JPS6042887B2 - 位置合せ装置 - Google Patents
位置合せ装置Info
- Publication number
- JPS6042887B2 JPS6042887B2 JP3861479A JP3861479A JPS6042887B2 JP S6042887 B2 JPS6042887 B2 JP S6042887B2 JP 3861479 A JP3861479 A JP 3861479A JP 3861479 A JP3861479 A JP 3861479A JP S6042887 B2 JPS6042887 B2 JP S6042887B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- objects
- jig
- diffraction grating
- diffraction gratings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は回折格子を用いて２つの物体を位置合せす
る位置合せ装置に関する。
る位置合せ装置に関する。
近時、回折格子を用いて２つの物体を高精度に位置合
せすることが実用化されつつある。
せすることが実用化されつつある。
その一例として第１図に示すようなものがある。すなわ
ち、振動子１を介してテーブル２に載置された第１の物
体３の回折格子４を設ける一方、この第１の物体３の上
方に第２の物体５を支持体６に支持して平行に設ける。
この第２の物体５には第２の回折格子７を設ける。また
、第２の物体５の上方には、第２の回折格子７に可干渉
光であるレーザ光Ｌを垂直に入射させるようにしたレー
ザ発振器８を配置するとともに、第１、第２の回折格子
４、７による＋ｎ次と−ｎ次の回折光を受光するデイテ
イクタ９、９を配置する。これらデイテイクタ９、９は
、差動増幅器、平滑回路、指示器などを内蔵した制御装
置１０を介して上記テーブル２を駆動制御する駆動源１
１に電気的に接続されている。 そして、上記振動子１
により第１の物体３を垂直方向に振動させ、一対のデイ
テイクタ９、９が検知する士ｎ次の回折光の強度を制御
装置１０で比較し、その強度が一致するまで、すなわち
一対の回折格子４、７の縞模様が一致するまでテーブル
２を駆動源１１によつて駆動することにより、一対の物
体３、５を高精度に位置合せするようにしている。
ち、振動子１を介してテーブル２に載置された第１の物
体３の回折格子４を設ける一方、この第１の物体３の上
方に第２の物体５を支持体６に支持して平行に設ける。
この第２の物体５には第２の回折格子７を設ける。また
、第２の物体５の上方には、第２の回折格子７に可干渉
光であるレーザ光Ｌを垂直に入射させるようにしたレー
ザ発振器８を配置するとともに、第１、第２の回折格子
４、７による＋ｎ次と−ｎ次の回折光を受光するデイテ
イクタ９、９を配置する。これらデイテイクタ９、９は
、差動増幅器、平滑回路、指示器などを内蔵した制御装
置１０を介して上記テーブル２を駆動制御する駆動源１
１に電気的に接続されている。 そして、上記振動子１
により第１の物体３を垂直方向に振動させ、一対のデイ
テイクタ９、９が検知する士ｎ次の回折光の強度を制御
装置１０で比較し、その強度が一致するまで、すなわち
一対の回折格子４、７の縞模様が一致するまでテーブル
２を駆動源１１によつて駆動することにより、一対の物
体３、５を高精度に位置合せするようにしている。
ところで、このような位置合せにおいて、回折格子４
、７に入射するレーザ光Ｌの角度が直角よりΔθずれた
方向から入射すると、一対の物体３、５の位置合せ誤差
ξは、ε■ｄｓｉｎΔθとなる。
、７に入射するレーザ光Ｌの角度が直角よりΔθずれた
方向から入射すると、一対の物体３、５の位置合せ誤差
ξは、ε■ｄｓｉｎΔθとなる。
ここで、ｄは一対の回折格子４、７の間隔である。した
がつて、レーザ光Ｌを回折格子４、７に対して直角に入
射させなければならないのだが、現在実用化されている
レーザ発振器においては、レーザ光の射出方向が時間と
ともに１０−’ラジアン程度変動するので、一対の物体
３、５の位置合せ精度は、レーザ光Ｌの入射角度の変動
と一対の物体３、５に設けられた第１の回折格子４、７
の間隔によつておのずと限界が生じてしまう。 この発
明は上記事情にもとづきなされたもので、その目的とす
るところは、一対の物体間に、これら物体に設けられた
回折格子と対向する回折格子が設けられた治具を挿入す
ることによつて、レーザ光の入射角度の変動によつて生
じる位置合せ誤差を小さくし、一対の物体を精度よく位
