JPS6044827B2 - 電子部品 - Google Patents
電子部品Info
- Publication number
- JPS6044827B2 JPS6044827B2 JP52114581A JP11458177A JPS6044827B2 JP S6044827 B2 JPS6044827 B2 JP S6044827B2 JP 52114581 A JP52114581 A JP 52114581A JP 11458177 A JP11458177 A JP 11458177A JP S6044827 B2 JPS6044827 B2 JP S6044827B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- copper foil
- resin
- electronic components
- base material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/701—Tape-automated bond [TAB] connectors
Landscapes
- Casings For Electric Apparatus (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、テープキャリア方式でしかも樹脂封止され
た半導体素子等の電子部品に関するものである。
た半導体素子等の電子部品に関するものである。
一般に、電子部品特にICの製造においては、製造原
価の大きな部分がボンディング、組立プロセスで占めら
れており、このプロセスの改善、自動化のために種々の
ボンディング、組立プロセスが考えられてきた。
価の大きな部分がボンディング、組立プロセスで占めら
れており、このプロセスの改善、自動化のために種々の
ボンディング、組立プロセスが考えられてきた。
それらは、従来のワイヤボンドに対しワイヤレ方式は
、ワイヤレスボンディングの一方式であつて、これは金
属ワイヤの代りにビーム状のパターンのついた銅箔(フ
ィンガーリード)を使つてICチップ上のパッド電極部
と外部リードとの間を接続させるもので、ボンディング
速度が従来に比較してきわめて大きく、組立自動化が可
能となり、したがつてIC製造のコストを安くすること
ができる特徴がある。
、ワイヤレスボンディングの一方式であつて、これは金
属ワイヤの代りにビーム状のパターンのついた銅箔(フ
ィンガーリード)を使つてICチップ上のパッド電極部
と外部リードとの間を接続させるもので、ボンディング
速度が従来に比較してきわめて大きく、組立自動化が可
能となり、したがつてIC製造のコストを安くすること
ができる特徴がある。
し力士ながら、従来のテープキャリア方式のICは、
第1図に平面図、第2図にその一部拡大最矢視縦断面図
を示すように、ポリイミド(樹脂)フィルム1にラミネ
ートされた面側のフィンガーリード(銅箔2を基材とし
、その表面に錫めつき膜3を設けたもの)表面にICチ
ップ4におけるパッド電極5を1回で同時各点接合し、
それらを樹脂6によつて封止したものである。
第1図に平面図、第2図にその一部拡大最矢視縦断面図
を示すように、ポリイミド(樹脂)フィルム1にラミネ
ートされた面側のフィンガーリード(銅箔2を基材とし
、その表面に錫めつき膜3を設けたもの)表面にICチ
ップ4におけるパッド電極5を1回で同時各点接合し、
それらを樹脂6によつて封止したものである。
なお、7は、ソルダーレジストあるいは配線保護用オー
バーレイフィルムで、ポリイミドフィルム1、フィンガ
ーリード2〜3の折り曲げ強度を保つためのものである
。そして、この種のものが外部電子部品(たとえば時計
用モジユールに使用され、ゼブラコネクタを介したLC
D等)に接続される場合には、オーミツクコンタクト性
を良くするために、露出せるフインガーリード2に金め
つき層8が施されている。そのため、この種の金めつき
層8は、フインガーリード2の銅箔表面に直接フラツシ
ユ金めつきを行なつて形成したものであるため、金めつ
き層8の耐熱性や表面接触抵抗の信頼性が悪い欠点があ
る。
バーレイフィルムで、ポリイミドフィルム1、フィンガ
ーリード2〜3の折り曲げ強度を保つためのものである
。そして、この種のものが外部電子部品(たとえば時計
用モジユールに使用され、ゼブラコネクタを介したLC
D等)に接続される場合には、オーミツクコンタクト性
を良くするために、露出せるフインガーリード2に金め
つき層8が施されている。そのため、この種の金めつき
