JPS6039752B2 - エツチング方法及びその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はエッチング方法及びその装置、特に金属板の肉
厚又はそれ以下の最少寸法を有する開口部を調整可能に
エッチングするためのエッチング方法及びその装置に関
するもので、金属板の一面に配置された耐食剤層を被覆
する保護フィルムと連続的に移動する金属片にエッチン
グ剤を連続的に贋霧する複数のエッチング部所とを使用
することによって金属板に閉口部をエッチングさせるも
のである。

テレビの受像管において、シャドーマスク又は時として
それをアパーチャ・マスクと称するものが受像管の後部
に備えられている電子銃と受像管の前部に備えられてい
る蛍光体被覆の表面板との間に配設されている。

電子ビームはシャドーマスクに形成されている開□部又
はアパーチャ（透孔）を通過し、表面板上に蛍光点を作
る適当なカラーに突き当る。シャドーマスクに形成され
ているこれらの関口部の各々の後部にある表面板には３
組の蛍光点、即ち原色の各々について１つの点が３組備
えられている。これらの点の各々の周囲は黒色地域であ
り、黒色地域は各カラー蛍光点を包囲している。受像管
の作動中にシャドーマスクの閉口部又は透孔は電子ビー
ム用の案内として作動する。テレビ用アパーチャ・マス
クの製造における問題の１つは微小又は４・ごい関口部
を有するマスクを正確に製造することが困難な点にある
。

近ごろ、開□部マスクを作る材料の肉厚と同じか又はそ
れ以下の関口部の中又は最少中で細長にさせてマスクが
要望されている。マスクの材料の肉厚と同じ寸法を有す
る開口部を備えたアパーチャ・マスクを製造する一連の
問題は基礎材料が０．１５２４乃至０．２２８６ミリ（
０．００６インチ乃至０．００９インチ）の場合に０．
１７７８乃至０．０５０８ミリ（０．００７インチ乃至
０．００２インチ）に最少寸法を備えた開口部を正確に
且つ一定してエッチングする方法及びその装置を提供す
ることが困難な点にある。しかし不可能な問題ではない
。従来のマスク製造エッチング技術、即ち両側からエッ
チングするこれらの技術は一般的に過剰エッチングを生
じさせること及び不規則なエッチングを生じさせてしま
うため容認できないことが判明した。過剰エッチングは
材料の表面と垂直に行う本来のエッチングに伴って基礎
材料の横方向へのエッチングによって発生される。その
結果、材料の肉厚と同じか又はそれ以下の最少寸法を有
する透孔を製造する方法は有用なアパーチャ・マスクを
得るためマスクを個々にエッチングさせ且つ検査させね
ばならないため今日まで困難な作業で且つ時間を浪費す
る作業となってし、プこ。非常に薄い材料に開□部を正
確にエッチングすることを意図した技術の例は米国特許
第３６７９５００号とドイツ特許第３４３２６０２号と
に示されており、ドイツ特許第３４３２６０２号もこは
フィルムのロールを使用していることが明示されている
。これら全ての先行技術の方法は有益なエッチングでは
あるが、蓮鮮的に移動する金属片に小さい開□部を１定
且つ正確にエッチングする方法及びその装置を備える重
要な問題が困難なものとして残されていたが、品質向上
及び経済的な立場からこれらの目的を達成することが望
まれている。本発明は技術的に進歩した金属ウェブ加工
機、即ちフィルム貼付機を備えた装置及びエッチング寸
法を提供するもので、該フィルム貼付機は移動金属ゥェ
ブ上に保護層を確実に塗布するので、金属ゥェブは保護
フィルムが金属ウェブの片面に配談されていてもエッチ
ング剤を金属ウェブの両面に噴霧させる複数のエッチン
グ部所を通って移動させることができるようにしてもの
である。