置合せできるようにした位置合せ装置を提供することに
ある。以下、この発明の一実施例を第２図にもとづいて
説明する。
がつて、レーザ光Ｌを回折格子４、７に対して直角に入
射させなければならないのだが、現在実用化されている
レーザ発振器においては、レーザ光の射出方向が時間と
ともに１０−’ラジアン程度変動するので、一対の物体
３、５の位置合せ精度は、レーザ光Ｌの入射角度の変動
と一対の物体３、５に設けられた第１の回折格子４、７
の間隔によつておのずと限界が生じてしまう。 この発
明は上記事情にもとづきなされたもので、その目的とす
るところは、一対の物体間に、これら物体に設けられた
回折格子と対向する回折格子が設けられた治具を挿入す
ることによつて、レーザ光の入射角度の変動によつて生
じる位置合せ誤差を小さくし、一対の物体を精度よく位
置合せできるようにした位置合せ装置を提供することに
ある。以下、この発明の一実施例を第２図にもとづいて
説明する。
図中２１は第１の物体である。この第１の物体２１は、
第１の駆動源２２の回転軸２２ａに取着されたホルダ２
３によつて水平に保持されている。上記第１の物体２１
の上方には、第２の駆動源２４の回転軸２４ａに取着さ
れたホルダ２５に第２の物体２６が水平に保持されてい
る。それら第１、第２の物体２１，２６の対向する面、
すなわち第１の物体２１の上面と第２の物体２６とにそ
れぞれ第１の回折格子２７，２８が設けられている。ま
た、平行に離間対向した一対の物体２１，２６間には、
所定の厚さをもつ平板状の治具２９が水平に挿入されて
いる。この治具２９の一端側下面には振動子３０が設け
られ、この振動子３０によつて治具２９が垂直方向に振
動するようになつている。この治具２９の上下面には、
上記一対の物体２１，２６に設けられた第１の回折格子
２７，２８と対向する第２の回折格子３１，３２が設け
られている。上記第２の物体２６の上方には、対向する
一対の第１、第２の回折格子２７，３１および２８，３
２にそれぞれレーザ光Ｌを垂直方向から入射させる第１
、第２のレーザ発振器３３，３４が配設されている。
第１の駆動源２２の回転軸２２ａに取着されたホルダ２
３によつて水平に保持されている。上記第１の物体２１
の上方には、第２の駆動源２４の回転軸２４ａに取着さ
れたホルダ２５に第２の物体２６が水平に保持されてい
る。それら第１、第２の物体２１，２６の対向する面、
すなわち第１の物体２１の上面と第２の物体２６とにそ
れぞれ第１の回折格子２７，２８が設けられている。ま
た、平行に離間対向した一対の物体２１，２６間には、
所定の厚さをもつ平板状の治具２９が水平に挿入されて
いる。この治具２９の一端側下面には振動子３０が設け
られ、この振動子３０によつて治具２９が垂直方向に振
動するようになつている。この治具２９の上下面には、
上記一対の物体２１，２６に設けられた第１の回折格子
２７，２８と対向する第２の回折格子３１，３２が設け
られている。上記第２の物体２６の上方には、対向する
一対の第１、第２の回折格子２７，３１および２８，３
２にそれぞれレーザ光Ｌを垂直方向から入射させる第１
、第２のレーザ発振器３３，３４が配設されている。
そして、各レーザ発振器３３，３４から出力されるレー
ザ光Ｌの光軸に対して等角度．配置された各一対のデイ
テイクタ３５，３５および３６，３６によつて上記回折
格子２７，３１および２８，３２による＋ｎ次方向およ
び−ｎ次方向の反射回折光がそれぞれ受光される。これ
らデイテイクタ３５，３５および３６，３６による受！
光信号は、前置増幅器３７・・・介したのち差動増幅器
３８，３８に入力されてその差分が演算される。そして
、この差分出力信号はフィルタ回路３９，３９で不要周
波数成分が除去されたのち、整流回路４０，４０、平滑
化回路４１，４１を順次ク介して平滑化処理されたのち
、指示器４２，４２にて表示される。また、平滑化信号
は第１、第２の物体２１，２６の位置合せ信号として上
記第１、第２の駆動源２２，２４にフィードバックされ
る。つぎに、上記構成の作用について説明する。
ザ光Ｌの光軸に対して等角度．配置された各一対のデイ
テイクタ３５，３５および３６，３６によつて上記回折
格子２７，３１および２８，３２による＋ｎ次方向およ
び−ｎ次方向の反射回折光がそれぞれ受光される。これ
らデイテイクタ３５，３５および３６，３６による受！
光信号は、前置増幅器３７・・・介したのち差動増幅器
３８，３８に入力されてその差分が演算される。そして
、この差分出力信号はフィルタ回路３９，３９で不要周
波数成分が除去されたのち、整流回路４０，４０、平滑
化回路４１，４１を順次ク介して平滑化処理されたのち
