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JPS6045828B2 - mask memory - Google Patents
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JPS6045828B2 - mask memory - Google Patents

mask memory

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Publication number
JPS6045828B2
JPS6045828B2 JP53099317A JP9931778A JPS6045828B2 JP S6045828 B2 JPS6045828 B2 JP S6045828B2 JP 53099317 A JP53099317 A JP 53099317A JP 9931778 A JP9931778 A JP 9931778A JP S6045828 B2 JPS6045828 B2 JP S6045828B2
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JP
Japan
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comparator
test
counter
control signal
contents
Prior art date
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Expired
Application number
JP53099317A
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Japanese (ja)
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JPS5528118A (en
Inventor
直明 鳴海
隆子 前川
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NTT Inc
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
  • Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体回路の不良解析をより効果的・効率
的に行うことを可能にしたマスクメモリに関するもので
ある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a mask memory that enables more effective and efficient failure analysis of semiconductor circuits.

第1図は従来のマスクメモリの構成を示したもので、
1は試験パターン発生器、2は被試験回路、3は比較器
、4はマスクメモリである。
Figure 1 shows the configuration of a conventional mask memory.
1 is a test pattern generator, 2 is a circuit under test, 3 is a comparator, and 4 is a mask memory.

第2図は被試験回路2としてメモリ回路を想定した場合
の試験工程の一例である。 第1図を用いてマスクメモ
リ4の動作を説明すると、まず試験パターン発生器1よ
り被試験回路2に対してアドレス信号、データ信号、読
み出し命令信号、書き込み命令信号等のいわゆる試験パ
ターンを印加する。被試験回路2はその試験パターンを
受け、所定の動作たとえば読み出し動作時に所定の書き
込み情報を出力する。マスクメモリ4は、試験パターン
発生器1より発生された読み出し命令信号(READ)
あるいはサイクル・クロック(CLK)を動作クロック
とし、又、被試験回路2に印加されるアドレス情報ある
いはサイクルクロックを計数したカウンタ出力を受けて
自身のアドレス情報とし、試験開始前にあらかじめ何等
かの方法て格納してある比較器3の比較動作の実行ある
いは禁止命令の情報を読み出し、それを比較器制御信号
として比較器3に送出する。比較器3では試験パターン
発生器1より発生された期待値パターンと被試験回路2
から出力された出力情報とを、前述の比較器制御信号が
比較禁止命令以外の時において各読み出し命令サイクル
毎に比較を行ない、両者が一致した場合に゜゜Pass
゛,不一致の場合に“Fair゛と判定する。また、比
較器制御信号が比較禁止命令時には比較器出力は入力の
状態にかかわらず常に゜゜Pass゛状態となる。具体
的には、まず試験実行前に、被試験回路2の任意の比較
禁止を行うアドレス位置に対応したマスクメモリ4のア
ドレス位置に比較禁止情報を書き込む。試験実行中に被
試験回路2の試験対象部分が試験され、読み出し命令実
行時にマスクメモリ4の被試験回路2の試験対象アドレ
スに対応したアドレス位置の比較禁止情報が同時に読み
出され、比較器制御信号として比較器3に送出される。
比較器3ではこの読み出し命令実行時に比較器制御信号
が比較禁止命令の時には、被試験回路2の出力情報と試
験パターン発生器1からの期待値パターンとの比較結果
がいかなる場合でも゜゜Pass゛と判定し、比較制御
信号が比較禁止命令でない時に限り、被試験回路2の出
力情報と期待値パターンとの比較を行い、両者が一致し
た場合に゜゜Pass―不一致の場合には“Fair゛
と判定する。このことにより、被試験回路2における比
較禁止をしなかつた特定領域の試験が、それ以外の領域
にわずられされることなく実現できる。以上が従来のマ
スクメモリの試験であるが、このような従来方式のマス
クメモリにおいては、例えば第2図に示すような同一試
験パターンシーケンス内で、ある部分は被試験回路の全
領域の試験を行い、ある部分は特定領域のみを他にわず
られされることなく詳細試験を行なうような変則的な試
験方法が困難で、全て同一試験パターンシーケンス内は
共通にマスクメモリを使うかあるいは使わないかという
選択方法しかなく、第2図の様な試験方法は実現できな
いという欠点があつた。従つて、第2図の様な試験を行
う場合には、試験を何回かに分けて実行するような方法
がとられていたが、このような方法では、元の試験つま
り第2図の様な試験と試験結果が限ずしも一致しないと
いう大きな問題があつた。本発明は、こめような欠点を
解決するために、試験パターンシーケンスにおける任意
領域でマスクメモリの比較器に対する比較禁止機能を有
効にすることを可能にしたもので、以下図面について詳
細に説明する。第3図は本発明の一実施例を示したもの
で、第1図と異なる点は、マスクメモリ4にスタートカ
ウンタ41、ストップカウンタ4牡ゲート回路42,4
5,50、マルチプレクサ(MPX)43,46、スタ
ートカウンタイネーブルレジスタ47、ストップカウン
タイネーブルレジスタ48、変換回路49よりなるとこ
ろの、そのメモリ部40の出力情報である比較器制御信
号の比較器3への入力を制御する制御部を設け、この制
御部によつて試験パターンシーケンス内の任意領域のみ
をマスクメモリ4の比較器3に対する比較禁止機能を有
効にすることを可能にしたことである。
FIG. 2 shows an example of a test process when a memory circuit is assumed as the circuit under test 2. In FIG. To explain the operation of the mask memory 4 using FIG. 1, first, a so-called test pattern such as an address signal, a data signal, a read command signal, a write command signal, etc. is applied to the circuit under test 2 from the test pattern generator 1. . The circuit under test 2 receives the test pattern and outputs predetermined write information during a predetermined operation, such as a read operation. The mask memory 4 receives a read command signal (READ) generated by the test pattern generator 1.
