JPS6058014B2 - Vacuum press bonding equipment - Google Patents
Vacuum press bonding equipmentInfo
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- JPS6058014B2 JPS6058014B2 JP55181216A JP18121680A JPS6058014B2 JP S6058014 B2 JPS6058014 B2 JP S6058014B2 JP 55181216 A JP55181216 A JP 55181216A JP 18121680 A JP18121680 A JP 18121680A JP S6058014 B2 JPS6058014 B2 JP S6058014B2
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- elastic sheet
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空プレス接着装置、特に真空プレス接着装
置を構成する上部側チャンバ内における容積を小さくし
て空気の制御量を少なくするようにした真空プレス接着
装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a vacuum press bonding device, and particularly to a vacuum press bonding device in which the volume in the upper chamber constituting the vacuum press bonding device is reduced to reduce the amount of air controlled. be.
従来、真空プレス接着装置は第１図、第２図に示すよ
うに、チャンバ１に対してテープの被接着物であるワー
ク２を配置し、このチャンバ１の上に型締シリンダ３に
よつて上下動自在に配置されたチャンバ４を設け、この
チャンバ４の内部に複数個のヒータ５を設置し、チャン
バ１側におけるテープ６をこのヒータ５によつて加熱し
ながらチャンバ１内を真空引きしてテープ６をワーク２
の表面側に圧着せしめる。この場合第１図において、テ
ープ９はチャンバ１、４間の空間を仕切る如くセットさ
れる。なお、７はワーク２を保持する基板８を上下動す
るためのエアシリンダである。また、第２図においてチ
ャンバ４の下面にはゴム板より成る弾性シート９が設け
られ、この弾性シート９でチャンバ１、４間の空間を仕
切るものでこの弾性シート９を上記ヒータ５によつて加
熱しこの加熱された弾性シートを真空引きによつてワー
ク２の表面側に圧接する如くしてテープ６を接着せしめ
ている。 しカルながら、従来の上記真空プレス接着装
置によれば、いずれもテープ６を必要な量に加熱するこ
とができず、接着力を強度なものとすることができない
。Conventionally, as shown in FIGS. 1 and 2, in a vacuum press bonding apparatus, a workpiece 2 to be bonded with a tape is placed in a chamber 1, and a clamping cylinder 3 is used to place a workpiece 2 on top of the chamber 1. A chamber 4 is provided which is movable up and down, a plurality of heaters 5 are installed inside the chamber 4, and the inside of the chamber 1 is evacuated while the tape 6 on the side of the chamber 1 is heated by the heaters 5. and tape 6 to work 2
Crimp it to the surface side. In this case, as shown in FIG. 1, tape 9 is set so as to partition the space between chambers 1 and 4. Note that 7 is an air cylinder for vertically moving the substrate 8 holding the workpiece 2. Further, in FIG. 2, an elastic sheet 9 made of a rubber plate is provided on the lower surface of the chamber 4, and this elastic sheet 9 partitions the space between the chambers 1 and 4. The tape 6 is bonded by heating and pressing the heated elastic sheet to the surface of the workpiece 2 by vacuuming. However, according to the above-mentioned conventional vacuum press bonding devices, it is not possible to heat the tape 6 to the necessary amount, and it is not possible to make the adhesive strength strong.
