JPS6029897B2 - 螢光ｘ線分析機のｘ線遮蔽装置 - Google Patents
螢光ｘ線分析機のｘ線遮蔽装置Info
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- JPS6029897B2 JPS6029897B2 JP11474177A JP11474177A JPS6029897B2 JP S6029897 B2 JPS6029897 B2 JP S6029897B2 JP 11474177 A JP11474177 A JP 11474177A JP 11474177 A JP11474177 A JP 11474177A JP S6029897 B2 JPS6029897 B2 JP S6029897B2
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
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- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
分析しようとする任意の試料にＸ線を照射して蟹光Ｘ線
を発生させ、その蟹光Ｘ線の波長をＸ線分光器あるいは
Ｘ線検出器の出力波高分析回路等によって検出すること
により、試料に含まれる物質あるいは更にその量を知る
ことができる。
を発生させ、その蟹光Ｘ線の波長をＸ線分光器あるいは
Ｘ線検出器の出力波高分析回路等によって検出すること
により、試料に含まれる物質あるいは更にその量を知る
ことができる。
このような蟹光Ｘ線分析機において、Ｘ線管から試料に
照射される一次Ｘ線が外部に漏洩して危険を及ぼすこと
を防止するためには、該Ｘ線管と試料との間をＸ線遮蔽
筒で連結してその内部をＸ線が通過するようにしなけれ
ばならない。しかしこの遮蔽筒内を通過するＸ線が該遮
蔽筒の内面に入射すると、その遮蔽筒を形成した物質の
蟹光Ｘ線が発生し、試料の蟹光Ｘ線に混入して分光器等
に入射するから誤観測の原因となる。従って従来は上記
遮蔽筒の径を極めて大きくして一次Ｘ線が入射しないよ
うにする必要があったもので、このため装置を小型軽量
に形成し得ない欠点があった。本発明は上述の欠点を除
去しようとするものである。第１図は本発明実施例の縦
断面図で、Ｘ線管１のターゲット２は銅、タングステン
その他適宜の物質で形成されているが、このターゲット
と対向する側壁にべリウム等のＸ線窓３を設けてある。
すなわち熱電子放射陰極４からターゲット２に高速度の
電子線を入射させると、該ターゲットから一次Ｘ線が発
生して、そのＸ線が窓３から外部に投射されるもので、
窓３の周辺には環状の隆起壁５が形成されている。また
Ｘ線分光器６の上部には試料室７を設けて、着脱自在な
蓋体８に取付けた紙面と直角な板状の試料９を上記試料
室７の内部に配置してある。この試料室７には試料９と
対向するように一次Ｘ線の入射窓１０を形成して、その
窓にＸ線遮蔽筒１１を着脱自在に螺合してある。遮蔽筒
１１は、同軸的に重合された内節１２と外筒１３とより
なり、その外側に更に補助遮蔽筒１４をゆるく鉄合して
外筒のつば１５に上記補助遮蔽筒のつば１６を対向させ
、ばね１７でそれらを圧接させてある。かつ内筒１２は
前記Ｘ線管のターゲット２と同一の物質をもって形成さ
れているが、第２図に示したようにこれを外筒１３から
引抜くことができる。すなわちＸ線遮蔽筒１１は少なく
もその内面をＸ線管のターゲット２と同一の物質で形成
したものであるが、該遮蔽筒を２重箇として内筒１２を
挿脱自在に形成することによりＸ線管１を取替えた場合
にそのターゲット２と同一物質の内筒を選択して用いる
ことができる。このような遮蔽筒１１の先端をＸ線管の
窓３に対向させて、前記補助遮蔽筒１４を隆起壁５に鉄
合してある。従ってＸ線管１がＸ線遮蔽筒１１の軸線に
対して所定の位置から多少偏崎し、あるいは傾斜した場
合においても補助遮蔽筒１４を隆起壁５に密に鉄合し得
るもので、このためＸ線が外部へ漏洩して取扱者に危険
を及ぼすことを確実に防止し得る。上述のように本発明
はＸ線管の窓３と試料９との間にＸ線遮蔽筒１１を設け
て、この遮蔽筒の内面をターゲット２と同一の物質で形
成したものである。
照射される一次Ｘ線が外部に漏洩して危険を及ぼすこと
を防止するためには、該Ｘ線管と試料との間をＸ線遮蔽
筒で連結してその内部をＸ線が通過するようにしなけれ
ばならない。しかしこの遮蔽筒内を通過するＸ線が該遮
蔽筒の内面に入射すると、その遮蔽筒を形成した物質の