Alternatively, the cycle clock (CLK) is used as the operating clock, and the address information applied to the circuit under test 2 or the output of a counter that counts the cycle clock is received as its own address information, and some method is used in advance before starting the test. The information stored in the comparator 3 regarding execution or prohibition of the comparison operation is read out and sent to the comparator 3 as a comparator control signal. The comparator 3 uses the expected value pattern generated by the test pattern generator 1 and the circuit under test 2.
When the comparator control signal mentioned above is not a comparison prohibition command, the output information output from
If there is a mismatch, it is determined as "Fair". Also, when the comparator control signal commands a comparison prohibition, the comparator output is always in the "Pass" state regardless of the input state.Specifically, first, test execution is performed. Before the comparison prohibition information is written to the address position of the mask memory 4 corresponding to the address position where comparison is prohibited in the circuit under test 2. During the test execution, the test target part of the circuit under test 2 is tested and the read command is During execution, the comparison prohibition information of the address position corresponding to the test target address of the circuit under test 2 in the mask memory 4 is simultaneously read out and sent to the comparator 3 as a comparator control signal.
When the comparator 3 executes this read command and the comparator control signal is a comparison prohibition command, the comparison result between the output information of the circuit under test 2 and the expected value pattern from the test pattern generator 1 is ゜゜Pass゛. Only when the comparison control signal is not a comparison prohibition command, the output information of the circuit under test 2 is compared with the expected value pattern, and if they match, it is judged as ゜゜Pass, and when they do not match, it is judged as "Fair". As a result, it is possible to test a specific area in the circuit under test 2 without prohibiting comparison without being affected by other areas.The above is a conventional mask memory test. In such a conventional mask memory, within the same test pattern sequence as shown in Fig. 2, some parts test the entire area of the circuit under test, while other parts test only a specific area. It is difficult to conduct an irregular test method such as performing a detailed test without being shifted, and there is no choice but to use or not use the mask memory in common within the same test pattern sequence, as shown in Figure 2. The drawback was that it was not possible to implement a test method such as the one shown in Fig. In this method, there was a big problem that the test results did not necessarily match the original test, that is, the test shown in Figure 2.The present invention aims to solve this problem by changing the test pattern sequence. This makes it possible to enable the comparison prohibition function for the mask memory comparator in an arbitrary area.The drawings will be explained in detail below.Figure 3 shows one embodiment of the present invention. The difference from the diagram is that the mask memory 4 includes a start counter 41, a stop counter 4, and gate circuits 42, 4.
5, 50, multiplexers (MPX) 43, 46, a start counter enable register 47, a stop counter enable register 48, and a conversion circuit 49. The comparator control signal, which is the output information of the memory section 40, is sent to the comparator 3. A control section is provided to control the input of , and this control section enables the comparison prohibition function for the comparator 3 of the mask memory 4 to be enabled only in an arbitrary area within the test pattern sequence.