以下、本発明を添付図面に示した実施例に基づき詳述す
る。第ＩＡ図において、符号１０は装置中の第１部所を
示す。部所１０は背付け都所で、該背付け部所は折返し
スタンド５１（詳細に図示せず）と移動金属ゥェプ８に
貼付するための保護フィルム９のロールとを有し、該移
動金属ウェブ８は背付け部所１０を通過する。保護フィ
ルムは一般に約０．００２４５ミリ（０．００１インチ
）の厚味又はそれ以下のポＩＪェステルフィルム又は他
の適当な保護フィルムであり、該保護フィルムは耐食剤
被覆の金属ウェブ８の上面に貼付される。耐食村のパタ
ーンで金属ウェブを被覆することは本発明の一部ではな
いが、金属ウェブ８の両面には耐腐食剤コーナイングが
設けられており、保護されない部分が残されている。金
属ウェブのこれらの部分は材料の肉厚程度の最少寸法を
備えた一組の開口部を製造するためにエッチングされる
部分である。材料の肉厚よりも４・さし、か又はそれと
同程度の最終寸法を有する開□部に到達させるために、
基礎材料又は第２図に示したものと類似する金属ゥェブ
８の上面に耐食材の模様（パターン）を形成することが
必要である。第２図において、符号１７１は厚味Ｔを有
する金属ウェブ中のエッチングされた１つの閉口部の断
面を示す。

エッチング剤用の耐腐食材は金属ゥヱブ８の両側に配置
されており、符号１７２及び１７３によって示されてい
る。耐腐食材層１７２にはエッチング地域が配置されて
おり、該エッチング地域は耐食層１７３のエッチング部
分より実質的に大きい。耐腐食材層１７２に形成された
開□部の全体の寸法は記号Ｘ２によって示されており、
記号Ｘ．によって示されたところの耐腐食材層１７３に
形成された開□部の全体の寸法より実質的に大きい。金
属性基礎材料又はウェブ８中の開□部の寸法も記号Ｘ，
によって指定されており、ウェブの肉厚Ｔよりも小さく
なっていることが明らかである。本発明は作業者が平坦
な金属材料の連続片から小さい縦長孔を有するシャドー
マスクを連続的に製造することができる装置及び方法を
提供する。

シャドーマスクについての典型的な寸法は肉厚Ｔを０．
１５２４ミリ（０．００６インチ）に、縦長孔が小さ〈
て０．０５０８ミリ（０．００２インチ）又は大きくて
０．２０３２ミリ（０．００８インチ）にさせることが
できる中Ｘ，を有するようにさせる。このようなサイズ
の閉口部を得るために開ロ部を形成する耐腐食材のパタ
ーンはウェブ８の両側で正確に置かれている。耐腐食材
層１７２の下面は開□部×２を有し、該開□部×２はほ
ぼ０．０４ミリ（０．０１５）乃至０．５０８ミリ（０
．０２０インチ）であり、層１７３によって形成された
開□剖〆，よりも相当大きい。この特別の実施例におい
て、図面の平面と垂直である孔の長さは孔の中Ｘ，の３
倍から１の昔‘こさせることができる。各種のエッチン
グ部所におけるエッチング中においては層１７３によっ
て被覆されたゥェブ８の面は上面であり、ウェプ８がエ
ッチング部所１１及び１２を通過するとき保護フィルム
９によって完全に被覆される。

層１７３の上面を遮蔽するための保護フィルムを使用す
る目的はウェブの表面を部分的にエッチングするエッチ
ングの煙霧又はエッチングのはね返りが存在し、従って
マスクの閉口部の最終的寸法及びその形状に逆効果を及
ぼすのでエッチング剤の煙霧又はエッチング剤の贋霧が
層１７３の下面のどちらにも接触させないようにするた
めである。弟ＩＡ図に関し、ウェブ８の下側がエッチン
グ部所１１及び１２に配設された贋霧ノズル８２によっ
て頃霧エッチングされる際に、エッチング剤の贋霧が一
組の下方噴霧ノズル８２を通って上方に供給され、同時
に一組の上方曙霧ノズル８０を通って下方に供給される
。

しかし、ウェプ８の上面がフィルム９によって被覆され
ているので、下方ノズルからのエッチング剤の贋霧だけ
がゥェブ８と接触する。一般に、本装置は多数の金属ウ
ェブ又は金属ストリップ加工所を有している。