層8は、フインガーリード2の銅箔表面に直接フラツシ
ユ金めつきを行なつて形成したものであるため、金めつ
き層8の耐熱性や表面接触抵抗の信頼性が悪い欠点があ
る。
これは、銅箔2の上に直接金めつきを施したものであり
、CU−AU2重層が合金を作りやすいためであると考
えられる。そこで、本発明は、上述する従来の諸欠点を
解消することを目的とするもので、耐熱性およびオーミ
ツクコンタクト性にすぐれたテープキヤリア方式の電子
部品を提供することにある。
、CU−AU2重層が合金を作りやすいためであると考
えられる。そこで、本発明は、上述する従来の諸欠点を
解消することを目的とするもので、耐熱性およびオーミ
ツクコンタクト性にすぐれたテープキヤリア方式の電子
部品を提供することにある。
以下、本発明の好適な実施例を用いて本発明を具体的に
詳述する。
詳述する。
第3図〜第4図は、本発明の一実施例であるICを示す
図で、第3図は平面図、第4図は第3図の一部拡大品矢
視縦断面図てある。
図で、第3図は平面図、第4図は第3図の一部拡大品矢
視縦断面図てある。
同図に示すように、本発明にかかるICは、ポリイミド
フイルム1にラミネートされた面側のフインガーリード
(銅箔2を基材とし、その表面に錫めつき膜3を設けた
もの)表面にICチツプ4におけるパツド電極5を1回
で同時多点接合し、それらを樹脂6によつて封止したも
のである。
フイルム1にラミネートされた面側のフインガーリード
(銅箔2を基材とし、その表面に錫めつき膜3を設けた
もの)表面にICチツプ4におけるパツド電極5を1回
で同時多点接合し、それらを樹脂6によつて封止したも
のである。
7は、ソルダーレジストあるいは配線保護用オーバレイ
フイルムで、ポリイミドフイルム1、フインガーリード
2〜3の折り曲げ強度を保つためのものである。
フイルムで、ポリイミドフイルム1、フインガーリード
2〜3の折り曲げ強度を保つためのものである。
そして、本発明にかかるフインガーリード2〜3におけ
る外部電子部品と接続される部分は、フインガーリード
2〜3における錫めつき膜3が取り除かれており、基材
である銅箔2表面にニツケルめつき膜9を設けたのち、
その表面に金めつき層10が設けられておるものである
。
る外部電子部品と接続される部分は、フインガーリード
2〜3における錫めつき膜3が取り除かれており、基材
である銅箔2表面にニツケルめつき膜9を設けたのち、
その表面に金めつき層10が設けられておるものである
。
上述したように、本発明にかかるテープキヤリア方式の
ICは、外部電子部品と接続されるフインガーリードが
、銅箔2を基材とし、その表面にニツケルめつき膜9と
金めつき層10との二重層膜を設けたものであることに
特徴がある。
ICは、外部電子部品と接続されるフインガーリードが
、銅箔2を基材とし、その表面にニツケルめつき膜9と
金めつき層10との二重層膜を設けたものであることに
特徴がある。
この種のフインガーリード部は、耐熱性およびオーミツ
クコンタクト性のすぐれたものであり、Cu−Ni一A
uの3重層構造は耐熱構造でかつ各層間の接着強度の強
いものでオーミツクコンタクト性や表面接触抵抗の極め
て小さなものである。この種フインガーリード部として
は、銅箔を基材とし、その表面の錫めつき膜をはくりし
た状態で、厚膜の錫めつき膜を施こしたもの、はんだめ
つき膜あるいは銀めつき膜等を設けたものであつても、
耐熱性およびオーミツクコンタクト性にすぐれた構造の
ものとすることができる。
クコンタクト性のすぐれたものであり、Cu−Ni一A
uの3重層構造は耐熱構造でかつ各層間の接着強度の強
いものでオーミツクコンタクト性や表面接触抵抗の極め
て小さなものである。この種フインガーリード部として
は、銅箔を基材とし、その表面の錫めつき膜をはくりし
た状態で、厚膜の錫めつき膜を施こしたもの、はんだめ
つき膜あるいは銀めつき膜等を設けたものであつても、
耐熱性およびオーミツクコンタクト性にすぐれた構造の
ものとすることができる。
この種テープキヤリア方式のICの製作にあたつては、
従来と同じくICチツプ4をテープキヤリアにボンドし
たのち樹脂封止を行ない、その後、封止樹脂6とソルダ
ーレジストあるいは配線保護用オーバレイフイルム7を
マスクとして、表面が露出するフインガーリード部にお
ける錫めつ”き膜3をエツチング除去したのち、ニツケ
ルめつきと金めつき(無電解めつき法あるいは電解めつ
き法)を順次行なつて製作することができる。
従来と同じくICチツプ4をテープキヤリアにボンドし