メモリ部40それ自体の動作は従来と基本的に変わらな
いので、以下ではその制御部を中心に動作を説明するこ
とにする。さて、スタートカウンタ41は試験実行前に
あらかじめ任意の値を設定し、試験パターンシーケンス
の読み出し命令あるいはサイクルクロック毎にその内容
を減らしてゆき、その内容が零つまり読み出し命令の回
数が該カウンタ41の初期設定値と等しくなつた時点か
ら比較器制御信号を比較器3に対して有効にする。
Since the operation of the memory section 40 itself is basically the same as in the past, the operation will be explained below with a focus on its control section. Now, the start counter 41 is set to an arbitrary value in advance before the test is executed, and its contents are decremented for each read command or cycle clock of the test pattern sequence. The comparator control signal is made effective for the comparator 3 from the time when the value becomes equal to the initial setting value.

スタートカウンタイネーブルレジスタ47は、スタート
カウンタ41の比較器制御信号に対する制御機能を有効
にするかあるいは無効にするかを指示する1ビットレジ
スタであり、試験実行前にあらかじめ“゜0゛あるいが
゜1゛の値を設定しておく。マルチプレクサ43はスタ
ートカウンタイネーブルレジスタ47の状態(スタート
カウンタイネーブルフラッグ51)を受け、それが゜゜
0゛の場合は比較器制御信号を有効とすべく試験パター
ン発生器1のREAD/CLKを選択し、“゜1゛の場
合はスタートカウンタ41の制御を受けたゲート回路4
2の出力を選択する。
The start counter enable register 47 is a 1-bit register that instructs whether to enable or disable the control function for the comparator control signal of the start counter 41. The start counter enable register 47 is a 1-bit register that instructs whether to enable or disable the control function for the comparator control signal of the start counter 41. A value of 1゛ is set.The multiplexer 43 receives the state of the start counter enable register 47 (start counter enable flag 51), and if it is ゜゜0゛, it generates a test pattern to enable the comparator control signal. Select READ/CLK of the device 1, and if it is “゜1゛”, the gate circuit 4 under the control of the start counter 41
Select output 2.