背付け都所１０から下り方向に新鮮な空気を導入するた
めの空気導管５２が配置されているが、しかし空気導管
は本装置の必要な部分ではない。空気導管５２から下り
方向に一連のエッチング及び工程処理部所が配置されて
おり、これらの部所は全て共通支持スタンド３２に支持
されている。枠３１が支持スタンドと同じ長さを走行し
ている。第１エッチング部所１１は複数の上方エッチン
グ剤曙霧ノズル８０及び下方エッチング剤贋霧ノズル８
２を有する。噴霧ノズルは室に取付けられており、該室
は１つの頃霧ノズルからエッチング剤の蹟霧を広い領域
上に分散させるようにするため約５５０の角度を通して
回転される。第１エッチング部所は第２エッチング部所
１２によって継続され、第２エッチング部所１２はエッ
チング部所１１と同一のものである。

エッチング部所１１から下り方向でエッチング部所１４
の前にフィルム巻取り部所１３が配置されている。エッ
チング部所１４から下り方向に更に一組のエッチング部
所１５及び１６が配置されていて、該エッチング部所１
５及び１６は最終的なエッチング操作を行う。従って、
金属ウェブに塩化第二鉄のようなエッチング剤を噴霧す
ることができる合計で５個に分離したエッチング部所を
形成する。エッチング部所１６から下り方向に水洗い部
所１７が配置されていて、該水洗い部所１７は腐食剤す
すぎ部所１８によって継続される。エッチングされた金
属ウヱブ８が耐食剤洗い部所１８を出ると、温水洗い部
所１９に入り、その後冷水洗い部所２１を通過する。金
属ウェブ８が最後の水洗い部所２１を通過した後に、ウ
ェブ８は乾燥炉２２に配設された車富射加熱器によって
乾燥される。乾燥炉２２から下り方向には各種の加工部
所を通してウェブ８を引張る駆動スタンド２４と、ウェ
ブを切断する切り離し部所２５と、包装部所にマスクを
搬送する切断マスク搬送部所とが配置されていて、包装
部所においてマスクが取引先に送られるために包装され
る。複数のアパーチャマスクを形成するために金属ウェ
ブに正確且つ連続的に縦長関口部をエッチングする順に
沿って本装置の部所を詳細に説明する。

背付け部所１０は折返しスタンド５１（詳細に図示せず
）を有するエッチング装置の第１部分を構成する。

折返しスタンド５１は円筒状液圧部村を有し、該円筒状
液圧部材は耐腐食材層で被覆された金属ウェブを垂直面
内に支持して収容し、耐腐食材層に損傷を与えることな
く該金属ウェブを水平面内に排出する。金属ウェブ８は
ローラー６１，６２，６３及び６４の廻りを通り、その
後一組の圧力調整可能ローラー６５及び６６間を通過す
る。ローラー６５及び６６間に発生される締付け力は予
定の基準に定めることができる。一実施例において、一
つのローラーがウヱブの下にして研磨剤貼付機の下側に
配置させてある。ローラー６２は枢軸アーム１０１に取
付けられてし、て、該枢軸アーム１０１はローラー６２
の反対端に配置させた錘１０１Ａを有しており、それに
よりウェブに一定の張力を備え、従って背付け都所１川
こおいてゥェブ８の弛みを調整する。

圧力調整ローラー６５及び６６は磁気制動器（図示せず
）に連結されており、該磁気制動器は抵抗が克服される
までローラー６５及び６６の回転を阻止する一定の抵抗
力又は引張り力を保持している。好適な実施例において
、磁気制動器はローフー６５及び６６の回転中に一定の
摩擦トルクを維持する電磁石から構成してある。保護フ
ィルム９のロールも部所１０１こ配置されていて、第１
ローラー７０、第２ローラー７１及び第３ローラー７３
の周りを通り、フィルム９が耐腐食材層で被覆された金
属ゥェブ８の上面に対して押圧されるところの圧力ロー
ラー６５及び６６間を通過する。

高温溶融粘着剤噴霧器７５はウェブ８と保護フィルム９
とがローラー６５及び６６との間の押圧接触に運び込ま
れる前に金属ゥェブ８の両端に細長い液体粘着剤を塗付
するためにゥェブ８の上方に配設されている。図示の実
施例において、液体粘着剤はウェブ８とフィルム９とが
ローラー６５及び６６との間を通過する直ぐ前でウヱブ
８に塗付される。しかし、粘着剤は金属ウェブ又はフィ
ルム９のどちらかに塗付させることもできる。或る例に
おいて、エッチング工程の始動中に粘着剤を塗付する必
要を除去させるために粘着層をフィルムに含有させるこ
とができる。金属ウェブ８とフィルム９とが共に貼付さ
れた後に、金属ゥヱブ８とフィルム９は径の大きいロー
ラー７６の下側を通過し、第１エッチング部所１１に入
り、該第１エッチング部所は一組の上方揺動項霧ノズル
８０と同様の一組の下方揺動曙霧ノズル８２とから構成
されている。揺動曙霧ノズルは金属ウェブ８の下面とフ
ィルム９の上面にエッチング剤の扇形頃霧を提供する。
上部及び下部噴霧ノズルの各々はウェブ８の全表面領域
上を互いに重なり合う様にヱッチング剤を噴霧するため
に全体で約５５０揺動する。

