JPS602959B2 - Laser processing equipment - Google Patents
Laser processing equipmentInfo
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- JPS602959B2 JPS602959B2 JP56025022A JP2502281A JPS602959B2 JP S602959 B2 JPS602959 B2 JP S602959B2 JP 56025022 A JP56025022 A JP 56025022A JP 2502281 A JP2502281 A JP 2502281A JP S602959 B2 JPS602959 B2 JP S602959B2
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、ワーク(被加工材)の加工部にレーザビー
ムを照射して加工する際、その加工部にアシストガスを
噴出させる加工ヘッドのノズルの改良に係わり、更に詳
しくは、ワークの加工時に発生する溶融物、蒸発物を除
去し、更に加工部周辺の冷却効果も兼ねて混合アシスト
ガスを噴出させるための噴射ノズルを備えたレーザ加工
装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to the improvement of a nozzle of a processing head that jets assist gas to the processing section of a workpiece (workpiece material) when the processing section is irradiated with a laser beam. More specifically, the present invention relates to a laser processing device equipped with an injection nozzle for removing melted matter and evaporated matter generated during processing of a workpiece, and for ejecting a mixed assist gas that also serves as a cooling effect around the processing section.
一般に、レーザ加工時に使用されるアシストガスは、酸
化反応を促進しうる酸素(02)である。Generally, the assist gas used during laser processing is oxygen (02), which can promote oxidation reactions.
しかし、アシストガスとしての酸素は、高価であるため
、そのままでは使用されず、空気と混合して使用される
。そして、この空気と酸素との混合比は、夫々ワークの
種類により選定され、その混合比のガスボンベを予め用
意して、ワークの種類が変るごとに交換しているのが現
状であった。However, since oxygen as an assist gas is expensive, it is not used as it is, but rather mixed with air. The mixing ratio of air and oxygen is selected depending on the type of workpiece, and gas cylinders with that mixing ratio are currently prepared in advance and replaced each time the type of workpiece changes.
ところで、従来酸素の必要量は、ワークの材質、加工速
度およびークの厚さ等の加工条件により調整できること
が、混合ガスの種類および混合比は、あらかじめ業者に
指定したガスボンベを使用するため、このガスボンベに
封入された混合ガスの混合比を必要に応じて自由に調整
することは、業者以外には不可能で、しかもコスト高で
あるという問題があった。By the way, conventionally, the required amount of oxygen can be adjusted depending on processing conditions such as the material of the workpiece, the processing speed, and the thickness of the arc. However, the type and mixing ratio of the mixed gas is determined by using a gas cylinder specified by the manufacturer in advance. However, there is a problem in that it is impossible for anyone other than a trader to freely adjust the mixing ratio of the mixed gas sealed in this gas cylinder as necessary, and the cost is high.
この発明は、かかる従来の問題点に鑑み、これを有効に
解決したもので、その目的とするところはアシストガス
の混合が調整自在で、しかも精度良く加工を行なうこと
ができるレーザ加工装置を提供するものである。The present invention has been made to effectively solve these problems in the prior art, and its purpose is to provide a laser processing device that can freely adjust the mixture of assist gases and that can perform processing with high precision. It is something to do.
タ このような目的は、この発明によれば、アシストガ
スを主アシストガスと副アシストガスとに2分して、主
ァシストガスをワークの加工部へ噴射する際、主ァシス
トガスの噴射通路に設けた吸引通路から副ァシストガス
を吸引して所望の混合比に調整自在とすることにより達
成される。According to the present invention, this purpose is achieved by dividing the assist gas into the main assist gas and the sub-assist gas, and when injecting the main assist gas to the machining part of the workpiece, the main assist gas is provided in the injection passage. This is achieved by sucking the sub-assist gas from the suction passage so that the desired mixing ratio can be adjusted.
以下、添付図面に基いてこの発明の好適な実施例を説明
する。Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described based on the accompanying drawings.
第1図、第2図はこの発明を実施したNC制御されるレ
ーザ加工装置の正面図と平面図とを示し、このレーザ加
工装置1は、主としてレーザ加工機3と、炭酸ガスレー
ザを使用したレーザ発振器5と、このレーザ発振器5の
電源装置7と、レーザ発振器5における発振用混合ガス
を冷却するための図示しない冷却システムとから構成さ
れ、このレーザ加工機3に敦暦されたワークWは、NC
制御により位置決めされる。1 and 2 show a front view and a plan view of an NC-controlled laser processing apparatus according to the present invention, and this laser processing apparatus 1 mainly includes a laser processing machine 3 and a laser processing machine using a carbon dioxide laser. The workpiece W, which is composed of an oscillator 5, a power supply device 7 for the laser oscillator 5, and a cooling system (not shown) for cooling the oscillation mixed gas in the laser oscillator 5, is processed by the laser processing machine 3. N.C.
