを備え、前記熱伝導体を試料保持部材と冷却槽と
の間に連結するに際し、該帯状熱伝導体を略直角に折り
曲げ、該一対の傾斜軸によって定められる面と平行で該
面に近接した面内に配置すると共に、その一端部を前記
傾斜軸の一方に沿った位置に、他端部を該傾斜軸の他方
に沿った位置に取り付けた事を特徴とする電子顕微鏡等
における試料冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52069726A JPS602746B2 (ja) | 1977-06-13 | 1977-06-13 | 電子顕微鏡等における試料冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52069726A JPS602746B2 (ja) | 1977-06-13 | 1977-06-13 | 電子顕微鏡等における試料冷却装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS544563A JPS544563A (en) | 1979-01-13 |
| JPS602746B2 true JPS602746B2 (ja) | 1985-01-23 |
Family
ID=13411121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52069726A Expired JPS602746B2 (ja) | 1977-06-13 | 1977-06-13 | 電子顕微鏡等における試料冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS602746B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4679279B2 (ja) * | 2005-07-14 | 2011-04-27 | 日本電子株式会社 | トップエントリ式試料ステージ傾斜装置 |
-
1977
- 1977-06-13 JP JP52069726A patent/JPS602746B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS544563A (en) | 1979-01-13 |
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