ストップカウンタ44はスタートカウンタ41と同様に
試験実行前にあらかじめ任意の値を設定し、スタートカ
ウンタ41の無効な時には試験開始後、試験パターンシ
ーケンスの読″み出し命令あるいはサイクル・クロック
毎にその内容を減らしてゆきその内容が零つまり読み出
し命令回数が該カウンタ44の初期設定値と等しくなる
時点まで比較器制御信号を有効にし、あるいはスタート
カウンタ41が有効な時には、スタートカウンタ41の
内容が零になつた時点から試験パターンシーケンスの読
み出し命令あるいはサイクル・クロック毎にその内容を
減らしてゆき、その内容が零になるまで比較器制御信号
を有効にする。ストップカウンタイネーブルレジスタ4
8は、ストップカウンタ44の比較器制御信号に対する
制御機能を有効にするかあるいは無効にするかを指示す
る1ビットレジスタであり、レジスタ47と同様に試験
実行前にあらかじめ“0゛あるいは“゜1゛の値を設定
しておく。マルチプレクサ46はストップカウンタイネ
ーブルレジスタ48の状態(ストップカウンタイネーブ
ルフラッグ52)を受け、それが゜“0゛の場合は前段
のマルチプレクサ43の出力を選択し、゜゜1゛の場合
はストップカウンタ44の制御を受けたゲート回路45
の出力を選択する。第4図はスタートカウンタ41、ス
タートカウンタイネーブルレジスタ47、ストップカウ
ンタ44、ストップカウンタイネーブルレジスタ48の
各設定状態とマスクメモリの特作モードの関係について
まとめたもので、実線は比較禁止情報の有効期間(マス
ク動作中)、破線は無効期間(マスク休止中)を示す。
Like the start counter 41, the stop counter 44 is set to an arbitrary value in advance before the test is executed, and when the start counter 41 is invalid, after the start of the test, the contents are read out at each test pattern sequence read command or every cycle clock. , and the comparator control signal is enabled until the content becomes zero, that is, the number of read commands becomes equal to the initial setting value of the counter 44, or when the start counter 41 is enabled, the content of the start counter 41 becomes zero. From the point at which the test pattern sequence is read out, its contents are decreased every time the test pattern sequence is read out or every cycle clock, and the comparator control signal is enabled until the contents become zero.Stop counter enable register 4
8 is a 1-bit register that instructs whether to enable or disable the control function for the comparator control signal of the stop counter 44, and like the register 47, it is set to "0" or "1" in advance before the test is executed. Set the value of ゛. The multiplexer 46 receives the state of the stop counter enable register 48 (stop counter enable flag 52), and if it is ゜“0゛, it selects the output of the previous stage multiplexer 43, and if it is ゜゜1゛, it selects the output of the stop counter 44. gate circuit 45
Select the output of Figure 4 summarizes the relationship between the setting states of the start counter 41, start counter enable register 47, stop counter 44, and stop counter enable register 48 and the special mode of the mask memory, and the solid line indicates the valid period of the comparison prohibition information. (during mask operation), and the broken line indicates an invalid period (during mask suspension).

具体的には、例えば、スタートカウンタ41を10にス
トップカウンタ44を20にそれぞれ設定し、またスタ
ートカウンタイネーブルレジスタ47とストップカウン
タイネーブルレジスタ48のそれぞれを“゜1゛に設定
(第4図中、スタートカウンタイネーブルフラッグはレ
ジスタ47の設定状態、ストップカウンタイネーブルフ
ラッグはレジスタ48の設定状態を示す)して試験を実
行した場合を想定すると、試験開始後、w個目の読み出
し命令以前はメモリ部40からの比較器制御信号は禁止
されるために比較器3は有効で、1帽目以降ストップカ
ウンタ44が動作し、それが2嘲の読み出し命令を数え
るまでの間、比較器3は比較器制御信号により制御され
、また再びそれ以降は比較器制御信号は禁止されるため
に比較器3は有効となり、第2図に示したような試験が
可能になる。なお、第3図中の変換回路49の出力を反
転させることにより、第4図の比較禁止情報有効期間と
比較禁止情報無効期間とが逆転され、さらに変則的な試
験が可能になる。
Specifically, for example, the start counter 41 is set to 10, the stop counter 44 is set to 20, and the start counter enable register 47 and stop counter enable register 48 are each set to "゜1゛" (in Fig. 4, The start counter enable flag indicates the setting state of the register 47, and the stop counter enable flag indicates the setting state of the register 48). The comparator 3 is enabled because the comparator control signal from the 1st cap is disabled, and the stop counter 44 operates from the 1st cap until it counts the 2nd read command. Since the comparator control signal is inhibited again from then on, the comparator 3 is enabled, and the test shown in Figure 2 becomes possible.The conversion circuit in Figure 3 By reversing the output of 49, the comparison prohibition information valid period and the comparison prohibition information invalid period shown in FIG. 4 are reversed, making it possible to perform more irregular tests.