蟹光Ｘ線が発生し、試料の蟹光Ｘ線に混入して分光器等
に入射するから誤観測の原因となる。従って従来は上記
遮蔽筒の径を極めて大きくして一次Ｘ線が入射しないよ
うにする必要があったもので、このため装置を小型軽量
に形成し得ない欠点があった。本発明は上述の欠点を除
去しようとするものである。第１図は本発明実施例の縦
断面図で、Ｘ線管１のターゲット２は銅、タングステン
その他適宜の物質で形成されているが、このターゲット
と対向する側壁にべリウム等のＸ線窓３を設けてある。
すなわち熱電子放射陰極４からターゲット２に高速度の
電子線を入射させると、該ターゲットから一次Ｘ線が発
生して、そのＸ線が窓３から外部に投射されるもので、
窓３の周辺には環状の隆起壁５が形成されている。また
Ｘ線分光器６の上部には試料室７を設けて、着脱自在な
蓋体８に取付けた紙面と直角な板状の試料９を上記試料
室７の内部に配置してある。この試料室７には試料９と
対向するように一次Ｘ線の入射窓１０を形成して、その
窓にＸ線遮蔽筒１１を着脱自在に螺合してある。遮蔽筒
１１は、同軸的に重合された内節１２と外筒１３とより
なり、その外側に更に補助遮蔽筒１４をゆるく鉄合して
外筒のつば１５に上記補助遮蔽筒のつば１６を対向させ
、ばね１７でそれらを圧接させてある。かつ内筒１２は
前記Ｘ線管のターゲット２と同一の物質をもって形成さ
れているが、第２図に示したようにこれを外筒１３から
引抜くことができる。すなわちＸ線遮蔽筒１１は少なく
もその内面をＸ線管のターゲット２と同一の物質で形成
したものであるが、該遮蔽筒を２重箇として内筒１２を
挿脱自在に形成することによりＸ線管１を取替えた場合
にそのターゲット２と同一物質の内筒を選択して用いる
ことができる。このような遮蔽筒１１の先端をＸ線管の
窓３に対向させて、前記補助遮蔽筒１４を隆起壁５に鉄
合してある。従ってＸ線管１がＸ線遮蔽筒１１の軸線に
対して所定の位置から多少偏崎し、あるいは傾斜した場
合においても補助遮蔽筒１４を隆起壁５に密に鉄合し得
るもので、このためＸ線が外部へ漏洩して取扱者に危険
を及ぼすことを確実に防止し得る。上述のように本発明
はＸ線管の窓３と試料９との間にＸ線遮蔽筒１１を設け
て、この遮蔽筒の内面をターゲット２と同一の物質で形
成したものである。
従ってＸ線管の窓３から投射されたＸ線は破線ａのよう
に上記遮蔽筒１１の中を軸方向に通過して試料９に入射
し、該試料を励起して蟹光Ｘ線ｂを発生させる。この蟹
光Ｘ線ｂの一部が分光器６に入射して波長の検出が行な
われる。かつ遮蔽筒１ １を小型に形成すると窓３から
投射されたＸ線の一部ａ′が該遮蔽筒の内面に入射する
。この入射Ｘ線ａ′の一部は散乱して試料に入射し、該
試料を励起する。従って試料に入射する励起用Ｘ線の強
度が増大して、多量の蟹光Ｘ線を発生させることができ
るから、分析精度が向上する。また前記入射Ｘ線ａ′の
一部は遮蔽筒１の内面の物質を励起して、その蟹光Ｘ線
を発生する。しかし遮蔽筒の内面がＸ線管のターゲット
２と同一の物質で形成されているために、この蟹光Ｘ線
にはＸ線管Ｉから投射される励起用Ｘ線ａに含まれる波
長以外の波長成分が含まれない。従って遮蔽筒１１の内
面で発生した蟹光Ｘ線が、試料面等で散乱して分光器６
に入射した場合においてもこれによって謀観測を生ずる
ようなおそれがないものである。以上説明したように本
発明の装置は、Ｘ線管と分析試料との間に遮蔽筒を設け
るからＸ線の漏洩による危険を防止することができる。
しかもその遮蔽筒の内面に試料励起用の一次Ｘ線が入射
することによって誤観測を生ずるおそれがないだけでな
く、試料から発生する蟹光Ｘ線の強度が増大して分析精
度が向上する。従って上記遮蔽筒を極めて小型軽量に構
成し得るもので、このため小型でしかも高精度の蟹光Ｘ
線分析機を製作することができる。かつ遮蔽筒を２重構
造にしてその内筒を交換することにより、該遮蔽筒の内
面の物質を簡易に使用Ｘ線管のターゲットに合せること
ができる。
に上記遮蔽筒１１の中を軸方向に通過して試料９に入射
し、該試料を励起して蟹光Ｘ線ｂを発生させる。この蟹
光Ｘ線ｂの一部が分光器６に入射して波長の検出が行な
われる。かつ遮蔽筒１ １を小型に形成すると窓３から
投射されたＸ線の一部ａ′が該遮蔽筒の内面に入射する
。この入射Ｘ線ａ′の一部は散乱して試料に入射し、該
試料を励起する。従って試料に入射する励起用Ｘ線の強
度が増大して、多量の蟹光Ｘ線を発生させることができ
るから、分析精度が向上する。また前記入射Ｘ線ａ′の
一部は遮蔽筒１の内面の物質を励起して、その蟹光Ｘ線
を発生する。しかし遮蔽筒の内面がＸ線管のターゲット