反時計廻り方向に回転する一組の動力ローラー８１はエ
ッチング部所１１を通って推進するウェブ８を支持しそ
の推進を補助するためにエッチング部所１１内に一定の
間隔に配設されている。動力ローフー８１は本装置を通
してウェブ８を推進するために回転し、ローラー６５及
び６６はゥェブ８が本装置を通して推進されるのを阻止
する作用をなす張力を生じさせるものである。しかし、
金属ウェブの主要な引張り力はローラー１００及び１０
１（第ＩＦ図）からの力である。本機械を通してゥェプ
を引張る２つの力において、駆動ローラーの回転速度は
スリップのため生じるフオトレジスト剤のかき傷を防止
するため完全に綿密に合致させなければならないことが
必要である。エッチング部所１１において行なわれる重
要な作用的特徴はローラー８１がエッチング部所１１を
通してウェブ８を推進し、下方の噴霧ノズル８２がウェ
ブ８の下側にエッチング剤を贋露し、ノズル８０が保護
フィルム９の上面に蹟霧エッチングすることにある。

しかし、保護フィルム９はウェブ８の上面を浸食又はエ
ッチングから防ぐため液体エッチング剤又は蒸気エッチ
ング剤を完全に除去するため防水性及び防蒸気性の両方
の性質を有する。保護フィルム９の上面にエッチング剤
を墳霧する特徴は従来の研究からおどろくほどかけはな
れている。なぜなら煙霧エッチング剤を含む全てのエッ
チング剤をウェブ８の上面の露出金属部分と接触するこ
とを防止するために保護フィルムを貼付するという目的
と反するからである。しかしウェブ８の上面からエッチ
ング剤を隔離する必要があるにもかかわらず、エッチン
グ剤がフィルム９の上面に噴霧されることは移動ゥェブ
の両側にエッチング剤を贋霧することがエッチング部所
１１及び１２におけるゥェブの不規則な移動を防止する
こと及び金属ゥェブ８もこ対して突き当るエッチング剤
の頃霧力のためゥェブの連続的な屈曲を防止することが
判明したからである。ゥェブの垂直は閉口部の周囲の領
域における耐食剤の破砕又は耐食剤の離脱を通しておそ
らく小さい閉口部の最終的エッチングに少なくともでこ
ぼこを生じさせてしまうであろうと考えられる。従って
出来るだけ最良の状態下で以後のエッチング部所におい
てエッチングを継続すべきであり、たとえ保護フィルム
９にエッチング剤が浸入する危険が増大する処理であっ
てもウェブ８の両面に液力の実質的な均衡を発生させる
ことによってゥヱブを水力的又は静水力的に吊持するこ
とが好適である。エッチング部所１１を通過した後に、
ゥェブ８とフィルム９は第２エッチング部所１２に入り
、第２エッチング部所１２はエッチング部所１１に配設
した贋霧ノズルと同一の一連の揺動上方噴霧ノズル８４
と一連の揺動下方頃霧ノズル８５とを有している。両方
のエッチング部所１１及び１２はゥェブ８と保護フィル
ム９がエッチング部所１２を通過するので作業者が目で
ウェブ８と保護フィルム９を検査することができる観察
ドアー９０を備えている。エッチング部所１２において
、エッチング剤がフィルム９の上面とウェブ８の下面と
の両方に同時に蹟霧されることが重要である。しかし部
所１１と同様に部所１２においてもウェブ８の下部だけ
がエッチングされる。エッチング部所１２はウヱブ８と
フィルム９を支持し且つ推進させるために一組の反時計
廻り方向に回転する動力ローラーをも備えている。動力
ローラーはウェブ８を支持するために約１２インチの間
隔を有している。ウェブ８とフィルム９がエッチング部
所ｉ２から出た後に、ウェフ１８とフィルム９は第３エ
ッチング部所１４に入る。