、指示器４２，４２にて表示される。また、平滑化信号
は第１、第２の物体２１，２６の位置合せ信号として上
記第１、第２の駆動源２２，２４にフィードバックされ
る。つぎに、上記構成の作用について説明する。
まず、振動子３０を作動させ、治具２９を垂直方向に振
動させながら、第１のレーザ発振器３３からレーザ光Ｌ
を、対向する第１の物体２１の上面に設けられた第１の
回折格子２７と治具２９の下面に設けられた第２の回折
格子３１の部分に入射させる。このとき、治具２９の第
２の回折格子３１に対する第１の物体２１の第１の回折
格子２７のノ位置、すなわち各回折格子２７，３１の縞
模様が一致していれば、一対のデイテイクタ３５，３５
が受光する＋ｎ次と−ｎ次の回折光の強度が等しく、そ
のことが表示器４２に表示される。しかしながら、上記
一対の回折格子２７，３１にずれが・あると、一対のデ
イテイクタ３５，３５が受光する回折光の強度がそのず
れ量に応じて異なる。すると、差動増幅器３８によつて
その差分が演算され、そのことが表示器４２に表示され
るとともに上記差分に応じた信号が平滑化回路４１から
第１の駆動源２２に出力され、この第１の駆動源２２を
作動させて第１の物体２１を図中矢示方向（Ｘ方向とす
る）に駆動する。そして、この第１の駆動源２２により
第１の物体２１が駆動されて、これらに設けられた第１
、第２の回折格子２７，３１の縞模様が一致すれば、一
対のデイテイクタ３５，３５が受光する回折光の強度が
等しくなるから、第１の駆動源２２が停止する。すなわ
ち、第１の物体２１が治具２９に対して所定位置に位置
合せされることになる。このようにして、第１の物体２
１の位置合せをしたなら、つぎに、第２のレーザ発振器
３４を作動させることにより第１の物体２１と同物に第
２の物体２６を治具２９に対して位置合せすれば、治具
２９を介して第１の物体２１と第２の物体２６とが位置
合せされることになる。ところで、このような位置合せ
においては、レーザ発振器３３，３４から出力されるレ
ーザ光Ｌの射出方向が時間とともに変動するから、回折
格子への入射角度が垂直からΔθずれた角度入射したと
きには、第１、第２の物体２１，２６の位置合せ精度に
、上述したようにε＝ＤｓｊｎΔθの誤差が生じる。
動させながら、第１のレーザ発振器３３からレーザ光Ｌ
を、対向する第１の物体２１の上面に設けられた第１の
回折格子２７と治具２９の下面に設けられた第２の回折
格子３１の部分に入射させる。このとき、治具２９の第
２の回折格子３１に対する第１の物体２１の第１の回折
格子２７のノ位置、すなわち各回折格子２７，３１の縞
模様が一致していれば、一対のデイテイクタ３５，３５
が受光する＋ｎ次と−ｎ次の回折光の強度が等しく、そ
のことが表示器４２に表示される。しかしながら、上記
一対の回折格子２７，３１にずれが・あると、一対のデ
イテイクタ３５，３５が受光する回折光の強度がそのず
れ量に応じて異なる。すると、差動増幅器３８によつて
その差分が演算され、そのことが表示器４２に表示され
るとともに上記差分に応じた信号が平滑化回路４１から
第１の駆動源２２に出力され、この第１の駆動源２２を
作動させて第１の物体２１を図中矢示方向（Ｘ方向とす
る）に駆動する。そして、この第１の駆動源２２により
第１の物体２１が駆動されて、これらに設けられた第１
、第２の回折格子２７，３１の縞模様が一致すれば、一
対のデイテイクタ３５，３５が受光する回折光の強度が
等しくなるから、第１の駆動源２２が停止する。すなわ
ち、第１の物体２１が治具２９に対して所定位置に位置
合せされることになる。このようにして、第１の物体２
１の位置合せをしたなら、つぎに、第２のレーザ発振器
３４を作動させることにより第１の物体２１と同物に第
２の物体２６を治具２９に対して位置合せすれば、治具
２９を介して第１の物体２１と第２の物体２６とが位置
合せされることになる。ところで、このような位置合せ
においては、レーザ発振器３３，３４から出力されるレ
ーザ光Ｌの射出方向が時間とともに変動するから、回折
格子への入射角度が垂直からΔθずれた角度入射したと
きには、第１、第２の物体２１，２６の位置合せ精度に
、上述したようにε＝ＤｓｊｎΔθの誤差が生じる。
ここで、ｄは第１、第２の物体２１，２６の上下面間の
離間寸法であるから、上記第１、第２の物体２１，２６
を大きく離間させればさせる程位置合せ精度が低下して
しまうことになる。しかしながら、この発明においては
、一対の物体２１，２６間に治具２９を挿入し、この治
具２９の上下面に上記第１の物体２１の上面および第２
の物体２６の下面に設けられた第１の回折格子２７，２