２と同一の物質で形成されているために、この蟹光Ｘ線
にはＸ線管Ｉから投射される励起用Ｘ線ａに含まれる波
長以外の波長成分が含まれない。従って遮蔽筒１１の内
面で発生した蟹光Ｘ線が、試料面等で散乱して分光器６
に入射した場合においてもこれによって謀観測を生ずる
ようなおそれがないものである。以上説明したように本
発明の装置は、Ｘ線管と分析試料との間に遮蔽筒を設け
るからＸ線の漏洩による危険を防止することができる。
しかもその遮蔽筒の内面に試料励起用の一次Ｘ線が入射
することによって誤観測を生ずるおそれがないだけでな
く、試料から発生する蟹光Ｘ線の強度が増大して分析精
度が向上する。従って上記遮蔽筒を極めて小型軽量に構
成し得るもので、このため小型でしかも高精度の蟹光Ｘ
線分析機を製作することができる。かつ遮蔽筒を２重構
造にしてその内筒を交換することにより、該遮蔽筒の内
面の物質を簡易に使用Ｘ線管のターゲットに合せること
ができる。
第１図は本発明実施例の縦断面図、第２図は第１図にお
ける遮弊筒を分解した状態の縦断面図である。 なお図において、１はＸ線管、２はターゲット、３はＸ
線窓、４は熱電子放射陰極、５は隆起壁、６はＸ線分光
器、４は試料室、８は蓋体、９は試料、１０は窓、１１
はＸ線遮蔽筒、１２は内筒、１３は外筒、１４は補助遮
蔽筒、１５，１６はつば、１７はばねである。そ／’ａ 汐ｚ篤
ける遮弊筒を分解した状態の縦断面図である。 なお図において、１はＸ線管、２はターゲット、３はＸ
線窓、４は熱電子放射陰極、５は隆起壁、６はＸ線分光
器、４は試料室、８は蓋体、９は試料、１０は窓、１１
はＸ線遮蔽筒、１２は内筒、１３は外筒、１４は補助遮
蔽筒、１５，１６はつば、１７はばねである。そ／’ａ 汐ｚ篤
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 試料に励起用のＸ線を照射して該試料から発生する
螢光Ｘ線の波長を検出することにより上記試料に含まれ
る成分の分析を行う螢光Ｘ線分析機において、試料励起
用のＸ線を発生するＸ線管の窓と試料との間に上記試料
励起用のＸ線がその内部を軸方向に通過するように配置
されたＸ線遮蔽筒を設けて上記Ｘ線遮蔽筒の内面を前記
Ｘ線管のターゲツトと同一の物質で形成したことを特徴
とするＸ線遮蔽装置。 ２ 遮蔽筒を同軸的に重合される挿脱自在な内筒と外筒
とで構成して内筒をＸ線管のターゲツトと同一の物質で
形成した特許請求の範囲第１項記載の螢光Ｘ線分析機の
Ｘ線遮蔽装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11474177A JPS6029897B2 (ja) | 1977-09-26 | 1977-09-26 | 螢光ｘ線分析機のｘ線遮蔽装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11474177A JPS6029897B2 (ja) | 1977-09-26 | 1977-09-26 | 螢光ｘ線分析機のｘ線遮蔽装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5448593A JPS5448593A (en) | 1979-04-17 |
| JPS6029897B2 true JPS6029897B2 (ja) | 1985-07-13 |
Family
ID=14645480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11474177A Expired JPS6029897B2 (ja) | 1977-09-26 | 1977-09-26 | 螢光ｘ線分析機のｘ線遮蔽装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6029897B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2637031B2 (ja) * | 1993-01-25 | 1997-08-06 | 株式会社テクノス研究所 | 蛍光ｘ線分析装置 |
-
1977
- 1977-09-26 JP JP11474177A patent/JPS6029897B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5448593A (en) | 1979-04-17 |
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