以上説明したように、本発明によるマスクメモリは、試
験パターンシーケンス中の任意領域でマスクメモリ(メ
モリ部)の比較器に対する比較禁止機能を有効にするこ
とが可能であるために、試験パターンシーケンス中に比
較器の比較禁止を行つたり行なわなかつたりするような
メモリ回路のメモリセル間干渉試験のような変則的な試
験方法が可能になるという利点がある。
As explained above, the mask memory according to the present invention enables the comparison prohibition function for the comparator of the mask memory (memory section) to be enabled in any area during the test pattern sequence. This method has the advantage that it becomes possible to perform an irregular test method, such as an interference test between memory cells of a memory circuit, in which comparator comparison is inhibited and inhibited.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来のマスクメモリの構成図、第2図は被試験
回路をメモリ回路に想定した場合の試験パターンシーケ
ンスの一例を示す図、第3図は本発明の一実施例を示す
図、第4図は第3図の動作を説明するための図である。
FIG. 1 is a block diagram of a conventional mask memory, FIG. 2 is a diagram showing an example of a test pattern sequence when the circuit under test is assumed to be a memory circuit, and FIG. 3 is a diagram showing an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a diagram for explaining the operation of FIG. 3.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 試験実行シーケンスの各ステップ毎に試験パターン
発生器より発生された期待値パターンと被試験回路から
出力された情報とを比較する比較器の比較動作の実行あ
るいは禁止を制御するマスクメモリにおいて、試験実行
前にあらかじめ前記比較器の比較動作の実行あるいは禁
止命令の情報が貯えられ、前記試験パターン発生器から
のアドレス信号により指定された位置の情報を比較器制
御信号として出力するメモリ部と、あらかじめ任意の値
を設定し、前記試験実行シーケンスの各ステップ毎にそ
の内容を更新してゆき、その内容が所定の値になつた時
点から前記比較器制御信号を比較器に対して有効とする
スタートカウンタと、あらかじめ任意の値を設定し、前
記スタートカウンタが無効な時には試験実行シーケンス
の開始後の各ステップ毎にその内容を更新しゆき、又、
前記スタートカウンタが有効な時には該スタートカウン
タが所定の値になつた時点から試験実行シーケンスの各
ステップ毎にその内容を更新してゆき、その内容が所定
の値になつた時点で前記比較器制御信号を無効とするス
トップカウンタと、前記スタートカウンタ及びストップ
カウンタの前記メモリ部の比較器制御信号に対する制御
動作を有効とするか無効とするかを指示する手段とを具
備していることを特徴とするマスクメモリ。
1. In the mask memory that controls execution or prohibition of the comparison operation of the comparator that compares the expected value pattern generated by the test pattern generator and the information output from the circuit under test at each step of the test execution sequence, a memory section in which information on a command to execute or prohibit a comparison operation of the comparator is stored in advance before execution, and outputs information on a position specified by an address signal from the test pattern generator as a comparator control signal; Setting an arbitrary value, updating the contents at each step of the test execution sequence, and starting to make the comparator control signal valid for the comparator from the time the contents reach a predetermined value. A counter is set to an arbitrary value in advance, and when the start counter is invalid, its contents are updated at each step after the start of the test execution sequence, and
When the start counter is valid, its contents are updated at each step of the test execution sequence from the time when the start counter reaches a predetermined value, and when the contents reach the predetermined value, the comparator control is performed. The method is characterized by comprising a stop counter that disables the signal, and means for instructing whether to enable or disable the control operation of the start counter and the stop counter with respect to the comparator control signal of the memory section. mask memory.
JP53099317A 1978-08-15 1978-08-15 mask memory Expired JPS6045828B2 (en)

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