この点で、金属ウェブ８の底面に比較的大きい凹部がエ
ッチングされるが、しかし凹部の深さは一般に金属ウェ
ブ８の肉厚の約６０％以上は延伸しない。エッチング部
所１４において、ウェブ８はその水平通路を進んで行く
が、第１ローラー９６と第２ローラー９７とから成る保
護フィルム離脱機構９５が金属ウェブ８から保護フィル
ム９をはぎ取る。保護フィルム９はローラー９７をへて
第３ローラー９８の下側を通り、勤力取巻ロール９１又
は９９のどちらかに通過する。一組のローラー案内９２
及び９３がフィルム９の巻取りロール９１又は９９のど
ちらかに案内するためにフィルム巻もどし部所１３に配
設されている。２つの巻取りロールを備えた目的は一方
の巻取りロールが充満した後に行程を停止させることな
くフィルムを第２巻取りロールに巻付けることができる
ようにするためである。

松動アーム９５に取付けたローラー９６は保護フィルム
９の上面上で回転し、その水平行程から保護フィルム９
が逸脱するのを防止する。

保護フィルム９ははぎ取り工程中耐腐食材層に対する全
ての損傷を減少するため後方に離脱されるか又は後方に
はぎ取られる。しかし、好適な実施例において、粘着剤
は縦長孔を有しないゥェブの余白地域にだけ配置させる
。エッチング部所１４内で保護フィルムを離脱機構９５
に移動させることによって、エッチング９が除去される
やいなやウェブ８の上面にエッチング剤を噴霧できる。

仮りにウェブ８がエッチング部所１４に入る前にフィル
ム９を除去させる場合にはウェブ８の上面の不規則な接
触を形成するエッチング剤のはね返りやエッチング剤の
煙霧の危険が増大し、ウェブ８に不均等な予備エッチン
グを発生させてしまう。マスク製造機において、予備エ
ッチングはマスクが不適当なサイズの関口部又は不規則
な形状の閉口部を有するためマスクを減少させてしまう
。エッチング部所１１，１２及び１４と同一の２個の別
のエッチング部所１５及び１６が金属ゥェブ８のエッチ
ングを完成させるためエッチング部所１４から下り方向
に配置されている。複数のノズルを有する５組のエッチ
ング部所を備えた目的は１つのノズルからの効果を滅す
ることとエッチング工程のより正確な調整を備えること
にある。実際にはそれ以上又はそれ以下のエッチング部
所を使用することができる。しかし、一定の良好な生産
を得るためには少なくとも４組のエッチング部所を備え
ることが好適である。更にフィルム巻もどし都所１３は
エッチング部所１４の始動部と同様にエッチング部所１
４の別の所に配置させることができる。エッチング工程
のより多くの調整が所望されるならば更にフィルム巻も
とし部所１３をエッチング部所１４以外の他のエッチン
グ部所に接近して配置させることができる。ゥェブ８が
最終エッチング部所１６を通過した後に、ウェブ８は水
洗い部所１７に入り、水洗い部所１７はウェブ８のエッ
チングを急に停止するため出来るだけ早くウェブ８から
エッチング溶剤を洗い落す。

即ち、エッチング工程はウェブ８の通過のエッチングを
防止するため水洗いによって急速に停止される。ウェブ
８が水洗いされた後に、ウヱブ８は苛性ソーダ（水酸化
ナトリウム）離脱部所１８を通過し、苛性ソーダ離脱部
所はウェブ８の上面及び下面にコーティングした耐食剤
を溶解する。ウェブ８が腐食剤離脱部所１８を通過した
後に、ウェブ８は苛性ソーダが洗い落されるところの温
水洗い都所１９に入る。第２の冷水洗い部所２１は洗い
操作を完了させマスクを全体的に洗浄するため温水洗い
部所１９の後部に配置されている。洗い都所２１はマス
クが乾燥部所２２に入るので前述の物質の全てを洗い落
されるために非イオン化洗い部所にすることが好適であ
る。乾燥部所２２は移動ウェプ８の上と下に配設した鰭
射加熱器を含んでいる。本装置の或る地点で関口部が許
容範囲内であるかどうかを決定するために関口部のサイ
ズが密度計２３によって調査される。