すなわち、第１図に示す真空ブレス接着装置にあつては
、テープ６を加熱するためにチャンバ４をチャンバ１の
上にセットした後、ヒータ５を発熱しテープ６がこのヒ
ータ５によつて加熱されるまで長時間待機しなければな
らないので量産性を高めることができず、またワーク２
への部分貼りができず、また空気の抜き量が多いのでマ
シンサイクルが長く、エネルギーの消費量が大きい。ま
た第２図に示す真空ブレス接着装置においては、ゴム板
９がヒータ５から離間しているのでヒータ５によつて弾
性シート９を充分に加熱できず、このためテープ６の接
着力を強くできず、またチャンバ１内の空気を抜き取る
ことによりテープ６を貼着するため、貼着力が弱くワー
クの凹凸面に確実にテープを貼着できないという欠点を
有している。本発明の目的は、上部側のチャンバ内を上
下に仕切る仕切板を設けて上記チャンバの下部側に設け
た弾性シートを制御するための制御空間の容積を小さく
するようにして上記弾性シートの制御を高率的に行なえ
るようにし、かつ上記弾性シートに対し必要量の熱をヒ
ータから供給できるようにして上記欠点を除去するもの
であり、以下実施例を用いて詳細に説明する。That is, in the case of the vacuum press bonding apparatus shown in FIG. Since it is necessary to wait for a long time until work 2 is finished, mass productivity cannot be improved, and
It is not possible to apply partial paste to the surface, and the amount of air removed is large, resulting in long machine cycles and high energy consumption. Furthermore, in the vacuum press bonding device shown in FIG. 2, since the rubber plate 9 is spaced apart from the heater 5, the elastic sheet 9 cannot be sufficiently heated by the heater 5, and therefore the adhesive force of the tape 6 cannot be strengthened. Furthermore, since the tape 6 is attached by removing the air in the chamber 1, the adhesive force is weak and the tape cannot be reliably attached to the uneven surface of the workpiece. An object of the present invention is to control the elastic sheet by providing a partition plate that partitions the inside of the upper chamber into upper and lower parts, and reducing the volume of a control space for controlling the elastic sheet provided at the lower side of the chamber. The present invention is intended to eliminate the above-mentioned drawbacks by making it possible to perform the above-mentioned elastic sheet at a high efficiency and to supply the necessary amount of heat to the above-mentioned elastic sheet from a heater.This will be explained in detail below using examples.
第３図は本発明による真空ブレス接着装置の一実施例を
示す簡略構成図であり、同図において、１１はワーク１
２を収容する空間を有するチャンバであり、上記ワーク
１２の上にはこのワークに被着されるべきテープ１６が
セットされる。FIG. 3 is a simplified configuration diagram showing an embodiment of the vacuum press bonding apparatus according to the present invention, in which 11 is a workpiece 1.
2, and a tape 16 to be attached to the work 12 is set on top of the work 12.
上記チャンバ１１の上部側にはシリンダ１３により上下
動する上部側のチャンバ１４が位置せしめられており、
このチャンバ１４は下部側が開口しており、その内部に
はヒータ１５が固定され、かつその下端側はこのチャン
バ１４の内部側空間を塞ぐように設置されかつある程度
の弛みが与えられた弾性シート１９が設けられている。
さらに、このチャンバ１４内には中央部分に孔２０を有
する仕切板２１が上記ヒータ１５側と弾性シート１９側
の空間を上下方向に密封して仕切る如く設けられ、この
仕切板２１は図示しない方法によりチャンバ１４内に固
定された保持材３０の端部が孔２０に挿入されて固定さ
れている。該仕切板２１は剛性を有する材料により形成
される。上記仕切板２１としてはヒータ１５を赤外線ヒ
ータから構成した場合は赤外線を良好に透過する透明ガ
ラスが用いられる。上記保持材３０には図示しない空気
制御部に一端が接続された管３１の他端側が延在して、
この管３１の他端側は仕切板２１と弾性シート１９との
間で形成される空間４０に臨む。チャンバ１１には図示
しない空気制御部に一端が接続された管３２の他端側が
臨み、上記管３１，３２は管３３によつて互いに接続さ
れ、これら管３１，３２，３３には空気制御弁３４，３
５，３６が設けられている。なお、２２はヒータ１５か
らの熱を弾性シート１９方向に反射する反射板である。
以上の構成において、テープ１６をワーク１２に接着す
るには、ます赤外線ヒータ１５を作動せしめこの赤外線
ヒータ１５からの赤外線を仕切板２１を通して弾性シー
ト１９に照射せしめ、これにより予め弾性シート１９を
加熱しておく。An upper chamber 14 is located above the chamber 11 and is moved up and down by a cylinder 13.
This chamber 14 is open at the lower side, a heater 15 is fixed inside thereof, and an elastic sheet 19 is provided at the lower end side so as to close the inner space of this chamber 14 and is given a certain degree of slack. is provided.
Furthermore, a partition plate 21 having a hole 20 in the center is provided in the chamber 14 so as to vertically seal and partition the space between the heater 15 side and the elastic sheet 19 side. The end of the holding material 30 fixed in the chamber 14 is inserted into the hole 20 and fixed therein. The partition plate 21 is made of a rigid material. As the partition plate 21, when the heater 15 is constituted by an infrared heater, transparent glass that transmits infrared light well is used. The other end of a pipe 31, one end of which is connected to an air control unit (not shown), extends to the holding member 30,
The other end side of this tube 31 faces a space 40 formed between the partition plate 21 and the elastic sheet 19. The other end side of a pipe 32 whose one end is connected to an air control section (not shown) faces the chamber 11, and the pipes 31 and 32 are connected to each other by a pipe 33, and these pipes 31, 32, and 33 are equipped with air control valves. 34,3
5 and 36 are provided. Note that 22 is a reflective plate that reflects the heat from the heater 15 toward the elastic sheet 19.