８とそれぞれ対向する第２の回折格子３１，３２を設け
ている。
離間寸法であるから、上記第１、第２の物体２１，２６
を大きく離間させればさせる程位置合せ精度が低下して
しまうことになる。しかしながら、この発明においては
、一対の物体２１，２６間に治具２９を挿入し、この治
具２９の上下面に上記第１の物体２１の上面および第２
の物体２６の下面に設けられた第１の回折格子２７，２
８とそれぞれ対向する第２の回折格子３１，３２を設け
ている。
したがつて、治具２９に対する第１、第２の物体２１，
２６の位置合せ精度におけるレーザ光Ｌの射出方向の変
動によつて生じる誤差はＥ１＝ΔＤｓｉｎΔθとなる。
ここで、Δｄは治具２９の上下面とそれぞれ対向する第
１、第２の物体２１，２６の上下面との間隔であるが、
このΔｄは一対の物体２１，，２６間隔ｄに比べて小さ
く、かつ治具２９の厚さを厚くして極めて小さくするこ
とが可能であるから、レーザ光Ｌの射出方向の変動によ
つて生じる一対の物体２１，２６の位置合せを治具２９
を介して高精度に行うことができる。なお、この発明は
上記一実施例に限られず、たとえば治具２９は第３図に
示すように一対の物体２１，２６間に挿入される部分長
さの異なる一対の脚４３，４４からなるほぼコ字状に形
成し、それぞれの脚４３，４４に第２の回折格子３１，
３２を設けるようにしてもよく、このような構成にすれ
ば、一対の物体２１，２６の離間寸法に応じて第１の回
折格子２１，２８と第２の回折格子３１，３２の間隔、
すなわちΔｄを小さくすることができる。
２６の位置合せ精度におけるレーザ光Ｌの射出方向の変
動によつて生じる誤差はＥ１＝ΔＤｓｉｎΔθとなる。
ここで、Δｄは治具２９の上下面とそれぞれ対向する第
１、第２の物体２１，２６の上下面との間隔であるが、
このΔｄは一対の物体２１，，２６間隔ｄに比べて小さ
く、かつ治具２９の厚さを厚くして極めて小さくするこ
とが可能であるから、レーザ光Ｌの射出方向の変動によ
つて生じる一対の物体２１，２６の位置合せを治具２９
を介して高精度に行うことができる。なお、この発明は
上記一実施例に限られず、たとえば治具２９は第３図に
示すように一対の物体２１，２６間に挿入される部分長
さの異なる一対の脚４３，４４からなるほぼコ字状に形
成し、それぞれの脚４３，４４に第２の回折格子３１，
３２を設けるようにしてもよく、このような構成にすれ
ば、一対の物体２１，２６の離間寸法に応じて第１の回
折格子２１，２８と第２の回折格子３１，３２の間隔、
すなわちΔｄを小さくすることができる。
また、上記実施例ではデイテイクタにより反射回折光を
受光したが、透過回折光を受光するようにしても、上記
一実施例と同様な位置合せを行なえる。
受光したが、透過回折光を受光するようにしても、上記
一実施例と同様な位置合せを行なえる。
この場合、一対の物体にレーザ光が透過する透明部分を
設けなければならないが、このような構成によれば治具
を振動させる必要がない。また、２台のレーザ発振器を
用いず、１台のレーザ発振器を用い、このレーザ発振器
から出力されるレーザ光を分割するようにしてもよい。
さらに、上記一実施例では一対の物体を一方向のみに位
置合せすることについて述べたが、複数組の装置を用い
ることによつてＸ，Ｙ，Ｚ，θ方向に位置合せすること
ができることは無論である。以上述べたようにこの発明
は、第１の回折格子が設けられた一対の物体間に、上記
第１の回折格子と対向する第２の回折格子が設けられた
治具を挿入し、対向する一対の第１、第２の回折格子に
レーザ光を入射させ、＋ｎ次と−ｎ次の回折光の強度を
検出することにより、上記一対の物体を治具を介して位
置合せするようにしたから、レーザ光の入射角度の変動
による位置合せ誤差を極めてわずかにすることができる
。
設けなければならないが、このような構成によれば治具
を振動させる必要がない。また、２台のレーザ発振器を
用いず、１台のレーザ発振器を用い、このレーザ発振器
から出力されるレーザ光を分割するようにしてもよい。
さらに、上記一実施例では一対の物体を一方向のみに位
置合せすることについて述べたが、複数組の装置を用い
ることによつてＸ，Ｙ，Ｚ，θ方向に位置合せすること
ができることは無論である。以上述べたようにこの発明
は、第１の回折格子が設けられた一対の物体間に、上記
第１の回折格子と対向する第２の回折格子が設けられた
治具を挿入し、対向する一対の第１、第２の回折格子に
レーザ光を入射させ、＋ｎ次と−ｎ次の回折光の強度を
検出することにより、上記一対の物体を治具を介して位
置合せするようにしたから、レーザ光の入射角度の変動
による位置合せ誤差を極めてわずかにすることができる