たのち樹脂封止を行ない、その後、封止樹脂6とソルダ
ーレジストあるいは配線保護用オーバレイフイルム7を
マスクとして、表面が露出するフインガーリード部にお
ける錫めつ”き膜3をエツチング除去したのち、ニツケ
ルめつきと金めつき(無電解めつき法あるいは電解めつ
き法)を順次行なつて製作することができる。
なお、金めつきを電解めつき法にて行なう際には、各フ
インガーリードを相互接続して行なう必要があるが、無
電解めつき法に比して厚膜の金めつき層10を形成する
ことができる。
インガーリードを相互接続して行なう必要があるが、無
電解めつき法に比して厚膜の金めつき層10を形成する
ことができる。
第1図は従来のテープキヤリア方式のICを示す平面図
、第2図は第1図の一部拡大AA矢視縦・断面図、第3
図は本発明の一実施例であるテープキヤリア方式のIC
を示す平面図、第4図は第3図の一部拡大品矢視縦断面
図である。 1・・・・・ポリイミド(樹脂)フイルム、2・・・・
・・フインガーリードの基材である銅箔、3・・・・・
・錫めつき膜、4・・・・・・ICチツプ、5・・・・
・・パツド電極、6・・・・封止樹脂、7・・・・・・
ソルダーレジストあるいは配線保護用オーバレイフイル
ム、8・・・・・・金めつき層、9・・・・・ニツケル
めつき膜、10・・・・・・金めつき層。
、第2図は第1図の一部拡大AA矢視縦・断面図、第3
図は本発明の一実施例であるテープキヤリア方式のIC
を示す平面図、第4図は第3図の一部拡大品矢視縦断面
図である。 1・・・・・ポリイミド(樹脂)フイルム、2・・・・
・・フインガーリードの基材である銅箔、3・・・・・
・錫めつき膜、4・・・・・・ICチツプ、5・・・・
・・パツド電極、6・・・・封止樹脂、7・・・・・・
ソルダーレジストあるいは配線保護用オーバレイフイル
ム、8・・・・・・金めつき層、9・・・・・ニツケル
めつき膜、10・・・・・・金めつき層。
Claims (1)
- 1 テープキャリアのリードである銅箔を基材とし、そ
の表面に錫薄膜をもつ個所にて素子チップのパッド電極
が接続されており、それが樹脂封止されてなり、前記樹
脂から露出され、外部電気導体が接続される個所である
前記リードの部分は、銅箔を基材とし、その表面にニッ
ケル薄膜の下層と金薄膜の上層との二重層膜が設けられ
ていることを特徴とする電子部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52114581A JPS6044827B2 (ja) | 1977-09-26 | 1977-09-26 | 電子部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52114581A JPS6044827B2 (ja) | 1977-09-26 | 1977-09-26 | 電子部品 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5448166A JPS5448166A (en) | 1979-04-16 |
| JPS6044827B2 true JPS6044827B2 (ja) | 1985-10-05 |
Family
ID=14641417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52114581A Expired JPS6044827B2 (ja) | 1977-09-26 | 1977-09-26 | 電子部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6044827B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6329722B1 (en) * | 1999-07-01 | 2001-12-11 | Texas Instruments Incorporated | Bonding pads for integrated circuits having copper interconnect metallization |
-
1977
- 1977-09-26 JP JP52114581A patent/JPS6044827B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5448166A (en) | 1979-04-16 |
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