Positioned by control.
前記レーザ加工機3には、レーザ発振器5から発振され
たレーザ発線4(レーザビーム)9を、テーブルで言う
ところの固定テーブル11上に戦層されたワークWに照
射させる複数のミラー13a,13b,13cが調整自
在に取付けられている。The laser processing machine 3 includes a plurality of mirrors 13a that irradiate a laser beam 4 (laser beam) 9 oscillated from a laser oscillator 5 onto a workpiece W layered on a fixed table 11, which is referred to as a table. 13b and 13c are attached so as to be adjustable.
また、上託しーザビーム9は、加工ヘッド15内に設け
られた集光レン15a及びノズル15bを通って、ワー
クWの表面、もしくは表面より僅かに下部の加工部にZ
に集光照射される。Further, the entrusted laser beam 9 passes through a condensing lens 15a and a nozzle 15b provided in the processing head 15, and strikes the surface of the workpiece W or a processing portion slightly below the surface.
is focused and irradiated.
これによりワークWは、レーザビーム9の光ェネルギを
吸収し、ワークWの加工部Zが溶融、蒸発して溝加工、
切断加工、溶接加工等が行なわれる。As a result, the workpiece W absorbs the optical energy of the laser beam 9, and the processed portion Z of the workpiece W is melted and evaporated, resulting in groove processing and
Cutting, welding, etc. are performed.
前記固定テ−ブルー1の長手方向の一側部には、板状の
ワークWを把持する位置決め装置17が設けられており
、この位置決め装置17には、図示しないワークWのY
方向の基準ストツパが具備されるとともに、X軸ガイド
レール19に沿って第2図において前後方向に移動する
×鞠キャリツジ21が取付けられている。A positioning device 17 for gripping a plate-shaped workpiece W is provided on one side in the longitudinal direction of the fixed table ring 1.
A reference stopper in the direction is provided, and an x-mari carriage 21 that moves in the front-rear direction in FIG. 2 along the X-axis guide rail 19 is attached.
X軸ガイドレール19は、固定テーブル11の長手方向
(第2図において左右方向)に敷設された図示しないY
軸ガイドレールに沿って移動するY軸キャリッジ23上
に敷設されている。The X-axis guide rail 19 is a Y-axis (not shown) installed in the longitudinal direction (left-right direction in FIG. 2) of the fixed table 11.
It is placed on a Y-axis carriage 23 that moves along an axis guide rail.
なお、×軸ガイドレール19と、図示しないY軸ガイド
レールとは直交して敷設されるとともに、上記×軸ガイ
ドレール19にガイドされるX軸キャリッジ21は、サ
ーボモータ25により駆動され、またガイドレールにガ
イドされるY軸キヤリツジ23は、図示しないサーボモ
ータにより駆動されるものである。The X-axis guide rail 19 and the Y-axis guide rail (not shown) are laid orthogonally, and the X-axis carriage 21 guided by the X-axis guide rail 19 is driven by a servo motor 25, and the The Y-axis carriage 23 guided by the rail is driven by a servo motor (not shown).
また27は、Y軸キャリッジ23と一体的に設けられた
移動テーブルであってこの移動テーフル27上には、ワ
ークWを支承する複数のフリーストロークベアリング2
9が回転自在に埋設されている。Reference numeral 27 denotes a moving table that is provided integrally with the Y-axis carriage 23. On this moving table 27, there are a plurality of free stroke bearings 2 that support the work W.
9 is rotatably buried.
また前記移動テーブル27の−側部には、X軸方向の基
準ストッパ31が設けてあって、この基準ストッパ31
は、ワークWの通過する面(バスラィン)に対して出没
自在に設けられている。Further, a reference stopper 31 in the X-axis direction is provided on the negative side of the moving table 27.
is provided so as to be able to appear and retract from the surface (bus line) through which the workpiece W passes.