閉口部が非常に大きい場合には作業者はエッチング部所
１５又は１６においてエッチング剤の供給を減少させる
ことができる。他方エッチング閉口部が非常に小さいか
又は大きい場合に作業者はローラーの速度を調節するこ
とによって関口部を調整できる。或る場合に、閉口部の
サイズはマスクが適当な形状に切断されるまで調査しな
いので、この場合には密度計を本装置に設置することは
ない。金属ウェブ８は各種のエッチング部所を通してゥ
ェブ８の引張りを補助する駆動スタンド２４を通ってそ
の通路を進む。

駆動スタンド２４は圧力接触が保持され且つモータによ
って回転される一組の動力駆動ローラ−１００及び１０
１を構成する。駆動ローラーは各種の部所を通してゥェ
ブ８を引張ることを援助する。各々のエッチング部所に
備えた動力ローラは本装置中の各種の部所を通してゥェ
ブ８を推進させるため駆動ローラー１００及び１０１と
共に作動する。各種の部所において、ゥェブは動力ロー
ラーによって搬送されるので、ゥェブ８の積み重なりを
防止するため連続制動力がローラー６５及び６６によっ
てウェブ８に付加される。実際の制動器は機械的、液圧
力又は磁気的なものであるが、本実施例においては予定
の制動力に到達するまでローラー６５及び６６の回転を
阻止する従来の磁気制動器を備えている。ローラー６５
及び６６は十分な制動力を有して配談されるので、各々
のエッチング部所に配置された動力ローラーは各種のエ
ッチング部所を通してゥェブ８を推進できる。駆動スタ
ンドローラー１００及び１０１が係合した場合にだけゥ
ェブ８を本装置の各種の部所を通して搬送できる。本装
置の最終部所において、ウェブ８は駆動スタンドを出て
、切断部所２５に入り、該切断部所２５はアパーチャ模
様を含むウヱブの一部を切断し、最終的にカラーテレビ
の受像管に挿入されるアパーチャマスクを形成する。

切断マスク６はその後マスク搬送部所２６の傾斜台１８
０の下方に摺動し、該マスク搬送部所２６に停止部１０
７を備え、マスクがローラー１０５を越えて鷹動するの
を防止する。ローラー１０５はモー夕（図示せず）によ
って動力を受け、マスク６をマスク包装部所（図示せず
）に搬送し、該マスク包装部所では取引先に発送させる
ためマスクを包装する。

【図面の簡単な説明】 第ＩＡ図、第ＩＢ図、第ＩＣ図、第ＩＤ図、第ＩＥ図及
び第ＩＦ図は耐腐食材層が被覆された金属ゥェブを移動
させて非常に正確にエッチングされたアパーチャ・マス
クを製造するために必要な加工、保護及びエッチング作
動を行う装置の端から端までを示した側面図：第２図は
本発明に使用した耐腐食材層を被覆した金属ゥェブに形
成された開□部を示す当該ウェブの拡大断面図である。 ８・・・・・・金属ウェブ、９・・・…保護フィルム、
１１…・・・エッチング部所、１２・・・・・・エッチ
ング部所、１３・・・・・・フィルム巻取り都所、１４
・・・・・・エッチング部所、１５・・・・・・エッチ
ング部所、１６・・・・・・エッチング部所、２４・・
・・・・駆動スタンド、６５・・・・・・調整ローフー
、６６・・・・・・調整ローフー、７５・・・・・・粘
着剤噴霧器、８１・…・・動力ローフ−、９１・・・・
・・保護フィルム離脱機構、１００・・・・・・駆動ロ
ーフ−、１０１・・・…駆動ローフ−、１７２・・・…
耐腐食材層、１７３・・・・・・耐腐食材層。‘／Ｇ．
＾ｏ 〆ノＧ．′０ ‘／Ｇ．＾ｃ ‘′Ｇ ／ｄ Ｆ′Ｇ．／ａ Ｆ／Ｇ．／′ Ｆ′Ｇ．２

