JPS609674B2 - ガス放電レ−ザの調整方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、レーザ管を備え、金属製管状支持部材の一端
における光学素子の前記レーザ管に対する角度位置を前
記支持部材の機械的変形を介して調整するガス放電レー
ザの調整方法に関するものである。

かかる調整方法およびガス放電レーザはオランダ国特許
出願第７５１５００６号（公開済）から既知であり、こ
れにおいては管状支持部材を、この管状支持部材の鞄線
上に設けた金属板に取付け、前記金属板および管状支持
部材と光学素子とにより放電管の一端を密閉し、管状支
持部村は工具を使用することなく永久的に塑性変形でき
る壁部の厚さの薄い領域を備えている。

かかる方法および塑性変形可能なミラー支持部材は米国
特許第３８２６９９８号明細書にも記載されており、こ
れにおいては、支持部材の弱い変形可能部を構成するス
ロットに工具例えばねじ回しを挿入し、支持部材を懐斜
させることによって調整を行う。

しかしこの調整方法は、変形後ねじ回しによって発生し
た傾斜モーメントを除去した場合支持部村が部分的に復
元するから、その実施が驚かしい。支持部材が部分的に
復元した後ミラーを所定最終位置に到達させるために必
要な傾斜の範囲は著しく大きいので、前記傾斜工程に当
りレーザ共振器は実際上誤調整されることとなる。更に
、この態様で変形された材料に非対称な応力が残存し、
これによりガス放電レーザの寿命期間中に誤調整が起る
。本発明の目的は、支持部材が調整された角度から実際
上復元することがなく、かつ謀調整を生ずるおそれのあ
る応力が変形された材料中に残存しないガス放電レーザ
の光学素子の調整方法を提供するにある。

この目的のため本発明の調整方法は、前記支持部材の管
状部の変形による前記光学素子の位置の調整に当りまた
は調整後、前記管状部をその全周を介しその降伏点を越
えて引き伸ばすことを特徴とする。

前記管状部の全周の金属が降伏点を越えて引き伸ばされ
るから、支持部材および光学素子はその調整された角度
位置から復元することはない。しかし管状部は引き伸ば
され方向と反対で実際上しーザの最軸と合致する方向に
おいては復元することは可能である。更に、この調整方
法を実施した後には、レーザの誤調整を招来する応力は
材料中に残存しない。支持部材または少くとも管状部は
銅、ニッケルまたは銅およびニッケルの合金を可とする
延性金属で製造するのが好適である。

管状部の壁部の厚さは支持部材の残りの部分に比べ薄く
して、管状部をその降伏点を越えて一層容易に引き伸ば
せるようにすることができる。

以下「図面につき本発明を説明する。第１図は前記米国
特許第３８２６９９８号明細書に記載されたガスレーザ
管の一端を示す。

石英レーザ管１は多層ミラー被膜７を設けたレーザミラ
ー部材３を支持するための金属製管状支持部材２を有す
る。支持部材２は変形可能部を構成する圧縮部４を有す
る。レーザミラ一部材３は、例えば接着剤、密閉ガラス
またはエナメルによって支持部材２に固着する。既知の
方法ではミラー部材３の調整は、例えば圧縮部４の一側
例えばＡにねじ回しを挿入した後圧縮部４を機械的に変
形し、支持部材２の環状部５およびミラー部材３を傾斜
させることによって行われる。ミラー部材３の調整に際
してレーザ出力を最適にすることができる。代案として
、他のレーザの光ビームを可とする光ビームが調整すべ
きレーザを通過するようにすることができる。しかしこ
れらの調整方法は不十分である。圧縮部４の部分Ａにね
じ回しを挿入すると、支持部村２の前記部分Ａにおける
材料だけが塑性変形し、部分Ｂにおける材料は弾性的に
変形するだけである。従って環状部５は傾斜力が除去さ
れた後には調整された角度位置から部分的に元に戻って
しまう、即ち部分的に復元する。弾性変形の結果環状部
５が部分的に復元し、最大出力が最早や得られなくなる
から、レーザのある最大出力が得られるまで傾斜させる
ことだけでは不適当である。本発明の方法を第２図およ
び第３図の実施例につき説明する。

第２図においては禾調整のレーザミラー部村３を示す（
本図ではしーザミラ一部材３の傾斜角を誇張して示して
ある）。支持部材２は銅製の管状部６を備え、この管状
部６は密閉部８を介して支持部材２の他の部分に密着す
る。支持部材２の環状部５だけ傾斜する代りに、ミラー
部材３の角度位置の調整のため傾斜する際または傾斜後
に管状部６全体を銅の降伏点を越えて引き伸ばす。その
結果を第３図に示す。引き伸ばいこより管状部６は長さ
が長くなり、厚さも若干薄くなる。傾斜工程の際または
傾斜工程後に降伏点を越える引き伸ばしを行った結果支
持部材２の環状部５は復元しなくなり（少なとも調整さ
れた角度から）、調整後は支持部材２の材料に応力は残
存しない。この調整方法は、前記オランダ国特許出願第
７５１５００６号（公開済）に記載された如き同軸レー
ザにおいても使用できること勿論であり、この同軸レー
ザでは支持部材は金属板を介し間接的にレーザ管に取付
けられている。

管状支持部材２の材料に応じて管状部６の壁部の厚さを
一層薄くして、引き伸はいこ当り降伏点を越えるように
することも必要である。レーザにおける他の光学素子例
えばブリュウスター窓も本発明の態様で調整することが
できる。第４図は本発明の他の実施例を示し、支持部材
２全体を銅で製造した未調整レーザの端部を示す。

直径が小さくなった管状部９は支持部材２の残りの部分
に比べ壁部の厚さが薄に薄く、従って容易に降伏点を越
えて引き伸ばすことができる。第５図は第４図のし−ザ
の端部の調整された状態を示す。延性管状部９は長さが
若干長くなり（ｄだけ）、かつ厚さが薄くなる。調整お
よび引き伸ばし工程後、環状部５はしーザの最軸の方向
においてだけ多少復元するに過ぎなくなり、調整された
角度は維持され、材料中に応力は存在しなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のガス放電レーザの要部断面図、第２図お
よび第３図は本発明方法の実施例を工程順に示す要部断
面図、第４図および第５図は本発明方法の他の実施例を
工程順に示す要部断面図である。 １・・・・・・石英レーザ管、２・・・・・・管状支持
部材、３・・・・・・レーザミラー部材、４…・・・支
持部材２の圧縮部、５・・・・・・支持部材２の環状部
、６・・・・・・管状部、７・・・・・・多層ミラー被
膜、８・・・・・・密閉部、９…・・・管状部。 Ｆｉ９．１ Ｆｉｇ．２ ＩＦｉ９．３ Ｆｉｇ．４ ＦＩｇ．５

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ レーザ管を備え、金属製管状支持部材の一端におけ
   る光学素子の前記レーザ管に対する角度位置を前記支持
   部材の機械的変形を介して調整するガス放電レーザの調
   整方法において、前記支持部材の管状部の変形による前
   記光学素子の位置の調整に当りまたは調整後、前記管状
   部をその全周を介しその降伏点を越えて引き伸ばすこと
   を特徴とするガス放電レーザの調整方法。