前記固定テーブル11の下方には、レーザ加工によって
発生するスラツグ、ガス等を吸引する集塵装置33が設
置してあり、この集塵装置33は、図示しないバキュー
ムポンプ等に接続されている。前記加工ヘッド15の先
端に取付けられたノズル15bは、前述のようにレーザ
ピーム9の照射ノズルとアシストガスの噴射ノズルとを
共用する、所謂混合ノズル35を構成するものである。
上記混合ノズル35は、第3図に示すように円筒状の基
準ノズルアッシ−37と、可動ノズルアッシー39とか
ら構成され、基準ノズルアッシー37は、上端と中央側
壁とにじ部41a,410が形成され、また下部にテー
パ状のノズル部43が形成されている。基準ノズルアッ
シー37は、その上端のねじ部41aを介して加工ヘッ
ド15の下端部に気密的に螺合され、また外部からはロ
ックねじ45により固定保持されている。A dust collector 33 is installed below the fixed table 11 to suck out slag, gas, etc. generated by laser processing, and this dust collector 33 is connected to a vacuum pump or the like (not shown). The nozzle 15b attached to the tip of the processing head 15 constitutes a so-called mixing nozzle 35, which serves as both the laser beam 9 irradiation nozzle and the assist gas injection nozzle, as described above.
The mixing nozzle 35 is composed of a cylindrical reference nozzle assembly 37 and a movable nozzle assembly 39, as shown in FIG. Further, a tapered nozzle portion 43 is formed at the bottom. The reference nozzle assembly 37 is hermetically screwed to the lower end of the processing head 15 via a threaded portion 41a at its upper end, and is fixedly held from the outside by a lock screw 45.
また前記可動ノズルアッシー39は、基純ノズルアッシ
ー37の外周部に、前記ねじ部41bを介して螺隊され
、この基準/ズルアツシ−39には、その中央部に混合
噴射ノズル部47が形成されるとともに、側壁には副ア
シストガスの導入口49が形成されている。Further, the movable nozzle assembly 39 is screwed onto the outer circumferential portion of the basic nozzle assembly 37 via the threaded portion 41b, and the reference/zzle assembly 39 has a mixing injection nozzle portion 47 formed in its center. At the same time, an inlet 49 for the auxiliary assist gas is formed in the side wall.
前記基準ノズルアッシー37に可動ノズルァッシー39
を螺鼓した際、基準ノズルアッシー37の先端部と可動
ノズルアッシー39の内壁面との間には、レーザビーム
9及び主アシストガスG,が噴出する噴出通路51と、
この噴出通路51から分岐し、前記副アシストガスG2
の導入口49と達通接続するアシストガスG2の吸引通
路53とが形成される。A movable nozzle assembly 39 is attached to the reference nozzle assembly 37.
When screwed, there is an ejection passage 51 between the tip of the reference nozzle assembly 37 and the inner wall surface of the movable nozzle assembly 39, through which the laser beam 9 and the main assist gas G are ejected;
Branching from this jetting passage 51, the secondary assist gas G2
A suction passage 53 for the assist gas G2 is formed to communicate with the inlet 49 of the assist gas G2.
なお、この実施例では主アシストガスG,として圧縮空
気が使用され、また副アシストガスG2としては酸素が
使用される。In this embodiment, compressed air is used as the main assist gas G, and oxygen is used as the sub assist gas G2.
また基準ノズルアッシー37と可動ノズルアッシー39
との間には、0リングの如きシール部材55が介装され
、アシストガスの気密を保持するようにしている。In addition, the reference nozzle assembly 37 and the movable nozzle assembly 39
A sealing member 55, such as an O-ring, is interposed between the assist gas and the assist gas to maintain airtightness of the assist gas.
また前記副アシストガスG2の吸引通路53 Zは、基
準ノズルアッシー37のねじ部41bに対して可動ノズ
ルアッシ−39を回転させることにより、通路面積を適
宜調整することができる。Further, the passage area of the suction passage 53Z for the secondary assist gas G2 can be adjusted as appropriate by rotating the movable nozzle assembly 39 with respect to the threaded portion 41b of the reference nozzle assembly 37.
前記圧縮空気等の主アシストガスC.は、第3図に示す
ように大気を圧縮機57を介して圧縮さZれ、この圧縮
空気をフィルター59を通すことによって集光レンズ1
5aをいためるような粉塵を除去し、また流量計61を
通すことによって常時流量を計測するとともに、その他
の必要な装置(図示せず)を介してノズル部43から噴
出される。また、酸素等の副アシストガスG2は、酸素
ボンベ等の圧力供給源63からフィルター65を通して
圧力調整弁67に送られ、ここで主アシストガスG,よ
り低い圧力に設定される。The main assist gas such as the compressed air C. As shown in FIG.