In the above configuration, in order to adhere the tape 16 to the workpiece 12, the infrared heater 15 is activated and the infrared rays from the infrared heater 15 are irradiated onto the elastic sheet 19 through the partition plate 21, thereby heating the elastic sheet 19 in advance. I'll keep it.
次にシリンダ１３を駆動してチャンバ１４をチャンバ１
１の上にセットし、両チャンバ１４，１１間を密閉する
（第４図参照）。次に第５図に示すように管３２を介し
てチャンバ１１内の空間を真空引きし、これと同時に管
３１から空間４０に空気を送り込んでその空間４０内の
気圧を高め、両者によつて弾性シート１９をワーク１２
側に密着せしめ、テープ１６を軟化させた状態でワーク
１２の表面側に接着する。このような動作が完了した後
は第６図に示すように管３１および管３３，３２を介し
て空間４０およびチャンバ１１内における空間の気圧を
高めた後チャンバ１４を上昇させてワーク１２を取り出
すことができる。以上の構成によれは弾性シート１９を
設け、これを予め加熱後にテープ１６に圧接するように
したのでテープ１６を短時間で加熱でき、テープ１６を
加熱するのに長時間待機する必要がないので量産性を高
めることができ、また弾性シート１９を制御するための
空間４０を小さくしたのでこの弾性シート１９を制御す
るための空気量が少なくてよいのでマシンサイクルが短
くなりエネルギーの消費量を小さく抑えることができか
つ作業時間を短かくできる。Next, the cylinder 13 is driven to move the chamber 14 into the chamber 1.
1, and the space between both chambers 14 and 11 is sealed (see FIG. 4). Next, as shown in FIG. 5, the space inside the chamber 11 is evacuated through the pipe 32, and at the same time, air is sent from the pipe 31 into the space 40 to increase the air pressure in the space 40. The elastic sheet 19 is attached to the workpiece 12
The tape 16 is softened and adhered to the surface side of the workpiece 12. After this operation is completed, as shown in FIG. 6, the air pressure in the space 40 and the chamber 11 is increased through the pipe 31 and the pipes 33 and 32, and then the chamber 14 is raised and the workpiece 12 is taken out. be able to. According to the above structure, since the elastic sheet 19 is provided and is pressed against the tape 16 after being heated in advance, the tape 16 can be heated in a short time, and there is no need to wait for a long time to heat the tape 16. Mass production can be improved, and since the space 40 for controlling the elastic sheet 19 is made smaller, the amount of air needed to control the elastic sheet 19 is small, so the machine cycle is shortened and energy consumption is reduced. It can be controlled and the working time can be shortened.
また、空間４０側にも空気を送るようにしてこの内部の
気圧を高めるようにし、この空気によつても弾性シート
１９に対しワーク１２方向の力を与えることにより弾性
シート１９によるテープ１６の接着力を大きくすること
ができ、ワーク１２の表面がたとえ複雑な形状の凹凸面
であつてもこの面に対しテープ１６を接着することが可
能となる。以上説明したように本発明によれば、下部側
チャンバに対向する上部側チャンバの内部にヒータを設
けかつ上記上部側チャンバの下面側に上記上部側チャン
バ内の空間を仕切るような弾性シニトを装着するように
した真空ブレス接着装置において、上記上部側チャンバ
内に上記ヒータと弾性シートとの間に介在して上記ヒー
タ側の空間と弾性シート側の空間を上下に分割する仕切
板を設けるようにしたので、弾性シートを制御するため
には上記弾性シートと仕切板との間に形成される空間内
の圧力を制御するだけでよく、制御が容易となりかつ消
費エネルギーを少なくできかつマシンサイクルを短かく
することができるのて量産化を図ることができる。In addition, the air pressure inside the space 40 is increased by sending air to the space 40 side, and this air also applies a force to the elastic sheet 19 in the direction of the workpiece 12, thereby adhering the tape 16 by the elastic sheet 19. The force can be increased, and even if the surface of the workpiece 12 has an uneven surface with a complicated shape, it becomes possible to adhere the tape 16 to the surface. As explained above, according to the present invention, a heater is provided inside the upper chamber facing the lower chamber, and an elastic sheet is attached to the lower surface side of the upper chamber to partition the space inside the upper chamber. In the vacuum press bonding apparatus, a partition plate is provided in the upper chamber, interposed between the heater and the elastic sheet, to vertically divide the space on the heater side and the space on the elastic sheet side. Therefore, in order to control the elastic sheet, it is only necessary to control the pressure in the space formed between the elastic sheet and the partition plate, which facilitates control, reduces energy consumption, and shortens machine cycles. By doing so, mass production can be achieved.