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 連続状の金属ウエブをエツチングして複数の開口部
   を形成するためのエツチング方法において； 複数の所
   定の大きさの開口を画定する耐腐食材よりなる第１のパ
   ターンを上記金属ウエブの片面に被覆し、同金属ウエブ
   の他面に上記第１のパターンにより画定される開口より
   も小さい最小寸法の複数開口を画定する耐腐食材よりな
   る第２のパターンを被覆する工程； 上記第２パターン
   の上面に保護フイルムを貼付する工程と； エツチング
   部所を通して金属ウエブと保護フイルムを推進させる工
   程と； 保護フイルムの上面と第１パターンとに同時に
   エツチング剤を供給する工程と； 第２パターンの上面
   に配置させた保護フイルムを取り除く工程と； 上記耐
   腐食材が被覆されている金属ウエブの両面にエツチング
   剤を供給して金属ウエブを通して完全にエツチングして
   複数の開口を形成する工程と；からなるエツチング方法
   。 ２ 金属ウエブがエツチング部所を通過する際にエツチ
   ング剤を金属ウエブに連続的に噴霧するようにした特許
   請求の範囲第１項に記載のエツチング方法。 ３ 保護フイルムを、第２耐腐食材のパターンの縁部に
   液体粘着剤を塗布することによつて第２耐腐食材パター
   ンの上面に固定するようにした特許請求の範囲第１項に
   記載のエツチング方法。 ４ 保護フイルムを、一つのエツチング部所内で離脱す
   るようにした特許請求の範囲第３項に記載のエツチング
   方法。 ５ エツチング剤を、保護フイルムが離脱された後すぐ
   に第２耐腐食材パターンに噴霧するようにした特許請求
   の範囲第４項に記載のエツチング方法。 ６ 耐腐食材で被覆された連続状金属ウエブをエツチン
   グして材料の肉厚程度の最少寸法を有する複数の開口部
   を備えた物品を製造するためのエツチング装置において
   ； 連続的に移動する上記金属ウエブの片面に保護フイ
   ルムを当接するための第１部所と； 連続的に移動する
   上記金属ウエブの片面に前記フイルムを固着する第１装
   置と； 上記金属ウエブと保護フイルムとを推進させる
   装置であつて、エツチング装置を通して金属ウエブを推
   進させるための一組の第１駆動ローラーと、金属ウエブ
   に連続的制動力を供給するための一組の制動ローラーと
   を備えた推進装置と； 金属ウエブと保護フイルムとを
   収容し且つ金属ウエブと保護フイルムとに同時にエツチ
   ング剤を供給することができる複数の第１エツチング部
   所であつて、金属ウエブの両面にエツチング剤を噴霧す
   るための噴霧ノズルを各々有する複数の第１エツチング
   部所と； 金属ウエブと保護フイルムとが複数の第１エ
   ツチング部所を通過した後に金属ウエブから保護フイル
   ムを離脱させる保護フイルム離脱部所であつて、保護フ
   イルムを離脱させる装置と金属ウエブがその走行面から
   引張られることを防止する装置とを備えた保護フイルム
   離脱部所と； 保護フイルムが離脱された後に耐腐食材
   が被覆されている金属ウエブの両面にエツチング剤を供
   給する複数の第２エツチング部所と；から成つており、
   第１エツチング部所は保護フイルム離脱部所の前に配
   置され、第２エツチング部所は保護フイルム離脱部所の
   後に配置されているエツチング装置。 ７ 第１部所は、金属ウエブの片面に保護フイルムを固
   着させるため接着剤を金属ウエブに塗布する装置を備え
   ている特許請求の範囲第６項に記載のエツチング装置。 ８ 所定間隔で金属ウエブを切断する装置を備えた特許
   請求の範囲第７項に記載のエツチング装置。９ 保護フ
   イルム離脱部所は第２エツチング部所のうちのいずれか
   １つに配置されている特許請求の範囲第８項記載のエツ
   チング装置。 １０ 金属ウエブに保護フイルムを固着するために１対
   のローラーを第１ステーシヨンに備えた特許請求の範囲
   第９項記載のエツチング装置。 １１ 上記各部所を通して金属ウエブを走行させる間に
   金属ウエブを水平位置に保持させる装置を備えた特許請
   求の範囲第１０項記載のエツチング装置。 １２ 金属ウエブは複数のローラにより上記各部所全体
   にわたつて連続的に支持される特許請求の範囲第１１項
   記載のエツチング装置。