5a is removed, and the flow rate is constantly measured by passing it through a flowmeter 61, and it is ejected from the nozzle part 43 via other necessary devices (not shown). Further, a sub-assist gas G2 such as oxygen is sent from a pressure supply source 63 such as an oxygen cylinder through a filter 65 to a pressure regulating valve 67, where the pressure is set lower than that of the main assist gas G.
そして絞り弁等の流量調整装置69によって酸素流量の
調整を可能とするとともに、流量計71によって常時副
ァシストガスG2の流量を計測し、また流路73に設け
たチェック弁75によって圧縮空気の進入を防止する。
副アシストガスの導入口49から吸引通路53に噴出し
た副アシストガスG2は、噴出通路51を通ってノズル
部43及び混合噴射ノズル部47から噴射する主アシス
トガスG,の噴出圧力によって吸引され、主アシストガ
スG,と混合してワークWの加工文へ噴出される。The oxygen flow rate can be adjusted by a flow rate adjustment device 69 such as a throttle valve, the flow rate of the sub-assist gas G2 is constantly measured by a flow meter 71, and the entry of compressed air is controlled by a check valve 75 provided in a flow path 73. To prevent.
The sub-assist gas G2 ejected from the sub-assist gas inlet 49 into the suction passage 53 is sucked by the ejection pressure of the main assist gas G, which is ejected from the nozzle part 43 and the mixed injection nozzle part 47 through the ejection passage 51, It mixes with the main assist gas G and is ejected to the machining pattern of the workpiece W.
なお、主アシストガスG,に対する副アシストガスG2
の割合を増減できるよつに流路53中に図示しない切換
弁を設けて、主ァシストガスG,と副アシストガスG2
を入れからる状態にすることも可能であり、更に主アシ
ストガスG,の流量と、副アシストガスG2の流量、及
び加工条件等を図示しないNC装置に入力することによ
って、NC装置自体で両アシストガスG,,G2の混合
比の管理を行なわせることも可能である。In addition, the secondary assist gas G2 with respect to the main assist gas G,
A switching valve (not shown) is provided in the flow path 53 to increase or decrease the ratio between the main assist gas G and the sub assist gas G2.
Furthermore, by inputting the flow rate of the main assist gas G, the flow rate of the sub-assist gas G2, and the machining conditions, etc. to an NC device (not shown), both can be set by the NC device itself. It is also possible to manage the mixing ratio of the assist gases G, , G2.
このような装置によって、副アシストガスG2の混合割
合を20%〜100%まで自由に設定することができる
。With such a device, the mixing ratio of the secondary assist gas G2 can be freely set from 20% to 100%.
以上のようにこの実施例によれば、レーザ加工時におけ
る主アシストガスG,の噴射時に、副アシストガスG2
を適量吸引してアシストガスとし、これをワークWの加
工部に噴射させるものであるから、ワークWの加工材に
適応した混合アシストガスを噴射させることができるの
である。As described above, according to this embodiment, when the main assist gas G is injected during laser processing, the sub assist gas G2 is
Since the assist gas is sucked in an appropriate amount and is injected into the processing portion of the workpiece W, it is possible to inject a mixed assist gas suitable for the material to be processed on the workpiece W.
以上のようにこの発明は、特許請求の範囲に記載したよ
うに、レーザビーム及び主アシストガスの噴出通路に、
この噴出通路から分岐して副ァシストガスの吸気通路を
蓮通接続し、主アシストガスの噴出時に副アシストガス
を吸引混合させて混合ノズル35から噴射させるもので
あるから、従来のように高価なアシストガスのみを使用
しなくても容易に、かつ安価にレーザ加工を行なうこと
ができる効果がある。また副アシストガスの吸引通路は
、その閉口面積が調整自在であるため、ワークの加工条
件や材質等に対応してアシストガスの混合比が調整自在
であるとともに流量も調整することができ、従って精度
の良い加工を行うことができるとともに、高速加工を行
なうことができる。As described above, the present invention provides a laser beam and a main assist gas ejection passage, as described in the claims.
The sub-assist gas intake passage is branched from this ejection passage and connected to the sub-assist gas intake passage, and when the main assist gas is ejected, the sub-assist gas is mixed by suction and injected from the mixing nozzle 35. This has the advantage that laser processing can be easily and inexpensively performed without using gas alone. In addition, the closing area of the secondary assist gas suction passage can be adjusted freely, so the mixture ratio of the assist gas can be adjusted according to the processing conditions and material of the workpiece, and the flow rate can also be adjusted. High-precision machining and high-speed machining can be performed.