第１図、第２図は従来の真空ブレス接着装置の一例を示
す簡略構成図、第３図ないし第６図は本発明による真空
ブレス接着装置の一実施例を示す簡略構成図てある。
１１，１４・・・・チャンバ、１２・・・・・・ワーク
、１３・・・・・シリンダ、１５・・・・・・ヒータ、
１９・・・・・・弾性シート、２１・・・・・・仕切板
、２２・・・・・・反射板。1 and 2 are simplified configuration diagrams showing an example of a conventional vacuum press bonding apparatus, and FIGS. 3 to 6 are simplified configuration diagrams showing an embodiment of the vacuum press bonding apparatus according to the present invention. 11, 14...Chamber, 12...Work, 13...Cylinder, 15...Heater,
19...Elastic sheet, 21...Partition plate, 22...Reflector.
Claims (1)
に、下側を向いて開口る上部側チャンバを対向せしめ、
該上部側チャンバ内にヒータを設置しかつ同チャンバの
下端側にこのチャンバの開口部を塞ぐような弾性シート
を設け、この弾性シートを空気圧によつて下部側のチャ
ンバに設置されたワーク側に圧接するような力を与える
ようにして成る真空プレス接着装置において、ヒータの
背面に赤外線を反射する反射板を設けると共に上部側チ
ャンバにおける上記ヒータと弾性シートとの間に介在し
ヒータ側の空間と弾性シート側の空間を上下方向に分割
して密封仕切る剛性を有する材料からなる仕切板を上部
チャンバの下端近傍に設けるようにしたことを特徴とす
る真空プレス接着装置。 ２ ヒータは赤外線ヒータから成り、仕切板はガラスに
より形成して成る特許請求の範囲第１項記載の真空プレ
ス接着装置。 ３ 仕切板と弾性シートとによつて形成される空間側に
一端が空気制御部に接続された管の他端を臨ませ、この
管を介して上記ヒータと弾性シートとの間によつて形成
される空間の空気量を制御するようにした特許請求の範
囲第１項記載の真空プレス接着装置。[Claims] 1. An upper chamber opening facing downward is opposed to the upper position of a lower chamber opening facing upper side,
A heater is installed in the upper chamber, and an elastic sheet is provided at the lower end of the chamber to close the opening of the chamber, and this elastic sheet is applied to the workpiece installed in the lower chamber by air pressure. In a vacuum press bonding device that applies pressure to press, a reflector is provided on the back of the heater to reflect infrared rays, and is interposed between the heater and the elastic sheet in the upper chamber to form a space on the heater side. A vacuum press bonding device characterized in that a partition plate made of a rigid material is provided in the vicinity of the lower end of the upper chamber to vertically divide and seal the space on the elastic sheet side. 2. The vacuum press bonding apparatus according to claim 1, wherein the heater is an infrared heater, and the partition plate is made of glass. 3 The other end of the tube, one end of which is connected to the air control unit, faces the space formed by the partition plate and the elastic sheet, and the tube is interposed between the heater and the elastic sheet. 2. The vacuum press bonding apparatus according to claim 1, wherein the amount of air in the space is controlled.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55181216A JPS6058014B2 (en) | 1980-12-23 | 1980-12-23 | Vacuum press bonding equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55181216A JPS6058014B2 (en) | 1980-12-23 | 1980-12-23 | Vacuum press bonding equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57105310A JPS57105310A (en) | 1982-06-30 |
| JPS6058014B2 true JPS6058014B2 (en) | 1985-12-18 |
Family
ID=16096847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55181216A Expired JPS6058014B2 (en) | 1980-12-23 | 1980-12-23 | Vacuum press bonding equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
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