。
すなわち、従来は一対の物体の離間寸法が大きいとその
寸法に比例して誤差が大きくなつたが、この発明によれ
ば、一対の物体の離間寸法に係わらず、これら物体を高
精度に位置合せすることができるという実用上大きな効
果を奏する。
寸法に比例して誤差が大きくなつたが、この発明によれ
ば、一対の物体の離間寸法に係わらず、これら物体を高
精度に位置合せすることができるという実用上大きな効
果を奏する。
第１図は従来の装置を示す概略的構成図、第２図はこの
発明の一実施例を示す概略的構成図、第３図はこの発明
の他の実施例を示す治具の側面図である。 ２１，２６・・・・・・物体、２２，２４・・・・・・
駆動源、２７，２８・・・・・・第１の回折格子、２９
・・・・・・治具、３１，３２・・・・・・第２の回折
格子、３３，３４・・・レーザ発振器、３５，３６・・
・・・デイテイクタ、３８・・・・・・差動増幅器。
発明の一実施例を示す概略的構成図、第３図はこの発明
の他の実施例を示す治具の側面図である。 ２１，２６・・・・・・物体、２２，２４・・・・・・
駆動源、２７，２８・・・・・・第１の回折格子、２９
・・・・・・治具、３１，３２・・・・・・第２の回折
格子、３３，３４・・・レーザ発振器、３５，３６・・
・・・デイテイクタ、３８・・・・・・差動増幅器。
Claims (1)
- １ 互いに位置合せすべき平行に離間対向して配置され
る２つの物体の対向する面にそれぞれ設けられた第１の
回折格子と、これら物体間に挿入される治具と、この治
具に上記一対の第１の回折格子とそれぞれ対向するよう
に設けられた一対の第２の回折格子と、対向する一対の
第１、第２の回折格子にそれぞれ垂直方向からレーザ光
を入射させるレーザ発振器と、上記各回折格子からの±
ｎ次の回折光の強度を検知しこの強度によつて上記２つ
の物体を位置合せする手段とを具備したことを特徴とす
る位置合せ装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3861479A JPS6042887B2 (ja) | 1979-03-31 | 1979-03-31 | 位置合せ装置 |
| US06/114,354 US4332473A (en) | 1979-01-31 | 1980-01-22 | Apparatus for detecting a mutual positional relationship of two sample members |
| DE3003533A DE3003533C2 (de) | 1979-01-31 | 1980-01-31 | Vorrichtung zur Bestimmung der gegenseitigen Lagebeziehung zwischen zwei Prüflingen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3861479A JPS6042887B2 (ja) | 1979-03-31 | 1979-03-31 | 位置合せ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55131705A JPS55131705A (en) | 1980-10-13 |
| JPS6042887B2 true JPS6042887B2 (ja) | 1985-09-25 |
Family
ID=12530124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3861479A Expired JPS6042887B2 (ja) | 1979-01-31 | 1979-03-31 | 位置合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6042887B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100443999B1 (ko) | 2003-02-28 | 2004-08-21 | 주식회사 파이컴 | 인쇄회로기판용 상호 접속체, 이의 제조방법 및 이를구비한 상호 접속 조립체 |
-
1979
- 1979-03-31 JP JP3861479A patent/JPS6042887B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55131705A (en) | 1980-10-13 |
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