なお、上記の実施例によれば主アシストガスに空気を、
副アシストガスに酸素を使用しているが、これには限定
されず、例えば酸素と窒素のように2つの浪合ガスであ
れば、どのような気体でも可能である。In addition, according to the above embodiment, air is used as the main assist gas,
Although oxygen is used as the secondary assist gas, the present invention is not limited to this, and any gas may be used as long as it is a mixture of two gases, such as oxygen and nitrogen.
なお、この発明は上記の実施例に限定されず、他の実施
態様により行なうことも可能であり、また特許請求の範
囲に付した番号は技術的範囲を限定するものではない。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and may be implemented in other embodiments, and the numbers attached to the claims do not limit the technical scope.
図面の簡単な説明第1図はこの発明を実施したレーザ加
工装置の正面図、第2図は第1図の平面第3図はこの発
明の要部拡大断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a front view of a laser processing apparatus embodying the present invention, and FIG. 2 is a plan view of FIG. 1. FIG. 3 is an enlarged sectional view of the main part of the present invention.
図面中に表わされた主要な符号の説明、W・・・ワーク
、15…加工ヘッド、15b…ノズル、9…レーザビー
ム、1・・・レーザ加工装置、15b・・・ノズル、3
7・・・基準ノズルアッシー、39・・・可動ノズルア
ツシー、G,…主アシストガス、51・・・噴出通路、
Gな・・副アシストガス。Explanation of main symbols shown in the drawings: W... Workpiece, 15... Processing head, 15b... Nozzle, 9... Laser beam, 1... Laser processing device, 15b... Nozzle, 3
7... Reference nozzle assembly, 39... Movable nozzle assembly, G,... Main assist gas, 51... Ejection passage,
G... secondary assist gas.
繁り図 第2図 図 M 舷Crowding map Figure 2 figure M the gunwale
Claims (1)
工ヘツド15に着脱自在に取付けられたノズル15bか
らレーザビーム9を照射しつつ、アシストガスを噴射さ
せてレーザ加工を行なうレーザ加工装置1において、前
記ノズル15bを基準ノズルアツシー37と、可動ノズ
ルアツシー39とから構成し、この基準ノズルアツシー
37と可動ノズルアツシー39の内部に、前記レーザビ
ーム9及び主アシストガスG_1の噴出通路51と、こ
の噴出通路51の途中に副アシストガスG_2を吸引噴
出されるための吸引通路53とを連通接続して設けたこ
とを特徴とするレーザ加工装置。 2 前記可動ノズルアツシー39を基準ノズルアツシー
37に対して移動させることにより、副アシストガスG
_2の吸引通路53の開口面積を調整自在にしたことを
特徴とする特許請求の範囲第1項に記載のレーザ加工装
置。[Scope of Claims] 1. While irradiating the processing portion Z of the workpiece W placed on the table with the laser beam 9 from the nozzle 15b detachably attached to the processing head 15, assist gas is injected to generate the laser beam. In the laser processing apparatus 1 that performs processing, the nozzle 15b is composed of a reference nozzle assembly 37 and a movable nozzle assembly 39, and an ejection passage for the laser beam 9 and the main assist gas G_1 is provided inside the reference nozzle assembly 37 and the movable nozzle assembly 39. 51 and a suction passage 53 for sucking and ejecting the sub-assist gas G_2 in the middle of the ejection passage 51 are provided in communication with each other. 2 By moving the movable nozzle assembly 39 relative to the reference nozzle assembly 37, the secondary assist gas G
The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the opening area of the suction passage 53 of _2 is adjustable.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56025022A JPS602959B2 (en) | 1981-02-24 | 1981-02-24 | Laser processing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56025022A JPS602959B2 (en) | 1981-02-24 | 1981-02-24 | Laser processing equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57139490A JPS57139490A (en) | 1982-08-28 |
| JPS602959B2 true JPS602959B2 (en) | 1985-01-24 |
Family
ID=12154278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56025022A Expired JPS602959B2 (en) | 1981-02-24 | 1981-02-24 | Laser processing equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS602959B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6297789A (en) * | 1985-10-24 | 1987-05-07 | Toshiba Corp | Mixed gas feeding device for laser beam machining |
| JPS63138990U (en) * | 1987-03-06 | 1988-09-13 |
-
1981
- 1981-02-24 JP JP56025022A patent/JPS602959B2/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57139490A (en) | 1982-08-28 |
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